KR20190081387A - 절삭공구용 경질피막 - Google Patents

절삭공구용 경질피막 Download PDF

Info

Publication number
KR20190081387A
KR20190081387A KR1020170183886A KR20170183886A KR20190081387A KR 20190081387 A KR20190081387 A KR 20190081387A KR 1020170183886 A KR1020170183886 A KR 1020170183886A KR 20170183886 A KR20170183886 A KR 20170183886A KR 20190081387 A KR20190081387 A KR 20190081387A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
layer
thin layer
alcron
alcrn
thin
Prior art date
Application number
KR1020170183886A
Other languages
English (en)
Other versions
KR102009688B1 (ko
Inventor
권진한
박제훈
안승수
안선용
김영흠
Original Assignee
한국야금 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 한국야금 주식회사 filed Critical 한국야금 주식회사
Priority to KR1020170183886A priority Critical patent/KR102009688B1/ko
Publication of KR20190081387A publication Critical patent/KR20190081387A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102009688B1 publication Critical patent/KR102009688B1/ko

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0641—Nitrides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0664—Carbonitrides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/08—Oxides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C23C14/32—Vacuum evaporation by explosion; by evaporation and subsequent ionisation of the vapours, e.g. ion-plating
    • C23C14/325—Electric arc evaporation
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34—Sputtering
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/04—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
    • C23C28/044—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material coatings specially adapted for cutting tools or wear applications

Abstract

본 발명은 경질모재 상에 인접하여 형성되는 단일층 구조의 하부층과 상기 하부층 상에 형성되는 마이크로(내지 나노) 다층 구조의 상부층을 포함하고, 상기 상부층은 질화물-산질화물-산화물 또는 이들의 반복적층 구조로 이루어지며, 내마모성과 내충격성이 향상된 절삭공구용 경질피막에 관한 것이다.
본 발명에 따른 절삭공구용 경질피막은, 경질모재 상에 형성되는 것으로, 상기 경질피막은 상기 경질모재에 인접하여 형성되는 제1층과, 제1층 상에 제2층이 적층된 구조를 포함하고, 제1층은 Ti와 Al을 포함하는 질화물 또는 탄질화물로 이루어지고, 제2층은 박층A, 박층B, 박층C를 포함하고, 상기 박층B가 박층A와 박층C 사이에 배치되어 2회 이상 반복하여 적층되는 다층 구조로 이루어지고, 상기 박층A는 Al과 Cr을 포함하는 포함하는 질화물로 이루어지고, 상기 박층B는 Al과 Cr을 포함하는 산질화물로 이루어지고, 상기 박층C는 Al과 Cr을 포함하는 산화물로 이루어지고, 상기 박층B는 0.1≤O/(O+N)≤0.4를 만족하면서, 입방정의 결정구조를 가지고, XRD 분석 시 [200] 피크의 중심이 2-세타(theta) 43.8~45.0도에 위치하고, [200]/[111] 피크의 강도비가 3 이상인 것을 특징으로 한다.

Description

절삭공구용 경질피막 {HARD FILM FOR CUTTING TOOLS}
본 발명은 절삭공구에 사용되는 초경합금, 써멧, 세라믹, 입방정 질화붕소와 같은 경질모재 상에 형성되는 경질피막에 관한 것이며, 보다 상세하게는 경질모재 상에 인접하여 형성되는 단일층 구조의 하부층과 상기 하부층 상에 형성되는 마이크로(내지 나노) 다층 구조의 상부층을 포함하고, 상기 상부층은 질화물-산질화물-산화물 또는 이들의 반복적층 구조로 이루어진 경질피막에 관한 것이다.
고경도 절삭공구 소재의 개발을 위해 1980년대 후반부터 TiN 기반의 다양한 다층막 시스템이 제안되었다.
일례로 TiN이나 VN을 수 나노미터 두께로 교대로 반복 적층시켜 다층막을 형성하면, 각각의 단일 층의 격자상수의 차이에 불구하고 막 사이에 정합 계면을 이루어 하나의 격자상수를 갖는 이른바 초격자를 이루는 코팅을 하게 되면, 각각의 단일 막이 갖는 일반적인 경도의 2배 이상의 높은 경도를 구현할 수 있어, 이러한 현상을 절삭공구용 박막에 적용하기 위한 다양한 시도가 있어 왔다.
이러한 초격자 코팅에 사용되는 강화기구로는 Koehler's model, Hall-Petch 관계, Coherency strain model 등이 있으며, 이들 강화기구는, A와 B 물질의 교대 증착시 A와 B의 격자상수 차이, 탄성계수 차이 그리고 적층 주기의 제어를 통해 경도를 증가시키는 것이다.
최근에는, 예를 들어 특허문헌 1에 개시된 바와 같이, AlTiN, TiAlN, AlTiMeN(여기서, Me는 금속원소)와 같은 다양한 조성의 질화물을 교대 반복적층시켜 단일 막에 비해 훨씬 향상된 물성을 구현하는 다양한 나노 다층구조를 구비한 절삭공구용 경질피막이 제안되고 있다.
또한, 특허문헌 2에 개시된 바와 같이, 베이스층 상에 형성된 마모 방지층의 결합력을 향상시키기 위하여, 베이스층 상에 크롬 함유 기능성층을 배치하여 베이스층과 마모 방지층 간의 결합력을 향상시킴으로써, 절삭공구의 수명을 향상시키는 기술이 제안되고 있다.
1. 대한민국 공개특허공보 제10-2013-0123238호 2. 대한민국 공개특허공보 제10-2014-0059193호
본 발명은, 경질피막을 구성하는 나노 다층구조를 이루는 복수의 단위층들 중, 특히 중간층의 역할을 하는 단위층의 조성, 결정구조 및 배향 제어를 통해, 내마모성과 내충격성이 향상된 절삭공구용 경질피막을 제공하는 것을 해결하고자 하는 과제로 한다.
상기 과제를 해결하기 위해 본 발명은, 경질모재 상에 형성되는 경질피막으로, 상기 경질피막은 상기 경질모재에 인접하여 형성되는 제1층과, 제1층 상에 제2층이 적층된 구조를 포함하고, 제1층은 Ti와 Al을 포함하는 질화물로 이루어지고, 제2층은 박층A, 박층B, 박층C를 포함하고, 상기 박층B가 박층A와 박층C 사이에 배치되어 2회 이상 반복하여 적층되는 다층 구조로 이루어지고, 상기 박층A는 Al과 Cr을 포함하는 포함하는 질화물 또는 탄질화물로 이루어지고, 상기 박층B는 Al과 Cr을 포함하는 산질화물로 이루어지고, 상기 박층C는 Al과 Cr을 포함하는 산화물로 이루어지고, 상기 박층B는 0.1≤O/(O+N)≤0.4를 만족하면서, 입방정의 결정구조를 가지고, XRD 분석 시 [200] 피크의 중심이 2-세타(theta) 43.8~45.0도에 위치하고, [200]/[111] 피크의 강도비가 3 이상인, 절삭공구용 경질피막을 제공한다.
본 발명에 따른 경질피막은, 나노 다층구조의 도입과 함께, 나노 다층구조를 구성하는 질화물로 이루어진 박층과 산화물로 이루어진 박층 사이에 산질화물로 이루어진 박층을 배치하여 나노 다층구조를 형성하고, 상기 산질화물로 이루어진 박층이 [200] 방향으로 우선 배향이 되도록 하여 소성변형에 대한 저항성을 높이고, 동시에 질화물과의 격자상수 차이가 너무 커지지 않도록 산소분율(O/(O+N)) 범위를 제어함으로써, 내마모성과 내충격성이 향상된 경질피막을 얻는다.
도 1은 본 발명의 일 실시형태에 따른 경질피막의 구조를 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시형태에 따른 경질피막과 비교예에 따른 경질피막의 XRD 분석결과를 나타낸 것이다.
이하 본 발명의 실시예에 대하여 첨부된 도면을 참고로 그 구성 및 작용을 설명하기로 한다. 하기에서 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략할 것이다. 또한, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
본 발명자들은 질화물, 산화물, 산질화물을 포함하는 나노 다층구조를 구비하는 경질피막의 결합력과 내충격성을 향상시키기 위해 연구한 결과, 질화물과 산화물 사이에 배치되는 산질화물을 [200] 방향으로 우선 배향시켜 소성변형 저항성을 높이고 동시에 산질화물과 질화물 간의 격자상수의 차이를 일정 이하로 줄일 경우, 경질피막의 내마모성 향상과 내충격성을 향상시킬 수 있음을 밝혀내고 본 발명에 이르게 되었다.
본 발명에 따른 경질피막은, 도 1에 도시된 바와 같이, 경질모재 상에 형성되며, 상기 경질모재에 인접하여 형성되는 제1층과, 제1층 상에 제2층이 적층된 구조를 포함한다.
제1층은 Ti와 Al을 포함하는 질화물 또는 탄질화물로 이루어지고, 바람직하게는, Al1-a-bTiaMb(C1-xNx)(M은 Si, W, Nb, Mo, Ta, Hf, Zr, Y으로 선택되는 적어도 1종, 0.3≤a≤0.7, 0≤b≤0.1, 0＜x≤1)으로 이루어질 수 있다.
제2층은 박층A, 박층B, 박층C를 포함하고, 상기 박층B가 박층A와 박층C 사이에 배치되어 2회 이상 반복하여 적층되는 나노 다층구조로 이루어진다.
상기 박층A는 Al과 Cr을 포함하는 포함하는 질화물로 이루어지고, 상기 박층B는 Al과 Cr을 포함하는 산질화물로 이루어지고, 상기 박층C는 Al과 Cr을 포함하는 산화물로 이루어진다.
이때, 상기 박층B는 산소와 질소의 합의 함량에 대한 산소 함량의 비인 O/(O+N)이 0.1 미만일 경우, XRD 분석 시 [111] 피크의 강도가 증가하는데, 면심 입방 구조에서 [111] 면은 [200] 면 보다 경도 대비 탄성계수가 높기 때문에 [111] 배향성이 증가할수록 소성변형에 대한 저항성(내소성변형지수, H3/E2)이 낮아져 상기 박층B가 박층A와 박층C 간의 뒤틀림 및 균열 전파를 억제하는 중간층으로서의 역할을 제대로 수행하지 못하게 되고, 박리 및 치핑 등이 생기기 쉬워 공구수명이 감소한다. 한편, 0.4 초과일 경우, 상기 박층A와의 격자상수 차이가 증가하여 불일치 변형(misfit strain)을 일으킴으로써 박막간 밀착력이 저하되고, 박리 및 치핑 등이 생기기 쉬워 공구수명이 감소하므로 O/(O+N)은 0.1~0.4의 범위를 유지하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 박층B는 입방정의 결정구조를 가지고, XRD 분석 시 [200] 피크의 중심이 2-세타(theta) 43.8~45.0도에 위치하고, [200]/[111] 피크의 강도비가 3 이상인 것이 소성변형에 대한 저항성을 높여 경질피막의 물성을 향상시키는데 유리하므로, 상기 결정구조 및 [200]에 대한 우선배향성을 유지하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 경질모재는, 초경합금, 써멧, 세라믹 및 입방정 질화붕소 중에서 선택된 1종일 수 있으나, 절삭공구용 모재로 사용되는 것이라면 특별히 제한되지 않는다.
또한, 바람직하게, 상기 박층A는 Al1-c-dCrcMdN(M은 Si, W, Nb, Mo, Ta, Hf, Zr, Y으로 선택되는 적어도 1종, 0.3≤c≤0.5, 0≤d≤0.1)로 이루어지고, 상기 박층B는 Al1-eCre(O1-yNy)(0.3≤e≤0.5, 0.2≤y≤0.3)로 이루어지고, 상기 박층C는 (Al1-fCrf)2O3(0.3≤f≤0.5)로 이루어질 수 있다.
또한, 바람직하게, 상기 박층A, 박층B, 박층C는 상기 제1층 상에 순차적으로 A-B-C-B의 형태로 적층될 수 있다.
또한, 상기 제1층의 두께는 0.5㎛ 미만일 경우 인성층으로서 균열 전파를 지연시키는 효과가 떨어지고, 10㎛ 초과일 경우 균열 전파를 지연시키는 효과는 크나 박막 전체의 내마모성이 저하될 수 있으므로, 0.5~10㎛ 범위에 있는 것이 바람직하다.
또한, 상기 제2층의 두께는 0.5㎛ 미만일 경우 내마모층으로서 박막이 너무 얇으므로 충분한 공구수명이 확보되지 않을뿐더러 상기 박층A, 박층B, 박층C의 교대 적층 횟수가 감소하여 다층구조에 의한 강화 효과가 떨어지고, 10㎛ 초과일 경우 박막의 잔류응력이 증가함에 따라 박리 및 치핑 등이 생기기 쉬워 공구수명이 감소하므로, 0.5~10㎛ 범위에 있는 것이 바람직하다.
또한, 상기 박층A, 박층B, 박층C의 두께는 각각 0.05㎛ 미만일 경우 기계적 마모 측면에서 상기 박층B와 박층C의 결정구조 차이가 크기 때문에 나노 다층구조에 따른 강화효과 상승이 그리 크지 않고, 화학적 마모 측면에서 박막이 너무 얇으므로 특히, 산화물층이 갖는 본래의 내산화성이 감소하여 박막 전체의 내마모성이 저하될 수 있다. 한편, 1.0㎛ 초과일 경우 상기 박층A, 박층B, 박층C의 교대 적층 횟수가 감소하여 다층구조에 의한 강화 효과가 떨어지므로, 0.05~1.0㎛ 범위에 있는 것이 바람직하다.
[실시예]
본 발명의 실시예에서는 초경합금, 써메트, 고속도강, 엔드밀, 드릴류 등을 포함하는 경질 모재 표면 위에 물리적 기상 증착법(physical vapor deposition; PVD)인 아크 이온 플레이팅 및 스퍼터링 법을 이용하여, 도 1과 같은 구조를 갖는 박막을 성막하였다.
구체적으로 코팅에 사용한 타겟으로는 TiAl의 아크타겟과 AlCr의 스퍼터링타겟을 사용하였으며, 초기 진공압력은 8.5×10-5Torr 이하로 감압하였으며, 반응가스로 N2와 O2를 주입하였다. 또한, 코팅을 위한 가스압력은 30mTorr 이하, 바람직하게는 20mTorr 이하로 유지하였으며, 코팅 온도는 400~550℃로 하였고, 코팅 시 기판 바이어스 전압은 -20V~-150V으로 인가하였다. 상기 코팅조건은 장비 특성 및 조건에 따라 달라질 수 있다.
본 발명의 실시예에서는 상기한 코팅조건을 이용하여, 인성층인 단일층과 내마모층인 마이크로다층을 차례대로 적층하였는데, 여기서, 단일층(인성층)은 Al1-xTixN (0.3≤x≤0.7)막이고, 마이크로다층(내마모층)은 단위층(박층A) Al1-yCryN (0.3≤y≤0.5) 막과 단위층(박층B) Al1-yCryON (0.3≤y≤0.5)막과 단위층(박층C) (Al1-yCry)2O3 (0.3≤y≤0.5)막을 각각, 하기 표 1과 같은 적층주기(횟수)로 교대적층하여, 경질박막을 얻었다.
또한, 본 발명의 실시예에서는 상기 박층A, 박층B, 박층C로 이루어지는 마이크로다층(내마모층)을 형성할 때, 박층B의 O/(O+N)이 0.1~0.4 범위를 만족하도록 제어하였다. 이때 질소 및 산소 함량의 제어는 압력으로 제어되는 코팅로 내에 코팅 도중 공정가스로 주입되는 질소 및 산소의 함량을 지속적으로 제어하는 방법을 통해 이루어진다.
구체적으로, 코팅로의 내부에 코팅용 타겟을 서로 마주보도록 4면으로 배치하고 피코팅물이 코팅로 내 중앙에서 코팅용 타겟을 향하여 회전시킨 후, 코팅용 타겟에 고전류를 인가하여 코팅용 타겟을 증발시키고 증발된 타겟 물질을 코팅로 내에 주입된 질소 및 산소가스와 반응시켜 회전중인 피코팅물의 표면에 코팅층을 형성시킬 경우, 본 발명의 실시예에서는 마이크로다층의 박층B 증착 시에 주입되는 질소 함량과 산소 함량의 비율을 조절하는 방법을 통해, 박층B의 O/(O+N)이 0.1~0.4 범위를 만족하도록 제어하였다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 경질피막은, 물리적 기상 증착법(physical vapor deposition; PVD)을 이용하므로, 박막 두께는 최대 20㎛ 정도까지 적용이 가능하다.
그리고 본 발명의 실시예에 따른 박막과의 비교를 위하여, 총 12개의 경질 피막을 형성하였다.
이중 샘플번호 1~6은 TiAlN, AlCrN, AlCrON, (Al,Cr)2O3의 단일층으로 이루어진 피막을 4㎛ 두께로 형성한 것이며, 이는 다층 피막과의 물성을 비교하기 위한 것이다. 이 때, 샘플번호 3~5는 AlCrON의 단일층에서 O/(O+N)이 0.1 미만, 0.1~0.4 만족, 0.4 이상인 것으로 O/(O+N)에 따른 AlCrON 경질피막의 물성을 확인하기 위한 것이다. 또한, 시편번호 7~10은 AlCrN/(Al,Cr)2O3 또는 AlCrN/ AlCrON/(Al,Cr)2O3을 4회 교대반복 적층하여 4㎛ 두께의 경질피막을 형성한 것이며, 이는 AlCrON 중간층 유무, 단일층 피막과 단일층/다층으로 적층한 구조와의 물성을 비교하기 위한 것이다. 또한, 샘플번호 11~12는 TiAlN 단일층 상에 AlCrN/(Al,Cr)2O3 다층을 4회 교대반복 적층하여 4㎛ 두께의 경질피막을 형성한 것이며, 이는 AlCrON 중간층 유무에 따른 물성을 비교하기 위한 것이다.
구
분		 샘
플		 박막구조
단일층 마이크로다층
단일층
(타겟조성비)		 두께
(um)		 마이크로다층
(타겟조성비)		 두께
(um)		 적층
횟수		 총두께
(um)		 적층
구조
비교예 1 TiAlN(5:5) 4.1 - - - 4.1 단일
2 AlCrN(5:5) 4.2 4.2 단일
3 AlCrON(5:5)
O/(O+N)<0.1		 4.1 - - - 4.0 단일
4 AlCrON(5:5)
0.1≤O/(O+N)≤0.4		 4.1 - - - 4.0 단일
5 AlCrON(5:5)
0.4<O/(O+N)		 3.9 - 3.9 단일
6 (Al,Cr)2O3(5:5) 3.8 - 3.8 단일
7 - - AlCrN(5:5)/(Al,Cr)2O3(5:5) 4.0 4 4.0 다층
8 - - AlCrN(5:5)/AlCrON(5:5)/
(Al,Cr)2O3(5:5)/AlCrON(5:5)		 4.2 4 4.2 다층
9 - - AlCrN(7:3)/(Al,Cr)2O3(7:3) 4.0 4 4.0 다층
10 - - AlCrN(7:3)/AlCrON(7:3)/
(Al,Cr)2O3(7:3)/AlCrON(7:3)		 4.1 4 4.1 다층
11 TiAlN(5:5) 1.9 AlCrN(5:5)/(Al,Cr)2O3(5:5) 2.0 4 3.9 단일/다층
12 TiAlN(5:5) 1.9 AlCrN(7:3)/(Al,Cr)2O3(7:3) 1.8 4 3.7 단일/다층
실시예 13 TiAlN(5:5) 1.9 AlCrN(5:5)/AlCrON(5:5)/
(Al,Cr)2O3(5:5)/AlCrON(5:5)		 1.9 4 3.8 단일/다층
14 TiAlN(5:5) 1.9 AlCrN(7:3)/AlCrON(7:3)/
(Al,Cr)2O3(7:3)/AlCrON(7:3)		 2.0 4 3.9 단일/다층
하기 표 2에서는 상기 14개 샘플에 대한 각 층의 EDX 분석 결과를 나타내었다. 하기 표 2에서 확인되는 바와 같이, 마이크로다층(내마모층)에서 박층B의 경우 전술한 방법을 통해 O(O+N)이 0.1~0.4 범위를 만족하도록 제어되었다.
구
분		 샘
플		 박막구조 박막조성(EDX, at.%)
단일층
(타겟조성비)		 마이크로다층
(타겟조성비)		 Ti Al Cr N O
비교예 1 TiAlN(5:5) - 28.0 27.9 - 44.1 -
2 AlCrN(5:5) - 27.1 29.2 43.7 -
3 AlCrON(5:5)
O/(O+N)<0.1		 - - 26.5 27.8 42.2 3.5
4 AlCrON(5:5)
0.1≤O/(O+N)≤0.4		 - - 25.9 27.0 28.8 18.3
5 AlCrON(5:5)
4<O/(O+N)		 - - 25.5 26.6 23.9 25.0
6 (Al,Cr)2O3(5:5) - - 23.8 25.7 - 50.5
7 - AlCrN(5:5)/(Al,Cr)2O3(5:5) - 25.0 26.0 36.4 12.6
8 - AlCrN(5:5)/AlCrON(5:5)/
(Al,Cr)2O3(5:5)/AlCrON(5:5)		 - 24.5 25.8 35.2 14.5
9 - AlCrN(7:3)/(Al,Cr)2O3(7:3) - 36.1 16.5 35.5 11.9
10 - AlCrN(7:3)/AlCrON(7:3)/
(Al,Cr)2O3(7:3)/AlCrON(7:3)		 - 36.8 16.1 32.1 15.0
11 TiAlN(5:5) - 28.8 29.5 - 41.7 -
- AlCrN(5:5)/(Al,Cr)2O3(5:5) - 36.0 16.0 34.9 13.1
12 TiAlN(5:5) - 28.4 28.8 - 42.8 -
- AlCrN(7:3)/(Al,Cr)2O3(7:3) - 36.5 15.9 35.1 12.5
실시예 13 TiAlN(5:5) - 29.5 28.9 - 41.6 -
- AlCrN(5:5)/AlCrON(5:5)/
(Al,Cr)2O3(5:5)/AlCrON(5:5)		 - 25.0 25.7 34.5 14.8
14 TiAlN(5:5) - 28.6 28.8 - 42.6 -
- AlCrN(7:3)/AlCrON(7:3)/
(Al,Cr)2O3(7:3)/AlCrON(7:3)		 - 35.9 15.4 34.4 14.3
박막의 미소경도 및 탄성계수 평가
이상과 같이 제조한 총 14개의 경질피막의 내소성변형지수를 평가하기 위하여, 경질피막의 미소경도와 탄성계수에 대해 Fischerscope(HP1000-XYP; 독일 HELMUT FISCHER GMBH, ISO14577)를 사용하여 측정하였다.
<미소경도 테스트 조건>
Load: 30mN
Unload: 30mN
Load time: 10sec
Unload time: 10sec
Creep time: 5sec
하기 표 3은 상기한 평가의 결과를 나타낸 것이다.
구
분		 샘
플		 박막구조 미소경도
(GPa)		 탄성계수
(GPa)		 내소성
변형지수
(H3/E2)
단일층
(타겟조성비)		 마이크로다층
(타겟조성비)
비교예 1 TiAlN(5:5) - 32.4 384.0 0.23
2 AlCrN(5:5) 29.3 369.7 0.18
3 AlCrON(5:5)
O/(O+N)<0.1		 - 30.8 367.8 0.22
4 AlCrON(5:5)
0.1≤O/(O+N)≤0.4		 - 32.2 355.4 0.26
5 AlCrON(5:5)
4<O/(O+N)		 - 32.0 341.1 0.28
6 (Al,Cr)2O3(5:5) - 33.9 382.2 0.27
7 - AlCrN(5:5)/(Al,Cr)2O3(5:5) 36.4 416.3 0.28
8 - AlCrN(5:5)/AlCrON(5:5)/
(Al,Cr)2O3(5:5)/AlCrON(5:5)		 36.5 399.8 0.30
9 - AlCrN(7:3)/(Al,Cr)2O3(7:3) 37.6 430.5 0.29
10 - AlCrN(7:3)/AlCrON(7:3)/
(Al,Cr)2O3(7:3)/AlCrON(7:3)		 37.5 410.0 0.31
11 TiAlN(5:5) AlCrN(5:5)/(Al,Cr)2O3(5:5) 34.8 392.6 0.27
12 TiAlN(5:5) AlCrN(7:3)/(Al,Cr)2O3(7:3) 35.7 404.2 0.28
실시예 13 TiAlN(5:5) AlCrN(5:5)/AlCrON(5:5)/
(Al,Cr)2O3(5:5)/AlCrON(5:5)		 34.8 385.5 0.28
14 TiAlN(5:5) AlCrN(7:3)/AlCrON(7:3)/
(Al,Cr)2O3(7:3)/AlCrON(7:3)		 35.9 397.5 0.29
표 3에서 확인되는 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 경질피막은 비교예 4~12와 유사한 수준의 내소성 변형지수를 나타내었다.
내마모성 평가
상기 표 1에 따라 제조된 경질피막의 내마모성을 평가하기 위하여, 2가지 조건으로 밀링가공 절삭성능 평가결과를 나타내었으며, 그 첫번째 절삭성능 평가조건은 다음과 같다.
피삭재: 탄소강(SM45C, 탄소강 밀링가공)
샘플형번: SPKN1504EDSR(ISO)
절삭 속도: 200m/min
절삭 이송: 0.3mm/tooth
절삭 깊이: 2mm
일반적으로 탄소강의 가공 시에는 화학적인 마찰마모가 주요 마모경향으로, 박막의 내산화성 및 윤활성이 절삭성능에 미치는 영향이 큰 변수라고 할 수 있다.
하기 표 4는 상기 탄소강 밀링가공시험 결과를 나타낸 것이다.
구
분		 샘
플		 박막구조 절삭수명
(가공거리, m)		 수명종료 원인
단일층
(타겟조성비)		 마이크로다층
(타겟조성비)
비교예 1 TiAlN(5:5) - 7.3 파손
2 AlCrN(5:5) 5.0 치핑
3 AlCrON(5:5)
O/(O+N)<0.1		 - 5.1 치핑
4 AlCrON(5:5)
0.1≤O/(O+N)≤0.4		 - 5.8 치핑
5 AlCrON(5:5)
4<O/(O+N)		 - 6.0 치핑
6 (Al,Cr)2O3(5:5) - 6.7 파손
7 - AlCrN(5:5)/(Al,Cr)2O3(5:5) 10.8 치핑
8 - AlCrN(5:5)/AlCrON(5:5)/
(Al,Cr)2O3(5:5)/AlCrON(5:5)		 12.5 치핑
9 - AlCrN(7:3)/(Al,Cr)2O3(7:3) 10.5 파손
10 - AlCrN(7:3)/AlCrON(7:3)/
(Al,Cr)2O3(7:3)/AlCrON(7:3)		 11.9 치핑
11 TiAlN(5:5) AlCrN(5:5)/(Al,Cr)2O3(5:5) 15.8 정상마모
12 TiAlN(5:5) AlCrN(7:3)/(Al,Cr)2O3(7:3) 15.1 정상마모
실시예 13 TiAlN(5:5) AlCrN(5:5)/AlCrON(5:5)/
(Al,Cr)2O3(5:5)/AlCrON(5:5)		 15.3 정상마모
14 TiAlN(5:5) AlCrN(7:3)/AlCrON(7:3)/
(Al,Cr)2O3(7:3)/AlCrON(7:3)		 14.8 정상마모
상기 표 4에서 확인되는 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 경질피막은 높은 경도 및 단일층(인성층)을 겸비하고 있어, 모두 정상마모로 수명이 종료되었으나, 비교예 1~10에 다른 경질피막은 각각 치핑, 파손 등의 비정상마모로 수명이 종료되었다.
이어서, 상기 표 1의 조건으로 제조된 경질피막의 합금강에 대한 밀링가공 절삭성능을 평가하기 위하여 다음과 같은 조건으로 절삭성능을 평가하였다.
피삭재: 합금강(SCM440, 합금강 밀링가공)
샘플형번: SPKN1504EDSR(ISO)
절삭 속도: 200m/min
절삭 이송: 0.3mm/tooth
절삭 깊이: 2mm
일반적으로 합금강의 가공 시에는 기계적인 마찰마모가 주요 마모경향으로, 박막의 내마모성(경도, 내산화성)이 절삭성능에 미치는 영향이 큰 변수라고 할 수 있다.
하기 표 5는 상기 합금강 밀링가공시험 결과를 나타낸 것이다.
구
분		 샘
플		 박막구조 절삭수명
(가공거리, m)		 수명종료 원인
단일층
(타겟조성비)		 마이크로다층
(타겟조성비)
비교예 1 TiAlN(5:5) - 3.0 과대마모
2 AlCrN(5:5) 1.5 과대마모에
의한 파손
3 AlCrON(5:5)
O/(O+N)<0.1		 - 1.5 과대마모에
의한 파손
4 AlCrON(5:5)
0.1≤O/(O+N)≤0.4		 - 2.2 과대마모에
의한 파손
5 AlCrON(5:5)
4<O/(O+N)		 - 2.1 과대마모에
의한 파손
6 (Al,Cr)2O3(5:5) - 2.4 과대마모에
의한 파손
7 - AlCrN(5:5)/(Al,Cr)2O3(5:5) 7.3 치핑
8 - AlCrN(5:5)/AlCrON(5:5)/
(Al,Cr)2O3(5:5)/AlCrON(5:5)		 8.0 치핑
9 - AlCrN(7:3)/(Al,Cr)2O3(7:3) 7.5 치핑
10 - AlCrN(7:3)/AlCrON(7:3)/
(Al,Cr)2O3(7:3)/AlCrON(7:3)		 7.7 치핑
11 TiAlN(5:5) AlCrN(5:5)/(Al,Cr)2O3(5:5) 10.9 과대마모
12 TiAlN(5:5) AlCrN(7:3)/(Al,Cr)2O3(7:3) 10.5 과대마모
실시예 13 TiAlN(5:5) AlCrN(5:5)/AlCrON(5:5)/
(Al,Cr)2O3(5:5)/AlCrON(5:5)		 13.3 정상마모
14 TiAlN(5:5) AlCrN(7:3)/AlCrON(7:3)/
(Al,Cr)2O3(7:3)/AlCrON(7:3)		 13.2 정상마모
상기 표 5에서 확인되는 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 경질피막은 합금강을 대상으로 하는 절삭성능 시험에서 모두 정상마모로 수명이 종료되었으나, 비교예 1~12에 따른 경질피막은 모두 비정상적인 과정을 통해 수명이 종료되어, 본 발명에 비해 절삭수명이 현저하게 낮음을 알 수 있다.
인성 평가
상기 표 1에 따라 제조된 경질피막의 실제 절삭환경에서의 인성을 평가하기 위하여, 밀링가공 내충격 절삭성능 평가결과(단속평가)를 다음과 같은 조건으로 평가하였다. 평가는 인써트가 파손될 때까지 진행하였다.
피삭재: 합금강(SCM440, 합금강 3조 격판 밀링가공)
샘플형번: SPKN1504EDSR(ISO)
절삭 속도: 200m/min
절삭 이송: 0.2mm/tooth
절삭 깊이: 2mm
하기 표 6은 상기 합금강 3조 격판 밀링가공시험 결과를 나타낸 것이다.
구
분		 샘
플		 박막구조 절삭수명
(가공거리, m)
단일층
(타겟조성비)		 마이크로다층
(타겟조성비)
비교예 1 TiAlN(5:5) - 2.9
2 AlCrN(5:5) 1.0
3 AlCrON(5:5)
O/(O+N)<0.1		 - 1.0
4 AlCrON(5:5)
0.1≤O/(O+N)≤0.4		 - 1.2
5 AlCrON(5:5)
4<O/(O+N)		 - 1.3
6 (Al,Cr)2O3(5:5) - 1.2
7 - AlCrN(5:5)/(Al,Cr)2O3(5:5) 3.0
8 - AlCrN(5:5)/AlCrON(5:5)/
(Al,Cr)2O3(5:5)/AlCrON(5:5)		 3.5
9 - AlCrN(7:3)/(Al,Cr)2O3(7:3) 2.9
10 - AlCrN(7:3)/AlCrON(7:3)/
(Al,Cr)2O3(7:3)/AlCrON(7:3)		 3.5
11 TiAlN(5:5) AlCrN(5:5)/(Al,Cr)2O3(5:5) 5.1
12 TiAlN(5:5) AlCrN(7:3)/(Al,Cr)2O3(7:3) 5.3
실시예 13 TiAlN(5:5) AlCrN(5:5)/AlCrON(5:5)/
(Al,Cr)2O3(5:5)/AlCrON(5:5)		 8.9
14 TiAlN(5:5) AlCrN(7:3)/AlCrON(7:3)/
(Al,Cr)2O3(7:3)/AlCrON(7:3)		 8.9
상기 표 6에서 확인되는 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 경질피막은 합금강을 대상으로 하는 내충격 절삭성능 시험에서 절삭수명거리가 8m 이상을 나타냈지만, 비교예 1~12에 따른 경질피막은 절삭수명거리가 8m 이하로 열세한 수준을 나타내며, 본 발명에 비해 절삭수명이 현저하게 낮음을 알 수 있다.

Claims (5)

  1. 경질모재 상에 형성되는 경질피막으로,
    상기 경질피막은 상기 경질모재에 인접하여 형성되는 제1층과, 제1층 상에 제2층이 적층된 구조를 포함하고,
    제1층은 Ti와 Al을 포함하는 질화물 또는 탄질화물로 이루어지고,
    제2층은 박층A, 박층B, 박층C를 포함하고, 상기 박층B가 박층A와 박층C 사이에 배치되어 2회 이상 반복하여 적층되는 다층 구조로 이루어지고,
    상기 박층A는 Al과 Cr을 포함하는 포함하는 질화물로 이루어지고,
    상기 박층B는 Al과 Cr을 포함하는 산질화물로 이루어지고,
    상기 박층C는 Al과 Cr을 포함하는 산화물로 이루어지고,
    상기 박층B는 0.1≤O/(O+N)≤0.4를 만족하면서, 입방정의 결정구조를 가지고, XRD 분석 시 [200] 피크의 중심이 2-세타(theta) 43.8~45.0도에 위치하고, [200]/[111] 피크의 강도비가 3 이상인, 절삭공구용 경질피막.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 경질모재는, 초경합금, 써멧, 세라믹 및 입방정 질화붕소 중에서 선택된 1종인, 절삭공구용 경질피막.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제1층은 Al1-a-bTiaMb(C1-xNx)(M은 Si, W, Nb, Mo, Ta, Hf, Zr, Y으로 선택되는 적어도 1종, 0.3≤a≤0.7, 0≤b≤0.1, 0＜x≤1)으로 이루어지고,
    상기 박층A는 Al1-c-dCrcMdN(M은 Si, W, Nb, Mo, Ta, Hf, Zr, Y으로 선택되는 적어도 1종, 0.3≤c≤0.5, 0≤d≤0.1)로 이루어지고,
    상기 박층B는 Al1-eCre(O1-yNy)(0.3≤e≤0.5, 0.2≤y≤0.3)로 이루어지고,
    상기 박층C는 (Al1-fCrf)2O3(0.3≤f≤0.5)로 이루어지는, 절삭공구용 경질피막.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 박층A, 박층B, 박층C는 상기 제1층 상에 A-B-C-B의 형태로 적층되는, 절삭공구용 경질피막.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 제1층의 두께는 0.5 ~ 10㎛ 이고,
    상기 제2층의 두께는 0.5 ~ 10㎛ 이며,
    상기 박층A, 박층B, 박층C의 두께는 각각 0.05~1㎛인, 절삭공구용 경질피막.
KR1020170183886A 2017-12-29 2017-12-29 절삭공구용 경질피막 KR102009688B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020170183886A KR102009688B1 (ko) 2017-12-29 2017-12-29 절삭공구용 경질피막

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020170183886A KR102009688B1 (ko) 2017-12-29 2017-12-29 절삭공구용 경질피막

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20190081387A true KR20190081387A (ko) 2019-07-09
KR102009688B1 KR102009688B1 (ko) 2019-08-12

Family

ID=67261784

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020170183886A KR102009688B1 (ko) 2017-12-29 2017-12-29 절삭공구용 경질피막

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102009688B1 (ko)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2022102929A1 (ko) * 2020-11-16 2022-05-19 한국야금 주식회사 절삭공구용 경질 피막
JP2023026416A (ja) * 2021-08-11 2023-02-24 株式会社オンワード技研 酸窒化超多層被膜からなるＡｌＣｒ耐酸化耐摩耗性被膜、その被覆物及びその製法
KR20230073856A (ko) * 2021-11-19 2023-05-26 한국야금 주식회사 내마모성과 인성이 우수한 경질피막을 포함하는 절삭공구

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5238687B2 (ja) * 2006-04-21 2013-07-17 コムコン・アーゲー 被覆物
KR20130123238A (ko) 2012-05-02 2013-11-12 한국야금 주식회사 절삭공구용 경질피막
KR20140059193A (ko) 2011-09-07 2014-05-15 발터 악티엔게젤샤프트 크롬 함유 기능성층을 갖는 공구
KR20140115418A (ko) * 2013-03-19 2014-10-01 현대자동차주식회사 알루미늄 다이캐스팅 금형용 코팅재 및 이의 제조방법
JP6002784B2 (ja) * 2012-12-28 2016-10-05 兼房株式会社 刃物

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5238687B2 (ja) * 2006-04-21 2013-07-17 コムコン・アーゲー 被覆物
KR20140059193A (ko) 2011-09-07 2014-05-15 발터 악티엔게젤샤프트 크롬 함유 기능성층을 갖는 공구
KR20130123238A (ko) 2012-05-02 2013-11-12 한국야금 주식회사 절삭공구용 경질피막
JP6002784B2 (ja) * 2012-12-28 2016-10-05 兼房株式会社 刃物
KR20140115418A (ko) * 2013-03-19 2014-10-01 현대자동차주식회사 알루미늄 다이캐스팅 금형용 코팅재 및 이의 제조방법

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2022102929A1 (ko) * 2020-11-16 2022-05-19 한국야금 주식회사 절삭공구용 경질 피막
JP2023026416A (ja) * 2021-08-11 2023-02-24 株式会社オンワード技研 酸窒化超多層被膜からなるＡｌＣｒ耐酸化耐摩耗性被膜、その被覆物及びその製法
JP2023026303A (ja) * 2021-08-11 2023-02-24 株式会社オンワード技研 ＡｌＣｒ耐酸化耐摩耗性被膜及びその被覆物
WO2023199618A1 (ja) * 2021-08-11 2023-10-19 株式会社オンワード技研 ＡｌＣｒ耐酸化耐摩耗性被膜、その被覆物及び製法
KR20230073856A (ko) * 2021-11-19 2023-05-26 한국야금 주식회사 내마모성과 인성이 우수한 경질피막을 포함하는 절삭공구

Also Published As

Publication number Publication date
KR102009688B1 (ko) 2019-08-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2534275B1 (en) Cutting tool
US9422627B2 (en) Hard film for cutting tool
KR101579039B1 (ko) 절삭공구용 경질피막
US9855608B2 (en) Hard coating film for cutting tools
KR101284766B1 (ko) 절삭공구용 경질피막
CN1853832A (zh) 涂层硬质合金刀具
KR101208838B1 (ko) 고경도 및 내산화성을 갖는 다층막 절삭공구 및 이의 제조방법
KR20190081387A (ko) 절삭공구용 경질피막
KR101666284B1 (ko) 절삭공구용 경질피막
CN111511490A (zh) 包覆切削工具
WO2007111293A1 (ja) 切削工具およびその製造方法
JP2012045650A (ja) 硬質皮膜被覆切削工具
US20100189978A1 (en) Tool with multi-layered metal oxide coating
US9394601B2 (en) Hard film for cutting tool
US9273388B2 (en) Hard film for cutting tool
KR102600870B1 (ko) 내마모성과 인성이 우수한 경질피막을 포함하는 절삭공구
KR102318298B1 (ko) 절삭공구용 경질피막
KR102112084B1 (ko) 절삭공구용 경질피막
KR102200647B1 (ko) 절삭공구용 경질피막 및 이의 제조방법
KR20230102643A (ko) 경질 피막을 가지는 절삭공구
KR20100130752A (ko) 절삭공구용 ｐｖｄ 다층막
KR102497483B1 (ko) 절삭공구용 경질피막
KR102175284B1 (ko) 절삭공구용 경질피막 및 이의 제조방법
JPH09291353A (ja) 表面被覆エンドミル
WO2023199618A1 (ja) ＡｌＣｒ耐酸化耐摩耗性被膜、その被覆物及び製法

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant