KR102348914B1 - 전자기파 변환 모듈 및 전자기파의 투과 검출 장치 - Google Patents

전자기파 변환 모듈 및 전자기파의 투과 검출 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명의 일 실시예와 관련된 전자기파 변환 모듈은 경로 변경부로부터 입사되는 전자기파를 검사 대상 물체로 집속시키는 스캐닝 렌즈 및 상기 검사 대상 물체를 투과한 전자기파의 단면적의 크기를, 검출부가 검출할 수 있는 단면적의 크기와 같거나 작게 변환시키는 단면적 변환부;를 포함한다.

Description

전자기파 변환 모듈 및 전자기파의 투과 검출 장치{MODULE FOR CONVERTING ELECTROMAGNETIC WAVE AND, APPARATUS FOR DETECTING TRANSMISSION OF ELECTROMAGNETIC WAVE}
본 발명은 전자기파를 이용한 비파괴적인 방법으로 높은 검출 분해능과 높은 신호대 잡음비(SNR)를 갖는 전자기파를 이용한 투과 검출 장치에 관한 것이다.
종래, 높은 분해능을 얻기 위해 개구수(NA)가 큰 전자기파를 이용하는 경우, 검사 대상 물체를 투과한 전자기파가 검출부에 모두 집광되지 않는 문제점이 있다. 즉, 분해능을 높이기 위해 개구수(NA)를 크게 하려면 대물렌즈에서 전자기파의 단면적이 커지게 된다. 이에 전자기파가 검사 대상 물체에 집속되었다 하더라도, 전자기파의 단면적이 커짐에 따라 검사 대상 물체를 통과한 모든 전자기파가 검출부에 모두 집광되지 않아 집광 효율(Collection Efficiency)이 떨어지는 문제점이 있다. 이에, 전자기파 중 일부만이 검출부에 집광되므로('손실이 발생하므로'), 전체적인 신호 대 잡음비(SNR)가 낮아지는 문제점이 있다.
이에, 이러한 문제점을 해결하기 위해, 분해능을 높이기 위해 개구수(NA)를 크게 하면서도 검사 대상 물체를 통과한 모든 전자기파가 검출부로 집광시킬 수 있는 기술에 대한 개발이 필요하다.
본 기술과 관련된 내용을 포함하는 특허로는 한국등록특허 10-1365261가 있다.
검사 대상 물체를 통과한 전자기파의 단면적으로 변환함으로써, 검사 대상 물체를 통과한 전자기파의 집광효율을 높이는 기술을 제공하고자 한다.
본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기의 설명에 의해서 이해될 수 있으며, 본 발명의 실시예에 의해 보다 분명하게 알게 될 것이다. 또한, 본 발명의 목적 및 장점들은 특허 청구 범위에 나타낸 수단 및 그 조합에 의해 실현될 수 있음을 쉽게 알 수 있을 것이다.
본 발명의 일 실시예와 관련된 전자기파 변환 모듈은 경로 변경부로부터 입사되는 전자기파를 검사 대상 물체로 집속시키는 스캐닝 렌즈 및 상기 검사 대상 물체를 투과한 전자기파의 단면적의 크기를, 검출부가 검출할 수 있는 단면적의 크기와 같거나 작게 변환시키는 단면적 변환부;를 포함한다.
전자기파 변환 모듈은 상기 검사 대상 물체를 투과한 전자기파를 단면적 변환부로 집속시키는 집속 렌즈를 더 포함하고, 단면적 변환부는 상기 집속 렌즈로부터 입사되는 전자기파의 단면적의 크기를, 검출부가 검출할 수 있는 단면적의 크기와 같거나 작게 변환시킨다.
스캐닝 렌즈 및 집속 렌즈는 대칭형 렌즈이다.
단면적 변환부는 제 1 단면적을 가지는 제 1 개구부 및, 제 2 단면적을 가지는 제 2 개구부를 포함하고, 제 1 개구부는 상기 집속 렌즈로부터 입사되는 전자기파가 입사되는 측에 구비되고, 제 2 개구부는 상기 집속 렌즈로부터 입사되는 전자기파가 출사되는 측에 구비한다.
단면적 변환부는 포물면(parabolic) 형상을 가진다.
제 2 단면적은 상기 제 1 단면적과 같거나 작고, 상기 제 2 단면적은 상기 검출부가 검출할 수 있는 단면적의 크기와 같거나 작다.
상기 제 1 개구부 및 상기 제 2 개구부는 일직선 상에 배치되고, 상기 제 1 개구부는 상기 제 2 개구부의 맞은편에 구비된다.
스캐닝 렌즈, 집속 렌즈, 단면적 변환부 및 검출부는 일직선 상에 배치된다.
본 발명의 또 다른 일실시예에 따른 전자기파를 이용한 투과 검출 장치는 입사되는 전자기파의 경로를 변경시키는 경로 변경부와, 상기 경로 변경부로부터 입사되는 전자기파를 검사 대상 물체로 집속시키는 스캐닝 렌즈와, 상기 검사 대상 물체를 투과한 전자기파의 단면적의 크기를, 검출부가 검출할 수 있는 단면적의 크기와 같거나 작게 변환시키는 단면적 변환부 및 상기 단면적 변환부에 의해 단면적이 변환된 전자기파를 검출하는 검출부를 포함한다.
전자기파를 이용한 투과 검출 장치는 상기 검사 대상 물체를 투과한 전자기파를 단면적 변환부로 집속시키는 집속 렌즈를 더 포함하고, 단면적 변환부는 상기 집속 렌즈로부터 입사되는 전자기파의 단면적의 크기를, 검출부가 검출할 수 있는 단면적의 크기와 같거나 작게 변환시킬 수 있다.
스캐닝 렌즈 및 집속 렌즈는 대칭형 렌즈이다.
단면적 변환부는 제 1 단면적을 가지는 제 1 개구부 및, 제 2 단면적을 가지는 제 2 개구부를 포함하고, 제 1 개구부는 상기 집속 렌즈로부터 입사되는 전자기파가 입사되는 측에 구비되고, 제 2 개구부는 상기 집속 렌즈로부터 입사되는 전자기파가 출사되는 측에 구비된다.
단면적 변환부는 포물면(parabolic) 형상을 가진다.
제 2 단면적은 상기 제 1 단면적과 같거나 작고, 제 2 단면적은 상기 검출부가 검출할 수 있는 단면적의 크기와 같거나 작을 수 있다.
상기 제 1 개구부 및 상기 제 2 개구부는 일직선 상에 배치되고, 상기 제 1 개구부는 상기 제 2 개구부의 맞은편에 구비된다.
단면적 변환부는 제 1 단면적을 가지는 제 1 개구부 및, 제 2 단면적을 가지는 제 2 개구부를 포함하는 제 1 단면적 변환부 및 제 3 단면적을 가지는 제 3 개구부 및, 제 4 단면적을 가지는 제 4 개구부를 포함하는 제 2 단면적 변환부를 포함한다.
제 2 단면적은 상기 제 1 단면적보다 작고, 상기 제 2 단면적은 상기 제 3 단면적과 같거나 작고, 제 4 단면적은 제 3 단면적보다 작고, 상기 제 4 단면적은 상기 검출부가 검출할 수 있는 단면적의 크기와 같거나 작다.
제 1 개구부, 제 2 개구부, 제 3 개구부 및 제 4 개구부는 일직선상에 배치된다.
스캐닝 렌즈, 집속 렌즈, 단면적 변환부 및 검출부는 일직선 상에 배치된다.
전자기파를 이용한 투과 검출 장치는 전자기파 생성부로부터 입사된 전자기파를 평행하게 형성하여 상기 경로 변경부로 입사시키는 콜리메이팅부를 더 포함한다.
개시된 발명에 따르면, 검사 대상 물체를 투과한 전자기파가 모두 검출부로 입사될 수 있도록 단면적을 변환시키는 단면적 변환부를 사용함으로써, 전자기파의 손실을 방지할 수 있다.
또한, 집속렌즈와 검출기의 거리가 먼 경우에 서로다른 단면적을 갖는 개구부를 포함하는 단면적 변환부들을 연속적으로 배치함으로써, 집속 렌즈와 검출기의 거리가 먼 경우에도 전자기파의 단면적을 효율적으로 변환시킬 수 있다.
도 1, 도 2 및 도 3은 본 발명의 일 실시예와 관련된 전자기파 변환 모듈 및 전자기파를 이용한 투과 검출 장치에 대한 블록 구성도(block diagram)이다.
도 4는 본 발명의 또 다른 일 실시예와 관련된 전자기파 변환 모듈 및 전자기파를 이용한 투과 검출 장치에 대한 블록 구성도(block diagram)이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예와 관련된 단면적 변환부를 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예와 관련된 단면적 변환부에 입사되는 전자기파를 설명하기 위한 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 발명을 실시하기 위한 구체적인 내용에 대하여 상세하게 설명한다.
도 1, 도 2 및 도 3은 본 발명의 일 실시예와 관련된 전자기파 변환 모듈 및 전자기파를 이용한 투과 검출 장치에 대한 블록 구성도(block diagram)이다.
도 1, 도 2 및 도 3을 참조하면, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치(100)는 전자기파 생성부(110), 콜리메이팅부(120), 경로변경부(130), 스캐닝 렌즈(140), 검사 대상 물체(150), 집속 렌즈(160), 단면적 변환부(170) 및, 검출부(180)를 포함한다. 전자기파 변환 모듈은 스캐닝 렌즈(140), 검사 대상 물체(150) 및, 단면적 변환부(170)로 구성되거나, 전자기파 변환 모듈은 스캐닝 렌즈(140), 검사 대상 물체(150), 집속 렌즈(160) 및, 단면적 변환부(170)를 포함할 수 있다.
전자기파 생성부(110)는 전자기파를 발생시킬 수 있는 다양한 형태의 장치일 수 있다. 예를 들면, 전자기파 생성부(110)는 밀리미터파나 테라파를 발생시킬 수 있다. 밀리미터파란 초고주파(extremely high frequency)영역의 전자기파로 바람직하게는, 30GHz에서 300GHz대역의 진동수를 가진다. 테라파란 테라헤르츠(terahertz) 영역의 전자기파를 의미하는 것으로, 바람직하게는, 0.1THz 내지 10THz의 진동수를 가질 수 있다. 다만, 이러한 범위를 다소 벗어난다 하더라도, 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자가 용이하게 생각해낼 수 있는 범위라면, 본 발명에서의 테라파로 인정될 수 있음은 물론이다.
콜리메이팅부(120)는 전자기파 생성부(110)로부터 입사된 전자기파를 평행하게 형성할 수 있다. 평행하게 형성된 전자기파는 경로 변경부(130)로 입사된다.
경로변경부(130)는 입사되는 전자기파의 경로를 변경시킬 수 있다. 경로 변경부(130)에 의해 경로가 변경된 전자기파는 스캐닝 렌즈(140)로 입사된다.
예를 들면, 경로 변경부(130)는 입사되는 전자기파의 경로를 변경하기 위한 반사면을 포함할 수 있다. 반사면은 입사되는 전자기파를 반사시켜 스캐닝 렌즈(140)로 입사시킬 수 있다.
예를 들면, 경로 변경부(130)는 폴리곤 미러와 같은 장치 일 수 있다. 경로 변경부(130)는 2개의 경로 변경부가 구비되어, 전자기파가 검사 대상 물체에 2차원으로 주사되면서(scanning) 집속되도록 할 수 있다.
경로변경부(130)는 위치를 변경시킬 수 있는 구동부(미도시)와 기계적으로 결합될 수 있다. 구동부(미도시)는 경로 변경부(130)를 이동시켜 전자기파의 경로를 조절할 수 있다. 예를 들면, 구동부(미도시)가 회전 운동을 하는 경우, 구동부(미도시)가 회전 운동함에 따라 경로 변경부(130)가 회전될 수 있다. 도 1 내지 도 3에서는 구동부(미도시)가 경로 변경부(130)를 점점 왼쪽으로 회전시키는 경우를 기준으로 도시하였다. 경로 변경부(130)가 왼쪽으로 회전됨에 따라, 스캐닝 렌즈(140)로 입사되는 전자기파가 스캐닝 렌즈(140) 기준으로 왼쪽에서 오른쪽으로 이동하게 된다.
또 다른 예를 들면, 구동부(미도시)는 서로 다른 축방향으로 구동되는 2개의 엑츄에이터로 구현되거나 1개의 2축 엑츄에이터로 구현되어, 전자기파가 검사 대상 물체에 2차원으로 주사되면서(scanning) 집속되도록 할 수 있다. 이외에도 다양한 방식으로, 전자기파가 검사 대상 물체에 2차원 또는 3차원으로 집속되도록 경로 변경부 및 구동부를 구현할 수 있다.
스캐닝 렌즈(140)는 경로 변경부(130)로부터 입사되는 전자기파를 검사 대상 물체(150)로 집속시킬 수 있다.
집속 렌즈(160)는 검사 대상 물체(150)를 투과한 전자기파를 단면적 변환부(170)로 집속시킬 수 있다. 집속 렌즈(160)는 스캐닝 렌즈(140)와 대칭으로 배치되는 대칭형 렌즈일 수 있다. 따라서, 검사 대상 물체(150)를 기준으로 스캐닝 렌즈(140)로 입사되어 투과되는 전자기파의 각도와 집속 렌즈(150)로 입사되어 투과되는 전자기파의 각도는 동일할 수 있다.
단면적 변환부(170)는 입사되는 전자기파의 단면적을 작게 변환할 수 있다.
스캐닝 렌즈(140)만을 포함한 경우를 기준으로 예를 들면, 단면적 변환부(170)는 검사 대상 물체(150)를 투과한 전자기파의 단면적의 크기를 검출부(180)가 검출할 수 있는 단면적의 크기와 같거나 작게 변환시킬 수 있다.
스캐닝 렌즈(140) 및 집속 렌즈(160)를 모두 포함한 경우를 기준으로 예를 들면, 단면적 변환부(170)는 집속 렌즈(160)로부터 입사되는 전자기파의 단면적의 크기를 검출부(180)가 검출할 수 있는 단면적의 크기와 같거나 작게 변환시킬 수 있다.
단면적 변환부(170)는 제 1 단면적을 가지는 제 1 개구부(171) 및 제 2 단면적을 가지는 제 2 개구부(172)를 포함할 수 있다. 제 1 개구부(171)는 집속 렌즈(140)로부터 입사되는 전자기파가 입사되는 측에 구비되고, 제 2 개구부(172)는 집속 렌즈(140)로부터 입사되는 전자기파가 출사되는 측에 구비될 수 있다.
예를 들면, 제 1 개구부(171) 및 제 2 개구부(172)는 일직선 상에 배치될 수 있고, 제 1 개구부(171)는 제 2 개구부(172)의 맞은편에 구비될 수 있다.
예를 들면, 제 2 개구부(172)의 제 2 단면적은 제 1 개구부(171)의 제 1 단면적과 같거나 작을 수 있고, 제 2 개구부(172)의 제 2 단면적은 검출부(180)가 검출할 수 있는 단면적의 크기보다 작을 수 있다. 이와 같이 단면적의 크기를 구현함으로써, 단면적 변환부(170)에 입사되는 전자기파가 모두 검출부(180)로 입사되도록 할 수 있다. 따라서, 검사 대상 물체(150)를 통과한 전자기파의 단면적이 검출부(180)가 검출할 수 있는 단면적보다 커서, 검출부(180)가 모든 전자기파 검출하지 못하여 발생하는 손실을 방지할 수 있다. 즉, 위와 같이 구현함으로써, 분해능을 높이기 위해 개구수(NA)를 크게 하면서도 전자기파의 단면적과 검출부(180)가 검출할 수 있는 단면적 차이로 인해 발생할 수 있는 손실을 방지할 수 있다.
검출부(180)는 단면적 변환부(170)에 의해 단면적이 변환된 전자기파를 검출할 수 있다. 예를 들면, 검출부(180)는 전자기파의 세기를 검출할 수 있다.
스캐닝 렌즈(140), 집속 렌즈(160), 단면적 변환부(170) 및 검출부(180)는 일직선 상에 배치될 수 있다.
전자기파를 이용한 투과 검출 장치는 검사 대상 물체를 투과한 전자기파가 모두 검출부로 입사될 수 있도록 단면적을 변환시키는 단면적 변환부를 사용함으로써, 전자기파의 손실을 방지할 수 있다.
도 4는 본 발명의 또 다른 일 실시예와 관련된 전자기파 변환 모듈 및 전자기파를 이용한 투과 검출 장치에 대한 블록 구성도(block diagram)이다.
도 4를 참조하면, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치(200)는 전자기파 생성부(210), 콜리메이팅부(220), 경로변경부(230), 스캐닝 렌즈(240), 검사 대상 물체(250), 집속 렌즈(260), 제 1 단면적 변환부(270), 제 2 단면적 변환부(280) 및, 검출부(290)를 포함한다. 전자기파 변환 모듈은 스캐닝 렌즈(240), 검사 대상 물체(250), 제 1 단면적 변환부(270) 및 제 2 단면적 변환부(280)로 구성되거나, 전자기파 변환 모듈은 스캐닝 렌즈(240), 검사 대상 물체(250), 집속 렌즈(260), 제 1 단면적 변환부(270) 및, 제 2 단면적 변환부(280)를 포함할 수 있다.
전자기파 생성부(210)는 전자기파를 발생시킬 수 있는 다양한 형태의 장치일 수 있다. 예를 들면, 전자기파 생성부(210)는 밀리미터파나 테라파를 발생시킬 수 있다. 밀리미터파란 초고주파(extremely high frequency)영역의 전자기파로 바람직하게는, 30GHz에서 300GHz대역의 진동수를 가진다. 테라파란 테라헤르츠(terahertz) 영역의 전자기파를 의미하는 것으로, 바람직하게는, 0.1THz 내지 10THz의 진동수를 가질 수 있다. 다만, 이러한 범위를 다소 벗어난다 하더라도, 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자가 용이하게 생각해낼 수 있는 범위라면, 본 발명에서의 테라파로 인정될 수 있음은 물론이다.
콜리메이팅부(220)는 전자기파 생성부(210)로부터 입사된 전자기파를 평행하게 형성할 수 있다. 평행하게 형성된 전자기파는 경로 변경부(230)로 입사된다.
경로변경부(230)는 입사되는 전자기파의 경로를 변경시킬 수 있다. 경로 변경부(230)에 의해 경로가 변경된 전자기파는 스캐닝 렌즈(240)로 입사된다.
예를 들면, 경로 변경부(230)는 입사되는 전자기파의 경로를 변경하기 위한 반사면을 포함할 수 있다. 반사면은 입사되는 전자기파를 반사시켜 스캐닝 렌즈(240)로 입사시킬 수 있다.
예를 들면, 경로 변경부(230)는 폴리곤 미러와 같은 장치 일 수 있다.
경로변경부(230)는 위치를 변경시킬 수 있는 구동부(미도시)와 기계적으로 결합될 수 있다. 구동부(미도시)는 경로 변경부(230)를 이동시켜 전자기파의 경로를 조절할 수 있다. 예를 들면, 구동부(미도시)가 회전 운동을 하는 경우, 구동부(미도시)가 회전 운동함에 따라 경로 변경부(230)가 회전될 수 있다.
스캐닝 렌즈(240)는 경로 변경부(230)로부터 입사되는 전자기파를 검사 대상 물체(150)로 집속시킬 수 있다.
집속 렌즈(260)는 검사 대상 물체(250)를 투과한 전자기파를 제 1 단면적 변환부(270)로 집속시킬 수 있다. 집속 렌즈(260)는 스캐닝 렌즈(240)와 대칭으로 배치되는 대칭형 렌즈일 수 있다. 따라서, 검사 대상 물체(250)를 기준으로 스캐닝 렌즈(240)로 입사되어 투과되는 전자기파의 각도와 집속 렌즈(250)로 입사되어 투과되는 전자기파의 각도는 동일할 수 있다.
제 1 단면적 변환부(270) 및 제 2 단면적 변환부(280)는 입사되는 전자기파의 단면적을 작게 변환할 수 있다.
제 1 단면적 변환부(270)는 제 1 단면적을 가지는 제 1 개구부(271) 및, 제 2 단면적을 가지는 제 2 개구부(272)를 포함할 수 있다.
제 2 단면적 변환부(280)는 제 3 단면적을 가지는 제 3 개구부(281) 및, 제 4 단면적을 가지는 제 4 개구부(282)를 포함할 수 있다.
제 2 개구부(272)의 제 2 단면적은 제 1 개구부(271)의 제 1 단면적보다 작을 수 있다. 제 2 개구부(272)의 제 2 단면적은 제 3 개구부(281)의 제 3 단면적과 같거나 작을 수 있다. 제 4 개구부(282)의 제 4 단면적은 제 3 개구부(381)의 제 3 단면적보다 작을 수 있다. 제 4 개구부(282)의 제 4 단면적은 검출부(290)가 검출할 수 있는 단면적의 크기와 같거나 작을 수 있다.
스캐닝 렌즈(240)만을 포함한 경우를 기준으로 예를 들면, 제 1 단면적 변환부(270)는 검사 대상 물체(250)를 투과한 전자기파의 단면적의 크기를 제 2 단면적 변환부(280)의 제 3 개구부(281)의 제 3 단면적의 크기와 동일하거나 작게 변환시킬 수 있다. 제 2 단면적 변환부(280)는 제 1 단면적 변환부(270)로부터 입사된 전자기파의 단면적의 크기를 검출부(180)가 검출할 수 있는 단면적의 크기와 같거나 작게 변환시킬 수 있다.
스캐닝 렌즈(240) 및 집속 렌즈(260)를 모두 포함한 경우를 기준으로 예를 들면, 제 1 단면적 변환부(270)는 집속 렌즈(260)로부터 입사된 전자기파의 단면적의 크기를 제 2 단면적 변환부(280)의 제 3 개구부(281)의 제 3 단면적의 크기와 동일하거나 작게 변환시킬 수 있다. 제 2 단면적 변환부(280)는 제 1 단면적 변환부(270)로부터 입사된 전자기파의 단면적의 크기를 검출부(180)가 검출할 수 있는 단면적의 크기와 같거나 작게 변환시킬 수 있다.
예를 들면, 제 1 개구부(271), 제 2 개구부(272), 제 3 개구부(273) 및 제 4 개구부(274)는 일직선상에 배치될 수 있고, 제 1 개구부(271)는 제 2 개구부(272)의 맞은편에 구비될 수 있으며, 제 3 개구부(273)는 제 4 개구부(274)의 맞은편에 구비될 수 있다.
검출부(290)는 제 2 단면적 변환부(280)에 의해 단면적이 변환된 전자기파를 검출할 수 있다. 예를 들면, 검출부(290)는 전자기파의 세기를 검출할 수 있다.
전자기파를 이용한 투과 검출 장치는 집속렌즈와 검출기의 거리가 먼 경우에 서로다른 단면적을 갖는 개구부를 포함하는 단면적 변환부들을 연속적으로 배치함으로써, 집속 렌즈와 검출기의 거리가 먼 경우에도 전자기파의 단면적을 효율적으로 변환시킬 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예와 관련된 단면적 변환부를 설명하기 위한 도면이다.
도 5를 참조하면, 단면적 변환부는 제 1 단면적을 가지는 제 1 개구부(510) 및 제 2 단면적을 가지는 제 2 개구부(520)를 포함할 수 있다. 예를 들면, 단면적 변환부는 포물면(parabolic) 형상을 가질 수 있다.
예를 들면, 제 1 개구부(510)의 제 1 단면적은 제 2 개구부(520)의 제 2 단면적보다 작을 수 있고, 제 2 개구부(172)의 제 2 단면적은 검출부(180)가 검출할 수 있는 단면적의 크기보다 작을 수 있다.
도 6은 본 발명의 일 실시예와 관련된 단면적 변환부에 입사되는 전자기파를 설명하기 위한 도면이다.
도 6을 참조하면, 단면적 변환부는 전자기파가 S1과 같이 입사되는 경우로부터 전자기파가 S2와 같이 입사되는 경우까지도, 입사되는 전자기파의 단면적을 변환할 수 있다. 이에, 다른 방식에 비해 광범위한 각도로 입사되는 전자기파에 대해 단면적을 변환할 수 있다.
100 : 전자기파를 이용한 투과 검출 장치
110 : 전자기파 생성부
120 : 콜리메이팅부
130 : 경로변경부
140 : 스캐닝 렌즈
150 : 검사 대상 물체
160 : 집속 렌즈
170 : 단면적 변환부
180 : 검출부

Claims (20)

  1. 경로 변경부로부터 입사되는 전자기파를 검사 대상 물체로 집속시키는 스캐닝 렌즈;
    상기 검사 대상 물체를 투과한 전자기파를 단면적 변환부로 집속시키는 집속렌즈를 포함하되, 상기 스캐닝 렌즈 및 상기 집속 렌즈는 상기 검사 대상 물체를 기준으로 대칭으로 배치되는 대칭형 렌즈이고, 상기 검사 대상 물체를 기준으로 상기 스캐닝 렌즈로 입사되어 투과되는 전자기파의 각도와 상기 집속 렌즈로 입사되어 투과되는 전자기파의 각도가 동일하며,
    상기 집속 렌즈로부터 입사되는 전자기파의 단면적의 크기를 검출부가 검출할 수 있는 단면적의 크기와 같거나 작게 변환시키는 단면적 변환부;를 포함하는 전자기파 변환 모듈.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 단면적 변환부는,
    제 1 단면적을 가지는 제 1 개구부와 제 2 단면적을 가지는 제 2 개구부를 포함하는 제 1 단면적 변환부 및 제 3 단면적을 가지는 제 3 개구부와 제 4 단면적을 가지는 제 4 개구부를 포함하는 제 2 단면적 변환부를 포함하고, 상기 제 1 개구부는 상기 집속 렌즈로부터 입사되는 전자기파가 입사되는 측에 구비되고, 제 4 개구부는 상기 집속 렌즈로부터 입사되는 전자기파가 출사되는 측에 구비되고, 상기 제 2 단면적은 상기 제 1 단면적보다 작고, 상기 제 2 단면적은 상기 제 3 단면적과 같거나 작고, 제 4 단면적은 제 3 단면적보다 작고, 상기 제 4 단면적은 검출부가 검출할 수 있는 단면적의 크기와 같거나 작고, 제 1 개구부, 제 2 개구부, 제 3 개구부 및 제 4 개구부는 일직선상에 배치되는, 전자기파 변환 모듈.
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  9. 경로 변경부로부터 입사되는 전자기파를 검사 대상 물체로 집속시키는 스캐닝 렌즈;
    상기 검사 대상 물체를 투과한 전자기파를 단면적 변환부로 집속시키는 집속렌즈를 포함하되, 상기 스캐닝 렌즈 및 상기 집속 렌즈는 상기 검사 대상 물체를 기준으로 대칭으로 배치되는 대칭형 렌즈이고, 상기 검사 대상 물체를 기준으로 상기 스캐닝 렌즈로 입사되어 투과되는 전자기파의 각도와 상기 집속 렌즈로 입사되어 투과되는 전자기파의 각도가 동일하며,
    상기 집속 렌즈로부터 입사되는 전자기파의 단면적의 크기를 검출부가 검출할 수 있는 단면적의 크기와 같거나 작게 변환시키는 단면적 변환부; 및
    상기 단면적 변환부에 의해 단면적이 변환된 전자기파를 검출하는 검출부를 포함하는, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    제 1 단면적을 가지는 제 1 개구부와 제 2 단면적을 가지는 제 2 개구부를 포함하는 제 1 단면적 변환부 및 제 3 단면적을 가지는 제 3 개구부와 제 4 단면적을 가지는 제 4 개구부를 포함하는 제 2 단면적 변환부를 포함하고, 상기 제 1 개구부는 상기 집속 렌즈로부터 입사되는 전자기파가 입사되는 측에 구비되고, 제 4 개구부는 상기 집속 렌즈로부터 입사되는 전자기파가 출사되는 측에 구비되고, 상기 제 2 단면적은 상기 제 1 단면적보다 작고, 상기 제 2 단면적은 상기 제 3 단면적과 같거나 작고, 제 4 단면적은 제 3 단면적보다 작고, 상기 제 4 단면적은 검출부가 검출할 수 있는 단면적의 크기와 같거나 작고, 제 1 개구부, 제 2 개구부, 제 3 개구부 및 제 4 개구부는 일직선상에 배치되는, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치.
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  20. 제 9 항에 있어서,
    전자기파 생성부로부터 입사된 전자기파를 평행하게 형성하여 상기 경로 변경부로 입사시키는 콜리메이팅부를 더 포함하는, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치.
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