KR20200004644A - 고효율 투과영상 물체검사모듈 및 물체검사장치 - Google Patents
고효율 투과영상 물체검사모듈 및 물체검사장치 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20200004644A KR20200004644A KR1020180077781A KR20180077781A KR20200004644A KR 20200004644 A KR20200004644 A KR 20200004644A KR 1020180077781 A KR1020180077781 A KR 1020180077781A KR 20180077781 A KR20180077781 A KR 20180077781A KR 20200004644 A KR20200004644 A KR 20200004644A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- opening
- sectional area
- cross
- electromagnetic waves
- transmission image
- Prior art date
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 38
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 title claims abstract description 28
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 25
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 20
- 235000008733 Citrus aurantifolia Nutrition 0.000 claims description 4
- 235000011941 Tilia x europaea Nutrition 0.000 claims description 4
- 239000004571 lime Substances 0.000 claims description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 10
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 230000001066 destructive effect Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 229920006351 engineering plastic Polymers 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 235000013305 food Nutrition 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/12—Scanning systems using multifaceted mirrors
- G02B26/125—Details of the optical system between the polygonal mirror and the image plane
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
- G01N21/3581—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light using far infrared light; using Terahertz radiation
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B17/00—Systems with reflecting surfaces, with or without refracting elements
- G02B17/08—Catadioptric systems
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B19/00—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics
- G02B19/0004—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics characterised by the optical means employed
- G02B19/0028—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics characterised by the optical means employed refractive and reflective surfaces, e.g. non-imaging catadioptric systems
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B19/00—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics
- G02B19/0033—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics characterised by the use
- G02B19/0085—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics characterised by the use for use with both a detector and a source
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B19/00—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics
- G02B19/0033—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics characterised by the use
- G02B19/009—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics characterised by the use for use with infrared radiation
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
- G01N2201/10—Scanning
- G01N2201/104—Mechano-optical scan, i.e. object and beam moving
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
본 발명은 고효율 투과영상 물체 검사 모듈에 관한 것으로써, 경로 변경부로부터 입사되며 검사 대상 물체에 제 1 라인빔을 형성하는 전자기파를 검사 대상 물체로 집속시키는 스캐닝 렌즈와, 전자기파를 검출하는 어레이 검출부 및 상기 제 1 라인빔을 따라 연장되어 형성되고, 상기 검사 대상 물체를 투과한 전자기파를 상기 어레이 검출부로 집속시키는 집속렌즈;를 포함할 수 있다.
Description
본 발명은 전자기파를 이용하여 비파괴적인 방법으로 검사 대상 물체를 대면적에 대해 투과영상을 이용하여 고효율로 물체를 검사할 수 있는 물체검사장치에 관한 것이다.
비파괴적인 방법으로 물체나 물질을 검사하기 위해서는 영상학적인 방법이 주로 활용되는데, 크게 연속출력 광원을 이용한 영상 검출법과 분광학적인 방법을 이용한 영상 검출법의 두 가지 방법이 주류를 이룬다. 이러한 방법들은, 각각 장단점을 갖고 있으나, 투과 이미지와 같이 상대적으로 고출력을 요구하는 분야에서는 연속출력 광원을 이용한 영상 검출법이보다 널리 이용되고 있다.
예를 들면, 테라헤르츠파는 물질에 대한 투과성, 정성적 확인 가능성, 생체에 대한 안전성 등의 여러 우수한 특성으로 인해, 비파괴적인 방법으로 감추어진 물체나 물질을 정성적으로 확인하는 분야에서 널리 활용되고 있다.
이로 인해, 테라헤르츠파는, 최근에는, 공항이나 보안 시설의 검색 장치, 식품이나 제약 회사의 품질 검사 장치, 반도체 검사 장치, 엔지니어링 플라스틱 검사장치 등 여러 분야에서 활용이 시도되고 있다.
테라헤르츠파를 생산현장에 활용하는 사례가 늘어나고 있으며, 지속적인 연구에 의해 검출 분해능, 검출 속도, 검출 면적 등 주요한 성능 지수들 측면에서 많은 향상을 보이고 있다.
기존에는 대면적을 검사하기 위해 검사 대상 물체의 아래에 어레이(array)형 검출기를 두고 검사 대상 물체를 검사하였기 때문에 투과 산란된 빔의 집광효율이 떨어지는 문제점이 있었고, CPC(compound parabolic concentrator) 렌즈와 단일 검출기를 이용하는 경우는 스캔 길이가 길어지면 집속 렌즈와 CPC렌즈 사이의 거리가 길어져 헤드의 부피가 커지고 무거워지는 문제점이 있다.
본 기술과 관련된 내용을 포함하는 특허로는 한국등록특허 10-1365261가 있다.
본 발명은 위에서 언급한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 스캐닝 방향을 따라 연장되어 형성되는 집속 렌즈를 이용함으로써, 렌즈 유격이 짧아지므로 검출광학계의 부피나 무게가 가벼워져 고속으로 광헤드를 이동하여도 문제없이 대면적에 대한 고속으로 투과 검출이 가능한 고효율 투과영상 물체 검사 장치를 제공하고자 한다.
본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기의 설명에 의해서 이해될 수 있으며, 본 발명의 실시예에 의해 보다 분명하게 알게 될 것이다. 또한, 본 발명의 목적 및 장점들은 특허 청구 범위에 나타낸 수단 및 그 조합에 의해 실현될 수 있음을 쉽게 알 수 있을 것이다.
본 발명의 일 실시예와 관련된 고효율 투과영상 물체 검사 모듈은 경로 변경부로부터 입사되며 검사 대상 물체에 제 1 라인빔을 형성하는 전자기파를 검사 대상 물체로 집속시키는 스캐닝 렌즈와, 전자기파를 검출하는 어레이 검출부 및 상기 제 1 라인빔을 따라 연장되어 형성되고, 상기 검사 대상 물체를 투과한 전자기파를 상기 어레이 검출부로 집속시키는 집속렌즈;를 포함할 수 있다.
집속 렌즈는 제 1 단면적을 가지는 제 1 개구부 및, 제 2 단면적을 가지는 제 2 개구부를 포함하고, 제 1 개구부는 상기 검사대상물체로부터 투과되는 전자기파가 입사되는 측에 구비되고, 제 2 개구부는 상기 어레이 검출부로 전자기파가 출사되는 측에 구비될 수 있다.
집속렌즈는 비구면 형상 또는 포물면(parabolic) 형상을 가질 수 있다.
집속렌즈의 제 2 단면적은 제 1 단면적과 같거나 작고, 제 2 단면적은 상기 어레이 검출부가 검출할 수 있는 단면적의 크기와 같거나 작을 수 있다.
제 1 개구부 및 제 2 개구부는 일직선 상에 배치되고, 상기 제 1 개구부는 상기 제 2 개구부의 맞은편에 구비될 수 있다.
상기 스캐닝 렌즈, 상기 집속 렌즈, 및 상기 검출부는 일직선 상에 배치될 수 있다.
본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 고효율 투과영상 물체 검사 장치는 입사되는 전자기파의 경로를 변경시키는 경로 변경부와, 경로 변경부로부터 입사되는 제 1 스캐닝 방향을 갖는 전자기파를 검사 대상 물체로 집속시키는 스캐닝 렌즈와, 전자기파를 검출하는 어레이 검출부 및, 상기 제 1 스캐닝 방향을 따라 연장되어 형성되고, 상기 검사 대상 물체를 투과한 전자기파를 상기 어레이 검출부로 집속시키는 집속렌즈;를 포함할 수 있다.
집속 렌즈는 제 1 단면적을 가지는 제 1 개구부 및, 제 2 단면적을 가지는 제 2 개구부를 포함하고, 제 1 개구부는 상기 검사대상물체로부터 투과되는 전자기파가 입사되는 측에 구비되고, 제 2 개구부는 상기 어레이 검출부로 전자기파가 출사되는 측에 구비될 수 있다.
집속렌즈는 비구면 형상 또는 포물면(parabolic) 형상을 가질 수 있다.
집속렌즈의 제 2 단면적은 제 1 단면적과 같거나 작고, 제 2 단면적은 어레이 검출부가 검출할 수 있는 단면적의 크기와 같거나 작을 수 있다.
제 1 개구부 및 제 2 개구부는 일직선 상에 배치되고, 제 1 개구부는 제 2 개구부의 맞은편에 구비될 수 있다.
상기 스캐닝 렌즈, 상기 집속 렌즈, 및 상기 검출부는 일직선 상에 배치될 수 있다.
고효율 투과영상 물체 검사 장치는 전자기파를 생성하는 상기 경로 변경부로 입사시키는 전자기파 생성부를 더 포함할 수 있다.
고효율 투과영상 물체 검사 장치는 상기 전자기파 생성부로부터 입사된 전자기파를 평행하게 형성하여 상기 경로 변경부로 입사시키는 콜리메이팅부를 더 포함할 수 있다.
고효율 투과영상 물체 검사 장치는 상기 경로 변경부와 기계적으로 결합되고, 상기 경로 변경부를 상기 제 1 라임빔에 다른 방향으로 이동시켜 상기 검사 대상 물체에 상기 제 1 라인빔과 다른 방향으로 형성되는 제 2 라인 빔이 형성되도록 하는 이동부를 더 포함할 수 있다.
경로 변경부는 서로 다른 각도로 틸팅된 복수의 반사면을 포함하고, 회전함에 따라 상기 복수의 반사면에 의해 반사되는 상기 전자기파의 경로를 변경시켜, 상기 검사 대상 물체에 제 1 라인 빔을 형성하는 폴리곤 미러일 수 있다.
이동부는 상기 폴리곤 미러와 기계적으로 결합되고, 상기 폴리곤 미러를 이동시켜 복수의 반사면에 의해 반사되는 상기 전자기파의 경로를 변경하여, 상기 검사 대상 물체에 상기 제 1 라인빔과 다른 방향으로 형성되는 제 2 라인 빔을 형성할 수 있다.
개시된 발명에 따르면, 스캐닝 방향을 따라 연장되어 형성되는 집속 렌즈를 이용함으로써, 렌즈 유격이 짧아지므로 검출광학계의 부피나 무게가 가벼워져 고속으로 광헤드를 이동하여도 문제없이 대면적에 대한 고속으로 투과 검출이 가능하다.
도 1, 도 2 및 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 고효율 투과영상 물체 검사 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 4 및 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 집속 렌즈 및 어레이 검출부의 사시도 및 측면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예와 관련된 단면적 변환부에 입사되는 전자기파를 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 고효율 투과영상 물체 검사 장치의 2차원 검사를 구체적으로 설명하기 위한 도면이다.
도 4 및 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 집속 렌즈 및 어레이 검출부의 사시도 및 측면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예와 관련된 단면적 변환부에 입사되는 전자기파를 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 고효율 투과영상 물체 검사 장치의 2차원 검사를 구체적으로 설명하기 위한 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 발명을 실시하기 위한 구체적인 내용에 대하여 상세하게 설명한다.
도 1, 도 2 및 도 3은 본 발명의 일 실시예와 관련된 전자기파 변환 모듈 및 전자기파를 이용한 투과 검출 장치에 대한 블록 구성도(block diagram)이다.
도 1, 도 2 및 도 3을 참조하면, 고효율 투과영상 물체 검사 모듈(100)은 전자기파 생성부(110), 콜리메이팅부(120), 경로변경부(130), 스캐닝 렌즈(140), 검사 대상 물체(150), 집속 렌즈(160), 어레이 검출부(170)를 포함한다. 고효율 투과영상 물체 검사 모듈은 스캐닝 렌즈(140), 집속렌즈(160) 및 어레이 검출부(170) 등을 포함할 수 있다.
전자기파 생성부(110)는 전자기파를 발생시킬 수 있는 다양한 형태의 장치일 수 있다. 예를 들면, 전자기파 생성부(110)는 밀리미터파나 테라파를 발생시킬 수 있다. 밀리미터파란 초고주파(extremely high frequency)영역의 전자기파로 바람직하게는, 30GHz에서 300GHz대역의 진동수를 가진다. 테라파란 테라헤르츠(terahertz) 영역의 전자기파를 의미하는 것으로, 바람직하게는, 0.1THz 내지 10THz의 진동수를 가질 수 있다. 다만, 이러한 범위를 다소 벗어난다 하더라도, 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자가 용이하게 생각해낼 수 있는 범위라면, 본 발명에서의 테라파로 인정될 수 있음은 물론이다.
콜리메이팅부(120)는 전자기파 생성부(110)로부터 입사된 전자기파를 평행하게 형성할 수 있다. 평행하게 형성된 전자기파는 경로 변경부(130)로 입사된다.
경로변경부(130)는 입사되는 전자기파의 경로를 변경시킬 수 있다. 경로 변경부(130)에 의해 경로가 변경된 전자기파는 스캐닝 렌즈(140)로 입사된다.
예를 들면, 경로 변경부(130)는 입사되는 전자기파의 경로를 변경하기 위한 반사면을 포함할 수 있다. 반사면은 입사되는 전자기파를 반사시켜 스캐닝 렌즈(140)로 입사시킬 수 있다.
예를 들면, 경로 변경부(130)는 서로 다른 각도로 틸팅된 복수의 반사면을 포함하고, 회전함에 따라 상기 복수의 반사면에 의해 반사되는 전자기파의 경로를 변경시켜, 검사 대상 물체(150)에 제 1 라인 빔을 형성하는 폴리곤 미러와 같은 장치 일 수 있다. 경로 변경부(130)는 2개의 경로 변경부가 구비되어, 전자기파가 검사 대상 물체에 2차원으로 집속되도록 할 수도 있다.
경로변경부(130)는 위치를 변경시킬 수 있는 구동부(미도시)와 기계적으로 결합될 수 있다. 구동부(미도시)는 경로 변경부(130)를 이동시켜 전자기파의 경로를 조절할 수 있다. 예를 들면, 구동부(미도시)가 회전 운동을 하는 경우, 구동부(미도시)가 회전 운동함에 따라 경로 변경부(130)가 회전될 수 있다. 도 1 내지 도 3에서는 구동부(미도시)가 경로 변경부(130)를 점점 왼쪽으로 회전시키는 경우를 기준으로 도시하였다. 경로 변경부(130)가 왼쪽으로 회전됨에 따라, 스캐닝 렌즈(140)로 입사되는 전자기파가 스캐닝 렌즈(140) 기준으로 왼쪽에서 오른쪽으로 이동하게 된다. 이와 같이, 경로변경부(130)는 검사대상물체에 제 1 라인 빔이 형성되도록 전자기파의 경로를 변경할 수 있다.
또 다른 예를 들면, 구동부(미도시)는 서로 다른 축방향으로 구동되는 2개의 엑츄에이터로 구현되거나 1개의 2축 엑츄에이터로 구현되어, 전자기파가 검사 대상 물체에 2차원으로 집속되도록 할 수 있다. 이외에도 다양한 방식으로, 전자기파가 검사 대상 물체에 2차원 또는 3차원으로 집속되도록 경로 변경부 및 구동부를 구현할 수 있다.
스캐닝 렌즈(140)는 경로 변경부(130)로부터 입사되는 전자기파를 검사 대상 물체(150)로 집속시킬 수 있다.
집속 렌즈(160)는 검사대상물체(150)에 형성되는 제 1 라인빔을 따라 연장되어 형성되고, 검사 대상 물체(150)를 투과한 전자기파를 어레이 검출부(170)로 집속시킬 수 있다.
집속 렌즈(160)는 제 1 단면적을 가지는 제 1 개구부(161) 및, 제 2 단면적을 가지는 제 2 개구부(162)를 포함하고, 제 1 개구부(161)는 검사대상물체(150)로부터 투과되는 전자기파가 입사되는 측에 구비되고, 제 2 개구부(162)는 어레이 검출부(170)로 전자기파가 출사되는 측에 구비될 수 있다.
예를 들면, 제 2 단면적은 제 1 단면적과 같거나 작고, 제 2 단면적은 어레이 검출부(170)가 검출할 수 있는 단면적의 크기와 같거나 작을 수 있다. 예를 들면, 제 2 단면적은 제 1 라임빔에 대응되는 면적이고, 제 1 라인빔을 검출할 수 있는 1 라인의 검출부들이 검출할 수 있는 단면적의 크기와 같거나 작을 수 있다. 즉, 위와 같이 구현함으로써, 분해능을 높이기 위해 개구수(NA)를 크게 하면서도 전자기파의 단면적과 어레이 검출부(170)가 검출할 수 있는 단면적 차이로 인해 발생할 수 있는 손실을 방지할 수 있다.
예를 들면, 제 1 개구부(161) 및 제 2 개구부(162)는 일직선 상에 배치되고, 제 1 개구부(161)는 제 2 개구부(162)의 맞은편에 구비될 수 있다.
스캐닝 렌즈(140), 집속 렌즈(160), 및 어레이 검출부(170)는 일직선 상에 배치될 수 있다.
예를 들면, 집속렌즈(160)는 비구면 형상 또는 포물면(parabolic) 형상 등을 가질 수 있다.
검출부(170)는 집속렌즈(160)에 의해 집속된 전자기파를 검출할 수 있고, 어레이 형태로 구성될 수 있다. 예를 들면, 검출부(170)는 전자기파의 세기를 검출할 수 있다.
이동부(미도시)는 경로 변경부(130)와 기계적으로 결합되고, 경로 변경부(130)를 제 1 라임빔에 다른 방향으로 이동시켜 검사 대상 물체(150)에 제 1 라인빔과 다른 방향으로 형성되는 제 2 라인 빔이 형성되도록 할 수 있다.
예를 들면, 경로 변경부(130)는 서로 다른 각도로 틸팅된 복수의 반사면을 포함하고, 회전함에 따라 상기 복수의 반사면에 의해 반사되는 상기 전자기파의 경로를 변경시켜, 상기 검사 대상 물체에 제 1 라인 빔을 형성하는 폴리곤 미러일 수 있다. 이동부(미도시)는 폴리곤 미러와 기계적으로 결합되고, 폴리곤 미러를 이동시켜 복수의 반사면에 의해 반사되는 전자기파의 경로를 변경하여, 검사 대상 물체에 제 1 라인빔과 다른 방향으로 형성되는 제 2 라인 빔을 형성할 수 있다.
도 4 및 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 집속 렌즈 및 어레이 검출부의 사시도 및 측면도이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 집속렌즈(160)는 제 1 단면적을 가지는 제 1 개구부(161) 및 제 2 단면적을 가지는 제 2 개구부(162)를 포함할 수 있다. 예를 들면, 집속렌즈(160)는 비구면 형상 또는 포물면(parabolic) 형상을 가질 수 있다.
예를 들면, 제 1 개구부(161)의 제 1 단면적은 제 2 개구부(162)의 제 2 단면적보다 작을 수 있고, 제 2 개구부(162)의 제 2 단면적은 어레이 검출부(170)가 검출할 수 있는 단면적의 크기보다 작을 수 있다.
도 6은 본 발명의 일 실시예와 관련된 단면적 변환부에 입사되는 전자기파를 설명하기 위한 도면이다.
도 6을 참조하면, 단면적 변환부는 전자기파가 S1과 같이 입사되는 경우로부터 전자기파가 S2와 같이 입사되는 경우까지도, 입사되는 전자기파의 단면적을 변환할 수 있다. 이에, 다른 방식에 비해 광범위한 각도로 입사되는 전자기파에 대해 단면적을 변환할 수 있다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 고효율 투과영상 물체 검사 장치의 2차원 검사를 구체적으로 설명하기 위한 도면이다.
도 1 및 도 7을 참조하면, 고효율 투과영상 물체 검사 장치(700)는 고정부(710), 이동부(720) 및 광학 헤드(730)를 포함할 수 있다.
고정부(710)는 광학 헤드(730) 및 이동부(720)를 고정시킬 수 있는 기구 구조일 수 있다.
광학 헤드(730)는 전자기파 생성부(110), 콜리메이팅부(120), 경로변경부(130) 및, 스캐닝 렌즈(140)를 포함할 수 있다.
이동부(720)는 광학 헤드(730)와 기계적으로 결합되고, 광학 헤드(730)의 경로를 이동시킬 수 있다. 이에, 이동부(720)는 경로 변경부(110)에 의해 검사 대상 물체(150)에 형성되는 제 1 라인 빔(750)과 다른 방향인 제 2 라인 빔(740)이 형성되도록 한다.
집속 렌즈(미도시) 및 어레이 검출부(미도시)는 검사 대상 물체의 하부에 위치하여, 검사 대상 물체를 투과한 전자기파를 검출할 수 있다.
이에, 고효율 투과영상 물체 검사 장치(730)는 제 1 라인 빔(750) 및 제 2 라인빔(740)을 동시에 형성하여 스캔함으로써, 대면적을 고속으로 스캔할 수 있다.
100 : 전자기파를 이용한 투과 검출 장치
110 : 전자기파 생성부
120 : 콜리메이팅부
130 : 경로변경부
140 : 스캐닝 렌즈
150 : 검사 대상 물체
160 : 집속 렌즈
170 : 어레이 검출부
110 : 전자기파 생성부
120 : 콜리메이팅부
130 : 경로변경부
140 : 스캐닝 렌즈
150 : 검사 대상 물체
160 : 집속 렌즈
170 : 어레이 검출부
Claims (17)
- 경로 변경부로부터 입사되며 검사 대상 물체에 제 1 라인빔을 형성하는 전자기파를 검사 대상 물체로 집속시키는 스캐닝 렌즈;
전자기파를 검출하는 어레이 검출부; 및
상기 제 1 라인빔을 따라 연장되어 형성되고, 상기 검사 대상 물체를 투과한 전자기파를 상기 어레이 검출부로 집속시키는 집속렌즈;를 포함하는, 고효율 투과영상 물체 검사 모듈.
- 제 1 항에 있어서,
상기 집속 렌즈는,
제 1 단면적을 가지는 제 1 개구부 및, 제 2 단면적을 가지는 제 2 개구부를 포함하고, 제 1 개구부는 상기 검사대상물체로부터 투과되는 전자기파가 입사되는 측에 구비되고, 제 2 개구부는 상기 어레이 검출부로 전자기파가 출사되는 측에 구비되는, 고효율 투과영상 물체 검사 모듈.
- 제 1 항에 있어서,
상기 집속렌즈는,
비구면 형상 또는 포물면(parabolic) 형상을 가지는, 고효율 투과영상 물체 검사 모듈.
- 제 2 항에 있어서,
상기 제 2 단면적은 상기 제 1 단면적과 같거나 작고, 상기 제 2 단면적은 상기 어레이 검출부가 검출할 수 있는 단면적의 크기와 같거나 작은, 고효율 투과영상 물체 검사 모듈.
- 제 2 항에 있어서,
상기 제 1 개구부 및 상기 제 2 개구부는 일직선 상에 배치되고, 상기 제 1 개구부는 상기 제 2 개구부의 맞은편에 구비되는, 고효율 투과영상 물체 검사 모듈.
- 제 1 항에 있어서,
상기 스캐닝 렌즈, 상기 집속 렌즈, 및 상기 어레이 검출부는 일직선 상에 배치되는, 고효율 투과영상 물체 검사 모듈.
- 입사되는 전자기파의 경로를 변경시키는 경로 변경부;
경로 변경부로부터 입사되는 제 1 스캐닝 방향을 갖는 전자기파를 검사 대상 물체로 집속시키는 스캐닝 렌즈;
전자기파를 검출하는 어레이 검출부; 및
상기 제 1 스캐닝 방향을 따라 연장되어 형성되고, 상기 검사 대상 물체를 투과한 전자기파를 상기 어레이 검출부로 집속시키는 집속렌즈;를 포함하는, 고효율 투과영상 물체 검사 장치.
- 제 7 항에 있어서,
상기 집속 렌즈는,
제 1 단면적을 가지는 제 1 개구부 및, 제 2 단면적을 가지는 제 2 개구부를 포함하고, 제 1 개구부는 상기 검사대상물체로부터 투과되는 전자기파가 입사되는 측에 구비되고, 제 2 개구부는 상기 어레이 검출부로 전자기파가 출사되는 측에 구비되는, 고효율 투과영상 물체 검사 장치.
- 제 7 항에 있어서,
상기 집속렌즈는,
비구면 형상 또는 포물면(parabolic) 형상을 가지는, 고효율 투과영상 물체 검사 장치.
- 제 8 항에 있어서,
상기 제 2 단면적은 상기 제 1 단면적과 같거나 작고, 상기 제 2 단면적은 상기 어레이 검출부가 검출할 수 있는 단면적의 크기와 같거나 작은, 고효율 투과영상 물체 검사 장치.
- 제 8 항에 있어서,
상기 제 1 개구부 및 상기 제 2 개구부는 일직선 상에 배치되고, 상기 제 1 개구부는 상기 제 2 개구부의 맞은편에 구비되는, 고효율 투과영상 물체 검사 장치.
- 제 7 항에 있어서,
상기 스캐닝 렌즈, 상기 집속 렌즈, 및 상기 어레이 검출부는 일직선 상에 배치되는, 고효율 투과영상 물체 검사 장치.
- 제 7 항에 있어서,
전자기파를 생성하는 상기 경로 변경부로 입사시키는 전자기파 생성부를 더 포함하는, 고효율 투과영상 물체 검사 장치.
- 제 13 항에 있어서,
상기 전자기파 생성부로부터 입사된 전자기파를 평행하게 형성하여 상기 경로 변경부로 입사시키는 콜리메이팅부를 더 포함하는, 고효율 투과영상 물체 검사 장치.
- 제 7 항에 있어서,
상기 경로 변경부와 기계적으로 결합되고, 상기 경로 변경부를 상기 제 1 라임빔에 다른 방향으로 이동시켜 상기 검사 대상 물체에 상기 제 1 라인빔과 다른 방향으로 형성되는 제 2 라인 빔이 형성되도록 하는 이동부를 더 포함하는, 고효율 투과영상 물체 검사 장치.
- 제 15 항에 있어서,
상기 경로 변경부는,
서로 다른 각도로 틸팅된 복수의 반사면을 포함하고, 회전함에 따라 상기 복수의 반사면에 의해 반사되는 상기 전자기파의 경로를 변경시켜, 상기 검사 대상 물체에 제 1 라인 빔을 형성하는 폴리곤 미러인, 고효율 투과영상 물체 검사 장치.
- 제 16 항에 있어서,
상기 이동부는,
상기 폴리곤 미러와 기계적으로 결합되고, 상기 폴리곤 미러를 이동시켜 복수의 반사면에 의해 반사되는 상기 전자기파의 경로를 변경하여, 상기 검사 대상 물체에 상기 제 1 라인빔과 다른 방향으로 형성되는 제 2 라인 빔을 형성하는, 고효율 투과영상 물체 검사 장치.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020180077781A KR102069299B1 (ko) | 2018-07-04 | 2018-07-04 | 고효율 투과영상 물체검사모듈 및 물체검사장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020180077781A KR102069299B1 (ko) | 2018-07-04 | 2018-07-04 | 고효율 투과영상 물체검사모듈 및 물체검사장치 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20200004644A true KR20200004644A (ko) | 2020-01-14 |
| KR102069299B1 KR102069299B1 (ko) | 2020-01-22 |
Family
ID=69152948
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020180077781A KR102069299B1 (ko) | 2018-07-04 | 2018-07-04 | 고효율 투과영상 물체검사모듈 및 물체검사장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR102069299B1 (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114166791A (zh) * | 2021-08-12 | 2022-03-11 | 博微太赫兹信息科技有限公司 | 一种用于生物医学成像的太赫兹时域光谱探头装置及时域光谱仪 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20140130250A (ko) * | 2013-04-29 | 2014-11-10 | 한국식품연구원 | 스캐닝 모듈 및 베셀빔을 이용한 검출 장치 |
| KR20150010852A (ko) * | 2013-07-19 | 2015-01-29 | 한국식품연구원 | 검출용 프로브 및 프로브형 검출 장치 |
| KR20160002137A (ko) * | 2014-06-30 | 2016-01-07 | 한국식품연구원 | 폴리곤 미러 어셈블리 및 폴리곤 미러 어셈블리를 이용한 검출 장치 |
| KR20170034017A (ko) * | 2015-09-18 | 2017-03-28 | 한국식품연구원 | 전자기파 변환 모듈 및 전자기파의 투과 검출 장치 |
| KR20170049904A (ko) * | 2015-10-29 | 2017-05-11 | 한국식품연구원 | 전자기파 검출 모듈 및 전자기파를 이용한 투과 검출 장치 |
-
2018
- 2018-07-04 KR KR1020180077781A patent/KR102069299B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20140130250A (ko) * | 2013-04-29 | 2014-11-10 | 한국식품연구원 | 스캐닝 모듈 및 베셀빔을 이용한 검출 장치 |
| KR20150010852A (ko) * | 2013-07-19 | 2015-01-29 | 한국식품연구원 | 검출용 프로브 및 프로브형 검출 장치 |
| KR20160002137A (ko) * | 2014-06-30 | 2016-01-07 | 한국식품연구원 | 폴리곤 미러 어셈블리 및 폴리곤 미러 어셈블리를 이용한 검출 장치 |
| KR20170034017A (ko) * | 2015-09-18 | 2017-03-28 | 한국식품연구원 | 전자기파 변환 모듈 및 전자기파의 투과 검출 장치 |
| KR20170049904A (ko) * | 2015-10-29 | 2017-05-11 | 한국식품연구원 | 전자기파 검출 모듈 및 전자기파를 이용한 투과 검출 장치 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114166791A (zh) * | 2021-08-12 | 2022-03-11 | 博微太赫兹信息科技有限公司 | 一种用于生物医学成像的太赫兹时域光谱探头装置及时域光谱仪 |
| CN114166791B (zh) * | 2021-08-12 | 2024-03-19 | 博微太赫兹信息科技有限公司 | 生物医学成像用太赫兹时域光谱探头装置及时域光谱仪 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR102069299B1 (ko) | 2020-01-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5367298B2 (ja) | ビーム走査式画像生成装置 | |
| US8081299B2 (en) | Distance measuring apparatus | |
| KR101316568B1 (ko) | 테라파를 이용한 고 분해능 물체 검사 장치 | |
| CN106291580A (zh) | 激光雷达成像系统 | |
| US9204063B2 (en) | Electromagnetic wave imaging apparatus | |
| US11137483B2 (en) | Light scanner | |
| JP2007538243A (ja) | 試料を調査するための装置及び方法 | |
| KR101350976B1 (ko) | 온도분포 측정장치 | |
| KR102043881B1 (ko) | 대면적 고속 물체 검사 장치 | |
| KR20200031680A (ko) | 전자파 검출 장치, 기록매체, 및 전자파 검출 시스템 | |
| WO2005019810A2 (en) | Thz investigative systems, focussing members for thz investigative systems, and a scanning probe | |
| KR102069299B1 (ko) | 고효율 투과영상 물체검사모듈 및 물체검사장치 | |
| KR102328368B1 (ko) | 전자기파 검출 모듈 및 전자기파를 이용한 투과 검출 장치 | |
| KR102043880B1 (ko) | 고분해능 검사 장치용 광헤드 및 링빔을 이용한 고분해능 검사 장치 | |
| US5033845A (en) | Multi-direction distance measuring method and apparatus | |
| CN111175721B (zh) | Lidar传感器和用于lidar传感器的方法 | |
| KR20080111962A (ko) | 표면 측정 장치 | |
| KR102348914B1 (ko) | 전자기파 변환 모듈 및 전자기파의 투과 검출 장치 | |
| KR100878425B1 (ko) | 표면 측정 장치 | |
| US7528940B2 (en) | System and method for inspecting an object using an acousto-optic device | |
| CN112965045A (zh) | 一种大视场角的紧凑型固态激光雷达 | |
| JP2021110698A (ja) | 光学式三次元形状測定装置 | |
| CN113126107A (zh) | 一种扫描激光雷达 | |
| KR101738393B1 (ko) | 테라헤르츠파 베셀빔을 이용한 고분해능 테라헤르츠파 집광모듈 | |
| KR20230107917A (ko) | 테라헤르츠 광학 장치 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| E90F | Notification of reason for final refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant |