KR20190033366A - Shape measuring appratus - Google Patents

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KR20190033366A KR1020170122050A KR20170122050A KR20190033366A KR 20190033366 A KR20190033366 A KR 20190033366A KR 1020170122050 A KR1020170122050 A KR 1020170122050A KR 20170122050 A KR20170122050 A KR 20170122050A KR 20190033366 A KR20190033366 A KR 20190033366A
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Abstract

The present invention relates to a shape measuring apparatus. A shape measuring apparatus according to an embodiment of the present invention comprises: a first projection unit projecting light of a first wave upon a target object to be measured; a second projection unit projecting light of a second wave in which at least one between a wave or a phase is different from that of the light of the first wave upon the target object to be measured; a first light receiving unit to which the light of the first wave is incident after being reflected by the target object to be measured; and a second light receiving unit to which the light of the second wave is incident after being reflected by the target object to be measured.

Description

형상 측정장치{SHAPE MEASURING APPRATUS}{SHAPE MEASURING APPRATUS}

본 발명은 형상 측정장치에 대한 발명이다. The present invention relates to a shape measuring apparatus.

일반적으로 투명체에 대한 검사기법으로서는 모아레법을 이용한 방법이 있다. 모아레(Moire)란 단어는 프랑스인들이 고대 중국에서 수입된 비단 위에 나타나는 물결무늬를 일컬었던 말로, 모아레 현상이란 두 개 이상의 주기적인 물결무늬가 겹쳐져 생기는 간섭무늬(interference fringe)를 말하는 것이다. 즉, 모아레 현상이란 맥놀이 현상이 시각적으로 발생하는 것으로, 일정한 간격을 갖는 물체 사이에 발생하는 간섭무늬를 말한다. 또한 모아레 무늬는 두 개 이상의 주기적인 패턴이 겹쳐질 때 발생하게 되는, 상대적으로 기준패턴에 비해서 저주파를 가지는 일종의 간섭무늬로써 정의되어진다. 맥놀이현상으로 설명되는 이 고유한 저주파의 모아레 무늬는 공학전반에 걸쳐 2차원 변위뿐만 아니라 3차원 형상측정에 이르기까지 넒은 응용범위를 가진다.As a general inspection method for a transparent body, there is a method using a moire method. Moire is the term used by French to refer to the wave pattern on silk imported from ancient China. Moire phenomenon refers to the interference fringe resulting from the overlapping of two or more periodic wave patterns. That is, the moire phenomenon refers to an interference pattern generated between objects having a constant gap, in which a beat phenomenon occurs visually. The moire pattern is defined as a type of interference pattern that has a relatively low frequency compared to the reference pattern, which occurs when two or more periodic patterns are overlapped. This unique low-frequency moire pattern, which is described as a beat phenomenon, has a wide range of applications ranging from 2D to 3D shape measurement throughout engineering.

모아레 간섭무늬를 이용하여 3차원 형상측정을 하기 위해서는, 검사하고자 하는 측정물의 표면에 일정한 형태를 가지는 빛을 조사하여 나타나는 격자무늬와 기준이 되는 격자무늬를 중첩시켜서 모아레 간섭무늬를 형성하게 된다. 이러한 모아레 간섭무늬를 측정 및 해석하면 물체표면의 높이에 대한 정보를 얻을 수 있다. 이와 같은 측정 방법은 측정물의 3차원 형상을 간단하게 얻을 수 있으므로 의학, 산업 분야에서 널리 사용되고 있다. In order to perform the three-dimensional shape measurement using the moire interference fringe, a grid pattern appearing by irradiating a light having a predetermined shape to the surface of the object to be inspected and the reference grid pattern are overlapped to form a moire interference pattern. By measuring and analyzing the moire interference pattern, information on the height of the object surface can be obtained. Such a measurement method is widely used in medical and industrial fields because a three-dimensional shape of a measurement object can be obtained easily.

그러나, 종래의 3차원 형상측정 장치는, 일측에서만 측정 대상물의 이미지를 획득하도록 구성된다. 따라서, 이러한 3차원 형상측정 장치로는 측정 대상물의 일측의 이미지만 획득할 수 있을 뿐, 촬영시에 발생하는 그림자 등의 사각지대로 인하여 측정 대상물의 타측의 이미지를 획득할 수 없게 된다. 따라서, 이러한 종래의 3차원 형상 측정장치로 측정 대상물의 이미지를 획득하기 위해서는 측정 대상물을 여러 각도에서 복수회 촬영하여야 하여, 작업의 번거로움이 있고 측정 대상물의 정확한 형상을 얻는 데에 많은 시간이 소요된다는 문제가 있었다. 또한, 경우에 따라서는 이러한 그림자 자체가 물체의 형상으로 인식되는 경우도 빈번하게 발생하여 정확한 이미지 측정에 어려움이 있었다.However, the conventional three-dimensional shape measuring apparatus is configured to acquire the image of the measurement object only from one side. Therefore, such a three-dimensional shape measuring apparatus can only acquire an image of one side of the measurement object, and can not acquire an image of the other side of the measurement object due to a blind spot such as a shadow generated at the time of photographing. Therefore, in order to acquire an image of a measurement object with such a conventional three-dimensional shape measurement apparatus, it is necessary to take a measurement object a plurality of times at a plurality of angles, thereby complicating operations and obtaining a precise shape of the measurement object . Also, in some cases, such shadows themselves are frequently recognized as the shape of an object, which is difficult to measure accurately.

대한민국 공개특허공보 제10-2009-0022819호, 2009년 03월 04일 공개Korean Patent Publication No. 10-2009-0022819, March 04, 2009

본 발명의 실시예들은 상기와 같은 종래의 문제점에 착안하여 발명된 것으로서, 복수 회의 촬영 없이도 그림자 등의 사각지대가 제거된 측정 대상물의 이미지를 획득할 수 있어서, 형상 측정의 정확도뿐만 아니라 형상 측정의 속도도 비약적으로 향상시킬 수 있는 형상 측정장치를 제공하고자 한다.The embodiments of the present invention have been made in view of the above-described conventional problems, and it is possible to acquire an image of a measurement object from which a blind spot such as a shadow is removed without taking a plurality of shots, And to provide a shape measuring device capable of remarkably improving the speed.

본 발명의 일 측면에 따르면, 제1 파장의 광을 측정 대상물에 조사하는 제1 조사 유닛; 파장 및 위상 중 하나 이상이 상기 제1 파장의 광과 상이한 제2 파장의 광을 상기 측정 대상물에 조사하는 제2 조사 유닛; 상기 측정 대상물에서 반사된 상기 제1 파장의 광이 입사하는 제1 수광부; 및 상기 측정 대상물에서 반사된 상기 제2 파장의 광이 입사하는 제2 수광부를 포함하는 형상 측정장치가 제공될 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a measurement apparatus comprising: a first irradiation unit for irradiating light of a first wavelength onto a measurement object; A second irradiation unit for irradiating the measurement object with light of a second wavelength at which at least one of a wavelength and a phase is different from the light of the first wavelength; A first light receiving unit for receiving light of the first wavelength reflected from the measurement object; And a second light receiving unit through which light of the second wavelength reflected from the measurement object is incident.

또한, 상기 제1 조사 유닛으로부터 조사되는 제1 파장의 광을 통과시키고, 상기 측정 대상물에서 반사된 제2 파장의 광을 반사시키는 제1 스플리터; 및 상기 제2 조사 유닛으로부터 조사되는 제2 파장의 광을 통과시키고, 상기 측정 대상물에서 반사된 제1 파장의 광을 반사시키는 제2 스플리터를 더 포함하는 형상 측정장치가 제공될 수 있다.A first splitter for passing light of a first wavelength emitted from the first irradiation unit and reflecting light of a second wavelength reflected by the measurement object; And a second splitter for passing light of a second wavelength emitted from the second irradiation unit and reflecting the light of the first wavelength reflected from the measurement object.

또한, 상기 제1 조사 유닛으로부터 조사되는 제1 파장의 광, 상기 측정 대상물에서 반사된 제2 파장의 광, 상기 제2 조사 유닛으로부터 조사되는 제2 파장의 광 및 상기 측정 대상물에서 반사된 제1 파장의 광이 통과하는 대물 렌즈를 더 포함하는 형상 측정장치가 제공될 수 있다.It is preferable that light of the first wavelength emitted from the first irradiation unit, light of the second wavelength reflected by the measurement object, light of the second wavelength emitted from the second irradiation unit, and light of the second wavelength reflected from the measurement object A shape measuring apparatus may be provided that further includes an objective lens through which light of a wavelength passes.

또한, 상기 제1 조사 유닛은 상기 측정 대상물의 일측으로 제1 파장의 광을 조사하고, 상기 제2 조사 유닛은 상기 측정 대상물의 타측으로 제2 파장의 광을 조사하도록 구성되는 형상 측정장치가 제공될 수 있다.The first irradiation unit may irradiate light of a first wavelength to one side of the object to be measured and the second irradiation unit may irradiate light of a second wavelength to the other side of the object to be measured .

또한, 측정신호가 입력되면, 상기 제1 조사 유닛 및 상기 제2 조사 유닛을 동시에 작동시키는 제어부를 더 포함하는 형상 측정장치가 제공될 수 있다.Further, when a measurement signal is input, a shape measuring apparatus may be further provided that includes a control unit for simultaneously operating the first irradiation unit and the second irradiation unit.

또한, 상기 제1 조사 유닛은 상기 측정 대상물의 일 지점에 상기 제1 파장의 광을 제1 각도로 조사하고, 상기 제2 조사 유닛은 상기 측정 대상물의 상기 일 지점에 상기 제2 파장의 광을 상기 제1 각도보다 큰 제2 각도로 조사하는 형상 측정장치가 제공될 수 있다.The first irradiation unit may irradiate light of the first wavelength to a point of the measurement object at a first angle and the second irradiation unit may irradiate light of the second wavelength to the one point of the measurement object And a second angle larger than the first angle may be provided.

본 발명의 실시예들에 따르면, 복수 회의 촬영을 실시하지 않고도 그림자 등의 사각지대가 제거된 측정 대상물의 이미지를 획득할 수 있어서, 형상 측정의 정확도 및 형상 측정의 속도를 비약적으로 향상시킬 수 있다는 효과가 있다. According to the embodiments of the present invention, it is possible to acquire an image of a measurement object from which a blind spot such as a shadow is removed without performing a plurality of shots, so that accuracy of shape measurement and speed of shape measurement can be dramatically improved It is effective.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 형상 측정장치를 나타낸 개념도이다.
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 형상 측정장치를 나타낸 개념도이다.
도 3은 본 발명의 실시예들에 따른 형상 측정장치를 이용하여 측정 대상물의 형상을 측정하는 과정을 나타낸 순서도이다.1 is a conceptual diagram illustrating a shape measuring apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a conceptual diagram illustrating a shape measuring apparatus according to another embodiment of the present invention.
3 is a flowchart illustrating a process of measuring a shape of a measurement object using a shape measuring apparatus according to embodiments of the present invention.

이하에서는 본 발명의 사상을 구현하기 위한 구체적인 실시예에 대하여 도면을 참조하여 상세히 설명하도록 한다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

아울러 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는, 그 상세한 설명을 생략한다. In the following description of the present invention, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear.

또한, 구성요소 간에 어떤 것이 '전달', '접촉'된다고 언급된 때에는, 그 구성요소 간에 직접적으로 전달될 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.It is also to be understood that when an element is referred to as being " communicated " or " contacted " between components, it may be directly communicated between the components, but other components may be present.

본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise.

이하, 도 1을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 형상 측정장치의 구체적인 구성에 대하여 설명한다. Hereinafter, a specific configuration of a shape measuring apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 형상 측정장치(1)는 측정 대상물(2)의 3차원 형상을 측정할 수 있도록 구성된다. 이러한 형상 측정장치(1)는 제1 파장의 광을 조사하는 제1 광학계(100); 제2 파장의 광을 조사하는 제2 광학계(200); 초점 등을 조절하기 위한 대물 렌즈 유닛(300); 이들의 위치 등의 작동을 제어하는 제어부(400); 및 검출된 이미지로부터 원하는 정보를 도출하는 이미지 처리 모듈(500)을 포함할 수 있다. Referring to FIG. 1, a shape measuring apparatus 1 according to an embodiment of the present invention is configured to measure a three-dimensional shape of a measurement object 2. The shape measuring apparatus 1 includes a first optical system 100 for emitting light of a first wavelength; A second optical system (200) for emitting light of a second wavelength; An objective lens unit 300 for adjusting a focus or the like; A control unit 400 for controlling operations such as their positions; And an image processing module 500 for deriving desired information from the detected image.

제1 파장의 광과 제2 파장의 광은 서로 다른 파장을 가질 수 있다. 일 예로, 제1 파장의 광이 푸른색 계열의 단파장을 가지고, 제2 파장의 광은 붉은색 계열의 장파장을 가지도록 구성될 수 있다. 다른 예로, 제1 파장의 광이 가시광선 영역의 파장을 가지고, 제2 파장의 광은 적외선 영역의 장파장을 가지도록 구성될 수 있다. 또 다른 예로, 제1 파장의 광이 가시광선 영역의 파장을 가지고, 제2 파장의 광은 자외선 영역의 단파장을 가지도록 구성될 수 있다.The light of the first wavelength and the light of the second wavelength may have different wavelengths. For example, the light of the first wavelength may have a short wavelength of a blue color, and the light of the second wavelength may have a long wavelength of a red color. As another example, the light of the first wavelength may have a wavelength in the visible light region, and the light of the second wavelength may be configured to have a long wavelength in the infrared region. As another example, the light of the first wavelength may have a wavelength in the visible light region, and the light of the second wavelength may have a short wavelength in the ultraviolet region.

제1 광학계(100)는 제1 파장의 광을 측정 대상물(2)에 조사하는 제1 조사 유닛(110); 측정 대상물(2)에서 반사된 제1 파장의 광이 입사하는 제1 수광부(120); 제1 조사 유닛(110) 측으로부터 입사하는 제1 파장의 광을 통과시키고, 측정 대상물(2) 측으로부터 입사하는 제2 파장의 광을 반사시키는 제1 스플리터(130); 및 제1 조사 유닛(110)으로부터 제1 스플리터로 입사하는 제1 파장의 광이 지나는 통로를 제공하는 제1 파장광 경통(140)을 포함할 수 있다. The first optical system 100 includes a first irradiation unit 110 for irradiating light of a first wavelength to the measurement object 2; A first light receiving section 120 through which light of a first wavelength reflected by the measurement object 2 is incident; A first splitter 130 that transmits light of a first wavelength incident from the first irradiation unit 110 side and reflects light of a second wavelength incident from the measurement object 2 side; And a first wavelength light pipe 140 providing a passage through which light of a first wavelength incident from the first irradiation unit 110 to the first splitter passes.

제1 조사 유닛(110)은 제1 파장의 광을 발생시키는 제1 광원(111); 제1 파장의 광을 제1 패널(114)에 모아주는 제1 콘덴싱 렌즈(112); 제1 광원(111)의 빛에서 제1 파장의 광만을 투과시키는 제1 필터(113); 및 이러한 제1 광원(111)에서 발생된 빛을 소정의 패턴으로 투과시키는 제1 패널(114); 및 이러한 패턴이 측정 대상물(2)에 투영될 수 있도록 제1 파장의 광을 투과시키는 제1 아답터 렌즈(115)를 포함할 수 있다. The first irradiation unit 110 includes a first light source 111 for generating light of a first wavelength; A first condensing lens 112 for collecting light of a first wavelength on a first panel 114; A first filter 113 for transmitting only light of a first wavelength in the light of the first light source 111; And a first panel (114) for transmitting the light generated from the first light source (111) in a predetermined pattern. And a first adapter lens 115 for transmitting the first wavelength light so that the pattern can be projected onto the measurement object 2. [

제1 광원(111)은 제1 파장의 광을 발생시킬 수 있다. 다만, 본 발명의 사상이 이에 한정되는 것은 아니고, 제1 광원(111)은 제1 파장을 포함하는 여러 파장의 빛을 함께 발생시키도록 구성될 수 있다. 이처럼 제1 광원(111)이 여러 파장의 빛을 발생시키는 경우, 제1 필터(113)에 의해 복수 개의 파장 중 제1 파장의 광만이 측정 대상물(2) 측으로 진행한다. The first light source 111 may generate light of the first wavelength. However, the spirit of the present invention is not limited to this, and the first light source 111 may be configured to generate light of various wavelengths including the first wavelength. When the first light source 111 generates light of various wavelengths, only the light of the first wavelength among the plurality of wavelengths propagates to the measurement object 2 by the first filter 113.

제1 콘덴싱 렌즈(112)는 제1 광원(111)으로부터 제1 패널(114)을 향해 조사되는 제1 파장의 광이 제1 패널(114)에 집중될 수 있도록 광을 모아주는 역할을 한다.The first condensing lens 112 functions to collect light so that light of a first wavelength emitted from the first light source 111 toward the first panel 114 can be focused on the first panel 114.

제1 패널(114)은 제1 광원(111)으로부터 입사되는 빛이 소정의 패턴으로 투과하도록 구성될 수 있다. 이러한 패턴은 격자 패턴, 줄무늬 패턴, 정현파 패턴 등일 수 있고, 제1 패널(114)에 의해 제1 파장의 광은 소정 파장과 소정 위상의 패턴을 가질 수 있다. 제1 패널(114)은 제1 광원(111)으로부터 빛이 지나가는 경로를 따라 소정 거리 이격되어 배치될 수 있다. 또한, 제1 패널(114)은 제1 파장의 광의 파장과 위상이 변화되도록 제어부(400)에 의해 제어될 수 있다. 이러한 제1 패널(114)은 LCD(Liquid Crystal Display), OLED(Organic Light Emitting Diodes), PDP(Plasma Display Panel) 등으로 구성될 수 있다.The first panel 114 may be configured to transmit the light incident from the first light source 111 in a predetermined pattern. Such a pattern may be a lattice pattern, a stripe pattern, a sinusoidal pattern, or the like, and the light of the first wavelength may have a pattern of a predetermined wavelength and a predetermined phase by the first panel 114. The first panel 114 may be spaced apart from the first light source 111 along a path through which the light passes. In addition, the first panel 114 may be controlled by the controller 400 such that the wavelength and phase of the light of the first wavelength are changed. The first panel 114 may include a liquid crystal display (LCD), an organic light emitting diode (OLED), and a plasma display panel (PDP).

제1 아답터 렌즈(115)는 소정 패턴의 제1 파장의 광이 측정 대상물(2)에 투영되되어 상이 보다 선명히 맺히게 한다. 제1 아답터 렌즈(115)는 제1 패널(114)로부터 빛이 지나가는 경로를 따라 소정 거리 이격되어 배치될 수 있다. 또한, 제1 아답터 렌즈(115)는 제1 패널(114) 과의 간격이 조절되도록 모터와 같은 렌즈 이동유닛(미도시)에 의해 적절한 위치로 이동될 수 있으며, 이러한 제1 아답터 렌즈(115)의 위치는 제어부(400)에 의해 결정될 수 있다. The first adapter lens 115 causes the light of the first wavelength of the predetermined pattern to be projected onto the measurement object 2 so that the image is more clearly formed. The first adapter lens 115 may be disposed at a predetermined distance along a path through which the light passes from the first panel 114. The first adapter lens 115 can be moved to a proper position by a lens movement unit (not shown) such as a motor so that the interval between the first adapter lens 115 and the first panel 114 can be adjusted. May be determined by the control unit 400. [0053] FIG.

제1 스플리터(130)는 측정 대상물(2)에 투영/반사되는 제1 파장의 광이 일측(도 1에서의 상측)에서 조사되고, 제2 조사 유닛(210)으로부터 조사되는 제2 파장의 광이 타측(도 1에서의 하측)에서 조사되도록 구성될 수 있다. 이러한 제1 스플리터(130)는 측정 대상물(2)로부터 조사되는 제2 파장의 광을 제2 수광부(220)를 향해 소정 각도로 반사시킬 수 있다. 또한, 제1 스플리터(130)는 제1 조사 유닛(110)으로부터 조사되는 제1 파장의 광을 투과시킬 수 있다. 이러한 제1 스플리터(130)는 제2 파장의 광이 제2 조사 유닛(210)으로부터 측정 대상물(2)로 조사되는 경로에 놓일 수 있다. 제1 스플리터(130)는 필요에 따라 이동하여 위치가 조정될 수 있으며, 이러한 위치 조정은 제어부(400)에 의해 제어될 수 있다. The first splitter 130 irradiates light of a first wavelength, which is projected / reflected on the measurement object 2, from one side (upper side in FIG. 1) and a second wavelength of light emitted from the second irradiation unit 210 May be configured to be irradiated from the other side (the lower side in Fig. 1). The first splitter 130 can reflect light of the second wavelength emitted from the measurement object 2 toward the second light receiving unit 220 at a predetermined angle. Further, the first splitter 130 can transmit the light of the first wavelength emitted from the first irradiation unit 110. The first splitter 130 can be placed in a path where the light of the second wavelength is irradiated from the second irradiation unit 210 to the measurement object 2. The first splitter 130 can be moved and adjusted in position as required, and such position adjustment can be controlled by the control unit 400.

제1 파장광 경통(140)은 제1 광원(111), 제1 필터(113), 제2 패널(114), 제1 아답터 렌즈(115) 및 제1 스플리터(130)를 투과하는 빛의 경로를 제공하기 위해 중공 형태의 관체로 형성될 수 있다. 제1 파장광 경통(140)은 내부에 제1 광원(111), 제1 필터(113), 제2 패널(114), 제1 아답터 렌즈(115) 및 제1 스플리터(130) 중 하나 이상을 수용할 수 있다. 제1 광원(111), 제1 필터(113), 제2 패널(114), 제1 아답터 렌즈(115) 및 제1 스플리터(130)는 제1 파장의 광이 조사되는 방향을 따라 순차적으로 배치될 수 있다.The first wavelength light optical tube 140 is connected to the light path passing through the first light source 111, the first filter 113, the second panel 114, the first adapter lens 115 and the first splitter 130, And the like. The first wavelength light optical tube 140 includes at least one of a first light source 111, a first filter 113, a second panel 114, a first adapter lens 115, and a first splitter 130 Can be accommodated. The first light source 111, the first filter 113, the second panel 114, the first adapter lens 115 and the first splitter 130 are sequentially arranged along the direction of the light of the first wavelength .

제1 수광부(120)는 측정 대상물(2)을 거쳐 후술할 제2 스플리터(230)로부터 반사된 제1 파장의 광을 수광할 수 있도록 구성된다. 이러한 제1 수광부(120)는 제2 스플리터(230)로부터 반사된 광을 내부에 투영하기 위한 제3 아답터 렌즈(121); 수광된 빛 중 제1 파장의 광만을 통과시킬 수 있는 제1 필터(122); 및 제1 파장의 광으로부터 이미지를 얻을 수 있는 제1 카메라(123)를 포함할 수 있다. The first light receiving unit 120 is configured to receive the light of the first wavelength reflected from the second splitter 230, which will be described later, through the measurement object 2. The first light receiving unit 120 includes a third adapter lens 121 for projecting the light reflected from the second splitter 230 therein; A first filter (122) capable of passing only light of a first wavelength among the received light; And a first camera 123 that can obtain an image from the light of the first wavelength.

제3 아답터 렌즈(121)는 제1 파장의 광이 제1 카메라(123)에 투영될 수 있도록, 모터와 같은 렌즈 이동유닛(미도시)에 의해 적절한 위치로 이동될 수 있다. 이러한 제3 아답터 렌즈(121)는 상이 보다 선명하게 맺히는 것을 보조한다는 점에서 앞서 서술한 제1 아답터 렌즈(115)와 유사하다. 제1 필터(122)는 제1 파장의 광과 함께 유입될 수 있는 다른 성분의 광을 여과하여 제1 파장의 광만이 제1 카메라(123)에 조사되도록 보조할 수 있다. 제1 카메라(123)는 입사된 제1 파장의 광으로부터 이미지를 얻을 수 있도록 구성될 수 있다. 또한, 제1 카메라(123)는 제1 파장의 광을 감지할 수 있다면, 가시광선을 감지하는 일반 카메라, 적외선을 감지하는 IR 카메라 등 어느 것이라도 가능하다. 이러한 제1 카메라(123)는 입사된 이미지를 이미지 처리 모듈(500)에 전달할 수 있다. The third adapter lens 121 can be moved to the proper position by a lens movement unit (not shown) such as a motor so that light of the first wavelength can be projected to the first camera 123. [ The third adapter lens 121 is similar to the first adapter lens 115 described above in that the third adapter lens 121 aids in forming the image more clearly. The first filter 122 may filter light of other components that can be introduced together with the light of the first wavelength so that only the light of the first wavelength is irradiated to the first camera 123. The first camera 123 may be configured to obtain an image from the incident light of the first wavelength. In addition, if the first camera 123 can sense light of the first wavelength, it may be a general camera for sensing visible light, or an IR camera for detecting infrared rays. The first camera 123 may transmit the incident image to the image processing module 500.

제2 광학계(200)는 제2 파장의 광을 측정 대상물에 조사하는 제2 조사 유닛(210); 측정 대상물(2)에서 반사된 제2 파장의 광이 입사하는 제2 수광부(220); 제2 조사 유닛(210) 측으로부터 입사하는 제2 파장의 광을 통과시키고, 측정 대상물(2) 측으로부터 입사하는 제1 파장의 광을 반사시키는 제2 스플리터(230); 및 제2 조사 유닛으로부터 제2 스플리터로 입사하는 제2 파장의 광이 지나는 통로를 제공하는 제2 파장광 경통(240)을 포함할 수 있다. The second optical system (200) includes a second irradiation unit (210) for irradiating light of a second wavelength to the measurement object; A second light receiving portion 220 through which light of a second wavelength reflected by the measurement object 2 is incident; A second splitter 230 for passing light of a second wavelength incident from the side of the second irradiation unit 210 and reflecting the light of the first wavelength incident from the side of the measurement object 2; And a second wavelength light optical tube 240 providing a path through which light of a second wavelength incident from the second irradiation unit to the second splitter passes.

제2 조사 유닛(210)은 제1 파장과 상이한 파장인 제2 파장의 광을 측정 대상물(2)에 조사할 수 있다. 제2 조사 유닛(210)은 제2 파장의 광을 발생시키는 제2 광원(211); 제2 파장의 광을 제2 패널(214)에 모아주는 제2 콘덴싱 렌즈(212); 제2 광원(211)의 빛에서 제2 파장의 광만을 투과시키는 제2 필터(213); 및 이러한 제2 광원(211)에서 발생된 빛을 소정의 패턴으로 투과시키는 제2 패널(214); 및 이러한 패턴이 측정 대상물(2)에 투영될 수 있도록 제2 파장의 광을 투과시키는 제2 아답터 렌즈(215)를 포함할 수 있다. The second irradiation unit 210 can irradiate the measurement object 2 with the light of the second wavelength which is different from the first wavelength. The second irradiation unit 210 includes a second light source 211 for generating light of a second wavelength; A second condensing lens 212 for collecting the light of the second wavelength on the second panel 214; A second filter 213 for transmitting only light of a second wavelength in the light of the second light source 211; And a second panel (214) for transmitting the light generated from the second light source (211) in a predetermined pattern. And a second adapter lens 215 transmitting the second wavelength of light so that the pattern can be projected onto the measurement object 2. [

제2 광원(211)은 제1 파장과 상이한 제2 파장의 광을 발생시킬 수 있다. 예를 들어, 제1 파장이 푸른색 계열의 단파장이고, 제2 파장이 적외선과 같은 붉은색 계열의 장파장일 수 있다. 다만, 본 발명의 사상이 이에 한정되는 것은 아니고, 제2 광원(211)은 제2 파장을 포함하는 여러 파장의 빛을 함께 발생시키도록 구성될 수 있다. 이처럼 제2 광원(211)이 여러 파장의 빛을 발생시키는 경우, 제2 필터(213)에 의해 복수 개의 파장 중 제2 파장의 광만이 측정 대상물(2) 측으로 진행한다. The second light source 211 may generate light having a second wavelength different from the first wavelength. For example, the first wavelength may be a short wavelength of a blue color series, and the second wavelength may be a long wavelength of a red color series such as an infrared ray. However, the spirit of the present invention is not limited thereto, and the second light source 211 may be configured to generate light of various wavelengths including the second wavelength. When the second light source 211 generates light of various wavelengths, only the light of the second wavelength among the plurality of wavelengths proceeds to the measurement object 2 side by the second filter 213.

제2 콘덴싱 렌즈(212)는 제2 광원(211)으로부터 제2 패널(214)을 향해 조사되는 제2 파장의 광이 제2 패널(214)에 집중될 수 있도록 광을 모아주는 역할을 한다. The second condensing lens 212 collects light so that light of a second wavelength emitted from the second light source 211 toward the second panel 214 can be focused on the second panel 214.

제2 패널(214)은 제2 광원(211)으로부터 입사되는 빛이 소정의 패턴으로 투과하도록 구성될 수 있다. 이러한 패턴은 격자 패턴, 정현파 패턴 등일 수 있고, 제2 패널(214)에 의해 제2 파장의 광은 소정 파장과 소정 위상의 패턴을 가질 수 있다. 제2 패널(214)은 제2 광원(211)으로부터 빛이 지나가는 경로를 따라 소정 거리 이격되어 배치될 수 있다. 또한, 제2 패널(214)은 제2 파장의 광의 패턴이 가지는 파장 및 위상은 제1 파장의 광의 패턴이 가지는 파장 및 위상과 상이하게 작동될 수 있다. 제2 패널(214)은 제1 패널(114)과 마찬가지로, 제2 파장의 광의 파장과 위상이 변화되도록 제어부(400)에 의해 제어될 수 있다. 이러한 제2 패널(214)은 LCD, OLED, PDP 등으로 구성될 수 있다. 또한, 제1 파장의 광과 제2 파장의 광이 가지는 패턴이 변화하더라도, 제2 파장의 광의 변화된 패턴이 가지는 파장 및 위상은 제1 파장의 광의 변화된 패턴이 가지는 파장 및 위상과 상이하다. 예를 들어, 제1 파장의 광과 제2 파장의 광이 격자 무늬 패턴을 가지는 경우, 제1 파장의 광의 격자 무늬의 간격은 제2 파장의 광의 격자 무늬의 간격보다 넓거나 좁게 형성될 수 있다. The second panel 214 may be configured to transmit light incident from the second light source 211 in a predetermined pattern. Such a pattern may be a lattice pattern, a sinusoidal pattern, or the like, and the light of the second wavelength may have a pattern of a predetermined phase and a predetermined phase by the second panel 214. [ The second panel 214 may be spaced apart from the second light source 211 along a path through which the light passes. In addition, the second panel 214 may be operated such that the wavelength and the phase of the light of the second wavelength are different from the wavelength and the phase of the light of the first wavelength. The second panel 214 may be controlled by the controller 400 so that the wavelength and phase of the light of the second wavelength may be changed as in the case of the first panel 114. The second panel 214 may be an LCD, an OLED, a PDP, or the like. Further, even if the pattern of the light of the first wavelength and the pattern of the light of the second wavelength change, the wavelength and phase of the changed pattern of the light of the second wavelength are different from the wavelength and phase of the changed pattern of the light of the first wavelength. For example, when the light of the first wavelength and the light of the second wavelength have a lattice pattern, the interval of the lattice pattern of the light of the first wavelength may be formed wider or narrower than the interval of the lattice pattern of the light of the second wavelength .

제2 아답터 렌즈(215)는 소정 패턴의 제2 파장의 광이 측정 대상물(2)에 투영되어 상이 보다 선명히 맺히게 한다. 제2 아답터 렌즈(215)는 제2 패널(214)로부터 빛이 지나가는 경로를 따라 소정 거리 이격되어 배치될 수 있다. 또한, 제2 아답터 렌즈(215)는 제2 패널(214) 과의 간격이 조절되도록 모터와 같은 렌즈 이동유닛(미도시)에 의해 적절한 위치로 이동될 수 있으며, 이러한 제2 아답터 렌즈(215)의 위치는 제어부(400)에 의해 결정될 수 있다. The second adapter lens 215 causes the light of the second wavelength of the predetermined pattern to be projected onto the measurement object 2 so that the image is more clearly formed. The second adapter lens 215 may be spaced apart from the second panel 214 by a predetermined distance along a path through which the light passes. The second adapter lens 215 may be moved to a proper position by a lens movement unit (not shown) such as a motor so that the interval between the second adapter lens 215 and the second panel 214 is adjusted. May be determined by the control unit 400. [0053] FIG.

제2 스플리터(230)는 측정 대상물(2)에 투영/반사되는 제2 파장의 광이 일측(도 1에서의 상측)에서 조사되고, 제2 조사 유닛(210)으로부터 조사되는 제2 파장의 광이 타측(도 1에서의 하측)에서 조사되도록 구성될 수 있다. 이러한 제2 스플리터(230)는 측정 대상물(2)로부터 조사되는 제1 파장의 광을 제1 수광부(120)를 향해 소정 각도로 반사시킬 수 있다. 또한, 제2 스플리터(230)는 제2 조사 유닛(210)으로부터 조사되는 제2 파장의 광을 투과시킬 수 있다. 이러한 제2 스플리터(230)는 제2 파장의 광이 제2 조사 유닛(210)으로부터 측정 대상물(2)로 조사되는 경로에 놓일 수 있다. 제2 스플리터(230)는 필요에 따라 이동하여 위치가 조정될 수 있으며, 이러한 위치 조정은 제어부(400)에 의해 제어될 수 있다.The second splitter 230 irradiates the light of the second wavelength projected / reflected on the measurement object 2 from one side (the upper side in Fig. 1) and the second wavelength of light irradiated from the second irradiation unit 210 May be configured to be irradiated from the other side (the lower side in Fig. 1). The second splitter 230 can reflect light of the first wavelength emitted from the measurement object 2 toward the first light receiving unit 120 at a predetermined angle. Further, the second splitter 230 can transmit the light of the second wavelength emitted from the second irradiation unit 210. This second splitter 230 can be placed in a path where light of the second wavelength is irradiated from the second irradiation unit 210 to the measurement object 2. [ The second splitter 230 can be moved and adjusted in position as required, and such position adjustment can be controlled by the control unit 400.

제2 파장광 경통(240)은 제2 광원(211), 제2 필터(213), 제2 패널(214), 제2 아답터 렌즈(215) 및 제2 스플리터(230)를 투과하는 빛의 경로를 제공하기 위해 중공 형태의 관체로 형성될 수 있다. 제2 파장광 경통(240)은 내부에 제2 광원(211), 제2 필터(213), 제2 패널(214), 제2 아답터 렌즈(215) 및 제2 스플리터(230) 중 하나 이상을 수용할 수 있다. 제2 광원(211), 제2 필터(213), 제2 패널(214), 제2 아답터 렌즈(215) 및 제2 스플리터(230)는 제2 파장의 광이 조사되는 방향을 따라 순차적으로 배치될 수 있다. The second wavelength light optical tube 240 is connected to the light path passing through the second light source 211, the second filter 213, the second panel 214, the second adapter lens 215 and the second splitter 230, And the like. The second wavelength light optical tube 240 includes at least one of a second light source 211, a second filter 213, a second panel 214, a second adapter lens 215 and a second splitter 230 Can be accommodated. The second light source 211, the second filter 213, the second panel 214, the second adapter lens 215 and the second splitter 230 are sequentially arranged along the direction of the light of the second wavelength .

제2 수광부(220)는 측정 대상물(2)을 거쳐 후술할 제2 스플리터(230)로부터 반사된 제2 파장의 광을 수광할 수 있도록 구성된다. 이러한 제2 수광부(220)는 제2 스플리터(230)로부터 반사된 광을 내부에 투영하기 위한 제4 아답터 렌즈(221); 수광된 광 중 제2 파장의 광만을 통과시킬 수 있는 제2 필터(222); 및 제2 파장의 광으로부터 이미지를 얻을 수 있는 제2 카메라(223)를 포함할 수 있다. The second light-receiving unit 220 is configured to receive light of a second wavelength reflected from a second splitter 230, which will be described later, through the measurement object 2. The second light receiving portion 220 includes a fourth adapter lens 221 for projecting the light reflected from the second splitter 230 therein; A second filter (222) capable of passing only the light of the second wavelength among the received light; And a second camera 223 capable of obtaining an image from light of a second wavelength.

제4 아답터 렌즈(221)는 제2 파장의 광이 제2 카메라(223)에 투영될 수 있도록, 모터와 같은 렌즈 이동유닛(미도시)에 의해 적절한 위치로 이동될 수 있다. 이러한 제4 아답터 렌즈(221)는 상이 보다 선명하게 맺히는 것을 보조한다는 점에서 앞서 서술한 제2 아답터 렌즈(215)와 유사하다. 제2 필터(222)는 제2 파장의 광과 함께 유입될 수 있는 다른 성분의 광을 여과하여 제2 파장의 광만이 제2 카메라(223)에 조사되도록 보조할 수 있다. 제2 카메라(223)는 입사된 제2 파장의 광으로부터 이미지를 얻을 수 있도록 구성될 수 있다. 또한, 제2 카메라(223)는 제2 파장의 광을 감지할 수 있다면, 가시광선을 감지하는 일반 카메라, 적외선을 감지하는 IR 카메라 등 어느 것이라도 가능하다. 이러한 제2 카메라(223)는 입사된 이미지를 이미지 처리 모듈(500)에 전달할 수 있다.The fourth adapter lens 221 can be moved to a proper position by a lens movement unit (not shown) such as a motor so that light of a second wavelength can be projected to the second camera 223. [ The fourth adapter lens 221 is similar to the second adapter lens 215 described above in that the fourth adapter lens 221 helps the image to be more clearly formed. The second filter 222 may filter light of other components that may be introduced together with the light of the second wavelength so that only light of the second wavelength may be irradiated to the second camera 223. [ And the second camera 223 can be configured to obtain an image from the incident light of the second wavelength. Also, if the second camera 223 can sense light of the second wavelength, it may be any of a general camera for sensing visible light, an IR camera for detecting infrared rays, and the like. The second camera 223 may transmit the incident image to the image processing module 500.

이상에서 서술한 제1 광학계(100) 및 제2 광학계(200)는 제1 파장의 광의 경로(도 1의 점선 화살표)와 제2 파장의 광의 경로(도 1의 실선 화살표)와 측정 대상물(2)을 수직으로 지나는 가상의 면(normal plane)에 대하여 대칭되도록 구성될 수 있다. 또한, 이를 위해 제1 광학계(100)의 구성과 제2 광학계(200)의 구성요소는 측정 대상물이 놓이는 지점을 기준으로 서로 대칭적으로 배치될 수 있다. The first optical system 100 and the second optical system 200 described above are arranged so that the path of the light of the first wavelength (the dotted arrow in Fig. 1), the path of the light of the second wavelength May be configured to be symmetrical with respect to a normal plane passing vertically. For this, the configuration of the first optical system 100 and the components of the second optical system 200 may be arranged symmetrically with respect to a point at which the measurement object is placed.

대물 렌즈 유닛(300)은 제1 파장의 광이 가지는 패턴을 측정 대상물(2)의 일측에 투영하고, 제2 파장의 광이 가지는 패턴을 측정 대상물(2)의 타측에 투영하도록 구성될 수 있다. 제1 조사 유닛(110)으로부터 조사되는 제1 파장의 광은 대물 렌즈 유닛(300)의 일측을 투과하고, 제2 조사 유닛(210)으로부터 조사되는 제2 파장의 광은 대물 렌즈 유닛(300)의 타측을 투과할 수 있다. 또한, 측정 대상물(2)로부터 반사되는 제1 파장의 광은, 제1 조사 유닛(110)으로부터 조사되는 제1 파장의 광보다 타측에서 대물 렌즈 유닛(300)을 투과할 수 있다. 또한, 측정 대상물(2)로부터 반사되는 제2 파장의 광은, 제2 조사 유닛(210)으로부터 조사되는 제2 파장의 광보다 타측에서 대물 렌즈 유닛(300)의 일측을 투과할 수 있다. The objective lens unit 300 may be configured to project a pattern of light of the first wavelength to one side of the measurement object 2 and to project a pattern of light of the second wavelength to the other side of the measurement object 2 . The light of the first wavelength emitted from the first irradiation unit 110 passes through one side of the objective lens unit 300 and the light of the second wavelength emitted from the second irradiation unit 210 passes through the objective lens unit 300, It is possible to transmit the other side. The light of the first wavelength reflected from the measurement object 2 can pass through the objective lens unit 300 on the other side than the light of the first wavelength emitted from the first irradiation unit 110. [ The light of the second wavelength reflected from the measurement object 2 can pass through one side of the objective lens unit 300 on the other side than the light of the second wavelength emitted from the second irradiation unit 210.

이러한 대물 렌즈 유닛(300)은 제1 조사 유닛(110) 및 제2 조사 유닛(120)과 측정 대상물(2)이 놓이는 지점의 사이에 배치될 수 있다. 대물 렌즈 유닛(300)은 줌 렌즈(310), 및 이러한 줌 렌즈(310)보다 측정 대상물(2) 측에 가까이 위치하는 대물 렌즈(320)를 포함할 수 있다. 이들 렌즈 중 적어도 일부는 모터 등의 렌즈 이동유닛(미도시)에 의해 이동할 수 있다. 또한, 대물 렌즈 유닛(300)은 줌 렌즈를 포함할 수 있다. The objective lens unit 300 may be disposed between a position where the first irradiation unit 110 and the second irradiation unit 120 and the measurement object 2 are placed. The objective lens unit 300 may include a zoom lens 310 and an objective lens 320 positioned closer to the measurement object 2 than the zoom lens 310. [ At least a part of these lenses can be moved by a lens moving unit (not shown) such as a motor. Further, the objective lens unit 300 may include a zoom lens.

제어부(400)는 제1 조사 유닛(110) 및 제2 조사 유닛(210)의 발광 여부, 적어도 일부 렌즈의 이동 등을 제어할 수 있다. 또한, 제어부(400)는 측정신호가 입력되면 제1 조사 유닛(110)과 제2 조사 유닛(120)이 거의 동시에 제1 파장의 광과 제2 파장의 광을 거의 동시에 각각 발생시키도록, 제1 조사 유닛(110)과 제2 조사 유닛(120)을 작동을 제어할 수 있다. 이러한 제어부(400)는 후술할 이미지 처리 모듈(500)에서 수신되는 데이터에 기초하여 제어 대상을 제어할 수 있다. 이러한 제어부(400)는 마이크로프로세서를 포함하는 연산 장치에 의해 구현될 수 있으며, 그 구현 방식은 당업자에게 자명한 사항이므로 더 이상의 자세한 설명을 생략한다.The control unit 400 can control whether or not the first irradiation unit 110 and the second irradiation unit 210 emit light, at least the movement of the lens, and the like. When the measurement signal is input, the control unit 400 controls the first and second irradiation units 110 and 120 to generate light of the first wavelength and light of the second wavelength at substantially the same time, 1 irradiating unit 110 and the second irradiating unit 120 can be controlled. The control unit 400 can control the object to be controlled based on the data received by the image processing module 500, which will be described later. The control unit 400 may be implemented by an arithmetic unit including a microprocessor, and the implementation thereof is obvious to those skilled in the art, so that a detailed description thereof will be omitted.

이미지 처리 모듈(500)은 제1 카메라(123) 및 제2 카메라(223)으로부터 수신되는 이미지로부터 높이, 시도(visibility) 등의 필요한 정보를 얻을 수 있다. GPU, 메모리 등을 포함하는 연산 장치에 의해 구현될 수 있으며, 그 구현 방식은 당업자에게 자명한 사항이므로 더 이상의 자세한 설명을 생략한다.The image processing module 500 may obtain necessary information such as height, visibility, etc. from the images received from the first camera 123 and the second camera 223. [ A GPU, a memory, and the like, and the implementation method thereof is obvious to those skilled in the art, so that a detailed description thereof will be omitted.

제2 광학계(200)는 앞서 서술한 제1 광학계(100)와 측정 대상물(2)로 서로 다른 파장의 광을 발생시키고 측정하도록 구성될 수 있다. 이하에서는 본 실시예의 대표예 3가지를 설명하지만, 이는 어디까지나 예시적인 설명이므로 본 발명의 사상이 반드시 이에 한정되는 것은 아니라는 점을 미리 밝혀둔다.The second optical system 200 may be configured to generate and measure light of different wavelengths with the first optical system 100 and the measurement object 2 described above. Hereinafter, three representative examples of the present embodiment will be described, but it should be noted that the present invention is not necessarily limited to the above embodiments.

[제1 대표예][First Representative Example]

본 예시에 따르면, 제1 광원(111) 및 제2 광원(211)은 백색광(가시광선)을 발생시키도록 구성될 수 있다. 제1 조사 유닛(110)에 구비되는 제1 필터(113)가 푸른계열의 광만을 투과시키도록 구성되며(단파장 광을 투과), 제2 조사 유닛(210)에 구비되는 제2 필터(213)가 붉은계열의 광만을 투과시키도록 구성될 수 있다(장파장 광을 투과). 따라서, 제1 조사 유닛(110)으로부터 제1 스플리터(130)를 통과하여 측정 대상물(2)을 조사하는 빛은 단파장의 광이고, 제2 조사 유닛(210)으로부터 제2 스플리터(230)를 통과하여 측정 대상물(2)을 조사하는 빛은 장파장의 광일 수 있다. 이 경우, 제1 카메라(123) 및 제2 카메라(213)는 일반 카메라로 구성될 수 있다. According to this example, the first light source 111 and the second light source 211 may be configured to generate white light (visible light). The first filter 113 provided in the first irradiation unit 110 is configured to transmit only the blue light and transmits the short wavelength light and the second filter 213 provided in the second irradiation unit 210, May be configured to transmit only red light (transmission of long wavelength light). Therefore, light that passes from the first irradiation unit 110 through the first splitter 130 to irradiate the measurement object 2 is light having a short wavelength, and passes through the second splitter 230 from the second irradiation unit 210 And the light irradiating the measurement object 2 may be light having a long wavelength. In this case, the first camera 123 and the second camera 213 may be configured as general cameras.

제1 수광부(120)에서는 측정 대상물(2)에 반사된 단파장의 광을 수광하여 이로부터 이미지를 획득하고, 제2 수광부(220)에서는 측정 대상물(2)에 반사된 단파장의 광을 수광하여 이로부터 이미지를 획득할 수 있다. 이처럼, 서로 다른 파장의 광으로 측정 대상물(2)을 측정하므로, 제1 파장의 광에 의한 측정과 제2 파장의 광에 의한 측정이 거의 동시에 이루어질 수 있다. The first light receiving unit 120 receives light of a short wavelength reflected by the measurement object 2 and acquires an image therefrom. The second light receiving unit 220 receives light of a short wavelength reflected by the measurement object 2, To obtain an image. As described above, since the measurement object 2 is measured by light of different wavelengths, measurement by light of the first wavelength and measurement by light of the second wavelength can be performed almost simultaneously.

[제2 대표예][Second Representative Example]

본 예시에 따르면, 제1 광원(111)이 단파장의 광을 발생시키고 제2 광원(211)이 장파장의 빛을 발생시키도록 구성될 수 있다. 따라서, 제1 조사 유닛(110)으로부터 제1 스플리터(130)를 통과하여 측정 대상물(2)을 조사하는 빛은 단파장의 광이고, 제2 조사 유닛(210)으로부터 제2 스플리터(230)를 통과하여 측정 대상물(2)을 조사하는 빛은 장파장의 광일 수 있다. 이 경우, 각각의 광원 자체에서 서로 다른 파장의 광이 발생되므로, 제1 조사 유닛(110) 및 제2 조사 유닛(210)에서 필터가 생략될 수 있다. 또한, 제1 카메라(123) 및 제2 카메라(213)는 일반 카메라로 구성될 수 있다. According to this example, the first light source 111 may generate light of a short wavelength and the second light source 211 may generate light of a long wavelength. Therefore, light that passes from the first irradiation unit 110 through the first splitter 130 to irradiate the measurement object 2 is light having a short wavelength, and passes through the second splitter 230 from the second irradiation unit 210 And the light irradiating the measurement object 2 may be light having a long wavelength. In this case, since light of different wavelengths is generated in each light source itself, the filters in the first irradiation unit 110 and the second irradiation unit 210 can be omitted. In addition, the first camera 123 and the second camera 213 may be constituted by general cameras.

제1 수광부(120)에서는 측정 대상물(2)에 반사된 단파장의 광을 수광하여 이로부터 이미지를 획득하고, 제2 수광부(220)에서는 측정 대상물(2)에 반사된 단파장의 광을 수광하여 이로부터 이미지를 획득할 수 있다. 이처럼, 서로 다른 파장의 광으로 측정 대상물(2)을 측정하므로, 제1 파장의 광에 의한 측정과 제2 파장의 광에 의한 측정이 거의 동시에 이루어질 수 있다. The first light receiving unit 120 receives light of a short wavelength reflected by the measurement object 2 and acquires an image therefrom. The second light receiving unit 220 receives light of a short wavelength reflected by the measurement object 2, To obtain an image. As described above, since the measurement object 2 is measured by light of different wavelengths, measurement by light of the first wavelength and measurement by light of the second wavelength can be performed almost simultaneously.

[제3 대표예][Third Representative Example]

본 예시에 따르면, 제1 광원(111)은 백색광(가시광선)을 발생시키고, 제2 광원(211)은 적외선을 발생시키도록 구성될 수 있다. 또한, 제2 조사 유닛(210)에는 적외선만을 투과시키는 IR필터가 제2 필터(213)로서 구비될 수 있으나(적외선 투과), 제2 조사 유닛(210)에서 필터가 생략될 수 있다. 제1 조사 유닛(110)으로부터 제1 스플리터(130)를 통과하여 측정 대상물(2)을 조사하는 빛은 백색광이고, 제2 조사 유닛(210)으로부터 제2 스플리터(230)를 통과하여 측정 대상물(2)을 조사하는 광은 적외선일 수 있다. 이 경우, 제1 카메라(123)는 일반 카메라로 구성되고, 제2 카메라(213)는 적외선 감지가 가능한 IR 카메라로 구성될 수 있다. According to this example, the first light source 111 may generate white light (visible light), and the second light source 211 may generate infrared light. In addition, the second irradiation unit 210 may be provided with an IR filter that transmits only infrared rays as the second filter 213 (infrared ray transmission), but the filter in the second irradiation unit 210 may be omitted. The light that passes from the first irradiation unit 110 through the first splitter 130 and irradiates the measurement object 2 is white light and passes through the second splitter 230 from the second irradiation unit 210, 2) may be infrared light. In this case, the first camera 123 may be a general camera, and the second camera 213 may be an IR camera capable of detecting infrared rays.

제1 수광부(120)에서는 측정 대상물(2)에 반사된 백색광을 수광하여 이로부터 이미지를 획득하고, 제2 수광부(220)에서는 측정 대상물(2)에 반사된 적외선을 수광하여 이로부터 이미지를 획득할 수 있다. 이처럼, 서로 다른 파장의 광으로 측정 대상물(2)을 측정하므로, 제1 파장의 광에 의한 측정과 제2 파장의 광에 의한 측정이 거의 동시에 이루어질 수 있다. The first light receiving unit 120 receives the white light reflected by the measurement object 2 and acquires an image therefrom. The second light receiving unit 220 receives the infrared light reflected by the measurement object 2 and acquires an image therefrom. can do. As described above, since the measurement object 2 is measured by light of different wavelengths, measurement by light of the first wavelength and measurement by light of the second wavelength can be performed almost simultaneously.

한편, 이러한 구성 이외에도, 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 형상 측정장치(1)가 측정 대상물(2)의 실질적으로 동일한 지점을 다른 각도로 조사할 수 있다. 이하, 도 2를 참조하여 본 발명의 다른 실시예를 설명한다. 본 발명의 다른 실시예를 설명함에 있어서, 상술한 일 실시예와 비교하였을 때의 차이점을 위주로 설명하며, 동일한 설명 및 도면부호는 상술한 일 실시예를 원용한다. In addition to this configuration, according to another embodiment of the present invention, the shape measuring apparatus 1 can irradiate substantially the same point of the measurement object 2 at different angles. Hereinafter, another embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In describing another embodiment of the present invention, differences from the above-described embodiment will be mainly described, and the same description and reference numerals will be used to describe one embodiment described above.

도 2를 참조하면, 제1 조사 유닛(110)은 측정 대상물(2)의 어느 일 지점에 제1 파장의 광을 조사하고, 제2 조사 유닛(210)은 측정 대상물(2)의 상기 어느 일 지점에 제2 파장의 광을 조사한다. 제1 조사 유닛(110)과 제2 조사 유닛(210)이 광을 조사하는 지점은 실질적으로 동일하지만, 양자는 서로 다른 각도에서 측정 대상물(2)을 조사할 수 있다. 다시 말해, 측정 대상물(2)의 측정 지점을 접하는 평면(접평면, tangential plane(s))에 있어서, 제1 조사 유닛(110)은 이러한 접평면(s)의 일측으로부터 제1 각도(θ1)의 각도로 제1 파장의 광을 조사하고, 제2 조사 유닛(210)은 이러한 접평면(s)의 일측으로부터 제2 각도(θ2)의 각도로 제2 파장의 광을 조사할 수 있다. 제1 조사 유닛(110)과 제2 조사 유닛(210)은, 제1 각도(θ1)는 예각이고 제2 각도(θ2)는 둔각이 되도록 구성될 수 있다. 2, the first irradiation unit 110 irradiates light of a first wavelength to a certain point of the measurement object 2 and the second irradiation unit 210 irradiates light of a first wavelength to a certain point of the measurement object 2, The light of the second wavelength is irradiated to the point. The points at which the first irradiation unit 110 and the second irradiation unit 210 irradiate light are substantially the same, but they can irradiate the measurement object 2 at different angles. In other words, in a plane tangential plane (s) tangent to the measurement point of the measurement object 2, the first irradiation unit 110 detects the angle of the first angle? 1 from one side of the tangent plane s And the second irradiation unit 210 can irradiate light of the second wavelength at an angle of the second angle? 2 from one side of the tangent plane s. The first irradiation unit 110 and the second irradiation unit 210 can be configured such that the first angle? 1 is an acute angle and the second angle? 2 is an obtuse angle.

또한, 제1 조사 유닛(110)과 제2 조사 유닛(210)은, 제1 파장의 광의 경로와 제2 파장의 광의 경로가, 측정 대상물(2)의 광 조사 지점을 수직으로 지나는 가상의 면(법선면, normal plane)에 대하여 대칭되도록 설정될 수 있다. 예를 들어, 제1 각도(θ1)와 제2 각도(θ2)는, 측정 대상물(2)로 조사되는 제1 파장의 광 및 제2 파장의 광이 측정 대상물(2)의 법선면에 대하여 대칭되도록 설정될 수 있다.The first irradiating unit 110 and the second irradiating unit 210 are arranged such that the path of the light of the first wavelength and the path of the light of the second wavelength are perpendicular to the virtual irradiation surface of the measurement object 2, (The normal plane). For example, the first angle? 1 and the second angle? 2 are set such that light of the first wavelength and light of the second wavelength, which are radiated to the measurement object 2, are symmetric with respect to the normal surface of the measurement object 2 .

또한, 제1 파장의 광의 경로와 제2 파장의 광의 경로는 일부 중첩되도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 제1 스플리터(130)로부터 조사되어 측정 대상물(2)에서 반사된 후, 제2 스플리터(230)에 입사되기까지의 제1 파장의 광의 경로와, 제2 스플리터(230)로부터 조사되어 측정 대상물(2)에서 반사된 후 제1 스플리터(130)에 입사되기까지의 제2 파장의 광의 경로는 서로 중첩되게 구성될 수 있다.In addition, the path of the light of the first wavelength and the path of the light of the second wavelength may be partially overlapped. For example, the path of the light of the first wavelength irradiated from the first splitter 130, reflected by the measurement object 2, and then incident on the second splitter 230, and the path of the light of the first wavelength from the second splitter 230 The path of the light of the second wavelength, which is reflected by the measurement object 2 and then incident on the first splitter 130, may be superimposed on each other.

이하에서는 도 3을 참조하여, 상술한 실시예들에 따른 형상 측정장치(1)를 이용하여 측정 대상물(2)의 형상을 측정하는 방법에 대하여 설명한다. Hereinafter, a method of measuring the shape of the measurement object 2 using the shape measuring apparatus 1 according to the above-described embodiments will be described with reference to FIG.

도 3을 참조하면, 형상 측정장치(1)의 제어부(400)에 측정신호가 입력되면, 제어부(400)는 제1 조사 유닛(110)의 제1 광원(111)과 제2 조사 유닛(210)의 제2 광원(211)을 거의 동시에 작동시킨다. 제1 광원(111)의 광과 제2 광원(211)의 광은 발생될 때부터 각각 제1 파장 및 제2 파장을 가지도록 구성될 수 있으나, 본 발명의 사상이 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 제1 광원(111) 및 제2 광원(211)은 복수 개의 파장의 빛이 발생시키도록 구성될 수 있다. 이 경우 제1 광원(111)의 빛은 제1 필터(113)를 투과함으로써 제1 파장의 광만이 측정 대상물(2)을 향해 진행하고, 제2 광원(211)의 빛은 제2 필터(213)를 투과함으로써 제2 파장의 광만이 측정 대상물(2)을 향해 진행하게 구성될 수 있다. (제1 파장 및 제2 파장의 광의 발광 단계(S100))3, when a measurement signal is input to the control unit 400 of the shape measuring apparatus 1, the controller 400 controls the first light source 111 and the second irradiation unit 210 of the first irradiation unit 110, Of the second light source 211 are operated almost simultaneously. The light of the first light source 111 and the light of the second light source 211 may be configured to have a first wavelength and a second wavelength, respectively, from the time of generation, but the spirit of the present invention is not necessarily limited thereto. For example, the first light source 111 and the second light source 211 may be configured to generate light of a plurality of wavelengths. In this case, the light of the first light source 111 passes through the first filter 113 so that only the light of the first wavelength advances toward the measurement object 2 and the light of the second light source 211 passes through the second filter 213 So that only the light of the second wavelength advances toward the object 2 to be measured. (Light emission step (S100) of light of the first wavelength and the second wavelength)

제1 파장의 광은 제1 패널(114)에 의해 소정의 패턴을 가지고, 제2 파장의 광은 제2 패널(214)에 의해 소정의 패턴을 가질 수 있다. 이러한 소정의 패턴은 격자 패턴, 줄무늬 패턴, 정현파 패턴 등일 수 있다. 이를 위해 제1 패널(114)에는 이를 투과하는 제1 파장의 광이 소정의 패턴을 가지도록 제1 무늬(A1무늬)가 디스플레이되고, 제2 패널(214)에는 이를 투과하는 제2 파장의 광이 소정의 패턴을 가지도록 제1 무늬(B1 무늬)가 디스플레이될 수 있다. (패턴 형성 단계(S200))The light of the first wavelength may have a predetermined pattern by the first panel 114 and the light of the second wavelength may have a predetermined pattern by the second panel 214. Such a predetermined pattern may be a lattice pattern, a stripe pattern, a sinusoidal pattern, or the like. To this end, a first pattern (A1 pattern) is displayed on the first panel 114 so that light of a first wavelength transmitted through the first panel 114 has a predetermined pattern, and light of a second wavelength The first pattern (B1 pattern) can be displayed so as to have the predetermined pattern. (Pattern forming step S200)

소정의 패턴을 가지는 제1 파장의 광은 제1 아답터 렌즈(115) 및 제1 스플리터(130)를 투과하고, 소정의 패턴을 가지는 제2 파장의 광은 제2 아답터 렌즈(215) 및 제2 스플리터(230)를 투과할 수 있다 (스플리터 투과 단계(S300)). The light of the first wavelength having the predetermined pattern is transmitted through the first adapter lens 115 and the first splitter 130 and the light of the second wavelength having the predetermined pattern is transmitted through the second adapter lens 215 and the second The light can be transmitted through the splitter 230 (splitter transmitting step S300).

제1 스플리터(130) 및 제2 스플리터(230)를 투과한 제1 파장의 광 및 제2 파장의 광은 대물 렌즈 유닛(300)을 투과하여 측정 대상물(2)에 조사된다. 이때 제1 파장의 광은 대물 렌즈 유닛(300)의 일측을 투과하고, 제2 파장의 광은 대물 렌즈 유닛(300)의 타측을 투과할 수 있다. (입사광 대물 렌즈 유닛 투과 단게(S400))The light of the first wavelength and the light of the second wavelength transmitted through the first splitter 130 and the second splitter 230 are transmitted through the objective lens unit 300 and irradiated to the measurement object 2. At this time, the light of the first wavelength is transmitted through one side of the objective lens unit 300, and the light of the second wavelength is transmitted through the other side of the objective lens unit 300. (Incident light objective unit transmission step S400)

대물 렌즈 유닛(300)을 투과하여 측정 대상물(2)에 조사된 제1 파장의 광 및 제2 파장의 광은 측정 대상물(2)에서 반사되어 제2 광학계(200) 및 제1 광학계(100)로 각각 입사한다. 이때, 측정 대상물(2)에서 반사된 제1 파장의 광은 대물 렌즈 유닛(300)의 타측을 투과하여 제2 스플리터(230)측으로 진행하고, 측정 대상물(2)에서 반사된 제2 파장의 광은 대물 렌즈 유닛(300)의 일측을 투과하여 제1 스플리터 측(130)측으로 진행할 수 있다. (반사광 대물 렌즈 유닛 투과 단계(S500))The light of the first wavelength and the light of the second wavelength which are transmitted through the objective lens unit 300 and irradiated on the measurement object 2 are reflected by the measurement object 2 and are reflected by the second optical system 200 and the first optical system 100, Respectively. At this time, the light of the first wavelength reflected by the measurement object 2 passes through the other side of the objective lens unit 300 and proceeds to the side of the second splitter 230, and the light of the second wavelength reflected by the measurement object 2 May transmit through one side of the objective lens unit 300 and proceed toward the first splitter side 130. (Reflected light objective unit transmitting step S500)

제2 광학계(200)의 제2 조사 유닛(210)으로 입사된 제1 파장의 광은 제2 스플리터(230)에서 반사되어 제1 수광부(120)로 입사하게 되고, 제1 광학계(100)의 제1 조사 유닛(110)으로 입사된 제2 파장의 광은 제1 스플리터(130)에서 반사되어 제2 수광부(220)로 입사하게 된다. (스플리터 반사 단계(S600))The light of the first wavelength incident on the second irradiation unit 210 of the second optical system 200 is reflected by the second splitter 230 and enters the first light receiving unit 120, The light of the second wavelength incident on the first irradiation unit 110 is reflected by the first splitter 130 and is incident on the second light receiving unit 220. (Splitter reflecting step S600)

제1 수광부(120)에서, 제1 파장의 광은 제3 아답터 렌즈(121)를 투과하고 제1 필터(122)를 거쳐서 제1 카메라(123)에 입사한다. 또한, 제2 수광부(220)에서, 제2 파장의 광은 제4 아답터 렌즈(221)를 투과하고 제2 필터(222)를 거쳐서 제2 카메라(223)에 입사한다. 제3 아답터 렌즈(121) 및 제1 필터(122)를 통해 제1 파장 이외의 광이 제1 카메라(123)에 입사하는 것을 차단할 수 있고, 카메라(123)에 입사하는 제1 파장의 광을 더욱 선명하게 할 수 있다. 또한, 제4 아답터 렌즈(221) 및 제2 필터(222)도 제3 아답터 렌즈(121) 및 제1 필터(122)와 동일한 기능을 수행할 수 있다. (제1 파장 및 제2 파장의 광의 수광 단계(S700))In the first light receiving section 120, the light of the first wavelength passes through the third adapter lens 121 and is incident on the first camera 123 via the first filter 122. In the second light receiving section 220, the light of the second wavelength passes through the fourth adapter lens 221 and enters the second camera 223 through the second filter 222. It is possible to prevent the light other than the first wavelength from being incident on the first camera 123 through the third adapter lens 121 and the first filter 122 and to transmit the light of the first wavelength incident on the camera 123 Can be made clearer. Also, the fourth adapter lens 221 and the second filter 222 may perform the same functions as the third adapter lens 121 and the first filter 122. (Light receiving step (S700) of light of the first wavelength and the second wavelength)

제1 카메라(123) 및 제2 카메라(223)는 제1 파장의 광 및 제2 파장의 광으로부터 이미지를 획득할 수 있으며, 획득한 이미지를 이미지 처리 모듈(500)로 전달할 수 있다. 이미지 처리 모듈(500)은 이를 저장할 수 있다(이미지 저장 단계(S800)). The first camera 123 and the second camera 223 can acquire an image from the light of the first wavelength and the light of the second wavelength, and can transfer the acquired image to the image processing module 500. The image processing module 500 may store it (image storage step S800).

제어부(400)에서는 제1 카메라(123) 및 제2 카메라(223)는 획득한 이미지를 전달하는 것을 감지하고, 이 때에 제1 파장의 광이 가지는 패턴 및 제2 파장의 광이 가지는 패턴이 변경되도록 제1 패널(114) 및 제2 패널(214)을 제어한다. 제어부(400)에 의해 제1 패널(114)에 제2 무늬(A2 무늬)가 디스플레이될 수 있고, 제2 패널(214)에 제2 무늬(B2 무늬)가 디스플레이될 수 있다. 제1 패널의 제2 무늬(A2 무늬)는 제1 패널의 제1 무늬(A1 무늬)가 일측으로 소정 거리 쉬프트된 것일 수 있고, 제1 패널의 제1 무늬(A1 무늬)와 상이한 패턴을 가질 수 있다. 또한 이와 마찬가지로, 제2 패널의 제2 무늬(B2 무늬)는 제2 패널의 제1 무늬(B1 무늬)가 일측으로 소정 거리 쉬프트된 것일 수 있고, 제2 패널의 제1 무늬(B1 무늬)와 상이한 패턴을 가질 수 있다. 예를 들어, 제1 패널의 제1 무늬(A1 무늬)와 제2 패널의 제1 무늬(B1 무늬)가 각각 1cm, 2cm의 간격을 가지는 격자 무늬라면, 제1 패널의 제2 무늬(A2 무늬)와 제2 패널의 제2 무늬(B2 무늬)는 1.5cm 및 2.5cm의 간격을 가지는 격자 무늬일 수 있다. In the control unit 400, the first camera 123 and the second camera 223 sense transmission of the acquired image. At this time, the pattern of the light of the first wavelength and the pattern of the light of the second wavelength are changed So as to control the first panel 114 and the second panel 214 in order to control the display device. The second pattern (A2 pattern) can be displayed on the first panel 114 by the control unit 400 and the second pattern (B2 pattern) can be displayed on the second panel 214. [ The second pattern (A2 pattern) of the first panel may be a pattern in which the first pattern (A1 pattern) of the first panel is shifted by a predetermined distance on one side and has a pattern different from the first pattern (A1 pattern) of the first panel . Similarly, the second pattern (B2 pattern) of the second panel may be a pattern in which the first pattern (B1 pattern) of the second panel is shifted by a predetermined distance on one side, and the first pattern (B1 pattern) of the second panel It can have a different pattern. For example, if the first pattern (A1 pattern) of the first panel and the first pattern (B1 pattern) of the second panel are lattice patterns having intervals of 1 cm and 2 cm, respectively, the second pattern (A2 pattern And the second pattern (B2 pattern) of the second panel may be a grid pattern having intervals of 1.5 cm and 2.5 cm.

이후, 제1 패널(114)의 제2 무늬(A2 무늬) 및 제2 패널(214)의 제2 무늬(B2 무늬)에 대하여 S100 내지 S700의 과정을 수행한다. 또한, 이와 같은 제1 패널(114) 및 제2 패널(214)의 무늬의 변화는 복수 회 반복 시행될 수 있다. 이에 따라, 제어부(400)는 이미지 처리 모듈(500)에 n개의 이미지가 수집되었는지 판단하고, 그렇지 않을 경우에는 제1 패널(114) 및 제2 패널(214)의 무늬가 변화시키고, 이때마다 S100 내지 S700의 과정이 수행되도록 제1 광학계(100) 및 제2 광학계(200)를 제어한다. 결과적으로, 제1 파장의 광 및 제2 파장의 광은 제1 패널(114) 및 제2 패널(214)에 의해 각각 n개의 패턴을 가질 수 있으며, 각 패턴에 대하여 S100 내지 S700의 과정이 n번 수행될 수 있다. 이를 통해 이미지 처리 모듈(500)에는 제1 파장의 광을 통한 n개의 이미지와 제2 파장의 광을 통한 n개의 이미지가 수집될 수 있다. 따라서, 이미지 처리 모듈(500)에서는 총 2n개의 이미지가 수집될 수 있다. 한편, 이러한 n은 40 내지 60의 범위에서 선택될 수 있으나, 본 발명의 사상이 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. (패턴 변경단계(S900)) Then, steps S100 to S700 are performed for the second pattern (A2 pattern) of the first panel 114 and the second pattern (B2 pattern) of the second panel 214. The change of the patterns of the first panel 114 and the second panel 214 may be repeated a plurality of times. Accordingly, the control unit 400 determines whether n images have been collected in the image processing module 500. Otherwise, the control unit 400 changes the patterns of the first panel 114 and the second panel 214, The first optical system 100 and the second optical system 200 are controlled so that the processes of Steps S700 to S700 are performed. As a result, the light of the first wavelength and the light of the second wavelength may have n patterns respectively by the first panel 114 and the second panel 214, and the process of S100 to S700 for each pattern is n Times. Whereby the image processing module 500 can collect n images through the light of the first wavelength and n images through the light of the second wavelength. Thus, in the image processing module 500, a total of 2n images can be collected. On the other hand, n may be selected in the range of 40 to 60, but the spirit of the present invention is not necessarily limited thereto. (Pattern changing step S900)

상기 과정이 n회 수행되어 이미지 처리 모듈(500)에 2n개의 이미지가 수집되면, 제어부(400)는 S100 내지 S700의 과정의 수행을 중단한다. 또한, 이미지 처리 모듈(500)에서는 2n개의 이미지를 분석하여 측정 대상물(2)의 높이, 모양 등의 형상을 측정할 수 있다. (이미지 분석 단계(S1000))When the process is performed n times and 2n images are collected in the image processing module 500, the controller 400 stops performing the processes of S100 to S700. In addition, the image processing module 500 can analyze the 2n images and measure the shape of the height, shape, etc. of the measurement object 2. (Image analysis step S1000)

이상 본 발명의 실시예에 따른 형상 측정장치의 구체적인 실시 형태를 설명하였으나, 이는 예시에 불과한 것으로서, 본 발명은 이에 한정되지 않는 것이며, 본 명세서에 개시된 기초 사상에 따르는 최광의 범위를 갖는 것으로 해석되어야 한다. 당업자는 개시된 실시형태들을 조합/치환하여 적시되지 않은 형상의 패턴을 실시할 수 있으나, 이 역시 본 발명의 범위를 벗어나지 않는 것이다. 이외에도 당업자는 본 명세서에 기초하여 개시된 실시형태를 용이하게 변경 또는 변형할 수 있으며, 이러한 변경 또는 변형도 본 발명의 권리범위에 속함은 명백하다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the appended claims. do. Skilled artisans may implement a pattern of features that are not described in a combinatorial and / or permutational manner with the disclosed embodiments, but this is not to depart from the scope of the present invention. It will be apparent to those skilled in the art that various changes and modifications may be readily made without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.

1: 형상 측정장치 2: 측정 대상물
100: 제1 광학계 110: 제1 조사 유닛
111: 제1 광원 113: 제2 필터
114: 제1 패널 115: 제1 조사 렌즈
120: 제1 수광부 121: 제3 아답터 렌즈
122: 제1 필터 123: 제1 카메라
130: 제1 스플리터 140: 제1 파장광 경통
200: 제2 광학계 210: 제2 조사 유닛
211: 제2 광원 213: 제2 필터
214: 제2 패널 215: 제2 조사 렌즈
220: 제2 수광부 221: 제4 아답터 렌즈
222: 제2 필터 223: 제2 카메라
230: 제2 스플리터 240: 제2 파장광 경통
300: 대물 렌즈 유닛
400: 제어부
500: 이미지 처리 모듈1: Shape measuring device 2: Measured object
100: first optical system 110: first irradiation unit
111: first light source 113: second filter
114: first panel 115: first irradiation lens
120: first light receiving section 121: third adapter lens
122: first filter 123: first camera
130: first splitter 140: first wavelength light barrel
200: second optical system 210: second irradiation unit
211: second light source 213: second filter
214: second panel 215: second irradiation lens
220: second light receiving section 221: fourth adapter lens
222: second filter 223: second camera
230: second splitter 240: second wavelength light barrel
300: Objective lens unit
400:
500: image processing module

Claims (6)

제1 파장의 광을 측정 대상물에 조사하는 제1 조사 유닛;
파장 및 위상 중 하나 이상이 상기 제1 파장의 광과 상이한 제2 파장의 광을 상기 측정 대상물에 조사하는 제2 조사 유닛;
상기 측정 대상물로부터 반사된 상기 제1 파장의 광이 입사되는 제1 수광부; 및
상기 측정 대상물로부터 반사된 상기 제2 파장의 광이 입사되는 제2 수광부를 포함하는 형상 측정장치.A first irradiation unit for irradiating the measurement object with light of a first wavelength;
A second irradiation unit for irradiating the measurement object with light of a second wavelength at which at least one of a wavelength and a phase is different from the light of the first wavelength;
A first light receiving unit for receiving light of the first wavelength reflected from the measurement object; And
And a second light receiving portion through which light of the second wavelength reflected from the measurement object is incident. 제 1 항에 있어서,
상기 제1 조사 유닛으로부터 조사되는 제1 파장의 광을 통과시키고, 상기 측정 대상물에서 반사된 제2 파장의 광을 반사시키는 제1 스플리터; 및
상기 제2 조사 유닛으로부터 조사되는 제2 파장의 광을 통과시키고, 상기 측정 대상물에서 반사된 제1 파장의 광을 반사시키는 제2 스플리터를 더 포함하는 형상 측정장치.The method according to claim 1,
A first splitter for passing light of a first wavelength emitted from the first irradiation unit and reflecting light of a second wavelength reflected by the measurement object; And
And a second splitter for passing the light of the second wavelength emitted from the second irradiation unit and reflecting the light of the first wavelength reflected from the measurement object. 제 2 항에 있어서,
상기 제1 조사 유닛으로부터 조사되는 제1 파장의 광, 상기 측정 대상물에서 반사된 제2 파장의 광, 상기 제2 조사 유닛으로부터 조사되는 제2 파장의 광 및 상기 측정 대상물에서 반사된 제1 파장의 광이 통과하는 대물 렌즈를 더 포함하는 형상 측정장치.3. The method of claim 2,
The light of the first wavelength to be irradiated from the first irradiation unit, the light of the second wavelength reflected from the measurement object, the light of the second wavelength to be irradiated from the second irradiation unit, and the light of the first wavelength And an objective lens through which light passes. 제 1 항에 있어서,
상기 제1 조사 유닛은 상기 측정 대상물의 일측으로 제1 파장의 광을 조사하고, 상기 제2 조사 유닛은 상기 측정 대상물의 타측으로 제2 파장의 광을 조사하도록 구성되는 형상 측정장치.The method according to claim 1,
Wherein the first irradiation unit irradiates light of a first wavelength to one side of the measurement object and the second irradiation unit irradiates light of a second wavelength to the other side of the measurement object. 제 3 항에 있어서,
측정신호가 입력되면, 상기 제1 조사 유닛 및 상기 제2 조사 유닛을 동시에 작동시키는 제어부를 더 포함하는 형상 측정장치.The method of claim 3,
Further comprising a control unit for simultaneously activating said first irradiation unit and said second irradiation unit when a measurement signal is input. 제 1 항에 있어서,
상기 제1 조사 유닛은 상기 측정 대상물의 일 지점에 상기 제1 파장의 광을 제1 각도로 조사하고,
상기 제2 조사 유닛은 상기 측정 대상물의 상기 일 지점에 상기 제2 파장의 광을 상기 제1 각도보다 큰 제2 각도로 조사하는 형상 측정장치.The method according to claim 1,
Wherein the first irradiation unit irradiates light of the first wavelength at a first angle to one point of the measurement object,
And the second irradiation unit irradiates the light of the second wavelength to the one point of the measurement object at a second angle larger than the first angle.
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