KR20190097865A

KR20190097865A - VUV Ionizer

Info

Publication number: KR20190097865A
Application number: KR1020180017811A
Authority: KR
Inventors: 이동훈; 박진철; 신상도; 이민호
Original assignee: (주)선재하이테크
Priority date: 2018-02-13
Filing date: 2018-02-13
Publication date: 2019-08-21
Also published as: KR102065347B1

Abstract

A static eliminator using vacuum ultraviolet rays (VUV) according to the present invention includes: a head part which includes a VUV lamp including an irradiation part extended in one direction, and an upper housing accommodating the VUV lamp and having one side open so that the irradiation part protrudes to the outside; a socket part which includes a lower housing having an upper part coupled to the lower part of the upper housing, and a connector disposed at one side of the lower housing and electrically connecting the VUV lamp and a voltage generator provided outside; and a chamber coupling part which is extended to surround the irradiation part from the open part of the one side of the upper housing to surround and has an extended end part coupled to the vacuum chamber provided outside. The head part is detachably coupled from the socket part. A user can easily replace only the VUV lamp.

Description

Static eliminator using vacuum ultraviolet ray {VUV Ionizer}

본 발명은 진공 자외선(VUV)을 이용한 정전기 제거 장치에 관한 것으로, 특히 진공 또는 불활성가스 챔버에 연결되어 진공 자외선을 조사함으로써 제전 기능을 수행하는 진공 자외선을 이용한 정전기 제거장치에 있어서, 챔버와 체결되는 부위의 밀폐력을 강화하고 교체 용이성을 증대시켜 산업상 이용 시 효율성 및 편의성을 극대화한 진공 자외선을 이용한 정전기 제거장치에 관한 것이다. The present invention relates to a static electricity removing device using a vacuum ultraviolet (VUV), in particular in the static electricity removing device using a vacuum ultraviolet light which is connected to a vacuum or inert gas chamber to perform the antistatic function by irradiating vacuum ultraviolet light, which is coupled to the chamber The present invention relates to an electrostatic elimination device using vacuum ultraviolet rays that maximizes efficiency and convenience in industrial use by reinforcing the sealing force of a site and increasing the ease of replacement.

일반적으로 LCD, 반도체 등의 제조 공정에서는 LCD나 반도체 웨이퍼에 미세한 먼지가 부착되거나 정전기에 의하여 소자가 훼손되는 등의 문제점을 미연에 방지하기 위하여 정전기 제거 장치를 설치하는데, 일반 대기압 하에서는 코로나 방전식 장치 또는 엑스선 방사식 장치를 적용하여 주위 공기 및 가스 분자를 이온화해 제전대상 물체의 정전기를 제거할 수 있다. In general, in the manufacturing process of LCD, semiconductor, etc., an electrostatic eliminating device is installed to prevent problems such as fine dust adhering to the LCD or semiconductor wafer or damage of the device due to static electricity. Alternatively, an X-ray radiation apparatus may be applied to ionize surrounding air and gas molecules to remove static electricity from the object to be charged.

한편, 최근들어 LCD, 반도체 기술이 더욱 정밀화됨에 따라 증착 공정이나 진공 챔버 내 공정과 같이 감압 진공 환경에서 진행되거나 불활성가스를 취급하는 등 특수한 환경에서 진행되는 공정도 크게 증가하고 있는 추세인데, 이 경우 엑스선 방사식 장치의 경우에는 대기압 하에서와는 달리 상술한 특수한 환경에서는 정전기 제거 성능이 낮아 활용하기 어렵고, 코로나 방전식 장치는 고전압 방전에 의한 스퍼터링 현상, 이온 밸런스 조정에 따른 불편 등의 문제점이 있어 적용이 어렵다. On the other hand, as LCD and semiconductor technologies have become more precise in recent years, processes in a special environment, such as a deposition process or a process in a vacuum chamber, or handling an inert gas, have been increasing. In the case of X-ray radiation apparatus, unlike under atmospheric pressure, it is difficult to utilize due to the low static electricity removal performance in the above-mentioned special environment, and the corona discharge apparatus has problems such as sputtering caused by high voltage discharge and inconvenience due to ion balance adjustment. This is difficult.

이에 일본의 하마마쯔 회사에서는 진공 자외선을 이용하여 특수한 환경에서 적용 가능한 정전기 제거 장치를 제안(JP 2816037, 대전물체의 중화장치)하였다. 상기 기술은 웨이퍼가 감압된 하우징으로 이송되기 이전에 전처리 하우징 내에 불활성 가스를 주입하고 배기 펌프를 이용해 감압시킨 후 자외선을 투광함으로써 제전을 수행할 수 있도록, 웨이퍼 수납이 가능한 케이스와, 불활성 가스 도입 수단, 중화 전하 발생 수단 및 감압 수단을 포함하는 것을 특징으로 한다. 상기 기술은 특수한 환경에서의 제전을 위한 기초적 구성을 포함하였으나, 중화 전하 발생 수단의 상세 적용 구조 등은 개시되지 않았다. Accordingly, Hamamatsu Corporation of Japan has proposed a static elimination device that can be applied in a special environment using vacuum ultraviolet (JP 2816037, neutralizing device of the charged object). The above technique provides a case containing a wafer and a means for introducing an inert gas so that an inert gas is injected into the pretreatment housing before the wafer is transferred to the reduced pressure housing, the pressure is reduced using an exhaust pump, and then discharge is performed by transmitting ultraviolet rays. And neutralizing charge generating means and decompression means. The above technique includes a basic configuration for static elimination in a special environment, but the detailed application structure of the neutralizing charge generating means and the like have not been disclosed.

따라서, 특히 진공 또는 불활성가스 챔버에 연결되어 진공 자외선을 조사함으로써 제전 기능을 수행하는 진공 자외선을 이용한 정전기 제거장치에 있어서 챔버와 체결되는 부위의 밀폐력을 강화하고 교체 용이성을 증대시켜 산업상 이용 시 효율성 및 편의성을 극대화하는 실용화된 기술의 개발이 필요한 실정이다.Therefore, in particular, in an electrostatic eliminator using vacuum ultraviolet light which is connected to a vacuum or inert gas chamber to perform antistatic function by irradiating vacuum ultraviolet light, it enhances the sealing force of the part that is fastened to the chamber and increases the ease of replacement, thereby improving efficiency in industrial use. And it is necessary to develop a practical technology that maximizes the convenience.

본 발명은 기본적으로 진공 또는 불활성가스 챔버에 연결되어 진공 자외선을 조사함으로써 제전 기능을 수행하는 진공 자외선을 이용한 정전기 제거장치에 있어서, 소모품인 VUV 램프만을 작업자가 간편하게 교체할 수 있도록 하는 것을 주요 목적으로 한다. The present invention is basically connected to a vacuum or an inert gas chamber in the static electricity removing device using a vacuum ultraviolet ray to perform the antistatic function by irradiating vacuum ultraviolet rays, the main object of the operator to easily replace only the VUV lamp as consumables do.

본 발명의 다른 목적은, 일반적으로 유리재로 형성되는 VUV 램프를 효율적으로 보호하는 구조로, 진공 자외선을 이용한 정전기 제거장치가 챔버와 체결되는 부위의 밀폐력을 강화하여 내구성을 높이는 것이다. Another object of the present invention is to efficiently protect a VUV lamp, which is generally formed of a glass material, to enhance durability by strengthening a sealing force at a portion at which an electrostatic eliminator using vacuum ultraviolet rays is fastened to a chamber.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 진공 자외선을 이용한 정전기 제거장치는, 일방으로 연장된 조사부를 포함하는 VUV 램프와, 내부에 상기 VUV 램프를 수용하되 상기 조사부가 외부로 돌출되도록 일 측이 개방된 상부 하우징을 포함하는 헤드부; 상단 부위가 상기 상부 하우징의 하단 부위와 결합되는 하부 하우징과, 상기 하부 하우징의 일 측부에 배치되되 상기 VUV 램프와 외부에 마련된 전압 발생 장치를 전기적으로 연결하는 커넥터를 포함하는 소켓부; 상기 상부 하우징의 일 측 개방 부위에서부터 상기 조사부를 둘러싸며 연장되되 연장 끝단은 외부에 마련된 진공 챔버와 결합되는 챔버 체결부;를 포함하여, 상기 헤드부가 상기 소켓부로부터 탈착 가능하게 결합되는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the static electricity removing device using the vacuum ultraviolet light in accordance with the present invention, the VUV lamp including a one-side extending the irradiation portion, and one side to accommodate the VUV lamp therein but the irradiation portion protrudes to the outside A head portion including an open upper housing; A socket portion including a lower housing having an upper portion coupled to a lower portion of the upper housing, and a connector disposed at one side of the lower housing to electrically connect the VUV lamp and a voltage generator provided outside; And extending from the one side open portion of the upper housing to surround the irradiation part, the extension end of which is coupled to a vacuum chamber provided outside, wherein the head part is detachably coupled to the socket part. do.

상기 VUV 램프가 Angle type으로 형성된 경우에 보다 효율적인 구조로 구현하기 위하여, 본 발명의 진공 자외선을 이용한 정전기 제거장치는, 외관을 이루는 유리재의 측면 일 측에서 외방을 향해 연장된 조사부를 포함하는 VUV 램프와, 내부에 상기 VUV 램프를 수용하되 상기 조사부가 외부로 돌출되는 부위를 포함하는 일 측면이 개방된 상부 하우징을 포함하는 헤드부; 상단 부위가 상기 상부 하우징의 하단 부위와 결합되되 상기 상부 하우징의 개방된 일 측면과 접하는 측면이 개방된 하부 하우징과, 상기 하부 하우징의 일 측부에 배치되되 상기 VUV 램프와 외부에 마련된 전압 발생 장치를 전기적으로 연결하는 커넥터를 포함하는 소켓부; 상기 상부 하우징과 상기 하부 하우징의 개방된 일 측면을 동시에 커버하는 것으로 상부 일 측에 조사부 관통공을 형성한 하우징 커버와, 상기 조사부를 둘러싸는 관 형상으로 일 단이 상기 조사부 관통공과 결합되고 타 단은 외부에 마련된 진공 챔버와 연결되는 조사부 커버관을 포함하는 챔버 체결부;를 포함하되, 상기 헤드부 및 상기 챔버 체결부가 상기 소켓부로부터 탈착 가능하게 또는 일체로 결합되는 것을 특징으로 한다.In order to implement a more efficient structure when the VUV lamp is formed in an angle type, the static electricity removing device using the vacuum ultraviolet ray of the present invention includes a VUV lamp including an irradiation part extending outward from one side of the glass material forming the appearance. And a head portion accommodating the VUV lamp therein, the head portion including an upper housing having one side open to a portion protruding to the outside; A lower housing having an upper portion coupled to a lower portion of the upper housing and having an open side in contact with an open side of the upper housing, and disposed at one side of the lower housing, wherein the VUV lamp and a voltage generator provided outside A socket part including a connector for electrically connecting the connector; Covering the open side of the upper housing and the lower housing at the same time to form a housing cover through-hole on the upper side, and one end of the tubular shape surrounding the irradiation unit is coupled to the irradiation through-hole and the other end Includes a chamber fastening part including an irradiation part cover tube connected to a vacuum chamber provided outside, wherein the head part and the chamber fastening part are detachably or integrally coupled from the socket part.

또한, 상기 챔버 체결부와 상기 조사부 간 이격 공간의 양 단에는, 상기 진공 챔버와 상기 상부 하우징 내부를 밀폐 구획하는 두 개의 밀폐링이 구비되는 것을 특징으로 한다.In addition, at both ends of the space between the chamber fastening portion and the irradiating portion, two sealing rings for sealing the interior of the vacuum chamber and the upper housing is characterized in that it is provided.

더불어, 상기 두 개의 밀폐링에 의해 구획된 상기 이격 공간의 양 단 사이에 기밀용 충전액이 주입되어 형성된 몰딩부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, it characterized in that it further comprises a molding portion formed by injecting a gas-tight filling liquid between the both ends of the separation space partitioned by the two sealing rings.

추가적으로, 상기 헤드부는, 일 단이 상기 VUV 램프에 전기적으로 연결된 상태에서 상기 상부 하우징의 하부로 연장되되 연장 끝단은 암형 접속부 및 숫형 접속부 중 하나인 제1 접속부를 추가로 포함하고, 상기 소켓부는, 일 단이 상기 커넥터에 전기적으로 연결된 상태에서 상기 하부 하우징의 상부로 연장되되 연장 끝단은 암형 접속부 및 숫형 접속부 중 다른 하나로 상기 제1 접속부와 전기적 및 기계적으로 결합되는 제2 접속부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the head portion further extends to the lower portion of the upper housing while one end is electrically connected to the VUV lamp, and the extension end further includes a first connection portion which is one of a female connection portion and a male connection portion, and the socket portion includes: One end extending to an upper portion of the lower housing in an electrically connected state to the connector, and the extended end further includes a second connection portion electrically and mechanically coupled to the first connection portion to the other of the female connection portion and the male connection portion. It features.

추가적으로, 상기 헤드부는, 상부가 상기 VUV 램프의 하부와 고정 결합되고, 하부는 상기 상부 하우징의 내주면과 맞닿도록 확장되되 수직 방향으로 관통된 제1 나사공을 복수 개 구비한 플랜지를 포함하고, 상기 상부 하우징은, 내벽 일 측에서 내부를 향해 돌출되어 상기 제1 나사공과 연통되는 제2 나사공을 복수 개 구비하여, 상기 제1 나사공과 상기 제2 나사공을 관통하는 체결 수단을 매개로 상기 플랜지와 고정 연결된 상기 VUV 램프와 상기 상부 하우징이 고정 결합되는 것을 특징으로 한다.In addition, the head portion, the upper portion is fixedly coupled to the lower portion of the VUV lamp, the lower portion includes a flange having a plurality of first threaded holes extending in the vertical direction to abut the inner peripheral surface of the upper housing, The upper housing includes a plurality of second threaded holes projecting inwardly from one side of the inner wall to communicate with the first threaded holes, and the flange is provided through a fastening means penetrating the first threaded holes and the second threaded holes. The VUV lamp and the upper housing is fixedly coupled to the upper housing.

마지막으로, 본 발명의 진공 자외선을 이용한 정전기 제거장치는, 상기 VUV 램프의 잔여 수명 시간을 카운팅하는 타이머와, 상기 VUV 램프의 온도 변화를 감지하는 온도 센서, 상기 VUV 램프의 크랙과 필라멘트의 두께 중 하나 이상을 감지하는 이미지 센서, 상기 VUV 램프에서 조사되는 진공 자외선의 광도를 감지하는 제1 광 센서, 상기 VUV 램프의 파장 이상을 감지하는 제2 광센서 중 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 한다.Finally, the static electricity removing device using the vacuum ultraviolet ray of the present invention, the timer counting the remaining life time of the VUV lamp, the temperature sensor for detecting the temperature change of the VUV lamp, the crack and filament thickness of the VUV lamp And at least one of an image sensor for detecting one or more, a first optical sensor for detecting the intensity of vacuum ultraviolet light emitted from the VUV lamp, and a second optical sensor for detecting an abnormal wavelength of the VUV lamp.

본 발명에 따른 진공 자외선을 이용한 정전기 제거장치는, 소모품인 VUV 램프가 포함된 헤드부를 소켓부로부터 용이하게 교체시킬 수 있어 작업 효율성 및 경제성을 향상시킨다. 또한, 일반적으로 유리재로 형성되는 VUV 램프를 효율적으로 보호하는 구조로 진공 자외선을 이용한 정전기 제거장치가 챔버와 체결되는 부위의 밀폐력을 강화하여 내구성이 향상되는 효과를 갖는다. Electrostatic eliminator using the vacuum ultraviolet light according to the present invention, it is possible to easily replace the head portion including the consumables VUV lamp from the socket portion to improve the work efficiency and economics. In addition, as a structure to effectively protect the VUV lamp generally formed of a glass material has an effect of improving the durability by strengthening the sealing force of the portion of the static elimination device using the vacuum ultraviolet rays and the chamber is fastened.

도 1은 본 발명에 따른 진공 자외선을 이용한 정전기 제거장치의 전체적인 모습을 도시한 사시도.
도 2는 본 발명의 헤드부와 소켓부를 도시한 사시도.
도 3은 본 발명의 진공 자외선을 이용한 정전기 제거장치의 분해 사시도.
도 4는 본 발명의 진공 자외선을 이용한 정전기 제거장치의 측단면도. 1 is a perspective view showing the overall appearance of the static electricity removing device using a vacuum ultraviolet ray according to the present invention.
Figure 2 is a perspective view of the head portion and the socket portion of the present invention.
Figure 3 is an exploded perspective view of the static eliminator using the vacuum ultraviolet light of the present invention.
Figure 4 is a side cross-sectional view of the static eliminator using the vacuum ultraviolet light of the present invention.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명하도록 한다. 각 도면의 동일한 참조 번호는 동일한 구성 요소를 지칭한다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Like reference numerals in the drawings refer to like elements.

도 1은 본 발명에 따른 진공 자외선을 이용한 정전기 제거장치의 전체적인 모습을 도시한 사시도이고, 도 2는 본 발명의 헤드부와 소켓부를 도시한 사시도이며, 도 3은 본 발명의 진공 자외선을 이용한 정전기 제거장치의 분해 사시도이다. 1 is a perspective view showing the overall appearance of the static electricity removing device using the vacuum ultraviolet light according to the present invention, Figure 2 is a perspective view showing the head and the socket of the present invention, Figure 3 is a static electricity using the vacuum ultraviolet light of the present invention An exploded perspective view of the removal device.

도 1 내지 도 3을 참조하여 본 발명의 진공 자외선을 이용한 정전기 제거장치의 전체적인 구성을 설명하면, 상기 진공 자외선을 이용한 정전기 제거장치는 기본적으로 VUV(진공 자외선) 램프(120)와 이를 수용하는 상부 하우징(110)을 포함하는 헤드부(100);와, 상기 상부 하우징(110)과 일체로 형성되거나, 또는 선택적으로 조립 결합되는 것으로 하부 하우징(310)과 커넥터(320) 및 팬(330)을 포함하는 소켓부(300); 및 상기 헤드부(100)의 일 측으로부터 연장되어 광 조사를 가이드하되 연장 끝단은 진공 또는 불활성가스 챔버와 연결되는 챔버 체결부(200);를 포함한다. 특히, 조립 결합 가능토록 형성되는 경우, 헤드부(100)가 상기 소켓부(300)로부터 탈착 가능하게 결합되어, 상기 소켓부(300)는 공정 내 고정 시설물 등에 결합되거나 매립되는 형태로 고정설치된 상태에서 소모품인 상기 VUV 램프(120)가 포함된 상기 헤드부(100)만을 간편하게 교체할 수 있도록 함으로써 작업 편의성, 활용성 및 경제성을 극대화할 수 있다. 1 to 3, the overall configuration of the static electricity removing device using the vacuum ultraviolet light of the present invention will be described. The static electricity removing device using the vacuum ultraviolet light basically has a VUV (vacuum ultraviolet light) lamp 120 and an upper portion accommodating the same. A head portion 100 including a housing 110; and a lower housing 310, a connector 320, and a fan 330 formed integrally with the upper housing 110 or selectively assembled. A socket part 300 including; And a chamber coupling part 200 extending from one side of the head part 100 to guide light irradiation, the extension end of which is connected to a vacuum or inert gas chamber. In particular, when the assembly is formed to be capable of coupling, the head portion 100 is detachably coupled from the socket portion 300, the socket portion 300 is fixedly installed in the form of being coupled or embedded in a fixed facility in the process, etc. In order to easily replace only the head portion 100 including the VUV lamp 120, which is a consumable, it is possible to maximize work convenience, utility and economy.

각 구성에 대해 보다 상세히 설명하면, 상기 헤드부(100)는 VUV 램프(120)와 상부 하우징(110)을 기본적으로 포함하고, 추가적으로 VUV 램프(120)와 상기 상부 하우징(110) 간 연결을 매개하는 플랜지(130)를 구비할 수 있다. In more detail with respect to each configuration, the head portion 100 basically includes a VUV lamp 120 and the upper housing 110, and additionally mediates the connection between the VUV lamp 120 and the upper housing 110. Flange 130 may be provided.

상기 VUV 램프(120)는, 내부에 진공 자외선을 방사시키는 필라멘트를 포함한 구성요소들을 내장한 전구 형상의 유리재로, 방사된 진공 자외선의 조사 방향을 가이드하여 조사 효율을 높이는 조사부(121)를 포함한다. 상기 조사부(121)의 형상은 도 3에 도시된 바와 같이 상기 VUV 램프(120)의 외관을 이루는 원통형 유리재의 측면 일 측에서 외방으로 수직 연장된 관으로 형성되어 전체적인 VUV 램프(120)의 형상이 '┫'와 유사한 Angle type(또는 long-nose projecting type)으로 형성할 수 있으며, 다른 실시예(미도시)로서 원통형 유리재의 상면에서 상방을 향해 연장되도록 형성한 Straight 타입인 것도 가능하다. 본 발명의 상부 하우징(110) 및 챔버 체결부(200)의 세부 형상 및 구성은 상기 VUV 램프(120)의 조사부(121)가 형성된 방향 및 모양에 따라 변형 적용될 수 있으며, 이에 대한 실시예는 각 구성별로 상세히 후술하기로 한다. The VUV lamp 120 is a bulb-shaped glass material containing components including filaments for emitting vacuum ultraviolet rays therein, and includes an irradiation unit 121 for guiding the irradiation direction of the emitted vacuum ultraviolet rays to increase irradiation efficiency. do. The shape of the irradiation unit 121 is formed as a tube extending vertically outward from one side of the cylindrical glass material forming the appearance of the VUV lamp 120 as shown in Figure 3 is the overall shape of the VUV lamp 120 Angle type (or long-nose projecting type) similar to '┫' may be formed, in another embodiment (not shown) may be a straight type formed to extend upward from the upper surface of the cylindrical glass material. The detailed shape and configuration of the upper housing 110 and the chamber fastening part 200 of the present invention may be modified and applied according to the direction and shape in which the irradiation part 121 of the VUV lamp 120 is formed. Each configuration will be described later in detail.

상기 VUV 램프(120)는 외부에 마련된 전압 발생 장치와 전기적으로 연결되어 기능하는 바, 상기 헤드부(100)는 상기 VUV 램프(120)에 전기적으로 연결된 상태에서 상기 상부 하우징(110)의 하부로 연장되되 연장 끝단은 암형 접속부 및 숫형 접속부 중 하나인 제1 접속부(미도시)를 포함한다. 상기 제1 접속부는 하부 하우징(310)에 배치된 제2 접속부와 소켓 접속 방식으로 전기적, 기계적으로 탈착 가능한 구조로, 상기 헤드부(100)를 소켓부(300)로부터 결합 및 분리하는 과정에서 작업자에 의해 탈착된다. The VUV lamp 120 is electrically connected to a voltage generator provided outside, and the head unit 100 is lowered to the upper housing 110 while being electrically connected to the VUV lamp 120. The extended end includes an first connection (not shown) that is one of the female and male connections. The first connection part has a structure in which the second connection part disposed in the lower housing 310 and the socket connection method can be electrically and mechanically detached, and the worker in the process of coupling and separating the head part 100 from the socket part 300. Desorption by

플랜지(130)는, 상기 VUV 램프(120)가 상부 하우징(110)과 체결 수단을 매개로 결합될 수 있도록 매개하는 것으로, 상부에는 상기 VUV 램프(120)의 하부가 수용될 수 있는 공간이 마련되어 상기 VUV 램프(120)의 하부와 고정 결합되고, 하부는 상부 하우징(110)의 내주면과 맞닿도록 수평 방향으로 확장 연장되되, 확장된 부위에는 수직 방향으로 관통 형성된 제1 나사공(130A)을 복수 개 구비한다.The flange 130 is to mediate the VUV lamp 120 to be coupled to the upper housing 110 and the fastening means, and the upper part is provided with a space for accommodating the lower part of the VUV lamp 120. Is fixedly coupled to the lower portion of the VUV lamp 120, the lower portion is extended in the horizontal direction to contact the inner circumferential surface of the upper housing 110, a plurality of first screw holes (130A) formed in the vertical direction through the extended portion Dogs.

상부 하우징(110)은, 기본적으로 내부에 상기 VUV 램프(120)를 수용하여 파손되기 쉬운 VUV 램프(120)를 커버하여 보호하고 상기 VUV 램프(120)로부터 방사되는 진공 자외선이 상기 조사부(121) 이외의 방향으로 방사되는 것을 차폐하는 역할을 수행하며, 특히 상기 VUV 램프(120)를 내부에 수용한 상태에서 소켓부(300)와 조립 결합될 수 있는 구조로 마련됨으로써 상기 헤드부(100)가 필요에 따라 용이하게 교체될 수 있도록 하는 것이다. The upper housing 110 basically covers and protects the VUV lamp 120 which is easily damaged by receiving the VUV lamp 120 therein, and the vacuum ultraviolet rays radiated from the VUV lamp 120 are irradiated from the irradiation part 121. The head unit 100 serves to shield the radiation from the other direction, and in particular, the head unit 100 is provided by a structure that can be assembled with the socket unit 300 in a state in which the VUV lamp 120 is accommodated therein. It can be easily replaced as needed.

이를 위하여 상기 상부 하우징(110)은 상기 VUV 램프(120)보다 큰 직경을 갖는 원통 형상으로 형성되되, 상기 조사부(121)가 외부로 돌출될 수 있도록 상기 조사부(121)가 배치되는 부위와 대응되는 일 측이 개방되고, 상기 소켓부(300)와 연결되는 하부도 개방되도록 형성된다. 상기 상부 하우징(110)의 하부가 개방됨에 따라 상기 소켓부(300)와 조립된 상태에서도 상기 상부 하우징(110)의 내부 공간이 상기 하부 하우징(310)의 내부 공간과 연통되어 상기 VUV 램프(120)의 방열을 위한 공기 흐름이 원활할 수 있도록 한다. To this end, the upper housing 110 is formed in a cylindrical shape having a diameter larger than that of the VUV lamp 120, and corresponds to a portion where the irradiation part 121 is disposed so that the irradiation part 121 protrudes to the outside. One side is opened, and a lower portion connected to the socket part 300 is also opened. As the lower portion of the upper housing 110 is opened, the inner space of the upper housing 110 communicates with the inner space of the lower housing 310 even when assembled with the socket part 300, so that the VUV lamp 120 Ensure a smooth air flow for heat dissipation.

상기 VUV 램프(120)의 조사부(121)가 Angle type으로 도시된 도 1 내지 도 3을 참조하여 상기 상부 하우징(110)의 일 실시예를 설명하면, 상기 상부 하우징(110)은 내부에 수용된 VUV 램프(120)의 측부로 돌출된 상기 조사부(121)가 상기 상부 하우징(110)의 외부로 돌출될 수 있도록, 상기 조사부(121) 돌출 부위를 포함하는 일 측면이 개방되도록 형성될 수 있다. 즉, 내부에 상기 VUV 램프(120)를 수용한 상태에서 상기 조사부(121)가 배치되는 일 측면이 개방되고, 상술한 바와 같이 소켓부(300)와 연결되는 하부면도 개방되도록 형성된다. When the irradiation unit 121 of the VUV lamp 120 describes an embodiment of the upper housing 110 with reference to FIGS. 1 to 3 shown in an angle type, the upper housing 110 is a VUV housed therein. One side including the protruding portion of the irradiating portion 121 may be opened so that the irradiating portion 121 protruding to the side of the lamp 120 may protrude out of the upper housing 110. That is, one side in which the irradiator 121 is disposed in the state in which the VUV lamp 120 is accommodated is opened, and the lower surface connected to the socket 300 is opened as described above.

추가적으로, 상기 상부 하우징(110)에는 상기 플랜지(130)와 체결 수단을 매개로 결합될 수 있도록, 하부 내벽 일 측에서 내측으로 돌출되어 상기 제1 나사공(130A)과 연통되는 제2 나사공(110A)이 복수 개 마련될 수 있다. 상기 제2 나사공(110A)은 적어도 둘 이상 형성되어야할 것이며 서로 동일 간격으로 이격되도록 형성되어 상기 플랜지(130)와 보다 안정적으로 결합될 수 있도록 하는 것이 바람직하다. In addition, a second screw hole protruding inwardly from one side of the lower inner wall to communicate with the first screw hole 130A to be coupled to the upper housing 110 through the flange 130 and the fastening means. A plurality of 110A) may be provided. At least two or more second screw holes 110A should be formed to be spaced apart from each other at the same interval so that the second screw hole 110A can be more stably coupled to the flange 130.

소켓부(300)는 상기 헤드부(100)가 탈착될 수 있는 구조로 마련된 것으로, 하부 하우징(310)과, 커넥터(320), 팬(330)을 포함한다. The socket part 300 is provided in a structure in which the head part 100 is detachable, and includes a lower housing 310, a connector 320, and a fan 330.

하부 하우징(310)은, 상부 및 하부가 개방된 원통 형상으로, 상단 부위는 상기 상부 하우징(110)의 하단 부위와 탈착 가능하게 결합된다. 이의 결합 구조는 도면에 도시된 바와 같이 상기 하부 하우징(310)의 상단과 상기 상부 하우징(110)의 하단 부위가 서로 암수 결합 방식으로 맞물릴 수 있는 단턱을 형성하고, 별도의 나사 등을 매개로 더욱 견고히 결합 고정시키도록 할 수 있으며 그 외 다른 공지의 기계적 결합 방식을 적용하여도 무방함은 물론이다. The lower housing 310 has a cylindrical shape with upper and lower openings, and an upper end portion thereof is detachably coupled to a lower end portion of the upper housing 110. As shown in the figure, the upper portion of the lower housing 310 and the lower portion of the upper housing 110 form a step that can be engaged with each other in a male and female coupling manner, as shown in the drawing, and through a separate screw or the like. It can be more firmly fixed and fixed and may be applied to other known mechanical coupling method of course.

추가적으로 상기 VUV 램프(120)의 조사부(121)가 Angle type으로 도시된 도 1 내지 도 3을 참조하면, 상기 하부 하우징(310)은 상기 상부 하우징(110)과 결합 시 더욱 견고한 결합력이 제공될 수 있도록 하기 위하여, 상기 상부 하우징(110)의 개방된 일 측면과 접하는 측면이 개방되도록 할 수 있다. 즉, 상부 하우징(110)과 하부 하우징(310)의 개방된 측면이 연결되도록 설계함으로써 후술할 챔버 체결부(200)와 상기 하부 하우징(310)도 결합될 수 있도록 함으로써 구조적으로 더욱 견고하게 결합될 수 있도록 할 수 있다. 이의 작용은 챔버 체결부(200)의 상세 구성 설명 시 추가로 설명하기로 한다. In addition, referring to FIGS. 1 to 3, in which the irradiation part 121 of the VUV lamp 120 is shown in an angle type, the lower housing 310 may be provided with a stronger bonding force when the lower housing 310 is coupled to the upper housing 110. In order to ensure that, the side contacting the open side of the upper housing 110 may be opened. That is, the open side of the upper housing 110 and the lower housing 310 is designed to be connected so that the chamber fastening unit 200 and the lower housing 310 to be described later may also be coupled to be structurally more firmly coupled. You can do that. Its operation will be described further in the detailed configuration of the chamber fastening unit 200.

커넥터(320)는, 상기 하부 하우징(310)의 일 측부를 관통하도록 배치되어 상기 VUV 램프(120)와 외부에 마련된 전압 발생 장치를 전기적으로 연결한다. 이 때 상기 커넥터(320)는 상기 제1 접속부(미도시)와 전기적, 기계적으로 탈착 가능하게 결합되는 제2 접속부(미도시)와 연결되도록 형성되는데, 상기 제2 접속부는 일 단이 상기 커넥터(320)에 전기적으로 연결된 상태에서 상기 하부 하우징(310)의 상부로 연장되되 연장 끝단은 암형 접속부 및 숫형 접속부 중 다른 하나로 상기 제1 접속부와 전기적 및 기계적으로 결합되는 것이다. The connector 320 is disposed to penetrate through one side of the lower housing 310 to electrically connect the VUV lamp 120 and a voltage generator provided outside. In this case, the connector 320 is formed to be connected to a second connection part (not shown) that is electrically and mechanically detachable from the first connection part (not shown), and one end of the second connection part is connected to the connector (not shown). It is extended to the upper portion of the lower housing 310 in an electrically connected state 320, the extension end is to be electrically and mechanically coupled to the first connection to the other of the female connection and the male connection.

팬(330)은, 상기 하부 하우징(310)의 개방된 하부를 향해 상기 VUV 램프(120)에서 발생되는 열의 방출을 돕기 위한 공기의 흐름을 형성시킬 수 있도록 상기 하부 하우징(310)의 하단에 배치된다. 상기 팬(330)에 의해 형성되는 공기의 흐름은 상기 하부 하우징(310)의 내부 및 상기 상부 하우징(110)의 내부를 관통하여 형성되며, 상기 상부 하우징(110)의 일 측부(바람직하게는 상면)에 별도로 마련된 공기 배출 통공을 통해 외부로 배출된다. 이 때 공기의 흐름을 더욱 효율적으로 안내하기 위하여, 상기 플랜지(130)에는 하부 둘레를 따라 체결 수단과 결합되지 않는 복수의 수직방향 통공(130B)이 마련되어, 공기가 통공(130B)을 통해 상기 VUV 램프(120)의 외면을 향해 다소 높은 압력으로 집중 공급될 수 있도록 함으로써 상기 VUV 램프(120)의 외측면에 머무르는 열기가 보다 효율적으로 배출되도록 할 수 있다. The fan 330 is disposed at the bottom of the lower housing 310 so as to form a flow of air to help release heat generated from the VUV lamp 120 toward the open lower portion of the lower housing 310. do. The flow of air formed by the fan 330 is formed through the inside of the lower housing 310 and the inside of the upper housing 110, and one side of the upper housing 110 (preferably the upper surface). ) Is discharged to the outside through the air discharge hole provided separately. At this time, in order to guide the flow of air more efficiently, the flange 130 is provided with a plurality of vertical through-hole 130B which is not coupled with the fastening means along the lower circumference, so that the air passes through the VUV through the through-hole 130B. By allowing the concentrated supply at a somewhat higher pressure toward the outer surface of the lamp 120, the heat remaining on the outer surface of the VUV lamp 120 may be discharged more efficiently.

챔버 체결부(200)는, 본 발명의 진공 자외선을 이용한 정전기 제거장치에 의해 조사되는 진공 자외선이 효율적으로 진공 또는 불활성가스 챔버 내부를 향해 조사될 수 있도록 안내하는 것으로, 상기 상부 하우징(110)의 일 측 개방 부위에서부터 상기 조사부(121)를 둘러싸며 연장되되 연장 끝단은 외부에 마련된 진공 챔버(미도시)와 결합된다. 보다 상세히 설명하면, 내부에 상기 조사부(121)를 수용하며 상기 조사부(121)의 주변 부위를 감싸는 형태로 형성된 것으로, 일 단은 상기 조사부(121)의 돌출을 위해 개방된 상기 상부 하우징(110)의 일 측 개방부위를 커버하고, 타 단은 외부에 마련된 진공 챔버에 연결됨으로써, 내부에 수용된 조사부(121)의 끝단이 직접 진공 챔버의 내부를 향할 수 있도록 가이드한다. The chamber fastening unit 200 guides the vacuum ultraviolet rays irradiated by the static electricity removing device using the vacuum ultraviolet rays of the present invention to be efficiently irradiated toward the inside of the vacuum or inert gas chamber. It extends surrounding the irradiation part 121 from one side open portion, the extension end is coupled to a vacuum chamber (not shown) provided on the outside. In more detail, it is formed in a form that accommodates the irradiation unit 121 therein and surrounds the peripheral portion of the irradiation unit 121, one end of which is opened for protruding of the irradiation unit 121. Covering one side of the open portion, the other end is connected to the vacuum chamber provided in the outside, so that the end of the irradiation unit 121 accommodated therein to guide directly to the inside of the vacuum chamber.

상기 VUV 램프(120)의 형상에 따른 여러 실시예 중 특히 상기 VUV 램프(120)의 조사부(121)가 Angle type으로 도시된 도 1 내지 도 3을 참조하여 상기 챔버 체결부(200)의 일 실시예를 설명하면, 상기 챔버 체결부(200)는 상기 상부 하우징(110)과 상기 하부 하우징(310)의 개방된 일 측면을 동시에 커버하는 것으로 상부 일 측에 조사부 관통공(210A)을 형성한 하우징 커버(210)와, 상기 조사부(121)를 둘러싸는 관 형상으로 일 단이 상기 조사부 관통공(210A)과 결합되고 타 단은 외부에 마련된 진공 챔버와 연결되는 조사부 커버관(220)을 포함할 수 있으며, 상기 조사부 커버관(220)은 도 2에 도시된 바와 같이 둘 이상의 플랜지 형상의 구성을 연결시킨 방식으로 구성하는 것도 가능하다. Among the embodiments according to the shape of the VUV lamp 120, one embodiment of the chamber fastening part 200 will be described with reference to FIGS. 1 to 3 in which the irradiation part 121 of the VUV lamp 120 is shown in an angle type. For example, the chamber fastening part 200 covers the open side of the upper housing 110 and the lower housing 310 at the same time to form a housing through-hole 210A on one side of the upper housing. A cover 210 and a tubular shape surrounding the irradiator 121 may include an irradiator cover tube 220 having one end coupled to the irradiation part through hole 210A and the other end connected to a vacuum chamber provided at an outside thereof. The irradiator cover tube 220 may be configured in a manner in which two or more flange shapes are connected as shown in FIG. 2.

상술한 바와 같이 상기 상부 하우징(110)과 상기 하부 하우징(310)에 각각 마련되되 서로 접하여 연결된 개방 부위를 동시에 커버하는 상기 하우징 커버(210)가 특징적으로 구비됨으로써, 본 발명의 진공 자외선을 이용한 정전기 제거장치는 상기 소켓부(300)로부터 상기 상부 하우징(110)과 상기 하우징 커버(210)가 함께 탈착 가능하게 결합된다. 즉, 상기 하부 하우징(210)의 상부는 상기 상부 하우징(100)과 결합되고, 상기 하부 하우징(210)의 개방된 측면은 상기 하우징 커버(210)와 결합되도록 형성되어, 전체적으로 상기 헤드부(100)와 상기 소켓부(300) 간 결합을 상기 하우징 커버(210)가 한번 더 고정시켜 주는 구조로 마련되어 결합력이 더욱 강화될 수 있도록 한다. As described above, the housing cover 210, which is provided in the upper housing 110 and the lower housing 310, respectively, simultaneously covers the open portions connected to and in contact with each other. The removal device is detachably coupled to the upper housing 110 and the housing cover 210 together from the socket portion 300. That is, the upper portion of the lower housing 210 is coupled to the upper housing 100, and the open side of the lower housing 210 is formed to be coupled to the housing cover 210, so that the head portion 100 as a whole. ) And the socket portion 300 is provided in a structure in which the housing cover 210 is fixed once more so that the coupling force can be further strengthened.

추가적으로, 본 발명의 챔버 체결부(200)는, 압력 환경이 서로 다른 상기 진공 챔버와 상기 상부 하우징(110) 내부 공간을 밀폐 구획하기 위하여, 밀폐링(231)과 몰딩부(232)를 포함할 수 있다. In addition, the chamber fastening part 200 of the present invention may include a sealing ring 231 and a molding part 232 in order to seal the space inside the vacuum chamber and the upper housing 110 having different pressure environments. Can be.

도 4는 본 발명의 진공 자외선을 이용한 정전기 제거장치의 측단면도이다. 도 4를 참조하여 각 구성을 설명하면, 밀폐링(231)은 상기 챔버 체결부(200)(상기 VUV 램프(120)의 조사부(121)가 Angle type으로 형성된 실시예에서 특히 조사부 커버관(220))와 상기 조사부(121)간 이격 공간의 일측 단 또는 양 단에 각각 형성되는 것으로, 탄성재질의 링 형태로 형성되어 조사부(121)의 양 단측 둘레에 각각 끼움식으로 고정되는 패킹체이다. 상기 밀폐링(231)은 오링, 사각링 등 다양한 형상일 수 있고, 합성고무, 불소수지 등 다양한 재질로 구현될 수 있으며, 한 쌍, 즉 두 개가 구비된다. 즉, 상기 챔버 체결부(200)는 일반적으로 금속재 등으로 형성되고 상기 VUV 램프(120)는 유리재로 형성되는데, 특히 VUV 램프(120)의 파손 우려로 인해 물리적 압력을 가해 실링하는 것이 어려운 만큼, 상기 챔버 체결부(200)와 상기 조사부(121)간 이격 공간의 양 단에 탄성 재질의 밀폐링(231)을 배치하여 상기 조사부(121)에 가해지는 물리적 압력을 완충시키는 것이다.Figure 4 is a side cross-sectional view of the static electricity removing device using a vacuum ultraviolet ray of the present invention. Referring to FIG. 4, each of the sealing rings 231 is particularly provided in the embodiment in which the chamber fastening part 200 (the irradiation part 121 of the VUV lamp 120 is formed in an angle type) in the irradiation part cover tube 220. It is formed at one end or both ends of the space between the irradiation space 121) and the irradiation space, respectively, is formed in a ring shape of the elastic material is a packing body fixed to each of the two sides of the irradiation portion 121 by fitting. The sealing ring 231 may have various shapes such as an O-ring and a square ring, and may be implemented with various materials such as synthetic rubber and fluorine resin, and a pair, that is, two is provided. That is, the chamber fastening part 200 is generally formed of a metal material and the like, and the VUV lamp 120 is formed of a glass material. In particular, due to the risk of damage of the VUV lamp 120, it is difficult to seal by applying physical pressure. In addition, the sealing ring 231 of an elastic material is disposed at both ends of the space between the chamber fastening part 200 and the irradiation part 121 to buffer the physical pressure applied to the irradiation part 121.

상기 몰딩부(232)는 밀폐력을 더욱 강화하기 위해 형성되는 것으로, 상기 챔버 체결부와 상기 조사부 간 이격 공간, 바람직하게는 상기 한 쌍의 밀폐링(231) 사이 공간, 즉 상기 두 개의 밀폐링(231)에 의해 구획된 상기 이격 공간의 양 단 사이에 기밀용 충전액을 주입하여 형성한다. 이 때 상기 충전액은 액상 형태로 주입되고 이후 고상으로 굳어 상기 한 쌍의 밀폐링(231) 사이 공간을 채울 수 있도록 실리콘, 에폭시 등의 합성수지 몰딩액이나 고무액 등이 적용될 수 있다. The molding part 232 is formed to further strengthen the sealing force, and the space between the chamber fastening part and the irradiation part, preferably a space between the pair of sealing rings 231, that is, the two sealing rings ( It is formed by injecting an airtight filling liquid between both ends of the separation space partitioned by 231. At this time, the filling liquid may be injected into a liquid form and then solidified into a solid phase, and a synthetic resin molding liquid such as silicone, epoxy, or rubber liquid may be applied to fill the space between the pair of sealing rings 231.

추가적으로, 본 발명의 진공 자외선을 이용한 정전기 제거장치는, 상기 VUV 램프(120)의 잔여 수명 시간을 카운팅하는 타이머와, 상기 VUV 램프(120)의 온도 변화를 감지하는 온도 센서, 상기 VUV 램프의 크랙(균열)과 필라멘트의 두께 중 하나 이상을 감지하는 이미지 센서, 상기 VUV 램프(120)에서 조사되는 진공 자외선의 광도를 감지하는 제1 광센서 및, 상기 VUV 램프의 파장 이상을 감지하는 제2 광센서 중 하나 이상을 추가로 포함하여, 상기 VUV 램프(120)의 교체시기를 보다 실질적으로 인지할 수 있도록 하는 것이 바람직하다. 상기 타이머는 본 발명의 상부 하우징(110) 외측면에 형성되어 작업자가 쉽게 육안으로 확인할 수 있도록 하는 것이 바람직하며, 상기 이미지 센서, 제 1,2 광센서 및 온도 센서는 상기 상부 하우징(110)의 내부면 일 측 또는 상기 챔버 체결부(200)(바람직하게는 조사부 커버관(220) 일 측)에 마련되어 조사되는 광의 세기, 파장의 종류 및 필라멘트에서 발생하는 열, 시각적으로 확인 가능한 크랙, 필라멘트의 열화 상태 등을 각각 센싱토록 하는 것이 바람직하다. 상기 광센서 및 온도 센서는 별도의 유무선 통신 수단을 통해 외부에 마련된 제어부 등에 정보를 전송토록 할 수 있다. In addition, the static electricity removing device using the vacuum ultraviolet light of the present invention, a timer for counting the remaining life time of the VUV lamp 120, a temperature sensor for detecting a temperature change of the VUV lamp 120, the crack of the VUV lamp An image sensor for detecting at least one of a crack and a thickness of the filament, a first optical sensor for detecting the intensity of vacuum ultraviolet light emitted from the VUV lamp 120, and a second light for detecting the wavelength of the VUV lamp It is preferable to further include one or more of the sensors, so that the timing of the replacement of the VUV lamp 120 can be more substantially recognized. The timer is preferably formed on the outer surface of the upper housing 110 of the present invention so that the operator can easily check with the naked eye, the image sensor, the first and second optical sensors and the temperature sensor of the upper housing 110 Provided on one side of the inner surface or the chamber fastening part 200 (preferably on one side of the irradiator cover tube 220), the intensity of the irradiated light, the type of the wavelength and the heat generated from the filament, the cracks that can be visually confirmed, and the filament It is preferable to make the deterioration state etc. sense, respectively. The optical sensor and the temperature sensor may transmit information to a control unit provided to the outside through separate wired or wireless communication means.

지금까지 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 엑스선관의 교체가 용이한 엑스선 이오나이저의 구성 및 작용을 상기 설명 및 도면에 표현하였지만 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하여 본 발명의 사상이 상기 설명 및 도면에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능함은 물론이다.As described so far, the configuration and operation of the X-ray ionizer, which is easy to replace the X-ray tube according to the present invention, have been represented in the above description and the drawings. Without being limited, various changes and modifications are possible without departing from the technical spirit of the present invention.

100: 헤드부
110: 상부 하우징
110A: 제2 나사공
120: VUV 램프
121: 조사부
130: 플랜지
130A: 제1 나사공
130B: 통공
200: 챔버 체결부
210: 하우징 커버
210A: 조사부 관통공
220: 조사부 커버관
231: 밀폐링
232: 몰딩부
300: 소켓부
310: 하부 하우징
320: 커넥터
330: 팬100: head
110: upper housing
110A: second threaded hole
120: VUV lamp
121: research unit
130: flange
130A: 1st screw thread
130B: through
200: chamber fastening
210: housing cover
210A: through hole
220: cover of the irradiation part
231: sealing ring
232: molding part
300: socket portion
310: lower housing
320: connector
330: fan

Claims

A head unit including a VUV lamp including an irradiation unit extending in one direction, and an upper housing accommodating the VUV lamp therein and having one side open to protrude to the outside;
A socket portion including a lower housing having an upper portion coupled to a lower portion of the upper housing, and a connector disposed at one side of the lower housing to electrically connect the VUV lamp and a voltage generator provided outside;
And extending from the one side open portion of the upper housing to surround the irradiation part, the extension end of which is coupled to a vacuum chamber provided outside.
And the head part is detachably coupled to the socket part.

A head unit including a VUV lamp including an irradiation unit extending in one direction, and an upper housing accommodating the VUV lamp therein and having one side open to protrude to the outside;
A socket portion including a lower housing having an upper portion coupled to a lower portion of the upper housing, and a connector disposed at one side of the lower housing to electrically connect the VUV lamp and a voltage generator provided outside;
And an extension end surrounding the irradiation part from one side open portion of the upper housing, the extension end being coupled to a chamber coupled to a vacuum chamber provided at the outside.

And a VUV lamp including an irradiation part extending outwardly from one side of the side of the glass material forming an appearance, and an upper housing having one side open to receive the VUV lamp therein and including a portion where the irradiation part protrudes to the outside. A head unit;
A lower housing having an upper portion coupled to a lower portion of the upper housing and having an open side in contact with an open side of the upper housing, and disposed at one side of the lower housing, wherein the VUV lamp and a voltage generator provided outside A socket part including a connector for electrically connecting the connector;
Covering the open side of the upper housing and the lower housing at the same time to form a housing cover through-hole on the upper side, and one end of the tubular shape surrounding the irradiation unit is coupled to the irradiation through-hole and the other end Includes; the chamber fastening portion including an irradiation unit cover tube connected to the vacuum chamber provided on the outside;
The head portion and the chamber fastening portion is detachably coupled to the socket portion, characterized in that the static electricity removing apparatus using a vacuum ultraviolet.

And a VUV lamp including an irradiation part extending outwardly from one side of the side of the glass material forming an appearance, and an upper housing having one side open to receive the VUV lamp therein and including a portion where the irradiation part protrudes to the outside. A head unit;
A lower housing having an upper portion coupled to a lower portion of the upper housing and having an open side in contact with an open side of the upper housing, and disposed at one side of the lower housing, wherein the VUV lamp and a voltage generator provided outside A socket part including a connector for electrically connecting the connector;
Covering the open side of the upper housing and the lower housing at the same time to form a housing cover through-hole on the upper side, and one end of the tubular shape surrounding the irradiation unit is coupled to the irradiation through-hole and the other end And a chamber fastening part including an irradiation part cover tube connected to a vacuum chamber provided at an outside thereof.

The method according to any one of claims 1 to 4,
At both ends of the space between the chamber fastening portion and the irradiation unit,
And at least one sealing ring for sealingly partitioning the vacuum chamber and the inside of the upper housing.

The method of claim 5,
And a molding part formed by injecting an airtight filling liquid between both ends of the separation space partitioned by the sealing ring.

The method according to any one of claims 1 to 4,
The head portion,
One end extends to the lower portion of the upper housing while being electrically connected to the VUV lamp, and the extended end further includes a first connection part which is one of a female connection part and a male connection part.
The socket portion,
One end extending to an upper portion of the lower housing in an electrically connected state to the connector, and the extended end further includes a second connection portion electrically and mechanically coupled to the first connection portion to the other of the female connection portion and the male connection portion. Characterized in that, the static electricity removing device using the vacuum ultraviolet.

The method according to any one of claims 1 to 4,
The head portion,
An upper portion is fixedly coupled to a lower portion of the VUV lamp, and the lower portion includes a flange having a plurality of first threaded holes extending in contact with an inner circumferential surface of the upper housing and penetrated in a vertical direction.
The upper housing,
It is provided with a plurality of second screw holes protruding inward from one side of the inner wall to communicate with the first screw holes,
And the VUV lamp and the upper housing fixedly connected to the flange through a fastening means penetrating the first screw hole and the second screw hole.

The method according to any one of claims 1 to 4,
A timer that counts the remaining life time of the VUV lamp;
A temperature sensor detecting a temperature change of the VUV lamp;
An image sensor for detecting at least one of cracks and filaments of the VUV lamp;
A first optical sensor for detecting a brightness of vacuum ultraviolet light emitted from the VUV lamp,
And at least one of a second optical sensor for detecting an abnormal wavelength of the VUV lamp.