KR20190114065A - Automatic Focus Control Module and Surface Defects Detection Device Having The Same - Google Patents

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KR20190114065A
KR20190114065A KR1020180035331A KR20180035331A KR20190114065A KR 20190114065 A KR20190114065 A KR 20190114065A KR 1020180035331 A KR1020180035331 A KR 1020180035331A KR 20180035331 A KR20180035331 A KR 20180035331A KR 20190114065 A KR20190114065 A KR 20190114065A
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Abstract

Provided is an automatic focusing control module. According to one embodiment of the present invention, the automatic focusing control module comprises: a barrel part having a hollow part formed therein; a first lighting part coupled to one side of the barrel part for irradiating light to the substrate in a first path; a sensor part coupled to the other side of the barrel part for sensing an intensity of light reflected from the substrate to a second path; a lens part positioned inside the barrel part and irradiating the light irradiated on the substrate to one side, and irradiating the light reflected from the substrate to the other side; and a driving part for moving at least one of the substrate and the lens part so as to control a distance between the substrate and the lens part such that an intensity of the light sensed by the sensor part has a maximum value. Therefore, the present invention is capable of quickly and easily detecting the fine defects on a surface of the substrate.

Description

자동 초점 조절 모듈 및 이를 구비한 표면 결함 검출 장치{Automatic Focus Control Module and Surface Defects Detection Device Having The Same}Automatic Focus Control Module and Surface Defects Detection Device Having The Same}

본 발명은 1D(1-dimension) 라인 스캔 카메라를 사용하는 유한 광학계에서 경통 내부에서 광을 굴절시켜 자동으로 초점을 조정하는 자동 초점 모듈 장치 및 이를 구비한 표면 결함 검출 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an autofocus module device for automatically adjusting focus by refracting light inside a barrel in a finite optical system using a 1D (1-dimension) line scan camera, and a surface defect detection device having the same.

반도체는 웨이퍼와 같은 기판에 여러 가지의 단위 공정들을 사용하여 제작된다. 이러한 단위 공정들은 절연막, 도전막 또는 반도체막과 같은 물질막을 형성하기 위한 증착공정, 물질막을 패터닝하기 위한 사진/식각 공정, 물질막 또는 반도체 기판의 소정 영역들을 불순물들로 도핑시키기 위한 이온주입 공정, 물질막의 표면을 평탄화시키기 위한 화학기계적 연마 공정 및 각 공정들이 적용된 기판의 표면에 잔존하는 오염원들을 제거하기 위한 세정 공정 등을 포함할 수 있다.Semiconductors are fabricated using a variety of unit processes on substrates such as wafers. These unit processes include a deposition process for forming a material film such as an insulating film, a conductive film or a semiconductor film, a photo / etch process for patterning the material film, an ion implantation process for doping certain regions of the material film or semiconductor substrate with impurities, A chemical mechanical polishing process for planarizing the surface of the material film, and a cleaning process for removing contaminants remaining on the surface of the substrate to which the processes are applied may be performed.

최근 반도체를 구성하는 트랜지스터는 몇 십 나노미터 단위를 넘어서 이제 몇 나노미터 단위가 실용화를 앞두고 있을 정도로 그 크기가 극히 작아 웨이퍼가 가진 미소한 균열이나 스크래치, 이물질 등의 결함으로 그 특성이 급격히 변하기 때문에 이러한 결함을 사전에 찾아내야 하는 것이 무엇보다 중요하다 할 수 있다.Recently, transistors that make up semiconductors have gone beyond tens of nanometers and are now so small in size that several nanometers are ready for practical use. It is important to find these defects beforehand.

이러한 결함은 그 형태에 따라 명칭이 달라지는데, 요철 형태로 형성되어서 마치 언덕을 연상하기에 이름 붙여진 힐록(Hillock), 표면의 갈라짐을 의미하는 크랙(Crack), 표면에 형성된 구멍인 핀홀(Pinhole) 등등이 있다. 이러한 결함들을 찾아내기 위해 보통 빛과 렌즈를 사용하는 광학적 검사 장비를 사용하는데, 상술한 미소 균열 등 아주 작은 결함을 찾아내기 위해서는 그만큼 광학적 검사 장비의 해상도가 높을 필요성이 있다.These defects have different names according to their shape, which is formed in the form of unevenness, which is named Hilllock, which is reminiscent of hills, cracks that indicate cracks on the surface, and pinholes, which are holes in the surface. There is this. In order to find such defects, optical inspection equipment using light and a lens is usually used. In order to find a very small defect such as the micro-cracks described above, the resolution of the optical inspection equipment needs to be high.

그러나, 종래의 광학적 검사 장비는 해상도가 높을수록 그만큼 정밀한 광학적 조정이 필요하다. 이는 종래의 광학적 검사 장치가 광학적 정렬이 부족할 때에는 이미지의 해상도가 떨어지게 되고, 기판의 결함을 발견하기도 그만큼 어렵기 때문이다. 따라서 간단한 방법으로 해상도를 확보할 수 있는 방안을 찾아내는 것이 중요하다 할 수 있다.However, conventional optical inspection equipment requires more precise optical adjustment as the resolution is higher. This is because the resolution of the image is reduced when the conventional optical inspection apparatus lacks optical alignment, and it is difficult to find a defect of the substrate. Therefore, it is important to find a way to secure the resolution in a simple way.

상기와 같은 기술적 배경을 바탕으로 안출된 것으로, 본 발명은 라인 스캔 카메라를 사용하는 유한 광학계에서 경통 내부에서 광을 굴절시켜 자동으로 초점을 조정하고 이를 통해 기판 표면의 미세한 결함을 검출하는 자동 초점 조절 모듈 및 표면 결함 검출 장치를 제공하고자 한다.Based on the technical background as described above, the present invention is a finite optical system using a line scan camera to automatically adjust the focus by refracting the light inside the barrel and through this auto focus adjustment to detect fine defects on the surface of the substrate An object of the present invention is to provide a module and a surface defect detection device.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 내부에 중공부가 형성되는 경통부; 상기 경통부의 일측에 결합되어 상기 기판에 광을 제1 경로로 조사하는 제1 조명부; 상기 경통부의 타측에 결합되어 상기 기판에서 제2 경로로 반사되는 광의 강도를 센싱하는 센서부; 상기 경통부의 내부에 위치하고 상기 기판에 조사되는 광이 일측에 조사되고 상기 조사된 광이 상기 기판에서 반사되는 광이 타측에 조사되는 렌즈부 및 상기 센서부에서 센싱된 광의 강도가 최대값을 가지도록 상기 기판과 상기 렌즈부 사이의 거리를 조절하도록 상기 기판 및 상기 렌즈부 중 적어도 하나를 이동시키는 구동부를 포함하는 자동 초점 조절 모듈을 제공한다.The present invention, in order to achieve the above object, the hollow portion formed inside the hollow portion; A first illumination unit coupled to one side of the barrel to irradiate light to the substrate in a first path; A sensor unit coupled to the other side of the barrel to sense an intensity of light reflected from the substrate to a second path; The intensity of light sensed by the lens unit and the sensor unit located inside the barrel and irradiated to one side of the light irradiated to the substrate and the light reflected from the substrate to the other side has a maximum value. It provides an auto focusing module including a drive unit for moving at least one of the substrate and the lens unit to adjust the distance between the substrate and the lens unit.

또한, 상기 제1 조명부는 상기 기판에 광을 상기 제1 경로로 조사하기 위해서 광을 반사하도록 형성되는 제1 반사부재를 더 포함할 수 있다.The first lighting unit may further include a first reflecting member formed to reflect light to irradiate light onto the substrate through the first path.

또한, 상기 센서부는 상기 기판에서 상기 제2 경로로 반사되는 광을 수신하기 위해서 광을 반사하도록 형성되는 제2 반사부재를 더 포함할 수 있다.In addition, the sensor unit may further include a second reflecting member formed to reflect light to receive the light reflected from the substrate to the second path.

또한, 상기 구동부는 상기 제1 경로의 연장선과 상기 제2 경로의 연장선이 한점에서 만나도록 상기 기판과 상기 렌즈부 사이의 거리를 조절하는 제어부를 포함할 수 있다.The driving unit may include a controller configured to adjust a distance between the substrate and the lens unit such that the extension line of the first path and the extension line of the second path meet at one point.

또한, 상기 광은 레이저 광일 수 있다.In addition, the light may be laser light.

또한, 상기 센서부는 상기 기판에서 제2 경로로 반사되는 광 중에서 편광된 광 만을 투과시키는 편광 필터를 포함할 수 있다.In addition, the sensor unit may include a polarization filter that transmits only the polarized light from the light reflected by the second path from the substrate.

또한, 상기 제1 반사부재 및 상기 제2 반사부재는 입사되는 광을 선택적으로 투과시키거나 반사시키는 핫 미러(Hot Mirror) 또는 빔 스플리터(Beam Splitter)일 수 있다.In addition, the first reflecting member and the second reflecting member may be a hot mirror or beam splitter for selectively transmitting or reflecting incident light.

본 발명의 다른 측면에 따르면 일면에 기판이 장착되고 상기 기판을 이동시키는 이송부; 상기 기판의 상부에 위치하는 자동 초점 조절 모듈; 상기 기판의 결함을 검출하기 위해 상기 기판에 광을 조사하는 제2 조명부 및 상기 기판에서 반사되는 광을 수집하는 카메라를 포함하는 기판 결함 검출 장치를 제공한다.According to another aspect of the invention the substrate is mounted on one surface and the transfer unit for moving the substrate; An auto focusing module positioned on the substrate; Provided is a substrate defect detection apparatus including a second illumination unit for irradiating light to the substrate to detect a defect of the substrate and a camera collecting light reflected from the substrate.

또한, 기판 결함 검출 장치는 상기 자동 초점 조절 모듈 및 상기 카메라 사이에 광을 선택적으로 투과시키는 광 필터를 포함할 수 있다.In addition, the substrate defect detection apparatus may include an optical filter for selectively transmitting light between the auto focusing module and the camera.

본 발명의 일 실시예에 따른 자동 초점 조절 모듈 및 이를 구비한 표면 결함 검출 장치는 렌즈부를 통해 라인 스캔 카메라를 사용하는 유한 광학계에서 경통 내부에서 광을 굴절시켜 자동으로 초점을 조정함으로써 기판 표면의 미세한 결함을 빠르고 용이하게 검출할 수 있다.The automatic focusing module and the surface defect detecting apparatus having the same according to an embodiment of the present invention refract light inside a barrel in a finite optical system using a line scan camera through a lens unit to automatically adjust focus to finely adjust the surface of a substrate. Defects can be detected quickly and easily.

본 발명의 일 실시예에 따른 자동 초점 조절 모듈 및 이를 구비한 기판 결함 검출장치는 유한 광학계에서 경통부 내부에 렌즈부를 구비하여 초점 시간을 절약할 수 있고, 광학적 정렬을 용이하게 하여 검출력을 높일 수 있다.The automatic focusing module and the substrate defect detecting apparatus having the same according to an embodiment of the present invention can have a lens unit inside the barrel part in the finite optical system, thereby reducing the focusing time, and increasing the detection power by facilitating optical alignment. .

본 발명의 일 실시예에 따른 자동 초점 조절 모듈 및 이를 구비한 표면 결함 검출기판 장치는 센서부를 통하여 실시간으로 피크값을 트랙킹할 수 있어 초점 시간을 절약할 수 있다.The auto focusing module and the surface defect detector plate apparatus having the same according to an embodiment of the present invention can track the peak value in real time through the sensor unit, thereby saving the focus time.

본 발명의 일 실시예에 따른 자동 초점 조절 모듈은 기판 표면 결함을 검출하기 위해 카메라를 통해 기판에 반사된 광을 수집할 때 핫 미러(Hot Mirror) 및 빔 스플리터(Beam Splitter)에 의해 광의 간섭 현상을 방지할 수 있다. The auto focus module according to an embodiment of the present invention is an interference phenomenon of light by a hot mirror and a beam splitter when collecting light reflected from the camera through a camera to detect a substrate surface defect. Can be prevented.

본 발명의 일 실시예에 따른 자동 초점 조절 모듈은 경통부 내부의 렌즈부를 통해서 렌즈부의 면적 즉 공간을 분할하여 제1 경로의 광과 제2 경로의 광을 나누어 굴절시킴으로써 초점 조절 시간을 절약할 수 있고, 광학적 정렬을 용이하게 하여 검출력을 높일 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the auto focusing module may reduce the focusing time by dividing and dividing the light of the first path and the light of the second path by dividing the area, that is, the space of the lens part, through the lens part inside the barrel part. In addition, optical alignment can be facilitated to increase detection power.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 초점 조절 모듈은 경통부 내부에 렌즈부가 설치되어 간단한 구성으로도 기판 표면의 결함을 검출할 수 있다.In addition, the auto focus module according to an embodiment of the present invention is provided with a lens unit inside the barrel portion to detect a defect on the surface of the substrate even with a simple configuration.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 초점 조절 모듈을 구비한 표면 결함 검출 장치를 나타낸 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 초점 조절 모듈을 구비한 표면 결함 검출 장치를 나타낸 측면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 초점 조절 모듈의 경통부 내부에서 광의 제1 경로 및 제2 경로를 나타낸 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 초점 조절 모듈을 구비한 표면 결함 검출 장치에서 제1 조명부를 나타낸 도면이다.
도 5은 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 초점 조절 모듈을 구비한 표면 결함 검출 장치에서 기판에서 반사되는 광의 경로를 나타낸 도면이다.1 is a perspective view showing a surface defect detection apparatus having an auto focus control module according to an embodiment of the present invention.
2 is a side view showing a surface defect detection device having an autofocus control module according to an embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a diagram illustrating a first path and a second path of light in the barrel portion of the auto focusing module according to an embodiment of the present invention.
4 is a diagram illustrating a first lighting unit in a surface defect detection apparatus having an autofocus control module according to an embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a diagram illustrating a path of light reflected from a substrate in a surface defect detection apparatus having an autofocus control module according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙였다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the present invention. As those skilled in the art would realize, the described embodiments may be modified in various different ways, all without departing from the spirit or scope of the present invention. In the drawings, parts irrelevant to the description are omitted in order to clearly describe the present invention, and like reference numerals designate like elements throughout the specification.

본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. In this specification, terms such as "comprise" or "have" are intended to indicate that there is a feature, number, step, action, component, part, or combination thereof described on the specification, and one or more other features. It is to be understood that the present invention does not exclude the possibility of the presence or the addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 초점 조절 모듈을 구비한 표면 결함 검출 장치를 나타낸 사시도이다. 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 초점 조절 모듈을 구비한 표면 결함 검출 장치를 나타낸 측면도이다. 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 초점 조절 모듈의 경통부 내부에서 광의 제1 경로 및 제2 경로를 나타낸 도면이다.1 is a perspective view showing a surface defect detection apparatus having an auto focusing module according to an embodiment of the present invention. 2 is a side view showing a surface defect detection apparatus having an autofocus control module according to an embodiment of the present invention. FIG. 3 is a diagram illustrating a first path and a second path of light in the barrel portion of the auto focusing module according to an embodiment of the present invention.

도 1 및 도 2를 참고하면, 본 발명의 일 실시예에서 표면 결함 검출 장치(1)는 이송부(60), 자동 초점 조절 모듈(3), 제2 조명부(70) 및 카메라(80)를 포함할 수 있다.1 and 2, in an embodiment of the present invention, the surface defect detection apparatus 1 includes a transfer unit 60, an auto focus control module 3, a second illumination unit 70, and a camera 80. can do.

이를 통해 본 발명의 일 실시예에서 표면 결함 검출 장치(1)는 자동 초점 조절 모듈(3)을 구비하여 라인 스캔 카메라를 사용하는 유한 광학계에서 경통 내부에서 광을 굴절시켜 자동으로 초점을 조정함으로써 기판 표면의 미세한 결함을 빠르고 용이하게 검출할 수 있다.Through this, in one embodiment of the present invention, the surface defect detection apparatus 1 includes an auto focusing module 3 so as to refract light inside a barrel in a finite optical system using a line scan camera, thereby automatically adjusting the focus of the substrate. Fine defects on the surface can be detected quickly and easily.

한편, 본 발명의 일 실시예에서 이송부(60)는 받침대(11)에 장착된 기판(2)을 이동시킬 수 있도록 형성될 수 있다. 이때 이송부(60)는 기판(2)을 이동시킴으로써 기판의 평평도가 0이될 수 있도록 할 수 있다. Meanwhile, in one embodiment of the present invention, the transfer part 60 may be formed to move the substrate 2 mounted on the pedestal 11. In this case, the transfer unit 60 may allow the flatness of the substrate to be zero by moving the substrate 2.

또한, 본 발명의 일 실시예에서 이송부(60)는 받침대(11)의 하부측에 위치될 수 있다. 이때 받침대(11)는 이송부(60)와 결합되어 이송부(60)의 이동에 따라 기판(2)이 같이 움직일 수 있다.In addition, in one embodiment of the present invention, the transfer unit 60 may be located on the lower side of the pedestal (11). At this time, the pedestal 11 is coupled to the transfer unit 60 so that the substrate 2 can move together as the transfer unit 60 moves.

도 1을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따르면 자동 초점 조절 모듈(3)은 경통부(10), 제1 조명부(20), 센서부(30), 렌즈부(40) 및 구동부(50)를 포함할 수 있다. 이를 통해 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 초점 조절 모듈(3)은 라인 스캔 카메라를 사용하는 유한 광학계에서 경통부(10) 내부에서 광을 굴절시켜 자동으로 초점을 조정할 수 있다.Referring to FIG. 1, according to an embodiment of the present invention, the auto focus module 3 may include a barrel 10, a first lighting unit 20, a sensor unit 30, a lens unit 40, and a driving unit 50. It may include. Through this, the auto focusing module 3 according to an embodiment of the present invention can automatically adjust focus by refracting light inside the barrel 10 in the finite optical system using the line scan camera.

본 발명의 일 실시예에서 경통부(50)는 원통 형상으로 내부에 중공부가 형성될 수 있다. 또한 경통부(50)는 기판(2)의 상측 방향에 위치하고 구동부(50)와 결합될 수 있다. 이때, 경통부(10)는 기판(2)의 결속 및 해제가 가능할 수 있도록 받침대(11)에서 상부측으로 이격되도록 위치될 수 있다.In one embodiment of the present invention, the barrel portion 50 may have a hollow portion formed therein in a cylindrical shape. In addition, the barrel part 50 may be positioned above the substrate 2 and may be coupled to the driving part 50. At this time, the barrel portion 10 may be positioned to be spaced apart from the pedestal 11 to the upper side to enable the binding and release of the substrate (2).

또한, 본 발명의 일 실시예에서 경통부(10)는 기판(2)의 초점을 맞추기 위해서 구동부(50)를 통해 상하방향으로 이동할 수 있도록 구동부와 결합될 수 있다.In addition, in one embodiment of the present invention, the barrel portion 10 may be coupled to the driving portion so as to move upward and downward through the driving portion 50 to focus the substrate 2.

도 1 및 도 3을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에서 제1 조명부(20)는 경통부(10)의 상부측에 결합되고 제1 광원(20a) 및 제1 반사부재(21)를 포함할 수 있다. 본 발명의 일실시예에서 제1 광원(20a)은 광을 생성하도록 형성될 수 있다. 1 and 3, in one embodiment of the present invention, the first lighting unit 20 is coupled to an upper side of the barrel 10 and may include a first light source 20a and a first reflecting member 21. Can be. In one embodiment of the present invention, the first light source 20a may be formed to generate light.

이때, 제1 광원(20a)은 직선으로 향하는 좁은 파장대의 빛을 발생할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에서 제1 광원(20a)은 660nm의 적색광 파장대의 레이저광을 생성할 수 있다. In this case, the first light source 20a may generate light of a narrow wavelength band directed to a straight line. In an embodiment of the present invention, the first light source 20a may generate laser light having a wavelength of red light of 660 nm.

한편, 본 발명의 일 실시예에서 제1 광원(20a)을 통해 생성된 광은 경통부(10) 내부에 위치한 제1 반사부재(21)를 통해 반사되어 제1 광원과 평행하게 설치된 기판(2)에 조사될 수 있다. Meanwhile, in one embodiment of the present invention, the light generated by the first light source 20a is reflected by the first reflecting member 21 located inside the barrel 10 and installed in parallel with the first light source. Can be investigated.

이때 제1 반사부재(21)는 적외선 및 가시광선 파장대의 광 만을 선택적으로 반사시킬 수 있는 핫 미러(Hot Mirror)로 구성될 수 있다. 또한 제1 반사부재(21)는 광의 일부는 반사할 수 있고 나머지 일부는 투과할 수 있는 빔 스플리터(Beam Splitter)로 구성될 수 있다.In this case, the first reflecting member 21 may be configured as a hot mirror capable of selectively reflecting only light in the infrared and visible light wavelength bands. In addition, the first reflecting member 21 may be configured as a beam splitter capable of reflecting part of light and transmitting part of the light.

본 발명의 일 실시예에 따른 자동 초점 조절 모듈(3)은 660nm의 붉은색 파장대의 레이저광을 사용하기 때문에, 적외선 및 붉은색 파장대의 광만을 선택적으로 반사시키는 핫 미러(Hot Mirror) 및 빔 스플리터(Beam Splitter)를 통하여 카메라(80)에는 레이저광이 도달하지 않도록 할 수 있다. Since the auto focusing module 3 according to an embodiment of the present invention uses laser light in the red wavelength range of 660 nm, a hot mirror and a beam splitter for selectively reflecting only the infrared and red wavelength light beams. The laser beam may not reach the camera 80 through the beam splitter.

이를 통해, 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 초점 조절 모듈(3)은 기판(2)의 표면 결함을 위해 카메라(80)를 통해 기판에 반사된 광을 수집할 때 핫 미러(Hot Mirror) 및 빔 스플리터(Beam Splitter)에 의해 광의 간섭 현상을 방지할 수 있다. In this way, the auto focusing module 3 according to an embodiment of the present invention collects the light reflected by the camera 80 through the camera 80 for the surface defect of the substrate 2. A beam splitter may prevent interference of light.

도 3을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에서 센서부(30)는 제1 조명부(20)의 상부측에 경통부(10)에 결합될 수 있다. 이때 센서부(30)는 센서(미도시) 및 제2 반사부재(31)를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 3, in one embodiment of the present invention, the sensor unit 30 may be coupled to the barrel 10 at the upper side of the first lighting unit 20. In this case, the sensor unit 30 may include a sensor (not shown) and the second reflective member 31.

센서부(30)는 제1 광원(20a)과 나란하게 경통부(10)의 측면부에 설치될 수 있다. 이때 센서는 기판(2)에 반사된 광의 강도를 센싱하고 센싱된 정보를 제어부(51)로 전송할 수 있다.The sensor unit 30 may be installed at a side portion of the barrel 10 in parallel with the first light source 20a. In this case, the sensor may sense the intensity of light reflected on the substrate 2 and transmit the sensed information to the controller 51.

본 발명의 일 실시예에 따른 센서부(30)는 편광 필터(32)를 포함할 수 있다. 편광 필터(32, Polarizing Filter)는 기판(2)에서 제2 경로(L2)로 반사되는 광 중에서 편광된 광만을 선택적으로 투과할 수 있다.The sensor unit 30 according to an embodiment of the present invention may include a polarization filter 32. The polarizing filter 32 may selectively transmit only the polarized light among the light reflected from the substrate 2 to the second path L2.

이때 편광 필터(32)는 편광된 광을 산란시키는 층을 추가한 원편광 필터(Circular Polarizing Filter, 이하 CPL 필터)를 사용할 수 있다. 기판 표면에 반사된 광 중 특정 방향으로 편광되는 광만을 투과할 수 있는 특성을 이용하여, 본 발명은 편광 필터(32)를 통해 기판에 반사된 편광 이외의 광이 센서부(30)로 유입되는 것을 차단할 수 있다.In this case, the polarizing filter 32 may use a circular polarizing filter (hereinafter referred to as a CPL filter) in which a layer for scattering polarized light is added. By using a property that can transmit only the light polarized in a specific direction of the light reflected on the substrate surface, the present invention is that light other than the polarized light reflected on the substrate through the polarization filter 32 is introduced into the sensor unit 30 Can be blocked.

한편, 본 발명의 일실시예에서 제2 반사부재(31)는 적외선 및 가시광선 파장대의 광 만을 선택적으로 반사시킬 수 있는 핫 미러(Hot Mirror)로 구성될 수 있다. 또한 제2 반사부재(31)는 광의 일부는 반사할 수 있고 나머지 일부는 투과할 수 있는 빔 스플리터(Beam Splitter)로 구성될 수 있다.Meanwhile, in one embodiment of the present invention, the second reflecting member 31 may be configured as a hot mirror capable of selectively reflecting only light in the infrared and visible light wavelength bands. In addition, the second reflecting member 31 may be configured as a beam splitter capable of reflecting part of light and transmitting part of the light.

본 발명의 일 실시예에 따른 자동 초점 조절 모듈(3)은 660nm의 붉은색 파장대의 레이저광을 사용하기 때문에, 적외선 및 붉은색 파장대의 광만을 선택적으로 반사시키는 핫 미러(Hot Mirror) 및 빔 스플리터(Beam Splitter)를 통하여 카메라(80)에는 레이저광이 도달하지 않도록 할 수 있다. Since the auto focusing module 3 according to an embodiment of the present invention uses laser light in the red wavelength range of 660 nm, a hot mirror and a beam splitter for selectively reflecting only the infrared and red wavelength light beams. The laser beam may not reach the camera 80 through the beam splitter.

이를 통해 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 초점 조절 모듈(3)은 기판(2)의 표면 결함을 위해 카메라(80)를 통해 기판에 반사된 광을 수집할 때 핫 미러(Hot Mirror) 및 빔 스플리터(Beam Splitter)에 의해 광의 간섭 현상을 방지할 수 있다. As a result, the auto focus module 3 according to an embodiment of the present invention collects the light reflected by the camera 80 through the camera 80 for the surface defect of the substrate 2. It is possible to prevent the interference phenomenon of light by the splitter (Beam Splitter).

제2 반사부재(31)는 경통부(10)의 내부에서 제1 반사부재(21)와 이격되도록 제1 반사부재의 상부측 또는 하부측에 설치될 수 있다. 이때, 본 발명의 일 실시예에서 기판(2)에 반사된 광은 경통부(10) 내부에 위치한 제2 반사부재(31)를 통해 반사되어 제1 광원과 평행하게 설치된 센서부(30)에 조사될 수 있다.The second reflecting member 31 may be installed on the upper side or the lower side of the first reflecting member so as to be spaced apart from the first reflecting member 21 in the barrel 10. At this time, in one embodiment of the present invention, the light reflected by the substrate 2 is reflected by the second reflecting member 31 located inside the barrel 10 and irradiated to the sensor unit 30 installed in parallel with the first light source. Can be.

한편, 본 발명의 일 실시예에서 렌즈부(40)는 경통부(10)의 내부 하부측에 설치되어 제1 반사부재(21)를 통과한 광이 렌즈부의 일측 예를 들어 도 3에 도시된 바와 같이 렌즈부의 좌측을 통과함으로써 굴절되어 기판(2)에 조사될 수 있다. Meanwhile, in the exemplary embodiment of the present invention, the lens unit 40 is installed at the inner lower side of the barrel 10 so that the light passing through the first reflecting member 21 is one side of the lens unit, for example, as shown in FIG. 3. As it passes through the left side of the lens portion, it can be refracted and irradiated onto the substrate 2.

또한, 본 발명의 일 실시예에서 렌즈부(40)는 기판(2)에 반사된 광이 렌즈부의 타측 예를 들어 도 3에 도시된 바와 같이 렌즈부의 우측을 통과함으로써 굴절되어 제2 반사부재(31)에 조사될 수 있다. In addition, in one embodiment of the present invention, the lens unit 40 is refracted by passing the light reflected from the substrate 2 to the other side of the lens unit, for example, as shown in FIG. 31).

이를 통해 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 초점 조절 모듈(3)은 경통부(10) 내부의 렌즈부(40)를 통해서 렌즈부의 면적 즉 공간을 분할하여 제1 경로의 광과 제2 경로의 광을 나누어 굴절시킴으로써 초점 조절 시간을 절약할 수 있고, 광학적 정렬을 용이하게 하여 검출력을 높일 수 있다.Through this, the auto focusing module 3 according to an embodiment of the present invention divides the area of the lens unit, that is, the space, through the lens unit 40 inside the barrel 10 and the light of the first path and the light of the second path. By dividing and dividing, the focusing time can be saved, and the optical alignment can be facilitated to increase the detection power.

이때, 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 초점 조절 모듈(3)은 물체가 실제 위치한 점인 물점과 물체에서 반사된 빛이 렌즈 등을 통해 상을 맺는 상점과 거리가 유한한 유한 광학계일 수 있다. At this time, the auto focusing module 3 according to an embodiment of the present invention may be a finite optical system having a finite distance from a store where an object is actually positioned and a light reflected from the object forms an image through a lens or the like.

본 발명의 일 실시예를 따른 자동 초점 조절 모듈(3)은 상점과 물점의 거리가 유한한 거리만큼 떨어져 있기 때문에, 무한 광학계와 달리 구조가 단순할 수 있고, 물체를 관측할 수 있는 폭인 광학계의 시야(Field of View)가 길수 있다.Since the auto focusing module 3 according to an embodiment of the present invention has a finite distance from a store to a store, the structure may be simple, unlike an infinite optical system, and a width of an optical system that can observe an object. The field of view can be long.

한편, 본 발명의 일 실시예에서 제1 경로(L1)의 연장선과 제2 경로(L2)의 연장선이 한점에서 수렴될 수 있다. 이때 수렴된 한점이 카메라(80)에 수집되면 초점을 맞게 되어 센서부(30)에서 센싱된 광의 강도가 최대값을 가질 수 있다.Meanwhile, in one embodiment of the present invention, an extension line of the first path L1 and an extension line of the second path L2 may converge at one point. In this case, when the converged one point is collected by the camera 80, the focus is achieved, and thus the intensity of light sensed by the sensor unit 30 may have a maximum value.

도 1 및 도 2를 참고하면, 제어부(51)는 센서부(30)에서 전달받은 정보를 통해서 얻은 광의 강도를 통해서 구동부(50)를 제어함으로써 광의 강도가 최대값을 갖도록 할 수 있다.1 and 2, the controller 51 may control the driving unit 50 through the intensity of light obtained through the information received from the sensor unit 30 so that the intensity of the light has a maximum value.

이때, 제어부(51)는 분석이 끝나면 제어부(51)와 연결된 구동부(50)에 신호를 보내고, 구동부(50)는 제어부(51)로부터 받은 신호를 바탕으로 경통부(50)를 상하방향으로 이동시킬 수 있다.At this time, the control unit 51 sends a signal to the driving unit 50 connected to the control unit 51 after the analysis is completed, the driving unit 50 to move the barrel 50 in the vertical direction based on the signal received from the control unit 51. Can be.

즉, 센서부(30)에서 센싱된 광의 강도가 최대값을 가지도록 기판(2)과 렌즈부(40) 사이의 거리를 조절하기 위해서 구동부(50) 및 제어부(51)는 내부에 렌즈부(40)가 설치된 경통부(10)를 상하 방향으로 이동시킬 수 있다. 이때 센서부(30)에서 센싱된 광의 강도가 최대값이 되면 광은 정확히 카메라(80)에 수렴지점(P1)을 갖아 카메라가 선명한 이미지를 얻을 수 있도록 한다.That is, in order to adjust the distance between the substrate 2 and the lens unit 40 so that the intensity of light sensed by the sensor unit 30 has a maximum value, the driving unit 50 and the control unit 51 have a lens unit ( The barrel 10 provided with 40 can be moved to an up-down direction. At this time, when the intensity of light sensed by the sensor unit 30 reaches a maximum value, the light has a convergence point P1 in the camera 80 so that the camera can obtain a clear image.

한편, 본 발명의 일 실시예에서 제2 조명부(70)는 경통부(10)와 이송부(60) 사이에 형성될 수 있다. 또한 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 조명부(70)는 제2 광원(71) 및 조사부(70a)를 포함할 수 있다.On the other hand, in one embodiment of the present invention, the second lighting unit 70 may be formed between the barrel 10 and the transfer unit 60. In addition, the second lighting unit 70 according to an embodiment of the present invention may include a second light source 71 and an irradiation unit 70a.

본 발명의 일 실시예에 따른 제2 광원(71)은 광을 생성할 수 있다. 이때 생성된 광은 조사부(70a)를 거쳐 기판(2)에 조사될 수 있다. The second light source 71 according to an embodiment of the present invention may generate light. In this case, the generated light may be irradiated onto the substrate 2 via the irradiation unit 70a.

도 4를 참고하면, 본 발명의 일 실시예에서 제2 조명부(70)는 제2 광원(71)에서 생성된 광(L3)을 수광렌즈(73)와 동축부(74)를 통해 광경로를 변경하여 기판(2)에 조명광(L4)을 조사할 수 있다.Referring to FIG. 4, in one embodiment of the present invention, the second lighting unit 70 uses the light L3 generated by the second light source 71 to form an optical path through the light receiving lens 73 and the coaxial unit 74. The illumination light L4 can be irradiated to the board | substrate 2 by changing.

이때, 조명광(L4)은 기판(2)의 면 일부에 조사되며, 경통부(50)는 기판(2)에 반사된 조명광(L4)을 카메라(80)를 통해 포착하여 기판 표면의 결함을 검출할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에서 조명광(L4)은 기판(2) 전체가 아닌 라인 형태로 기판(2)의 일부 면에 조사될 수 있다. At this time, the illumination light (L4) is irradiated to a portion of the surface of the substrate 2, the barrel 50 captures the illumination light (L4) reflected on the substrate 2 through the camera 80 to detect a defect on the surface of the substrate. Can be. In one embodiment of the present invention, the illumination light L4 may be irradiated to some surfaces of the substrate 2 in the form of lines rather than the entire substrate 2.

기판(2)에 조사된 라인 형태의 조명광(L4)은 기판에 반사되어 경통부(10)를 거쳐 카메라(80)로 이동하게 된다. 이때, 본 발명의 일 실시예에서 카메라(80)는 렌즈부(40)를 통해 한점으로 수렴된 광을 수집함으로써 카메라에 상이 또렷하게 맺힐 수 있다.The line-shaped illumination light L4 irradiated onto the substrate 2 is reflected by the substrate to move to the camera 80 via the barrel 10. At this time, in one embodiment of the present invention, the camera 80 may collect the light converged to one point through the lens unit 40 to make the image clearly on the camera.

한편, 본 발명의 일 실시예에서 제2 광원(71)에서 발생한 광(L3)은 동축부(74)를 거쳐 기판(2)에 조명광(L4)의 형태로 조사되고, 조명광(L4)은 기판에 반사되어 반사광(L5)을 형성할 수 있다. 이때 반사광(L5)은 경통부(50) 내부 중공부의 렌즈부(40)로 진입할 수 있다. 렌즈부(40)로 진입한 반사광(L5)은 렌즈부에 의해 굴절되고, 굴절된 굴절광은 경통부(10) 상부에 위치한 카메라(80)로 이동하여 상을 맺게 된다.Meanwhile, in one embodiment of the present invention, the light L3 generated by the second light source 71 is irradiated to the substrate 2 in the form of the illumination light L4 via the coaxial portion 74, and the illumination light L4 is the substrate. Reflected light L5 may be reflected. In this case, the reflected light L5 may enter the lens unit 40 of the hollow part 50. The reflected light L5 entering the lens part 40 is refracted by the lens part, and the refracted refracted light moves to the camera 80 positioned above the barrel part 10 to form an image.

이를 통한 본 발명의 일 실시예에서 표면 결함 검출 장치(1)는 기판 표면의 결함을 검출할 수 있다.In this embodiment, the surface defect detection apparatus 1 may detect a defect on the surface of the substrate.

한편, 본 발명의 일 실시예에서 표면 결함 검출 장치(1)는 카메라(80)와 렌즈부(40) 사이에 광 필터(12)가 설치될 수 있다. 이때 본 발명의 일 실시예에서 광 필터(12)는 IR Cut-off 필터일 수 있고, 적외선 파장대의 광의 투과를 방지할 수 있다. On the other hand, in the embodiment of the present invention, the surface defect detection device 1 may be provided with an optical filter 12 between the camera 80 and the lens unit 40. At this time, in one embodiment of the present invention, the optical filter 12 may be an IR cut-off filter, and may prevent transmission of light in the infrared wavelength band.

이를 통해 본 발명의 일 실시예에서 카메라(80)에는 적외선 파장대의 광을 차단하여 가시광선 파장대의 광만을 선택적으로 수집하여, 정밀한 측정 결과를 도출할 수 있다.Through this, in one embodiment of the present invention, the camera 80 blocks light of the infrared wavelength band and selectively collects only the visible light band, thereby obtaining accurate measurement results.

한편, 도 3 및 도 4를 참고한 본 발명의 일 실시예에서 제2 광원(71)은 조사부(70a)와 연결될 수 있다. 또한 제2 광원(71)은 광(L3)을 생성할 수 있는데, 이러한 광(L3)은 파장대가 혼재된 백색광일 수 있지만, 단일 파장대로 형성할 수 있다. Meanwhile, in an embodiment of the present invention with reference to FIGS. 3 and 4, the second light source 71 may be connected to the irradiator 70a. In addition, the second light source 71 may generate the light L3. The light L3 may be white light having a mixed wavelength band, but may be formed in a single wavelength.

또한 제2 광원(71)은 전자의 에너지 준위 변화를 통해 빛을 발생하는 발광 다이오드(Light Emitting Diode, 이하 LED)로 구성될 수 있다. LED는 구조가 단순하고, 단일 파장대의 빛을 쉽게 형성할 수 있기에 간단하게 복수의 제2 광원(71)을 결합하여 다양한 파장대의 빛(L3)을 생성할 수 있다.In addition, the second light source 71 may be configured as a light emitting diode (LED) that generates light through a change in energy level of electrons. Since the LED is simple in structure and easily forms light in a single wavelength band, the LEDs may simply combine the plurality of second light sources 71 to generate light L3 in various wavelength bands.

또한, 본 발명의 일 실시예에서 제2 광원(71)에서 발생시키는 광(L3)은 가시광선 영역대(400nm 내지 700nm)의 파장을 가질 수 있다. 가시광선은 인간의 눈으로 식별이 가능한 빛을 의미하는데, 인간의 눈으로는 600nm 내지 700nm의 파장대는 붉은색, 500nm 내지 600nm의 파장대는 녹색으로, 400nm 내지 500nm의 파장대는 푸른색으로 보이게 된다. LED는 이러한 가시광선 영역대의 파장을 생성할 수 있으며, 이러한 LED를 복수개 결합하는 것으로 다양한 파장대의 광(L3)을 생성하는 제2 광원(71)을 형성할 수 있다. In addition, in one embodiment of the present invention, the light L3 generated by the second light source 71 may have a wavelength in the visible light band (400 nm to 700 nm). Visible light refers to light that can be identified by the human eye. In the human eye, the wavelength range of 600 nm to 700 nm is red, the wavelength range of 500 nm to 600 nm is green, and the wavelength range of 400 nm to 500 nm is blue. The LED may generate the wavelength of the visible light band, and by combining a plurality of such LEDs, the second light source 71 may generate the light L3 of various wavelength bands.

이를 통해 본 발명의 일 실시예에 따른 표면 결함 검출 장치(1)는 다양한 파장대의 빛을 통해 기판(2)의 결함을 분석하는 것이 가능하다.Through this, the surface defect detection apparatus 1 according to the exemplary embodiment of the present invention may analyze defects of the substrate 2 through light of various wavelength bands.

도 4를 참고하면, 본 발명의 일 실시예에서 조사부(70a)는 가이드(72), 수광렌즈(73), 동축부(74) 및 케이스(75)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 4, in one embodiment of the present invention, the irradiation part 70a may include a guide 72, a light receiving lens 73, a coaxial part 74, and a case 75.

본 발명의 일 실시예에 따른 케이스(75)는 내부에 중공부가 형성될 수 있으며, 상기 케이스(75) 내부 중공부에는 수광렌즈(73) 및 동축부(74)가 위치한다. 또한 케이스(75)의 일측으로 가이드(72)가 삽입된다. 예를 들면, 가이드(72)의 내부에는 중공부가 형성될 수 있다.The case 75 according to the exemplary embodiment of the present invention may have a hollow portion formed therein, and the light receiving lens 73 and the coaxial portion 74 may be disposed in the hollow portion of the case 75. In addition, the guide 72 is inserted into one side of the case 75. For example, a hollow part may be formed in the guide 72.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 가이드(72)는 수광렌즈(73)와 마주보는 면에 라인 형태인 개구부(72a)가 형성될 수 있다. 이때, 개구부(72a)는 가이드(72)의 외측에서 가이드(72)의 내측면으로 형성된 경사면(72b)을 포함할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에서 개구부(72a)는 경사면(72b)으로 인해 외측의 개구면적이 내측의 개구면적보다 더 크게 형성되어 경사면(72b)이 외측으로 갈수록 광축과 멀어지도록 할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에서 경사면(72b)은 광축에 30°내지 45°의 각도를 갖도록 형성할 수 있다.In addition, the guide 72 according to the embodiment of the present invention may be formed with a line-shaped opening 72a on the surface facing the light receiving lens 73. In this case, the opening 72a may include an inclined surface 72b formed as an inner side surface of the guide 72 on the outside of the guide 72. In an embodiment of the present invention, the opening 72a may be formed to be larger than the inner opening area due to the inclined surface 72b so that the inclined surface 72b moves away from the optical axis toward the outside. In an embodiment of the present invention, the inclined surface 72b may be formed to have an angle of 30 ° to 45 ° on the optical axis.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 광섬유(71a)는 0.1mm 내지 1mm의 폭을 가질 수 있으며, 복수개가 결합하여 개구부(72a)를 따라 나란하게 배치될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에서 제2 광원(71)에서 발생한 광(L3)은 가이드(72) 내부 중공부에 형성된 광섬유(71a)로 진입할 수 있다.Meanwhile, the optical fiber 71a according to an embodiment of the present invention may have a width of 0.1 mm to 1 mm, and a plurality of optical fibers 71a may be coupled to be arranged side by side along the opening 72a. In one embodiment of the present invention, the light L3 generated by the second light source 71 may enter the optical fiber 71a formed in the hollow part of the guide 72.

이를 통해 본 발명의 일 실시예에 따른 가이드(72)는 가이드(72) 내부의 광섬유(71a)로 진입한 광(L3)을 개구부(72a)를 통해 회절의 형태로 내보내는 것이 가능하다. As a result, the guide 72 according to the embodiment of the present invention can emit light L3 entering the optical fiber 71a inside the guide 72 in the form of diffraction through the opening 72a.

본 발명의 일 실시예에 따른 수광렌즈(73)는 개구부(72a)를 통해 회절된 광(L3)을 조명광(L4)으로 형성할 수 있다. 이때, 개구부(72a)의 폭과 가이드(72)와 수광렌즈(73)의 거리를 조절하는 것으로 조명광(L4)의 광폭을 조절할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에서 수광렌즈(73)와 가이드(72)의 광축을 일치시키고, 수광렌즈(73)의 초점이 있는 위치에 가이드(72)의 개구부(72a)가 위치하면, 조명광(L4)은 평하게 진행할 수 있다.The light receiving lens 73 according to the exemplary embodiment may form the light L3 diffracted through the opening 72a as the illumination light L4. In this case, the width of the illumination light L4 may be adjusted by adjusting the width of the opening 72a and the distance between the guide 72 and the light receiving lens 73. In an embodiment of the present invention, when the optical axes of the light receiving lens 73 and the guide 72 coincide with each other, and the opening 72a of the guide 72 is positioned at the position where the light receiving lens 73 is in focus, the illumination light L4. ) Can proceed flat.

한편, 수광렌즈(73) 및 가이드(72)의 광축이 일치되지는 아니하나, 수광렌즈(73)의 초점거리에 가이드(72)의 개구부(72a)가 위치하면, 수광렌즈(73)를 통과한 광(L3)은 평행하거나 소정의 각을 갖고 진행할 수 있다. 또는 수광렌즈(73) 및 가이드(72)의 광축은 일치하나 수광렌즈(73)의 초점거리보다 가이드(72)의 개구부(72a)가 멀리 있으면 광(L3)은 발산하고, 반대로 수광렌즈(73) 및 가이드(72)의 광축은 일치하나 수광렌즈(73)의 초점거리보다 가이드(72)의 개구부(72a)가 가까이 있으면 광(L3)은 수렴하게 된다. On the other hand, although the optical axes of the light receiving lens 73 and the guide 72 do not coincide, when the opening 72a of the guide 72 is positioned at the focal length of the light receiving lens 73, the light receiving lens 73 passes through the light receiving lens 73. One light L3 may travel in parallel or at a predetermined angle. Alternatively, if the optical axes of the light receiving lens 73 and the guide 72 coincide with each other, but the opening 72a of the guide 72 is farther from the focal length of the light receiving lens 73, the light L3 is emitted, and conversely, the light receiving lens 73 ) And the optical axis of the guide 72 coincide, but the light L3 converges when the opening 72a of the guide 72 is closer than the focal length of the light receiving lens 73.

이를 통해 본 발명의 일 실시예에서 수광렌즈(73) 및 가이드(72)의 위치와 광축을 조절하여 발산 및 수렴하는 빛을 얻을 수 있으며, 거리 및 광축을 일치하여 평행하게 진행하는 빛을 얻는 것 또한 가능하다. 이를 통해 기판(2)에 조사되는 조명광(L4)의 세기를 조절할 수 있다. 즉, 광 균일성(Uniformity)를 향상시킬 수 있다.Through this, in one embodiment of the present invention, light and divergent light can be obtained by adjusting the position and the optical axis of the light receiving lens 73 and the guide 72, and obtaining the light traveling in parallel with the distance and the optical axis. It is also possible. Through this, the intensity of the illumination light L4 irradiated onto the substrate 2 may be adjusted. That is, light uniformity may be improved.

한편, 본 발명의 일 실시예에서 수광렌즈(73)는 렌즈를 통과하여 굴절한 빛이 서로 평행하게 진행하도록 하는 텔레센트릭 렌즈(Telecentric Lens)로 구성될 수 있다. 이를 통해 본 발명의 일 실시예에서 수광렌즈(73)는 가이드(72)의 개구부(72a)에서 나온 빛을 평행한 평행광 형태로 변환하는 것이 가능하다.Meanwhile, in one embodiment of the present invention, the light receiving lens 73 may be configured as a telecentric lens for allowing the light refracted through the lens to travel in parallel with each other. Accordingly, in one embodiment of the present invention, the light receiving lens 73 may convert the light emitted from the opening 72a of the guide 72 into a parallel parallel light form.

도 3 및 도 4를 참고한 본 발명의 일 실시예에서 조명광(L4)은 기판(2)에 반사되어 반사광(L5)의 형태로 경통부(50)의 렌즈부(51)로 이동할 수 있다. 이때, 반사광(L5)은 렌즈부(40)를 관통하면서 굴절되며, 카메라(53)에 위치한 수렴지점(P1)에 수렴되게 된다. 3 and 4, the illumination light L4 may be reflected by the substrate 2 to move to the lens unit 51 of the barrel part 50 in the form of the reflected light L5. In this case, the reflected light L5 is refracted while penetrating through the lens unit 40 and converges to the convergence point P1 located in the camera 53.

이를 통해 본 발명의 일 실시예에 따른 표면 결함 검출 장치(1)는 기판 표면의 결함을 카메라(80)로 또렷하게 검출할 수 있다. Through this, the surface defect detection apparatus 1 according to the exemplary embodiment of the present invention may clearly detect the defect on the substrate surface with the camera 80.

본 발명을 앞서 기재한 바에 따라 바람직한 실시예를 통해 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며 다음에 기재하는 특허청구범위의 개념과 범위를 벗어나지 않는 한, 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것을 본 발명이 속하는 기술 분야에 종사하는 자들은 쉽게 이해할 것이다.Although the present invention has been described through the preferred embodiments as described above, the present invention is not limited thereto and various modifications and variations are possible without departing from the spirit and scope of the claims set out below. Those in the technical field to which they belong will easily understand.

1: 표면 결함 검출 장치
2: 기판 3: 자동 초점 조절 모듈
10: 경통부 11: 지지부재
12: 광 필터 20: 제1 조명부
20a: 제1 광원 21: 제1 반사부재
30: 센서부 31: 제2 반사부재
32: 편광 필터 40: 렌즈부
50: 구동부 51: 제어부
60: 이송부 61: 받침대
70: 제2 조명부 71: 제2 광원
71a : 광섬유 72: 가이드
72a: 개구부 72b: 경사면
73: 수광렌즈 74: 동축부
80: 카메라1: surface defect detection device
2: substrate 3: auto focus module
10: barrel portion 11: support member
12: light filter 20: first lighting unit
20a: first light source 21: first reflective member
30: sensor unit 31: second reflective member
32: polarization filter 40: lens unit
50: drive unit 51: control unit
60: transfer portion 61: pedestal
70: second lighting unit 71: second light source
71a: optical fiber 72: guide
72a: opening 72b: slope
73: light receiving lens 74: coaxial part
80: camera

Claims (9)

기판의 표면 결함을 검출하기 위해 광의 초점을 조정하는 자동 초점 모듈로서,
내부에 중공부가 형성되는 경통부;
상기 경통부의 일측에 결합되어 상기 기판에 광을 제1 경로로 조사하는 제1 조명부;
상기 경통부의 타측에 결합되어 상기 기판에서 제2 경로로 반사되는 광의 강도를 센싱하는 센서부;
상기 경통부의 내부에 위치하고 상기 기판에 조사되는 광이 일측에 조사되고 상기 조사된 광이 상기 기판에서 반사되는 광이 타측에 조사되는 렌즈부 및
상기 센서부에서 센싱된 광의 강도가 최대값을 가지도록 상기 기판과 상기 렌즈부 사이의 거리를 조절하도록 상기 기판 및 상기 렌즈부 중 적어도 하나를 이동시키는 구동부를 포함하는 자동 초점 조절 모듈.An autofocus module for adjusting the focus of light to detect surface defects on a substrate,
A barrel portion having a hollow portion formed therein;
A first lighting unit coupled to one side of the barrel to irradiate light to the substrate in a first path;
A sensor unit coupled to the other side of the barrel to sense an intensity of light reflected from the substrate to a second path;
A lens unit positioned inside the barrel and irradiated to one side of the light irradiated onto the substrate, and to which the irradiated light is reflected from the substrate to the other side;
And a driving unit to move at least one of the substrate and the lens unit to adjust the distance between the substrate and the lens unit such that the intensity of light sensed by the sensor unit has a maximum value. 제 1항에 있어서
상기 제1 조명부는
상기 기판에 광을 상기 제1 경로로 조사하기 위해서 광을 반사하도록 형성되는 제1 반사부재를 더 포함하는 자동 초점 조절 모듈.The method of claim 1
The first lighting unit
And a first reflecting member formed to reflect light to irradiate the substrate with light in the first path. 제 2항에 있어서,
상기 센서부는,
상기 기판에서 상기 제2 경로로 반사되는 광을 수신하기 위해서 광을 반사하도록 형성되는 제2 반사부재를 더 포함하는 자동 초점 조절 모듈.The method of claim 2,
The sensor unit,
And a second reflecting member configured to reflect light to receive light reflected from the substrate to the second path. 제 1항에 있어서,
상기 구동부는,
상기 제1 경로의 연장선과 상기 제2 경로의 연장선이 한점에서 만나도록 상기 기판과 상기 렌즈부 사이의 거리를 조절하는 제어부를 포함하는 자동 초점 조절 모듈.The method of claim 1,
The driving unit,
And a controller configured to adjust a distance between the substrate and the lens unit such that the extension line of the first path and the extension line of the second path meet at one point. 제 1항에 있어서,
상기 광은 레이저 광인 자동 초점 조절 모듈.The method of claim 1,
And the light is laser light. 제 1항에 있어서,
상기 센서부는,
상기 기판에서 제2 경로로 반사되는 광 중에서 편광된 광 만을 투과시키는 편광 필터를 포함하는 자동 초점 조절 모듈.The method of claim 1,
The sensor unit,
And a polarization filter configured to transmit only polarized light among the light reflected by the second path from the substrate. 제 3항에 있어서,
상기 제1 반사부재 및 상기 제2 반사부재는,
입사되는 광을 선택적으로 투과시키거나 반사시키는 핫 미러(Hot Mirror) 또는 빔 스플리터(Beam Splitter)인 자동 초점 조절 모듈.The method of claim 3, wherein
The first reflecting member and the second reflecting member,
An auto focus module, which is a hot mirror or beam splitter that selectively transmits or reflects incident light. 일면에 기판이 장착되고 상기 기판을 이동시키는 이송부;
상기 기판의 상부에 위치하는 제1 항 내지 제7 항 중 어느 한 항에 따른 자동 초점 조절 모듈;
상기 기판의 결함을 검출하기 위해 상기 기판에 광을 조사하는 제2 조명부 및
상기 기판에서 반사되는 광을 수집하는 카메라를 포함하는 표면 결함 검출 장치.A transfer part mounted on one surface and moving the substrate;
An auto focusing module according to any one of claims 1 to 7 positioned on the substrate;
A second lighting unit irradiating light to the substrate to detect a defect of the substrate;
And a camera collecting the light reflected from the substrate. 제 8항에 있어서
상기 자동 초점 조절 모듈 및 상기 카메라 사이에 형성되어 광을 선택적으로 투과시키는 광 필터를 포함하는 표면 결함 검출 장치.
The method of claim 8
And an optical filter formed between the auto focus module and the camera to selectively transmit light.
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