KR20190134225A - 전해액 회수부를 포함하는 전기화학적 가공장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 사용된 전해액들을 회수할 수 있도록 전해액 회수부를 포함하는 전기화학적 가공장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 전해액 회수부를 포함하는 전기화학적 가공장치는 전기화학적 가공을 위한 전해액이 저장되는 전해액탱크와, 상기 전해액탱크에 저장된 전해액을 가공대상물로 공급하기 위한 공급펌프 및 공급라인을 포함하는 전해액 공급부와, 가공대상물의 상부측에 위치하며, 가공대상물을 가공하기 위한 가공툴과 상기 가공툴을 가공위치에 대응하도록 이동하기 위한 이동부를 포함하는 가공유닛과, 상기 가공대상물에 양극, 상기 가공툴에 음극이 연결되고 전원을 공급하는 전원공급부와, 상기 전해액 공급부로부터 상기 가공대상물로 공급된 전해액을 회수하는 전해액 회수유닛을 구비하되, 상기 전해액 회수유닛은 상기 가공툴의 외부를 감싸며 하부에 회수홀들이 형성되어 있는 석션부재와, 상기 석션부재와 연결되고 전해액의 회수를 위한 흡입펌프를 포함한다.

Description

전해액 회수부를 포함하는 전기화학적 가공장치 {Electro - Chemical Machining including an electrolytic solution collector}

본 발명은 전기화학적 가공장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 사용된 전해액들을 회수할 수 있도록 전해액 회수부를 포함하는 전기화학적 가공장치에 관한 것이다.

전기화학적 가공은 전기 부식의 원리로 작동한다 이를 위해, 예를 들어, 가공대상물은 양극으로 접촉되며 공구는 음극으로 접촉된다. 또한 전해액으로도 표시된, 전도성 액체는 가공대상물과 공구 사이에 있는 작동 간극(working gap)을 통해 펌핑된다.

전압이 가공대상물과 공구 사이에 가해질 때, 전류가 흘러서 전기 분해를 시작하며 이에 의해 금속 이온들이 상기 가공대상물로부터 방출되며, 설정된 구역에 대한 전기 화학적 가공이 이루어진다.

이러한 전기화학적 가공기술은 종래의 물리적 접촉에 의한 가공 기술에 비해 공구의 마모에 따른 정밀도 유지의 어려움이 없고, 접근이 어려운 위치에도 가공이 이루어질 수 있으며, 특히 가공대상물에 대한 여러 지점에서의 동시 가공이 가능하다는 이점이 있다. 더욱이 상술한 것처럼 공구와 가공대상물 사이에 직접적인 접촉이 발생하지 않기 때문에, 가공은 사실상 마모 없이 일어나며, 매우 일정한 공정 품질이 보장될 뿐 아니라 기계적 응력들 또는 열적 영향들이 가공되는 가공대상물에 유발되지 않는다.

그런데 이러한 전기화학적 가공을 위한 장치(ECM)는 전해액을 공급한 뒤 회수하고 다시 공급할 수 있는 전해액 공급 수단을 포함해야 하는데, 다량의 전해액을 공급한 후 이를 별도의 배수구를 통해 회수하는 형태로 장치가 구성되어야 했기 때문에 전해액을 저장하는 저장탱크 및 회수탱크가 필요하고, 다량의 전해액을 저장해 두고 있어야 하므로 전체 장치의 규모가 커질 수 밖에 없었다.

한국공개특허 제10-2010-0058538호 : 전기화학적 가공을 위한 방법 및 장치 한국등록특허 제10-1053371호 : ECM 가공장치

본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위해 창출된 것으로서, 장착되는 가공공구의 크기에 따라 내경을 조절할 수 있도록 형성된 전해액 회수부를 포함하는 전기화학적 가공장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

본 발명에 따른 전해액 회수부를 포함하는 전기화학적 가공장치는 전기화학적 가공을 위한 전해액이 저장되는 전해액탱크와, 상기 전해액탱크에 저장된 전해액을 가공대상물로 공급하기 위한 공급펌프 및 공급라인을 포함하는 전해액 공급부와, 가공대상물의 상부측에 위치하며, 가공대상물을 가공하기 위한 가공툴과 상기 가공툴을 가공위치에 대응하도록 이동하기 위한 이동부를 포함하는 가공유닛과, 상기 가공대상물에 양극, 상기 가공툴에 음극이 연결되고 전원을 공급하는 전원공급부와, 상기 전해액 공급부로부터 상기 가공대상물로 공급된 전해액을 회수하는 전해액 회수유닛을 구비하되, 상기 전해액 회수유닛은 상기 가공툴의 외부를 감싸며 하부에 회수홀들이 형성되어 있는 석션부재와, 상기 석션부재와 연결되고 전해액의 회수를 위한 흡입펌프를 포함한다.

상기 석션부재는 상기 가공툴의 크기 또는 상기 석션부재에 의해 전해액이 회수되는 회수영역에 대응하여 회수영역의 폭 또는 직경이 가변되도록 형성되는 것이 바람직하다.

상기 석션부재는 하단에 상기 회수홀이 형성되어 있고, 내부에 상기 회수홀로부터 연장되는 회수통로가 형성되어 있는 본체와, 상기 본체의 상단에 형성되어 상기 본체의 내부로 유입되는 회수된 전해액을 상기 본체의 외부로 배출하도록 회수라인과 연결되는 배수부를 포함하되, 상기 본체는 플렉시블한 재질이며, 원형으로 말려 외경이 조절 가능한 형태로 형성되는 것이 바람직하다.

상기 전해액 회수유닛은 상기 석션부재의 직경을 조절하기 위한 직경조절부를 더 구비하는 것이 바람직하다.

상기 본체는 타측 단부가 내부로 말려들어가는 형태이고, 상기 배수부는 상기 본체의 일측 상부에 형성된 제1 배수부와, 상기 본체의 타측 상부에 형성된 제2 배수부를 포함하며, 상기 직경조절부는 상기 석션부재와 인접하게 설치되고 상기 제1 배수부와 제2 배수부에 각각 연결되어 상기 제1 배수부와 제2 배수부를 일방향 및 타방향으로 소정거리 진퇴 구동하는 제1 직경조절부와 제2 직경조절부를 포함하는 것이 바람직하다.

상기 본체의 타측 단부에는 일측의 상단보다 상방으로 소정길이 더 돌출된 돌출부가 형성되어 있고, 상기 제2 배수부는 상기 돌출부로부터 연장되어 상기 본체의 나머지 부분과 간섭되지 않는 것이 바람직하다.

상기 본체의 회수통로를 형성하는 상기 본체의 내벽에는 나선방향으로 연장되는 홈이 형성되는 것이 바람직하다.

또한 상기 전해액 회수유닛은 상기 본체의 내부 또는 외부에 설치되며, 상기 본체의 내부로 유입된 회수되는 전해액의 온도를 설정된 온도 범위가 되도록 가열하는 가열히터를 더 구비하는 것이 바람직하다.

본 발명의 전해액 회수부를 포함하는 전기화학적 가공장치는 전해액의 공급 후 바로 회수가 가능하기 때문에 공급된 전해액을 별도로 회수하는 회수탱크의 구조가 필요하지 않으며, 전체적인 장치의 크기를 소형화할 수 있는 이점이 있다.

도 1은 본 발명에 따른 전해액 회수부를 포함하는 전기화학적 가공장치의 개념도,
도 2는 도 1의 전해액 회수부를 포함하는 전기화학적 가공장치의 전해액 회수부를 발췌하여 도시한 사시도,
도 3은 전해액 회수부의 말림상태를 표시한 도면,
도 4는 전해액 회수부가 펼쳐진 상태를 표시한 도면,
도 5는 본 발명의 전해액 회수부를 포함하는 전기화학적 가공장치에 의해 전기화학적 가공이 이루어지는 과정을 개략적으로 도시한 개념도이다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 전해액 회수부를 포함하는 전기화학적 가공장치에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.

도면을 참조하면, 본 발명에 따른 전해액 회수부를 포함하는 전기화학적 가공장치(10)는 전해액이 저장되는 전해액탱크(100)와, 가공대상물(1)의 상부에 위치하는 가공유닛(200)과, 가공툴(210)과 가공대상물(1)에 각각 음극과 양극을 연결하고 전원을 공급하는 전원공급부(300)와, 전해액탱크(100)의 전해액을 가공대상물(1)로 공급하기 위한 전해액 공급부(400)와, 공급된 전해액을 회수하기 위한 회수유닛(500)을 포함한다.

전해액은 전기화학적 가공방법에 따라 작업대상물을 가공하기 위해 공급되는 것으로 전기가 흐를 수 있는 염화나트륨(NaCl) 또는 기타 액체일 수 있다.

상기 전해액탱크(100)에는 전해액의 온도를 측정하기 위한 온도센서(110)가 마련되어 있으며, 상기 온도센서(110)에서 측정되는 온도에 따라 전해액이 설정된 온도범위로 유지될 수 있도록 후술하는 가열히터를 구동할 수 있다. 일례로, 상기 전해액은 50 내지 80℃의 온도를 유지하는 것이 바람직하므로, 전해액탱크(100)에서 측정된 전해액의 온도가 55℃ 이하로 떨어지면 가열히터를 가동하고, 측정온도가 70℃를 넘어가면 가열히터의 구동을 정지하여 전해액이 상기 적정 온도 범위를 유지하도록 한다.

전해액탱크(100)에 저장된 전해액은 전해액 공급부(400)에 의해 작업위치로 공급된다. 상기 전해액 공급부(400)는 전해액탱크(100)와 작업위치를 연결하여 전해액이 흐르는 유로를 제공하는 공급라인(410)과, 상기 공급라인(410)에 설치되는 공급펌프(420)와 필터(430)를 구비한다.

공급펌프(420)에서는 전해액을 펌핑하여 작업위치로 전해액을 공급하게 되며, 상기 필터(430)는 전해액탱크(100)와 공급펌프(420)의 사이에 마련되어 가공대상물(1)이 가공되는 과정에서 전해액과 함께 회수된 이물질이나 부산물들을 여과한다.

상기 필터(430)는 공급펌프(420)보다 앞에 설치되어 이물질이 여과된 상태에서 전해액이 공급펌프(420)에 유입되도록 하여 공급펌프(420)의 파손을 방지하는 것이 바람직하다.

상기 가공유닛(200)은 가공대상물(1)을 가공하기 위한 것으로 음극이 되며, 가공대상물(1)이 양극이 되어 직류인 전원공급부(300)와 연결된다. 상기 전원공급부(300)에서 공급되는 직류전원에 의해 전해액 내에서 음극인 가공툴(210)과 양극인 가공대상물(1) 사이에서 전하교환이 이루어지면서 가공이 이루어지게 된다.

상기 가공툴(210)은 이동부(220)에 의해 3축 이동이 가능하며, 상기 3축 이동을 위한 이동부(220)는 통상적인 머시닝센터나 공작기계의 3축 이동구조와 같은 구조가 적용될 수 있다.

본 실시예의 경우 상기 가공툴(210)이 내부에 중공을 가지며, 상기 전해액을 공급하기 위한 공급라인(410)의 단부와 연결되는 공급노즐이 상기 가공툴(210)의 중공을 통해 하부의 가공대상물(1)로 전해액을 공급할 수 있게 형성되어 있는데, 상기 전해액이 공급되는 공급노즐의 설치위치와 구조는 이에 한정되지 않는다.

상기 회수유닛(500)은 공급된 전해액을 다시 회수하기 위한 것이다.

회수유닛(500)은 가공대상물(1)과 가공툴(210) 사이에 전하교환이 이루어질 수 있게 공급된 전해액을 다시 회수할 수 있도록, 상기 가공툴(210)을 감싸는 형태로 형성되는 석션부재(510)와, 석션부재(510)와 전해액탱크(100)를 연결하는 회수라인(550)에 설치되는 흡입펌프(560)를 포함한다.

상기 석션부재(510)는 가공툴(210)의 크기나 전해액이 회수되어야 하는 회수영역의 크기에 대응하여 회수영역의 폭 또는 직경이 조절될 수 있도록 형성되어 있는데, 이를 위해 석션부재(510)는 플렉시블한 재질의 본체(511)와, 상기 본체(511)의 양측 상단에 형성되어 있는 제1 배수부(520)와 제2 배수부(530)를 구비한다.

상기 본체(511)는 하단에 전해액이 유입될 수 있도록 회수홀(512)이 형성되어 있으며, 내부에는 상기 회수홀(512)을 통해 흡입된 전해액들이 이동할 수 있도록 회수통로(513)가 형성되어 있다.

상기 본체(511)는 상술한 것처럼 플렉시블한 재질로 형성되어 있어서, 도면에 도시되어 있는 것처럼 타측단부가 내부로 말려들어가는 형태로 말릴 수 있다. 따라서 상기 본체(511)는 양측 단부의 위치 조절을 통해 본체(511)의 최 외곽측 직경을 조절할 수 있다.

상기 본체(511)의 타측 단부에는 상단부에 상방으로 돌출된 돌출부(515)가 형성되어 있으며, 본체(511)를 통과하는 전해액을 배출하기 위한 제2 배수부(530)는 상기 돌출부(515)에 연결되어 있다. 이는 제2 배수부(530)가 본체(511)의 나머지 부분과 간섭되는 것을 방지하기 위한 것인데, 상술한 것처럼 본체(511)의 타측 단부가 내부로 말려들어가도록 형성되어 있기 때문에 상방으로 돌출된 돌출부(515)가 제2 배수부(530)를 연결함으로써 제2 배수부(530)가 말려있는 본체(511)의 나머지 구간과 간섭되지 않는다.

상기 본체(511)는 가공툴(210)을 감싸는 형태로 설치가 되며 가공툴(210)의 크기에 따라 본체(511)가 형성하는 원통의 중공부 직경 조절을 위해서, 또는 전해액을 회수해야 하는 회수영역의 크기에 대응하도록 본체(511)의 직경을 조절하기 위해서 양측 단부의 위치를 직경조절부(540)를 통해 조절할 수 있다.

상기 직경조절부(540)는 제1 배수부(520)와 제2 배수부(530)에 각각 결합되도록 두 개가 마련되어 있으며, 제1 배수부(520)와 제2 배수부(530)를 일방향을 따라 진퇴구동하게 하는 액추에이터다.

도 4에 도시되어 있는 것처럼 제1 배수부(520)와 제2 배수부(530)가 상호 멀어지는 방향을 따라 당겨지면 본체(511)의 외곽측 직경은 좁아지며 내경 역시 작아지게 된다. 반대로 제1 배수부(520)와 제2 배수부(530)가 상호 가까워지는 방향으로 이동하게 되면 말려있는 본체(511)부가 풀려나면서 본체(511)부의 외곽측 직경과 내경이 커지게 된다.

이와 같이 직경조절부(540)를 통해 본체(511)의 양측 단부에 결합되는 제1 배수부(520)와 제2 배수부(530)를 진퇴구동하여 본체(511)의 직경을 조절할 수 있는데, 본 실시예의 경우 상기 직경조절부(540)는 이동부(220)의 일측에 마련되며, 제1 배수부(520)와 제2 배수부(530)에 각각 결합되는 제1 직경조절부(540a)와 제2 직경조절부(540b)를 포함한다.

상기 제1 직경조절부(540a)와 제2 직경조절부(540b)는 동일한 구조를 갖는데, 내부공간을 갖는 바디부재(541)와, 바디부재(541)의 내부에 설치되는 모터(542)와, 모터(542)에 의해 정·역회전하는 스크류부재(543)와, 이 스크류부재(543)에 나사결합되는 이동부재(544)와, 이동부재(544)에 연결되고 바디부재(541)의 외부로 연장되어 상기 제1 배수부(520) 또는 제2 배수부(530)에 결합되는 클램핑부재(545)를 구비한다.

상기 이동부재(544)가 회전할 수 없도록 바디부재(541)에 구속되어 있어서 모터(542)에 의해 스크류부재(543)가 회전하면 이동부재(544)는 스크류부재(543)의 길이방향을 따라 진퇴 구동하게 되며, 제1 배수부(520) 또는 제2 배수부(530)도 함께 진퇴 구동하게 된다.

본 실시예의 경우 상기 직경조절부(540)가 모터(542)와 스크류부재(543)에 의해 가동되는 액추이에터로 도시되었으나, 상기 직경조절부(540)는 공압이나 유압에 의해 가동되는 실린더 형태로 형성될 수도 있다.

상기 본체(511)의 내벽면에는 도 5에 도시되어 있는 것처럼 나선방향을 따라 연장되는 홈(514)이 형성되어 있어서, 전해액이 미소량까지 흡입될 수 있다.

흡입펌프(560)는 제1 배수부(520)와 제2 배수부(530)에 연결되는 흡입라인 상에 설치되며, 흡입펌프(560)가 구동하면 본체(511)의 내부공간에 진공이 형성되면서 회수홀(512)을 통해 전해액이 본체(511)의 내부로 유입되어 회수가 이루어질 수 있다.

전해액의 온도 유지를 위해 설치되는 가열히터는 상기 본체(511)의 내부 일측에 형성될 수도 있고, 본체(511)와 인접하는 위치에 형성될 수도 있다.

이렇게 가공대상물(1)의 전기화학적 가공에 사용된 전해액은 회수유닛(500)을 통해 전해액탱크(100)로 회수되며, 필터(430)에서 이물질이 걸러진 후 다시 가공대상물(1)로 공급되어 재사용된다.

제시된 실시예들에 대한 설명은 임의의 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 이용하거나 또는 실시할 수 있도록 제공된다. 이러한 실시예들에 대한 다양한 변형들은 본 발명의 기술 분야에서 통상의 지식을 가진자에게 명백할 것이며, 여기에 정의된 일반적인 원리들은 본 발명의 범위를 벗어남이 없이 다른 실시예들에 적용될 수 있다. 그리하여, 본 발명은 여기에 제시된 실시예들로 한정되는 것이 아니라, 여기에 제시된 원리들 및 신규한 특징들과 일관되는 최광의의 범위에서 해석되어야 할 것이다.

1: 가공대상물
10: 전해액 회수부를 포함하는 전기화학적 가공장치
100: 전해액탱크 110: 온도센서
200: 가공유닛 210: 가공툴
220: 이동부 300: 전원공급부
400: 전해액 공급부 410: 공급라인
420: 공급펌프 430: 필터
500: 회수유닛 510: 석션부재
511: 본체 512: 회수홀
513: 회수통로 514: 홈
515: 돌출부 520: 제1 배수부
530: 제2 배수부 540: 직경조절부
540a: 제1 직경조절부 540b: 제2 직경조절부
541: 바디부재 542: 모터
543: 스크류부재 544: 이동부재
545: 클램핑부재 550: 회수라인
560: 흡입펌프

Claims (8)

1. 전기화학적 가공을 위한 전해액이 저장되는 전해액탱크와;
   상기 전해액탱크에 저장된 전해액을 가공대상물로 공급하기 위한 공급펌프 및 공급라인을 포함하는 전해액 공급부와;
   가공대상물의 상부측에 위치하며, 가공대상물을 가공하기 위한 가공툴과 상기 가공툴을 가공위치에 대응하도록 이동하기 위한 이동부를 포함하는 가공유닛과;
   상기 가공대상물에 양극, 상기 가공툴에 음극이 연결되고 전원을 공급하는 전원공급부와;
   상기 전해액 공급부로부터 상기 가공대상물로 공급된 전해액을 회수하는 전해액 회수유닛을 구비하되,
   상기 전해액 회수유닛은 상기 가공툴의 외부를 감싸며 하부에 회수홀들이 형성되어 있는 석션부재와, 상기 석션부재와 연결되고 전해액의 회수를 위한 흡입펌프를 포함하는 것을 특징으로 하는 전해액 회수부를 포함하는 전기화학적 가공장치.
   
2. 제 1항에 있어서,
   상기 석션부재는 상기 가공툴의 크기 또는 상기 석션부재에 의해 전해액이 회수되는 회수영역에 대응하여 회수영역의 폭 또는 직경이 가변되도록 형성된 것을 특징으로 하는 전해액 회수부를 포함하는 전기화학적 가공장치.
   
3. 제 2항에 있어서,
   상기 석션부재는 하단에 상기 회수홀이 형성되어 있고, 내부에 상기 회수홀로부터 연장되는 회수통로가 형성되어 있는 본체와,
   상기 본체의 상단에 형성되어 상기 본체의 내부로 유입되는 회수된 전해액을 상기 본체의 외부로 배출하도록 회수라인과 연결되는 배수부를 포함하되,
   상기 본체는 플렉시블한 재질이며, 원형으로 말려 외경이 조절 가능한 형태로 형성된 것을 특징으로 하는 전해액 회수부를 포함하는 전기화학적 가공장치.
   
4. 제 3항에 있어서,
   상기 전해액 회수유닛은 상기 석션부재의 직경을 조절하기 위한 직경조절부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 전해액 회수부를 포함하는 전기화학적 가공장치.
   
5. 제 4항에 있어서,
   상기 본체는 타측 단부가 내부로 말려들어가는 형태이고, 상기 배수부는 상기 본체의 일측 상부에 형성된 제1 배수부와, 상기 본체의 타측 상부에 형성된 제2 배수부를 포함하며,
   상기 직경조절부는 상기 석션부재와 인접하게 설치되고 상기 제1 배수부와 제2 배수부에 각각 연결되어 상기 제1 배수부와 제2 배수부를 일방향 및 타방향으로 소정거리 진퇴 구동하는 제1 직경조절부와 제2 직경조절부를 포함하는 것을 특징으로 하는 전해액 회수부를 포함하는 전기화학적 가공장치.
   
6. 제 5항에 있어서,
   상기 본체의 타측 단부에는 일측의 상단보다 상방으로 소정길이 더 돌출된 돌출부가 형성되어 있고, 상기 제2 배수부는 상기 돌출부로부터 연장되어 상기 본체의 나머지 부분과 간섭되지 않는 것을 특징으로 하는 전해액 회수부를 포함하는 전기화학적 가공장치.
   
7. 제 3항에 있어서,
   상기 본체의 회수통로를 형성하는 상기 본체의 내벽에는 나선방향으로 연장되는 홈이 형성된 것을 특징으로 하는 전해액 회수부를 포함하는 전기화학적 가공장치.
   
8. 제 3항에 있어서,
   상기 전해액 회수유닛은 상기 본체의 내부 또는 외부에 설치되며, 상기 본체의 내부로 유입된 회수되는 전해액의 온도를 설정된 온도 범위가 되도록 가열하는 가열히터를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 전해액 회수부를 포함하는 전기화학적 가공장치.
   

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