KR20240041605A - Electrodeless eximer lamp - Google Patents
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- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 19
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims abstract description 7
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims abstract description 5
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 21
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 20
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 230000008030 elimination Effects 0.000 description 4
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 description 4
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N Iron oxide Chemical compound [Fe]=O UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 2
- 239000002784 hot electron Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000600 Ba alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 1
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium atom Chemical compound [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000416 bismuth oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- CXKCTMHTOKXKQT-UHFFFAOYSA-N cadmium oxide Inorganic materials [Cd]=O CXKCTMHTOKXKQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CFEAAQFZALKQPA-UHFFFAOYSA-N cadmium(2+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Cd+2] CFEAAQFZALKQPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 1
- TYIXMATWDRGMPF-UHFFFAOYSA-N dibismuth;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Bi+3].[Bi+3] TYIXMATWDRGMPF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000005281 excited state Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 1
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 1
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- -1 sheet structures Substances 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000161 silver phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- FJOLTQXXWSRAIX-UHFFFAOYSA-K silver phosphate Chemical compound [Ag+].[Ag+].[Ag+].[O-]P([O-])([O-])=O FJOLTQXXWSRAIX-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 229940019931 silver phosphate Drugs 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J65/00—Lamps without any electrode inside the vessel; Lamps with at least one main electrode outside the vessel
- H01J65/04—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels
- H01J65/042—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels by an external electromagnetic field
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/02—Details
- H01J61/24—Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel
- H01J61/26—Means for absorbing or adsorbing gas, e.g. by gettering; Means for preventing blackening of the envelope
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/02—Details
- H01J61/54—Igniting arrangements, e.g. promoting ionisation for starting
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/02—Details
- H01J61/54—Igniting arrangements, e.g. promoting ionisation for starting
- H01J61/547—Igniting arrangements, e.g. promoting ionisation for starting using an auxiliary electrode outside the vessel
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J65/00—Lamps without any electrode inside the vessel; Lamps with at least one main electrode outside the vessel
- H01J65/04—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels
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Abstract
본 발명은 무전극 엑시머 램프에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 본 발명에 따른 무전극 엑시머 램프는, 불활성 기체가 봉입된 밀폐형 구조의 무전극 엑시머 램프에 있어서, 고주파(RF) 전력에 의해 발생되는 방전에 의해 진공자외선을 방출하는 방전부, 고주파 전력으로 엑시머 램프를 시동시키기 위해 필요한 고전압(HV)을 인가받기 위해 마련되는 고전압인가부 및 엑시머 램프 내 불순물을 제거하기 위한 게터(Getter) 물질이 위치하는 게터수용부를 포함하여, 무전극 방전 형태를 통해 동작 지연 없이 고출력 구동이 가능한 것을 특징으로 하는 무전극 엑시머 램프.The present invention relates to an electrodeless excimer lamp, and more specifically, the electrodeless excimer lamp according to the present invention is an electrodeless excimer lamp of a sealed structure in which an inert gas is enclosed, which is generated by radio frequency (RF) power. A discharge part that emits vacuum ultraviolet rays by discharge, a high voltage application part provided to receive the high voltage (HV) required to start the excimer lamp with high frequency power, and a getter material to remove impurities in the excimer lamp are located. An electrodeless excimer lamp that includes a getter receptor that enables high-output driving without operation delay through an electrodeless discharge form.
Description
본 발명은 무전극 엑시머 램프에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 엑시머 램프를 이용한 정전기 제거장치에 포함되어 동작 지연 없이 고출력 구동을 위한 무전극 엑시머 램프에 관한 것이다.The present invention relates to an electrodeless excimer lamp, and more specifically, to an electrodeless excimer lamp included in a static electricity removal device using an excimer lamp for high output driving without operation delay.
LCD, OLED, 웨이퍼 외 각종 기판 또는 시트 구조나 각종 필름 구조 등 각종 소재 또는 제품 처리 공정에서 미세한 먼지가 부착되거나 정전기에 의해 소자가 훼손되는 등의 문제가 발생하는 것을 미연에 방지하기 위하여 정전기 제거장치를 설치하는 것이 일반적이다.A static electricity removal device to prevent problems such as adhesion of fine dust or damage to devices due to static electricity during the processing of various materials or products such as LCD, OLED, wafers, various substrates, sheet structures, and various film structures. It is common to install .
한편, 최근 들어 LCD, OLED, 반도체 기술이 더욱 정밀화됨에 따라 증착 공정이나 진공 챔버 내 공정과 같이 감압 진공 환경에서 진행되거나 불활성가스를 취급하는 등 특수한 환경에서 진행되는 공정도 크게 증가하고 있는 추세인데, 이 경우 엑스선 방사식 장치의 경우에는 대기압 하에서와는 달리 상술한 특수한 환경에서는 정전기 제거 성능이 낮아 활용하기 어렵고, 코로나 방전식 장치는 고전압 방전에 의한 스퍼터링 현상, 이온 밸런스 조정에 따른 불편 등의 문제점이 있어 적용이 어렵다.Meanwhile, as LCD, OLED, and semiconductor technologies have become more precise in recent years, the number of processes carried out in special environments, such as deposition processes or processes in vacuum chambers, in a reduced pressure vacuum environment or handling inert gases is increasing significantly. In this case, unlike under atmospheric pressure, the It is difficult to apply.
이러한 문제점을 개선하기 위하여, 본 출원인은 대한민국 등록특허 제10-2065347호 '진공자외선을 이용한 정전기 제거장치'라는 발명을 제안한 바가 있으며, 상기의 특허에서는 위의 문제점인 진공 챔버에 연결되어 진공자외선을 조사하여 제전 기능을 수행함으로써, 상기 문제점이 개선된 바가 있으나, 이러한 종래의 진공자외선을 이용한 정전기 제거 장치는 필라멘트(Filament) 타입으로써, 상기 필라멘트는 열전자를 방출하기 위해 예열시간이 필요한 문제점이 있었다.In order to improve this problem, the present applicant has proposed an invention called 'Static electricity removal device using vacuum ultraviolet rays' in Republic of Korea Patent No. 10-2065347. In the above patent, it is connected to a vacuum chamber, which addresses the above problem, and uses vacuum ultraviolet rays. The above problem has been improved by performing a static electricity elimination function through irradiation. However, the conventional static electricity removal device using vacuum ultraviolet rays is a filament type, and the filament has a problem in that it requires a preheating time to emit hot electrons.
또한, 상기 열전자 방출을 위해 예열시간이 필요한 문제점과 예열시간을 가짐으로써 실시간 온(On)/오프(Off) 제어가 불가능한 문제점을 해결하기 위하여, 본 출원인은 대한민국 공개특허 제10-2022-0072418호 '엑시머 램프를 이용한 정전기 제거장치'라는 발명을 제안한 바가 있으며, 상기 특허에서는 발광 프로세스 상에 필라멘트(열원)가 존재하지 않고, 외부 전극에 의해 예열시간 없이 램프가 발광할 수 있는 구조인 불활성 기체가 봉입된 밀폐형 구조의 엑시머 램프(Excimer lamp)를 이용하여 진공자외선을 조사하여 제전기능을 수행할 수 있게 하였다.In addition, in order to solve the problem of requiring a preheating time to emit hot electrons and the problem that real-time on/off control is not possible due to the preheating time, the present applicant has applied Korean Patent Publication No. 10-2022-0072418. An invention called 'Static electricity removal device using an excimer lamp' has been proposed, and in the patent, there is no filament (heat source) in the light emitting process, and an inert gas has a structure that allows the lamp to emit light without preheating time by external electrodes. An excimer lamp with an enclosed, sealed structure was used to irradiate vacuum ultraviolet rays to perform the static elimination function.
이와 더불어, 도 1 내지 도 2와 같이 엑시머 램프를 이용한 정전기 제거장치(1)를 개발 중에 있으며, 이는, 크게, 헤드부(2)와 소켓부(3)로 구성되어 헤드부(2) 내부에 엑시머 램프(4)를 포함한다. 상기 엑시머 램프(4)는 일자형 램프 구조로서, 무전극 엑시머 램프 구조를 통해 예열시간 없이 실시간 온/오프 제어가 가능하다는 점을 개선하였으나, 이와 같은 구조의 엑시머 램프(4)는 고출력을 위해 적합하지 않은 문제점이 있었으며, 특히, 고출력을 위해 고전압을 인가하게 되면 게터(Getter) 물질이 고전압에 의해 비산되어 이물질이 되어버리는 문제점이 있었다.In addition, as shown in Figures 1 and 2, a static electricity removal device (1) using an excimer lamp is being developed, which is largely composed of a head part (2) and a socket part (3) and is installed inside the head part (2). Contains excimer lamp (4). The excimer lamp 4 has a straight lamp structure, and has been improved in that real-time on/off control is possible without preheating time through the electrodeless excimer lamp structure. However, the excimer lamp 4 with this structure is not suitable for high output. There was a problem that was not met, and in particular, when high voltage was applied for high output, the getter material was scattered by the high voltage and became foreign matter.
본 발명의 목적은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 동작 지연 없이 고출력 구동이 가능한 무전극 엑시머 램프를 제공하는 것이다.The purpose of the present invention is to solve the above problems and to provide an electrodeless excimer lamp capable of high output driving without operation delay.
더불어, 고출력을 위해 고주파(RF) 전력 인가 및 고주파 전력 인가를 위한 고전압(HV) 인가 시, 금속 물질인 게터(Getter)가 고전압 인가로 인해 비산되어 이물질이 되어 제전 성능을 저하시키는 문제점을 해결할 수 있도록 하는 무전극 엑시머 램프를 제공하는 것이다.In addition, when applying high frequency (RF) power for high output or applying high voltage (HV) for high frequency power application, the problem of deteriorating static electricity elimination performance due to the getter, which is a metal material, scattering and becoming foreign matter due to the application of high voltage, can be solved. The aim is to provide an electrodeless excimer lamp that allows
본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 지닌 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The objects of the present invention are not limited to the objects mentioned above, and other objects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the description below.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 무전극 엑시머 램프는 불활성 기체가 봉입된 밀폐형 구조의 무전극 엑시머 램프에 있어서, 고주파(RF) 전력에 의해 발생되는 방전에 의해 진공자외선을 방출하는 방전부, 고주파 전력으로 엑시머 램프를 시동시키기 위해 필요한 고전압(HV)을 인가받기 위해 마련되는 고전압인가부 및 엑시머 램프 내 불순물을 제거하기 위한 게터(Getter) 물질이 위치하는 게터수용부를 포함하여, 무전극 방전 형태를 통해 동작 지연 없이 고출력 구동이 가능한 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the electrodeless excimer lamp according to the present invention is a closed-type electrodeless excimer lamp with an inert gas enclosed, and includes a discharge part that emits vacuum ultraviolet rays by a discharge generated by high frequency (RF) power. , electrodeless discharge, including a high voltage application part provided to receive the high voltage (HV) necessary to start the excimer lamp with high frequency power, and a getter receiving part where a getter material is located to remove impurities in the excimer lamp. Its shape allows for high-output operation without operation delay.
또한, 상기 고전압인가부와 상기 게터수용부는, 서로 이격되어 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the high voltage application part and the getter receiving part are formed to be spaced apart from each other.
또한, 상기 방전부는, 상기 고전압인가부 또는 상기 게터수용부와 서로 평행 또는 나란하도록 배치되는 것을 특징으로 한다.In addition, the discharge unit is arranged to be parallel or parallel to the high voltage application unit or the getter receiving unit.
또한, 상기 방전부는, 고주파발생장치로부터 고주파 전력을 인가받기 위한 제1 외부전극을 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the discharge unit is characterized by including a first external electrode for receiving high frequency power from the high frequency generator.
또한, 상기 고전압인가부는, 전압발생장치로부터 고전압 전력을 인가받기 위한 제2 외부전극을 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the high voltage application unit is characterized in that it includes a second external electrode for receiving high voltage power from the voltage generator.
본 발명에 따른 무전극 엑시머 램프는 고주파(RF) 전력을 이용하여 고출력의 무전극 방전이 가능함으로써, 동작 지연 없이 고출력 구동이 가능한 효과가 있다.The electrodeless excimer lamp according to the present invention enables high-output electrodeless discharge using radio frequency (RF) power, thereby enabling high-output driving without operation delay.
또한, 본 발명에 따른 무전극 엑시머 램프는 고전압인가부와 게터수용부가 서로 이격되도록 구성되어 금속 물질인 게터(Getter)가 방전에 의해 비산되어 이물질이 되어 제전 성능을 저하시키는 문제점을 해결할 수 있는 효과가 있다.In addition, the electrodeless excimer lamp according to the present invention is configured so that the high voltage application part and the getter receiving part are spaced apart from each other, which has the effect of solving the problem of deteriorating static electricity elimination performance by scattering the getter, which is a metal material, into foreign matter due to discharge. There is.
도 1은 본 출원인이 개발 중인 엑시머 램프를 사용한 정전기 제거장치를 나타낸 사시도이다.
도 2는 본 출원인이 개발 중인 엑시머 램프를 사용한 정전기 제거장치를 나타낸 사시도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 무전극 엑시머 램프를 사용한 정전기 제거장치를 나타낸 사시도이다.
도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 무전극 엑시머 램프를 사용한 정전기 제거장치를 나타낸 분해사시도이다.
도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 무전극 엑시머 램프를 나타낸 사시도이다.
도 6은 본 발명의 제1 실시예에 따른 무전극 엑시머 램프를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 무전극 엑시머 램프를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 8은 본 발명의 제3 실시예에 따른 무전극 엑시머 램프를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 9는 본 발명의 제4 실시예에 따른 무전극 엑시머 램프를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 10은 본 발명의 제5 실시예에 따른 무전극 엑시머 램프를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 11은 본 발명의 제6 실시예에 따른 무전극 엑시머 램프를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.Figure 1 is a perspective view showing a static electricity removal device using an excimer lamp being developed by the present applicant.
Figure 2 is a perspective view showing a static electricity removal device using an excimer lamp being developed by the present applicant.
Figure 3 is a perspective view showing a static electricity removal device using an electrodeless excimer lamp according to the first embodiment of the present invention.
Figure 4 is an exploded perspective view showing a static electricity removal device using an electrodeless excimer lamp according to the first embodiment of the present invention.
Figure 5 is a perspective view showing an electrodeless excimer lamp according to the first embodiment of the present invention.
Figure 6 is a schematic configuration diagram for explaining the electrodeless excimer lamp according to the first embodiment of the present invention.
Figure 7 is a schematic configuration diagram for explaining an electrodeless excimer lamp according to a second embodiment of the present invention.
Figure 8 is a schematic configuration diagram for explaining an electrodeless excimer lamp according to a third embodiment of the present invention.
Figure 9 is a schematic configuration diagram for explaining an electrodeless excimer lamp according to a fourth embodiment of the present invention.
Figure 10 is a schematic configuration diagram for explaining an electrodeless excimer lamp according to a fifth embodiment of the present invention.
Figure 11 is a schematic configuration diagram for explaining an electrodeless excimer lamp according to a sixth embodiment of the present invention.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.The advantages and features of the present invention and methods for achieving them will become clear by referring to the embodiments described in detail below along with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below and will be implemented in various different forms. The present embodiments only serve to ensure that the disclosure of the present invention is complete and that common knowledge in the technical field to which the present invention pertains is not limited. It is provided to fully inform those who have the scope of the invention, and the present invention is only defined by the scope of the claims.
아래 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시를 위한 구체적인 내용을 상세히 설명한다. 도면에 관계없이 동일한 부재번호는 동일한 구성요소를 지칭하며, "및/또는"은 언급된 아이템들의 각각 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다.Specific details for implementing the present invention will be described in detail with reference to the drawings attached below. Regardless of the drawings, the same reference numerals refer to the same elements, and “and/or” includes each and all combinations of one or more of the mentioned items.
비록 제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도있음은 물론이다.Although first, second, etc. are used to describe various components, these components are of course not limited by these terms. These terms are merely used to distinguish one component from another. Therefore, of course, the first component mentioned below may also be the second component within the technical spirit of the present invention.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며, 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소 외에 하나 이상의 다른 구성요소의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.The terminology used herein is for describing embodiments and is not intended to limit the invention. As used herein, singular forms also include plural forms, unless specifically stated otherwise in the context. As used in the specification, “comprises” and/or “comprising” does not exclude the presence or addition of one or more other elements in addition to the mentioned elements.
다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.Unless otherwise defined, all terms (including technical and scientific terms) used in this specification may be used with meanings that can be commonly understood by those skilled in the art to which the present invention pertains. Additionally, terms defined in commonly used dictionaries are not interpreted ideally or excessively unless clearly specifically defined.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the attached drawings.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 무전극 엑시머 램프를 사용한 정전기 제거장치를 나타낸 사시도이고, 도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 무전극 엑시머 램프를 사용한 정전기 제거장치를 나타낸 분해사시도이다.Figure 3 is a perspective view showing a static electricity removal device using an electrodeless excimer lamp according to a first embodiment of the present invention, and Figure 4 is an exploded view showing a static electricity removal device using an electrodeless excimer lamp according to a first embodiment of the present invention. It is a perspective view.
먼저, 도 3 내지 도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 무전극 엑시머 램프(100)는, 크게, 헤드부(10)와 소켓부(20)로 구성되는 엑시머 램프를 이용한 정전기 제거장치 내부에 마련되는 것으로, 바람직하게는, 상기 헤드부(10) 내부에 무전극 엑시머 램프(100)를 수용하기 위한 수용공간이 형성되어, 상기 수용공간에 삽입 장착되어 피대전체에 진공자외선을 조사하는 역할을 한다.First, referring to FIGS. 3 and 4, the electrodeless excimer lamp 100 according to the present invention is provided inside a static electricity removal device using an excimer lamp, which largely consists of a head portion 10 and a socket portion 20. Preferably, a receiving space is formed inside the head portion 10 to accommodate the electrodeless excimer lamp 100, which is inserted into the receiving space and serves to irradiate vacuum ultraviolet rays to the object to be charged. .
본 발명에 따른 무전극 엑시머 램프(100)는 내부에 전극이 없는 무전극 구조로서, 예열시간이 필요 없이 기체를 광원으로 발광할 수 있도록 불활성 기체가 봉입되어 있는 밀폐형 구조(진공 구조)로 방전공간이 이루어진다.The electrodeless excimer lamp 100 according to the present invention has an electrodeless structure without an electrode inside, and has a sealed structure (vacuum structure) in which an inert gas is enclosed so that the gas can emit light as a light source without the need for preheating time, creating a discharge space. This comes true.
본 발명에 따른 무전극 엑시머 램프(100)는 예컨대, 도시된 바와 같이 'H'형상의 방전관과 외부 전극을 포함하여 이루어질 수 있으며, 상기 방전관의 형상은, 제전장치의 사양 또는 형태의 따라 일부 변형되어 이루어질 수 있다.The electrodeless excimer lamp 100 according to the present invention may include, for example, an 'H' shaped discharge tube and an external electrode as shown, and the shape of the discharge tube may be partially modified depending on the specifications or shape of the static electricity eliminator. It can be done.
상기 방전관은 통상적인 세라믹 등 유전체 제조공정을 통해 유전체로 이루어질 수 있으며, 상기 유전체는 전기적 절연성 및 유전성을 동시에 갖는 세라믹 재질을 기초로 하며 석영, 유리, 산화알루미늄, 산화티탄, 산화마그네슘, 산화실리콘, 은인산염, 실리콘카바이드, 산화인듐, 산화카드뮴, 산화비스무스, 산화아연, 산화철, 티탄산 지르콘산 납, 카본 나노램프 등을 사용할 수 있다.The discharge tube may be made of a dielectric through a typical dielectric manufacturing process such as ceramic, and the dielectric is based on a ceramic material that has both electrical insulation and dielectric properties and is made of quartz, glass, aluminum oxide, titanium oxide, magnesium oxide, silicon oxide, Silver phosphate, silicon carbide, indium oxide, cadmium oxide, bismuth oxide, zinc oxide, iron oxide, lead zirconate titanate, carbon nanolamp, etc. can be used.
도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 무전극 엑시머 램프를 나타낸 사시도이고, 도 6은 본 발명의 제1 실시예에 따른 무전극 엑시머 램프를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.Figure 5 is a perspective view showing an electrodeless excimer lamp according to the first embodiment of the present invention, and Figure 6 is a schematic configuration diagram for explaining the electrodeless excimer lamp according to the first embodiment of the present invention.
하기에서는, 도 5 내지 도 6을 참조하여, 본 발명에 따른 무전극 엑시머 램프(100)에 대하여 좀 더 구체적으로 설명하도록 한다.Below, with reference to FIGS. 5 and 6, the electrodeless excimer lamp 100 according to the present invention will be described in more detail.
도 5 내지 도 6을 참조하면, 본 발명에 따른 무전극 엑시머 램프(100)는, 크게, 방전부(110), 고전압인가부(120) 및 게터수용부(130)를 포함한다.Referring to Figures 5 and 6, the electrodeless excimer lamp 100 according to the present invention largely includes a discharge unit 110, a high voltage application unit 120, and a getter receiving unit 130.
먼저, 방전부(110)는 고주파 전력(RF Power)에 의해 발생되는 방전에 의해 진공자외선을 방출하는 부분을 의미한다.First, the discharge unit 110 refers to a part that emits vacuum ultraviolet rays by discharge generated by high frequency power (RF Power).
상기 방전부(110)는 정전기 제거장치 내 고주파발생장치로부터 고주파 전력을 인가받기 위한 제1 외부전극(111)이 형성된다.The discharge unit 110 is formed with a first external electrode 111 to receive high-frequency power from a high-frequency generator in the static electricity removal device.
상기 고주파발생장치는 외부에 마련된 전압발생장치로부텅 인가된 전압을 통해 고주파(RF)를 발생시키기 위한 것으로, 상기 소켓부(20) 내부 일측에 위치되도록 마련된다.The high frequency generator is for generating high frequency (RF) through a voltage applied from an external voltage generator, and is located on one side of the socket portion 20.
상기 제1 외부전극(111)은 상기 방전부(110)를 감싸는 매쉬, 얇은 판 등의 전도성 재질로 원통 형상으로 이루어질 수 있다.The first external electrode 111 may be made of a conductive material such as a mesh or a thin plate surrounding the discharge unit 110 and may have a cylindrical shape.
상기 제1 외부전극(111)은 원통 형상으로 한정되는 것은 아니며, 알루미늄 등 금속 재질로 이루어질 수 있다.The first external electrode 111 is not limited to a cylindrical shape and may be made of a metal material such as aluminum.
따라서, 제1 외부전극(110)을 통해 고주파발생장치로부터 고주파 전력을 인가받아 전자의 왕복운동이 충돌전리를 빈번하게 일으켜 고주파수 영역에서 용이하게 방전을 유지할 수 있도록 한다.Therefore, high frequency power is applied from the high frequency generator through the first external electrode 110, and the reciprocating motion of electrons frequently causes collision ionization, making it possible to easily maintain discharge in the high frequency region.
다음, 고전압인가부(120)는 고주파 전력으로 엑시머 램프를 시동시키기 위해 필요한 고전압(HV)을 인가받기 위해 마련되는 부분을 의미한다. 즉, 무전극 엑시머 램프(100)의 구동을 위한 시동전압을 의미한다.Next, the high voltage application unit 120 refers to a part provided to receive the high voltage (HV) required to start the excimer lamp with high frequency power. In other words, it means the starting voltage for driving the electrodeless excimer lamp 100.
상기 고전압인가부(120)는 외부에 마련된 고전압발생장치로부터 고전압(HV)을 인가받기 위한 제2 외부전극(121)이 형성된다.The high voltage application unit 120 is formed with a second external electrode 121 for receiving high voltage (HV) from an external high voltage generator.
상기 제2 외부전극은(121) 상기 제1 외부전극(111)과 역할의 차이가 있을 뿐 동일한 구성으로 상세한 설명은 생략하도록 한다.The second external electrode 121 has the same structure as the first external electrode 111 except that its role is different, so a detailed description thereof will be omitted.
따라서, 본 발명에 따른 무전극 엑시머 램프(100)는 상기 제2 외부전극(121)을 통해 상기 고전압인가부(120)에 시동전압을 인가받고, 상기 제1 외부전극(111)을 통해 방전부(110)에 시동전압 이상의 고주파 전력을 인가받아 구동된다.Therefore, the electrodeless excimer lamp 100 according to the present invention receives a starting voltage from the high voltage application unit 120 through the second external electrode 121, and applies a starting voltage to the discharge unit through the first external electrode 111. It is driven by receiving high-frequency power higher than the starting voltage at (110).
이에, 상기 무전극 엑시머 램프(100) 내 방전공간에서 방전 플라즈마가 생성되어, 방전공간에 봉입된 불활성 기체가 엑시머 분자(여기 상태)가 형성되고, 이 엑시머 분자로부터(엑시머 분자가 기저(바닥) 상태로 천이할 때) 100 내지 200nm 파장(플라즈마)의 자외선 광이 방사된다.Accordingly, a discharge plasma is generated in the discharge space within the electrodeless excimer lamp 100, and the inert gas enclosed in the discharge space forms excimer molecules (excited state), and from these excimer molecules (the excimer molecules move to the base) When transitioning to this state) ultraviolet light with a wavelength of 100 to 200 nm (plasma) is emitted.
이때, 고주파 전력과 무전극 엑시머 램프(100) 간의 임피던스(Impedance)가 크게 변할 수 있는데, 두 지점간의 임피던스 특성은 제품의 성능, 수명, 전력효율에 영향을 미치게 된다.At this time, the impedance between the high-frequency power and the electrodeless excimer lamp 100 may change significantly, and the impedance characteristics between the two points affect the performance, lifespan, and power efficiency of the product.
이러한, 임피던스를 결정 짖는 요소는 커패시턴스(Capacitance), 인덕턴스(Inductance) 값으로 결정되며, 해당 특정 임피던스 기준으로 미세조정을 수행하기 위하여 커패시턴스의 조정이 가능한 트리머 커패시퍼(Trimmer Capacitor)를 추가하여 상기 무전극 엑시머 램프(100)의 임피던스 조정을 수행하도록 도 6과 같이 임피던스 매칭회로가 구성되는 것이 바람직하다.The elements that determine the impedance are determined by the capacitance and inductance values, and in order to perform fine adjustment based on the specific impedance, a trimmer capacitor capable of adjusting the capacitance is added to achieve the above impedance. It is preferable that an impedance matching circuit is configured as shown in FIG. 6 to adjust the impedance of the electrode excimer lamp 100.
이러한, 임피던스 매칭(Impedance Matching)이 수행되지 않을 경우, 과도한 반사파 등으로 인한 제품의 수명단축, 과도한 전류소비, 발열 등의 문제가 발생할 수 있다.If this impedance matching is not performed, problems such as shortened product lifespan, excessive current consumption, and heat generation may occur due to excessive reflected waves.
다음, 게터수용부(130)는 무전극 엑시머 램프(100) 내 불순물(이물질)을 제거하기 위한 게터(Getter) 물질(131)이 수용되는 부분을 의미한다.Next, the getter receiving portion 130 refers to a portion where a getter material 131 for removing impurities (foreign substances) in the electrodeless excimer lamp 100 is accommodated.
상기 게터 물질(131)은 가스를 흡수하는 성질이 현저한 마그네슘, 바륨 및 바륨 합금 등의 금속 물질로 이루어질 수 있으며, 이에 한정되는 것은 아니다.The getter material 131 may be made of a metal material, such as magnesium, barium, and barium alloy, which has a remarkable gas-absorbing property, but is not limited thereto.
상기 게터 물질(131)은 방전공간 내 불순가스를 흡착할 수 있어 진공도 또는 봉입된 활성성 기체(가스)의 순도를 높일 수 있는 효과가 있다.The getter material 131 can adsorb impurity gases in the discharge space and has the effect of increasing the degree of vacuum or the purity of the enclosed active gas.
한편, 본 발명에 따른 무전극 엑시머 램프(100)는 상기 고전압인가부(120)와 상기 게터수용부(130)가 서로 이격되어 형성된다.Meanwhile, the electrodeless excimer lamp 100 according to the present invention is formed with the high voltage application part 120 and the getter receiving part 130 spaced apart from each other.
이와 같은 이유는, 예컨대, 종래의 일자형 엑시머 램프에 게터 물질을 함께 수용하거나, 또는 고전압이 인가되는 제2 외부전극(121)과 게터 물질이 밀접하게 붙어 있는 경우, 고전압 인가로 인한 방전 시, 금속 물질인 게터 물질이 비산되어 방전공간 내에서 이물질이 될 수 있기 때문이다.The reason for this is, for example, when the getter material is accommodated together in a conventional straight excimer lamp, or when the getter material is closely attached to the second external electrode 121 to which a high voltage is applied, when discharging due to the application of a high voltage, the metal This is because the getter material may scatter and become foreign matter in the discharge space.
따라서, 도 5 또는 도 6과 같이, 상기 방전부(110), 상기 고전압인가부(120) 및 상기 게터수용부(130) 서로 평행하거나 나란하도록 배치되는 것이 바람직하나, 이에 한정되는 것은 아니다.Therefore, as shown in Figure 5 or Figure 6, the discharge unit 110, the high voltage application unit 120, and the getter receiving unit 130 are preferably arranged to be parallel or side by side with each other, but are not limited thereto.
도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 무전극 엑시머 램프를 설명하기 위한 개략적인 구성도이고, 도 8은 본 발명의 제3 실시예에 따른 무전극 엑시머 램프를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.Figure 7 is a schematic configuration diagram for explaining an electrodeless excimer lamp according to a second embodiment of the present invention, and Figure 8 is a schematic configuration diagram for explaining an electrodeless excimer lamp according to a third embodiment of the present invention. am.
예컨대, 도 7 또는 도 8과 같이 상기 게터수용부(130)가 상기 고전압인가부(120)와 이격되어 있으면, 동일한 효과를 가져올 수 있다.For example, if the getter receiving part 130 is spaced apart from the high voltage applying part 120 as shown in Figure 7 or Figure 8, the same effect can be achieved.
보다 상세하게는, 도 7과 같이, 게터 물질(131)이 비산되는 문제점을 해결하기 위하여, 게터수용부(130)가 고전압인가부(120)측에 게터 물질(131)이 비산되지 않는 범위 내에서 서로 이격되어 형성될 수 있다.More specifically, as shown in FIG. 7, in order to solve the problem of the getter material 131 scattering, the getter receiving part 130 is installed within a range where the getter material 131 does not scatter on the high voltage application part 120. can be formed spaced apart from each other.
또한, 도 8과 같이, 게터수용부(130)가 상기 방전부(110)에 일부 돌출된 형태로 형성될 수 있다.Additionally, as shown in FIG. 8, the getter receiving portion 130 may be formed to partially protrude from the discharging portion 110.
이때, 고전압인가부(120)는 방전부(110) 측에 형성되어 게터수용부(130)와 이격되게 된다. 도 8은 일례일뿐 이에 한정되는 것은 아니며, 게터수용부(130)가 방전부(110)에서 다양한 형태로 돌출될 수 있음은 물론이다.At this time, the high voltage application part 120 is formed on the discharge part 110 side and is spaced apart from the getter receiving part 130. 8 is only an example and is not limited thereto, and of course, the getter receiver 130 may protrude from the discharge unit 110 in various shapes.
도 9는 본 발명의 제4 실시예에 따른 무전극 엑시머 램프를 설명하기 위한 개략적인 구성도이고, 도 10은 본 발명의 제5 실시예에 따른 무전극 엑시머 램프를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.Figure 9 is a schematic configuration diagram for explaining an electrodeless excimer lamp according to a fourth embodiment of the present invention, and Figure 10 is a schematic configuration diagram for explaining an electrodeless excimer lamp according to a fifth embodiment of the present invention. am.
한편, 도 8과 같은 형태의 반대의 경우도 배제하지 않는다. 도 9 내지 도 10을 참조하면, 고전압인가부(120)가 상기 방전부(110)에 일부 돌출된 형태로 형성되고, 게터수용부(130)가 방전부(110) 측에 형성될 수 있다. 이는, 게터 물질(131)이 비산되지 않도록 고전압인가부(120)와 게터수용부(130)가 이격되어 형성될 수 있음을 의미한다.Meanwhile, the opposite case of the form shown in FIG. 8 is not excluded. Referring to Figures 9 and 10, the high voltage application part 120 may be formed in a partially protruding form on the discharge part 110, and the getter receiving part 130 may be formed on the discharge part 110 side. This means that the high voltage applying part 120 and the getter receiving part 130 can be formed to be spaced apart so that the getter material 131 does not scatter.
즉, 본 발명에 따른 무전극 엑시머 램프는, 상기 방전부(110)와 상기 고전압인가부(120) 및 상기 게터수용부(130)는 게터 물질(131)이 비산되는 문제점을 해결할 수 있도록 상기 방전부(110)가 상기 고전압인가부(120) 또는 상기 게터수용부(130)와 서로 평행 또는 나란하도록 배치되어 다양한 형태로 형성될 수 있음을 의미하며, 이는, 도면 외의 형상으로 형성될 수 있음을 의미한다.That is, in the electrodeless excimer lamp according to the present invention, the discharge unit 110, the high voltage application unit 120, and the getter receiving unit 130 have the room to solve the problem of the getter material 131 scattering. This means that the front 110 can be arranged in parallel or parallel to the high voltage application part 120 or the getter receiving part 130 and can be formed in various shapes, which means that it can be formed in shapes other than those shown in the drawings. it means.
도 11은 본 발명의 제6 실시예에 따른 무전극 엑시머 램프를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.Figure 11 is a schematic configuration diagram for explaining an electrodeless excimer lamp according to a sixth embodiment of the present invention.
한편, 도 11을 참조하면, 본 발명에 따른 무전극 엑시머 램프는, 고전압인가부(120)와 게터수용부(130)가 상기 방전부(110) 측에 형성되되, 게터 물질(131)이 비산되지 않도록 서로 이격되어 형성될 수 있다.Meanwhile, referring to FIG. 11, in the electrodeless excimer lamp according to the present invention, a high voltage application part 120 and a getter receiving part 130 are formed on the discharge part 110 side, and the getter material 131 scatters. They can be formed to be spaced apart from each other so as not to interfere with each other.
이는, 본 발명에 따른 무전극 엑시머 램프는, 상기 방전부(110)가 상기 고전압인가부(120) 또는 상기 게터수용부(130)와 서로 평행 또는 나란하도록 배치되지 않고 형성될 수 있음을 의미한다.This means that the electrodeless excimer lamp according to the present invention can be formed without the discharge portion 110 being arranged parallel or parallel to the high voltage application portion 120 or the getter receiving portion 130. .
결과적으로, 본 발명에 따른 무전극 엑시머 램프는, 방전에 의해 게터 물질(131)이 비산되지 않는 범위 내에서 고전압인가부(120)와 게터수용부(130)가 서로 이격되어 구동이 가능함을 의미하며, 본 발명에 따른 무전극 엑시머 램프는, 정전기 제거장치의 형태, 사양 등에 의해 게터 물질(131)이 비산되지 않는 범위 내에서 고전압인가부(120)와 게터수용부(130)가 서로 이격되어 형성된다면, 구조가 일부 변경되어 이루어질 수 있다.As a result, the electrodeless excimer lamp according to the present invention means that it can be driven with the high voltage application part 120 and the getter receiving part 130 spaced apart from each other within a range in which the getter material 131 is not scattered by discharge. In the electrodeless excimer lamp according to the present invention, the high voltage application part 120 and the getter receiving part 130 are spaced apart from each other within a range where the getter material 131 is not scattered due to the shape and specifications of the static electricity removal device. If formed, the structure may be partially changed.
이상과 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해되어야 한다.Although embodiments of the present invention have been described with reference to the above and the attached drawings, those skilled in the art will understand that the present invention can be implemented in other specific forms without changing its technical idea or essential features. You will understand that it exists. Therefore, the embodiments described above should be understood in all respects as illustrative and not restrictive.
100: 본 발명에 따른 무전극 엑시머 램프
110: 방전부
111: 제1 외부전극
120: 고전압인가부
121: 제2 외부전극
130: 게터수용부
131: 게터 물질100: Electrodeless excimer lamp according to the present invention
110: Discharge unit
111: first external electrode
120: Is high voltage applied?
121: Second external electrode
130: Getter receptor
131: Getter material
Claims (5)
고주파(RF) 전력에 의해 발생되는 방전에 의해 진공자외선을 방출하는 방전부;
고주파 전력으로 엑시머 램프를 시동시키기 위해 필요한 고전압(HV)을 인가받기 위해 마련되는 고전압인가부; 및
엑시머 램프 내 불순물을 제거하기 위한 게터(Getter) 물질이 위치하는 게터수용부;를 포함하여,
무전극 방전 형태를 통해 동작 지연 없이 고출력 구동이 가능한 것을 특징으로 하는 무전극 엑시머 램프.In the electrodeless excimer lamp of a sealed structure in which an inert gas is enclosed,
A discharge unit that emits vacuum ultraviolet rays by discharge generated by radio frequency (RF) power;
A high voltage application unit provided to receive the high voltage (HV) required to start the excimer lamp with high frequency power; and
Including a getter receiving portion where a getter material for removing impurities in the excimer lamp is located,
An electrodeless excimer lamp characterized by high output drive without operation delay through an electrodeless discharge form.
상기 고전압인가부와 상기 게터수용부는,
서로 이격되어 형성되는 것을 특징으로 하는 무전극 엑시머 램프.According to paragraph 1,
The high voltage application part and the getter receiving part,
Electrodeless excimer lamps characterized in that they are formed spaced apart from each other.
상기 방전부는,
상기 고전압인가부 또는 상기 게터수용부와 서로 평행 또는 나란하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 무전극 엑시머 램프.According to paragraph 1,
The discharge unit,
An electrodeless excimer lamp, characterized in that it is arranged parallel or side by side with the high voltage application part or the getter receiving part.
상기 방전부는,
고주파발생장치로부터 고주파 전력을 인가받기 위한 제1 외부전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 무전극 엑시머 램프.According to paragraph 1,
The discharge unit,
An electrodeless excimer lamp comprising a first external electrode for receiving high frequency power from a high frequency generator.
전압발생장치로부터 고전압 전력을 인가받기 위한 제2 외부전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 무전극 엑시머 램프.The high voltage application part,
An electrodeless excimer lamp comprising a second external electrode for receiving high voltage power from a voltage generator.
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020220120813A KR20240041605A (en) | 2022-09-23 | 2022-09-23 | Electrodeless eximer lamp |
| PCT/KR2023/012769 WO2024063362A1 (en) | 2022-09-23 | 2023-08-29 | Electrodeless excimer lamp |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020220120813A KR20240041605A (en) | 2022-09-23 | 2022-09-23 | Electrodeless eximer lamp |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20240041605A true KR20240041605A (en) | 2024-04-01 |
Family
ID=90454690
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020220120813A KR20240041605A (en) | 2022-09-23 | 2022-09-23 | Electrodeless eximer lamp |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR20240041605A (en) |
| WO (1) | WO2024063362A1 (en) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102065347B1 (en) | 2018-02-13 | 2020-01-13 | (주)선재하이테크 | VUV Ionizer |
| KR20220072418A (en) | 2020-11-25 | 2022-06-02 | (주)선재하이테크 | Ionizer using excimer lamp |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2775695B2 (en) * | 1993-05-27 | 1998-07-16 | ウシオ電機株式会社 | Dielectric barrier discharge lamp |
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-
2022
- 2022-09-23 KR KR1020220120813A patent/KR20240041605A/en unknown
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2023
- 2023-08-29 WO PCT/KR2023/012769 patent/WO2024063362A1/en unknown
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| KR102065347B1 (en) | 2018-02-13 | 2020-01-13 | (주)선재하이테크 | VUV Ionizer |
| KR20220072418A (en) | 2020-11-25 | 2022-06-02 | (주)선재하이테크 | Ionizer using excimer lamp |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2024063362A1 (en) | 2024-03-28 |
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