KR20190063405A

KR20190063405A - Substrate unloading apparatus

Info

Publication number: KR20190063405A
Application number: KR1020180144488A
Authority: KR
Inventors: 요시타카 니시오; 기요시 다카마츠; 츠토무 우에노
Original assignee: 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
Priority date: 2017-11-29
Filing date: 2018-11-21
Publication date: 2019-06-07
Also published as: CN110027910A; CN110027910B; JP6970431B2; JP2019102539A; TW201926522A

Abstract

The present invention provides a substrate unloading apparatus, which divides a dividing element into a plurality of times from a substrate divided into a plurality of dividing elements in at least a predetermined direction and is possible to smoothly and properly unload the same from a substrate mounting unit. A substrate unloading apparatus (1) comprises: a substrate mounting unit (2) on which a substrate (F) divided into a plurality of dividing elements in a predetermined direction is mounted; a sheet (3) covering an upper surface of the substrate (F) mounted on the substrate mounting unit (2); a sheet transfer unit (100) transferring the sheet (3) into the predetermined direction; and an unloading unit (300) unloading the dividing element of the substrate (F) which isn′t covered on the sheet (3).

Description

[0001] SUBSTRATE UNLOADING APPARATUS [0002]

본 발명은, 기판을 반출하기 위한 기판 반출 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate carrying-out apparatus for carrying out a substrate.

유리 기판 등의 취성(脆性) 재료 기판은, 기판 재치부에 재치된 상태에서 가공이나 반송이 이루어진다. 이하의 특허 문헌 1에는, 기판의 단부가 기판 재치부로부터 벗어난 에어리어에 위치하는 경우라도, 기판을 흡착할 수 있는 기판 재치부의 구성이 개시되어 있다. A brittle material substrate such as a glass substrate is processed or transported in a state of being placed on a substrate mounting portion. Patent Document 1 below discloses a structure of a substrate mounting portion capable of sucking a substrate even when the end portion of the substrate is located in an area deviated from the substrate mounting portion.

특허 문헌 1 : 일본특허공개 제2013－193167호 공보Patent Document 1: JP-A-2013-193167

기판이 복수의 분할 요소로 분할된 상태에서 기판 재치부에 재치되어 있는 경우, 소정수의 분할 요소마다 기판을 기판 재치부로부터 반출하는 구성이 이용될 수 있다. 이 경우, 반출 대상인 분할 요소만을 원활하게 반출할 수 있고, 나머지의 분할 요소는, 후속의 반출 동작시에 원활하게 반출할 수 있도록, 소정의 위치에 머물러 있는 것이 바람직하다. A configuration may be employed in which, when the substrate is placed on the substrate mounting section in a state where the substrate is divided into a plurality of division elements, the substrate is taken out from the substrate mounting section for each predetermined number of division elements. In this case, it is preferable that only the split elements to be carried out can be smoothly carried out, and the remaining split elements are preferably kept at predetermined positions so as to be smoothly carried out at the time of the subsequent take-out operation.

이러한 과제를 감안하여, 본 발명은, 적어도 소정 방향에서 복수의 분할 요소로 분할된 기판으로부터 분할 요소를 복수회 나누어 기판 재치부로부터 원활하게 또한 적절하게 반출하는 것이 가능한 기판 반출 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. In view of the above problems, it is an object of the present invention to provide a substrate carry-out apparatus capable of smoothly and suitably carrying out a division element from a substrate divided into a plurality of division elements at least in a predetermined direction, .

본 발명의 형태는, 기판 반출 장치에 관한 것이다. 이 형태에 관한 기판 반출 장치는, 적어도 소정 방향에서 복수의 분할 요소로 분할된 기판이 재치되는 기판 재치부와, 상기 기판 재치부에 재치된 상기 기판의 상면을 덮는 시트와, 상기 시트를 상기 소정 방향으로 보내는 시트 이송부와, 상기 시트에 의해 덮여져 있지 않은 상기 기판의 분할 요소를 반출하는 반출부를 구비하도록 구성된다. An aspect of the present invention relates to a substrate carry-out apparatus. A substrate carry-out apparatus according to this aspect includes a substrate mounting portion on which a substrate divided into a plurality of division elements at least in a predetermined direction is placed, a sheet covering an upper surface of the substrate placed on the substrate mounting portion, And a carry-out section for taking out the division elements of the substrate not covered by the sheet.

본 형태에 관한 기판 반출 장치에 의하면, 시트에 의해 덮여진 기판의 분할 요소는, 시트에 의해 눌려져 있기 때문에, 반출부는 시트에 의해 덮여져 있지 않은 기판의 분할 요소만을 확실하게 또한 원활하게 반출할 수 있다. 이 때, 시트에 의해 덮여진 기판의 분할 요소에는 어긋남이 생기지 않기 때문에, 반출부는, 후속의 반출 동작에서, 나머지의 분할 요소를 원활하게 또한 적절하게 반출할 수 있어, 예를 들면, 후속의 처리 장치의 기판 재치부에 정확하게 배치할 수 있다. 또, 시트 이송부에 의해 시트를 송출하는 양을 조정하면, 소망의 수(數)의 기판의 분할 요소를 반출할 수 있다. According to the substrate carry-out apparatus of this embodiment, since the partition elements of the substrate covered with the sheet are pressed by the sheet, the carry-out section can reliably and smoothly carry out only the partition elements of the substrate not covered by the sheet have. At this time, since the division elements of the substrate covered by the sheet do not deviate, the carry-out section can carry out the remaining division elements smoothly and appropriately in the subsequent carry-out operation, It can be accurately placed on the substrate mounting portion of the apparatus. In addition, by adjusting the amount of sheet conveyance by the sheet conveyance unit, a desired number of division elements of the substrate can be carried out.

본 형태에 관한 기판 반출 장치에서, 상기 기판 재치부는, 재치된 상기 기판의 하면에 압력을 부여하기 위한 압력 부여부를 구비하며, 상기 반출부에 의한 반출 동작시에 상기 압력 부여부에 의해 상기 기판의 하면에 정압(正壓)을 부여하여 공기를 보내도록 구성될 수 있다. In the substrate carry-out apparatus according to this embodiment, the substrate placing section may include a pressure applying section for applying pressure to the lower surface of the substrate placed on the substrate, And a positive pressure is applied to the lower surface to send air.

이것에 의해, 반출 동작전에 기판이 기판 재치부에 흡착 상태에서 재치되어 있는 경우라도, 반출 동작시에, 기판과 기판 재치부와의 사이의 흡착 상태가 적절하게 해제될 수 있다. 따라서, 반출부는, 시트에 의해 덮여져 있지 않은 기판의 분할 요소를 보다 원활하게 반출할 수 있다. 또, 나머지의 분할 요소는 시트에 의해 덮여져 있기 때문에, 기판의 하면이 흡착되어 있지 않아도, 또, 기판의 하면에 공기가 보내어져도, 나머지의 분할 요소의 위치 어긋남은 억제된다. 따라서, 후속의 반출 동작에서, 나머지의 분할 요소를 원활하게 또한 적절하게 반출할 수 있다. Thus, even when the substrate is placed on the substrate mounting portion before the taking-out operation, the state of attraction between the substrate and the substrate mounting portion can be appropriately released in the carrying out operation. Therefore, the carry-out section can smoothly carry out the division elements of the substrate not covered by the sheet. Further, since the remaining divided elements are covered with the sheet, even if air is sent to the lower surface of the substrate, the positional deviation of the remaining divided elements can be suppressed even if the lower surface of the substrate is not adsorbed. Therefore, in the subsequent take-out operation, the remaining divided elements can be smoothly and appropriately carried out.

또, 기판 재치부에는, 다수의 미세 구멍이 형성되어 있고, 압력 부여부가 기판에 대해서 공기를 보내는 경우, 공기는 이 미세 구멍을 통해서 기판에 보내어진다. Further, in the substrate mounting portion, a plurality of fine holes are formed, and when the pressure application portion sends air to the substrate, air is sent to the substrate through the fine holes.

본 형태에 관한 기판 반출 장치에서, 상기 시트 이송부는, 상기 소정 방향으로 이동 가능한 반송 롤러를 구비하며, 상기 시트는, 상기 반송 롤러의 외주면을 따르도록 접혀져 배치될 수 있다. 상기 시트 이송부는, 상기 기판의 상면측에서 상기 기판에 접촉하지 않도록 상기 반송 롤러를 이동시켜 상기 시트를 이송할 수 있다. In the substrate transport apparatus according to this embodiment, the sheet conveying section may include a conveying roller that is movable in the predetermined direction, and the sheet may be folded and disposed along the outer peripheral surface of the conveying roller. The sheet conveying unit may convey the sheet by moving the conveying roller so that the sheet conveying unit does not contact the substrate on the upper surface side of the substrate.

이것에 의해, 반출 대상 외의 분할 요소에 대해서, 시트의 반송 롤러의 외주면을 따르도록 접혀진 하측의 부분을 상기 부분의 자중에 의해 기판에 씌울 수 있다. 따라서, 분할 요소의 위치 어긋남을 보다 효과적으로 억제할 수 있다. As a result, with respect to the division element other than the object to be carried out, the lower portion folded along the outer peripheral surface of the sheet conveying roller can be covered by the weight of the portion on the substrate. Therefore, the positional deviation of the divided elements can be suppressed more effectively.

본 형태에 관한 기판 반출 장치에서, 상기 시트에 텐션을 부여하는 추와, 상기 추와 상기 반송 롤러와의 사이에 개재하고, 상기 시트를 상기 반송 롤러로 안내하는 가이드 롤러를 구비하도록 구성될 수 있다. A substrate carrying device according to this embodiment may be configured to include a weight for imparting tension to the sheet and a guide roller interposed between the weight and the conveying roller and for guiding the sheet to the conveying roller .

이 구성에 의하면, 추의 중력을 이용하는 간소한 구성에 의해, 시트에 원활하게 텐션을 부여할 수 있다. 또, 시트를 이동시킬 때에 시트에 텐션이 부여되기 때문에, 시트를 적절하게 기판 표면에 씌울 수 있고, 기판 표면의 시트를 씌우는 영역을 좁힐 때의 시트의 느슨함을 방지할 수 있다. 따라서, 반출 대상 외의 분할 요소 전체를 시트에 의해 적절히 덮을 수 있고, 시트를 적절하게 수납할 수 있다. According to this configuration, tension can be smoothly applied to the sheet by a simple structure using gravity of the weight. In addition, since tension is applied to the sheet when the sheet is moved, the sheet can be appropriately placed on the surface of the substrate, and the sheet can be prevented from slackening when the area covering the sheet on the surface of the substrate is narrowed. Therefore, the entire divided elements other than the object to be taken out can be appropriately covered by the sheet, and the sheet can be appropriately housed.

본 형태에 관한 기판 반출 장치에서, 상기 추는, 외주면의 적어도 일부가 외측으로 볼록한 곡면이 되도록 형성될 수 있다. 상기 시트는, 상기 추의 외주면을 따르도록 접혀져 배치됨과 아울러, 단부가 이동 불가능하게 고정되도록 구성될 수 있다. In the substrate carry-out apparatus according to this embodiment, the weight may be formed such that at least a part of the outer circumferential surface is curved outwardly convex. The seat may be configured to be folded along the outer circumferential surface of the weight, and the end portion may be fixed so as not to be movable.

이것에 의해, 추는, 곡면 부분이 시트에 슬라이드 접촉하면서, 시트의 이동에 의해 상하로 움직이게 된다. 따라서, 반송 롤러의 이동에 의해 시트가 이송되고 있는 동안, 추는 시트에 적절하게 텐션을 계속 부여할 수 있다. As a result, the weight moves up and down by the movement of the sheet while the curved surface portion is in slide contact with the sheet. Therefore, while the sheet is being conveyed by the movement of the conveying roller, tension can be continuously applied to the weighing sheet appropriately.

이 경우, 상기 추는, 가이드 부재에 의해 상하 방향으로 이동 가능하게 지지된 상태에서, 상기 시트의 접힘 위치에 놓여져 있다. 이 구성이면, 추가 시트로부터 어긋나는 것을 억제할 수 있어, 시트에 안정적으로 텐션을 부여할 수 있다. In this case, the weight is placed at the folded position of the seat in a state of being supported so as to be movable up and down by the guide member. With this configuration, deviation from the additional sheet can be suppressed, and tension can be stably applied to the sheet.

이상과 같이, 본 발명에 의하면, 적어도 소정 방향에서 복수의 분할 요소로 분할된 기판으로부터 분할 요소를 복수회 나누어 기판 재치부로부터 원활하게 또한 적절하게 반출하는 것이 가능한 기판 반출 장치를 제공할 수 있다. As described above, according to the present invention, it is possible to provide a substrate carry-out apparatus capable of smoothly and suitably carrying out division elements from a substrate divided into a plurality of division elements at least in a predetermined direction from a substrate placement section.

본 발명의 효과 내지 의의는, 이하에 나타내는 실시 형태의 설명에 의해 더욱 분명해질 것이다. 다만, 이하에 나타내는 실시 형태는, 어디까지나, 본 발명을 실시화할 때의 하나의 예시로서, 본 발명은, 이하의 실시 형태에 기재된 것에 어떤 제한이 되는 것은 아니다. The effect or significance of the present invention will become more apparent from the description of the embodiments described below. It should be noted, however, that the embodiments described below are merely illustrative of the embodiments of the present invention, and the present invention is not limited to what is described in the following embodiments.

도 1은, 실시 형태에 관한 기판 반출 장치의 외관 구성을 나타내는 사시도이다.
도 2는, 실시 형태에 관한 기판 반출 장치의 시트 이송부의 구성을 설명하기 위한 사시도이다.
도 3은, 실시 형태에 관한 기판 반출 장치의 시트 가이드부의 구성을 설명하기 위한 분해 사시도이다.
도 4의 (a)는, 실시 형태에 관한 기판 반출 장치의 구성을 나타내는 블록도이다. 도 4의 (b)는, 실시 형태에 관한 기판 반출 장치의 동작을 나타내는 플로우차트이다.
도 5의 (a)~(d)는, 각각, 실시 형태에 관한 기판 반출 장치의 동작을 모식적으로 나타내는 측면도이다. Fig. 1 is a perspective view showing an external configuration of a substrate carry-out apparatus according to the embodiment. Fig.
2 is a perspective view for explaining a configuration of a sheet conveying portion of a substrate carry-out apparatus according to the embodiment.
3 is an exploded perspective view for explaining the structure of the sheet guide portion of the substrate carry-out apparatus according to the embodiment.
Fig. 4 (a) is a block diagram showing a configuration of a substrate carry-out apparatus according to the embodiment. 4 (b) is a flowchart showing the operation of the substrate take-out apparatus according to the embodiment.
5A to 5D are side views schematically showing the operation of the substrate take-out apparatus according to the embodiment, respectively.

이하, 본 발명의 실시 형태에 대해서, 도면을 참조하여 설명한다. 또, 각 도면에는, 편의상, 서로 직교하는 X축, Y축 및 Z축이 부기(付記)되어 있다. X－Y평면은 수평면에 평행이고, Z축 방향은 연직 방향이다. Z축 정(正)측이 상부이며, Z축 부(負)측이 하부이다. DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the drawings, the X axis, the Y axis, and the Z axis are orthogonal to one another for the sake of convenience. The X-Y plane is parallel to the horizontal plane, and the Z-axis direction is the vertical direction. The Z axis positive side is the upper side and the Z axis side (negative side) is the lower side.

＜실시 형태＞<Embodiment>

유리 기판 및 세라믹스 기판 등의 취성 재료 기판이나, PET(폴리에틸렌 테레프탈레이트 수지) 기판 및 폴리이미드 수지 기판 등의 수지 기판 등(이후, 간단하게 「기판」이라고 함)은, 여러 가지의 처리를 거쳐 최종 제품이 된다. 이러한 처리로서, 예를 들면, 기판을 소정수의 분할 요소로 절단하는 처리나, 기판을 절단한 경우에 생기는 단재(端材)를 제거하는 처리, 기판의 표면을 클리닝하는 처리 등이 있다. 기판은, 처리마다 소정의 스테이지로 반송되고, 처리가 종료되면 다음의 처리를 위해서 다른 스테이지로 반출된다. 본 실시 형태에 관한 기판 반출 장치(1)는, 특히, 적어도 소정 방향에서 복수의 분할 요소로 분할된 상태의 기판(F)을 복수회 나누어 반출하기 위한 장치이다. 또, 본 실시 형태에서 소정 방향은, X축의 정방향으로서, 분할 요소의 반출 방향과 일치하고 있다. A brittle material substrate such as a glass substrate and a ceramics substrate, a resin substrate such as a PET (polyethylene terephthalate resin) substrate and a polyimide resin substrate (hereinafter simply referred to as a " substrate "), Product. Such processing includes, for example, a process of cutting a substrate into a predetermined number of divided elements, a process of removing an end material that occurs when the substrate is cut, a process of cleaning the surface of the substrate, and the like. The substrate is transported to a predetermined stage for each process, and is transported to another stage for the next process when the process is finished. The substrate carry-out apparatus 1 according to the present embodiment is an apparatus for carrying out a substrate F divided into a plurality of divided elements at least in a predetermined direction in a plurality of times. In the present embodiment, the predetermined direction is the forward direction of the X-axis and coincides with the direction in which the division elements are moved out.

도 1은, 실시 형태에 관한 기판 반출 장치(1)의 외관 구성을 나타내는 사시도이다. 도 1에 나타내는 바와 같이, 기판 반출 장치(1)는, 기판 재치부(2)와, 시트(3)와, 압력 부여부(4)와, 시트 이송부(100)와, 시트 가이드부(200)와, 반출부(300)를 구비한다. Fig. 1 is a perspective view showing an external configuration of the substrate carrying-out apparatus 1 according to the embodiment. 1, the substrate carry-out apparatus 1 includes a substrate mounting portion 2, a sheet 3, a pressure applying portion 4, a sheet conveying portion 100, a sheet guide portion 200, And a take-out unit 300.

기판 재치부(2)는, 적어도 소정 방향에서 복수의 분할 요소로 분할된 기판(F)이 재치된다. 여기서, 소정 방향이란, 기판(F)의 반출 방향이다. 또, 기판(F)은, 소정 방향으로 분할되고, 소정 방향에 대해서 수직으로 더 분할되어도 괜찮다. 이와 같이 분할된 기판(F)은, 분할 요소가 바둑판 모양으로 되어 있다. In the substrate mounting section 2, a substrate F divided into a plurality of divisional elements in at least a predetermined direction is placed. Here, the predetermined direction is the carry-out direction of the substrate F. Further, the substrate F may be divided in a predetermined direction and further divided vertically in a predetermined direction. In the substrate F thus divided, the dividing elements are formed in a checkerboard shape.

기판 재치부(2)는, 예를 들면, 반출 대상이 되는 기판(F)을 재치하기 위한 평탄면을 가지는 부품이며, 테이블이나 벨트 컨베이어 등이 포함된다. 도 1에서는, 기판 재치부(2)에 대해서 X축 방향의 부측(負側)으로부터 시트 가이드부(200) 및 시트 이송부(100)가 배치되어 있다. 여기서, 도 1에서 나타내어져 있는 기판 반출 장치(1)는, 기판(F)이 반송되기 직전의 상태를 나타내고 있고, 기판(F)은 생략되어 있다. 도 1에 나타내어져 있는 기판 반출 장치(1)의 상태가, 「초기 상태」이다. 이 초기 상태에는, 기판(F)이 기판 반출 장치(1)에 반입되어 기판 재치부(2)에 재치되고, 기판(F)의 분할 요소가 반출되기 직전의 기판 반출 장치(1)의 상태도 포함된다. 또, 기판 재치부(2)에는, 다수의 미세 구멍이 형성되어 있고, 다음에서 설명하는 압력 부여부(4)에 의한 압력은, 이 미세 구멍을 통해서 기판(F)에 보내어진다. The substrate mounting portion 2 is a component having a flat surface for mounting a substrate F to be taken out, for example, and includes a table, a belt conveyor, and the like. 1, the sheet guide portion 200 and the sheet conveying portion 100 are arranged from the negative side in the X-axis direction with respect to the substrate placing portion 2. [ Here, the substrate carry-out apparatus 1 shown in Fig. 1 shows a state immediately before the substrate F is transported, and the substrate F is omitted. The state of the substrate carry-out apparatus 1 shown in Fig. 1 is " initial state ". In this initial state, the state of the substrate carry-out apparatus 1 immediately before the substrate F is carried into the substrate carry-in apparatus 1 and placed on the substrate placing section 2 and the split elements of the substrate F are carried out . A plurality of fine holes are formed in the substrate mounting portion 2 and the pressure by the pressure applying portion 4 to be described below is sent to the substrate F through the fine holes.

기판에는, 예를 들면, 폴리이미드 수지, 폴리아미드 수지, PET 등의 폴리에스테르 수지, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌 등의 폴리올레핀 수지, 폴리스티렌, 폴리염화비닐 등의 폴리비닐 수지 등의 수지 기판 등의 유기질 기판(필름이나 시트도 포함함. 이하 동일), 유리 기판이나 세라믹스 기판 등의 취성 재료 기판 등의 무기질 기판이 있지만, 본 실시 형태에 관한 기판 반출 장치(1)의 반출 대상의 기판(F)은, 수지 기판이다. 수지 기판은, 다른 기판이 적층되어 있어도 좋고, 예를 들면, PET, 폴리이미드 수지, PET를 하층으로부터 이 순서로 적층한 기판으로 해도 좋다. Examples of the substrate include a substrate such as a polyimide resin, a polyamide resin, a polyester resin such as PET, a polyolefin resin such as polyethylene or polypropylene, or a resin substrate such as polyvinyl resin such as polystyrene or polyvinyl chloride And a brittle material substrate such as a glass substrate or a ceramics substrate. However, the substrate F to be unloaded from the substrate carry-out apparatus 1 according to the present embodiment is a resin Substrate. The resin substrate may be laminated with other substrates, for example, PET, polyimide resin, or PET laminated in this order from the bottom.

또, 기판 반출 장치(1)에 반입되는 기판(F)은, 복수의 분할 요소로 분할된 상태이다. 본 실시 형태에 관한 기판 반출 장치(1)에는, 절단의 처리에 의해 생긴 단재(端材)가 포함될 수 있는 상태의 기판(F)이 반입된다. 이러한 단재에는, 기판(F)의 외주를 따르도록 생긴 단재나, 분할 요소끼리의 사이에 생긴 단재가 포함된다. The substrate F to be carried into the substrate carrying-out apparatus 1 is divided into a plurality of division elements. The substrate carrying device 1 according to the present embodiment is loaded with the substrate F in a state in which the end material formed by the cutting process can be contained. Such a stage member includes a stage member formed along the outer periphery of the substrate F and a stage member formed between the division members.

시트(3)는, 기판(F)의 상면을 덮는다. 시트(3)의 재질은, 특별히 한정되지 않지만, 고분자 수지가 바람직하고, 구체적으로는, 폴리에틸렌, 폴리스티렌, PET 등이 적합하다. The sheet (3) covers the upper surface of the substrate (F). The material of the sheet 3 is not particularly limited, but a polymer resin is preferable, and specifically, polyethylene, polystyrene, PET and the like are suitable.

압력 부여부(4)는, 공기 압력원을 포함하며, 기판 재치부(2)의 하면에 마련되고, 기판(F)의 하면에 압력을 부여한다. 압력 부여부(4)가 기판(F)에 압력을 부여하면, 기판 재치부(2)의 하면에 형성되어 있는 다수의 미소(微小)한 구멍을 통해서, 기판(F)의 하면에 압력이 부여된다. 압력 부여부(4)가 기판(F)에 대해서 부압(負壓)을 부여하면, 기판(F)은 기판 재치부(2)에 흡착된다. 이 때문에, 기판(F)을 기판 재치부(2)로부터 떨어뜨리기 어려워진다. 따라서, 기판(F)의 분할 요소의 위치 어긋남은 억제된다. 이것에 대해서, 압력 부여부(4)가 기판(F)에 대해서 부압을 부여하지 않는 경우, 및 정압을 부여하는 경우, 기판(F)에 대한 기판 재치부(2)의 흡착이 해제된다. 이 때문에, 기판(F)을 기판 재치부(2)로부터 용이하게 떨어질 수 있다. The pressure applying unit 4 includes an air pressure source and is provided on the lower surface of the substrate mounting unit 2 and applies pressure to the lower surface of the substrate F. [ When the pressure applying unit 4 applies pressure to the substrate F, pressure is applied to the lower surface of the substrate F through a plurality of minute holes formed in the lower surface of the substrate mounting unit 2 do. The substrate F is attracted to the substrate placing portion 2 when the pressure applying portion 4 gives a negative pressure to the substrate F. [ This makes it difficult for the substrate F to be dropped from the substrate mounting portion 2. Therefore, the positional deviation of the divisional elements of the substrate F is suppressed. In contrast, when the pressure applying unit 4 does not apply a negative pressure to the substrate F and when a positive pressure is applied, the adsorption of the substrate mounting unit 2 to the substrate F is released. Therefore, the substrate F can be easily separated from the substrate mounting portion 2. [

시트 이송부(100)는, 기판 재치부(2)에 재치된 기판(F)의 상면에 시트(3)를 이송한다. 시트 가이드부(200)는, 시트 이송부(100)에 시트(3)를 송출할 때, 및 송출한 시트(3)를 회수할 때, 시트(3)를 원활하게 이송한다. The sheet conveying section 100 conveys the sheet 3 to the upper surface of the substrate F placed on the substrate placing section 2. [ The sheet guide portion 200 smoothly feeds the sheet 3 when the sheet 3 is fed to the sheet feeding portion 100 and when the fed sheet 3 is collected.

반출부(300)는, 시트(3)에 의해 덮여져 있지 않은 기판(F)의 분할 요소를 반출한다. 도 1에 나타내는 바와 같이, 기판 반출 장치(1)의 초기 상태에서, 반출부(300)는, X축 방향의 정측으로서 기판 재치부(2)에 대해서 상부에 배치되어 있다. 또, 기판 반출 장치(1)는, 기판 재치부(2)의 상부로서, X축 방향으로 2개의 레일(301 및 302)이 배치되어 있다. 반출부(300)는, 레일(301 및 302)에 걸려져 있고, 이 레일(301 및 302)을 따라 X축 방향으로 슬라이드 이동 가능하도록 구성되어 있다. The take-out unit 300 takes out the divided elements of the substrate F which are not covered by the sheet 3. [ As shown in Fig. 1, in the initial state of the substrate carry-in apparatus 1, the carry-out portion 300 is disposed on the upper side with respect to the substrate placing portion 2 as a positive side in the X- In the substrate carrying-out apparatus 1, two rails 301 and 302 are arranged in the X-axis direction as the upper portion of the substrate mounting section 2. [ The carry-out portion 300 is hooked on the rails 301 and 302, and is configured to be slidable along the rails 301 and 302 in the X-axis direction.

반출부(300)는, 기판(F)에 흡착할 수 있는 흡착부(310)와, 신축 가능한 관 부재(320)를 구비한다. 반출부(300)는, 반출 대상인 분할 요소의 바로 위에 흡착부(310)가 위치하도록, X축의 부(負)방향으로 이동한다. 그리고, 반출부(300)는, 소정의 위치까지 이동하면, 관 부재(320)를 연신시키고, 흡착부(310)에 반출 대상인 분할 요소를 흡착시킨다. 반출부(300)는, 관 부재(320)를 수축시켜 분할 요소를 들어 올린다. 흡착부(310)는 Y축 방향에서 복수의 흡착부에 의해 분할되어 있어도 좋고, Y축 방향에서 복수로 분할된 분할 요소를 각 흡착부가 흡착하도록 해도 괜찮다. 반출부(300)는, 반출 대상인 분할 요소를 흡착한 상태에서, X축의 정방향으로 이동하고, 소정의 장소에 분할 요소를 재치한다. 이와 같이 하여, 반출부(300)는 기판(F)을 분할 요소마다 반출한다. The take-out unit 300 includes a suction unit 310 capable of being sucked onto the substrate F and a flexible tube member 320. [ The take-out unit 300 moves in the negative direction of the X-axis so that the attracting unit 310 is positioned just above the split element to be unloaded. When the carry-out part 300 moves to a predetermined position, the pipe member 320 is stretched and the split element to be carried out is attracted to the attracting part 310. [ The take-out unit 300 contracts the pipe member 320 to lift up the split element. The adsorption unit 310 may be divided by a plurality of adsorption units in the Y-axis direction, or the adsorption units may adsorb a plurality of division elements divided in the Y-axis direction. The take-out unit 300 moves in the forward direction of the X-axis in a state of sucking the split elements to be carried out, and places the split elements at a predetermined position. In this way, the carry-out unit 300 takes out the substrate F for each division element.

도 2는, 실시 형태에 관한 기판 반출 장치(1)의 시트 이송부(100)의 구성을 설명하기 위한 사시도이다. 도 2는, 도 1에 대응하고 있고, 시트 이송부(100)의 초기 상태를 나타내는 사시도이다. 2 is a perspective view for explaining a configuration of the sheet conveying unit 100 of the substrate carrying apparatus 1 according to the embodiment. Fig. 2 is a perspective view showing an initial state of the sheet conveying unit 100, corresponding to Fig.

도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 시트 이송부(100)는, 반송 롤러(110)와, 반송부(120)와, 가이드 롤러(130)를 구비한다. 반송 롤러(110)는, 기판(F)의 상면측에서 기판(F)에 접촉하지 않고 X축의 정방향 및 부방향으로 이동한다. 반송 롤러(110)의 길이 방향의 길이, 즉, Y축 방향의 길이는, 기판 재치부(2)의 Y축 방향의 길이보다도 길다. 1 and 2, the sheet conveying unit 100 includes a conveying roller 110, a conveying unit 120, and a guide roller 130. As shown in FIG. The conveying roller 110 moves in the forward and backward directions of the X axis without contacting the substrate F on the upper surface side of the substrate F. [ The length in the longitudinal direction of the conveying roller 110, that is, the length in the Y-axis direction is longer than the length in the Y-axis direction of the substrate mounting portion 2. [

반송 롤러(110)에서, Y축 방향의 정측에 반송 브라켓(111a)이 마련되고, Y축 방향의 부측에 반송 브라켓(111b)이 마련되어 있다. 반송 브라켓(111a)에는, X축 방향의 부측으로부터 순서대로, 풀리(112a, 113a, 및 114a)가 마련되어 있다. 도시하지 않지만, 반송 브라켓(111b)도 마찬가지로, X축 방향의 부측으로부터 순서대로, 풀리(112b, 113b, 및 114b)가 마련되어 있다. 또, 반송 브라켓(111a 및 111b)의 하부에는, 각각 반송 슬라이더(125a 및 125b)가 마련되어 있다. 반송 슬라이더(125a 및 125b)에 대해서는, 다음에 설명한다. In the conveying roller 110, a conveying bracket 111a is provided on the positive side in the Y-axis direction, and a conveying bracket 111b is provided on the side in the Y-axis direction. The conveyance bracket 111a is provided with pulleys 112a, 113a, and 114a in this order from the side in the X-axis direction. Although not shown, pulleys 112b, 113b, and 114b are also provided in this order from the side in the X-axis direction in the conveyance bracket 111b. Further, conveying sliders 125a and 125b are provided below the conveying brackets 111a and 111b, respectively. The conveyance sliders 125a and 125b will be described next.

반송부(120)는, 반송 롤러(110)를 기판(F)의 상면측에서 이동시킨다. 도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 반송부(120)는, Y축 방향의 정측에, 반송 벨트(121a)와, 풀리(122a)와, 풀리(123a)와, 반송 레일(124a)과, 반송 슬라이더(125a)를 구비한다. The carry section 120 moves the conveying roller 110 on the upper surface side of the substrate F. [ 1 and 2, the carry section 120 is provided with a carrying belt 121a, a pulley 122a, a pulley 123a, a carrying rail 124a, And a return slider 125a.

반송 벨트(121a)는, 기판 재치부(2)의 X축 방향을 따르도록 배치되어 있고, 풀리(122a) 및 풀리(123a)에 걸려져 있다. 풀리(122a)는, 기판 재치부(2)에 대해서 X축 방향의 부측에 배치되어 있고, 풀리(123a)는, 기판 재치부(2)에 대해서 X축 방향의 정측에 배치된다. 풀리(122a) 및 풀리(123a)는, 각각 고정판(5a 및 6a)에 고정되어 있고, 고정판(5a 및 6a)은, 기판 반출 장치(1)의 프레임(7a)에 고정된다. 또, 반송 벨트(121a)는, X축의 정방향으로부터 순서대로, 반송 브라켓(111a)의 풀리(112a)의 하단면, 풀리(113a)의 상단면, 풀리(114a)의 하단면에 맞닿도록 걸려진다. The carrying belt 121a is disposed along the X axis direction of the substrate mounting portion 2 and is caught by the pulley 122a and the pulley 123a. The pulley 122a is disposed on the side in the X axis direction with respect to the substrate mounting portion 2 and the pulley 123a is disposed on the positive side in the X axis direction with respect to the substrate mounting portion 2. [ The pulleys 122a and the pulleys 123a are fixed to the fixing plates 5a and 6a respectively and the fixing plates 5a and 6a are fixed to the frame 7a of the substrate carrying- The conveyor belt 121a is engaged with the lower end face of the pulley 112a of the conveyance bracket 111a, the upper face of the pulley 113a and the lower end face of the pulley 114a in this order from the positive direction of the X axis .

반송 벨트(121a)의 하부에는, 프레임(7a)에 고정되어 있는 반송 레일(124a)이 반송 벨트(121a)를 따라서 배치되어 있다. 반송 슬라이더(125a)는, 반송 브라켓(111a)의 하부에 마련되어 있고, 반송 레일(124a)을 슬라이드 이동 가능하도록 반송 레일(124a)에 장착된다. A conveying rail 124a fixed to the frame 7a is disposed below the conveying belt 121a along the conveying belt 121a. The conveyance slider 125a is provided below the conveyance bracket 111a and mounted on the conveyance rail 124a so as to allow the conveyance rail 124a to slide.

상기한 구성은, 도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, Y축 방향의 부측도 마찬가지이다. 즉, 반송부(120)는, Y축 방향의 부측에, 반송 벨트(121b)와, 풀리(122b)와, 풀리(123b)와, 반송 레일(124b)을 구비하고 있고, 풀리(122b) 및 풀리(123b)는, 각각 고정판(5b 및 6b)에 고정되어 있으며, 고정판(5b 및 6b)은, 기판 반출 장치(1)의 프레임(7b)에 고정된다. 반송 슬라이더(125b)는, 반송 브라켓(111b)의 하부에 마련되어 있고, 반송 레일(124b)을 슬라이드 이동 가능하도록 반송 레일(124b)에 장착된다. 또, 풀리(122a) 및 풀리(122b)는, 샤프트(126)에 의해 연결되어 있다. As shown in Figs. 1 and 2, the above-described configuration is also applicable to the side in the Y-axis direction. That is, the carry section 120 includes a conveyor belt 121b, a pulley 122b, a pulley 123b, and a conveyor rail 124b on the side in the Y-axis direction, and the pulleys 122b, The pulleys 123b are fixed to the fixing plates 5b and 6b respectively and the fixing plates 5b and 6b are fixed to the frame 7b of the substrate carrying- The conveyance slider 125b is provided below the conveyance bracket 111b and mounted on the conveyance rail 124b so as to allow the conveyance rail 124b to slide. The pulley 122a and the pulley 122b are connected by a shaft 126. [

반송 슬라이더(125a)는, 도시하지 않은 구동부로부터 구동력이 부여되면, 반송 레일(124a)을 슬라이드 이동시킨다. 한편, 반송 슬라이더(125b)도 반송 슬라이더(125a)와 마찬가지로, 반송 레일(124b)을 슬라이드 이동시킨다. 상기와 같이, 반송 브라켓(111a)의 풀리(112a, 113a, 및 114a)에는, 반송 벨트(121a)가 걸려져 있고, 반송 브라켓(111b)의 풀리(112b, 113b, 및 114b)에는, 반송 벨트(121b)가 걸려져 있기 때문에, 반송 롤러(110)는 안정되게 X축 방향으로 이동할 수 있다. 또, 풀리(122a 및 122b)는, 샤프트(126)에 의해 연결되어 있고, 풀리(122a 및 122b)의 회전량은 일치한다. 따라서, 반송 슬라이더(125a 및 125b)의 이동 속도는 일치한다. The conveying slider 125a slides the conveying rail 124a when a driving force is applied from a driving unit (not shown). On the other hand, the conveyance slider 125b also slides the conveyance rail 124b like the conveyance slider 125a. As described above, the conveyor belt 121a is engaged with the pulleys 112a, 113a, and 114a of the conveyor bracket 111a, and the pulleys 112b, 113b, and 114b of the conveyor bracket 111b are engaged with the conveyor belt 121a. The conveying roller 110 can stably move in the X-axis direction. The pulleys 122a and 122b are connected by a shaft 126, and the rotation amounts of the pulleys 122a and 122b coincide with each other. Therefore, the moving speeds of the transport sliders 125a and 125b coincide with each other.

도 3은, 실시 형태에 관한 기판 반출 장치(1)의 시트 가이드부(200)의 구성을 설명하기 위한 분해 사시도이다. 도 3은, 도 1 및 도 2에 대응하고 있고, 시트 가이드부(200)의 초기 상태를 나타내는 사시도이다. 3 is an exploded perspective view for explaining the structure of the sheet guide portion 200 of the substrate carrying device 1 according to the embodiment. Fig. 3 is a perspective view showing an initial state of the sheet guide portion 200, corresponding to Fig. 1 and Fig.

도 1 및 도 3에 나타내는 바와 같이, 시트 가이드부(200)는, 추(210 및 220)와, 샤프트(260)를 구비한다. 또, 시트 가이드부(200)는, Y축 방향의 정측에, 가이드 부재로서, 가이드판(230a)과, 가이드 레일(240a)과, 가이드 슬라이더(250a)를 구비한다.As shown in Figs. 1 and 3, the sheet guide portion 200 includes weights 210 and 220 and a shaft 260. Fig. The sheet guide portion 200 is provided with a guide plate 230a, a guide rail 240a and a guide slider 250a as guide members on the positive side in the Y-axis direction.

추(210)는, 시트(3)가 시트 이송부(100)에 의해서 이송되고 있는 동안, 시트(3)에 텐션을 부여한다. 추(210)는, 샤프트이며, Y축 방향의 단부(210a 및 210b)에 각각, 축(211a 및 211b)이 마련되어 있다. 축(211a 및 211b)의 각각에는, 또한, 돌기부(212a 및 212b)가 마련되어 있다. 추(220)는, 추(210)와 동일한 부재이며, Y축 방향의 단부(220a 및 220b)에 각각, 축(221a 및 221b)이 마련되고, 축(221a 및 221b)의 각각에는, 또한, 돌기부(222a 및 222b)가 마련되어 있다. The weight 210 imparts tension to the sheet 3 while the sheet 3 is being conveyed by the sheet conveying unit 100. [ The weight 210 is a shaft and is provided with shafts 211a and 211b at the ends 210a and 210b in the Y axis direction, respectively. The projections 212a and 212b are further provided on each of the shafts 211a and 211b. The weight 220 is the same member as the weight 210 and is provided with shafts 221a and 221b at the ends 220a and 220b in the Y axis direction and each of the shafts 221a and 221b also has, And protrusions 222a and 222b are provided.

가이드판(230a)에는, 동일한 사이즈인 홈(231a 및 232a)이 Z축 방향으로 형성되어 있다. 홈(231a)의 폭은, 추(210)의 샤프트부의 지름 및 돌기부(212a)의 지름보다도 작고, 축(211a)의 지름보다도 크게 설정되어 있다. 홈(231a)에 추(210)의 축(211a)을 끼우고, 축(211a)의 선단에 돌기부(212a)가 장착된다. 마찬가지로, 홈(232a)에 추(220)의 축(221a)을 끼워, 축(221a)의 선단에 돌기부(222a)가 장착된다. 이것에 의해, 추(210 및 220)는, 시트(3)로부터 돌출되지 않고, 안정되게 상하로 이동할 수 있다. In the guide plate 230a, grooves 231a and 232a having the same size are formed in the Z-axis direction. The width of the groove 231a is smaller than the diameter of the shaft portion of the weight 210 and the diameter of the projection 212a and is set larger than the diameter of the shaft 211a. The shaft 211a of the weight 210 is inserted into the groove 231a and the projection 212a is fitted to the end of the shaft 211a. Similarly, the shaft 221a of the weight 220 is inserted in the groove 232a, and the projection 222a is mounted on the tip of the shaft 221a. As a result, the weights 210 and 220 can move stably up and down without protruding from the seat 3. [

가이드판(230a)에는, 홈(231a 및 232a)을 따르도록 가이드 레일(240a)이 마련되어 있다. 가이드 레일(240a)에 슬라이드 이동 가능한 가이드 슬라이더(250a)가 장착되어 있고, 가이드 슬라이더(250a)는, 추(210)의 돌기부(212a) 및 추(220)의 돌기부(222a)와 걸린다. The guide plate 230a is provided with guide rails 240a along the grooves 231a and 232a. A guide slider 250a slidable on the guide rail 240a is mounted and the guide slider 250a is engaged with the protrusion 212a of the weight 210 and the protrusion 222a of the weight 220. [

기판 반출 장치(1)는, Y축 방향의 부측에, 가이드판(230a)과 쌍이 되는 가이드판(230b)을 구비한다. 가이드판(230b)은, 가이드판(230a)과 마찬가지로, 동일한 사이즈인 홈(231b 및 232b)이 Z축 방향으로 형성되어 있다. 홈(231b)에 추(210)의 축(211b)이 끼워져, 축(211b)의 선단에 돌기부(212b)가 장착된다. 마찬가지로, 홈(232b)에 추(220)의 축(221b)이 끼워져, 축(221b)의 선단에 돌기부(222b)가 장착된다. The substrate carry-out apparatus 1 is provided with a guide plate 230b which is paired with the guide plate 230a on the side in the Y-axis direction. In the guide plate 230b, grooves 231b and 232b having the same size are formed in the Z-axis direction, like the guide plate 230a. The shaft 211b of the weight 210 is fitted in the groove 231b and the projection 212b is fitted to the tip of the shaft 211b. Similarly, the shaft 221b of the weight 220 is fitted in the groove 232b, and the projection 222b is mounted on the tip of the shaft 221b.

또, 가이드판(230b)에는, 홈(231b 및 232b)을 따르도록, 도시하지 않은 가이드 레일(240b)이 마련되어 있다. 이 가이드 레일(240b)에 슬라이드 이동 가능한 가이드 슬라이더(250b)가 장착되어 있다. 가이드 슬라이더(250b)는, 추(210)의 돌기부(212b) 및 추(220)의 돌기부(222b)에 걸린다. The guide plate 230b is provided with guide rails 240b (not shown) along the grooves 231b and 232b. And a guide slider 250b slidable on the guide rail 240b is mounted. The guide slider 250b is engaged with the protrusion 212b of the weight 210 and the protrusion 222b of the weight 220. [

시트(3)는, 이하와 같이 하여 기판 반출 장치(1)에 셋팅된다. 시트(3)는, Y축 방향으로 연장되는 단부 가장자리부(3a)에서 도시하지 않은 시트 고정부에 의해 고정된다. 시트(3)는, 단부 가장자리부(3a)로부터 하부로 연장되며, 추(210)의 외주면을 따르도록 접혀져 상부로 연장되고, 샤프트(260)의 외주면을 따르도록 접혀져 하부로 연장된다. 그리고, 시트(3)는, 추(220)의 외주면을 따르도록 접혀져 상부로 연장되고, 가이드 롤러(130)의 외주면을 따르도록 접혀진다. 이곳으로부터, 시트(3)는 X축의 정방향으로 연장되고, 반송 롤러(110)의 외주면을 따르도록 접혀져, X축의 부방향으로 연장되며, 시트(3)는, 단부 가장자리부(3b)의 모서리부가 시트 협지부(挾持部)(270a 및 270b)에 끼워 지지된다. 도 1에 나타내는 바와 같이, 시트 협지부(270a 및 270b)는, 각각, 프레임(7a 및 7b)에 고정되어 있다. 이와 같이 하여, 시트(3)는 기판 반출 장치(1)에 배치된다. The sheet 3 is set in the substrate carry-out apparatus 1 as follows. The sheet 3 is fixed by a sheet fixing portion (not shown) at an end edge portion 3a extending in the Y-axis direction. The seat 3 extends downward from the end edge portion 3a and extends downward along the outer peripheral surface of the weight 210 and extends downward along the outer peripheral surface of the shaft 260 to extend downward. The sheet 3 is folded along the outer circumferential surface of the weight 220 and extends upward and folded along the outer circumferential surface of the guide roller 130. [ From which the sheet 3 extends in the positive direction of the X axis and folds along the outer circumferential surface of the conveying roller 110 and extends in the minor direction of the X axis and the sheet 3 is folded along the outer periphery of the conveying roller 110, And is held by the sheet holding portions 270a and 270b. As shown in Fig. 1, the sheet holding portions 270a and 270b are fixed to the frames 7a and 7b, respectively. In this manner, the sheet 3 is placed on the substrate carrying-out apparatus 1. [

반송 롤러(110)가 X축의 정방향으로 이동하면, 가이드 슬라이더(250a 및 250b)가 가이드 레일(240a 및 240b)을 따라서 상부로 슬라이드 이동한다. 이 사이, 시트(3)는, 추(210 및 220)의 외주면에 슬라이드 접촉하면서 상부로 이동한다. 이것에 의해, 시트(3)가 기판(F)의 상면측으로 송출되고, 시트(3)의 자중에 의해 기판(F)의 상면이 덮여진다. 추(210 및 220)에 의한 텐션은, 시트(3)와 반송 롤러(110) 등과의 마찰력 및 시트(3)의 기판(F)을 덮는 부분의 자중 등과 균형을 이룰 정도의 크기로 한다. When the conveying roller 110 moves in the forward direction of the X axis, the guide sliders 250a and 250b slide upwardly along the guide rails 240a and 240b. The sheet 3 moves upward while being in slide contact with the outer peripheral surfaces of the weights 210 and 220. In this state, The sheet 3 is fed to the upper surface side of the substrate F and the upper surface of the substrate F is covered by the self weight of the sheet 3. [ The tension by the weights 210 and 220 is set to a level sufficient to balance the frictional force with the sheet 3 and the conveying roller 110 and the weight of the portion of the sheet 3 covering the substrate F. [

반송 롤러(110)를 X축의 부방향으로 이동시킨 경우, 가이드 슬라이더(250a 및 250b)는 가이드 레일(240a 및 240b)을 하부로 슬라이드 이동시킨다. 이 사이, 시트(3)는 추(210 및 220)에 슬라이드 접촉하면서 하부로 이동한다. 이것에 의해, 기판(F)의 상면으로 송출된 시트(3)는, 원래의 상태 즉 접혀진 상태로 되돌아간다. When the conveying roller 110 is moved in the negative direction of the X axis, the guide sliders 250a and 250b slide the guide rails 240a and 240b downward. During this time, the sheet 3 moves downward while slidingly contacting the weights 210 and 220. Thus, the sheet 3 fed to the upper surface of the substrate F returns to the original state, that is, the folded state.

도 4의 (a)는, 기판 반출 장치(1)의 구성을 나타내는 블록도이다. 도 4의 (a)에 나타내는 바와 같이, 기판 반출 장치(1)는, 도 1에 나타낸 기판 재치부(2)와, 압력 부여부(4)와, 시트 이송부(100)와, 시트 가이드부(200)와, 반출부(300)를 구비하며, 추가로, 입력부(10)와, 검출부(20)와, 제어부(30)를 구비한다. 4 (a) is a block diagram showing the configuration of the substrate carrying-out apparatus 1. As shown in Fig. 4A, the substrate carry-out apparatus 1 includes a substrate mounting section 2 shown in FIG. 1, a pressure applying section 4, a sheet conveying section 100, a sheet guide section 200 and a carry-out unit 300 and further includes an input unit 10, a detection unit 20, and a control unit 30.

입력부(10)는, 1회의 반출 작업으로 반출부(300)에 의해서 반출되는 기판(F)의 분할 요소의 수(數)를 받아들인다. 검출부(20)는, 반송 롤러(110)의 위치를 검출한다. 검출부(20)는, 예를 들면, 인코더라도 좋고, 이 경우, 도 2에 나타내는 바와 같이, 풀리(122b)에 서보 모터(127)를 마련하는 것이 가능하다. 인코더는, 서보 모터(127)의 회전수를 검출하고, 반송 롤러(110)의 위치를 제어한다. 이 외, 검출부(20)는, 반송 롤러(110)의 위치를 적절하게 검출할 수 있으면 좋고, 예를 들면, 센서나, 촬상 장치 등이라도 좋다. The input unit 10 accepts the number of division elements of the substrate F carried out by the carry-out unit 300 in one take-out operation. The detecting unit 20 detects the position of the conveying roller 110. [ The detecting unit 20 may be, for example, an encoder. In this case, as shown in Fig. 2, the servo motor 127 can be provided on the pulley 122b. The encoder detects the number of revolutions of the servo motor 127 and controls the position of the conveying roller 110. In addition, the detecting section 20 need only be capable of properly detecting the position of the conveying roller 110, and may be, for example, a sensor or an image pickup device.

제어부(30)는, CPU 등의 연산 처리 회로나, ROM, RAM, 하드 디스크 등의 메모리를 포함하고 있다. 제어부(30)는, 메모리에 기억된 프로그램을 따라서 각 부를 제어한다. The control unit 30 includes an arithmetic processing circuit such as a CPU and a memory such as a ROM, a RAM, and a hard disk. The control unit 30 controls each unit according to the program stored in the memory.

도 4의 (b)는, 실시 형태에 관한 기판 반출 장치(1)의 동작을 나타내는 플로우차트이다. 이 제어는, 도 4의 (a)에 나타낸 제어부(30)가 실행한다. 이하, 제어부(30)에 의한 제어를, 적절히, 도 5의 (a)~(d)를 참조하여 설명한다. 도 5의 (a)~(d)는, 각각, 기판 반출 장치(1)의 동작을 모식적으로 나타내는 측면도이다. 4 (b) is a flowchart showing the operation of the substrate carry-out apparatus 1 according to the embodiment. This control is executed by the control unit 30 shown in Fig. 4 (a). Hereinafter, control by the control unit 30 will be described with reference to Figs. 5 (a) to 5 (d) as appropriate. 5A to 5D are side views schematically showing the operation of the substrate carry-in apparatus 1, respectively.

도 5의 (a)는, 기판 반출 장치(1)의 초기 상태를 나타낸다. 즉, 도 1에서, 기판 재치부(2)에 기판(F)이 재치되어 있는 상태를 나타내고 있다. 이 때, 반출부(300)는, X축 방향의 정측으로서 상부에 대기하고 있고, 추(210 및 220)는, 각각, 홈(231a 및 232a)의 최하단에 위치하고 있다. 즉, 홈(231a 및 232a)의 최하단에 돌기부(212a 및 222a)가 위치하고 있다. 또, 압력 부여부(4)는, 기판(F)에 대해서 부압을 부여하여, 기판 재치부(2)와 기판(F)을 흡착 상태로 하고 있다. 도 4의 (b)의 플로우차트에서의 「스타트」는, 도 5의 (a)의 초기 상태로 한다. 5 (a) shows an initial state of the substrate carry-out apparatus 1. As shown in Fig. That is, FIG. 1 shows a state in which the substrate F is mounted on the substrate mounting portion 2. As shown in FIG. At this time, the carry-out unit 300 is standing on the upper side as the positive side in the X-axis direction, and the weights 210 and 220 are located at the lowermost end of the grooves 231a and 232a, respectively. That is, the protrusions 212a and 222a are positioned at the lowermost ends of the grooves 231a and 232a. The pressure applying unit 4 applies a negative pressure to the substrate F to bring the substrate placing unit 2 and the substrate F into an adsorbed state. The " start " in the flowchart of Fig. 4 (b) is the initial state of Fig. 5 (a).

초기 상태에서, 제어부(30)는, 입력부(10)에, 1회의 반출 동작에 의해 반출부(300)가 반출해야 할 기판(F)의 분할 요소의 수(數)를 받아들이게 한다. 이 수는, 기판(F)의 사이즈나 분할 요소의 사이즈 등에 따라 적절히, 유저가 결정할 수 있다. 혹은, 예를 들면, 미리, 기판의 종류마다 반출할 분할 요소의 수를 제어부(30)에 기억시켜 두고, 유저가 기판의 종류를 입력부(10)에 입력하면, 제어부(30)가 반출할 분할 요소의 수를 읽어내도록 설정해도 괜찮다. 본 실시 형태에서는, 도 5의 (a)~(c)에 나타내는 바와 같이, 최초로 분할 요소(A)를 반출하는 것으로 한다. The control unit 30 allows the input unit 10 to accept the number of division elements of the substrate F to be unloaded by the unloading unit 300 by one unloading operation. This number can be appropriately determined by the user depending on the size of the substrate F, the size of the division element, and the like. Alternatively, for example, the number of division elements to be carried out for each type of substrate may be stored in advance in the control unit 30, and if the user inputs the type of substrate to the input unit 10, You can also set it to read the number of elements. In this embodiment, as shown in Figs. 5 (a) to 5 (c), it is assumed that the division element A is first carried out.

반출 동작이 개시하면, 제어부(30)는, 도 5의 (b)에 나타내는 바와 같이, 반송 롤러(110)를 X축의 정방향으로 이동시키고, 분할 요소(A) 이외를 시트(3)에 의해 덮이게 한다(S11). 이 때, 제어부(30)는, 반송 롤러(110)를 이동시킨 거리만큼, 시트 가이드부(200)에 시트(3)를 송출시킨다. 이것에 의해, 가이드 슬라이더(250a)가 가이드 레일(240a)를 상부로 슬라이드 이동시키고, 추(210 및 220)는 시트(3)에 슬라이드 접촉하면서 상승한다. 5 (b), the control unit 30 moves the conveying roller 110 in the forward direction of the X-axis and moves the conveying roller 110 other than the dividing element A by the sheet 3 (S11). At this time, the control section 30 causes the sheet 3 to be fed to the sheet guide section 200 by a distance that the conveying roller 110 is moved. As a result, the guide slider 250a slides upward on the guide rail 240a, and the weights 210 and 220 rise while slidingly contacting the seat 3.

다음으로, 제어부(30)는, 반출부(300)의 흡착부(310)에 분할 요소(A)를 흡착시킨다(S12). 이 시점에서는, 제어부(30)는, 압력 부여부(4)에 기판(F)에 대해서 부압을 부여시키고 있다. 이것에 의해, 흡착부(310)는, 기판 재치부(2)에 정렬한 상태의 분할 요소(A)를 원활하게 또한 확실하게 흡착할 수 있다. 이 후, 제어부(30)는, 압력 부여부(4)에 기판(F)에 대해서 정압을 부여시킨다(S13). 즉, 제어부(30)는, 압력 부여부(4)에 기판(F)에 대해서 대기압 이상의 공기를 보내게 한다. 이것에 의해, 기판 재치부(2)와 기판(F)과의 흡착 상태가 해제된다. 그리고, 도 5의 (c)에 나타내는 바와 같이, 제어부(30)는, 반출부(300)로 분할 요소(A)를 반출시킨다(S14). 이 때, 기판(F)에서 분할 요소(A) 이외의 분할 요소는 시트(3)에 의해 덮여져 있기 때문에, 기판(F)의 하면에 공기가 송출되어도 위치 어긋남은 생기지 않는다. 또, 기판 재치부(2)와 기판(F)과의 흡착 상태는 해제되어 있기 때문에, 분할 요소(A)는 기판 재치부(2)로부터 떨어지기 쉬운 상태로 되어 있다. 따라서, 제어부(30)는, 반출부(300)로 분할 요소(A)를 원활하게 반출시킬 수 있다. Next, the control unit 30 causes the adsorption unit 310 of the carry-out unit 300 to adsorb the partitioning element A (S12). At this point in time, the control section 30 applies a negative pressure to the substrate F to the pressure applying section 4. As a result, the suction unit 310 can smoothly and reliably suck the divided element A in a state of being aligned with the substrate placement unit 2. [ Thereafter, the control unit 30 applies a positive pressure to the substrate F to the pressure applying unit 4 (S13). That is, the control unit 30 causes the pressure imparting unit 4 to send air above the substrate F at atmospheric pressure or higher. As a result, the adsorption state between the substrate mounting section 2 and the substrate F is released. 5 (c), the control unit 30 causes the carry-out unit 300 to take out the divisional element A (S14). At this time, since the dividing elements other than the dividing element A are covered by the sheet 3 on the substrate F, even if air is blown onto the lower surface of the substrate F, positional deviation does not occur. Since the adsorption state between the substrate placing portion 2 and the substrate F is released, the dividing element A is in a state in which it is easily separated from the substrate placing portion 2. [ Therefore, the control unit 30 can smoothly carry out the division element A to the carry-out unit 300. [

분할 요소(A)를 반출부(300)로 반출시킨 후, 제어부(30)는, 반출해야 할 기판(F)의 분할 요소가 있는지 아닌지 판단한다(S15). 반출할 기판(F)의 분할 요소가 있는 경우, 스텝 S16으로 진행된다. 한편, 반출해야 할 기판(F)의 분할 요소가 없는, 즉, 모든 분할 요소를 반출한 경우, 기판(F)의 반출은 종료한다. After the split element A is taken out to the take-out unit 300, the control unit 30 determines whether or not there is a split element of the board F to be unloaded (S15). If there is a dividing element of the substrate F to be carried out, the process goes to step S16. On the other hand, when there is no division element of the substrate F to be carried out, that is, when all the division elements are carried out, the carrying out of the substrate F is terminated.

스텝 S15에서 NO인 경우, 제어부(30)는, 압력 부여부(4)에 기판(F)에 대해서 부압을 부여시킨다(S16). 이것에 의해, 기판 재치부(2)와 기판(F)은 흡착 상태가 된다. If NO in step S15, the control unit 30 gives negative pressure to the substrate F to the pressure applying unit 4 (S16). As a result, the substrate mounting portion 2 and the substrate F are in the adsorption state.

스텝 S16 후, 제어부(30)는, 기판(F)의 분할 요소가 모두 반출될 때까지, 스텝 S11~S16를 반복하도록 제어한다. 구체적으로는, 제어부(30)는, 반송 롤러(110)를 X축의 부방향으로 이동시키고, 기판(F)의 분할 요소(B) 이외를 시트(3)에 의해 덮이게 한다(S11). 이 때, 추(210 및 220)는, 시트(3)에 슬라이드 접촉하면서 하강하고, 시트(3)는 반송 롤러(110)가 X축의 부방향으로 이동한 길이만큼 접혀진다. 이 상태를 나타낸 도면이, 도 5의 (d)이다. 이 다음은, 상기한 스텝과 동일하다.After step S16, the control unit 30 controls the steps S11 to S16 to be repeated until all of the divisional elements of the substrate F are unloaded. More specifically, the control unit 30 moves the conveying roller 110 in the negative direction of the X-axis and causes the sheet 3 other than the dividing element B of the substrate F to cover the sheet 3 (S11). At this time, the weights 210 and 220 descend while slidingly contacting the sheet 3, and the sheet 3 is folded by the length of the conveying roller 110 moved in the negative direction of the X axis. Fig. 5 (d) shows this state. The following steps are the same as those described above.

이와 같이, 기판 반출 장치(1)에서는, 기판(F)을 X축 방향의 정측에 위치하는 분할 요소로부터 소정수마다 순서대로 반출한다. 기판(F)의 분할 요소가 모두 반출되면, 기판 재치부(2)의 표면에 잔존하고 있는 단재는, 소정의 처리에 의해 제거된다. 제어부(30)는, 반송 롤러(110) 및 반출부(300)를 도 5의 (a)에 나타내어지는 초기 상태로 이동시킨다. 그리고, 새로운 기판(F)이 기판 반출 장치(1)에 반입되어 기판 재치부(2)에 재치된 후, 동일하게 하여 반출된다. As described above, in the substrate carrying-out apparatus 1, the substrate F is taken out from the division elements located on the positive side in the X-axis direction in order every predetermined number. When all of the dividing elements of the substrate F are carried out, the end material remaining on the surface of the substrate mounting portion 2 is removed by a predetermined process. The control unit 30 moves the conveying roller 110 and the carry-out unit 300 to the initial state shown in Fig. 5A. After the new substrate F is brought into the substrate carrying-out apparatus 1 and placed on the substrate mounting section 2, the same is carried out.

＜실시 형태의 효과＞&Lt; Effect of Embodiment >

본 실시 형태에 의하면, 이하의 효과가 나타내어진다. According to the present embodiment, the following effects are exhibited.

도 5의 (a)~(d)에 나타내는 바와 같이, 기판(F)의 분할 요소 중 반출 대상 이외의 분할 요소는 시트(3)에 의해 덮여진다. 즉, 시트(3)에 의해 덮여져 있는 영역은, 시트(3)의 자중에 의해 눌려져 있다. 여기서, 시트(3)가 없는 상태에서 기판(F)의 반출 대상인 분할 요소가 반출되는 경우, 기판(F)의 반출 대상 이외의 분할 요소(후속의 반출 동작에서 반출 대상이 되는 분할 요소)는 위치 어긋남이 생기기 쉬워진다. 기판(F)은 정렬한 상태에서 기판 반출 장치(1)에 반입되어 왔음에도 불구하고, 반출 동작에서 반출 대상이 되는 분할 요소에 위치 어긋남이 생기고 있으면, 원활하게 반출하기 어렵다. 본 실시 형태이면, 반출 대상인 분할 요소 이외는 시트(3)에 의해 눌려져 있기 때문에, 이 시트(3)에 의해 덮여진 기판(F)의 분할 요소에는 어긋남이 생기지 않는다. 이 때문에, 반출부(300)는, 후속의 반출 동작에서, 나머지의 분할 요소를 원활하게 또한 적절하게 반출할 수 있다. As shown in Figs. 5 (a) to 5 (d), the dividing elements other than the carrying-out object among the dividing elements of the substrate F are covered with the sheet 3. That is, the area covered by the sheet 3 is pressed by the weight of the sheet 3. Here, in the case where the division element to be taken out of the board F is carried out in a state in which the seat 3 is absent, the division element other than the object to be taken out of the board F (the division element to be taken out in the subsequent carrying out operation) It is easy for deviation to occur. Even if the substrate F has been brought into the substrate carry-out apparatus 1 in the aligned state, if the positional deviation occurs in the split element to be taken out in the carry-out operation, it is difficult to carry out smoothly. In the present embodiment, since the elements other than the divided elements to be carried out are pressed by the sheet 3, the division elements of the substrate F covered by the sheet 3 do not deviate. Therefore, the carry-out unit 300 can smoothly and appropriately carry out the remaining divided elements in the subsequent carry-out operation.

또, 시트(3)에 의해 덮여져 있지 않은 분할 요소가 반출의 대상이라고 명확하게 알기 때문에, 반출부(300)는 이 분할 요소를 확실히 반출할 수 있다. Further, since it is clear that the division element not covered by the sheet 3 is an object to be carried out, the takeout section 300 can reliably carry out the division element.

도 1에 나타내는 바와 같이, 기판 반출 장치(1)는 압력 부여부(4)를 구비한다. 이것에 의해, 압력 부여부(4)에 의해서 기판(F)에 대한 부압이 해제된다, 또한, 압력 부여부(4)가 기판(F)에 정압이 부여하면, 기판(F)에 대한 기판 재치부(2)의 흡착 상태가 해제되기 때문에, 기판 재치부(2)로부터 기판(F)이 떨어지기 쉬워진다. 이 경우, 기판(F)의 분할 요소는 위치 어긋남이 생기기 쉬워진다. 그러나, 본 실시 형태이면, 반출 대상인 분할 요소 이외는 시트(3)에 의해 덮여져, 시트(3)의 자중에 의해 눌려져 있기 때문에, 압력 부여부(4)가 기판(F)에 부압을 부여하지 않아도, 또는 압력 부여부(4)가 기판(F)에 정압을 부여한다고 해도, 시트(3)에 의해 덮여진 분할 요소에 위치 어긋남은 생기지 않는다. 따라서, 반출부(300)는, 반출 대상인 분할 요소를 원활하게 반출함과 아울러, 나머지의 분할 요소를 후속의 반출 동작에서 원활하게 또한 적절하게 반출할 수 있다. As shown in Fig. 1, the substrate carrying-out apparatus 1 is provided with a pressure imparting unit 4. The negative pressure on the substrate F is released by the pressure applying unit 4. When a positive pressure is applied to the substrate F by the pressure applying unit 4, The substrate F is easily dropped from the substrate mounting portion 2 because the adsorption state of the substrate 2 is released. In this case, the positional deviation of the divisional elements of the substrate F is apt to occur. However, in the present embodiment, since the partition elements other than the divided elements to be unloaded are covered by the sheet 3 and pressed by the own weight of the sheet 3, the pressure imparting unit 4 does not apply negative pressure to the substrate F Or even if the pressure applying unit 4 applies a positive pressure to the substrate F, the positional deviation does not occur in the partitioning element covered by the sheet 3. [ Therefore, the take-out unit 300 can smoothly carry out the split elements to be carried out, and smoothly and properly take out the remaining split elements in the subsequent take-out operation.

도 1, 도 3, 및 도 5의 (a)~(d)에 나타내는 바와 같이, 추(210 및 220)는, 시트(3)에 장착하는 것이 아니라, 시트(3)에 실려져 있다. 이와 같이, 추(210 및 220)의 중력을 이용하는 간소한 구성에 의해, 시트(3)에는 적절한 텐션이 부여된다. 따라서, 시트(3)를 자중에 의해 적절하게 기판(F)의 표면에 씌울 수 있다. As shown in Figs. 1, 3, and 5A to 5D, the weights 210 and 220 are not mounted on the seat 3, but are loaded on the seat 3. Fig. As described above, the seat 3 is given appropriate tension by the simple structure using the gravity of the weights 210 and 220. [ Therefore, the sheet 3 can be appropriately covered on the surface of the substrate F by its own weight.

또, 추(210 및 220)는, 외주면이 원호 모양으로 되어 있다. 이 때문에, 추(210 및 220)의 원호 모양의 부분이 시트(3)에 슬라이드 접촉하면서, 시트(3)의 이동에 의해 상하로 움직이게 된다. 따라서, 반송 롤러(110)의 이동에 의해 시트(3)가 이송되고 있는 동안, 추(210 및 220)는 시트(3)에 적절하게 텐션을 계속 부여할 수 있다. 또, 추(210 및 220)는, 시트(3)의 이동에 의해 회전하면서 상하로 움직이도록 해도 괜찮다. The weights 210 and 220 have an outer peripheral surface in an arc shape. As a result, the arcuate portions of the weights 210 and 220 are moved up and down by the movement of the seat 3 while slidingly contacting the seat 3. Therefore, the weights 210 and 220 can continue to appropriately apply tension to the sheet 3 while the sheet 3 is being conveyed by the movement of the conveying roller 110. [ The weights 210 and 220 may be moved up and down while being rotated by the movement of the seat 3. [

또, 추(210 및 220)는, 가이드판(230a 및 230b)에 형성된 홈을 슬라이더에 의해서 상하로 이동하도록 구성된다. 이것에 의해, 추(210 및 220)가 시트(3)로부터 어긋나는 것을 억제할 수 있어, 시트(3)에 안정적으로 텐션을 부여할 수 있다. The weights 210 and 220 are configured to move the grooves formed in the guide plates 230a and 230b up and down by a slider. As a result, it is possible to restrain the weights 210 and 220 from deviating from the seat 3, so that the seat 3 can be stably tensioned.

시트(3)의 재질은, 예를 들면, 폴리에틸렌이며, 유연성을 가지고, 반송 롤러(110)는 기판(F)에 대해서 비접촉이다. 시트(3)는, 자중에 의해 기판(F)을 덮기 때문에, 반송 롤러(110)는 기판(F)을 손상시키지 않고 기판(F)의 상면을 덮을 수 있다. The material of the sheet 3 is, for example, polyethylene, has flexibility, and the conveying roller 110 is not in contact with the substrate F. [ The sheet 3 covers the substrate F by its own weight so that the conveying roller 110 can cover the upper surface of the substrate F without damaging the substrate F. [

도 5의 (a)~(d) 및 도 4의 (b)의 스텝 S12 및 S16에 나타내는 바와 같이, 제어부(30)는, 반출부(300)에 의한 분할 요소의 흡착 및 반출의 타이밍에 맞추어, 압력 부여부(4)에 기판(F)에 대해서 정압 또는 부압을 부여시키거나, 또는 압력의 부여를 해제한다. 즉, 제어부(30)는, 압력 부여부(4)에, 기판 재치부(2)와 기판(F)과의 흡착 상태를 유지 또는 해제시킨다. 이것에 의해, 기판(F)의 상면이 시트(3)에 의해 덮여져 있는 동안, 기판 재치부(2)와 기판(F)과의 흡착 상태를 해제(압력의 부여를 해제 또는 정압을 부여)시켜도, 기판(F)의 분할 요소에 위치 어긋남은 생기지 않는다. 따라서, 후속의 반출 동작을 원활하게 행할 수 있다. 또, 시트(3)에 의해 덮여져 있지 않은 반출 대상인 분할 요소도, 반출부(300)의 흡착부(310)에 흡착되어 반출될 때까지의 동안, 시트(3)에 의해 덮여져 있는 분할 요소와 분할된 상태이지만 일체적으로 연결된 상태에 있기 때문에 위치 어긋남이 생기지 않는다. 따라서, 반출부(300)는, 반출 대상인 분할 요소를 원활하게 또한 확실하게 반출할 수 있다. As shown in steps S12 and S16 in Figs. 5A to 5D and 4B, the control unit 30 controls the suction and discharge of the divided elements by the take- , A positive or negative pressure is applied to the substrate (F) to the pressure applying unit (4), or the application of pressure is released. That is, the control unit 30 maintains or releases the adsorption state between the substrate mounting unit 2 and the substrate F to the pressure applying unit 4. [ Thereby, while the upper surface of the substrate F is covered with the sheet 3, the adsorption state between the substrate placing portion 2 and the substrate F is released (the pressure is released or the positive pressure is applied) The positional deviation does not occur in the divisional elements of the substrate F. Therefore, the subsequent carry-out operation can be performed smoothly. The divided elements which are not covered with the sheet 3 but are the objects to be taken out are also held by the suction element 310 of the carry-out section 300 until the split elements are covered by the sheet 3 But the positional deviation does not occur because they are integrally connected. Therefore, the takeout unit 300 can smoothly and reliably carry out the split elements to be taken out.

＜다른 실시 형태＞<Other Embodiments>

상기의 실시 형태에서는, 추(210 및 220)에 샤프트를 이용하고 있고, 외주면의 형상은 원형이었다. 여기서, 추(210 및 220)는, 시트(3)를 슬라이드 접촉하는 것이 가능한 형상이면 되며, 외주면의 형상은 원형에 한정되지 않는다. In the above embodiment, shafts are used for the weights 210 and 220, and the shape of the outer peripheral surface is circular. Here, the weights 210 and 220 may be any shape that allows the sheet 3 to slide-contact, and the shape of the outer peripheral surface is not limited to a circular shape.

여기서, 추(210 및 220)는, 외주면의 적어도 일부가 외측으로 볼록한 곡면이 되도록 형성될 수 있다. 그러한 형상으로서, 예를 들면, 볼록한 곡면 이외의 부분은, 오목 모양으로 형성되어 있어도 좋고, 직선 모양이라도 괜찮다. 이러한 형상으로 추(210 및 220)를 형성해도, 시트(3)는, 볼록한 곡면 부분에 슬라이드 접촉하는 것이 가능하다. Here, the weights 210 and 220 may be formed such that at least a part of the outer circumferential surface is an outwardly convex curved surface. As such a shape, for example, a portion other than the convex curved surface may be formed in a concave shape or a straight shape. Even if the weights 210 and 220 are formed in this shape, the sheet 3 can slide-contact with the convex curved surface portion.

본 발명의 실시 형태는, 특허 청구 범위에 나타내어진 기술적 사상의 범위 내에서, 적절히, 여러 가지의 변경이 가능하다. The embodiments of the present invention can suitably be modified in various ways within the scope of the technical idea shown in the claims.

1 - 기판 반출 장치 2 - 기판 재치부
3 - 시트 4 - 압력 부여부
100 - 시트 이송부 110 - 반송 롤러
130 - 가이드 롤러 210, 220 - 추
230a, 230b - 가이드판 231a, 232a - 홈
231b, 232b - 홈 240a, 240b - 가이드 레일
250a, 250b - 가이드 슬라이더 F - 기판1 - substrate carrying device 2 - substrate mounting part
3 - Seat 4 - Pressure relief
100 - sheet conveying section 110 - conveying roller
130 - Guide roller 210, 220 - Chu
230a, 230b - guide plates 231a, 232a - grooves
231b, 232b - grooves 240a, 240b - guide rails
250a, 250b - guide slider F - substrate

Claims

A substrate placement section on which a substrate divided into a plurality of division elements at least in a predetermined direction is placed,
A sheet that covers an upper surface of the substrate placed on the substrate mounting portion,
A sheet conveying unit for conveying the sheet in the predetermined direction,
And a carry-out section for taking out the division element of the substrate not covered by the sheet.

The method according to claim 1,
The substrate mounting portion includes a pressure applying portion for applying pressure to a lower surface of the substrate placed on the substrate, and a positive pressure is applied to the lower surface of the substrate by the pressure applying portion during a carrying out operation by the carrying out portion And the air is sent to the outside.

The method according to claim 1 or 2,
Wherein the sheet conveying portion includes a conveying roller that is movable in the predetermined direction,
The sheet is folded and arranged along the outer peripheral surface of the conveying roller,
Wherein the sheet conveying portion conveys the sheet by moving the conveying roller so that the sheet conveying portion does not contact the substrate from the upper surface side of the substrate.

The method of claim 3,
A weight for imparting tension to the sheet,
And a guide roller interposed between the weight and the conveying roller for guiding the sheet to the conveying roller.

The method of claim 4,
Wherein the weight has at least a part of an outer circumferential surface thereof curved outwardly convex,
Wherein the sheet is folded along the outer peripheral surface of the weight and the end portion is fixed so as not to move.

The method of claim 5,
Wherein the weight is placed at a folded position of the seat in a state of being supported by the guide member so as to be movable in the vertical direction.