KR20190074660A - 연마 용액, 이를 이용한 철-니켈 합금박의 연마방법 및 철-니켈 합금박 - Google Patents

연마 용액, 이를 이용한 철-니켈 합금박의 연마방법 및 철-니켈 합금박 Download PDF

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Abstract

본 발명은 철-니켈 합금박의 연마에 사용되는 연마 용액, 철-니켈 합금박을 연마하는 방법 및 표면조도 및 외관 품질이 우수한 철-니켈 함금박을 제공하는 것이다. 과산화수소 농도 0.5~5.0wt.%, 황산 농도 0.1~1.0wt.% 및 플루오르화수소(HF) 화합물 농도 0.01 ~ 0.5wt.%이고, 중량기준으로 H2O2:H+의 상대 농도비는 1:0.15 ~ 1:0.30의 범위의 수용액인 연마 용액, 이를 사용하여, 철-니켈 합금박을 연마용액 pH 1.0 내지 2.5, 그리고 연마용액 온도는 20℃ 내지 50℃로 연마하는 방법, 및 표면조도 Ra는 0.15㎛이하이고, 표면조도 Rz는 1.5㎛ 이하인 철-니켈 합금박이 제공된다. 본 발명의 연마 용액은 용액안정성이 우수할 뿐만 아니라, 이로 연마된 철-니켈 합금박은 낮은 표면조도 및 우수한 표면광택을 갖는다.

Description

연마 용액, 이를 이용한 철-니켈 합금박의 연마방법 및 철-니켈 합금박{POLISHING COMPOSITION, POLISHING METHOD OF FE-NI ALLOY FOIL USING THE SAME, AND FE-NI ALLOY FOIL}
본 발명은 연마 용액, 이를 이용한 철-니켈 합금박의 연마방법 및 이에 따라 얻어지는 철-니켈 합금박에 관한 것이다. 보다 상세하게, 본 발명은 철-니켈 합금박의 표면조도 및 외관을 개선하도록 사용되는 연마액, 이를 이용한 철-니켈 합금박의 연마방법 및 이에 따라 얻어지는 표면조도 및 외관이 우수한 철-니켈 합금박에 관한 것이다.
일반적으로 철-니켈계 합금박은 조성에 따라 다양한 성질을 갖고 있기 때문에 그 용도가 다양하다. 니켈 함유량이 무게비로 36 중량% 내지 80중량% 일 때의, 합금박의 특성이 각기 다르기 때문에 그에 따른 용도 적합성도 각기 다르다. 이러한, 철-니켈 합금박은 용도는 OLED (organic light emitting diode, 유기발광 다이오드)용 금속 마스크, 자기기록용 박막 헤드, 리드 프레임, 새도우 마스크 등을 들 수 있다.
이와 같이 다양한 분야에 적용되는 철-니켈 합금을 제조하는 방법은 여러 가지가 있으나 현재 주로 사용되는 방법은 압연법이다. 압연법을 사용하는 경우, 철-니켈 합금의 용해, 단조, 열간 압연, 열처리, 냉간 압연, 열처리 등의 복잡한 공정을 거쳐야 하며 압연 공정은 대규모 설비를 필요로 하고 에너지 소비가 매우 큰 공정이다. 특히 수~수십 마이크로미터의 얇은 박막재를 생산할 경우 압연과 열처리를 반복하는 공정을 거쳐야 한다. 그리고 두께가 얇아질수록 공정이 복잡해짐은 물론, 크라운 등의 형상 결함이 많이 발생해 실수율도 점점 떨어지고, 일정 이하의 두께는 설비 및 생산에 제약을 받고 있는 실정이다.
종래 제조방법의 한계를 극복하기 위하여 최근, 전기주조(electroforming)(전주법, 또는 전기 도금법)에 의한 철-니켈 합금 박막의 제조에 관한 연구가 많이 이루어지고 있다. 전기주조법은 드럼 또는 벨트 형식의 음극에 철-니켈 합금을 도금하고 박리시켜서 포일(금속박)을 얻는 방식으로 전기주조 장치, 전기도금액, 공정 조건 그리고 포일의 특성에 관한 연구가 계속 이루어지고 있다. 기본적으로 철-니켈 합금의 유용한 금속박을 얻기 위해서는 철-니켈 합금 도금액의 금속 이온과 각종 첨가제가 중요하다. (미국 특허 4440609, 4101387, 4052254, 4002543등).
그러나 철-니켈 합금 금속 중 50중량% 이상의 철이 함유된 합금을 전기도금으로 얻기 위해서는 철과 니켈의 높은 내부응력 및 석출시 입자 크기 구조에 따라 양호한 표면을 얻기 위하여 각종 첨가제 및 이들의 농도가 엄밀하게 관리되어야 한다.
그러나 상기와 같은 철-니켈 합금 전기도금의 제조 특성상 초기 전기도금층과 금속 박의 두께를 증가시키는 말기 전기도금층의 표면을 동일하게 유지하기 어렵다. 또한, 전기도금용액의 관리 불균일 또는 전해설비 구조나 전해액 유동 등이 불안정한 경우에, 얻어진 금속박의 결정립 형상이 불균일해지면서 표면조도가 높고 외관이 불균일한 제품이 생산된다.
따라서, 인장강도, 연성, 경도가 우수하여 그 용도가 다양한 철-니켈 합금박에서 표면조도 및 외관 품질을 개선하는 방법 및 개선된 표면외관 및 외관 품질을 갖는 철-니켈 합금박이 요구된다.
미국 특허 4440609 미국 특허 4101387 미국 특허 4052254 미국 특허 4002543
본 발명은 철-니켈 합금박의 연마에 사용되는 연마 용액을 제공하는 것이다. 또한, 본 발명은 본원의 연마 용액을 사용하여 철-니켈 합금박을 연마하는 방법을 제공하는 것이다. 나아가, 본 발명은 표면조도 및 외관 품질이 우수한 철-니켈 함금박을 제공하는 것이다.
본 발명의 일 견지에 의하면, 과산화수소 농도 0.5~5.0wt%, 황산 농도 0.1~1.0wt.% 및 플루오르화수소(HF) 화합물 농도 0.01~0.5wt.%이고, H2O2:H+의 상대 농도비는 중량기준으로, 1:0.15~1:0.30의 범위의 수용액인, 연마 용액이 제공된다.
상기 연마 용액은 소디움퍼술페이트를 0.1 내지 1.0중량%로 추가로 포함할 수 있다.
상기 연마 용액은 pH가 1.0 내지 2.5일 수 있다.
상기 연마 용액은 철-니켈 합금박의 연마에 사용된다.
상기 철-니켈 합금박은 전주법(electroforming)으로 제조된 것일 수 있다.
본 발명의 다른 견지에 있어서, 본원의 연마용액으로 철-니켈 함금박을 연마하는 단계를 포함하며, 상기 연마용액은 온도가 20℃ 내지 50℃인, 연마 방법이 제공된다.
상기 연마 방법은 침지법 혹은 분사법으로 행하여질 수 있다.
상기 연마 용액은 0.5~3.0kg/㎠의 유압으로 제공될 수 있다.
본 발명의 또 다른 견지에 있어서, 본 발명의 연마 용액 및 연마 방법으로 연마된 표면조도 Ra는 0.15㎛ 이하이고, 표면조도 Rz는 1.5㎛ 이하인 철-니켈 합금박이 제공된다.
본 발명의 연마 용액 및 연마방법을 사용함으로써, 철-니켈 합금박을 화학연마하여, 표면 조도 및 외관 품질이 우수한 철-니켈 합금박을 용이하게 제조할 수 있다. 뿐만아니라, 본 발명의 연마 용액 및 연마방법을 사용함으로써, 낮은 표면 조도 및 고광택의 품질 외관이 우수한 철-니켈 합금박을 저비용으로 제조할 수 있으므로 상업적 가치가 우수하다. 또한, 본 발명의 연마 용액은 색변화 없이 맑은 상태를 유지하는 것으로 용액 안정성이 우수하다.
본원의 연마 용액 및 연마 방법은 어떠한 방식으로 제조된 철-니켈 합금박에 적용될 수 있으나, 특히, 기존 철-니켈 합금 박을 생산하기 위하여 용해, 주조, 압연, 열처리 등 복잡한 공정을 거치지 않고, 전주도금법을 이용하여 단일 공정으로 철-니켈 합금박을 연속적으로 제조하고, 전주법으로 제조된 철-니켈 합금박을 화학연마를 통해 표면조도 및 외관 품질이 우수한 철-니켈 합금박을 용이하게 제조할 수 있다.
본 발명자들은 철-니켈 합금 박의 표면조도를 낮추고 표면 광택을 높일 수 있는 방안에 대해 깊이 연구하였다. 그 결과, 본원의 연마 용액, 이를 이용한 철-니켈 합금 박의 연마방법 및 표면조도가 낮고 표면 광택이 우수한 철-니켈 합금 박을 제공할 수 있음을 확인하고, 본 발명을 완성하기에 이르렀다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시 형태를 설명한다. 그러나, 본 발명의 실시 형태는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 이하 설명하는 실시 형태로 한정되는 것은 아니다.
본원에 의한 철-니켈 합금박 (이하, 단지 '합금박'이라 하기도 함)의 연마에 사용되는 연마 용액은 과산화수소 0.5~5.0wt.%, 황산 0.1~1.0wt.% 및 플루오르화수소(HF) 0.01 ~ 0.5wt.%를 포함하며, H2O2:H+의 중량기준으로 상대 농도비는 1:0.15 ~ 1:0.30의 범위의 수용액이다. H+이온은 황산 및 플루오르화수소에 기인한다.
상기 수용액인 연마 용액에서, 잔부는 물이며, 사용될 수 있는 물을 특히 제한되는 것이 아니며, 예를 들어 순수, 초순수, 정제수, 증류수 등을 사용할 수 있다.
연마 용액에서 과산화수소 농도 0.5wt.% 미만이면 철-니켈 합금 표면의 화학적 연마가 불균일하며, 과산화수소 농도 5.0wt.%를 초과하면 과산화수소의 급격한 산화작용에 의해 표면연마가 불균일해진다.
황산 농도가 0.1wt.% 미만이면 철-니켈층의 화학연마 반응이 매우 느리고 표면에 백화 줄무늬가 나타나며, 1.0wt.%를 초과하면 철-니켈의 표면 용해가 급격하게 나타난다.
플루오르화수소는 조도 개선 첨가제로서 사용되며, 농도가 0.01wt.% 미만이면 철-니켈 합금박 연마 표면의 미세 거칠기가 커지면서 외관상 흰색 줄무늬 표면이 나타나며, 0.5wt.%를 초과하면 화학적 연마 속도가 너무 급격해질 뿐만 아니라 과반응에 의한 결함(피트(pit))이 발생한다.
또한, 연마 용액의 H2O2:H+ 상대 이온농도비가 중량기준으로 1:0.15 ~ 1:0.30으로 유지되어야 한다. H2O2:H+ 상대 이온농도비를 상기 범위로 유지시키는 경우, 철-니켈 합금박의 연마두께의 균일성 뿐만 아니라 폭방향 균일성 제어가 가능하지만, 중량기준으로 H2O2:H+ 이온 농도비가 1:0.15 ~ 1:0.30을 벗어나는 경우 합금박의 폭 방향 및 두께 방향 연마 균일성이 불안정하여 표면 조도 및 외관이 불량해 진다.
상기 본원의 연마 용액은 연마 용액의 안정화를 위해 안정화제로서 소디움퍼술페이트 (Sodium Persulfate, SPS, Na2S2O8)를 0.1~1.0wt.% 포함할 수 있다. 소디움퍼술페이트의 함량이 0.1 wt% 미만이면 용액의 안정성이 떨어져 H2O2의 소모가 급격하여 바람직하지 않고, 1.0wt%를 초과하면 용액의 안정성이 포화상태로 경제성 측면에서 유리하지 않다.
본원의 연마 용액은 소디움퍼술페이트의 함량 조절에 의해, 소디움퍼술페이트가 철-니켈 합금박의 연마에 의해 연마용액 중에 축적되는 철이온의 킬레이트 효과로 작용하여 연마용액 중의 철이온의 산화를 효과적으로 억제함으로써 우수한 용액 안정성을 나타낸다.
본원의 연마 용액을 구성하는 성분 중 액상 성분, 예를 들어, 과산화수소 및 황산은, 연마 용액 중의 함량(농도)가 상기 범위가 되도록 조성되면 되고, 액상 성분의 농도는 특히 한정되지 않는다.
상기 본원의 연마 용액의 pH는 1.0 내지 2.5인 것이 바람직하다. pH가 1.0 미만이면, 철-니켈 합금박의 표면에서 반응이 급격하며 수소 발생이 크고, pH가 2.5를 초과하면 연마용액의 혼탁도가 심하고, 연마후 표면에 이물질이 묻어 나올 수 있다.
상기와 같은 본원의 연마 용액으로 철-니켈 합금박의 화학연마(Chemical Polishing, CP)를 행하여 철-니켈 합금박의 표면조도를 낮추고 표면 광택을 개선할 수 있다.
본원의 연마 용액은 어떠한 철-니켈 합금박의 연마에 적용될 수 있다. 예를 들어, 압연법, 전주법 등 어떠한 방법으로 제조된 철-니켈 합금박의 연마에 적용될 수 있다. 그러나, 특히, 전주법으로 제조되는 철-니켈 합금박의 연마에 바람직하다.
상기 본원의 연마 용액을 이용한 철-니켈 합금박의 화학연마는 이 기술분야에서 일반적으로 사용되는 어떠한 방법으로 행할 수 있으며, 특히 한정되는 것은 아니지만, 예를 들어, 연마용액에 철-니켈 합금박을 침지하거나, 철-니켈 합금박에 연마 용액을 분사(spray)하는 방법으로 행할 수 있다.
상기 연마 용액을 이용한 철-니켈 합금박의 화학연마시, 연마 용액의 pH 1.0~2.5로 행한다. 화학 연마시, 연마 용액의 pH가 1.0 미만이면, 철-니켈 합금박의 표면에서 반응이 급격하며 수소 발생이 크고, pH가 2.5를 초과하면 연마용액의 혼탁도가 심하고, 연마후 표면에 이물질이 묻어 나올 수 있다.
연마시, 연마액 온도는 20~50℃인 것이 바람직하다. 연마 용액의 온도가 20℃ 미만이면 연마속도의 제어가 어려울 뿐만 아니라, 표면외관을 균일하게 유지시키는 것이 곤란하고, 하절기 용액 온도 제어에 별도의 에너지를 필요로 하므로 바람직하지 않다. 50℃를 초과하면 연마반응이 급속히 진행되고 흰색 얼룩 발생이 심할 뿐만 아니라 설비의 온도 안정성을 해친다.
또한, 연마는 0.5~3.0kg/㎠ 의 유압 조건으로 행할 수 있다. 즉, 연마용액의 압력이 0.5~3.0kg/㎠ 일 수 있다. 유압이 0.5kg/㎠ 미만이면 연마용액의 유동이 약하여 반응성이 저하되어 균일한 연마효과가 미약하고, 3.0kg/㎠를 초과하면 연마 용액의 유동 캐비테이션 및 위치별 편차에 의하여 표면 얼룩 무늬가 발생한다. 유압은 주로 연마용액을 분사하여 행하는 분사식에 적용되지만, 침지식의 경우에도, 연마용액에 유압을 가하여 제공할 수도 있으며, 이러한 경우에 상기 유압 조건으로 연마용액을 제공할 수 있다.
전주법으로 제조된 철-니켈 합금박에 본원의 연마 용액 및 화학연마 방법을 적용함으로써, 표면조도가 낮고, 우수한 외관 광택을 갖는 철-니켈 합금박이 얻어진다. 화학연마로 얻어진 철-니켈 합금박은 낮은 표면조도, 예를 들어, 드럼면(광택면)과 용액면 (매트면) 모두에서, Ra≤0.15㎛, 및 Rz≤1.5㎛를 갖는다. 0.15㎛ 이하의 낮은 Ra와 1.5㎛ 이하의 낮은 Rz를 갖는 고품위 표면조도를 갖는 소재는 OLED용 소재로서 요구되는 조건(JIS 규격)을 만족한다. 표면조도(Rz) > 0.15㎛, 또는/및 Rz >1.5㎛이면, 표면이 불균일하여 에칭 공정시, 에칭 깊이의 차이가 발생할 우려가 있다. 드럼면은 전주장치의 드럼과 직접 접촉되어 있는 면을 말하며, 용액면은 용액과 접촉되는 면으로서 드럼면의 반대면을 말한다.
또한, 본원의 연마 용액 및 연마 방법을 적용함으로써, 철-니켈 합금 박을 전주법에 의해 연속적으로 제조한 후, 이어서 연속적으로 연마함으로써 간편하고 용이하게 표면조도가 낮고 광택이 우수한 철-니켈 합금 박을 제조할 수 있다.
전주법 (전기도금법)에 의한 철-니켈 합금박은 니켈 함량 32~50 중량% 그리고 잔부 철 및 불가피한 불순물을 포함하는 얇은 극박재 (두께 6 ~ 50㎛)로 제조되며, 이에 따라, 기존 압연방식에서 구현하기 어려운 나노사이즈의 평균 결정립을 갖는 극박이 용이하게 제조될 수 있다. 이러한, 전주법으로 제조된 철-니켈 합금 박을 연속적으로 본원의 연마 용액 및 연마 방법으로 화학 연마함으로써, 낮은 표면조도와 고광택의 표면 특성을 아울러 겸비한 철-니켈 합금박이 제공된다.
본 발명의 철-니켈 합금 박은 니켈 함량이 32 내지 50중량%인 것으로, OLED용 소재로 사용하기에 적합하다. 니켈 함량이 낮을 경우 열팽창계수가 급격하게 증가하는 문제가 있고, 함량이 과도하게 높으면, 열팽창계수가 유리 등에 비해 지나치게 커져 플렉서블 디스플레이용 소재로 적합하게 사용할 수 없게 되는 문제가 있다.
본 발명의 철-니켈 합금 박은 OLED용 소재(예컨대, 봉지재, FMM, 기판 등)뿐만 아니라, 리튬 이온 전지용 전극재료로서도 사용할 수 있으며, 특별히 이에 한정하는 것은 아니다.
이하, 구체적인 실시예를 통해 본 발명을 보다 구체적으로 설명한다. 하기 실시예는 본 발명의 이해를 돕기 위한 예시에 불과하며, 본 발명의 범위가 이에 한정되는 것은 아니다.
( 실시예 )
1. 조성변화에 따른 실시예
하기 표 1의 조성으로 된 수용액인 연마용액을 사용하여, 실시예 1 내지 11 및 비교예 1 내지 8을 행하였다. 즉, 과산화수소, 황산, SPS 및 플루오르화 수소의 함량 및 H2O2:H+ 상대 이온농도비(중량기준)를 하기 표 1과 같이 하였다. 표 1의 조성 외에 잔부는 순수이다.
하기 표 1의 실시예 1 내지 3, 5, 7, 9 및 11과 비교예 1 내지 8의 화학연마 조건은 연마용액 pH 1.8, 온도 30℃ 및 공급 유압 1.0 kg/㎠로 하여 철-니켈 합금박에 상기 연마 용액을 분사하여, 연마된 철-니켈 합금박을 얻었다. 실시예 4, 6 및 8은 연마용액 pH 1.8, 온도 40~50℃ 및 공급 유압 1.0 kg/㎠로 하여 철-니켈 합금박을상기 연마 용액에 침지하여, 연마된 철-니켈 합금박을 얻었다. 실시예 10은 연마용액 pH 1.8, 온도 40~50℃로 하여 철-니켈 합금박을 상기 연마 용액에 침지하여, 연마된 철-니켈 합금박을 얻었다.
소재인 전해 (전주법으로 제조된) 철-니켈 합금 박의 니켈 조성비는 42 wt%이고 (잔부 철 및 불가피한 불순물)이며, 두께는 20㎛였다. 실시예에 따른 화학연마 후의 철-니켈 합금박의 두께는 17㎛이었다.
연마후의 표면 조도, 외관(광택도) 그리고 연마용액의 안정성을 측정하여 하기와 같이 표 1에 나타내었다.
실시예 및 비교예의 조성 및 이에 따른 물성 평가
구분 과산화수소 황산 플루오르화
수소		 SPS
 H2O2:H+ 표면 조도 표면
광택도		 용액 안정성
Ra(㎛) Rz(㎛)
실시예 1 0.5 0.5 0.1 0.5 1 : 0.20 0.150 1.40 우수 양호
실시예 2 5.0 0.5 0.1 0.5 1 : 0.20 0.085 0.96 우수 양호
실시예 3 1.0 0.1 0.1 0.5 1 : 0.15 0.130 1.32 우수 양호
실시예 4 1.0 1.0 0.1 0.5 1 : 0.15 0.092 1.10 우수 양호
실시예 5 1.0 0.5 0.01 0.5 1 : 0.15 0.150 1.50 우수 양호
실시예 6 1.0 0.5 0.5 0.5 1 : 0.15 0.075 0.92 우수 양호
실시예 7 1.0 0.5 0.1 0.5 1 : 0.15 0.145 1.50 우수 양호
실시예 8 1.0 0.5 0.1 0.5 1 : 0.30 0.045 0.65 우수 양호
실시예 9 4.0 0.1 0.4 0.8 1:0.15 0.150 1.45 우수 양호
실시예 10 4.0 0.5 0.4 0.8 1:0.3 0.135 1.38 우수 양호
실시예 11 4.0 1.0 0.5 0.8 1:0.3 0.095 1.04 우수 양호
비교예 1 0.4 0.5 0.1 0.2 1 : 0.20 0.250 3.10 보통 양호
비교예 2 5.1 0.5 0.1 0.08 1 : 0.20 0.102 1.05 불량 불량
비교예 3 1.0 0.09 0.1 0.08 1 : 0.20 0.286 3.30 불량 불량
비교예 4 1.0 1.02 0.1 0.08 1 : 0.20 0.094 0.97 보통 불량
비교예 5 1.0 0.5 0.009 1.0 1 : 0.15 0.150 2.35 불량 양호
비교예 6 1.0 0.5 0.51 1.0 1 : 0.15 0.045 0.52 불량 양호
비교예 7 1.0 0.5 0.1 1.0 1 : 0.13 0.146 2.42 불량 양호
비교예 8 1.0 0.5 0.1 1.0 1 : 0.33 0.070 0.86 불량 양호
[상기 표 1에서 표면조도, Ra 및 Rz는 드럼면(광택면)과 용액면 (매트면) 모두에서의 조도를 말한다]
2. 연마조건 변화에 따른 실시예
하기 실시예 및 비교예에서 과산화수소 2.0wt.%, 황산 0.5wt.%, 플루오르화수소(HF) 화합물 0.03wt.%, SPS 0.5 wt% 및 잔부 순수로 조성되고, H2O2 : H+ 농도비가 1:0.15 (중량기준)인 수용액인 연마용액을 사용하여 분사법으로 전주법에 의해 제조된 철-니켈 합금박을 화학연마 하였다. 연마 조건은 하기 표 2와 같이 달리하였다.
소재인 전해 (전주법으로 제조된) 철-니켈 합금 박의 니켈 조성비는 42 wt%이고 (잔부 철 및 불가피한 불순물)이며, 두께는 20㎛였다. 실시예에 따른 화학연마 후의 철-니켈 합금박의 두께는 17㎛이었다.
연마후의 표면 조도, 외관(광택도) 그리고 연마용액의 안정성을 측정하여 하기와 같이 표 2에 나타내었다. 물성 평가는 상기와 같은 방법으로 행하였다.
연마조건에 변화에 따른 물성 평가
구분 용액의
pH 		용액 온도
(℃)		 유압
(kg/㎠)		 표면 조도 표면
광택도		 용액 안정성
Ra(㎛) Rz(㎛)
실시예 12 1.0 30 1.0 0.075 0.80 우수 양호
실시예 13 2.5 30 1.0 0.090 1.10 우수 양호
실시예 14 1.8 30 1.0 0.080 0.95 우수 양호
실시예 15 1.8 50 1.0 0.06 0.75 우수 양호
실시예 16 1.8 30 0.5 0.14 1.45 우수 양호
실시예 17 1.8 30 3.0 0.045 0.60 우수 양호
비교예 9 0.9 30 1.0 0.40 1.65 우수 양호
비교예 10 2.7 30 1.0 1.60 1.78 불량 불량
비교예 11 1.8 18 1.0 2.0 2.75 불량 양호
비교예 12 1.8 52 1.0 0.65 1.30 불량 불량
비교예 13 1.8 30 0.3 1.95 2.20 불량 양호
비교예 14 1.8 30 3.2 0.70 1.20 불량 양호
[상기 표 2에서 표면조도, Ra 및 Rz는 드럼면(광택면)과 용액면 (매트면) 모두에서의 조도를 말한다]
2. 합금박 물성 및 화학연마 용액의 평가방법
1) 표면 조도: 3D Profile 조도기 (면적 : 0.5mmX0.4mm)로 드럼면 및 용액면에서의 Ra 및 Rz 측정하였다.
2) 표면 광택도는 광택도 측정기 (Gloss Meter)로 측정하였다.
우수: 광택도 400 이상
보통: 광택도 200~400
불량: 광택도 200 이하 및 피트(pit) 발생
3) 용액 안정성
용액 안정성은 연마 작업에 필요한 용액 상태를 의미하며, 연마 후, 용액의 색변화, 부유물, 거품 등의 유무를 의미한다. 용액안정성은 육안으로 관찰하였다.
양호 - 용액의 색 변화 없이 맑음
불량 - 미세 부유물 및 거품 잔존
상기 표 1 및 2에서 알 수 있듯이, 본원의 연마 용액의 조성 및 연마조건을 만족하는 경우에, 실시예에 따라, 연마된 철-니켈 합금박은 낮은 표면조도, 우수한 표면 광택도 및 용액안정성을 나타내었다.

Claims (10)

  1. 과산화수소 농도 0.5~5.0wt.%, 황산 농도 0.1~1.0wt.% 및 플루오르화수소(HF) 화합물 농도 0.01 ~ 0.5wt.%이고, 중량기준으로 H2O2:H+의 상대 농도비는 1:0.15 ~ 1:0.30의 범위의 수용액인, 연마 용액.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 연마 용액은 소디움퍼술페이트를 0.1 내지 1.0중량%로 추가로 포함하는, 연마 용액.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 연마 용액은 pH가 1.0 내지 2.5인, 연마 용액.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 연마 용액은 철-니켈 합금박의 연마에 사용되는 연마 용액.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 철-니켈 합금박은 전주법(electroforming)으로 제조된 것인, 연마 용액.
  6. 청구항 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항의 연마용액으로 철-니켈 함금박을 연마하는 단계를 포함하며, 상기 연마용액은 온도가 20℃ 내지 50℃인, 연마 방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 연마 방법은 침지법 혹은 분사법으로 행하여지는, 연마 방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 연마 용액은 0.5 ~3.0kg/㎠의 유압으로 제공되는 연마 방법.
  9. 제6항의 연마 방법으로 연마된 표면조도 Ra는 0.15㎛ 이하이고, 표면조도 Rz는 1.5㎛이하인 철-니켈 합금박.
  10. 제8항의 연마 방법으로 연마된 표면조도 Ra는 0.15㎛이하이고, 표면조도 Rz는 1.5㎛이하인 철-니켈 합금박.
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