KR20190066545A - Robot and teaching method of robot - Google Patents

Robot and teaching method of robot

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KR20190066545A
KR20190066545A KR1020180124934A KR20180124934A KR20190066545A KR 20190066545 A KR20190066545 A KR 20190066545A KR 1020180124934 A KR1020180124934 A KR 1020180124934A KR 20180124934 A KR20180124934 A KR 20180124934A KR 20190066545 A KR20190066545 A KR 20190066545A
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다모츠 구리바야시
데츠야 이노마타
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니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤
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Abstract

The present invention provides a robot which does not require a dummy work or the like and can perform accurate automatic teaching by a simple mechanism. The robot at least has a hand for supporting a work and a lifting mechanism, transports the work, and comprises: a first sensor installed on the hand and provided with a light emitting unit and a light receiving unit to have an optical axis parallel with a second direction, wherein a first direction is a moving direction of the hand when loading/unloading the work, and the second direction is a direction vertically perpendicular to the first direction; and a second sensor which is installed on the hand and detects an outer corner of the work. An end in a height direction of the work is detected by blocking light in the first sensor by vertical reciprocation of the hand. Also, a different outer corner of the work is detected by the second sensor to calculate a center position of the work.

Description

로봇 및 로봇의 교시 방법 {ROBOT AND TEACHING METHOD OF ROBOT} TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a robot and a robot,

본 발명은, 워크를 반송하는 로봇과, 이 로봇의 교시 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a robot for carrying a work and a teaching method of the robot.

워크를 반송하는 로봇은, 일반적으로 워크를 보유 지지하는 핸드와, 핸드를 선단에 구비하여 연결한 복수의 암과, 암 및 핸드를 전체로서 승강시키는 승강 기구를 구비하고 있다. 이러한 로봇은, 워크의 로드/언로드의 대상인 스테이지의 상호간에서 워크를 반송한다. 스테이지에는, 워크의 반송원 및 반송처가 되는 예를 들어 카세트나 워크 처리 장치 등이 포함된다. 스테이지에 대하여 워크를 로드/언로드할 때에는, 핸드는 스테이지의 정면이 되는 위치에 있어서, 스테이지에 대하여 전후 방향으로 이동한다. 이하의 설명에 있어서 이 방향을 핸드의 이동 방향이라 부른다. 예를 들어 특허문헌 1에는, 워크의 반송에 사용되는 수평 다관절형 로봇의 일례가 개시되어 있다.The robot for carrying a work generally includes a hand for holding a work, a plurality of arms provided with a hand at the tip thereof, and a lifting mechanism for lifting and lowering the arm and the hand as a whole. Such a robot carries a work between the stages, which are targets of load / unload of the work. The stage includes, for example, a cassette, a work processing device, and the like that become a conveying source and a conveying destination of the work. When the work is loaded / unloaded to / from the stage, the hand moves in the forward and backward directions with respect to the stage at a position that is the front side of the stage. In the following description, this direction is referred to as a moving direction of the hand. For example, Patent Document 1 discloses an example of a horizontal articulated robot used for carrying a work.

워크의 반송에 사용되는 로봇을 사용할 때에는, 미리 워크의 반송 경로를 로봇에 교시할 필요가 있으며, 교시에는 스테이지 내의 워크의 저장 위치를 로봇에 기억시키는 것도 포함된다. 지금까지 교시는, 작업원에 의한 수동 조작으로 행해져 왔다. 그러나, 수동 조작이기 때문에, 교시 효율이나 교시의 확실함은 작업원의 조작 경험에 크게 의존한다. 또한, 최근 몇년간, 로봇이 마련되어 암이나 핸드를 이동시키는 것이 가능한 공간이 좁아지고 있으며, 이 때문에 작업원이 로봇을 교시할 때의 시계가 나빠져 수동 교시를 행하는 것이 어려워지는 경향이 있다. 그래서, 이와 같은 상황을 타개하기 위해, 각종 자동 교시 방법이 제안되어 있다. 예를 들어 특허문헌 2에는, 수평 면내이면서 핸드의 이동 방향에 수직인 방향을 따라 조사된 광을 검출하는 제1 광학 센서와, 수평 면내이면서 핸드의 이동 방향에 대하여 비스듬한 방향을 따라 조사된 제2 광 센서를 사용하여 교시용의 워크(더미 워크)를 검출하고, 이 검출 결과에 기초하여 교시를 행하는 것이 개시되어 있다. 특허문헌 3에는, 수평 면내에 있어서, 스테이지에 대한 핸드의 이동 방향에 대하여 직교하는 방향으로 간격을 두고 두 센서를 배치하고, 이 두 센서를 사용하여 워크의 에지를 검출하고, 이 검출 결과에 기초하여 어긋남양의 산출과 좌표계 변환을 행하여 교시 포인트를 취득하는 것이 개시되어 있다.When using a robot used for carrying a work, it is necessary to instruct the robot in advance on the conveying path of the work, and teaching includes storing the storage position of the work in the stage in the robot. Up to now, the teaching has been performed by manual operation by an operator. However, since it is a manual operation, the teaching efficiency and the certainty of the teaching are highly dependent on the operator's operating experience. In addition, in recent years, a space in which a robot can be moved to move a cancer or a hand is narrowed, which makes it difficult to perform manual teaching because the worker has a bad clock when teaching the robot. Therefore, in order to overcome such a situation, various automatic teaching methods have been proposed. For example, in Patent Document 2, there is disclosed an optical sensor which includes a first optical sensor for detecting light irradiated along a direction perpendicular to a moving direction of a hand while being in a horizontal plane, and a second optical sensor for detecting light irradiated along an oblique direction with respect to the moving direction of the hand, Discloses that a work (dummy work) for teaching is detected using an optical sensor, and teaching is performed based on the detection result. Patent Document 3 discloses a technique in which two sensors are arranged in a horizontal plane in a direction orthogonal to the moving direction of the hand with respect to the stage and the edges of the work are detected using these two sensors, And calculating the amount of misalignment and the coordinate system conversion to acquire the teaching point.

일본 특허 제5199117호 공보Japanese Patent No. 5199117 일본 특허 공개 제2016-107378호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2016-107378 일본 특허 공개 제2009-160679호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2009-160679

워크를 반송하는 로봇의 자동 교시의 방법으로서 각종 방법이 제안되어 있지만, 이들 방법에서는, 특수한 구조의 더미 워크를 사용하거나, 로봇과는 별개로 센서를 마련하거나, 혹은 교시용의 지그 장착 스테이지를 사용하거나 한다. 그 결과, 교시를 위한 기구나 수순이 복잡화된다. 또한, 교시의 정밀도에 있어서도 개량의 여지가 있다.Various methods have been proposed as automatic teaching methods of robots that carry workpieces. However, in these methods, dummy work of a special structure is used, a sensor is provided separately from the robot, or a teaching jig mounting stage is used . As a result, mechanisms and procedures for teaching are complicated. There is also room for improvement in the accuracy of the teaching.

본 발명의 목적은, 더미 워크 등을 필요로 하지 않고, 간단한 기구로 정확한 자동 교시를 행할 수 있는 로봇과, 이 로봇의 교시 방법을 제공하는 데 있다.An object of the present invention is to provide a robot capable of accurate automatic teaching with a simple mechanism without requiring a dummy work or the like, and a teaching method of the robot.

본 발명의 로봇은, 워크를 지지하는 핸드와 승강 기구를 적어도 구비하고, 워크를 반송하는 로봇이며, 워크를 로드/언로드할 때에 핸드의 이동 방향을 제1 방향으로 하고, 제1 방향과 상하 방향으로 직교하는 방향을 제2 방향으로 하여, 핸드에 설치되며 발광부와 수광부를 구비하여 제2 방향에 평행한 광축을 갖는 제1 센서와, 핸드에 설치되며 워크의 외측 모서리를 검출하는 제2 센서를 갖고, 핸드를 상하 방향으로의 왕복 이동시킴에 따른 제1 센서에서의 차광에 의해 워크의 높이 방향의 단부를 검출하고, 제2 센서에 의해 워크의 상이한 외측 모서리를 검출하여, 워크의 중심 위치를 산출한다.A robot according to the present invention includes at least a hand for supporting a workpiece and a lifting mechanism and is a robot for carrying a workpiece. When the workpiece is loaded / unloaded, the moving direction of the hand is the first direction, And a second sensor provided on the hand and provided on the hand and detecting an outer edge of the work, a second sensor provided on the hand and having an emitting portion and a light receiving portion and having an optical axis parallel to the second direction, And detects an end in the height direction of the work by detecting the light shielding by the first sensor as the hand reciprocates in the vertical direction and detects a different outer edge of the work by the second sensor, .

본 발명의 로봇에서는, 제1 센서에 의해 워크의 높이 방향의 단부를 검출하기 때문에, 검출된 높이 방향의 단부의 위치에 기초하여, 제2 센서에 의한 워크의 외측의 모서리 검출을 위해 적절한 높이 위치를 설정할 수 있다. 이 때문에, 핸드에 설치된 제2 센서에 의해 워크의 상이한 외측 모서리를 검출하는 처리를 자동적으로 실행할 수 있으며, 자동 교시에 의해, 워크의 높이 위치와 수평 면내에서의 워크의 중심 위치를 용이하게 구할 수 있게 된다.In the robot of the present invention, since the end of the work in the height direction is detected by the first sensor, it is possible to detect the position of the end of the work in the height direction, Can be set. Therefore, it is possible to automatically perform the process of detecting the different outer edges of the work by the second sensor provided on the hand, and the height position of the work and the center position of the work in the horizontal plane can be easily obtained by automatic teaching .

본 발명의 로봇에서는, 제1 방향을 따라 제2 센서보다도 워크에 가까운 위치에 제1 센서를 설치할 수 있다. 이와 같은 구성에 의하면, 워크에 가까운 측에 배치된 제1 센서에 의해 워크의 높이 위치를 검출할 수 있음과 함께, 제2 센서를 제1 센서로부터 이격할 수 있어 각 센서의 배치의 자유도가 향상된다. 이때, 핸드의 워크를 향하는 선단은, 워크가 핸드 및 제1 센서에 접촉하지 않고 워크에 의해 제1 센서의 광축을 가로막을 수 있도록, 선단을 향해 V자형 또는 U자형으로 벌어지도록 분기되어 있는 것이 바람직하다. 이와 같이 V자형 혹은 U자형으로 벌어지도록 워크의 선단을 분기시킴으로써, 워크와의 충돌을 확실하게 피하면서 워크의 높이 방향의 단부의 위치를 결정할 수 있게 된다.In the robot of the present invention, the first sensor can be provided at a position closer to the work than the second sensor along the first direction. According to this configuration, the height position of the work can be detected by the first sensor disposed on the side close to the work, and the second sensor can be separated from the first sensor, thereby improving the degree of freedom in arrangement of the respective sensors do. At this time, the tip of the hand toward the work is branched so as to spread in the V-shape or the U-shape toward the tip so that the work can intercept the optical axis of the first sensor by the work without touching the hand and the first sensor desirable. By branching the tip end of the work so as to spread in the V-shape or U-shape, it is possible to determine the position of the end portion in the height direction of the work while reliably avoiding collision with the work.

본 발명의 로봇에서는, 상하 방향으로 배치한 발광 소자 및 수광 소자를 구비하는 제2 센서를 사용하고, 워크에 근접하는 방향으로의 제1 방향을 따른 핸드의 움직임에 따라 발광 소자 및 수광 소자의 사이의 공간에 워크의 외측 모서리를 받아들일 수 있도록 발광 소자 및 수광 소자를 배치해도 된다. 이 구성에 의하면, 제2 센서에서의 발광 소자로부터 수광 소자를 향하는 광축의 방향이 상하 방향이 되어 워크의 외측 모서리를 확실하게 검출할 수 있게 된다. 이러한 제2 센서의 일례로서는, 제1 방향으로부터 워크 중심측으로 기운 방향에 대하여 제2 센서의 설치 위치로부터 연장된는 상완 및 하완을 갖고, 상완 및 하완의 한쪽에 발광 소자가, 다른쪽에 수광 소자가 마련되며, 전체로서 역ㄷ자형의 단면을 갖는 것을 들 수 있다. 이때, 상완 및 하완은 워크의 중심을 향해 연장되어 있는 것이 바람직하다. 상완 및 하완이 워크의 중심을 향해 연장됨으로써, 역ㄷ자 단면의 최내측부에까지 제2 센서와 간섭하지 않고 워크를 받아들이는 것이 가능해지며, 워크의 외측 모서리의 검출을 확실하게 행할 수 있게 된다.In the robot of the present invention, a second sensor including a light emitting element and a light receiving element arranged in the up and down direction is used, and according to the movement of the hand along the first direction in the direction approaching the work, The light emitting element and the light receiving element may be arranged so as to receive the outer edge of the work in the space of the work. According to this configuration, the direction of the optical axis from the light emitting element to the light receiving element in the second sensor becomes the up and down direction, and the outer edge of the work can be surely detected. An example of such a second sensor is a sensor having an upper arm and a lower arm extending from an installation position of the second sensor with respect to a direction of movement from a first direction to a work center side, a light emitting element on one side of the upper arm and a light receiving element on the other side , And the whole has a cross-section of an inverted C shape. At this time, it is preferable that the upper arm and the lower arm extend toward the center of the work. By extending the upper arm and the lower arm toward the center of the work, it is possible to receive the work without interfering with the second sensor to the innermost portion of the inverted U-shaped cross section, and the outer edge of the work can be reliably detected.

본 발명의 로봇에서는, 핸드에 분리 가능하게 설치되는 지그에 제1 센서 및 제2 센서를 탑재해도 된다. 지그를 사용함으로써, 센서의 설치를 용이하게 행할 수 있으며, 또한 교시의 종료 후에 센서를 용이하게 제거할 수 있게 된다. 이때, 지그의 외형이 워크의 외형의 일부와 일치하도록 하면, 핸드를 따르도록 하여 지그가 핸드에 용이하게 설치할 수 있게 된다.In the robot of the present invention, a first sensor and a second sensor may be mounted on a jig that is detachably mounted on a hand. By using the jig, the sensor can be easily installed, and the sensor can be easily removed after the end of the teaching. At this time, if the outer shape of the jig is made to coincide with a part of the outer shape of the work, the jig can be easily installed on the hand so as to follow the hand.

본 발명의 로봇에서는, 핸드에 워크의 회전 방지용의 돌기를 마련해도 되고, 이러한 돌기가 마련되는 경우에는, 지그의 외주에 핸드의 돌기와 걸림 결합하는 절결부를 마련해도 된다. 지그의 외주에 핸드의 돌기와 걸림 결합하는 절결부를 마련함으로써, 지그의 회전을 방지할 수 있어 이 회전에 따른 교시 결과에 있어서의 어긋남을 억제할 수 있다.In the robot according to the present invention, a protrusion for preventing rotation of a work may be provided on the hand. When such a protrusion is provided, a notch portion engaging with the protrusion of the hand may be provided on the outer periphery of the jig. It is possible to prevent rotation of the jig by providing a notch for engaging with the projection of the hand on the outer periphery of the jig, thereby suppressing the deviation in the result of the teaching due to the rotation.

본 발명의 로봇에서는, 두 제2 센서를 사용하고, 이들 두 제2 센서가 제2 방향을 따라 서로 이격하여 배치되도록 하는 것이 바람직하다. 이와 같이 제2 센서를 배치한 경우에는, 제1 방향을 Y축 방향으로 하고 제2 방향을 X축 방향으로 하는 XY 좌표계에 있어서, 한쪽의 제2 센서가 차광됨으로써 검출되는 워크의 외측 모서리의 XY 좌표를 (Xa,Ya)로 하고, 다른쪽의 제2 센서가 차광됨으로써 검출되는 워크의 외측 모서리의 XY 좌표를 (Xb,Yb)로 하고, 워크는 반경 R의 원판 형상으로 하면, 워크의 중심 좌표 (Xo,Yo)를 하기의 식에 나타낸 바와 같이 2점으로부터 계산할 수 있다.In the robot of the present invention, it is preferable that two second sensors are used, and these two second sensors are arranged apart from each other along the second direction. When the second sensor is arranged as described above, the XY coordinate system in which the first direction is the Y-axis direction and the second direction is the X-axis direction is the XY coordinate system in which the outer edge of the work detected by shielding one of the second sensors is XY When the coordinates are set as (Xa, Ya) and the XY coordinates of the outer edge of the work detected by the other second sensor are shielded by (Xb, Yb) The coordinates (Xo, Yo) can be calculated from the two points as shown in the following expressions.

Figure pat00001
Figure pat00001

본 발명의 교시 방법은, 워크를 지지하는 핸드와 승강 기구를 적어도 구비하고, 워크를 반송하는 로봇의 교시 방법이며, 워크를 로드/언로드할 때에 핸드의 이동 방향을 제1 방향으로 하여, 핸드의 제1 방향을 따른 워크를 향하는 전진 운동과 핸드의 상하 방향에서의 왕복 이동을 조합하고, 워크의 하단을 검출하는 과정에 있어서, 워크의 상승에 의해 워크의 하단을 검출할 때에, 검출에 관한 1회째의 상승에서의 검출 결과를 파기하고 2회째의 상승에서의 검출 결과에 기초하여 워크의 하단의 높이를 결정한다. 이와 같이 첫회의 검출 결과를 파기하고 2회째의 상승에서의 검출 결과를 사용함으로써, 워크의 하단의 높이 위치를 확실하게 검출할 수 있게 된다.The teaching method of the present invention is a teaching method of a robot that includes at least a hand and a lifting mechanism for supporting a workpiece and conveys the workpiece. In the course of loading / unloading a workpiece, When the lower end of the work is detected by the rise of the work in the process of detecting the lower end of the work by combining the forward movement toward the work along the first direction and the reciprocating movement in the vertical direction of the hand, And the height of the lower end of the work is determined based on the detection result at the second rise. Thus, the height position of the lower end of the work can be reliably detected by discarding the detection result at the first time and using the detection result at the second rise.

본 발명의 교시 방법에서는, 결정된 워크의 하단의 높이에 기초하여 핸드의 높이를 설정하고, 그 후 워크를 향해 핸드를 워크를 향하게 하여 더욱 전진시켜, 핸드에 설치된 센서에 의해 워크의 상이한 외측 모서리의 위치를 검출할 수 있다. 결정된 워크의 하단에 기초하여 핸드의 높이를 설정함으로써, 핸드에 설치된 센서에 의해 워크의 상이한 외측 모서리를 검출하는 처리를 자동적으로 실행할 수 있으며, 자동 교시에 의해, 워크의 높이 위치와 수평 면내에서의 워크의 중심 위치를 용이하게 구할 수 있게 된다.In the teaching method of the present invention, the height of the hand is set based on the height of the lower end of the determined work, and then the hand is further advanced toward the work toward the work, The position can be detected. By setting the height of the hand on the basis of the lower end of the determined work, processing for detecting different outer edges of the work by the sensor provided on the hand can be automatically executed. By automatic teaching, the height position of the work and the The center position of the work can be easily obtained.

본 발명의 교시 방법에서는, 로봇을 기준으로 하는 좌표에 있어서 기지의 위치에 배치된 워크에 대하여, 센서에 의해 워크의 상이한 외측 모서리의 위치를 검출하여 워크의 위치를 산출하고, 기지의 위치와 산출된 워크의 위치에 기초하여 교시 위치의 보정을 행하는 것이 바람직하다. 이에 의해, 센서의 배치 오차 등에 기인하는 오차분을 보정할 수 있으며, 보다 정밀도가 높은 위치 검출이 가능하게 된다.In the teaching method of the present invention, the positions of the outer edges of the work are detected by a sensor to calculate the positions of the workpieces on the workpieces arranged at known positions in the coordinates based on the robot, It is preferable to correct the teaching position based on the position of the workpiece. This makes it possible to correct an error caused by the placement error of the sensor or the like, and to perform position detection with higher accuracy.

본 발명에 따르면, 반송용 로봇에 대하여 더미 워크 등을 필요로 하지 않고, 간단한 기구로 정확한 자동 교시를 행할 수 있게 된다.According to the present invention, it is possible to perform accurate automatic teaching with a simple mechanism without requiring a dummy work or the like for the carrying robot.

도 1의 (a), (b)는, 각각 본 발명의 일 실시 형태의 로봇의 구성을 도시하는 평면도와 정면도이다.
도 2는 핸드의 선단과 교시용의 지그를 설명하는 사시도이다.
도 3은 Z축(상하 방향)의 교시를 설명하는 도면이며, (a)는 평면도, (b)는 정면도이다.
도 4는 Z축 방향의 교시의 구체적 순서를 설명하는 도면이다.
도 5의 (a), (b)는, X축 및 Y축 방향에서의 교시를 설명하는 정면도이다.
도 6의 (a), (b)는, 두 제2 센서의 사이에서의 차광 타이밍의 어긋남을 설명하는 평면도이다.
도 7은 캘리브레이션을 설명하는 도면이다.
도 8은 캘리브레이션을 설명하는 도면이다.1 (a) and 1 (b) are a plan view and a front view, respectively, showing the configuration of a robot according to an embodiment of the present invention.
2 is a perspective view for explaining a tip of a hand and a jig for teaching.
Fig. 3 is a view for explaining the teaching of the Z-axis (vertical direction), wherein (a) is a plan view and (b) is a front view.
Fig. 4 is a view for explaining a specific procedure of the teaching in the Z-axis direction.
5 (a) and 5 (b) are front views for explaining teaching in the X-axis and Y-axis directions.
6 (a) and 6 (b) are plan views for explaining shifts in light-shielding timings between the two second sensors.
7 is a view for explaining the calibration.
Fig. 8 is a view for explaining the calibration.

이어서, 본 발명의 실시 형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 도 1은 본 발명의 일 실시 형태의 로봇을 도시하고 있다. 여기에서는, 수평 면내 방향을 X축 방향 및 Y축 방향으로 하고, 수직 방향(상하 방향)을 Z축 방향으로 하는 직교 좌표계가 설정되어 있는 것으로 한다. 이 직교 좌표계는, 로봇에 고정된 좌표계이다. 특히, 설명을 위해, 스테이지에 대하여 워크를 로드/언로드할 때의 핸드 이동 방향을 Y축 방향, 즉 제1 방향이라 정한다. X축 방향은 제2 방향이 된다. 이 로봇은, 예를 들어 특허문헌 1에 기재된 3링크의 수평 다관절형 로봇이며, 베이스(2)에 대하여 제1 암(3)의 일단부가 접속하고, 제1 암(3)의 타단부에 제2 암 (4)의 일단부가 접속하고, 제2 암(4)의 타단부에 제3 암(5)의 일단부가 접속하고, 제3 암(5)의 타단부에는 워크를 보유 지지하기 위한 두 핸드(6, 7)가 접속하고 있다. 핸드(6, 7)는 상하 방향으로 겹치도록 마련되어 있으며, 핸드(6)는 하핸드, 핸드(7)는 상핸드이다. 베이스(2)와 제1 암(3)의 접속부, 암(3 내지 5)의 상호의 접속부, 암(5)에 대한 핸드(6, 7)도 접속부는 모두 로봇 관절로서 구성되어 있으며, 그러한 접속부를 통하는 수직인 축의 둘레에서 암(3 내지 5), 핸드(6, 7)가 회전 가능하게 되어 있다.Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. Fig. 1 shows a robot according to an embodiment of the present invention. Here, it is assumed that an orthogonal coordinate system in which the in-plane direction is the X-axis direction and the Y-axis direction and the vertical direction (vertical direction) is the Z-axis direction is set. This orthogonal coordinate system is a coordinate system fixed to the robot. Particularly, for the sake of explanation, the hand moving direction at the time of loading / unloading the work with respect to the stage is defined as the Y-axis direction, that is, the first direction. And the X-axis direction is the second direction. This robot is, for example, a 3-link horizontal articulated robot described in Patent Document 1, in which one end of the first arm 3 is connected to the base 2, and the other end of the first arm 3 One end of the second arm 4 is connected and the other end of the third arm 5 is connected to the other end of the second arm 4 and the other end of the third arm 5 is connected to the other end of the second arm 4, Two hands 6 and 7 are connected. The hands 6 and 7 are provided so as to overlap each other in the vertical direction. The hand 6 is a lower hand, and the hand 7 is a upper hand. The connecting portions of the base 2 and the first arm 3, the connecting portions of the arms 3 to 5 and the connecting portions of the hands 6 and 7 to the arm 5 are all configured as robot joints, The arms 3 to 5 and the hands 6 and 7 are rotatable around a vertical axis passing through the arms 3 and 4, respectively.

베이스(2)의 내부에는, 암(3 내지 5), 핸드(6, 7)를 일체의 것으로 하여 Z축 방향으로 이동시키는 승강 기구(8)가 마련되어 있다. 또한 도 1의 (b)에 도시한 바와 같이, 로봇을 제어하는 로봇 컨트롤러(11)와, 로봇 컨트롤러(11)에 접속하여 조작자로부터 동작 커맨드가 입력되는 티칭 펜던트(12)도 마련되어 있다. 본 실시 형태의 로봇은 자동 교시를 행하는 것이지만, 자동 교시를 개시하는 등의 커맨드는 티칭 펜던트(12)로부터 입력된다. 또한 자동 교시에 필요한 로봇의 이동 제어나 위치의 연산은, 로봇 컨트롤러(11) 혹은 티칭 펜던트(12)에서 실행된다. 도시된 로봇은, 예를 들어 반도체 웨이퍼와 같은, 거의 원형이며 얇은 형상의 워크의 반송을 상정하여 구성된 것이지만, 본 발명이 적용 가능한 로봇은, 반도체 웨이퍼의 반송에 사용되는 로봇으로 한정되는 것은 아니고, 3링크의 로봇으로 한정되는 것도 아니고, 수평 다관절형 로봇으로 한정되는 것도 아니다.An elevating mechanism 8 for moving the arms 3 to 5 and the hands 6 and 7 integrally in the Z-axis direction is provided in the base 2. 1 (b), there is also provided a robot controller 11 for controlling the robot and a teaching pendant 12 connected to the robot controller 11 for inputting an operation command from the operator. The robot of the present embodiment carries out automatic teaching, but a command such as starting an automatic teaching is input from the teaching pendant 12. Further, movement control and position calculation of the robot necessary for automatic teaching are executed in the robot controller 11 or the teaching pendant 12. [ The illustrated robot is configured assuming the transport of a substantially circular thin work such as a semiconductor wafer. However, the robot to which the present invention can be applied is not limited to a robot used for transporting a semiconductor wafer, 3 link robot, and is not limited to a horizontal articulated robot.

본 실시 형태에서는, 교시를 위한 지그(20)를 사용한다. 지그(20)는 상측의 핸드(7)에 설치되는 것이다. 도 2는, 상측의 핸드(7)와 지그(20)를 설명하는 도면이다. 지그(20)를 설명하기 전에, 우선 핸드(7)에 대하여 설명한다. 핸드(7)는, 예를 들어 반도체 웨이퍼 등의 얇은 원판 형상의 워크를 보유 지지하여 반송하는 것이지만, 반송 도중에 워크가 회전하거나 하지 않도록, 핸드(7)의 중앙부 상면에는 돌기(17)가 마련되어 있다. 돌기(17)의 위치로부터 선단측(암(5)과의 접속부와는 반대측의 단부측)에 있어서 핸드(7)는, 돌기(17)의 위치로부터 선단측을 향해 V자형으로 분기하여 벌어지도록 형성되어 있다. V자형으로 분기하는 대신에 U자형으로 분기되어 있어도 된다. 도면에 있어서 일점쇄선(T)은, 핸드(7)에 있어서의 V자의 양쪽의 선단부(18, 19)를 연결하는 직선이며, 일점쇄선(L)은 핸드(7)의 긴 변 방향의 중심선이다. 이 구성에서는, 원형의 물체에 대하여 정면으로부터 직선적으로 핸드(7)를 접근시킨 경우, 이 물체가 선단부(18, 19)와 충돌하기 전에, 이 물체는 양쪽의 선단부(18, 19)를 연결하는 선(T)보다도 핸드(7)의 중앙측(돌기(17)가 배치된 측)으로 들여보낼 수 있게 된다. 이 구성은, 후술하는 Z축 방향에서의 교시를 행하기 위해 필요한 구성이다. 워크는, 워크의 외주부에 마련된 원호 형상의 절결부가 돌기(17)에 걸림 결합하도록 하여, 돌기(17)의 위치로부터 핸드(7)의 선단측의 위치에서 핸드(7)에 의해 보유 지지된다. 핸드(6)도 핸드(7)와 마찬가지의 구성을 갖는다.In this embodiment, a jig 20 for teaching is used. The jig 20 is provided on the upper hand 7. 2 is a view for explaining the upper hand 7 and the jig 20. Fig. Before describing the jig 20, the hand 7 will be described first. The hand 7 carries a thin disc-like work such as a semiconductor wafer, for example, and conveys the protrusion 17 on the upper surface of the central portion of the hand 7 so as not to rotate the work during transportation . The hand 7 is branched from the position of the projection 17 toward the distal end from the position of the projection 17 at the distal end side (the end side on the opposite side to the connection portion with the arm 5) Respectively. It may be branched into a U-shape instead of the V-shape. The one-dot chain line T is a straight line connecting both ends 18 and 19 of the V character in the hand 7 and the one-dot chain line L is a center line of the long side direction of the hand 7 . In this configuration, when the hand 7 is approached linearly from the front with respect to the circular object, before the object collides with the tip portions 18 and 19, the object connects the both tip portions 18 and 19 The side of the hand 7 on the side of the center of the hand 7 (on which the projection 17 is disposed) than the line T can be sent. This configuration is necessary for performing teaching in the Z-axis direction, which will be described later. The work is held by the hand 7 at the position of the distal end side of the hand 7 from the position of the projection 17 so that the arc-shaped cutout portion provided on the outer peripheral portion of the work is engaged with the projection 17 . The hand 6 also has the same configuration as the hand 7.

지그(20)는, 핸드(7)에서의 워크의 적재 위치에 맞춰서 핸드(7)에 설치되는 판 형상의 것이다. 지그(20)에는, 제1 센서와 두 제2 센서(24, 25)가 마련되어 있다. 지그(20)를 사용함으로써, 제1 센서 및 제2 센서(24, 25)의 핸드(7)로의 설치를 용이하게 행할 수 있으며, 또한 교시의 종료 후에 제1 센서 및 제2 센서(24, 25)를 핸드(7)로부터 용이하게 제거할 수 있게 된다. 이때, 지그(20)의 외형이 워크의 외형의 일부와 일치하도록 하면, 핸드(7)를 따르도록 하여 지그(20)가 핸드(7)에 용이하게 설치되게 된다.The jig 20 is of a plate shape provided on the hand 7 in accordance with the loading position of the work in the hand 7. In the jig 20, a first sensor and two second sensors 24 and 25 are provided. It is possible to easily mount the first sensor and the second sensor 24 and 25 on the hand 7 by using the jig 20 and after the end of teaching the first and second sensors 24 and 25 Can be easily removed from the hand 7. At this time, when the outer shape of the jig 20 is aligned with a part of the outer shape of the work, the jig 20 is easily installed on the hand 7 so as to follow the hand 7.

제1 센서는, 핸드(7)의 V자의 양쪽의 선단부(18, 19)에 대응하는 각각 위치에 마련된 발광부(22) 및 수광부(23)를 포함하고 있으며, 발광부(22)는, 도시된 화살표로 나타낸 바와 같이, 선단부(18, 19)를 연결하는 직선(T)을 따른 레이저 광선을 발하고, 수광부(23)는 이 광선을 수광한다. 지그(20)의 외주에는, 핸드(7)의 돌기(17)에 걸림 결합하는 원호 형상의 절결부(26)가 마련되어 있으며, 지그(20)의 핸드(7)로의 고정을 확실한 것으로 하고 있다. 지그(20)도, 핸드(7)와 마찬가지로 그 선단측(절결부(26)와는 반대측)이 V자 형상으로 형성되어 있으며, 직선(T)으로부터 핸드(7)의 중앙측에 물체가 들어가는 것을 저지하지 않는 형상으로 되어 있다.The first sensor includes a light emitting portion 22 and a light receiving portion 23 provided at respective positions corresponding to the tip portions 18 and 19 on both sides of the V character of the hand 7, The laser beam is emitted along a straight line T connecting the tip portions 18 and 19 and the light receiving portion 23 receives the light beam. An arc-shaped cutout portion 26 for engaging with the projection 17 of the hand 7 is provided on the outer periphery of the jig 20 so that the fixation of the jig 20 to the hand 7 is assured. Like the hand 7, the jig 20 is formed in a V-shape at the front end side (the side opposite to the cutout 26), and an object enters from the straight line T toward the center of the hand 7 It does not obstruct it.

제2 센서(24, 25)는, 수평 면내 즉 XY 평면 내에서의 워크의 외측 모서리를 검출하기 위해 발광 소자로부터 상하 방향으로 광축을 갖는 광을 출사하여 이 광을 수광 소자로 받는 차광 센서이며, 돌기(17)의 위치보다는 약간 선단측이며, 핸드(7)의 긴 변 방향의 중심선(L)에 대하여 대칭이 되는 위치에 마련되어 있다. 즉 제2 센서(24, 25)는, X축 방향을 따라 서로 이격하여 배치되어 있게 된다. 이때, 워크에 근접하는 방향으로의 Y축 방향을 따른 핸드(7)의 움직임에 따라 발광 소자 및 수광 소자의 사이의 공간에 워크의 외측 모서리를 받아들일 수 있도록, 발광 소자 및 수광 소자가 배치되어 있을 필요가 있다. 제2 센서(24, 25)의 일례로서, Y축 방향으로부터 워크 중심측으로 기운 방향으로 대하여 제2 센서(24, 25)의 설치 위치로부터 연장되는 상완 및 하완을 갖고, 상완 및 하완의 한쪽에 발광 소자가, 다른쪽에 수광 소자가 마련되며, 전체로서 역ㄷ자형의 단면을 갖는 것을 들 수 있다. 이때, 상완 및 하완은 워크의 중심을 향해 연장되어 있는 것이 바람직하다. 상완 및 하완이 워크의 중심을 향해 연장됨으로써, 역ㄷ자 단면의 최내측부에까지 제2 센서(24, 25)와 간섭하지 않고 워크를 받아들이는 것이 가능해지며, 워크의 외측 모서리의 검출을 확실하게 행할 수 있게 된다. 구체적으로는 제2 센서(24, 25)로서는, 예를 들어 역ㄷ자형의 단면 형상을 갖는 포토 인터럽터라 불리는 저렴한 센서를 사용할 수 있다. 워크와 접촉하지 않는 상태에서 워크에 의해 차광되도록, 제2 센서(24, 25)에 있어서의 발광 소자와 수광 소자의 간격은, 워크의 두께보다도 클 필요가 있다. 역ㄷ자의 단면 형상을 갖는 포토 인터럽터를 제2 센서(24, 25)로서 사용한 경우, 이들 포토 인터럽터는, 지그(20) 상에 적재되는 워크의 중심을 향해 개구되도록 마련된다.The second sensors 24 and 25 are light shielding sensors for emitting light having an optical axis in the vertical direction from the light emitting element to detect the outer edge of the work in the horizontal plane, i.e., the XY plane, And is provided at a position slightly symmetrical with respect to the center line L of the hand 7 in the long side direction. That is, the second sensors 24 and 25 are disposed apart from each other along the X-axis direction. At this time, the light emitting element and the light receiving element are arranged so as to receive the outer edge of the work in the space between the light emitting element and the light receiving element in accordance with the movement of the hand 7 along the Y axis direction in the direction approaching the work It needs to be. As an example of the second sensors 24 and 25, an upper arm and a lower arm extending from the installation position of the second sensor 24 or 25 in the direction of y-axis movement toward the work center side, Element is provided on the other side and a light receiving element is provided on the other side, and the whole has an inverted U-shaped cross section. At this time, it is preferable that the upper arm and the lower arm extend toward the center of the work. It is possible to receive the work without interfering with the second sensors 24 and 25 to the innermost portion of the inverted U-shaped cross section by the upper arm and lower arm extending toward the center of the work, . Specifically, as the second sensors 24 and 25, for example, an inexpensive sensor called a photo-interrupter having a cross-sectional shape of a C-shape can be used. The distance between the light emitting element and the light receiving element in the second sensor 24 or 25 needs to be larger than the thickness of the work so that the workpiece is shielded from light in a state in which it is not in contact with the work. When the photo interrupter having the cross-sectional shape of the C-shape is used as the second sensors 24 and 25, these photo interrupters are provided so as to open toward the center of the work loaded on the jig 20. [

최근에는, 매핑용 센서를 마련한 로봇용 핸드가 실용화되어 있다. 매핑용 센서는, V자 형상으로 형성된 핸드의 양쪽의 선단에 각각 발광 소자와 수광 소자를 마련하여 구성된 것이기 때문에, 매핑용 센서를 갖는 핸드를 핸드(7)로서 사용하는 경우에는, 지그(20)에는 제1 센서를 마련할 필요는 없다. 이 경우, 지그(20)를 통하지 않고 핸드(7) 그 자체에 제2 센서(24, 25)를 설치해도 되고, 그렇게 하면 지그(20) 자체가 불필요하게 된다.In recent years, a robot hand having a sensor for mapping has been put to practical use. When the hand having the sensor for mapping is used as the hand 7, the jig 20 is provided with the light emitting element and the light receiving element provided on both ends of the V- It is not necessary to provide the first sensor. In this case, the second sensor 24, 25 may be provided on the hand 7 itself without passing through the jig 20, and the jig 20 itself is not necessary.

이어서, 본 실시 형태의 로봇에서의 교시 동작에 대하여 설명한다. 본 실시 형태의 로봇은 워크를 반송하는 것이기 때문에, 교시의 목표는, 스테이지에 수납되어 있는 워크의 위치, 구체적으로는 워크의 높이 방향의 단부의 위치와 워크의 수평 면내에서의 중심 위치를 로봇에 고정된 좌표계로 구하는 것이다. 본 실시 형태에서는, 자동 교시로서, 워크의 높이 방향의 단부의 위치와 워크의 수평 면내에서의 중심 위치를 자동적으로 결정한다. 교시에서는, 로봇의 핸드(7)에 설치된 제1 센서(발광부(22) 및 수광부(23)) 및 제2 센서(24, 25)에서의 검출 결과를 사용하여 로봇을 이동시키고, 스테이지에 저장된 워크를 검출하고, 이에 의해 스테이지에 저장된 워크와 로봇 사이의 위치 관계를 정밀하게 결정한다. 교시에 사용하는 워크는, 실제의 공정에서 사용되는 워크여도 더미 워크여도 된다. 제1 센서 및 제2 센서(24, 25)가 지그(20)에 설치되어 있는 경우, 지그(20)에 설치되어 있는 센서의 위치로부터 얻어지는 로봇의 핸드(7)의 교시 위치는, 지그(20)를 제거하여 실제로 워크를 반송할 때에 핸드(7)의 위치로부터는 오프셋되어 있게 된다. 지그(20)의 형상이나 설계 치수에 따라 이 오프셋에 관한 정보를 파라미터로서 미리 산출해 두고, 지그(20)를 사용하여 얻은 교시 위치에 대하여 오프셋에 의한 보정을 행하여, 로봇에 의해 워크를 반송할 때에 실제로 사용하는 교시 위치로 한다.Next, the teaching operation in the robot of the present embodiment will be described. Since the robot of the present embodiment conveys the work, the aim of the teaching is to set the position of the work stored in the stage, specifically the position of the end in the height direction of the work and the center position in the horizontal plane of the work, It is obtained by a fixed coordinate system. In the present embodiment, as the automatic teaching, the position of the end portion in the height direction of the work and the center position in the horizontal plane of the workpiece are automatically determined. In the teaching, the robot is moved using the detection results of the first sensor (the light emitting portion 22 and the light receiving portion 23) and the second sensor 24, 25 provided on the hand 7 of the robot, Thereby accurately determining the positional relationship between the work and the robot stored in the stage. The work used in the teaching may be a dummy work or a work used in an actual process. The teaching position of the robot's hand 7 obtained from the position of the sensor provided on the jig 20 is determined by the position of the jig 20 when the first sensor and the second sensor 24, And is offset from the position of the hand 7 when actually transporting the work. Information regarding this offset is calculated in advance as a parameter according to the shape and design dimensions of the jig 20, the offset is corrected with respect to the teaching position obtained using the jig 20, and the workpiece is carried by the robot The teaching position actually used is set.

본 실시 형태에서의 교시에서는, 우선 Z축 방향(높이 방향에서의 워크 위치)의 교시를 행한다. 도 3은 Z축 방향의 교시를 설명하는 도면이다. 교시에 앞서, 스테이지(31) 내의 이상적인 위치에 워크(30)를 설치해 둔다. 이 스테이지(31)의 정면이 되는 위치이며 워크(30)의 로드/언로드시의 대기하는 위치로, 로봇의 핸드(7)를 이동시킨다. 스테이지의 대략적인 위치와 스테이지에 대한 대기 위치는, 미리 로봇에 대하여 입력해 둘 필요가 있다. 이 상태가 도 3의 (a)에 도시되어 있다. 이 상태로부터 자동 교시가 개시하고, 핸드(7)를 스테이지(31)를 향해 점차 이동시킨다. 이때의 핸드(7)의 이동 방향은 Y축 방향이다. 워크(30)의 저면의 높이 위치를 제1 센서에 의해 검출하기 위해, 핸드(7)를 Y축 방향으로 이동시키면서, 도 3의 (b)에 도시한 바와 같이, 로봇의 베이스(2)에 마련된 승강 기구(8)(도 1의 (b) 참조)에 의해 핸드(7)를 일정한 진폭으로 Z축 방향, 즉 상하 방향으로 왕복 이동시킨다. 도시한 예에서는, 핸드(7)의 선단이 직사각형 물결 형상으로 Z축 방향으로 진동하면서 Y축 방향으로 이동하도록, 핸드(7)를, Y축 방향으로 소정의 제1 거리만큼 이동시키고, 이어서 Z축 방향으로 소정의 제2 거리만큼 움직이게 하고, 다시 제1 거리만큼 Y축 방향으로 이동시키고, 그 후, 먼저 Z축 방향으로 움직이게 한 방향과는 역방향으로 제2 거리만큼 이동시킨다. 이러한 이동은, 로봇 컨트롤러(11) 혹은 티칭 펜던트(12)에 의한 제어에 의해 자동적으로 행해진다. 이 이동 공정을 반복함으로써, 핸드(7)는 점차 워크(30)에 접근하고, 제1 센서의 발광부(22)로부터 수광부(23)를 향해 있는 레이저광이, 핸드(7)가 Z축 방향으로 상하 이동하고 있을 때에 차단되며, 제1 센서가 의해 워크(30)가 검출되게 된다. 워크(30)를 검출하는 과정에서 핸드(7)가 워크(30)에 접촉하면 워크(30)로 위치가 움직여서 교시를 잘 실시할 수 없게 되기 때문에, 원판 형상의 워크(30)에 접촉하지 않도록 핸드(7)를 움직이게 할 필요가 있으며, 이 때문에 핸드(7)의 선단측이 V자 형상으로 벌어져 있는 것이 중요하다. Z축 방향에서 핸드(7)가 어느 위치(즉 Z 높이)에 있을 때에 레이저광이 차단되어 제1 센서에 의해 워크(30)가 검출되었는지를 구함으로써, 워크(30)의 Z축 방향에서의 위치를 구할 수 있으며, 이에 기초하여 Z축 방향에서의 로봇의 교시가 행해지게 된다. 워크(30)의 Z 높이가 결정되면, 핸드(7)는 자동적으로 대기 위치까지 후퇴한다.In the teaching in this embodiment, first, the teaching of the Z-axis direction (work position in the height direction) is performed. Fig. 3 is a view for explaining teaching in the Z-axis direction. Prior to the teaching, the work 30 is disposed at an ideal position in the stage 31. [ The robot hand 7 is moved to a position at which the stage 31 becomes the front face and to a standby position when the work 30 is loaded / unloaded. The approximate position of the stage and the waiting position with respect to the stage need to be input to the robot in advance. This state is shown in Fig. 3 (a). From this state, automatic teaching starts, and the hand 7 is gradually moved toward the stage 31. At this time, the movement direction of the hand 7 is the Y-axis direction. 3 (b), while the hand 7 is moved in the Y-axis direction in order to detect the height position of the bottom surface of the work 30 by the first sensor, The hand 7 is reciprocally moved in the Z-axis direction, that is, the up-and-down direction at a constant amplitude by the elevating mechanism 8 (see Fig. 1 (b) In the illustrated example, the hand 7 is moved by a predetermined first distance in the Y-axis direction so that the tip of the hand 7 moves in the Y-axis direction while oscillating in the Z- Axis direction by a predetermined second distance, moves again in the Y-axis direction by a first distance, and then moves by a second distance in a direction opposite to the direction of movement in the Z-axis direction first. This movement is automatically performed by the control by the robot controller 11 or the teaching pendant 12. [ By repeating this moving process, the hand 7 gradually approaches the work 30 and the laser light directed from the light emitting portion 22 of the first sensor to the light receiving portion 23 is moved in the Z-axis direction The workpiece 30 is detected by the first sensor. When the hand 7 is in contact with the work 30 in the process of detecting the work 30, the position of the work 30 is moved by the work 30 and the teaching can not be performed well. Therefore, It is necessary to move the hand 7, and therefore, it is important that the tip end side of the hand 7 spreads in a V-shape. It is determined whether or not the work 30 is detected by the first sensor when the laser light is blocked when the hand 7 is at the position (i.e., Z-height) in the Z-axis direction. And based on this, the teaching of the robot in the Z-axis direction is performed. When the Z height of the work 30 is determined, the hand 7 automatically retracts to the standby position.

도 4는, Z축 방향의 교시를 행하고 있을 때에 있어서의 워크(30)와 핸드(7)의 선단의 위치 관계를 도시하는 도면이며, 도면에 있어서 굵은 선(35)은, 제1 센서의 광축 위치에서 표시되는 핸드(7)의 선단 위치를 나타내고 있다. 핸드(7)가 Y축 방향으로 움직이면서 Z축 방향(상하 방향)으로 왕복 운동하고 있으면, 제1 센서에 있어서 레이저광이 워크(30)에 의해 차광되는 현상은 몇 가지 경우로 분류할 수 있다. 워크(30)에 의해 제1 센서의 레이저광이 차광될 때에는, 핸드(7)의 선단이 워크(30)의 위치에 달한 후, 핸드(7)의 상하 운동에 따라 차광된다. 핸드(7)의 상하 운동은 반복하여 행해지기 때문에, 차광은 주기적으로 일어나게 된다. 도 4 의 (a)는, 1회째의 차광이 핸드(7)의 하강 동작 중에 일어난 경우를 나타내고 있으며, 이 예에서는, 차광 개시시의 타이밍으로부터는 워크(30)의 상면의 Z 높이가 얻어지게 된다. 본 실시 형태에서 교시를 행하고 있는 로봇은, 워크(30)를 밑에서부터 지지하여 반송하는 반송용의 로봇이기 때문에, 워크(30)의 상면의 Z 높이를 구해도 교시를 행한 것으로 되지는 않는다. 도 4의 (b)는, 1회째의 차광이 핸드(7)의 하강 동작 중에 일어난 경우의 다른 예를 나타내고 있다. 워크(30)의 외측 모서리(에지)는, 통상 둥그스름해진 단면 형상으로 되어 있으며, 도 4의 (b)에 나타낸 것은, 워크(30)의 외측 모서리를 Z 높이로서 검출한 것을 나타내고 있다. 이 경우도 교시를 행한 것이 되지 않는다. 도 4의 (c)는, 2회째의 차광이 핸드(7)의 상승 동작 중에 일어난 예를 나타내고 있다. 이 경우, 도 4의 (c)에 도시한 바와 같이, 워크(30)의 하면이 아니라 워크(30)의 외측 모서리를 Z 높이로서 검출하는 경우가 있으며, 교시에 사용하기에는 부적절하다. 이에 비해, 도 4의 (d)는, 차광이 발생하는 상승 동작 중 2회째의 상승 동작에 의해 워크(30)의 Z 높이를 구한 경우를 나타내고 있다. 2회째의 상승 동작에서 검출되는 Z 높이는, 워크(30)의 하면의 Z 높이, 즉 Z축 방향에서의 참된 위치를 나타내고 있기 때문에, 이것을 Z축 방향의 교시 결과로서 사용하면 된다.4 is a diagram showing the positional relationship between the ends of the work 30 and the hand 7 when the teaching in the Z-axis direction is performed. In the figure, the thick line 35 indicates the positional relationship between the optical axis Position of the hand 7 displayed in the position shown in Fig. When the hand 7 reciprocates in the Z-axis direction (vertical direction) while moving in the Y-axis direction, the phenomenon that the laser light is shielded by the work 30 in the first sensor can be classified into several cases. When the laser light of the first sensor is shielded by the work 30, the tip of the hand 7 reaches the position of the work 30, and then the light is shielded by the upward and downward movement of the hand 7. Since the upward and downward movement of the hand 7 is repeatedly performed, the light shielding periodically occurs. 4A shows a case where the first shading occurs during the descent operation of the hand 7. In this example, the Z height of the upper surface of the work 30 is obtained from the timing at the start of shading, do. Since the robot performing the teaching in the present embodiment is a carrying robot that carries and supports the work 30 from below, even if the Z height of the upper surface of the work 30 is determined, teaching is not performed. Fig. 4 (b) shows another example in which the first shading occurs during the descent operation of the hand 7. Fig. The outer edge (edge) of the work 30 has a generally rounded cross-sectional shape, and FIG. 4 (b) shows that the outer edge of the work 30 is detected as the Z height. In this case, too, the teaching is not performed. Fig. 4 (c) shows an example in which the second shading occurs during the lifting operation of the hand 7. Fig. In this case, as shown in Fig. 4C, the outer edge of the work 30, rather than the lower surface of the work 30, may be detected as the Z height, which is inappropriate for use in teaching. 4 (d) shows a case in which the Z height of the work 30 is obtained by the second rising operation of the rising operation in which the shielding is generated. Since the Z height detected in the second ascending operation represents the Z height of the lower surface of the work 30, that is, the true position in the Z axis direction, this can be used as the result of teaching in the Z axis direction.

이상 설명한 Z축 방향에서의 교시에서는, 핸드(7)를 Y축 방향으로 움직이게 하면서, 핸드(7)의 선단의 궤적이 구형파 형상이 되도록 핸드(7)를 상하 방향(Z축 방향)으로 왕복 이동시키고 있지만, 핸드(7)의 상하 방향으로의 왕복 이동의 형태는 이것으로 한정되는 것은 아니다. 핸드(7)의 선단이 삼각파 형상의 궤적을 그리도록 핸드(7)를 움직여도 되고, 혹은 정현파 형상의 궤적을 그리도록 핸드(7)를 움직여도 된다.In the above-described teaching in the Z-axis direction, while the hand 7 is moved in the Y-axis direction, the hand 7 is reciprocated in the vertical direction (Z-axis direction) so that the trajectory of the tip of the hand 7 becomes a square- However, the shape of the reciprocating movement of the hand 7 in the vertical direction is not limited to this. The hand 7 may be moved so that the tip of the hand 7 draws a trajectory of a triangular waveform or the hand 7 may be moved so as to draw a locus of a sinusoidal shape.

Z축 방향의 교시에 이어서, X축 및 Y축 방향의 자동 교시(수평 면내 위치에 대한 교시)를 행한다. X축 및 Y축 방향의 교시에서는, 핸드(7)를 실제로 카세트(31) 내에 삽입하여 워크(30)의 X축 방향 및 Y축 방향의 위치를 검출한다. 이때, 핸드(7)가 워크(30)와 충돌하거나 접촉하거나 하지 않도록, Z축 방향에서의 교시에서 구한 워크(30)의 하면의 Z 높이에 기초하여, 핸드(7)의 Z축 방향의 위치를 결정한다. 도 5는 X축 및 Y축 방향의 교시를 설명하는 도면이다. 우선, 도 5의 (a)에 도시한 바와 같이, Z 방향의 교시에서 얻어진 결과에 기초하여 핸드(7)의 높이를 설정하고, 핸드(7)를 스테이지(31)에 대한 대기 위치로 이동시킨다. 이어서, 도 5의 (b)에 도시한 바와 같이, 핸드(7)를 Y축 방향으로 직선적으로 전진시킨다. 그 결과, 핸드(7)가 워크(30)에 접촉하지 않고, 제2 센서(24, 25)의 적어도 한쪽에 있어서 워크(30)가 그 제2 센서(24, 25)의 개구에 들어가서 차광이 발생한다. 이때, 핸드(7)가 워크(30)에 대하여 정확하게 위치 부여되어 있으면 제2 센서(24, 25)에서의 차광이 동시에 발생하지만, 실제로는 제2 센서(24, 25)의 한쪽에 있어서 먼저 차광이 발생한다. 제2 센서(24, 25) 중 어느 쪽에서 먼저 차광이 발생하는지에 따라, X축 및 Y축 방향의 교시에 있어서의 동작 패턴이 2가지로 되게 된다.Following the teaching in the Z-axis direction, automatic teaching (teaching about the in-plane position in the horizontal plane) is performed in the X-axis and Y-axis directions. In the teaching of the X-axis and Y-axis directions, the hand 7 is actually inserted into the cassette 31 to detect the position of the work 30 in the X-axis direction and the Y-axis direction. At this time, on the basis of the Z height of the lower surface of the work 30 obtained from the teaching in the Z-axis direction, the position of the hand 7 in the Z-axis direction . Fig. 5 is a view for explaining teaching in the X-axis and Y-axis directions. First, as shown in Fig. 5A, the height of the hand 7 is set based on the result obtained in the teaching in the Z direction, and the hand 7 is moved to the standby position with respect to the stage 31 . Then, as shown in Fig. 5 (b), the hand 7 is linearly advanced in the Y-axis direction. As a result, the work 30 does not come into contact with the work 30 and at least one of the second sensors 24 and 25 enters the openings of the second sensors 24 and 25, Occurs. At this time, if the hand 7 is precisely positioned relative to the work 30, light shielding by the second sensors 24 and 25 occurs at the same time, but actually, in one of the second sensors 24 and 25, Lt; / RTI > Depending on which one of the second sensors 24 and 25 first generates the light shielding, there are two operation patterns in the teaching of the X-axis and Y-axis directions.

도 6의 (a)는, 핸드(7)의 진행 방향에 대하여 좌측에 있는 제2 센서(24)에 있어서 우측에 있는 제2 센서(25)보다도 먼저 차광이 발생한 경우를 나타내고 있다. 이 경우, 제2 센서(24)에 있어서 차광을 검출한 단계에서 핸드(7)의 전진(Y축 방향으로의 이동)을 정지하고, 그 후, X축을 따라 도시된 화살표로 나타낸 바와 같이 핸드(7)를 좌측 방향으로 이동시킨다. 그 결과, 우측의 제2 센서(25)에 있어서 차광이 발생하기 때문에, 제2 센서(25)에서의 차광의 발생을 검출한 후, 핸드(7)를 대기 위치로 후퇴시킨다. 한편, 도 6의 (b)는, 우측에 있는 제2 센서(25)에 있어서 좌측의 제2 센서(24)보다도 먼저 차광이 발생한 경우를 나타내고 있다. 이 경우, 제2 센서(25)에 있어서 차광을 검출한 단계에서 핸드(7)의 전진을 정지하고, 그 후 X축을 따라 도시된 화살표로 나타낸 바와 같이, 좌측의 제2 센서(24)에 있어서 차광이 발생할 때까지 핸드(7)를 우측 방향으로 이동시키고, 제2 센서(24)에서의 차광의 발생을 검출한 후, 핸드(7)를 대기 위치로 후퇴시킨다.6A shows a case where the second sensor 24 located on the left side with respect to the traveling direction of the hand 7 generates light shading earlier than the second sensor 25 on the right side. In this case, the forward movement (movement in the Y-axis direction) of the hand 7 is stopped at the stage of detecting the light shielding by the second sensor 24, and thereafter, as shown by arrows along the X- 7 in the left direction. As a result, since the second sensor 25 on the right side generates light shielding, after detecting the occurrence of the light shielding in the second sensor 25, the hand 7 is retracted to the standby position. On the other hand, FIG. 6 (b) shows the case where the second sensor 25 on the right side has a light shielding earlier than the second sensor 24 on the left side. In this case, the forward movement of the hand 7 is stopped at the step of detecting the light shielding by the second sensor 25, and thereafter, as indicated by arrows along the X axis, in the left second sensor 24 The hand 7 is moved to the right until the shading occurs and the occurrence of the light shielding in the second sensor 24 is detected and then the hand 7 is retracted to the standby position.

도 6의 (a) 또는 도 6의 (b)에 도시한 처리를 행함으로써, 제2 센서(24, 25)에 있어서 차광이 일어났을 때의 워크(30)의 외측 모서리의 XY 좌표가 취득된다. 핸드(7)의 전진 방향에 대하여 좌측의 제2 센서(24)에 의해 취득되는 좌표를 (Xa,Ya)로 하고, 우측의 제2 센서(25)에 의해 취득되는 좌표를 (Xb,Yb)로 하고, 원판 형상의 워크(30)의 반경을 R이라 하면, 워크(30)의 중심의 XY 좌표 (Xo,Yo)는 하기의 식에 의해 계산된다. 워크(30)의 중심의 XY 좌표 (Xo,Yo)를 취득함으로써, X축 및 Y축 방향에 관한 교시가 행해지게 된다.6A or 6B, the XY coordinates of the outer edge of the work 30 when the second sensor 24, 25 is shielded is obtained . The coordinates acquired by the second sensor 24 on the left side with respect to the advancing direction of the hand 7 are represented by (Xa, Ya) and the coordinates acquired by the second sensor 25 on the right side are represented by (Xb, Yb) And the radius of the disk-shaped work 30 is R, the XY coordinates (Xo, Yo) of the center of the work 30 is calculated by the following equation. By acquiring the XY coordinates (Xo, Yo) of the center of the work 30, teaching about the X-axis and Y-axis directions is performed.

Figure pat00002
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그런데, 본 실시 형태에 있어서의 자동 교시는, 지그(20)에 설치한 제1 센서(발광부(22) 및 수광부(23))와 제2 센서(24, 25)에 있어서의 검출 결과에 기초하고 있다. 로봇을 실제로 가동하여 워크(30)를 반송할 때에는 지그(20)를 사용하지 않기 때문에, 상술한 바와 같이 지그(20)의 형상이나 설계 치수에 따라 이 오프셋값을 산출하고, 상기한 순서로 취득한 교시 위치에 대하여 오프셋값에 기초한 보정을 행하여, 로봇에 의해 워크를 반송할 때에 실제로 사용하는 교시 위치로 하고 있다. 그러나, 지그(20)의 설치 오차나 각 센서에 있어서의 검지 오차 등 때문에, 지그(20)의 형상이나 설계 치수로부터 구한 오프셋값으로 교시 위치를 보정하는 것만으로는 불충분해지는 경우가 있다. 특히, X축 방향 및 Y축 방향의 위치에 있어서, 설치 오차나 검지 오차의 영향이 강하게 나타난다. 그래서 본 실시 형태에서는, 교시 대상의 스테이지의 수 등에 구애되지 않고, 전체적으로 1회만 캘리브레이션을 행할 필요가 있다. 1회의 캘리브레이션의 결과가 모든 스테이지에 대하여 적용된다.The automatic teaching in the present embodiment is based on the detection results of the first sensor (the light emitting portion 22 and the light receiving portion 23) provided in the jig 20 and the second sensors 24 and 25 . Since the jig 20 is not used when the robot 30 is actually operated and carried by the robot 30, the offset value is calculated according to the shape and design dimensions of the jig 20 as described above. The teaching position is corrected based on the offset value, and the teaching position actually used is used when the workpiece is carried by the robot. However, it may be insufficient to correct the teaching position by an offset value obtained from the shape and the design dimension of the jig 20, due to an installation error of the jig 20 or a detection error in each sensor. Particularly, in the positions in the X-axis direction and the Y-axis direction, the influence of installation error and detection error is strong. Therefore, in the present embodiment, it is necessary to carry out calibration only once, regardless of the number of stages to be taught. The results of one calibration are applied to all stages.

이하, 캘리브레이션에 대하여 설명한다.The calibration will be described below.

도 7 및 도 8은 캘리브레이션을 설명하는 도면이다. 도 7에 도시한 바와 같이 캘리브레이션에서는, 조작자 등의 인간에 의해 핸드(7)에 있어서의 이상적인 위치에 워크(30)를 배치한다. 그리고, 로봇을 조작하여 어느 스테이지(31)에 워크(30)를 수납한다. 워크(30)가 수납되는 스테이지(31)에 제한은 없으며, 가설의 스테이지(31)에 대하여 워크(30)를 수납해도 된다. 이어서, 상술한 Z축 방향의 자동 교시를 행하여, 핸드(7)의 스테이지(31)에 대한 삽입 높이를 계산하고, 그 후 캘리브레이션 모드로서 상술한 X축 및 Y축 방향의 자동 교시와 마찬가지의 처리에 의해, XY 좌표에 있어서의 워크(30)의 위치를 결정한다. 도 8은, 이 때 얻어지는 워크(30)의 위치를 설명하는 도면이다. 로봇을 조작하여 스테이지(31)에 워크(30)를 수납할 때에는 로봇의 이동 경로가 기록되어 있기 때문에, 스테이지(31)에 수납된 워크(30)에 대하여 로봇에 고정된 좌표계에 있어서의 실제의 위치가 취득되게 된다. 도 8에 있어서 실선으로 나타내는 원(41)은, 워크(30)의 실제의 위치를 나타내고 있다. 한편, 도 8에 있어서 파선으로 나타내는 원(42)은, 캘리브레이션 모드에서 결정된 워크(30)의 위치를 나타내고 있다. 이들 두 원(41, 42)의 어긋남(D)은, 보정해야 할 어긋남이며 캘리브레이션 결과가 되는 것이다. 도 8에 도시한 바와 같은 어긋남(D)은, 각 스테이지에 관한 교시를 행하고 있을 때에 항상 존재하지만, 스테이지마다 크기와 어긋남의 방향은 동일하다. 따라서, 1회의 캘리브레이션에 의해 어긋남(D)을 결정하고, 이 어긋남(D)에 기초하여 교시 결과를 보정하면, 각 스테이지에 있어서 지그(20)의 설치 오차나 센서의 검지 오차에 의한 영향을 완전히 배제할 수 있으며, X축 및 Y축에 관한 실제의 교시 좌표를 얻을 수 있다.7 and 8 are diagrams for explaining the calibration. As shown in Fig. 7, in the calibration, the work 30 is disposed at an ideal position in the hand 7 by a human such as an operator. Then, the work 30 is housed in a certain stage 31 by operating the robot. There is no limitation to the stage 31 in which the work 30 is housed, and the work 30 may be stored in the stage 31 of the temporary construction. Subsequently, the above-described automatic teaching in the Z-axis direction is performed to calculate the insertion height of the hand 7 with respect to the stage 31, and thereafter, the same processing as the automatic teaching in the X- and Y- The position of the work 30 in the XY coordinates is determined. 8 is a view for explaining the position of the work 30 obtained at this time. The movement path of the robot is recorded at the time of storing the work 30 in the stage 31 by operating the robot so that the actual movement of the work 30 in the coordinate system fixed to the robot with respect to the work 30 stored in the stage 31 The position is acquired. The circle 41 shown by the solid line in Fig. 8 indicates the actual position of the work 30. Fig. On the other hand, a circle 42 indicated by a broken line in FIG. 8 indicates the position of the work 30 determined in the calibration mode. The shift D of these two circles 41 and 42 is a deviation to be corrected and is a calibration result. The shift D as shown in Fig. 8 is always present when teaching about each stage, but the direction and the direction of deviation are the same for each stage. Therefore, if the deviation D is determined by one calibration and the teaching results are corrected based on the deviation D, the influence of the installation error of the jig 20 and the detection error of the sensor can be completely And actual teaching coordinates about the X-axis and the Y-axis can be obtained.

[본 실시 형태의 효과] [Effect of this embodiment]

본 실시 형태에 따르면, 제1 센서의 발광부(22) 및 수광부(23)와 제2 센서(24, 25)를 갖는 지그(20)를 핸드(7)에 설치할 뿐, 각 스테이지(31)측에는 지그나 센서류를 필요로 하지 않으며, 또한 특별한 교시용 워크도 사용하지 않고, 반송용 로봇에 있어서의 자동 교시를 저비용이면서 간단한 사전 준비로 실행할 수 있다. 또한, Z축 방향의 교시와, 이 교시 결과를 사용한 X축 및 Y축 방향의 교시의 2단계로 자동 교시를 행하기 때문에, 높은 정밀도이면서 높은 효율로 교시를 행할 수 있다.The jig 20 having the light emitting portion 22 and the light receiving portion 23 of the first sensor and the second sensors 24 and 25 is provided on the hand 7 only, It is not necessary to use a jig or a sensor, and the automatic teaching of the carrying robot can be carried out at a low cost and with a simple preparation without using a special teaching work. Further, the automatic teaching is performed in two steps of teaching in the Z-axis direction and teaching in the X-axis and Y-axis directions using the result of the teaching, so that the teaching can be performed with high accuracy and high efficiency.

2: 베이스
3 내지 5: 암
6, 7: 핸드
8: 승강 기구
17: 돌기
20: 지그
22: 발광부
23: 수광부
24, 25: 제2 센서
26: 절결부
30: 워크
31: 스테이지2: Base
3 to 5: Cancer
6, 7: Hand
8: lifting mechanism
17: projection
20: Jig
22:
23:
24, 25: second sensor
26:
30: Work
31: stage

Claims (13)

워크를 지지하는 핸드와 승강 기구를 적어도 구비하고, 상기 워크를 반송하는 로봇이며,
상기 워크를 로드/언로드할 때에 상기 핸드의 이동 방향을 제1 방향으로 하고, 상기 제1 방향과 상하 방향으로 직교하는 방향을 제2 방향으로 하여,
상기 핸드에 설치되며 발광부와 수광부를 구비하여 상기 제2 방향에 평행한 광축을 갖는 제1 센서와,
상기 핸드에 설치되며 상기 워크의 외측 모서리를 검출하는 제2 센서
를 갖고,
상기 핸드를 상기 상하 방향으로 왕복 이동시킴에 따른 상기 제1 센서에서의 차광에 의해 상기 워크의 높이 방향의 단부를 검출하고, 상기 제2 센서에 의해 상기 워크의 상이한 외측 모서리를 검출하여, 상기 워크의 중심 위치를 산출하는 로봇.A robot that has at least a hand and a lifting mechanism for supporting a work,
Wherein a direction of movement of the hand is a first direction when the work is loaded / unloaded, and a direction orthogonal to the first direction is a second direction,
A first sensor provided on the hand and having a light emitting portion and a light receiving portion and having an optical axis parallel to the second direction;
A second sensor installed on the hand and detecting an outer edge of the work;
Lt; / RTI &
The end of the work in the height direction is detected by the light shielding by the first sensor according to the reciprocating movement of the hand in the up and down direction and the different outer edge of the work is detected by the second sensor, The center position of the robot is calculated. 제1항에 있어서, 상기 제1 센서는, 상기 제1 방향을 따라 상기 제2 센서보다도 상기 워크에 가까운 위치에 설치되어 있는 로봇.The robot according to claim 1, wherein the first sensor is disposed at a position closer to the work than the second sensor along the first direction. 제2항에 있어서, 상기 핸드의 상기 워크를 향하는 선단은, 상기 워크가 상기 핸드 및 상기 제1 센서에 접촉하지 않고 상기 워크에 의해 상기 제1 센서의 광축을 가로막을 수 있도록, 상기 선단을 향해 V자형 또는 U자형으로 벌어지도록 분기되어 있는 로봇.3. The apparatus of claim 2, wherein a tip of the hand toward the workpiece is directed toward the tip such that the workpiece is not in contact with the hand and the first sensor and is able to block the optical axis of the first sensor by the workpiece V-shaped or U-shaped. 제1항에 있어서, 상기 제2 센서는, 상기 상하 방향으로 배치한 발광 소자 및 수광 소자를 구비하고,
상기 발광 소자 및 상기 수광 소자는, 상기 워크에 근접하는 방향으로의 상기 제1 방향을 따른 상기 핸드의 움직임에 따라 상기 발광 소자 및 상기 수광 소자의 사이의 공간에 상기 워크의 상기 외측 모서리를 받아들일 수 있도록 배치되어 있는 로봇.The light emitting device according to claim 1, wherein the second sensor comprises a light emitting element and a light receiving element arranged in the vertical direction,
Wherein the light emitting element and the light receiving element receive the outer edge of the work in a space between the light emitting element and the light receiving element in accordance with the movement of the hand along the first direction in a direction approaching the work The robot is arranged to be able to. 제4항에 있어서, 상기 제2 센서는, 상기 제1 방향으로부터 상기 워크의 중심측으로 기운 방향에 대하여 상기 제2 센서의 설치 위치로부터 연장되는 상완 및 하완을 갖고, 상기 상완 및 상기 하완의 한쪽에 상기 발광 소자가, 다른쪽에 상기 수광 소자가 마련되며, 전체로서 역ㄷ자형의 단면을 갖고,
상기 상완 및 상기 하완은 상기 워크의 중심을 향해 연장되어 있는 로봇.5. The sensor according to claim 4, wherein the second sensor has an upper arm and a lower arm extending from an installation position of the second sensor with respect to a direction in which the workpiece moves from the first direction to a center side of the work, Wherein said light emitting element is provided on the other side with said light receiving element and has a cross-
And the upper arm and the lower arm extend toward the center of the work. 제1항에 있어서, 상기 제1 센서 및 상기 제2 센서는, 상기 핸드에 분리 가능하게 설치되는 지그에 탑재되어 있는 로봇.The robot according to claim 1, wherein the first sensor and the second sensor are mounted on a jig that is detachably mounted on the hand. 제6항에 있어서, 상기 지그의 외형이 상기 워크의 외형의 일부와 일치하는 로봇.The robot according to claim 6, wherein an outer shape of the jig coincides with a part of an outer shape of the work. 제6항에 있어서, 상기 핸드에 상기 워크의 회전 방지용의 돌기를 갖고, 상기 지그의 외주에 상기 돌기와 걸림 결합하는 절결부를 갖는 로봇.7. The robot according to claim 6, wherein the hand has a projection for preventing rotation of the work and has a notch portion engaging with the projection on the outer periphery of the jig. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제2 방향을 따라 서로 이격하여 배치한 두 상기 제2 센서를 갖는 로봇.9. The robot according to any one of claims 1 to 8, comprising two said second sensors spaced apart from each other along said second direction. 제9항에 있어서, 상기 제1 방향을 Y축 방향으로 하고 상기 제2 방향을 X축 방향으로 하는 XY 좌표계에 있어서, 한쪽의 상기 제2 센서가 차광됨으로써 검출되는 상기 워크의 외측 모서리의 XY 좌표를 (Xa,Ya)로 하고, 다른쪽의 상기 제2 센서가 차광됨으로써 검출되는 상기 워크의 외측 모서리의 XY 좌표를 (Xb,Yb)로 하고, 상기 워크는 반경 R의 원판 형상으로 하여,
상기 워크의 중심 좌표 (Xo,Yo)를
Figure pat00003

에 의해 산출하는 로봇.10. The XY coordinate system according to claim 9, wherein in the XY coordinate system in which the first direction is the Y axis direction and the second direction is the X axis direction, XY coordinates of the outer edge of the work detected by one of the second sensors (Xa, Ya), and the XY coordinate of the outer edge of the work detected by the other second sensor is shielded by (Xb, Yb), and the work has a disk shape of radius R,
The center coordinates (Xo, Yo) of the work
Figure pat00003

. 워크를 지지하는 핸드와 승강 기구를 적어도 구비하고, 상기 워크를 반송하는 로봇의 교시 방법이며,
상기 워크를 로드/언로드할 때에 상기 핸드의 이동 방향을 제1 방향으로 하여,
상기 핸드의 상기 제1 방향을 따른 상기 워크를 향하는 전진 운동과 상기 핸드의 상하 방향에서의 왕복 이동을 조합하고, 상기 워크의 하단을 검출하는 과정에 있어서,
상기 워크의 상승에 의해 상기 워크의 하단을 검출할 때에, 검출에 관한 1회째의 상승에서의 검출 결과를 파기하고 2회째의 상승에서의 검출 결과에 기초하여 상기 워크의 하단의 높이를 결정하는 교시 방법.There is provided a teaching method of a robot that includes at least a hand for supporting a work and a lifting mechanism,
Wherein when the work is loaded / unloaded, the movement direction of the hand is the first direction,
In the process of combining the forward movement of the hand toward the work along the first direction and the reciprocating movement of the hand in the vertical direction and detecting the bottom of the work,
Wherein a detection result at the first rise of detection is discarded when the lower end of the work is detected by the rise of the work and a height of the lower end of the work is determined based on the detection result at the second rise Way. 제11항에 있어서, 상기 결정된 상기 워크의 하단의 높이에 기초하여 상기 핸드의 높이를 설정하고, 그 후 상기 워크를 향해 상기 핸드를 상기 워크를 향하게 하여 더욱 전진시켜, 상기 핸드에 설치된 센서에 의해 상기 워크의 상이한 외측 모서리의 위치를 검출하는 교시 방법.The method according to claim 11, further comprising: setting the height of the hand based on the determined height of the lower end of the work; thereafter advancing the hand toward the work toward the work, And detecting a position of a different outer edge of the workpiece. 제12항에 있어서, 상기 로봇을 기준으로 하는 좌표에 있어서 기지의 위치에 배치된 워크에 대하여, 상기 센서에 의해 상기 워크의 상이한 외측 모서리의 위치를 검출하여 상기 워크의 위치를 산출하고, 상기 기지의 위치와 상기 산출된 워크의 위치에 기초하여 교시 위치의 보정을 행하는 교시 방법.The robot control method according to claim 12, wherein the position of the work is detected by detecting a position of a different outer edge of the work with respect to the work disposed at a known position in coordinates based on the robot, And correcting the teaching position based on the calculated position of the work.
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