KR20190094869A - A appraratus for opening the upper lid of vacuum chamber - Google Patents

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KR20190094869A KR1020180014519A KR20180014519A KR20190094869A KR 20190094869 A KR20190094869 A KR 20190094869A KR 1020180014519 A KR1020180014519 A KR 1020180014519A KR 20180014519 A KR20180014519 A KR 20180014519A KR 20190094869 A KR20190094869 A KR 20190094869A
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Abstract

The present invention relates to an apparatus for opening and closing an upper lid, which uses a small-capacity motor to stably open an upper lid in a stacked vacuum treating device in which two vacuum chambers are stacked in a vertical direction. According to the present invention, the apparatus for opening and closing an upper lid includes: an upper lid forming an opened upper surface of the vacuum chamber; a hinge part coupled to an one side edge of the upper lid and rotationally coupling the upper lid to the vacuum chamber; a power providing part installed on one side of the vacuum chamber and providing power opening and closing the upper lid in a manner of rotating the same; and an opening and closing operation part opening and closing the upper lid by rotation power provided by the power providing part.

Description

상부 리드 개폐 장치{A APPRARATUS FOR OPENING THE UPPER LID OF VACUUM CHAMBER}Upper lid opening and closing device {A APPRARATUS FOR OPENING THE UPPER LID OF VACUUM CHAMBER}

본 발명은 상부 리드 개폐 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 상하 방향으로 2개의 진공 챔버가 적층되어 있는 적층형 진공 처리 장치에서 상부 리드를 작은 용량의 모터를 이용하여 안정적으로 개방할 수있는 상부 리드 개폐 장치에 관한 것이다. The present invention relates to an upper lid opening and closing device, and more particularly, in a stacked vacuum processing apparatus in which two vacuum chambers are stacked in an up and down direction, an upper lid opening and closing which can stably open the upper lid using a small capacity motor. Relates to a device.

반도체 또는 디스플레이 소자 제조 공정에서는 성막 공정 등 대기압보다 낮은 진공 상태에서 공정이 진행되는 진공 공정이 많이 진행된다. 이러한 진공 공정에는 당연히 진공 분위기를 조성할 수 있는 진공 챔버가 이용된다. In the semiconductor or display device manufacturing process, a vacuum process in which the process proceeds in a vacuum state lower than atmospheric pressure, such as a film forming process, is performed in many cases. In such a vacuum process, a vacuum chamber which can naturally create a vacuum atmosphere is used.

이러한 진공 챔버는 다양한 구조를 가질 수 있으나, 대부분 진공 챔버 내부에 대한 메인트넌스를 위하여 챔버 상부가 개방된 구조를 가진다. 그리고 이 챔버 상부의 개방된 부분은 리드 도어에 의하여 개폐된다. Such a vacuum chamber may have various structures, but most of the vacuum chambers have a structure in which the upper portion of the chamber is opened for maintenance of the inside of the vacuum chamber. The open part of the upper part of the chamber is opened and closed by a lead door.

그런데 종래에는 이 리드 도어를 수동 조작 핸들을 사용하여 개폐용 기어박스를 조작하고 이에 의하여 상기 리드 도어가 개폐되거나 대형 리드 도어는 크레인을 이용하여 개폐된다. 이렇게 수동 조작 핸들을 사용하는 방식은 별도의 구동 장치가 필요하지 않고, 리드 도어의 위치를 작업자가 임의로 설정할 수 있는 장점이 있으나, 리드 도어 구동시 작업자 안전 장치가 별도로 구성되어야 하고, 진공도 유지용 lock 장치가 별도로 구성되어야 하는 문제점이 있다. However, in the related art, the lead door is operated using a manual operation handle to open and close the gearbox, whereby the lead door is opened or closed, and the large lead door is opened and closed using a crane. This method of using the manual operation handle does not require a separate driving device, and the operator can arbitrarily set the position of the lead door. However, when the lead door is driven, the worker safety device must be configured separately and the vacuum lock is maintained. There is a problem that the device must be configured separately.

본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 상하 방향으로 2개의 진공 챔버가 적층되어 있는 적층형 진공 처리 장치에서 상부 리드를 작은 용량의 모터를 이용하여 안정적으로 개방할 수 있는 상부 리드 개폐 장치를 제공하는 것이다. The technical problem to be solved by the present invention is to provide an upper lid opening and closing device that can stably open the upper lid using a small capacity motor in a stacked vacuum processing apparatus in which two vacuum chambers are stacked in the vertical direction.

전술한 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 상부 리드 개폐 장치는, 진공 챔버의 개방된 상면을 이루는 상부 리드; 상기 상부 리드의 일측 가장자리에 결합되어 설치되며, 상기 상부 리드를 상기 진공 챔버에 회동가능하게 결합하는 힌지부; 상기 진공 챔버의 일측에 설치되며, 상기 상부 리드를 회동하는 방식으로 개폐하는 동력을 제공하는 동력 제공부; 상기 동력 제공부에 의하여 제공되는 회전 동력에 의하여 상기 상부 리드를 개폐하는 개폐 동작부;를 포함한다. The upper lid opening and closing device according to the present invention for solving the above technical problem, the upper lead forming an open upper surface of the vacuum chamber; A hinge unit coupled to one edge of the upper lead and rotatably coupling the upper lead to the vacuum chamber; A power providing unit installed at one side of the vacuum chamber and providing power for opening and closing the upper lead in a rotating manner; It includes; opening and closing operation for opening and closing the upper lead by the rotational power provided by the power providing unit.

그리고 본 발명에서 상기 힌지부는, 상기 상부 리드의 양측에 각각 이격된 상태로 한 쌍이 구비되는 것이 바람직하다. And in the present invention, the hinge portion, it is preferable that a pair is provided on both sides of the upper lead spaced apart from each other.

또한 본 발명에서 상기 동력 제공부는, 회전 동력을 제공하는 모터; 상기 모터의 회전 동력을 감속하는 감속부; 상기 감속부에 의하여 회전하는 회전축;을 포함하는 것이 바람직하다. In the present invention, the power providing unit, a motor for providing rotational power; A reduction unit for reducing the rotational power of the motor; It is preferable to include a; rotating shaft rotated by the deceleration unit.

또한 본 발명에서 상기 개폐 동작부는, 상기 상부 리드의 상면 중앙 부분에 장공 형상으로 형성되는 슬라이딩홀; 상기 슬라이딩홀에 슬라이딩 가능하게 삽입되는 슬라이딩 롤러; 일단이 상기 슬라이딩 롤러에 자유 회동 가능하게 결합되며, 타단은 상기 회전축에 결합되어 상기 회전축의 회동에 의하여 회전하는 회전팔;을 포함하는 것이 바람직하다. In addition, the opening and closing operation unit in the present invention, the sliding hole formed in the shape of a long hole in the center of the upper surface of the upper lead; A sliding roller slidably inserted into the sliding hole; One end is rotatably coupled to the sliding roller, the other end is coupled to the rotating shaft is rotated by the rotation of the rotating shaft; preferably comprises a.

또한 본 발명에 따른 상부 리드 개폐 장치에는, 상기 진공 챔버에 구비되며, 상기 상부 리드가 상기 진공 챔버에 밀착된 상태에서 상기 상부 리드를 진공 챔버 방향으로 가압하는 리드 가압부가 더 구비되는 것이 바람직하다. In addition, the upper lid opening and closing device according to the present invention, is provided in the vacuum chamber, it is preferable that the lead pressing portion for pressing the upper lead in the vacuum chamber direction in the state in which the upper lead is in close contact with the vacuum chamber.

본 발명의 상부 리드 개폐 장치에 의하면 상하 방향으로 2개의 진공 챔버가 적층되어 있는 적층형 진공 처리 장치에서 상부 리드를 작은 용량의 모터를 이용하여 안정적으로 개방할 수 있는 장점이 있다. According to the upper lid opening and closing apparatus of the present invention, in the stacked vacuum processing apparatus in which two vacuum chambers are stacked in the vertical direction, there is an advantage that the upper lid can be stably opened using a small capacity motor.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 상부 리드 개폐 장치가 진공 챔버가 장착된 상태를 도시하는 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 상부 리드 개폐 장치의 구조를 도시하는 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 상부 리드 개폐 장치가 진공 챔버가 장착된 상태를 도시하는 측면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 상부 리드 개폐 장치의 구조를 도시하는 측면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 상부 리드 개폐 장치의 구조를 도시하는 다른 방향에서의 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 상부 리드 개폐 장치의 개방된 상태를 도시하는 측단면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 상부 리드 개폐 장치의 개방된 상태를 도시하는 사시도이다. 1 is a perspective view showing a state in which the upper lid opening and closing device according to an embodiment of the present invention is equipped with a vacuum chamber.
Figure 2 is a perspective view showing the structure of the upper lid opening and closing apparatus according to an embodiment of the present invention.
3 is a side view illustrating a state in which the upper lid opening and closing device according to an embodiment of the present invention is equipped with a vacuum chamber.
Figure 4 is a side view showing the structure of the upper lid opening and closing apparatus according to an embodiment of the present invention.
Figure 5 is a perspective view from another direction showing the structure of the upper lid opening and closing apparatus according to an embodiment of the present invention.
Figure 6 is a side cross-sectional view showing an open state of the upper lid opening and closing device according to an embodiment of the present invention.
7 is a perspective view illustrating an open state of the upper lid opening and closing device according to the embodiment of the present invention.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세하게 설명한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a specific embodiment of the present invention.

본 실시예에 따른 상부 리드 개폐장치(100)는, 도 1 내지 4에 도시된 바와 같이, 상부 리드(110), 힌지부(120), 동력 제공부(130) 및 개폐 동작부(140)를 포함하여 구성될 수 있다. The upper lid opening and closing apparatus 100 according to the present embodiment, as shown in Figures 1 to 4, the upper lid 110, the hinge portion 120, the power supply unit 130 and the opening and closing operation unit 140 It can be configured to include.

먼저 상기 상부 리드(110)는 진공 챔버(1)와 결합한 상태에서 진공 챔버(1)의 개방된 상면을 이루며, 개구부를 개폐하는 구성요소이다. 따라서 상기 상부 리드(110)는 전체적으로 직사각형 플레이트 형상을 가지며, 필요한 다양한 구성요소들이 설치될 수 있다. First, the upper lead 110 forms an open upper surface of the vacuum chamber 1 in a state of being coupled with the vacuum chamber 1, and is a component for opening and closing an opening. Therefore, the upper lead 110 has a rectangular plate shape as a whole, and various necessary components may be installed.

다음으로 상기 힌지부(120)는 도 1 내지 4에 도시된 바와 같이, 상기 상부 리드(110)의 일측 가장자리에 결합되어 설치되며, 상기 상부 리드(110)를 상기 진공 챔버(1)에 회동가능하게 결합하는 구성요소이다. 즉, 상기 힌지부(120)는 육중한 상기 상부 리드(110)를 상기 진공 챔버(1)에 결합시키고 지지시킴과 동시에 이 힌지부(120)를 중심으로 회동가능한 구조를 제공한다. 따라서 상기 상부 리드(110)는 상기 힌지부(120)를 회전 중심으로 하여 작은 회전력에 의해서도 개방될 수 있다. Next, as shown in FIGS. 1 to 4, the hinge part 120 is coupled to one side edge of the upper lead 110 and is rotatable to the vacuum chamber 1. Is a component that can be combined. That is, the hinge part 120 provides a structure that can be pivoted about the hinge part 120 while simultaneously coupling and supporting the heavy upper lid 110 to the vacuum chamber 1. Therefore, the upper lead 110 may be opened by a small rotational force with the hinge portion 120 as the rotation center.

본 실시예에서는 상기 상부 리드(110)의 안정적인 지지를 위하여 도 1, 2에 도시된 바와 같이, 상기 힌지부(120)를 상기 상부 리드(110)의 양측에 각각 이격된 상태로 한 쌍을 구비하는 것이 바람직하다. In this embodiment, as shown in Figures 1 and 2 for the stable support of the upper lead 110, the hinge portion 120 is provided with a pair of spaced apart on each side of the upper lead 110, respectively. It is desirable to.

다음으로 상기 동력 제공부(130)는 도 5 내지 7에 도시된 바와 같이, 상기 진공 챔버(1)의 일측에 설치되며, 상기 상부 리드(110)를 회동하는 방식으로 개폐하는 동력을 제공하는 구성요소이다. 즉, 상기 동력 제공부(130)는 전술한 바와 같이, 상기 힌지부(120)에 의하여 회동 가능하게 상기 진공 챔버(1)에 결합되어 있는 상기 상부 리드(110)의 개폐를 위한 회전 동력을 제공하는 것이다. Next, as shown in FIGS. 5 to 7, the power providing unit 130 is installed at one side of the vacuum chamber 1 and is configured to provide power to open and close the upper lead 110 by rotating. Element. That is, as described above, the power providing unit 130 provides rotational power for opening and closing of the upper lid 110 coupled to the vacuum chamber 1 so as to be rotatable by the hinge portion 120. It is.

이를 위하여 본 실시예에서는 상기 동력 제공부(130)를 구체적으로 도 5 내지 7에 도시된 바와 같이, 모터(132), 감속부(134) 및 회전축(136)을 포함하여 구성할 수 있다. 먼저 상기 모터(132)는 회전 동력을 제공하는 구성요소이며, 상기 감속부(134)는 상기 모터(132)의 회전 동력을 감속하는 구성요소이다. 이때 상기 모터(132)와 감속부(134) 사이에는 상기 모터(132)의 동력 전달 방향을 2번 이상 전환하는 동력 전환부가 구비되며, 이러한 동력 전환부에 의하여 설치 공간을 최소화할 수 있는 장점이 있다. To this end, in the present embodiment, the power providing unit 130 may be configured to include a motor 132, a reduction unit 134, and a rotating shaft 136, as illustrated in FIGS. 5 to 7. First, the motor 132 is a component that provides rotational power, and the reduction unit 134 is a component that reduces the rotational power of the motor 132. At this time, between the motor 132 and the reduction unit 134 is provided with a power switching unit for switching the power transmission direction of the motor 132 more than two times, the power switching unit has the advantage of minimizing the installation space have.

그리고 상기 회전축(136)은 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 감속부(134)에 결합되어 설치되며, 상기 감속부(134)에 의하여 회전하는 구성요소이다. 구체적으로 상기 회전축(136)은 상기 감속부(134)의 양측으로 각각 회전축이 돌출되어 후술하는 개폐 동작부(140)를 구동시킨다. And as shown in Figure 3, the rotating shaft 136 is coupled to the reduction unit 134 is installed, and is a component that rotates by the reduction unit 134. Specifically, the rotary shaft 136 is protruded to both sides of the reduction unit 134 to drive the opening and closing operation unit 140 to be described later.

다음으로 상기 개폐 동작부(140)는 도 4 내지 8에 도시된 바와 같이, 상기 동력 제공부(130)에 의하여 제공되는 회전 동력에 의하여 상기 상부 리드(110)를 개폐하는 구성요소이다. 즉, 상기 개폐 동작부(140)는 상기 동력 제공부(130)와 상기 상부 리드(110) 사이에 설치되어 실제로 상기 상부 리드(110)의 개폐 동작을 수행하는 것이다. Next, the opening and closing operation unit 140 is a component for opening and closing the upper lead 110 by the rotational power provided by the power providing unit 130, as shown in FIGS. That is, the opening and closing operation unit 140 is installed between the power providing unit 130 and the upper lead 110 to actually open and close the upper lead 110.

이를 위하여 본 실시예에서는 상기 개폐 동작부(140)를 구체적으로 도 2, 5에 도시된 바와 같이, 슬라이딩홀(142), 슬라이딩 롤러(144) 및 회전팔(146)을 포함하여 구성할 수 있다. 먼저 상기 슬라이딩홀(142)은 도 5 내지 8에 도시된 바와 같이, 상기 상부 리드(110)의 상면 중앙 부분에 장공 형상으로 형성되는 관통홀이다. 이 슬라이딩홀(142)의 형성을 위하여 상기 상부 리드(110)의 상면에는 나란히 기립되어 형성되는 홀 형성 플레이트(112)들이 설치된다. 그리고 각 홀형성 플레이트(112)에는 장공형의 슬라이딩홀(142)이 길게 형성된다. To this end, in the present embodiment, the opening and closing operation unit 140 may be configured to include a sliding hole 142, a sliding roller 144 and a rotating arm 146, as shown in Figures 2 and 5 specifically. . First, as shown in FIGS. 5 to 8, the sliding hole 142 is a through hole formed in a central hole on the upper surface of the upper lead 110. In order to form the sliding hole 142, the upper surface of the upper lead 110 is provided with a hole forming plate 112 is formed standing up side by side. Each hole forming plate 112 has a long sliding hole 142 is formed long.

다음으로 상기 슬라이딩 롤러(144)는 도 5 내지 8에 도시된 바와 같이, 상기 한 쌍의 슬라이딩홀(142)에 각각 양 단이 슬라이딩 가능하게 삽입되며, 상기 회전팔(146)의 회전 동작에 따라 상기 슬라이딩홀(142)을 따라 슬라이딩하는 구성요소이다. 이때 상기 슬라이딩 롤러(144)에는 상기 슬라이딩홀(142) 사이에서 마찰력을 감소시키기 위한 베어링(도면에 미도시) 등이 구비되는 것이 바람직하다. Next, as shown in FIGS. 5 to 8, both ends of the sliding roller 144 are slidably inserted into the pair of sliding holes 142, and according to a rotation operation of the rotating arm 146. A component sliding along the sliding hole 142. At this time, the sliding roller 144 is preferably provided with a bearing (not shown in the figure) and the like for reducing the friction between the sliding holes 142.

다음으로 상기 회전팔(146)은 도 5 내지 8에 도시된 바와 같이, 일단이 상기 슬라이딩 롤러(144)에 자유 회동 가능하게 결합되며, 타단은 상기 회전축(136)에 결합되어 상기 회전축(136)의 회동에 의하여 회전하는 구성요소이다. 즉, 상기 회전팔(146)은 상기 회전축(136)에 의하여 회동하되, 이 회동 동작에 의하여 상기 슬라이딩 롤러(144)는 상기 슬라이딩홀(142) 내에서 슬라이딩(sliding) 이동하게 되고, 이 슬라이딩 동작에 의하여 상기 상부 리드(110)가 열리거나 닫히는 것이다. Next, as shown in FIGS. 5 to 8, one end of the rotary arm 146 is rotatably coupled to the sliding roller 144, and the other end of the rotary arm 146 is coupled to the rotary shaft 136 to allow the rotary shaft 136. It is a component that rotates by rotation of. That is, the rotating arm 146 is rotated by the rotating shaft 136, the sliding roller 144 is sliding (sliding) in the sliding hole 142 by this rotational operation, this sliding operation The upper lead 110 is opened or closed by.

이렇게 슬라이딩 롤러(144)와 회전팔(146)을 이용하면 작은 힘으로도 육중한 상부 리드(110)를 안전하게 개폐할 수 있는 장점이 있다. Using the sliding roller 144 and the rotating arm 146 as described above has an advantage of safely opening and closing the heavy upper lead 110 with a small force.

한편 본 실시예에 따른 상부 리드 개폐 장치(100)에는 리드 가압부(도면에 미도시)가 더 구비되는 것이 바람직하다. 상기 리드 가압부는 상기 진공 챔버(1)에 구비되며, 상기 상부 리드(110)가 상기 진공 챔버(1)에 밀착된 상태에서 상기 상부 리드(110)를 진공 챔버(1) 방향으로 가압하는 구성요소이다. 상기 리드 가압부에 의하여 상부 리드(110)와 진공 챔버(1) 사이의 기밀이 더욱 확실하게 담보되는 것이다. On the other hand, the upper lid opening and closing device 100 according to the present embodiment is preferably further provided with a lead pressing portion (not shown in the figure). The lid pressurizing part is provided in the vacuum chamber 1, and the component presses the upper lead 110 in the direction of the vacuum chamber 1 while the upper lead 110 is in close contact with the vacuum chamber 1. to be. The lid pressurizing portion ensures the airtightness between the upper lid 110 and the vacuum chamber 1 more securely.

100 : 본 발명의 일 실시예에 따른 상부 리드 개폐장치
110 : 상부 리드 120 : 힌지부
130 : 동력 제공부 140 : 개폐 동작부
1 : 본 발명의 일 실시예에 따른 적층형 진공 챔버100: upper lid opening and closing apparatus according to an embodiment of the present invention
110: upper lead 120: hinge portion
130: power supply unit 140: opening and closing operation unit
1: stacked vacuum chamber according to an embodiment of the present invention

Claims (5)

진공 챔버의 개방된 상면을 이루는 상부 리드;
상기 상부 리드의 일측 가장자리에 결합되어 설치되며, 상기 상부 리드를 상기 진공 챔버에 회동가능하게 결합하는 힌지부;
상기 진공 챔버의 일측에 설치되며, 상기 상부 리드를 회동하는 방식으로 개폐하는 동력을 제공하는 동력 제공부;
상기 동력 제공부에 의하여 제공되는 회전 동력에 의하여 상기 상부 리드를 개폐하는 개폐 동작부;를 포함하는 상부 리드 개폐 장치. An upper lid forming an open upper surface of the vacuum chamber;
A hinge unit coupled to one edge of the upper lead and rotatably coupling the upper lead to the vacuum chamber;
A power providing unit installed at one side of the vacuum chamber and providing power for opening and closing the upper lead in a rotating manner;
And an opening / closing operation unit which opens and closes the upper lead by the rotational power provided by the power providing unit. 제1항에 있어서, 상기 힌지부는,
상기 상부 리드의 양측에 각각 이격된 상태로 한 쌍이 구비되는 것을 특징으로 하는 상부 리드 개폐 장치. The method of claim 1, wherein the hinge portion,
Upper lead opening and closing device characterized in that the pair is provided on both sides of the upper lead spaced apart. 제1항에 있어서, 상기 동력 제공부는,
회전 동력을 제공하는 모터;
상기 모터의 회전 동력을 감속하는 감속부;
상기 감속부에 의하여 회전하는 회전축;을 포함하는 것을 특징으로 하는 상부 리드 개폐 장치. The method of claim 1, wherein the power providing unit,
A motor for providing rotational power;
A reduction unit for reducing the rotational power of the motor;
The upper lid opening and closing device comprising a; rotating shaft rotated by the deceleration unit. 제3항에 있어서, 상기 개폐 동작부는,
상기 상부 리드의 상면 중앙 부분에 장공 형상으로 형성되는 슬라이딩홀;
상기 슬라이딩홀에 슬라이딩 가능하게 삽입되는 슬라이딩 롤러;
일단이 상기 슬라이딩 롤러에 자유 회동 가능하게 결합되며, 타단은 상기 회전축에 결합되어 상기 회전축의 회동에 의하여 회전하는 회전팔;을 포함하는 것을 특징으로 하는 상부 리드 개폐 장치. The method of claim 3, wherein the opening and closing operation unit,
A sliding hole formed in a long hole shape in a central portion of an upper surface of the upper lead;
A sliding roller slidably inserted into the sliding hole;
One end is rotatably coupled to the sliding roller, the other end is coupled to the rotary shaft and the rotating arm to rotate by the rotation of the rotary shaft; upper lid opening and closing device comprising a. 제1항에 있어서,
상기 진공 챔버에 구비되며, 상기 상부 리드가 상기 진공 챔버에 밀착된 상태에서 상기 상부 리드를 진공 챔버 방향으로 가압하는 리드 가압부가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 상부 리드 개폐 장치. The method of claim 1,
And a lead pressurizing unit provided in the vacuum chamber and configured to press the upper lead in a vacuum chamber direction while the upper lead is in close contact with the vacuum chamber.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102420197B1 (en) * 2022-05-03 2022-07-14 (주)에스제이오토메이션 Door opening and closing device for semiconductor or display manufacturing facility to prevent gaps from occuring

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR102420197B1 (en) * 2022-05-03 2022-07-14 (주)에스제이오토메이션 Door opening and closing device for semiconductor or display manufacturing facility to prevent gaps from occuring

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