KR20190075794A - 전기 부품 또는 어셈블리의 결함을 검출하기 위한 방법 및 장치 - Google Patents

전기 부품 또는 어셈블리의 결함을 검출하기 위한 방법 및 장치 Download PDF

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KR20190075794A
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도미 라쉬
마르쿠스 패트졸드
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프라운호퍼 게젤샤프트 쭈르 푀르데룽 데어 안겐반텐 포르슝 에. 베.
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Abstract

전기 부품 또는 어셈블리의 결함을 검출하기 위한 방법에서, 3개의 서로 수직인 공간 방향에서 자기장 성분들을 검출할 수 있는 다수의 자기장 센서를 구비한 스캐닝 장치가 사용된다. 측정될 전기 부품 또는 어셈블리를 통해 전류가 흐르는 경우, 상기 스캐닝 장치에 의해, 상기 3개의 서로 수직인 공간 방향에서 상기 자기장 성분들이 위치의 함수로서 측정되어 기록된다. 기록된 자기장 성분들은 전기 부품 또는 어셈블리의 결함을 검출하기 위해, 적어도 부분적으로 평가된다. 평가를 위해, 바람직하게는 신경망이 사용된다. 이 방법과 관련 장치는 특히 품질 보증 분야에서 전자 부품 또는 어셈블리의 에러를 비접촉식으로 검출할 수 있다.

Description

전기 부품 또는 어셈블리의 결함을 검출하기 위한 방법 및 장치{METHOD AND DEVICE FOR DETECTING DEFECTS IN ELECTRICAL COMPONENTS OR ASSEMBLIES}
본 발명은 자기장의 측정에 의해 전기 부품 또는 어셈블리의 결함들, 특히 전기적 결함들을 검출하고 경우에 따라 상기 결함들의 위치 파악을 위한 방법 및 장치에 관한 것이다.
전기 부품 또는 어셈블리의 결함을 적시에 검출하는 것은 모든 기술 분야에서 상기 부품 또는 어셈블리로 실현된 시스템의 신뢰할 수 있는 기능을 위한 필수 전제 조건이다. 따라서, 결함 및 오동작을 검출하는 것은 사용 전에도, 예컨대 해당 부품이나 어셈블리의 제조 시에 중요하다. 이는 모든 전기적 요소에 대해, 예컨대 전력 전자 장치, 전기 이동성 또는 칩 제조의 분야에 적용된다. 제조 중에 또는 제조 후에 전기 부품 또는 어셈블리의 품질 관리를 위한 적절한 방법 및 장치가 필요하다.
전기적 요소 내의 결함은 지금까지 다양한 방식으로 위치 파악되었고 식별되었다. 결함은 종종 부적절하게 작동하는 어셈블리에 의해서만 검출된다. 몇몇 경우에, 변화되거나 중단된 전류 흐름이 주변 영역에 비해 국부적인 가열 또는 냉각을 일으키기 때문에 서모그래픽 방법이 사용된다. 그러나 지금까지 사용된 방법들 중 많은 것이 파괴적이고, 충분히 공간 분해되지 않으며, 예컨대 서모그래피와 같이 정량적이지 않거나 또한 충분히 의미 있지 않다. 또한, 소수의 알려진 방법만이 실행중인 공정 레일에 통합될 수 있다. 전기 부품 또는 어셈블리 제조시 연속적인 품질 관리는 주요한 과제이다.
본 발명의 과제는 실행중인 공정 레일에 통합될 수 있고 전기 부품 또는 어셈블리의 제조 시에 연속적인 품질 관리를 가능하게 하는, 전기 부품 또는 어셈블리의 결함을 검출하기 위한 방법 및 장치를 제공하는 것이다.
상기 과제는 청구항 제 1 항 및 제 8 항에 따른 방법 및 장치에 의해 해결된다. 방법 및 장치의 바람직한 실시 예들은 종속 청구항들의 대상이거나, 하기 설명 및 실시예들에 제시된다.
제안된 방법에서는, 3개의 서로 수직인 공간 방향에서 자기장 성분들을 검출할 수 있는 다수의 자기장 센서를 구비한 스캐닝 장치가 사용된다. 측정될 전기 부품 또는 어셈블리를 통해 전류가 흐르는 경우, 측정될 전기 부품 또는 어셈블리의 표면과 자기장 센서 사이의 일정한 거리에서 스캐닝 장치에 의해, 3개의 서로 수직인 공간 방향에서 자기장 성분들이 적어도 표면의 2차원 부분 영역에 걸쳐 위치의 함수로서 측정되고 기록된다. 그리고 나서, 기록된 자기장 성분들은 전기 부품 또는 어셈블리의 결함을 검출하기 위해, 적어도 부분적으로 평가된다. 이 경우, 전류 흐름 방향은 추가 정보를 얻기 위해, 변경될 수 있거나 심하게 변경될 수 있다. 제안된 방법은 바람직하게는 태양 전지 및 태양 전지 모듈을 제외하고, 작동 중에 전류가 흐르는 모든 전기 부품 또는 어셈블리의 결함을 검출하기 위해 사용된다.
제안된 방법 및 관련 장치에서는, 전기적으로 활성인 모든 부재에서 상기 부재의 작동 중에 전하 캐리어가 이동된다는 사실이 이용된다. 이동된 전하 캐리어는 그 주위에 자기장을 생성한다. 물리학은 이러한 현상을 맥스웰(Maxwell) 방정식에 의해 설명한다. 이동된 전하의 크기와 부호 그리고 그 속도의 크기와 방향은 자력 및 그것에 기초가 되는 자기장의 세기와 방향을 규정한다. 직선 운동의 경우, 전하 캐리어의 이동 방향에 대해 원형 자기장이 생성된다. 자기장의 크기(H)는 전류(I)와 도체에 대한 거리(r)의 상에 비례한다:
H =
Figure pat00001
각각의 전기 부재는 각 위치에서 이동하는 전하 캐리어로 인해 공간에서 그에 대한 특정 3차원 자기장을 이동하는 전하 캐리어의 방향 및 수에 따라 생성한다. 이것은 상기 부재의 매우 특정한 6차원 자기 지문에 상응한다. 예컨대, 전력 전자 장치에서 도체 트랙을 따른 자기장의 크기가 가장 커진다. 자기장, 특히 자기장의 개별 성분 Bz, Bx 및 By를 평면 분석하면, 전하 캐리어의 방향 및 크기에 대한 결론을 이끌어낼 수 있다. 본 출원서에서, 자기장이라는 표현은 자속 밀도에 대해서도 사용된다. 전기 요소의 결함 및 오동작은 항상 변경된 전류 흐름에 기인한다. 이것은 상기 요소의 자기 지문을 변화시킨다. 따라서, 3개의 자기장 성분 Bx, By, Bz을 적어도 평면 분석하는 경우, 특정 결함이 유추될 수 있다. 제안된 방법에서, 적절한 스캐닝 장치에 의해 개별 자기장 성분 Bx, By 및 Bz가 자기장 센서를 이용해서 위치의 함수로서 검출되고 평가된다. 전류(전류 세기 및/또는 전류 방향)의 변화에 의해 추가 정보가 얻어질 수 있다.
측정할 전기 부품 또는 어셈블리에 따라, 검출된 측정 데이터의 평가가 복잡하지만 완전 자동으로 그리고 자체 학습 방식으로 수행되는 것이 바람직하다. 본 방법의 바람직한 실시 예에서, 상기 평가는 측정 데이터를 클래스들로 자동 분류하는 신경 네트워크를 통해 이루어진다. 데이터의 양이 많을수록 클래스들로의 분류의 중요성이 커지거나 분류의 오류가 줄어들게 된다. 따라서, 측정 데이터는 상기 바람직한 실시 예에서 클라우드 기반 평가 시스템에 공급되며, 이 평가 시스템에서 측정 데이터는 신경망에 의해 분류되어 평가된다. 분류는 바람직하게 에러 또는 에러 그룹에서 이루어지며, 에러들 또는 에러 그룹들 중 하나는 에러 없는 부품 또는 어셈블리를 나타낸다.
바람직하게는, 평면 스캐닝을 위해 사용되는 스캐닝 장치는 자기장 센서들의 적어도 하나의 선형 어레이, 즉 직선 또는 곡선을 따른 자기장 센서의 배치를 포함한다. 선형 어레이를 포함하는 상기 스캐닝 장치에 의해, 3개의 서로 수직인 공간 방향에서의 자기장 성분들이 측정될 전기 부품 또는 어셈블리, 또는 상기 전기 부품 또는 어셈블리가 설치된 디바이스의 표면으로부터 일정한 거리를 두고 자기장 센서들의 선형 어레이를 이동시킴으로써 위치의 함수로서 측정되고 기록된다. 스캐닝 장치의 이동에 대한 대안으로서, 고정된 스캐닝 장치에 대해 측정될 전기 부품 또는 어셈블리를 이동시킬 수 있음은 물론이다. 또한, 전류 세기, 전류 방향 및 전압은 모든 온도 범위에 걸쳐 일정하거나 주기적으로 변화될 수 있다. 또한, 평면 어레이 형태의 자기장 센서의 평면 배치도 사용될 수 있는데, 이는 하나의 평면 내에 자기장 센서들의 분포 배치를 의미한다. 평면은 구부러질 수도 있다. 이 경우, 평면 어레이의 충분한 연장으로, 어레이가 이미 측정될 부품 또는 어셈블리의 전체 표면 영역을 검출한다면, 전기 부품 또는 어셈블리와 스캐닝 장치 사이의 상대 이동이 생략될 수 있다. 상이한 위치에 또는 상이한 배향으로 다수의 선형 또는 평면 어레이를 배치하는 것도 가능하다.
제안된 장치 및 제안된 방법에서, 자기장 센서로서, 예컨대 홀 센서 또는 자기 저항 센서가 사용된다. 바람직한 실시 예에서, 자기장 센서는 3D 홀 센서이며, 자기장 센서 각각에 의해, 3개의 공간 방향 모두에서 자기장 성분이 검출될 수 있다.
일 실시 예에서, 위치의 함수로서 기록된 자기장 성분들은 전기 부품 또는 어셈블리의 구조적으로 동일한 에러 없는 표본의 위치의 함수로서 기록된 자기장 성분을 나타내는 기준 데이터와 비교될 수 있다. 이러한 방식으로, 간단한 비교에 의해, 미리 정해질 수 있는 임계 값을 초과하는 편차가 발생하는 경우 에러를 갖는 부재가 추정될 수 있다.
본 방법을 실시하기 위해 제안된 장치는 3개의 서로 수직인 공간 방향에서의 자기장 성분을 검출할 수 있는, 자기장 센서들의 선형 또는 평면 어레이를 포함한다. 자기장 센서들은 캐리어, 특히 캐리어 플레이트의 일 측면 상에 배치된다. 캐리어의 마주 놓인 측면 상에는 측정 유닛이 배치되며, 이 측정 유닛에 의해 자기장 센서를 사용함으로써 3개의 서로 수직인 공간 방향에서의 자기장 성분들이 위치의 함수로서 측정되고 기록될 수 있다. 적어도 하나의 금속 중간층이 캐리어에 통합됨으로써, 측정 유닛의 전자기 방사선에 대한 자기장 센서의 차폐가 이루어진다.
제안된 장치의 바람직한 개선 예에서, 자기장 센서 어레이를 포함하는 스캐닝 장치는 스캐닝 장치들 중 다수가 바람직하게는 커넥터를 통해 서로 기계적으로 그리고 전기적으로 연결될 수 있도록 설계된다. 자기장 센서들의 선형 또는 평면 어레이의 폭 또는 길이는 필요에 따라 조정될 수 있다.
제안된 장치의 다른 실시 예에서, 자기장 센서들의 선형 어레이를 사용하는 경우, 상기 장치는 선형 어레이의 이동 중에 측정될 전기 부품 또는 어셈블리의 표면에 대한 어레이의 상대 위치를 결정할 수 있는 위치 검출 장치를 포함한다. 이 실시 예에서, 선형 어레이는 바람직하게는, 자기장 센서들의 선형 어레이의 이동 중에, 자기장 센서와 측정될 전기 부품 또는 어셈블리의 표면 사이의 일정한 거리를 유지시킬 수 있는 하는 하나 이상의 스페이서를 포함한다. 또한, 이러한 실시 예에서, 상기 장치는 측정될 부품 또는 어셈블리의 표면으로부터 일정 거리로 상기 장치를 수동으로 이동시킬 수 있는 핸들을 포함할 수 있다. 이러한 실시 예에서, 상기 장치는 바람직하게는 형상이 윈도우 와이퍼 또는 T 형과 유사하게 되어, 핸들에서 표면 위로 당겨질 수 있는 동시에, 자기장 성분들이 위치에 따라 측정 및 기록된다.
자기장 센서들이 판독되는 클록 주파수, 및 표면에 대한 스캐닝 장치의 이동 속도(자기장 센서들의 선형 어레이가 사용되는 경우)에 따라, 부품 또는 어셈블리의 표면은 조밀한 도트 매트릭스에서 스캐닝된다. 이 경우, 각각의 측정 포인트에 대해, 3개의 자기장 성분(Bx, By, Bz) 및 2개의 위치 성분(x, y) (2차원 스캐닝 영역 또는 스캐닝 평면 내의 위치에 상응)이 얻어진다. 따라서, 상기 측정시 5차원 결과가 얻어져, 상기 부품 또는 어셈블리의 결함 위치를 파악하기 위해 평가될 수 있다. 평면 어레이를 사용하는 경우, 평면 어레이가 측정될 모든 영역을 공간 분해 방식으로 동시에 검출하기에 충분한 크기로 설계되면, 부품 또는 어셈블리에 대한 상대 이동이 생략될 수 있다.
제안된 방법 및 관련 장치에 의해, 전기 부품 또는 어셈블리의 비파괴 및 비접촉식 결함 검출이 가능해진다. 상기 방법 및 상기 장치는 상이한 디바이스 또는 전기 부품 또는 어셈블리의 작동 점에서도 에러 또는 결함의 검출, 특성화 및 위치 파악에 특히 적합하다. 특히, 상기 방법 및 상기 장치는 전기 부품 또는 어셈블리 또는 이를 구비한 디바이스의 제조 중에 연속적인 품질 제어를 가능하게 하기 위해 실행중인 프로세스 체인 내에 어려움 없이 통합될 수 있다. 또한, 개별 에러의 발생의 관찰, 어셈블리의 시간에 따른 제어, 어셈블리의 현재 상태의 검사 및 신경망을 사용한 에러 예측이 가능해진다. 다른 공지된 기술에 비해, 제안된 방법 및 제안된 장치에서 사용되는 스캐닝 장치는 비교적 저렴한 어셈블리이다.
상기 방법 및 상기 장치는 전기 부품 또는 어셈블리, 또는 이러한 부품 또는 어셈블리를 구비한 디바이스의 제조 시에 품질 관리 및 품질 보증에 사용될 수 있다. 또한, 어셈블리 및 디바이스의 개발, 연구 및 연속 제어 시에, 결함 위치 파악 및 결함 분류가 가능해진다. 제안된 방법 및 관련 장치는 예컨대 전력 전자 장치, 자동차 산업, 배터리 어큐뮬레이터 또는 스크린 제조에서 전류가 흐르는 모든 어셈블리 및 디바이스에 적용될 수 있다.
제안된 방법 및 관련 장치는 도면과 관련된 실시 예들을 참조하여 이하에서 더 상세히 설명될 것이다.
도 1은 제안된 장치의 예시적인 실시 예의 일부를 나타낸 단면도.
도 2는 도 1에 따른 장치의 센서 측의 평면도.
도 3은 선형 어레이들 또는 스캐닝 장치들 중 둘 사이의 커넥터의 개략도.
도 4는 수동 측정을 위해 제안된 장치의 예시적인 실시 예의 개략도.
도 5는 요소들의 제조 시에 인라인 측정을 위해 제안된 장치의 예시적인 실시 예의 개략도.
도 6은 측정 박스의 형태로 제안된 장치의 다른 예시적인 실시 예를 나타낸 개략도.
도 7은 부품 표면의 2차원 영역에 걸친 자기장 성분(By)의 측정 결과의 예를 나타낸 도면.
제안된 장치의 예시적인 구현이 이하에서 설명되며, 여기서 스캐닝 장치는 3개의 공간 방향에서 자기장 성분들(Bx, By 및 Bz)을 검출할 수 있는 자기장 센서들로 이루어진 선형 어레이를 포함한다. 이 경우, 자기장 센서들(1)은 스트립형 캐리어(2)의 하나의 측면(이하, 전방 면이라 함) 상에 하나의 라인을 따라 배치되는 한편, 측정 데이터를 측정, 기록 및 전송하기 위한 부품들(3)을 구비한 측정 유닛은 캐리어(2)의 마주 놓인 측면(이하, 후방 면이라 함) 상에 배치된다. 이는 스캐닝 장치의 확대된 부분의 단면도로 도 1에 도시되어 있다. 이 경우, 전방 면에는 예컨대 적절한 자기장 센서들(1), 예컨대 상업적으로 입수 가능한 지자기 센서들이 가능한 가까이 장착된다. 캐리어(2)의 전방 면 및 후방 면은 금속 중간층(4)(여기서는 이중 층)에 의해 서로 분리되고, 상기 중간 층(4)에 의해 자기장 센서들(1)이 측정 유닛의 전자기장으로부터 차폐된다. 자기장 센서들(1)은 측정 중에 측정될 전기 부품 또는 어셈블리의 표면 또는 측정 영역에 가능한 근접해야 한다.
이 실시 예에서 자기장 센서들(1)은 기계적 안정성 및 내수성을 보장하기 위해 3D 패키징 방법으로 제조된다. 자기장 센서들(1)의 측정 데이터는 병렬로 기록되고 미처리된 상태로 마이크로컴퓨터로 전송된다. 제안된 장치로, 3개의 자기장 성분(Bx, By, Bz) 모두의 자기장의 공간의 단면이 기록될 수 있다. 동시에, 자기장의 위치 및 모든 공간 성분이 검출되고, 거기에 시간 스탬프 또는 위치 스탬프가 제공되어, 마이크로컴퓨터로 전달된다. 그 다음에, 5차원 결과가 원하는 대로 평가될 수 있다. 기본적으로 이러한 방식으로 각각의 전기 요소의 복합적 자기장의 섹션이 기록될 수 있다. 이 경우, 흐르는 전류들의 방향과 세기는 정성적 및 정량적으로 분석될 수 있다.
도 2는 자기장 센서들(1)의 선형 어레이를 갖는 장치의 전방 면 전체의 평면도를 도시한다. 이 실시 예에서, 캐리어(2)는 약 15 mm의 폭과 약 100 mm의 길이를 갖는다. 본 실시 예에서, 스캐닝 장치는 커넥터에 의해 다른 스캐닝 장치로 확장될 수 있도록 설계된다. 도 3은 플러그-인 요소들(5)을 구비한 상기 커넥터를 예시적으로 도시한다. 이러한 방식으로, 제안된 장치는 크기 면에서 거의 임의로 조정될 수 있다.
전술한 바와 같이, 기능하는 전기 부재는 자기장의 상이한 공간 성분의 전형적인 자기장 분포를 갖는다. 각각의 결함은 전류 흐름의 변화로 이어지며, 이는 자기장의 변화로 이어진다. 상기 자기장의 5D 분석은 품질 관리 및 결함의 위치 파악 및 분류를 위해 사용될 수 있다. 또한, 부재의 상태 또는 품질에 대한 정량적인 정보가 얻어질 수 있다.
도 4 및 도 5는 수동 측정(도 4) 및 인라인 측정(도 5)을 위해 제안된 장치의 2가지 가능한 실시 예를 도시한다. 2개의 도시된 장치는 각각 한 번의 측정으로 전체 면을 측정할 수 있도록 하나 이상의 자기장 라인 센서를 갖는다. 이동된 거리는 도 4의 실시 예에서는 기계적 또는 광학적 변위 센서에 의해, 도 5의 실시 예에서는 컨베이어 벨트(7)의 이동에 의해 검출된다. 도 4에 따른 장치(6)의 수동 실시 예의 경우, 상기 장치는 핸들(8)을 사용하여 수동으로, 측정될 부품 또는 어셈블리 위로 이동된다. 이를 위해, 상기 장치(6)는 표면에 대한 자기장 센서의 선형 어레이 또는 스캐닝 장치의 일정한 거리의 유지를 동시에 보장하는, 상응하는 휠들(9)을 포함한다. 도 5의 인라인 측정의 경우, 상기 장치(6)는 컨베이어 벨트(7) 위에 배치된 브릿지형 장치에 고정되며, 상기 컨베이어 벨트(7) 상에서 측정될 부품 또는 어셈블리가 이동된다. 두 경우, 측정 데이터는 컴퓨터에 저장되고 후속해서 많은 양의 데이터를 평가하기 위해 클라우드로 전송된다. 이 경우, 컴퓨터는 장치와는 별도로 제공될 수 있으며, 이 경우 데이터 전송은 예컨대 무선으로 이루어질 수 있다. 컴퓨터는 소형 컴퓨터로 설계되어 장치 자체에 설치될 수도 있다. 클라우드 내부에는 자체 학습형 신경망이 작용하고, 이 신경망은 측정 데이터를 평가하고 사용자에게 결과 또는 심지어 권장 조치를 제공한다. 카메라에 의해, 예컨대 측정된 부품 또는 어셈블리의 레이블이 식별되어 기록되거나, 또는 측정된 위치도 저장될 수 있다. 또한, 장치는 위치 파악 및/또는 외부 통신을 위한 GPS 센서 및 Wifi 연결부와 같은 통상의 전자 장치를 구비할 수도 있다.
도 6은 제안된 장치의 가능한 실시 예의 다른 예를 도시한다. 이 경우, 장치는 도 6의 실시 예에 나타나는 바와 같이, 자기장 센서의 평면 어레이(11)가 각각 적어도 2개의 측면 또는 벽면 내에 통합된 측정 박스(10)로서 구현된다. 상기 측정 박스는 예컨대, 스마트 폰이 삽입될 수 있는 크기의 박스일 수 있다. 개별 부품의 자기장 분포는 시간에 따라 결정될 수 있다. 결함이 있는 DC 잭과 같은 종종 발생하는 에러는 신속하고 효율적으로 검출되어 제거될 수 있다. 불량품이 감소한다. 복잡한 에러 검색이 더 이상 필요 없다. 적합한 알고리즘은 에러를 분류하고 개별 대상/디바이스를 이러한 클래스에 할당하는 것을 학습한다.
상부 면 및 하부 면을 포함하는 모든 면 내에도, 측정 박스(9)에 상응하는 평면 어레이(10)가 통합될 수 있다. 이 경우, 커버 또는 상부 면과 측면 및 바닥면은 자기장의 공간 분해 방식 측정을 위해 사용될 수 있다. 이러한 방식으로, 측정 박스 내로 삽입된 각각의 개별 디바이스에 대한 자기장의 공간 분포가 검출될 수 있다. 측정 데이터는 각각 예컨대 레퍼런스, 결함 A, 결함 B 등의 클래스로 나뉜다.
도 7은 전류가 흐르는 3개의 병렬 전도체를 포함하는 부재의 표면의 2차원 부분 영역(△x, △y)에 대한 위치의 함수로서 자기장 성분(By)의 측정 결과의 예를 도시한다. 자기장 성분의 이러한 면적 측정으로부터, 3개의 전도체의 프로파일과 정확한 기능이 매우 양호하게 검출될 수 있다.
제안된 방법과 관련 장치에 의해, 안전 관련 부품의 시간에 따른 연속적인 제어가 수행될 수 있다. 상기 장치는 디바이스의 상태를 연속적으로 검출하고, 사용자가 볼 수 있는 플랫폼으로 데이터를 전송한다. 그 다음에, 루틴이 자동으로 임계 상태를 보고한다. 이는 예컨대 센서, 미니 컴퓨터, 및 Wifi, 블루투스 또는 GSM과 같은 통신 전자 장치를 구비한 상응하는 장치를 통해 수행될 수 있다.
상기 방법 및 장치는 공간 분해 방식 검출로 인해, 결함의 2차원뿐만 아니라 3차원 위치의 결정을 가능하게 한다. 이를 위해, 예컨대 결함의 깊이 및 위치 측정을 가능하게 하기 위해, 다수의 공간적으로 분리된 자기장 센서에 의해 측정된 자기장을 기반으로 하는 삼각 측량이 수행될 수 있다.
상기 방법과 장치에 의해, 전류가 흐르는 도체 트랙 외에, 예컨대, 전력 전자 장치에서 납땜 커넥터가 측정된 자기장을 통해 분석될 수 있다.
1 자기장 센서
2 캐리어
3 측정 유닛의 부품
4 금속 중간층
5 플러그-인 요소
6 장치
7 컨베이어 벨트
8 핸들
9 휠
10 측정 박스
11 자기장 센서들의 평면 어레이

Claims (16)

  1. 전기 부품 또는 어셈블리의 결함을 검출하기 위한 방법으로서,
    - 3개의 서로 수직인 공간 방향에서 자기장 성분들을 검출할 수 있는 다수의 자기장 센서(1)를 구비한 스캐닝 장치가 사용되고,
    - 측정될 전기 부품 또는 어셈블리를 통해 전류가 흐르는 경우, 상기 측정될 전기 부품 또는 어셈블리의 표면과 상기 자기장 센서들(1) 사이의 일정한 거리에서 상기 스캐닝 장치에 의해, 상기 3개의 서로 수직인 공간 방향에서 상기 자기장 성분들이 위치의 함수로서 측정되어 기록되고, 그리고
    - 기록된 자기장 성분들은 상기 전기 부품 또는 어셈블리의 결함을 검출하기 위해, 적어도 부분적으로 평가되는 것을 특징으로 하는 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 스캐닝 장치는 자기장 센서들(1)의 적어도 하나의 선형 어레이를 포함하며, 상기 3개의 서로 수직인 공간 방향에서 상기 자기장 성분들은 상기 측정될 전기 부품 또는 어셈블리의 표면에 대한 일정한 거리에서 자기장 센서들(1)의 상기 선형 어레이의 이동에 의해 위치의 함수로서 측정되어 기록되는 것을 특징으로 하는 방법.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    위치의 함수로서 기록된 상기 자기장 성분들은 상기 전기 부품 또는 어셈블리의 에러 없는 표본의 위치의 함수로서 기록된 자기장 성분들을 나타내는 기준 데이터와 비교되는 것을 특징으로 하는 방법.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    위치의 함수로서 기록된 상기 자기장 성분들은 측정 데이터로서 클라우드 기반 평가 시스템에 공급되고, 상기 평가 시스템에서 상기 측정 데이터는 신경망에 의해 분류되어 평가되는 것을 특징으로 하는 방법.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 신경망은 상기 측정 데이터를 그 분류에 기초하여 에러들 또는 에러 그룹들에 할당하는 것을 특징으로 하는 방법.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    결함의 검출시, 기록된 자기장 성분들로부터 상기 결함의 위치 파악은 삼각 측량에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 방법.
  7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상이한 전류 방향 및/또는 전류 세기에서 상기 자기장 성분들의 측정에 의해 상기 전기 부품 또는 어셈블리의 결함에 관한 추가 정보를 얻기 위해, 상기 측정될 전기 부품 또는 어셈블리를 통해 흐르는 전류가 전류 방향 및/또는 전류 세기에 있어 변화되는 것을 특징으로 하는 방법.
  8. 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 따른 방법을 실시하기 위한 장치로서, 상기 장치는 캐리어(2)의 제 1 측면 상에 배치되어 3개의 서로 수직인 공간 방향에서 자기장 성분들을 검출할 수 있는 자기장 센서들(1)의 적어도 하나의 선형 또는 평면 어레이, 및 상기 캐리어(2)의 상기 제 1 측면에 마주 놓인 제 2 측면 상에 배치되어 상기 자기장 센서들(1)로 상기 3개의 서로 수직인 공간 방향에서 상기 자기장 성분들을 위치의 함수로서 측정하여 기록할 수 있는 측정 유닛(3)을 포함하고,
    적어도 하나의 금속 중간층(4)이 상기 제 1 측면 및 상기 제 2 측면 사이에서 상기 캐리어(2) 내로 통합되고, 상기 중간층(4)에 의해 상기 측정 유닛(3)의 전자기 방사선에 대한 상기 자기장 센서들(1)의 차폐가 달성되는 것을 특징으로 하는 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 장치는 측정될 전기 부품 또는 어셈블리에 대한 자기장 센서들(1)의 선형 어레이의 상대 이동 중에, 상기 전기 부품 또는 어셈블리의 표면에 대한 자기장 센서들(1)의 선형 어레이의 상대 위치를 결정할 수 있는, 위치 검출 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 장치는 자기장 센서들(1)의 선형 어레이의 이동 중에, 상기 자기장 센서들(1)과 상기 측정될 전기 부품 또는 어셈블리의 표면 사이의 일정한 거리를 유지할 수 있게 하는 하나 이상의 스페이서(9)를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  11. 제 9 항 또는 제 10 항에 있어서, 상기 장치는 상기 측정될 전기 부품 또는 어셈블리에 대해 상기 장치를 수동으로 이동시킬 수 있는 핸들(8)을 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  12. 제 8 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 캐리어(2)는 연결 요소들을 포함하고, 상기 연결 요소들을 통해 상기 캐리어들(2) 중 다수가 자기장 센서들(1)의 선형 또는 평면 어레이 및 상기 측정 유닛(3)에 전기적 및 기계적으로 서로 연결될 수 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  13. 제 12 항에 있어서, 상기 연결 요소들은 커넥터(5)인 것을 특징으로 하는 장치.
  14. 제 8 항에 있어서, 상기 장치는 자기장 센서들(1)의 다수의 평면 어레이(11)를 포함하며, 상기 측정될 전기 부품 또는 어셈블리 또는 상기 부품 및 어셈블리를 구비한 디바이스가 측정을 위해 삽입될 수 있는 측정 박스(10)로서 설계되고, 자기장 센서들(1)의 상기 평면 어레이들(11)은 상기 측정 박스(10)의 하나 이상의 면 내로 통합되는 것을 특징으로 하는 장치.
  15. 제 8 항 내지 제 14 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 장치는 상기 자기장 센서들(1)에 의해 위치의 함수로서 측정된 자기장 성분을 측정 데이터로서 외부 데이터 처리 장치 또는 클라우드 기반 평가 시스템으로 무선 전송하기 위한 전송 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  16. 제 8 항 내지 제 15 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 장치는 상기 측정 유닛(3)에 연결되어 측정될 전기 부품 또는 어셈블리에 부착된 마크를 검출 또는 판독할 수 있는 검출 모듈을 포함하며, 상기 측정 유닛(3)은 상기 검출 모듈을 통해 상기 측정될 또는 방금 측정된 전기 부품 또는 어셈블리의 상기 마크를 검출하고 기록할 수 있는 것을 특징으로 하는 장치.
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