JP2002329998A - Board transporting device - Google Patents

Board transporting device

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JP2002329998A
JP2002329998A JP2001132718A JP2001132718A JP2002329998A JP 2002329998 A JP2002329998 A JP 2002329998A JP 2001132718 A JP2001132718 A JP 2001132718A JP 2001132718 A JP2001132718 A JP 2001132718A JP 2002329998 A JP2002329998 A JP 2002329998A
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JP
Japan
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suction
suction pad
substrate
package
board
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP2001132718A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kunio Nagaya
邦男 長屋
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Ibiden Co Ltd
Original Assignee
Ibiden Co Ltd
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Filing date
Publication date
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Withdrawn legal-status Critical Current

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a board transporting device capable of transporting a part mounting board efficiently at a low cost. SOLUTION: The board transporting device 1 is provided with a coil spring 9 capable of biasing an adsorption cylinder 10 downward. While adjusting the position of an adsorption pad 12 by extending and contracting the spring 9 according to the presence and absence of a shield can 27, the pad 12 can sufficiently closely be stuck to a package 20 and a defective board 28. Consequently, it is not required to fit the can 27 to the board 28 for equalizing its thickness to that of the package 20, and the cost is reduced. Furthermore, it is possible to simultaneously transport the package 20 provided with the can 27 and the board 28 without the can 27. Thus, a working process becomes efficient.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、基板移送装置に関
するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate transfer device.

【0002】[0002]

【従来の技術】例えば、移動体通信機器等に使用される
電圧制御発振器(VCO)は、以下のようにして製造さ
れる。まず、一面側に同じ導体回路が多数形成されたプ
リント基板上の所定位置に、電子部品を搭載させる。こ
こで、導体回路に欠陥が存在する不良区画は、あらかじ
め検査機によって検出され、この不良区画上には部品が
搭載されないようになっている。次に、この部品が搭載
された面上に、電子部品および導体回路を覆うシールド
缶を取り付ける。最後に、プリント基板を各区画に切り
分けるダイシング操作を行うことにより、個々のパッケ
ージが製造される。
2. Description of the Related Art For example, a voltage controlled oscillator (VCO) used for a mobile communication device or the like is manufactured as follows. First, electronic components are mounted at predetermined positions on a printed circuit board on which a large number of the same conductive circuits are formed on one surface side. Here, a defective section where a defect exists in the conductor circuit is detected in advance by an inspection machine, and no component is mounted on this defective section. Next, a shield can that covers the electronic component and the conductor circuit is mounted on the surface on which the component is mounted. Finally, individual packages are manufactured by performing a dicing operation of cutting the printed circuit board into sections.

【0003】切り分けられたパッケージは、基板移送装
置によって、ダイシングテーブルから次の作業場へ移送
され、不良品の選別等の作業が行われる。
[0003] The cut packages are transferred from the dicing table to the next workplace by a substrate transfer device, and operations such as sorting out defective products are performed.

【0004】ここで、基板移送装置101は、図6に示
すように、板状の本体102の所定位置に、本体102
の下面側に開口する複数個の吸着孔103が備えられた
ものである。吸着孔103の上端側は、本体102内部
に設けられた空洞部104に連通され、この空洞部10
4は吸引ポンプ106に連結されている。また、吸着孔
103の開口部には、円環状の吸着パッド105が取り
付けられている。そして、この吸着パッド105が各パ
ッケージ110の上面側に押し当てられ、吸着孔103
が閉止された状態で、吸引ポンプ106により吸着孔1
03内の空気を吸引することによって、パッケージ11
0が真空吸着される。
[0006] Here, as shown in FIG. 6, a substrate transfer device 101 is provided at a predetermined position of a plate-shaped main body 102.
Are provided with a plurality of suction holes 103 which are opened on the lower surface side. The upper end side of the suction hole 103 communicates with a cavity 104 provided inside the main body 102,
4 is connected to the suction pump 106. An annular suction pad 105 is attached to the opening of the suction hole 103. Then, the suction pad 105 is pressed against the upper surface of each package 110, and the suction hole 103 is pressed.
Is closed, the suction hole 106 is moved by the suction pump 106.
03, the package 11
0 is vacuum-adsorbed.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ところが、不良区画
は、電子部品およびシールド缶112が搭載されない状
態で切り分けられて不良基板111となる。従って、こ
の不良基板111は、シールド缶112の厚み分だけ、
パッケージ110よりも高さが不足することとなる。こ
のために、吸着パッド105Aが不良基板111の上面
に届かず、不良基板111を吸着することができない。
However, the defective section is cut off in a state where the electronic component and the shield can 112 are not mounted, and becomes a defective substrate 111. Therefore, the defective substrate 111 is formed by the thickness of the shield can 112.
The height is shorter than the package 110. For this reason, the suction pad 105A does not reach the upper surface of the defective substrate 111, and the defective substrate 111 cannot be suctioned.

【0006】また、各吸着孔103は内部の空洞部10
4により連結されている。このため、吸着孔103Aが
不良基板111により塞がれていない状態で吸引を行う
と、この吸着孔103Aから空洞部104を介して他の
吸着孔103に空気が侵入し、装置全体の吸着力が弱く
なってしまう。
[0006] Each of the suction holes 103 is formed in the internal cavity 10.
4 are connected. For this reason, if suction is performed in a state where the suction holes 103A are not closed by the defective substrate 111, air enters the other suction holes 103 from the suction holes 103A through the hollow portions 104, and the suction power of the entire apparatus is increased. Becomes weaker.

【0007】これらの問題を回避するため、不良区画に
もシールド缶112を取り付けて、その厚みをパッケー
ジ110と整合させておかなければならず、コスト高と
なっていた。
In order to avoid these problems, the shield can 112 must be attached to the defective section and the thickness thereof must be matched with the package 110, resulting in an increase in cost.

【0008】本発明は、上記した事情に鑑みてなされた
ものであり、その目的は、低コストで効率よく部品搭載
基板を移送することのできる基板移送装置を提供するこ
とにある。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a board transfer device capable of transferring a component mounting board efficiently at low cost.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに請求項1の発明に係る基板移送装置は、部品搭載基
板に搭載した複数個の部品に、負圧源に連ねた吸着パッ
ドを宛って吸着することで前記部品搭載基板を移送する
基板移送装置において、前記吸着パッドを前記部品の前
記部品搭載基板からの搭載高さ以上の範囲に渡って移動
可能に支持し、弾性部材により前記吸着パッドを前記部
品搭載基板方向に付勢したことを特徴とする。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a substrate transfer apparatus, comprising: a plurality of components mounted on a component mounting board; and a suction pad connected to a negative pressure source. In a substrate transfer device that transfers the component mounting board by sucking to the device, the suction pad is movably supported over a range equal to or higher than the mounting height of the component from the component mounting board, and is elastically supported by an elastic member. The suction pad is urged toward the component mounting board.

【0010】ここで、吸着パッドを付勢するための弾性
部材は、例えばばね部材であってもよく、スポンジ部
材、あるいはゴム部材等であってもよい。また、弾性部
材は、各吸着パッド毎に取り付けられていてもよく、吸
着パッドが配されている全領域に渡る大きさの1枚の板
状の弾性部材が配されていてもよく、あるいは、吸着パ
ッドの配置に合わせて複数枚にブロック化されて配され
ていてもよい。また、部品とは、部品搭載基板上に搭載
される電子部品そのものの他、これらの電子部品を保護
するシールド缶等の覆蓋部材を含む。
Here, the elastic member for urging the suction pad may be, for example, a spring member, a sponge member, a rubber member, or the like. Further, the elastic member may be attached to each suction pad, a single plate-like elastic member having a size over the entire area where the suction pad is provided, or A plurality of blocks may be arranged in accordance with the arrangement of the suction pads. Further, the component includes not only the electronic component itself mounted on the component mounting board but also a cover member such as a shield can for protecting these electronic components.

【0011】請求項2の発明は、請求項1に記載の基板
移送装置であって、前記部品搭載基板は前記部品毎に分
離されており、前記各吸着パッドは個別に弁装置を介し
て前記負圧源に連結されると共に、前記吸着パッドの前
記部品搭載基板方向における位置を検出する位置検出手
段を備え、前記吸着パッドが前記部品搭載基板側に進出
している場合に、その吸着パッドに対応する前記弁装置
を所定のタイミングで絞って吸着力を低下させるように
構成されていることを特徴とする。
According to a second aspect of the present invention, there is provided the substrate transfer apparatus according to the first aspect, wherein the component mounting board is separated for each component, and each of the suction pads is individually set via a valve device. It is connected to a negative pressure source, and further includes position detection means for detecting the position of the suction pad in the component mounting board direction, and when the suction pad has advanced to the component mounting board, It is characterized in that the corresponding valve device is configured to be squeezed at a predetermined timing to reduce the attraction force.

【0012】ここで、弁装置としては、例えばバルブ、
切替弁等のように、センサからの情報に基づいて開閉さ
れることにより、吸着パッド内部と外部空間との間、ま
たは一の吸着パッドと他の吸着パッドとの間で連通−遮
断の切り替えが可能なものを使用することができる。
Here, as the valve device, for example, a valve,
By opening and closing based on information from a sensor, such as a switching valve, communication-blocking switching can be performed between the inside of the suction pad and the external space, or between one suction pad and another suction pad. Anything possible can be used.

【0013】[0013]

【発明の作用、および発明の効果】請求項1の発明によ
れば、基板移送装置は、吸着パッドを部品の基板からの
搭載高さ以上の範囲に渡って移動可能に支持し、弾性部
材によって吸着パッドを基板方向に付勢している。この
ような構成によれば、基板毎に吸着パッドと当接される
面の高さが異なっていても、この面の高さと整合するよ
うに吸着パッドの位置を調整しつつ、吸着パッドを基板
に充分に密着させることができる。従って、基板側であ
らかじめ厚みを整合させておく必要がなく、コストの低
減を図ることができる。また、異種の基板同士を一度に
移送することができるため、作業工程の効率化を図るこ
とができる。
According to the first aspect of the present invention, the substrate transfer device supports the suction pad so as to be movable over a range equal to or higher than the mounting height of the component from the substrate, and is provided with the elastic member. The suction pad is urged toward the substrate. According to such a configuration, even if the height of the surface in contact with the suction pad differs for each substrate, the position of the suction pad is adjusted so as to match the height of this surface, and the suction pad is moved to the substrate. Can be sufficiently adhered. Therefore, it is not necessary to adjust the thickness in advance on the substrate side, and the cost can be reduced. Further, since different kinds of substrates can be transferred at one time, the efficiency of the working process can be improved.

【0014】請求項2の発明によれば、基板移送装置に
は、吸着パッドの位置を検出する位置検出手段と、弁装
置とが備えられており、吸着パッドが部品搭載基板側に
進出している場合に、その吸着パッドに対応する弁装置
を所定のタイミングで絞って吸着力を低下させるように
構成されている。
According to the second aspect of the present invention, the substrate transfer device is provided with the position detecting means for detecting the position of the suction pad and the valve device, and the suction pad advances to the component mounting board side. In this case, the valve device corresponding to the suction pad is throttled at a predetermined timing to reduce the suction force.

【0015】このような構成によれば、吸着パッドの位
置が各基板からの部品の搭載高さに応じて調整された段
階で、位置検出手段により吸着パッドの位置を検知する
ことによって、部品の搭載されていない基板がどの吸着
パッドに吸着されているかを判断できる。そして、この
情報に基づいて、対応する吸着パッドの弁装置を絞るこ
とによって、この吸着パッドの吸着力を低下させて、基
板を選択的に落下させることが可能になる。また、弁装
置を絞ることによって、基板を落下させた後に、対応す
る開放された吸着パッドから空気が侵入し、他の吸着パ
ッドの吸着力が弱くなってしまうことを防止できる。こ
れらにより、基板の移送と選別とを同一工程で行うこと
ができ、作業工程の効率化を図ることができる。
According to such a configuration, when the position of the suction pad is adjusted according to the mounting height of the component from each substrate, the position of the suction pad is detected by the position detecting means, so that the component is detected. It is possible to determine to which suction pad a substrate not mounted is sucked. Then, based on this information, by narrowing the valve device of the corresponding suction pad, the suction force of the suction pad is reduced, and the substrate can be selectively dropped. Also, by squeezing the valve device, it is possible to prevent the air from entering from the corresponding opened suction pad after the substrate is dropped and the suction force of another suction pad from being weakened. Thus, the transfer and the sorting of the substrate can be performed in the same process, and the efficiency of the working process can be improved.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】<第1実施形態>以下、本発明を
具現化した基板移送装置の第1実施形態について、図1
〜図3を参照しつつ、詳細に説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS <First Embodiment> A first embodiment of a substrate transfer apparatus embodying the present invention will now be described with reference to FIG.
This will be described in detail with reference to FIGS.

【0017】本実施形態の基板移送装置1を図1に示し
た。この基板移送装置1には、本体2と、この本体2に
取り付けられた複数個の吸着筒10と、この吸着筒10
を下方に付勢するコイルばね9(本発明の弾性部材に該
当する)とが備えられている。
FIG. 1 shows a substrate transfer apparatus 1 according to the present embodiment. The substrate transfer apparatus 1 includes a main body 2, a plurality of suction tubes 10 attached to the main body 2,
And a coil spring 9 (corresponding to the elastic member of the present invention) for urging the elastic member downward.

【0018】基板移送装置1の本体2は、内部に空洞部
3を備えた板状に形成されており、この本体2の所定位
置には、上下方向に貫通する貫通孔4が設けられてい
る。
The main body 2 of the substrate transfer device 1 is formed in a plate shape having a cavity 3 therein. At a predetermined position of the main body 2, a through hole 4 penetrating vertically is provided. .

【0019】この貫通孔4には、それぞれ吸着筒10が
上下に摺動自在に挿通されている。吸着筒10は、貫通
孔4よりもやや小さい外径を備えた略円筒状に形成され
ており、内部の空洞は吸着孔11とされている。吸着筒
10の下端部は全周に渡って径方向に拡大されて、後述
するパッケージ20の上面に当接される吸着パッド12
とされている。また、吸着筒10の上端側は吸引チュー
ブ5により連結され、この吸引チューブ5は吸引ポンプ
6(本発明の負圧源に該当する)に接続されている。ま
た、吸着筒10の外周面には、本体2内の空洞部3内に
位置する部分に、突起部13が径方向に突設されてい
る。そして、この突起部13が空洞部3の下壁面3Bに
係止されることによって、吸着筒10の下方への抜け止
めが図られている。
The suction tube 10 is inserted through the through hole 4 so as to be slidable up and down. The suction tube 10 is formed in a substantially cylindrical shape having an outer diameter slightly smaller than the through-hole 4, and an internal cavity is a suction hole 11. The lower end of the suction tube 10 is enlarged in the radial direction over the entire circumference, and a suction pad 12 that contacts an upper surface of a package 20 described later.
It has been. Further, the upper end side of the suction tube 10 is connected by a suction tube 5, and this suction tube 5 is connected to a suction pump 6 (corresponding to a negative pressure source of the present invention). In addition, on the outer peripheral surface of the suction tube 10, a protrusion 13 is provided in a portion located in the hollow portion 3 in the main body 2 so as to protrude in a radial direction. The projection 13 is locked to the lower wall surface 3B of the cavity 3 to prevent the suction tube 10 from falling downward.

【0020】本体2内の空洞部3には、各吸着筒10を
下方に付勢するコイルばね9が備えられている。コイル
ばね9は、各吸着筒10の外周面に沿って巻き付けられ
ており、その上端側が空洞部3の上壁面3Aに固着さ
れ、また下端側が突起部13に固着されている。そし
て、基板移送装置1が作動していない状態では、コイル
ばね9の作用によって吸着筒10の突起部13が空洞部
3の下壁面3Bに押し当てられた状態で、吸着筒10の
下端側が本体2の下面側から下方に突出するようにされ
ている。なお、吸着筒10の突出部分14の長さは、後
述するシールド缶27の厚み分、すなわちパッケージ2
0と不良基板28との高さの差よりも、僅かに長い程度
とされている。そして、コイルばね9の伸縮によって、
吸着パッド12の位置を調節することが可能となってい
る。
The hollow portion 3 in the main body 2 is provided with a coil spring 9 for urging each suction tube 10 downward. The coil spring 9 is wound along the outer peripheral surface of each suction tube 10, and the upper end is fixed to the upper wall surface 3 </ b> A of the cavity 3, and the lower end is fixed to the protrusion 13. In a state where the substrate transfer device 1 is not operated, the lower end side of the suction tube 10 is the main body while the protrusion 13 of the suction tube 10 is pressed against the lower wall surface 3B of the cavity 3 by the action of the coil spring 9. 2 is projected downward from the lower surface side. The length of the protruding portion 14 of the suction tube 10 is equal to the thickness of a shield can 27 described later, that is, the package 2.
It is set to be slightly longer than the difference between the height of the defective substrate 28 and 0. And, by expansion and contraction of the coil spring 9,
The position of the suction pad 12 can be adjusted.

【0021】次に、この基板移送装置1によって移送さ
れるパッケージ20の製造工程について説明する(図
2)。このパッケージ20は、移動体通信機器等に使用
される電圧制御発振器(VCO)である。
Next, the manufacturing process of the package 20 transferred by the substrate transfer device 1 will be described (FIG. 2). This package 20 is a voltage controlled oscillator (VCO) used for mobile communication equipment and the like.

【0022】パッケージ20の出発材料は、プリント基
板21である。このプリント基板21は、例えばガラス
布基材エポキシ樹脂により、厚さ500μmの板状に形
成された絶縁性基板22の一面側(図2において上面
側)が、境界線23によって碁盤目状に区切られてお
り、各区画24に同一の導体回路25が形成されたもの
である(図2A)。
The starting material of the package 20 is a printed circuit board 21. The printed circuit board 21 is formed by dividing one surface side (upper surface side in FIG. 2) of an insulating substrate 22 formed in a plate shape with a thickness of 500 μm using, for example, a glass cloth base epoxy resin in a grid pattern by a boundary line 23. The same conductor circuit 25 is formed in each section 24 (FIG. 2A).

【0023】このプリント基板21上に、例えばマウン
タ等の自動機器によって、電子部品26を載置し、はん
だ付けによって固着させる(図2B)。このとき、導体
回路25に欠陥が存在する不良区画24Aは、あらかじ
め検査機(図示せず)によって検出されて印が付されて
おり、この不良区画24A上には電子部品26が搭載さ
れないようになっている。
The electronic component 26 is mounted on the printed board 21 by an automatic device such as a mounter and fixed by soldering (FIG. 2B). At this time, the defective section 24A in which a defect exists in the conductor circuit 25 is detected and marked in advance by an inspection machine (not shown), and the electronic component 26 is not mounted on the defective section 24A. Has become.

【0024】次に、各区画24上に、例えば金属製のシ
ールド缶27(本発明の部品に該当する)を取り付ける
(図2C)。シールド缶27は、幅および長さが各区画
24よりもやや小さく、厚みが1.2mmの箱状に形成
されており、電子部品26および導体回路25を覆うよ
うに各区画24上に固着される。ここで、上記した電子
部品26の場合と同様、あらかじめ検出されている不良
区画24A上には、シールド缶27が搭載されないよう
になっている。
Next, a shield can 27 made of, for example, a metal (corresponding to a component of the present invention) is mounted on each section 24 (FIG. 2C). The shield can 27 is formed in a box shape having a width and length slightly smaller than each section 24 and a thickness of 1.2 mm, and is fixed on each section 24 so as to cover the electronic component 26 and the conductor circuit 25. You. Here, as in the case of the electronic component 26 described above, the shield can 27 is not mounted on the previously detected defective section 24A.

【0025】最後に、境界線23に沿ってプリント基板
21を各区画24に切り分けるダイシング操作を行うこ
とにより、パッケージ20が製造される。このとき、シ
ールド缶27の取り付けられていない不良区画24Aも
同じく切り分けられて、不良基板28となる(図2
D)。
Finally, the package 20 is manufactured by performing a dicing operation for cutting the printed circuit board 21 into the respective sections 24 along the boundary line 23. At this time, the defective section 24A to which the shield can 27 is not attached is also cut into a defective substrate 28 (FIG. 2).
D).

【0026】次に、このパッケージ20を基板移送装置
1により移送する工程について説明する(図3)。
Next, a process of transferring the package 20 by the substrate transfer device 1 will be described (FIG. 3).

【0027】まず、切り分けられたパッケージ20およ
び不良基板28が載置されているダイシングテーブル7
上に、基板移送装置1の本体2を位置合わせする。次い
で、本体2を下降させ、吸着パッド12を各パッケージ
20および不良基板28の上面側に押し当てる(図3
A)。このとき、吸着パッド12は、パッケージ20お
よび不良基板28の厚みに応じて上方へ押し上げられ
る。そして、コイルばね9が弾性復帰しようとする力に
よって、吸着パッド12がパッケージ20および不良基
板28に押し当てられる。
First, the dicing table 7 on which the cut package 20 and the defective substrate 28 are placed
The main body 2 of the substrate transfer device 1 is positioned above. Next, the main body 2 is lowered, and the suction pads 12 are pressed against the upper surfaces of the packages 20 and the defective board 28 (FIG. 3).
A). At this time, the suction pad 12 is pushed upward according to the thickness of the package 20 and the defective board 28. Then, the suction pad 12 is pressed against the package 20 and the defective board 28 by the force of the coil spring 9 trying to return elastically.

【0028】ここで、不良基板28は、パッケージ20
と比較してシールド缶27の分だけ厚みが不足してい
る。しかし、吸着筒10はコイルばね9の作用により下
方に付勢され、その下端側が、本体2の下面側から、シ
ールド缶27の厚み分よりもやや長く突出するようにさ
れている。これにより、吸着筒10の先端に形成されて
いる吸着パッド12も下方に付勢され、不良基板28の
上面に押し当てられる。一方、パッケージ20は、不良
基板28と比べてシールド缶27の厚み分だけ厚い。こ
のため、コイルばね9がこの厚み分だけ縮むことによ
り、吸着筒10が上昇し、吸着パッド12の位置が高く
なる。そして、コイルばね9が弾性復帰しようとする力
によって、吸着パッド12がパッケージ20に押し当て
られる。このように、コイルばね9の作用によって、吸
着パッド12の高さがシールド缶27の有無に応じて調
節されるとともに、吸着パッド12がパッケージ20お
よび不良基板28に充分に密着された状態となる。
Here, the defective board 28 is
In comparison with the shield can 27, the thickness is insufficient. However, the suction cylinder 10 is urged downward by the action of the coil spring 9, and the lower end of the suction cylinder 10 projects slightly longer than the thickness of the shield can 27 from the lower surface of the main body 2. As a result, the suction pad 12 formed at the tip of the suction tube 10 is also urged downward and pressed against the upper surface of the defective substrate 28. On the other hand, the package 20 is thicker than the defective board 28 by the thickness of the shield can 27. For this reason, when the coil spring 9 contracts by this thickness, the suction cylinder 10 rises, and the position of the suction pad 12 increases. Then, the suction pad 12 is pressed against the package 20 by the force of the coil spring 9 trying to return elastically. As described above, by the action of the coil spring 9, the height of the suction pad 12 is adjusted according to the presence or absence of the shield can 27, and the suction pad 12 is brought into a state of being sufficiently adhered to the package 20 and the defective board 28. .

【0029】この状態で、吸引ポンプ6を作動して、吸
着孔11内の空気を吸引することにより、吸着パッド1
2にパッケージ20および不良基板28が真空吸着され
る。
In this state, the suction pump 6 is operated to suck the air in the suction hole 11 so that the suction pad 1 is sucked.
2, the package 20 and the defective substrate 28 are vacuum-sucked.

【0030】次いで、本体2を上昇し(図3B)、次の
作業を行う作業テーブル8上まで移動する。本体2が作
業テーブル8上に到達したら、図示しないバルブを開放
して吸着孔11内に空気を導入して、パッケージ20お
よび不良基板28を作業テーブル8上に落下させる(図
3C)。
Next, the main body 2 is moved up (FIG. 3B) and moved to the work table 8 where the next work is performed. When the main body 2 reaches the work table 8, a valve (not shown) is opened to introduce air into the suction hole 11, and the package 20 and the defective board 28 are dropped onto the work table 8 (FIG. 3C).

【0031】以上のように本実施形態によれば、基板移
送装置1には、吸着筒10を下方に付勢可能なコイルば
ね9が備えられている。このような構成によれば、シー
ルド缶27の有無に応じてコイルばね9が伸縮すること
により、吸着パッド12の位置を調整しつつ、コイルば
ね9の弾性力によって、吸着パッド12をパッケージ2
0および不良基板28に充分に密着させることができ
る。従って、不良基板28にシールド缶27を取り付け
るなどして、パッケージ20と厚みを揃えておく必要が
なくなり、コストの低減を図ることができる。また、シ
ールド缶27を備えたパッケージ20と、シールド缶2
7を備えない不良基板28とを、同時に移送することが
できる。このため、作業工程の効率化を図ることができ
る。
As described above, according to the present embodiment, the substrate transfer device 1 is provided with the coil spring 9 capable of urging the suction tube 10 downward. According to such a configuration, the coil spring 9 expands and contracts in accordance with the presence or absence of the shield can 27, so that the position of the suction pad 12 is adjusted, and the suction pad 12 is attached to the package 2 by the elastic force of the coil spring 9.
0 and the defective substrate 28. Therefore, it is not necessary to attach the shield can 27 to the defective board 28 to make the package 20 and the package 20 uniform in thickness, and cost can be reduced. The package 20 having the shield can 27 and the shield can 2
7 can be transferred at the same time. For this reason, the efficiency of the work process can be improved.

【0032】<第2実施形態>以下、本発明の第2実施
形態について、図4を参照しつつ、詳細に説明する。本
実施形態の基板移送装置30と第1実施形態の基板移送
装置1との主たる相違点は、吸着筒33の高さを検知可
能なセンサ32が備えられていること、および、このセ
ンサ32による吸着筒33の位置情報に基づいて、各吸
着筒33毎に吸着孔34内の真空度を調節する大バルブ
36(本発明の弁装置に該当する)、および小バルブ3
7(本発明の弁装置に該当する)が備えられていること
である。なお、本実施形態において、第1実施形態と同
一の構成には同一の符号を付して説明を省略する。
Second Embodiment Hereinafter, a second embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIG. The main difference between the substrate transfer device 30 of the present embodiment and the substrate transfer device 1 of the first embodiment is that a sensor 32 capable of detecting the height of the suction tube 33 is provided, and that the sensor 32 A large valve 36 (corresponding to the valve device of the present invention) for adjusting the degree of vacuum in the suction hole 34 for each suction tube 33 based on the position information of the suction tube 33;
7 (corresponding to the valve device of the present invention). In the present embodiment, the same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

【0033】本実施形態の基板移送装置30において、
本体31の上面31Aには、各吸着筒33の側方に1つ
づつ、吸着パッド35の位置を検知するためのセンサ3
2(本発明の位置検出手段に該当する)が取り付けられ
ている。
In the substrate transfer device 30 of the present embodiment,
Sensors 3 for detecting the position of the suction pad 35 are provided on the upper surface 31A of the main body 31, one at a side of each suction tube 33.
2 (corresponding to the position detecting means of the present invention).

【0034】一方、吸着筒33の上端部には、それぞれ
大バルブ36が備えられている。また、この大バルブ3
6の取り付け位置よりもやや下方には、側方に開口する
開口部38が設けられており、この開口部38には小バ
ルブ37が取り付けられている。
On the other hand, large valves 36 are provided at the upper ends of the adsorption cylinders 33, respectively. Also, this large valve 3
An opening 38 that opens to the side is provided slightly below the mounting position of 6, and a small valve 37 is attached to this opening 38.

【0035】この基板移送装置30によりパッケージ2
0を移送する際には、第1実施形態と同様に、ダイシン
グテーブル7上に基板移送装置30の本体31を位置合
わせする。そして、本体31を下降させ、吸着パッド3
5を各パッケージ20および不良基板28に押し当てる
(図4A)。
The package 2 is transferred by the substrate transfer device 30.
When transferring 0, the main body 31 of the substrate transfer device 30 is aligned on the dicing table 7 as in the first embodiment. Then, the main body 31 is lowered, and the suction pad 3
5 is pressed against each package 20 and defective substrate 28 (FIG. 4A).

【0036】このとき、各吸着パッド35は、パッケー
ジ20および不良基板28の厚み分に応じて、上方へ押
し上げられた状態となる。すなわち、パッケージ20が
吸着された吸着パッド35は、シールド缶27の厚み分
だけ高い位置へ押し上げられ、一方、不良基板28が吸
着された吸着パッド35Aはほぼ元の位置に留まる。こ
の状態で、センサ32を作動させると、センサ32は、
各吸着筒33の上下方向の移動距離を測定することによ
って、吸着パッド35の位置を判断する。この情報は、
図示しないコントローラに送られて処理され、低い位置
にある吸着パッド35Aには不良基板28が吸着されて
いるという判断がなされる。
At this time, each suction pad 35 is pushed upward in accordance with the thickness of the package 20 and the defective substrate 28. That is, the suction pad 35 on which the package 20 is sucked is pushed up to a position higher by the thickness of the shield can 27, while the suction pad 35A on which the defective substrate 28 is sucked remains almost at the original position. When the sensor 32 is operated in this state, the sensor 32
The position of the suction pad 35 is determined by measuring the vertical movement distance of each suction tube 33. This information
It is sent to a controller (not shown) and processed, and it is determined that the defective substrate 28 is being sucked by the suction pad 35A at a lower position.

【0037】次に、パッケージ20および不良基板28
が吸着された状態で、本体31を上昇し、回収テーブル
39上まで移動する(図4B)。そして、コントローラ
からの指示により、吸着筒33Aの大バルブ36Aを閉
止する。次いで、小バルブ37Aを開放し、開口部38
から吸着孔34A内に空気を導入する。これにより、吸
着パッド33Aの吸着力が低下され、不良基板28が回
収テーブル39上に落下する(図4C)。このとき、不
良基板28が吸着されていた吸着筒33Aの吸着孔34
Aは開放された状態となるが、大バルブ36は閉止され
ているため、吸着孔34Aから吸引チューブ5を介して
他の吸着孔34に空気が流入することはない。このた
め、他の吸着筒33においては、吸着孔34内の真空度
が保たれ、吸着力が保持される。
Next, the package 20 and the defective substrate 28
Is lifted, and the main body 31 is moved up to the collection table 39 (FIG. 4B). Then, according to an instruction from the controller, the large valve 36A of the suction cylinder 33A is closed. Next, the small valve 37A is opened, and the opening 38 is opened.
Then, air is introduced into the suction hole 34A. Thus, the suction force of the suction pad 33A is reduced, and the defective substrate 28 falls on the collection table 39 (FIG. 4C). At this time, the suction hole 34 of the suction tube 33A on which the defective substrate 28 was sucked is used.
Although A is open, the large valve 36 is closed, so that no air flows from the suction hole 34A into the other suction holes 34 via the suction tube 5. Therefore, in the other suction cylinder 33, the degree of vacuum in the suction hole 34 is maintained, and the suction force is maintained.

【0038】この後、次の作業を行う作業テーブル8上
まで本体31を移動する。本体31が作業テーブル8上
に到達したら、すべての吸着筒33の小バルブ37を開
放して開口部38から吸着孔34内に空気を導入する。
これにより、パッケージ20が作業テーブル8上に落下
する。
Thereafter, the main body 31 is moved to a position above the work table 8 where the next work is performed. When the main body 31 reaches the work table 8, the small valves 37 of all the suction cylinders 33 are opened, and air is introduced into the suction holes 34 from the openings 38.
Thereby, the package 20 falls on the work table 8.

【0039】以上のように本実施形態によれば、吸着筒
33の高さをセンサ32で検知することによって、不良
基板28がどの吸着筒33に吸着されているかを判断で
きる。そして、この情報に基づいて大バルブ36、小バ
ルブ37を操作することにより、不良基板28が吸着さ
れた吸着筒33Aの吸着孔34A内のみに空気を導入で
きる。これにより、不良基板28を選択的に落下させる
ことができる。また、他の吸着筒33においては、吸着
孔34内部の真空度を保持できるため、吸着力を保持す
ることができる。これらにより、パッケージ20の移送
と不良基板28の選別とを同一工程で行うことができ、
作業工程の効率化を図ることができる。
As described above, according to this embodiment, by detecting the height of the suction tube 33 with the sensor 32, it is possible to determine which suction tube 33 the defective substrate 28 is sucked. By operating the large valve 36 and the small valve 37 based on this information, air can be introduced only into the suction hole 34A of the suction cylinder 33A on which the defective substrate 28 has been sucked. Thereby, the defective substrate 28 can be selectively dropped. Further, in the other suction cylinder 33, since the degree of vacuum inside the suction hole 34 can be maintained, the suction power can be maintained. Thus, the transfer of the package 20 and the selection of the defective substrate 28 can be performed in the same process,
The working process can be made more efficient.

【0040】<第3実施形態>以下、本発明の第3実施
形態について、図5を参照しつつ、詳細に説明する。な
お、本実施形態において、第1実施形態と同一の構成に
は同一の符号を付して説明を省略する。
<Third Embodiment> Hereinafter, a third embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIG. In the present embodiment, the same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

【0041】本実施形態においては、基板移送装置40
の基体部41(本発明の弾性部材に該当する)は、例え
ば弾性を備えた合成ゴムにより板状に形成されており、
その内部には空洞部42が設けられている。基体部41
の所定位置には、基体部41の下面41Aから空洞部4
2に連通する複数個の吸着孔43が、一定ピッチで形成
されている。この吸着孔43の開口部44には、この開
口部44よりもやや大きい外径を備え、開口部44と同
径の孔部46が形成された円環状の吸着パッド45が取
り付けられている。また、基体部41の側面には空洞部
42と連通する吸引パイプ47が備えられており、この
吸引パイプ47は吸引ポンプ6に連結されている(図5
A)。
In this embodiment, the substrate transfer device 40
The base portion 41 (corresponding to the elastic member of the present invention) is formed in a plate shape by, for example, elastic synthetic rubber.
A cavity 42 is provided therein. Base part 41
Is located at a predetermined position from the lower surface 41A of the base 41.
A plurality of suction holes 43 communicating with 2 are formed at a constant pitch. An annular suction pad 45 having an outer diameter slightly larger than the opening 44 and having a hole 46 having the same diameter as the opening 44 is attached to the opening 44 of the suction hole 43. Further, a suction pipe 47 communicating with the cavity 42 is provided on a side surface of the base 41, and the suction pipe 47 is connected to the suction pump 6 (FIG. 5).
A).

【0042】この基板移送装置40によりパッケージ2
0を移送する際には、第1実施形態と同様に、ダイシン
グテーブル7上に基板移送装置40の基体部41を位置
合わせする。そして、本体41を下降させ、吸着パッド
45を各パッケージ20および不良基板28に押し当て
る(図5B)。このとき、基体部41は弾性を備えたゴ
ムにより形成されているため、パッケージ20および不
良基板28に押し当てられた部分が僅かに凹み変形す
る。そして、基体部41が弾性復帰しようとする力によ
って、吸着パッド45がパッケージ20および不良基板
28に密着される。
The package 2 is transferred by the substrate transfer device 40.
When transferring 0, the base portion 41 of the substrate transfer device 40 is aligned on the dicing table 7 as in the first embodiment. Then, the main body 41 is lowered, and the suction pad 45 is pressed against each package 20 and the defective board 28 (FIG. 5B). At this time, since the base portion 41 is formed of rubber having elasticity, a portion pressed against the package 20 and the defective substrate 28 is slightly dented and deformed. Then, the suction pad 45 is brought into close contact with the package 20 and the defective substrate 28 by the force of the base portion 41 trying to return elastically.

【0043】ここで、不良基板28は、パッケージ20
と比較してシールド缶27の分だけ高さが不足してい
る。このため、基体部41はほとんど変形されない。一
方、パッケージ20は、不良基板28と比べてシールド
缶27の高さ分だけ高い。このため、基体部41が深く
凹むことにより、吸着パッド45の位置が高くなるよう
に調整される。
Here, the defective substrate 28 is
In comparison with the height of the shield can 27, the height is insufficient. Therefore, the base portion 41 is hardly deformed. On the other hand, the package 20 is higher than the defective substrate 28 by the height of the shield can 27. Therefore, the position of the suction pad 45 is adjusted to be higher when the base 41 is deeply recessed.

【0044】この状態で、吸引ポンプ6を作動させて、
空洞部42内の空気を吸引することにより、吸着パッド
45にパッケージ20および不良基板28が真空吸着さ
れる。そして、第1実施形態と同様に移送が行われる
(図5C)。
In this state, the suction pump 6 is operated,
By sucking the air in the cavity 42, the package 20 and the defective substrate 28 are vacuum-sucked to the suction pad 45. Then, the transfer is performed as in the first embodiment (FIG. 5C).

【0045】以上のように本実施形態によれば、基板移
送装置40の基体部41は、合成ゴムにより形成されて
いる。このような構成によれば、パッケージ20および
不良基板28の高さに応じて基体部41が凹むことによ
り吸着パッド45の位置を調整しつつ、基体部41の弾
性力によって、吸着パッド45をパッケージ20および
不良基板28に密着させることができる。これにより、
第1実施形態と同様の作用効果を奏することができる。
As described above, according to the present embodiment, the base 41 of the substrate transfer device 40 is formed of synthetic rubber. According to such a configuration, the position of the suction pad 45 is adjusted by recessing the base portion 41 in accordance with the height of the package 20 and the defective substrate 28, and the suction pad 45 is moved by the elastic force of the base portion 41. 20 and the defective substrate 28. This allows
The same operation and effect as the first embodiment can be obtained.

【0046】本発明の技術的範囲は、上記した実施形態
によって限定されるものではなく、例えば、次に記載す
るようなものも本発明の技術的範囲に含まれる。その
他、本発明の技術的範囲は、均等の範囲にまで及ぶもの
である。
The technical scope of the present invention is not limited by the above-described embodiment. For example, the followings are also included in the technical scope of the present invention. In addition, the technical scope of the present invention extends to an equivalent range.

【0047】(1)第1実施形態および第2実施形態に
よれば、吸着筒10、33は吸引チューブ5により連結
されて、この吸引チューブ5により吸引ポンプ6と接続
されているが、本発明によれば吸着筒と吸引ポンプとの
接続形態は上記各実施形態の限りではなく、例えば吸着
筒がそれぞれ別々の吸引ポンプに接続されていてもよ
い。
(1) According to the first and second embodiments, the suction tubes 10 and 33 are connected by the suction tube 5 and connected to the suction pump 6 by the suction tube 5. According to this, the connection form between the suction tube and the suction pump is not limited to the above embodiments, and for example, the suction tube may be connected to separate suction pumps.

【0048】(2)第3実施形態によれば、基体部41
は合成ゴムにより形成されているが、本発明によれば弾
性部材の構成は本実施形態の限りではなく、例えば剛性
の板状に形成された本体の下面側に、板状のゴム部材が
取り付けられていてもよい。また、弾性部材の材質は本
実施形態の限りではなく、例えばスポンジ部材であって
もよい。 (3)上記各実施形態では、基板移送装置1、30、4
0により移送されるパッケージ20は、電圧制御発振器
であるが、本発明の基板移送装置により移送される製品
は上記各実施形態の限りではなく、他の種類のパッケー
ジ、半導体チップ等であってもよい。
(2) According to the third embodiment, the base portion 41
Is made of synthetic rubber, but according to the present invention, the configuration of the elastic member is not limited to this embodiment. For example, a plate-shaped rubber member is attached to the lower surface side of a rigid plate-shaped main body. It may be. Further, the material of the elastic member is not limited to the embodiment, and may be, for example, a sponge member. (3) In the above embodiments, the substrate transfer devices 1, 30, 4
Although the package 20 transferred by the zero transfer device is a voltage controlled oscillator, the product transferred by the substrate transfer device of the present invention is not limited to the above embodiments, and may be another type of package, semiconductor chip, or the like. Good.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】第1実施形態の基板移送装置の側断面図FIG. 1 is a side sectional view of a substrate transfer device according to a first embodiment.

【図2】本発明の部品搭載基板の製造工程を示す図FIG. 2 is a view showing a manufacturing process of the component mounting board of the present invention.

【図3】第1実施形態の基板移送装置により部品搭載基
板を移送する工程を示す図
FIG. 3 is a view showing a process of transferring the component mounting board by the board transfer device of the first embodiment.

【図4】第2実施形態の基板移送装置により部品搭載基
板を移送する工程を示す図
FIG. 4 is a diagram illustrating a process of transferring a component mounting board by the board transfer device according to the second embodiment.

【図5】第3実施形態の基板移送装置により部品搭載基
板を移送する工程を示す図
FIG. 5 is a diagram illustrating a process of transferring a component mounting board by the board transfer device according to the third embodiment.

【図6】従来の基板移送装置の側断面図FIG. 6 is a side sectional view of a conventional substrate transfer device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1、30、40…基板移送装置 9…コイルばね(弾性部材) 12、35、45…吸着パッド 20…パッケージ(部品搭載基板) 32…センサ(位置検出手段) 36…大バルブ(弁装置) 37…小バルブ(弁装置) 41…基体部(弾性部材) 1, 30, 40: substrate transfer device 9: coil spring (elastic member) 12, 35, 45: suction pad 20: package (component mounting substrate) 32: sensor (position detecting means) 36: large valve (valve device) 37 … Small valve (valve device) 41… Base part (elastic member)

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 部品搭載基板に搭載した複数個の部品
に、負圧源に連ねた吸着パッドを宛って吸着することで
前記部品搭載基板を移送する基板移送装置において、 前記吸着パッドを前記部品の前記部品搭載基板からの搭
載高さ以上の範囲に渡って移動可能に支持し、弾性部材
により前記吸着パッドを前記部品搭載基板方向に付勢し
たことを特徴とする基板移送装置。
1. A substrate transfer apparatus for transferring a component mounting substrate by adsorbing a plurality of components mounted on the component mounting substrate to a suction pad connected to a negative pressure source, wherein the suction pad is mounted on the component mounting substrate. A substrate transfer device, wherein a component is movably supported over a range equal to or higher than a mounting height of the component from the component mounting substrate, and the suction pad is urged toward the component mounting substrate by an elastic member.
【請求項2】 前記部品搭載基板は前記部品毎に分離さ
れており、前記各吸着パッドは個別に弁装置を介して前
記負圧源に連結されると共に、前記吸着パッドの前記部
品搭載基板方向における位置を検出する位置検出手段を
備え、前記吸着パッドが前記部品搭載基板側に進出して
いる場合に、その吸着パッドに対応する前記弁装置を所
定のタイミングで絞って吸着力を低下させるように構成
されていることを特徴とする請求項1記載の基板移送装
置。
2. The component mounting board is separated for each of the components, and each of the suction pads is individually connected to the negative pressure source via a valve device, and the suction pad is directed toward the component mounting board. Position detecting means for detecting the position of the suction pad, when the suction pad has advanced to the component mounting board side, the valve device corresponding to the suction pad is squeezed at a predetermined timing to reduce the suction force. The substrate transfer device according to claim 1, wherein the substrate transfer device is configured as follows.
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