JP7023094B2 - robot - Google Patents

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Description

本発明は、ワークを搬送するロボットに関する。 The present invention relates to a robot that conveys a work.

ワークを搬送するロボットは、一般に、ワークを保持するハンドと、ハンドを先端に備えて連結した複数のアームと、アーム及びハンドを全体として昇降させる昇降機構とを備えている。このようなロボットは、ワークのロード／アンロードの対象であるステージの相互間でワークを搬送する。ステージには、ワークの搬送元及び搬送先となる例えば、カセットやワーク処理装置などが含まれる。ステージに対してワークをロード／アンロードする際には、ハンドは、ステージの正面となる位置において、ステージに対して前後する方向で移動する。以下の説明においてこの方向をハンドの移動方向と呼ぶ。例えば特許文献１には、ワークの搬送に用いられる水平多関節型ロボットの一例が開示されている。 A robot that conveys a work generally includes a hand that holds the work, a plurality of arms that are connected with the hand at the tip, and an elevating mechanism that raises and lowers the arm and the hand as a whole. Such a robot transports the work between stages that are the targets of loading / unloading the work. The stage includes, for example, a cassette, a work processing device, and the like, which are the transfer source and transfer destination of the work. When loading / unloading the work with respect to the stage, the hand moves in the front-back direction with respect to the stage at a position in front of the stage. In the following description, this direction is referred to as the hand movement direction. For example, Patent Document 1 discloses an example of a horizontal articulated robot used for transporting a work.

ワークの搬送に用いられるロボットを使用する際には、予めワークの搬送経路をロボットに教示する必要があり、教示には、ステージ内のワークの格納位置をロボットに覚えさせることも含まれる。これまで教示は、作業員による手動操作で行なわれてきた。しかしながら、手動操作であるので、教示効率や教示の確かさには作業員の操作経験に大きく依存する。また、近年、ロボットが設けられてアームやハンドを移動させることが可能な空間が狭くなってきており、このため作業員がロボットを教示するときの視界が悪くなって手動教示を行うことが難しくなる傾向にある。そこで、この様な状況を打開するために、各種の自動教示方法が提案されている。例えば特許文献２には、水平面内かつハンドの移動方向に垂直な方向に沿って照射された光を検出する第１の光学センサと、水平面内かつハンドの移動方向に対して斜めの方向に沿って照射された第２の光センサとを用いて教示用のワーク（ダミーワーク）を検出し、この検出結果に基づいて教示を行なうことが開示されている。特許文献３には、水平面内において、ステージに対するハンドの移動方向に対して直交する方向に間隔をあけて２つのセンサを配置し、この２つのセンサを用いてワークのエッジを検出し、この検出結果に基づいてずれ量の算出と座標系変換とを行なって教示ポイントを取得することが開示されている。 When using a robot used for transporting a work, it is necessary to teach the robot the transport path of the work in advance, and the teaching also includes making the robot remember the storage position of the work in the stage. Until now, teaching has been performed manually by workers. However, since it is a manual operation, the teaching efficiency and the certainty of the teaching greatly depend on the operation experience of the worker. Further, in recent years, the space where a robot is provided and an arm or a hand can be moved has become narrower, which makes it difficult for a worker to perform manual teaching due to poor visibility when teaching the robot. It tends to be. Therefore, in order to overcome such a situation, various automatic teaching methods have been proposed. For example, Patent Document 2 describes a first optical sensor that detects light emitted in a horizontal plane and along a direction perpendicular to the moving direction of the hand, and a first optical sensor in the horizontal plane and along an oblique direction with respect to the moving direction of the hand. It is disclosed that a work for teaching (dummy work) is detected by using the second optical sensor irradiated with the light, and the teaching is performed based on the detection result. In Patent Document 3, two sensors are arranged in a horizontal plane at intervals in a direction orthogonal to the moving direction of the hand with respect to the stage, and the edge of the work is detected by using these two sensors, and this detection is performed. It is disclosed that a teaching point is obtained by calculating a deviation amount and performing coordinate system conversion based on the result.

特許第５１９９１１７号公報Japanese Patent No. 5199117 特開２０１６－１０７３７８号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2016-107378 特開２００９－１６０６７９号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2009-160679

ワークを搬送するロボットの自動教示の方法として各種の方法が提案されているが、これらの方法では、特殊な構造のダミーワークを使用したり、ロボットとは別個にセンサを設けたり、あるいは教示用の治具付きステージを使用したりする。その結果、教示のための機構や手順が複雑化する。また、教示の精度においても改良の余地がある。 Various methods have been proposed as a method for automatically teaching a robot that conveys a work. In these methods, a dummy work having a special structure is used, a sensor is provided separately from the robot, or for teaching. Use a stage with a jig. As a result, the mechanism and procedure for teaching become complicated. There is also room for improvement in the accuracy of teaching.

本発明の目的は、ダミーワークなどを必要とせず、簡単な機構で正確な自動教示を行うことができるロボットを提供することにある。 An object of the present invention is to provide a robot that does not require a dummy work or the like and can perform accurate automatic teaching with a simple mechanism.

本発明のロボットは、ワークを支持するハンドと昇降機構とを少なくとも備え、ワークを搬送するロボットであって、ワークをロード／アンロードするときにハンドの移動方向を第１方向とし、第１方向と上下方向とに直交する方向を第２方向として、ハンドに取り付けられ発光部と受光部とを備えて第２方向に平行な光軸を有する第１センサと、ハンドに取り付けられワークの外縁を検出する第２センサと、を有し、第１センサ及び第２センサは、ハンドに取り外し可能に取り付けられる治具に搭載され、ハンドにワークの回転防止用の突起を有し、治具の外周に突起と係合する切り欠き部を有し、ハンドを上下方向への往復移動させることによる第１センサでの遮光によってワークの高さ方向の端部を検出し、第２センサによってワークの異なる外縁を検出して、ワークの中心位置を算出する。 The robot of the present invention is a robot that includes at least a hand that supports the work and an elevating mechanism to convey the work, and the movement direction of the hand is set as the first direction when loading / unloading the work, and the first direction. The first sensor, which is attached to the hand and has a light emitting part and a light receiving part and has an optical axis parallel to the second direction, and the outer edge of the work attached to the hand, with the direction orthogonal to the vertical direction as the second direction. It has a second sensor for detecting, and the first sensor and the second sensor are mounted on a jig that can be detachably attached to the hand, and the hand has a protrusion for preventing rotation of the work, and the outer periphery of the jig is provided. Has a notch that engages with the protrusion, and detects the end in the height direction of the work by shading with the first sensor by reciprocating the hand in the vertical direction, and the work differs depending on the second sensor. The outer edge is detected and the center position of the work is calculated.

本発明のロボットでは、第１センサによりワークの高さ方向の端部を検出するので、検出された高さ方向の端部の位置に基づき、第２センサによるワークの外縁の検出のために適切な高さ位置を設定できる。このため、ハンドに取り付けられた第２センサによってワークの異なる外縁を検出する処理を自動的に実行でき、自動教示によって、ワークの高さ位置と水平面内でのワークの中心位置とを容易に求めることができるようになる。 In the robot of the present invention, since the first sensor detects the end portion in the height direction of the work, it is appropriate for the second sensor to detect the outer edge of the work based on the position of the detected end portion in the height direction. Height position can be set. Therefore, the process of detecting different outer edges of the work can be automatically executed by the second sensor attached to the hand, and the height position of the work and the center position of the work in the horizontal plane can be easily obtained by the automatic teaching. You will be able to do it.

本発明のロボットでは、第１方向に沿って第２センサよりもワークに近い位置に第１センサを取り付けることができる。このような構成によれば、ワークに近い側に配置された第１センサによってワークの高さ位置を検出できるとともに、第２センサを第１センサから離すことができて各センサの配置の自由度が向上する。このとき、ハンドのワークに向かう先端は、ワークがハンド及び第１センサに接触することなくワークによって第１センサの光軸を遮ることができるように、先端に向かってＶ字型またはＵ字型に広がるように分岐していることが好ましい。このようにＶ字型あるいはＵ字型に広がるようにワークの先端を分岐させることによって、ワークとの衝突を確実に避けながらワークの高さ方向の端部の位置を決定できるようになる。 In the robot of the present invention, the first sensor can be attached at a position closer to the work than the second sensor along the first direction. According to such a configuration, the height position of the work can be detected by the first sensor arranged on the side closer to the work, and the second sensor can be separated from the first sensor, so that the degree of freedom in the arrangement of each sensor is high. Is improved. At this time, the tip of the hand toward the work is V-shaped or U-shaped toward the tip so that the work can block the optical axis of the first sensor by the work without touching the hand and the first sensor. It is preferable that the branch is branched so as to spread to. By branching the tip of the work so as to spread in a V-shape or a U-shape in this way, it becomes possible to determine the position of the end portion in the height direction of the work while surely avoiding collision with the work.

本発明のロボットでは、上下方向に配置した発光素子及び受光素子を備える第２センサを使用し、ワークに近づく向きでの第１方向に沿ったハンドの動きに伴って発光素子及び受光素子の間の空間にワークの外縁を受け入れることができるように発光素子及び受光素子を配置してもよい。この構成によれば、第２センサでの発光素子から受光素子に向かう光軸の向きが上下方向となってワークの外縁をワークの外縁を確実に検出できるようになる。このような第２センサの一例としては、第１方向からワーク中心側に傾いた方向に対して第２センサの取り付け位置から延びる上腕及び下腕を有し、上腕及び下腕の一方に発光素子が、他方に受光素子が設けられ、全体としてコの字型の断面を有するものが挙げられる。このとき、上腕及び下腕はワークの中心に向けて延びていることが好ましい。上腕及び下腕がワークの中心に向けて延びることにより、コの字断面の最奥部にまで第２センサと干渉することなくワークを受け入れることが可能になり、ワークの外縁の検出を確実に行なえるようになる。 In the robot of the present invention, a second sensor including a light emitting element and a light receiving element arranged in the vertical direction is used, and between the light emitting element and the light receiving element as the hand moves along the first direction in a direction approaching the work. A light emitting element and a light receiving element may be arranged so that the outer edge of the work can be received in the space of. According to this configuration, the direction of the optical axis from the light emitting element to the light receiving element in the second sensor is in the vertical direction, and the outer edge of the work can be reliably detected. As an example of such a second sensor, it has an upper arm and a lower arm extending from the mounting position of the second sensor in a direction inclined from the first direction toward the center of the work, and a light emitting element is provided on one of the upper arm and the lower arm. However, the other side is provided with a light receiving element and has a U-shaped cross section as a whole. At this time, it is preferable that the upper arm and the lower arm extend toward the center of the work. By extending the upper and lower arms toward the center of the work, it is possible to receive the work up to the innermost part of the U-shaped cross section without interfering with the second sensor, ensuring the detection of the outer edge of the work. You will be able to do it.

本発明のロボットでは、ハンドに取り外し可能に取り付けられる治具に第１センサ及び第２センサが搭載される。治具を用いることにより、センサの取り付けを容易に行うことができ、かつ、教示の終了後にセンサを容易に取り外すことができるようになる。このとき、治具の外形がワークの外形の一部と一致するようにすれば、ハンドに沿うようにして治具をハンドに容易に取り付けられるようになる。 In the robot of the present invention, the first sensor and the second sensor are mounted on a jig that can be detachably attached to the hand. By using the jig, the sensor can be easily attached, and the sensor can be easily removed after the teaching is completed. At this time, if the outer shape of the jig matches a part of the outer shape of the work, the jig can be easily attached to the hand along the hand.

本発明のロボットでは、ハンドにワークの回転防止用の突起が設けられ、治具の外周にハンドの突起と係合する切り欠き部が設けられる。治具の外周にハンドの突起と係合する切り欠き部を設けることにより、治具の回転を防止できてこの回転に伴う教示結果におけるずれを抑制することができる。 In the robot of the present invention, the hand is provided with a protrusion for preventing the rotation of the work, and a notch portion that engages with the protrusion of the hand is provided on the outer periphery of the jig . By providing a notch portion on the outer periphery of the jig that engages with the protrusion of the hand, it is possible to prevent the jig from rotating and suppress the deviation in the teaching result due to this rotation.

本発明の別のロボットは、ワークを支持するハンドと昇降機構とを少なくとも備え、前記ワークを搬送するロボットであって、前記ワークをロード／アンロードするときに前記ハンドの移動方向を第１方向とし、前記第１方向と上下方向とに直交する方向を第２方向として、前記ハンドに取り付けられ発光部と受光部とを備えて前記第２方向に平行な光軸を有する第１センサと、前記ハンドに取り付けられ前記ワークの外縁を検出する２つの第２センサと、を有し、前記２つの第２センサは前記第２方向に沿って相互に離隔して配置されており、前記ハンドを前記上下方向への往復移動させることによる前記第１センサでの遮光によって前記ワークの高さ方向の端部を検出し、前記２つの第２センサによって前記ワークの異なる外縁を検出して、第１方向をＹ軸方向として第２方向をＸ軸方向とするＸＹ座標系において、一方の第２センサが遮光されたことによって検出されるワークの外縁のＸＹ座標を（Ｘａ，Ｙａ）とし、他方の第２センサが遮光されたことによって検出されるワークの外縁のＸＹ座標を（Ｘｂ，Ｙｂ）とし、ワークは半径Ｒの円板形状であるとして、ワークの中心位置として、ワークの中心の座標（Ｘｏ，Ｙｏ）を下記の式によって算出する。 Another robot of the present invention is a robot that includes at least a hand that supports the work and an elevating mechanism and conveys the work, and when the work is loaded / unloaded, the movement direction of the hand is first. With the first sensor attached to the hand, having a light emitting portion and a light receiving portion, and having an optical axis parallel to the second direction, with the direction orthogonal to the first direction and the vertical direction as the second direction. The hand has two second sensors attached to the hand to detect the outer edge of the work, and the two second sensors are arranged apart from each other along the second direction. The end of the work in the height direction is detected by shading by the first sensor by reciprocating the work in the vertical direction, and different outer edges of the work are detected by the two second sensors . In the XY coordinate system with one direction as the Y-axis direction and the second direction as the X-axis direction, the XY coordinates of the outer edge of the work detected by shading one of the second sensors are (Xa, Ya) and the other. The XY coordinates of the outer edge of the work detected by the second sensor being shielded from light are set to (Xb, Yb), and the work has a disk shape with a radius R. The coordinates (Xo, Yo) of are calculated by the following formula.

Figure 0007023094000001
Figure 0007023094000001

本発明の別のロボットでも、第１センサによりワークの高さ方向の端部を検出するので、検出された高さ方向の端部の位置に基づき、第２センサによるワークの外縁の検出のために適切な高さ位置を設定できる。このため、ハンドに取り付けられた第２センサによってワークの異なる外縁を検出する処理を自動的に実行でき、自動教示によって、ワークの高さ位置と水平面内でのワークの中心位置とを容易に求めることができるようになる。 In another robot of the present invention, since the first sensor detects the end portion in the height direction of the work, the second sensor detects the outer edge of the work based on the position of the detected end portion in the height direction. The appropriate height position can be set. Therefore, the process of detecting different outer edges of the work can be automatically executed by the second sensor attached to the hand, and the height position of the work and the center position of the work in the horizontal plane can be easily obtained by the automatic teaching. You will be able to do it.

本発明によれば、搬送用ロボットについて、ダミーワークなどを必要とせず、簡単な機構で正確な自動教示を行うことができるようになる。 According to the present invention, it becomes possible to perform accurate automatic teaching with a simple mechanism without requiring a dummy work or the like for a transfer robot.

（ａ），（ｂ）は、それぞれ本発明の実施の一形態のロボットの構成を示す平面図と正面図である。(A) and (b) are a plan view and a front view showing the configuration of the robot according to the embodiment of the present invention, respectively. ハンドの先端と教示用の治具を説明する斜視図である。It is a perspective view explaining the tip of a hand and a jig for teaching. Ｚ軸（上下方向）の教示を説明する図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図である。It is a figure explaining the teaching of the Z axis (vertical direction), (a) is a plan view, (b) is a front view. Ｚ軸方向の教示の具体的手順を説明する図である。It is a figure explaining the specific procedure of the teaching in the Z-axis direction. （ａ），（ｂ）は、Ｘ軸及びＹ軸方向での教示を説明する正面図である。(A) and (b) are front views explaining the teaching in the X-axis and Y-axis directions. （ａ），（ｂ）は、２つの第２センサの間での遮光タイミングのずれを説明する平面図である。(A) and (b) are plan views explaining the deviation of the light-shielding timing between the two second sensors. キャリブレーションを説明する図である。It is a figure explaining the calibration. キャリブレーションを説明する図である。It is a figure explaining the calibration.

次に、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図１は本発明の実施の一形態のロボットを示している。ここでは、水平面内方向をＸ軸方向及びＹ軸方向とし、垂直方向（上下方向）をＺ軸方向とする直交座標系が設定されているものとする。この直交座標系は、ロボットに固定された座標系である。特に、説明のため、ステージに対してワークをロード／アンロードする際のハンドの移動方向をＹ軸方向すなわち第１方向と定める。Ｘ軸方向は第２方向となる。このロボットは、例えば特許文献１に記載される３リンクの水平多関節型ロボットであり、基台２に対して第１アーム３の一端が接続し、第１アーム３の他端に第２アーム４の一端が接続し、第２アーム４の他端に第３アーム５の一端が接続し、第３アーム５の他端にはワークを保持するための２つのハンド６，７が接続している。ハンド６，７は上下方向に重なるように設けられており、ハンド６は下ハンド、ハンド７は上ハンドである。基台２と第１アーム３の接続部、アーム３～５の相互の接続部、アーム５に対するハンド６，７も接続部はいずれもロボット関節として構成されており、それらの接続部を通る垂直な軸の周りでアーム３～５、ハンド６，７が回転可能となっている。 Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 shows a robot according to an embodiment of the present invention. Here, it is assumed that a Cartesian coordinate system is set in which the direction in the horizontal plane is the X-axis direction and the Y-axis direction, and the vertical direction (vertical direction) is the Z-axis direction. This Cartesian coordinate system is a coordinate system fixed to the robot. In particular, for the sake of explanation, the moving direction of the hand when loading / unloading the work with respect to the stage is defined as the Y-axis direction, that is, the first direction. The X-axis direction is the second direction. This robot is, for example, a 3-link horizontal articulated robot described in Patent Document 1, in which one end of the first arm 3 is connected to the base 2 and the second arm is connected to the other end of the first arm 3. One end of 4 is connected, one end of the third arm 5 is connected to the other end of the second arm 4, and two hands 6 and 7 for holding the work are connected to the other end of the third arm 5. There is. The hands 6 and 7 are provided so as to overlap each other in the vertical direction, the hand 6 is a lower hand and the hand 7 is an upper hand. The connection between the base 2 and the first arm 3, the mutual connection between the arms 3 to 5, and the connections for the hands 6 and 7 to the arm 5 are all configured as robot joints, and are vertical through the connection. The arms 3 to 5 and the hands 6 and 7 can rotate around the axis.

基台２の内部には、アーム３～５、ハンド６，７を一体のものとしてＺ軸方向に移動させる昇降機構８が設けられている。さらに図１（ｂ）に示すように、ロボットを制御するロボットコントローラ１１と、ロボットコントローラ１１に接続して操作者から動作コマンドが入力するティーチングペンダント１２も設けられている。本実施形態のロボットは自動教示を行うものであるが、自動教示を開始するなどのコマンドはティーチングペンダント１２から入力される。また自動教示に必要なロボットの移動制御や位置の演算は、ロボットコントローラ１１あるいはティーチングペンダントで実行される。図示されるロボットは、例えば、半導体ウエハのような、ほぼ円形で薄い形状のワークの搬送を想定して構成されたものであるが、本発明が適用可能なロボットは、半導体ウエハの搬送に用いられるロボットに限定されるものではなく、３リンクのロボットに限定されるものでもなく、水平多関節型ロボットに限定されるものでもない。 Inside the base 2, an elevating mechanism 8 for moving the arms 3 to 5 and the hands 6 and 7 in the Z-axis direction is provided. Further, as shown in FIG. 1 (b), a robot controller 11 for controlling the robot and a teaching pendant 12 connected to the robot controller 11 for inputting an operation command from an operator are also provided. The robot of the present embodiment automatically teaches, and commands such as starting automatic teaching are input from the teaching pendant 12. Further, the movement control of the robot and the calculation of the position necessary for automatic teaching are executed by the robot controller 11 or the teaching pendant. The robot shown in the figure is configured assuming the transfer of a work having a substantially circular and thin shape, for example, a semiconductor wafer. However, the robot to which the present invention can be applied is used for transferring a semiconductor wafer. It is not limited to robots that can be used, is not limited to robots with three links, and is not limited to horizontal articulated robots.

本実施形態では、教示のための治具２０を使用する。治具２０は上側のハンド７に取り付けられるものである。図２は、上側のハンド７と治具２０とを説明する図である。治具２０を説明する前に、まず、ハンド７について説明する。ハンド７は、例えば半導体ウエハなどの薄い円板状のワークを保持し搬送するものであるが、搬送の途中でワークが回転したりしないように、ハンド７の中央部上面には突起１７が設けられている。突起１７の位置から先端側（アーム５との接続部とは反対側の端部側）においてハンド７は、突起１７の位置から先端側に向けて、Ｖ字型に分岐して広がるように形成されている。Ｖ字型に分岐する代わりにＵ字型に分岐していてもよい。図において一点鎖線Ｔは、ハンド７におけるＶ字の両方の先端部１８，１９を結ぶ直線であり、一点鎖線Ｌはハンド７の長手方向の中心線である。この構成では、円形の物体に対して正面から直線的にハンド７を接近させた場合、その物体が先端部１８，１９と衝突する前に、その物体は両方の先端部１８，１９を結ぶ線Ｔよりもハンド７の中央側に入り込めることになる。この構成は、後述するＺ軸方向での教示を行なうために必要な構成である。ワークは、ワークの外周部に設けられた円弧状の切り欠き部が突起１７に係合するようにして、突起１７の位置からハンド７の先端側の位置でハンド７によって保持される。ハンド６もハンド７と同様の構成を有する。 In this embodiment, the jig 20 for teaching is used. The jig 20 is attached to the upper hand 7. FIG. 2 is a diagram illustrating an upper hand 7 and a jig 20. Before explaining the jig 20, first, the hand 7 will be described. The hand 7 holds and conveys a thin disk-shaped work such as a semiconductor wafer, but a protrusion 17 is provided on the upper surface of the central portion of the hand 7 so that the work does not rotate during the transportation. Has been done. From the position of the protrusion 17 to the tip side (the end side opposite to the connection portion with the arm 5), the hand 7 is formed so as to branch and spread in a V shape from the position of the protrusion 17 toward the tip side. Has been done. Instead of branching into a V-shape, it may branch into a U-shape. In the figure, the alternate long and short dash line T is a straight line connecting both tips 18 and 19 of the V-shape in the hand 7, and the alternate long and short dash line L is the center line in the longitudinal direction of the hand 7. In this configuration, when the hand 7 is linearly approached from the front to a circular object, the object is a line connecting both tips 18 and 19 before the object collides with the tips 18 and 19. It will be able to enter the center side of the hand 7 rather than the T. This configuration is a configuration necessary for teaching in the Z-axis direction, which will be described later. The work is held by the hand 7 at a position on the tip end side of the hand 7 from the position of the protrusion 17 so that the arc-shaped notch provided on the outer peripheral portion of the work engages with the protrusion 17. The hand 6 has the same configuration as the hand 7.

治具２０は、ハンド７でのワークの載置位置に合わせてハンド７に取り付けられる板状のものである。治具２０には、第１センサと２つの第２センサ２４，２５が設けられている。治具２０を用いることにより、第１センサ及び第２センサ２４，２５のハンド７への取り付けを容易に行うことができ、かつ、教示の終了後に第１センサ及び第２センサ２４，２５をハンド７から容易に取り外すことができるようになる。このとき、治具２０の外形がワークの外形の一部と一致するようにすれば、ハンド７に沿うようにして治具２０をハンド７に容易に取り付けられるようになる。 The jig 20 is a plate-shaped jig 20 that is attached to the hand 7 according to the mounting position of the work on the hand 7. The jig 20 is provided with a first sensor and two second sensors 24, 25. By using the jig 20, the first sensor and the second sensors 24 and 25 can be easily attached to the hand 7, and the first sensor and the second sensors 24 and 25 can be handed after the teaching is completed. It can be easily removed from 7. At this time, if the outer shape of the jig 20 matches a part of the outer shape of the work, the jig 20 can be easily attached to the hand 7 along the hand 7.

第１センサは、ハンド７のＶ字の両方の先端部１８，１９に対応するそれぞれ位置に設けられた発光部２２及び受光部２３からなっており、発光部２２は、図示矢印で示すように、先端部１８，１９を結ぶ直線Ｔに沿ったレーザ光線を発し、受光部２３はこの光線を受光する。治具２０の外周には、ハンド７の突起１７に係合する円弧状の切り欠き部２６が設けられており、治具２０のハンド７への固定を確実なものとしている。治具２０も、ハンド７と同様に、その先端側（切り欠き部２６とは反対側）がＶ字形状に形成されており、直線Ｔからハンド７の中央側に物体が入り込むことを阻止しない形状となっている。 The first sensor includes a light emitting unit 22 and a light receiving unit 23 provided at positions corresponding to both tips 18 and 19 of the V-shape of the hand 7, and the light emitting unit 22 is as shown by an arrow in the figure. , A laser beam along a straight line T connecting the tips 18 and 19 is emitted, and the light receiving section 23 receives this ray. An arcuate notch 26 that engages with the protrusion 17 of the hand 7 is provided on the outer periphery of the jig 20 to ensure that the jig 20 is fixed to the hand 7. Like the hand 7, the jig 20 is also formed in a V shape on the tip side (opposite side of the notch 26), and does not prevent an object from entering the center side of the hand 7 from the straight line T. It has a shape.

第２センサ２４，２５は、水平面内すなわちＸＹ平面内でのワークの外縁を検出するために発光素子から上下方向に光軸を有する光を出射してこの光を受光素子で受ける遮光センサであり、突起１７の位置よりはやや先端側であって、ハンド７の長手方向の中心線Ｌに対して対称となる位置に設けられている。すなわち第２センサ２４，２５は、Ｘ軸方向に沿って相互に離隔して配置していることになる。このとき、ワークに近づく向きでのＹ軸方向に沿ったハンド７の動きに伴って発光素子及び受光素子の間の空間にワークの外縁を受け入れることができるように、発光素子及び受光素子が配置されている必要がある。第２センサ２４，２５の一例として、Ｙ軸方向からワーク中心側に傾いた方向に対して第２センサ２４，２５の取り付け位置から延びる上腕及び下腕を有し、上腕及び下腕の一方に発光素子が、他方に受光素子が設けられ、全体としてコの字型の断面を有するものが挙げられる。このとき、上腕及び下腕はワークの中心に向けて延びていることが好ましい。上腕及び下腕がワークの中心に向けて延びることにより、コの字断面の最奥部にまで第２センサ２４，２５と干渉することなくワークを受け入れることが可能になり、ワークの外縁の検出を確実に行なえるようになる。具体的には第２センサ２４，２５としては、例えばコの字型の断面形状を有するフォトインタラプタと称される安価なセンサを使用することができる。ワークと接触しない状態でワークによって遮光されるように、第２センサ２４，２５における発光素子と受光素子との間隔は、ワークの厚さよりも大きいことが必要である。コの字の断面形状を有するフォトインタラプタを第２センサ２４，２５として使用した場合、これらのフォトインタラプタは、治具２０上に載置されるワークの中心を向いて開口するように設けられる。 The second sensors 24 and 25 are light-shielding sensors that emit light having an optical axis in the vertical direction from the light emitting element in order to detect the outer edge of the work in the horizontal plane, that is, in the XY plane, and receive this light by the light receiving element. , It is provided at a position slightly closer to the tip side than the position of the protrusion 17 and symmetrical with respect to the center line L in the longitudinal direction of the hand 7. That is, the second sensors 24 and 25 are arranged apart from each other along the X-axis direction. At this time, the light emitting element and the light receiving element are arranged so that the outer edge of the work can be received in the space between the light emitting element and the light receiving element with the movement of the hand 7 along the Y-axis direction in the direction approaching the work. Must have been. As an example of the second sensors 24 and 25, the upper arm and the lower arm extending from the mounting position of the second sensors 24 and 25 with respect to the direction inclined from the Y-axis direction toward the center of the work are provided, and one of the upper arm and the lower arm has an upper arm and a lower arm. Examples of the light emitting element include a light emitting element provided with a light receiving element on the other side and having a U-shaped cross section as a whole. At this time, it is preferable that the upper arm and the lower arm extend toward the center of the work. By extending the upper arm and lower arm toward the center of the work, the work can be received up to the innermost part of the U-shaped cross section without interfering with the second sensors 24 and 25, and the outer edge of the work can be detected. You will be able to do it reliably. Specifically, as the second sensors 24 and 25, for example, an inexpensive sensor called a photointerruptor having a U-shaped cross-sectional shape can be used. The distance between the light emitting element and the light receiving element in the second sensors 24 and 25 needs to be larger than the thickness of the work so that the light is shielded by the work without contacting the work. When photo interrupters having a U-shaped cross-sectional shape are used as the second sensors 24 and 25, these photo interrupters are provided so as to open toward the center of the work placed on the jig 20.

最近では、マッピング用センサを設けたロボット用ハンドが実用化されている。マッピング用センサは、Ｖ字形状に形成されたハンドの両方の先端にそれぞれ発光素子と受光素子とを設けて構成されたものであるから、マッピング用センサを有するハンドをハンド７として用いる場合には、治具２０には第１センサを設ける必要はない。この場合、治具２０を介さずにハンド７そのものに第２センサ２４，２５を取り付けてもよく、そうすれば、治具２０そのものが不要となる。 Recently, a robot hand provided with a mapping sensor has been put into practical use. Since the mapping sensor is configured by providing a light emitting element and a light receiving element at the tips of both hands formed in a V shape, when a hand having a mapping sensor is used as the hand 7. The jig 20 does not need to be provided with the first sensor. In this case, the second sensors 24 and 25 may be attached to the hand 7 itself without using the jig 20, so that the jig 20 itself becomes unnecessary.

次に、本実施形態のロボットでの教示動作について説明する。本実施形態のロボットはワークを搬送するものであるので、教示の目標は、ステージに収納されているワークの位置、具体的にはワークの高さ方向の端部の位置とワークの水平面内での中心位置とをロボットに固定された座標系で求めることである。本実施形態では、自動教示として、ワークの高さ方向の端部の位置とワークの水平面内での中心位置とを自動的に決定する。教示では、ロボットのハンド７に取り付けられた第１センサ（発光部２２及び受光部２３）及び第２センサ２４，２５での検出結果を用いてロボットを移動させ、ステージに格納されたワークを検出し、これによってステージに格納されたワークとロボットとの間の位置関係を精密に決定する。教示に用いるワークは、実際の工程で使用されるワークであってもダミーワークであってもよい。第１センサ及び第２センサ２４，２５が冶具２０に取り付けられている場合、冶具２０に取り付けられているセンサの位置から得られるロボットのハンド７の教示位置は、冶具２０を取り外して実際にワークを搬送するときにハンド７の位置からはオフセットしていることになる。冶具２０の形状や設計寸法に応じてこのオフセットに関する情報をパラメータとして予め算出しておき、冶具２０を用いて得た教示位置に対してオフセットによる補正を行って、ロボットによりワークを搬送するときに実際に使用する教示位置とする。 Next, the teaching operation of the robot of the present embodiment will be described. Since the robot of the present embodiment transports the work, the object of teaching is the position of the work housed in the stage, specifically, the position of the end portion in the height direction of the work and the horizontal plane of the work. It is to find the center position of the robot in the coordinate system fixed to the robot. In the present embodiment, as automatic teaching, the position of the end portion in the height direction of the work and the center position in the horizontal plane of the work are automatically determined. In the teaching, the robot is moved using the detection results of the first sensor (light emitting unit 22 and the light receiving unit 23) and the second sensors 24 and 25 attached to the robot hand 7, and the work stored in the stage is detected. Then, the positional relationship between the work stored in the stage and the robot is precisely determined. The work used for teaching may be a work used in an actual process or a dummy work. When the first sensor and the second sensors 24 and 25 are attached to the jig 20, the teaching position of the robot hand 7 obtained from the position of the sensor attached to the jig 20 is actually the work by removing the jig 20. Is offset from the position of the hand 7 when carrying. When the information about this offset is calculated in advance as a parameter according to the shape and design dimensions of the jig 20, the teaching position obtained by using the jig 20 is corrected by the offset, and the work is conveyed by the robot. The teaching position to be actually used.

本実施形態での教示では、まず、Ｚ軸方向（高さ方向でのワーク位置）の教示を行う。図３はＺ軸方向の教示を説明する図である。教示に先立って、ステージ３１内の理想的な位置にワーク３０を設置しておく。そのステージ３１の正面となる位置であってワーク３０のロード／アンロードの際の待機する位置に、ロボットのハンド７を移動させる。ステージの大まかな位置とステージに対する待機位置とは、予めロボットに対して入力しておく必要がある。この状態が図３（ａ）に示されている。この状態から自動教示が開始し、ハンド７をステージ３１に向けて徐々に移動させる。このときのハンド７の移動方向はＹ軸方向である。ワーク３０の底面の高さ位置を第１センサによって検出するために、ハンド７をＹ軸方向に移動させつつ、図３（ｂ）に示すように、ロボットの基台２に設けられた昇降機構８（図１（ｂ）参照）によりハンド７を一定の振幅でＺ軸方向すなわち上下方向で往復移動させる。図示した例では、ハンド７の先端が矩形波状にＺ軸方向に振動しながらＹ軸方向に移動するように、ハンド７を、Ｙ軸方向に所定の第１の距離だけ移動させ、次にＺ軸方向に所定の第２の距離だけ動かし、再び第１の距離だけＹ軸方向に移動させ、そののち、先にＺ軸方向に動かした方向とは逆方向に第２の距離だけ移動させる。このような移動は、ロボットコントローラ１１あるいはティーチングペンダント１２による制御によって自動的に行なわれる。この移動工程を繰り返すことによって、ハンド７は徐々にワーク３０に接近し、第１センサの発光部２２から受光部２３に向けられているレーザ光が、ハンド７がＺ軸方向に上下移動しているときに遮られ、第１センサによってワーク３０が検出されることになる。ワーク３０を検出する過程でハンド７がワーク３０に接触するとワーク３０に位置が動いて教示がうまく行なえなくなるので、円板状のワーク３０に接触しないようにハンド７を動かす必要があり、このため、ハンド７の先端側がＶ字形状に広がっていることが重要である。Ｚ軸方向でハンド７がどの位置（すなわちＺ高さ）にあるときにレーザ光が遮られて第１センサによってワーク３０が検出されたかを求めることによって、ワーク３０のＺ軸方向での位置を求めることができ、これに基づいてＺ軸方向でのロボットの教示が行なわれたことになる。ワーク３０のＺ高さが決定したら、ハンド７は自動的に待機位置まで後退する。 In the teaching in the present embodiment, first, the Z-axis direction (work position in the height direction) is taught. FIG. 3 is a diagram illustrating teaching in the Z-axis direction. Prior to teaching, the work 30 is installed at an ideal position in the stage 31. The hand 7 of the robot is moved to a position in front of the stage 31 and in a standby position when loading / unloading the work 30. It is necessary to input the rough position of the stage and the standby position with respect to the stage to the robot in advance. This state is shown in FIG. 3 (a). Automatic teaching starts from this state, and the hand 7 is gradually moved toward the stage 31. The moving direction of the hand 7 at this time is the Y-axis direction. As shown in FIG. 3B, an elevating mechanism provided on the base 2 of the robot while moving the hand 7 in the Y-axis direction in order to detect the height position of the bottom surface of the work 30 by the first sensor. 8 (see FIG. 1B) reciprocates the hand 7 in the Z-axis direction, that is, in the vertical direction with a constant amplitude. In the illustrated example, the hand 7 is moved in the Y-axis direction by a predetermined first distance so that the tip of the hand 7 moves in the Y-axis direction while vibrating in the Z-axis direction in a rectangular wavy shape, and then Z. It is moved in the axial direction by a predetermined second distance, then moved in the Y-axis direction again by the first distance, and then moved by the second distance in the direction opposite to the direction previously moved in the Z-axis direction. Such movement is automatically performed by control by the robot controller 11 or the teaching pendant 12. By repeating this moving step, the hand 7 gradually approaches the work 30, and the laser beam directed from the light emitting unit 22 of the first sensor to the light receiving unit 23 moves the hand 7 up and down in the Z-axis direction. The work 30 will be detected by the first sensor. If the hand 7 comes into contact with the work 30 in the process of detecting the work 30, the position of the work 30 moves and the teaching cannot be performed well. Therefore, it is necessary to move the hand 7 so as not to come into contact with the disk-shaped work 30. It is important that the tip side of the hand 7 spreads in a V shape. The position of the work 30 in the Z-axis direction is determined by determining at which position (that is, Z-height) the hand 7 is in the Z-axis direction when the laser beam is blocked and the work 30 is detected by the first sensor. It can be obtained, and based on this, the teaching of the robot in the Z-axis direction is performed. When the Z height of the work 30 is determined, the hand 7 automatically retreats to the standby position.

図４は、Ｚ軸方向の教示を行なっているときにおけるワーク３０とハンド７の先端との位置関係を示す図であり、図において太線３５は、第１センサの光軸位置で表されるハンド７の先端の位置を示している。ハンド７がＹ軸方向に動きつつＺ軸方向（上下方向）に往復運動していると、第１センサにおいてレーザ光がワーク３０によって遮光される現象は、いくつかの場合に分類することができる。ワーク３０によって第１センサのレーザ光が遮光されるときは、ハンド７の先端がワーク３０の位置に達した後、ハンド７の上下運動に応じて遮光される。ハンド７の上下運動は繰り返して行なわれるので、遮光は周期的に起こることになる。図４（ａ）は、１回目の遮光がハンド７の下降動作中に起きた場合を示しており、この例では、遮光開始時のタイミングからは、ワーク３０の上面のＺ高さが得られることになる。本実施形態で教示を行なっているロボットは、ワーク３０を下から支持して搬送する搬送用のロボットであるから、ワーク３０の上面のＺ高さを求めても教示を行なったことにはならない。図４（ｂ）は、１回目の遮光がハンド７の下降動作中に起きた場合の別の例を示している。ワーク３０の外縁（エッジ）は、通常、丸みを帯びた断面形状となっており、図４（ｂ）に示したものは、ワーク３０の外縁をＺ高さをして検出したことを示している。この場合も教示を行なったことにならない。図４（ｃ）は、２回目の遮光がハンド７の上昇動作中に起きた例を示している。この場合、図４（ｃ）に示すように、ワーク３０の下面ではなくワーク３０の外縁をＺ高さとして検出することがあり、教示に用いるには不適切である。これに対し、図４（ｄ）は、遮光が発生する上昇動作のうち２回目の上昇動作によりワーク３０のＺ高さを求めた場合を示している。２回目の上昇動作で検出されるＺ高さは、ワーク３０の下面のＺ高さすなわちＺ軸方向での真の位置を示しているので、これをＺ軸方向の教示結果として用いればよい。 FIG. 4 is a diagram showing the positional relationship between the work 30 and the tip of the hand 7 when teaching in the Z-axis direction is performed. In the figure, the thick line 35 is the hand represented by the optical axis position of the first sensor. The position of the tip of 7 is shown. When the hand 7 reciprocates in the Z-axis direction (vertical direction) while moving in the Y-axis direction, the phenomenon that the laser beam is shielded by the work 30 in the first sensor can be classified into several cases. .. When the laser beam of the first sensor is shielded by the work 30, after the tip of the hand 7 reaches the position of the work 30, the light is shielded according to the vertical movement of the hand 7. Since the vertical movement of the hand 7 is repeated, shading will occur periodically. FIG. 4A shows a case where the first shading occurs during the lowering operation of the hand 7. In this example, the Z height of the upper surface of the work 30 can be obtained from the timing at the start of shading. It will be. Since the robot that is teaching in this embodiment is a transporting robot that supports and transports the work 30 from below, even if the Z height of the upper surface of the work 30 is obtained, the teaching is not performed. .. FIG. 4B shows another example in which the first shading occurs during the lowering motion of the hand 7. The outer edge of the work 30 usually has a rounded cross-sectional shape, and what is shown in FIG. 4B shows that the outer edge of the work 30 is detected at a Z height. There is. In this case as well, the teaching is not performed. FIG. 4C shows an example in which the second shading occurs during the ascending operation of the hand 7. In this case, as shown in FIG. 4C, the outer edge of the work 30 may be detected as the Z height instead of the lower surface of the work 30, which is inappropriate for teaching. On the other hand, FIG. 4D shows a case where the Z height of the work 30 is obtained by the second ascending operation among the ascending operations in which shading occurs. Since the Z height detected in the second ascending operation indicates the Z height of the lower surface of the work 30, that is, the true position in the Z-axis direction, this may be used as the teaching result in the Z-axis direction.

以上説明したＺ軸方向での教示では、ハンド７をＹ軸方向に動かしつつ、ハンド７の先端の軌跡が矩形波状となるようにハンド７を上下方向（Ｚ軸方向）に往復移動させているが、ハンド７の上下方向への往復移動の形態はこれに限られるものではない。ハンド７の先端が三角波状の軌跡を描くようにハンド７を動かしてもよいし、あるいは、正弦波状の軌跡を描くようにハンド７を動かしてもよい。 In the teaching in the Z-axis direction described above, while moving the hand 7 in the Y-axis direction, the hand 7 is reciprocated in the vertical direction (Z-axis direction) so that the locus of the tip of the hand 7 has a rectangular wavy shape. However, the form of the reciprocating movement of the hand 7 in the vertical direction is not limited to this. The hand 7 may be moved so that the tip of the hand 7 draws a triangular wavy trajectory, or the hand 7 may be moved so as to draw a sinusoidal locus.

Ｚ軸方向の教示に引き続いて、Ｘ軸及びＹ軸方向の自動教示（水平面内位置についての教示）を行なう。Ｘ軸及びＹ軸方向の教示では、ハンド７を実際にカセット３１内に挿入してワーク３０のＸ軸方向及びＹ軸方向の位置を検出する。このとき、ハンド７がワーク３０と衝突したり接触したりしないように、Ｚ軸方向での教示で求めたワーク３０の下面のＺ高さに基づいて、ハンド７のＺ軸方向の位置を決定する。図５はＸ軸及びＹ軸方向の教示を説明する図である。まず、図５（ａ）に示すように、Ｚ方向の教示で得られた結果に基づいてハンド７の高さを設定し、ハンド７をステージ３１に対する待機位置に移動させる。続いて、図５（ｂ）に示すように、ハンド７をＹ軸方向に直線的に前進させる。その結果、ハンド７がワーク３０に接触することなく、第２センサ２４，２５の少なくとも一方においてワーク３０がその第２センサ２４，２５の開口に入り込んで遮光が発生する。このとき、ハンド７がワーク３０に対して正確に位置づけられていれば第２センサ２４，２５での遮光が同時に発生するが、実際には第２センサ２４，２５の一方において先に遮光が発生する。第２センサ２４，２５のどちらで先に遮光が発生するかによって、Ｘ軸及びＹ軸方向の教示における動作パターンが２通りのものとなる。 Following the teaching in the Z-axis direction, automatic teaching in the X-axis and Y-axis directions (teaching about the position in the horizontal plane) is performed. In the teaching in the X-axis direction and the Y-axis direction, the hand 7 is actually inserted into the cassette 31 to detect the positions of the work 30 in the X-axis direction and the Y-axis direction. At this time, the position of the hand 7 in the Z-axis direction is determined based on the Z height of the lower surface of the work 30 obtained by the teaching in the Z-axis direction so that the hand 7 does not collide with or come into contact with the work 30. do. FIG. 5 is a diagram illustrating teaching in the X-axis and Y-axis directions. First, as shown in FIG. 5A, the height of the hand 7 is set based on the result obtained by the teaching in the Z direction, and the hand 7 is moved to the standby position with respect to the stage 31. Subsequently, as shown in FIG. 5B, the hand 7 is linearly advanced in the Y-axis direction. As a result, the work 30 enters the opening of the second sensors 24 and 25 at at least one of the second sensors 24 and 25 without the hand 7 coming into contact with the work 30, and light shielding occurs. At this time, if the hand 7 is accurately positioned with respect to the work 30, light shielding by the second sensors 24 and 25 occurs at the same time, but in reality, light shielding occurs first in one of the second sensors 24 and 25. do. There are two operation patterns in the teaching in the X-axis and Y-axis directions depending on which of the second sensors 24 and 25 causes the light blocking first.

図６（ａ）は、ハンド７の進行方向に対して左側にある第２センサ２４において右側にある第２センサ２５よりも先に遮光が生じた場合を示している。この場合、第２センサ２４において遮光を検出した段階でハンド７の前進（Ｙ軸方向への移動）を停止し、その後、Ｘ軸に沿って図示矢印で示すようにハンド７を左方向に移動させる。その結果、右側の第２センサ２５において遮光が発生するから、第２センサ２５での遮光の発生を検出した後、ハンド７を待機位置に後退させる。一方、図６（ｂ）は、右側にある第２センサ２５において左側の第２センサ２４よりも先に遮光が生じた場合を示している。この場合、第２センサ２５において遮光を検出した段階でハンド７の前進を停止し、その後、Ｘ軸に沿って図示矢印で示すように、左側の第２センサ２４において遮光が発生するまでハンド７を右方向に移動させ、第２センサ２４での遮光の発生を検出した後、ハンド７を待機位置に後退させる。 FIG. 6A shows a case where the second sensor 24 on the left side with respect to the traveling direction of the hand 7 is shielded from light before the second sensor 25 on the right side. In this case, the advance of the hand 7 (movement in the Y-axis direction) is stopped when the second sensor 24 detects shading, and then the hand 7 is moved to the left along the X-axis as shown by the arrow in the figure. Let me. As a result, shading occurs in the second sensor 25 on the right side. Therefore, after detecting the occurrence of shading in the second sensor 25, the hand 7 is retracted to the standby position. On the other hand, FIG. 6B shows a case where the second sensor 25 on the right side is shielded from light before the second sensor 24 on the left side. In this case, the advance of the hand 7 is stopped at the stage where the second sensor 25 detects the light blocking, and then the hand 7 is stopped until the second sensor 24 on the left side causes the light blocking as shown by the arrow in the figure along the X axis. Is moved to the right, and after detecting the occurrence of shading by the second sensor 24, the hand 7 is retracted to the standby position.

図６（ａ）または図６（ｂ）に示す処理を行なうことにより、第２センサ２４，２５において遮光が起きたときのワーク３０の外縁のＸＹ座標が取得される。ハンド７の前進方向に対して左側の第２センサ２４によって取得される座標を（Ｘａ，Ｙａ）とし、右側の第２センサ２５によって取得される座標を（Ｘｂ，Ｙｂ）とし、円板状のワーク３０の半径をＲとすると、ワーク３０の中心のＸＹ座標（Ｘｏ，Ｙｏ）は、下記の式によって計算される。ワーク３０の中心のＸＹ座標（Ｘｏ，Ｙｏ）を取得することによって、Ｘ軸及びＹ軸方向についての教示が行なわれたことになる。 By performing the process shown in FIG. 6A or FIG. 6B, the XY coordinates of the outer edge of the work 30 when shading occurs in the second sensors 24 and 25 are acquired. The coordinates acquired by the second sensor 24 on the left side with respect to the forward direction of the hand 7 are (Xa, Ya), and the coordinates acquired by the second sensor 25 on the right side are (Xb, Yb). Assuming that the radius of the work 30 is R, the XY coordinates (Xo, Yo) of the center of the work 30 are calculated by the following formula. By acquiring the XY coordinates (Xo, Yo) of the center of the work 30, the teaching about the X-axis and the Y-axis direction is performed.

Figure 0007023094000002
Figure 0007023094000002

ところで、本実施形態における自動教示は、治具２０に取り付けた第１センサ（発光部２２及び受光部２３）と第２センサ２４，２５とにおける検出結果に基づいている。ロボットを実際に稼動してワーク３０を搬送するときには治具２０を使用しないから、上述したように治具２０の形状や設計寸法に応じてこのオフセット値を算出し、上記の手順で取得した教示位置に対してオフセット値に基づく補正を行って、ロボットによりワークを搬送するときに実際に使用する教示位置としている。しかしながら、治具２０の取り付け誤差や各センサにおける検知誤差などのために、治具２０の形状や設計寸法から求めたオフセット値で教示位置を補正するだけでは不十分となる場合がある。特に、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の位置において、取り付け誤差や検知誤差の影響が強く現れる。そこで本実施形態では、教示対象のステージの数などによらず、全体で１回だけキャリブレーションを行なう必要がある。１回のキャリブレーションの結果が全てのステージに対して適用される。以下、キャリブレーションについて説明する。 By the way, the automatic teaching in the present embodiment is based on the detection results of the first sensor (light emitting unit 22 and the light receiving unit 23) attached to the jig 20 and the second sensors 24 and 25. Since the jig 20 is not used when the robot is actually operated to convey the work 30, this offset value is calculated according to the shape and design dimensions of the jig 20 as described above, and the teaching acquired in the above procedure is performed. The position is corrected based on the offset value to be the teaching position actually used when the work is conveyed by the robot. However, due to an mounting error of the jig 20 and a detection error of each sensor, it may not be sufficient to correct the teaching position with an offset value obtained from the shape and design dimensions of the jig 20. In particular, the influence of mounting error and detection error appears strongly at the positions in the X-axis direction and the Y-axis direction. Therefore, in the present embodiment, it is necessary to perform calibration only once in total regardless of the number of stages to be taught. The result of one calibration is applied to all stages. The calibration will be described below.

図７及び図８はキャリブレーションを説明する図である。図７に示すようにキャリブレーションでは、操作者などの人間によって、ハンド７における理想とされる位置にワーク３０を配置する。そして、ロボットを操作していずれかのステージ３１にワーク３０を収納する。ワーク３０が収納されるステージ３１に制限はなく、仮設のステージ３１に対してワーク３０を収納してもよい。次に、上述したＺ軸方向の自動教示を行って、ハンド７のステージ３１に対する挿入高さを計算し、その後、キャリブレーションモードとして上述したＸ軸及びＹ軸方向の自動教示と同様の処理により、ＸＹ座標におけるワーク３０の位置を決定する。図８は、このとき得られるワーク３０の位置を説明する図である。ロボットを操作してステージ３１にワーク３０を収納するときにはロボットの移動経路が記録されているから、ステージ３１に収納されたワーク３０についてロボットに固定された座標系における実際の位置が取得されることになる。図８において実線で示す円４１は、ワーク３０の実際の位置を示している。一方、図８において破線で示す円４２は、キャリブレーションモードにおいて決定されたワーク３０の位置を示している。これらの２つの円４１，４２のずれＤは、補正すべきずれであってキャリブレーション結果となるものである。図８に示すようなずれＤは、各ステージについての教示を行なっているときに常に存在するが、ステージごとに大きさとずれの方向は同一である。したがって、１回のキャリブレーションによってずれＤを決定し、このずれＤに基づいて教示結果を補正すれば、各ステージにおいて治具２０の取り付け誤差やセンサの検知誤差による影響を完全に排除でき、Ｘ軸及びＹ軸についての実際の教示座標を得ることができる。 7 and 8 are diagrams illustrating calibration. As shown in FIG. 7, in the calibration, the work 30 is placed at an ideal position on the hand 7 by a human such as an operator. Then, the robot is operated to store the work 30 in one of the stages 31. There is no limitation on the stage 31 in which the work 30 is stored, and the work 30 may be stored in the temporary stage 31. Next, the above-mentioned automatic teaching in the Z-axis direction is performed to calculate the insertion height of the hand 7 with respect to the stage 31, and then the calibration mode is performed by the same processing as the above-mentioned automatic teaching in the X-axis and Y-axis directions. , Determines the position of the work 30 in XY coordinates. FIG. 8 is a diagram illustrating the position of the work 30 obtained at this time. Since the movement path of the robot is recorded when the robot is operated and the work 30 is stored in the stage 31, the actual position of the work 30 stored in the stage 31 in the coordinate system fixed to the robot is acquired. become. The circle 41 shown by the solid line in FIG. 8 indicates the actual position of the work 30. On the other hand, the circle 42 shown by the broken line in FIG. 8 indicates the position of the work 30 determined in the calibration mode. The deviation D of these two circles 41 and 42 is a deviation to be corrected and is a calibration result. The deviation D as shown in FIG. 8 always exists when teaching about each stage, but the size and the direction of the deviation are the same for each stage. Therefore, if the deviation D is determined by one calibration and the teaching result is corrected based on this deviation D, the influence of the mounting error of the jig 20 and the detection error of the sensor can be completely eliminated at each stage. The actual teaching coordinates for the axis and the Y axis can be obtained.

［本実施形態の効果］
本実施形態によれば、第１センサの発光部２２及び受光部２３と第２センサ２４，２５とを有する治具２０をハンド７に取り付けるだけで、各ステージ３１側には治具やセンサ類を必要とせず、また、特別な教示用ワークも使用することなく、搬送用ロボットにおける自動教示を低コストかつ簡単な事前準備で実行することができる。また、Ｚ軸方向の教示と、この教示結果を用いたＸ軸及びＹ軸方向の教示との２段階で自動教示を行なうため、高い精度かつ高い効率で教示を行なうことができる。 [Effect of this embodiment]
According to the present embodiment, only the jig 20 having the light emitting unit 22 and the light receiving unit 23 of the first sensor and the second sensors 24 and 25 is attached to the hand 7, and the jigs and sensors are on the side of each stage 31. It is possible to perform automatic teaching in the transport robot at low cost and with simple preparations without the need for a special teaching work and without using a special teaching work. Further, since the automatic teaching is performed in two stages of the teaching in the Z-axis direction and the teaching in the X-axis and Y-axis directions using the teaching result, the teaching can be performed with high accuracy and high efficiency.

２…基台、３～５…アーム、６，７…ハンド、８…昇降機構、１７…突起、２０…治具、２２…発光部、２３…受光部、２４，２５…第２センサ、２６…切り欠き部、３０…ワーク、３１…ステージ。 2 ... Base, 3-5 ... Arm, 6, 7 ... Hand, 8 ... Elevating mechanism, 17 ... Protrusion, 20 ... Jig, 22 ... Light emitting part, 23 ... Light receiving part, 24, 25 ... Second sensor, 26 ... notch, 30 ... work, 31 ... stage.

Claims (7)

ワークを支持するハンドと昇降機構とを少なくとも備え、前記ワークを搬送するロボットであって、
前記ワークをロード／アンロードするときに前記ハンドの移動方向を第１方向とし、前記第１方向と上下方向とに直交する方向を第２方向として、
前記ハンドに取り付けられ発光部と受光部とを備えて前記第２方向に平行な光軸を有する第１センサと、
前記ハンドに取り付けられ前記ワークの外縁を検出する第２センサと、
を有し、
前記第１センサ及び前記第２センサは、前記ハンドに取り外し可能に取り付けられる治具に搭載され、
前記ハンドに前記ワークの回転防止用の突起を有し、前記治具の外周に前記突起と係合する切り欠き部を有し、
前記ハンドを前記上下方向への往復移動させることによる前記第１センサでの遮光によって前記ワークの高さ方向の端部を検出し、前記第２センサによって前記ワークの異なる外縁を検出して、前記ワークの中心位置を算出するロボット。 A robot that has at least a hand that supports the work and an elevating mechanism to convey the work.
When loading / unloading the work, the moving direction of the hand is set as the first direction, and the direction orthogonal to the first direction and the vertical direction is set as the second direction.
A first sensor attached to the hand, having a light emitting part and a light receiving part, and having an optical axis parallel to the second direction,
A second sensor attached to the hand and detecting the outer edge of the work,
Have,
The first sensor and the second sensor are mounted on a jig that is detachably attached to the hand.
The hand has a protrusion for preventing rotation of the work, and the outer periphery of the jig has a notch that engages with the protrusion.
The end of the work in the height direction is detected by shading by the first sensor by reciprocating the hand in the vertical direction, and different outer edges of the work are detected by the second sensor. A robot that calculates the center position of the work. 前記第１センサは、前記第１方向に沿って前記第２センサよりも前記ワークに近い位置に取り付けられている、請求項１に記載のロボット。 The robot according to claim 1, wherein the first sensor is attached at a position closer to the work than the second sensor along the first direction. 前記ハンドの前記ワークに向かう先端は、前記ワークが前記ハンド及び前記第１センサに接触することなく前記ワークによって前記第１センサの光軸を遮ることができるように、前記先端に向かってＶ字型またはＵ字型に広がるように分岐している、請求項２に記載のロボット。 The tip of the hand toward the work is V-shaped toward the tip so that the work can block the optical axis of the first sensor by the work without contacting the hand and the first sensor. The robot according to claim 2, which is branched so as to spread in a shape or a U shape. 前記第２センサは、前記上下方向に配置した発光素子及び受光素子を備え、
前記発光素子及び前記受光素子は、前記ワークに近づく向きでの前記第１方向に沿った前記ハンドの動きに伴って前記発光素子及び前記受光素子の間の空間に前記ワークの前記外縁を受け入れることができるように配置されている、請求項１乃至３のいずれかに記載のロボット。 The second sensor includes a light emitting element and a light receiving element arranged in the vertical direction.
The light emitting element and the light receiving element receive the outer edge of the work in the space between the light emitting element and the light receiving element as the hand moves along the first direction in a direction approaching the work. The robot according to any one of claims 1 to 3, which is arranged so as to be capable of performing. 前記第２センサは、前記第１方向から前記ワークの中心側に傾いた方向に対して前記第２センサの取り付け位置から延びる上腕及び下腕を有し、前記上腕及び前記下腕の一方に前記発光素子が、他方に前記受光素子が設けられ、全体としてコの字型の断面を有し、
前記上腕及び前記下腕は前記ワークの中心に向けて延びている、請求項４に記載のロボット。 The second sensor has an upper arm and a lower arm extending from the mounting position of the second sensor with respect to a direction inclined from the first direction toward the center of the work, and the upper arm and the lower arm have the upper arm and the lower arm. The light emitting element is provided with the light receiving element on the other side, and has a U-shaped cross section as a whole.
The robot according to claim 4, wherein the upper arm and the lower arm extend toward the center of the work. 前記治具の外形が前記ワークの外形の一部と一致する、請求項１乃至５のいずれか１項に記載のロボット。 The robot according to any one of claims 1 to 5 , wherein the outer shape of the jig matches a part of the outer shape of the work. ワークを支持するハンドと昇降機構とを少なくとも備え、前記ワークを搬送するロボットであって、
前記ワークをロード／アンロードするときに前記ハンドの移動方向を第１方向とし、前記第１方向と上下方向とに直交する方向を第２方向として、
前記ハンドに取り付けられ発光部と受光部とを備えて前記第２方向に平行な光軸を有する第１センサと、
前記ハンドに取り付けられ前記ワークの外縁を検出する２つの第２センサと、
を有し、
前記２つの第２センサは前記第２方向に沿って相互に離隔して配置されており、
前記ハンドを前記上下方向への往復移動させることによる前記第１センサでの遮光によって前記ワークの高さ方向の端部を検出し、前記２つの第２センサによって前記ワークの異なる外縁を検出し、
前記第１方向をＹ軸方向として前記第２方向をＸ軸方向とするＸＹ座標系において、一方の前記第２センサが遮光されたことによって検出される前記ワークの外縁のＸＹ座標を（Ｘａ，Ｙａ）とし、他方の前記第２センサが遮光されたことによって検出される前記ワークの外縁のＸＹ座標を（Ｘｂ，Ｙｂ）とし、前記ワークは半径Ｒの円板形状であるとして、
前記ワークの中心位置として、前記ワークの中心の座標（Ｘｏ，Ｙｏ）を
Figure 0007023094000003
 によって算出するロボット。 A robot that has at least a hand that supports the work and an elevating mechanism to convey the work.
When loading / unloading the work, the moving direction of the hand is set as the first direction, and the direction orthogonal to the first direction and the vertical direction is set as the second direction.
A first sensor attached to the hand, having a light emitting part and a light receiving part, and having an optical axis parallel to the second direction,
Two second sensors attached to the hand to detect the outer edge of the work,
Have,
The two second sensors are arranged apart from each other along the second direction.
The end of the work in the height direction is detected by shading by the first sensor by reciprocating the hand in the vertical direction, and different outer edges of the work are detected by the two second sensors.
In the XY coordinate system with the first direction as the Y-axis direction and the second direction as the X-axis direction, the XY coordinates of the outer edge of the work detected by shading one of the second sensors are (Xa, It is assumed that the XY coordinates of the outer edge of the work detected by the other second sensor being shielded from light are (Xb, Yb), and the work is in the shape of a disk having a radius R.
As the center position of the work, the coordinates (Xo, Yo) of the center of the work are set.
Figure 0007023094000003
 Robot calculated by .
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Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7049909B2 (en) * 2018-05-11 2022-04-07 川崎重工業株式会社 Optical axis misalignment detection method for board transfer robot and board holding hand
US10867821B2 (en) * 2018-09-11 2020-12-15 Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha Substrate transfer robot and method of teaching edge position of target body
JP7303686B2 (en) * 2019-07-26 2023-07-05 ニデックインスツルメンツ株式会社 Work position detection method for robots
JP2021048322A (en) * 2019-09-19 2021-03-25 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス Substrate transferring apparatus and substrate transfer method
CN112786475A (en) * 2019-11-08 2021-05-11 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 Automatic deviation rectifying method for wafer
CN111958115B (en) * 2020-08-10 2022-06-14 上海智殷自动化科技有限公司 Rapid hand-eye calibration method for laser weld seam tracking
JP2022076060A (en) * 2020-11-09 2022-05-19 日本電産サンキョー株式会社 Teaching method for industrial robot
JP2023081152A (en) 2021-11-30 2023-06-09 ニデックインスツルメンツ株式会社 Industrial robot and teaching method for industrial robot

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001217303A (en) 2000-02-02 2001-08-10 Assist Japan Kk Device for detecting edge of glass board
JP2002076097A (en) 2000-08-30 2002-03-15 Hirata Corp Wafer transferring apparatus and method for wafer alignment
JP2006060135A (en) 2004-08-23 2006-03-02 Kawasaki Heavy Ind Ltd Substrate condition sensing equipment

Family Cites Families (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6317953B1 (en) * 1981-05-11 2001-11-20 Lmi-Diffracto Vision target based assembly
JPH08148546A (en) * 1994-11-22 1996-06-07 Sumitomo Metal Ind Ltd Wafer arrangement detection device
JPH10223732A (en) * 1996-12-02 1998-08-21 Toyota Autom Loom Works Ltd Positional deviation detecting device and method
US6136163A (en) * 1999-03-05 2000-10-24 Applied Materials, Inc. Apparatus for electro-chemical deposition with thermal anneal chamber
US6675068B1 (en) * 1999-03-10 2004-01-06 Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. Working robot
KR100690669B1 (en) * 2005-05-17 2007-03-09 엘지전자 주식회사 Position-reconizing system for a self-moving robot
JP4930853B2 (en) * 2005-07-15 2012-05-16 株式会社安川電機 Wafer transfer device
TWI398335B (en) 2006-11-27 2013-06-11 Nidec Sankyo Corp Workpiece conveying system
JP5453590B2 (en) 2007-12-29 2014-03-26 日本電産サンキョー株式会社 Robot hand control method and workpiece transfer robot system
US20090182454A1 (en) * 2008-01-14 2009-07-16 Bernardo Donoso Method and apparatus for self-calibration of a substrate handling robot
WO2009145082A1 (en) * 2008-05-27 2009-12-03 ローツェ株式会社 Carrier device, position-teaching method, and sensor jig
JP5280901B2 (en) * 2009-03-18 2013-09-04 光洋サーモシステム株式会社 Substrate processing system and substrate processing method
JP5491834B2 (en) * 2009-12-01 2014-05-14 川崎重工業株式会社 Edge grip device and robot including the same.
JP5333408B2 (en) * 2010-10-22 2013-11-06 東京エレクトロン株式会社 Holding member posture determination apparatus, method thereof, substrate processing apparatus, and storage medium
JP6040757B2 (en) * 2012-10-15 2016-12-07 東京エレクトロン株式会社 Positioning method of transport mechanism, method of calculating displacement amount of object to be processed, and correcting method of teaching data of transport mechanism
JP2015168012A (en) * 2014-03-04 2015-09-28 株式会社安川電機 Teaching jig, teaching system, and teaching method
JP6384195B2 (en) * 2014-08-20 2018-09-05 株式会社安川電機 Robot system and robot teaching method
KR20160055010A (en) * 2014-11-07 2016-05-17 삼성전자주식회사 wafer transfer robot and control method thereof
JP6522325B2 (en) 2014-12-08 2019-05-29 日本電産サンキョー株式会社 Industrial robot and teaching method of industrial robot
JP6316742B2 (en) * 2014-12-24 2018-04-25 東京エレクトロン株式会社 Substrate transport apparatus and substrate transport method
JP6468856B2 (en) * 2015-01-20 2019-02-13 リンテック株式会社 Transfer equipment
JP6710518B2 (en) * 2015-12-03 2020-06-17 東京エレクトロン株式会社 Conveying device and correction method
CN105666489B (en) * 2015-12-31 2017-11-10 北京七星华创电子股份有限公司 For correcting the manipulator and method of off-line teaching data
JP2017183665A (en) * 2016-03-31 2017-10-05 芝浦メカトロニクス株式会社 Substrate carrier device, substrate processing apparatus, and substrate processing method

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001217303A (en) 2000-02-02 2001-08-10 Assist Japan Kk Device for detecting edge of glass board
JP2002076097A (en) 2000-08-30 2002-03-15 Hirata Corp Wafer transferring apparatus and method for wafer alignment
JP2006060135A (en) 2004-08-23 2006-03-02 Kawasaki Heavy Ind Ltd Substrate condition sensing equipment

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