KR20190092258A - Evaluation apparatus, Evaluation method, and Display device - Google Patents

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KR20190092258A
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마사후미 요로즈
켄타 타나카
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스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤
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Abstract

Provided is an evaluation apparatus of a laser apparatus capable of detecting abnormality of an operation with a simple method without mounting a sensor at each part of the laser apparatus. The normal correspondence relationship between a build-up time, which is an elapsed time from the start of excitation of a laser oscillator to the start of a laser pulse, and pulse energy dependent physical quantity determined according to pulse energy of the laser pulse is stored in a storage unit. The information representing a start time of excitation of the laser oscillator to be evaluated and a measurement result of time change of the light intensity of the laser pulse outputted from the laser oscillator are obtained in a data obtaining unit. A determination unit determines the stationarity of an operation of the laser oscillator to be evaluated by calculating the build-up time and pulse energy dependent physical quantity and comparing a calculation value of the build-up time and a calculation value of the pulse energy dependent physical quantity with the normal correspondence relationship based on the information obtained in the data obtaining unit.

Description

평가장치, 평가방법, 및 표시장치{Evaluation apparatus, Evaluation method, and Display device}Evaluation apparatus, evaluation method, and display device

본 출원은, 2018년 1월 29일에 출원된 일본 특허출원 제2018-012661호에 근거하여 우선권을 주장한다. 그 출원의 전체 내용은 이 명세서 중에 참고로 원용되어 있다.This application claims priority based on Japanese Patent Application No. 2018-012661 for which it applied on January 29, 2018. The entire contents of that application are incorporated herein by reference.

본 발명은, 레이저장치의 정상성을 평가하는 평가장치, 평가방법, 및 레이저장치의 평가결과를 표시하는 표시장치에 관한 것이다.The present invention relates to an evaluation device for evaluating the normality of a laser device, an evaluation method, and a display device for displaying an evaluation result of the laser device.

고장진단기능을 구비한 레이저가공장치가 공지이다(예를 들면, 특허문헌 1). 하기의 특허문헌 1에 개시된 레이저가공장치는, 각부의 상태를 검출하는 복수의 센서와, 복수의 센서의 출력으로부터 각부의 동작상태를 도출하는 연산수단을 갖는다. 복수의 센서에는, 레이저출력센서, 유량계, 가스온도센서, 전반사미러온도센서, 벤드미러온도센서, 방전관 내 가스압력센서 등이 포함된다. 이들 센서의 출력이 정상범위를 초과했을 때에, 각부에 이상이 있다고 판단한다.A laser processing apparatus having a failure diagnosis function is well known (for example, patent document 1). The laser beam factory disclosed in Patent Document 1 below includes a plurality of sensors for detecting the state of each part, and calculation means for deriving the operating state of each part from the outputs of the plurality of sensors. The plurality of sensors include a laser output sensor, a flow meter, a gas temperature sensor, a total reflection mirror temperature sensor, a bend mirror temperature sensor, a gas pressure sensor in a discharge tube, and the like. When the output of these sensors exceeds the normal range, it judges that there is an abnormality in each part.

특허문헌 1: 일본 공개특허공보 평11-156570호Patent Document 1: Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-156570

종래의 고장진단기능을 실현하기 위해서는, 레이저가공장치의 각부에 각각 센서를 장착하지 않으면 안 된다. 또한, 장치 전체적으로 정상동작을 행하고 있지 않은 상태이더라도, 각부의 센서의 출력이 정상이면, 이와 같은 이상상태를 검출할 수 없다.In order to realize the conventional failure diagnosis function, a sensor must be attached to each part of the laser processing apparatus. In addition, even when the apparatus is not normally operating as a whole, such an abnormal state cannot be detected if the output of the sensor of each part is normal.

본 발명의 목적은, 레이저장치의 각부에 센서를 장착하지 않고, 간이한 방법으로 동작이상을 검출하는 것이 가능한 레이저장치의 평가장치 및 평가방법을 제공하는 것이다. 본 발명의 또 다른 목적은, 동작이상을 오퍼레이터에게 알기 쉽게 통지하는 표시장치를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an evaluation apparatus and an evaluation method of a laser apparatus capable of detecting an abnormal operation by a simple method without attaching a sensor to each part of the laser apparatus. It is still another object of the present invention to provide a display device which notifies an operator of an abnormal operation.

본 발명의 일 관점에 의하면,According to one aspect of the present invention,

레이저발진기의 여기개시로부터 레이저펄스의 기동(또는 발생)까지의 경과시간인 빌드업시간과, 레이저펄스의 펄스에너지에 따라 결정되는 펄스에너지의존 물리량과의 정상대응관계를 기억하는 기억부와,A storage unit for storing a normal correspondence between the build-up time, which is the elapsed time from the start of excitation of the laser oscillator to the start (or generation) of the laser pulse, and the amount of pulse energy dependent physical quantity determined according to the pulse energy of the laser pulse;

평가대상인 레이저발진기의 여기개시시점을 나타내는 정보, 및 상기 평가대상인 레이저발진기로부터 출력된 레이저펄스의 광강도의 시간변화의 측정결과를 취득하는 데이터취득부와,A data acquisition unit for acquiring information indicating the start point of excitation of the laser oscillator to be evaluated, and a measurement result of time variation of the light intensity of the laser pulse output from the laser oscillator to be evaluated;

상기 데이터취득부에서 취득된 정보에 근거하여, 상기 빌드업시간 및 상기 펄스에너지의존 물리량을 산출하고, 상기 빌드업시간의 산출값과 상기 펄스에너지의존 물리량의 산출값을, 상기 기억부에 기억되어 있는 상기 정상대응관계와 비교하여, 상기 평가대상인 레이저발진기의 동작의 정상성을 판정하는 판정부를 갖는 평가장치가 제공된다.The buildup time and the pulse energy dependent physical quantity are calculated on the basis of the information obtained by the data acquisition unit, and the calculated value of the buildup time and the calculated value of the pulse energy dependent physical quantity are stored in the storage section. An evaluation apparatus having a judging section for determining the normality of the operation of the laser oscillator as the evaluation target is provided in comparison with the normal correspondence relationship.

본 발명의 다른 관점에 의하면,According to another aspect of the present invention,

평가대상인 레이저발진기에 발진지령신호를 송신하고,Send the oscillation command signal to the laser oscillator to be evaluated,

상기 평가대상인 레이저발진기로부터 출력된 레이저펄스를 검출하며,Detecting the laser pulse output from the laser oscillator to be evaluated,

상기 발진지령신호에 의한 발진지령시점으로부터, 상기 레이저펄스의 기동(또는 발생)까지의 경과시간인 빌드업시간, 및 상기 레이저펄스의 펄스에너지에 따라 결정되는 펄스에너지의존 물리량을 산출하고,A build-up time which is the elapsed time from the start of the oscillation command by the oscillation command signal to the start (or generation) of the laser pulse and the pulse energy dependent physical quantity determined according to the pulse energy of the laser pulse;

상기 빌드업시간의 산출값과 상기 펄스에너지의존 물리량의 산출값을, 상기 빌드업시간과 상기 펄스에너지의존 물리량과의 미리 결정되어 있는 정상대응관계와 비교하여 상기 평가대상인 레이저발진기의 동작의 정상성을 판정하는 평가방법이 제공된다.The normality of the operation of the laser oscillator as the evaluation target by comparing the calculated value of the build up time and the calculated value of the pulse energy dependent physical quantity with a predetermined normal correspondence relationship between the build up time and the pulse energy dependent physical quantity An evaluation method for determining is provided.

본 발명의 또 다른 관점에 의하면,According to another aspect of the present invention,

레이저발진기의 여기개시로부터 레이저펄스의 기동까지의 경과시간인 빌드업시간과, 레이저펄스의 펄스에너지에 따라 결정되는 펄스에너지의존 물리량과의 정상대응관계, 및 평가대상인 레이저발진기로부터 출력된 레이저펄스를 검출하여 얻어진 상기 빌드업시간의 산출값과 상기 펄스에너지의존 물리량의 산출값과의 대응관계를 표시화면에 표시하는 표시장치가 제공된다.The normal correspondence between the build-up time, the elapsed time from the start of the excitation of the laser oscillator to the start of the laser pulse, and the physical quantity of the pulse energy dependent on the pulse energy of the laser pulse, and the laser pulse output from the laser oscillator to be evaluated. A display device is provided for displaying on a display screen a correspondence relationship between the calculated value of the buildup time obtained by detection and the calculated value of the pulse energy dependent physical quantity.

레이저장치의 각부에 센서를 장착하지 않고, 간이한 방법으로 동작이상을 검출하는 것이 가능하다.It is possible to detect an operation abnormality by a simple method without attaching a sensor to each part of the laser device.

도 1은, 실시예에 따른 평가장치를 내장한 평가대상인 레이저장치의 개략도이다.
도 2는, 레이저장치의 제어장치로부터 레이저발진기에 송신되는 발진지령신호(S0), 및 광검출기로부터 평가장치에 부여되는 검출신호(S1)의 파형을 나타내는 그래프이다.
도 3은, 빌드업시간과, 펄스에너지에 따라 결정되는 펄스에너지의존 물리량과의 관계를 나타내는 산포도이다.
도 4는, 실시예에 따른 평가장치의 블록도이다.
도 5는, 레이저장치의 동작의 이상상태를 나타내는 정보가 표시되어 있는 표시장치의 정면도이다.
도 6은, 실시예에 따른 레이저장치의 동작의 정상성의 평가방법의 절차를 나타내는 플로차트이다.1 is a schematic diagram of a laser device as an evaluation target incorporating an evaluation device according to an embodiment.
2 is a graph showing waveforms of the oscillation command signal S0 transmitted from the control device of the laser device to the laser oscillator and the detection signal S1 applied from the photodetector to the evaluation device.
3 is a scatter diagram showing a relationship between a buildup time and a pulse energy dependent physical quantity determined according to pulse energy.
4 is a block diagram of an evaluation apparatus according to the embodiment.
5 is a front view of a display device on which information indicating an abnormal state of the operation of the laser device is displayed.
6 is a flowchart showing a procedure of a method for evaluating the normality of operation of the laser apparatus according to the embodiment.

도 1~도 6을 참조하여, 실시예에 따른 레이저장치의 평가장치 및 평가방법에 대하여 설명한다.With reference to FIGS. 1-6, the evaluation apparatus and evaluation method of the laser apparatus which concern on an Example are demonstrated.

도 1은, 실시예에 따른 평가장치를 내장한 평가대상인 레이저장치의 개략도이다. 레이저발진기(10)가, 제어장치(20)로부터 발진지령신호(S0)를 받아 펄스레이저빔을 출력한다. 레이저발진기(10)로서, 다양한 펄스레이저발진기, 예를 들면, 펄스발진하는 탄산가스레이저발진기를 이용할 수 있다. 레이저발진기(10)는, 광공진기, 방전전극, 방전전극구동회로 등을 포함한다.1 is a schematic diagram of a laser device as an evaluation target incorporating an evaluation device according to an embodiment. The laser oscillator 10 receives the oscillation command signal SO from the control device 20 and outputs a pulsed laser beam. As the laser oscillator 10, various pulse laser oscillators, for example, a pulsed carbon dioxide gas oscillator, can be used. The laser oscillator 10 includes an optical resonator, a discharge electrode, a discharge electrode driving circuit, and the like.

레이저발진기(10)로부터 출력된 펄스레이저빔이, 제1 광학계(11)를 통과하여, 벤딩미러(12)에서 반사되고, 제2 광학계(13)를 통과하여, 스테이지(14)에 지지된 가공대상물(15)에 입사한다. 가공대상물(15)은, 예를 들면 프린트배선기판이며, 펄스레이저빔에 의하여 펀칭가공이 행해진다.The pulse laser beam output from the laser oscillator 10 passes through the first optical system 11, is reflected by the bending mirror 12, passes through the second optical system 13, and is supported by the stage 14. It enters into the object 15. The object to be processed 15 is, for example, a printed wiring board, and is punched out by a pulsed laser beam.

벤딩미러(12)에 입사한 펄스레이저빔의 일부는 벤딩미러(12)를 투과하여 광검출기(21)에 입사한다. 광검출기(21)는, 입사한 레이저펄스를 검출하고, 레이저펄스의 광강도에 따른 전기신호인 검출신호(S1)를 출력한다. 광검출기(21)로서, 펄스파형의 변화에 추종하는 것이 가능한 응답속도를 갖는 적외선센서, 예를 들면 텔루륨화카드뮴수은센서(MCT센서) 등을 이용할 수 있다.A part of the pulsed laser beam incident on the bending mirror 12 passes through the bending mirror 12 and enters the photodetector 21. The photodetector 21 detects the incident laser pulse and outputs a detection signal S1 which is an electric signal corresponding to the light intensity of the laser pulse. As the photodetector 21, an infrared sensor having a response speed capable of following the change in the pulse waveform, for example, a cadmium telluride mercury sensor (MCT sensor) or the like can be used.

제1 광학계(11)는, 빔익스팬더, 비구면렌즈, 애퍼처 등을 포함한다. 빔익스팬더는, 레이저빔의 빔직경 및 확산각을 변화시킨다. 비구면렌즈는, 빔프로파일을 가우시안형상으로부터 톱플랫형상으로 변화시킨다. 애퍼처는, 빔단면형상을 정형한다.The first optical system 11 includes a beam expander, an aspherical lens, an aperture, and the like. The beam expander changes the beam diameter and the diffusion angle of the laser beam. The aspherical lens changes the beam profile from the Gaussian shape to the top flat shape. The aperture forms a beam cross-sectional shape.

제2 광학계(13)는, 빔주사기, fθ렌즈 등을 포함한다. 빔주사기는, 예를 들면 한 쌍의 갈바노미러를 포함하고, 제어장치(20)로부터의 지령에 의하여 레이저빔을 이차원방향으로 주사한다. fθ렌즈는, 빔주사기로 주사된 레이저빔을 가공대상물(15)의 표면에 집광한다. 또한, 애퍼처의 위치를 가공대상물(15)의 표면에 축소투영하는 구성으로 해도 된다.The second optical system 13 includes a beam scanner, an fθ lens, and the like. The beam scanner includes, for example, a pair of galvano mirrors, and scans the laser beam in a two-dimensional direction by an instruction from the control device 20. The f? lens focuses the laser beam scanned by the beam scanner on the surface of the object to be processed 15. The aperture position may be reduced on the surface of the object 15.

스테이지(14)는, 수평인 지지면에 가공대상물(15)을 지지하고, 가공대상물(15)을 수평면 내의 두 방향으로 이동시킬 수 있다. 제어장치(20)가, 스테이지(14)의 이동을 제어한다. 스테이지(14)에는, 예를 들면 XY스테이지가 이용된다.The stage 14 supports the workpiece 15 on a horizontal support surface, and can move the workpiece 15 in two directions within the horizontal plane. The controller 20 controls the movement of the stage 14. For example, an XY stage is used for the stage 14.

평가장치(30)가, 제어장치(20)로부터 송신된 발진지령신호(S0), 및 광검출기(21)로부터 부여되는 검출신호(S1)에 근거하여, 레이저장치의 동작의 정상성을 평가한다. 평가장치(30)는, 레이저장치의 동작의 정상성의 평가결과를 표시장치(26)에 표시한다. 또한, 평가장치(30)는, 레이저장치의 동작에 이상이 있다고 판정한 경우, 경보발출장치(25)로부터 경보를 발출한다.The evaluation device 30 evaluates the normality of the operation of the laser device based on the oscillation command signal S0 transmitted from the control device 20 and the detection signal S1 provided from the photodetector 21. . The evaluation device 30 displays the evaluation result of the normality of the operation of the laser device on the display device 26. In addition, when it is determined that there is an abnormality in the operation of the laser device, the evaluation device 30 issues an alarm from the alarm emitting device 25.

도 2는, 제어장치(20)(도 1)로부터 레이저발진기(10)(도 1)에 송신되는 발진지령신호(S0), 및 광검출기(21)(도 1)로부터 평가장치(30)(도 1)에 부여되는 검출신호(S1)의 파형을 나타내는 그래프이다.2 shows the oscillation command signal S0 transmitted from the control device 20 (FIG. 1) to the laser oscillator 10 (FIG. 1), and the evaluation device 30 (from the photodetector 21 (FIG. 1). Fig. 1 is a graph showing the waveform of the detection signal S1 applied to Fig. 1).

시각 t0에 있어서 발진지령신호(S0)가 기동(또는 발생)하면, 레이저발진기(10)는, 방전전극으로의 고주파전력의 공급을 개시한다. 방전전극으로의 고주파전력의 공급을 개시함으로써, 레이저발진기(10)의 레이저매질의 여기가 개시된다. 즉, 발진지령신호(S0)의 기동이, 레이저발진기(10)의 발진지령에 상당하고, 발진지령신호(S0)의 기동시점이, 레이저발진기(10)의 여기개시의 시점에 상당한다.When the oscillation command signal S0 is activated (or generated) at time t0, the laser oscillator 10 starts supplying high frequency power to the discharge electrode. By starting the supply of high frequency power to the discharge electrode, excitation of the laser medium of the laser oscillator 10 is started. That is, the start of the oscillation command signal S0 corresponds to the oscillation command of the laser oscillator 10, and the starting point of the oscillation command signal S0 corresponds to the start point of excitation of the laser oscillator 10.

여기개시의 시각 t0으로부터 지연되어, 시각 t1에 있어서 레이저펄스가 기동한다. 레이저펄스의 기동에 대응하여, 검출신호(S1)도 기동한다. 여기개시의 시각 t0으로부터 레이저펄스의 기동의 시각 t1까지의 경과시간을 빌드업시간(tBU)이라고 하기로 한다. 레이저펄스의 기동시점에, 게인스위칭(gain switching)에 의한 극단시간의 피크파형이 나타나고, 그 후 대략 일정한 광강도가 유지된다. 대략 일정한 광강도가 유지되는 부분을, 펄스파형의 주부(主部)라고 하기로 한다.Delayed from time t0 at the start of excitation, the laser pulse is started at time t1. In response to the start of the laser pulse, the detection signal S1 is also started. The elapsed time from the time t0 at the start of the excitation to the time t1 of the start of the laser pulse is referred to as the buildup time t BU . At the start of the laser pulse, the peak waveform of the extreme time due to the gain switching appears, and then a substantially constant light intensity is maintained. The portion where the substantially constant light intensity is maintained will be referred to as the main portion of the pulse waveform.

시각 t2에 있어서 발진지령신호(S0)가 종료(또는 소멸)하면, 레이저발진기(10)는, 방전전극으로의 고주파전력의 공급을 정지시킨다. 방전전극으로의 고주파전력의 공급을 정지시키면, 레이저발진기(10)의 레이저매질의 여기가 행해지지 않게 된다. 즉, 발진지령신호(S0)의 종료가, 레이저발진기(10)의 여기정지의 지령을 의미한다. 레이저발진기(10)의 여기가 정지되면, 레이저발진기(10)로부터 출력되는 레이저펄스의 강도가 서서히 저하한다.When the oscillation command signal SO ends (or disappears) at time t2, the laser oscillator 10 stops the supply of high frequency power to the discharge electrode. When the supply of the high frequency power to the discharge electrode is stopped, excitation of the laser medium of the laser oscillator 10 is not performed. That is, the end of the oscillation command signal S0 means the command of the excitation stop of the laser oscillator 10. When the excitation of the laser oscillator 10 is stopped, the intensity of the laser pulse output from the laser oscillator 10 gradually decreases.

검출신호(S1)의 하나의 펄스파형을 시간으로 적분한 값은, 1펄스당 에너지(펄스에너지)에 따라 결정된다. 본 명세서에 있어서, 펄스에너지에 따라 결정되는 이 적분값을, "펄스에너지의존 물리량"이라고 하기로 한다.The value obtained by integrating one pulse waveform of the detection signal S1 with time is determined according to the energy (pulse energy) per pulse. In this specification, this integral value determined according to pulse energy is called "pulse energy dependent physical quantity".

게인스위칭에 의한 극단시간의 피크파형의 시간폭은, 전체의 펄스폭에 비하여 충분히 짧기 때문에, 펄스파형으로부터 게인스위칭에 의한 극단시간의 피크파형을 제외한 부분의 적분값을, 펄스에너지의존 물리량으로서 채용해도 된다. 또한, 여기정지 후의 테일부분의 시간폭도, 레이저펄스의 펄스폭에 비하여 충분히 짧고, 또한 테일부분의 광강도는, 시간의 경과와 함께 급격하게 저하하기 때문에, 테일부분을 제외한 펄스파형의 적분값을 펄스에너지의존 물리량으로서 채용해도 된다. 이와 같이, 펄스파형의 주부의 적분값을 펄스에너지의존 물리량으로서 채용해도 된다.Since the time width of the peak waveform of the extreme time by gain switching is short enough compared with the whole pulse width, the integral value of the part except the peak waveform of the extreme time by gain switching is adopted as a pulse energy dependent physical quantity. You may also In addition, since the time width of the tail portion after the excitation stop is sufficiently short compared to the pulse width of the laser pulse, and the light intensity of the tail portion decreases rapidly with time, the integral value of the pulse waveform excluding the tail portion is reduced. You may employ | adopt as a pulse energy dependent physical quantity. In this way, the integral value of the main portion of the pulse waveform may be employed as the pulse energy dependent physical quantity.

빌드업시간(tBU)은, 레이저발진기(10)의 방전전극에 투입하는 고주파전력(여기강도)에 의존하여, 여기강도가 커짐에 따라, 빌드업시간(tBU)이 짧아진다. 펄스파형의 주부의 광강도도 여기강도에 의존하여, 여기강도가 커짐에 따라 펄스파형의 주부의 광강도가 높아진다. 이로 인하여, 빌드업시간(tBU)과 펄스에너지의존 물리량과의 관계는, 빌드업시간(tBU)이 길어짐에 따라 펄스에너지의존 물리량이 작아진다고 하는 경향을 나타낸다.The build up time t BU depends on the high frequency power (excitation intensity) applied to the discharge electrode of the laser oscillator 10, and as the excitation intensity increases, the build up time t BU decreases. The light intensity of the main portion of the pulse waveform also increases depending on the excitation intensity. As the excitation intensity increases, the light intensity of the main portion of the pulse waveform increases. Due to this, it shows the relationship between the built-up time (t BU) and the pulse energy is dependent physical quantities, tend to jindago the pulse energy depends on the physical quantity decreases along the longer build-up time (t BU).

도 3은, 빌드업시간(tBU)과, 펄스에너지에 따라 결정되는 펄스에너지의존 물리량과의 관계를 나타내는 산포도이다. 가로축은 빌드업시간(tBU)을 리니어스케일로 나타내고, 세로축은 펄스에너지에 따라 결정되는 펄스에너지의존 물리량을 리니어스케일로 나타낸다. 레이저발진기(10)의 동작이 정상일 때에, 여기강도를 레이저발진기(10)의 정격전력의 범위 내에서 변화시켜 빌드업시간(tBU)과 펄스에너지의존 물리량과의 데이터를 수집하고, 이들 데이터를 산포도에 플롯하면, 플롯된 점은, 정상대응관계를 나타내는 범위(50) 내에 위치한다. 정상대응관계를 나타내는 범위(50)는, 빌드업시간(tBU)이 길어짐에 따라 펄스에너지의존 물리량이 작아지는 방향으로 경사진 직선을 따르는 가늘고 긴 형상을 나타낸다.3 is a scatter diagram showing the relationship between the buildup time t BU and the pulse energy dependent physical quantity determined according to the pulse energy. The horizontal axis represents the build-up time t BU in linear scale, and the vertical axis represents the linear energy in the pulse energy dependent physical quantity determined according to the pulse energy. When the operation of the laser oscillator 10 is normal, the excitation intensity is changed within the range of the rated power of the laser oscillator 10 to collect data of the buildup time t BU and the pulse energy dependent physical quantity, and these data are collected. When plotted on a scatter plot, the plotted point is located within a range 50 representing a normal correspondence relationship. The range 50 showing the normal correspondence shows an elongated shape along a straight line inclined in a direction in which the pulse energy dependent physical quantity becomes smaller as the buildup time t BU becomes longer.

레이저발진기(10)의 동작에 이상이 있을 때에 취득된 펄스파형에 근거하여 구해진 빌드업시간(tBU)의 산출값과 펄스에너지의존 물리량의 산출값에 대응하는 산포도 상의 위치는, 정상대응관계를 나타내는 범위(50)로부터 벗어난다.The position on the scatter plot corresponding to the calculated value of the buildup time t BU and the calculated value of the pulse energy dependent physical quantity obtained based on the pulse waveform acquired when there is an error in the operation of the laser oscillator 10 has a normal correspondence relationship. It is out of the range 50 indicated.

산출값에 대응하는 위치가, 정상대응관계를 나타내는 범위(50)보다 빌드업시간(tBU)이 길어지는 방향, 또는 펄스에너지의존 물리량이 커지는 방향으로 벗어난 경우에는, 레이저발진기(10)의 발진모드에 이상이 있다고 추정된다. 예를 들면, 발진모드가 고차모드로 되어 있는 것이 의심된다.When the position corresponding to the calculated value deviates in the direction in which the buildup time t BU is longer than in the range 50 indicating the normal correspondence relationship, or in the direction in which the pulse energy dependent physical quantity becomes large, the oscillation of the laser oscillator 10 is performed. It is assumed that there is an abnormality in the mode. For example, it is suspected that the oscillation mode is in a higher order mode.

산출값에 대응하는 위치가, 정상대응관계를 나타내는 범위(50)보다 빌드업시간(tBU)이 짧아지는 방향, 또는 펄스에너지의존 물리량이 작아지는 방향으로 벗어난 경우에는, 제1 광학계(11)(도 1)에 이상이 발생하고 있다고 추정된다. 예를 들면, 제1 광학계(11) 내의 광학부품의 투과율의 저하가 의심된다. 또한, 광검출기(21) 자체의 이상도 의심된다.When the position corresponding to the calculated value deviates in a direction in which the buildup time t BU is shorter than in the range 50 indicating a normal correspondence relationship, or in a direction in which the pulse energy dependent physical quantity becomes smaller, the first optical system 11 It is estimated that an abnormality has occurred in FIG. 1. For example, the fall of the transmittance | permeability of the optical component in the 1st optical system 11 is suspected. Moreover, abnormality of the photodetector 21 itself is also suspected.

산출값에 대응하는 위치가, 정상대응관계를 나타내는 범위(50)를 빌드업시간(tBU)이 길어지고 펄스에너지의존 물리량이 작아지는 방향으로 연신한 영역에 위치하는 경우에는, 레이저발진기(10) 내에 이상이 발생하고 있다고 추정된다. 예를 들면, 레이저발진기(10)의 광공진기 내의 증폭도의 저하, 손실의 증대 등이 발생하고 있다고 추정된다. 이 점에서, 광공진기의 미스얼라인먼트, 여기에너지공급원의 이상, 광공진기를 구성하는 미러의 손상 등이 의심된다.When the position corresponding to the calculated value is located in the region 50 in which the build-up time t BU is extended in a direction in which the build-up time t BU becomes long and the pulse energy-dependent physical quantity becomes small, the laser oscillator 10 It is estimated that abnormality has occurred in the For example, it is estimated that the reduction of amplification degree, the increase of a loss, etc. in the optical resonator of the laser oscillator 10 occur. In this regard, misalignment of the optical resonator, abnormality of the excitation energy supply source, damage to the mirror constituting the optical resonator, and the like are suspected.

도 4는, 실시예에 따른 평가장치(30)의 블록도이다. 평가장치(30)는, 판정부(31), 기억부(32), 데이터취득부(33), 및 표시제어부(34)를 포함한다. 판정부(31), 데이터취득부(33), 및 표시제어부(34)의 기능은, 예를 들면 컴퓨터가 프로그램을 실행함으로써 실현된다.4 is a block diagram of the evaluation apparatus 30 according to the embodiment. The evaluation apparatus 30 includes a determination unit 31, a storage unit 32, a data acquisition unit 33, and a display control unit 34. The functions of the determination unit 31, the data acquisition unit 33, and the display control unit 34 are realized by, for example, a computer executing a program.

기억부(32)는, 빌드업시간(tBU)과 펄스에너지의존 물리량과의 정상대응관계를 기억한다. 예를 들면, 기억부(32)는, 산포도(도 3)에 있어서의 정상대응관계를 나타내는 범위(50)를 기억한다.The storage unit 32 stores the normal correspondence relationship between the buildup time t BU and the pulse energy dependent physical quantity. For example, the storage unit 32 stores the range 50 indicating the normal correspondence relationship in the scatter diagram (Fig. 3).

데이터취득부(33)는, 평가대상인 레이저발진기(10)의 여기개시시점(도 2의 시각 t0)을 나타내는 정보를 제어장치(20)로부터 취득한다. 예를 들면, 데이터취득부(33)는, 제어장치(20)로부터 입력되는 발진지령신호(S0)의 기동을 검출함으로써, 발진지령신호(S0)의 기동시각을 취득한다. 발진지령신호(S0)의 기동시각이, 여기개시시점을 나타내는 정보에 상당한다. 또한, 데이터취득부(33)는, 광검출기(21)로부터 검출신호(S1)를 수신함으로써, 레이저발진기(10)로부터 출력된 레이저펄스의 광강도의 시간변화의 측정결과를 취득한다.The data acquisition unit 33 acquires, from the control apparatus 20, information indicating the start point of excitation (time t0 in FIG. 2) of the laser oscillator 10 to be evaluated. For example, the data acquisition unit 33 acquires the start time of the oscillation command signal S0 by detecting the start of the oscillation command signal S0 input from the control device 20. The start time of the oscillation command signal S0 corresponds to information indicating the start point of excitation. In addition, the data acquisition unit 33 receives the detection signal S1 from the photodetector 21 to acquire a measurement result of the time variation of the light intensity of the laser pulse output from the laser oscillator 10.

판정부(31)는, 데이터취득부(33)에서 취득된 정보에 근거하여, 빌드업시간(tBU) 및 펄스에너지의존 물리량을 산출한다. 또한, 빌드업시간(tBU)의 산출값과 펄스에너지의존 물리량의 산출값을, 기억부(32)에 기억되어 있는 정상대응관계와 비교하여, 레이저펄스의 정상성을 판정한다. 구체적으로는, 빌드업시간(tBU)의 산출값과 펄스에너지의존 물리량의 산출값과의 대응관계가, 기억부(32)에 기억되어 있는 정상대응관계에 포함되지 않을 때, 레이저펄스에 이상이 있다고 판정한다.The determination unit 31 calculates the buildup time t BU and the pulse energy dependent physical quantity based on the information acquired by the data acquisition unit 33. In addition, the normality of the laser pulse is determined by comparing the calculated value of the build-up time t BU and the calculated value of the pulse energy dependent physical quantity with the normal correspondence relationship stored in the storage unit 32. Specifically, when the correspondence between the calculated value of the buildup time t BU and the calculated value of the pulse energy dependent physical quantity is not included in the normal correspondence relationship stored in the storage unit 32, the laser pulse is abnormal. Determine that there is.

보다 구체적으로는, 판정부(31)는, 빌드업시간(tBU)의 산출값과 펄스에너지의존 물리량의 산출값에 대응하는 산포도(도 3) 상의 위치가, 정상대응관계를 나타내는 범위(50)의 외측이면, 레이저펄스에 이상이 있다고 판정한다. 또한, 판정부(31)는, 빌드업시간(tBU)의 산출값과 펄스에너지의존 물리량의 산출값에 대응하는 산포도(도 3) 상의 위치가, 정상대응관계를 나타내는 범위(50)의 내측이면, 레이저펄스는 정상이라고 판정한다.More specifically, the determination unit 31 has a range 50 in which the position on the scatter diagram (FIG. 3) corresponding to the calculated value of the buildup time t BU and the calculated value of the pulse energy dependent physical quantity indicates a normal correspondence relationship. If outside of), it is determined that there is an abnormality in the laser pulse. In addition, the determination part 31 is the inside of the range 50 in which the position on the scatter map (FIG. 3) corresponding to the calculated value of the buildup time t BU and the calculated value of the pulse energy dependent physical quantity shows a normal correspondence relationship. If it is, the laser pulse is determined to be normal.

판정부(31)는, 이상이 있다고 판정된 레이저펄스의 출현빈도를 구한다. 출현빈도는, 예를 들면, 소정 시간 내에 출력된 레이저펄스의 총수에 대한 이상레이저펄스의 개수의 비로 정의된다. 이상레이저펄스의 출현빈도가 임계값을 초과하면, 판정부(31)는, 레이저장치의 동작에 이상이 있다고 판정한다.The determination unit 31 calculates the frequency of appearance of the laser pulses determined to be abnormal. The frequency of appearance is defined as, for example, the ratio of the number of abnormal laser pulses to the total number of laser pulses output within a predetermined time. When the frequency of appearance of the abnormal laser pulse exceeds the threshold value, the determination unit 31 determines that the operation of the laser device is abnormal.

또한, 판정부(31)는, 레이저장치의 동작에 이상이 있다고 판정했을 때, 경보발출장치(25)를 동작시켜 경보를 발출한다. 예를 들면, 경보발출장치(25)는 스피커이며, 판정부(31)는 스피커로부터 경보음을 출력시킨다. 또한, 판정부(31)는, 레이저장치의 동작에 이상이 있다고 판정했을 때, 표시제어부(34)에 이상상태를 표시하는 지령을 송신한다.In addition, when it determines with the abnormality of the operation | movement of a laser apparatus, the determination part 31 operates the alarm output device 25, and issues an alarm. For example, the alarm output device 25 is a speaker, and the determination unit 31 outputs an alarm sound from the speaker. In addition, when it determines with the abnormality of the operation | movement of a laser apparatus, the determination part 31 transmits the command which displays an abnormal state to the display control part 34. As shown in FIG.

표시제어부(34)는, 판정부(31)로부터의 지령에 근거하여, 레이저장치의 동작의 이상상태를 나타내는 정보를 표시장치(26)에 표시한다.The display control unit 34 displays on the display device 26 information indicating an abnormal state of the operation of the laser device based on the command from the determination unit 31.

도 5는, 레이저장치의 동작의 이상상태를 나타내는 정보가 표시되어 있는 표시장치(26)의 정면도이다. 빌드업시간(tBU)을 일방의 축(가로축)에 대응시키고, 펄스에너지의존 물리량을 타방의 축(세로축)에 대응시킨 산포도가, 표시장치(26)의 표시화면에 표시되어 있다. 이 산포도에, 빌드업시간(tBU)과 펄스에너지의존 물리량과의 정상대응관계를 나타내는 범위(50)가 나타나 있다. 또한, 평가시간 내에 취득한 빌드업시간(tBU)의 산출값과 펄스에너지의존 물리량의 산출값으로 이루어는 복수의 데이터가 산포도 상에 플롯되어 있다. 도 5에서는, 정상대응관계를 나타내는 범위(50)보다 위(펄스에너지의존 물리량이 큰 영역)에, 대부분의 데이터가 플롯되어 있는 예가 나타나 있다.5 is a front view of the display device 26 on which information indicating an abnormal state of the operation of the laser device is displayed. A scatter diagram in which the build-up time t BU corresponds to one axis (horizontal axis) and the pulse energy dependent physical quantity corresponds to the other axis (vertical axis) is displayed on the display screen of the display device 26. In this scatter diagram, a range 50 representing the normal correspondence between the buildup time t BU and the pulse energy dependent physical quantity is shown. Further, a plurality of data consisting of the calculated value of the buildup time t BU acquired within the evaluation time and the calculated value of the pulse energy dependent physical quantity are plotted on the scatter diagram. In FIG. 5, an example is shown in which most of the data is plotted above the range 50 indicating the normal response relationship (the region where the pulse energy-dependent physical quantity is large).

또한, 표시화면에 표시된 산포도의 정상대응관계를 나타내는 범위(50) 이외의 영역에, 이상상태를 나타내는 정보가 문자로 표시되어 있다. 예를 들면, "발진모드 이상", "광학계 이상", "발진기 내 이상" 등의 문자가, 그 이상에 대응하는 산포도 내의 영역에 표시된다.In addition, information indicating an abnormal state is displayed in letters in an area other than the range 50 indicating the normal correspondence relationship of the scatter diagram displayed on the display screen. For example, characters such as " oscillation mode abnormality ", " optical system abnormality " and " abnormal oscillator "

도 6은, 실시예에 따른 레이저장치의 동작의 정상성의 평가방법의 절차를 나타내는 플로차트이다. 이하, 도 6 및 도 1을 참조하면서, 본 실시예의 평가방법에 대하여 설명한다.6 is a flowchart showing a procedure of a method for evaluating the normality of operation of the laser apparatus according to the embodiment. Hereinafter, the evaluation method of a present Example is demonstrated, referring FIG. 6 and FIG.

우선, 제어장치(20)가 레이저발진기(10)에 발진지령신호(S0)를 송신한다(스텝 ST1). 발진지령신호(S0)는, 평가장치(30)에도 입력된다. 평가장치(30)는, 광검출기(21)로부터의 검출신호(S1)에 근거하여, 레이저펄스의 기동 및 펄스파형을 검출한다(스텝 ST2). 평가장치(30)는, 발진지령신호(S0) 및 검출신호(S1)에 근거하여, 빌드업시간(tBU) 및 펄스에너지의존 물리량을 산출한다(스텝 ST3). 산출결과에 근거하여, 레이저펄스의 정상성을 판정한다(스텝 ST4). 스텝 ST1로부터 스텝 ST4까지의 절차를, 평가가 완료된 펄스수가 소정의 펄스수에 도달할 때까지 반복한다(스텝 ST5).First, the control apparatus 20 transmits the oscillation command signal S0 to the laser oscillator 10 (step ST1). The oscillation command signal S0 is also input to the evaluation apparatus 30. The evaluation apparatus 30 detects the start of the laser pulse and the pulse waveform based on the detection signal S1 from the photodetector 21 (step ST2). The evaluation apparatus 30 calculates the buildup time t BU and the pulse energy dependent physical quantity based on the oscillation command signal SO and the detection signal S1 (step ST3). Based on the calculation result, the normality of the laser pulses is determined (step ST4). The procedure from step ST1 to step ST4 is repeated until the number of pulses for which evaluation has been reached reaches a predetermined number of pulses (step ST5).

평가가 완료된 펄스수가 소정의 펄스수에 도달하면, 평가가 완료된 펄스수의 값을 초기설정한다. 그 후, 레이저장치의 동작의 정상성을 평가한다(스텝 ST7). 예를 들면, 이상펄스수의 출현빈도에 근거하여, 레이저장치의 동작의 정상성을 판정한다. 이상레이저펄스의 출현빈도가 판정임계값을 초과하고 있는 경우, 레이저장치의 동작에 이상이 있다고 판정한다.When the number of pulses for which evaluation has been reached reaches a predetermined number of pulses, the value of the number of pulses for which evaluation has been completed is initially set. Thereafter, the normality of the operation of the laser device is evaluated (step ST7). For example, the normality of the operation of the laser device is determined based on the frequency of appearance of the abnormal pulse number. When the frequency of appearance of the abnormal laser pulse exceeds the determination threshold value, it is determined that the operation of the laser device is abnormal.

레이저장치의 동작에 이상이 있다고 판정된 경우에는, 이상 시의 처리를 실행한다(스텝 ST8). 예를 들면, 경보의 발출, 이상상태의 표시 등을 행한다. 그 후, 레이저가공처리를 종료할지 여부를 판정한다(스텝 ST9). 레이저장치의 동작이 정상이라고 판정된 경우에는, 이상 시의 처리를 실행하지 않고, 레이저가공처리를 종료할지 여부를 판정한다(스텝 ST9).If it is determined that there is an abnormality in the operation of the laser device, the process at the time of abnormality is executed (step ST8). For example, an alarm is issued, an abnormal state is displayed, and the like. Thereafter, it is determined whether or not to end the laser processing process (step ST9). When it is determined that the operation of the laser device is normal, it is determined whether or not the laser processing process is to be terminated without executing the processing at the time of abnormality (step ST9).

레이저가공처리를 계속하는 경우에는, 스텝 ST1로부터 스텝 ST9까지의 처리를 반복하여 실행한다. 상술한 스텝 ST2로부터 스텝 ST9까지의 처리는, 평가장치(30)가 실행한다. 예를 들면, 가공대상물(15)(도 1)의 레이저가공이 종료되면, 레이저가공처리를 종료한다. 그 외에, 표시장치(26)(도 5)에 표시된 이상상태를 오퍼레이터가 보고, 오퍼레이터의 개재에 의하여 레이저가공처리를 종료하도록 해도 된다.When the laser processing process is continued, the processes from step ST1 to step ST9 are repeated. The evaluation apparatus 30 executes the above-described processes from step ST2 to step ST9. For example, when the laser processing of the processing object 15 (FIG. 1) is complete | finished, a laser processing process is complete | finished. In addition, the operator may report the abnormal state displayed on the display device 26 (FIG. 5), and the laser processing may be terminated by the operator.

다음으로, 상기 실시예에 따른 평가장치의 구성을 채용함으로써 얻어지는 우수한 효과에 대하여 설명한다.Next, the excellent effect obtained by employ | adopting the structure of the evaluation apparatus which concerns on the said Example is demonstrated.

본 실시예에서는, 레이저장치의 각부에 각각 센서를 장착하지 않고, 제어장치(20)로부터 송신되는 발진지령신호(S0)와, 광검출기(21)로부터 출력되는 검출신호(S1)에 근거하여, 레이저장치의 동작의 정상성을 평가할 수 있다. 표시장치(26)에 표시된 산포도(도 5)를 보고, 오퍼레이터가 직감적으로 레이저장치의 동작상태를 파악할 수 있다. 예를 들면, 도 5에 나타낸 예에서는, 레이저발진기(10)에 발진모드의 이상이 발생하고 있다고, 용이하게 추정할 수 있다.In this embodiment, based on the oscillation command signal S0 transmitted from the control apparatus 20 and the detection signal S1 output from the photodetector 21, each sensor is not attached to each part of the laser apparatus. The normality of the operation of the laser device can be evaluated. By looking at the scatter diagram (FIG. 5) displayed on the display device 26, the operator can intuitively grasp the operating state of the laser device. For example, in the example shown in FIG. 5, it can be easily estimated that the abnormality of the oscillation mode has occurred in the laser oscillator 10. FIG.

또한, 상기 실시예에서는, 가공대상물(15)(도 1)의 레이저가공을 행하면서, 리얼타임으로 이상레이저펄스의 발생을 검출할 수 있다. 이상레이저펄스의 출현빈도를 산출하는 기간을 짧게 하면, 조기에 레이저장치의 이상을 검출할 수 있다.Further, in the above embodiment, generation of abnormal laser pulses can be detected in real time while laser processing the object 15 (Fig. 1). If the period for calculating the frequency of appearance of the abnormal laser pulse is shortened, abnormality of the laser device can be detected early.

다음으로, 상기 실시예의 변형예에 대하여 설명한다. 상기 실시예에서는, 이상레이저펄스의 발생빈도가 임계값을 초과하면, 경보를 발출하고, 표시장치(26)에 이상상태를 표시했다. 경보를 발출하는 임계값보다 위에 허용상한값을 설정하고, 이상레이저펄스의 출현빈도가 허용상한값을 초과하면, 레이저가공을 자동적으로 정지시키도록 해도 된다. 이로 인하여, 불량품의 증가를 억제할 수 있다.Next, the modification of the said Example is demonstrated. In the above embodiment, when the frequency of occurrence of the abnormal laser pulse exceeds the threshold value, an alarm is issued and an abnormal state is displayed on the display device 26. The allowable upper limit value may be set above the threshold for emitting an alarm, and the laser processing may be automatically stopped when the frequency of occurrence of the abnormal laser pulse exceeds the allowable upper limit value. For this reason, the increase of defective goods can be suppressed.

상기 실시예에서는, 도 1에 나타낸 바와 같이 제어장치(20)와는 별도로 평가장치(30)를 마련했지만, 제어장치(20)에 평가장치(30)의 기능을 갖게 해도 된다.In the said Example, although the evaluation apparatus 30 was provided separately from the control apparatus 20 as shown in FIG. 1, you may give the control apparatus 20 the function of the evaluation apparatus 30. FIG.

본 발명은 상술한 실시예에 제한되는 것은 아니다. 예를 들면, 다양한 변경, 개량, 조합 등이 가능한 것은 당업자에게 자명할 것이다.The present invention is not limited to the above embodiment. For example, it will be apparent to those skilled in the art that various changes, improvements, combinations, and the like are possible.

10 레이저발진기
11 제1 광학계
12 벤딩미러
13 제2 광학계
14 스테이지
15 가공대상물
20 제어장치
21 광검출기
25 경보발출장치
26 표시장치
30 평가장치
31 판정부
32 기억부
33 데이터취득부
34 표시제어부
50 빌드업시간(tBU)과 펄스에너지의존 물리량과의 정상대응관계를 나타내는 범위
S0 발진지령신호
S1 검출신호10 laser oscillator
11 first optical system
12 bending mirror
13 second optical system
14 stage
15 Object
20 controls
21 Photodetector
25 Alarm output device
26 Display
30 evaluation device
31 judgment
32 memory
33 Data Acquisition Department
34 Display control unit
50 A range representing the normal response relationship between the buildup time (t BU ) and the physical quantity of pulse energy dependence.
S0 oscillation command signal
S1 detection signal

Claims (5)

레이저발진기의 여기개시로부터 레이저펄스의 기동까지의 경과시간인 빌드업시간과, 레이저펄스의 펄스에너지에 따라 결정되는 펄스에너지의존 물리량과의 정상대응관계를 기억하는 기억부와,
평가대상인 레이저발진기의 여기개시시점을 나타내는 정보, 및 상기 평가대상인 레이저발진기로부터 출력된 레이저펄스의 광강도의 시간변화의 측정결과를 취득하는 데이터취득부와,
상기 데이터취득부에서 취득된 정보에 근거하여, 상기 빌드업시간 및 상기 펄스에너지의존 물리량을 산출하고, 상기 빌드업시간의 산출값과 상기 펄스에너지의존 물리량의 산출값을, 상기 기억부에 기억되어 있는 상기 정상대응관계와 비교하여, 상기 평가대상인 레이저발진기의 동작의 정상성을 판정하는 판정부를 갖는 평가장치.A storage unit for storing a normal correspondence between the build-up time, which is the elapsed time from the start of excitation of the laser oscillator to the start of the laser pulse, and the physical quantity of pulse energy dependent determined by the pulse energy of the laser pulse;
A data acquisition unit for acquiring information indicating the start point of excitation of the laser oscillator to be evaluated, and a measurement result of time variation of the light intensity of the laser pulse output from the laser oscillator to be evaluated;
The buildup time and the pulse energy dependent physical quantity are calculated on the basis of the information obtained by the data acquisition unit, and the calculated value of the buildup time and the calculated value of the pulse energy dependent physical quantity are stored in the storage section. And an evaluation unit for determining the normality of the operation of the laser oscillator as the evaluation target, in comparison with the normal correspondence relationship. 제1항에 있어서,
상기 판정부는, 상기 빌드업시간의 산출값과 상기 펄스에너지의존 물리량의 산출값과의 대응관계가, 상기 기억부에 기억되어 있는 상기 정상대응관계에 포함되지 않을 때, 경보를 발출하는 평가장치.The method of claim 1,
And the determination unit issues an alarm when the correspondence between the calculated value of the buildup time and the calculated value of the pulse energy dependent physical quantity is not included in the normal correspondence relationship stored in the storage unit. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 기억부에 기억되어 있는 상기 정상대응관계, 및 상기 빌드업시간의 산출값과 상기 펄스에너지의존 물리량의 산출값과의 대응관계를 표시장치에 표시시키는 표시제어부를 더 갖는 평가장치.The method according to claim 1 or 2,
And a display control unit which displays on the display device the normal correspondence relationship stored in the storage unit and the correspondence between the calculated value of the buildup time and the calculated value of the pulse energy dependent physical quantity. 평가대상인 레이저발진기에 발진지령신호를 송신하고,
상기 평가대상인 레이저발진기로부터 출력된 레이저펄스를 검출하며,
상기 발진지령신호에 의한 발진지령시점으로부터, 상기 레이저펄스의 기동까지의 경과시간인 빌드업시간, 및 상기 레이저펄스의 펄스에너지에 따라 결정되는 펄스에너지의존 물리량을 산출하고,
상기 빌드업시간의 산출값과 상기 펄스에너지의존 물리량의 산출값을, 상기 빌드업시간과 상기 펄스에너지의존 물리량과의 미리 결정되어 있는 정상대응관계와 비교하여 상기 평가대상인 레이저발진기의 동작의 정상성을 판정하는 평가방법.Send the oscillation command signal to the laser oscillator to be evaluated,
Detecting the laser pulse output from the laser oscillator to be evaluated,
From the oscillation command time point by the oscillation command signal, the build-up time which is the elapsed time from the start of the laser pulse to the start of the laser pulse, and the pulse energy dependent physical quantity determined according to the pulse energy of the laser pulse are calculated.
The normality of the operation of the laser oscillator as the evaluation target by comparing the calculated value of the build up time and the calculated value of the pulse energy dependent physical quantity with a predetermined normal correspondence relationship between the build up time and the pulse energy dependent physical quantity Evaluation method to determine. 레이저발진기의 여기개시로부터 레이저펄스의 기동까지의 경과시간인 빌드업시간과, 레이저펄스의 펄스에너지에 따라 결정되는 펄스에너지의존 물리량과의 정상대응관계, 및 평가대상인 레이저발진기로부터 출력된 레이저펄스를 검출하여 얻어진 상기 빌드업시간의 산출값과 상기 펄스에너지의존 물리량의 산출값과의 대응관계를 표시화면에 표시하는 표시장치.The normal correspondence between the build-up time, the elapsed time from the start of the excitation of the laser oscillator to the start of the laser pulse, and the physical quantity of the pulse energy dependent on the pulse energy of the laser pulse, and the laser pulse output from the laser oscillator to be evaluated. And a corresponding relationship between the calculated value of the buildup time obtained by detection and the calculated value of the pulse energy dependent physical quantity on a display screen.
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