KR20190094868A - A appraratus for opening the lower lid of vacuum chamber - Google Patents

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KR20190094868A
KR20190094868A KR1020180014518A KR20180014518A KR20190094868A KR 20190094868 A KR20190094868 A KR 20190094868A KR 1020180014518 A KR1020180014518 A KR 1020180014518A KR 20180014518 A KR20180014518 A KR 20180014518A KR 20190094868 A KR20190094868 A KR 20190094868A
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Abstract

The present invention relates to an apparatus for opening and closing a lower lid, which is possible to automatically open and close a lower lid of a lower chamber in a stacked vacuum chamber in which the vacuum chamber is stacked in a vertical direction so as to be possible to easily treat maintenance in the chamber. According to the present invention, the apparatus for opening and closing a lower lid includes: a lower lid forming an opened lower surface of the vacuum chamber and installed with a substrate support pin on an upper surface; a guide unit standing on a side portion of the lower lid to be installed in a rotatable structure and guiding a drive section of a vertical side of the lower lid; a moving jig unit to which one end is coupled in a state of being fixed to a side lower portion of the lower lid and to which the other end is coupled so as to move along the guide unit; and a power providing unit rotating the guide unit and vertically moving the moving jig unit.

Description

하부 리드 개폐 장치{A APPRARATUS FOR OPENING THE LOWER LID OF VACUUM CHAMBER}Lower lid switchgear {A APPRARATUS FOR OPENING THE LOWER LID OF VACUUM CHAMBER}

본 발명은 하부 리드 개폐 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 진공 챔버가 상하 방향으로 적층되어 있는 적층형 진공 챔버에서 하부 챔버의 하부 리드를 자동으로 개폐할 수 있어서 챔버 내부의 메인트넌스를 용이하게 처리할 수 있는 하부 리드 개폐 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a lower lid opening and closing device, and more particularly, in a stacked vacuum chamber in which a vacuum chamber is stacked in an up and down direction, the lower lid of the lower chamber can be automatically opened and closed to easily process maintenance inside the chamber. It relates to a lower lid opening and closing device that can be.

반도체 또는 디스플레이 소자 제조 공정에서는 성막 공정 등 대기압보다 낮은 진공 상태에서 공정이 진행되는 진공 공정이 많이 진행된다. 이러한 진공 공정에는 당연히 진공 분위기를 조성할 수 있는 진공 챔버가 이용된다. In the semiconductor or display device manufacturing process, a vacuum process in which the process proceeds in a vacuum state lower than atmospheric pressure, such as a film forming process, is performed in many cases. In such a vacuum process, a vacuum chamber which can naturally create a vacuum atmosphere is used.

이러한 진공 챔버는 다양한 구조를 가질 수 있으나, 대부분 진공 챔버 내부에 대한 메인트넌스를 위하여 챔버 상부가 개방된 구조를 가진다. 그리고 이 챔버 상부의 개방된 부분은 리드 도어에 의하여 개폐된다. Such a vacuum chamber may have various structures, but most of the vacuum chambers have a structure in which the upper portion of the chamber is opened for maintenance of the inside of the vacuum chamber. The open part of the upper part of the chamber is opened and closed by a lead door.

그런데 종래에는 2개의 진공 챔버가 상하 방향으로 적층되어 있는 적층형 진공 챔버에서 하측에 배치되는 진공 챔버에 대해서는 상부를 개방할 수 없으므로 그 내부에 대한 메인트넌스에 많은 애로점이 있다. However, in the related art, since the upper part cannot be opened to the vacuum chamber disposed below in the stacked vacuum chamber in which two vacuum chambers are stacked in the vertical direction, there are many difficulties in maintenance of the interior thereof.

따라서 이러한 적층형 진공 챔버의 하부 챔버의 하부 리드를 개방하여 챔버 내부에 대한 메인트넌스를 효과적으로 수행할 수 있는 기술의 개발이 요구되고 있다. Therefore, there is a demand for the development of a technology capable of effectively performing maintenance on the inside of the chamber by opening the lower lid of the lower chamber of the stacked vacuum chamber.

본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 진공 챔버가 상하 방향으로 적층되어 있는 적층형 진공 챔버에서 하부 챔버의 하부 리드를 자동으로 개폐할 수 있어서 챔버 내부의 메인트넌스를 용이하게 처리할 수 있는 하부 리드 개폐 장치를 제공하는 것이다. The technical problem to be solved by the present invention is to open and close the lower lid of the lower chamber in the stacked vacuum chamber in which the vacuum chamber is stacked in the vertical direction automatically opening and closing the lower lid can easily handle the maintenance inside the chamber To provide a device.

전술한 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 하부 리드 개폐 장치는, 진공 챔버의 개방된 하면을 이루며, 상면에 기판 지지핀이 설치되는 하부 리드; 상기 하부 리드의 측부에 기립되어 회전가능한 구조로 설치되며, 상기 하부 리드의 상하측 구동 구간을 안내하는 안내부; 일단이 상기 하부 리드의 측하부에 고정된 상태로 결합되어 설치되며, 타단이 상기 안내부를 타고 이동하도록 결합되는 이동지그부; 상기 안내부를 회전시켜 상기 이동지그부을 상하 방향으로 이동시키는 동력 제공부;를 포함한다. The lower lid opening and closing device according to the present invention for solving the above technical problem, the lower lid which forms an open lower surface of the vacuum chamber, the substrate support pin is installed on the upper surface; A guide part standing up at a side of the lower lead and installed in a rotatable structure and guiding the upper and lower driving sections of the lower lead; A moving jig part having one end coupled to the lower side of the lower lead in a fixed state and the other end coupled to move on the guide part; It includes; a power providing unit for moving the moving jig portion in the vertical direction by rotating the guide portion.

그리고 본 발명에서 상기 안내부는, 상기 진공 챔버 하측에 고정되어 설치되며, 상기 하부 리드의 이동 공간을 제공하는 프레임; 상기 프레임에 기립된 상태로 회전가능하게 설치되며, 외주면에 나사면이 형성되는 다수개의 스크류;를 포함하는 것이 바람직하다. And in the present invention, the guide portion is fixed to the lower side of the vacuum chamber, the frame providing a moving space of the lower lid; It is preferable to include; a plurality of screws rotatably installed in a state standing on the frame, the screw surface is formed on the outer peripheral surface.

또한 본 발명에서 상기 이동지그부는, 상기 스크류가 관통하여 삽입되며, 상기 스크류의 회전에 의하여 상하 방향으로 이동하는 스크류 플레이트; 상기 스크류 플레이트의 상면에 일단이 결합되고, 타단은 상기 하부 리드의 측부에 결합되는 연결편;을 포함하는 것이 바람직하다. In addition, the moving jig unit in the present invention, the screw is inserted through the screw plate to move in the vertical direction by the rotation of the screw; One end is coupled to the upper surface of the screw plate, the other end is preferably connected to; coupled to the side of the lower lead.

또한 본 발명에서 상기 동력 제공부는, 상기 프레임에 고정되어 설치되며, 회전 동력을 제공하는 모터; 상기 모터에서 양측으로 분기되어 회전 동력을 제공하는 한 쌍의 제1 동력 분기부; 상기 제1 동력 분기부의 말단에 각각 결합되어 설치되며, 상기 동력 분기부에서 전달되는 동력을 다시 분기하여 상기 스크류 하단에 전달하는 제2 동력 분기부;를 포함하는 것이 바람직하다. In addition, the power providing unit in the present invention, is fixed to the frame, the motor for providing rotational power; A pair of first power branching parts branched from both sides of the motor to provide rotational power; It is preferable to include; and are respectively coupled to the end of the first power diverging portion, the second power diverging portion for diverging the power transmitted from the power diverging portion to the lower end of the screw.

또한 본 발명에 따른 하부 리드 개폐 장치에는, 상기 프레임에 구비되며, 상기 하부 리드가 상기 진공 챔버에 밀착된 상태에서 상기 하부 리드를 상기 진공 챔버 방향으로 가압하는 기밀 강화부가 더 구비되는 것이 바람직하다. In addition, the lower lid opening and closing device according to the present invention, it is preferable that the airtight reinforcing portion is provided in the frame, the pressure is further provided to press the lower lead in the vacuum chamber direction in a state in which the lower lead is in close contact with the vacuum chamber.

본 발명의 하부 리드 개폐 장치에 따르면, 진공 챔버가 상하 방향으로 적층되어 있는 적층형 진공 챔버에서 하부 챔버의 하부 리드를 자동으로 개폐할 수 있어서 챔버 내부의 메인트넌스를 용이하게 처리할 수 있는 장점이 있다. According to the lower lid opening and closing apparatus of the present invention, in the stacked vacuum chamber in which the vacuum chambers are stacked in the vertical direction, the lower lid of the lower chamber can be opened and closed automatically to easily handle maintenance inside the chamber. have.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 하부 리드 개폐 장치가 설치되어 있는 적층형 진공 챔버의 구조를 도시하는 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 하부 리드 개폐 장치의 구조를 도시하는 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 하부 리드 개폐 장치의 구조를 도시하는 측면도이다.
도 4 내지 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 하부 리드 개폐 장치에서 하부 리드가 하강한 상태를 도시하는 도면들이다. 1 is a perspective view illustrating a structure of a stacked vacuum chamber in which a lower lid opening and closing device according to an embodiment of the present invention is installed.
2 is a perspective view illustrating a structure of a lower lid opening and closing device according to an embodiment of the present invention.
3 is a side view illustrating a structure of a lower lid opening and closing device according to an embodiment of the present invention.
4 to 6 are views showing a state in which the lower lead is lowered in the lower lid opening and closing apparatus according to an embodiment of the present invention.

이하에서는 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. Hereinafter, specific embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 실시예에 따른 하부 리드 개폐 장치(100)는, 도 1 내지 4에 도시된 바와 같이, 하부 리드(110), 안내부(120), 이동지그부(130) 및 동력 제공부(140)를 포함하여 구성될 수 있다. 먼저 상기 하부 리드(110)는 적층형 진공 챔버(1) 중 하측 진공 챔버(20)의 개방된 하면을 이루며, 상면에 기판 지지핀(112)이 설치되는 구성요소이다. 즉, 상기 하부 리드(110)는 하부 진공 챔버(20)의 개구부를 승하강 동작에 의하여 개방하거나 차단하는 기능을 수행하며, 하부 진공 챔버(20) 내에 반입되는 기판(S)을 지지하는 지지핀(112)이 설치되어 구동된다. As shown in FIGS. 1 to 4, the lower lid opening and closing apparatus 100 according to the present embodiment may include the lower lid 110, the guide part 120, the moving jig part 130, and the power providing part 140. It can be configured to include. First, the lower lead 110 forms an open lower surface of the lower vacuum chamber 20 of the stacked vacuum chamber 1, and the substrate support pin 112 is installed on the upper surface. That is, the lower lead 110 performs a function of opening or blocking the opening of the lower vacuum chamber 20 by the elevating operation and supporting the substrate S loaded into the lower vacuum chamber 20. 112 is installed and driven.

본 실시예에서 상기 하부 리드(110)는 전체적으로 직사각형 플레이트 형상을 가지며, 상면에는 지지핀(112)들이 설치되고, 하면에는 상기 지지핀(112)을 구동시키기 위한 지지핀 구동장치(도면에 미도시)가 설치될 수 있다. In the present embodiment, the lower lead 110 has a rectangular plate shape as a whole, support pins 112 are installed on an upper surface thereof, and a support pin driving device (not shown in the drawing) for driving the support pin 112 on the lower surface thereof. ) Can be installed.

다음으로 상기 안내부(120)는 도 1 내지 4에 도시된 바와 같이, 프레임(121)과 스크류(122)를 포함하여 구성될 수 있다. 먼저 상기 프레임(121)은 도 1, 2에 도시된 바와 같이, 상기 진공 챔버(20) 하측에 고정되어 설치되며, 상기 하부 리드(110)의 이동 공간을 제공하는 구성요소이다. 즉, 상기 프레임(121) 상에 상기 진공 챔버(20)가 안착되며, 상기 프레임(121)에 의하여 상기 진공 챔버(20)가 바닥면으로부터 일정한 높이로 이격되어 설치되고, 이 이격 공간이 상기 하부 리드(110)의 승하강 공간이 되는 것이다. Next, as shown in FIGS. 1 to 4, the guide part 120 may include a frame 121 and a screw 122. First, as shown in FIGS. 1 and 2, the frame 121 is fixedly installed below the vacuum chamber 20, and is a component that provides a moving space of the lower lid 110. That is, the vacuum chamber 20 is seated on the frame 121, and the vacuum chamber 20 is spaced apart from the bottom by a predetermined height by the frame 121. It becomes the raising / lowering space of the lead 110.

구체적으로 상기 프레임(121)은 도 2에 도시된 바와 같이, 하측에 직사각형을 이루는 하부 프레임(123)과 상기 하부 프레임(123)의 꼭지점 부분에 수직으로 기립되어 설치되는 수직 프레임(124), 그리고 상기 수직 프레임(124)들의 상단을 서로 수평 방향으로 연결하는 상부 프레임(125)으로 구성될 수 있다. 이때 상기 프레임(121)의 상면에는 진공 챔버(20)와 결합되는 챔버 결합부(126)가 더 구비되고, 하면에는 바닥면과의 높이를 조절할 수 있는 높이 조절수단(127)이 더 구비될 수 있다. Specifically, as shown in FIG. 2, the frame 121 includes a lower frame 123 that forms a rectangle on the lower side, and a vertical frame 124 that is vertically standing on a vertex portion of the lower frame 123, and The upper frame 125 may be configured to connect upper ends of the vertical frames 124 to each other in a horizontal direction. At this time, the upper surface of the frame 121 is further provided with a chamber coupling portion 126 coupled to the vacuum chamber 20, the lower surface may be further provided with a height adjusting means 127 for adjusting the height of the bottom surface. have.

다음으로 상기 스크류(122)는 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 프레임(121)에 기립된 상태로 회전가능하게 설치되며, 외주면에 나사면이 형성되는 구성요소이다. 본 실시예에서 상기 스크류(122)는 후술하는 이동 지그부(130)가 이를 타고 승하강하는 구성요소이므로, 상기 하부 리드(110)의 안정적인 승하강을 위하여 각 모서리 방향에 설치되어 총 4개가 설치되는 것이 바람직하다. Next, as shown in FIG. 2, the screw 122 is rotatably installed in a standing state in the frame 121 and is a component having a screw surface formed on an outer circumferential surface thereof. In this embodiment, since the screw 122 is a component that the moving jig unit 130, which will be described later, moves up and down, it is installed in each corner direction for a stable lifting of the lower lead 110, and a total of four are installed. It is desirable to be.

구체적으로 상기 스크류(122)는 상기 상부 프레임(125)의 하면에 상단이 자유 회전 가능하고 결합되고, 하단은 상기 하부 프레임(123)의 상면에 자유 회전 가능하게 설치된다. In detail, the screw 122 is coupled to the lower surface of the upper frame 125 so as to be freely rotatable, and the lower end is freely rotatable to the upper surface of the lower frame 123.

다음으로 상기 이동지그부(130)는 도 2 내지 4에 도시된 바와 같이, 일단이 상기 하부 리드(110)의 측하부에 고정된 상태로 결합되어 설치되며, 타단이 상기 안내부(120)를 타고 이동하도록 결합되는 구성요소이다. 즉, 본 실시예에서 상기 이동지그부(130)는 상기 하부 리드(110)에 고정된 상태로 결합되어 상기 스크류(122)의 회전에 의하여 안정적으로 승하강하는 것이다. Next, as shown in FIGS. 2 to 4, the moving jig unit 130 is installed in one end fixedly coupled to the lower side of the lower lid 110, and the other end of the movable jig unit 130 is connected to the guide unit 120. A component that is combined to ride on. That is, in the present embodiment, the moving jig unit 130 is coupled to the lower lead 110 in a fixed state and is stably raised and lowered by the rotation of the screw 122.

이를 위하여 상기 이동지그부(130)는 구체적으로 도 2 내지 4에 도시된 바와 같이, 스크류 플레이트(132)와 연결편(134)으로 구성될 수 있다. 먼저 상기 스크류 플레이트(132)는 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 스크류(122)가 관통하는 스크류 관통공(131)이 형성되고, 이 스크류 관통공(131)의 내면에는 상기 스크류(122)의 외면에 형성되어 있는 나사면과 맞물리는 암나사면이 형성된다. 따라서 상기 스크류 플레이트(132)는 상기 스크류(122)의 회전에 의하여 상승하거나 하강한다. To this end, the moving jig unit 130 may be specifically configured as a screw plate 132 and the connecting piece 134, as shown in Figures 2 to 4. First, as shown in FIG. 2, the screw plate 132 is provided with a screw through hole 131 through which the screw 122 penetrates. The screw plate 132 has an inner surface of the screw 122. A female threaded surface is formed which engages with the threaded surface formed on the outer surface. Therefore, the screw plate 132 is raised or lowered by the rotation of the screw 122.

다음으로 상기 연결편(134)은 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 스크류 플레이트(132)의 상면에 일단이 결합되고, 타단은 상기 하부 리드(110)의 측부에 결합되어 상기 스크류 플레이트(132)와 상기 하부 리드(110)를 연결하는 구성요소이다. 이때 상기 연결편(134)은 상기 하부 리드(110)의 승하강 과정에서 상기 하부 리드(110)가 상기 상부 프레임(125)과 간섭되지 않도록 내측으로 절곡된 구조를 가지는 것이 바람직하다. Next, as shown in FIG. 4, one end is coupled to an upper surface of the screw plate 132, and the other end is coupled to a side of the lower lead 110 so as to be connected to the screw plate 132. The lower lead 110 is a component for connecting. In this case, the connection piece 134 preferably has a structure that is bent inward so that the lower lead 110 does not interfere with the upper frame 125 during the lowering and lowering of the lower lead 110.

본 실시예에서 상기 하부 리드(110)는 상기 상부 프레임(125)에 의해 제공되는 공간보다 작은 폭을 가지도록 구성된다. 이 상태에서 상기 스크류 플레이트(132)와 하부 리드(110)를 연결하는 상기 연결편(134)은 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 스크류 플레이트(132)에 결합되는 하단과 상기 하부 리드(110)에 결합되는 상단이 내측으로 절곡되는 것이다. In this embodiment, the lower lead 110 is configured to have a smaller width than the space provided by the upper frame 125. In this state, the connecting piece 134 connecting the screw plate 132 and the lower lead 110 to the lower end and the lower lead 110 coupled to the screw plate 132 as shown in FIG. 4. The top to be joined is bent inward.

다음으로 상기 동력 제공부(140)는 도 2 내지 4에 도시된 바와 같이, 상기 안내부(120) 중 스크류(122)를 회전시켜 상기 이동지그부(130)를 상하 방향으로 이동시키는 구성요소이다. 즉, 상기 동력 제공부(140)는 자유 회전 가능하게 설치되어 있는 상기 스크류(122)를 정방향 또는 역방향으로 회전시킴으로써 상기 이동지그부(130) 및 이에 결합되어 있는 하부 리드(110)를 도 4 내지 6에 도시된 바와 같이, 상하 방향으로 승강시키는 것이다. Next, the power supply unit 140 is a component for moving the movable jig unit 130 in the vertical direction by rotating the screw 122 of the guide portion 120, as shown in FIGS. . That is, the power supply unit 140 rotates the screw 122, which is freely rotatable, in the forward or reverse direction to rotate the movable jig unit 130 and the lower lead 110 coupled thereto. As shown in Fig. 6, the lifting is performed in the vertical direction.

이를 위하여 본 실시예에서는 상기 동력 제공부(140)를 구체적으로 도 2 내지 4에 도시된 바와 같이, 모터(142), 제1 동력 분기부(144) 및 제2 동력 분기부(146)를 포함하여 구성할 수 있다. 먼저 상기 모터(142)는 도 2, 6에 도시된 바와 같이, 상기 프레임(121)에 고정되어 설치되며, 회전 동력을 제공하는 구성요소이다. 본 실시예에서 상기 모터(142)는 하나의 모터로 4개의 스크류(122) 모두를 회전시키기 위하여 상기 프레임(121)의 중앙 부분에 배치되는 것이 바람직하다. To this end, in the present embodiment, the power supply unit 140 includes a motor 142, a first power branch 144, and a second power branch 146 as specifically shown in FIGS. 2 to 4. Can be configured. First, as shown in FIGS. 2 and 6, the motor 142 is fixed to the frame 121 and is a component that provides rotational power. In this embodiment, the motor 142 is preferably disposed in the center portion of the frame 121 to rotate all four screws 122 with one motor.

또한 상기 제1 동력 분기부(144)는 도 2, 5에 도시된 바와 같이, 상기 모터(142)에서 양측으로 분기되어 회전 동력을 제공하는 구성요소이다. 즉, 상기 한 쌍의 제1 동력 분기부(144)는 상기 모터(142)의 전방으로 노출되는 회전축(141)과 결합되어 설치되되, 상기 회전축(141)에 대하여 수직되는 방향으로 좌우 양측으로 분리되어 회전하는 구조를 가진다. 따라서 상기 모터(142)에서 제공되는 하나의 회전축(141)이 좌우 방향으로 분기되어 2개의 회전축이 되는 것이다. In addition, as shown in FIGS. 2 and 5, the first power branch 144 is a component that branches to both sides of the motor 142 to provide rotational power. That is, the pair of first power branching portions 144 are installed in combination with the rotating shaft 141 exposed to the front of the motor 142, and are separated into left and right sides in a direction perpendicular to the rotating shaft 141. It has a structure to rotate. Therefore, one rotation shaft 141 provided by the motor 142 is branched in the left and right directions to become two rotation shafts.

이때 상기 제1 동력 분기부(144)는 안정적인 설치를 위하여 분기부 설치 프레임(127) 상에 설치된다. At this time, the first power branch 144 is installed on the branch installation frame 127 for stable installation.

다음으로 상기 제2 동력 분기부(146)는 도 2, 5에 도시된 바와 같이, 상기 제1 동력 분기부(144)의 말단에 각각 결합되어 설치되며, 상기 제1 동력 분기부(144)에서 전달되는 동력을 다시 분기하여 상기 스크류(122) 하단에 전달하는 구성요소이다. 즉, 상기 제2 동력 분기부(146)는 상기 모터 회전축(141)에 일단이 결합되어 있는 제1 동력 분기부(144)의 말단이 결합되는 부분이며, 상기 제1 동력 분기부(144) 말단에서 다시 양측으로 회전 동력이 분리되도록 한다. Next, as shown in FIGS. 2 and 5, the second power branch 146 is installed to be coupled to the ends of the first power branch 144, respectively, and in the first power branch 144. It is a component that branches back to the power transmitted to the screw 122 to transmit. That is, the second power branch 146 is a portion to which the end of the first power branch 144 having one end coupled to the motor rotation shaft 141 is coupled, and the end of the first power branch 144. At this point, the rotational power is separated from both sides again.

그리고 상기 제2 동력 분기부(146)의 말단에는 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 스크류(122)의 하단이 결합된다. The lower end of the screw 122 is coupled to the end of the second power branch 146 as shown in FIG. 3.

한편 본 실시예에 따른 하부 리드 개폐 장치(100)에는 기밀 강화부(도면에 미도시)가 더 구비되는 것이 바람직하다. 상기 기밀 강화부는 상기 프레임(121)에 구비되며, 상기 하부 리드(110)가 상기 진공 챔버(20)에 밀착된 상태에서 상기 하부 리드(110)를 상기 진공 챔버(20) 방향으로 가압하여 상기 하부 리드(110)와 상기 진공 챔버(20) 사이의 기밀을 강화하는 것이다. Meanwhile, the lower lid opening and closing device 100 according to the present embodiment may further include an airtight reinforcing part (not shown in the drawing). The hermetic reinforcing part is provided in the frame 121, and the lower lid 110 is pressed against the vacuum chamber 20 in the state in which the lower lid 110 is in close contact with the vacuum chamber 20, thereby lowering the lower lid 110. The airtightness between the lid 110 and the vacuum chamber 20 is reinforced.

100 : 본 발명의 일 실시예에 따른 하부 리드 개폐 장치
110 : 하부 리드 120 : 안내부
130 : 이동지그부 140 : 동력 제공부
1 : 본 발명의 일 실시예에 따른 적층형 진공 챔버100: lower lid opening and closing device according to an embodiment of the present invention
110: lower lead 120: guide part
130: moving jig unit 140: power supply unit
1: stacked vacuum chamber according to an embodiment of the present invention

Claims (5)

진공 챔버의 개방된 하면을 이루며, 상면에 기판 지지핀이 설치되는 하부 리드;
상기 하부 리드의 측부에 기립되어 회전가능한 구조로 설치되며, 상기 하부 리드의 상하측 구동 구간을 안내하는 안내부;
일단이 상기 하부 리드의 측하부에 고정된 상태로 결합되어 설치되며, 타단이 상기 안내부를 타고 이동하도록 결합되는 이동지그부;
상기 안내부를 회전시켜 상기 이동지그부을 상하 방향으로 이동시키는 동력 제공부;를 포함하는 하부 리드 개폐 장치.A lower lead forming an open lower surface of the vacuum chamber and having a substrate support pin installed on the upper surface thereof;
A guide part standing up at a side of the lower lead and installed in a rotatable structure and guiding the upper and lower driving sections of the lower lead;
A moving jig part having one end coupled to the lower side of the lower lead in a fixed state and the other end coupled to move on the guide part;
And a power providing unit for moving the moving jig unit in a vertical direction by rotating the guide unit. 제1항에 있어서, 상기 안내부는,
상기 진공 챔버 하측에 고정되어 설치되며, 상기 하부 리드의 이동 공간을 제공하는 프레임;
상기 프레임에 기립된 상태로 회전가능하게 설치되며, 외주면에 나사면이 형성되는 다수개의 스크류;를 포함하는 것을 특징으로 하는 하부 리드 개폐 장치. The method of claim 1, wherein the guide portion,
A frame fixedly installed below the vacuum chamber and providing a movement space of the lower lid;
And a plurality of screws rotatably installed in a standing state in the frame and having a screw surface formed on an outer circumferential surface thereof. 제2항에 있어서, 상기 이동지그부는,
상기 스크류가 관통하여 삽입되며, 상기 스크류의 회전에 의하여 상하 방향으로 이동하는 스크류 플레이트;
상기 스크류 플레이트의 상면에 일단이 결합되고, 타단은 상기 하부 리드의 측부에 결합되는 연결편;을 포함하는 것을 특징으로 하는 하부 리드 개폐 장치. The method of claim 2, wherein the jig unit,
A screw plate inserted through the screw and moving up and down by rotation of the screw;
One end is coupled to the upper surface of the screw plate, the other end is connected to the connecting piece coupled to the side of the lower lead; lower lid opening and closing device comprising a. 제2항에 있어서, 상기 동력 제공부는,
상기 프레임에 고정되어 설치되며, 회전 동력을 제공하는 모터;
상기 모터에서 양측으로 분기되어 회전 동력을 제공하는 한 쌍의 제1 동력 분기부;
상기 제1 동력 분기부의 말단에 각각 결합되어 설치되며, 상기 동력 분기부에서 전달되는 동력을 다시 분기하여 상기 스크류 하단에 전달하는 제2 동력 분기부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 하부 리드 개폐 장치. The method of claim 2, wherein the power providing unit,
A motor fixed to the frame and providing rotational power;
A pair of first power branching parts branched from both sides of the motor to provide rotational power;
And a second power branch unit coupled to each end of the first power branch unit and branching power transmitted from the power branch unit to transfer the power unit to the lower end of the screw. 제2항에 있어서,
상기 프레임에 구비되며, 상기 하부 리드가 상기 진공 챔버에 밀착된 상태에서 상기 하부 리드를 상기 진공 챔버 방향으로 가압하는 기밀 강화부가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 하부 리드 개폐 장치. The method of claim 2,
And a hermetic reinforcing part provided on the frame and pressurizing the lower lead toward the vacuum chamber while the lower lead is in close contact with the vacuum chamber.
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