KR20190028192A - 대면적 패널용 반송플레이트 - Google Patents

Abstract

본 발명은 대면적 패널용 반송플레이트에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 피 운반체와의 접촉 면적을 최소화함으로써 패널 이송시 발생할 수 있는 정전기에 의한 패널 파손이나 손상을 방지할 수 있으므로 안전하고 정밀한 이송을 보장할 수 있는 대면적 패널용 반송플레이트에 관한 것이다.

Description

대면적 패널용 반송플레이트 {Transfer plate for large area panel}

본 발명은 대면적 패널용 반송플레이트에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 피 운반체와 반송플레이트의 상판 사이의 접촉 면적을 최소화함으로써 패널 이송시 발생할 수 있는 정전기에 의한 패널 파손이나 손상을 방지할 수 있으므로 안전하고 정밀한 이송을 보장할 수 있는 대면적 패널용 반송플레이트에 관한 것이다.

일반적으로, 인라인 검사장비(In-Line FPD Automatic Optical Inspection)는 TFT LCD 패널이나 PDP, 컬러필터 등의 디스플레이 패널(display panel) 등을 안내하면서 광학렌즈와 CCD 카메라를 사용하여 검사 대상물의 이미지를 캡쳐한 후 이미지 프로세싱 알고리즘을 적용하여 사용자가 찾아내고자 하는 각종 결함을 검출해 내는 장비이다.

이러한 인라인 검사장비는 크게 불량을 검출하는 스캔섹션(scan section), 리뷰섹션(review section) 및 언로딩섹션(unlaod section)으로 분할된다. 이러한 검사장비는 검사 시스템으로서의 역할을 다하기 위해서는 검출한 결함의 위치와 크기를 정확하게 알아내는 것도 중요하지만, 스캔섹션(scan section)에서부터 언로딩 섹션(unlaod section)까지 피 운반체(검사대상물)를 안내하는 반송수단의 역할 또한 중요한 요소로 작용한다.

종래 반송수단으로는 롤러(roller)의 회전력에 의해서 피 운반체를 반송하는 접촉식 반송수단이 개시된 바 있으나, 이는 롤러의 회전력에 의해서 반송이 이루어지므로 피 운반체에 스크래치 및 롤러 회전으로 인한 얼룩이 발생할 뿐만 아니라 마찰력이 작거나 회전력이 약하면 피 운반체가 미끄러지기 때문에 원활한 반송이 어려운 문제점이 있었다.

상기와 같은 문제점을 해결하고자 최근에는 미세한 다수의 에어홀에 압축에어를 공급하고 에어홀에서 분출되는 에어의 부상력으로 피 운반체를 부상 반송하는 비접촉식 반송플레이트가 개발되어 이용되고 있다.

그러나, 종래의 비접촉식 대면적 패널용 반송플레이트는 피운반체인 패널이 상판 위에 부상되어도 상판에서 형성되는 정전기에 의해 상기 패널과 상판이 붙거나, 상기 패널이 손상이 발생하는 문제가 빈번히 발생한다. 상기 정전기는 미세한 크기라 하더라도 패널에 치명적 손상을 줄 수 있으므로 정전기 발생을 미연에 방지할 수 있는 대첵이 필요하다.

상기와 같은 정전기 문제를 해결하기 위해서 반송플레이트의 상판을 특수 코팅처리하여 높은 내마모성을 가지면서 정전기 발생을 억제하는 방법이 이용될 수 있지만, 상기와 같이 상판에 특수 코팅처리를 하게 되면, 상판의 제작비용이 증가하여 전체 반송 플레이트의 제조 단가가 높아지는 문제가 있으며, 특수 코팅처리한다 하더라도 코팅면이 쉽게 벗겨지고, 코팅면이 벗겨지게 되면, 상판 전체를 폐기처분하여야 하므로 유지 관리 비용이 크게 증가하는 문제가 있었다.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서 본 발명의 목적은 이송되는 피운반체와의 상판 사이의 접촉 면적을 최소화하도록 반송 플레이트의 상판의 상면이 플랫한 평면이 아닌 입체 구조로 형성함으로써 정전기 방지를 위한 특수한 코팅 없이도 정전기 발생을 미연에 방지할 수 있으면서 높은 분출력을 유지시켜 최적의 부상력을 확보할 수 있는 대면적 패널용 반송플레이트를 제공하는 데 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 대면적 패널용 반송플레이트는 플레이트의 상판에 형성된 다수 개의 에어홀에 가해지는 부상력에 의해 피운반체인 대면적 패널을 부상하여 이송하는 대면적 패널용 반송플레이트에 있어서, 상기 상판은 상기 에어홀 주변에 형성된 복 수개의 와류 유지부로 구성된 와류 유지부 유닛과; 상기 와류 유지부를 제외한 영역에 상기 와류 유지부와 이격되어 형성된 복수 개의 범프로 구성된 범프 유닛을 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 와류 유지부는 상기 에어홀을 중심으로 확장되는 설정된 크기(평면 면적)의 플랫한 표면으로 구성되고; 상기 범프는 플랫한 표면을 가지는 돌기 형상으로 구성되고; 상기 범프 유닛은 복수 개가 규칙적 배열로 구성되거나, 비규칙적인 배열로 구성되거나 또는 규칙적인 배열과 비규칙적인 배열이 혼합되도록 형성된 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 와류 유지부 유닛은 상기 에어홀을 통해 출력된 와류가 형성된 공기가 에어홀 주변에서 와류를 유지하여 상기 대면적 패널을 안정적으로 부상시키는 역할을 담당하고; 상기 범프 유닛은 상기 플레이트와 대면적 패널 사이에 접촉하는 면적을 최소화하고 소 단위로 분리시켜 정전기가 발생하는 것을 방지하는 역할을 담당하는 것을 특징으로 한다.

상기 와류 유지부와 범프는 각각 원형, 타원형, 다각 형상 중 선택된 하나의 평면 형상을 가지는 것을 특징으로 한다.

상기 와류 유지부와 범프는 동일한 높이를 가지거나 서로 다른 높이를 가지를 가지도록 형성된 것을 특징으로 한다.

상기 범프 유닛은 중앙에 집중되는 정전기를 효과적으로 차단하기 위해 플레이트의 길이방향을 기준으로 중앙부의 범프의 간격이 가장자리의 범프의 간격보다 크게 형성된 것을 특징으로 한다.

상기에서 살펴본 바와 같이 본 발명에 따른 대면적 패널용 반송 플레이트는 이송되는 피운반체와의 상판 사이의 접촉 면적을 최소화하도록 반송 플레이트의 상판의 상면이 플랫한 평면이 아닌 입체 구조로 형성함으로써 정전기 방지를 위한 특수한 코팅 없이도 정전기 발생을 미연에 방지할 수 있으면서 높은 분출력을 유지시켜 최적의 부상력을 확보할 수 있는 탁월한 효과가 발생한다.

도 1은 종래의 대면적 패널용 반송플레이트를 개략적으로 도시한 사시도이고,
도 2는 도 1의 대면적 패널용 반송플레이트를 나타낸 분해 사시도이고,
도 3은 대면적 패널용 반송플레이트를 하측에서 바라본 사시도이다.
도 4는 종래의 대면적 패널용 반송플레이트의 상판의 상면 구조를 개략적으로 도시한 사시도이고,
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 대면적 패널용 반송플레이트의 상판의 상면 구조를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 대면적 패널용 반송플레이트의 상판 상면의 입체구조의 평면도 및 상세 단면도이다.
도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 와류 유지부와 범프가 다른 높이를 가지도록 형성된 것을 도시한 것이다.
도 8은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 종래의 대면적 패널 반송 플레이트와 본 발명에 따른 대면적 패널 반송 플레이트의 동작을 비교한 것이다.

이하, 본 발명의 구체적인 실시예에 대하여 도면을 참조하여 상세하게 설명하기로 한다.

도 1은 종래의 대면적 패널용 반송플레이트를 개략적으로 도시한 사시도이고, 도 2는 도 1의 대면적 패널용 반송플레이트를 나타낸 분해 사시도이고, 도 3은 대면적 패널용 반송플레이트를 하측에서 바라본 사시도이다.

도 1 내지 3을 참조하면, 종래의 대면적 패널용 반송플레이트(1)는 크게 하부에 배치되는 하판(10)과, 이 하판(10)의 상부에 밀착 구비되는 얇은 금속판재로 된 에어분기판 (20) 그리고 이 에어분기판(20)의 상부에 밀착 구비되는 것으로 상기 하판(10)과 에어분기판(20)과 함께 일체로 결합되는 상판(30)으로 구성된다.

하판(10)은 외부로부터 에어를 공급받을 수 있도록 에어포트(a1)가 관통 [0056] 형성되고, 상면으로는 상기 에어포트(a1)를 통해 공급된 에어가 채워질 수 있도록 에어챔버(13)가 형성되며, 상기 에어포트(a1) 및 에어챔버(13)와 위치 간섭되지 않는 위치에 나사부재(s)가 삽입 통과할 수 있도록 제1체결구멍(h1)이 관통 형성된다.

여기서 상기 에어챔버(13)는 하판(10)의 상부면에 길이 방향으로 길게 패인 홈 형태로 형성되는 것으로, 피운반체(p)를 부상시키기 위해 필요한 에어압을 고려하여 그 설치 위치와 홈의 깊이나 넓이 등이 결정된다.

또한, 상기 에어포트(a1)는 외부로부터부터 고압의 공기를 공급받기 위한 연결요소인 에어공급라인(ap)이 연결되는 구성이다.

이러한 구성의 하판(10)은 상기 에어공급라인(ap)을 통해 외부로부터 에어가 공급되면, 상기 에어포트(a1)를 경유하여 에어챔버(13)에 채워지게 된다.

상대적인 국부 처짐을 방지하기 위해 상기 상판(30)에 형성된 에어홀(33)에 에어를 분기 공급하기 위한 에어로드(21)를 제공함에 있어 각 에어홀에 공급되는 에어의 분출압을 달리하여 피 운반체(p)의 국부 처짐 현상을 억제하여 평탄도 유지 성능을 높일 수 있도록 급속로드(21a)와 지연로드(21b)를 구성할 수 있다. 즉, 에어로드(21)는 에어가 빠르게 유동될 수 있도록 직선의 구간 또는 완만한 곡선 구간을 갖는 급속로드(21a)와, 이 급속로드(21a)에 대해 상대적으로 에어가 늦은 속도로 유동되도록 저항요소를 갖는 지연로드(21b)로 구성될 수 있다.

이러한 에어로드(21)는 다양한 형태와 모양으로 구비될 수 있으며, 상기 급속로드(21a)와 지연로드(21b)가 서로 연결되는 것에 의해 상기 하판(10)의 에어챔버(13)로부터 에어를 공급받아 분기시키는 구조로 제공되거나 또는 도시하지는 않았으나 상기 급속로드(21a)와 지연로드(21b)가 서로 연결되지 않고 단절된 형태로 구비되어 독립적으로 에어를 공급받도록 구성될 수도 있다.

상기에서 살펴본 종래의 대면적 패널용 반송 플레이트는 비운송체에 에어 부상력을 제공하는 메커니즘을 설명하기 위한 것이지 본 발명의 구성을 한정하기 위한 것은 아니다. 따라서, 상판, 하판, 에어분기판의 구성, 에어홀의 개수와 배치, 에어로드의 형상 및 배치 등은 설계와 사양에 따라 다양하게 변경될 수 있음은 자명한 것이다.

이하, 본 발명의 특징에 따른 대면적 패널용 반송 플레이트 상판의 구조에 대해 설명하기로 한다.

도 4는 종래의 대면적 패널용 반송플레이트의 상판의 상면 구조를 개략적으로 도시한 사시도이고, 도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 대면적 패널용 반송플레이트의 상판의 상면 구조를 개략적으로 도시한 사시도이다.

도 4를 참조하면, 종래의 대면적 패널용 반송플레이트는 플레이트의 상판(30)의 상면이 플랫한 평면을 가지는 구조를 가지고 있다. 따라서, 반송플레이트 상에 부상되는 피운반체와 직접 맞닿을 수 있는 면적이 크기 때문에 피운반체가 에어의 부상력에 의해 부상된다 하더라도 정전기에 의해 쉽게 반송플레이트의 상판(30)에 달라붙게되어 피운반체가 파손되거나 손상이 발생하는 문제가 발생한다. 노트북이나 휴대폰 등의 중,소면적 패널의 경우 표면 면적이 작기때문에 정전기에 의한 문제가 발생할 여지가 낮지만, 박판의 디스플레이용 대면적 패널의 경우, 특히 8세대 모델 이상의 LCD, OLED와 같은 대면적 패널은 정전기로 인한 손상에 매우 취약하다.

이에 반하여, 본 발명에 따른 대면적 패널용 반송플레이트는 상판(30)의 상면이 양각 패턴에 의한 입체적인 구조를 가진다.

보다 구체적으로, 도 5를 참조하면, 본 발명에 따른 대면적 패널용 반송플레이트는 에어홀(33)을 둘러싸는 주변에 형성된 복수 개의 와류 유지부(310)를 구비한 와류 유지부 유닛과; 상기 와류 유지부를 제외한 영역에 상기 와류 유지부와 이격되어 형성된 복수 개의 범프(320)를 구비하는 범프 유닛을 포함하여 구성될 수 있다.

상기 와류 유지부 유닛은 상기 부상홀을 통해 출력된 와류가 형성된 공기가 부상홀 주변에서 와류를 유지하여 상기 대면적 패널을 안정적으로 부상시키는 역할을 담당하고; 상기 범프 유닛은 상기 플레이트와 대면적 패널 사이에 접촉하는 면적을 최소화하고 소 단위로 분리시켜 정전기가 발생하는 방지하는 역할을 담당한다.

도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 대면적 패널용 반송플레이트의 상판 상면의 입체구조의 평면도 및 상세 단면도이다.

상기 와류 유지부(310)는 상기 에어홀(33)을 중심으로 둘러싸서 확장된 플랫한 표면을 가지도록 구성되고; 상기 범프(320)는 규칙적 배열 또는 비규칙적인 배열을 가지거나, 상기 규칙적 배열과 비규칙적인 배열이 혼합된 배열로 형성된 플랫한 표면을 가지는 돌기 형상으로 구성될 수 있다.

그리고 정전기는 중앙부에서 집중적으로 발생할 수 있으므로 플레이트의 길이방향의 중앙부의 범프의 간격이 가장자리의 범프의 간격보다 크게 형성되도록 구성되어 정전기 방지효과를 높일 수 있다.

기본적으로 상기 와류 유지부(310)와 범프(320)는 일정한 높이(H)를 가지는 양각의 구조물로 형성될 수 있다. 따라서, 상기 와류 유지부(310)와 범프(320) 사이의 공간은 상대적으로 음각으로 상기 높이(D)만큼 낮은 단차를 가지게 되므로 부상시 피운반체와 닿을 수 있는 면적이 대폭 감소된다.

상기와 같이 피운반체와 반송플레이트의 상판 상면에 맞닿을 수 있는 면적이 감소함에 따라 정전기 발생도 방지할 수 있다. 또한, 상기 범프가 규칙 또는 비규칙적인 배열로 분포되어 맞닿을 수 있는 면적을 범프 단위로 분리시켜 정전기에 의해 피운반체가 반송 플레이트에 달라붙는 것을 방지할 수 있다.

그리고 상기 범프 사이의 공간을 통해 에어 통로가 형성되어 에어홀을 통해 분사된 에어가 상기 에어 통로를 통해 이동하면서 상부에 부상력을 제공하게 된다. 따라서, 에어홀이 형성되지 않은 영역에서도 에어압이 작용하여 종래의 에어홀 주변에만 강한 에어압이 작용하여 에어압 편차가 발생하는 것을 보상하여 국부적인 처짐이나 휨 등에 의해 피부상체에 작용하여 변형시키려는 힘인 외력을 최소화할 수 있다.

상기 와류 유지부(310)와 범프(320)의 높이(H)는 동일한 높이로 형성할 수 있다.

여기서, 상기 와류 유지부(310)와 범프(320)의 높이(H)가 지나치게 낮을 경우 정전기 방지 효과가 떨어지고, 지나치게 높을 경우 상기 와류 유지부(310)와 범프(320) 사이의 공간으로 에어가 지나치게 많이 유출되어 에어 부상력을 감소시킬 수도 있으므로 부상력과 정전기 방지 효과를 동시에 얻을 수 있는 높이로 설정하는 것이 좋다. 바람직하게는 상기 와류 유지부(310)와 범프(320)의 높이(H)는 0.01 ~ 0.2mm 범위로 구성하는 것이 좋다.

또한 상기 와류 유지부(310)의 높이와 상기 범프(320)의 높이를 다르게 형성할 수 있으며, 바람직하게는 도 7과 같이 상기 와류 유지부(310)의 높이가 범프(320)의 높이보다 높게 형성할 수 있다. 상기 와류 유지부(310)의 높이를 범프(320)의 높이보다 높게 형성할 경우 에어홀을 통한 부상력에 영향을 미치지 않으면서 비운송체와 범프와 범프 사이의 공간을 이중으로 이격시켜 정전기 방지효과가 배가될 수 있다.

상기 와류 유지부(310)는 에어홀(33)에서 출력되는 에어가 와류를 유지하여 피운반체를 안정적으로 부상시키는 역할을 담당한다. 상기 에어홀(33)에서 출력되는 에어는 높은 분출력과 에어압을 위해 일반적으로 에어홀 내부 구조에 따라 와류가 형성되어 상부로 직진되어 분사되도록 설계된다. 따라서, 피운반체를 부상시키기 위해서는 에어홀(33)에서 출력되는 에어가 와류를 형성하여 상부로 직진되도록 와류를 유지시켜주어야 하므로 와류 유지부가 반드시 필요하다.

상기 와류 유지부의 평면 형상은 원형, 타원형, 다각형 등 다양한 형상으로 구성될 수 있으나, 원형으로 확장되는 와류의 특성상 원형으로 구성하는 것이 바람직하다.

상기 각 와류 유지부(310)의 크기(평면 면적)는 에어홀(33)을 통해 출력되는 에어의 압력 및 분출력과 에어홀(33)의 배치 및 이송되는 피운반체의 크기 등에 따라 결정될 수 있다.

상기 와류 유지부(310)가 지나치게 작을 경우 와류 유지 효과가 떨어져서 안정적인 부상이 불가능하고, 상기 와류 유지부가 지나치게 클 경우에는 면적 증가로 정전기 방지 효과가 떨어지므로 안정적인 부상이 가능하면서 정전기 방지 효과에 영향을 주지 않을 수 있는 최적의 크기로 형성되는 것이 좋다.

그리고 상기 범프도 원형, 타원형, 다각형, 불규칙 형상 등 다양한 형상으로 구성될 수 있으나, 범프 사이로 유입되는 에어의 저항을 최소화하기 위해 원형으로 구성되는 것이 바람직하다.

상기 범프(320)의 크기(평면 면적) 역시 지나치게 클경우 정전기 방지 효과가 떨어지고 에어 분출력에 영향을 미칠 수 있으므로 최적화가 필요하고, 상기 와류 유지부(310)의 크기(평면면적)의 크기의 1/5 이하, 바람직하게는 1/10 이하의 크기로 구성하는 것이 바람직하다.

상기 범프는 상기 와류 유지부(310)를 제외한 나머지 영역에 배치되어 피운반체와의 접촉 면적을 감소시키면서 접촉 면적을 범프 크기 단위로 분리시켜 정전기력이 응집되는 것을 방지하는 역할을 담당한다.

상기 범프는 규칙적 또는 불 규칙적 배열로 구성될 수 있으며,규칙적인 배열과 불규칙적인 배열일 혼합된 형태로 배치될 수 있으며, 배치되는 범프의 크기, 수, 간격 등은 사양에 따라 다르게 설정될 수 있다.

그리고 상기 와류 유지부(310)와 범프(320)의 평면 면적을 합한 총 면적은 상기 와류 유지부(310)와 범프(320) 사이의 면적을 합한 전체 평면 면적의 40 ~ 80% 범위로 설정하는 것이 좋다.

도 8은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 종래의 대면적 패널 반송 플레이트와 본 발명에 따른 대면적 패널 반송 플레이트의 동작을 비교한 것이다.

도 8의 (a)를 참조하면, 종래의 대면적 패널 반송 플레이트는 에어홀을 통해 에어가 분출되는 상판의 상면이 전체가 플랫한 평면 구조를 가지고 있으므로 에어의 부상력은 우수할지 몰라도 에어의 부상력에 피운반체가 부상하면서 대향하는 플레이트 상판의 상면과 피운반체 사이에 큰 정전기력이 발생하고 순간적으로 응집되어 피운반체가 상판에 달라 붙어서 피운반체의 손상이 빈번히 발생한다.

한편, 도 8의 (b)를 참조하면, 본 발명에 따른 대면적 패널 반송 플레이트는 플레이트 상판의 상면이 플랫한 평면 구조가 아닌 입체구조를 가짐으로써 에어의 부상효과와 정전기 방지 효과를 동시에 만족시킬 수 있다.

보다 구체적으로, 상판의 에어홀(33) 주변에는 와류 유지부(310)가 형성되어 분출되는 에어가 와류를 유지하면서 상부로 직진되어 피운반체에 대한 충분한 에어 부상력을 제공하도록 할 수 있다. 그리고 와류 유지부(310) 사이에는 규칙적 또는 불규칙적으로 배열된 복수 개의 범프가 배치되어 있어서 대향하는 플레이트 상판의 상면과 피운반체 사이의 면적을 감소시켜 정전기 발생을 억제할 수 있으며, 접촉 면적이 범프 단위로 분산되어 정전기력을 분산시킴으로써 정전기력이 순간적으로 응집되는 것을 미연에 방지할 수 있다.

따라서, 에어 부상력을 유지하면서 정전기 발생을 미연에 방지할 수 있으므로 안전하고 정밀한 이송을 보장할 수 있다.

또한, 상기 범프(320) 사이의 공간을 통해 공기 유로가 형성되고, 상기 공기 유로를 통해 에어홀에서 유입된 공기가 이동하면서 상부로 부상력을 제공할 수 있으므로 피운반체에 국부적인 변형이 작용하는 외력을 최소화할 수 있다.

이상에서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 본 발명의 보호범위는 상기 실시예에 한정되는 것이 아니며, 해당 기술분야의 통상의 지식을 갖는 자라면 본 발명의 사상 및 기술영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

30 : 상판 310 : 와류 유지부
320 : 범프

Claims (6)

1. 플레이트의 상판에 형성된 다수 개의 에어홀에 가해지는 부상력에 의해 피운반체인 대면적 패널을 부상하여 이송하는 대면적 패널용 반송플레이트에 있어서,
   상기 상판은
   상기 에어홀 주변에 형성된 복 수개의 와류 유지부로 구성된 와류 유지부 유닛과;
   상기 와류 유지부를 제외한 영역에 상기 와류 유지부와 이격되어 형성된 복수 개의 범프로 구성된 범프 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 패널용 반송플레이트.
   
2. 제 1항에 있어서,
   상기 와류 유지부는
   상기 에어홀을 중심으로 확장되는 설정된 크기(평면 면적)의 플랫한 표면으로 구성되고;
   상기 범프는 플랫한 표면을 가지는 돌기 형상으로 구성되고;
   상기 범프 유닛은
   복수 개가 규칙적 배열로 구성되거나, 비규칙적인 배열로 구성되거나 또는 규칙적인 배열과 비규칙적인 배열이 혼합되도록 형성된 것을 특징으로 하는 는 대면적 패널용 반송플레이트.
   
3. 제 1항에 있어서,
   상기 와류 유지부 유닛은
   상기 에어홀을 통해 출력된 와류가 형성된 공기가 에어홀 주변에서 와류를 유지하여 상기 대면적 패널을 안정적으로 부상시키는 역할을 담당하고;
   상기 범프 유닛은
   상기 플레이트와 대면적 패널 사이에 접촉하는 면적을 최소화하고 소 단위로 분리시켜 정전기가 발생하는 것을 방지하는 역할을 담당하는 것을 특징으로 하는 대면적 패널용 반송플레이트.
   
4. 제 2항에 있어서,
   상기 와류 유지부와 범프는 각각
   원형, 타원형, 다각 형상 중 선택된 하나의 평면 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 대면적 패널용 반송플레이트.
   
5. 제 1항에 있어서,
   상기 와류 유지부와 범프는
   동일한 높이를 가지거나 서로 다른 높이를 가지를 가지도록 형성된 것을 특징으로 하는 대면적 패널용 반송플레이트.
   
6. 제 2항에 있어서,
   상기 범프 유닛은
   중앙에 집중되는 정전기를 효과적으로 차단하기 위해 플레이트의 길이방향을 기준으로 중앙부의 범프의 간격이 가장자리의 범프의 간격보다 크게 형성된 것을 특징으로 하는 대면적 패널용 반송플레이트.

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