KR20190048120A - 마스크 인장기 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 챔버 바디와; 챔버 바디 내부에 배치되고 상부에 갠트리 가이드가 구비된 선반과; 선반에 배치되고 마스크가 안착되는 마스크 스테이지와; 선반에 배치되고 프레임이 안착되는 프레임 스테이지와; 마스크를 인장하는 그리퍼와; 갠트리 가이드를 따라 이동되는 갠트리와; 갠트리에 설치된 광학모듈과; 광학모듈의 일부를 감싸고 광학모듈이 관통되는 광학모듈 관통공이 형성된 광학모듈 커버를 포함하여, 광학모듈의 열이 마스크로 전달되는 것을 최소화하여 마스크의 정밀도를 높일 수 있는 이점이 있다.

Description

마스크 인장기{Mask Stretcher}
본 발명은 마스크 인장기에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판에 막을 증착시킬 때 사용하는 마스크를 인장시키는 마스크 인장기에 관한 것이다.
디스플레이 장치는 정보를 문자, 그래프 또는 도형으로 시각적으로 표시하는 장치로서, 액정표시장치(LCD)나 플라즈마 표시장치(PDP)나 유기발광다이오드(OLED) 등의 표시장치일 수 있다.
디스플레이 장치 중 유기발광다이오드(OLED: Organic Light Emitting Display)는 스스로 발광할 수 있고 액정표시장치와 달리 별도의 광원을 필요로 하지 않기 때문에, 점차 증가되는 추세이다.
유기발광다이오드를 제조하는 공정은 유기발광 다이오드가 형성되는 기판에 보호막 등의 막을 증착하는 증착공정을 포함할 수 있고, 이러한 증착공정을 위해 마스크를 인장하여 마스크 프레임에 부착하는 마스크 인장기(Mask Stretcher)가 사용될 수 있다.
마스크 인장기는 유기재료의 증착공정 준비단계에서 마스크를 처짐없이 정확한 위치에 인장하여 프레임에 부착할 수 있고, 광학모듈을 이용하여 마스크를 정밀하게 측정하는 것이 바람직하다.
마스크 인장기는 마스크를 비젼 측정하는 광학모듈을 더 포함할 수 있고, 이 경우 광학모듈은 마스크의 주변에서 마스크를 비젼 측정할 수 있다.
대한민국 공개특허공보 10-2013-0043538 A (2013년04월30일 공개) 대한민국 공개특허공보 10-2015-0006247 A (2015년01월16일 공개)
본 발명은 광학모듈의 열이 마스크로 전달되는 것을 최소화하여 마스크의 정밀도를 높일 수 있는 마스크 인장기를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따른 마스크 인장기는 챔버 바디와; 챔버 바디 내부에 배치되고 상부에 갠트리 가이드가 구비된 선반과; 선반에 배치되고 마스크가 안착되는 마스크 스테이지와; 선반에 배치되고 프레임이 안착되는 프레임 스테이지와; 마스크를 잡고 마스크를 이동 및 인장하는 그리퍼와; 갠트리 가이드를 따라 이동되는 갠트리와; 갠트리에 설치된 광학모듈과; 광학모듈의 일부를 감싸고 광학모듈이 관통되는 광학모듈 관통공이 형성된 광학모듈 커버를 포함할 수 있다.
광학모듈 커버에는 공기를 외부로 배기하는 배기구가 형성될 수 있다. 배기구는 마스크를 향하지 않는 방향으로 개방될 수 있다.
마스크 인장기는 광학모듈 커버에 배치되어 배기구로 에어를 송풍하는 광학모듈 팬을 더 포함할 수 있다.
마스크 인장기는 광학모듈 커버의 내부에 배치된 광학모듈 온도센서를 더 포함할 수 있다.
마스크 인장기는 광학모듈 온도센서에서 감지된 온도에 따라 광학모듈 팬을 제어하는 제어부를 더 포함할 수 있다.
마스크 인장기는 챔버 바디의 상부에 설치된 팬유닛과; 팬유닛의 온도를 측정하는 팬유닛 온도센서와; 팬유닛 온도센서를 감싸고 팬유닛 온도센서와 이격된 팬유닛 온도센서 커버를 더 포함할 수 있다.
마스크 인장기는 챔버 바디의 내부에 갠트리 및 광학모듈 커버를 마주보게 배치된 단열벽을 더 포함할 수 있다.
갠트리에는 갠트리 가이드로 에어를 분사하는 에어 통로가 형성될 수 있고, 에어통로는 에어 공급기에 연결될 수 있다.
마스크 인장기는 에어통로를 통해 갠트리 가이드로 공급되는 에어의 온도가 일정하게 에어 공급기를 제어하는 에어공급기 제어부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따르면, 광학모듈에서 발생된 열이 마스크로 전달되는 것을 최소화하여 마스크의 정밀도를 높일 수 있는 이점이 있다.
또한, 광학모듈 커버에 형성된 배기구를 통해 광학모듈 커버 내부의 공기가 배기될 수 있어, 광학모듈의 승온을 최소화할 수 있고, 광학모듈 커버의 내부에서 배기구를 통해 배기된 공기가 마스크로 유동되는 것을 최소화할 수 있어, 신뢰성이 높은 이점이 있다.
또한, 광학모듈 커버의 내부에 광학모듈 온도센서가 배치되어 광학모듈 커버 내부 온도를 정밀하게 모니터링 할 수 있는 이점이 있다.
또한, 제어부가 광학모듈 온도센서에서 감지된 온도에 따라 광학모듈 팬을 제어하여, 광학모듈 커버 내부 온도에 따른 피드백 제어가 가능하고, 광학모듈의 온도를 신뢰성 높게 관리할 수 있는 이점이 있다.
또한, 팬유닛 온도센서의 하부에서 상승된 에어에 의한 팬유닛 온도센서의 온도 상승을 최소화할 수 있고, 팬유닛 온도센서가 주변 에어에 의해 영향받지 않고 팬 유닛의 온도를 정밀하게 측정할 수 있고, 팬유닛의 피드백 제어의 정확성을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 마스크 인장기의 내부가 도시된 측면도,
도 2는 도 1에 도시된 인장기 모듈이 도시된 사시도,
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 갠트리와, 광학모듈과, 광학모듈 커버가 함께 도시된 단면도,
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 팬 유닛과, 팬유닛 온도센서와, 팬유닛 온도센서 커버가 함께 도시된 단면도,
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 마스크 인장기의 제어 블록도이다.
이하에서는 본 발명의 구체적인 실시 예를 도면과 함께 상세히 설명하도록 한다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 마스크 인장기의 내부가 도시된 측면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 인장기 모듈이 도시된 사시도이며, 도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 갠트리와, 광학모듈과, 광학모듈 커버가 함께 도시된 단면도이다.
마스크 인장기는 챔버 바디(1)와, 팬유닛(2)과, 인장기 모듈(3)을 포함할 수 있다.
챔버 바디(1)는 마스크 인장기의 외관을 형성할 수 있다. 챔버 바디(1)은 팬 유닛(2)을 지지할 수 있고, 인장기 모듈(3)을 보호할 수 있다.
챔버 바디(1)는 로어 챔버 바디(11)와, 로어 챔버 바디(11)의 상부에 배치된 어퍼 챔버 바디(12)를 포함할 수 있다.
로어 챔버 바디(11)에는 인장기 모듈(3)이 수용되는 로어 공간(S1)이 형성될 수 있다.
어퍼 챔버 바디(12)에는 팬유닛(2)이 배치되는 항온 챔버(S2)가 형성될 수 있다.
팬유닛(2)은 챔버 바디(1)에 설치될 수 있고, 챔버 바디(1) 내부의 공기를 흡인하여 챔버 바디(1) 외부로 배출할 수 있다.
팬유닛(2)은 챔버 바디(1)의 상부에 설치될 수 있다. 팬유닛(2)은 FFU(Fan Filter Unit)이나 EFU(Exhaust Fan Unit) 등과 같이, 챔버 바디(1) 내측의 오염 공기를 외부로 송풍하는 기기일 수 있고, EFU일 수 있다.
팬유닛(2)은 인장기 모듈(3)의 상측에 위치되게 챔버 바디(1)에 설치될 수 있다. 팬유닛(2)은 인장기 모듈(3)의 상측에 위치된 상태에서, 챔버 바디(1) 내부의 공기를 흡입한 후, 외부로 배기할 수 있다.
팬유닛(2)은 그 하측의 공기를 상측방향으로 흡입하게 설치될 수 있다. 팬유닛(2)은 저면에 공기흡입구(21)가 형성될 수 있다. 팬유닛(2)은 공기를 배기하는 배기덕트(22)와 연결될 수 있고, 배기덕트(22)를 통해 공기를 챔버 바디(1) 외부로 배기할 수 있다.
인장기 모듈(3)은 챔버 바디(1) 내부에 구비될 수 있고, 마스크를 인장시킬 수 있다. 인장기 모듈(3)은 마스크를 인장하여 마스크 프레임에 부착할 수 있다.
인장기 모듈(3)의 마스크는 마스크는 유기발광다이오드(OLED) 제조시 기판에 막을 증착시킬 때 사용하는 마스크일 수 있고, 유기발광다이오드 마스크일 수 있다. 이러한 마스크는 증착기에서 발생된 증착물질이 통과하는 증착 패턴이 형성된 마스크일 수 있고, 인장기 모듈(3)에 의해 마스크 프레임에 부착될 수 있다.
인장기 모듈(3)에 의해 부착된 마스크와 마스크 프레임은 증착기(미도시)로 이동될 수 있고, 증착기(미도시)에서 유기발광다이오드 제작에 이용될 수 있다.
인장기 모듈(3)은 마스크를 이동 및 인장시킬 수 있고, 마스크(M)를 마스크 프레임(미도시)에 부착시킬 수 있다. 마스크 프레임은 마스크를 지지할 수 있다.
이하, 인장기 모듈(3)의 상세 구성에 대해 설명한다.
인장기 모듈(3)은 챔버 바디(1) 내부에 배치된 선반(30)을 포함할 수 있다.
선반(30)은 마스크를 마스크 프레임에 부착하는 작업공간을 형성할 수 있다.
선반(30)은 후술하는 갠트리(70)를 안내하는 갠트리 가이드(32)가 구비될 수 있다. 갠트리 가이드(32)은 선반(30)의 상부에 구비될 수 있고, 갠트리(70)는 갠트리 가이드(32)를 따라 수평 방향으로 이동될 수 있다.
인장기 모듈(3)은 마스크가 안착되는 마스크 스테이지(40)를 더 포함할 수 있다. 마스크 스테이지(40)는 선반(30)에 배치될 수 있다.
인장기 모듈(3)은 마스크 프레임이 안착되는 프레임 스테이지(50)을 더 포함할 수 있다. 프레임 스테이지(50)는 선반(30)에 배치될 수 있다.
인장기 모듈(3)은 마스크를 잡고 마스크를 이동 및 인장하는 그리퍼(60)를 더 포함할 수 있다. 그리퍼(60)는 마스크 스테이지(40)에 안착된 마스크를 잡고, 마스크를 프레임 스테이지(50) 상측으로 이동시킬 수 있고, 프레임 스테이지(50)에 놓여진 마스크 프레임에 마스크를 안착시킬 수 있다.
그리퍼(60)는 선반(30)에 한 쌍 구비될 수 있고, 한 쌍의 그리퍼(60)는 마스크의 양측을 잡고 이동 및 인장시킬 수 있다.
그리퍼(60)는 마스크 스테이지(40)에 안착된 마스크를 마스크 프레임에 얼라인시킬 수 있고, 후술하는 광학모듈(80)에서 측정된 데이터를 기초로 마스크를 마스크 프레임에 정밀하게 얼라인할 수 있다.
갠트리(70)는 갠트리 가이드(32)를 따라 이동할 수 있다. 갠트리(70)를 갠트리 가이드(32)를 따라 수평 방향으로 이동될 수 있다.
인장기 모듈(3)은 갠트리(70)를 이동시키는 갠트리 이동기구를 포함할 수 있다. 갠트리 이동기구는 갠트리를 이동시키는 갠트리 이동모터(34)를 포함할 수 있다. 갠트리 이동모터(34)는 갠트리(70)에 연결되어 갠트리(70)를 직선 이동시키는 리니어 모터를 포함할 수 있다. 갠트리 이동기구는 갠트리를 이동시키는 서보모터 등의 회전 모터와, 회전 모터 및 갠트리에 연결되어 갠트리를 이동시키는 동력전달부재를 포함하는 것도 가능하다.
갠트리(70)는 에어 베어링 등의 가스 베어링에 의해 온도 조절될 수 있다.
갠트리(70)에는 갠트리 가이드(32)로 에어를 분사하는 에어 통로가 형성될 수 있다.
마스크 인장기는 갠트리(70)의 에어 통로에 연결된 에어 공급기(140, 도 5 참조)를 더 포함할 수 있다. 에어 공급기(140)에서 에어 통로로 공급된 에어는 갠트리(70) 및 갠트리 가이드(32)의 열 변형을 최소화할 수 있다.
한편, 인장기 모듈(3)은 마스크의 비젼을 촬영하기 위한 광학모듈(80)을 포함할 수 있다.
광학모듈(80)은 갠트리(70)에 배치될 수 있다. 광학모듈(70)은 갠트리(70)에 수평 방향으로 이동 가능하게 배치될 수 있다. 갠트리(70)에는 광학모듈(70)을 이동시키는 광학모듈 이동기구를 포함할 수 있다.
광학모듈 이동기구는 갠트리(79)에 설치되어 광학모듈(80)를 이동시키는 리니어 모터 등의 광학모듈 이동모터(82)를 포함할 수 있다.
모터(72)가 설치될 수 있다.
광학모듈(80)는 갠트리(70)의 이동시 마스크의 상측으로 이동될 수 있고, 마스크의 상측 위치에서 마스크의 비젼을 확보할 수 있다.
인장기 모듈(3)은 광학모듈 커버(90)를 포함할 수 있다.
광학모듈 커버(90)는 광학모듈(80)의 일부를 감싸고 광학모듈(80)이 관통되는 광학모듈 관통공(92)이 형성될 수 있다.
광학모듈 커버(90)는 광학모듈(80) 중 열이 상대적으로 많이 발생되는 영역을 감쌀 수 있다. 광학모듈(80)은 그 작동을 위한 소자나 광학모듈(80)을 이동시키는 모터 등의 열원(81)을 포함할 수 있고, 광학모듈 커버(90)는 광학모듈(80) 중 열원(81)이 위치하는 영역을 둘러싸게 배치될 수 있다.
이러한, 광학모듈 커버(90)는 광학 모듈(80)의 온도에 의한 광학모듈(80)의 위치 변동을 극소화하고 광학 모듈(80)의 열이 마스크로 전달되지 않게 막을 수 있다.
광학모듈 커버(90)에는 공기를 외부로 배기하는 배기구(94)가 형성될 수 있다. 배기구(94)는 마스크를 향하지 않는 방향으로 개방될 수 있다. 배기구(94)는 광학모듈 커버(90)에 수평 방향으로 개방되게 형성될 수 있다. 광학모듈 커버(90)는 광학모듈 커버(90) 외부의 공기가 광학모듈 커버(90) 내부로 흡입되는 흡기구(95)가 형성될 수 있다.
인장기 모듈(3)은 광학모듈 커버(90)에 배치되어 배기구(94)로 에어를 송풍하는 광학모듈 팬(96)을 더 포함할 수 있다.
인장기 모듈(3)은 광학모듈 커버(90)의 내부에 배치된 광학모듈 온도센서(98) 를 더 포함할 수 있다.
인장기 모듈(3)은 마스크 스테이지 또는 프레임 스테이지를 구동하는 하부 구동유닛과, 하부 구동유닛을 감싸는 구동유닛 커버를 더 포함할 수 있다.
한편, 마스크 인장기는 단열벽(120)을 더 포함할 수 있다. 단열벽(120)은 팬유닛(2)의 기류가 외기의 온도변동으로 인해 받는 영향을 최소화할 수 있는 위치에 설치되는 것이 바람직하다.
단열벽(120)은 도 1에 도시된 바와 같이, 챔버 바디(1)의 내부에 갠트리(70) 및 광학모듈 커버(90)를 마주보게 배치될 수 있다.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 팬 유닛과, 팬유닛 온도센서와, 팬유닛 온도센서 커버가 함께 도시된 단면도이다.
마스크 인장기는 팬유닛(2)의 온도를 측정하는 팬유닛 온도센서(22)와; 팬유닛 온도센서(22)의 하면 및 둘레면을 감싸는 팬유닛 온도센서 커버(24)를 더 포함할 수 있다.
팬유닛 온도센서(22)는 챔버 바디(1) 내부의 온도에 의해 영향받지 않고 팬유닛(2)의 온도를 측정하는 것이 바람직하고, 팬유닛 온도센서 커버(24)는 챔버 바디(1) 내부에서 유동되는 공기가 팬유닛 온도센서(22)에 접촉되지 않게 막을 수 있다.
팬유닛 온도센서(22)는 팬유닛(2)과 접촉되게 설치되어 팬유닛(2)의 온도를 측정하는 접촉식 온도센서로 구성되는 것이 가능하고, 팬유닛(2)과 비접촉식으로 설치된 비접촉식 온도센서로 구성되는 것이 가능하다.
팬유닛 온도센서(22)가 접촉식 온도센서일 경우, 팬유닛 온도센서(22)는 일단이 팬유닛(2)에 접촉되게 연결될 수 있다. 팬유닛 온도센서(22)는 팬유닛(2)의 하부에 위치되게 팬유닛(2)에 연결될 수 있다.
팬유닛 온도센서 커버(24)는 그 열이 팬유닛 온도센서(22)로 전도되지 않게 설치되는 것이 바람직하고, 팬유닛 온도센서(22)와 비접촉되게 설치될 수 있다.
팬유닛 온도센서 커버(24)는 상면이 개방일 수 있다.
팬유닛 온도센서 커버(24)는 팬유닛 온도센서(22)를 수용하는 팬유닛 온도센서 수용공간(S3)이 형성될 수 있다.
팬유닛 온도센서 커버(24)는 팬유닛(2)의 하부에 연결될 수 있다. 팬유닛 온도센서 커버(24)는 팬유닛(2)에 연결되는 연결부(25)와, 연결부(25)에서 연장되고 팬유닛 온도센서(24)의 하부에 배치된 차폐부(26)을 더 포함할 수 있다.
차폐부(26)는 팬유닛 온도센서(22) 보다 크게 형성된 판체 형상일 수 있다.
팬유닛 온도센서 커버(25)는 온도센서 수용공간(S3)을 개방할 수 있는 개구부(27)을 포함할 수 있다. 개구부(27)는 수평방향으로 개방될 수 있다.
팬유닛(2)의 작동시 챔버 바디(1) 내부의 공기는 팬유닛(2)을 향해 상향 흡인될 수 있는데, 팬유닛(2)을 향해 유동되는 공기는 팬유닛 온도센서 커버(24)에 막혀 팬유닛 온도센서(22)로 유동되지 못하고, 팬유닛 온도센서(22)는 팬유닛(2)의 온도만을 신뢰성 높게 측정할 수 있다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 마스크 인장기의 제어 블록도이다.
마스크 인장기는 인장기 모듈(3)을 제어하는 제어부(130)를 더 포함할 수 있다. 제어부(130)는 광학모듈 온도센서(98)에서 감지된 온도에 따라 광학모듈 팬(96)을 제어할 수 있다. 제어부(130)는 광학모듈 온도센서(98)에서 감지된 온도에 따라 광학모듈 커버(90) 내부 온도를 모니터링할 수 있고, 피드백 제어할 수 있다.
제어부(130)는 갠트리 이동모터(34)를 제어하여 갠트리(70)을 이동시킬 수 있고, 광학모듈 이동모터(82)를 제어하여 광학모듈(80)을 이동시킬 수 있다.
광학모듈(80)은 광학모듈(80)의 이동이 완료된 후, 마스크의 비젼을 측정할 수 있고, 그 측정 결과을 제어부(130)로 전송할 수 있다.
제어부(130)는 광학모듈(80)에서 촬영된 비젼에 따라, 그리퍼(60)를 제어할 수 있고, 그리퍼(60)에 의해 마스크와 마스크 프레임을 정밀하게 얼라인할 수 있다.
제어부(130)는 광학모듈 온도센서(98)에서 감지된 온도에 따라 광학모듈 팬(96)의 회전수를 제어할 수 있다. 제어부(130)는 광학모듈 온도센서(98)에서 감지된 온도가 높을수록 광학모듈 팬(96)을 고속으로 회전시킬 수 있다. 제어부(130)는 광학모듈 온도센서(98)에서 감지된 온도가 설정온도 미만이면, 광학모듈 팬(96)을 오프할 수 있다.
제어부(130)는 상기와 같이 광학모듈 팬(96)을 제어하는 것에 의해 광학모듈(80)의 온도를 일정온도로 관리할 수 있다.
한편, 마스크 인장기는 도 1 및 도 2에 도시된 갠트리(70)의 에어통로에 연결된 에어 공급기(140)를 더 포함할 수 있다. 에어 공급기(140)는 갠트리(70)의 에어 통로에 직접 연결되거나 별도의 덕트를 통해 갠트리(70)의 에어 통로에 연결된 에어 펌프를 포함할 수 있다.
마스크 인장기는 에어 공급기(140)를 제어하는 에어공급기 제어부(150)를 더 포함할 수 있다. 에어공급기 제어부(150)는 갠트리의 에어통로를 통해 갠트리 가이드(32, 도 2 참조)로 공급되는 에어의 온도가 일정하게 에어 공급기(140)를 제어할 수 있다.
에어공급기 제어부(160)는 통신모듈에 의해 제어부(130)와 연결될 수 있고, 제어부(130)에 의한 인장기 모듈(3)의 작동과 연계하여 에어 공급기(140)를 제어할 수 있다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다.
따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다.
본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
1: 챔버 바디 30: 선반
40: 마스크 스테이지 50: 프레임 스테이지
60: 그리퍼 70: 갠트리와;
80: 광학모듈 90: 광학모듈 커버

Claims (9)

  1. 챔버 바디와;
    상기 챔버 바디 내부에 배치되고 상부에 갠트리 가이드가 구비된 선반과;
    상기 선반에 배치되고 마스크가 안착되는 마스크 스테이지와;
    상기 선반에 배치되고 프레임이 안착되는 프레임 스테이지와;
    상기 마스크를 잡고 마스크를 이동 및 인장하는 그리퍼와;
    상기 갠트리 가이드를 따라 이동되는 갠트리와;
    상기 갠트리에 배치된 광학모듈과;
    상기 광학모듈의 일부를 감싸고 상기 광학모듈이 관통되는 광학모듈 관통공이 형성된 광학모듈 커버를 포함하는 마스크 인장기.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 광학모듈 커버에는 공기를 외부로 배기하는 배기구가 형성되고,
    상기 배기구는 상기 마스크를 향하지 않는 방향으로 개방된 마스크 인장기.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 광학모듈 커버에 배치되어 상기 배기구로 에어를 송풍하는 광학모듈 팬을 더 포함하는 마스크 인장기.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 광학모듈 커버의 내부에 배치된 광학모듈 온도센서를 더 포함하는 마스크 인장기.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 광학모듈 온도센서에서 감지된 온도에 따라 상기 광학모듈 팬을 제어하는 제어부를 더 포함하는 마스크 인장기.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 챔버 바디의 상부에 설치된 팬유닛과;
    상기 팬유닛의 온도를 측정하는 팬유닛 온도센서와;
    상기 팬유닛 온도센서를 감싸고 상기 팬유닛 온도센서와 이격된 팬유닛 온도센서 커버를 더 포함하는 마스크 인장기.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 챔버 바디의 내부에 상기 갠트리 및 광학모듈 커버를 마주보게 배치된 단열벽을 더 포함하는 마스크 인장기.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 갠트리에는 상기 갠트리 가이드로 에어를 분사하는 에어 통로가 형성되고,
    상기 에어통로는 에어 공급기에 연결된 마스크 인장기.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 에어통로를 통해 상기 갠트리 가이드로 공급되는 에어의 온도가 일정하게 상기 에어 공급기를 제어하는 에어공급기 제어부를 더 포함하는 마스크 인장기.
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