KR20200001276U

KR20200001276U - Water Spray Module

Info

Publication number: KR20200001276U
Application number: KR2020190001991U
Authority: KR
Inventors: 뤼홍투; 린준따
Original assignee: 토파펙스 옵트로닉스 테크놀로지 컴퍼니 리미티드
Priority date: 2018-12-07
Filing date: 2019-05-16
Publication date: 2020-06-17
Also published as: KR20210001471U; CN209886922U; TWM577351U

Abstract

본 고안은 기판 가공에 적용되는 분사 모듈을 개시하며, 수용 공간을 형성하고, 입력부와 출력부를 구비하되, 입력부와 출력부가 수용 공간을 통해 연통되고, 출력부에 그루브가 형성되는 베이스; 출력부에 설치되고, 기체의 유동 경로를 제공하는 제1 관로; 및 입력부에 설치되고, 액체의 유동 경로를 제공하는 제2 관로를 포함한다. 여기서, 출력부의 그루브에서, 제1 관로의 끝단은 제2 관로을 끝단을 커버하여, 제1 관로가 기체를 출력하고 제2 관로가 액체를 출력할 경우, 출력부가 스프레이를 출력한다.The present invention discloses a spray module applied to substrate processing, forming a receiving space, having an input unit and an output unit, the input unit and the output unit communicating through the receiving space, and a groove formed in the output unit; A first conduit installed on the output and providing a flow path of the gas; And a second conduit installed on the input and providing a flow path for the liquid. Here, in the groove of the output unit, the end of the first conduit covers the end of the second conduit, and when the first conduit outputs gas and the second conduit outputs liquid, the output outputs a spray.

Description

Spray module {Water Spray Module}

본 고안은 기판 가공의 기술 분야에 관한 것으로, 특히 기판 가공 시스템에 적용되는 분사 모듈에 관한 것이다.The present invention relates to the technical field of substrate processing, and more particularly, to a spray module applied to a substrate processing system.

종래의 판체는 예를 들어 레이저의 광선을 이용하여 가열, 절단 또는 펀칭 등과 같은 판체 가공을 진행할 수 있다. 레이저와 노즐을 이용하는 가공 방법은 먼저 절단을 진행한 후 분사 방열을 하는 것으로, 즉 레이저 후 노즐을 설치한다.Conventional plate bodies may, for example, process a plate body, such as heating, cutting or punching, using a laser beam. The processing method using a laser and a nozzle is to first perform cutting, and then spray heat dissipation, that is, to install a nozzle after laser.

이를 감안하여, 본 고안은 새로운 분사 모듈을 제공하여 레이저 가공 시 필요로하는 방열 장치를 제공하도록 한다.In view of this, the present invention provides a heat dissipation device required for laser processing by providing a new injection module.

본 고안은, 기판 가공 과정에 적용되어 가공 과정에서 발생되는 열 에너지를 방열하는 분사 모듈을 제공하는 것을 제1 목적으로 한다.The first object of the present invention is to provide a spray module that is applied to a substrate processing process and dissipates heat energy generated in the processing process.

본 고안은, 동심원 구성을 구비하는 다수 개의 수로를 이용하여 스프레이 효과의 형성에 달성하여, 효율적으로 방열하도록 하는 상기 분사 모듈을 제공하는 것을 제2 목적으로 한다.A second object of the present invention is to provide the spray module that achieves the formation of a spray effect by using a plurality of water channels having concentric circles, and efficiently dissipates heat.

본 고안은, 하나 또는 다수 개의 나사를 통해 수로를 조절 및/또는 그립하는 상기 분사 모듈을 제공하는 것을 제3 목적으로 한다.A third object of the present invention is to provide the injection module for adjusting and/or gripping a water channel through one or a plurality of screws.

본 고안은, 편향 구조를 통해 수관로 끝단의 방향을 변경 또는 설정하는 상기 분사 모듈을 제공하는 것을 제4 목적으로 한다.It is a fourth object of the present invention to provide the injection module for changing or setting a direction of a water pipe end through a deflection structure.

본 고안은, 연결부를 제공하여 레이저 가공대와 같은 것에 조립함으로써, 스프레이를 이용하여 방열하는 효과를 구현하는 상기 분사 모듈을 제공하는 것을 제5 목적으로 한다.It is a fifth object of the present invention to provide the injection module that realizes an effect of dissipating heat by using a spray by providing a connection part and assembling the same with a laser processing table.

상기 목적 및 기타 목적들을 달성하기 위해, 본 고안은 기판 가공에 적용되는 분사 모듈을 제공하며, 분사 모듈은, 수용 공간을 형성하고, 입력부와 출력부를 구비하되, 입력부와 출력부가 수용 공간을 통해 연통되고, 출력부에 그루브가 형성되는 베이스; 출력부에 설치되고, 기체의 유동 경로를 제공하는 제1 관로; 및 입력부에 설치되고, 액체의 유동 경로를 제공하는 제2 관로를 포함한다. 여기서, 출력부의 그루브에서, 제1 관로의 끝단은 제2 관로의 끝단을 커버하여, 제1 관로가 기체를 출력하고 제2 관로가 액체를 출력할 경우, 출력부가 스프레이를 출력한다.In order to achieve the above and other objects, the present invention provides an injection module applied to substrate processing, and the injection module forms an accommodation space and includes an input unit and an output unit, and the input unit and the output unit communicate through the accommodation space A base on which a groove is formed in the output portion; A first conduit installed on the output and providing a flow path of the gas; And a second conduit installed on the input and providing a flow path for the liquid. Here, in the groove of the output unit, the end of the first conduit covers the end of the second conduit, and when the first conduit outputs gas and the second conduit outputs liquid, the output outputs a spray.

본 고안이 제공하는 분사 모듈은 종래의 기술에 비해 스프레이를 발생할 수 있으며, 레이저 가공 과정에 적용되어 제작의 양품률을 효율적으로 향상, 즉 좋은 가공 품질을 제공할 수 있다.The spray module provided by the present invention may generate a spray compared to the conventional technology, and can be applied to a laser processing process to efficiently improve the yield of fabrication, that is, provide good processing quality.

도 1은 본 고안의 일 실시예에 따른 분사 모듈을 나타내는 사시도이다.
도 2은 본 고안의 도 1의 분사 모듈을 나타내는 분해도이다.
도 3은 본 고안의 도 1의 분사 모듈을 나타내는 단면도이다.1 is a perspective view showing an injection module according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is an exploded view showing the injection module of Figure 1 of the present invention.
3 is a cross-sectional view showing the injection module of FIG. 1 of the present invention.

본 고안의 목적, 특징 및 효과에 대해 충분히 이해하기 위해, 아래의 구체적인 실시예와 함께 첨부된 도면을 통해 본 고안에 대해 구체적으로 설명을 할 것이며, 그 설명은 다음과 같다.In order to fully understand the purpose, features, and effects of the present invention, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings together with specific examples below, and the description is as follows.

본 고안에 있어서, "하나" 또는 "한 개"의 표현을 사용하여 본 고안에 기재된 유닛, 소자와 어셈블리에 대해 설명한다. 이는 설명의 편리함을 위한 것으로, 본 고안의 범위에 대해 일반적인 의미를 제공한다. 따라서, 명확하게 다른 의미를 가지고 있는 것을 제외하고는 해당 설명에 대해서는 하나, 적어도 하나를 포함하는 것으로 이해되어야 하고, 단수는 동시에 복수를 포함할 수도 있다.In the present invention, the units, elements, and assemblies described in the present invention will be described using the expression “one” or “one”. This is for convenience of explanation, and provides general meaning for the scope of the present invention. Accordingly, it should be understood that one or at least one of the descriptions is included in the corresponding description, except that it has a clearly different meaning, and the singular may include the plural at the same time.

본 고안에 있어서, "포함", "포괄", "구비", "함유" 또는 기타 임의의 유사한 용어들은 비배타적인 포함물을 포함한다. 예를 들면, 복수 부재를 포함하는 소자, 구조, 제품 또는 장치는 본 고안에서 열거한 해당 부재에만 한정되는 것이 아니며, 명확하게 열거되지 않았으나 해당 소자, 구조, 제품 또는 장치가 통상 고정적으로 가지는 기타 부재를 포함할 수 있다. 이 외에, 명확하게 반대적인 설명이 없으면, 용어 "또는"은 포괄적인 "또는"을 의미하며, 배타적인 "또는"을 의미하는 것이 아니다.In the present design, "include", "include", "equipment", "containing" or any other similar terms include non-exclusive inclusions. For example, an element, structure, product, or device including a plurality of members is not limited to the corresponding member listed in the present invention, and is not explicitly listed, but other element that the element, structure, product, or device usually has fixedly It may include. In addition to this, unless explicitly stated to the contrary, the term “or” means inclusive “or” and not exclusive “or”.

도 1을 참조하면, 본 고안의 일 실시예에 따른 분사 모듈을 나타내는 사시도가 도시되어 있다. 도 1에서, 분사 모듈(10)은 판체(미도시) 가공에 적용된다. 전술한 가공은 예를 들어 판체에 대해 가열, 절단 또는 펀칭 등을 진행할 수 있는 것이고, 판체는 유리, 사파이어, 규소, 갈륨 비소 또는 세라믹 등일 수 있다.1, a perspective view showing a spray module according to an embodiment of the present invention is shown. In Fig. 1, the injection module 10 is applied to plate (not shown) processing. The above-described processing may be, for example, heating, cutting or punching of the plate body, and the plate body may be glass, sapphire, silicon, gallium arsenide or ceramic.

분사 모듈(10)은 베이스(12), 제1 관로(14)와 제2 관로(16)를 포함한다. 분사 모듈(10)의 재질은 스테인리스강, 금속, 비금속 또는 기타 재질일 수 있다.The injection module 10 includes a base 12, a first conduit 14 and a second conduit 16. The material of the injection module 10 may be stainless steel, metal, non-metal, or other materials.

도 2를 함께 참조하면, 본 고안의 도 1의 분사 모듈을 나타내는 분해도가 도시되어 있으며, 베이스(12)가 수용 공간(SP)을 형성한다. 본 실시예에서, 베이스(12)의 모양은 "T"자형을 나타내며, 기타 실시예에서는 임의의 모양일 수 있다.Referring to FIG. 2 together, an exploded view showing the injection module of FIG. 1 of the present invention is shown, and the base 12 forms an accommodation space SP. In this embodiment, the shape of the base 12 represents a "T" shape, and in other embodiments it may be any shape.

베이스(12)는 입력부(122)와 출력부(124)를 포함하며, 입력부(122)는 기체(A) 또는 액체(L)의 유입을 제공하고, 출력부(124)는 기체(A) 또는 액체(L)의 출력을 제공한다.The base 12 includes an input unit 122 and an output unit 124, the input unit 122 provides an inflow of gas (A) or liquid (L), and the output unit 124 is gas (A) or Provide the output of liquid (L).

입력부(122)와 출력부(124)는 수용 공간(SP)을 통해 연통된다. 여기서, 출력부(124)는 그루브(1242)를 형성한다.The input unit 122 and the output unit 124 communicate with each other through the accommodation space SP. Here, the output unit 124 forms a groove 1242.

제1 관로(14)는 출력부(124)의 그루브(1242)에 설치되며, 기체(A)의 유동 경로를 제공한다. 본 실시예에서, 제1 관로(14)는 기둥형이다. 외부의 기체(A)를 공급받을 수 있도록 하기 위해, 본 실시예에서 제1 관이음(142)을 제공하여 제1 관로(14)에 연결하여 기체(A)를 공급받을 수 있도록 할 수도 있다. 여기서, 제1 관이음(142)의 표면에 다수 개의 오목이 형성되어, 예를 들어 파이프가 결합되도록 하여 이탈을 방지할 수 있다. The first conduit 14 is installed in the groove 1242 of the output unit 124 and provides a flow path of the gas A. In this embodiment, the first conduit 14 is columnar. In order to be able to receive the external gas (A), in this embodiment, the first pipe joint 142 may be provided to be connected to the first pipe 14 so that the gas (A) can be supplied. Here, a plurality of concave is formed on the surface of the first pipe joint 142, for example, it is possible to prevent the separation by causing the pipe to be coupled.

제2 관로(16)는 입력부(122)의 그루브(1242)에 설치되며, 액체(L)의 유동 경로를 제공한다. 본 실시예에서, 제2 관로(16)도 동일하게 기둥형이다. 외부의 액체(L)를 공급받을 수 있도록 하기 위해, 본 실시예에서 제2 관이음(162)을 제공하여 제2 관로(16)에 연결하여 액체(L)를 공급받을 수 있도록 할 수도 있다. 여기서, 제2 관이음(162)의 표면에 다수 개의 오목이 형성되어, 예를 들어 파이프가 결합되도록 하여 이탈을 방지할 수 있다. 나아가, 제1 관로(14)의 구경이 제2 관로(16)의 구경보다 커 제2 관로(16)가 제1 관로(14)에 의해 커버되도록 한다. 일 실시예에서, 제2 관로(16)의 내경의 범위는 0.1 내지 1cm 사이로, 예를 들어 0.2cm이다.The second conduit 16 is installed in the groove 1242 of the input unit 122 and provides a flow path for the liquid L. In this embodiment, the second conduit 16 is also columnar. In order to be able to receive the external liquid (L), in this embodiment, the second pipe joint 162 may be provided to be connected to the second pipe 16 so that the liquid L can be supplied. Here, a plurality of concave is formed on the surface of the second pipe joint 162, for example, it is possible to prevent the separation by causing the pipe to be coupled. Furthermore, the caliber of the first conduit 14 is larger than the caliber of the second conduit 16 so that the second conduit 16 is covered by the first conduit 14. In one embodiment, the range of the inner diameter of the second conduit 16 is between 0.1 and 1 cm, for example 0.2 cm.

도 3을 함께 참조하면, 본 고안의 도 1의 분사 모듈을 나타내는 단면도가 도시된다. 도 3에서, 제2 관로(16)가 제1 관로(14)에서 돌출되어, 제2 관로(16)의 액체가 자체 중량의 견인과 제1 관로(14)의 기압(예를 들어 부압)의 흡인력을 받아, 액체(L)가 기체(A)의 작용에 의해 스프레이(18)를 형성하는 것을 이해할 수 있다.3 together, a cross-sectional view showing the injection module of FIG. 1 of the present invention is shown. In FIG. 3, the second conduit 16 protrudes from the first conduit 14 so that the liquid in the second conduit 16 is self-weighted and the air pressure of the first conduit 14 (eg, negative pressure) Under the suction force, it is understood that the liquid L forms the spray 18 by the action of the gas A.

다시 도 2를 참조하면, 분사 모듈(10)은 홀더(20), 로킹 나사(22)와 걸림 나사(24)를 더 포함한다.Referring again to FIG. 2, the injection module 10 further includes a holder 20, a locking screw 22 and a locking screw 24.

홀더(20)는 출력부(124)의 그루브(1242) 내에 설치된다. 본 실시예에서, 홀더(20)는 스토퍼로 출력부(124)에 위치하는 제1 관로(14)와 제2 관로(16)를 제한함으로써, 제1 관로(14)와 제2 관로(16)가 그루브(1242)에서 유동되어 스프레이(18)의 발생에 영향을 미치는 것을 방지할 수 있다. 로킹 나사(22)는 출력부(124)의 양측면에 설치되어 제1 관로(14)와 인접되어, 제1 관로(14)가 출력부(124)에 의해 그립되도록 한다. 제1 관로(14)가 그루브(1242)에 위치하는 위치를 조절함으로써, 관 직경이 상이한 제1 관로(14)에 대응할 수 있게 되고, 제1 관로(14)가 안정적으로 고정되고, 유동되지 않도록 할 수 있다.The holder 20 is installed in the groove 1242 of the output unit 124. In this embodiment, the holder 20 restricts the first conduit 14 and the second conduit 16 located in the output 124 as a stopper, thereby limiting the first conduit 14 and the second conduit 16 Can be prevented from flowing in the groove 1242 and affecting the generation of the spray 18. The locking screws 22 are installed on both sides of the output portion 124 and are adjacent to the first pipe 14 so that the first pipe 14 is gripped by the output portion 124. By adjusting the position where the first conduit 14 is located in the groove 1242, it is possible to correspond to the first conduit 14 having a different pipe diameter, and the first conduit 14 is stably fixed and does not flow. can do.

걸림 나사(24)는 출력부(124)에 설치되어 상기 제2 관로(16)와 인접된다. 걸림 나사(24)는 제2 관로(16)의 끝단(164)의 중심축이 제1 관로(14)의 끝단(144)의 중심축에 대응되는 상대적 위치를 조절함으로써, 동축 교정을 진행하도록 한다. 걸림 나사(24)의 동축 교정을 통해, 제1 관로(14)와 제2 관로(16)가 적절한 위치(예를 들어 동심원)에 유지되게 되어 균일한 스프레이(18)가 발생할 수 있다.The locking screw 24 is installed in the output unit 124 and is adjacent to the second conduit 16. The locking screw 24 adjusts the relative position where the central axis of the end 164 of the second conduit 16 corresponds to the central axis of the end 144 of the first conduit 14, thereby allowing coaxial calibration to proceed. . Through the coaxial correction of the locking screw 24, the first conduit 14 and the second conduit 16 are maintained at appropriate positions (for example, concentric circles), so that a uniform spray 18 can be generated.

또한, 분사 모듈(10)은 편향 구조(26)를 더 포함한다. 본 실시예에서, 편향 구조(26)는 스냅 링일 수 있다. 편향 구조(26)는 출력부(124)에 연결되어 제1 관로(14)의 끝단과 제2 관로(16)의 끝단의 방향을 변경한다.In addition, the injection module 10 further includes a deflection structure 26. In this embodiment, the deflection structure 26 may be a snap ring. The deflection structure 26 is connected to the output unit 124 to change the direction of the end of the first conduit 14 and the end of the second conduit 16.

제1 관로(14), 제2 관로(16) 등 소자를 보호하기 위해, 분사 모듈(10)은 베이스(12)에 결합되고, 수용 공간(SP)을 밀폐하는 제1 커버(28);와 출력부(124)에 결합되고, 제1 관로(14)와 제2 관로(16)를 그루브(1242)에 제한하는 제2 커버(30)를 더 포함할 수 있다. In order to protect the elements such as the first conduit 14 and the second conduit 16, the injection module 10 is coupled to the base 12, the first cover 28 to seal the receiving space (SP); And A second cover 30 that is coupled to the output unit 124 and limits the first conduit 14 and the second conduit 16 to the groove 1242 may be further included.

또한, 기기에 브릿지 연결 또는 조립하기 위해, 분사 모듈(10)은 연결부를 더 제공함으로써, 외부의 회전 기구(미도시)와 연결될 수 있어, 회전 기구를 통해 분사 모듈의 높이, 각도 등을 변경할 수 있다.In addition, in order to bridge or assemble the device, the injection module 10 may further be connected to an external rotating mechanism (not shown) by providing a connection portion, thereby changing the height, angle, etc. of the injection module through the rotating mechanism. have.

주의해야 할 점은, 분사 모듈은 제어 유닛(미도시)을 통해 제1 관로(14)와 제2 관로(16)를 연결할 수도 있다. 제어 유닛은 예를 들어 전자 밸브를 통해 기체(A) 또는 액체(L)의 유량을 제어하여 스프레이(18)의 유량, 비율 등을 결정하도록 한다.It should be noted that the injection module may connect the first conduit 14 and the second conduit 16 through a control unit (not shown). The control unit controls the flow rate of the gas (A) or liquid (L), for example, through an electromagnetic valve to determine the flow rate, ratio, and the like of the spray 18.

본 고안은 상술한 내용에서 바람직한 실시예를 개시하였으나, 본 기술분야의 기술자가 이해해야 할 것은, 실시예는 본 고안을 설명하기 위한 것일 뿐, 본 고안의 범위를 제한하는 것으로 해석해서는 아니된다. 주의해야 할 점은, 실시예와 동등한 효과의 변화와 치환은 모두 본 고안의 범위 내에 포함되는 것이다. 따라서, 본 고안의 보호 범위는 청구범위에 의해 결정되는 것을 기준으로 해야 한다.The present invention has disclosed preferred embodiments in the above-mentioned contents, but it should be understood by those skilled in the art that the embodiments are merely for explaining the present invention and should not be interpreted as limiting the scope of the present invention. It should be noted that changes and substitutions in effects equivalent to those of the examples are all included within the scope of the present invention. Therefore, the protection scope of the present invention should be based on what is determined by the claims.

10: 분사 모듈
12: 베이스
122: 입력부
1242: 그루브
124: 출력부
14: 제1 관로
142: 제1 관이음
144: 끝단
16: 제2 관로
162: 제2 관이음
164: 끝단
18: 스프레이
20: 홀더
22: 로킹 나사
24: 걸림 나사
26: 편향 구조
28: 제1 커버
30: 제2 커버
32: 연결부
SP: 수용 공간
A: 기체
L: 액체10: injection module
12: Base
122: input unit
1242: groove
124: output
14: Route 1
142: first pipe joint
144: end
16: second pipeline
162: second pipe joint
164: end
18: spray
20: holder
22: locking screw
24: jam screw
26: deflection structure
28: first cover
30: second cover
32: connection
SP: accommodation space
A: Gas
L: liquid

Claims

In the injection module applied to the substrate processing,
A base forming an accommodation space, having an input unit and an output unit, wherein the input unit and the output unit are communicated through the accommodation space, and a groove is formed in the output unit;
A first conduit installed in the output unit and providing a gas flow path; And
It is installed on the input unit, and includes a second conduit that provides a flow path for the liquid
In the groove of the output unit, when the end of the first conduit covers the end of the second conduit, the output is sprayed when the first conduit outputs the gas and the second conduit outputs the liquid Output injection module.

According to claim 1,
A first pipe joint connected to the first pipe and receiving the gas; And
The injection module further includes a second pipe joint connected to the second pipe and receiving the liquid.

According to claim 1,
The injection module having a diameter of the first conduit larger than that of the second conduit.

The method of claim 3,
The injection module having a range of the inner diameter of the second pipeline between 0.1 and 1 cm.

According to claim 1,
Dispensing module is provided on the output unit, further comprising a holder for limiting the first pipe and the second pipe positioned on the output.

According to claim 1,
The injection module is installed on the output portion and adjacent to the first pipe, further comprising a locking screw for gripping the first pipe on the output.

According to claim 1,
Further comprising a locking screw installed on the output unit and adjacent to the second conduit,
The locking screw is a spray module for adjusting the relative position of the central axis of the end of the second conduit corresponding to the central axis of the end of the first conduit.

According to claim 1,
It is connected to the output unit, the injection module further comprises a deflection structure for changing the direction of the end of the first conduit and the end of the second conduit.

According to claim 1,
A first cover coupled to the base to seal the accommodation space; And
Injection module coupled to the output unit, further comprising a second cover for limiting the first conduit and the second conduit to the groove.

According to claim 1,
The injection module further comprises a connection portion to be connected to the external rotating mechanism.