KR20190103844A

KR20190103844A - Particle collecting device

Info

Publication number: KR20190103844A
Application number: KR1020180024768A
Authority: KR
Inventors: 박진규; 김태희; 이치규; 임상호; 한선호; 연제원
Original assignee: 한국원자력연구원
Priority date: 2018-02-28
Filing date: 2018-02-28
Publication date: 2019-09-05
Also published as: KR102040955B1

Abstract

The present invention relates to a device of collecting particles and, more specifically, to a device of collecting particles, configured to collect, in a dispersed state, particles introduced through an introduction unit, thereby improving measurement accuracy and precision of SIMS analysis, and to prevent the particles from deviating from a collection unit even when the particles are dispersed, thereby improving a collection rate of the particles. To this end, the device of collecting particles comprises: a hollow-shaped body; an introduction unit, through which particles are introduced, disposed on one side of the body; a discharge unit disposed on the other side of the body and communicated with a vacuum source so that a vacuum state is formed in the body; a collection unit disposed in the body and having the particles, introduced through the introduction unit, attached thereto and collected therein; and a guide member disposed in the introduction unit and configured to guide the introduced particles so that the particles are dispersed towards the outside of a radius of the collection unit.

Description

Particle collecting device

본 발명은 입자 회수 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 도입부를 통해 유입되는 입자가 분산된 상태로 회수되어 SIMS 분석의 측정 정확도 및 정밀도가 향상되고, 입자가 분산되어도 회수부를 벗어나지 않도록 차단하므로 입자의 회수율이 향상되는 입자 회수 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a particle recovery apparatus, and more particularly, the particles flowing through the introduction portion are recovered in a dispersed state, thereby improving the measurement accuracy and precision of the SIMS analysis, and blocking the particles from leaving the recovery portion even when the particles are dispersed. The present invention relates to a particle recovery apparatus in which a recovery rate is improved.

국제원자력기구(IAEA)는 불법적인 핵 개발 활동 감시를 위한 안전조치(Safeguards) 강화의 일환으로 환경시료분석법을 도입하였다. 이는 원자력 관련시설의 장치 및 건물에서 시료를 채취하여 시료에 포함된 핵 물질을 분석하는 방법으로, 크게 입자분석법과 총량분석법으로 나눠진다. SIMS(이차이온질량분석)를 이용한 입자분석법은, FT-TIMS(핵분열 트랙-열이온화질량분석)법에 비해 정확도는 다소 떨어지지만, 분석절차가 간편하고 분석시간이 짧기 때문에 IAEA 환경시료 분석에 큰 비중을 차지하고 있다.The International Atomic Energy Agency (IAEA) has introduced environmental sample analysis as part of strengthening Safeguards to monitor illegal nuclear development activities. It is a method of analyzing the nuclear material contained in the sample by taking samples from the facilities and buildings of nuclear-related facilities, and largely divided into particle analysis and total analysis. Particle analysis using secondary ion mass spectrometry (SIMS) is somewhat less accurate than FT-TIMS (nuclear fission track-thermoionization mass spectrometry), but the analysis procedure is simple and the analysis time is short. Accounted for.

SIMS 분석을 위해 시료로부터 입자를 회수하는 방법으로 가장 많이 이용되는 것은 진공흡입-임팩트 기술이다. 이를 위해 도 1에 도시된 바와 같은 장치를 사용하게 되는데, 챔버(10) 내부에는 입자가 충격 및 부착되는 회수대(플란쳇)가 구비되며, 배출구(12)와 연통된 진공원(미도시)을 동작시키면 시료로부터 분리된 입자가 도입구(11)를 통해 챔버(10) 내부로 유입된 후 회수대(20)에 부착되는데, 종래의 경우 입자가 유입되는 도입구(11)의 입구 내경(d1)과 출구 내경(d2)이 동일하게 형성되어 유입된 입자가 회수대(20) 중앙에 밀집되어 분포하게 되며, 이로 인해 도 2에 도시된 바와 같이, SIMS 분석 시 각 입자의 동위원소비가 평균화되어 측정되는 이른바 ‘혼합(mixing)’ 효과를 유발하게 되어 측정 정확도 및 정밀도가 저하되는 문제가 있었다.The most commonly used method of recovering particles from a sample for SIMS analysis is vacuum suction-impact technology. To this end, an apparatus as shown in FIG. 1 is used. A chamber 10 is provided with a recovery table (planar) to which particles are impacted and attached, and a vacuum source (not shown) in communication with the outlet 12. In operation, the particles separated from the sample are introduced into the chamber 10 through the inlet 11 and then attached to the recovery table 20. In the conventional case, the inlet inner diameter of the inlet 11 into which the particles are introduced is introduced ( d1) and the outlet inner diameter (d2) are formed to be the same so that the inflow particles are concentrated in the center of the recovery table 20, so that the isotope ratio of each particle during SIMS analysis as shown in FIG. The so-called 'mixing' effect, which is averaged and measured, causes a problem of deterioration of measurement accuracy and precision.

따라서 이에 대한 개선이 시급한 실정이다.Therefore, there is an urgent need for improvement.

일본 공개특허공보 제2009-530096호(2009.08.27.)Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2009-530096 (2009.08.27.)

본 발명에서 해결하고자 하는 기술적 과제는 도입부를 통해 유입되는 입자가 분산된 상태로 회수될 수 있는 입자 회수 장치를 제공하는 것이다.The technical problem to be solved in the present invention is to provide a particle recovery apparatus that can be recovered in a state in which particles introduced through the introduction portion is dispersed.

또한, 도입부를 통해 유입되는 입자가 회수부를 벗어나지 않도록 차단 가능한 입자 회수 장치를 제공하는 것이다.In addition, it is to provide a particle recovery apparatus that can block the particles flowing through the introduction portion does not leave the recovery portion.

아울러 입자가 회수되는 도입부나 회수부의 설치가 용이하고, 필요에 따라 도입부나 회수부의 교체가 가능한 입자 회수 장치를 제공하는 것이다.Moreover, it is easy to install the introduction part and collection part which collect | recovers particle | grains, and provides the particle collection | recovery apparatus which can replace an introduction part and a recovery part as needed.

상기한 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 입자 회수 장치는 중공 형상의 몸체부와, 상기 몸체부 일측에 배치되며, 입자가 유입되는 도입부와, 상기 몸체부 타측에 배치되며, 상기 몸체부 내부에 진공이 형성되도록 진공원과 연통되는 배출부와, 상기 몸체부 내부에 구비되며, 상기 도입부를 통해 유입되는 입자가 부착되어 회수되는 회수부 및 상기 도입부 내부에 구비되며, 유입된 입자가 상기 회수부의 반경 외측 방향으로 분산되도록 안내하는 가이드 부재를 포함한다.Particle recovery apparatus according to the present invention for solving the above technical problem is disposed in the hollow body portion, one side of the body portion, the introduction portion through which particles are introduced, and the other side of the body portion, the body portion inside A discharge part communicating with a vacuum source so as to form a vacuum at the discharge part, and disposed inside the body part, and having a recovery part attached to and recovered from the particles introduced through the introduction part, and provided inside the introduction part, and the particles introduced therein are recovered. And a guide member for guiding distribution in the radially outward direction of the portion.

상기한 구성을 갖는 본 발명의 입자 회수 장치는 도입부를 통해 유입되는 입자가 분산된 상태로 회수부를 통해 회수되므로 혼합효과가 감소하게 되어 SIMS 분석 시 측정 정확도 및 정밀도가 향상된다.Particle recovery apparatus of the present invention having the above-described configuration is recovered through the recovery unit in a state in which particles introduced through the introduction portion is dispersed, so that the mixing effect is reduced to improve the measurement accuracy and precision during SIMS analysis.

또한, 도입부를 통해 유입되는 입자가 회수부를 벗어나지 않도록 차단 가능하므로 입자의 회수율이 향상된다.In addition, since the particles introduced through the introduction portion can be blocked so as not to leave the recovery portion, the recovery rate of the particles is improved.

아울러 입자가 회수되는 도입부나 회수부의 설치가 용이하고, 필요에 따라 도입부나 회수부의 교체가 가능하므로 작업성이 향상된다.In addition, it is easy to install the introduction portion or the recovery portion where the particles are collected, and the introduction portion and the recovery portion can be replaced as necessary, thereby improving workability.

도 1은 종래의 입자 회수 장치를 도시한 단면도이다.
도 2는 종래의 입자 회수 장치를 통해 회수된 입자를 SIMS 분석한 결과이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 입자 회수 장치를 도시한 단면도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 입자 회수 장치를 도시한 단면도이다.
도 5는 본 발명의 지지부와 회수부의 배치 상태를 도시한 저면도이다.
도 6은 본 발명의 입자 회수 장치를 통해 회수된 입자를 SIMS 분석한 결과로서, 도 6a는 입구 내경 대비 출구 내경의 비율이 1 : 3 인 경우이고, 도 6b는 입구 내경 대비 출구 내경의 비율이 1 : 5 인 경우이다.1 is a cross-sectional view showing a conventional particle recovery device.
2 is a result of SIMS analysis of the particles recovered through the conventional particle recovery apparatus.
3 is a cross-sectional view showing a particle recovery device according to an embodiment of the present invention.
4 is a cross-sectional view showing a particle recovery device according to another embodiment of the present invention.
Fig. 5 is a bottom view showing the arrangement of the support part and the recovery part of the present invention.
6 is a result of SIMS analysis of the particles recovered by the particle recovery device of the present invention, Figure 6a is a case where the ratio of the outlet inner diameter to the inlet diameter is 1: 3, Figure 6b is a ratio of the outlet inner diameter to the inlet diameter 1: 5

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참고부호를 붙였다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the present invention. As those skilled in the art would realize, the described embodiments may be modified in various different ways, all without departing from the spirit or scope of the present invention. In the drawings, parts irrelevant to the description are omitted for clarity, and like reference numerals designate like elements throughout the specification.

본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. 또한, 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 경우, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "아래에" 있다고 할 경우, 이는 다른 부분 "바로 아래에" 있는 경우뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다.In this specification, terms such as "comprise" or "have" are intended to indicate that there is a feature, number, step, action, component, part, or combination thereof described on the specification, and one or more other features. It is to be understood that the present invention does not exclude the possibility of the presence or the addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof. In addition, when a part such as a layer, film, region, plate, etc. is said to be "on" another part, this includes not only when the other part is "right on" but also another part in the middle. Conversely, when a part such as a layer, film, region, plate, etc. is "below" another part, this includes not only the other part "below" but also another part in the middle.

도 1은 종래의 입자 회수 장치를 도시한 단면도이고, 도 2는 종래의 입자 회수 장치를 통해 회수된 입자를 SIMS 분석한 결과이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 입자 회수 장치를 도시한 단면도이고, 도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 입자 회수 장치를 도시한 단면도이고, 도 5는 본 발명의 지지부와 회수부의 배치 상태를 도시한 평면도이며, 도 6은 본 발명의 입자 회수 장치를 통해 회수된 입자를 SIMS 분석한 결과이다.1 is a cross-sectional view showing a conventional particle recovery device, Figure 2 is a result of SIMS analysis of the particles recovered through the conventional particle recovery device, Figure 3 shows a particle recovery device according to an embodiment of the present invention 4 is a cross-sectional view showing a particle recovery device according to another embodiment of the present invention, Figure 5 is a plan view showing the arrangement of the support portion and the recovery portion of the present invention, Figure 6 is a particle recovery of the present invention SIMS analysis of the particles recovered through the device.

도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 입자 회수 장치는 중공 형상의 몸체부(100)와, 이러한 몸체부(100)의 일측과 타측에 각각 배치되는 도입부(200)와 배출부(300)가 구비된다.As shown in Figure 3, the particle recovery device according to an embodiment of the present invention is a hollow body portion 100, and the introduction portion 200 and discharge which are respectively disposed on one side and the other side of the body portion 100 The unit 300 is provided.

이러한 배출부(300)는 진공원(30)과 연통되어 몸체부(100) 내부에 진공이 형성되도록 하며, 몸체부(100) 내부에서 진공이 형성되면서 강한 공기흐름이 생성되면 이로 인해 시료로부터 입자가 분리된 후 도입부(200)를 통해 몸체부(100) 내부로 입자가 유입된다.The discharge part 300 is in communication with the vacuum source 30 so that a vacuum is formed in the body portion 100, and when a vacuum is formed in the body portion 100, a strong air flow is generated, thereby causing particles from the sample. After the separation, particles are introduced into the body portion 100 through the introduction portion 200.

몸체부(100) 내부에는 도입부(200)를 통해 유입된 입자가 부착되는 회수부(400)가 구비된다. 이러한 회수부(400)에는 입자가 부착되도록 표면에 점착 물질(grease)이 도포된다. 회수부(400)의 둘레는 몸체부(100) 내주면(110)으로부터 일정 거리 이격되도록 배치되는데, 이는 진공원(30)을 통해 생성된 공기흐름이 회수부(400)의 둘레와 몸체부(100)의 내주면(110) 사이의 배출공간(510)을 경유해서 배출부(300)를 통해 배출될 수 있도록 하기 위함이다.Inside the body portion 100 is provided with a recovery unit 400 is attached to the particles introduced through the introduction unit 200. An adhesive substance (grease) is applied to the surface of the recovery part 400 so that particles are attached. The circumference of the recovery part 400 is disposed to be spaced apart from the inner circumferential surface 110 of the body part 100 by a predetermined distance, which is caused by the air flow generated through the vacuum source 30 to the circumference of the recovery part 400 and the body part 100. In order to be discharged through the discharge unit 300 via the discharge space 510 between the inner peripheral surface (110) of.

회수부(400)를 통해 입자가 회수되면 SIMS에 장착되어 핵물질 입자를 찾기 위한 APM(automated particle measurement) 측정, 그리고 찾아낸 개별 입자에 대한 동위원소 비 정밀측정을 실시하게 된다.When the particles are recovered through the recovery unit 400, the particles are mounted on the SIMS to perform automated particle measurement (APM) measurement to find nuclear material particles, and to perform isotopic ratio measurement on the individual particles found.

아울러 몸체부(100) 내주면(110)에는 전술한 회수부(400)가 중력에 의해 떨어지지 않도록 지지하는 지지부(500)가 구비된다. 이러한 지지부(500)는 몸체부(100)의 반경 내측 방향으로 연장 형성되되, 몸체부(100)의 내경을 따라 복수의 지지부(500)가 상호 이격 배치되도록 구비되며, 이러한 지지부(500) 사이의 공간으로 공기흐름이 경유하게 된다.In addition, the inner peripheral surface 110 of the body portion 100 is provided with a support 500 for supporting the above-mentioned recovery portion 400 so as not to fall by gravity. The support 500 is formed to extend in the radially inner direction of the body portion 100, the plurality of support portions 500 are provided to be spaced apart from each other along the inner diameter of the body portion 100, between the support portion 500 Air flows through the space.

이때, 도 3에 도시된 바와 같이, 도입부(200)에는 유입된 입자가 분산되도록 안내하는 가이드 부재(210)가 구비된다. 즉, 도입부(200)로 유입된 입자는 가이드 부재(210)를 따라서 분산된 상태로 몸체부(100) 내부로 유입되어 회수부(400)에 부착되는 것이다.At this time, as shown in Figure 3, the introduction portion 200 is provided with a guide member 210 for guiding the dispersed particles. That is, particles introduced into the introduction part 200 are introduced into the body part 100 in a dispersed state along the guide member 210 and are attached to the recovery part 400.

이를 좀 더 상세하게 설명하면, 가이드 부재(210)에는 입구와 출구가 형성되며, 가이드 부재(210)의 입구는 시료와 인접하게 배치되어 시료로부터 분리된 입자가 최초로 유입되는 위치를 의미하며, 가이드 부재(210)의 출구는 후술할 차단 부재(220)가 배치되는 위치를 의미한다.In more detail, the inlet and the outlet are formed in the guide member 210, and the inlet of the guide member 210 is disposed adjacent to the sample to mean a position where the particles separated from the sample are first introduced. The outlet of the member 210 means a position where the blocking member 220 to be described later is disposed.

이러한 가이드 부재(210)의 출구 내경(D2)은 입구 내경(D1) 보다 크게 형성된다. 즉, 공기흐름은 단면적이 좁은 입구를 통해 유입된 후, 단면적이 넓은 출구를 통해 몸체부(100) 내부로 유입되면서 분산되게 되며, 시료에서 분리된 입자도 이러한 공기흐름을 함께 이동하면서 분산된 상태로 몸체부(100) 내부로 유입되는 것이다.The outlet inner diameter D2 of the guide member 210 is larger than the inlet inner diameter D1. That is, the air flow is introduced through the inlet through a narrow cross-sectional area, and dispersed as it enters the body portion 100 through the wide cross-section outlet, and the particles separated from the sample are dispersed while moving the air flow together. Furnace will be introduced into the body portion 100.

다만, 입자가 지나치게 분산되는 경우에는 회수부(400)를 지나쳐서 배출공간(510)을 통해 배출되는 문제가 발생할 수 있는데, 이러한 것을 방지하기 위해 가이드 부재(210)의 후단에는 차단 부재(220)가 구비된다.However, when the particles are excessively dispersed, a problem may occur that passes through the discharge part 510 by passing through the recovery part 400. In order to prevent this, the blocking member 220 is formed at the rear end of the guide member 210. It is provided.

즉, 차단 부재(220)는 입자가 분산되는 정도를 제한하게 되며, 유입된 입자는 이러한 차단 부재(220)를 통해 분산되는 정도가 제한된 상태에서 공기흐름과 입자의 질량에 따른 관성에 의해 회수부(400)를 벗어나지 않고, 분산된 상태로 회수부(400)에 부착되는 것이다. 이러한 차단 부재(220)에는 유입된 입자의 흐름 방향을 따라 입구와 출구가 형성된다. 즉, 가이드 부재(210)의 후단과 인접한 부분이 차단 부재(220)의 입구이고, 회수부(400)와 인접한 부분이 차단 부재(220)의 출구로 정의할 때, 차단 부재(220)의 출구 내경은 입구 내경보다 크게 형성되며, 이와 같이 구성하면 차단 부재(220)로 유입된 입자가 반경 외측 방향으로 분산되는 효과가 있다.That is, the blocking member 220 limits the degree to which the particles are dispersed, and the inflow particles are recovered by the inertia according to the air flow and the mass of the particles in a limited state in which the particles are dispersed through the blocking member 220. 400 will be attached to the recovery unit 400 in a dispersed state without departing. The blocking member 220 is formed with an inlet and an outlet along the flow direction of the introduced particles. That is, when the portion adjacent to the rear end of the guide member 210 is the inlet of the blocking member 220, and the portion adjacent to the recovery part 400 is defined as the outlet of the blocking member 220, the outlet of the blocking member 220 is defined. The inner diameter is formed larger than the inlet inner diameter, and if configured in this way, the particles introduced into the blocking member 220 are dispersed in the radially outward direction.

또한, 도 4에 도시된 바와 같이, 가이드 부재(210)의 출구 내경보다 차단 부재(220)의 입구 내경이 크게 형성하는 것도 가능하다. 이와 같이 구성하면 가이드 부재(220)의 출구를 통해 유출된 입자의 분산도가 향상되는 효과가 있다.In addition, as shown in FIG. 4, the inlet inner diameter of the blocking member 220 may be larger than the inner diameter of the outlet of the guide member 210. In this configuration, the dispersion degree of the particles flowing out through the outlet of the guide member 220 is improved.

다만, 차단 부재(220)의 출구 내경은 회수부(400)의 직경보다는 작게 형성되는 것이 바람직하다. 이는 차단 부재(220)를 따라 유입된 입자가 분산되더라도 회수부(400)를 벗어나지 않고 회수가 가능하도록 함으로써 입자의 회수율을 증가시키기 위함이다.However, the inner diameter of the outlet of the blocking member 220 is preferably smaller than the diameter of the recovery unit 400. This is to increase the recovery rate of the particles by enabling the recovery without leaving the recovery unit 400 even if the particles introduced along the blocking member 220 is dispersed.

이러한 가이드 부재(210)는 도 3에 도시된 바와 같이, 내주면의 경사가 일정하도록 직선형으로 형성될 수 있다. 도입부(200)로 유입된 공기흐름은 이와 같이 직선형으로 확장되는 가이드 부재(210)의 내주면을 따라 이동하게 되며, 공기흐름을 따라 함께 유입된 입자도 이러한 내주면을 따라 이동하게 된다.As shown in FIG. 3, the guide member 210 may be formed in a straight line such that the inclination of the inner circumferential surface is constant. The air flow introduced into the inlet 200 moves along the inner circumferential surface of the guide member 210 extending in a straight line as described above, and the particles introduced together along the air flow also move along the inner circumferential surface.

공기흐름을 따라 함께 유입된 입자는 공기흐름에 의한 영향과 입자 자체의 질량에 따른 관성의 영향을 동시에 받으면서 분산되는데, 이와 같이 가이드 부재(210)의 내주면을 직선형으로 형성하게 되면 가이드 부재(210)의 내주면을 따라 이동하는 공기흐름이 분산되는 정도가 제한되므로 입자 자체의 질량에 따른 관성의 영향이 입자가 분산되는 정도를 결정하게 된다. 즉, 유입되는 입자가 공기흐름보다는 입자 자체의 질량에 따른 관성의 영향을 크게 받는 종류의 입자일 경우에는 이와 같이 내주면이 직선형으로 형성된 가이드 부재(210)를 사용하게 되면 분산되는 정도가 증가하게 되어 추후 SIMS 분석 시 측정 정확도 및 정밀도가 향상된다.The particles introduced together along the air flow are dispersed while being affected by the air flow and the inertia according to the mass of the particles themselves. Thus, when the inner circumferential surface of the guide member 210 is formed in a straight line, the guide member 210 is formed. Since the degree of dispersion of air flow along the inner circumferential surface of is limited, the influence of inertia on the mass of the particles themselves determines the degree of dispersion of the particles. That is, when the incoming particles are a kind of particles that are greatly influenced by the inertia according to the mass of the particles themselves, the degree of dispersion is increased by using the guide member 210 having a straight inner circumferential surface. Measurement accuracy and precision will be improved in future SIMS analysis.

아울러 가이드 부재(210)는 도 4에 도시된 바와 같이, 내주면의 접선의 경사가 증가하도록 곡선형으로 형성될 수도 있다. 전술한 바와 같이, 도입부(200)로 유입된 공기흐름은 이와 같이 직선형으로 확장되는 가이드 부재(210)의 내주면을 따라 이동하게 되며, 공기흐름을 따라 함께 유입된 입자도 이러한 내주면을 따라 이동하게 되는데, 이와 같이 가이드 부재(210)의 내주면을 곡선형으로 형성하게 되면 가이드 부재(210)의 내주면을 따라 이동하는 공기흐름이 분산되는 정도가 증가하게 되므로 공기흐름에 의한 영향이 입자가 분산되는 정도를 결정하게 된다. 즉, 유입되는 입자가 입자 자체의 질량에 따른 관성의 영향보다는 공기흐름에 의한 영향을 크게 받는 종류의 입자일 경우에는 이와 같이 내주면이 곡선형으로 형성된 가이드 부재(210)를 사용하게 되면 분산되는 정도가 증가하게 되어 추후 SIMS 분석 시 측정 정확도 및 정밀도가 향상된다.In addition, the guide member 210 may be formed in a curved shape so as to increase the inclination of the tangent of the inner peripheral surface as shown in FIG. As described above, the air flow introduced into the inlet 200 moves along the inner circumferential surface of the guide member 210 extending in a straight line as described above, and the particles introduced together along the air flow also move along the inner circumferential surface. As such, when the inner circumferential surface of the guide member 210 is formed in a curved shape, the degree of dispersion of the air flow moving along the inner circumferential surface of the guide member 210 is increased. Will be decided. That is, when the incoming particles are particles of a kind that are more affected by air flow than by the inertia according to the mass of the particles themselves, the degree of dispersion is achieved by using the guide member 210 having a curved inner circumferential surface. This increases the measurement accuracy and precision in subsequent SIMS analysis.

아래의 표 1은 가이드 부재(210)의 입구 내경(D1) 대비 출구 내경(D2)의 비율을 다양하게 변화시켰을 때의 회수율(%)을 나타낸 것이다.Table 1 below shows the recovery rate (%) when the ratio of the outlet inner diameter D2 to the inlet inner diameter D1 of the guide member 210 is variously changed.

[표 1]TABLE 1

실시예 1(case 1)은 종래와 같이, 입구 내경(D1)과 출구 내경(D2)을 동일하게 형성했을 때의 회수율을 나타내며, 실시예 2 내지 5(case 2 내지 5)는 출구 내경(D2)을 점차 증가시켰을 때의 회수율을 나타내며, 이때, 가이드 부재(210)의 내주면은 직선형으로 형성된다.Example 1 (case 1) shows a recovery rate when the inlet inner diameter D1 and the outlet inner diameter D2 are formed in the same manner as in the prior art, and Examples 2 to 5 (case 2 to 5) indicate the outlet inner diameter D2. ) Shows a recovery rate when gradually increasing, wherein the inner circumferential surface of the guide member 210 is formed in a straight line.

즉, 출구 내경(D2)이 증가할수록 회수율이 감소하는 것을 확인할 수 있으며, 실시예 4 및 5(case 4 및 5)의 경우 회수율이 지나치게 감소하게 되는데, 이는 출구 내경(D2) 증가에 따른 분산도가 지나치게 증가했기 때문이다.That is, it can be seen that as the outlet diameter D2 increases, the recovery rate decreases. In Examples 4 and 5, the recovery rate decreases excessively. Is due to excessive increase.

따라서 실시예 2 및 3(case 2 및 3)의 경우가 실시예 1(case 1)과 비교했을 때에도 이와 유사한 회수율을 확보할 수 있는 것을 확인할 수 있다. 다만, 도 6a에 도시된 바와 같이, 입구 내경(D1) 대비 출구 내경(D2)의 비율이 1 : 3 인 경우에는 혼합효과의 영향으로 인해 중간 영역의 동위원소비 값이 많이 측정되는 반면, 도 6b에 도시된 바와 같이, 입구 내경(D1) 대비 출구 내경(D2)의 비율이 1 : 5 인 경우에는 혼합효과가 현저하게 감소하여 동위원소비 분포가 구분되어 나타나는 것을 확인한 수 있다. 따라서 가이드 부재(210)의 입구 내경(D1) 대비출구 내경(D2)의 비율은 혼합 효과가 감소함으로써 동위원소비 분포가 구분될 수 있음과 동시에 회수율도 확보할 수 있는 1 : 3 보다는 크고 1 : 7 보다는 작은 범위로 형성하는 것이 바람직하며, 입구 내경(D1) 대비 출구 내경(D2)의 비율을 1 : 5로 형성하는 것이 가장 바람직하다.Accordingly, it can be confirmed that similar recoveries can be obtained in the case of Examples 2 and 3 (case 2 and 3) compared with Example 1 (case 1). However, as shown in FIG. 6A, in the case where the ratio of the inlet diameter D1 to the outlet inner diameter D2 is 1: 3, the isotope ratio value of the middle region is largely measured due to the effect of the mixing effect. As shown in 6b, in the case where the ratio of the inlet diameter D1 to the outlet inner diameter D2 is 1: 5, the mixing effect is remarkably reduced, and the isotope ratio distribution can be confirmed to appear separately. Therefore, the ratio of the outlet inner diameter D2 to the inlet inner diameter D1 of the guide member 210 is greater than 1: 3, which allows the isotope ratio distribution to be distinguished at the same time, and at the same time ensures a recovery rate. It is preferable to form it in the range smaller than 7, and it is most preferable to form the ratio of the inside diameter D2 of the inlet diameter D1 to the inside diameter D2 of 1: 5.

아울러 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 도입부(200)와 배출부(300)에는 몸체부(100)와 체결 또는 분리가 가능하도록 체결 부재(230, 310)가 각각 형성되는 것이 바람직하며, 이와 같이 구성하면 도입부(200)나 회수부(300)의 설치가 용이하고, 필요에 따라 도입부(200)나 회수부(300)의 교체에 따른 작업성이 향상되는 효과가 있다.In addition, as shown in Figure 3 and 4, the introduction portion 200 and the discharge portion 300, it is preferable that the fastening members 230, 310 are formed to be fastened or separated from the body portion 100, respectively, When configured in this manner, the introduction part 200 or the recovery part 300 can be easily installed, and workability due to the replacement of the introduction part 200 or the recovery part 300 is improved as necessary.

이상에서 본 발명의 일 실시예에 대하여 설명하였으나, 본 발명의 사상은 본 명세서에 제시되는 실시 예에 제한되지 아니하며, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서, 구성요소의 부가, 변경, 삭제, 추가 등에 의해서 다른 실시 예를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본 발명의 사상범위 내에 든다고 할 것이다.Although one embodiment of the present invention has been described above, the spirit of the present invention is not limited to the embodiments set forth herein, and those skilled in the art who understand the spirit of the present invention, within the scope of the same idea, the addition of components Other embodiments may be easily proposed by changing, deleting, adding, and the like, but this will also fall within the spirit of the present invention.

10 : 챔버 11 : 도입구
12 : 배출구 20 : 회수대
30 : 진공원 100 : 몸체부
110 : 몸체부 내주면 200 : 도입부
210 : 가이드 부재 211 : 가이드 부재 내주면
220 : 차단 부재 230 : 체결 부재
300 : 배출부 310 : 체결 부재
400 : 회수부 500 : 지지부
510 : 배출공간10 chamber 11 inlet port
12: outlet 20: recovery table
30: vacuum source 100: body
110: body portion inner peripheral surface 200: introduction
210: guide member 211: guide member inner peripheral surface
220: blocking member 230: fastening member
300: discharge portion 310: fastening member
400: recovery part 500: support part
510: discharge space

Claims

A hollow body portion;
An introduction part disposed on one side of the body part and into which particles are introduced;
A discharge part disposed at the other side of the body part and communicating with a vacuum source to form a vacuum in the body part;
A recovery part provided inside the body part and attached and recovered with particles introduced through the introduction part; And
A guide member provided in the introduction part and configured to guide the introduced particles to be dispersed in the radially outward direction of the recovery part;
Particle recovery apparatus comprising a.

The method of claim 1,
The introduction portion further comprises a blocking member disposed at the rear end of the guide member to prevent dispersed particles from leaving the recovery portion.

The method of claim 2,
The outlet inner diameter of the blocking member is formed larger than the inlet inner diameter,
Particle recovery apparatus, characterized in that the outlet inner diameter of the blocking member is formed smaller than the diameter of the recovery portion.

The method of claim 1,
And the outlet inner diameter of the guide member is larger than the inlet inner diameter.

The method of claim 4, wherein
An inner circumferential surface of the guide member is formed in a straight line shape so that the inclination is constant.

The method of claim 4, wherein
The inner circumferential surface of the guide member is formed in a curved shape so that the inclination of the tangent line is increased.

The method of claim 4, wherein
And a ratio of the inner diameter of the outlet to the inner diameter of the outlet of the guide member is larger than 1: 3 and smaller than 1: 7.

The method of claim 1,
Particle recovery apparatus characterized in that the introduction member and the discharge portion is formed with a fastening member to be fastened or separated with the body portion.

The method of claim 1,
The inner circumferential surface of the body portion further comprises a support for supporting the lower end of the recovery unit.

The method of claim 9,
The support part is formed extending in the radially inner direction of the body portion, the particle recovery device, characterized in that the plurality of the support portion is disposed in the circumferential direction of the body portion.