KR20200010785A - 액체 저장 장치 및 이를 구비한 액체 디스펜싱 장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 액체 저장 장치 및 이를 구비한 액체 디스펜싱 장치에 대한 것이다. 본 발명은, 디스펜싱 헤드유닛에 구비되는 액체 저장 장치에 있어서, 액체를 일시 저장하여 적어도 하나의 노즐을 포함하는 노즐부로 상기 액체를 공급하는 액체 저장부; 및 상기 액체 저장부에 결합되고, 내부에 필터를 구비하여 필터링된 상기 액체를 상기 액체 저장부로 전달하며, 상기 필터의 상부에 상부 챔버가 형성된 필터 조립체;를 포함하는 액체 저장 장치, 및 이를 구비한 액체 디스펜싱 장치를 제공한다.
Description
본 발명은 액체 저장 장치 및 이를 구비한 액체 디스펜싱 장치에 대한 것이다. 더욱 상세하게는, 액체를 일시 저장하여 노즐부로 공급하는 액체 저장 장치 및 이를 구비하는 액체 디스펜싱 장치에 대한 것이다.
전자 장치의 제조에 있어서, 기판에 특정 기능을 수행하기 위한 액체를 토출하거나 도포하는 장치가 사용된다. 예를 들면, 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display, LCD) 또는 OLED 디스플레이 등의 평판 표시 장치(Flat Panel Display, FPD)의 제조에 있어서 기판 상에 소정 기능을 수행하기 위한 구성을 형성하기 위하여 다양한 디스펜싱 장치가 사용된다. 일례로, 액정 표시 장치는 컬러 필터층이 구비된 컬러 기판과, 구동 소자들이 배열된 TFT(Thin Film Transistor) 기판을 합착하여 제조된다. 컬러 기판과 TFT 기판 사이에 액정이 도포되고, 컬러 기판과 TFT 기판을 접착시키기 위하여 페이스트(또는 실런트)가 도포된다.
액정 표시 장치나 OLED 소자 또는 OLED 디스플레이 등의 제조에 있어서는, 액정층, 페이스트 패턴, 배향막, 스페이서, 도전성 패턴, 컬러 필터, 발광층, 블랙 매트릭스(Black Matrix), 또는 형광체층을 형성하기 위한 다양한 디스펜싱 장치가 사용된다.
도 1은 종래 디스펜싱 장치의 일례를 도시한다.
디스펜싱 장치(1)는, 프레임(3)과, 상기 프레임(3)의 상부에 구비되며 소정 액체가 디스펜싱되는 기판(S)이 로딩되는 스테이지(5)와, 상기 스테이지(5)의 상부에 구비되는 헤드 지지대(7)와, 상기 헤드 지지대(7)에 구비되며 소정 액체를 디스펜싱하는 디스펜싱 헤드유닛(9)을 포함한다. 스테이지(5)는 X축 또는 Y축 방향으로 구동되도록 구성될 수 있다. 또한, 헤드 지지대(7)는 구동 모터(8)에 의해 프레임(3)의 상부에서 Y축 방향으로 직선 이동 가능하도록 설치될 수 있다. 디스펜싱 헤드유닛(9)은 기판과의 상대적 위치를 조정하기 위하여 Z축 방향으로 위치 조정될 수 있으며, X축 또는/및 Y축 방향으로도 구동될 수 있다.
한편, 보다 정밀하고 정확한 양을 기판에 제공하기 위하여 최근에는 잉크젯 방식으로 액체를 토출하는 디스펜싱 장치의 사용도 증가하고 있다. 일례로, 대한민국 등록특허 제0701442호는 액정을 빠른 시간에 넓은 면적에 동시에 도포할 수 있도록 하는 잉크젯 방식 액정 도포 방법을 개시한다.
그런데, 잉크젯 방식으로 액정과 같은 액체를 도포하는 경우, 도포되는 액체 내에 이물질이 포함되면 노즐 막힘을 초래하여 도포 품질에 악영향을 끼친다.
본 발명은 토출될 액체를 일시 저장하여 노즐부로 공급하는 액체 저장 장치에 있어서, 액체에 포함된 이물질을 제거하여 노즐 막힘을 방지하는 액체 저장 장치 및 이를 포함하는 액체 디스펜싱 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 액체 저장 장치에 구비되는 필터의 수명을 예측하는 것이 가능한 액체 저장 장치 및 이를 포함하는 액체 디스펜싱 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은, 디스펜싱 헤드유닛에 구비되는 액체 저장 장치에 있어서, 액체를 일시 저장하여 적어도 하나의 노즐을 포함하는 노즐부로 상기 액체를 공급하는 액체 저장부; 및 상기 액체 저장부에 결합되고, 내부에 필터를 구비하여 필터링된 상기 액체를 상기 액체 저장부로 전달하며, 상기 필터의 상부에 상부 챔버가 형성된 필터 조립체;를 포함하는 액체 저장 장치를 제공한다.
일 실시예에 있어서, 상기 필터 조립체는, 상기 상부 챔버의 위쪽에 구비되어 외부로부터 상기 액체를 전달받는 액체 공급공과, 상기 필터를 통과한 상기 액체가 상기 액체 저장부로 유출되는 액체 유출공을 포함한다.
또한, 상기 필터 조립체는, 상기 상부 챔버 내에서의 상기 액체의 수위를 확인하기 위한 통로가 형성될 수 있다.
또한, 상기 통로는 상기 상부 챔버의 양측으로 형성된 제 1 통로와 제 2 통로를 포함할 수 있다.
또한, 상기 제 1 통로와 상기 제 2 통로에는 각각 투명한 재질의 견시창이 구비될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 필터 조립체는, 상기 액체 공급공이 형성된 제 1 블록과, 상기 액체 유출공이 형성된 제 2 블록을 포함하고, 상기 제 1 블록과 상기 제 2 블록의 사이에 상기 필터가 구비된다.
또한, 상기 제 1 블록과 상기 제 2 블록의 측면에는 양단이 상기 제 1 블록과 상기 제 2 블록에 결합되는 블록 결합판이 구비될 수 있다.
또한, 상기 노즐부가 상기 액체 저장부의 일측에 결합될 수 있다.
또한, 상기 상부 챔버 내의 상기 액체의 수위를 센싱하는 수위 센서를 추가로 포함될 수 있다.
또한, 본 발명은, 기판이 로딩되는 스테이지, 상기 스테이지의 상부에 구비되는 헤드 지지대, 및 상기 헤드 지지대에 구비되며 소정의 액체를 디스펜싱하는 디스펜싱 헤드유닛를 포함하는 액체 디스펜싱 장치에 있어서, 상기 디스펜싱 헤드유닛은, 전술한 액체 저장 장치; 상기 필터 조립체의 상기 상부 챔버 내의 상기 액체의 수위를 센싱하는 수위 센서; 및 상기 상부 챔버의 수위가 소정값 이상인 것으로 상기 수위 센서에 의해 센싱되면, 상기 필터 조립체의 상기 필터의 교체 신호를 통지하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 디스펜싱 장치를 제공한다.
본 발명에 따르면, 잉크젯 방식 등으로 액체를 토출하는 노즐부에 액체를 공급하는 액체 저장 장치(리저버)에 필터 조립체를 구비함으로써 상기 액체에 포함된 이물질을 효과적으로 제거할 수 있다. 이에 따라 노즐 막힘을 미연에 방지할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 필터 조립체에 포함된 필터의 수명을 예측할 수 있는 장점이 있다.
또한, 본 발명은 필터 조립체를 액체 저장 장치에 일체화시켜 컴팩트한 구조를 제공하고, 필터 조립체에 내장된 필터의 교체를 용이하게 하는 장점이 있다.
도 1은 종래 디스펜싱 장치의 일례를 도시한다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 액체 디스펜싱 장치의 디스펜싱 헤드유닛의 사시도이다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 액체 디스펜싱 장치의 액체 저장 장치의 사시도이다.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 액체 디스펜싱 장치의 액체 저장 장치의 분해 사시도이다.
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 액체 저장 장치에 구비되는 필터 조립체의 단면도이다.
도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 액체 저장 장치에 구비되는 필터 조립체에 액체가 통과하는 상태를 나타내는 단면도이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 액체 디스펜싱 장치의 디스펜싱 헤드유닛의 사시도이다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 액체 디스펜싱 장치의 액체 저장 장치의 사시도이다.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 액체 디스펜싱 장치의 액체 저장 장치의 분해 사시도이다.
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 액체 저장 장치에 구비되는 필터 조립체의 단면도이다.
도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 액체 저장 장치에 구비되는 필터 조립체에 액체가 통과하는 상태를 나타내는 단면도이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 우선 각 도면의 구성 요소들에 참조 부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다. 또한, 이하에서 본 발명의 바람직한 실시예를 설명할 것이나, 본 발명의 기술적 사상은 이에 한정하거나 제한되지 않고 당업자에 의해 변형되어 다양하게 실시될 수 있음은 물론이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 액체 디스펜싱 장치의 디스펜싱 헤드유닛의 사시도이다.
액체 디스펜싱 장치는 도 1에 도시된 바와 같은 구성을 가질 수 있다. 디스펜싱 헤드유닛(9)은 도 1에 도시된 바와 같은 디스펜싱 장치(1)의 헤드 지지대(7)에 결합될 수 있다. 디스펜싱 헤드유닛(9)에 의해 토출되는 액체는 소정 점성을 갖는 액체일 수 있으며, 액정층, 페이스트 패턴, 배향막, 스페이서, 도전성 패턴, 컬러 필터, 발광층, 블랙 매트릭스(Black Matrix), 또는 형광체층 중 어느 하나를 기판 상에 형성하기 위한 액체일 수 있다.
일 실시예에 있어서, 디스펜싱 헤드유닛(9)은 헤드유닛 지지부(10)와, 액체 주저장부(22)를 거치하는 액체 주저장부 보관부(20)와 액체 주저장부(22)로부터 액체를 전달받아 토출하는 액체 저장 장치(30)와, 액체 저장 장치(30)에 구비되는 액체 저장부(32)에 결합되어 액체에 포함된 이물질을 필터링하는 필터 조립체(40)를 포함한다.
일 실시예에 있어서, 헤드유닛 지지부(10)는 헤드 지지대(7)에 결합되는 결합판(12)과, 상기 결합판(12)의 일측에 구비되는 구동부(14)와, 상기 구동부(14)에 연결되어 적어도 1축 방향으로 구동되는 제 1 패널(16)을 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 액체 저장 장치(30)는, 제 1 패널(16)과 마주보도록 배치된 제 2 패널(18)의 하단에 고정될 수 있다. 또한, 제 2 패널(18)에 액체 주저장부 보관부(20)가 고정될 수 있다. 또한, 액체 주저장부 보관부(20)는 제 1 패널(16)과 제 2 패널(18)을 연결하는 구성으로 구비될 수 있다.
액체 주저장부(22)의 상단 개방부에는 캡(24)이 구비될 수 있다. 액체 주저장부(22)에 저장된 액체는 제 1 액체 공급관(26), 상기 제 1 액체 공급관(26)을 통해 공급되는 액체를 필터링하는 필터부(27), 상기 필터부(27)를 통과한 액체를 액체 저장 장치(30)로 전달하는 제 2 액체 공급관(28)을 통해 필터 조립체(40)로 전달된다. 액체 주저장부(22)의 내부에는 공압이 공급되고(공압 공급 구성은 미도시), 공압에 의해 액체 주저장부(22)에 저장된 액체가 제 1 액체 공급관(26)으로 배출될 수 있다.
액체 저장 장치(30)는, 액체 저장부(32)와 상기 액체 저장부(32)에 결합된 필터 조립체(40)를 포함한다. 액체 저장부(32)는 리저버(reservoir)로서 이해될 수 있다. 액체 저장 장치(30)는 액체 저장부(32)로부터 액체를 공급받아 토출하는 노즐부(34)를 포함할 수 있다. 노즐부(34)는 액체 저장부(32)에 직접 결합되거나, 액체 저장부(32)와 분리되어 구비될 수 있다. 노즐부(34)를 액체 저장부(32)에 직접 결합한 경우, 액체 저장부(32)의 액체를 노즐부(34)로 전달하는 유로(미도시)가 액체 저장부(32)의 저면에 형성될 수 있다. 또한, 노즐부(34)를 액체 저장부(32)와 별도로 구비하는 경우, 액체 저장부(32)의 액체를 노즐부(34)로 전달하는 튜브(미도시)가 구비될 수 있다.
일 실시예에 있어서 상기 노즐부(34)는 복수의 노즐을 포함하고, 복수의 노즐을 통해 잉크젯 방식으로 액체를 토출할 수 있다. 제 2 액체 공급관(28)은 필터 조립체(40)에 연결되고, 제 2 액체 공급관(28)을 통해 공급된 액체는 필터 조립체(40)에서 필터링된 후 액체 저장부(32)로 공급된다. 액체 저장부(32)에 일시 저장된 액체는 노즐부(34)로 전달되어 토출된다. 한편, 본 발명의 실시에 있어서, 필터부(27)가 구비되지 않을 수 있으며, 이 경우 액체 공급관(26, 28)은 2개로 분리되어 구비되지 않고 하나로 구비될 수 있다. 즉, 액체 주저장부(22)에서 필터 조립체(40)로 하나의 액체 공급관에 의해 액체가 공급될 수 있다.
액체 저장 장치(30)는 필터 조립체(40) 내의 수위를 센싱하기 위한 수위 센서(70)를 추가로 포함할 수 있다. 일 실시예에 있어서, 상기 수위 센서(70)는 제 1 패널(16)에 고정된 상태로 구비될 수 있다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 액체 디스펜싱 장치의 액체 저장 장치의 사시도이다.
액체 저장 장치(30)는 액체 저장부(32)와 상기 액체 저장부(32)의 상부에 결합되는 필터 조립체(40)를 포함한다. 일 실시예에 있어서, 필터 조립체(40)는 액체 저장부(32)의 상부벽(36)에 결합될 수 있다.
필터 조립체(40)에는 액체 공급관(28)이 결합되는 액체 공급공(42)이 형성된다. 일 실시예에 있어서, 액체 공급관(28)의 단부에는 일측에 나사산(29a)이 형성된 피팅(29)이 구비되고, 상기 피팅(29)이 액체 공급공(42)에 나사 결합함으로써 액체 공급관(28)이 필터 조립체(40)에 연결될 수 있다.
필터 조립체(40)에는 필터 조립체(40) 내부의 수위를 센싱하기 위한 견시창(44a, 44b)이 구비된다. 견시창(44a, 44b)은 투명한 재질로 이루어져 상기 필터 조립체(40)에 결합될 수 있다. 수위 센서(70)는 상기 견시창(44a, 44b)을 통해 필터 조립체(40) 내부의 수위가 소정값에 도달하였는지를 판단할 수 있다. 일 실시예에 있어서, 수위 센서(70)는 발광부(70a)와 수광부(70b)를 포함하는 광 센서일 수 있다. 발광부(70a)는 광(光)을 출력하고, 수광부(70b)는 발광부(70a)에서 출력된 광을 수신한다. 수광부(70b)에서 수광되는 광의 세기에 따라 필터 조립체(40) 내부의 수위가 센싱될 수 있다. 발광부(70a)는 제 1 수위센서 고정부(72a)에 의해 제 1 패널(16)에 고정되고, 수광부(70b)는 제 2 수위센서 고정부(72b)에 의해 제 1 패널(16)에 고정될 수 있다.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 액체 디스펜싱 장치의 액체 저장 장치의 분해 사시도이고, 도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 액체 저장 장치에 구비되는 필터 조립체의 단면도이다.
도 4 및 도 5를 참조하여 필터 조립체(40)의 구성을 설명한다. 도 5에 있어서는 필터 조립체(40)가 액체 저장부(32)의 상부벽(36)에 결합된 상태가 도시되었다.
필터 조립체(40)는 제 1 블록(40A)과 제 2 블록(40B)을 결합하여 구성할 수 있다. 제 1 블록(40A)의 상부에는 액체 공급공(42)이 형성되고, 내부에 상부 챔버(46)가 형성된다. 제 1 블록(40A)의 일측 벽을 관통하여 상부 챔버(46)와 연통되는 제 1 통로(48a)가 형성되고, 제 1 블록(40A)의 타측 벽을 관통하여 상부 챔버(46)와 연통되는 제 2 통로(48b)가 형성된다. 제 1 통로(48a)에는 제 1 견시창(44a)이 구비되고, 제 2 통로(48b)에는 제 2 견시창(44b)이 구비된다. 제 1 견시창(44a)과 제 2 견시창(44b)을 통해 발광부(70a)에서 출력되는 광이 수광부(70b)로 전달될 수 있다.
제 2 블록(40B)의 상부에는 필터 장착부(52)가 형성되고, 필터 장착부(52)에는 필터(54)가 구비된다. 필터 장착부(52)는 제 2 블록(40B)의 상부에 단차를 형성함으로써 구비될 수 있다. 필터(54)는 공극이 형성된 메쉬 구조체일 수 있다. 필터(54)는 디스크 형태로 구비될 수 있다. 일 실시예에 있어서, 필터(54)는 스테인레스 디스크 필터(stainless disk filter)일 수 있다. 또한, 제 2 블록(40B)에는 상기 필터(54)의 하부에 형성되는 하부 챔버(50)가 형성될 수 있다. 하부 챔버(50)의 저면에는 액체 유출공(56)이 형성될 수 있다.
액체 유출공(56)을 통해 필터 조립체(40)를 통과한 액체는 액체 저장부(32)의 상부벽(36)에 형성된 액체 주입공(38)으로 전달될 수 있다. 일 실시예에 있어서, 액체 유출공(56)의 저면에는 튜브 삽입부(57)가 형성되고, 튜브 삽입부(57)와 액체 주입공(38)에 양단이 끼워지는 주입 튜브(39)를 통해 필터 조립체(40)로부터 액체 저장부(32)로 액체가 전달될 수 있다. 주입 튜브(39)를 구비하는 경우, 필터 조립체(40)로부터 액체 저장부(32)로 액체 전달시 누설을 방지할 수 있다. 경우에 따라서는 주입 튜브(39)가 구비되지 않고, 액체 유출공(56)과 액체 주입공(38) 사이에 오링(O-ring)이나 가스켓(gasket)과 같은 실링 부재가 구비될 수 있다.
제 1 블록(40A)과 제 2 블록(40B)의 사이에 필터(54)를 위치시킨 후 제 1 블록(40A)과 제 2 블록(40B)을 결합한다. 필터(54)의 교체시에는 제 1 블록(40A)과 제 2 블록(40B)을 분해한 후 필터(54)를 교체할 수 있다.
도 4와 도 5에서는 제 1 블록(40A)과 제 2 블록(40B)의 결합을 위한 블록 결합판(60A, 60B)이 도시되어 있다. 블록 결합판(60A, 60B)은 제 1 블록(40A)과 제 2 블록(40B)의 측면에 양단이 고정될 수 있다. 도 4와 도 5에 있어서는, 블록 결합판(60A, 60B)은 제 1 블록(40A)과 제 2 블록(40B)의 좌측에 결합되는 제 1 블록 결합판(60A)과 우측에 결합되는 제 2 블록 결합판(60B)이 나타난다. 블록 결합판(60A, 60B)은 제 1 결합나사(65)가 통과하는 상부 통공(64)과, 제 2 결합 나사(67)가 통과하는 하부 통공(66)이 형성되고, 상부 통공(64)과 하부 통공(66)의 사이에는 광 통과공(62)이 형성된다. 제 1 블록(40A)에는 제 1 고정공(58)이 형성되고, 제 2 블록(40B)에는 제 2 고정공(59)이 형성된다. 제 1 결합나사(65)는 상부 통공(64)을 통해 제 1 고정공(58)에 결합되고, 제 2 결합나사(67)는 하부 통공(66)을 통해 제 2 고정공(59)에 결합됨으로써, 블록 결합판(60A, 60B)이 제 1 블록(40A)과 제 2 블록(40B)의 측면에 결합된다. 광 통과공(62)을 통해 견시창(44a, 44b)이 외측으로 노출된다.
제 2 블록(40B)에는 제 3 고정공(55)이 형성되고, 제 3 고정공(55)을 통해 제 3 결합나사(69)가 액체 저장부(32)의 상부벽(36)에 결합됨으로써 필터 조립체(40)가 액체 저장부(32)에 고정된다.
도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 액체 저장 장치에 구비되는 필터 조립체에 액체가 통과하는 상태를 나타내는 단면도이다.
액체 공급공(42)을 통해 공급된 액체(100)는 필터(50)를 통과한 후 액체 유출공(56)으로 유출된다.
그런데 필터(50)에서의 액체(100)의 투과율(투과 속도)에 따라 필터(50) 위쪽의 상부 챔버(46)의 액체(100)의 수위가 달라진다. 도 6의 상태에서, 필터(50)를 통과하는 액체(100)의 투과율이 저하되면, 상부 챔버(46)에서의 액체(100)의 수위가 상승되고, 상부 챔버(46) 내부의 기체는 압축되어 기체의 압력은 높아진다. 상부 챔버(46) 내부의 기체 압력이 증가되면 필터(50)의 투과율은 증가할 것이다. 결국, 액체 공급공(42)을 통해 공급되는 액체(100)의 양과 필터(50)에서 투과되는 액체(100)의 양이 평형을 이루는 지점에서 상부 챔버(46)의 액체 수위가 결정된다.
필터(50)에서 필터링되는 이물질이 증가할 수도록 필터(50)에서의 액체 투과율은 저하되고, 결과적으로 액체(100)의 수위는 상승된다. 액체(100)의 수위가 증가하여 소정 수위 이상이 되면 수위 센서(70)에 의해 센싱된다. 즉, 수광부(70b)에서 센싱되는 광량이 감소하게 되고, 제어부(80)는 필터 조립체(40)의 상부 챔버(46) 수위가 소정값 이상으로 상승한 것으로 판단한다.
이후, 제어부(80)는 필터 조립체(40)의 필터(50)의 수명이 완료된 것으로 판단하고, 필터(50)의 교체 신호를 시각 또는 청각 등의 방법으로 출력한다.
본 발명에 따르면, 필터 조립체(40)를 이용하여 액체 저장부(리저버)로 공급되는 액체 내에 존재하는 이물질을 효과적으로 제거할 수 있고, 필터 조립체(40) 내의 필터(50)의 수명을 자동적으로 판단할 수 있다. 특히, 본 발명은 잉크젯 방식과 같이 복수의 노즐을 이용하여 액정 등을 기판에 토출하는 경우, 효과적으로 적용될 수 있다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정, 변경 및 치환이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예 및 첨부된 도면들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
9 : 디스펜싱 헤드유닛
10 : 헤드유닛 지지부
22 : 액체 주저장부 30 : 액체 저장 장치
32 : 액체 저장부 34 : 노즐부
36 : 상부벽 38 : 액체 주입공
40 : 필터 조립체 40A : 제 1 블록
40B : 제 2 블록 42 : 액체 공급공
44a : 제 1 견시창 44b : 제 2 견시창
46 : 상부 챔버 48a : 제 1 통로
48b : 제 2 통로 50 : 하부 챔버
52 : 필터 장착부 54 : 필터
56 : 액체 유출공 60A, 60B : 블록 결합판
62 : 광 통과공 70 : 수위 센서
80 : 제어부
22 : 액체 주저장부 30 : 액체 저장 장치
32 : 액체 저장부 34 : 노즐부
36 : 상부벽 38 : 액체 주입공
40 : 필터 조립체 40A : 제 1 블록
40B : 제 2 블록 42 : 액체 공급공
44a : 제 1 견시창 44b : 제 2 견시창
46 : 상부 챔버 48a : 제 1 통로
48b : 제 2 통로 50 : 하부 챔버
52 : 필터 장착부 54 : 필터
56 : 액체 유출공 60A, 60B : 블록 결합판
62 : 광 통과공 70 : 수위 센서
80 : 제어부
Claims (11)
- 디스펜싱 헤드유닛에 구비되는 액체 저장 장치에 있어서,
액체를 일시 저장하여 적어도 하나의 노즐을 포함하는 노즐부로 상기 액체를 공급하는 액체 저장부; 및
상기 액체 저장부에 결합되고, 내부에 필터를 구비하여 필터링된 상기 액체를 상기 액체 저장부로 전달하며, 상기 필터의 상부에 상부 챔버가 형성된 필터 조립체;
를 포함하는 액체 저장 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 필터 조립체는, 상기 상부 챔버의 위쪽에 구비되어 외부로부터 상기 액체를 전달받는 액체 공급공과, 상기 필터를 통과한 상기 액체가 상기 액체 저장부로 유출되는 액체 유출공을 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 저장 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 필터 조립체에는, 상기 상부 챔버 내에서의 상기 액체의 수위를 확인하기 위한 통로가 형성된 것을 특징으로 하는 액체 저장 장치. - 제 3 항에 있어서,
상기 통로는 상기 상부 챔버의 양측으로 형성된 제 1 통로와 제 2 통로를 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 저장 장치. - 제 4 항에 있어서,
상기 제 1 통로와 상기 제 2 통로에는 각각 투명한 재질의 견시창이 구비되는 것을 특징으로 하는 액체 저장 장치. - 제 2 항에 있어서,
상기 필터 조립체는, 상기 액체 공급공이 형성된 제 1 블록과, 상기 액체 유출공이 형성된 제 2 블록을 포함하고, 상기 제 1 블록과 상기 제 2 블록의 사이에 상기 필터가 구비되는 것을 특징으로 하는 액체 저장 장치. - 제 6 항에 있어서,
상기 제 1 블록과 상기 제 2 블록의 측면에는 양단이 상기 제 1 블록과 상기 제 2 블록에 결합되는 블록 결합판이 구비되는 것을 특징으로 하는 액체 저장 장치. - 제 6 항에 있어서,
상기 제 2 블록은, 상기 필터의 하부에 형성되는 하부 챔버를 포함하고, 상기 액체 유출공은 상기 하부 챔버의 하부에 형성된 것을 특징으로 하는 액체 저장 장치. - 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 노즐부가 상기 액체 저장부의 일측에 결합된 것을 특징으로 하는 액체 저장 장치. - 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 상부 챔버 내의 상기 액체의 수위를 센싱하는 수위 센서를 추가로 포함하는 액체 저장 장치. - 기판이 로딩되는 스테이지, 상기 스테이지의 상부에 구비되는 헤드 지지대, 및 상기 헤드 지지대에 구비되며 소정의 액체를 디스펜싱하는 디스펜싱 헤드유닛를 포함하는 액체 디스펜싱 장치에 있어서,
상기 디스펜싱 헤드유닛은,
제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 따른 액체 저장 장치;
상기 필터 조립체의 상기 상부 챔버 내의 상기 액체의 수위를 센싱하는 수위 센서; 및
상기 상부 챔버의 수위가 소정값 이상인 것으로 상기 수위 센서에 의해 센싱되면, 상기 필터 조립체의 상기 필터의 교체 신호를 통지하는 제어부;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 디스펜싱 장치.
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| CN115167041A (zh) * | 2022-08-02 | 2022-10-11 | 辛集冀雅电子有限公司 | 一种液晶屏晶盒加工设备及加工方法 |
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2018
- 2018-07-23 KR KR1020180085286A patent/KR102131021B1/ko active IP Right Grant
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| CN115167041A (zh) * | 2022-08-02 | 2022-10-11 | 辛集冀雅电子有限公司 | 一种液晶屏晶盒加工设备及加工方法 |
| CN115167041B (zh) * | 2022-08-02 | 2023-07-14 | 辛集冀雅电子有限公司 | 一种液晶屏晶盒加工设备及加工方法 |
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|---|---|
| CN210700885U (zh) | 2020-06-09 |
| KR102131021B1 (ko) | 2020-07-07 |
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