KR20190032988A - 요철을 가지는 압력 센서 및 이의 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

요철을 가지는 압력 센서 및 이의 제조 방법이 개시된다. 개시된 압력 센서는 수직 방향의 압력을 센싱하는 압력 센서로서, 제1 압력 센서부; 및 제2 압력 센서부;를 포함하되, 상기 제1 압력 센서부 및 상기 제2 압력 센서부는 적층되고, 상기 제1 압력 센서부의 상면 및 상기 제2 압력 센서부의 하면에는 요철이 형성된다.

Description

요철을 가지는 압력 센서 및 이의 제조 방법{Pressure sensor for sensing vertical pressure and Method for manufacturing the same}
본 발명의 실시예들은 요철이 형성된 압력 센서부를 다층으로 적층하여 다양한 감지 성능을 구현하는 압력 센서 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.
압력 센서는 수직 방향의 압력의 센싱하는 장치로서, 압력을 감지하는 원리에 따라 다양한 종류가 존재하며, 일례로, 압저항형 압력 센서, 압전형 압력 센서, 정전용량형 압력 센서, 텍스타일 압력 센서 등이 있다. 특히, 고무를 이용한 압력 센서(이하, "고무 압력 센서"라고 호칭함)는 고무에 포함된 전도성 입자가 움직여서 전기 신호의 변화가 발생하고 이를 모니터링함으로써 압력이 센싱된다.
한편, 고무 압력 센서는 압력 탄성 계수(모듈러스) 또는 고무에 포함되는 전도성 입자의 양에 따라서 압력 민감도가 조절된다. 즉, 압력 탄성 계수가 작거나 전도성 입자의 양이 많을수록 압력 민감도가 높아지고, 압력 탄성 계수가 크거나 전도성 입자의 양이 적을수록 압력 민감도가 낮아진다. 이는 도 1에 도시된 바와 같다.
이 때, 낮은 압력 탄성 계수를 갖거나 전도성 입자의 양이 많은 고무 압력 센서(도 1의 (a))는 압력 민감도가 높은 센서로서, 최소 감지 압력 및 최대 감지 압력이 낮다. 다시 말해, 높은 압력 민감도를 가지는 고무 압력 센서는 낮은 압력에는 반응할 수 있지만 높은 압력에는 반응할 수 없는 특징이 있다.
그리고, 높은 압력 탄성 계수를 갖거나 전도성 입자의 양이 적은 고무 압력 센서(도 1의 (b))는 민감도가 낮은 센서로서, 최소 감지 압력 및 최대 감지 압력이 높다. 다시 말해, 낮은 압력 민감도를 가지는 고무 압력 센서는 높은 압력에는 반응할 수 있지만 낮은 압력에는 반응할 수 없는 특징이 있다.
즉, 상기에서 설명한 종래의 단층의 고무 압력 센서는 최소 감지 압력 및 최대 감지 압력이 모두 낮거나(도 1의 (a)), 또는 최소 감지 압력 및 최대 감지 압력이 모두 높기 때문에(도 1의 (b)), 감지 압력의 범위가 한정되어 있는 문제점이 있다.
상기한 바와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위해, 본 발명에서는 요철이 형성된 압력 센서부를 다층으로 적층하여 다양한 감지 성능을 구현하는 압력 센서 및 이의 제조 방법을 제안하고자 한다.
본 발명의 다른 목적들은 하기의 실시예를 통해 당업자에 의해 도출될 수 있을 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따르면, 수직 방향의 압력을 센싱하는 압력 센서에 있어서, 제1 압력 센서부; 및 제2 압력 센서부;를 포함하되, 상기 제1 압력 센서부 및 상기 제2 압력 센서부는 적층되고, 상기 제1 압력 센서부의 상면 및 상기 제2 압력 센서부의 하면에는 요철이 형성되는 것을 특징으로 하는 압력 센서가 제공된다.
상기 제1 압력 센서부 및 상기 제2 압력 센서부의 압력 탄성 계수 및 단위 면적당 전도성 입자의 양 중에서 적어도 하나는 서로 다를 수 있다.
상기 제1 압력 센서부의 상면에 형성된 요철은 적어도 하나의 제1 볼록 영역 및 적어도 하나의 제1 오목 영역을 포함하고, 상기 제2 압력 센서부의 하면에 형성된 요철은 적어도 하나의 제2 볼록 영역 및 적어도 하나의 제2 오목 영역을 포함할 수 있다.
상기 적어도 하나의 제1 볼록 영역 각각은 대응되는 상기 적어도 하나의 제2 오목 영역에 삽입되고, 상기 적어도 하나의 제2 볼록 영역 각각은 대응되는 상기 적어도 하나의 제1 오목 영역에 삽입될 수 있다.
상기 적어도 하나의 제1 볼록 영역 및 상기 적어도 하나의 제2 볼록 영역 각각의 사이즈는 서로 다를 수 있다.
상기 제2 압력 센서부의 압력 탄성 계수는 상기 제1 압력 센서부의 압력 탄성 계수보다 작고, 상기 제2 압력 센서부의 상기 단위 면적당 전도성 입자의 양은 상기 제1 압력 센서부의 상기 단위 면적당 전도성 입자의 양보다 클 수 있다.
상기 제1 압력 센서부 및 상기 제2 압력 센서부 각각은 전도성 고무 재질일 수 있다.
또한, 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 수직 방향의 압력을 센싱하는 압력 센서에 있어서, N(3 이상의 정수)개 이상의 층으로 적층된 N개의 압력 센서부;를 포함하되, 상기 N개의 압력 센서부 중에서, 최하층의 압력 센서부의 상면, 최상층의 압력 센서부의 하면 및 상기 최하층의 압력 센서부와 상기 최상층의 압력 센서부를 제외한 나머지 압력 센서부의 상면 및 하면에는 요철이 형성되는 것을 특징으로 하는 압력 센서가 제공된다.
또한, 본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 수직 방향의 압력을 센싱하는 압력 센서의 제조 방법에 있어서, 다수 개의 압력 센서부의 상면 및 하면 중 적어도 하나의 면에 요철을 형성하는 단계; 및 상기 요철이 형성된 다수 개의 압력 센서부를 적층하는 단계;를 포함하되, 상기 요철은 볼록 영역 및 오목 영역을 포함하고, 상기 다수 개의 압력 센서부 중 압력 센서부 A 및 압력 센서부 B가 인접하되, 상기 압력 센서부 A의 볼록 영역은 대응되는 상기 압력 센서부 B의 오목 영역으로 삽입되고, 상기 압력 센서부 B의 볼록 영역은 대응되는 상기 압력 센서부 A의 오목 영역으로 삽입되는 것을 특징으로 하는 압력 센서의 제조 방법이 제공된다.
본 발명에 따른 압력 센서는 다양한 감지 성능을 구현할 수 있는 장점이 있다.
또한, 본 발명의 효과는 상기한 효과로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 상세한 설명 또는 특허청구범위에 기재된 발명의 구성으로부터 추론 가능한 모든 효과를 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
도 1은 종래의 고무 압력 센서의 개념을 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 압력 센서의 개략적인 구성을 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 압력 센서의 동작 개념을 설명하기 위한 도면이다.
도 4 및 도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 압력 센서의 개략적인 구성을 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 압력 센서의 제조 방법의 흐름도를 도시한 도면이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다.
"제1", "제2" 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다. "및/또는" 이라는 용어는 복수의 관련된 기재된 항목들의 조합 또는 복수의 관련된 기재된 항목들 중의 어느 항목을 포함한다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하에서, 본 발명에 따른 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 압력 센서의 개략적인 구성을 도시한 도면이다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 압력 센서(200)는 수직 방향의 압력을 센싱하는 센서로서, 웨어러블 디바이스 제품(신발, 의류, 침구류 등), 바이오 센서 등에 이용될 수 있으며, 제1 압력 센서부(210) 및 제2 압력 센서부(220)를 포함한다.
제1 압력 센서부(210)는 단층의 압력 센서로서, 압력 센서(200)의 제1 층에 배치된다. 그리고, 제2 압력 센서부(220) 역시 단층의 압력 센서로서, 압력 센서(200)의 제2 층에 배치된다. 즉, 본 발명의 일 실시예에 따른 압력 센서(200)는 서로 다른 2개의 압력 센서부(210, 220)가 적층되어 있는 구조를 가진다.
이 때, 제1 압력 센서부(210) 및 제2 압력 센서부(220)는 전도성 입자를 포함하는 고무의 재질일 수 있다. 한편, 압력 센서부들(210, 220)의 재질은 이에 한정되지 않으며, 다양한 재질의 압력 센서부들(210, 220)이 사용될 수 있다. 이하, 설명의 편의를 위해, 제1 압력 센서부(210) 및 제2 압력 센서부(220)가 고무의 재질인 것으로 가정하여 설명한다.
한편, 제1 압력 센서부(210) 및 제2 압력 센서부(220)는 특정 크기의 압력 탄성 계수(모듈러스)을 가진다. 압력 탄성 계수가 낮고 드레이프성이 높은 경우 압력 민감도가 커지고, 압력 탄성 계수가 높고 드레이프성이 낮은 경우 압력 민감도가 낮아진다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 제1 압력 센서부(210)의 압력 탄성 계수와 제2 압력 센서부(220)의 압력 탄성 계수는 서로 다를 수 있다. 이를 통해 압력 센서(200)의 감지 압력의 범위를 넓힐 수 있는 장점이 있다.
보다 상세하게, 제1 압력 센서부(210)는 제1 크기의 압력 탄성 계수를 가지는 단층의 압력 센서이고, 제2 압력 센서부(220)는 제1 크기보다 작은 제2 크기의 압력 탄성 계수를 가지는 단층의 압력 센서일 수 있다. 즉, 제1 압력 센서부(210)의 압력 탄성 계수는 제2 압력 센서부(220)의 압력 탄성 계수보다 클 수 있다.
다시 말해, 도 3을 참조하면, 낮은 압력 탄성 계수를 갖는 압력 센서를 상부에, 높은 압력 탄성 계수를 갖는 압력 센서를 하부에 적층하여 다층의 압력 센서(200)를 구성하는 경우에 있어(도 3의 (a)), 최소의 압력이 압력 센서(200)에 인가되면 낮은 압력 탄성 계수의 압력 센서(즉, 제2 압력 센서부(220))가 압력 변화를 감지하여 최소 압력에도 센서가 반응하며(도 3의 (b)), 최대의 압력이 압력 센서(200)에 인가되면 낮은 압력 탄성 계수의 압력 센서(즉, 제2 압력 센서부(220))와 높은 압력 탄성 계수의 압력 센서(즉, 제1 압력 센서부(210)) 모두가 압력 변화를 감지한다(도 3의 (c)). 따라서, 압력 센서(200)는 최소 압력 및 최대 압력을 모두 감지할 수 있게 되며(멀티 센서), 단층의 압력 센서보다 감지 압력의 범위가 넓은 장점이 있다.
즉, 서로 다른 압력 민감도를 가지는 단층의 압력 센서를 적층하여 하나의 압력 센서로 제작하면 최소의 압력에도 저항이 변화하면서 최대의 압력에도 저항이 변화하는 고효율의 센서를 제작할 수 있다. 또한, 단층의 압력 센서를 사용자가 필요한 성능 범위에 따라 적층하여 커스터마이징된 압력 센서를 제작할 수 있다.
또한, 본 발명이 일 실시예에 따르면, 제1 압력 센서부(210)의 상면 및 제2 압력 센서부(220)의 하면에는 요철이 형성될 수 있다. 이는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같다.
보다 상세하게, 제1 압력 센서부(210)의 상면에 형성된 요철은 적어도 하나의 제1 볼록 영역(211) 및 적어도 하나의 제1 오목 영역(212)을 포함하고, 제2 압력 센서부(220)의 하면에 형성된 요철은 적어도 하나의 제2 볼록 영역(221) 및 적어도 하나의 제2 오목 영역(222)을 포함한다. 이 때, 적어도 하나의 제1 볼록 영역(211) 각각은 대응되는 적어도 하나의 제2 오목 영역(222)에 삽입되고, 적어도 하나의 제2 볼록 영역(221) 각각은 대응되는 적어도 하나의 제1 오목 영역(212)에 삽입될 수 있다.
한편, 적어도 하나의 제1 볼록 영역(211) 각각의 사이즈(즉, 길이, 폭, 높이) 및 이와 대응되는 적어도 하나의 제2 오목 영역(222) 각각의 사이즈는 동일할 수도 있지만 서로 다를 수도 있다. 마찬가지로, 적어도 하나의 제2 볼록 영역(221) 각각의 사이즈 및 이와 대응되는 적어도 하나의 제1 오목 영역(212)이 사이즈는 동일할 수도 있지만 서로 다를 수도 있다. 이는 도 4에 도시된 바와 같다.
상기와 같이 접하는 면에 동일 또는 상이한 요철이 형성된 압력 센서부(210, 220)를 적층함으로써, 본 발명의 일 실시예에 따른 압력 센서(200)는 센서의 성능을 조절할 수 있는 장점이 있다.
즉, 압력 센서(200)에 압력을 인가할 때, 제1 압력 센서부(210)에 형성된 요철과 제2 압력 센서부(220)에 형성된 요철의 크기가 일정한 경우, 요철이 존재하지 않는 2개의 압력 센서부가 적층된 압력 센서와 동일한 성능을 가질 수도 있다. 그러나, 제1 압력 센서부(210) 및 제2 압력 센서부(220)에 형성된 요철이 서로 다른 형상을 가지는 경우, 요철이 존재하지 않는 2개의 압력 센서부가 적층된 압력 센서와 다른 범위의 압력을 측정할 수 있다. 일례로, 제1 압력 센서부(210)에 형성된 요철이 길거나 얇으면 일정한 사이즈를 가지는 요철보다 변형이 잘 일어나게 되고, 요철이 넓고 굵게 되어 있으면 변형이 잘 일어나지 않으므로, 요철의 형상에 따라 다른 압력 범위를 측정할 수 있다. 따라서, 요철의 형상을 조절하여 원하는 성능의 압력 센서(200)를 수요자가 필요한 성능 범위에 따라 제작할 수 있게 된다(커스터마이징된 압력 센서).
또한, 상기에서 설명한 내용은 3 이상의 단층의 압력 센서를 적층하는 압력 센서의 경우에도 적용될 수 있다.
도 5에서는 N개(N는 3 이상이 정수임)의 층으로 적층된 N개의 압력 센서부를 포함하는 압력 센서를 도시하고 있다.
도 5를 참조하면, N개의 압력 센서부 각각의 압력 탄성 계수는 서로 다를 수 있다. 이 경우, N개의 압력 센서부는 압력 탄성 계수의 크기를 기준으로 하여 적층 순서가 결정될 수 있다. 일례로, 도 5에서는 다수 개의 압력 센서부의 압력 탄성 계수가 큰 순서부터 다수 개의 압력 센서부를 적층하는 일례를 도시하고 있다. 즉, N개의 압력 센서부 중 최고층의 압력 센서부는 가장 높은 압력 탄성 계수를 가지고, 다수 개의 압력 센서부 중 최저층의 압력 센서부는 가장 낮은 압력 탄성 계수를 가지며, 최고층의 압력 센서부를 기준으로 하여, 압력 탄성 계수의 내림 차순으로 다수 개의 압력 센서부가 적층될 수 있다.
또한, N개의 압력 센서부 중에서 최하층의 압력 센서부의 상면, 최상층의 압력 센서부의 하면 및 최하층의 압력 센서부와 최상층의 압력 센서부를 제외한 나머지 압력 센서부의 상면 및 하면에는 요철이 형성될 수 있다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 압력 센서의 제조 방법의 흐름도를 도시한 도면이다. 이하, 각 단계 별로 수행되는 과정을 설명하기로 한다.
먼저, 단계(610)에서는, 다수 개의 압력 센서부의 상면 및 하면 중 적어도 하나의 면에 요철을 형성한다.
일례로, 압력 센서부가 2개인 경우, 아래쪽의 압력 센서부의 상면 및 윗쪽의 압력 센서부의 하면에 요철이 형성될 수 있다. 이 때, 요철의 사이즈는 서로 다를 수 있다.
다른 일례로, 압력 센서부가 3개인 경우, 아래쪽의 압력 센서부의 상면, 윗쪽의 압력 센서부의 하면 및 중간의 압력 센서부의 상면 및 하면 모두에 요철이 형성될 수 있다. 이 때, 요철 각각의 사이즈는 서로 다를 수 있다.
다음으로, 단계(620)에서는, 요철이 형성된 다수 개의 압력 센서부를 적층한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 다수 개의 압력 센서부 각각에 형성된 요철은 볼록 영역 및 오목 영역을 포함할 수 있다. 그리고, 다수 개의 압력 센서부 중 압력 센서부 A 및 압력 센서부 B가 인접하되, 압력 센서부 A의 볼록 영역은 대응되는 압력 센서부 B의 오목 영역으로 삽입되고, 압력 센서부 B의 볼록 영역은 대응되는 압력 센서부 A의 오목 영역으로 삽입될 수 있다.
지금까지 본 발명에 따른 압력 센서의 제조 방법의 실시예들에 대하여 설명하였고, 앞서 도 2 내지 도 5에서 설명한 압력 센서(200)에 관한 구성이 본 실시예에도 그대로 적용 가능하다. 이에, 보다 상세한 설명은 생략하기로 한다.
이상과 같이 본 발명에서는 구체적인 구성 요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예 및 도면에 의해 설명되었으나 이는 본 발명의 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상적인 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 따라서, 본 발명의 사상은 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등하거나 등가적 변형이 있는 모든 것들은 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.

Claims (10)

  1. 수직 방향의 압력을 센싱하는 압력 센서에 있어서,
    제1 압력 센서부; 및
    제2 압력 센서부;를 포함하되,
    상기 제1 압력 센서부 및 상기 제2 압력 센서부는 적층되고, 상기 제1 압력 센서부의 상면 및 상기 제2 압력 센서부의 하면에는 요철이 형성되는 것을 특징으로 하는 압력 센서.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 압력 센서부 및 상기 제2 압력 센서부의 압력 탄성 계수 및 단위 면적당 전도성 입자의 양 중에서 적어도 하나는 서로 다른 것을 특징을 하는 압력 센서.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1 압력 센서부의 상면에 형성된 요철은 적어도 하나의 제1 볼록 영역 및 적어도 하나의 제1 오목 영역을 포함하고, 상기 제2 압력 센서부의 하면에 형성된 요철은 적어도 하나의 제2 볼록 영역 및 적어도 하나의 제2 오목 영역을 포함하는 것을 특징으로 하는 압력 센서.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 제1 볼록 영역 각각은 대응되는 상기 적어도 하나의 제2 오목 영역에 삽입되고, 상기 적어도 하나의 제2 볼록 영역 각각은 대응되는 상기 적어도 하나의 제1 오목 영역에 삽입되는 것을 특징으로 하는 압력 센서.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 제1 볼록 영역 및 상기 적어도 하나의 제2 볼록 영역 각각의 사이즈는 서로 다른 것을 특징으로 하는 압력 센서.
  6. 제2항에 있어서,
    상기 제2 압력 센서부의 압력 탄성 계수는 상기 제1 압력 센서부의 압력 탄성 계수보다 작고, 상기 제2 압력 센서부의 상기 단위 면적당 전도성 입자의 양은 상기 제1 압력 센서부의 상기 단위 면적당 전도성 입자의 양보다 큰 것을 특징으로 하는 압력 센서.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 제1 압력 센서부 및 상기 제2 압력 센서부 각각은 전도성 고무 재질인 것을 특징으로 하는 압력 센서.
  8. 수직 방향의 압력을 센싱하는 압력 센서에 있어서,
    N(3 이상의 정수)개 이상의 층으로 적층된 N개의 압력 센서부;를 포함하되,
    상기 N개의 압력 센서부 중에서, 최하층의 압력 센서부의 상면, 최상층의 압력 센서부의 하면 및 상기 최하층의 압력 센서부와 상기 최상층의 압력 센서부를 제외한 나머지 압력 센서부의 상면 및 하면에는 요철이 형성되는 것을 특징으로 하는 압력 센서.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 N개의 압력 센서부 각각의 압력 탄성 계수는 서로 다르고, 압력 탄성 계수의 크기를 기준으로 하여 적층 순서가 결정되되, 상기 N개의 압력 센서부의 압력 탄성 계수가 큰 순서부터 상기 다수 개의 압력 센서부가 적층되는 것을 특징으로 하는 압력 센서.
  10. 수직 방향의 압력을 센싱하는 압력 센서의 제조 방법에 있어서,
    다수 개의 압력 센서부의 상면 및 하면 중 적어도 하나의 면에 요철을 형성하는 단계; 및
    상기 요철이 형성된 다수 개의 압력 센서부를 적층하는 단계;를 포함하되,
    상기 요철은 볼록 영역 및 오목 영역을 포함하고, 상기 다수 개의 압력 센서부 중 압력 센서부 A 및 압력 센서부 B가 인접하되, 상기 압력 센서부 A의 볼록 영역은 대응되는 상기 압력 센서부 B의 오목 영역으로 삽입되고, 상기 압력 센서부 B의 볼록 영역은 대응되는 상기 압력 센서부 A의 오목 영역으로 삽입되는 것을 특징으로 하는 압력 센서의 제조 방법.
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