KR20190024810A - Photosensitive composition, method for forming cured product, cured product, panel for display device, and display device - Google Patents

Photosensitive composition, method for forming cured product, cured product, panel for display device, and display device Download PDF

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Abstract

The purpose of the present invention is to provide a photosensitive composition which enables a desirable cross-sectional shape of a formed pattern to be compatible with the formation of a pattern that is favorably adhered to a substrate even in a low exposure amount although the photosensitive composition contains a lactam-based pigment; a method of forming a cured product using the photosensitive composition; the cured product of the photosensitive composition; a panel for an image display device, which includes a black matrix or a black column spacer composed of the cured product; and an image display device including the panel for an image display device. The photosensitive composition of the present invention comprises a photopolymerization initiator (A) and a lactam-based pigment-containing coloring agent (C), wherein the photopolymerization initiator (A) comprises a combination of two or more oxime ester compounds which have peaks in a wavelength range of 320 nm or more to less than 400 nm in an absorption spectrum, and in which maximum wavelengths of the peaks are different from each other, but does not comprise a compound which exhibits a gram absorption coefficient of 10 or more at one wavelength in a wavelength range of 400 nm or more.

Description

감광성 조성물, 경화물 형성 방법, 경화물, 화상 표시장치용 패널, 및 화상 표시장치{Photosensitive composition, method for forming cured product, cured product, panel for display device, and display device}[0001] The present invention relates to a photosensitive composition, a method for forming a cured product, a cured product, a panel for an image display device, and an image display device.

본 발명은 감광성 조성물, 상기 감광성 조성물을 이용하는 경화물 형성 방법, 상기 감광성 조성물을 이용해 형성되는 경화물, 상기 경화물로 이루어진 블랙 매트릭스 또는 블랙 컬럼 스페이서를 구비하는 화상 표시장치용 패널, 및 상기 화상 표시장치용 패널을 구비하는 화상 표시장치에 관한 것이다.The present invention relates to a photosensitive composition, a cured product forming method using the photosensitive composition, a cured product formed using the photosensitive composition, a panel for an image display device having a black matrix or a black column spacer made of the cured product, And an image display apparatus having a panel for an apparatus.

액정 표시장치와 같은 표시장치용의 패널에서는 절연막이나 스페이서와 같은 재료가 백 라이트와 같은 광원으로부터 발생되는 광을 효율적으로 투과시킬 필요가 있다. 이 때문에, 절연막이나 스페이서의 패턴을 형성하기 위해서, 노광에 의해 투명한 경화막을 부여하는 감광성 조성물이 이용된다. 이와 같은 감광성 조성물을 선택적으로 노광함으로써, 투명한 경화막의 패턴을 형성할 수 있다.In a panel for a display device such as a liquid crystal display, a material such as an insulating film or a spacer needs to efficiently transmit light generated from a light source such as a backlight. For this reason, in order to form a pattern of an insulating film or a spacer, a photosensitive composition which gives a transparent cured film by exposure is used. By selectively exposing such a photosensitive composition, a pattern of a transparent cured film can be formed.

또, 표시장치용의 패널에서, 블랙 매트릭스나 블랙 컬럼 스페이서 등의 패턴화된 차광성의 막이 형성되는 일도 많다. 이와 같은 용도에서 차광성의 막을 형성하기 위해서 이용되는, 차광제와 광중합 개시제를 포함하는 감광성 조성물도 여러 가지 제안되고 있다.In addition, in the panel for a display device, a patterned light shielding film such as a black matrix or a black column spacer is often formed. Various photosensitive compositions containing a light-shielding agent and a photopolymerization initiator, which are used for forming a light-shielding film in such applications, have also been proposed.

또, 이와 같은 용도에서는, 가시광의 차광성 및 근적외광의 투과성이 뛰어나다는 점에서 락탐계 안료가 감광성 조성물에 배합되는 일이 있다.In addition, in such applications, a lactam-based pigment may be incorporated in the photosensitive composition in that the light-shielding property of visible light and the transparency of near-infrared light are excellent.

락탐계 안료의 상기의 이점에 의해, 락탐계 안료를 포함하는 감광성 조성물은 블랙 매트릭스나 블랙 컬럼 스페이서 등의 패턴화된 차광성의 막의 형성 뿐만 아니라, 고체 촬상 소자 등에 있어서의 근적외선 검출용의 화소의 형성 등에도 바람직하게 사용된다.By virtue of the above-mentioned advantages of the lactam-based pigment, the photosensitive composition containing the lactam-based pigment can be used not only for forming a patterned light-shielding film such as a black matrix or a black column spacer, And the like.

예를 들면, 락탐계 안료를 포함하는 감광성 조성물로는, 락탐계 안료를 함유하는 (A) 안료와, 알칼리성기, 알칼리 가용성기 및 에틸렌성 불포화기를 가지는 (B) 수지와, (C) 광중합 개시제와, (D) 술폰산기를 가지는 유기 안료 또는 술폰산기를 가지는 유기 염료를 포함하는 감광성 조성물이 제안되고 있다(특허문헌 1을 참조.).For example, as the photosensitive composition containing a lactam-based pigment, it is possible to use a pigment comprising (A) a pigment containing a lactam pigment, (B) a resin having an alkaline group, an alkali-soluble group and an ethylenic unsaturated group, (C) , And (D) an organic dye having a sulfonic acid group or an organic dye having a sulfonic acid group (see Patent Document 1).

일본 특개 2016-109763호 공보Japanese Patent Laid-Open Publication No. 2016-109763

그렇지만, 락탐계 안료와 에틸렌성 불포화기를 가지는 화합물과 광중합 개시제를 포함하는 감광성 조성물을 포토리소그래피에 의해 패터닝하는 경우, 저노광량으로의 기판에 양호하게 밀착한 패턴의 형성과, 형성된 패턴의 바람직한 단면 형상의 양립이 곤란한 문제가 있다.However, when a photosensitive composition comprising a compound having a lactam-based pigment and an ethylenically unsaturated group and a photopolymerization initiator is patterned by photolithography, it is possible to form a pattern well adhering to the substrate at a low exposure dose, There is a problem that compatibility is difficult.

본 발명은 상기의 과제를 감안하여 이루어진 것으로서, 락탐계 안료를 포함하고 있음에도 불구하고, 저노광량으로의 기판에 양호하게 밀착한 패턴의 형성과, 형성된 패턴의 바람직한 단면 형상을 양립할 수 있는 감광성 조성물과, 상기 감광성 조성물을 이용하는 경화물 형성 방법과, 상기 감광성 조성물의 경화물과, 상기 경화물로 이루어진 블랙 매트릭스 또는 블랙 컬럼 스페이서를 구비하는 화상 표시장치용 패널과, 상기 화상 표시장치용 패널을 구비하는 화상 표시장치와, 전술한 감광성 조성물로 이루어진 감광성 접착제와, 전술한 감광성 조성물을 이용하는 피접착물의 접착 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and it is an object of the present invention to provide a photosensitive composition capable of satisfactorily adhering closely to a substrate at a low exposure dose and a favorable cross- A method of forming a cured product using the photosensitive composition, a cured product of the photosensitive composition, and a black matrix or black column spacer made of the cured product, and a panel for the image display device And a method for adhering an object to be adhered using the photosensitive composition described above to a photosensitive adhesive composition comprising the photosensitive composition described above.

본 발명자들은 광중합 개시제(A)와 락탐계 안료를 함유하는 착색제(C)를 포함하는 감광성 조성물에 있어서, 광중합 개시제(A)로서 흡광 스펙트럼에 있어서, 320 ㎚ 이상 400 ㎚ 미만의 파장 영역에서 피크를 갖고, 또한 상기 피크의 극대 파장이 각각 상이한 옥심에스테르 화합물을 2종 이상 조합하여 이용하며, 광중합 개시제(A)에, 400 ㎚ 이상의 파장 영역 중 어느 하나의 파장에서 10 이상의 그램 흡광 계수를 나타내는 화합물을 함유시키지 않음으로써, 상기의 과제를 해결할 수 있다는 것을 알아내어 본 발명을 완성하기에 이르렀다.The present inventors have found that, in a photosensitive composition comprising a photopolymerization initiator (A) and a colorant (C) containing a lactam-based pigment, a peak in a wavelength range of 320 nm or more and less than 400 nm in a light absorption spectrum as a photopolymerization initiator (A) (A) a compound which exhibits an extinction coefficient of 10 or more at any one wavelength in a wavelength region of 400 nm or more, is used as the photopolymerization initiator The above problems can be solved and the present invention has been accomplished.

본 발명의 제1의 태양은, 광중합 개시제(A)와 착색제(C)를 포함하는 감광성 조성물로서, A first aspect of the present invention is a photosensitive composition comprising a photopolymerization initiator (A) and a colorant (C)

광중합 개시제(A)가 흡광 스펙트럼에 있어서, 320 ㎚ 이상 400 ㎚ 미만의 파장 영역에서 피크를 가지는 옥심에스테르 화합물을 2종 이상 포함하고, The photopolymerization initiator (A) contains two or more oxime ester compounds having a peak in a wavelength region of 320 nm or more and less than 400 nm in a light absorption spectrum,

광중합 개시제(A)가 400 ㎚ 이상의 파장 영역 중 어느 하나의 파장에서 10 이상의 그램 흡광 계수를 나타내는 화합물을 포함하지 않으며, Wherein the photopolymerization initiator (A) does not contain a compound exhibiting a gravimetric extinction coefficient of 10 or more at any one wavelength in a wavelength region of 400 nm or more,

2종 이상의 옥심에스테르 화합물에 대한 피크의 극대 파장이 각각 상이하고,The maximum wavelengths of the peaks with respect to two or more kinds of oxime ester compounds are different from each other,

상기 착색제(C)가 락탐 안료를 함유하는 감광성 조성물이다.The colorant (C) is a photosensitive composition containing a lactam pigment.

본 발명의 제2의 태양은,According to a second aspect of the present invention,

제1의 태양에 관한 감광성 조성물을 이용해 도막을 형성하는 것과, A method of forming a coating film using the photosensitive composition according to the first aspect,

도막에 대해서 노광하는 것Exposure to a coating film

을 포함하는 경화물 형성 방법이다.Of the cured product.

본 발명의 제3의 태양은, 제1의 태양에 관한 감광성 조성물의 경화물이다.A third aspect of the present invention is a cured product of the photosensitive composition according to the first aspect.

본 발명의 제4의 태양은, 제3의 태양에 관한 경화물로 이루어진 블랙 매트릭스 또는 블랙 컬럼 스페이서이다.A fourth aspect of the present invention is a black matrix or black column spacer made of the cured product according to the third aspect.

본 발명의 제5의 태양은, 제4의 태양에 관한 블랙 매트릭스 또는 블랙 컬럼 스페이서를 구비하는 화상 표시장치용 패널이다.A fifth aspect of the present invention is a panel for an image display apparatus comprising a black matrix or a black column spacer according to the fourth aspect.

본 발명의 제6의 태양은, 제5의 태양에 관한 화상 표시장치용 패널을 구비하는 화상 표시장치이다.A sixth aspect of the present invention is the image display device having the image display panel according to the fifth aspect.

본 발명의 제7의 태양은, 제1의 태양에 관한 감광성 조성물로 이루어진 감광성 접착제이다.A seventh aspect of the present invention is a photosensitive adhesive comprising the photosensitive composition according to the first aspect.

본 발명의 제8의 태양은,According to an eighth aspect of the present invention,

피접착면을 접착하는 방법으로서,As a method for bonding an adherend surface,

대향하는 피접착면의 한쪽 또는 양쪽에 제7의 태양에 관한 감광성 접착제로 이루어진 접착제층을 형성하는 것과, An adhesive layer made of a photosensitive adhesive according to the seventh aspect is formed on one or both sides of the opposing adhered surfaces,

접착제층을 노광에 의해 경화시키는 것을 포함하는 방법이다.And curing the adhesive layer by exposure.

본 발명에 의하면, 락탐계 안료를 포함하고 있음에도 불구하고, 저노광량으로의 기판에 양호하게 밀착한 패턴의 형성과, 형성된 패턴의 바람직한 단면 형상을 양립할 수 있는 감광성 조성물과, 상기 감광성 조성물을 이용하는 경화물 형성 방법과, 상기 감광성 조성물의 경화물과, 상기 경화물로 이루어진 블랙 매트릭스 또는 블랙 컬럼 스페이서를 구비하는 화상 표시장치용 패널과, 상기 화상 표시장치용 패널을 구비하는 화상 표시장치와, 전술한 감광성 조성물로 이루어진 감광성 접착제와, 전술한 감광성 조성물을 이용하는 피접착물의 접착 방법을 제공할 수 있다.According to the present invention, it is possible to provide a photosensitive composition capable of satisfactorily forming a pattern closely adhering closely to a substrate at a low exposure dose and a favorable cross-sectional shape of a formed pattern in spite of containing a lactam-based pigment, A panel for an image display apparatus comprising a cured product forming method, a cured product of the photosensitive composition, and a black matrix or a black column spacer made of the cured product, an image display apparatus including the image display panel, It is possible to provide a method of bonding a photosensitive adhesive made of a photosensitive composition and an object to be adhered using the above photosensitive composition.

도 1은 감광성 조성물을 이용하여 형성된 패턴의 폭방향의 단면 형상을 나타내는 모식도이고, (a)는 통상의 패턴의 단면 형상을 나타내는 도면이며, (b)는 언더컷(21)을 발생시킨 패턴의 단면 형상을 나타내는 도면이다.Fig. 1 is a schematic view showing a cross-sectional shape in the width direction of a pattern formed using a photosensitive composition, Fig. 1 (a) is a cross-sectional view of a typical pattern, Fig.

≪감광성 조성물≫&Quot; Photosensitive composition &

본 발명에 관한 감광성 조성물은 광중합 개시제(A)와 락탐계 안료를 포함하는 착색제(C)를 포함한다.The photosensitive composition according to the present invention comprises a photopolymerization initiator (A) and a colorant (C) containing a lactam-based pigment.

광중합 개시제(A)는 흡광 스펙트럼에 있어서, 320 ㎚ 이상 400 ㎚ 미만의 파장 영역에서 피크를 가지는 옥심에스테르 화합물을 2종 이상 포함한다.The photopolymerization initiator (A) includes two or more kinds of oxime ester compounds having peaks in the wavelength range of 320 nm or more and less than 400 nm in the light absorption spectrum.

단, 2종 이상의 옥심에스테르 화합물에 대해서, 피크의 극대 파장이 각각 상이하다.However, the maximum wavelength of the peak is different for two or more oxime ester compounds.

이 때문에, 상기의 감광성 조성물에 대해서 노광을 실시하는 경우, 노광광을 충분히 이용하기 쉬워 감광성 조성물이 감도가 뛰어나다. 그 결과, 감광성 조성물이 락탐계 안료를 포함하고 있어도, 저노광량으로의 기판에 양호하게 밀착한 패턴의 형성과, 형성된 패턴의 바람직한 단면 형상을 양립하기 쉽다고 생각된다.Therefore, when the photosensitive composition is subjected to exposure, it is easy to sufficiently utilize the exposure light, so that the photosensitive composition is excellent in sensitivity. As a result, even if the photosensitive composition contains the lactam-based pigment, it is considered that the formation of the pattern closely adhering to the substrate at a low exposure dose and the preferable cross-sectional shape of the formed pattern are easy to be compatible with each other.

2종 이상의 옥심에스테르 화합물에 대한 상기의 피크의 극대 파장 중, 가장 장파장측의 극대 파장을 λmax-r로 하고, 가장 단파장측의 극대 파장을 λmax-b로 하는 경우에, λmax-r와 λmax-b의 차이가 20 nm 이상인 것이 바람직하다. 상한은, 예를 들면 70 nm 이하이며, 50 nm 이하가 바람직하다.In the case where λ max-r is the maximum wavelength at the longest wavelength side and λ max-b is the maximum wavelength at the shortest wavelength side among the maximum wavelengths of the above peaks for two or more oxime ester compounds, λ max-r And? Max-b is 20 nm or more. The upper limit is, for example, 70 nm or less, preferably 50 nm or less.

또, λmax-r은 350 nm 이상 400 nm 이하의 범위에 있는 것이 바람직하고, λmax-b는 320 nm 이상 360 nm 이하의 범위에 있는 것이 바람직하다.It is also preferable that? Max-r is in a range of 350 nm or more and 400 nm or less, and? Max-b is in a range of 320 nm or more and 360 nm or less.

이 경우, 감광성 조성물의 노광에 이용되는 노광 광의 파장 영역이 넓은 경우에도, 노광 광의 에너지를 효율적으로 경화에 이용하기 쉽고, 광원의 종류와 상관없이 양호한 감도를 실현하기 쉽다.In this case, even when the wavelength range of the exposure light used for exposure of the photosensitive composition is wide, the energy of the exposure light is easily used for curing efficiently, and good sensitivity can be easily achieved regardless of the type of the light source.

또, 광중합 개시제(A)는 400 nm 이상의 파장 영역 중 어느 하나의 파장에서 10 이상의 그램 흡광 계수를 나타내는 화합물을 포함하지 않는다. 광중합 개시제는 400 nm 이상의 파장 영역 중 어느 하나의 파장에서 5 이상의 그램 흡광 계수를 나타내는 화합물을 포함하지 않는 것이 바람직하고, 1 이상의 그램 흡광 계수를 나타내는 화합물을 포함하지 않는 것이 보다 바람직하다.The photopolymerization initiator (A) does not contain a compound exhibiting a gravimetric extinction coefficient of 10 or more at any one of the wavelength regions of 400 nm or more. It is preferable that the photopolymerization initiator does not contain a compound exhibiting a gravimetric extinction coefficient of 5 or more at any one of the wavelength regions of 400 nm or more and more preferably does not contain a compound exhibiting a gravimetric extinction coefficient of 1 or more.

광중합 개시제(A)가 400 nm 이상의 파장 영역 중 어느 하나의 파장에서 10 이상의 그램 흡광 계수를 나타내는 화합물을 포함하는 경우, 감광성 조성물의 투광성이 낮은 경향이 있다.When the photopolymerization initiator (A) contains a compound exhibiting a gravimetric extinction coefficient of 10 or more at any one of the wavelength regions of 400 nm or more, the light transmittance of the photosensitive composition tends to be low.

이 때문에, 감광성 조성물로서의 감도가 저하되거나, 하프톤 노광에 의해서 원하는 높이를 가지는 패턴을 형성하기 어렵거나 하는 경우가 있다.For this reason, the sensitivity as a photosensitive composition may be lowered, or it may be difficult to form a pattern having a desired height by halftone exposure.

그러나, 상기의 감광성 조성물은 광중합 개시제(A)로서, 400 nm 이상의 파장 영역 중 어느 하나의 파장에서 10 이상의 그램 흡광 계수를 나타내는 화합물을 포함하지 않기 때문에 투광성이 뛰어나다. 그 결과, 노광 광을 충분히 이용하기 쉽고, 하프톤 노광에 의해서 원하는 높이를 가지는 패턴을 형성하기 쉽다.However, the above-mentioned photosensitive composition is excellent in light transmittance because it does not contain a compound exhibiting a light absorption coefficient of 10 or more at any wavelength out of a wavelength range of 400 nm or more as a photopolymerization initiator (A). As a result, it is easy to sufficiently utilize the exposure light, and it is easy to form a pattern having a desired height by the halftone exposure.

또, 감광성 조성물을 감광성 접착제로서 사용하는 경우, 감광성 접착제가 두껍게 도포되는 경우가 많다. 그러나, 광중합 개시제(A)를 포함하는 감광성 조성물로 이루어진 감광성 접착제는 상기와 같이, 투광성이 뛰어나기 때문에, 두껍게 도포되어도 감광성 접착제가 양호하게 경화된다.Further, when the photosensitive composition is used as a photosensitive adhesive, the photosensitive adhesive is often applied in a large thickness. However, since the photosensitive adhesive composed of the photosensitive composition containing the photopolymerization initiator (A) has excellent light transmittance as described above, the photosensitive adhesive is cured well even when it is thickly coated.

또, 상기의 감광성 조성물을 이용하여 하프톤 노광에 의해서 패턴을 형성하는 경우, 형성되는 패턴에서, 풀톤 노광부와 하프톤 노광부에 충분히 높이의 차이를 내기 쉽다.When a pattern is formed by halftone exposure using the photosensitive composition described above, a sufficient height difference between the FT-exposed portion and the halftone exposed portion can easily be obtained in the formed pattern.

표시용 패널 상에 블랙 컬럼 스페이서를 형성하는 경우, 블랙 컬럼 스페이서가 형성되는 면에 TFT 등이 배치되어 있는 경우가 있다. 이 경우, TFT의 높이를 고려하여, 풀톤부와 하프톤부를 가지는 마스크를 이용해 하프톤 노광을 실시해, 높이가 상이한 블랙 컬럼 스페이서를 한 번의 노광으로 형성하는 것이 바람직하다.When a black column spacer is formed on a display panel, a TFT or the like may be disposed on the surface on which the black column spacer is formed. In this case, considering the height of the TFT, it is preferable to perform halftone exposure using a mask having a full tone part and a half tone part, and to form the black column spacer having different heights by one exposure.

이 때문에, 상기의 감광성 조성물은 하프톤 노광에 의한 높이가 상이한 블랙 컬럼 스페이서의 형성에 있어 적합하게 이용된다.For this reason, the photosensitive composition is suitably used for forming black column spacers differing in height by halftone exposure.

상기와 같이, 광중합 개시제(A)는 2종 이상의 광중합 개시제를 조합하여 포함한다. 단, 상술한 바와 같이, 광중합 개시제(A)는 2종 이상의 옥심에스테르 화합물을 필수로 포함한다. 광중합 개시제(A)에 포함되는 각 광중합 개시제의 함유량은 본 발명의 목적을 저해하지 않는 범위에서 특별히 한정되지 않는다.As described above, the photopolymerization initiator (A) includes a combination of two or more photopolymerization initiators. However, as described above, the photopolymerization initiator (A) essentially comprises two or more oxime ester compounds. The content of each photopolymerization initiator contained in the photopolymerization initiator (A) is not particularly limited within the range not hindering the object of the present invention.

광중합 개시제(A)의 질량에 대한 각 광중합 개시제의 함유량의 비율은 1 질량% 이상이 바람직하고, 5 질량% 이상이 보다 바람직하며, 10 질량% 이상이 더욱 바람직하고, 20 질량% 이상이 특히 바람직하다.The ratio of the content of each photopolymerization initiator to the mass of the photopolymerization initiator (A) is preferably 1% by mass or more, more preferably 5% by mass or more, further preferably 10% by mass or more, and particularly preferably 20% Do.

또, 광중합 개시제(A)의 질량에 대한 각 광중합 개시제의 함유량의 비율은 99 질량% 이하가 바람직하고, 95 질량% 이하가 보다 바람직하며, 90 질량% 이하가 더욱 바람직하고, 80 질량% 이하가 특히 바람직하다.The ratio of the content of each photopolymerization initiator to the mass of the photopolymerization initiator (A) is preferably 99 mass% or less, more preferably 95 mass% or less, even more preferably 90 mass% or less, and 80 mass% Particularly preferred.

또, 광중합 개시제(A)의 질량에 대한, λmax-r를 가지는 옥심에스테르 화합물의 함유량의 비율은 1 질량% 이상 99 질량% 이하가 바람직하고, 5 질량% 이상 95 질량% 이하가 보다 바람직하며, 10 질량% 이상 90 질량% 이하가 더욱 바람직하고, 15 질량% 이상 80 질량% 이하가 특히 바람직하다.The ratio of the content of the oxime ester compound having? Max-r to the mass of the photopolymerization initiator (A) is preferably 1% by mass or more and 99% by mass or less, more preferably 5% by mass or more and 95% , More preferably 10 mass% or more and 90 mass% or less, and particularly preferably 15 mass% or more and 80 mass% or less.

광중합 개시제(A)의 질량에 대한, λmax-b를 가지는 옥심에스테르 화합물의 함유량의 비율은 1 질량% 이상 99 질량% 이하가 바람직하고, 5 질량% 이상 95 질량% 이하가 보다 바람직하며, 10 질량% 이상 90 질량% 이하가 더욱 바람직하고, 20 질량% 이상 85 질량% 이하가 특히 바람직하다.The ratio of the content of the oxime ester compound having? Max-b to the mass of the photopolymerization initiator (A) is preferably from 1% by mass to 99% by mass, more preferably from 5% by mass to 95% by mass, More preferably not less than 90% by mass, and particularly preferably not less than 20% by mass and not more than 85% by mass.

광중합 개시제(A)의 질량에 대한, λmax-r 및 λmax-b에 해당하지 않는 극대 파장을 320 nm 이상 400 nm 미만의 범위에 가지는 다른 옥심에스테르 개시제의 함유량의 비율은 0 질량% 이상 98 질량% 이하가 바람직하고, 0 질량% 이상 90 질량% 이하가 보다 바람직하며, 0 질량% 이상 80 질량% 이하가 더욱 바람직하고, 0 질량% 이상 65 질량% 이하가 특히 바람직하다.The ratio of the content of other oxime ester initiators having a maximum wavelength not greater than? Max-r and? Max-b in the range of from 320 nm to less than 400 nm with respect to the mass of the photopolymerization initiator (A) is 0 mass% More preferably 0 mass% or more and 90 mass% or less, still more preferably 0 mass% or more and 80 mass% or less, and particularly preferably 0 mass% or more and 65 mass% or less.

광중합 개시제(A)가 제1 옥심에스테르 화합물과, 제2 옥심에스테르 화합물로 이루어진 경우, 제1 옥심에스테르 화합물의 질량 M1과, 제2 옥심에스테르 화합물의 질량 M2의 비율 M1/M2는 1/9 이상 9/1 이하가 바람직하고, 2/8 이상 8/2 이하가 보다 바람직하며, 3/7 이상 7/3 이하가 특히 바람직하다.When the photopolymerization initiator (A) is composed of the first oxime ester compound and the second oxime ester compound, the ratio M1 / M2 of the mass M1 of the first oxime ester compound and the mass M2 of the second oxime ester compound is 1/9 or more More preferably not less than 9/1, more preferably not less than 2/8 and not more than 8/2, and particularly preferably not less than 3/7 and not more than 7/3.

이하, 감광성 조성물에 포함되는 각 성분에 대해 설명한다.Hereinafter, each component contained in the photosensitive composition will be described.

<광중합 개시제(A)>≪ Photopolymerization initiator (A) >

상술한 바와 같이, 광중합 개시제(A)는 흡광 스펙트럼에서, 320 nm 이상 400 nm 미만의 파장 영역에서 피크를 가지는 옥심에스테르 화합물을 2종 이상 포함한다.As described above, the photopolymerization initiator (A) contains two or more kinds of oxime ester compounds having a peak in the wavelength range of 320 nm or more and less than 400 nm in the absorption spectrum.

또, 광중합 개시제(A)는 400 nm 이상의 파장 영역 중 어느 하나의 파장에서 10 이상의 그램 흡광 계수를 나타내는 화합물을 포함하지 않는다.The photopolymerization initiator (A) does not contain a compound exhibiting a gravimetric extinction coefficient of 10 or more at any one of the wavelength regions of 400 nm or more.

광중합 개시제(A)는 옥심에스테르 화합물 이외의 그 밖의 광중합 개시제를 포함하고 있어도 된다. 광중합 개시제(A)에서의 옥심에스테르 화합물의 양은 50 질량% 이상이 바람직하고, 70 질량% 이상이 보다 바람직하며, 80 질량% 이상이 더욱 바람직하고, 90 질량% 이상이 보다 더 바람직하고, 95 질량% 이상이 특히 바람직하고, 100 질량%가 가장 바람직하다.The photopolymerization initiator (A) may contain other photopolymerization initiators other than oxime ester compounds. The amount of the oxime ester compound in the photopolymerization initiator (A) is preferably 50 mass% or more, more preferably 70 mass% or more, further preferably 80 mass% or more, further preferably 90 mass% or more, Or more, particularly preferably 100% by mass or more.

광중합 개시제(A)가 옥심에스테르 화합물 이외의 그 밖의 광중합 개시제를 포함하는 경우, 광중합 개시제(A)는 그 외 광중합 개시제를 2종 이상 조합하여 포함하고 있어도 된다.When the photopolymerization initiator (A) contains other photopolymerization initiators other than oxime ester compounds, the photopolymerization initiator (A) may contain two or more kinds of other photopolymerization initiators.

옥심에스테르 화합물 이외의 그 밖의 광중합 개시제는 주지의 광중합 개시제로서, 400 nm 이상의 파장 영역 중 어느 하나의 파장에서 10 이상의 그램 흡광 계수를 나타내는 화합물을 이용할 수 있다.Other photopolymerization initiators other than the oxime ester compound are known photopolymerization initiators, and compounds having a light absorption coefficient of 10 or more at any one of the wavelength regions of 400 nm or more can be used.

옥심에스테르 화합물 이외의 주지의 광중합 개시제의 구체예로는 1-히드록시시클로헥실페닐케톤, 2-히드록시-2-메틸-1-페닐프로판-1-온, 1-[4-(2-히드록시에톡시)페닐]-2-히드록시-2-메틸-1-프로판-1-온, 1-(4-이소프로필페닐)-2-히드록시-2-메틸프로판-1-온, 1-(4-도데실페닐)-2-히드록시-2-메틸프로판-1-온, 2,2-디메톡시-1,2-디페닐에탄-1-온, 비스(4-디메틸아미노페닐)케톤, 2-메틸-1-[4-(메틸티오)페닐]-2-모르폴리노프로판-1-온, 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부탄-1-온, 2,4,6-트리메틸벤조일디페닐포스핀옥시드, 4-벤조일-4'-메틸디메틸술피드, 4-디메틸아미노벤조산, 4-디메틸아미노벤조산메틸, 4-디메틸아미노벤조산에틸, 4-디메틸아미노벤조산부틸, 4-디메틸아미노-2-에틸헥실벤조산, 4-디메틸아미노-2-이소아밀벤조산, 벤질-β-메톡시에틸아세탈, 벤질디메틸케탈, o-벤조일벤조산메틸, 2,4-디에틸티옥산톤, 2-클로로티옥산톤, 2,4-디메틸티옥산톤, 1-클로로-4-프로폭시티옥산톤, 티옥산텐, 2-클로로티옥산텐, 2,4-디에틸티옥산텐, 2-메틸티옥산텐, 2-이소프로필티옥산텐, 2-에틸안트라퀴논, 옥타메틸안트라퀴논, 1,2-벤즈안트라퀴논, 2,3-디페닐안트라퀴논, 아조비스이소부티로니트릴, 벤조일퍼옥시드, 쿠멘히드로퍼옥시드, 2-머캅토벤조이미다졸, 2-머캅토벤조옥사졸, 2-머캅토벤조티아졸, 2-(o-클로로페닐)-4,5-디페닐이미다졸 2량체, 2-(o-클로로페닐)-4,5-디(메톡시페닐)이미다졸 2량체, 2-(o-플루오로페닐)-4,5-디페닐이미다졸 2량체, 2-(o-메톡시페닐)-4,5-디페닐이미다졸 2량체, 2-(p-메톡시페닐)-4,5-디페닐이미다졸 2량체, 2,4,5-트리아릴이미다졸 2량체, 벤조페논, 2-클로로벤조페논, 4,4'-비스디메틸아미노벤조페논(즉, 미힐러케톤), 4,4'-비스디에틸아미노벤조페논(즉, 에틸미힐러케톤), 4,4'-디클로로벤조페논, 3,3-디메틸-4-메톡시벤조페논, 벤질, 벤조인, 벤조인메틸에테르, 벤조인에틸에테르, 벤조인이소프로필에테르, 벤조인-n-부틸에테르, 벤조인이소부틸에테르, 벤조인부틸에테르, 아세토페논, 2,2-디에톡시아세토페논, p-디메틸아세토페논, p-디메틸아미노프로피오페논, 디클로로아세토페논, 트리클로로아세토페논, p-tert-부틸아세토페논, p-디메틸아미노아세토페논, p-tert-부틸트리클로로아세토페논, p-tert-부틸디클로로아세토페논, α,α-디클로로-4-페녹시아세토페논, 티옥산톤, 2-메틸티옥산톤, 2-이소프로필티옥산톤, 디벤조스베론, 펜틸-4-디메틸아미노벤조에이트, 9-페닐아크리딘, 1,7-비스-(9-아크리디닐)헵탄, 1,5-비스-(9-아크리디닐)펜탄, 1,3-비스-(9-아크리디닐)프로판, p-메톡시트리아진, 2,4,6-트리스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-메틸-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-[2-(5-메틸푸란-2-일)에테닐]-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-[2-(푸란-2-일)에테닐]-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-[2-(4-디에틸아미노-2-메틸페닐)에테닐]-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-[2-(3,4-디메톡시페닐)에테닐]-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(4-메톡시페닐)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(4-에톡시스티릴)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(4-n-부톡시페닐)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2,4-비스-트리클로로메틸-6-(3-브로모-4-메톡시)페닐-s-트리아진, 2,4-비스-트리클로로메틸-6-(2-브로모-4-메톡시)페닐-s-트리아진, 2,4-비스-트리클로로메틸-6-(3-브로모-4-메톡시)스티릴페닐-s-트리아진, 2,4-비스-트리클로로메틸-6-(2-브로모-4-메톡시)스티릴페닐-s-트리아진 등을 들 수 있다.Specific examples of well-known photopolymerization initiators other than the oxime ester compound include 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, 1- [4- 1- (4-isopropylphenyl) -2-hydroxy-2-methylpropan-1-one, 1- 2-methylpropan-1-one, 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethane-1-one, bis (4-dimethylaminophenyl) ketone 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropane- Trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, 4-benzoyl-4'-methyldimethylsulfide, 4-dimethylaminobenzoic acid, methyl 4-dimethylaminobenzoate, ethyl 4-dimethylaminobenzoate, Dimethylamino-2-ethylhexylbenzoic acid, 4-dimethylamino-2-isoamylbenzoic acid, benzyl- beta -methoxyethyl acetal, benzyldimethyl Ketoxylic acid, ketal, methyl o-benzoylbenzoate, 2,4-diethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2,4-dimethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthene, 2,4-diethylthioxanthene, 2-methylthioxanthene, 2-isopropylthioxanthene, 2-ethyl anthraquinone, octamethylanthraquinone, , 2,3-diphenylanthraquinone, azobisisobutyronitrile, benzoyl peroxide, cumene hydroperoxide, 2-mercaptobenzoimidazole, 2-mercaptobenzoxazole, 2-mercaptobenzothiazole, 2- (o-chlorophenyl) -4,5-di (methoxyphenyl) imidazole dimer, 2- (o- (O-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (p-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- , 5-diphenylimidazole dimer, 2,4,5-triarylimidazole dimer, benzophenone, 2-chlorobenzophenone, 4,4'-bisdimethylaminobenzophenone (that is, Ton), 4,4'-bisdiethylaminobenzophenone (i.e., ethyl Michler's ketone), 4,4'-dichlorobenzophenone, 3,3-dimethyl-4-methoxybenzophenone, benzyl, benzoin, Benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin-n-butyl ether, benzoin isobutyl ether, benzoin butyl ether, acetophenone, 2,2-diethoxyacetophenone, p-dimethyl Acetophenone, p-dimethylaminopropiophenone, dichloroacetophenone, trichloroacetophenone, p-tert-butyl acetophenone, p-dimethylaminoacetophenone, p-tert- butyltrichloroacetophenone, p- Dichloroacetophenone,?,? -Dichloro-4-phenoxyacetophenone, thioxanthone, 2-methylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, dibenzosuberone, pentyl- (9-acridinyl) heptane, 1,5-bis- (9-acridinyl) pentane, 1,3-bis- Propane, p-methoxy Triazine, 2,4,6-tris (trichloromethyl) -s-triazine, 2-methyl-4,6-bis (trichloromethyl) 2-yl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- Methyl) -s-triazine, 2- [2- (4-diethylamino-2-methylphenyl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) (Trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-methoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s (Trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-n-butoxyphenyl) -4,6-bis (trichloro (3-bromo-4-methoxy) phenyl-s-triazine, 2,4-bis-trichloromethyl- - (2-bromo-4-methoxy) phenyl-s-triazine, 2,4-bis- trichloromethyl-6- , 2,4-bis-trichloromethane 6 and the like (2-bromo-4-methoxy) styryl phenyl -s- triazine.

그 밖의 광중합 개시제는 400 nm 이상의 파장 영역에서의 그램 흡광 계수를 측정한 후, 이들 화합물군으로부터 선택할 수 있다.Other photopolymerization initiators can be selected from these groups of compounds after measuring the gram extinction coefficient in the wavelength region of 400 nm or more.

광중합 개시제(A)에서의 복수의 옥심에스테르 화합물의 조합은 광중합 개시제(A)에 대한 전술한 조건을 만족시키는 한 특별히 한정되지 않는다.The combination of a plurality of oxime ester compounds in the photopolymerization initiator (A) is not particularly limited as long as the above-mentioned conditions for the photopolymerization initiator (A) are satisfied.

바람직한 옥심에스테르 화합물의 조합으로는, 후술하는 식 (a1)로 표시되는 옥심에스테르 화합물(A1)과, 후술하는 식 (a2)로 표시되는 옥심에스테르 화합물(A2)의 조합을 들 수 있다.A preferred combination of the oxime ester compound is a combination of the oxime ester compound (A1) represented by the formula (a1) described below and the oxime ester compound (A2) represented by the formula (a2) described later.

광중합 개시제(A)는 1종 또는 2종 이상의 옥심에스테르 화합물(A1)과, 1종 또는 2종 이상의 옥심에스테르 화합물(A2)을 포함하고 있어도 된다.The photopolymerization initiator (A) may contain one or more oxime ester compounds (A1) and one or more oxime ester compounds (A2).

이하, 옥심에스테르 화합물(A1)과 옥심에스테르 화합물(A2)에 대해서 설명한다.Hereinafter, the oxime ester compound (A1) and the oxime ester compound (A2) will be described.

[옥심에스테르 화합물(A1)][Oxime ester compound (A1)]

옥심에스테르 화합물(A1)은 하기 식 (a1):The oxime ester compound (A1) is represented by the following formula (a1):

[화 1]However,

Figure pat00001
Figure pat00001

(식 (a1) 중, R1은 1가의 유기기이며, R2는 치환기를 가져도 되는 탄화수소기, 또는 치환기를 가져도 되는 헤테로시크릴기이며, R3은 1가의 유기기이며, R4는 1가의 유기기이며, R5 및 R6은 각각 독립적으로 치환기를 가져도 되는 벤젠환, 또는 치환기를 가져도 되는 나프탈렌환이며, m1, m2 및 m3은 각각 0 또는 1이다.)(In the formula (a1), R 1 is a monovalent organic group, R 2 is a hydrocarbon group which may have a substituent, or a heterocyclyl group which may have a substituent, R 3 is a monovalent organic group, and R 4 R 5 and R 6 are each independently a benzene ring which may have a substituent or a naphthalene ring which may have a substituent and m 1, m 2 and m 3 are each 0 or 1.)

로 표시되고, 하기 (1)~(3):(1) to (3):

(1) R1이 -OR7로 표시되는 기를 포함하고, R7이 할로게노알킬기이다.(1) R 1 includes a group represented by -OR 7 , and R 7 is a halogenoalkyl group.

(2) m2가 1이며, R4가 -OR7로 표시되는 기를 포함하고, R7이 할로게노알킬기이다.(2) m2 is 1, R 4 comprises a group represented by -OR 7 , and R 7 is a halogenoalkyl group.

(3) R3이 치환기를 가져도 되는 분기쇄상 알킬기이다.(3) R 3 is a branched chain alkyl group which may have a substituent.

중 적어도 1개의 조건을 만족시키는 화합물이다.≪ / RTI >

식 (a1) 중, R5 및 R6은 치환기를 가져도 되는 벤젠환, 또는 치환기를 가져도 되는 나프탈렌환이다.In formula (a1), R 5 and R 6 are a benzene ring which may have a substituent or a naphthalene ring which may have a substituent.

식 (a1) 중에 나타내는 R3에 결합하는 질소 원자를 포함하는 환과, 벤젠환, 또는 나프탈렌환은, 벤젠환, 또는 나프탈렌환 중의 임의의 탄소-탄소 결합을 공유함으로써 축합한다.The ring containing the nitrogen atom bonded to R 3 in the formula (a1), the benzene ring or the naphthalene ring is condensed by sharing any carbon-carbon bond in the benzene ring or the naphthalene ring.

이 때문에, 식 (a1) 중의, R3에 결합하는 질소 원자를 포함하는 환은, 질소 원자와, R5에 유래하는 2개의 탄소 원자와, R6에 유래하는 2개의 탄소 원자를 환 구성 원자로 하는 5원환이다.Therefore, in the formula (a1), the ring containing the nitrogen atom bound to R 3 is a ring-constituting atom in which a nitrogen atom, two carbon atoms derived from R 5 , and two carbon atoms derived from R 6 Five-membered ring.

즉, 식 (a1)로 표시되는 화합물은 R5 및 R6과, 상기의 5원환으로 이루어진 3환식으로부터 5환식의 축합환을 중심 골격으로서 갖는다.That is, the compound represented by the formula (a1) has R 5 and R 6 and a triple to five-membered condensed ring composed of the above-mentioned 5-membered rings as a central skeleton.

R5 및/또는 R6이 나프탈렌환인 경우, R3에 결합하는 질소 원자를 포함하는 상기의 5원환과, 나프탈렌환의 축합의 형태는 특별히 한정되지 않는다.When R 5 and / or R 6 is a naphthalene ring, the form of the condensation of the naphthalene ring with the above-mentioned 5-membered ring containing a nitrogen atom bonded to R 3 is not particularly limited.

R5 및 R6 중 적어도 한쪽이 나프탈렌환인 경우, R5 및 R6과, R3에 결합하는 질소 원자를 포함하는 상기의 5원환으로 이루어진 축합환은 이하의 어느 것이어도 된다.When at least one of R 5 and R 6 is a naphthalene ring, the condensed ring composed of the above-mentioned 5-membered ring containing R 5 and R 6 and a nitrogen atom bonded to R 3 may be any of the following.

[화 2][Figure 2]

Figure pat00002
Figure pat00002

R5 및 R6으로서의 벤젠환 또는 나프탈렌환이 치환기를 가지는 경우, 상기 치환기의 종류 및 수는 본 발명의 목적을 저해하지 않는 범위에서 특별히 한정되지 않는다.When the benzene ring or naphthalene ring as R 5 and R 6 has a substituent, the kind and number of the substituent are not particularly limited as long as they do not impair the object of the present invention.

치환기의 적합한 예로는 탄소 원자수 1 이상 6 이하의 알킬기, 탄소 원자수 1 이상 6 이하의 알콕시기, 탄소 원자수 2 이상 7 이하의 포화 지방족 아실기, 탄소 원자수 2 이상 7 이하의 알콕시카르보닐기, 탄소 원자수 2 이상 7 이하의 포화 지방족 아실옥시기, 탄소 원자수 1 이상 6 이하의 알킬기를 가지는 모노알킬아미노기, 탄소 원자수 1 이상 6 이하의 알킬기를 가지는 디알킬아미노기, 모르폴린-1-일기, 피페라진-1-일기, 할로겐 원자 및 시아노기 등을 들 수 있다.Suitable examples of the substituent include an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms, a saturated aliphatic acyl group having 2 to 7 carbon atoms, an alkoxycarbonyl group having 2 to 7 carbon atoms, A saturated aliphatic acyloxy group having 2 to 7 carbon atoms, a monoalkylamino group having an alkyl group of 1 to 6 carbon atoms, a dialkylamino group having an alkyl group of 1 to 6 carbon atoms, a morpholin-1-yl group , A piperazin-1-yl group, a halogen atom and a cyano group.

R5 및 R6으로서의 벤젠환 또는 나프탈렌환이 치환기를 가지는 경우, 그 치환기의 수는 본 발명의 목적을 저해하지 않는 범위에서 한정되지 않고, 1 이상 4 이하가 바람직하다. 치환기가 복수인 경우, 복수의 치환기는 동일해도 상이해도 된다.When the benzene ring or naphthalene ring as R 5 and R 6 has a substituent, the number of the substituent is not limited to the range not hindering the object of the present invention, and is preferably 1 or more and 4 or less. When plural substituents are present, plural substituents may be the same or different.

R5가 치환기를 가지는 경우, R5가 가지는 치환기와, R1 또는 R3이 결합하여 환을 형성해도 된다.When R 5 has a substituent, the substituent of R 5 may be combined with R 1 or R 3 to form a ring.

또, R6이 치환기를 가지는 경우, R6이 가지는 치환기와, R3이 결합하여 환을 형성해도 된다.When R 6 has a substituent, the substituent of R 6 may be combined with R 3 to form a ring.

R5가 가지는 치환기와, R1이 결합해 형성되는 환은 탄화수소환이어도 되고, 복소환이어도 된다. 상기 복소환에 포함되는 헤테로 원자는 특별히 한정되지 않는다. 바람직한 헤테로 원자로는 N, O, S 등을 들 수 있다.The substituent of R 5 and the ring formed by combining R 1 may be a hydrocarbon ring or a heterocyclic ring. The hetero atom contained in the heterocyclic ring is not particularly limited. Preferred heteroatoms include N, O, S, and the like.

R5 및/또는 R6이 가지는 치환기와, R3이 결합해 형성되는 환은 R3과 결합하는 질소 원자 이외에, 그 밖의 헤테로 원자를 포함하고 있어도 된다. 상기 복소환에 포함되는 헤테로 원자는 특별히 한정되지 않는다. 바람직한 헤테로 원자로는 N, O, S 등을 들 수 있다.The ring formed by combining the substituent group of R 5 and / or R 6 with R 3 may contain other heteroatoms in addition to the nitrogen atom bonded to R 3 . The hetero atom contained in the heterocyclic ring is not particularly limited. Preferred heteroatoms include N, O, S, and the like.

R5가 가지는 치환기 또는 R6이 가지는 치환기와, R3이 결합하여 환을 형성하는 경우, 식 (a1)로 표시되는 화합물로는, 하기 식 (a1-1-a)~(a1-1-h):And the substituent or substituents R 6 is R 5 having having, R 3 form a ring if this bond, a compound represented by the formula (a1), the formula (a1-1-a) ~ (a1-1- h):

[화 3][Figure 3]

Figure pat00003
Figure pat00003

(식 (a1-1-a)~(a1-1-h)에서, R1, R2, R4, m1, m2 및 m3은 식 (a1)과 동일하고, R8은 알킬기이다.)(Formula (a1-1-a) ~ (h in-a1-1), R 1, R 2, R 4, m1, m2 and m3 are the same, and the formula (a1), R 8 is an alkyl group.)

로 표시되는 화합물이 바람직하다.Are preferred.

R8로서의 알킬기는 직쇄상이어도 분기쇄상이어도 된다. R7로서의 알킬기의 탄소 원자수는 특별히 한정되지 않고, 1 이상 20 이하가 바람직하고, 1 이상 10 이하가 보다 바람직하다.The alkyl group as R 8 may be straight chain or branched chain. The number of carbon atoms of the alkyl group as R 7 is not particularly limited and is preferably 1 or more and 20 or less, more preferably 1 or more and 10 or less.

R5가 가지는 치환기와, R1이 결합하여 환을 형성하는 경우, 식 (a1)에서, m1이 0인 것이 바람직하다. 이 경우, 식 (a1)로 표시되는 화합물은 하기 식 (a1-1-i)~(a1-1-l):When a substituent of R 5 is bonded to R 1 to form a ring, m 1 is preferably 0 in formula (a1). In this case, the compound represented by the formula (a1) is a compound represented by the following formulas (a1-1-i) to (a1-1-l)

[화 4][Figure 4]

Figure pat00004
Figure pat00004

(식 (a1-1-i)~(a1-1-l)에서, R2, R3, R4, m2 및 m3은 식 (a1)과 동일하고, R8은 탄소 원자수 1 이상 20 이하의 알킬기이다.)(Wherein R 2 , R 3 , R 4 , m 2 and m 3 are the same as in formula (a1), and R 8 is an alkylene group having 1 to 20 carbon atoms Lt; / RTI >

로 표시되는 화합물이 바람직하다. R8로서의 알킬기는 직쇄상이어도 분기쇄상이어도 된다.Are preferred. The alkyl group as R 8 may be straight chain or branched chain.

이상 설명한 R5 및 R6의 바람직한 조합을 고려하여, 식 (a1)로 표시되는 화합물로는, 하기 식 (a1-I)~(a1-IV):By considering the above described preferred combination of R 5 and R 6, the compound represented by the formula (a1) is of formula (I-a1) ~ (IV-a1):

[화 5][Figure 5]

Figure pat00005
Figure pat00005

(식 (a1-I)~(a1-IV)에서, R1, R2, R3, R4, m1, m2 및 m3은 식 (a1)과 동일하다.)(Wherein (a1-I) ~ (from a1-IV), R 1, R 2, R 3, R 4, m1, m2 and m3 is the same as the formula (a1).)

로 표시되는 화합물이 바람직하고, 식 (a1-II), 또는 식 (a1-III)로 표시되는 화합물이 보다 바람직하며, 식 (a1-III)로 표시되는 화합물이 특히 바람직하다.Is more preferably a compound represented by formula (a1-II) or a compound represented by formula (a1-III), and particularly preferably a compound represented by formula (a1-III).

상기 식 (a1-I)~(a1-IV)로 표시되는 화합물로는, 하기 식 (a1-I-a)~(a1-IV-a)로 표시되는 화합물이 바람직하고, 식 (a1-II-a) 또는 식 (a1-III-a)로 표시되는 화합물이 보다 바람직하며, 식 (a1-III-a)로 표시되는 화합물이 특히 바람직하다.The compounds represented by the above formulas (a1-I) to (a1-IV) are preferably compounds represented by the following formulas (a1-Ia) to (a1-IV- ) Or a compound represented by the formula (a1-III-a) is more preferable, and a compound represented by the formula (a1-III-a) is particularly preferable.

[화 6][6]

Figure pat00006
Figure pat00006

상기 식 (a1-I-a)~(a1-IV-a)로 표시되는 화합물로는, 하기 식 (a1-I-b)~(a1-IV-b)로 표시되는 화합물이 바람직하고, 식 (a1-II-b), 또는 식 (a1-III-b)로 표시되는 화합물이 보다 바람직하며, 식 (a1-III-b)로 표시되는 화합물이 특히 바람직하다.The compounds represented by the above formulas (a1-Ia) to (a1-IV-a) are preferably compounds represented by the following formulas (a1-Ib) to (a1-IV- -b), or a compound represented by the formula (a1-III-b) is more preferable, and a compound represented by the formula (a1-III-b) is particularly preferable.

[화 7][Figure 7]

Figure pat00007
Figure pat00007

R1로서 적합한 1가의 유기기의 예로는 알킬기, 알콕시기, 시클로알킬기, 시클로알콕시기, 포화 지방족 아실기, 알콕시카르보닐기, 포화 지방족 아실옥시기, 치환기를 가져도 되는 페닐기, 치환기를 가져도 되는 페녹시기, 치환기를 가져도 되는 벤조일기, 치환기를 가져도 되는 페녹시카르보닐기, 치환기를 가져도 되는 벤조일옥시기, 치환기를 가져도 되는 페닐알킬기, 치환기를 가져도 되는 나프틸기, 치환기를 가져도 되는 나프톡시기, 치환기를 가져도 되는 나프토일기, 치환기를 가져도 되는 나프톡시카르보닐기, 치환기를 가져도 되는 나프토일옥시기, 치환기를 가져도 되는 나프틸알킬기, 치환기를 가져도 되는 헤테로시크릴기, 치환기를 가져도 되는 헤테로시크릴카르보닐기, 1 또는 2의 유기기로 치환된 아미노기, 모르폴린-1-일기 및 피페라진-1-일기 등을 들 수 있다.Examples of suitable monovalent organic groups suitable as R 1 include an alkyl group, an alkoxy group, a cycloalkyl group, a cycloalkoxy group, a saturated aliphatic acyl group, an alkoxycarbonyl group, a saturated aliphatic acyloxy group, a phenyl group which may have a substituent, A benzoyl group which may have a substituent, a phenoxycarbonyl group which may have a substituent, a benzoyloxy group which may have a substituent, a phenylalkyl group which may have a substituent, a naphthyl group which may have a substituent, a naphthyl group which may have a substituent A naphthoyl group which may have a substituent, a naphthoxycarbonyl group which may have a substituent, a naphthoyloxy group which may have a substituent, a naphthylalkyl group which may have a substituent, a heterocyclyl group which may have a substituent, A heterocyclylcarbonyl group which may have a substituent, an amino group substituted by an organic group of 1 or 2, a morpholin-1-yl group and a piperazin-1- Diary, and the like.

R1이 알킬기인 경우, 알킬기의 탄소 원자수는 1 이상 20 이하가 바람직하고, 1 이상 6 이하가 보다 바람직하다. 또, R1이 알킬기인 경우, 직쇄이어도 분기쇄이어도 된다. R1이 알킬기인 경우의 구체예로는 메틸기, 에틸기, n-프로필기, 이소프로필기, n-부틸기, 이소부틸기, sec-부틸기, tert-부틸기, n-펜틸기, 이소펜틸기, sec-펜틸기, tert-펜틸기, n-헥실기, n-헵틸기, n-옥틸기, 이소옥틸기, sec-옥틸기, tert-옥틸기, n-노닐기, 이소노닐기, n-데실기 및 이소데실기 등을 들 수 있다. 또, R1이 알킬기인 경우, 알킬기는 탄소쇄 중에 에테르 결합(-O-)을 포함하고 있어도 된다. 탄소쇄 중에 에테르 결합을 가지는 알킬기의 예로는, 메톡시에틸기, 에톡시에틸기, 메톡시에톡시에틸기, 에톡시에톡시에틸기, 프로필옥시에톡시에틸기 및 메톡시프로필기 등을 들 수 있다.When R 1 is an alkyl group, the number of carbon atoms of the alkyl group is preferably 1 or more and 20 or less, and more preferably 1 or more and 6 or less. When R 1 is an alkyl group, it may be a straight chain or a branched chain. Specific examples of when R 1 is an alkyl group include alkyl groups such as methyl, ethyl, n-propyl, isopropyl, n-butyl, isobutyl, sec- N-hexyl, n-heptyl, n-octyl, isooctyl, sec-octyl, tert-octyl, n-nonyl, isononyl, n-hexyl, - decyl group and isodecyl group. When R 1 is an alkyl group, the alkyl group may contain an ether bond (-O-) in the carbon chain. Examples of the alkyl group having an ether bond in the carbon chain include a methoxyethyl group, an ethoxyethyl group, a methoxyethoxyethyl group, an ethoxyethoxyethyl group, a propyloxyethoxyethyl group, and a methoxypropyl group.

R1이 알콕시기인 경우, 알콕시기의 탄소 원자수는 1 이상 20 이하가 바람직하고, 1 이상 6 이하가 보다 바람직하다. 또, R1이 알콕시기인 경우, 직쇄이어도 분기쇄이어도 된다. R1이 알콕시기인 경우의 구체예로는 메톡시기, 에톡시기, n-프로필옥시기, 이소프로필옥시기, n-부틸옥시기, 이소부틸옥시기, sec-부틸옥시기, tert-부틸옥시기, n-펜틸옥시기, 이소펜틸옥시기, sec-펜틸옥시기, tert-펜틸옥시기, n-헥실옥시기, n-헵틸옥시기, n-옥틸옥시기, 이소옥틸옥시기, sec-옥틸옥시기, tert-옥틸옥시기, n-노닐옥시기, 이소노닐옥시기, n-데실옥시기 및 이소데실옥시기 등을 들 수 있다. 또, R1이 알콕시기인 경우, 알콕시기는 탄소쇄 중에 에테르 결합(-O-)을 포함하고 있어도 된다. 탄소쇄 중에 에테르 결합을 가지는 알콕시기의 예로는 메톡시에톡시기, 에톡시에톡시기, 메톡시에톡시에톡시기, 에톡시에톡시에톡시기, 프로필옥시에톡시에톡시기 및 메톡시프로필옥시기 등을 들 수 있다.When R 1 is an alkoxy group, the number of carbon atoms of the alkoxy group is preferably 1 or more and 20 or less, more preferably 1 or more and 6 or less. When R 1 is an alkoxy group, a straight chain or branched chain may be used. Specific examples of when R 1 is an alkoxy group include methoxy, ethoxy, n-propyloxy, isopropyloxy, n-butyloxy, isobutyloxy, sec- , n-pentyloxy group, isopentyloxy group, sec-pentyloxy group, tert-pentyloxy group, n-hexyloxy group, n-heptyloxy group, n-octyloxy group, isooctyloxy group, Tert-octyloxy group, n-nonyloxy group, isononyloxy group, n-decyloxy group and isodecyloxy group. When R 1 is an alkoxy group, the alkoxy group may contain an ether bond (-O-) in the carbon chain. Examples of the alkoxy group having an ether bond in the carbon chain include a methoxyethoxy group, an ethoxyethoxy group, a methoxyethoxyethoxy group, an ethoxyethoxyethoxy group, a propoxyoxyethoxyethoxy group and a methoxy Propyloxy group and the like.

R1이 시클로알킬기 또는 시클로알콕시기인 경우, 시클로알킬기 또는 시클로알콕시기의 탄소 원자수는 3 이상 10 이하가 바람직하고, 3 이상 6 이하가 보다 바람직하다. R1이 시클로알킬기인 경우의 구체예로는 시클로프로필기, 시클로부틸기, 시클로펜틸기, 시클로헥실기, 시클로헵틸기 및 시클로옥틸기 등을 들 수 있다. R1이 시클로알콕시기인 경우의 구체예로는 시클로프로필옥시기, 시클로부틸옥시기, 시클로펜틸옥시기, 시클로헥실옥시기, 시클로헵틸옥시기 및 시클로옥틸옥시기 등을 들 수 있다.When R 1 is a cycloalkyl group or a cycloalkoxy group, the number of carbon atoms of the cycloalkyl group or the cycloalkoxy group is preferably 3 or more and 10 or less, more preferably 3 or more and 6 or less. Specific examples of the case where R 1 is a cycloalkyl group include a cyclopropyl group, a cyclobutyl group, a cyclopentyl group, a cyclohexyl group, a cycloheptyl group and a cyclooctyl group. Specific examples of when R 1 is a cycloalkoxy group include a cyclopropyloxy group, a cyclobutyloxy group, a cyclopentyloxy group, a cyclohexyloxy group, a cycloheptyloxy group, and a cyclooctyloxy group.

R1이 포화 지방족 아실기 또는 포화 지방족 아실옥시기인 경우, 포화 지방족 아실기 또는 포화 지방족 아실옥시기의 탄소 원자수는 2 이상 21 이하가 바람직하고, 2 이상 7 이하가 보다 바람직하다. R1이 포화 지방족 아실기인 경우의 구체예로는 아세틸기, 프로파노일기, n-부타노일기, 2-메틸프로파노일기, n-펜타노일기, 2,2-디메틸프로파노일기, n-헥사노일기, n-헵타노일기, n-옥타노일기, n-노나노일기, n-데카노일기, n-운데카노일기, n-도데카노일기, n-트리데카노일기, n-테트라데카노일기, n-펜타데카노일기 및 n-헥사데카노일기 등을 들 수 있다. R1이 포화 지방족 아실옥시기인 경우의 구체예로는 아세틸옥시기, 프로파노일옥시기, n-부타노일옥시기, 2-메틸프로파노일옥시기, n-펜타노일옥시기, 2,2-디메틸프로파노일옥시기, n-헥사노일옥시기, n-헵타노일옥시기, n-옥타노일옥시기, n-노나노일옥시기, n-데카노일옥시기, n-운데카노일옥시기, n-도데카노일옥시기, n-트리데카노일옥시기, n-테트라데카노일옥시기, n-펜타데카노일옥시기 및 n-헥사데카노일옥시기 등을 들 수 있다.When R 1 is a saturated aliphatic acyl group or a saturated aliphatic acyloxy group, the number of carbon atoms of the saturated aliphatic acyl group or the saturated aliphatic acyloxy group is preferably 2 or more and 21 or less, more preferably 2 or more and 7 or less. Specific examples of when R 1 is a saturated aliphatic acyl group include an acetyl group, a propanoyl group, an n-butanoyl group, a 2-methylpropanoyl group, an n-pentanoyl group, a 2,2-dimethylpropanoyl group, n-heptanoyl group, n-octanoyl group, n-nonanoyl group, n-decanoyl group, n-undecanoyl group, n-dodecanoyl group, n-tridecanoyl group, - pentadecanoyl group, and n-hexadecanoyl group. Specific examples of when R 1 is a saturated aliphatic acyloxy group include an acetyloxy group, propanoyloxy group, n-butanoyloxy group, 2-methylpropanoyloxy group, n-pentanoyloxy group, 2,2- Hexanoyloxy group, n-heptanoyloxy group, n-octanoyloxy group, n-nonanoyloxy group, n-decanoyloxy group, n-undecanoyloxy group, n-tridecanoyloxy group, n-tridecanoyloxy group, n-tridecanoyloxy group, n-tridecanoyloxy group, n-tridecanoyloxy group and n-hexadecanoyloxy group.

R1이 알콕시카르보닐기인 경우, 알콕시카르보닐기의 탄소 원자수는 2 이상 20 이하가 바람직하고, 2 이상 7 이하가 보다 바람직하다. R1이 알콕시카르보닐기인 경우의 구체예로는 메톡시카르보닐기, 에톡시카르보닐기, n-프로필옥시카르보닐기, 이소프로필옥시카르보닐기, n-부틸옥시카르보닐기, 이소부틸옥시카르보닐기, sec-부틸옥시카르보닐기, tert-부틸옥시카르보닐기, n-펜틸옥시카르보닐기, 이소펜틸옥시카르보닐기, sec-펜틸옥시카르보닐기, tert-펜틸옥시카르보닐기, n-헥실옥시카르보닐기, n-헵틸옥시카르보닐기, n-옥틸옥시카르보닐기, 이소옥틸옥시카르보닐기, sec-옥틸옥시카르보닐기, tert-옥틸옥시카르보닐기, n-노닐옥시카르보닐기, 이소노닐옥시카르보닐기, n-데실옥시카르보닐기 및 이소데실옥시카르보닐기 등을 들 수 있다.When R 1 is an alkoxycarbonyl group, the number of carbon atoms of the alkoxycarbonyl group is preferably 2 or more and 20 or less, more preferably 2 or more and 7 or less. Specific examples of when R 1 is an alkoxycarbonyl group include methoxycarbonyl, ethoxycarbonyl, n-propyloxycarbonyl, isopropyloxycarbonyl, n-butyloxycarbonyl, isobutyloxycarbonyl, sec- An n-pentyloxycarbonyl group, an n-pentyloxycarbonyl group, an n-pentyloxycarbonyl group, an isopentyloxycarbonyl group, a sec-pentyloxycarbonyl group, a tert-pentyloxycarbonyl group, a sec-octyloxycarbonyl group, a tert-octyloxycarbonyl group, an n-nonyloxycarbonyl group, an isononyloxycarbonyl group, a n-decyloxycarbonyl group and an isodecyloxycarbonyl group.

R1이 페닐알킬기인 경우, 페닐알킬기의 탄소 원자수는 7 이상 20 이하가 바람직하고, 7 이상 10 이하가 보다 바람직하다. 또, R1이 나프틸알킬기인 경우, 나프틸알킬기의 탄소 원자수는 11 이상 20 이하가 바람직하고, 11 이상 14 이하가 보다 바람직하다. R1이 페닐알킬기인 경우의 구체예로는 벤질기, 2-페닐에틸기, 3-페닐프로필기 및 4-페닐부틸기를 들 수 있다. R1이 나프틸알킬기인 경우의 구체예로는 α-나프틸메틸기, β-나프틸메틸기, 2-(α-나프틸)에틸기 및 2-(β-나프틸)에틸기를 들 수 있다. R1이 페닐알킬기 또는 나프틸알킬기인 경우, R1은 페닐기 또는 나프틸기 상에 추가로 치환기를 가지고 있어도 된다.When R 1 is a phenylalkyl group, the number of carbon atoms of the phenylalkyl group is preferably 7 or more and 20 or less, more preferably 7 or more and 10 or less. When R 1 is a naphthylalkyl group, the number of carbon atoms of the naphthylalkyl group is preferably 11 or more and 20 or less, more preferably 11 or more and 14 or less. Specific examples of when R 1 is a phenylalkyl group include a benzyl group, a 2-phenylethyl group, a 3-phenylpropyl group and a 4-phenylbutyl group. Specific examples of when R 1 is a naphthylalkyl group include an α-naphthylmethyl group, a β-naphthylmethyl group, a 2- (α-naphthyl) ethyl group and a 2- (β-naphthyl) ethyl group. When R 1 is a phenylalkyl group or a naphthylalkyl group, R 1 may further have a substituent on the phenyl group or the naphthyl group.

R1이 헤테로시크릴기인 경우, 헤테로시크릴기는 1 이상의 N, S, O를 포함하는 5원 또는 6원의 단환이거나, 이러한 단환끼리, 또는 이러한 단환과 벤젠환이 축합한 헤테로시크릴기이다. 헤테로시크릴기가 축합환인 경우에는 환수 3까지의 것으로 한다. 헤테로시크릴기는 방향족기(헤테로아릴기)이어도 비방향족기이어도 된다. 이러한 헤테로시크릴기를 구성하는 복소환으로는 푸란, 티오펜, 피롤, 옥사졸, 이소옥사졸, 티아졸, 티아디아졸, 이소티아졸, 이미다졸, 피라졸, 트리아졸, 피리딘, 피라진, 피리미딘, 피리다진, 벤조푸란, 벤조티오펜, 인돌, 이소인돌, 인돌리진, 벤조이미다졸, 벤조트리아졸, 벤조옥사졸, 벤조티아졸, 카르바졸, 푸린, 퀴놀린, 이소퀴놀린, 퀴나졸린, 프탈라진, 신놀린 및 퀴녹살린 등을 들 수 있다. R1이 헤테로시크릴기인 경우, 헤테로시크릴기는 추가로 치환기를 가지고 있어도 된다.When R 1 is a heterocyclyl group, the heterocyclyl group may be a 5-membered or 6-membered monocyclic ring containing 1 or more N, S or O, or a heterocyclyl group formed by condensation of such monocyclic ring and benzene ring. And when the heterocyclyl group is a condensed ring, the number of rings is 3. The heterocyclyl group may be an aromatic group (heteroaryl group) or a non-aromatic group. Examples of the heterocycle constituting the heterocyclyl group include furan, thiophene, pyrrole, oxazole, isoxazole, thiazole, thiadiazole, isothiazole, imidazole, pyrazole, triazole, pyridine, pyrazine, Benzimidazole, benzothiazole, benzoxazole, benzothiazole, carbazole, purine, quinoline, isoquinoline, quinazoline, quinazoline, quinazoline, quinazoline, quinazoline, Thallazine, cinnoline and quinoxaline. When R 1 is a heterocyclyl group, the heterocyclyl group may further have a substituent.

R1이 헤테로시크릴카르보닐기인 경우, 헤테로시크릴카르보닐기에 포함되는 헤테로시크릴기는 R1이 헤테로시크릴기인 경우와 동일하다.When R 1 is a heterocyclylcarbonyl group, the heterocyclyl group contained in the heterocyclylcarbonyl group is the same as the case where R 1 is a heterocyclyl group.

R1이 1 또는 2의 유기기로 치환된 아미노기인 경우, 유기기의 적합한 예는 탄소 원자수 1 이상 20 이하의 알킬기, 탄소 원자수 3 이상 10 이하의 시클로알킬기, 탄소 원자수 2 이상 21 이하의 포화 지방족 아실기, 치환기를 가져도 되는 페닐기, 치환기를 가져도 되는 벤조일기, 치환기를 가져도 되는 탄소 원자수 7 이상 20 이하의 페닐알킬기, 치환기를 가져도 되는 나프틸기, 치환기를 가져도 되는 나프토일기, 치환기를 가져도 되는 탄소 원자수 11 이상 20 이하의 나프틸알킬기 및 헤테로시크릴기 등을 들 수 있다. 이들 적합한 유기기의 구체예는 R1과 동일하다. 1 또는 2의 유기기로 치환된 아미노기의 구체예로는 메틸아미노기, 에틸아미노기, 디에틸아미노기, n-프로필아미노기, 디-n-프로필아미노기, 이소프로필아미노기, n-부틸아미노기, 디-n-부틸아미노기, n-펜틸아미노기, n-헥실아미노기, n-헵틸아미노기, n-옥틸아미노기, n-노닐아미노기, n-데실아미노기, 페닐아미노기, 나프틸아미노기, 아세틸아미노기, 프로파노일아미노기, n-부타노일아미노기, n-펜타노일아미노기, n-헥사노일아미노기, n-헵타노일아미노기, n-옥타노일아미노기, n-데카노일아미노기, 벤조일아미노기, α-나프토일아미노기 및 β-나프토일아미노기 등을 들 수 있다.When R 1 is an amino group substituted with 1 or 2 organic groups, suitable examples of the organic group include an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a cycloalkyl group having 3 to 10 carbon atoms, a cycloalkyl group having 2 to 21 carbon atoms A saturated aliphatic acyl group, a phenyl group which may have a substituent, a benzoyl group which may have a substituent, a phenylalkyl group having 7 to 20 carbon atoms which may have a substituent, a naphthyl group which may have a substituent, A tolyl group, a naphthylalkyl group having from 11 to 20 carbon atoms which may have a substituent, and a heterocyclyl group. Examples of these suitable organic groups are the same as R < 1 >. Specific examples of the amino group substituted with 1 or 2 organic groups include methylamino, ethylamino, diethylamino, n-propylamino, di-n-propylamino, isopropylamino, n- An amino group, an amino group, an n-pentylamino group, an n-hexylamino group, an n-heptylamino group, an n-octylamino group, N-pentanoylamino group, n-hexanoylamino group, n-heptanoylamino group, n-octanoylamino group, n-decanoylamino group, benzoylamino group, .

R1에 포함되는, 페닐기, 나프틸기 및 헤테로시크릴기가 추가로 치환기를 가지는 경우의 치환기로는, 탄소 원자수 1 이상 6 이하의 알킬기, 탄소 원자수 1 이상 6 이하의 알콕시기, 탄소 원자수 2 이상 7 이하의 포화 지방족 아실기, 탄소 원자수 2 이상 7 이하의 알콕시카르보닐기, 탄소 원자수 2 이상 7 이하의 포화 지방족 아실옥시기, 탄소 원자수 1 이상 6 이하의 알킬기를 가지는 모노알킬아미노기, 탄소 원자수 1 이상 6 이하의 알킬기를 가지는 디알킬아미노기, 모르폴린-1-일기, 피페라진-1-일기, 할로겐, 니트로기 및 시아노기 등을 들 수 있다. R1에 포함되는, 페닐기, 나프틸기 및 헤테로시크릴기가 추가로 치환기를 가지는 경우, 그 치환기의 수는 본 발명의 목적을 저해하지 않는 범위에서 한정되지 않고, 1 이상 4 이하가 바람직하다. R1에 포함되는, 페닐기, 나프틸기 및 헤테로시크릴기가, 복수의 치환기를 가지는 경우, 복수의 치환기는 동일해도 상이해도 된다.Examples of the substituent group in the case where the phenyl group, naphthyl group and heterocyclyl group have further substituents included in R 1 include an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms, A saturated aliphatic acyl group having 2 to 7 carbon atoms, an alkoxycarbonyl group having 2 to 7 carbon atoms, a saturated aliphatic acyloxy group having 2 to 7 carbon atoms, a monoalkylamino group having an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, A dialkylamino group having an alkyl group of 1 to 6 carbon atoms, a morpholin-1-yl group, a piperazin-1-yl group, a halogen, a nitro group and a cyano group. When the phenyl group, the naphthyl group and the heterocyclyl group contained in R 1 further have a substituent, the number of the substituent is not limited to the range not hindering the object of the present invention, and is preferably 1 or more and 4 or less. When the phenyl group, naphthyl group and heterocyclyl group contained in R 1 have a plurality of substituents, the plurality of substituents may be the same or different.

또, R1로는 시클로알킬알킬기, 방향환 상에 치환기를 가지고 있어도 되는 페녹시알킬기, 방향환 상에 치환기를 가지고 있어도 되는 페닐티오알킬기도 바람직하다. 페녹시알킬기 및 페닐티오알킬기가 가지고 있어도 되는 치환기는 R1에 포함되는 페닐기가 가지고 있어도 되는 치환기와 동일하다.R 1 is preferably a cycloalkylalkyl group, a phenoxyalkyl group which may have a substituent on the aromatic ring, or a phenylthioalkyl group which may have a substituent on the aromatic ring. The substituent which the phenoxyalkyl group and the phenylthioalkyl group may have is the same as the substituent which the phenyl group contained in R 1 may have.

1가의 유기기 중에서도, R1로는 알킬기, 시클로알킬기, 치환기를 가지고 있어도 되는 페닐기, 또는 시클로알킬알킬기, 방향환 상에 치환기를 가지고 있어도 되는 페닐티오알킬기가 바람직하다. 알킬기로는 탄소 원자수 1 이상 20 이하의 알킬기가 바람직하고, 탄소 원자수 1 이상 8 이하의 알킬기가 보다 바람직하며, 탄소 원자수 1 이상 4 이하의 알킬기가 특히 바람직하고, 메틸기가 가장 바람직하다. 치환기를 가지고 있어도 되는 페닐기 중에서는 메틸페닐기가 바람직하고, 2-메틸페닐기가 보다 바람직하다. 시클로알킬알킬기에 포함되는 시클로알킬기의 탄소 원자수는 5 이상 10 이하가 바람직하고, 5 이상 8 이하가 보다 바람직하며, 5 또는 6이 특히 바람직하다. 시클로알킬알킬기에 포함되는 알킬렌기의 탄소 원자수는 1 이상 8 이하가 바람직하고, 1 이상 4 이하가 보다 바람직하며, 2가 특히 바람직하다. 시클로알킬알킬기 중에서는 시클로펜틸에틸기가 바람직하다. 방향환 상에 치환기를 가지고 있어도 되는 페닐티오알킬기에 포함되는 알킬렌기의 탄소 원자수는 1 이상 8 이하가 바람직하고, 1 이상 4 이하가 보다 바람직하며, 2가 특히 바람직하다. 방향환 상에 치환기를 가지고 있어도 되는 페닐티오알킬기 중에서는 2-(4-클로로페닐티오)에틸기가 바람직하다.Of the monovalent organic groups, R 1 is preferably an alkyl group, a cycloalkyl group, a phenyl group which may have a substituent, or a cycloalkylalkyl group or a phenylthioalkyl group which may have a substituent on an aromatic ring. The alkyl group is preferably an alkyl group of 1 to 20 carbon atoms, more preferably an alkyl group of 1 to 8 carbon atoms, particularly preferably an alkyl group of 1 to 4 carbon atoms, and most preferably a methyl group. Among the phenyl groups which may have a substituent, a methylphenyl group is preferable, and a 2-methylphenyl group is more preferable. The number of carbon atoms of the cycloalkyl group contained in the cycloalkylalkyl group is preferably 5 or more and 10 or less, more preferably 5 or more and 8 or less, and particularly preferably 5 or 6. The number of carbon atoms of the alkylene group contained in the cycloalkylalkyl group is preferably 1 or more and 8 or less, more preferably 1 or more and 4 or less, and particularly preferably 2. Among the cycloalkylalkyl groups, a cyclopentylethyl group is preferable. The number of carbon atoms of the alkylene group contained in the phenylthioalkyl group which may have a substituent on the aromatic ring is preferably 1 or more and 8 or less, more preferably 1 or more and 4 or less, and particularly preferably 2. Among the phenylthioalkyl groups which may have a substituent on the aromatic ring, the 2- (4-chlorophenylthio) ethyl group is preferred.

상술한 바와 같이, 식 (a1)로 표시되는 화합물은 하기 (1)~(3):As described above, the compound represented by the formula (a1) is a compound represented by the following formula (1) to (3):

(1) R1이 -OR7로 표시되는 기를 포함하고, R7이 할로게노알킬기이다.(1) R 1 includes a group represented by -OR 7 , and R 7 is a halogenoalkyl group.

(2) m2가 1이며, R4가 -OR7로 표시되는 기를 포함하고, R7이 할로게노알킬기이다.(2) m2 is 1, R 4 comprises a group represented by -OR 7 , and R 7 is a halogenoalkyl group.

(3) R3이 치환기를 가져도 되는 분기쇄상 알킬기이다.(3) R 3 is a branched chain alkyl group which may have a substituent.

중 적어도 1개의 조건을 만족시킬 필요가 있다.It is necessary to satisfy at least one of the conditions.

이 때문에, R1은 -OR7로 표시되는 치환기로 치환되어 있는 것이 바람직하다. R7은 할로게노알킬기이다. R1이 -OR7로 표시되는 기로 치환되어 있는 경우, R1에 포함되는 -OR7로 표시되는 기의 수는 특별히 한정되지 않는다. R1이 -OR7로 표시되는 기로 치환되어 있는 경우, R1에 포함되는 -OR7로 표시되는 기의 수는 1 또는 2가 바람직하고, 1이 보다 바람직하다. Therefore, it is preferable that R 1 is substituted with a substituent represented by -OR 7 . R 7 is a halogenoalkyl group. When R 1 is substituted by a group represented by -OR 7, the number of the groups represented by -OR 7 contained in the R 1 is not particularly limited. When R 1 is substituted by a group represented by -OR 7, the number of the groups represented by -OR 7 contained in the R 1 is 1 or 2 are preferred, and more preferably 1.

또, 식 (a1)로 표시되는 화합물이 가지는 -OR7로 표시되는 기의 수도 1 또는 2가 바람직하고, 1이 보다 바람직하다.The number of the group represented by -OR 7 of the compound represented by the formula (a1) is preferably 1 or 2, more preferably 1.

할로게노알킬기에 포함되는 할로겐 원자로는 불소 원자, 염소 원자, 브롬 원자 및 요오드 원자를 들 수 있다. 할로게노알킬기는 1 종류의 할로겐 원자를 포함하고 있어도 되고, 2종 이상의 할로겐 원자를 조합하여 포함하고 있어도 된다.Examples of the halogen atom contained in the halogenoalkyl group include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom and an iodine atom. The halogenoalkyl group may contain one halogen atom or two or more halogen atoms in combination.

할로게노알킬기가 가지는 할로겐 원자의 수는 본 발명의 목적을 저해하지 않는 범위에서 특별히 한정되지 않는다. 할로게노알킬기가 가지는 할로겐 원자의 수는 1 이상이 바람직하고, 2 이상이 보다 바람직하며, 3 이상이 특히 바람직하다. 할로게노알킬기가 가지는 할로겐 원자의 수의 상한은 식 (a1)로 표시되는 화합물의, 감광성 조성물 중의 다른 성분과의 상용성이 양호한 점에서, 7 이하가 바람직하고, 6 이하가 보다 바람직하며, 5 이하가 특히 바람직하다.The number of halogen atoms of the halogenoalkyl group is not particularly limited within a range not hindering the object of the present invention. The number of halogen atoms of the halogenoalkyl group is preferably 1 or more, more preferably 2 or more, and particularly preferably 3 or more. The upper limit of the number of halogen atoms of the halogenoalkyl group is preferably 7 or less, more preferably 6 or less, and particularly preferably 5 or less, from the viewpoint of good compatibility with the other components in the photosensitive composition of the compound represented by formula (a1) Or less is particularly preferable.

또, 식 (a1)로 표시되는 화합물에 포함되는 할로겐 원자의 수도 1 이상이 바람직하고, 2 이상이 보다 바람직하며, 3 이상이 특히 바람직하고, 7 이하가 바람직하고, 6 이하가 보다 바람직하며, 5 이하가 특히 바람직하다.The number of halogen atoms contained in the compound represented by formula (a1) is preferably at least 1, more preferably at least 2, particularly preferably at least 3, even more preferably at most 7, even more preferably at most 6, 5 or less is particularly preferable.

할로게노알킬기의 탄소 원자수는 본 발명의 목적을 저해하지 않는 범위에서 특별히 한정되지 않는다. 할로게노알킬기의 탄소 원자수는 1 이상이 바람직하고, 2 이상이 보다 바람직하며, 3 이상이 특히 바람직하다. 할로게노알킬기의 탄소 원자수의 상한은 10 이하가 바람직하고, 7 이하가 보다 바람직하며, 5 이하가 특히 바람직하다.The number of carbon atoms of the halogenoalkyl group is not particularly limited within the range not hindering the object of the present invention. The number of carbon atoms of the halogenoalkyl group is preferably 1 or more, more preferably 2 or more, and particularly preferably 3 or more. The upper limit of the number of carbon atoms of the halogenoalkyl group is preferably 10 or less, more preferably 7 or less, and particularly preferably 5 or less.

할로게노알킬기로는 불소화 알킬기가 특히 바람직하다. 할로게노알킬기의 바람직한 구체예로는 2,2,3,3-테트라플루오로프로필기, 2,2,2-트리플루오로에틸기, 3,3,3-트리플루오로프로필기, 2,2,3,3,3-펜타플루오로프로필기 및 2,2,3,3,4,4,5,5-옥타플루오로펜틸기 등을 들 수 있다. 이들 중에서는 식 (a1)로 표시되는 화합물의 제조가 용이한 점 등으로부터, 2,2,3,3-테트라플루오로프로필기가 바람직하다.As the halogenoalkyl group, a fluorinated alkyl group is particularly preferable. Specific preferred examples of the halogenoalkyl group include 2,2,3,3-tetrafluoropropyl group, 2,2,2-trifluoroethyl group, 3,3,3-trifluoropropyl group, 2,2,3,3- 3,3,3-pentafluoropropyl group, and 2,2,3,3,4,4,5,5-octafluoropentyl group. Of these, the 2,2,3,3-tetrafluoropropyl group is preferable because of the ease of preparation of the compound represented by the formula (a1).

R1로서의 할로게노알킬기로 치환된 기로는, 1개 또는 2개의 할로게노알킬기로 치환된 페닐기가 바람직하다. 구체적으로는 R1로서의 할로게노알킬기로 치환된 기는 하기 식 (a1-01):As the group substituted with a halogenoalkyl group as R 1 , a phenyl group substituted with one or two halogenoalkyl groups is preferable. Specifically, the group substituted with a halogenoalkyl group as R 1 is a group represented by the following formula (a1-01):

[화 8][Figure 8]

Figure pat00008
Figure pat00008

(식 (a1-01) 중, R7은 상술한 바와 같으며, R9는 R1로서의 페닐기가 가져도 되는 치환기이고, m4는 1 또는 2이며, m4+m5는 1 이상 5 이하의 정수이다.)(Had formula (a1-01) of, R 7 are same as the above, R 9 is a substituent which may have a phenyl group as R 1, and m4 is 1 or 2, m4 + m5 is an integer of 1 to 5.)

로 표시되는 기가 바람직하다.Is preferable.

R9로는 탄소 원자수 1 이상 6 이하의 알킬기 및 탄소 원자수 1 이상 6 이하의 알콕시기가 바람직하고, 탄소 원자수 1 이상 6 이하의 알킬기가 보다 바람직하며, 메틸기 및 에틸기가 더욱 바람직하고, 메틸기가 특히 바람직하다.R 9 is preferably an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms and an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms, more preferably an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, more preferably a methyl group and an ethyl group, Particularly preferred.

m5는 1인 것이 바람직하다.m5 is preferably 1.

또, R1은 하기 식 (a1-02):R 1 is a group represented by the following formula (a1-02):

[화 9][Figure 9]

Figure pat00009
Figure pat00009

(식 (a1-02) 중, R1, R2, R3, R4, R5, R6, m1, m2 및 m3은 식 (a1)과 동일하고, R10은 2가의 유기기이다.)(Wherein R 1 , R 2 , R 3 , R 4 , R 5 , R 6 , m 1, m 2 and m 3 are the same as in formula (a1) and R 10 is a divalent organic group. )

로 표시되는 기이어도 된다..

R10으로서의 2가의 유기기는 본 발명의 목적을 저해하지 않는 범위에서 특별히 한정되지 않는다. R10으로서의 2가의 유기기의 적합한 예로는 탄소 원자수 1 이상 10 이하의 알칸디일기(예를 들면, 메틸렌기, 에탄-1,2-디일기, 프로판-1,3-디일기, 부탄-1,4-디일기 등) 및 아릴렌기(p-페닐렌기, m-페닐렌기, o-페닐렌기, 1,1'-비페닐-4,4'-디일기 등)를 들 수 있다.The divalent organic group as R < 10 > is not particularly limited within the scope of not impairing the object of the present invention. Suitable examples of the divalent organic group as R 10 include an alkanediyl group having 1 to 10 carbon atoms (e.g., a methylene group, an ethane-1,2-diyl group, a propane-1,3-diyl group, A 1,4-diyl group and the like) and an arylene group (p-phenylene group, m-phenylene group, o-phenylene group, 1,1'-biphenyl-4,4'-diyl group and the like).

R1이 상기 식 (a1-02)로 표시되는 기인 경우의, 식 (a1)로 표시되는 화합물의 구체예로는 하기 식의 화합물을 들 수 있다.Specific examples of the compound represented by the formula (a1) when R 1 is a group represented by the formula (a1-02) include compounds represented by the following formulas.

[화 10][10]

Figure pat00010
Figure pat00010

이상 설명한 R1 중에서는 하기 식으로 표시되는 기가 바람직하다.Among the R 1 s described above, a group represented by the following formula is preferable.

[화 11][Figure 11]

Figure pat00011
Figure pat00011

식 (a1) 중, R2는 치환기를 가져도 되는 탄화수소기, 또는 치환기를 가져도 되는 헤테로시크릴기이다. 치환기를 가져도 되는 탄화수소기로는 치환기를 가져도 되는 탄소 원자수 1 이상 11 이하의 알킬기, 또는 치환기를 가져도 되는 아릴기가 바람직하다. 아릴기로는 페닐기 및 나프틸기가 바람직하고, 페닐기가 바람직하다. R2가 알킬기인 경우에 가져도 되는 치환기로는 페닐기, 나프틸기 등이 바람직하게 예시된다. 또, R2가 아릴기인 경우에 가져도 되는 치환기로는 탄소 원자수 1 이상 5 이하의 알킬기, 알콕시기, 할로겐 원자 등이 바람직하게 예시된다.In formula (a1), R 2 is a hydrocarbon group which may have a substituent or a heterocyclyl group which may have a substituent. The hydrocarbon group which may have a substituent is preferably an alkyl group having from 1 to 11 carbon atoms which may have a substituent, or an aryl group which may have a substituent. As the aryl group, a phenyl group and a naphthyl group are preferable, and a phenyl group is preferable. As the substituent which R 2 may be taken as an alkyl group, a phenyl group, a naphthyl group and the like are preferably exemplified. The substituent which may be taken when R 2 is an aryl group is preferably an alkyl group, an alkoxy group or a halogen atom having 1 to 5 carbon atoms.

R2가 헤테로시크릴기인 경우, 상기 헤테로시크릴기는 지방족 복소환기이어도 방향족 복소환기이어도 된다. R2가 헤테로시크릴기인 경우, 헤테로시크릴기는 1 이상의 N, S, O를 포함하는 5원 또는 6원의 단환이거나, 이러한 단환끼리, 또는 이러한 단환과 벤젠환이 축합한 헤테로시크릴기이다. 헤테로시크릴기가 축합환인 경우에는 환수 3까지의 것으로 한다. 이러한 헤테로시크릴기를 구성하는 복소환으로는 푸란, 티오펜, 피롤, 옥사졸, 이소옥사졸, 티아졸, 티아디아졸, 이소티아졸, 이미다졸, 피라졸, 트리아졸, 피리딘, 피라진, 피리미딘, 피리다진, 벤조푸란, 벤조티오펜, 인돌, 이소인돌, 인돌리진, 벤조이미다졸, 벤조트리아졸, 벤조옥사졸, 벤조티아졸, 카르바졸, 푸린, 퀴놀린, 이소퀴놀린, 퀴나졸린, 프탈라진, 신놀린, 퀴녹살린, 피페리딘, 피페라진, 모르폴린, 테트라히드로피란 및 테트라히드로푸란 등을 들 수 있다.When R 2 is a heterocyclyl group, the heterocyclyl group may be an aliphatic heterocyclic group or an aromatic heterocyclic group. When R 2 is a heterocyclyl group, the heterocyclyl group may be a 5-membered or 6-membered monocyclic ring containing one or more N, S or O, or a heterocyclyl group in which these monocyclic rings and condensed benzene rings are condensed. And when the heterocyclyl group is a condensed ring, the number of rings is 3. Examples of the heterocycle constituting the heterocyclyl group include furan, thiophene, pyrrole, oxazole, isoxazole, thiazole, thiadiazole, isothiazole, imidazole, pyrazole, triazole, pyridine, pyrazine, Benzimidazole, benzothiazole, benzoxazole, benzothiazole, carbazole, purine, quinoline, isoquinoline, quinazoline, quinazoline, quinazoline, quinazoline, quinazoline, Thallazine, cinnolin, quinoxaline, piperidine, piperazine, morpholine, tetrahydropyran and tetrahydrofuran.

R2가 헤테로시크릴기인 경우, 상기 헤테로시크릴기가 가지고 있어도 되는 치환기로는 수산기, 탄소 원자수 1 이상 6 이하의 알콕시기, 할로겐 원자, 시아노기, 니트로기 등을 들 수 있다.When R 2 is a heterocyclyl group, examples of the substituent which the heterocyclyl group may have include a hydroxyl group, an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms, a halogen atom, a cyano group, and a nitro group.

R2로는 메틸기, 페닐기 및 티에닐기가 바람직하고, 메틸기가 보다 바람직하다.As R 2, a methyl group, a phenyl group and a thienyl group are preferable, and a methyl group is more preferable.

식 (a1) 중, R3은 1가의 유기기이다. R3은 본 발명의 목적을 저해하지 않는 범위에서, 여러 가지의 유기기로부터 선택할 수 있다. R3의 적합한 예로는 탄소 원자수 1 이상 20 이하의 치환기를 가져도 되는 알킬기, 탄소 원자수 3 이상 20 이하의 치환기를 가져도 되는 시클로알킬기, 탄소 원자수 2 이상 20 이하의 치환기를 가져도 되는 포화 지방족 아실기, 탄소 원자수 2 이상 20 이하의 치환기를 가져도 되는 알콕시카르보닐기, 치환기를 가져도 되는 페닐기, 치환기를 가져도 되는 벤조일기, 치환기를 가져도 되는 페녹시카르보닐기, 치환기를 가져도 되는 탄소 원자수 7 이상 20 이하의 페닐알킬기, 치환기를 가져도 되는 나프틸기, 치환기를 가져도 되는 나프토일기, 치환기를 가져도 되는 나프톡시카르보닐기, 치환기를 가져도 되는 탄소 원자수 11 이상 20 이하의 나프틸알킬기, 치환기를 가져도 되는 헤테로시크릴기 및 치환기를 가져도 되는 헤테로시크릴카르보닐기 등을 들 수 있다.In formula (a1), R 3 is a monovalent organic group. R 3 may be selected from a variety of organic groups within the scope of not impairing the object of the present invention. Suitable examples of R 3 include an alkyl group which may have a substituent having 1 to 20 carbon atoms and a cycloalkyl group which may have a substituent having 3 to 20 carbon atoms and may have a substituent having 2 to 20 carbon atoms A saturated aliphatic acyl group, an alkoxycarbonyl group which may have a substituent of 2 to 20 carbon atoms, a phenyl group which may have a substituent, a benzoyl group which may have a substituent, a phenoxycarbonyl group which may have a substituent, A naphthyl group which may have a substituent, a naphthoyl group which may have a substituent, a naphthoxycarbonyl group which may have a substituent, a naphthocarbonyl group which may have a substituent, a number of carbon atoms of not less than 11 but not more than 20 A naphthylalkyl group, a heterocyclyl group which may have a substituent, and a heterocyclylcarbonyl group which may have a substituent.

R3 중에서는 탄소 원자수 1 이상 20 이하의 알킬기가 바람직하다. 상기 알킬기는 직쇄상이어도 분기쇄상이어도 된다. 식 (a1)로 표시되는 화합물의 감광성 조성물 중에서의 용해성이 양호한 점으로부터, R3으로서의 알킬기의 탄소 원자수는 2 이상이 바람직하고, 5 이상이 보다 바람직하며, 7 이상이 특히 바람직하다. 또, 감광성 조성물 중에서의, 식 (a1)로 표시되는 화합물과 다른 성분의 상용성이 양호한 점으로부터, R3으로서의 알킬의 기의 탄소 원자수는 15 이하가 바람직하고, 10 이하가 보다 바람직하다.R 3 is preferably an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms. The alkyl group may be linear or branched. From the viewpoint of good solubility in the photosensitive composition of the compound represented by the formula (a1), the number of carbon atoms of the alkyl group as R 3 is preferably 2 or more, more preferably 5 or more, and particularly preferably 7 or more. The number of carbon atoms of the alkyl group as R 3 is preferably 15 or less, more preferably 10 or less, from the viewpoint of good compatibility of the compound represented by formula (a1) with other components in the photosensitive composition.

R3이 치환기를 가지는 경우, 상기 치환기의 적합한 예로는 수산기, 탄소 원자수 1 이상 20 이하의 알킬기, 탄소 원자수 1 이상 20 이하의 알콕시기, 탄소 원자수 2 이상 20 이하의 지방족 아실기, 탄소 원자수 2 이상 20 이하의 지방족 아실옥시기, 페녹시기, 벤조일기, 벤조일옥시기, -PO(OR)2로 표시되는 기(R는 탄소 원자수 1 이상 6 이하의 알킬기), 할로겐 원자, 시아노기, 헤테로시크릴기 등을 들 수 있다. 치환기로서의 헤테로시크릴기의 적합한 예는 R2로서의 헤테로시크릴기의 적합한 예와 동일하다.When R 3 has a substituent, suitable examples of the substituent include a hydroxyl group, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 20 carbon atoms, an aliphatic acyl group having 2 to 20 carbon atoms, A phenoxy group, a benzoyl group, a benzoyloxy group, a group represented by -PO (OR) 2 (R is an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms), a halogen atom, a cyano group Anthracene group, and heterocyclyl group. A suitable example of a heterocyclyl group as a substituent is the same as a suitable example of a heterocyclyl group as R 2 .

상술한 바와 같이, 식 (a1)로 표시되는 화합물은 하기 (1)~(3):As described above, the compound represented by the formula (a1) is a compound represented by the following formula (1) to (3):

(1) R1이 -OR7로 표시되는 기를 포함하고, R7이 할로게노알킬기이다.(1) R 1 includes a group represented by -OR 7 , and R 7 is a halogenoalkyl group.

(2) m2가 1이며, R4가 -OR7로 표시되는 기를 포함하고, R7이 할로게노알킬기이다.(2) m2 is 1, R 4 comprises a group represented by -OR 7 , and R 7 is a halogenoalkyl group.

(3) R3이 치환기를 가져도 되는 분기쇄상 알킬기이다.(3) R 3 is a branched chain alkyl group which may have a substituent.

중 적어도 1개의 조건을 만족시킬 필요가 있다.It is necessary to satisfy at least one of the conditions.

이 때문에, R3이 치환기를 가져도 되는 분기쇄상 알킬기인 것이 바람직하다.Therefore, it is preferable that R 3 is a branched chain alkyl group which may have a substituent.

또, R3으로는 하기 식 (a1-03):As R 3 , the following formula (a1-03):

[화 12][Figure 12]

Figure pat00012
Figure pat00012

(식 (a1-03) 중, R1, R2, R4, R5, R6, m1, m2 및 m3은 식 (a1)과 동일하고, R11은 2가의 유기기이다.)(Wherein R 1 , R 2 , R 4 , R 5 , R 6 , m 1, m 2 and m 3 are the same as in formula (a1) and R 11 is a divalent organic group.

R11로서의 2가의 유기기는 본 발명의 목적을 저해하지 않는 범위에서 특별히 한정되지 않는다. R11로서의 2가의 유기기의 적합한 예로는 탄소 원자수 1 이상 10 이하의 알칸디일기(예를 들면, 메틸렌기, 에탄-1,2-디일기, 프로판-1,3-디일기, 부탄-1,4-디일, 펜탄-1,5-디일기, 헥산-1,6-디일기, 헵탄-1,7-디일기, 옥탄-1,8-디일기 등), 아릴렌기(p-페닐렌기, m-페닐렌기, o-페닐렌기, 1,1'-비페닐-4,4'-디일기 등)를 들 수 있다.The divalent organic group as R < 11 > is not particularly limited within the range not hindering the object of the present invention. Suitable examples of the divalent organic group as R 11 include an alkanediyl group having 1 to 10 carbon atoms (e.g., a methylene group, an ethane-1,2-diyl group, a propane-1,3-diyl group, A heptane-1,7-diyl group, an octane-1,8-diyl group, etc.), an arylene group (p-phenyl Phenylene group, o-phenylene group, 1,1'-biphenyl-4,4'-diyl group and the like).

또, 하기의 기도 R11로서의 2가의 유기기로서 바람직하다. 하기 식 중, R12는 탄소 원자수 1 이상 20 이하의 알킬렌기이다. R12로서의 알킬렌기로는 메틸렌기, 에탄-1,2-디일기, 프로판-1,3-디일기, 부탄-1,4-디일, 펜탄-1,5-디일기, 헥산-1,6-디일기, 헵탄-1,7-디일기 및 옥탄-1,8-디일기가 바람직하다.It is also preferable as a divalent organic group as the following R 11 . In the formula, R 12 is an alkylene group having 1 to 20 carbon atoms. Examples of the alkylene group as R 12 include methylene, ethane-1,2-diyl, propane-1,3-diyl, butane-1,4-diyl, pentane- Diyl group, a heptane-1,7-diyl group and an octane-1,8-diyl group.

[화 13][Figure 13]

Figure pat00013
Figure pat00013

R3이 상기 식 (a1-03)로 표시되는 기인 경우의, 식 (a1)로 표시되는 화합물의 구체예로는 하기 식의 화합물을 들 수 있다.Specific examples of the compound represented by the formula (a1) when R 3 is a group represented by the formula (a1-03) include compounds represented by the following formulas.

[화 14][14]

Figure pat00014
Figure pat00014

이상 설명한 R3의 적합한 구체예로는, 메틸기, 에틸기, n-프로필기, 이소프로필기, n-부틸기, 이소부틸기, sec-부틸기, tert-부틸기, n-펜틸기, 이소펜틸기, 네오펜틸기, 펜탄-3-일기, sec-펜틸기, tert-펜틸기, n-헥실기, n-헵틸기, n-옥틸기 및 2-에틸헥실기를 들 수 있다.Suitable specific examples of R 3 as described above include a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an isopropyl group, an n-butyl group, an isobutyl group, a sec- Pentyl group, tert-pentyl group, n-hexyl group, n-heptyl group, n-octyl group and 2-ethylhexyl group.

상술한 바와 같이, R3으로서 분기쇄상 알킬기가 바람직한 점으로부터, 상기의 알킬기 중에서는 이소프로필기, 이소부틸기, sec-부틸기, tert-부틸기, 이소펜틸기, 네오펜틸기, 펜탄-3-일기, sec-펜틸기, tert-펜틸기 및 2-에틸헥실기가 바람직하다.As the above-mentioned alkyl groups, it is preferable to use a branched alkyl group as R 3 as described above, so that the alkyl group is preferably an isopropyl group, an isobutyl group, a sec-butyl group, a tert-butyl group, an isopentyl group, a neopentyl group, -Hexyl group, sec-pentyl group, tert-pentyl group and 2-ethylhexyl group are preferable.

또, 감광성 조성물 중에서의 식 (a1)로 표시되는 화합물의 용해성이 양호한 점으로부터, n-옥틸기 및 2-에틸헥실기가 바람직하고, 2-에틸헥실기가 보다 바람직하다.From the viewpoint of good solubility of the compound represented by the formula (a1) in the photosensitive composition, an n-octyl group and a 2-ethylhexyl group are preferable, and a 2-ethylhexyl group is more preferable.

식 (a1) 중의 R4는 1가의 유기기이다. R4로서의 1가의 유기기로는 R1로서의 1가의 유기기와 동일한 기를 들 수 있다.R 4 in the formula (a1) is a monovalent organic group. Examples of the monovalent organic group as R 4 include the same groups as the monovalent organic group as R 1 .

R4는 R4-(CO)m3-로 표시되는 기로서, 식 (a1)로 표시되는 화합물의 주골격에 결합한다. R4-(CO)m3-로 표시되는 기의 적합한 구체예로는 하기 식으로 표시되는 기를 들 수 있다. 하기 식에서, m3은 식 (a1)과 동일하고, 1 또는 0이다.R 4 is a group represented by R 4 - (CO) m 3 - and bonds to the main skeleton of the compound represented by formula (a1). Suitable specific examples of the group represented by R 4 - (CO) m 3 - include the groups represented by the following formulas. In the following formula, m3 is the same as in formula (a1) and is 1 or 0.

[화 15][Figure 15]

Figure pat00015
Figure pat00015

[화 16][16]

Figure pat00016
Figure pat00016

[화 17][Figure 17]

Figure pat00017
Figure pat00017

상기의 R4-(CO)m3-로 표시되는 기의 적합한 예 중에서는 1,3,5-트리메틸벤조일기가 특히 바람직하다.Among the suitable examples of the group represented by R 4 - (CO) m 3 -, the 1,3,5-trimethylbenzoyl group is particularly preferable.

상술한 바와 같이, 식 (a1)로 표시되는 화합물은 하기 (1)~(3):As described above, the compound represented by the formula (a1) is a compound represented by the following formula (1) to (3):

(1) R1이 -OR7로 표시되는 기를 포함하고, R7이 할로게노알킬기이다.(1) R 1 includes a group represented by -OR 7 , and R 7 is a halogenoalkyl group.

(2) m2가 1이며, R4가 -OR7로 표시되는 기를 포함하고, R7이 할로게노알킬기이다.(2) m2 is 1, R 4 comprises a group represented by -OR 7 , and R 7 is a halogenoalkyl group.

(3) R3이 치환기를 가져도 되는 분기쇄상 알킬기이다.(3) R 3 is a branched chain alkyl group which may have a substituent.

중 적어도 하나의 조건을 만족시킬 필요가 있다.It is necessary to satisfy at least one of the conditions.

이 때문에, R4는 -OR7로 표시되는 치환기로 치환되어 있는 것이 바람직하다. R7은 할로게노알킬기이다. R7에 대해서는 상술한 바와 같다.Therefore, it is preferable that R 4 is substituted with a substituent represented by -OR 7 . R 7 is a halogenoalkyl group. R 7 is as described above.

R4로서의 할로게노알킬기로 치환된 기로는 1개 또는 2개의 할로게노알킬기로 치환된 페닐기가 바람직하다. 구체적으로는 R1로서의 할로게노알킬기로 치환된 기와 동일하게, 전술한 식 (a1-01)로 표시되는 기가 바람직하다.As the group substituted with a halogenoalkyl group as R 4 , a phenyl group substituted with one or two halogenoalkyl groups is preferable. Specifically, a group represented by the above-mentioned formula (a1-01) is preferable, similarly to a group substituted with a halogenoalkyl group as R 1 .

또, R4로는 하기 식 (a1-04):As R 4 , the following formula (a1-04):

[화 18][Figure 18]

Figure pat00018
Figure pat00018

(식 (a1-04) 중, R1, R3, R5, R6, m1, m2 및 m3은 식 (a1)과 동일하고, R13은 2가의 유기기이다.)(In formula (a1-04), R 1 , R 3 , R 5 , R 6 , m 1, m 2 and m 3 are the same as in formula (a1) and R 13 is a divalent organic group.

로 표시되는 기도 바람직하다.As shown in FIG.

R13으로서의 2가의 유기기는 본 발명의 목적을 저해하지 않는 범위에서 특별히 한정되지 않는다. R13으로서의 2가의 유기기의 적합한 예로는 탄소 원자수 1 이상 10 이하의 알칸디일기(예를 들면, 메틸렌기, 에탄-1,2-디일기, 프로판-1,3-디일기, 부탄-1,4-디일, 펜탄-1,5-디일기, 헥산-1,6-디일기, 헵탄-1,7-디일기, 옥탄-1,8-디일기 등), 아릴렌기(p-페닐렌기, m-페닐렌기, o-페닐렌기, 1,1'-비페닐-4,4'-디일기 등)를 들 수 있다.The divalent organic group represented by R < 13 > is not particularly limited within the scope of not impairing the object of the present invention. Suitable examples of the divalent organic group as R 13 include an alkanediyl group having 1 to 10 carbon atoms (e.g., a methylene group, an ethane-1,2-diyl group, a propane-1,3-diyl group, A heptane-1,7-diyl group, an octane-1,8-diyl group, etc.), an arylene group (p-phenyl Phenylene group, o-phenylene group, 1,1'-biphenyl-4,4'-diyl group and the like).

또, 하기의 기도 R13으로서의 2가의 유기기로서 바람직하다. 하기 식 중, R13은 할로겐 원자로 치환되어 있어도 되는 탄소 원자수 1 이상 20 이하의 알킬렌기이다. R14로서의 알킬렌기로는 메틸렌기, 에탄-1,2-디일기, 프로판-1,3-디일기, 부탄-1,4-디일, 펜탄-1,5-디일기, 헥산-1,6-디일기, 헵탄-1,7-디일기 및 옥탄-1,8-디일기가 바람직하다.It is also preferable as a divalent organic group as the following ring R 13 . In the formula, R 13 is an alkylene group having 1 to 20 carbon atoms which may be substituted with a halogen atom. Examples of the alkylene group as R 14 include methylene, ethane-1,2-diyl, propane-1,3-diyl, butane-1,4-diyl, pentane- Diyl group, a heptane-1,7-diyl group and an octane-1,8-diyl group.

또, 이들 알킬렌기에서의 모든 수소 원자가 할로겐 원자, 특히 불소 원자로 치환된 기도 R14로서 바람직하다.Further, all the hydrogen atoms in these alkylene groups are preferable as the airway R 14 substituted with a halogen atom, particularly a fluorine atom.

[화 19][19]

Figure pat00019
Figure pat00019

식 (a1) 중, m1, m2 및 m3은 모두 0 또는 1이다. m1로는 0이 바람직하다. m2로는 1이 바람직하고, m3으로는 1이 바람직하다.In the formula (a1), m1, m2 and m3 are all 0 or 1. 0 is preferable as m1. m2 is preferably 1, and m3 is preferably 1.

이상 설명한, 식 (a1)로 표시되는 화합물의 바람직한 구체예로는 이하의 화합물을 들 수 있다.Specific examples of the compound represented by the formula (a1) described above include the following compounds.

[화 20][20]

Figure pat00020
Figure pat00020

[화 21][Figure 21]

Figure pat00021
Figure pat00021

[화 22][22]

Figure pat00022
Figure pat00022

[화 23][23]

Figure pat00023
Figure pat00023

[화 24][24]

Figure pat00024
Figure pat00024

[화 25][25]

Figure pat00025
Figure pat00025

[화 26][26]

Figure pat00026
Figure pat00026

[옥심에스테르 화합물(A2)][Oxime ester compound (A2)]

옥심에스테르 화합물(A2)은 하기 식 (a2):The oxime ester compound (A2) has the following formula (a2):

[화 27][Figure 27]

Figure pat00027
Figure pat00027

(식 (a2) 중, CR은 하기 식 (a2a) 또는 하기 식 (a2b):(In the formula (a2), CR represents a group represented by the following formula (a2a) or the following formula (a2b):

[화 28][28]

Figure pat00028
Figure pat00028

로 표시되는 기이며, Ra1은 수소 원자, 니트로기 또는 1가의 유기기이며, Ra2 및 Ra3은 각각 치환기를 가져도 되는 쇄상 알킬기, 치환기를 가져도 되는 쇄상 알콕시기, 치환기를 가져도 되는 환상 유기기, 또는 수소 원자이며, Ra2와 Ra3은 서로 결합하여 환을 형성해도 되고, Ra4는 1가의 유기기이며, Ra5는 수소 원자, 치환기를 가져도 되는 탄소 원자수 1 이상 20 이하의 지방족 탄화수소기, 또는 치환기를 가져도 되는 아릴기이며, n1은 0 이상 4 이하의 정수이며, n2는 0 또는 1이다.), R a1 is a hydrogen atom, a nitro group or a monovalent organic group, R a2 and R a3 each represent a straight chain alkyl group which may have a substituent, a straight chain alkoxy group which may have a substituent, Or a hydrogen atom, R a2 and R a3 may combine with each other to form a ring, R a4 is a monovalent organic group, and R a5 represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms which may have a substituent An aliphatic hydrocarbon group or an aryl group which may have a substituent, n1 is an integer of 0 or more and 4 or less, and n2 is 0 or 1.)

로 표시되는 화합물이다.≪ / RTI >

식 (a2)로 표시되는 옥심에스테르 화합물의 합성이나 입수의 용이성이나, Ra2 및 Ra3의 선택에 의해, 옥심에스테르 화합물의 특성을 조정하기 쉬운 점 등으로부터, 식 (a2) 중의 CR로는 식 (a2a)로 표시되는 기가 바람직하다.From the fact that the oxime ester compound represented by the formula (a2) can be easily adjusted and the characteristics of the oxime ester compound can be easily adjusted by selecting R a2 and R a3, the CR in the formula (a2) a2a) is preferable.

식 (a2) 중의 CR인 식 (a2a) 또는 식 (a2b)로 표시되는 기에서, Ra1은 수소 원자, 니트로기 또는 1가의 유기기이다. Ra1은 식 (a2a) 또는 식 (a2b) 중의 축합환 상에서, -(CO)n2-로 표시되는 기에 결합하는 방향환과는 상이한 6원 방향환에 결합한다. 식 (a2a) 또는 식 (a2b) 중, Ra1의 결합 위치는 특별히 한정되지 않는다. 식 (a2)로 표시되는 화합물이 1 이상의 Ra1을 가지는 경우, 식 (a2)로 표시되는 화합물의 합성이 용이한 점 등으로부터, 1 이상의 Ra1 중 하나가 하기 식 (a2a-1) 및 식 (a2b-1):In the group represented by formula (a2a) or formula (a2b) represented by the formula (a2), R a1 is a hydrogen atom, a nitro group or a monovalent organic group. R a1 is bonded to a 6-membered aromatic ring different from the aromatic ring bonded to the group represented by - (CO) n 2 - on the condensed ring in the formula (a2a) or the formula (a2b). The bonding position of R a1 in the formula (a2a) or the formula (a2b) is not particularly limited. Expression when having the (a2) compound is at least one R a1 represented by the formula (a2), from a point such as a synthetic ease of compound represented by one of the one or more R a1 formula (a2a-1) and the equation (a2b-1):

[화 29][29]

Figure pat00029
Figure pat00029

로 나타내는 구조 중의 *로 나타내는 위치에 결합하는 것이 바람직하다. Ra1이 복수인 경우, 복수의 Ra1은 동일해도 상이해도 된다.Is bonded at a position represented by * in the structure represented by *. When R a1 is a plurality, the plurality of R may be the same or different is a1.

Ra1이 유기기인 경우, Ra1은 본 발명의 목적을 저해하지 않는 범위에서 특별히 한정되지 않고, 여러 가지의 유기기로부터 적절히 선택된다. Ra1이 유기기인 경우의 적합한 예로는 알킬기, 알콕시기, 시클로알킬기, 시클로알콕시기, 포화 지방족 아실기, 포화 지방족 아실옥시기, 알콕시카르보닐기, 치환기를 가져도 되는 페닐기, 치환기를 가져도 되는 페녹시기, 치환기를 가져도 되는 벤조일기, 치환기를 가져도 되는 페녹시카르보닐기, 치환기를 가져도 되는 벤조일옥시기, 치환기를 가져도 되는 페닐알킬기, 치환기를 가져도 되는 나프틸기, 치환기를 가져도 되는 나프톡시기, 치환기를 가져도 되는 나프토일기, 치환기를 가져도 되는 나프톡시카르보닐기, 치환기를 가져도 되는 나프토일옥시기, 치환기를 가져도 되는 나프틸알킬기, 치환기를 가져도 되는 헤테로시크릴기, 치환기를 가져도 되는 헤테로시크릴카르보닐기, 1 또는 2의 유기기로 치환된 아미노기, 모르폴린-1-일기 및 피페라진-1-일기 등을 들 수 있다.When R a1 is an organic group, R a1 is not particularly limited as long as it does not impair the object of the present invention, and is suitably selected from various organic groups. Suitable examples of R a1 being an organic group include an alkyl group, an alkoxy group, a cycloalkyl group, a cycloalkoxy group, a saturated aliphatic acyl group, a saturated aliphatic acyloxy group, an alkoxycarbonyl group, a phenyl group which may have a substituent, , A benzoyl group which may have a substituent, a phenoxycarbonyl group which may have a substituent, a benzoyloxy group which may have a substituent, a phenylalkyl group which may have a substituent, a naphthyl group which may have a substituent, A naphthoyl group which may have a substituent, a naphthoxycarbonyl group which may have a substituent, a naphthoyloxy group which may have a substituent, a naphthylalkyl group which may have a substituent, a heterocyclyl group which may have a substituent, , An amino group substituted with an organic group of 1 or 2, a morpholin-1-yl group and a piperazin-1- Diary, and the like.

Ra1이 알킬기인 경우, 알킬기의 탄소 원자수는 1 이상 20 이하가 바람직하고, 1 이상 6 이하가 보다 바람직하다. 또, Ra1이 알킬기인 경우, 직쇄이어도 분기쇄이어도 된다. Ra1이 알킬기인 경우의 구체예로는 메틸기, 에틸기, n-프로필기, 이소프로필기, n-부틸기, 이소부틸기, sec-부틸기, tert-부틸기, n-펜틸기, 이소펜틸기, sec-펜틸기, tert-펜틸기, n-헥실기, n-헵틸기, n-옥틸기, 이소옥틸기, sec-옥틸기, tert-옥틸기, n-노닐기, 이소노닐기, n-데실기 및 이소데실기 등을 들 수 있다. 또, Ra1이 알킬기인 경우, 알킬기는 탄소쇄 중에 에테르 결합(-O-)을 포함하고 있어도 된다. 탄소쇄 중에 에테르 결합을 가지는 알킬기의 예로는 메톡시에틸기, 에톡시에틸기, 메톡시에톡시에틸기, 에톡시에톡시에틸기, 프로필옥시에톡시에틸기 및 메톡시프로필기 등을 들 수 있다.When R a1 is an alkyl group, the number of carbon atoms of the alkyl group is preferably 1 or more and 20 or less, and more preferably 1 or more and 6 or less. When R a1 is an alkyl group, it may be linear or branched. Specific examples of the case where R a1 is an alkyl group include a methyl group, ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, n-butyl group, isobutyl group, sec- N-hexyl, n-heptyl, n-octyl, isooctyl, sec-octyl, tert-octyl, n-nonyl, isononyl, n-hexyl, - decyl group and isodecyl group. When R a1 is an alkyl group, the alkyl group may contain an ether bond (-O-) in the carbon chain. Examples of the alkyl group having an ether bond in the carbon chain include a methoxyethyl group, an ethoxyethyl group, a methoxyethoxyethyl group, an ethoxyethoxyethyl group, a propyloxyethoxyethyl group, and a methoxypropyl group.

Ra1이 알콕시기인 경우, 알콕시기의 탄소 원자수는 1 이상 20 이하가 바람직하고, 1 이상 6 이하가 보다 바람직하다. 또, Ra1이 알콕시기인 경우, 직쇄이어도 분기쇄이어도 된다. Ra1이 알콕시기인 경우의 구체예로는 메톡시기, 에톡시기, n-프로필옥시기, 이소프로필옥시기, n-부틸옥시기, 이소부틸옥시기, sec-부틸옥시기, tert-부틸옥시기, n-펜틸옥시기, 이소펜틸옥시기, sec-펜틸옥시기, tert-펜틸옥시기, n-헥실옥시기, n-헵틸옥시기, n-옥틸옥시기, 이소옥틸옥시기, sec-옥틸옥시기, tert-옥틸옥시기, n-노닐옥시기, 이소노닐옥시기, n-데실옥시기 및 이소데실옥시기 등을 들 수 있다. 또, Ra1이 알콕시기인 경우, 알콕시기는 탄소쇄 중에 에테르 결합(-O-)을 포함하고 있어도 된다. 탄소쇄 중에 에테르 결합을 가지는 알콕시기의 예로는 메톡시에톡시기, 에톡시에톡시기, 메톡시에톡시에톡시기, 에톡시에톡시에톡시기, 프로필옥시에톡시에톡시기 및 메톡시프로필옥시기 등을 들 수 있다.When R a1 is an alkoxy group, the number of carbon atoms of the alkoxy group is preferably 1 or more and 20 or less, more preferably 1 or more and 6 or less. When R a1 is an alkoxy group, it may be a straight chain or a branched chain. Specific examples of when R a1 is an alkoxy group include methoxy, ethoxy, n-propyloxy, isopropyloxy, n-butyloxy, isobutyloxy, sec- , n-pentyloxy group, isopentyloxy group, sec-pentyloxy group, tert-pentyloxy group, n-hexyloxy group, n-heptyloxy group, n-octyloxy group, isooctyloxy group, Tert-octyloxy group, n-nonyloxy group, isononyloxy group, n-decyloxy group and isodecyloxy group. When R a1 is an alkoxy group, the alkoxy group may contain an ether bond (-O-) in the carbon chain. Examples of the alkoxy group having an ether bond in the carbon chain include a methoxyethoxy group, an ethoxyethoxy group, a methoxyethoxyethoxy group, an ethoxyethoxyethoxy group, a propoxyoxyethoxyethoxy group and a methoxy Propyloxy group and the like.

Ra1이 시클로알킬기 또는 시클로알콕시기인 경우, 시클로알킬기 또는 시클로알콕시기의 탄소 원자수는 3 이상 10 이하가 바람직하고, 3 이상 6 이하가 보다 바람직하다. Ra1이 시클로알킬기인 경우의 구체예로는 시클로프로필기, 시클로부틸기, 시클로펜틸기, 시클로헥실기, 시클로헵틸기 및 시클로옥틸기 등을 들 수 있다. Ra1이 시클로알콕시기인 경우의 구체예로는 시클로프로필옥시기, 시클로부틸옥시기, 시클로펜틸옥시기, 시클로헥실옥시기, 시클로헵틸옥시기 및 시클로옥틸옥시기 등을 들 수 있다.When R a1 is a cycloalkyl group or a cycloalkoxy group, the number of carbon atoms of the cycloalkyl group or the cycloalkoxy group is preferably 3 or more and 10 or less, more preferably 3 or more and 6 or less. Concrete examples of the case where R a1 is a cycloalkyl group include a cyclopropyl group, a cyclobutyl group, a cyclopentyl group, a cyclohexyl group, a cycloheptyl group and a cyclooctyl group. Concrete examples of the case where R a1 is a cycloalkoxy group include a cyclopropyloxy group, a cyclobutyloxy group, a cyclopentyloxy group, a cyclohexyloxy group, a cycloheptyloxy group and a cyclooctyloxy group.

Ra1이 포화 지방족 아실기 또는 포화 지방족 아실옥시기인 경우, 포화 지방족 아실기 또는 포화 지방족 아실옥시기의 탄소 원자수는 2 이상 21 이하가 바람직하고, 2 이상 7 이하가 보다 바람직하다. Ra1이 포화 지방족 아실기인 경우의 구체예로는 아세틸기, 프로파노일기, n-부타노일기, 2-메틸프로파노일기, n-펜타노일기, 2,2-디메틸프로파노일기, n-헥사노일기, n-헵타노일기, n-옥타노일기, n-노나노일기, n-데카노일기, n-운데카노일기, n-도데카노일기, n-트리데카노일기, n-테트라데카노일기, n-펜타데카노일기 및 n-헥사데카노일기 등을 들 수 있다. Ra1이 포화 지방족 아실옥시기인 경우의 구체예로는 아세틸옥시기, 프로파노일옥시기, n-부타노일옥시기, 2-메틸프로파노일옥시기, n-펜타노일옥시기, 2,2-디메틸프로파노일옥시기, n-헥사노일옥시기, n-헵타노일옥시기, n-옥타노일옥시기, n-노나노일옥시기, n-데카노일옥시기, n-운데카노일옥시기, n-도데카노일옥시기, n-트리데카노일옥시기, n-테트라데카노일옥시기, n-펜타데카노일옥시기 및 n-헥사데카노일옥시기 등을 들 수 있다.When R a1 is a saturated aliphatic acyl group or a saturated aliphatic acyloxy group, the number of carbon atoms of the saturated aliphatic acyl group or the saturated aliphatic acyloxy group is preferably 2 or more and 21 or less, more preferably 2 or more and 7 or less. Specific examples of when R a1 is a saturated aliphatic acyl group include an acetyl group, a propanoyl group, an n-butanoyl group, a 2-methylpropanoyl group, an n-pentanoyl group, a 2,2-dimethylpropanoyl group, n-heptanoyl group, n-octanoyl group, n-nonanoyl group, n-decanoyl group, n-undecanoyl group, n-dodecanoyl group, n-tridecanoyl group, - pentadecanoyl group, and n-hexadecanoyl group. Specific examples of the case where R a1 is a saturated aliphatic acyloxy group include an acetyloxy group, propanoyloxy group, n-butanoyloxy group, 2-methylpropanoyloxy group, n-pentanoyloxy group, 2,2- Hexanoyloxy group, n-heptanoyloxy group, n-octanoyloxy group, n-nonanoyloxy group, n-decanoyloxy group, n-undecanoyloxy group, n-tridecanoyloxy group, n-tridecanoyloxy group, n-tridecanoyloxy group, n-tridecanoyloxy group, n-tridecanoyloxy group and n-hexadecanoyloxy group.

Ra1이 알콕시카르보닐기인 경우, 알콕시카르보닐기의 탄소 원자수는 2 이상 20 이하가 바람직하고, 2 이상 7 이하가 보다 바람직하다. Ra1이 알콕시카르보닐기인 경우의 구체예로는 메톡시카르보닐기, 에톡시카르보닐기, n-프로필옥시카르보닐기, 이소프로필옥시카르보닐기, n-부틸옥시카르보닐기, 이소부틸옥시카르보닐기, sec-부틸옥시카르보닐기, tert-부틸옥시카르보닐기, n-펜틸옥시카르보닐기, 이소펜틸옥시카르보닐기, sec-펜틸옥시카르보닐기, tert-펜틸옥시카르보닐기, n-헥실옥시카르보닐기, n-헵틸옥시카르보닐기, n-옥틸옥시카르보닐기, 이소옥틸옥시카르보닐기, sec-옥틸옥시카르보닐기, tert-옥틸옥시카르보닐기, n-노닐옥시카르보닐기, 이소노닐옥시카르보닐기, n-데실옥시카르보닐기 및 이소데실옥시카르보닐기 등을 들 수 있다.When R a1 is an alkoxycarbonyl group, the number of carbon atoms of the alkoxycarbonyl group is preferably 2 or more and 20 or less, more preferably 2 or more and 7 or less. Specific examples of when R a1 is an alkoxycarbonyl group include methoxycarbonyl, ethoxycarbonyl, n-propyloxycarbonyl, isopropyloxycarbonyl, n-butyloxycarbonyl, isobutyloxycarbonyl, sec- An n-pentyloxycarbonyl group, an n-pentyloxycarbonyl group, an n-pentyloxycarbonyl group, an isopentyloxycarbonyl group, a sec-pentyloxycarbonyl group, a tert-pentyloxycarbonyl group, a sec-octyloxycarbonyl group, a tert-octyloxycarbonyl group, an n-nonyloxycarbonyl group, an isononyloxycarbonyl group, a n-decyloxycarbonyl group and an isodecyloxycarbonyl group.

Ra1이 페닐알킬기인 경우, 페닐알킬기의 탄소 원자수는 7 이상 20 이하가 바람직하고, 7 이상 10 이하가 보다 바람직하다. 또, Ra1이 나프틸알킬기인 경우, 나프틸알킬기의 탄소 원자수는 11 이상 20 이하가 바람직하고, 11 이상 14 이하가 보다 바람직하다. Ra1이 페닐알킬기인 경우의 구체예로는 벤질기, 2-페닐에틸기, 3-페닐프로필기 및 4-페닐부틸기를 들 수 있다. Ra1이 나프틸알킬기인 경우의 구체예로는 α-나프틸메틸기, β-나프틸메틸기, 2-(α-나프틸)에틸기 및 2-(β-나프틸)에틸기를 들 수 있다. Ra1이 페닐알킬기, 또는 나프틸알킬기인 경우, Ra1은 페닐기, 또는 나프틸기 상에 추가로 치환기를 가지고 있어도 된다.When R a1 is a phenylalkyl group, the number of carbon atoms of the phenylalkyl group is preferably 7 or more and 20 or less, more preferably 7 or more and 10 or less. When R a1 is a naphthylalkyl group, the number of carbon atoms of the naphthylalkyl group is preferably 11 or more and 20 or less, more preferably 11 or more and 14 or less. Specific examples of when R a1 is a phenylalkyl group include a benzyl group, a 2-phenylethyl group, a 3-phenylpropyl group and a 4-phenylbutyl group. Specific examples of the case where R a1 is a naphthylalkyl group include? -Naphthylmethyl group,? -Naphthylmethyl group, 2- (? -Naphthyl) ethyl group and 2- (? -Naphthyl) ethyl group. When R a1 is a phenylalkyl group or a naphthylalkyl group, R a1 may further have a substituent on the phenyl group or the naphthyl group.

Ra1이 헤테로시크릴기인 경우, 헤테로시크릴기는 1 이상의 N, S, O를 포함하는 5원 또는 6원의 단환이거나, 이러한 단환끼리, 또는 이러한 단환과 벤젠환이 축합한 헤테로시크릴기이다. 헤테로시크릴기가 축합환인 경우에는 환수 3까지의 것으로 한다. 헤테로시크릴기는 방향족기(헤테로아릴기)이어도 비방향족기이어도 된다. 이러한 헤테로시크릴기를 구성하는 복소환으로는 푸란, 티오펜, 피롤, 옥사졸, 이소옥사졸, 티아졸, 티아디아졸, 이소티아졸, 이미다졸, 피라졸, 트리아졸, 피리딘, 피라진, 피리미딘, 피리다진, 벤조푸란, 벤조티오펜, 인돌, 이소인돌, 인돌리진, 벤조이미다졸, 벤조트리아졸, 벤조옥사졸, 벤조티아졸, 카르바졸, 푸린, 퀴놀린, 이소퀴놀린, 퀴나졸린, 프탈라진, 신놀린, 퀴녹살린, 피페리딘, 피페라진, 모르폴린, 테트라히드로피란 및 테트라히드로푸란 등을 들 수 있다. Ra1이 헤테로시크릴기인 경우, 헤테로시크릴기는 추가로 치환기를 가지고 있어도 된다.When R a1 is a heterocyclyl group, the heterocyclyl group is a 5-membered or 6-membered monocyclic ring containing 1 or more N, S or O, or a heterocyclyl group in which the monocyclic ring is condensed with a benzene ring. And when the heterocyclyl group is a condensed ring, the number of rings is 3. The heterocyclyl group may be an aromatic group (heteroaryl group) or a non-aromatic group. Examples of the heterocycle constituting the heterocyclyl group include furan, thiophene, pyrrole, oxazole, isoxazole, thiazole, thiadiazole, isothiazole, imidazole, pyrazole, triazole, pyridine, pyrazine, Benzimidazole, benzothiazole, benzoxazole, benzothiazole, carbazole, purine, quinoline, isoquinoline, quinazoline, quinazoline, quinazoline, quinazoline, quinazoline, Thallazine, cinnolin, quinoxaline, piperidine, piperazine, morpholine, tetrahydropyran and tetrahydrofuran. When R a1 is a heterocyclyl group, the heterocyclyl group may further have a substituent.

Ra1이 헤테로시크릴카르보닐기인 경우, 헤테로시크릴카르보닐기에 포함되는 헤테로시크릴기는 Ra1이 헤테로시크릴기인 경우와 동일하다.When R a1 is a heterocyclylcarbonyl group, the heterocyclyl group contained in the heterocyclylcarbonyl group is the same as the case where R a1 is a heterocyclyl group.

Ra1이 1 또는 2의 유기기로 치환된 아미노기인 경우, 유기기의 적합한 예는 탄소 원자수 1 이상 20 이하의 알킬기, 탄소 원자수 3 이상 10 이하의 시클로알킬기, 탄소 원자수 2 이상 21 이하의 포화 지방족 아실기, 치환기를 가져도 되는 페닐기, 치환기를 가져도 되는 벤조일기, 치환기를 가져도 되는 탄소 원자수 7 이상 20 이하의 페닐알킬기, 치환기를 가져도 되는 나프틸기, 치환기를 가져도 되는 나프토일기, 치환기를 가져도 되는 탄소 원자수 11 이상 20 이하의 나프틸알킬기 및 헤테로시크릴기 등을 들 수 있다. 이들 적합한 유기기의 구체예는 Ra1과 동일하다. 1 또는 2의 유기기로 치환된 아미노기의 구체예로는 메틸아미노기, 에틸아미노기, 디에틸아미노기, n-프로필아미노기, 디-n-프로필아미노기, 이소프로필아미노기, n-부틸아미노기, 디-n-부틸아미노기, n-펜틸아미노기, n-헥실아미노기, n-헵틸아미노기, n-옥틸아미노기, n-노닐아미노기, n-데실아미노기, 페닐아미노기, 나프틸아미노기, 아세틸아미노기, 프로파노일아미노기, n-부타노일아미노기, n-펜타노일아미노기, n-헥사노일아미노기, n-헵타노일아미노기, n-옥타노일아미노기, n-데카노일아미노기, 벤조일아미노기, α-나프토일아미노기 및 β-나프토일아미노기 등을 들 수 있다.When R a1 is an amino group substituted with 1 or 2 organic groups, suitable examples of the organic group include an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a cycloalkyl group having 3 to 10 carbon atoms, a cycloalkyl group having 2 to 21 carbon atoms A saturated aliphatic acyl group, a phenyl group which may have a substituent, a benzoyl group which may have a substituent, a phenylalkyl group having 7 to 20 carbon atoms which may have a substituent, a naphthyl group which may have a substituent, A tolyl group, a naphthylalkyl group having from 11 to 20 carbon atoms which may have a substituent, and a heterocyclyl group. Specific examples of these suitable organic groups are the same as R a1 . Specific examples of the amino group substituted with 1 or 2 organic groups include methylamino, ethylamino, diethylamino, n-propylamino, di-n-propylamino, isopropylamino, n- An amino group, an amino group, an n-pentylamino group, an n-hexylamino group, an n-heptylamino group, an n-octylamino group, N-pentanoylamino group, n-hexanoylamino group, n-heptanoylamino group, n-octanoylamino group, n-decanoylamino group, benzoylamino group, .

Ra1에 포함되는, 페닐기, 나프틸기 및 헤테로시크릴기가 추가로 치환기를 가지는 경우의 치환기로는 탄소 원자수 1 이상 6 이하의 알킬기, 탄소 원자수 1 이상 6 이하의 알콕시기, 탄소 원자수 2 이상 7 이하의 포화 지방족 아실기, 탄소 원자수 2 이상 7 이하의 알콕시카르보닐기, 탄소 원자수 2 이상 7 이하의 포화 지방족 아실옥시기, 탄소 원자수 1 이상 6 이하의 알킬기를 가지는 모노알킬아미노기, 탄소 원자수 1 이상 6 이하의 알킬기를 가지는 디알킬아미노기, 모르폴린-1-일기, 피페라진-1-일기, 할로겐, 니트로기 및 시아노기 등을 들 수 있다. Ra1에 포함되는, 페닐기, 나프틸기 및 헤테로시크릴기가 추가로 치환기를 가지는 경우, 그 치환기의 수는 본 발명의 목적을 저해하지 않는 범위에서 한정되지 않지만, 1 이상 4 이하가 바람직하다. Ra1에 포함되는, 페닐기, 나프틸기 및 헤테로시크릴기가 복수의 치환기를 가지는 경우, 복수의 치환기는 동일해도 상이해도 된다.When the phenyl group, naphthyl group and heterocyclyl group contained in R a1 have a further substituent, the substituent includes an alkyl group of 1 to 6 carbon atoms, an alkoxy group of 1 to 6 carbon atoms, an alkoxy group of 2 A saturated aliphatic acyl group having 7 or less carbon atoms, an alkoxycarbonyl group having 2 to 7 carbon atoms, a saturated aliphatic acyloxy group having 2 to 7 carbon atoms, a monoalkylamino group having an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, A dialkylamino group having an alkyl group having at least 1 atom and at most 6 atoms, a morpholin-1-yl group, a piperazin-1-yl group, a halogen atom, a nitro group and a cyano group. When the phenyl group, naphthyl group and heterocyclyl group contained in R a1 further have a substituent, the number of the substituent is not limited within the range not hindering the object of the present invention, but is preferably 1 or more and 4 or less. When the phenyl group, naphthyl group and heterocyclyl group contained in R a1 have a plurality of substituents, the plurality of substituents may be the same or different.

이상 설명한 기 중에서도, Ra1으로는 니트로기 또는 Ra6-CO-로 표시되는 기이면, 감도가 향상되는 경향이 있어 바람직하다. Ra6은 본 발명의 목적을 저해하지 않는 범위에서 특별히 한정되지 않고, 여러 가지의 유기기로부터 선택할 수 있다. Ra6으로서 적합한 기의 예로는 탄소 원자수 1 이상 20 이하의 알킬기, 치환기를 가져도 되는 페닐기, 치환기를 가져도 되는 나프틸기 및 치환기를 가져도 되는 헤테로시크릴기를 들 수 있다. Ra6으로서 이들 기 중에서는 2-메틸페닐기, 티오펜-2-일기 및 α-나프틸기가 특히 바람직하다.Among the groups described above, it is preferable that R a1 is a group represented by a nitro group or R a6 -CO- because the sensitivity tends to be improved. R a6 is not particularly limited as long as the object of the present invention is not impaired, and R a6 can be selected from a variety of organic groups. Examples of the group suitable as R a6 include an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a phenyl group which may have a substituent, a naphthyl group which may have a substituent, and a heterocyclyl group which may have a substituent. As R a6 , among these groups, a 2-methylphenyl group, a thiophen-2-yl group and an a-naphthyl group are particularly preferable.

또, Ra1이 수소 원자이면, 투명성이 양호해지는 경향이 있어 바람직하다. 또한 Ra1이 수소 원자이며 또한 Ra3이 후술하는 식 (a2-a) 또는 (a2-b)으로 표시되는 기이면 투명성은 보다 양호해지는 경향이 있다.When R a1 is a hydrogen atom, transparency tends to be good, which is preferable. When R a1 is a hydrogen atom and R a3 is a group represented by the formula (a2-a) or (a2-b) described later, the transparency tends to be better.

식 (a2a) 중, Ra2 및 Ra3은 각각 치환기를 가져도 되는 쇄상 알킬기, 치환기를 가져도 되는 쇄상 알콕시기, 치환기를 가져도 되는 환상 유기기, 또는 수소 원자이다. Ra2와 Ra3은 서로 결합하여 환을 형성해도 된다. 이들 기 중에서는 Ra2 및 Ra3으로서 치환기를 가져도 되는 쇄상 알킬기가 바람직하다. Ra2 및 Ra3이 치환기를 가져도 되는 쇄상 알킬기인 경우, 쇄상 알킬기는 직쇄 알킬기이어도 분기쇄 알킬기이어도 된다.In formula (a2a), R a2 and R a3 are each a straight chain alkyl group which may have a substituent, a straight chain alkoxy group which may have a substituent, a cyclic organic group which may have a substituent, or a hydrogen atom. R a2 and R a3 may be bonded to each other to form a ring. Among these groups, R a2 and R a3 are preferably chain alkyl groups which may have a substituent. When R a2 and R a3 are a straight chain alkyl group which may have a substituent, the straight chain alkyl group may be a straight chain alkyl group or a branched chain alkyl group.

Ra2 및 Ra3이 치환기를 가지지 않는 쇄상 알킬기인 경우, 쇄상 알킬기의 탄소 원자수는 1 이상 20 이하가 바람직하고, 1 이상 10 이하가 보다 바람직하며, 1 이상 6 이하가 특히 바람직하다. Ra2 및 Ra3이 쇄상 알킬기인 경우의 구체예로는 메틸기, 에틸기, n-프로필기, 이소프로필기, n-부틸기, 이소부틸기, sec-부틸기, tert-부틸기, n-펜틸기, 이소펜틸기, sec-펜틸기, tert-펜틸기, n-헥실기, n-헵틸기, n-옥틸기, 이소옥틸기, sec-옥틸기, tert-옥틸기, n-노닐기, 이소노닐기, n-데실기 및 이소데실기 등을 들 수 있다. 또, Ra2 및 Ra3이 알킬기인 경우, 알킬기는 탄소쇄 중에 에테르 결합(-O-)을 포함하고 있어도 된다. 탄소쇄 중에 에테르 결합을 가지는 알킬기의 예로는 메톡시에틸기, 에톡시에틸기, 메톡시에톡시에틸기, 에톡시에톡시에틸기, 프로필옥시에톡시에틸기 및 메톡시프로필기 등을 들 수 있다.When R a2 and R a3 are a straight chain alkyl group having no substituent, the number of carbon atoms of the straight chain alkyl group is preferably 1 or more and 20 or less, more preferably 1 or more and 10 or less, and particularly preferably 1 or more and 6 or less. Specific examples of the case where R a2 and R a3 are chain alkyl groups include a methyl group, ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, n-butyl group, isobutyl group, sec- N-hexyl group, n-hexyl group, n-hexyl group, isohexyl group, iso-pentyl group, sec-pentyl group, tert- Nonyl group, n-decyl group and isodecyl group. When R a2 and R a3 are alkyl groups, the alkyl group may contain an ether bond (-O-) in the carbon chain. Examples of the alkyl group having an ether bond in the carbon chain include a methoxyethyl group, an ethoxyethyl group, a methoxyethoxyethyl group, an ethoxyethoxyethyl group, a propyloxyethoxyethyl group, and a methoxypropyl group.

Ra2 및 Ra3이 치환기를 가지는 쇄상 알킬기인 경우, 쇄상 알킬기의 탄소 원자수는 1 이상 20 이하가 바람직하고, 1 이상 10 이하가 보다 바람직하며, 1 이상 6 이하가 특히 바람직하다. 이 경우, 치환기의 탄소 원자수는 쇄상 알킬기의 탄소 원자수에 포함되지 않는다. 치환기를 가지는 쇄상 알킬기는 직쇄상인 것이 바람직하다. When R a2 and R a3 are a straight chain alkyl group having a substituent, the number of carbon atoms of the straight chain alkyl group is preferably 1 or more and 20 or less, more preferably 1 or more and 10 or less, and particularly preferably 1 or more and 6 or less. In this case, the number of carbon atoms of the substituent is not included in the number of carbon atoms of the chain alkyl group. The straight chain alkyl group having a substituent is preferably a straight chain.

알킬기가 가져도 되는 치환기는 본 발명의 목적을 저해하지 않는 범위에서 특별히 한정되지 않는다. 치환기의 적합한 예로는 시아노기, 할로겐 원자, 환상 유기기 및 알콕시카르보닐기를 들 수 있다. 할로겐 원자로는 불소 원자, 염소 원자, 브롬 원자, 요오드 원자를 들 수 있다. 이들 중에서는 불소 원자, 염소 원자, 브롬 원자가 바람직하다. 환상 유기기로는 시클로알킬기, 방향족 탄화수소기, 헤테로시크릴기를 들 수 있다. 시클로알킬기의 구체예로는 Ra1이 시클로알킬기인 경우의 적합한 예와 동일하다. 방향족 탄화수소기의 구체예로는 페닐기, 나프틸기, 비페닐릴기, 안트릴기 및 페난트릴기 등을 들 수 있다. 헤테로시크릴기의 구체예로는 Ra1이 헤테로시크릴기인 경우의 적합한 예와 동일하다. Ra1이 알콕시카르보닐기인 경우, 알콕시카르보닐기에 포함되는 알콕시기는 직쇄상이어도 분기쇄상이어도 되고, 직쇄상이 바람직하다. 알콕시카르보닐기에 포함되는 알콕시기의 탄소 원자수는 1 이상 10 이하가 바람직하고, 1 이상 6 이하가 보다 바람직하다.The substituent that the alkyl group may have is not particularly limited within the scope of not impairing the object of the present invention. Suitable examples of the substituent include a cyano group, a halogen atom, a cyclic organic group and an alkoxycarbonyl group. Examples of the halogen atom include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom and an iodine atom. Of these, a fluorine atom, a chlorine atom and a bromine atom are preferable. Examples of the cyclic organic group include a cycloalkyl group, an aromatic hydrocarbon group and a heterocyclyl group. Specific examples of the cycloalkyl group are the same as those in the case where R a1 is a cycloalkyl group. Specific examples of the aromatic hydrocarbon group include a phenyl group, a naphthyl group, a biphenylyl group, an anthryl group, and a phenanthryl group. Concrete examples of the heterocyclyl group are the same as those in the case where R a1 is a heterocyclyl group. When R a1 is an alkoxycarbonyl group, the alkoxy group contained in the alkoxycarbonyl group may be linear, branched or straight-chain. The number of carbon atoms of the alkoxy group contained in the alkoxycarbonyl group is preferably 1 or more and 10 or less, and more preferably 1 or more and 6 or less.

쇄상 알킬기가 치환기를 가지는 경우, 치환기의 수는 특별히 한정되지 않는다. 바람직한 치환기의 수는 쇄상 알킬기의 탄소 원자수에 따라 바뀐다. 치환기의 수는 전형적으로는 1 이상 20 이하이며, 1 이상 10 이하가 바람직하고, 1 이상 6 이하가 보다 바람직하다.When the straight chain alkyl group has a substituent, the number of the substituent is not particularly limited. The number of preferred substituents varies depending on the number of carbon atoms of the chain alkyl group. The number of substituents is typically 1 or more and 20 or less, preferably 1 or more and 10 or less, and more preferably 1 or more and 6 or less.

Ra2 및 Ra3이 치환기를 가지지 않는 쇄상 알콕시기인 경우, 쇄상 알콕시기의 탄소 원자수는 1 이상 20 이하가 바람직하고, 1 이상 10 이하가 보다 바람직하며, 1 이상 6 이하가 특히 바람직하다. Ra2 및 Ra3이 쇄상 알콕시기인 경우의 구체예로는 메톡시기, 에톡시기, n-프로필옥시기, 이소프로필옥시기, n-부틸옥시기, 이소부틸옥시기, sec-부틸옥시기, tert-부틸옥시기, n-펜틸옥시기, 이소펜틸옥시기, sec-펜틸옥시기, tert-펜틸옥시기, n-헥실옥시기, n-헵틸옥시기, n-옥틸옥시기, 이소옥틸옥시기, sec-옥틸옥시기, tert-옥틸옥시기, n-노닐옥시기, 이소노닐옥시기, n-데실옥시기 및 이소데실옥시기 등을 들 수 있다. 또, Ra2 및 Ra3이 알콕시기인 경우, 알콕시기는 탄소쇄 중에 에테르 결합(-O-)을 포함하고 있어도 된다. 탄소쇄 중에 에테르 결합을 가지는 알콕시기의 예로는 메톡시에톡시기, 에톡시에톡시기, 메톡시에톡시에톡시기, 에톡시에톡시에톡시기, 프로필옥시에톡시에톡시기 및 메톡시프로필옥시기 등을 들 수 있다.When R a2 and R a3 are a straight chain alkoxy group having no substituent, the number of carbon atoms of the chain alkoxy group is preferably 1 or more and 20 or less, more preferably 1 or more and 10 or less, and particularly preferably 1 or more and 6 or less. Specific examples of the case where R a2 and R a3 are chain alkoxy groups include methoxy, ethoxy, n-propyloxy, isopropyloxy, n-butyloxy, isobutyloxy, sec- N-pentyloxy group, isopentyloxy group, sec-pentyloxy group, tert-pentyloxy group, n-hexyloxy group, n-heptyloxy group, sec-octyloxy group, tert-octyloxy group, n-nonyloxy group, isononyloxy group, n-decyloxy group and isodecyloxy group. When R a2 and R a3 are alkoxy groups, the alkoxy group may contain an ether bond (-O-) in the carbon chain. Examples of the alkoxy group having an ether bond in the carbon chain include a methoxyethoxy group, an ethoxyethoxy group, a methoxyethoxyethoxy group, an ethoxyethoxyethoxy group, a propoxyoxyethoxyethoxy group and a methoxy Propyloxy group and the like.

Ra2 및 Ra3이 치환기를 가지는 쇄상 알콕시기인 경우에, 알콕시기가 가져도 되는 치환기는 Ra2 및 Ra3이 쇄상 알킬기인 경우와 동일하다.When R a2 and R a3 are a straight chain alkoxy group having a substituent, the substituent that the alkoxy group may have is the same as the case where R a2 and R a3 are straight chain alkyl groups.

Ra2 및 Ra3이 환상 유기기인 경우, 환상 유기기는 지환식기이어도 방향족기이어도 된다. 환상 유기기로는 지방족 환상 탄화수소기, 방향족 탄화수소기, 헤테로시크릴기를 들 수 있다. Ra2 및 Ra3이 환상 유기기인 경우에, 환상 유기기가 가져도 되는 치환기는 Ra2 및 Ra3이 쇄상 알킬기인 경우와 동일하다.When R a2 and R a3 are cyclic organic groups, the cyclic organic group may be an alicyclic group or an aromatic group. Examples of the cyclic organic group include an aliphatic cyclic hydrocarbon group, an aromatic hydrocarbon group, and a heterocyclyl group. When R a2 and R a3 are cyclic organic groups, the substituent that the cyclic organic group may have is the same as the case where R a2 and R a3 are chain alkyl groups.

Ra2 및 Ra3이 방향족 탄화수소기인 경우, 방향족 탄화수소기는 페닐기이거나, 복수의 벤젠환이 탄소-탄소 결합을 통해서 결합해 형성되는 기이거나, 복수의 벤젠환이 축합해 형성되는 기인 것이 바람직하다. 방향족 탄화수소기가 페닐기이거나, 복수의 벤젠환이 결합 또는 축합해 형성되는 기인 경우, 방향족 탄화수소기에 포함되는 벤젠환의 환수는 특별히 한정되지 않고, 3 이하가 바람직하고, 2 이하가 보다 바람직하며, 1이 특히 바람직하다. 방향족 탄화수소기의 바람직한 구체예로는 페닐기, 나프틸기, 비페닐릴기, 안트릴기 및 페난트릴기 등을 들 수 있다.When R a2 and R a3 are aromatic hydrocarbon groups, the aromatic hydrocarbon group is preferably a phenyl group, or a group in which a plurality of benzene rings are bonded through a carbon-carbon bond, or a group in which a plurality of benzene rings are condensed to form. In the case where the aromatic hydrocarbon group is a phenyl group or a group in which a plurality of benzene rings are formed by bonding or condensation, the number of rings of the benzene ring contained in the aromatic hydrocarbon group is not particularly limited, preferably 3 or less, more preferably 2 or less, Do. Specific examples of the aromatic hydrocarbon group include a phenyl group, a naphthyl group, a biphenylyl group, an anthryl group, and a phenanthryl group.

Ra2 및 Ra3이 지방족 환상 탄화수소기인 경우, 지방족 환상 탄화수소기는 단환식이어도 다환식이어도 된다. 지방족 환상 탄화수소기의 탄소 원자수는 특별히 한정되지 않지만, 3 이상 20 이하가 바람직하고, 3 이상 10 이하가 보다 바람직하다. 단환식의 환상 탄화수소기의 예로는 시클로프로필기, 시클로부틸기, 시클로펜틸기, 시클로헥실기, 시클로헵틸기, 시클로옥틸기, 노르보닐기, 이소보닐기, 트리시클로노닐기, 트리시클로데실기, 테트라시클로도데실기 및 아단틸기 등을 들 수 있다.When R a2 and R a3 are aliphatic cyclic hydrocarbon groups, aliphatic cyclic hydrocarbon groups may be monocyclic or polycyclic. The number of carbon atoms of the aliphatic cyclic hydrocarbon group is not particularly limited, but is preferably 3 or more and 20 or less, more preferably 3 or more and 10 or less. Examples of the monocyclic cyclic hydrocarbon group include a cyclopropyl group, a cyclobutyl group, a cyclopentyl group, a cyclohexyl group, a cycloheptyl group, a cyclooctyl group, a norbornyl group, an isobonyl group, a tricyclodecyl group , Tetracyclododecyl group, and an adamantyl group.

Ra2 및 Ra3이 헤테로시크릴기인 경우, 헤테로시크릴기는 1 이상의 N, S, O를 포함하는 5원 또는 6원의 단환이거나, 이러한 단환끼리, 또는 이러한 단환과 벤젠환이 축합한 헤테로시크릴기이다. 헤테로시크릴기가 축합환인 경우에는 환수 3까지의 것으로 한다. 헤테로시크릴기는 방향족기(헤테로아릴기)이어도 비방향족기이어도 된다. 이러한 헤테로시크릴기를 구성하는 복소환으로는 푸란, 티오펜, 피롤, 옥사졸, 이소옥사졸, 티아졸, 티아디아졸, 이소티아졸, 이미다졸, 피라졸, 트리아졸, 피리딘, 피라진, 피리미딘, 피리다진, 벤조푸란, 벤조티오펜, 인돌, 이소인돌, 인돌리진, 벤조이미다졸, 벤조트리아졸, 벤조옥사졸, 벤조티아졸, 카르바졸, 푸린, 퀴놀린, 이소퀴놀린, 퀴나졸린, 프탈라진, 신놀린, 퀴녹살린, 피페리딘, 피페라진, 모르폴린, 테트라히드로피란 및 테트라히드로푸란 등을 들 수 있다.When R a2 and R a3 are a heterocyclyl group, the heterocyclyl group may be a 5-membered or 6-membered monocyclic ring containing 1 or more N, S, O, or a monocyclic or bicyclic monocyclic ring containing one or more of these monocyclic rings, . And when the heterocyclyl group is a condensed ring, the number of rings is 3. The heterocyclyl group may be an aromatic group (heteroaryl group) or a non-aromatic group. Examples of the heterocycle constituting the heterocyclyl group include furan, thiophene, pyrrole, oxazole, isoxazole, thiazole, thiadiazole, isothiazole, imidazole, pyrazole, triazole, pyridine, pyrazine, Benzimidazole, benzothiazole, benzoxazole, benzothiazole, carbazole, purine, quinoline, isoquinoline, quinazoline, quinazoline, quinazoline, quinazoline, quinazoline, Thallazine, cinnolin, quinoxaline, piperidine, piperazine, morpholine, tetrahydropyran and tetrahydrofuran.

Ra2 및 Ra3은 서로 결합하여 환을 형성해도 된다. Ra2 및 Ra3이 형성하는 환으로 이루어진 기는 시클로알킬리덴기인 것이 바람직하다. Ra2 및 Ra3이 결합해 시클로알킬리덴기를 형성하는 경우, 시클로알킬리덴기를 구성하는 환은 5원환~6원환인 것이 바람직하고, 5원환인 것이 보다 바람직하다.R a2 and R a3 may be bonded to each other to form a ring. The group formed by the ring formed by R a2 and R a3 is preferably a cycloalkylidene group. When R a2 and R a3 are bonded to form a cycloalkylidene group, the ring constituting the cycloalkylidene group is preferably a 5-membered to 6-membered ring, more preferably a 5-membered ring.

Ra2 및 Ra3이 결합해 형성하는 기가 시클로알킬리덴기인 경우, 시클로알킬리덴기는 1 이상의 다른 환과 축합하고 있어도 된다. 시클로알킬리덴기와 축합하고 있어도 되는 환의 예로는 벤젠환, 나프탈렌환, 시클로부탄환, 시클로펜탄환, 시클로헥산환, 시클로헵탄환, 시클로옥탄환, 푸란환, 티오펜환, 피롤환, 피리딘환, 피라진환 및 피리미딘환 등을 들 수 있다.When the group formed by combining R a2 and R a3 is a cycloalkylidene group, the cycloalkylidene group may be condensed with one or more other rings. Examples of the ring which may be condensed with a cycloalkylidene group include a benzene ring, a naphthalene ring, a cyclobutane ring, a cyclopentane ring, a cyclohexane ring, a cycloheptane ring, a cyclooctane ring, a furan ring, a thiophene ring, A pyrazine ring and a pyrimidine ring.

이상 설명한 Ra2 및 Ra3 중에서도 적합한 기의 예로는 식 -A1-A2로 표시되는 기를 들 수 있다. 식 중, A1은 직쇄 알킬렌기이며, A2는 알콕시기, 시아노기, 할로겐 원자, 할로겐화 알킬기, 환상 유기기 또는 알콕시카르보닐기를 들 수 있다.Examples of suitable groups among R a2 and R a3 described above include groups represented by the formula -A 1 -A 2 . Wherein A 1 is a straight chain alkylene group and A 2 is an alkoxy group, a cyano group, a halogen atom, a halogenated alkyl group, a cyclic organic group or an alkoxycarbonyl group.

A1의 직쇄 알킬렌기의 탄소 원자수는 1 이상 10 이하가 바람직하고, 1 이상 6 이하가 보다 바람직하다. A2가 알콕시기인 경우, 알콕시기는 직쇄상이어도 분기쇄상이어도 되고, 직쇄상이 바람직하다. 알콕시기의 탄소 원자수는 1 이상 10 이하가 바람직하고, 1 이상 6 이하가 보다 바람직하다. A2가 할로겐 원자인 경우, 불소 원자, 염소 원자, 브롬 원자, 요오드 원자가 바람직하고, 불소 원자, 염소 원자, 브롬 원자가 보다 바람직하다. A2가 할로겐화 알킬기인 경우, 할로겐화 알킬기에 포함되는 할로겐 원자는 불소 원자, 염소 원자, 브롬 원자, 요오드 원자가 바람직하고, 불소 원자, 염소 원자, 브롬 원자가 보다 바람직하다. 할로겐화 알킬기는 직쇄상이어도 분기쇄상이어도 되고, 직쇄상이 바람직하다. A2가 환상 유기기인 경우, 환상 유기기의 예는 Ra2 및 Ra3이 치환기로서 가지는 환상 유기기와 동일하다. A2가 알콕시카르보닐기인 경우, 알콕시카르보닐기의 예는 Ra2 및 Ra3이 치환기로서 가지는 알콕시카르보닐기와 동일하다.The number of carbon atoms of the straight chain alkylene group of A 1 is preferably 1 or more and 10 or less, and more preferably 1 or more and 6 or less. When A 2 is an alkoxy group, the alkoxy group may be linear or branched or straight-chain. The number of carbon atoms in the alkoxy group is preferably 1 or more and 10 or less, and more preferably 1 or more and 6 or less. When A 2 is a halogen atom, a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom and an iodine atom are preferable, and a fluorine atom, a chlorine atom and a bromine atom are more preferable. When A 2 is a halogenated alkyl group, the halogen atom contained in the halogenated alkyl group is preferably a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom or an iodine atom, more preferably a fluorine atom, a chlorine atom or a bromine atom. The halogenated alkyl group may be straight chain or branched chain, and straight chain is preferable. When A 2 is a cyclic organic group, examples of cyclic organic groups are the same as cyclic organic groups having R a2 and R a3 as substituents. When A 2 is an alkoxycarbonyl group, examples of the alkoxycarbonyl group are the same as the alkoxycarbonyl group having R a2 and R a3 as a substituent.

Ra2 및 Ra3의 적합한 구체예로는 에틸기, n-프로필기, n-부틸기, n-헥실기, n-헵틸기 및 n-옥틸기 등의 알킬기; 2-메톡시에틸기, 3-메톡시-n-프로필기, 4-메톡시-n-부틸기, 5-메톡시-n-펜틸기, 6-메톡시-n-헥실기, 7-메톡시-n-헵틸기, 8-메톡시-n-옥틸기, 2-에톡시에틸기, 3-에톡시-n-프로필기, 4-에톡시-n-부틸기, 5-에톡시-n-펜틸기, 6-에톡시-n-헥실기, 7-에톡시-n-헵틸기 및 8-에톡시-n-옥틸기 등의 알콕시알킬기; 2-시아노에틸기, 3-시아노-n-프로필기, 4-시아노-n-부틸기, 5-시아노-n-펜틸기, 6-시아노-n-헥실기, 7-시아노-n-헵틸기 및 8-시아노-n-옥틸기 등의 시아노알킬기; 2-페닐에틸기, 3-페닐-n-프로필기, 4-페닐-n-부틸기, 5-페닐-n-펜틸기, 6-페닐-n-헥실기, 7-페닐-n-헵틸기 및 8-페닐-n-옥틸기 등의 페닐알킬기; 2-시클로헥실에틸기, 3-시클로헥실-n-프로필기, 4-시클로헥실-n-부틸기, 5-시클로헥실-n-펜틸기, 6-시클로헥실-n-헥실기, 7-시클로헥실-n-헵틸기, 8-시클로헥실-n-옥틸기, 2-시클로펜틸에틸기, 3-시클로펜틸-n-프로필기, 4-시클로펜틸-n-부틸기, 5-시클로펜틸-n-펜틸기, 6-시클로펜틸-n-헥실기, 7-시클로펜틸-n-헵틸기 및 8-시클로펜틸-n-옥틸기 등의 시클로알킬알킬기; 2-메톡시카르보닐에틸기, 3-메톡시카르보닐-n-프로필기, 4-메톡시카르보닐-n-부틸기, 5-메톡시카르보닐-n-펜틸기, 6-메톡시카르보닐-n-헥실기, 7-메톡시카르보닐-n-헵틸기, 8-메톡시카르보닐-n-옥틸기, 2-에톡시카르보닐에틸기, 3-에톡시카르보닐-n-프로필기, 4-에톡시카르보닐-n-부틸기, 5-에톡시카르보닐-n-펜틸기, 6-에톡시카르보닐-n-헥실기, 7-에톡시카르보닐-n-헵틸기 및 8-에톡시카르보닐-n-옥틸기 등의 알콕시카르보닐알킬기; 2-클로로에틸기, 3-클로로-n-프로필기, 4-클로로-n-부틸기, 5-클로로-n-펜틸기, 6-클로로-n-헥실기, 7-클로로-n-헵틸기, 8-클로로-n-옥틸기, 2-브로모에틸기, 3-브로모-n-프로필기, 4-브로모-n-부틸기, 5-브로모-n-펜틸기, 6-브로모-n-헥실기, 7-브로모-n-헵틸기, 8-브로모-n-옥틸기, 3,3,3-트리플루오로프로필기 및 3,3,4,4,5,5,5-헵타플루오로-n-펜틸기 등의 할로겐화 알킬기를 들 수 있다.Suitable examples of R a2 and R a3 include alkyl groups such as ethyl group, n-propyl group, n-butyl group, n-hexyl group, n-heptyl group and n-octyl group; Methoxy-n-butyl group, 5-methoxy-n-pentyl group, 6-methoxy-n-hexyl group, 7-methoxy ethoxy-n-propyl group, 4-ethoxy-n-butyl group, 5-ethoxy-n-pentyl group, Alkoxyalkyl groups such as a t-butyl group, a 6-ethoxy-n-hexyl group, a 7-ethoxy-n-heptyl group and an 8-ethoxy-n-octyl group; N-propyl group, 4-cyano-n-butyl group, 5-cyano-n-pentyl group, 6-cyano- a cyanoalkyl group such as an n-heptyl group and an 8-cyano-n-octyl group; Phenyl-n-pentyl group, a 6-phenyl-n-hexyl group, a 7-phenyl-n-heptyl group and a 3-phenyl- A phenylalkyl group such as an 8-phenyl-n-octyl group; Cyclohexyl-n-propyl group, 4-cyclohexyl-n-butyl group, 5-cyclohexyl-n-pentyl group, 6-cyclohexyl n-hexyl group, 7-cyclohexyl cyclopentyl-n-propyl group, 4-cyclopentyl-n-butyl group, 5-cyclopentyl-n-pentyl group, Cycloalkylalkyl groups such as a t-butyl group, a 6-cyclopentyl-n-hexyl group, a 7-cyclopentyl-n-heptyl group and an 8-cyclopentyl-n-octyl group; Methoxycarbonyl-n-propyl group, 4-methoxycarbonyl-n-butyl group, 5-methoxycarbonyl-n-pentyl group, 6-methoxycarbonyl n-hexyl group, 7-methoxycarbonyl-n-heptyl group, 8-methoxycarbonyl-n-octyl group, 2-ethoxycarbonylethyl group, 3-ethoxycarbonyl- Ethoxycarbonyl-n-butyl group, 5-ethoxycarbonyl-n-pentyl group, 6-ethoxycarbonyl-n-hexyl group, An alkoxycarbonylalkyl group such as an ethoxycarbonyl-n-octyl group; Chloro-n-pentyl group, 6-chloro-n-hexyl group, 7-chloro- n-heptyl group, Propyl group, 4-bromo-n-butyl group, 5-bromo-n-pentyl group, 6-bromo- n-heptyl group, 8-bromo-n-octyl group, 3,3,3-trifluoropropyl group and 3,3,4,4,5,5,5 Heptafluoro-n-pentyl group, and the like.

Ra2 및 Ra3으로서 상기 중에서도 적합한 기는 에틸기, n-프로필기, n-부틸기, n-펜틸기, 2-메톡시에틸기, 2-시아노에틸기, 2-페닐에틸기, 2-시클로헥실에틸기, 2-메톡시카르보닐에틸기, 2-클로로에틸기, 2-브로모에틸기, 3,3,3-트리플루오로프로필기 및 3,3,4,4,5,5,5-헵타플루오로-n-펜틸기이다.As suitable groups among R a2 and R a3 among the above groups, there may be mentioned ethyl group, n-propyl group, n-butyl group, n-pentyl group, 2- methoxyethyl group, A 2-chloroethyl group, a 2-bromoethyl group, a 3,3,3-trifluoropropyl group and a 3,3,4,4,5,5,5-heptafluoro-n - pentyl group.

Ra4의 적합한 유기기의 예로는 Ra1과 동일하게, 알킬기, 알콕시기, 시클로알킬기, 시클로알콕시기, 포화 지방족 아실기, 알콕시카르보닐기, 포화 지방족 아실옥시기, 치환기를 가져도 되는 페닐기, 치환기를 가져도 되는 페녹시기, 치환기를 가져도 되는 벤조일기, 치환기를 가져도 되는 페녹시카르보닐기, 치환기를 가져도 되는 벤조일옥시기, 치환기를 가져도 되는 페닐알킬기, 치환기를 가져도 되는 나프틸기, 치환기를 가져도 되는 나프톡시기, 치환기를 가져도 되는 나프토일기, 치환기를 가져도 되는 나프톡시카르보닐기, 치환기를 가져도 되는 나프토일옥시기, 치환기를 가져도 되는 나프틸알킬기, 치환기를 가져도 되는 헤테로시크릴기, 치환기를 가져도 되는 헤테로시크릴카르보닐기, 1 또는 2의 유기기로 치환된 아미노기, 모르폴린-1-일기 및 피페라진-1-일기 등을 들 수 있다. 이들 기의 구체예는 Ra1에 대해 설명한 것과 동일하다. 또, Ra4로는 시클로알킬알킬기, 방향환 상에 치환기를 가지고 있어도 되는 페녹시알킬기, 방향환 상에 치환기를 가지고 있어도 되는 페닐티오알킬기도 바람직하다. 페녹시알킬기 및 페닐티오알킬기가 가지고 있어도 되는 치환기는 Ra1에 포함되는 페닐기가 가지고 있어도 되는 치환기와 동일하다.Examples of suitable organic groups of R a4 are R a1 in the same manner, an alkyl group, a cycloalkyl group, a cycloalkoxy group, a saturated aliphatic acyl group, an alkoxycarbonyl group, a saturated aliphatic acyloxy group, a phenyl group which may have a substituent, a substituent A phenoxy group which may have a substituent, a phenoxycarbonyl group which may have a substituent, a benzoyloxy group which may have a substituent, a phenylalkyl group which may have a substituent, a naphthyl group which may have a substituent, A naphthoyl group which may have a substituent, a naphthoyl group which may have a substituent, a naphthoylcarbonyl group which may have a substituent, a naphthoyloxy group which may have a substituent, a naphthylalkyl group which may have a substituent, A heterocyclylcarbonyl group which may have a substituent, an amino group substituted by an organic group of 1 or 2, a morpholin-1-yl group and / Blow binary may be mentioned 1-yl group and the like. Specific examples of these groups are the same as those described for R a1 . R a4 is preferably a cycloalkylalkyl group, a phenoxyalkyl group which may have a substituent on the aromatic ring, or a phenylthioalkyl group which may have a substituent on the aromatic ring. The substituent which the phenoxyalkyl group and the phenylthioalkyl group may have is the same as the substituent which the phenyl group contained in R a1 may have.

유기기 중에서도, Ra4로는 알킬기, 시클로알킬기, 치환기를 가지고 있어도 되는 페닐기, 또는 시클로알킬알킬기, 방향환 상에 치환기를 가지고 있어도 되는 페닐티오알킬기가 바람직하다. 알킬기로는 탄소 원자수 1 이상 20 이하의 알킬기가 바람직하고, 탄소 원자수 1 이상 8 이하의 알킬기가 보다 바람직하며, 탄소 원자수 1 이상 4 이하의 알킬기가 특히 바람직하고, 메틸기가 가장 바람직하다. 치환기를 가지고 있어도 되는 페닐기 중에서는 메틸페닐기가 바람직하고, 2-메틸페닐기가 보다 바람직하다. 시클로알킬알킬기에 포함되는 시클로알킬기의 탄소 원자수는 5 이상 10 이하가 바람직하고, 5 이상 8 이하가 보다 바람직하며, 5 또는 6이 특히 바람직하다. 시클로알킬알킬기에 포함되는 알킬렌기의 탄소 원자수는 1 이상 8 이하가 바람직하고, 1 이상 4 이하가 보다 바람직하며, 2가 특히 바람직하다. 시클로알킬알킬기 중에서는 시클로펜틸에틸기가 바람직하다. 방향환 상에 치환기를 가지고 있어도 되는 페닐티오알킬기에 포함되는 알킬렌기의 탄소 원자수는 1 이상 8 이하가 바람직하고, 1 이상 4 이하가 보다 바람직하며, 2가 특히 바람직하다. 방향환 상에 치환기를 가지고 있어도 되는 페닐티오알킬기 중에서는 2-(4-클로로페닐티오)에틸기가 바람직하다.Among the organic groups, R a4 is preferably an alkyl group, a cycloalkyl group, a phenyl group which may have a substituent, or a cycloalkylalkyl group or a phenylthioalkyl group which may have a substituent on an aromatic ring. The alkyl group is preferably an alkyl group of 1 to 20 carbon atoms, more preferably an alkyl group of 1 to 8 carbon atoms, particularly preferably an alkyl group of 1 to 4 carbon atoms, and most preferably a methyl group. Among the phenyl groups which may have a substituent, a methylphenyl group is preferable, and a 2-methylphenyl group is more preferable. The number of carbon atoms of the cycloalkyl group contained in the cycloalkylalkyl group is preferably 5 or more and 10 or less, more preferably 5 or more and 8 or less, and particularly preferably 5 or 6. The number of carbon atoms of the alkylene group contained in the cycloalkylalkyl group is preferably 1 or more and 8 or less, more preferably 1 or more and 4 or less, and particularly preferably 2. Among the cycloalkylalkyl groups, a cyclopentylethyl group is preferable. The number of carbon atoms of the alkylene group contained in the phenylthioalkyl group which may have a substituent on the aromatic ring is preferably 1 or more and 8 or less, more preferably 1 or more and 4 or less, and particularly preferably 2. Among the phenylthioalkyl groups which may have a substituent on the aromatic ring, the 2- (4-chlorophenylthio) ethyl group is preferred.

또, Ra4로는 -A3-CO-O-A4로 표시되는 기도 바람직하다. A3은 2가의 유기기이며, 2가의 탄화수소기인 것이 바람직하고, 알킬렌기인 것이 바람직하다. A4는 1가의 유기기이며, 1가의 탄화수소기인 것이 바람직하다.The group represented by R a4 is preferably -A 3 -CO-OA 4 . A 3 is a divalent organic group, preferably a divalent hydrocarbon group, and is preferably an alkylene group. A 4 is a monovalent organic group and is preferably a monovalent hydrocarbon group.

A3이 알킬렌기인 경우, 알킬렌기는 직쇄상이어도 분기쇄상이어도 되고, 직쇄상이 바람직하다. A3이 알킬렌기인 경우, 알킬렌기의 탄소 원자수는 1 이상 10 이하가 바람직하고, 1 이상 6 이하가 보다 바람직하며, 1 이상 4 이하가 특히 바람직하다.When A 3 is an alkylene group, the alkylene group may be linear or branched or straight-chain. When A 3 is an alkylene group, the number of carbon atoms of the alkylene group is preferably 1 or more and 10 or less, more preferably 1 or more and 6 or less, particularly preferably 1 or more and 4 or less.

A4의 적합한 예로는 탄소 원자수 1 이상 10 이하의 알킬기, 탄소 원자수 3 이상 10 이하의 시클로알킬기, 탄소 원자수 4 이상 10 이하의 시클로알킬알킬기, 탄소 원자수 7 이상 20 이하의 아랄킬기, 및 탄소 원자수 6 이상 20 이하의 방향족 탄화수소기를 들 수 있다. A4의 적합한 구체예로는 메틸기, 에틸기, n-프로필기, 이소프로필기, n-부틸기, 이소부틸기, sec-부틸기, tert-부틸기, n-펜틸기, n-헥실기, 페닐기, 나프틸기, 벤질기, 페네틸기, α-나프틸메틸기 및 β-나프틸메틸기 등을 들 수 있다.Suitable examples of A 4 include an alkyl group of 1 to 10 carbon atoms, a cycloalkyl group of 3 to 10 carbon atoms, a cycloalkyl alkyl group of 4 to 10 carbon atoms, an aralkyl group of 7 to 20 carbon atoms, And an aromatic hydrocarbon group having 6 to 20 carbon atoms. Suitable examples of A 4 include a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an isopropyl group, a n-butyl group, an isobutyl group, a sec-butyl group, Phenyl group, naphthyl group, benzyl group, phenethyl group,? -Naphthylmethyl group and? -Naphthylmethyl group.

-A3-CO-O-A4로 표시되는 기의 적합한 구체예로는 2-메톡시카르보닐에틸기, 2-에톡시카르보닐에틸기, 2-n-프로필옥시카르보닐에틸기, 2-n-부틸옥시카르보닐에틸기, 2-n-펜틸옥시카르보닐에틸기, 2-n-헥실옥시카르보닐에틸기, 2-벤질옥시카르보닐에틸기, 2-페녹시카르보닐에틸기, 3-메톡시카르보닐-n-프로필기, 3-에톡시카르보닐-n-프로필기, 3-n-프로필옥시카르보닐-n-프로필기, 3-n-부틸옥시카르보닐-n-프로필기, 3-n-펜틸옥시카르보닐-n-프로필기, 3-n-헥실옥시카르보닐-n-프로필기, 3-벤질옥시카르보닐-n-프로필기 및 3-페녹시카르보닐-n-프로필기 등을 들 수 있다.Specific examples of the group represented by -A 3 -CO-OA 4 include 2-methoxycarbonylethyl group, 2-ethoxycarbonylethyl group, 2-n-propyloxycarbonylethyl group, 2-n- N-hexyloxycarbonylethyl group, 2-benzyloxycarbonylethyl group, 2-phenoxycarbonylethyl group, 3-methoxycarbonyl-n-pentyloxycarbonylethyl group, Propyloxycarbonyl-n-propyl group, 3-n-butyloxycarbonyl-n-propyl group, 3-n-pentyloxycar N-propyl group, 3-n-hexyloxycarbonyl-n-propyl group, 3-benzyloxycarbonyl-n-propyl group and 3-phenoxycarbonyl- .

이상, Ra4에 대해 설명했지만, Ra4로는 하기 식 (a2-a) 또는 (a2-b)로 표시되는 기가 바람직하다.Above has been described for the R a4, R a4 is preferably a group represented by the following formula (a2-a) or (a2-b) roneun.

[화 30][T]

Figure pat00030
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(식 (a2-a) 및 (a2-b) 중, Ra7 및 Ra8은 각각 유기기이며, n3은 0 이상 4 이하의 정수이며, Ra7 및 Ra8이 벤젠환상의 인접하는 위치에 존재하는 경우, Ra7과 Ra8이 서로 결합하여 환을 형성해도 되고, n4는 1 이상 8 이하의 정수이며, n5는 1 이상 5 이하의 정수이며, n6은 0 이상 (n5+3) 이하의 정수이며, Ra9는 유기기이다.)(In the formulas (a2-a) and (a2-b), R a7 and R a8 are each an organic group, n3 is an integer of 0 or more and 4 or less, and R a7 and R a8 are present at adjacent positions on the benzene ring when, R a7 and R a8 is bonded to form a ring, n4 is an integer in a range from 1 8, n5 is an integer of at least 1 5, n6 is an integer of not less than 0 (n5 + 3), R a9 is an organic group.)

식 (c2-a) 중의 Ra7 및 Ra8에 대한 유기기의 예는 Ra1과 동일하다. Ra7로는 알킬기 또는 페닐기가 바람직하다. Ra7이 알킬기인 경우, 그 탄소 원자수는 1 이상 10 이하가 바람직하고, 1 이상 5 이하가 보다 바람직하며, 1 이상 3 이하가 특히 바람직하고, 1이 가장 바람직하다. 즉, Ra7은 메틸기인 것이 가장 바람직하다. Ra7과 Ra8이 결합하여 환을 형성하는 경우, 상기 환은 방향족환이어도 되고, 지방족환이어도 된다. 식 (c2-a)로 표시되는 기로서, Ra7과 Ra8이 환을 형성하고 있는 기의 적합한 예로는 나프탈렌-1-일기나 1,2,3,4-테트라히드로나프탈렌-5-일기 등을 들 수 있다. 상기 식 (c2-a) 중, n3은 0 이상 4 이하의 정수이며, 0 또는 1인 것이 바람직하고, 0인 것이 보다 바람직하다.Examples of organic groups for R a7 and R a8 in formula (c2-a) are the same as R a1 . R a7 is preferably an alkyl group or a phenyl group. When R a7 is an alkyl group, the number of carbon atoms is preferably 1 or more and 10 or less, more preferably 1 or more and 5 or less, particularly preferably 1 or more and 3 or less, most preferably 1. In other words, R a7 is most preferably a methyl group. When R a7 and R a8 are bonded to form a ring, the ring may be an aromatic ring or an aliphatic ring. Suitable examples of the group represented by the formula (c2-a) in which R a7 and R a8 form a ring include a naphthalene-1-yl group, a 1,2,3,4-tetrahydronaphthalen- . In the formula (c2-a), n3 is an integer of 0 or more and 4 or less, preferably 0 or 1, and more preferably 0.

상기 식 (a2-b) 중, Ra9는 유기기이다. 유기기로는 Ra1에 대해 설명한 유기기와 동일한 기를 들 수 있다. 유기기 중에서는 알킬기가 바람직하다. 알킬기는 직쇄상이어도 분기쇄상이어도 된다. 알킬기의 탄소 원자수는 1 이상 10 이하가 바람직하고, 1 이상 5 이하가 보다 바람직하며, 1 이상 3 이하가 특히 바람직하다. Ra9로는 메틸기, 에틸기, 프로필기, 이소프로필기, 부틸기 등이 바람직하게 예시되고, 이들 중에서도, 메틸기인 것이 보다 바람직하다.In the formula (a2-b), R a9 is an organic group. The organic group includes the same group as the organic group described for R a1 . Among the organic groups, an alkyl group is preferable. The alkyl group may be linear or branched. The number of carbon atoms of the alkyl group is preferably 1 or more and 10 or less, more preferably 1 or more and 5 or less, particularly preferably 1 or more and 3 or less. R a9 is preferably a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group, or a butyl group, and among these, a methyl group is more preferable.

상기 식 (a2-b) 중, n5는 1 이상 5 이하의 정수이며, 1 이상 3 이하의 정수가 바람직하고, 1 또는 2가 보다 바람직하다. 상기 식 (a2-b) 중, n6은 0 이상 (n5+3) 이하이며, 0 이상 3 이하의 정수가 바람직하고, 0 이상 2 이하의 정수가 보다 바람직하며, 0이 특히 바람직하다. 상기 식 (a2-b) 중, n4는 1 이상 8 이하의 정수이며, 1 이상 5 이하의 정수가 바람직하고, 1 이상 3 이하의 정수가 보다 바람직하며, 1 또는 2가 특히 바람직하다.In the formula (a2-b), n5 is an integer of 1 or more and 5 or less, preferably an integer of 1 or more and 3 or less, and more preferably 1 or 2. In the formula (a2-b), n6 is an integer of 0 or more and (n5 + 3) or less, preferably an integer of 0 or more and 3 or less, more preferably an integer of 0 or more and 2 or less, In the formula (a2-b), n4 is an integer of 1 or more and 8 or less, preferably an integer of 1 or more and 5 or less, more preferably an integer of 1 or more and 3 or less, and particularly preferably 1 or 2.

식 (a2) 중, Ra5는 수소 원자, 치환기를 가져도 되는 탄소 원자수 1 이상 20 이하의 지방족 탄화수소기, 또는 치환기를 가져도 되는 아릴기이다. Ra5가 지방족 탄화수소기인 경우에 가져도 되는 치환기로는 페닐기, 나프틸기 등이 바람직하게 예시된다. 또, Ra1이 아릴기인 경우에 가져도 되는 치환기로는 탄소 원자수 1 이상 5 이하의 알킬기, 알콕시기, 할로겐 원자 등이 바람직하게 예시된다.In formula (a2), R a5 is a hydrogen atom, an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, which may have a substituent, or an aryl group which may have a substituent. When R a5 is an aliphatic hydrocarbon group, preferred examples of the substituent include phenyl group and naphthyl group. The substituent which may be introduced when R a1 is an aryl group is preferably an alkyl group, an alkoxy group or a halogen atom having 1 to 5 carbon atoms.

식 (a2) 중, Ra5로는 수소 원자, 메틸기, 에틸기, n-프로필기, 이소프로필기, n-부틸기, 2-시클로펜틸에틸기, 2-시클로부틸에틸기, 시클로헥실메틸기, 페닐기, 벤질기, 메틸페닐기, 나프틸기 등이 바람직하게 예시되고, 이들 중에서도, 메틸기 또는 페닐기가 보다 바람직하다.In formula (a2), R a5 is preferably a hydrogen atom, a methyl group, an ethyl group, a n-propyl group, an isopropyl group, an n-butyl group, a 2-cyclopentylethyl group, a 2-cyclobutylethyl group, a cyclohexylmethyl group, , A methylphenyl group, a naphthyl group and the like are preferably exemplified, and among these, a methyl group or a phenyl group is more preferable.

식 (a2)로 표시되는 화합물의 적합한 구체예로는 하기의 화합물을 들 수 있다.Suitable specific examples of the compound represented by the formula (a2) include the following compounds.

[화 31]However,

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[화 32][0035]

Figure pat00032
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[화 33][0035]

Figure pat00033
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[화 34][0035]

Figure pat00034
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[화 35][35]

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감광성 조성물에서의 광중합 개시제(A)의 함유량은 본 발명의 목적을 저해하지 않는 범위에서 특별히 한정되지 않는다. 광중합 개시제(A)의 함유량은 감광성 조성물의 고형분의 질량에 대해서 0.1 질량% 이상 50 질량% 이하가 바람직하고, 0.3 질량% 이상 30 질량% 이하가 보다 바람직하며, 0.5 질량% 이상 20 질량% 이하가 특히 바람직하다. 이러한 범위 내의 양의 광중합 개시제(A)를 이용함으로써, 경화물의 기계적 특성, 내용제성, 내화학 약품성 등을 해치지 않고, 광중합 개시제(A)를 이용하는 것에 의한 원하는 효과를 얻기 쉽다.The content of the photopolymerization initiator (A) in the photosensitive composition is not particularly limited within the range not hindering the object of the present invention. The content of the photopolymerization initiator (A) is preferably from 0.1% by mass to 50% by mass, more preferably from 0.3% by mass to 30% by mass, more preferably from 0.5% by mass to 20% by mass, based on the mass of the solid content of the photosensitive composition Particularly preferred. By using the positive photopolymerization initiator (A) in such a range, it is easy to obtain a desired effect by using the photopolymerization initiator (A) without harming the mechanical properties, solvent resistance, chemical resistance and the like of the cured product.

<중합성 기재 성분(B)>≪ Polymerizable base component (B) >

감광성 조성물은 추가로, 중합성 기재 성분(B)을 포함해도 된다. 중합성 기재 성분(B)(이하, 「(B) 성분」이라고도 기재함)는 감광성 조성물에 광중합성과 막형성능을 부여하는 성분이다. 중합성 기재 성분(B)은 광중합 개시제(A)에 의해 중합 가능한 성분을 포함하고, 또한 막형성 가능한 감광성 조성물을 조제 가능한 성분이면 특별히 한정되지 않는다. 중합성 기재 성분(B)은 단독 또는 2종 이상 조합하여 이용할 수 있다.The photosensitive composition may further comprise a polymerizable base component (B). The polymerizable base component (B) (hereinafter also referred to as " component (B) ") is a component that imparts photopolymerization and film-forming ability to the photosensitive composition. The polymerizable base component (B) is not particularly limited as long as it contains a component capable of being polymerized by the photopolymerization initiator (A) and is a component capable of preparing a film-forming photosensitive composition. The polymerizable base component (B) may be used alone or in combination of two or more.

중합성 기재 성분(B)은 전형적으로는 광중합성 화합물(B1), 또는 광중합성 화합물(B1)과 수지(B2)를 포함한다. 광중합성 화합물(B1)은 저분자 화합물이어도 되고, 고분자 화합물이어도 된다. 광중합성 화합물(B1) 및 수지(B2)의 각각은 단독 또는 2종 이상 조합하여 이용할 수 있다.The polymerizable base component (B) typically comprises a photopolymerizable compound (B1) or a photopolymerizable compound (B1) and a resin (B2). The photopolymerizable compound (B1) may be a low molecular compound or a high molecular compound. The photopolymerizable compound (B1) and the resin (B2) may be used alone or in combination of two or more.

광중합성 화합물(B1)과, 수지(B2)는, 예를 들면 1종 또는 2종 이상의 단량체 화합물의 중합체로서, 중량 평균 분자량이 1000 이상인 중합체를 수지(B2)로 하고, 수지(B2)에 해당하지 않고, 광중합성의 관능기를 가지는 화합물을 광중합성 화합물(B1)로 함으로써, 구별할 수 있다.The photopolymerizable compound (B1) and the resin (B2) are, for example, polymers of one kind or two or more kinds of monomer compounds, wherein a polymer having a weight average molecular weight of 1000 or more is used as the resin (B2) Can be distinguished by using a compound having a photopolymerizable functional group as the photopolymerizable compound (B1).

중합성 기재 성분(B)은 광중합성의 점으로부터, 중합체가 아닌 저분자량의 광중합성 화합물(B1)과, 수지(B2)인 가교성기 함유 수지를 조합하여 포함하는 것이 바람직하다.From the viewpoint of photopolymerization, the polymerizable base component (B) preferably contains a combination of a low molecular weight photopolymerizable compound (B1), which is not a polymer, and a crosslinkable group-containing resin which is the resin (B2).

또, 중합성 기재 성분(B)이 수지(B2)를 포함하는 경우, 현상성의 관점으로부터, 수지(B2)가 알칼리 가용성 수지를 포함하는 것이 바람직하다. 알칼리 가용성 수지는 가교성기를 포함하고 있어도 된다. 가교성기를 포함하는(구성 단위 중의 치환기로서 가교성기를 포함하는) 알칼리 가용성 수지는 광중합성과 알칼리 현상성의 양쪽의 관점으로부터 바람직하다.When the polymerizable base component (B) contains the resin (B2), from the viewpoint of developability, it is preferable that the resin (B2) comprises an alkali-soluble resin. The alkali-soluble resin may contain a crosslinkable group. The alkali-soluble resin containing a crosslinkable group (including a crosslinkable group as a substituent in the constituent unit) is preferable from the viewpoints of both the photopolymerization and the alkali developability.

이하, 광중합성 화합물(B1)과 수지(B2)에 대해서 순서대로 설명한다.Hereinafter, the photopolymerizable compound (B1) and the resin (B2) will be described in order.

[광중합성 화합물(B1)][Photopolymerizable compound (B1)]

감광성 조성물에 함유되는 광중합성 화합물(B1)로는 에틸렌성 불포화 이중 결합을 가지는 화합물을 바람직하게 이용할 수 있다. 이 에틸렌성 불포화 이중 결합을 가지는 화합물의 적합한 예로는 단관능 모노머와 다관능 모노머가 있다.As the photopolymerizable compound (B1) contained in the photosensitive composition, a compound having an ethylenically unsaturated double bond can be preferably used. Suitable examples of the compound having an ethylenically unsaturated double bond include monofunctional monomers and polyfunctional monomers.

단관능 모노머로는 (메타)아크릴아미드, 메틸올(메타)아크릴아미드, 메톡시메틸(메타)아크릴아미드, 에톡시메틸(메타)아크릴아미드, 프로폭시메틸(메타)아크릴아미드, 부톡시메톡시메틸(메타)아크릴아미드, N-메틸올(메타)아크릴아미드, N-히드록시메틸(메타)아크릴아미드, (메타)아크릴산, 푸마르산, 말레산, 무수 말레산, 이타콘산, 무수 이타콘산, 시트라콘산, 무수 시트라콘산, 크로톤산, 2-아크릴아미드-2-메틸프로판술폰산, tert-부틸아크릴아미드술폰산, 메틸(메타)아크릴레이트, 에틸(메타)아크릴레이트, 부틸(메타)아크릴레이트, 2-에틸헥실(메타)아크릴레이트, 시클로헥실(메타)아크릴레이트, 2-히드록시에틸(메타)아크릴레이트, 2-히드록시프로필(메타)아크릴레이트, 2-히드록시부틸(메타)아크릴레이트, 2-페녹시-2-히드록시프로필(메타)아크릴레이트, 2-(메타)아크릴로일옥시-2-히드록시프로필프탈레이트, 글리세린모노(메타)아크릴레이트, 테트라히드로푸르푸릴(메타)아크릴레이트, N,N-디메틸아미노에틸(메타)아크릴레이트, 글리시딜(메타)아크릴레이트, 2,2,2-트리플루오로에틸(메타)아크릴레이트, 2,2,3,3-테트라플루오로프로필(메타)아크릴레이트, 프탈산 유도체의 하프(메타)아크릴레이트 등을 들 수 있다. 이들 단관능 모노머는 단독 또는 2종 이상 조합하여 이용할 수 있다.Examples of the monofunctional monomer include (meth) acrylamide, methylol (meth) acrylamide, methoxymethyl (meth) acrylamide, ethoxymethyl (meth) acrylamide, propoxymethyl (meth) acrylamide, butoxymethoxy Acrylates such as methyl (meth) acrylamide, N-methylol (meth) acrylamide, N-hydroxymethyl (meth) acrylamide, (meth) acrylic acid, fumaric acid, maleic anhydride, itaconic acid, (Meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, isobutyl acrylate, isobutyl acrylate, (Meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl , 2-phenoxy-2-hydroxypropyl (meth) acrylate (Meth) acryloyloxy-2-hydroxypropyl phthalate, glycerin mono (meth) acrylate, tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate, N, N-dimethylaminoethyl (Meth) acrylate of 2,2,2-trifluoroethyl (meth) acrylate, 2,2,3,3-tetrafluoropropyl (meth) acrylate and phthalic acid derivatives, And the like. These monofunctional monomers may be used alone or in combination of two or more.

한편, 다관능 모노머로는 1,3-부탄디올디(메타)아크릴레이트, 1,4-부탄디올디(메타)아크릴레이트, 1,6-헥산디올디(메타)아크릴레이트, 1,9-노난디올디(메타)아크릴레이트, 1,10-데칸디올디(메타)아크릴레이트, 1,12-도데칸디올디(메타)아크릴레이트, 에톡시화 헥산디올디(메타)아크릴레이트, 트리시클로데칸디메탄올디(메타)아크릴레이트, 2-히드록시-3-(메타)아크릴로일옥시프로필(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨디(메타)아크릴레이트, 디에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 트리에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 디프로필렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 트리프로필렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 에톡시화 네오펜틸글리콜디(메타)아크릴레이트, 폴리에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 폴리(에틸렌-프로필렌)글리콜디(메타)아크릴레이트, 폴리테트라메틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 에톡시화 비스페놀 A 디(메타)아크릴레이트, 프로폭시화 비스페놀 A 디(메타)아크릴레이트, 프로폭시화 에톡시화 비스페놀 A 디(메타)아크릴레이트, 에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 디에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 테트라에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 프로필렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 폴리프로필렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 부틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 네오펜틸글리콜디(메타)아크릴레이트, 1,6-헥산글리콜디(메타)아크릴레이트, 트리메틸올프로판트리(메타)아크릴레이트, 글리세린디(메타)아크릴레이트, 펜타에리트리톨트리아크릴레이트, 펜타에리트리톨테트라아크릴레이트, 디펜타에리트리톨펜타아크릴레이트, 디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트, 펜타에리트리톨디(메타)아크릴레이트, 펜타에리트리톨트리(메타)아크릴레이트, 펜타에리트리톨테트라(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨펜타(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨헥사(메타)아크릴레이트, 2,2-비스(4-(메타)아크릴옥시디에톡시페닐)프로판, 2,2-비스(4-(메타)아크릴옥시폴리에톡시페닐)프로판, 2-히드록시-3-(메타)아크릴로일옥시프로필(메타)아크릴레이트, 에틸렌글리콜디글리시딜에테르디(메타)아크릴레이트, 디에틸렌글리콜디글리시딜에테르디(메타)아크릴레이트, 프탈산디글리시딜에스테르디(메타)아크릴레이트, 글리세린트리아크릴레이트, 글리세린폴리글리시딜에테르폴리(메타)아크릴레이트, 우레탄(메타)아크릴레이트(즉, 톨릴렌디이소시아네이트, 트리메틸헥사메틸렌디이소시아네이트 또는 헥사메틸렌디이소시아네이트 등과 2-히드록시에틸(메타)아크릴레이트의 반응물), 메틸렌비스(메타)아크릴아미드, (메타)아크릴아미드메틸렌에테르, 다가 알코올과 N-메틸올(메타)아크릴아미드의 축합물, 트리아크릴포르말, 2,4,6-트리옥소헥사히드로-1,3,5-트리아진-1,3,5-트리스에탄올트리아크릴레이트 및 2,4,6-트리옥소헥사히드로-1,3,5-트리아진-1,3,5-트리스에탄올디아크릴레이트 등을 들 수 있다. 이들 다관능 모노머는 단독 또는 2종 이상 조합하여 이용할 수 있다.Examples of the polyfunctional monomer include 1,3-butanediol di (meth) acrylate, 1,4-butanediol di (meth) acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, (Meth) acrylate, 1,10-decanediol di (meth) acrylate, 1,12-dodecanediol di (meth) acrylate, ethoxylated hexanediol di (meth) acrylate, tricyclodecanedimethanol di (Meth) acrylate, dipentaerythritol di (meth) acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate, triethylene glycol di (Meth) acrylate, polyethylene glycol di (meth) acrylate, dipropylene glycol di (meth) acrylate, tripropylene glycol di (meth) acrylate, ethoxylated neopentyl glycol di (Ethylene-propylene) glycol di (meth) acrylate, poly Acrylate, propoxylated bisphenol A di (meth) acrylate, propoxylated ethoxylated bisphenol A di (meth) acrylate, ethoxylated bisphenol A di (meth) acrylate, propoxylated bisphenol A di (Meth) acrylate, diethyleneglycol di (meth) acrylate, tetraethyleneglycol di (meth) acrylate, propyleneglycol di (meth) acrylate, polypropyleneglycol di Acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, glycerin di (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, neopentyl glycol di Acrylate, pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, pentaerythritol di (meth) acrylate, (Meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (metha) acrylate, 2,2-bis (Meth) acryloxypolyethoxyphenyl) propane, 2,2-bis (4- (meth) acryloxypolyethoxyphenyl) propane, 2-hydroxy- (Meth) acrylate, ethylene glycol diglycidyl ether di (meth) acrylate, diethylene glycol diglycidyl ether di (meth) acrylate, phthalic acid diglycidyl ester di (meth) acrylate, glycerin triacryl (Meth) acrylate (e.g., tolylene diisocyanate, trimethylhexamethylene diisocyanate, hexamethylene diisocyanate and the like, and 2-hydroxyethyl (meth) acrylate such as glycerin polyglycidyl ether poly Acrylate, a condensation product of a polyhydric alcohol and N-methylol (meth) acrylamide, a triacryloformate, a 2,4,6-trimethylolpropane tri (meth) acrylate, Trioxohexahydro-1,3,5-triazine-1,3,5-trisethanol triacrylate and 2,4,6-trioxohexahydro-1,3,5-triazine- 5-trisethanol diacrylate, and the like. These polyfunctional monomers may be used alone or in combination of two or more.

이들 에틸렌성 불포화 이중 결합을 가지는 화합물 중에서도, 강도와 기판에 대한 밀착성이 뛰어난 경화물을 부여하는 감광성 조성물이 얻어지는 점으로부터, 3 관능 이상의 다관능 모노머가 바람직하다.Among these compounds having an ethylenically unsaturated double bond, a multifunctional monomer having three or more functional groups is preferable from the viewpoint of obtaining a photosensitive composition which gives a cured product having excellent strength and adhesion to a substrate.

유리 전이점(Tg)의 컨트롤의 관점에서 3 관능 이상의 다관능 모노머와 병용하여 단관능 모노머나 2 관능 모노머를 이용해도 되고, 이들 중에서도 1,6-헥산디올디(메타)아크릴레이트가 바람직하다.From the viewpoint of controlling the glass transition point (Tg), a monofunctional monomer or a bifunctional monomer may be used in combination with a polyfunctional monomer having three or more functional groups. Among these, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate is preferable.

광중합성 화합물(B1)의 함유량은 감광성 조성물의 고형분에 대해서 5 질량% 이상 97 질량% 이하가 바람직하고, 10 질량% 이상 95 질량% 이하가 보다 바람직하다. 감광성 조성물 중의 광중합성 화합물(B1)의 함유량을 상기의 범위로 함으로써, 경화성이 양호하다. 또, 감광성 조성물의 고형분에 대해서 60 질량% 이하(바람직하게는 5 질량% 이상 40 질량% 이하)로 하면, 감광성 조성물의 감도, 현상성 및 해상성의 밸런스를 잡기 쉬운 경향이 있다.The content of the photopolymerizable compound (B1) is preferably 5% by mass or more and 97% by mass or less, more preferably 10% by mass or more and 95% by mass or less, based on the solid content of the photosensitive composition. By setting the content of the photopolymerizable compound (B1) in the photosensitive composition within the above range, the curability is good. In addition, when the amount is 60% by mass or less (preferably 5% by mass or more and 40% by mass or less) with respect to the solid content of the photosensitive composition, there is a tendency to balance the sensitivity, developability and resolution of the photosensitive composition.

[수지(B2)][Resin (B2)]

감광성 조성물은 중합성 기재 성분(b)로서, 전술한 광중합성 화합물(B1)과 함께, 수지(B2)를 포함하고 있는 것이 바람직하다. 수지(B2)로는 본 발명의 목적을 저해하지 않는 범위에서 특별히 한정되지 않고, 종래부터 여러 가지의 감광성 조성물에 배합되고 있는 수지 성분을 이용할 수 있다. The photosensitive composition preferably contains the resin (B2) together with the photopolymerizable compound (B1) as the polymerizable base component (b). The resin (B2) is not particularly limited as long as it does not impair the object of the present invention, and resin components conventionally blended with various photosensitive compositions can be used.

이하 수지(B2)의 바람직한 예에 대해 설명한다.Preferable examples of the resin (B2) will be described below.

(가교성기 함유 수지)(Crosslinkable group-containing resin)

감광성 조성물이 수지(B2)로서 가교성기 함유 수지를 함유하면, 상기 감광성 조성물을 이용하는 경화물의 형성이 보다 용이해지는 경향이 있다. 가교성기 함유 수지는 가교성기를 가지는 수지이며, 가교성기를 가지는 (메타)아크릴산에스테르에 유래하는 단위를 포함하는 것이 바람직하다. 가교성기로는 주로 가열에 의해 가교성기 함유 수지의 가교를 가능하는 관능기이면 특별히 한정되지 않고, 에폭시기, 에틸렌성 불포화 이중 결합이 바람직하다. 가교성기는, 예를 들면 에폭시기를 가지는 (메타)아크릴산에스테르에 유래하는 단위 및 에틸렌성 불포화 이중 결합을 가지는 단위로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 1종을 포함함으로써, 가교성기 함유 수지에 도입할 수 있다.When the photosensitive composition contains a crosslinkable group-containing resin as the resin (B2), the formation of a cured product using the photosensitive composition tends to be facilitated. The crosslinkable group-containing resin is a resin having a crosslinkable group and preferably contains a unit derived from a (meth) acrylic acid ester having a crosslinkable group. The crosslinkable group is not particularly limited as long as it is a functional group capable of crosslinking the crosslinkable group-containing resin mainly by heating, and is preferably an epoxy group or an ethylenically unsaturated double bond. The crosslinkable group can be introduced into the crosslinkable group-containing resin by including, for example, at least one member selected from the group consisting of a unit derived from a (meth) acrylic acid ester having an epoxy group and a unit having an ethylenically unsaturated double bond .

가교성기 함유 수지로는 에폭시기를 가지는 (메타)아크릴산에스테르에 유래하는 단위를 포함하는 수지가 바람직하다. 이러한 단위를 가짐으로써, 감광성 조성물을 이용하여 형성되는 경화막의 기재에 대한 밀착성이나 기계적 강도를 향상시킬 수도 있다.As the crosslinkable group-containing resin, a resin containing a unit derived from a (meth) acrylic acid ester having an epoxy group is preferable. By having such a unit, adhesion and mechanical strength to the base material of the cured film formed using the photosensitive composition can be improved.

에폭시기를 가지는 (메타)아크릴산에스테르는 쇄상 지방족 에폭시기를 가지는 (메타)아크릴산에스테르이어도, 후술하는 바와 같은 지환식 에폭시기를 가지는 (메타)아크릴산에스테르이어도 된다.The (meth) acrylic acid ester having an epoxy group may be a (meth) acrylic acid ester having a chain aliphatic epoxy group or a (meth) acrylic acid ester having an alicyclic epoxy group as described later.

에폭시기를 가지는 (메타)아크릴산에스테르는 방향족기를 가지고 있어도 된다. 본 명세서에서, 방향족기는 방향환을 가지는 기이다. 방향족기를 구성하는 방향환의 예로는 벤젠환, 나프탈렌환을 들 수 있다. 방향족기를 가지고, 또한 에폭시기를 가지는 (메타)아크릴산에스테르의 예로는 4-글리시딜옥시페닐(메타)아크릴레이트, 3-글리시딜옥시페닐(메타)아크릴레이트, 2-글리시딜옥시페닐(메타)아크릴레이트, 4-글리시딜옥시페닐메틸(메타)아크릴레이트, 3-글리시딜옥시페닐메틸(메타)아크릴레이트 및 2-글리시딜옥시페닐메틸(메타)아크릴레이트 등을 들 수 있다.The (meth) acrylic acid ester having an epoxy group may have an aromatic group. In the present specification, an aromatic group is a group having an aromatic ring. Examples of the aromatic ring constituting the aromatic group include a benzene ring and a naphthalene ring. Examples of the (meth) acrylic acid ester having an aromatic group and having an epoxy group include 4-glycidyloxyphenyl (meth) acrylate, 3-glycidyloxyphenyl (meth) acrylate, 2-glycidyloxyphenyl (Meth) acrylate, 4-glycidyloxyphenylmethyl (meth) acrylate, 3-glycidyloxyphenylmethyl (meth) acrylate and 2-glycidyloxyphenylmethyl have.

감광성 조성물을 이용하여 형성되는 막이 투명성이 요구되는 경우, 에폭시기를 가지는 (메타)아크릴산은 방향족기를 갖지 않는 것이 바람직하다.When the film formed using the photosensitive composition is required to have transparency, it is preferable that the (meth) acrylic acid having an epoxy group does not have an aromatic group.

쇄상 지방족 에폭시기를 가지는 (메타)아크릴산에스테르의 예로는 에폭시알킬(메타)아크릴레이트 및 에폭시알킬옥시알킬(메타)아크릴레이트 등과 같은 에스테르기(-O-CO-) 중의 옥시기(-O-)에 쇄상 지방족 에폭시기가 결합하는 (메타)아크릴산에스테르를 들 수 있다. 이와 같은 (메타)아크릴산에스테르가 가지는 쇄상 지방족 에폭시기는 쇄 중에 1 또는 복수의 옥시기(-O-)를 포함하고 있어도 된다. 쇄상 지방족 에폭시기의 탄소 원자수는 특별히 한정되지 않고, 3 이상 20 이하가 바람직하고, 3 이상 15 이하가 보다 바람직하며, 3 이상 10 이하가 특히 바람직하다.Examples of the (meth) acrylate ester having a chain aliphatic epoxy group include an ester group (-O-CO-) such as an epoxy alkyl (meth) acrylate and an epoxyalkyloxyalkyl (meth) (Meth) acrylic acid ester to which a chain aliphatic epoxy group is bonded. Such a chain aliphatic epoxy group of the (meth) acrylic acid ester may contain one or more oxy groups (-O-) in the chain. The number of carbon atoms of the chain aliphatic epoxy group is not particularly limited and is preferably 3 or more and 20 or less, more preferably 3 or more and 15 or less, particularly preferably 3 or more and 10 or less.

쇄상 지방족 에폭시기를 가지는 (메타)아크릴산에스테르의 구체예로는 글리시딜(메타)아크릴레이트, 2-메틸글리시딜(메타)아크릴레이트, 3,4-에폭시부틸(메타)아크릴레이트, 6,7-에폭시헵틸(메타)아크릴레이트 등의 에폭시알킬(메타)아크릴레이트; 2-글리시딜옥시에틸(메타)아크릴레이트, 3-글리시딜옥시-n-프로필(메타)아크릴레이트, 4-글리시딜옥시-n-부틸(메타)아크릴레이트, 5-글리시딜옥시-n-헥실(메타)아크릴레이트, 6-글리시딜옥시-n-헥실(메타)아크릴레이트 등의 에폭시알킬옥시알킬(메타)아크릴레이트를 들 수 있다.Specific examples of the (meth) acrylic acid esters having a chain aliphatic epoxy group include glycidyl (meth) acrylate, 2-methylglycidyl (meth) acrylate, 3,4-epoxybutyl (meth) Epoxy alkyl (meth) acrylates such as 7-epoxyheptyl (meth) acrylate; (Meth) acrylate, 3-glycidyloxyethyl (meth) acrylate, 2-glycidyloxyethyl (meth) acrylate, 3- glycidyloxy- (Meth) acrylate such as oxy-n-hexyl (meth) acrylate and 6-glycidyloxy-n-hexyl (meth) acrylate.

지환식 에폭시기를 가지는 (메타)아크릴산에스테르의 구체예로는, 예를 들면 하기 식 (d2-1)~(d2-16)으로 표시되는 화합물을 들 수 있다. 이들 중에서도, 감광성 조성물의 현상성을 적당한 것으로 하기 위해서는 하기 식 (d2-1)~(d2-6)로 표시되는 화합물이 바람직하고, 하기 식 (d2-1)~(d2-4)로 표시되는 화합물이 보다 바람직하다.Specific examples of the (meth) acrylic acid ester having an alicyclic epoxy group include, for example, the compounds represented by the following formulas (d2-1) to (d2-16). Among them, the compounds represented by the following formulas (d2-1) to (d2-6) are preferable and the compounds represented by the following formulas (d2-1) to (d2-4) are preferred in order to make the developability of the photosensitive composition suitable. Compounds are more preferable.

또, 이들 각 화합물에 관해, 지환에 대한 에스테르기의 산소 원자의 결합 부위는 여기서 나타내고 있는 것에 한정되지 않고, 일부 위치 이성체를 포함하고 있어도 된다.With respect to each of these compounds, the bonding site of the oxygen atom of the ester group to the alicyclic group is not limited to those shown here, and may include some position isomers.

[화 36][36]

Figure pat00036
Figure pat00036

상기 식 중, Rd4는 수소 원자 또는 메틸기를 나타내고, Rd5는 탄소 원자수 1 이상 6 이하의 2가의 지방족 포화 탄화수소기를 나타내며, Rd6은 탄소 원자수 1 이상 10 이하의 2가의 탄화수소기를 나타내고, n는 0 이상 10 이하의 정수를 나타낸다. Rd5로는 직쇄상 또는 분지쇄상의 알킬렌기, 예를 들면 메틸렌기, 에틸렌기, 프로필렌기, 테트라메틸렌기, 에틸에틸렌기, 펜타메틸렌기, 헥사메틸렌기가 바람직하다. Rd6으로는, 예를 들면 메틸렌기, 에틸렌기, 프로필렌기, 테트라메틸렌기, 에틸에틸렌기, 펜타메틸렌기, 헥사메틸렌기, 페닐렌기, 시클로헥실렌기, -CH2-Ph-CH2-(Ph는 페닐렌기를 나타냄)가 바람직하다.Wherein R d4 represents a hydrogen atom or a methyl group, R d5 represents a divalent aliphatic saturated hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms, R d6 represents a divalent hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms, n represents an integer of 0 or more and 10 or less. R d5 is preferably a linear or branched alkylene group such as methylene, ethylene, propylene, tetramethylene, ethylethylene, pentamethylene, or hexamethylene. Examples of R d6 include methylene, ethylene, propylene, tetramethylene, ethylethylene, pentamethylene, hexamethylene, phenylene, cyclohexylene, -CH 2 -Ph-CH 2 - (Ph represents a phenylene group).

에폭시기를 가지는 (메타)아크릴산에스테르가 상기와 같은 지환식 에폭시기를 가지는 (메타)아크릴산에스테르이면, 쇄상 지방족 에폭시기를 가지는 (메타)아크릴산에스테르에 비해, 상기 (메타)아크릴산에스테르에 유래하는 단위를 포함하는 가교성기 함유 수지, 나아가서는 감광성 조성물의 보관 안정성이 뛰어나고, 또 경화막의 형성시에 프리베이크 가능한 온도의 범위(프리베이크 온도 마진)가 넓어지기 때문에 바람직하다.When the (meth) acrylic acid ester having an epoxy group is a (meta) acrylic acid ester having an alicyclic epoxy group as described above, the (meth) acrylic acid ester containing a unit derived from the (meth) acrylic acid ester The storage stability of the crosslinkable group-containing resin, and furthermore the photosensitive composition is excellent, and the range of the temperature (prebake temperature margin) that can be prebaked at the time of forming the cured film is widened.

가교성기 함유 수지는 또, 가교성기로서 에틸렌성 불포화 이중 결합을 가지는 단위를 포함하는 수지(본 명세서에서, 「에틸렌성 불포화 이중 결합을 가지는 수지」라고 하는 경우가 있음)이어도 된다. 상기 에틸렌성 불포화 이중 결합은 (메타)아크릴로일옥시기를 구성하는 일부인 것이 바람직하다.The crosslinkable group-containing resin may also be a resin containing a unit having an ethylenically unsaturated double bond as a crosslinkable group (sometimes referred to as a " resin having an ethylenically unsaturated double bond " in the present specification). The ethylenically unsaturated double bond is preferably a part constituting the (meth) acryloyloxy group.

에틸렌성 불포화 이중 결합을 가지는 수지로는, 예를 들면 (메타)아크릴로일옥시기를 가지는 수지를 들 수 있다.Examples of the resin having an ethylenically unsaturated double bond include a resin having a (meth) acryloyloxy group.

(메타)아크릴로일옥시기를 가지는 수지는, 예를 들면 불포화 카르복시산에 유래하는 단위를 포함하는 중합체에 포함되는 카르복시기의 적어도 일부와, 상기 지환식 에폭시기를 가지는 (메타)아크릴산에스테르 및/또는 상기 쇄상 지방족 에폭시기를 가지는 (메타)아크릴산에스테르를 반응시킴으로써, 조제할 수 있다.The resin having a (meth) acryloyloxy group can be obtained, for example, by reacting at least a part of a carboxyl group contained in a polymer containing a unit derived from an unsaturated carboxylic acid and at least part of a carboxyl group contained in the (meth) acryloyloxy group having the alicyclic epoxy group and / (Meth) acrylic acid ester having an aliphatic epoxy group.

가교성기 함유 수지가 에틸렌성 불포화 이중 결합을 가지는 수지인 경우, 광중합성을 가지는 것이어도 된다. 감광성 조성물이 수지(B2)로서 이러한 에틸렌성 불포화 이중 결합을 가지는 광중합성 수지를 함유함으로써, 감광성 조성물의 경화성을 향상시켜 패턴 형성을 용이하게 할 수 있다.When the crosslinkable group-containing resin is a resin having an ethylenically unsaturated double bond, it may be one having photopolymerization. By containing the photopolymerizable resin having such an ethylenically unsaturated double bond as the resin (B2) in the photosensitive composition, the curing property of the photosensitive composition is improved and pattern formation can be facilitated.

가교성기 함유 수지 중에서, 상기 수지의 질량에 대해서, 가교성기를 가지는 (메타)아크릴산에스테르에 유래하는 단위의 양은 20 질량% 이상 80 질량% 이하가 바람직하고, 30 질량% 이상 70 질량% 이하가 보다 바람직하며, 33 질량% 이상 65 질량% 이하가 더욱 바람직하다.In the crosslinkable group-containing resin, the amount of the unit derived from the (meth) acrylic acid ester having a crosslinkable group is preferably 20% by mass or more and 80% by mass or less, more preferably 30% by mass or more and 70% , More preferably from 33 mass% to 65 mass%.

가교성기 함유 수지 중에서, 상기 수지의 질량에 대한 에폭시기를 가지는 (메타)아크릴산에스테르에 유래하는 단위의 양은 10 질량% 이상 90 질량% 이하가 바람직하고, 15 질량% 이상 80 질량% 이하가 보다 바람직하며, 20 질량% 이상 70 질량% 이하가 보다 더 바람직하다.In the crosslinkable group-containing resin, the amount of the unit derived from the (meth) acrylic acid ester having an epoxy group with respect to the mass of the resin is preferably 10% by mass or more and 90% by mass or less, more preferably 15% by mass or more and 80% , And still more preferably 20 mass% or more and 70 mass% or less.

가교성기 함유 수지 중에서, 상기 수지의 질량에 대한 에틸렌성 불포화 이중 결합을 가지는 단위의 양은 1 질량% 이상 40 질량% 이하가 바람직하고, 5 질량% 이상 35 질량% 이하가 보다 바람직하다.In the crosslinkable group-containing resin, the amount of the unit having an ethylenically unsaturated double bond with respect to the mass of the resin is preferably 1% by mass or more and 40% by mass or less, more preferably 5% by mass or more and 35% by mass or less.

가교성기 함유 수지로는 (메타)아크릴산 및 (메타)아크릴산에스테르로부터 선택되는 1종 이상의 단량체의 중합체가 바람직하고, 상기 중합체인 경우에도, 상기 중합체에서의, 가교성기를 가지는 (메타)아크릴산에스테르에 유래하는 단위의 함유량은 수지의 질량에 대해서, 상기와 동일하다.As the crosslinkable group-containing resin, a polymer of at least one monomer selected from (meth) acrylic acid and (meth) acrylic acid ester is preferable, and even in the case of the above polymer, the (meth) acrylic acid ester having a crosslinkable group The content of the derived unit is the same as the above with respect to the mass of the resin.

가교성기 함유 수지는 에폭시기를 가지는 (메타)아크릴산에스테르에 유래하는 단위와, 에틸렌성 불포화 이중 결합을 가지는 단위를 모두 포함하는 것이어도 되지만, 에폭시기를 가지는 (메타)아크릴산에스테르에 유래하는 단위 또는 에틸렌성 불포화 이중 결합을 가지는 단위 중 어느 하나를 포함하는 것이어도 되고, 가교성기로는 에폭시기를 가지는 (메타)아크릴산에스테르에 유래하는 단위만을 포함하는 것이 바람직하다.The crosslinkable group-containing resin may contain both a unit derived from a (meth) acrylic acid ester having an epoxy group and a unit having an ethylenically unsaturated double bond, but may be a unit derived from a (meth) acrylic acid ester having an epoxy group, Unsaturated double bonds. The crosslinkable group preferably includes a unit derived from a (meth) acrylic acid ester having an epoxy group.

가교성기 함유 수지는 가교성기를 가지는 수지이면서, 알칼리 가용성 수지이기도 한 것이 바람직하다. 감광성 조성물은 이러한 알칼리 가용성 수지를 배합함으로써, 감광성 조성물에 알칼리 현상성을 부여할 수 있다.The crosslinkable group-containing resin is preferably a resin having a crosslinkable group and an alkali-soluble resin. By blending such an alkali-soluble resin, the photosensitive composition can impart alkali developability to the photosensitive composition.

본 명세서에서 알칼리 가용성 수지란, 수지 농도 20 질량%의 수지 용액(용매: 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트)에 의해, 막 두께 1 ㎛의 수지막을 기판 상에 형성하고, 농도 0.05 질량%의 KOH 수용액에 1분간 침지했을 때에, 막 두께 0.01 ㎛ 이상 용해하는 것을 말한다.In this specification, a resin having a film thickness of 1 mu m is formed on a substrate by a resin solution (solvent: propylene glycol monomethyl ether acetate) having a resin concentration of 20 mass% in the present invention, and the alkali soluble resin is dissolved in a KOH aqueous solution having a concentration of 0.05 mass% Means that the film thickness is 0.01 占 퐉 or more when the film is immersed for 1 minute.

가교성기 함유 수지는 알칼리 가용성 수지이기도 한 경우, 통상 알칼리 가용성기를 갖는다. 알칼리 가용성기로는 가교성기 함유 수지에 상기의 알칼리에 대한 용해성을 부여하는 관능기이면 특별히 한정되지 않고, 카르복시기 또는 탈보호하여 카르복시기를 생기게 하는 기가 바람직하고, 예를 들면, 후술하는 불포화 카르복시산에 유래하는 단위를 포함함으로써, 또 알칼리 가용성기를 부여하는 (메타)아크릴산에스테르를 포함하는 단량체를 중합함으로써, 가교성기 함유 수지에 도입할 수 있다. 본 명세서에서, 알칼리 가용성기를 부여하는 (메타)아크릴산에스테르는 상술한 가교성기를 가지는 (메타)아크릴산에스테르를 포함하지 않는 것으로 한다.When the crosslinkable group-containing resin is also an alkali-soluble resin, it usually has an alkali-soluble group. The alkali-soluble group is not particularly limited as long as it is a functional group that imparts solubility to the alkali in the crosslinkable group-containing resin, and a carboxyl group or a group that deprotects the carboxyl group to form a carboxyl group is preferable. For example, a unit derived from an unsaturated carboxylic acid (Meth) acrylic acid ester, which is capable of imparting an alkali-soluble group, to the crosslinkable group-containing resin. In the present specification, the (meth) acrylic acid ester which imparts an alkali-soluble group does not include the (meth) acrylic acid ester having the above-mentioned crosslinkable group.

가교성기 함유 수지로는 알칼리 가용성 수지이기도 한 경우, 가교성기 함유 수지의 상기 알칼리에 대한 용해성을 억제 내지 억지(抑止)하는 관능기(이하, 「알칼리 용해 억지(抑止)기」또는 「용해 억지기」라고 하는 경우가 있음)를 가지지 않는 수지이어도 되지만, 알칼리 가용성기 및 용해 억지기를 가지는 수지가 바람직하다. 용해 억지기는 가교성기 함유 수지의 알칼리에 대한 용해성을 저하시키는 기능이 있는 점에서, 알칼리 난용해성기라고도 할 수 있다. 가교성기 함유 수지는 알칼리 가용성기 및 용해 억지기를 가짐으로써, 알칼리에 대한 용해성을 조정할 수 있고, 이것에 의해, 감광성 조성물의 알칼리 현상성을 조정할 수 있다. 용해 억지기로는, 예를 들면 후술하는 스티렌 또는 스티렌 유도체; 불포화 이미드류; 지환식 골격을 가지는 (메타)아크릴산에스테르(단, 에폭시기를 가지는 것을 제외함); 벤질(메타)아크릴레이트 등의 방향족기를 가지는 (메타)아크릴산에스테르 등을 들 수 있다. 본 명세서에서, 용해 억지기를 부여하는 (메타)아크릴산에스테르는 상술한 가교성기를 가지는 (메타)아크릴산에스테르를 포함하지 않는 것으로 한다.When the crosslinkable group-containing resin is also an alkali-soluble resin, a functional group (hereinafter referred to as " alkali dissolution inhibiting group " or " dissolution inhibiting group ") for suppressing or inhibiting the solubility of the crosslinkable group- ), But a resin having an alkali-soluble group and a dissolution inhibitor is preferable. The dissolution inhibitor may also be referred to as an alkali-insoluble group in that it has a function of lowering the solubility of the crosslinkable group-containing resin in alkali. The crosslinkable group-containing resin has an alkali-soluble group and a dissolution inhibitor, whereby the solubility in alkali can be adjusted, thereby adjusting the alkali developing property of the photosensitive composition. Examples of the dissolution inhibiting agent include styrene or styrene derivatives described later; Unsaturated imides; (Meth) acrylic esters having an alicyclic skeleton (except those having an epoxy group); (Meth) acrylate having an aromatic group such as benzyl (meth) acrylate. In the present specification, the (meth) acrylic acid ester which imparts the dissolution inhibitor does not include the (meth) acrylic acid ester having the above-mentioned crosslinkable group.

가교성기 함유 수지 중에서는 제막성이 뛰어난 점이나, 단량체의 선택에 의해서 수지의 특성을 조정하기 쉬운 점 등으로부터, 에틸렌성 불포화 이중 결합을 가지는 단량체의 중합체가 바람직하다. 에틸렌성 불포화 이중 결합을 가지는 단량체로는 (메타)아크릴산; (메타)아크릴산에스테르; (메타)아크릴산아미드; 크로톤산; 말레산, 푸마르산, 시트라콘산, 메사콘산, 이타콘산, 이들 디카르복시산의 무수물; 아세트산알릴, 카프로산알릴, 카프릴산알릴, 라우르산알릴, 팔미트산알릴, 스테아르산알릴, 벤조산알릴, 아세토아세트산알릴, 락트산알릴 및 알릴옥시에탄올과 같은 알릴 화합물; 헥실비닐에테르, 옥틸비닐에테르, 데실비닐에테르, 에틸헥실비닐에테르, 메톡시에틸비닐에테르, 에톡시에틸비닐에테르, 클로로에틸비닐에테르, 1-메틸-2,2-디메틸프로필비닐에테르, 2-에틸부틸비닐에테르, 히드록시에틸비닐에테르, 디에틸렌글리콜비닐에테르, 디메틸아미노에틸비닐에테르, 디에틸아미노에틸비닐에테르, 부틸아미노에틸비닐에테르, 벤질비닐에테르, 테트라히드로푸르푸릴비닐에테르, 비닐페닐에테르, 비닐톨릴에테르, 비닐클로로페닐에테르, 비닐-2,4-디클로로페닐에테르, 비닐나프틸에테르 및 비닐안트라닐에테르와 같은 비닐에테르; 비닐부틸레이트, 비닐이소부틸레이트, 비닐트리메틸아세테이트, 비닐디에틸아세테이트, 비닐발레이트, 비닐카프로에이트, 비닐클로로아세테이트, 비닐디클로로아세테이트, 비닐메톡시아세테이트, 비닐부톡시아세테이트, 비닐페닐아세테이트, 비닐아세토아세테이트, 비닐락테이트, 비닐-β-페닐부틸레이트, 벤조산비닐, 살리실산비닐, 클로로벤조산비닐, 테트라클로로벤조산비닐 및 나프토산비닐과 같은 비닐에스테르; 스티렌, 메틸스티렌, 디메틸스티렌, 트리메틸스티렌, 에틸스티렌, 디에틸스티렌, 이소프로필스티렌, 부틸스티렌, 헥실스티렌, 시클로헥실스티렌, 데실스티렌, 벤질스티렌, 클로로메틸스티렌, 트리플루오로메틸스티렌, 에톡시메틸스티렌, 아세톡시메틸스티렌, 메톡시스티렌, 4-메톡시-3-메틸스티렌, 디메톡시스티렌, 클로로스티렌, 디클로로스티렌, 트리클로로스티렌, 테트라클로로스티렌, 펜타클로로스티렌, 브로모스티렌, 디브로모스티렌, 요오드스티렌, 플루오로스티렌, 트리플루오로스티렌, 2-브로모-4-트리플루오로메틸스티렌 및 4-플루오로-3-트리플루오로메틸스티렌과 같은 스티렌 또는 스티렌 유도체; 에틸렌, 프로필렌, 1-부텐, 1-펜텐, 1-헥센, 3-메틸-1-부텐, 3-메틸-1-펜텐, 3-에틸-1-펜텐, 4-메틸-1-펜텐, 4-메틸-1-헥센, 4,4-디메틸-1-헥센, 4,4-디메틸-1-펜텐, 4-에틸-1-헥센, 3-에틸-1-헥센, 1-옥텐, 1-데센, 1-도데센, 1-테트라데센, 1-헥사데센, 1-옥타데센 및 1-에이코센과 같은 올레핀; 말레이미드, N-페닐말레이미드, N-시클로헥실말레이미드 등의 불포화 이미드류;를 들 수 있다.Among the crosslinkable group-containing resins, a polymer of a monomer having an ethylenically unsaturated double bond is preferable from the standpoint of excellent film formability and easy adjustment of characteristics of the resin by selection of the monomer. Examples of the monomer having an ethylenically unsaturated double bond include (meth) acrylic acid; (Meth) acrylic acid esters; (Meth) acrylic acid amide; Crotonic acid; Maleic acid, fumaric acid, citraconic acid, mesaconic acid, itaconic acid, anhydrides of these dicarboxylic acids; Allyl compounds such as allyl acetate, allyl caproate, allyl caprylate, allyl laurate, allyl palmitate, allyl stearate, allyl benzoate, allyl acetoacetate, allyl lactate and allyloxyethanol; Ethyl hexyl vinyl ether, methoxy ethyl vinyl ether, ethoxyethyl vinyl ether, chloroethyl vinyl ether, 1-methyl-2,2-dimethylpropyl vinyl ether, 2-ethyl Butyl vinyl ether, hydroxyethyl vinyl ether, diethylene glycol vinyl ether, dimethylaminoethyl vinyl ether, diethylaminoethyl vinyl ether, butylaminoethyl vinyl ether, benzyl vinyl ether, tetrahydrofurfuryl vinyl ether, vinyl phenyl ether, Vinyl ethers such as vinyl tolyl ether, vinyl chlorophenyl ether, vinyl-2,4-dichlorophenyl ether, vinyl naphthyl ether and vinyl anthranyl ether; Vinyl butyrate, vinyl isobutyrate, vinyl trimethylacetate, vinyl diethyl acetate, vinyl valerate, vinyl caproate, vinyl chloroacetate, vinyl dichloroacetate, vinyl methoxyacetate, vinyl butoxyacetate, vinyl phenylacetate, Vinyl esters such as acetate, vinyl lactate, vinyl-beta-phenylbutylate, vinyl benzoate, vinyl salicylate, vinyl chlorobenzoate, vinyl tetrachlorobenzoate and vinyl naphthoate; Examples of the monomer include styrene, methylstyrene, dimethylstyrene, trimethylstyrene, ethylstyrene, diethylstyrene, isopropylstyrene, butylstyrene, hexylstyrene, cyclohexylstyrene, decylstyrene, benzylstyrene, chloromethylstyrene, trifluoromethylstyrene, ethoxy There may be mentioned styrenes such as methylstyrene, acetoxymethylstyrene, methoxystyrene, 4-methoxy-3-methylstyrene, dimethoxystyrene, chlorostyrene, dichlorostyrene, trichlorostyrene, tetrachlorostyrene, pentachlorostyrene, bromostyrene, Styrene or styrene derivatives such as styrene, mystyrene, iodostyrene, fluorostyrene, trifluorostyrene, 2-bromo-4-trifluoromethylstyrene and 4-fluoro-3-trifluoromethylstyrene; Butene, 3-methyl-1-pentene, 3-ethyl-1-pentene, 4-methyl- 1-hexene, 4-methyl-1-hexene, 4,4-dimethyl-1-hexene, Olefins such as 1-dodecene, 1-tetradecene, 1-hexadecene, 1-octadecene and 1-eicosene; And unsaturated imides such as maleimide, N-phenylmaleimide and N-cyclohexylmaleimide.

가교성기 함유 수지는 에틸렌성 불포화 이중 결합을 가지는 단량체의 중합체인 경우, 통상 불포화 카르복시산에 유래하는 단위를 포함한다. 불포화 카르복시산의 예로는 (메타)아크릴산; (메타)아크릴산아미드; 크로톤산; 말레산, 푸마르산, 시트라콘산, 메사콘산, 이타콘산, 이들 디카르복시산의 무수물을 들 수 있다. 알칼리 가용성 수지로서 사용되는 에틸렌성 불포화 이중 결합을 가지는 단량체의 중합체에 포함되는 불포화 카르복시산에 유래하는 단위의 양은 수지가 원하는 알칼리 가용성을 가지는 한 특별히 한정되지 않는다. 알칼리 가용성 수지로서 사용되는 수지 중의, 불포화 카르복시산에 유래하는 단위의 양은 수지의 질량에 대해서, 5 질량% 이상 25 질량% 이하가 바람직하고, 8 질량% 이상 16 질량% 이하가 보다 바람직하며, 가교성기 함유 수지가 후술하는 용해 억지기를 가지는 경우, 특히 이들 양이 바람직하다. 가교성기 함유 수지가 후술하는 용해 억지기를 가지지 않는 경우, 상기 수지 중의, 불포화 카르복시산에 유래하는 단위의 양은 수지의 질량에 대해서, 50 질량% 이상 80 질량% 이하가 바람직하고, 60 질량% 이상 70 질량% 이하가 보다 바람직하다.When the crosslinkable group-containing resin is a polymer of a monomer having an ethylenically unsaturated double bond, it usually contains a unit derived from an unsaturated carboxylic acid. Examples of the unsaturated carboxylic acid include (meth) acrylic acid; (Meth) acrylic acid amide; Crotonic acid; Maleic acid, fumaric acid, citraconic acid, mesaconic acid, itaconic acid, and anhydrides of these dicarboxylic acids. The amount of the unit derived from the unsaturated carboxylic acid contained in the polymer of the monomer having an ethylenically unsaturated double bond used as the alkali-soluble resin is not particularly limited as long as the resin has the desired alkali solubility. The amount of the unit derived from the unsaturated carboxylic acid in the resin used as the alkali-soluble resin is preferably from 5 mass% to 25 mass%, more preferably from 8 mass% to 16 mass% with respect to the mass of the resin, Containing resin has a dissolution inhibiting agent to be described later, these amounts are particularly preferable. When the crosslinkable group-containing resin has no dissolution inhibiting group to be described later, the amount of the unit derived from the unsaturated carboxylic acid in the resin is preferably from 50 mass% to 80 mass%, more preferably from 60 mass% to 70 mass% % Or less is more preferable.

이상 예시한 단량체로부터 선택되는 1종 이상의 단량체의 중합체인, 에틸렌성 불포화 이중 결합을 가지는 단량체의 중합체 중에서는 (메타)아크릴산 및 (메타)아크릴산에스테르로부터 선택되는 1종 이상의 단량체의 중합체가 바람직하다. 이하, (메타)아크릴산 및 (메타)아크릴산에스테르로부터 선택되는 1종 이상의 단량체의 중합체에 대해서 설명한다.Among the polymers of monomers having an ethylenically unsaturated double bond, which are polymers of at least one monomer selected from monomers exemplified above, polymers of at least one monomer selected from (meth) acrylic acid and (meth) acrylic acid ester are preferable. Hereinafter, polymers of at least one monomer selected from (meth) acrylic acid and (meth) acrylic acid ester will be described.

(메타)아크릴산 및 (메타)아크릴산에스테르로부터 선택되는 1종 이상의 단량체의 중합체의 조제에 이용되는, (메타)아크릴산에스테르는 본 발명의 목적을 저해하지 않는 범위에서 특별히 한정되지 않고, 공지의 (메타)아크릴산에스테르로부터 적절히 선택된다.The (meth) acrylic acid ester used in the preparation of the polymer of one or more monomers selected from (meth) acrylic acid and (meth) acrylic acid ester is not particularly limited in the range not hindering the object of the present invention, ) Acrylic acid esters.

(메타)아크릴산에스테르의 적합한 예로는 메틸(메타)아크릴레이트, 에틸(메타)아크릴레이트, 프로필(메타)아크릴레이트, 아밀(메타)아크릴레이트, t-옥틸(메타)아크릴레이트 등의 직쇄상 또는 분기쇄상의 알킬(메타)아크릴레이트; 클로로에틸(메타)아크릴레이트, 2,2-디메틸히드록시프로필(메타)아크릴레이트, 2-히드록시에틸(메타)아크릴레이트, 트리메틸올프로판모노(메타)아크릴레이트, 푸르푸릴(메타)아크릴레이트; 벤질(메타)아크릴레이트 등의 방향족기를 가지는 (메타)아크릴산에스테르; 지환식 골격을 가지는 (메타)아크릴산에스테르를 들 수 있다. 지환식 골격을 가지는 (메타)아크릴산에스테르의 상세한 것에 대해서는 후술한다.Suitable examples of the (meth) acrylic acid esters include linear or branched (meth) acrylates such as methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, amyl (meth) acrylate and t- Branched alkyl (meth) acrylates; (Meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, ; (Meth) acrylic acid esters having an aromatic group such as benzyl (meth) acrylate; (Meth) acrylate ester having an alicyclic skeleton. Details of the (meth) acrylate ester having a cycloaliphatic skeleton will be described later.

또, (메타)아크릴산 및 (메타)아크릴산에스테르로부터 선택되는 1종 이상의 단량체의 중합체 중에서는 감광성 조성물을 이용해 투과율이 높은 절연막을 형성하기 쉬운 점으로부터, 지환식 골격을 가지는 (메타)아크릴산에스테르에 유래하는 단위를 포함하는 수지도 바람직하다. 본 명세서에서, 지환식 골격을 가지는 (메타)아크릴산에스테르는 상술한 가교성기를 가지는 (메타)아크릴산에스테르를 포함하지 않는 것으로 한다.Among the polymers of one or more monomers selected from (meth) acrylic acid and (meth) acrylic acid esters, it is preferable to use a photosensitive composition derived from a (meth) acrylic acid ester having an alicyclic skeleton from the viewpoint of forming an insulating film having a high transmittance Is also preferable. In the present specification, the (meth) acrylic acid ester having an alicyclic skeleton does not include the (meth) acrylic acid ester having the above-mentioned crosslinkable group.

지환식 골격을 가지는 (메타)아크릴산에스테르에서, 지환식 골격을 가지는 기는 지환식 탄화수소기를 가지는 기인 것이 바람직하다. 지환식 골격을 구성하는 지환식기는 단환이어도 다환이어도 된다. 단환의 지환식기로는 시클로펜틸기, 시클로헥실기 등을 들 수 있다. 또, 다환의 지환식기로는 노르보닐기, 이소보닐기, 트리시클로노닐기, 트리시클로데실기, 테트라시클로도데실기 등을 들 수 있다.In the (meth) acrylate ester having an alicyclic skeleton, the group having an alicyclic skeleton is preferably a group having an alicyclic hydrocarbon group. The alicyclic group constituting the alicyclic skeleton may be monocyclic or polycyclic. Examples of the monocyclic alicyclic group include a cyclopentyl group and a cyclohexyl group. Examples of the polycyclic alicyclic group include a norbornyl group, an isobonyl group, a tricyclononyl group, a tricyclodecyl group, and a tetracyclododecyl group.

지환식 골격을 가지는 (메타)아크릴산에스테르 중, 지환식 탄화수소기를 가지는 (메타)아크릴산에스테르로는, 예를 들면 하기 식 (d1-1)~(d1-8)로 표시되는 화합물을 들 수 있다. 이들 중에서는 하기 식 (d1-3)~(d1-8)로 표시되는 화합물이 바람직하고, 하기 식 (d1-3) 또는 (d1-4)로 표시되는 화합물이 보다 바람직하다.Examples of the (meth) acrylic acid ester having an alicyclic hydrocarbon group among the (meth) acrylic acid esters having an alicyclic skeleton include compounds represented by the following formulas (d1-1) to (d1-8). Among these, compounds represented by the following formulas (d1-3) to (d1-8) are preferable, and compounds represented by the following formula (d1-3) or (d1-4) are more preferable.

[화 37][37]

Figure pat00037
Figure pat00037

상기 식 중, Rd1은 수소 원자 또는 메틸기를 나타내고, Rd2는 단결합 또는 탄소 원자수 1 이상 6 이하의 2가의 지방족 포화 탄화수소기를 나타내며, Rd3은 수소 원자 또는 탄소 원자수 1 이상 5 이하의 알킬기를 나타낸다. Rd2로는 단결합, 직쇄상 또는 분지쇄상의 알킬렌기, 예를 들면 메틸렌기, 에틸렌기, 프로필렌기, 테트라메틸렌기, 에틸에틸렌기, 펜타메틸렌기, 헥사메틸렌기가 바람직하다. Rd3으로는 메틸기, 에틸기가 바람직하다.R d1 represents a hydrogen atom or a methyl group, R d2 represents a single bond or a divalent aliphatic saturated hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms and R d3 represents a hydrogen atom or a hydrocarbon group having 1 to 5 carbon atoms Alkyl group. R d2 is preferably a single bond, a straight chain or branched alkylene group such as methylene, ethylene, propylene, tetramethylene, ethylethylene, pentamethylene or hexamethylene. R d3 is preferably a methyl group or an ethyl group.

가교성기 함유 수지는 (메타)아크릴산 및 (메타)아크릴산에스테르로부터 선택되는 1종 이상의 단량체에 유래하는 단위와, 지환식 에폭시기를 가지는 (메타)아크릴산에스테르에 유래하는 단위를 포함하는 수지인 것이 바람직하다. 이러한 수지는 추가로, 지환식 골격을 가지는 (메타)아크릴산에스테르에 유래하는 단위도 포함하는 수지이어도 되고, 그 경우 수지 중의 지환식 골격을 가지는 (메타)아크릴산에스테르에 유래하는 단위의 양은 10 질량% 이상 35 질량% 이하이어도 되고, 15 질량% 이상 30 질량% 이하이어도 되며, 20 질량% 이상 25 질량% 이하이어도 된다.The crosslinkable group-containing resin is preferably a resin containing a unit derived from at least one monomer selected from (meth) acrylic acid and (meth) acrylic acid ester and a unit derived from a (meth) acrylic acid ester having an alicyclic epoxy group . Such a resin may further contain a unit derived from a (meth) acrylic acid ester having an alicyclic skeleton. In this case, the amount of the unit derived from the (meth) acrylic acid ester having an alicyclic skeleton in the resin is preferably 10% Or more and 35 mass% or less, 15 mass% or more and 30 mass% or less, and 20 mass% or more and 25 mass% or less.

또, 지환식 골격을 가지는 (메타)아크릴산에스테르에 유래하는 단위를 포함하는, (메타)아크릴산 및 (메타)아크릴산에스테르로부터 선택되는 1종 이상의 단량체의 중합체 중에서는 (메타)아크릴산에 유래하는 단위와, 지환식 에폭시기를 가지는 (메타)아크릴산에스테르에 유래하는 단위를 포함하는 수지가 바람직하다. 이와 같은 가교성기 함유 수지를 포함하는 감광성 조성물을 이용하여 형성되는 막은 기재에 대한 밀착성이 뛰어나다. 또, 이와 같은 수지를 이용하는 경우, 수지에 포함되는 카르복시기와, 지환식 에폭시기의 자기(自己) 반응을 일으키게 하는 것이 가능하다. 이 때문에, 이와 같은 수지를 포함하는 감광성 조성물을 이용하면, 막을 가열하는 방법 등을 이용하여, 카르복시기와 지환식 에폭시기의 자기 반응을 일으키게 함으로써, 형성되는 막의 경도와 같은 기계적 물성을 향상시킬 수 있다.Among the polymers of one or more monomers selected from (meth) acrylic acid and (meth) acrylic acid esters including units derived from (meth) acrylic acid esters having alicyclic skeletons, units derived from (meth) acrylic acid and , And a unit derived from a (meth) acrylic acid ester having an alicyclic epoxy group. The film formed using the photosensitive composition containing such a crosslinkable group-containing resin is excellent in adhesion to a substrate. When such a resin is used, it is possible to cause a self-reaction between the carboxyl group contained in the resin and the alicyclic epoxy group. For this reason, when a photosensitive composition containing such a resin is used, mechanical properties such as hardness of a film to be formed can be improved by causing a magnetic reaction between a carboxyl group and an alicyclic epoxy group using a method of heating the film or the like.

(메타)아크릴산에 유래하는 단위(가교성기를 가지는 것을 제외함)와, 지환식 에폭시기를 가지는 (메타)아크릴산에스테르에 유래하는 단위를 포함하는 수지에서, 수지 중의 전자(前者) (메타)아크릴산에 유래하는 단위의 양은 1 질량% 이상 95 질량% 이하가 바람직하고, 10 질량% 이상 70 질량% 이하가 보다 바람직하다. 상기 (메타)아크릴산에 유래하는 단위와, 지환식 에폭시기를 가지는 (메타)아크릴산에스테르에 유래하는 단위를 포함하는 수지에서, 수지 중의 지환식 에폭시기를 가지는 (메타)아크릴산에스테르에 유래하는 단위의 양은 1 질량% 이상 95 질량% 이하가 바람직하고, 10 질량% 이상 50 질량% 이하가 보다 바람직하다.(Former) (meth) acrylic acid in the resin in a resin containing units derived from (meth) acrylic acid (excluding those having a crosslinkable group) and units derived from a (meth) acrylic acid ester having an alicyclic epoxy group, The amount of the derived unit is preferably 1% by mass or more and 95% by mass or less, and more preferably 10% by mass or more and 70% by mass or less. In the resin comprising a unit derived from the (meth) acrylic acid and a unit derived from a (meth) acrylic ester having an alicyclic epoxy group, the amount of the unit derived from the (meth) acrylic acid ester having an alicyclic epoxy group in the resin is 1 By mass or more and 95% by mass or less, and more preferably 10% by mass or more and 50% by mass or less.

(메타)아크릴산에 유래하는 단위와, 지환식 에폭시기를 가지는 (메타)아크릴산에스테르에 유래하는 단위를 포함하는, (메타)아크릴산 및 (메타)아크릴산에스테르로부터 선택되는 1종 이상의 단량체의 중합체 중에서는 (메타)아크릴산에 유래하는 단위와, 지환식 탄화수소기를 가지는 (메타)아크릴산에스테르에 유래하는 단위와, 지환식 에폭시기를 가지는 (메타)아크릴산에스테르에 유래하는 단위를 포함하는 수지이어도 된다.(Meth) acrylic acid and (meth) acrylic acid ester containing a unit derived from a (meth) acrylic acid and a unit derived from a (meth) acrylic acid ester having an alicyclic epoxy group (Meth) acrylic acid ester having a cycloaliphatic epoxy group, a unit derived from a (meta) acrylic acid, a unit derived from a (meth) acrylic acid ester having an alicyclic hydrocarbon group and a unit derived from a (meth) acrylic ester having an alicyclic epoxy group.

(메타)아크릴산에 유래하는 단위와, 지환식 탄화수소기를 가지는 (메타)아크릴산에스테르에 유래하는 단위와, 지환식 에폭시기를 가지는 (메타)아크릴산에스테르에 유래하는 단위를 포함하는 수지에서, 수지 중의 (메타)아크릴산에 유래하는 단위의 양은 1 질량% 이상 95 질량% 이하가 바람직하고, 10 질량% 이상 50 질량% 이하가 보다 바람직하다. (메타)아크릴산에 유래하는 단위와, 지환식 탄화수소기를 가지는 (메타)아크릴산에스테르에 유래하는 단위와, 지환식 에폭시기를 가지는 (메타)아크릴산에스테르에 유래하는 단위를 포함하는 수지에서, 수지 중의 지환식 탄화수소기를 가지는 (메타)아크릴산에스테르에 유래하는 단위의 양은 1 질량% 이상 95 질량% 이하가 바람직하고, 10 질량% 이상 70 질량% 이하가 보다 바람직하다. (메타)아크릴산에 유래하는 단위와, 지환식 탄화수소기를 가지는 (메타)아크릴산에스테르에 유래하는 단위와, 지환식 에폭시기를 가지는 (메타)아크릴산에스테르에 유래하는 단위를 포함하는 수지에서, 수지 중의 지환식 에폭시기를 가지는 (메타)아크릴산에스테르에 유래하는 단위의 양은 1 질량% 이상 95 질량% 이하가 바람직하고, 30 질량% 이상 80 질량% 이하가 보다 바람직하다.(Meth) acrylic acid ester having a unit derived from a (meth) acrylic acid, a unit derived from a (meth) acrylic acid ester having an alicyclic hydrocarbon group and a (meth) acrylic ester having an alicyclic epoxy group, ) Acrylic acid is preferably 1% by mass or more and 95% by mass or less, and more preferably 10% by mass or more and 50% by mass or less. (Meth) acrylic acid ester having a cycloaliphatic epoxy group, a unit derived from a (meth) acrylic acid, a unit derived from a (meth) acrylic acid ester having an alicyclic hydrocarbon group and a unit derived from a The amount of the unit derived from the (meth) acrylic acid ester having a hydrocarbon group is preferably 1% by mass or more and 95% by mass or less, and more preferably 10% by mass or more and 70% by mass or less. (Meth) acrylic acid ester having a cycloaliphatic epoxy group, a unit derived from a (meth) acrylic acid, a unit derived from a (meth) acrylic acid ester having an alicyclic hydrocarbon group and a unit derived from a The amount of the unit derived from the (meth) acrylic acid ester having an epoxy group is preferably 1% by mass or more and 95% by mass or less, and more preferably 30% by mass or more and 80% by mass or less.

가교성기 함유 수지의 질량 평균 분자량(Mw: 겔 투과 크로마토그래피(GPC)의 폴리스티렌 환산에 의한 측정값. 본 명세서에서 동일함)은 2000 이상 200000 이하인 것이 바람직하고, 2000 이상 18000 이하인 것이 보다 바람직하다. 상기의 범위로 함으로써, 감광성 조성물의 막형성능, 노광 후의 현상성의 밸런스를 잡기 쉬운 경향이 있다.The mass average molecular weight (Mw: measurement value in terms of polystyrene conversion of gel permeation chromatography (GPC) of the crosslinkable group-containing resin is preferably 2000 or more and 200000 or less, more preferably 2000 or more and 18000 or less. Within the above range, there is a tendency that the film forming ability of the photosensitive composition and the balance of developability after exposure tends to be easily obtained.

(카르도 구조를 가지는 수지)(Resin having cardo structure)

이하에 설명하는 카르도 구조를 가지는 수지(이하, 「카르도 수지」라고도 기재함)도 수지(B2)로서 적합하게 이용할 수 있다.A resin having a cardo structure described below (hereinafter also referred to as " cardo resin ") can also be suitably used as the resin B2.

카르도 수지로는 그 구조 중에 카르도 골격을 가지고, 소정의 알칼리 가용성을 가지는 수지를 이용할 수 있다. 카르도 골격이란, 제1 환상 구조를 구성하고 있는 1개의 환 탄소 원자에, 제2 환상 구조와 제3 환상 구조가 결합한 골격을 말한다. 또한, 제2 환상 구조와 제3 환상 구조는 동일한 구조이어도 상이한 구조이어도 된다.As the cardo resin, a resin having a cardo skeleton in its structure and having a predetermined alkali solubility can be used. The cardo skeleton refers to a skeleton in which a second cyclic structure and a third cyclic structure are bonded to one ring carbon atom constituting the first cyclic structure. The second annular structure and the third annular structure may have the same structure or different structures.

카르도 골격의 대표적인 예로는 플루오렌환의 9위의 탄소 원자에 2개의 방향환(예를 들면, 벤젠환)이 결합한 골격을 들 수 있다.A typical example of the cardo skeleton is a skeleton in which two aromatic rings (for example, a benzene ring) are bonded to the 9th carbon atom of the fluorene ring.

카르도 구조를 가지는 수지로는 특별히 한정되는 것이 아니고, 종래 공지의 수지를 이용할 수 있다. 그 중에서도, 하기 식 (b-1)로 표시되는 수지가 바람직하다.The resin having a cardo structure is not particularly limited, and conventionally known resins can be used. Among them, the resin represented by the following formula (b-1) is preferable.

하기 식 (b-1)로 표시되는 수지는, 그 구조 중에 카르복시기와 에틸렌성 불포화 이중 결합 등을 가지기 때문에, 가교성기를 가지는 알칼리 가용성 수지로서의 역할을 완수한다.The resin represented by the following formula (b-1) fulfills its role as an alkali-soluble resin having a crosslinkable group because it has a carboxyl group and an ethylenically unsaturated double bond in its structure.

[화 38][38]

Figure pat00038
Figure pat00038

식 (b-1) 중, Xb는 하기 식 (b-2)로 표시되는 기를 나타낸다. t1은 0 이상 20 이하의 정수를 나타낸다.In the formula (b-1), X b represents a group represented by the following formula (b-2). t1 represents an integer of 0 to 20 inclusive.

[화 39][39]

Figure pat00039
Figure pat00039

상기 식 (b-2) 중, Rb11은 각각 독립적으로 수소 원자, 탄소 원자수 1 이상 6 이하의 탄화수소기 또는 할로겐 원자를 나타내고, Rb12는 각각 독립적으로 수소 원자 또는 메틸기를 나타내고, Rb13은 각각 독립적으로 직쇄 또는 분기쇄의 알킬렌기를 나타내고, t2는 0 또는 1을 나타내고, Wb는 하기 식 (b-3)로 표시되는 기를 나타낸다.R b11 each independently represents a hydrogen atom, a hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms or a halogen atom, R b12 each independently represents a hydrogen atom or a methyl group, R b13 represents a hydrogen atom or a methyl group, T2 represents 0 or 1, and W b represents a group represented by the following formula (b-3).

[화 40][40]

Figure pat00040
Figure pat00040

식 (b-2) 중, Rb13으로는 탄소 원자수 1 이상 20 이하의 알킬렌기가 바람직하고, 탄소 원자수 1 이상 10 이하의 알킬렌기가 보다 바람직하며, 탄소 원자수 1 이상 6 이하의 알킬렌기가 특히 바람직하고, 에탄-1,2-디일기, 프로판-1,2-디일기 및 프로판 1,3-디일기가 가장 바람직하다.In formula (b-2), R b13 is preferably an alkylene group having 1 to 20 carbon atoms, more preferably an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms, and an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms And most preferred are ethane-1,2-diyl group, propane-1,2-diyl group and propane 1,3-diyl group.

식 (b-3) 중의 환 Ab는 방향족환과 축합하고 있어도 되고, 치환기를 가지고 있어도 되는 지방족환을 나타낸다. 지방족환은 지방족 탄화수소환이어도 지방족 복소환이어도 된다.The ring A b in the formula (b-3) represents an aliphatic ring which may be condensed with an aromatic ring or may have a substituent. The aliphatic ring may be an aliphatic hydrocarbon ring or an aliphatic heterocycle.

지방족환으로는 모노시클로알칸, 비시클로알칸, 트리시클로알칸, 테트라시클로알칸 등을 들 수 있다.Examples of the aliphatic ring include monocycloalkane, bicycloalkane, tricycloalkane, and tetracycloalkane.

구체적으로는 시클로펜탄, 시클로헥산, 시클로헵탄, 시클로옥탄 등의 모노시클로알칸이나, 아단탄, 노르보르난, 이소보르난, 트리시클로데칸, 테트라시클로도데칸을 들 수 있다.Specific examples thereof include monocycloalkanes such as cyclopentane, cyclohexane, cycloheptane and cyclooctane, and adanthan, norbornane, isoborane, tricyclodecane and tetracyclododecane.

지방족환에 축합해도 되는 방향족환은 방향족 탄화수소환이어도 방향족 복소환이어도 되고, 방향족 탄화수소환이 바람직하다. 구체적으로는 벤젠환 및 나프탈렌환이 바람직하다.The aromatic ring which may be condensed with the aliphatic ring may be an aromatic hydrocarbon ring or an aromatic heterocycle, preferably an aromatic hydrocarbon ring. Specifically, benzene ring and naphthalene ring are preferable.

식 (b-3)로 표시되는 2가기의 적합한 예로는 하기의 기를 들 수 있다.Suitable examples of divalent groups represented by formula (b-3) include the following groups.

[화 41][41]

Figure pat00041
Figure pat00041

식 (b-1) 중의 2가기 Xb는 잔기 Zb를 부여하는 테트라카르복시산 2무수물과, 하기 식 (b-2a)로 표시되는 디올 화합물을 반응시킴으로써, 카르도 수지 중에 도입된다.The divalent X b in the formula (b-1) is introduced into the cardo resin by reacting the tetracarboxylic dianhydride giving the residue Z b with the diol compound represented by the following formula (b-2a).

[화 42][42]

Figure pat00042
Figure pat00042

식 (b-2a) 중, Rb11, Rb12, Rb13 및 t2는 식 (b-2)에 대해 설명한 것과 같다. 식 (b-2a) 중의 환 Ab에 대해서는 식 (b-3)에 대해 설명한 것과 같다.In formula (b-2a), R b11 , R b12 , R b13 and t2 are as described for formula (b-2). The ring A b in the formula (b-2a) is as described for the formula (b-3).

식 (b-2a)로 표시되는 디올 화합물은, 예를 들면 이하의 방법에 의해 제조할 수 있다.The diol compound represented by the formula (b-2a) can be produced, for example, by the following method.

우선, 하기 식 (b-2b)로 표시되는 디올 화합물이 가지는 페놀성 수산기 중의 수소 원자를, 필요에 따라 통상의 방법에 따라서 -Rb13-OH로 표시되는 기로 치환한 후, 에피클로로히드린 등을 이용해 글리시딜화하여, 하기 식 (b-2c)로 표시되는 에폭시 화합물을 얻는다.First, the hydrogen atom in the phenolic hydroxyl group of the diol compound represented by the following formula (b-2b) is replaced with a group represented by -R b13 -OH according to a usual method, if necessary, and then epichlorohydrin To obtain an epoxy compound represented by the following formula (b-2c).

그 다음에, 식 (b-2c)로 표시되는 에폭시 화합물을, 아크릴산 또는 메타아크릴산과 반응시킴으로써, 식 (b-2a)로 표시되는 디올 화합물이 얻어진다.Next, the diol compound represented by the formula (b-2a) is obtained by reacting the epoxy compound represented by the formula (b-2c) with acrylic acid or methacrylic acid.

식 (b-2b) 및 식 (b-2c) 중, Rb11, Rb13 및 t2는 식 (b-2)에 대해 설명한 것과 같다. 식 (b-2b) 및 식 (b-2c) 중의 환 Ab에 대해서는 식 (b-3)에 대해 설명한 것과 같다.R b11 , R b13 and t2 in the formulas (b-2b) and (b-2c) are as described for the formula (b-2). The ring A b in the formula (b-2b) and the formula (b-2c) is as described for the formula (b-3).

또한 식 (b-2a)로 표시되는 디올 화합물의 제조 방법은 상기의 방법으로 한정되지 않는다.The production method of the diol compound represented by the formula (b-2a) is not limited to the above-mentioned method.

[화 43][43]

Figure pat00043
Figure pat00043

식 (b-2b)로 표시되는 디올 화합물의 적합한 예로는 이하의 디올 화합물을 들 수 있다.Suitable examples of the diol compound represented by the formula (b-2b) include the following diol compounds.

[화 44][44]

Figure pat00044
Figure pat00044

상기 식 (b-1) 중, Rb0는 수소 원자 또는 -CO-Yb-COOH로 표시되는 기이다. 여기서, Yb는 디카르복시산 무수물로부터 산 무수물기(-CO-O-CO-)를 제외한 잔기를 나타낸다. 디카르복시산 무수물의 예로는 무수 말레산, 무수 숙신산, 무수 이타콘산, 무수 프탈산, 무수 테트라히드로프탈산, 무수 헥사히드로프탈산, 무수 메틸-endo-메틸렌테트라히드로프탈산, 무수 클로렌드산, 메틸테트라히드로 무수 프탈산, 무수 글루타르산 등을 들 수 있다.In the above formula (b-1), R b0 is a hydrogen atom or a group represented by -CO-Y b -COOH. Here, Y b represents a residue excluding an acid anhydride group (-CO-O-CO-) from a dicarboxylic acid anhydride. Examples of dicarboxylic acid anhydrides include maleic anhydride, succinic anhydride, itaconic anhydride, phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, methyl-undo-methylene tetrahydrophthalic anhydride, anhydrous chloridic acid, methyltetrahydrophthalic anhydride , And anhydrous glutaric acid.

또, 상기 식 (b-1) 중, Zb는 테트라카르복시산 2무수물로부터 2개의 산 무수물기를 제외한 잔기를 나타낸다. 테트라카르복시산 2무수물의 예로는 하기 식 (b-4)로 표시되는 테트라카르복시산 2무수물, 피로멜리트산 2무수물, 벤조페논테트라카르복시산 2무수물, 비페닐테트라카르복시산 2무수물, 비페닐에테르테트라카르복시산 2무수물 등을 들 수 있다.In the above formula (b-1), Z b represents a residue other than the two acid anhydride groups from the tetracarboxylic acid dianhydride. Examples of the tetracarboxylic acid dianhydride include tetracarboxylic dianhydride, pyromellitic dianhydride, benzophenonetetracarboxylic dianhydride, biphenyltetracarboxylic dianhydride, biphenyl ether tetracarboxylic dianhydride, and the like represented by the following formula (b-4) .

또, 상기 식 (b-1) 중, t1은 0 이상 20 이하의 정수를 나타낸다.In the above formula (b-1), t1 represents an integer of 0 or more and 20 or less.

[화 45][45]

Figure pat00045
Figure pat00045

(식 (b-4) 중, Rb14, Rb15 및 Rb16은 각각 독립적으로 수소 원자, 탄소 원자수 1 이상 10 이하의 알킬기 및 불소 원자로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종을 나타내고, t3은 0 이상 12 이하의 정수를 나타낸다.)(B-4), R b14 , R b15 and R b16 each independently represent one selected from the group consisting of a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms and a fluorine atom, t3 is 0 or more Represents an integer of 12 or less.)

식 (b-4) 중의 Rb14로서 선택될 수 있는 알킬기는 탄소 원자수가 1 이상 10 이하의 알킬기이다. 알킬기가 구비하는 탄소 원자수를 이 범위로 설정함으로써, 얻어지는 카르복시산에스테르의 내열성을 한층 향상시킬 수 있다. Rb14가 알킬기인 경우, 그 탄소 원자수는 내열성이 뛰어난 카르도 수지를 얻기 쉬운 점으로부터, 1 이상 6 이하가 바람직하고, 1 이상 5 이하가 보다 바람직하며, 1 이상 4 이하가 더욱 바람직하고, 1 이상 3 이하가 특히 바람직하다.The alkyl group which may be selected as R b14 in the formula (b-4) is an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms. By setting the number of carbon atoms contained in the alkyl group within this range, the heat resistance of the obtained carboxylic acid ester can be further improved. When R b14 is an alkyl group, the number of carbon atoms thereof is preferably 1 or more and 6 or less, more preferably 1 or more and 5 or less, still more preferably 1 or more and 4 or less, from the viewpoint of easily obtaining a cardo resin having excellent heat resistance. More preferably 1 or more and 3 or less.

Rb14가 알킬기인 경우, 상기 알킬기는 직쇄상이어도 분기쇄상이어도 된다.When R b14 is an alkyl group, the alkyl group may be linear or branched.

식 (b-4) 중의 Rb14로는 내열성이 뛰어난 카르도 수지를 얻기 쉬운 점으로부터, 각각 독립적으로 수소 원자 또는 탄소 원자수 1 이상 10 이하의 알킬기가 보다 바람직하다. 식 (b-4) 중의 Rb14는 수소 원자, 메틸기, 에틸기, n-프로필기 또는 이소프로필기가 보다 바람직하며, 수소 원자 또는 메틸기가 특히 바람직하다.As R b14 in the formula (b-4), a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms is more preferable, independently from each other, because a carboxyl resin having excellent heat resistance is easily obtained. R b14 in the formula (b-4) is more preferably a hydrogen atom, a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group or an isopropyl group, and particularly preferably a hydrogen atom or a methyl group.

식 (b-4) 중의 복수의 Rb14는 고순도의 테트라카르복시산 2무수물의 조제가 용이한 점으로부터, 동일한 기인 것이 바람직하다.It is preferable that a plurality of R b14 in the formula (b-4) is the same group because the preparation of the high purity tetracarboxylic acid dianhydride is easy.

식 (b-4) 중의 t3은 0 이상 12 이하의 정수를 나타낸다. t3의 값을 12 이하로 함으로써, 테트라카르복시산 2무수물의 정제를 용이하게 할 수 있다.T3 in the formula (b-4) represents an integer of 0 or more and 12 or less. By setting the value of t3 to 12 or less, purification of the tetracarboxylic dianhydride can be facilitated.

테트라카르복시산 2무수물의 정제가 용이한 점으로부터, t3의 상한은 5가 바람직하고, 3이 보다 바람직하다.From the viewpoint that the tetracarboxylic acid dianhydride can be easily purified, the upper limit of t3 is preferably 5, more preferably 3.

테트라카르복시산 2무수물의 화학적 안정성의 점으로부터, t3의 하한은 1이 바람직하고, 2가 보다 바람직하다.From the viewpoint of the chemical stability of the tetracarboxylic acid dianhydride, the lower limit of t3 is preferably 1, more preferably 2.

식 (b-4) 중의 t3은 2 또는 3이 특히 바람직하다.T3 in the formula (b-4) is particularly preferably 2 or 3.

식 (b-4) 중의 Rb15 및 Rb16으로서 선택될 수 있는 탄소 원자수 1 이상 10 이하의 알킬기는 Rb14로서 선택될 수 있는 탄소 원자수 1 이상 10 이하의 알킬기와 동일하다.The alkyl group having 1 to 10 carbon atoms which can be selected as R b15 and R b16 in the formula (b-4) is the same as the alkyl group having 1 to 10 carbon atoms which can be selected as R b14 .

Rb15 및 Rb16은 테트라카르복시산 2무수물의 정제가 용이한 점으로부터, 수소 원자, 또는 탄소 원자수 1 이상 10 이하(바람직하게는 1 이상 6 이하, 보다 바람직하게는 1 이상 5 이하, 더욱 바람직하게는 1 이상 4 이하, 특히 바람직하게는 1 이상 3 이하)의 알킬기인 것이 바람직하고, 수소 원자 또는 메틸기인 것이 특히 바람직하다.R b15 and R b16 are each a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms (preferably 1 or more and 6 or less, more preferably 1 or more and 5 or less, still more preferably 5 or less, Is preferably an alkyl group of 1 or more and 4 or less, particularly preferably 1 or more and 3 or less, particularly preferably a hydrogen atom or a methyl group.

식 (b-4)로 표시되는 테트라카르복시산 2무수물로는, 예를 들면 노르보르난-2-스피로-α-시클로펜타논-α'-스피로-2''-노르보르난-5,5'',6,6''-테트라카르복시산 2무수물(별명 「노르보르난-2-스피로-2'-시클로펜타논-5'-스피로-2''-노르보르난-5,5'',6,6''-테트라카르복시산 2무수물」), 메틸노르보르난-2-스피로-α-시클로펜타논-α'-스피로-2''-(메틸노르보르난)-5,5'',6,6''-테트라카르복시산 2무수물, 노르보르난-2-스피로-α-시클로헥사논-α'-스피로-2''-노르보르난-5,5'',6,6''-테트라카르복시산 2무수물(별명 「노르보르난-2-스피로-2'-시클로헥사논-6'-스피로-2''-노르보르난-5,5'',6,6''-테트라카르복시산 2무수물」), 메틸노르보르난-2-스피로-α-시클로헥사논-α'-스피로-2''-(메틸노르보르난)-5,5'',6,6''-테트라카르복시산 2무수물, 노르보르난-2-스피로-α-시클로프로파논-α'-스피로-2''-노르보르난-5,5'',6,6''-테트라카르복시산 2무수물, 노르보르난-2-스피로-α-시클로부타논-α'-스피로-2''-노르보르난-5,5'',6,6''-테트라카르복시산 2무수물, 노르보르난-2-스피로-α-시클로헵타논-α'-스피로-2''-노르보르난-5,5'',6,6''-테트라카르복시산 2무수물, 노르보르난-2-스피로-α-시클로옥타논-α'-스피로-2''-노르보르난-5,5'',6,6''-테트라카르복시산 2무수물, 노르보르난-2-스피로-α-시클로노나논-α'-스피로-2''-노르보르난-5,5'',6,6''-테트라카르복시산 2무수물, 노르보르난-2-스피로-α-시클로데카논-α'-스피로-2''-노르보르난-5,5'',6,6''-테트라카르복시산 2무수물, 노르보르난-2-스피로-α-시클로운데카논-α'-스피로-2''-노르보르난-5,5'',6,6''-테트라카르복시산 2무수물, 노르보르난-2-스피로-α-시클로도데카논-α'-스피로-2''-노르보르난-5,5'',6,6''-테트라카르복시산 2무수물, 노르보르난-2-스피로-α-시클로트리데카논-α'-스피로-2''-노르보르난-5,5'',6,6''-테트라카르복시산 2무수물, 노르보르난-2-스피로-α-시클로테트라데카논-α'-스피로-2''-노르보르난-5,5'',6,6''-테트라카르복시산 2무수물, 노르보르난-2-스피로-α-시클로펜타데카논-α'-스피로-2''-노르보르난-5,5'',6,6''-테트라카르복시산 2무수물, 노르보르난-2-스피로-α-(메틸시클로펜타논)-α'-스피로-2''-노르보르난-5,5'',6,6''-테트라카르복시산 2무수물, 노르보르난-2-스피로-α-(메틸시클로헥사논)-α'-스피로-2''-노르보르난-5,5'',6,6''-테트라카르복시산 2무수물 등을 들 수 있다.Examples of the tetracarboxylic acid dianhydride represented by the formula (b-4) include norbornane-2-spiro-a-cyclopentanone-a'-spiro-2'-norbornane- ', 6,6' '- tetracarboxylic dianhydride (also called "norbornane-2-spiro-2'-cyclopentanone-5'-spiro- , 6 "-tetracarboxylic dianhydride"), methyl norbornane-2-spiro-α-cyclopentanone-α'-spiro-2 '' - (methylnorbornane) -5,5 " , 6 " -tetracarboxylic dianhydride, norbornane-2-spiro- [alpha] -cyclohexanone- [alpha] -spiro-2 " -norbornane-5,5 ", 6,6 & (Also referred to as " norbornane-2-spiro-2'-cyclohexanone-6'-spiro-2 '' -norbornane-5,5 '', 6,6 '' -tetracarboxylic acid dianhydride Spiro-a-cyclohexanone-a'-spiro-2 '' - (methylnorbornane) -5,5 '', 6,6 "-tetracarboxylic acid dianhydride , Norbornane-2-spiro-a-cyclopropanone-a'-spiro- 2 "-norbornane-5,5", 6,6 "-tetracarboxylic dianhydride, norbornane-2-spiro-a-cyclobutanone-a'-spiro- 5,5 '', 6,6 '' -tetracarboxylic dianhydride, norbornane-2-spiro-a-cycloheptanone-a'-spiro- ', 6,6 "-tetracarboxylic dianhydride, norbornane-2-spiro-a-cyclooctanone-a'-spiro- -Tetracarboxylic dianhydride, norbornane-2-spiro- [alpha] -cyclononanone- [alpha] -spiro-2 " -norbornane-5,5 ", 6,6 " -tetracarboxylic acid dianhydride , Norbornane-2-spiro-a-cyclodecanone-a'-spiro-2''-norbornane-5,5 '', 6,6'-tetracarboxylic dianhydride, norbornane- -Spiro-a-cyclodecanone-a'-spiro-2''-norbornane-5,5 '', 6,6'-tetracarboxylic dianhydride, norbornane- Spore-2 " -norbornane-5,5 ", 6,6 " -tetracarboxylic acid 2 & Water, norbornane-2-spiro- [alpha] -cyclotridecanone-a'-spiro-2 " -norbornane-5,5 ", 6,6 " -tetracarboxylic dianhydride, Spiro-a-cyclotetradecanone-a'-spiro-2''-norbornane-5,5 '', 6,6'-tetracarboxylic dianhydride, norbornane- -cyclopentadecanol-a'-spiro-2''-norbornane-5,5 '', 6,6 "-tetracarboxylic dianhydride, norbornane-2-spiro- Pentane) -α'-spiro-2''-norbornane-5,5 '', 6,6 "-tetracarboxylic dianhydride, norbornane-2-spiro-α- (methylcyclohexanone) -α'-spiro-2 "-norbornane-5,5", 6,6 "-tetracarboxylic dianhydride, and the like.

카르도 수지의 중량 평균 분자량은 1000 이상 40000인 것이 바람직하고, 1500 이상 30000 이하인 것이 보다 바람직하며, 2000 이상 10000 이하인 것이 더욱 바람직하다. 상기의 범위로 함으로써, 양호한 현상성을 얻으면서, 충분한 내열성, 막강도를 얻을 수 있다.The weight average molecular weight of the cardo resin is preferably from 1,000 to 40,000, more preferably from 1,500 to 30,000, and still more preferably from 2,000 to 10,000. Within the above range, sufficient heat resistance and film strength can be obtained while satisfactory developability is obtained.

(노볼락 수지)(Novolac resin)

수지(B2)로는 노볼락 수지를 이용할 수도 있다. 노볼락 수지는 알칼리 가용성 수지에 해당한다. 감광성 조성물이 수지(B2)로서 노볼락 수지를 포함하면, 감광성 조성물을 이용해 경화막을 형성할 때에 경화막에 대해서 포스트베이크를 수행하는 경우에, 경화막의 과도한 열플로우를 억제하기 쉽다.A novolac resin may be used as the resin (B2). The novolac resin corresponds to an alkali-soluble resin. When the photosensitive composition contains a novolak resin as the resin (B2), excessive heat flow of the cured film can be easily suppressed when post-baking is performed on the cured film when the cured film is formed using the photosensitive composition.

이 때문에, 감광성 조성물을 이용해 블랙 컬럼 스페이서를 형성하는 경우에, 감광성 조성물이 노볼락 수지를 포함하고 있으면, 원하는 형상의 블랙 컬럼 스페이서를 형성하기 쉽다.Therefore, in the case of forming a black column spacer using a photosensitive composition, if the photosensitive composition contains a novolac resin, it is easy to form a black column spacer having a desired shape.

노볼락 수지로는 종래부터 감광성 조성물에 배합되고 있는 여러 가지의 노볼락 수지를 이용할 수 있다. 노볼락 수지로는 페놀성 수산기를 가지는 방향족 화합물(이하, 간단하게 「페놀류」라고 함)과 알데히드류를 산 촉매 하에서 부가 축합시킴으로써 얻어지는 것이 바람직하다.As the novolac resin, various novolac resins conventionally blended with the photosensitive composition can be used. The novolak resin is preferably obtained by subjecting an aromatic compound having a phenolic hydroxyl group (hereinafter simply referred to as " phenol ") and an aldehyde to an addition condensation under an acid catalyst.

·페놀류· Phenols

노볼락 수지를 제작할 때에 이용되는 페놀류로는, 예를 들면 페놀; o-크레졸, m-크레졸, p-크레졸 등의 크레졸류; 2,3-크실레놀, 2,4-크실레놀, 2,5-크실레놀, 2,6-크실레놀, 3,4-크실레놀, 3,5-크실레놀 등의 크실레놀류; o-에틸페놀, m-에틸페놀, p-에틸페놀 등의 에틸페놀류; 2-이소프로필페놀, 3-이소프로필페놀, 4-이소프로필페놀, o-부틸페놀, m-부틸페놀, p-부틸페놀 및 p-tert-부틸페놀 등의 알킬페놀류; 2,3,5-트리메틸페놀 및 3,4,5-트리메틸페놀 등의 트리알킬페놀류; 레조르시놀, 카테콜, 하이드로퀴논, 하이드로퀴논모노메틸에테르, 피로갈롤 및 플로로글리시놀 등의 다가 페놀류; 알킬레조르신, 알킬카테콜 및 알킬하이드로퀴논 등의 알킬 다가 페놀류(어느 알킬기도 탄소 원자수 1 이상 4 이하이다.); α-나프톨; β-나프톨; 히드록시디페닐; 및 비스페놀 A 등을 들 수 있다. 이들 페놀류는 단독으로 이용해도 되고, 2종 이상을 조합하여 이용해도 된다.Examples of the phenol used in the preparation of the novolak resin include phenol; cresols such as o-cresol, m-cresol and p-cresol; Such as 2,3-xylenol, 2,4-xylenol, 2,5-xylenol, 2,6-xylenol, 3,4-xylenol, 3,5- Sileenol; ethyl phenols such as o-ethyl phenol, m-ethyl phenol and p-ethyl phenol; Alkyl phenols such as 2-isopropylphenol, 3-isopropylphenol, 4-isopropylphenol, o-butylphenol, m-butylphenol, p-butylphenol and p-tert-butylphenol; Trialkylphenols such as 2,3,5-trimethylphenol and 3,4,5-trimethylphenol; Polyhydric phenols such as resorcinol, catechol, hydroquinone, hydroquinone monomethyl ether, pyrogallol and fluoroglycinol; Alkyl-substituted phenols such as alkyl resorcin, alkyl catechol and alkyl hydroquinone (all alkyl groups having 1 to 4 carbon atoms); alpha -naphthol; ? -naphthol; Hydroxydiphenyl; And bisphenol A. These phenols may be used alone or in combination of two or more.

이들 페놀류 중에서도, m-크레졸 및 p-크레졸이 바람직하고, m-크레졸과 p-크레졸을 병용하는 것이 보다 바람직하다. 이 경우, 양자의 배합 비율을 조정함으로써, 감광성 조성물을 이용하여 형성되는 경화막의 내열성 등의 여러 특성을 조절할 수 있다.Among these phenols, m-cresol and p-cresol are preferable, and it is more preferable to use m-cresol and p-cresol in combination. In this case, various properties such as heat resistance of the cured film formed using the photosensitive composition can be controlled by adjusting the blending ratio of both.

m-크레졸과 p-크레졸의 배합 비율은 특별히 한정되는 것은 아니지만, m-크레졸/p-크레졸의 몰비로, 3/7 이상 8/2 이하가 바람직하다. m-크레졸 및 p-크레졸을 이러한 범위의 비율로 이용함으로써, 내열성이 뛰어난 경화막을 형성 가능한 감광성 조성물을 얻기 쉽다.The mixing ratio of m-cresol and p-cresol is not particularly limited, but is preferably 3/7 to 8/2 by mole in terms of the molar ratio of m-cresol / p-cresol. By using m-cresol and p-cresol in this range, it is easy to obtain a photosensitive composition capable of forming a cured film having excellent heat resistance.

또, m-크레졸과 2,3,5-트리메틸페놀을 병용하여 제조되는 노볼락 수지도 바람직하다. 이러한 노볼락 수지를 이용하는 경우, 포스트베이크시의 가열에 의해 과도하게 플로우하기 어려운 경화막을 형성할 수 있는 감광성 조성물을, 특히 얻기 쉽다.A novolak resin prepared by using m-cresol and 2,3,5-trimethylphenol in combination is also preferable. When such a novolak resin is used, a photosensitive composition capable of forming a cured film which is difficult to flow excessively by heating during post-baking is particularly easy to obtain.

m-크레졸과 2,3,5-트리메틸페놀의 배합 비율은 특별히 한정되는 것은 아니지만, m-크레졸/2,3,5-트리메틸페놀의 몰비로 70/30 이상 95/5 이하가 바람직하다.The blending ratio of m-cresol and 2,3,5-trimethyl phenol is not particularly limited, but is preferably 70/30 or more and 95/5 or less in molar ratio of m-cresol / 2,3,5-trimethylphenol.

·알데히드류· Aldehydes

노볼락 수지를 제작할 때에 이용되는 알데히드류로는, 예를 들면 포름알데히드, 파라포름알데히드, 푸르푸랄, 벤즈알데히드, 니트로벤즈알데히드 및 아세트알데히드 등을 들 수 있다. 이들 알데히드류는 단독으로 이용해도 되고, 2종 이상을 조합하여 이용해도 된다.Examples of the aldehyde used in the preparation of the novolak resin include formaldehyde, paraformaldehyde, furfural, benzaldehyde, nitrobenzaldehyde and acetaldehyde. These aldehydes may be used alone, or two or more aldehydes may be used in combination.

·산 촉매· Acid catalyst

노볼락 수지를 제작할 때에 이용되는 산 촉매로는, 예를 들면 염산, 황산, 질산, 인산 및 아인산 등의 무기산류; 포름산, 옥살산, 아세트산, 디에틸황산 및 파라톨루엔술폰산 등의 유기산류; 및 아세트산 아연 등의 금속염류 등을 들 수 있다. 이들 산 촉매는 단독으로 이용해도 되고, 2종 이상을 조합하여 이용해도 된다.Examples of the acid catalyst used for preparing the novolak resin include inorganic acids such as hydrochloric acid, sulfuric acid, nitric acid, phosphoric acid and phosphorous acid; Organic acids such as formic acid, oxalic acid, acetic acid, diethylsulfuric acid and para-toluenesulfonic acid; And metal salts such as zinc acetate. These acid catalysts may be used alone or in combination of two or more.

·분자량·Molecular Weight

노볼락 수지의 폴리스티렌 환산의 중량 평균 분자량(Mw; 이하, 간단하게 「중량 평균 분자량」이라고도 함)은 감광성 조성물을 이용하여 형성되는 경화막의 가열에 의한 플로우에 대한 내성의 관점으로부터, 하한값으로서 2000이 바람직하고, 5000이 보다 바람직하며, 10000이 특히 바람직하고, 15000이 더욱 바람직하고, 20000이 가장 바람직하고, 상한값으로서 50000이 바람직하고, 45000이 보다 바람직하며, 40000이 더욱 바람직하고, 35000이 가장 바람직하다.The weight average molecular weight (Mw) of the novolak resin in terms of polystyrene (hereinafter simply referred to as " weight average molecular weight ") is preferably from 2,000 to 1,000,000 as a lower limit value from the viewpoint of resistance to flow by heating the cured film formed using the photosensitive composition More preferably 5000, particularly preferably 10000, more preferably 15000, most preferably 20000, the upper limit is preferably 50000, more preferably 45000, still more preferably 40000 and most preferably 35000 Do.

노볼락 수지로는 폴리스티렌 환산의 중량 평균 분자량이 상이한 것을 적어도 2종 조합하여 이용할 수 있다. 중량 평균 분자량이 상이한 것을 대소(大小) 조합하여 이용함으로써, 감광성 조성물의 현상성과, 감광성 조성물을 이용하여 형성되는 경화막의 내열성의 밸런스를 잡을 수 있다.As the novolak resin, at least two kinds of resins having different weight average molecular weights in terms of polystyrene may be used in combination. A balance between the developability of the photosensitive composition and the heat resistance of the cured film formed using the photosensitive composition can be balanced by using a combination of large and small ones having different weight average molecular weights.

(변성 에폭시 수지)(Modified epoxy resin)

감광성 조성물을 이용하여 형성되는 경화막에, 베이크시의 보다 높은 플로우 내성과 높은 내수성을 부여하기 쉬운 점으로부터, 감광성 조성물은 수지(B2)로서, 에폭시 화합물(b-3a)과 불포화기 함유 카르복시산(b-3b)의 반응물의, 다염기산 무수물(b-3c) 부가체인 변성 에폭시 수지를 포함하고 있어도 된다.The photosensitive composition contains the epoxy compound (b-3a) and the unsaturated group-containing carboxylic acid (b-3a) as the resin (B2) from the viewpoint of easily imparting higher flow resistance and high water resistance to the cured film formed by using the photosensitive composition, (b-3c) of the reaction product of the polyfunctional epoxy resin (b-3b).

변성 에폭시 수지는 그 구조 중에 카르복시기와 에틸렌성 불포화 이중 결합 등을 가지기 때문에, 가교성기를 가지는 알칼리 가용성 수지로서의 역할을 완수한다.Since the modified epoxy resin has a carboxyl group and an ethylenically unsaturated double bond in its structure, it plays a role as an alkali-soluble resin having a crosslinkable group.

또한 본 출원의 명세서 및 특허 청구범위에서, 상기의 정의에 해당하는 화합물로서, 전술한 카르도 구조를 가지는 수지에 해당하지 않는 화합물을 변성 에폭시 수지로 한다.In the specification and claims of the present application, as the compound corresponding to the above definition, a compound not corresponding to the resin having the above-mentioned cardo structure is referred to as a modified epoxy resin.

이하, 에폭시 화합물(b-3a), 불포화기 함유 카르복시산(b-3b) 및 다염기산 무수물(b-3c)에 대해 설명한다.The epoxy compound (b-3a), the unsaturated group-containing carboxylic acid (b-3b) and the polybasic acid anhydride (b-3c) will be described below.

·에폭시 화합물(b-3a)Epoxy compound (b-3a)

에폭시 화합물(b-3a)은 에폭시기를 가지는 화합물이면 특별히 한정되지 않고, 방향족기를 가지는 방향족 에폭시 화합물이어도 방향족기를 포함하지 않는 지방족 에폭시 화합물이어도 되고, 방향족기를 가지는 방향족 에폭시 화합물이 바람직하다.The epoxy compound (b-3a) is not particularly limited as long as it is a compound having an epoxy group, and may be an aromatic epoxy compound having an aromatic group, an aliphatic epoxy compound not containing an aromatic group, or an aromatic epoxy compound having an aromatic group.

에폭시 화합물(b-3a)은 단관능 에폭시 화합물이어도 2 관능 이상의 다관능 에폭시 화합물이어도 되고, 다관능 에폭시 화합물이 바람직하다.The epoxy compound (b-3a) may be a monofunctional epoxy compound or a bifunctional or more polyfunctional epoxy compound, preferably a polyfunctional epoxy compound.

에폭시 화합물(b-3a)의 구체예로는 비스페놀 A형 에폭시 수지, 비스페놀 F형 에폭시 수지, 비스페놀 S형 에폭시 수지, 비스페놀 AD형 에폭시 수지, 나프탈렌형 에폭시 수지 및 비페닐형 에폭시 수지 등의 2 관능 에폭시 수지; 다이머산글리시딜에스테르 및 트리글리시딜에스테르 등의 글리시딜에스테르형 에폭시 수지; 테트라글리시딜아미노디페닐메탄, 트리글리시딜-p-아미노페놀, 테트라글리시딜메타크실릴렌디아민 및 테트라글리시딜비스아미노메틸시클로헥산 등의 글리시딜아민형 에폭시 수지; 트리글리시딜이소시아누레이트 등의 복소환식 에폭시 수지; 플로로글리시놀트리글리시딜에테르, 트리히드록시비페닐트리글리시딜에테르, 트리히드록시페닐메탄트리글리시딜에테르, 글리세린트리글리시딜에테르, 2-[4-(2,3-에폭시프로폭시)페닐]-2-[4-[1,1-비스[4-(2,3-에폭시프로폭시)페닐]에틸]페닐]프로판 및 1,3-비스[4-[1-[4-(2,3-에폭시프로폭시)페닐]-1-[4-[1-[4-(2,3-에폭시프로폭시)페닐]-1-메틸에틸]페닐]에틸]페녹시]-2-프로판올 등의 3 관능형 에폭시 수지; 테트라히드록시페닐에탄테트라글리시딜에테르, 테트라글리시딜벤조페논, 비스레조르시놀테트라글리시딜에테르 및 테트라글리시독시비페닐 등의 4 관능형 에폭시 수지를 들 수 있다.Specific examples of the epoxy compound (b-3a) include bifunctional epoxy resins such as bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, bisphenol AD type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin and biphenyl type epoxy resin Epoxy resin; Glycidyl ester type epoxy resins such as dimer acid glycidyl ester and triglycidyl ester; Glycidylamine-type epoxy resins such as tetraglycidylaminodiphenylmethane, triglycidyl-p-aminophenol, tetraglycidylmethacrylylenediamine and tetraglycidylbisaminomycyclohexane; Heterocyclic epoxy resins such as triglycidyl isocyanurate; Trihydroxyphenylmethane triglycidyl ether, glycerin triglycidyl ether, 2- [4- (2,3-epoxypropoxy) propyl) glycidyl ether, Phenyl] propane and 1,3-bis [4- [1- [4- (2, 3-dipropoxyphenyl) -1,3-epoxypropoxy) phenyl] -1- [4- [1- [4- (2,3-epoxypropoxy) phenyl] -1- methylethyl] phenyl] ethyl] phenoxy] -2-propanol Trifunctional epoxy resin; Tetrafunctional epoxy resins such as tetrahydroxyphenyl ethane tetraglycidyl ether, tetraglycidyl benzophenone, bis-resorcinol tetraglycidyl ether, and tetraglycidoxybiphenyl.

또, 에폭시 화합물(b-3a)로는 비페닐 골격을 가지는 에폭시 화합물이 바람직하다.The epoxy compound (b-3a) is preferably an epoxy compound having a biphenyl skeleton.

비페닐 골격을 가지는 에폭시 화합물은 주쇄에 하기 식 (b-3a-1)로 표시되는 비페닐 골격을 적어도 1개 이상 가지는 것이 바람직하다.The epoxy compound having a biphenyl skeleton preferably has at least one biphenyl skeleton represented by the following formula (b-3a-1) in its main chain.

비페닐 골격을 가지는 에폭시 화합물은 2 이상의 에폭시기를 가지는 다관능 에폭시 화합물인 것이 바람직하다.The epoxy compound having a biphenyl skeleton is preferably a polyfunctional epoxy compound having two or more epoxy groups.

비페닐 골격을 가지는 에폭시 화합물을 이용함으로써, 감도와 현상성의 밸런스가 뛰어나고, 기판에 대한 밀착성이 뛰어난 경화막을 형성할 수 있는 감광성 조성물을 얻기 쉽다.By using an epoxy compound having a biphenyl skeleton, it is easy to obtain a photosensitive composition capable of forming a cured film excellent in balance of sensitivity and developability and excellent in adhesion to a substrate.

[화 46][46]

Figure pat00046
Figure pat00046

(식 (b-3a-1) 중, Rb17은 각각 독립적으로 수소 원자, 탄소 원자수 1 이상 12 이하의 알킬기, 할로겐 원자, 또는 치환기를 가져도 되는 페닐기이며, j는 1 이상 4 이하의 정수이다.)(B-3a-1), R b17 is independently a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, a halogen atom, or a phenyl group which may have a substituent, and j is an integer of 1 to 4 to be.)

Rb17이 탄소 원자수 1 이상 12 이하의 알킬기인 경우, 알킬기의 구체예로는 메틸기, 에틸기, n-프로필기, 이소프로필기, n-부틸기, 이소부틸기, sec-부틸기, tert-부틸기, n-펜틸기, 이소펜틸기, sec-펜틸기, tert-펜틸기, n-헥실기, n-헵틸기, n-옥틸기, 이소옥틸기, sec-옥틸기, tert-옥틸기, n-노닐기, 이소노닐기, n-데실기, 이소데실기, n-운데실기 및 n-도데실기를 들 수 있다.When R b17 is an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, specific examples of the alkyl group include a methyl group, ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, n-butyl group, isobutyl group, Butyl group, n-pentyl group, iso-pentyl group, sec-pentyl group, tert-pentyl group, n- n-nonyl group, isononyl group, n-decyl group, isodecyl group, n-undecyl group and n-dodecyl group.

Rb17이 할로겐 원자인 경우, 할로겐 원자의 구체예로는 불소 원자, 염소 원자, 브롬 원자 및 요오드 원자를 들 수 있다.When R b17 is a halogen atom, specific examples of the halogen atom include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom and an iodine atom.

Rb17이 치환기를 가져도 되는 페닐기인 경우, 페닐기 상의 치환기의 수는 특별히 한정되지 않는다. 페닐기 상의 치환기의 수는 0 이상 5 이하이며, 0 또는 1이 바람직하다.When R b17 is a phenyl group which may have a substituent, the number of substituents on the phenyl group is not particularly limited. The number of substituents on the phenyl group is 0 or more and 5 or less, and 0 or 1 is preferable.

치환기의 예로는 탄소 원자수 1 이상 4 이하의 알킬기, 탄소 원자수 1 이상 4 이하의 알콕시기, 탄소 원자수 2 이상 4 이하의 지방족 아실기, 할로겐 원자, 시아노기 및 니트로기를 들 수 있다.Examples of the substituent include an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms, an aliphatic acyl group having 2 to 4 carbon atoms, a halogen atom, a cyano group and a nitro group.

상기 식 (b-3a-1)로 표시되는 비페닐 골격을 가지는 에폭시 화합물(b-3a)로는 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면, 하기 식 (b-3a-2)로 표시되는 에폭시 화합물을 들 수 있다.The epoxy compound (b-3a) having a biphenyl skeleton represented by the above formula (b-3a-1) is not particularly restricted but includes, for example, epoxy compounds represented by the following formula (b- .

[화 47][47]

Figure pat00047
Figure pat00047

(식 (b-3a-2) 중, Rb17 및 j는 식 (b-3a-1)과 동일하고, k는 괄호 내의 구성 단위의 평균 반복수로서 0 이상 10 이하이다.)(B-3a-2), R b17 and j are the same as in the formula (b-3a-1), and k is the average number of repeating units in the parentheses is 0 or more and 10 or less.

식 (b-3a-2)로 표시되는 에폭시 화합물 중에서는 감도와 현상성의 밸런스가 뛰어난 감광성 조성물을 특히 얻기 쉬운 점으로부터, 하기 식 (b-3a-3)로 표시되는 화합물이 바람직하다.Among the epoxy compounds represented by the formula (b-3a-2), the compounds represented by the following formula (b-3a-3) are preferable from the viewpoint of easily obtaining a photosensitive composition excellent in balance of sensitivity and developability.

[화 48][48]

Figure pat00048
Figure pat00048

(식 (b-3a-3) 중, k는 식 (b-3a-2)과 동일하다.)(In the formula (b-3a-3), k is the same as in the formula (b-3a-2).)

(불포화기 함유 카르복시산(b-3b))(Unsaturated group-containing carboxylic acid (b-3b))

변성 에폭시 화합물(b-3)을 조제함에 있어서, 에폭시 화합물(b-3a)과 불포화기 함유 카르복시산(b-3b)을 반응시킨다.In preparing the modified epoxy compound (b-3), an epoxy compound (b-3a) is reacted with an unsaturated carboxylic acid (b-3b).

불포화기 함유 카르복시산(b-3b)로는 분자 중에 아크릴기나 메타크릴기 등의 반응성의 불포화 이중 결합을 함유하는 모노카르복시산이 바람직하다. 이와 같은 불포화기 함유 카르복시산으로는, 예를 들면 아크릴산, 메타크릴산, β-스티릴아크릴산, β-푸르푸릴아크릴산, α-시아노신남산, 신남산 등을 들 수 있다. 또, 불포화기 함유 카르복시산(b-3b)은 단독 또는 2종류 이상을 조합하여 이용해도 된다.As the unsaturated group-containing carboxylic acid (b-3b), a monocarboxylic acid containing a reactive unsaturated double bond such as an acrylic group or a methacrylic group in the molecule is preferable. Examples of such unsaturated carboxylic acids include acrylic acid, methacrylic acid,? -Styryl acrylic acid,? -Furfuryl acrylic acid,? -Cyanosinic acid and cinnamic acid. The unsaturated group-containing carboxylic acid (b-3b) may be used singly or in combination of two or more.

에폭시 화합물(b-3a)과 불포화기 함유 카르복시산(b-3b)은 공지의 방법에 의해 반응시킬 수 있다. 바람직한 반응 방법으로는, 예를 들면 에폭시 화합물(b-3a)과 불포화기 함유 카르복시산(b-3b)을, 트리에틸아민, 벤질에틸아민 등의 3급 아민, 도데실트리메틸암모늄클로라이드, 테트라메틸암모늄클로라이드, 테트라에틸암모늄클로라이드, 벤질트리에틸암모늄클로라이드 등의 4급 암모늄염, 피리딘 또는 트리페닐포스핀 등을 촉매로 하여, 유기용제 중, 반응 온도 50℃ 이상 150℃ 이하에서 수시간 내지 수십 시간 반응시키는 방법을 들 수 있다.The epoxy compound (b-3a) and the unsaturated group-containing carboxylic acid (b-3b) can be reacted by a known method. Examples of the preferable reaction method include a method in which an epoxy compound (b-3a) and an unsaturated group-containing carboxylic acid (b-3b) are reacted with a tertiary amine such as triethylamine, benzylethylamine, dodecyltrimethylammonium chloride, A quaternary ammonium salt such as chloride, tetraethylammonium chloride or benzyltriethylammonium chloride, pyridine or triphenylphosphine as a catalyst, and the reaction is carried out in an organic solvent at a reaction temperature of 50 ° C. or higher and 150 ° C. or lower for several hours to several hours Method.

에폭시 화합물(b-3a)과 불포화기 함유 카르복시산(b-3b)의 반응에서의 양자의 사용량의 비율은 에폭시 화합물(b-3a)의 에폭시 당량과, 불포화기 함유 카르복시산(b-3b)의 카르복시산 당량의 비로서, 통상 1:0.5~1:2가 바람직하고, 1:0.8~1:1.25가 보다 바람직하며, 1:0.9~1:1.1이 특히 바람직하다.The ratio of the amount of the epoxy compound (b-3a) to the amount of the unsaturated group-containing carboxylic acid (b-3b) used in the reaction is not particularly limited as long as the epoxy equivalent of the epoxy compound (b- Equivalent ratio is usually 1: 0.5 to 1: 2, more preferably 1: 0.8 to 1: 1.25, and particularly preferably 1: 0.9 to 1: 1.1.

에폭시 화합물(b-3a)의 사용량과 불포화기 함유 카르복시산(b-3b)의 사용량의 비율이 상기의 당량비로 1:0.5~1:2이면, 가교 효율이 향상되는 경향이 있어 바람직하다.When the ratio of the amount of the epoxy compound (b-3a) to the amount of the unsaturated group-containing carboxylic acid (b-3b) is 1: 0.5 to 1: 2 in terms of the equivalent ratio described above, the crosslinking efficiency tends to be improved.

(다염기산 무수물(b-3c))(Polybasic acid anhydride (b-3c))

다염기산 무수물(b-3c)은 2개 이상의 카르복시기를 가지는 카르복시산의 무수물이다.The polybasic acid anhydride (b-3c) is an anhydride of a carboxylic acid having two or more carboxyl groups.

다염기산 무수물(b-3c)로는 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면, 무수 말레산, 무수 숙신산, 무수 이타콘산, 무수 프탈산, 테트라히드로 무수 프탈산, 헥사히드로 무수 프탈산, 메틸헥사히드로 무수 프탈산, 메틸테트라히드로 무수 프탈산, 무수 트리멜리트산, 무수 피로멜리트산, 벤조페논테트라카르복시산 2무수물, 3-메틸헥사히드로프탈산 무수물, 4-메틸헥사히드로 무수 프탈산, 3-에틸헥사히드로 무수 프탈산, 4-에틸헥사히드로 무수 프탈산, 테트라히드로 무수 프탈산, 3-메틸테트라히드로 무수 프탈산, 4-메틸테트라히드로 무수 프탈산, 3-에틸테트라히드로 무수 프탈산, 4-에틸테트라히드로 무수 프탈산, 하기 식 (b-3c-1)로 표시되는 화합물, 및 하기 식 (b-3c-2)로 표시되는 화합물을 들 수 있다. 또, 다염기산 무수물(b-3c)은 단독 또는 2종류 이상을 조합하여 이용해도 된다.Examples of the polybasic acid anhydride (b-3c) include, but are not limited to, maleic anhydride, succinic anhydride, itaconic anhydride, phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, methylhexahydrophthalic anhydride, There may be mentioned phthalic anhydride, phthalic anhydride, trimellitic anhydride, pyromellitic anhydride, benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 3-methylhexahydrophthalic anhydride, 4-methylhexahydrophthalic anhydride, 3-ethylhexahydrophthalic anhydride, 4-ethylhexahydro- (B-3c-1), represented by the following formula (b-3c-1), can be prepared by reacting a compound represented by the following formula (b-3c-1) with an acid anhydride , And a compound represented by the following formula (b-3c-2). The polybasic acid anhydrides (b-3c) may be used alone or in combination of two or more.

[화 49][49]

Figure pat00049
Figure pat00049

(식 (b-3c-2) 중, Rb18은 탄소 원자수 1 이상 10 이하의 치환기를 가져도 되는 알킬렌기를 나타낸다.)(In the formula (b-3c-2), R b18 represents an alkylene group which may have a substituent having 1 to 10 carbon atoms.)

다염기산 무수물(b-3c)로는 감도와 현상성의 밸런스가 뛰어난 감광성 조성물을 얻기 쉬운 점으로부터, 벤젠환을 2개 이상 가지는 화합물인 것이 바람직하다. 또, 다염기산 무수물(b-3c)은 상기 식 (b-3c-1)로 표시되는 화합물, 및 상기 식 (b-3c-2)로 표시되는 화합물 중 적어도 한쪽을 포함하는 것이 보다 바람직하다.The polybasic acid anhydride (b-3c) is preferably a compound having two or more benzene rings from the viewpoint of easily obtaining a photosensitive composition having excellent balance of sensitivity and developability. It is more preferable that the polybasic acid anhydride (b-3c) contains at least one of the compound represented by the formula (b-3c-1) and the compound represented by the formula (b-3c-2)

에폭시 화합물(b-3a)과 불포화기 함유 카르복시산(b-3b)을 반응시킨 후, 다염기산 무수물(b-3c)을 반응시키는 방법은 공지의 방법으로부터 적절히 선택할 수 있다.The method of reacting the epoxy compound (b-3a) with the unsaturated group-containing carboxylic acid (b-3b) and then reacting the polybasic acid anhydride (b-3c) can be appropriately selected from known methods.

또, 사용량 비율은 에폭시 화합물(b-3a)과 불포화기 함유 카르복시산(b-3b)의 반응 후의 성분 중의 OH기의 몰수와, 다염기산 무수물(b-3c)의 산 무수물기의 당량비로 통상 1:1~1:0.1이며, 바람직하게는 1:0.8~1:0.2이다. 상기 범위로 함으로써, 현상성이 양호한 감광성 조성물을 얻기 쉽다.The ratio of the amount to be used is usually 1: 1, preferably 1: 1, more preferably 1: 1, more preferably 1: 1, more preferably 1: 1 to 1: 0.1, preferably 1: 0.8 to 1: 0.2. Within the above range, it is easy to obtain a photosensitive composition having good developing properties.

또, 변성 에폭시 수지(b-3)의 산가는 수지 고형분으로, 10 mgKOH/g 이상 150 mgKOH/g 이하인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 70 mgKOH/g 이상 110 mgKOH/g 이하이다. 수지의 산가를 10 mgKOH/g 이상으로 함으로써 현상액에 대한 충분한 용해성이 얻어지고, 또 산가를 150 mgKOH/g 이하로 함으로써 충분한 경화성을 얻을 수 있고, 표면성을 양호하게 할 수 있다.The acid value of the modified epoxy resin (b-3) is preferably from 10 mgKOH / g to 150 mgKOH / g, more preferably from 70 mgKOH / g to 110 mgKOH / g, When the acid value of the resin is 10 mgKOH / g or more, sufficient solubility to the developer is obtained. When the acid value is 150 mgKOH / g or less, sufficient curability can be obtained and the surface property can be improved.

또, 변성 에폭시 수지(b-3)의 중량 평균 분자량은 1000 이상 40000 이하인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 2000 이상 30000 이하이다. 중량 평균 분자량을 1000 이상으로 함으로써 내열성 및 강도가 뛰어난 블랙 컬럼 스페이서를 형성하기 쉽다. 또, 40000 이하로 함으로써 현상액에 대한 충분한 용해성을 나타내는 감광성 조성물을 얻기 쉽다.The weight average molecular weight of the modified epoxy resin (b-3) is preferably from 1,000 to 40,000, more preferably from 2,000 to 30,000. When the weight average molecular weight is 1000 or more, it is easy to form a black column spacer having excellent heat resistance and strength. When it is 40,000 or less, it is easy to obtain a photosensitive composition exhibiting sufficient solubility in a developing solution.

(주쇄에 환 구조를 가지는 구성 단위를 함유하는 폴리머)(A polymer containing a constituent unit having a cyclic structure in its main chain)

주쇄에 환 구조를 가지는 구성 단위를 함유하는 폴리머를, 소정의 환 구조를 가지면서 소정의 알칼리 가용성을 구비하는 수지이면 특별히 한정되지 않는다. 주쇄에 환 구조를 가지는 구성 단위를 함유하는 폴리머의 적합한 예로서 말레이미드 유래의 구성 단위(이하, 「구성 단위(A2a)」라고도 함)를 함유하는 폴리머(이하, 「폴리머(A2)」라고도 함) 및 하기 식 (A-1)로 표시되는 구성 단위(이하, 「구성 단위(A1a)」라고도 함)를 함유하는 폴리머(이하, 「폴리머(A1)」라고도 함)를 들 수 있다.Provided that the polymer containing a constituent unit having a cyclic structure in the main chain is a resin having a predetermined cyclic structure and having a predetermined alkali solubility. (Hereinafter also referred to as " polymer (A2) ") as a suitable example of a polymer containing a constituent unit having a ring structure in its main chain (Hereinafter also referred to as " polymer (A1) "), and a structural unit represented by the following formula (A-1)

폴리머(A2)가 가지는 말레이미드 유래의 구성 단위(A2a)로는 말레이미드 골격을 가지는 모노머를 중합하여 얻어지는 것이면 특별히 한정되지 않는다. 말레이미드 골격을 가지는 모노머로는, 예를 들면 N-벤질말레이미드, N-페닐말레이미드, N-시클로헥실말레이미드 등을 들 수 있다.The maleimide-derived structural unit (A2a) of the polymer (A2) is not particularly limited as long as it is obtained by polymerizing a monomer having maleimide skeleton. Examples of the monomer having a maleimide skeleton include N-benzylmaleimide, N-phenylmaleimide, N-cyclohexylmaleimide and the like.

특히, 주쇄에 환 구조를 가지는 구성 단위(A1a)를 함유하는 폴리머(A1)를 포함하는 감광성 조성물은 현상액에 대한 용해성이 양호하다.In particular, the photosensitive composition comprising the polymer (A1) containing the constituent unit (A1a) having a ring structure in the main chain has good solubility in a developing solution.

[화 50][50]

Figure pat00050
Figure pat00050

식 (A-1) 중, 환 A는 1개의 산소 원자를 환 구성 원자로서 가지는 탄소 원자수 4 이상 6 이하의 포화 지방족 환식기이다. 환 A는 바람직하게는 1개의 산소 원자를 환 구성 원자로서 가지는 탄소 원자수 4 또는 5의 포화 지방족 환식기이며, 보다 바람직하게는 테트라히드로푸란환 또는 테트라히드로피란환이며, 더욱 바람직하게는 하기 식 (A-3)로 표시되는 구성 단위(이하, 「구성 단위(A1a1)」라고도 함)에서의 테트라히드로피란환 또는 하기 식 (A-4)로 표시되는 구성 단위(이하, 「구성 단위(A1a2)」라고도 함)에서의 테트라히드로푸란환이다.In the formula (A-1), the ring A is a saturated aliphatic cyclic group having 4 or more carbon atoms and having one oxygen atom as a ring-constituting atom. Ring A is preferably a saturated aliphatic cyclic group having 4 or 5 carbon atoms having one oxygen atom as a ring constituent atom, more preferably a tetrahydrofuran ring or tetrahydropyran ring, more preferably a saturated aliphatic ring group having 4 or 5 carbon atoms, (Hereinafter referred to as " structural unit (A1a1) ") in the structural unit represented by the structural unit (A-3) ) &Quot;) is a tetrahydrofuran ring.

[화 51][51]

Figure pat00051
Figure pat00051

주쇄에 상기 식 (A-1)로 표시되는 구성 단위를 함유하는 폴리머(폴리머(A1))는 통상 주쇄에 상기 식 (A-1)로 표시되는 구성 단위(구성 단위(A1a))를 복수개 함유한다. 복수의 구성 단위(A1a)에서, 각 구성 단위(A1a)에 함유되는 환 A는 폴리머(A1)를 구성하는 하나의 주쇄에 있어서 서로 동일해도 되고 상이해도 된다. 구체적으로는 폴리머(A1)를 구성하는 하나의 주쇄는 상기 주쇄에 함유되는 상기 식 (A-1)로 표시되는 구성 단위로서, 예를 들면 상기 식 (A-3)로 표시되는 구성 단위만을 가지는 것이어도 되고, 상기 식 (A-4)로 표시되는 구성 단위만을 가지는 것이어도 되며, 상기 식 (A-3)로 표시되는 구성 단위와 상기 식 (A-4)로 표시되는 구성 단위를 함께 가지는 것이어도 된다.(Polymer (A1)) containing a structural unit represented by the above formula (A-1) in its main chain is usually a polymer containing a plurality of structural units (structural units (A1a)) represented by the above formula (A- do. In the plurality of structural units (A1a), the ring A contained in each structural unit (A1a) may be the same or different in one main chain constituting the polymer (A1). Concretely, one main chain constituting the polymer (A1) is a structural unit represented by the above formula (A-1) contained in the main chain, and examples thereof include a structural unit represented by the above formula (A-3) (A-3) and the structural unit represented by the above formula (A-4). The structural unit represented by the above formula .

상기 식 (A-1), 식 (A-3) 및 식 (A-4)에서, Rb1 및 Rb2는 각각 독립적으로 수소 원자 또는 -COORb3이며, Rb3은 각각 독립적으로 수소 원자 또는 치환기를 가지고 있어도 되는 탄소 원자수 1 이상 25 이하의 탄화수소기이다. Rb1 및 Rb2는 -COORb3인 것이 바람직하다. 상기 식 (A-1)로 표시되는 구성 단위를 함유하는 폴리머(폴리머(A1))를 구성하는 하나의 주쇄가 복수개의 환 A를 함유하는 경우, 각 환 A에 결합하는 -COORb3은 각각 독립이며, -COORb3으로서 동일 또는 상이한 기가 각 환 A에 결합하고 있어도 된다.In the formulas (A-1), (A-3) and (A-4), R b1 and R b2 are each independently a hydrogen atom or -COOR b3 , and each R b3 is independently a hydrogen atom or a substituent And a hydrocarbon group having 1 to 25 carbon atoms. R b1 and R b2 are preferably -COOR b3 . When one main chain constituting the polymer (polymer (A1)) containing the structural unit represented by the above formula (A-1) contains a plurality of rings A, -COOR b3 bonded to each ring A is independently And the same or different groups as -COOR b3 may be bonded to each Ring A.

Rb1 및 Rb2로 표시되는 치환기를 가지고 있어도 되는 탄소 원자수 1 이상 25 이하의 탄화수소기로는 특별히 제한은 없다. 탄화수소기의 구체예로는 메틸, 에틸, n-프로필, 이소프로필, n-부틸, 이소부틸, t-부틸, t-아밀, 스테아릴, 라우릴, 2-에틸헥실 등의 직쇄상 또는 분기상의 알킬기; 페닐 등의 아릴기; 시클로헥실, t-부틸시클로헥실, 디시클로펜타디에닐, 트리시클로데카닐, 이소보닐, 아단틸, 2-메틸-2-아단틸 등의 지환식기; 1-메톡시에틸, 1-에톡시에틸 등의 알콕시로 치환된 알킬기; 벤질 등의 아릴기로 치환된 알킬기; 등을 들 수 있다.The hydrocarbon group having 1 to 25 carbon atoms, which may have a substituent represented by R b1 and R b2 , is not particularly limited. Specific examples of the hydrocarbon group include a linear or branched group such as methyl, ethyl, n-propyl, isopropyl, n-butyl, isobutyl, t- butyl, t- amyl, stearyl, lauryl, An alkyl group; An aryl group such as phenyl; Cyclohexyl, t-butylcyclohexyl, dicyclopentadienyl, tricyclodecanyl, isobornyl, adanthyl, 2-methyl-2-adamantyl and the like; An alkyl group substituted by alkoxy such as 1-methoxyethyl or 1-ethoxyethyl; An alkyl group substituted with an aryl group such as benzyl; And the like.

Rb1 및 Rb2가 탄화수소기인 경우, 탄화수소기의 탄소 원자수는 8 이하가 바람직하다. 탄소 원자수가 8 이하인 탄화수소기로는 산이나 열로 탈리하기 어려운 점으로부터, 탄화수소기가 가지는 쪽 말단이 자유로운 결합손이, 1급 탄소 원자 또는 2급 탄소 원자와 결합하고 있는 탄화수소기가 바람직하다. 이와 같은 탄화수소기로는 탄소 원자수가 1 이상 8 이하인 직쇄상 또는 분기쇄상의 알킬기가 바람직하고, 탄소 원자수가 1 이상 5 이하인 직쇄상 또는 분기쇄상의 알킬기가 바람직하다.When R b1 and R b2 are hydrocarbon groups, the number of carbon atoms in the hydrocarbon group is preferably 8 or less. The hydrocarbon group having 8 or less carbon atoms is preferably a hydrocarbon group bonded to the primary carbon atom or the secondary carbon atom because the terminal end of the hydrocarbon group is free of bonding from the viewpoint of difficulty in desorption by acid or heat. Such a hydrocarbon group is preferably a linear or branched alkyl group having 1 to 8 carbon atoms and is preferably a linear or branched alkyl group having 1 to 5 carbon atoms.

이와 같은 탄화수소기의 구체예로는 메틸, 에틸, 시클로헥실, 벤질 등을 들 수 있고, 메틸기가 바람직하다.Specific examples of such a hydrocarbon group include methyl, ethyl, cyclohexyl, and benzyl, and a methyl group is preferable.

상기 식 (A-1)로 표시되는 구성 단위(구성 단위(A1a))를 함유하는 폴리머(폴리머(A1))를 구성하는 하나의 주쇄에 구성 단위(A1a)가 복수개 함유되는 경우, 각 구성 단위(A1a)에 결합하고 있는 Rb1 및 Rb2는 각 구성 단위(A1a) 간에 동일해도 되고 상이해도 된다.When a plurality of the structural units (A1a) are contained in one main chain constituting the polymer (polymer (A1)) containing the structural unit (structural unit (A1a)) represented by the above formula (A-1) R b1 and R b2 bonded to the structural unit (A1a) may be the same or different between the structural units (A1a).

상기 각 구성 단위(A1a) 간에 동일 또는 상이한 환 A가 함유되는 경우, Rb1 및 Rb2는 결합하는 각 환 A의 종류에 의존하는 경우 없이 서로 독립이다.When the same or different ring A is contained in each structural unit (A1a), R b1 and R b2 are independent of each other regardless of the kind of each ring A to be bonded.

구체적으로는 폴리머(A1)를 구성하는 하나의 주쇄에, 상기 식 (A-3)로 표시되는 구성 단위(구성 단위(A1a1))가 복수개 함유되는 경우, 각 구성 단위(A1a1)에서의 Rb1 및 Rb2는 각 구성 단위(A1a1) 간에 동일해도 되고 상이해도 된다.Specifically, when a plurality of the structural units (structural units (A1a1)) represented by the above formula (A-3) are contained in one main chain constituting the polymer (A1), Rb1 And Rb2 may be the same or different between the respective structural units (A1a1).

폴리머(A1)를 구성하는 하나의 주쇄에, 상기 식 (A-4)로 표시되는 구성 단위(구성 단위(A1a2))가 복수개 함유되는 경우, 각 구성 단위(A1a2)에서의 Rb1 및 Rb2는 각 구성 단위(A1a2) 간에 동일해도 되고 상이해도 된다.When a plurality of the structural units (structural units (A1a2)) represented by the above formula (A-4) are contained in one main chain constituting the polymer (A1), Rb1 and Rb2 in each structural unit (A1a2) May be the same or different between the respective structural units A1a2.

또한, 폴리머(A1)를 구성하는 하나의 주쇄에, 상기 식 (A-3)로 표시되는 구성 단위(구성 단위(A1a1))와 상기 식 (A-4)로 표시되는 구성 단위(구성 단위(A1a2))가 함유되는 경우, 각 구성 단위(A1a1)에서의 Rb1 및 Rb2와 각 구성 단위(A1a2)에서의 Rb1 및 Rb2는 동일해도 되고 상이해도 된다.The constituent unit (constituent unit (A1a1)) represented by the above formula (A-3) and the constituent unit (constituent unit ( when containing the A1a2)), R b1 and R b2 and R b1 and R b2 in each of the structural units (A1a2) in each of the structural units (A1a1) is may be the same or different.

상기 식 (A-3)으로 표시되는 구성 단위(구성 단위(A1a1))는 하기 식 (A-5)로 표시되는 반복 단위(이하, 「반복 단위(ar1)」라고도 함)의 일부이어도 된다. 상기 식 (A-4)로 표시되는 구성 단위(구성 단위(A1a2))는 하기 식 (A-6)로 표시되는 반복 단위(이하, 「반복 단위(ar2)」라고도 함)의 일부이어도 된다.The structural unit (structural unit (A1a1)) represented by the above formula (A-3) may be a part of a repeating unit represented by the following formula (A-5) (hereinafter also referred to as "repeating unit (ar1)"). The structural unit (structural unit (A1a2)) represented by the above formula (A-4) may be a part of a repeating unit represented by the following formula (A-6) (hereinafter also referred to as a "repeating unit (ar2)").

[화 52][52]

Figure pat00052
Figure pat00052

(식 (A-5) 및 식 (A-6) 중, Rb1 및 Rb2는 각각 독립적으로 상기와 동일하다.)(In the formulas (A-5) and (A-6), R b1 and R b2 are each independently the same as defined above.)

상기 식 (A-5) 및 (A-6)으로 표시되는 각 반복 단위를 부여하는 모노머로는, 예를 들면 하기 식으로 표시되는 1,6-디엔류를 들 수 있다.Examples of the monomer giving each of the repeating units represented by the above formulas (A-5) and (A-6) include 1,6-dienes represented by the following formulas.

[화 53][53]

Figure pat00053
Figure pat00053

(상기 식 중, Rb3은 각각 독립적으로 상기와 동일하다.)( Wherein R < b3 > are each independently the same as defined above).

주쇄에 상기 식 (A-1)로 표시되는 구성 단위(구성 단위(A1a))를 함유하는 폴리머(폴리머(A1))를 부여하는 모노머 조성물 중, 구성 단위(A1a)를 함유하는 반복 단위(상술한 구성 단위(A1a1) 및 구성 단위(A1a2)를 포함할 수 있다.)를 부여하는 모노머(A1ma)의 함유 비율은 모노머 조성물 중의 모노머의 전체량에 대해서, 바람직하게는 1 질량% 이상 60 질량% 이하이며, 보다 바람직하게는 5 질량% 이상 50 질량% 이하이며, 특히 바람직하게는 10 질량% 이상 40 질량% 이하이다.(A1)) in the monomer composition which gives the polymer (polymer (A1)) containing the structural unit (structural unit (A1a)) represented by the above formula (A-1) The content of the monomer (A1ma) that gives the monomer (A1a1) and the structural unit (A1a2)) may be preferably 1% by mass or more and 60% by mass or less relative to the total amount of the monomers in the monomer composition, More preferably 5% by mass or more and 50% by mass or less, and particularly preferably 10% by mass or more and 40% by mass or less.

폴리머(A1)는 바람직하게는 측쇄에 산기를 가지는 반복 단위(A1b)를 갖는다. 폴리머(A1)가 측쇄에 산기를 가지는 반복 단위(A1b)를 가지고 있으면, 알칼리 현상성이 뛰어난 감광성 조성물을 얻을 수 있다. 측쇄에 산기를 가지는 반복 단위(A1b)를 구성하게 되는 모노머(A1mb)로는, 예를 들면 (메타)아크릴산, 2-(메타)아크릴로일옥시에틸숙신산, 이타콘산, ω-카르복시-폴리카프로락톤모노아크릴레이트 등의 카르복시기를 가지는 모노머; 무수 말레산, 무수 이타콘산 등의 카르복시산 무수물기를 가지는 모노머 등을 들 수 있다. 그 중에서도 바람직하게는 (메타)아크릴산이다.The polymer (A1) preferably has a repeating unit (A1b) having an acid group in the side chain. When the polymer (A1) has a repeating unit (A1b) having an acid group in the side chain, a photosensitive composition having excellent alkali developability can be obtained. Examples of the monomer (A1mb) constituting the repeating unit (A1b) having an acid group in the side chain include (meth) acrylic acid, 2- (meth) acryloyloxyethylsuccinic acid, itaconic acid, omega -carboxy-polycaprolactone Monomers having a carboxyl group such as monoacrylate; And monomers having a carboxylic anhydride group such as maleic anhydride and itaconic anhydride. Among them, (meth) acrylic acid is preferable.

폴리머(A1)를 부여하는 모노머 조성물 중, 측쇄에 산기를 가지는 반복 단위(A1b)를 구성하게 되는 모노머(A1mb)의 함유 비율은, 모노머 조성물 중의 모노머의 전체량에 대해서, 바람직하게는 1 질량% 이상 50 질량% 이하이며, 보다 바람직하게는 5 질량% 이상 40 질량% 이하이며, 더욱 바람직하게는 10 질량% 이상 35 질량% 이하이다.The content of the monomer (A1mb) constituting the repeating unit (A1b) having an acid group in the side chain in the monomer composition for imparting the polymer (A1) is preferably 1% by mass or more, Or more and 50 mass% or less, more preferably 5 mass% or more and 40 mass% or less, further preferably 10 mass% or more and 35 mass% or less.

바람직하게는 폴리머(A1)는 측쇄에 탄소 이중 결합을 가지는 반복 단위(A1c)를 갖는다. 측쇄에 탄소 이중 결합을 가지는 반복 단위(A1c)는 측쇄에 산기를 가지는 반복 단위(A1b)의 산기의 일부 또는 전부(바람직하게는 일부)를 반응점으로 하여, 탄소 이중 결합을 가지는 화합물을 부가함으로써 얻을 수 있다.Preferably, the polymer (A1) has a repeating unit (A1c) having a carbon double bond in the side chain. The recurring unit (A1c) having a carbon double bond in the side chain is obtained by adding a compound having a carbon double bond with a part or all (preferably a part) of the acid group of the recurring unit (A1b) having an acid group in the side chain as a reaction point .

측쇄에 산기를 가지는 반복 단위(A1b)의 산기가 카르복시기인 경우, 탄소 이중 결합을 가지는 화합물로서, 에폭시기와 이중 결합을 가지는 화합물, 이소시아네이트기와 이중 결합을 가지는 화합물 등이 이용될 수 있다. 에폭시기와 이중 결합을 가지는 화합물로는, 예를 들면 글리시딜(메타)아크릴레이트, 3,4-에폭시시클로헥실메틸(메타)아크릴레이트, o-비닐벤질글리시딜에테르, m-비닐벤질글리시딜에테르, p-비닐벤질글리시딜에테르, 4-히드록시부틸아크릴레이트글리시딜에테르 등을 들 수 있다. 이소시아네이트기와 이중 결합을 가지는 화합물로는 2-이소시아네이토에틸(메타)아크릴레이트 등을 들 수 있다. 측쇄에 산기를 가지는 반복 단위(A1b)의 산기가 카르복시산 무수물기인 경우, 탄소 이중 결합을 가지는 화합물로서, 수산기와 이중 결합을 가지는 화합물이 이용될 수 있다. 수산기와 이중 결합을 가지는 화합물로는, 예를 들면 2-히드록시에틸(메타)아크릴레이트 등을 들 수 있다.When the acid group of the repeating unit (A1b) having an acid group in the side chain is a carboxyl group, a compound having a carbon double bond, a compound having a double bond with an epoxy group, a compound having a double bond with an isocyanate group, and the like can be used. Examples of the compound having an epoxy group and a double bond include glycidyl (meth) acrylate, 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate, o-vinylbenzyl glycidyl ether, P-vinylbenzyl glycidyl ether, 4-hydroxybutyl acrylate glycidyl ether, and the like. Examples of the compound having an isocyanate group and a double bond include 2-isocyanatoethyl (meth) acrylate and the like. When the acid group of the repeating unit (A1b) having an acid group in the side chain is a carboxylic acid anhydride group, a compound having a carbon double bond and having a hydroxyl group and a double bond can be used. As the compound having a hydroxyl group and a double bond, for example, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate and the like can be given.

폴리머(A1)는 상기 모노머(A1ma), 모노머(A1mb) 및/또는 모노머(A1mc)와 공중합 가능한 그 밖의 모노머(A1me) 유래의 그 밖의 반복 단위(A1e)를 추가로 가질 수 있다.The polymer (A1) may further have another recurring unit (A1e) derived from the other monomer (A1me) copolymerizable with the monomer (A1ma), the monomer (A1mb) and / or the monomer (A1mc).

그 밖의 모노머(A1me)로는, 예를 들면 측쇄에 2 이상의 옥시알킬렌기를 가지는 반복 단위를 추가로 가지는 것이어도 된다. 측쇄에 2 이상의 옥시알킬렌기를 가지는 반복 단위로는, 예를 들면 하기 식으로 표시되는 반복 단위를 들 수 있다.As the other monomer (A1me), for example, a repeating unit having two or more oxyalkylene groups in the side chain may be further added. Examples of the repeating unit having two or more oxyalkylene groups in the side chain include repeating units represented by the following formulas.

[화 54][54]

Figure pat00054
Figure pat00054

상기 식 중, Rb7, Rb8 및 Rb9는 각각 독립적으로 수소 원자 또는 메틸기이며, 바람직하게는 수소 원자이다. Rb10은 탄소 원자수가 1 이상 20 이하인 직쇄상 혹은 분기상의 알킬기, 탄소 원자수가 2 이상 20 이하인 직쇄상 혹은 분기상의 알케닐기 또는 탄소 원자수가 6 이상 20 이하인 방향족 탄화수소기이며, 바람직하게는 수소 원자, 탄소 원자수가 1 이상 20 이하인 직쇄상의 알킬기, 탄소 원자수가 2 이상 20 이하의 직쇄상의 알케닐기 또는 탄소 원자수가 6 이상 20 이하인 방향족 탄화수소기이며, 보다 바람직하게는 탄소 원자수가 1 이상 10 이하인 직쇄상의 알킬기 또는 탄소 원자수가 6 이상 12 이하인 방향족 탄화수소기이며, 더욱 바람직하게는 탄소 원자수가 1 이상 5 이하인 직쇄상의 알킬기, 페닐기 또는 비페닐기이며, 특히 바람직하게는 메틸기, 페닐기 또는 비페닐기이다. 또한 알킬기, 알케닐기 및 방향족 탄화수소기는 치환기를 가지고 있어도 된다. AO는 옥시알킬렌기를 나타낸다. AO로 표시되는 옥시알킬렌기의 탄소 원자수는 2 이상 20 이하이며, 바람직하게는 2 이상 10 이하이며, 보다 바람직하게는 2 이상 5 이하이며, 더욱 바람직하게는 2이다. 측쇄에 2 이상의 옥시알킬렌기를 가지는 반복 단위는 1종 또는 2종 이상의 옥시알킬렌기를 포함할 수 있다. x는 0 이상 2 이하의 정수를 나타낸다. y는 0 또는 1을 나타낸다. z는 옥시알킬렌기의 평균 부가 몰수를 나타내고, 2 이상이며, 바람직하게는 2 이상 100 이하이며, 보다 바람직하게는 2 이상 50 이하이며, 더욱 바람직하게는 2 이상 15 이하이다.In the formula, R b7 , R b8 and R b9 are each independently a hydrogen atom or a methyl group, preferably a hydrogen atom. R b10 is a linear or branched alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a linear or branched alkenyl group having 2 to 20 carbon atoms or an aromatic hydrocarbon group having 6 to 20 carbon atoms, preferably a hydrogen atom, A straight chain alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a straight chain alkenyl group having 2 to 20 carbon atoms or an aromatic hydrocarbon group having 6 to 20 carbon atoms, more preferably a straight chain group having 1 to 10 carbon atoms A straight chain alkyl group having from 1 to 5 carbon atoms, a phenyl group or a biphenyl group, and particularly preferably a methyl group, a phenyl group or a biphenyl group. The alkyl group, alkenyl group and aromatic hydrocarbon group may have a substituent. AO represents an oxyalkylene group. The number of carbon atoms of the oxyalkylene group represented by AO is 2 or more and 20 or less, preferably 2 or more and 10 or less, more preferably 2 or more and 5 or less, still more preferably 2 or less. The repeating unit having two or more oxyalkylene groups in the side chain may contain one or two or more oxyalkylene groups. and x represents an integer of 0 or more and 2 or less. y represents 0 or 1. z represents an average addition mole number of the oxyalkylene group and is 2 or more, preferably 2 or more and 100 or less, more preferably 2 or more and 50 or less, still more preferably 2 or more and 15 or less.

측쇄에 2 이상의 옥시알킬렌기를 가지는 반복 단위는 측쇄에 2 이상의 옥시알킬렌기를 가지는 모노머에 의해 구성된다. 상기 모노머로는, 예를 들면 하기 식으로 표시되는 모노머를 들 수 있다.The repeating unit having two or more oxyalkylene groups in the side chain is composed of a monomer having two or more oxyalkylene groups in the side chain. Examples of the monomer include monomers represented by the following formulas.

[화 55][55]

Figure pat00055
Figure pat00055

(상기 식 중, Rb7, Rb8, Rb9, Rb10, AO, x, y 및 z는 상기에서 설명한 것과 같다.) Wherein R b7 , R b8 , R b9 , R b10 , AO, x, y and z are as defined above.

상기 측쇄에 2 이상의 옥시알킬렌기를 가지는 모노머로는, 예를 들면 에톡시화 o-페닐페놀(메타)아크릴레이트(EO 2몰), 페녹시디에틸렌글리콜(메타)아크릴레이트, 페녹시폴리에틸렌글리콜(메타)아크릴레이트(EO 4몰), 메톡시폴리에틸렌글리콜(메타)아크릴레이트(EO 9몰), 메톡시폴리에틸렌글리콜(메타)아크릴레이트(EO 13몰), 메톡시트리에틸렌글리콜(메타)아크릴레이트, 에톡시디에틸렌글리콜(메타)아크릴레이트, 부톡시디에틸렌글리콜(메타)아크릴레이트, 2-에틸헥실디에틸렌글리콜(메타)아크릴레이트, 메톡시디프로필렌글리콜(메타)아크릴레이트, 메톡시폴리프로필렌글리콜(메타)아크릴레이트, 노닐페녹시폴리에틸렌글리콜(메타)아크릴레이트(EO4-17 몰), 노닐페녹시폴리프로필렌글리콜(메타)아크릴레이트(PO 5몰), EO 변성 크레졸(메타)아크릴레이트(EO 2몰) 등을 들 수 있다. 이들 모노머는 단독으로, 또는 2종 이상 조합하여 이용해도 된다. 그 중에서도 바람직하게는 에톡시화 o-페닐페놀(메타)아크릴레이트(EO 2몰), 메톡시폴리에틸렌글리콜(메타)아크릴레이트(EO 9몰), 메톡시폴리에틸렌글리콜(메타)아크릴레이트(EO 13몰)이다. 더욱 바람직하게는 에톡시화 o-페닐페놀아크릴레이트(EO 2몰), 메톡시폴리에틸렌글리콜 아크릴레이트(EO 9몰), 메톡시폴리에틸렌글리콜 아크릴레이트(EO 13몰)이다. 또한 본 명세서에서, 예를 들면 「EO 2몰」, 「PO 5몰」 등의 표기는 옥시알킬렌기의 평균 부가 몰수를 나타낸다.Examples of the monomer having two or more oxyalkylene groups in the side chain include ethoxylated o-phenylphenol (meth) acrylate (EO 2 mols), phenoxy diethylene glycol (meth) acrylate, phenoxypolyethylene glycol ) Methacrylate (EO 4 mole), methoxypolyethylene glycol (meth) acrylate (EO 9 mole), methoxypolyethylene glycol (meth) acrylate (EO 13 mole), methoxy triethylene glycol (meth) (Meth) acrylate, methoxypolyethylene glycol (meth) acrylate, methoxypolyethylene glycol (meth) acrylate, methoxypolyethylene glycol (meth) acrylate, Acrylate (EO4-17 mole), nonylphenoxypolypropylene glycol (meth) acrylate (PO5 mole), EO-modified cresol (metha) acrylate (EO2 ), And the like. These monomers may be used alone or in combination of two or more. Of these, ethoxylated o-phenylphenol (meth) acrylate (EO 2 mole), methoxypolyethylene glycol (meth) acrylate (EO 9 mole), methoxypolyethylene glycol (meth) )to be. More preferably, ethoxylated o-phenylphenol acrylate (EO 2 mole), methoxypolyethylene glycol acrylate (EO 9 mole), and methoxypolyethylene glycol acrylate (EO 13 mole). In the present specification, the notation such as " EO 2 mols ", " PO 5 moles " and the like indicate the average addition mole number of oxyalkylene groups.

그 밖의 모노머(A1me)로는, 또, 예를 들면, 메틸(메타)아크릴레이트, 에틸(메타)아크릴레이트, n-프로필(메타)아크릴레이트, 이소프로필(메타)아크릴레이트, n-부틸(메타)아크릴레이트, 이소부틸(메타)아크릴레이트, t-부틸(메타)아크릴레이트, 2-에틸헥실(메타)아크릴레이트, 시클로헥실(메타)아크릴레이트, 라우릴(메타)아크릴레이트, 스테아릴(메타)아크릴레이트, 페닐(메타)아크릴레이트, 비페닐(메타)아크릴레이트, 메톡시에틸(메타)아크릴레이트, 에톡시에틸(메타)아크릴레이트, 부톡시에틸렌글리콜(메타)아크릴레이트, 2-에틸헥실에틸렌글리콜(메타)아크릴레이트, 메톡시프로필렌글리콜(메타)아크릴레이트, 페녹시에틸(메타)아크릴레이트, 비페녹시에틸(메타)아크릴레이트, 디시클로펜타닐(메타)아크릴레이트, 트리시클로데실(메타)아크릴레이트, 디시클로펜타닐옥시에틸(메타)아크릴레이트, 트리시클로데실옥시에틸(메타)아크릴레이트, 노닐페녹시에틸렌글리콜(메타)아크릴레이트, 노닐페녹시프로필렌글리콜, 벤질(메타)아크릴레이트, 2-히드록시에틸(메타)아크릴레이트, 에톡시화 o-페닐페놀(메타)아크릴레이트 등의 (메타)아크릴산에스테르류; (메타)아크릴로일모르폴린(모르폴리노(메타)아크릴레이트), (메타)아크릴아미드, N-메틸(메타)아크릴아미드, N-이소프로필(메타)아크릴아미드, N-부틸(메타)아크릴아미드, N-이소부틸(메타)아크릴아미드, N-t-부틸(메타)아크릴아미드, N-t-옥틸(메타)아크릴아미드, 다이아세톤(메타)아크릴아미드, N-히드록시메틸(메타)아크릴아미드, N-히드록시에틸(메타)아크릴아미드, N-시클로헥실(메타)아크릴아미드, N-페닐(메타)아크릴아미드, N-벤질(메타)아크릴아미드, N-트리페닐메틸(메타)아크릴아미드, N,N-디메틸(메타)아크릴아미드 등의 (메타)아크릴산아미드류; 스티렌, 비닐톨루엔, α-메틸스티렌 등의 방향족 비닐 화합물; 부타디엔, 이소프렌 등의 부타디엔 또는 치환 부타디엔 화합물; 에틸렌, 프로필렌, 염화 비닐, 아크릴로니트릴 등의 에틸렌 또는 치환 에틸렌 화합물; 아세트산비닐 등의 비닐에스테르류 등을 들 수 있다. 이들 모노머는 단독으로, 또는 2종 이상 조합하여 이용해도 된다.Examples of the other monomer (A1me) include methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, n-propyl (meth) acrylate, isopropyl (meth) Acrylate, isobutyl (meth) acrylate, t-butyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, cyclohexyl Acrylate, methoxyethyl (meth) acrylate, ethoxyethyl (meth) acrylate, butoxyethylene glycol (meth) acrylate, 2- (Meth) acrylate, dicyclopentanyl (meth) acrylate, dicyclopentanyl (meth) acrylate, dicyclopentanyl (meth) acrylate, Decyl (meth) acrylate, di (Meth) acrylate, nonylphenoxyethyleneglycol (meth) acrylate, nonylphenoxypropyleneglycol, benzyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (Meth) acrylate, ethoxylated o-phenylphenol (meth) acrylate and the like; (Meth) acryloylmorpholine (morpholino (meth) acrylate), (meth) acrylamide, N-methyl (meth) acrylamide, N- (Meth) acrylamide, N-isopropyl (meth) acrylamide, N-isobutyl (meth) acrylamide, Nt- (Meth) acrylamide, N-cyclohexyl (meth) acrylamide, N-phenyl (meth) acrylamide, N- (Meth) acrylic acid amides such as N, N-dimethyl (meth) acrylamide; Aromatic vinyl compounds such as styrene, vinyltoluene, and? -Methylstyrene; Butadiene or substituted butadiene compounds such as butadiene and isoprene; Ethylene or substituted ethylene compounds such as ethylene, propylene, vinyl chloride and acrylonitrile; And vinyl esters such as vinyl acetate. These monomers may be used alone or in combination of two or more.

폴리머(A1)를 부여하는 모노머 조성물 중, 그 밖의 반복 단위(A1e)를 부여하는 모노머(A1me)의 함유 비율은 모노머 조성물 중의 모노머의 전체량에 대해서, 바람직하게는 0 질량% 이상 55 질량% 이하이며, 보다 바람직하게는 5 질량% 이상 50 질량% 이하이며, 더욱 바람직하게는 10 질량% 이상 45 질량% 이하이다.The content of the monomer (A1me) for imparting the other recurring units (A1e) in the monomer composition giving the polymer (A1) is preferably 0% by mass or more and 55% by mass or less relative to the total amount of the monomers in the monomer composition More preferably 5% by mass or more and 50% by mass or less, and still more preferably 10% by mass or more and 45% by mass or less.

폴리머(A1)는 랜덤 공중합체이어도 되고, 블록 공중합체이어도 된다. 폴리머(A1)로는 단독 또는 2종 이상 조합하여 이용할 수 있다.The polymer (A1) may be a random copolymer or a block copolymer. The polymer (A1) may be used alone or in combination of two or more.

폴리머(A1)의 중량 평균 분자량은 바람직하게는 테트라히드로푸란(THF) 용매에 의한 겔·투과·크로마토그래프법(GPC)으로 측정한 값이, 바람직하게는 3,000 이상 200,000 이하이며, 보다 바람직하게는 3,500 이상 100,000 이하이며, 더욱 바람직하게는 4,000 이상 50,000 이하이다. 이와 같은 범위이면, 내열성을 확보하고, 또한 도막 형성에 적절한 점도를 가지는 감광성 조성물을 얻을 수 있다.The weight average molecular weight of the polymer (A1) is preferably 3,000 or more and 200,000 or less as measured by a gel permeation chromatography method (GPC) using a tetrahydrofuran (THF) solvent, More preferably from 3,500 to 100,000, and still more preferably from 4,000 to 50,000. With such a range, it is possible to obtain a photosensitive composition having heat resistance and having a viscosity suitable for forming a coating film.

폴리머(A1)는 폴리머(A1)를 부여하는 모노머 조성물을, 임의의 적절한 방법으로 중합하여 얻을 수 있다. 중합 방법으로는, 예를 들면 용액 중합법을 들 수 있다.The polymer (A1) can be obtained by polymerizing the monomer composition giving the polymer (A1) by any suitable method. As the polymerization method, for example, a solution polymerization method can be mentioned.

폴리머(A1)를 부여하는 모노머 조성물은 임의의 적절한 용매를 포함할 수 있다. 용매로는, 예를 들면 테트라히드로푸란, 디옥산, 에틸렌글리콜디메틸에테르, 디에틸렌글리콜디메틸에테르, 프로필렌글리콜모노메틸에테르 등의 에테르류; 아세톤, 메틸에틸케톤 등의 케톤류; 아세트산에틸, 아세트산부틸, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 3-메톡시부틸아세테이트 등의 에스테르류; 메탄올, 에탄올 등의 알코올류; 톨루엔, 크실렌, 에틸벤젠 등의 방향족 탄화수소류; 클로로포름; 디메틸술폭사이드 등을 들 수 있다. 이들 용매는 단독으로, 또는 2종 이상 조합하여 이용해도 된다. 상기 모노머 조성물을 중합할 때의 중합 농도는 바람직하게는 5 질량% 이상 90 질량% 이하이며, 보다 바람직하게는 5 질량% 이상 50 질량% 이하이며, 더욱 바람직하게는 10 질량% 이상 50 질량% 이하이다.The monomer composition conferring the polymer (A1) may comprise any suitable solvent. Examples of the solvent include ethers such as tetrahydrofuran, dioxane, ethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether and propylene glycol monomethyl ether; Ketones such as acetone and methyl ethyl ketone; Esters such as ethyl acetate, butyl acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate and 3-methoxybutyl acetate; Alcohols such as methanol and ethanol; Aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene and ethylbenzene; chloroform; Dimethyl sulfoxide, and the like. These solvents may be used alone or in combination of two or more. The polymerization concentration at the time of polymerizing the monomer composition is preferably 5% by mass or more and 90% by mass or less, more preferably 5% by mass or more and 50% by mass or less, still more preferably 10% to be.

폴리머(A1)를 부여하는 모노머 조성물은 임의의 적절한 중합 개시제를 포함할 수 있다. 중합 개시제로는, 예를 들면 쿠멘히드로퍼옥시드, 디이소프로필벤젠하이드로퍼옥사이드, 디-t-부틸퍼옥사이드, 라우로일퍼옥사이드, 벤조일퍼옥사이드, t-부틸퍼옥시이소프로필카보네이트, t-아밀퍼옥시-2-에틸헥사노에이트, t-부틸퍼옥시-2-에틸헥사노에이트 등의 유기 과산화물; 2,2'-아조비스(이소부티로니트릴), 1,1'-아조비스(시클로헥산카르보니트릴), 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴), 디메틸2,2'-아조비스(2-메틸프로피오네이트) 등의 아조 화합물 등을 들 수 있다. 중합 개시제의 함유 비율은 모노머 조성물 중의 전체 모노머 100 질량부에 대해서, 바람직하게는 0.1 질량부 이상 15 질량부 이하, 보다 바람직하게는 0.5 질량부 이상 10 질량부 이하이다.The monomer composition conferring the polymer (A1) may comprise any suitable polymerization initiator. Examples of the polymerization initiator include cumene hydroperoxide, diisopropylbenzene hydroperoxide, di-t-butyl peroxide, lauroyl peroxide, benzoyl peroxide, t-butyl peroxyisopropyl carbonate, t- Organic peroxides such as peroxy-2-ethylhexanoate, t-butylperoxy-2-ethylhexanoate and the like; Azo compounds such as 2,2'-azobis (isobutyronitrile), 1,1'-azobis (cyclohexanecarbonitrile), 2,2'-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) '-Azobis (2-methylpropionate), and the like. The content of the polymerization initiator is preferably 0.1 parts by mass or more and 15 parts by mass or less, more preferably 0.5 parts by mass or more and 10 parts by mass or less, based on 100 parts by mass of the total monomers in the monomer composition.

폴리머(A1)를 용액 중합법에 의해 중합할 때의 중합 온도는 바람직하게는 40℃ 이상 150℃ 이하이며, 보다 바람직하게는 60℃ 이상 130℃ 이하이다.The polymerization temperature when the polymer (A1) is polymerized by the solution polymerization method is preferably 40 占 폚 or more and 150 占 폚 or less, and more preferably 60 占 폚 or more and 130 占 폚 or less.

측쇄에 탄소 이중 결합을 가지는 반복 단위(A1c)를 가지는 폴리머(A1)를 얻는 경우, 상기 중합 후, 얻어지는 폴리머에 상기 탄소 이중 결합을 가지는 화합물을 부가한다. 탄소 이중 결합을 가지는 화합물을 부가하는 방법으로는 임의의 적절한 방법이 채용될 수 있다. 예를 들면, 중합 금지제 및 촉매의 존재 하에서, 탄소 이중 결합을 가지는 화합물을, 측쇄에 산기를 가지는 반복 단위(A1b)의 산기의 일부 또는 전부(바람직하게는 일부)에 반응시켜 부가함으로써, 측쇄에 탄소 이중 결합을 가지는 반복 단위(A1c)를 형성시킬 수 있다.When a polymer (A1) having a repeating unit (A1c) having a carbon double bond in the side chain is obtained, a compound having the carbon double bond is added to the obtained polymer after the polymerization. Any suitable method may be employed as a method for adding the compound having a carbon double bond. For example, in the presence of a polymerization inhibitor and a catalyst, a compound having a carbon-carbon double bond is reacted with a part or all (preferably a part) of the acid group of the repeating unit (A1b) having an acid group in the side chain, (A1c) having a carbon-carbon double bond can be formed.

상기 탄소 이중 결합을 가지는 화합물의 부가량은 상기 중합 후의 폴리머(즉, 탄소 이중 결합을 가지는 화합물을 부가하기 전의 폴리머) 100 질량부에 대해서, 바람직하게는 5 질량부 이상이며, 보다 바람직하게는 10 질량부 이상이며, 더욱 바람직하게는 15 질량부 이상이며, 특히 바람직하게는 20 질량부 이상이다. 이와 같은 범위이면, 노광 감도가 뛰어난 감광성 조성물을 얻을 수 있다. 이와 같은 감광성 조성물을 이용하면, 치밀한 경화 도막을 형성하기 쉽고, 기판 밀착성도 뛰어난 패턴이 얻어지는 경향이 있다. 또, 탄소 이중 결합을 가지는 화합물의 부가량이 상기 범위이면, 탄소 이중 결합을 가지는 화합물의 부가에 의해 수산기가 충분히 생성되어 알칼리 현상액에 대한 용해성이 뛰어난 감광성 조성물을 얻을 수 있다. 상기 탄소 이중 결합을 가지는 화합물의 부가량의 상한은 상기 중합 후의 폴리머(즉, 탄소 이중 결합을 가지는 화합물을 부가하기 전의 폴리머) 100 질량부에 대해서, 바람직하게는 170 질량부 이하이며, 보다 바람직하게는 150 질량부 이하이며, 더욱 바람직하게는 140 질량부 이하이다. 탄소 이중 결합을 가지는 화합물의 부가량이 상기 범위 내이면, 감광성 조성물의 보존 안정성 및 용해성을 유지할 수 있다.The addition amount of the compound having a carbon-carbon double bond is preferably 5 parts by mass or more, more preferably 10 parts or less, per 100 parts by mass of the polymer after polymerization (that is, the polymer before the addition of the compound having carbon double bond) More preferably not less than 15 parts by mass, particularly preferably not less than 20 parts by mass. Within such a range, a photosensitive composition having excellent exposure sensitivity can be obtained. When such a photosensitive composition is used, there is a tendency to obtain a pattern which is easy to form a dense cured coating film and excellent in substrate adhesion. When the addition amount of the compound having a carbon double bond is within the above range, a hydroxyl group is sufficiently generated by addition of a compound having a carbon double bond, and a photosensitive composition excellent in solubility in an alkali developer can be obtained. The upper limit of the amount of addition of the compound having carbon double bond is preferably 170 parts by mass or less based on 100 parts by mass of the polymer after polymerization (that is, the polymer before addition of the compound having carbon double bond) Is not more than 150 parts by mass, and more preferably not more than 140 parts by mass. When the addition amount of the compound having a carbon double bond is within the above range, the storage stability and solubility of the photosensitive composition can be maintained.

중합 금지제로는, 예를 들면 6-tert-부틸-2,4-크실레놀 등의 알킬페놀 화합물을 들 수 있다. 촉매로는, 예를 들면 디메틸벤질아민, 트리에틸아민 등의 3급 아민을 들 수 있다.Examples of the polymerization inhibitor include alkylphenol compounds such as 6-tert-butyl-2,4-xylenol. Examples of the catalyst include tertiary amines such as dimethylbenzylamine and triethylamine.

이상 설명한 수지(B2)의 함유량은 감광성 조성물의 고형분에 대해서, 1 질량% 이상 95 질량% 이하가 바람직하고, 3 질량% 이상 85 질량% 이하가 보다 바람직하며, 5 질량% 이상 70 질량% 이하가 특히 바람직하다.The content of the resin (B2) described above is preferably from 1% by mass to 95% by mass, more preferably from 3% by mass to 85% by mass, more preferably from 5% by mass to 70% by mass, based on the solid content of the photosensitive composition Particularly preferred.

감광성 조성물이 이러한 범위 내의 양의 수지(B2)를 포함하는 경우, 감광성 조성물의 제막성이 양호하고, 기계적 특성이나 형상이 양호한 경화막을 형성하기 쉽다.When the photosensitive composition contains the resin (B2) in an amount within this range, it is easy to form a photosensitive film of a photosensitive composition and to form a cured film having good mechanical properties and shape.

또, 수지(B2)가 알칼리 가용성인 경우, 양호한 알칼리 현상성을 실현하기 쉽다.When the resin (B2) is alkali-soluble, it is easy to realize good alkali developability.

<착색제(C)>≪ Colorant (C) >

감광성 조성물은 락탐계 안료를 함유하는 착색제(C)를 포함한다. 이 때문에, 상기의 감광성 조성물을 이용함으로써, 차광성이 뛰어난 경화물을 형성하기 쉽다.The photosensitive composition comprises a colorant (C) containing a lactam-based pigment. Therefore, by using the above photosensitive composition, it is easy to form a cured product having excellent light shielding properties.

락탐계 안료로는 -CO-NH- 결합을 포함하는 환상 골격인 락탐 골격을 포함하는 화합물로 이루어진 안료이면 특별히 한정되지 않고 이용할 수 있다. 락탐계 안료는 경화물의 차광성의 관점으로부터, 흑색을 나타내는 것이 바람직하다.The lactam-based pigment is not particularly limited as long as it is a pigment comprising a compound containing a lactam skeleton which is a cyclic skeleton containing a -CO-NH- bond. The lactam-based pigment preferably exhibits black from the viewpoint of the light shielding property of the cured product.

흑색을 나타내는 락탐계 안료의 바람직한 예로는, 예를 들면, 하기 식 (c-1)로 표시되는 화합물을 들 수 있다.Preferable examples of the lactam-based pigment that exhibits black include, for example, a compound represented by the following formula (c-1).

[화 56][56]

Figure pat00056
Figure pat00056

식 (c-1) 중, Xc는 이중 결합을 나타내고, 기하 이성체로서 각각 독립적으로 E체 또는 Z체이며, Rc1는 각각 독립적으로 수소 원자, 메틸기, 니트로기, 메톡시기, 브롬 원자, 염소 원자, 불소 원자, 카르복시기 또는 술포기를 나타내고, Rc2는 각각 독립적으로 수소 원자, 메틸기 또는 페닐기를 나타내며, Rc3는 각각 독립적으로 수소 원자, 메틸기 또는 염소 원자를 나타낸다.In the formula (c-1), X c represents a double bond, and each of Ge isomers is independently E or Z-form, and each of R c1 independently represents a hydrogen atom, a methyl group, a nitro group, a methoxy group, R c2 independently represents a hydrogen atom, a methyl group or a phenyl group, and each R c3 independently represents a hydrogen atom, a methyl group or a chlorine atom.

식 (c-1)로 표시되는 화합물은 단독으로 또는 2종 이상을 조합하여 이용할 수 있다.The compounds represented by the formula (c-1) may be used alone or in combination of two or more.

Rc1는 식 (c-1)로 표시되는 화합물의 제조가 용이한 점으로부터, 디히드로인드론환의 6위에 결합하는 것이 바람직하고, Rc3는 디히드로인드론환의 4위에 결합하는 것이 바람직하다. 동일한 관점으로부터, Rc1, Rc2 및 Rc3는 바람직하게는 수소 원자이다.R c1 is preferably bonded at the 6-position of the dihydroinduron ring from the viewpoint of easy production of the compound represented by the formula (c-1), and R c3 is preferably bonded to the 4-position of the dihydroinduron ring. From the same viewpoint, R c1 , R c2 and R c3 are preferably hydrogen atoms.

식 (c-1)로 표시되는 화합물은 기하 이성체로서 EE체, ZZ체, EZ체를 가지지만, 이들 중 어느 하나의 단일의 화합물이어도 되고, 이들의 기하 이성체의 혼합물이어도 된다.The compound represented by the formula (c-1) has an EE, ZZ, or EZ form as a geometric isomer, but may be a single compound or a mixture of these geometric isomers.

식 (c-1)로 표시되는 화합물은, 예를 들면 국제 공개 제 2000/24736호 및 국제 공개 제 2010/081624호에 기재된 방법에 의해 제조할 수 있다.The compound represented by the formula (c-1) can be produced, for example, by the method described in WO 2000/24736 and WO-A-2010/081624.

착색제(C)에 있어서, 안료 및 염료의 질량의 합계에 대한 락탐계 안료의 질량의 비율은 3 질량% 이상이 바람직하고, 10 질량% 이상이 보다 바람직하며, 20 질량% 이상이 특히 바람직하다. 상한은, 예를 들면 90% 이하이며, 바람직하게는 60% 이하이다.In the colorant (C), the ratio of the mass of the lactam-based pigment to the total mass of the pigment and the dye is preferably 3% by mass or more, more preferably 10% by mass or more, and particularly preferably 20% by mass or more. The upper limit is, for example, 90% or less, preferably 60% or less.

감광성 조성물 중에서 락탐계 안료를 양호하게 분산시키기 위해서는, 락탐계 안료의 평균 입자 지름은 10 ㎚ 이상 1000 ㎚ 이하인 것이 바람직하다.In order to disperse the lactam-based pigment well in the photosensitive composition, the average particle diameter of the lactam-based pigment is preferably 10 nm or more and 1000 nm or less.

착색제(C)는 색상의 조정의 목적으로, 락탐계 안료와 함께 여러 가지의 안료를 포함하고 있어도 된다. 락탐계 안료와 함께 이용할 수 있는 안료로는, 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면, 컬러 인덱스(C.I.; The Society of Dyers and Colourists사 발행)에 있어서, 피그먼트(Pigment)로 분류되어 있는 화합물, 구체적으로는 하기와 같은 컬러 인덱스(C.I.) 번호가 붙어 있는 것을 이용할 수 있다.The colorant (C) may contain various pigments together with the lactam-based pigment for the purpose of adjusting the color. The pigment that can be used in combination with the lactam-based pigment is not particularly limited. For example, in the color index (CI, published by The Society of Dyers and Colourists), a compound classified as a pigment, (CI) number as described below can be used.

적합하게 사용할 수 있는 황색 안료의 예로는 C.I. 피그먼트 옐로우 1(이하, 「C.I. 피그먼트 옐로우」는 동일하며, 번호만을 기재함), 3, 11, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 20, 24, 31, 53, 55, 60, 61, 65, 71, 73, 74, 81, 83, 86, 93, 95, 97, 98, 99, 100, 101, 104, 106, 108, 109, 110, 113, 114, 116, 117, 119, 120, 125, 126, 127, 128, 129, 137, 138, 139, 147, 148, 150, 151, 152, 153, 154, 155, 156, 166, 167, 168, 175, 180 및 185를 들 수 있다.Examples of suitable yellow pigments include C.I. Pigment Yellow 1 (hereinafter, "CI Pigment Yellow" is the same and only the numbers are described below), 3,11,12,13,14,15,16,17,20,24,31,35,55,60 , 61, 65, 71, 73, 74, 81, 83, 86, 93, 95, 97, 98, 99, 100, 101, 104, 106, 108, 109, , 120, 125, 126, 127, 128, 129, 137, 138, 139, 147, 148, 150, 151, 152, 153, 154, 155, 156, 166, 167, 168, .

적합하게 사용할 수 있는 오렌지색 안료의 예로는 C.I. 피그먼트 오렌지 1(이하, 「C.I. 피그먼트 오렌지」는 동일하며, 번호만을 기재함), 5, 13, 14, 16, 17, 24, 34, 36, 38, 40, 43, 46, 49, 51, 55, 59, 61, 63, 64, 71 및 73을 들 수 있다.Examples of suitable orange pigments include C.I. Pigment Orange 1 (hereinafter, "CI Pigment Orange" is the same and only the numbers are described), 5, 13, 14, 16, 17, 24, 34, 36, 38, 40, 43, 46, 49, 51 , 55, 59, 61, 63, 64, 71, and 73, respectively.

적합하게 사용할 수 있는 보라색 안료의 예로는 C.I. 피그먼트 바이올렛 1(이하, 「C.I. 피그먼트 바이올렛」은 동일하며, 번호만을 기재함), 19, 23, 29, 30, 32, 36, 37, 38, 39, 40 및 50을 들 수 있다.Examples of suitable purple pigments include C.I. Pigment Violet 1 (hereinafter, the same is true of C. I. Pigment Violet), and only numbers are given), 19, 23, 29, 30, 32, 36, 37, 38, 39,

적합하게 사용할 수 있는 적색 안료의 예로는 C.I. 피그먼트 레드 1(이하, 「C.I. 피그먼트 레드」는 동일하며, 번호만을 기재함), 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 11, 12, 14, 15, 16, 17, 18, 19, 21, 22, 23, 30, 31, 32, 37, 38, 40, 41, 42, 48:1, 48:2, 48:3, 48:4, 49:1, 49:2, 50:1, 52:1, 53:1, 57, 57:1, 57:2, 58:2, 58:4, 60:1, 63:1, 63:2, 64:1, 81:1, 83, 88, 90:1, 97, 101, 102, 104, 105, 106, 108, 112, 113, 114, 122, 123, 144, 146, 149, 150, 151, 155, 166, 168, 170, 171, 172, 174, 175, 176, 177, 178, 179, 180, 185, 187, 188, 190, 192, 193, 194, 202, 206, 207, 208, 209, 215, 216, 217, 220, 223, 224, 226, 227, 228, 240, 242, 243, 245, 254, 255, 264 및 265를 들 수 있다.Examples of suitable red pigments include C.I. Pigment Red 1 (hereinafter, "CI Pigment Red" is the same and only numbers are given), 2,3,4,5,6,7,8,9,10,11,12,14,15,16 48: 3, 48: 4, 49: 1, 49: 1, 48, : 2, 50: 1, 52: 1, 53: 1, 57, 57: 1, 57: 2, 58: 2, 58: 4, 60: 1, 63: : 1, 83, 88, 90: 1, 97, 101, 102, 104, 105, 106, 108, 112, 113, 114, 122, 123, 144, 146, 149, 150, 151, 155, 166, 168 171, 172, 174, 175, 176, 177, 178, 179, 180, 185, 187, 188, 190, 192, 193, 194, 202, 206, 207, 208, 209, 215, 216, 217 , 220, 223, 224, 226, 227, 228, 240, 242, 243, 245, 254, 255, 264 and 265.

적합하게 사용할 수 있는 청색 안료의 예로는 C.I. 피그먼트 블루 1(이하, 「C.I. 피그먼트 블루」는 동일하며, 번호만을 기재함), 2, 15, 15:3, 15:4, 15:6, 16, 22, 60, 64 및 66을 들 수 있다.Examples of suitable blue pigments include C.I. 15, 6, 16, 22, 60, 64, and 66 are formed in the same manner as in Example 1 except that Pigment Blue 1 (hereinafter, "CI Pigment Blue" .

적합하게 사용할 수 있는, 상기의 다른 색상의 안료의 예로는 C.I. 피그먼트 그린 7, C.I. 피그먼트 그린 36, C.I. 피그먼트 그린 37 등의 녹색 안료, C.I. 피그먼트 브라운 23, C.I. 피그먼트 브라운 25, C.I. 피그먼트 브라운 26, C.I. 피그먼트 브라운 28 등의 갈색 안료, C.I. 피그먼트 블랙 1, C.I. 피그먼트 블랙 7 등의 흑색 안료를 들 수 있다.Examples of pigments of other colors that may be suitably used include C.I. Pigment Green 7, C.I. Pigment Green 36, C.I. Green pigments such as Pigment Green 37, C.I. Pigment Brown 23, C.I. Pigment Brown 25, C.I. Pigment Brown 26, C.I. Brown pigments such as Pigment Brown 28, C.I. Pigment Black 1, C.I. Pigment Black 7 and the like.

또, 착색제(C)는 락탐계 안료와 함께, 락탐계 안료 이외의 다른 흑색 안료를 포함하는 것도 바람직하다. 흑색 안료를 포함하는 감광성 조성물은 액정 표시 패널에서의 블랙 매트릭스 또는 블랙 컬럼 스페이서의 형성이나, 유기 EL 소자에서의 발광층의 구획용 뱅크의 형성에 적합하게 이용된다.It is also preferable that the colorant (C) contains a black pigment other than the lactam-based pigment together with the lactam-based pigment. The photosensitive composition containing a black pigment is suitably used for forming a black matrix or a black column spacer in a liquid crystal display panel or for forming a bank for partitioning a light emitting layer in an organic EL device.

다른 흑색 안료의 예로는, 카본 블랙, 페릴렌계 안료, 락탐계 안료, 티탄 블랙, 구리, 철, 망간, 코발트, 크롬, 니켈, 아연, 칼슘, 은 등의 금속 산화물, 복합 산화물, 금속 황화물, 금속 황산염 또는 금속 탄산염 등, 유기물, 무기물을 불문하고 각종의 안료를 들 수 있다. 이들 흑색 안료 중에서는, 입수가 용이한 점이나, 차광성이 뛰어나고 또한 전기 저항이 높은 경화막을 형성하기 쉬운 점으로부터, 카본 블랙이 바람직하다.Examples of other black pigments include metal oxides such as carbon black, perylene pigments, lactam pigments, titanium black, copper, iron, manganese, cobalt, chromium, nickel, zinc, calcium and silver, complex oxides, Sulphates, metal carbonates, organic, and inorganic pigments. Of these black pigments, carbon black is preferred because of its ease of availability, ease of formation of a cured film having excellent light shielding properties and high electrical resistance.

또한, 흑색 안료의 색상은 색채론상의 무채색인 흑색으로는 한정되지 않고, 보라색을 띤 흑색이나, 푸른색을 띤 흑색이나, 붉은색을 띤 흑색이어도 된다.Further, the color of the black pigment is not limited to black, which is an achromatic color in the color scheme, but may be a violet black, a blue colored black, or a red colored black.

카본 블랙으로는 채널 블랙, 퍼니스 블랙, 서멀 블랙, 램프 블랙 등의 공지의 카본 블랙을 이용할 수 있다. 또, 수지 피복 카본 블랙을 사용해도 된다.As the carbon black, known carbon black such as channel black, furnace black, thermal black, and lamp black can be used. Resin-coated carbon black may also be used.

카본 블랙으로는 산성기를 도입하는 처리가 실시된 카본 블랙도 바람직하다. 카본 블랙에 도입되는 산성기는 브렌스테드의 정의에 의한 산성을 나타내는 관능기이다. 산성기의 구체예로는 카르복시기, 술폰산기, 인산기 등을 들 수 있다. 카본 블랙에 도입된 산성기는 염을 형성하고 있어도 된다. 산성기와 염을 형성하는 양이온은 본 발명의 목적을 저해하지 않는 범위에서 특별히 한정되지 않는다. 양이온의 예로는 여러 가지의 금속 이온, 함질소 화합물의 양이온, 암모늄 이온 등을 들 수 있고, 나트륨 이온, 칼륨 이온, 리튬 이온 등의 알칼리 금속 이온이나, 암모늄 이온이 바람직하다.As carbon black, carbon black to which an acidic group is introduced is also preferable. The acid group introduced into the carbon black is a functional group which shows acidity as defined by Brensted. Specific examples of the acidic group include a carboxy group, a sulfonic acid group, and a phosphoric acid group. The acid group introduced into the carbon black may form a salt. The cation forming the acidic group and the salt is not particularly limited within the range not hindering the object of the present invention. Examples of the cation include various metal ions, cations of nitrogen-containing compounds, ammonium ions and the like, and alkali metal ions such as sodium ion, potassium ion and lithium ion, and ammonium ion are preferable.

이상 설명한 산성기를 도입하는 처리가 실시된 카본 블랙 중에서는 감광성 조성물을 이용하여 형성되는 차광성의 경화막의 고저항을 달성하는 관점에서, 카르복시산기, 카르복시산염기, 술폰산기 및 술폰산염기로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상의 관능기를 가지는 카본 블랙이 바람직하다.Among the carbon black treated with the acid group described above, it is preferable to select from the group consisting of a carboxylic acid group, a carboxylic acid group, a sulfonic acid group, and a sulfonic acid group in view of achieving high resistance of the light- Is preferably a carbon black having at least one functional group.

카본 블랙에 산성기를 도입하는 방법은 특별히 한정되지 않는다. 산성기를 도입하는 방법으로는, 예를 들면 이하의 방법을 들 수 있다.The method of introducing an acidic group into carbon black is not particularly limited. Examples of the method for introducing an acidic group include the following methods.

1) 진한 황산, 발연 황산, 클로로술폰산 등을 이용하는 직접 치환법이나, 아황산염, 아황산수소염 등을 이용하는 간접 치환법에 의해, 카본 블랙에 술폰산기를 도입하는 방법.1) A method of introducing a sulfonic acid group into carbon black by a direct substitution method using concentrated sulfuric acid, fuming sulfuric acid, chlorosulfonic acid or the like or an indirect substitution method using a sulfite or a bisulfite hydrogen salt.

2) 아미노기와 산성기를 가지는 유기 화합물과, 카본 블랙을 디아조 커플링 시키는 방법.2) A method of diazotizing a carbon black with an organic compound having an amino group and an acidic group.

3) 할로겐 원자와 산성기를 가지는 유기 화합물과, 수산기를 가지는 카본 블랙을 윌리엄슨의 에테르화법에 의해 반응시키는 방법.3) A method of reacting an organic compound having a halogen atom and an acidic group and carbon black having a hydroxyl group by the Williamson etherification method.

4) 할로카르보닐기와 보호기에 의해 보호된 산성기를 가지는 유기 화합물과, 수산기를 가지는 카본 블랙을 반응시키는 방법.4) A method of reacting an organic compound having a halocarbonyl group and an acidic group protected by a protecting group with carbon black having a hydroxyl group.

5) 할로카르보닐기와 보호기에 의해 보호된 산성기를 가지는 유기 화합물을 이용하여, 카본 블랙에 대해서 프리델 크래프츠 반응을 수행한 후, 탈보호하는 방법.5) A method in which carbonyl black is subjected to a Friedel-Crafts reaction using an organic compound having a halocarbonyl group and an acid group protected by a protecting group, followed by deprotection.

이들 방법 중에서는 산성기의 도입 처리가 용이하고, 또한 안전한 점으로부터, 방법 2)가 바람직하다. 방법 2)에서 사용되는 아미노기와 산성기를 가지는 유기 화합물로는 방향족기에 아미노기와 산성기가 결합한 화합물이 바람직하다. 이와 같은 화합물의 예로는 술파닐산과 같은 아미노벤젠술폰산이나 4-아미노벤조산과 같은 아미노벤조산을 들 수 있다.Among these methods, the method 2) is preferable because the introduction of the acidic group is easy and safe. The organic compound having an amino group and an acidic group used in the method 2) is preferably a compound in which an amino group and an acidic group are bonded to an aromatic group. Examples of such compounds include aminobenzenesulfonic acids such as sulfanilic acid and aminobenzoic acids such as 4-aminobenzoic acid.

카본 블랙에 도입되는 산성기의 몰수는 본 발명의 목적을 저해하지 않는 범위에서 특별히 한정되지 않는다. 카본 블랙에 도입되는 산성기의 몰수는 카본 블랙 100 g에 대해서, 1 mmol 이상 200 mmol 이하가 바람직하고, 5 mmol 이상 100 mmol 이하가 보다 바람직하다.The number of moles of the acid group introduced into the carbon black is not particularly limited within the range not hindering the object of the present invention. The number of moles of the acid group introduced into the carbon black is preferably from 1 mmol to 200 mmol, more preferably from 5 mmol to 100 mmol, per 100 g of carbon black.

산성기가 도입된 카본 블랙은 수지에 의한 피복 처리가 실시되어 있어도 된다. The carbon black into which the acidic group has been introduced may be coated with a resin.

수지에 의해 피복된 카본 블랙을 포함하는 감광성 조성물을 이용하는 경우, 차광성 및 절연성이 뛰어나 표면 반사율이 낮은 차광성의 경화막을 형성하기 쉽다. 또한 수지에 의한 피복 처리에 의해서, 감광성 조성물을 이용하여 형성되는 차광성의 경화막의 유전율에 대한 악영향은 특별히 생기지 않는다. 카본 블랙의 피복에 사용할 수 있는 수지의 예로는 페놀 수지, 멜라민 수지, 크실렌 수지, 디알릴프탈레이트 수지, 글립탈 수지, 에폭시 수지, 알킬벤젠 수지 등의 열경화성 수지나, 폴리스티렌, 폴리카보네이트, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리부틸렌테레프탈레이트, 변성 폴리페닐렌옥사이드, 폴리술폰, 폴리파라페닐렌테레프탈아미드, 폴리아미드이미드, 폴리이미드, 폴리아미노비스말레이미드, 폴리에테르술포폴리페닐렌술폰, 폴리아릴레이트, 폴리에테르에테르케톤 등의 열가소성 수지를 들 수 있다. 카본 블랙에 대한 수지의 피복량은 카본 블랙의 질량과 수지의 질량의 합계에 대해서, 1 질량% 이상 30 질량% 이하가 바람직하다.When a photosensitive composition containing carbon black coated with a resin is used, it is easy to form a light-shielding cured film having excellent light shielding property and insulation property and low surface reflectance. Further, by the coating treatment with the resin, there is no particular adverse effect on the dielectric constant of the light-shielding cured film formed using the photosensitive composition. Examples of the resin that can be used for coating carbon black include thermosetting resins such as phenol resin, melamine resin, xylene resin, diallyl phthalate resin, glidal resin, epoxy resin and alkylbenzene resin, and thermosetting resins such as polystyrene, polycarbonate, polyethylene terephthalate , Polybutylene terephthalate, modified polyphenylene oxide, polysulfone, polyparaphenylene terephthalamide, polyamideimide, polyimide, polyamino bismaleimide, polyethersulfopolyphenylene sulfone, polyarylate, polyether And a thermoplastic resin such as an ether ketone. The covering amount of the resin with respect to the carbon black is preferably 1% by mass or more and 30% by mass or less with respect to the sum of the mass of the carbon black and the mass of the resin.

또, 흑색 안료로는 페릴렌계 안료도 바람직하게 이용할 수 있다. 페릴렌계 안료의 구체적인 예로는, 하기 식 (c-2)로 표시되는 페릴렌계 안료, 하기 식 (c-3)으로 표시되는 페릴렌계 안료, 및 하기 식 (c-4)로 표시되는 페릴렌계 안료를 들 수 있다. 시판품으로는 BASF사 제의 제품명 K0084 및 K0086나, 피그먼트 블랙 21, 30, 31, 32, 33 및 34 등을 페릴렌계 안료로서 바람직하게 이용할 수 있다.As the black pigment, a perylene pigment can be preferably used. Specific examples of the perylene pigments include perylene pigments represented by the following formula (c-2), perylene pigments represented by the following formula (c-3), and perylene pigments represented by the following formula (c-4) . As commercial products, products such as K0084 and K0086 manufactured by BASF, Pigment Black 21, 30, 31, 32, 33 and 34 and the like can be suitably used as a perylene pigment.

[화 57][57]

Figure pat00057
Figure pat00057

식 (c-2) 중, Rc4 및 Rc5는 각각 독립적으로 탄소 원자수 1 이상 3 이하의 알킬렌기를 나타내고, Rc6 및 Rc7는 각각 독립적으로 수소 원자, 수산기, 메톡시기 또는 아세틸기를 나타낸다.In formula (c-2), R c4 and R c5 each independently represent an alkylene group having 1 to 3 carbon atoms and R c6 and R c7 each independently represent a hydrogen atom, a hydroxyl group, a methoxy group or an acetyl group .

[화 58][58]

Figure pat00058
Figure pat00058

식 (c-3) 중, Rc8 및 Rc9는 각각 독립적으로 탄소 원자수 1 이상 7 이하의 알킬렌기를 나타낸다.In the formula (c-3), R c8 and R c9 each independently represent an alkylene group having 1 to 7 carbon atoms.

[화 59][59]

Figure pat00059
Figure pat00059

식 (c-4) 중, Rc10 및 Rc11는 각각 독립적으로 수소 원자, 탄소 원자수 1 이상 22 이하의 알킬기이며, N, O, S 또는 P의 헤테로 원자를 포함하고 있어도 된다. Rc10 및 Rc11가 알킬기인 경우, 상기 알킬기는 직쇄상이어도 분기쇄상이어도 된다.In formula (c-4), R c10 and R c11 each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 22 carbon atoms and may contain a hetero atom of N, O, S or P. When R c10 and R c11 are alkyl groups, the alkyl groups may be linear or branched.

상기의 식 (c-2)로 표시되는 화합물, 식 (c-3)으로 표시되는 화합물, 및 식 (c-4)로 표시되는 화합물은, 예를 들면 일본 특개 소62-1753호 공보, 일본 특공 소63-26784호 공보에 기재된 방법을 이용해 합성할 수 있다. 즉, 페릴렌-3,5,9,10-테트라카르복시산 또는 그 2무수물과 아민류를 원료로 하고, 물 또는 유기용매 중에서 가열 반응을 수행한다. 그리고, 얻어지는 조제물을 황산 중에서 재침전시키거나, 또는 물, 유기용매 혹은 이들 혼합 용매 중에서 재결정시킴으로써 목적물을 얻을 수 있다.The compound represented by the formula (c-2), the compound represented by the formula (c-3) and the compound represented by the formula (c-4) Can be synthesized by using the method described in Japanese Patent Publication No. 63-26784. Namely, a heating reaction is carried out in water or an organic solvent using perylene-3,5,9,10-tetracarboxylic acid or its dianhydride and amines as raw materials. The desired product can be obtained by reprecipitating the obtained preparation in sulfuric acid or recrystallizing it in water, an organic solvent or a mixed solvent thereof.

감광성 조성물 중에서 페릴렌계 안료를 양호하게 분산시키기 위해서는 페릴렌계 안료의 평균 입자 지름은 10 nm 이상 1000 nm 이하인 것이 바람직하다.In order to disperse the perylene pigment in the photosensitive composition well, the mean particle diameter of the perylene pigment is preferably 10 nm or more and 1000 nm or less.

또한, 은주석(AgSn) 합금을 주성분으로 하는 미립자(이하, 「AgSn 합금 미립자」라고 함)도 락탐계 안료와 함께 흑색 안료로서 바람직하게 이용된다. 이 AgSn 합금 미립자는 AgSn 합금이 주성분이면 되고, 다른 금속 성분으로서, 예를 들면 Ni, Pd, Au 등이 포함되어 있어도 된다.In addition, fine particles containing silver tin (AgSn) as a main component (hereinafter referred to as " AgSn alloy fine particles ") are also preferably used as a black pigment together with a lactam-based pigment. The AgSn alloy fine particles may be a main component of the AgSn alloy, and other metal components, for example, Ni, Pd, Au or the like may be contained.

이 AgSn 합금 미립자의 평균 입자 지름은 1 nm 이상 300 nm 이하가 바람직하다.The average particle diameter of the AgSn alloy fine particles is preferably 1 nm or more and 300 nm or less.

AgSn 합금은 화학식 AgxSn으로 나타낸 경우, 화학적으로 안정된 AgSn 합금이 얻어지는 x의 범위는 1≤x≤10이며, 화학적 안정성과 흑색도가 동시에 얻어지는 x의 범위는 3≤x≤4이다.When the AgSn alloy is represented by the chemical formula AgxSn, the range of x in which a chemically stable AgSn alloy is obtained is 1? X? 10, and the range of x in which chemical stability and blackness are simultaneously obtained is 3?

여기서, 상기 x의 범위에서 AgSn 합금 중의 Ag의 질량비를 구하면,Here, when the mass ratio of Ag in the AgSn alloy is obtained in the range of x,

x=1인 경우, Ag/AgSn=0.4762 When x = 1, Ag / AgSn = 0.4762

x=3인 경우, 3·Ag/Ag3Sn=0.7317 When x = 3, 3 · Ag / Ag 3 Sn = 0.7317

x=4인 경우, 4·Ag/Ag4Sn=0.7843 When x = 4, 4 · Ag / Ag4Sn = 0.7843

x=10인 경우, 10·Ag/Ag10Sn=0.9008When x = 10, 10? Ag / Ag10Sn = 0.9008

가 된다..

따라서, 이 AgSn 합금은 Ag를 47.6 질량% 이상 90 질량% 이하 함유한 경우에 화학적으로 안정한 것이 되고, Ag를 73.17 질량% 이상 78.43 질량% 이하 함유한 경우에 Ag 양에 대해 효과적으로 화학적 안정성과 흑색도를 얻을 수 있다.Therefore, the AgSn alloy is chemically stable when it contains Ag in an amount of 47.6 mass% or more and 90 mass% or less, and when Ag contains 73.17 mass% or more and 78.43 mass% or less Ag, the AgSn alloy effectively exhibits chemical stability and blackness Can be obtained.

이 AgSn 합금 미립자는 통상의 미립자 합성법을 이용하여 제작할 수 있다. 미립자 합성법으로는 기상 반응법, 분무 열분해법, 아토마이즈법, 액상 반응법, 동결 건조법, 수열 합성법 등을 들 수 있다.The AgSn alloy fine particles can be produced using a conventional fine particle synthesis method. Examples of the method for synthesizing fine particles include a gas phase reaction method, a spray pyrolysis method, an atomization method, a liquid phase reaction method, a freeze drying method, and a hydrothermal synthesis method.

AgSn 합금 미립자는 절연성이 높은 것이지만, 감광성 조성물의 용도에 따라서는 더욱 절연성을 높이기 위해, 표면을 절연막으로 덮도록 해도 상관없다. 이러한 절연막의 재료로는 금속 산화물 또는 유기 고분자 화합물이 적합하다.The AgSn alloy fine particles have a high insulating property, but depending on the use of the photosensitive composition, the surface may be covered with an insulating film in order to further increase the insulating property. As a material of such an insulating film, a metal oxide or an organic polymer compound is suitable.

금속 산화물로는 절연성을 가지는 금속 산화물, 예를 들면, 산화 규소(실리카), 산화 알루미늄(알루미나), 산화 지르코늄(지르코니아), 산화 이트륨(이트리아), 산화 티탄(티타니아) 등이 적합하게 이용된다.As the metal oxide, a metal oxide having an insulating property such as silicon oxide (silica), aluminum oxide (alumina), zirconium oxide (zirconia), yttrium oxide (yttria), titanium oxide (titania) .

또, 유기 고분자 화합물로는 절연성을 가지는 수지, 예를 들면, 폴리이미드, 폴리에테르, 폴리아크릴레이트, 폴리아민 화합물 등이 적합하게 이용된다.As the organic polymer compound, a resin having an insulating property, for example, polyimide, polyether, polyacrylate, polyamine compound and the like are suitably used.

절연막의 막 두께는, AgSn 합금 미립자의 표면의 절연성을 충분히 높이기 위해서는 1 nm 이상 100 nm 이하의 두께가 바람직하고, 보다 바람직하게는 5 nm 이상 50 nm 이하이다.The thickness of the insulating film is preferably 1 nm or more and 100 nm or less, more preferably 5 nm or more and 50 nm or less, in order to sufficiently increase the insulating property of the surface of the AgSn alloy fine particles.

절연막은 표면 개질 기술 혹은 표면의 코팅 기술에 의해 용이하게 형성할 수 있다. 특히, 테트라에톡시실란, 알루미늄트리에톡시드 등의 알콕시드를 이용하면, 비교적 저온에서 막 두께가 균일한 절연막을 형성할 수 있으므로 바람직하다.The insulating film can be easily formed by a surface modification technique or a surface coating technique. In particular, the use of an alkoxide such as tetraethoxysilane or aluminum triethoxide is preferable because an insulating film having a uniform film thickness can be formed at a relatively low temperature.

착색제(C)의 바람직한 조합으로는, 락탐계 안료와 C.I. 피크먼트 블루 16 및 C.I. 피크먼트 블루 60의 조합이나, 락탐계 안료와 카본 블랙과 C.I. 피크먼트 블루 16 및 C.I. 피크먼트 블루 60의 조합을 들 수 있다.A preferable combination of the colorant (C) is a combination of a lactam-based pigment and C.I. Piquant Blue 16 and C.I. Pigment Blue 60, a combination of a lactam-based pigment, carbon black and C.I. Piquant Blue 16 and C.I. ≪ tb > < tb >

이들 조합에 있어서, 착색제(C) 중의 C.I. 피크먼트 블루 16 및 C.I. 피크먼트 블루 60의 총량은, 착색제(C)의 질량에 대해서 10 질량% 이상 50 질량% 이하가 바람직하고, 20 질량% 이상 45 질량% 이하가 보다 바람직하다. 착색제(C)가 락탐계 안료와 카본 블랙을 조합하여 포함하는 경우, 락탐계 안료의 질량과 카본 블랙의 질량의 합계 중의 락탐계 안료의 질량은, 5 질량% 이상 99 질량% 이하가 바람직하고, 40 질량% 이상 95 질량% 이하가 보다 바람직하며, 60 질량% 이상 90 질량% 이하가 더욱 바람직하다.In these combinations, C.I. Piquant Blue 16 and C.I. The total amount of the pigment blue 60 is preferably 10% by mass or more and 50% by mass or less, more preferably 20% by mass or more and 45% by mass or less, with respect to the mass of the colorant (C). When the colorant (C) comprises a combination of a lactam-based pigment and carbon black, the mass of the lactam-based pigment in the total of the mass of the lactam-based pigment and the mass of the carbon black is preferably 5% by mass or more and 99% More preferably 40 mass% or more and 95 mass% or less, and still more preferably 60 mass% or more and 90 mass% or less.

이상 설명한 안료를 감광성 조성물에서 균일하게 분산시키기 위해서, 추가로 분산제를 사용해도 된다. 이러한 분산제로는 폴리에틸렌이민계, 우레탄 수지계, 아크릴 수지계의 고분자 분산제를 이용하는 것이 바람직하다. 특히, 안료로서 카본 블랙을 이용하는 경우에는 분산제로서 아크릴 수지계의 분산제를 이용하는 것이 바람직하다.In order to uniformly disperse the above-described pigment in the photosensitive composition, a dispersant may be further used. As such a dispersing agent, it is preferable to use a polymeric dispersant of polyethylene imine type, urethane resin type or acrylic resin type. Particularly, when carbon black is used as a pigment, it is preferable to use an acrylic resin-based dispersant as a dispersant.

또한 분산제에 기인하는 부식성의 가스가 경화막으로부터 생기는 경우도 있다. 이 때문에, 안료가 분산제를 이용하는 경우 없이 분산 처리되는 것도 바람직한 태양의 일례이다.In addition, corrosive gas resulting from the dispersing agent may be generated from the cured film. For this reason, it is also an example of a preferable embodiment that the pigment is dispersed without using a dispersant.

또, 착색제로서 무기 안료와 유기 안료는 각각 단독 또는 2종 이상 병용해도 되지만, 병용하는 경우에는 무기 안료와 유기 안료의 총량 100 질량부에 대해서, 유기 안료를 10 질량부 이상 80 질량부 이하의 범위에서 이용하는 것이 바람직하고, 20 질량부 이상 40 질량부 이하의 범위에서 이용하는 것이 보다 바람직하다.As the coloring agent, the inorganic pigment and the organic pigment may be used alone or in combination of two or more. When used in combination, the organic pigment may be added in an amount of 10 parts by mass or more and 80 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the total amount of the inorganic pigment and the organic pigment And more preferably in a range of 20 parts by mass or more and 40 parts by mass or less.

또한 감광성 조성물에서, 안료와 염료를 조합하여 착색제로서 이용해도 된다. 이 염료는 공지의 재료 중에서 적절히 선택하면 된다.Further, in the photosensitive composition, a pigment and a dye may be combined and used as a coloring agent. The dye may be appropriately selected from known materials.

감광성 조성물에 적용 가능한 염료로는, 예를 들면 아조 염료, 금속 착염 아조 염료, 안트라퀴논 염료, 트리페닐메탄 염료, 크산텐 염료, 시아닌 염료, 나프토퀴논 염료, 퀴논이민 염료, 메틴 염료, 프탈로시아닌 염료 등을 들 수 있다.Examples of the dye applicable to the photosensitive composition include azo dyes, metal complex azo dyes, anthraquinone dyes, triphenylmethane dyes, xanthene dyes, cyanine dyes, naphthoquinone dyes, quinoneimine dyes, methine dyes, phthalocyanine dyes And the like.

또, 이들 염료에 대해서는 레이크화(조염화)함으로써 유기용매 등에 분산시켜, 이것을 착색제(C)로서 이용할 수 있다.In addition, these dyes can be dispersed in an organic solvent or the like by lakening (coagulation) and used as the colorant (C).

이들 염료 이외에도, 예를 들면, 일본 특개 2013-225132호 공보, 일본 특개 2014-178477호 공보, 일본 특개 2013-137543호 공보, 일본 특개 2011-38085호 공보, 일본 특개 2014-197206호 공보 등에 기재된 염료 등도 바람직하게 이용할 수 있다.In addition to these dyes, dyes described in, for example, JP-A Nos. 2013-225132, 2014-178477, 2013-137543, JP-A-2011-38085, 2014-197206, Can be preferably used.

감광성 조성물에서의 착색제(C)의 사용량은 본 발명의 목적을 저해하지 않는 범위에서 적절히 선택할 수 있고, 전형적으로는 감광성 조성물의 고형분 전체의 질량에 대해서, 2 질량% 이상 75 질량% 이하가 바람직하고, 3 질량% 이상 70 질량% 이하가 보다 바람직하다.The amount of the colorant (C) to be used in the photosensitive composition can be appropriately selected within a range not to impair the object of the present invention, and is typically 2% by mass or more and 75% by mass or less with respect to the mass of the entire solid content of the photosensitive composition , And more preferably 3 mass% or more and 70 mass% or less.

착색제(C)로서 안료를 이용하는 경우, 안료는 분산제의 존재 하 또는 부존재 하에 적당한 농도로 분산시킨 분산액으로 한 후, 감광성 조성물에 첨가하는 것이 바람직하다.When a pigment is used as the colorant (C), the pigment is preferably added to the photosensitive composition after being made into a dispersion in which the pigment is dispersed in the presence or absence of a dispersant at a proper concentration.

또한, 본 명세서에서는 상술한 안료의 사용량에 대해서, 이의 존재하는 분산제도 포함하는 값으로서 정의할 수 있다.In the present specification, the amount of the above-mentioned pigment to be used can be defined as a value including the existing dispersing system.

<그 밖의 성분>≪ Other components >

감광성 조성물은 필요에 따라 각종의 첨가제를 포함하고 있어도 된다. 구체적으로는 용제, 표면 조정제, 증감제, 경화촉진제, 광가교제, 광증감제, 분산 조제, 충전제, 밀착 촉진제, 산화 방지제, 자외선 흡수제, 응집 방지제, 열중합 금지제, 소포제, 계면활성제, 연쇄 이동제 등이 예시된다. 어느 첨가제도 종래 공지의 것을 이용할 수 있다. 계면활성제로는 음이온계 화합물, 양이온계 화합물, 비이온계 화합물 등을 들 수 있다. 밀착성 향상제로는 종래 공지의 실란 커플링제를 들 수 있다. 열중합 금지제로는 히드로퀴논, 히드로퀴논모노에틸에테르 등을 들 수 있다. 소포제로는 실리콘계 화합물, 불소계 화합물 등을 들 수 있다.The photosensitive composition may contain various additives as required. Specific examples of the additives include a solvent, a surface conditioner, a sensitizer, a curing accelerator, a photo-crosslinking agent, a photosensitizer, a dispersant, a filler, an adhesion promoter, an antioxidant, an ultraviolet absorber, And the like. Any of the additives may be conventionally known. Examples of the surfactant include anionic compounds, cationic compounds, and nonionic compounds. Examples of the adhesion improving agent include conventionally known silane coupling agents. Examples of the thermal polymerization inhibitor include hydroquinone, hydroquinone monoethyl ether, and the like. Examples of the defoaming agent include a silicone compound and a fluorine compound.

연쇄 이동제로는 머캅탄계 화합물, 할로겐계 화합물, 퀴논계 화합물, α-메틸스티렌 다이머 등을 들 수 있다. 연쇄 이동제를 함유함으로써, 패턴 형상(특히, 홀 패턴의 CD 변화, 노광 마진)을 양호하게 컨트롤할 수 있다. 그 중에서도 2,4-디페닐-4-메틸-1-펜텐(α-메틸스티렌 다이머)은 상기 효과에 더하여 승화물이나 착색, 악취를 저감시킬 수 있다는 점에서 바람직하다.Examples of the chain transfer agent include a mercaptan-based compound, a halogen-based compound, a quinone-based compound, and? -Methylstyrene dimer. By containing the chain transfer agent, the pattern shape (particularly, the CD variation of the hole pattern and the exposure margin) can be well controlled. Among them, 2,4-diphenyl-4-methyl-1-pentene (? -Methylstyrene dimer) is preferable in addition to the above effects in that it can reduce the amount of the compound to be added, coloring and odor.

감광성 조성물에 용제를 이용하는 경우, 사용되는 용제로는, 예를 들면 에틸렌글리콜모노메틸에테르, 에틸렌글리콜모노에틸에테르, 에틸렌글리콜-n-프로필에테르, 에틸렌글리콜모노-n-부틸에테르, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르, 디에틸렌글리콜모노-n-프로필에테르, 디에틸렌글리콜모노-n-부틸에테르, 트리에틸렌글리콜모노메틸에테르, 트리에틸렌글리콜모노에틸에테르, 프로필렌글리콜모노메틸에테르, 프로필렌글리콜모노에틸에테르, 프로필렌글리콜모노-n-프로필에테르, 프로필렌글리콜모노-n-부틸에테르, 디프로필렌글리콜모노메틸에테르, 디프로필렌글리콜모노에틸에테르, 디프로필렌글리콜모노-n-프로필에테르, 디프로필렌글리콜모노-n-부틸에테르, 트리프로필렌글리콜모노메틸에테르, 트리프로필렌글리콜모노에틸에테르 등의 (폴리)알킬렌글리콜모노알킬에테르류; 에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노에틸에테르아세테이트 등의 (폴리)알킬렌글리콜모노알킬에테르아세테이트류; 디에틸렌글리콜디메틸에테르, 디에틸렌글리콜메틸에틸에테르, 디에틸렌글리콜디에틸에테르, 테트라히드로푸란 등의 다른 에테르류; 메틸에틸케톤, 시클로헥사논, 2-헵타논, 3-헵타논 등의 케톤류; 2-히드록시프로피온산메틸, 2-히드록시프로피온산에틸 등의 락트산알킬에스테르류; 2-히드록시-2-메틸프로피온산에틸, 3-메톡시프로피온산메틸, 3-메톡시프로피온산에틸, 3-에톡시프로피온산메틸, 3-에톡시프로피온산에틸, 에톡시아세트산에틸, 히드록시아세트산에틸, 2-히드록시-3-메틸부탄산메틸, 3-메틸-3-메톡시부틸아세테이트, 3-메틸-3-메톡시부틸프로피오네이트, 아세트산에틸, 아세트산n-프로필, 아세트산이소프로필, 아세트산n-부틸, 아세트산이소부틸, 포름산n-펜틸, 아세트산이소펜틸, 프로피온산n-부틸, 부티르산에틸, 부티르산n-프로필, 부티르산이소프로필, 부티르산n-부틸, 피루브산메틸, 피루브산에틸, 피루브산n-프로필, 아세토아세트산메틸, 아세토아세트산에틸, 2-옥소부탄산에틸 등의 다른 에스테르류; 톨루엔, 크실렌 등의 방향족 탄화수소류; N-메틸피롤리돈, N,N-디메틸포름아미드, N,N-디메틸아세트아미드 등의 아미드류 등을 들 수 있다. 이들 용제는 단독으로 이용해도 되고, 2종 이상을 조합하여 이용해도 된다.When a solvent is used in the photosensitive composition, examples of the solvent to be used include ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol-n-propyl ether, ethylene glycol mono-n-butyl ether, diethylene glycol mono Methyl ethyl ether, diethylene glycol mono-n-propyl ether, diethylene glycol mono-n-butyl ether, triethylene glycol monomethyl ether, triethylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, Propylene glycol mono-n-propyl ether, propylene glycol mono-n-butyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monoethyl ether, dipropylene glycol mono-n-propyl ether, dipropylene Glycol mono-n-butyl ether, tripropylene glycol monomethyl ether, tripropylene glycol (Poly) alkylene glycol monoalkyl ethers such as monoethyl ether; (Poly) alkylene ethers such as ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate and propylene glycol monoethyl ether acetate. Glycol monoalkyl ether acetates; Other ethers such as diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, diethylene glycol diethyl ether and tetrahydrofuran; Ketones such as methyl ethyl ketone, cyclohexanone, 2-heptanone and 3-heptanone; Lactic acid alkyl esters such as methyl 2-hydroxypropionate and ethyl 2-hydroxypropionate; Methyl 2-hydroxypropionate, ethyl 2-hydroxypropionate, ethyl 2-hydroxypropionate, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, ethyl ethoxyacetate, Methyl-3-methoxybutyl propionate, ethyl acetate, n-propyl acetate, isopropyl acetate, n- Butyl acetate, isobutyl acetate, isopentyl acetate, isopentyl acetate, n-butyl propionate, ethyl butyrate, n-propyl butyrate, isopropyl butyrate, n-butyl butyrate, methyl pyruvate, ethyl pyruvate, Other esters such as methyl, ethyl acetoacetate and ethyl 2-oxobutanoate; Aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene; And amides such as N-methylpyrrolidone, N, N-dimethylformamide and N, N-dimethylacetamide. These solvents may be used alone, or two or more solvents may be used in combination.

상기 용제 중에서도, 프로필렌글리콜모노메틸에테르, 에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트(GPMEA), 프로필렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜디메틸에테르, 디에틸렌글리콜메틸에틸에테르(MEDG), 시클로헥사논, 3-메톡시부틸아세테이트(MBA)는 상술한 (A1) 성분 및 (A2) 성분 및 임의로 이용되는 (B) 성분에 대해서 뛰어난 용해성을 나타내기 때문에 바람직하고, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 3-메톡시부틸아세테이트를 이용하는 것이 특히 바람직하다. 용제의 함유량은 감광성 조성물의 용도에 따라 적절히 결정하면 되지만, 일례로서 감광성 조성물의 고형분의 합계 100 질량부에 대해서, 50 질량부 이상 900 질량부 이하 정도를 들 수 있다.Among these solvents, propylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate (GPMEA), propylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether (MEDG) Cyclohexanone and 3-methoxybutyl acetate (MBA) are preferable because they exhibit excellent solubility in the above-mentioned components (A1) and (A2) and optionally used component (B), and propylene glycol monomethyl ether acetate , 3-methoxybutyl acetate is particularly preferred. The content of the solvent may be appropriately determined depending on the use of the photosensitive composition, but may be, for example, about 50 parts by mass or more and 900 parts by mass or less based on 100 parts by mass of the total solid content of the photosensitive composition.

≪감광성 조성물의 조제 방법≫≪ Method of preparing photosensitive composition >

본 발명에 관한 감광성 조성물은 상기 각 성분을 균일하게 교반, 혼합하고, 균일하게 용해, 분산시킨 후에, 필요에 따라 0.2 ㎛ 멤브레인 필터 등의 필터로 여과해 조제할 수 있다.The photosensitive composition according to the present invention can be prepared by uniformly stirring and mixing the above components, uniformly dissolving and dispersing the components, and then filtering the resultant solution with a filter such as a 0.2 μm membrane filter, if necessary.

≪경화물 형성 방법 및 경화물≫&Quot; Method of forming a hardened product and hardened product "

경화물 형성 방법은 상술한 감광성 조성물을 이용하는 것 외에는 감광성 조성물을 이용하여 형성된 종래의 경화물 형성 방법과 동일하다.The method of forming a cured product is the same as the conventional method of forming a cured product formed by using a photosensitive composition except that the above-described photosensitive composition is used.

상술한 감광성 조성물을 이용하여 경화물을 형성하는 방법은 특별히 제한되지 않고, 종래부터 채용되고 있는 방법으로부터 적절히 선택할 수 있다. 경화물은 감광성 조성물의 도포시의 도막의 형상의 컨트롤이나, 위치 선택적인 노광과 현상의 조합에 의해서, 원하는 형상의 성형체로서 형성된다. 적합한 경화물 형성 방법으로는 상술한 감광성 조성물을 이용해 도막을 형성하는 도막 형성 공정과, 상기 도막에 대해서 노광하는 노광 공정을 포함하는 방법을 들 수 있다. 노광이 위치 선택적으로 수행되는 경우, 노광된 도막을 현상액에 의해 현상하여 패턴화된 경화물을 얻어도 된다.The method of forming a cured product using the above-described photosensitive composition is not particularly limited, and can be appropriately selected from conventionally employed methods. The cured product is formed as a molded product having a desired shape by controlling the shape of the coated film at the time of applying the photosensitive composition or by combining position-selective exposure and development. Examples of the method for forming a suitable cured product include a coating film forming step of forming a coating film using the above-mentioned photosensitive composition and an exposure step of exposing the coating film. When the exposure is performed in a position-selective manner, the exposed coating film may be developed with a developer to obtain a patterned cured product.

우선, 도막 형성 공정에서는, 예를 들면 경화물이 형성되어야 할 기판 상에, 롤 코터, 리버스 코터, 바 코터 등의 접촉 전사형 도포 장치나 스피너(회전식 도포 장치), 커튼 플로우 코터 등의 비접촉형 도포 장치를 이용해 본 발명에 관한 감광성 조성물을 도포하고, 필요에 따라 건조(프리베이크)에 의해 용매를 제거해 도막을 형성한다.First, in the coating film forming step, for example, a non-contact type coating such as a contact transfer type coating device such as a roll coater, a reverse coater, or a bar coater, a spinner (rotary coating device), a curtain flow coater, The photosensitive composition according to the present invention is applied using the apparatus, and the solvent is removed by drying (pre-baking) if necessary to form a coating film.

또한, 기판 상에 담아진 액적이나, 요철을 가지는 기판의 오목부(凹部)에 매립된 감광성 조성물이나, 몰드의 오목부에 충전된 감광성 조성물 등에 대해서도, 편의상 「도막」이라고 칭한다.A photosensitive composition filled in a concave portion of a substrate having concavities and convexities or a photosensitive composition filled in a concave portion of a mold is also referred to as a " coating film " for convenience.

그 다음에, 형성된 도막은 노광 공정에 제공된다. 노광 공정에서는 도막에 ArF 엑시머 레이저, KrF 엑시머 레이저, F2 엑시머 레이저, 극자외선(EUV), 진공 자외선(VUV), 전자선, X선, 연 X선, g선, i선, h선 등의 방사선 내지 전자파를 조사해 도막을 노광한다. 도막에 대한 노광은 네거티브형의 마스크를 통하여 위치 선택적으로 수행되어도 된다. 노광량은 감광성 조성물의 조성에 따라서 상이하지만, 예를 들면 10 mJ/cm2 이상 600 mJ/cm2 이하 정도가 바람직하다.Then, the formed coating film is provided in the exposure process. In the exposure step, the coating film is irradiated with a radiation such as ArF excimer laser, KrF excimer laser, F 2 excimer laser, extreme ultraviolet (EUV), vacuum ultraviolet (VUV), electron beam, X-ray, soft X-ray, g- Or an electromagnetic wave to expose the coating film. Exposure to the coating film may be performed selectively through a negative type mask. The exposure dose varies depending on the composition of the photosensitive composition, but is preferably, for example, about 10 mJ / cm 2 to about 600 mJ / cm 2 or less.

노광된 도막은 필요에 따라 현상된다.The exposed coating film is developed as needed.

전술한 감광성 조성물은 노광 후에 알칼리 현상액에 대해서 과도하게 용해하기 어렵다. 이 때문에, 전술한 감광성 조성물을 이용함으로써, 노광부를 볼록부(凸部)로 하고, 미노광부를 오목부로 하는 양호한 형상의 패턴화된 경화물을 형성하기 쉽다.The above-mentioned photosensitive composition is hardly dissolved excessively in an alkali developing solution after exposure. Therefore, by using the above-described photosensitive composition, it is easy to form a patterned cured product having a good shape using the exposed portion as a convex portion and the unexposed portion as a concave portion.

현상 공정에서는 노광된 도막을 현상액으로 현상함으로써, 원하는 형상으로 패턴화된 경화물이 형성된다. 현상 방법은 특별히 한정되지 않고, 침지법, 스프레이법 등을 이용할 수 있다. 현상액의 구체예로는 모노에탄올아민, 디에탄올아민, 트리에탄올아민 등의 유기계의 것이나, 수산화나트륨, 수산화칼륨, 탄산나트륨, 암모니아, 4급 암모늄염 등의 수용액을 들 수 있다.In the developing process, the exposed coating film is developed with a developing solution to form a patterned cured product in a desired shape. The developing method is not particularly limited, and a dipping method, a spraying method, or the like can be used. Specific examples of the developing solution include organic ones such as monoethanolamine, diethanolamine and triethanolamine, and aqueous solutions such as sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, ammonia and quaternary ammonium salts.

그리고, 필요에 따라 노광 후의 경화물, 또는 현상 후의 패턴화된 경화물에 포스트베이크를 실시하고, 추가로 가열 경화를 진행시켜도 된다. 포스트베이크의 온도는 150℃ 이상 270℃ 이하가 바람직하다.If necessary, post-baking may be performed on the cured product after exposure or the patterned cured product after development, and further heat curing may be carried out. The post bake temperature is preferably 150 ° C or more and 270 ° C or less.

경화물은 전술한 감광성 조성물을 이용해 형성된다. 상기 경화물은, 바람직하게는 여러 가지의 화상 표시장치용 패널에 두고 이용되는 블랙 매트릭스 또는 블랙 컬럼 스페이서이다. 전술한 감광성 조성물을 이용해 형성되는 경화물로 이루어진 블랙 매트릭스나 블랙 컬럼 스페이서는, 단면 형상이 양호하고, 또 저노광량으로 경화되어도 기판에 대한 밀착성이 뛰어나다. 이 때문에, 이러한 블랙 매트릭스나 블랙 컬럼 스페이서를 구비하는 화상 표시장치용 패널은, 액정 표시장치나 유기 EL 표시장치 등의 여러 가지의 화상 표시장치에서 적합하게 사용된다.The cured product is formed using the above-described photosensitive composition. The cured product is preferably a black matrix or black column spacer used for various image display apparatus panels. The black matrix or black column spacer made of the cured product formed by using the photosensitive composition described above is excellent in cross-sectional shape and excellent in adhesion to the substrate even when cured at a low exposure dose. Therefore, an image display panel having such a black matrix or a black column spacer is suitably used in various image display devices such as a liquid crystal display device and an organic EL display device.

상기의 경화물로 이루어진 경화막을, 블랙 매트릭스나 블랙 컬럼 스페이서 등의 차광성이 요구되는 용도에 이용하는 경우, 경화막의 OD치는, 이하의 조건으로 형성된 경화막의 OD치로서 1 ㎛ 당 1.2 이상이 바람직하다. 상한치는 특별히 없지만, 예를 들면 1 ㎛ 당 3 이하이다.When the cured film composed of the above-mentioned cured product is used for applications requiring a light shielding property such as a black matrix or a black column spacer, the OD value of the cured film is preferably 1.2 or more per 1 μm as an OD value of the cured film formed under the following conditions . The upper limit is not particularly limited, but is, for example, 3 or less per 1 m.

<경화막 형성 조건>≪ Cured film forming condition &

우선, 감광성 조성물을 웨이퍼 기판 상에 스핀 코터(미카사 제, 1H-360S)에 의해 도포한다. 그 다음에, 웨이퍼 기판 상의 도막을 180℃에서 20분간 가열하여, 막 두께 약 1.0 ㎛의 OD치 측정용의 경화막을 얻었다.First, the photosensitive composition is applied on a wafer substrate by a spin coater (1H-360S, manufactured by Mikasa). Then, the coated film on the wafer substrate was heated at 180 캜 for 20 minutes to obtain a cured film for OD value measurement of about 1.0 탆 in film thickness.

상기의 경화막 형성 조건은, 노광을 실시하지 않는 모의적인 조건이다. 또한, 경화막에 대한 노광의 유무에 의한 OD치의 변화는 작다.The above cured film forming conditions are simulated conditions in which no exposure is performed. Further, the change in the OD value due to the presence or absence of exposure to the cured film is small.

형성된 경화막의 OD치는, 예를 들면, 투과율 측정기(D-200II, 그레타그마크베스사 제)를 이용해 측정할 수 있다.The OD value of the cured film formed can be measured using, for example, a transmittance meter (D-200II, manufactured by GretagMarkbeth).

또, 상기의 감광성 조성물을 이용해 하프톤 마스크를 통하여 노광을 수행해서 패턴화된 경화막을 형성하는 경우에, 형성되는 패턴화된 경화물에 있어서, 풀톤 노광부와 하프톤 노광부에 충분히 높이의 차이를 내면서, 하프톤 노광부의 충분한 높이를 확보할 수 있다. 이 때문에, 상기의 감광성 조성물을 이용하여 형성되는 경화막은 액정 표시패널 등의 표시패널에서 이용되는 블랙 컬럼 스페이서로서 적합하게 사용된다.When the photosensitive composition is used to perform exposure through a halftone mask to form a patterned cured film, the patterned cured product to be formed may have a sufficient difference in height between the Fulton-exposed portion and the halftone-exposed portion A sufficient height of the halftone exposure unit can be ensured. Therefore, the cured film formed using the above photosensitive composition is suitably used as a black column spacer used in a display panel such as a liquid crystal display panel.

≪감광성 접착제 및 접착 방법≫≪ Photosensitive adhesive >

전술한 감광성 조성물은 감광성 접착제로서 적합하게 이용할 수 있다. 착색제(C)를 포함하는 감광성 조성물을 감광성 접착제로서 이용하는 경우, 접착제나 접착제의 경화물의 시인성이나 차광성이 양호하다.The above-described photosensitive composition can be suitably used as a photosensitive adhesive. When the photosensitive composition containing the colorant (C) is used as a photosensitive adhesive, the visibility and light shielding property of the adhesive or the cured product of the adhesive are good.

전술한 감광성 조성물은 저노광량으로의 노광에서도 밀착성이 뛰어난 경화물을 형성할 수 있다. 이 때문에, 예를 들면, 막 두께 1 ㎛ 이상 500 ㎛ 이하의 접착제층을 형성하여 접착을 실시하는 경우에, 상기의 감광성 접착제가 적합하게 사용된다.The above-mentioned photosensitive composition can form a cured product having excellent adhesion even in exposure at a low exposure dose. Therefore, for example, when the adhesive layer is formed by forming an adhesive layer having a thickness of 1 占 퐉 or more and 500 占 퐉 or less, the above-described photosensitive adhesive is suitably used.

특히, 자동차, 자동 이륜차, 자전거, 철도 차량, 항공기, 선박, 여러 가지의 건축용 부재 등의 제조나, 산업용 로봇에 의한 여러 가지의 제품의 제조에서의, 용접, 나사 고정, 비스 고정 등의 접합 작업을, 상기의 감광성 접착제를 이용하는 접착으로 변경하면, 접합된 최종 제품의 경량화나, 나사 고정이나 비스 고정에 의한 접합을 수행할 때의 금속 피로 등에 기인하는 나사나 비스의 절단이 생기지 않는 점이나, 이종(異種) 금속이 접합되는 경우의 전지 경화에 의한 부식이 일어나지 않는 점 등의 여러 가지의 메리트가 있다.Particularly, in the manufacture of automobiles, motorcycles, bicycles, railway vehicles, aircrafts, ships and various building members, and welding of various products by industrial robots, screwing, Is changed to adhesion using the photosensitive adhesive described above, there is no disconnection of screws or screws due to metal fatigue or the like when the bonded final product is lightened or when bonding is performed by screw fixing or screw fixing, And that corrosion due to battery curing does not occur when a different kind of metal is bonded.

상기의 감광성 접착제를 이용하는 접착 방법은 특별히 한정되지 않는다. 여러 가지의 물품에서의, 피접착면을 접착하는 방법에서, 상기의 감광성 접착제를 이용할 수 있다.The bonding method using the above photosensitive adhesive is not particularly limited. The above-mentioned photosensitive adhesive can be used in a method of adhering an adherend surface to various articles.

전형적인 접착 방법으로는,As a typical bonding method,

대향하는 피접착면의 한쪽 또는 양쪽에 감광성 접착제로 이루어진 접착제층을 형성하는 것과,Forming an adhesive layer made of a photosensitive adhesive on one or both sides of the opposing surface to be adhered,

접착제층을 노광에 의해 경화시키는 것을 포함하는 방법을 들 수 있다.And then curing the adhesive layer by exposure.

감광성 접착제로 이루어진 접착제층을 형성하는 방법은 특별히 한정되지 않는다. 전형적으로는 대향하는 피접착면의 한쪽 또는 양쪽에 감광성 접착제를 도포해 접착제층이 형성된다.The method for forming the adhesive layer made of the photosensitive adhesive is not particularly limited. Typically, a photosensitive adhesive is applied to one or both of the opposite surfaces to be adhered to form an adhesive layer.

또, 피접착면의 사이에, 원하는 폭의 간극이 형성되어 있는 상태에서, 간극에 감광성 접착제를 주입해도 된다.Further, a photosensitive adhesive may be injected into the gaps in a state in which gaps having a desired width are formed between the glued surfaces.

접착 대상의 물품의 수는 1개이어도 2개 이상의 복수이어도 된다. 접착 대상의 물품의 재질이 가요성, 유연성을 가지는 경우, 접착 대상의 물품의 수가 1개인 경우가 있다. 접착 대상의 물품의 수가 1개인 경우로는, 예를 들면 1매의 직사각형의 플라스틱판을 원통형으로 구부려서, 플라스틱판의 이음매 부분을 접착하는 경우를 들 수 있다.The number of articles to be bonded may be one, or may be two or more. In the case where the material of the object to be bonded has flexibility and flexibility, the number of articles to be bonded may be one. When the number of articles to be bonded is one, for example, a case in which a single rectangular plastic plate is bent into a cylindrical shape and a joint portion of the plastic plate is bonded.

노광은 전술한 경화막의 형성과 동일하게 수행된다. 접착 대상의 물품이 투명한 경우, 노광 광을 접착제층에 조사하는 방법은 특별히 제한되지 않는다. 이 경우, 접착 대상의 물품을 투과시키면서 접착제층에 노광 광을 조사해도 되고, 접착제층의 단면으로부터 노광 광이 입사하도록 노광 광을 조사해도 된다.The exposure is carried out in the same manner as the formation of the above-mentioned cured film. When the article to be adhered is transparent, a method of irradiating exposure light to the adhesive layer is not particularly limited. In this case, the adhesive layer may be irradiated with the exposure light while transmitting the article to be adhered, or the exposure light may be irradiated so that the exposure light enters from the end face of the adhesive layer.

접착 대상의 물품이 금속과 같은 불투명한 재질로 이루어진 경우, 노광은 접착제층의 단면으로부터 노광 광이 입사하도록 수행된다.When the article to be adhered is made of an opaque material such as a metal, the exposure is performed so that the exposure light enters from the end face of the adhesive layer.

≪그 밖의 용도≫«Other uses»

전술한 감광성 조성물은 반도체 가공이나 유리 가공 등에서의 에칭 마스크의 형성 등, 종래부터 감광성 조성물이 사용되고 있는 여러 가지의 용도에 이용할 수 있다.The above-mentioned photosensitive composition can be used for various uses in which photosensitive compositions are conventionally used, such as formation of an etching mask in semiconductor processing, glass processing, and the like.

또, 전술한 감광성 조성물은 감광성 조성물층을 형성하는 공정을 포함하는, 소위 3D 프린트에 의한 입체 조형법에서의 감광성 조성물층의 형성에도 적용할 수 있다.The above-described photosensitive composition can also be applied to the formation of a photosensitive composition layer in a stereolithography method by so-called 3D printing, which includes a step of forming a photosensitive composition layer.

3D 프린트에서의, 노광에 의해 경화한 층의 적층은 감광성 조성물을 이용하여 형성된 경화물의 층에 대한 소위 자기 접착이다. 이 때문에, 상기의 감광성 조성물로 이루어진 감광성 접착제를 이용하는 3D 프린트에 의한 입체 조형법도, 일 태양으로서 감광성 접착제를 이용하는 전술한 접착 방법에 포함된다.The lamination of the layers cured by exposure in 3D printing is a so-called self-adhesion to a layer of the cured product formed using the photosensitive composition. Therefore, the stereolithography method using 3D printing using the photosensitive adhesive composed of the photosensitive composition described above is also included in the above-described bonding method using a photosensitive adhesive as an embodiment.

전술한 감광성 조성물은 투광성이 뛰어나기 때문에, 감광성 조성물층의 막 두께를 두껍게 해도 감광성 조성물층을 노광에 의해 단시간에 양호하게 경화시킬 수 있다. 이 때문에, 전술한 감광성 조성물을 3D 프린트에 의한 입체 조형에 적용하면, 감광성 조성물층의 막 두께를 두껍게 함으로써, 감광성 조성물층의 적층 횟수와 노광 횟수를 줄일 수 있어, 단시간에 원하는 형상의 입체 조형물을 제조할 수 있다.Since the above-mentioned photosensitive composition is excellent in light transmittance, even when the thickness of the photosensitive composition layer is made thick, the photosensitive composition layer can be cured well in a short time by exposure. Therefore, when the above-described photosensitive composition is applied to stereolithography by 3D printing, the number of times of lamination and the number of exposures of the photosensitive composition layer can be reduced by increasing the film thickness of the photosensitive composition layer, Can be manufactured.

[실시예][Example]

이하, 본 발명을 실시예에 의해 더욱 상세하게 설명하지만, 본 발명은 이들 실시예로 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples.

[실시예 1~4, 비교예 1 및 비교예 2][Examples 1 to 4, Comparative Example 1 and Comparative Example 2]

광중합 개시제(A) 1 질량부와 광중합성 화합물(B1) 9 질량부와 표 2에 기재된 종류의 수지(B2) 40 질량부와 착색제(C) 50 질량부를, 고형분 농도가 15 질량%가 되도록 유기용제에 용해, 분산시켜 감광성 조성물을 조제했다. 또한, 광중합 개시제(A)의 종류 및 비율(질량%)은, 표 2에 기재된 바와 같다., 9 parts by mass of the photopolymerizable compound (B1), 40 parts by mass of the resin (B2) of the kind described in Table 2 and 50 parts by mass of the colorant (C) were added to 1 part by mass of the photopolymerization initiator (A) Dissolved in a solvent, and dispersed to prepare a photosensitive composition. The types and ratios (% by mass) of the photopolymerization initiator (A) are as shown in Table 2.

광중합 개시제(A)로는 하기의 PI-1 및 PI-2를 이용했다. 이들 광중합 개시제의 흡광 특성은 아래 표 1에 나타내는 바와 같다.As the photopolymerization initiator (A), the following PI-1 and PI-2 were used. The light absorption characteristics of these photopolymerization initiators are shown in Table 1 below.

[화 60][60]

Figure pat00060
Figure pat00060

Figure pat00061
Figure pat00061

광중합성 화합물(B1)로는 디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트를 이용했다.As photopolymerizable compound (B1), dipentaerythritol hexaacrylate was used.

수지(B2)로는 하기 조제예 1에서 조제된 수지 B2a와 하기의 구조 단위로 이루어진 아크릴계 수지인 수지 B2b, 수지 B2c 및 수지 B2d를 이용했다. 하기 식에서의 괄호의 오른쪽 아래의 수치는, 수지에서의 각 구조 단위의 함유량(질량%)이다.As the resin (B2), a resin B2a prepared in the following Preparation Example 1 and an acrylic resin B2b, a resin B2c and a resin B2d made of the following structural units were used. The numerical value at the lower right of the parenthesis in the following formula is the content (mass%) of each structural unit in the resin.

또한, 하기 수지 B2d에 있어서, 왼쪽 끝의 구조 단위로는 3,4-에폭시트리시클로데칸-8-일아크릴레이트에 유래하는 구조 단위와 3,4-에폭시트리시클로데칸-9-일아크릴레이트에 유래하는 구조 단위가 동일한 몰 포함된다.In the following resin B2d, structural units derived from 3,4-epoxytricyclodecan-8-yl acrylate and structural units derived from 3,4-epoxytricyclodecan-9-yl acrylate And the resulting structural unit is the same mole.

[화 61][61]

Figure pat00062
Figure pat00062

[조제예 1][Preparation Example 1]

우선, 500 mL 4구 플라스크 중에 비스페놀플루오렌형 에폭시 수지(에폭시 당량 235) 235 g, 테트라메틸암모늄클로라이드 110 mg, 2,6-디-tert-부틸-4-메틸페놀 100 mg 및 아크릴산 72.0 g를 넣고, 이것에 25 mL/분의 속도로 공기를 불어 넣으면서 90~100℃에서 가열 용해했다. 다음에, 용액이 백탁한 상태인 채 서서히 승온하여 120℃로 가열해 완전 용해시켰다. 이때, 용액은 점차 투명 점조가 되었지만, 그대로 교반을 계속했다. 그 동안, 산가를 측정해 1.0 mgKOH/g 미만이 될 때까지 가열 교반을 계속했다. 산가가 목표치에 이를 때까지 12시간을 필요로 했다. 그리고 실온까지 냉각해, 무색 투명하고 고체상의 하기 식으로 표시되는 비스페놀플루오렌형 에폭시 아크릴레이트를 얻었다.First, 235 g of bisphenol fluorene type epoxy resin (epoxy equivalent 235), 110 mg of tetramethylammonium chloride, 100 mg of 2,6-di-tert-butyl-4-methylphenol and 72.0 g of acrylic acid were added to a 500 mL four- And the mixture was heated and dissolved at 90 to 100 ° C while blowing air at a rate of 25 mL / min. Then, the solution was gradually elevated to a cloudy state and heated to 120 ° C to be completely dissolved. At this time, the solution gradually became a transparent point group, but stirring was continued. In the meantime, the acid value was measured, and the heating and stirring were continued until it was less than 1.0 mg KOH / g. It took 12 hours to reach the target price. Then, the mixture was cooled to room temperature to obtain bisphenol fluorene-type epoxy acrylate which was colorless transparent and solid and represented by the following formula.

[화 62][62]

Figure pat00063
Figure pat00063

그 다음에, 이와 같이 하여 얻어진 상기의 비스페놀플루오렌형 에폭시아크릴레이트 307.0 g에 3-메톡시부틸아세테이트 600 g를 가해 용해한 후, 벤조페논테트라카르복시산 2무수물 80.5 g 및 브롬화 테트라에틸암모늄 1 g를 혼합하고, 서서히 승온하여 110~115℃에서 4시간 반응시켰다. 산 무수물기의 소실을 확인한 후, 1,2,3,6-테트라히드로 무수 프탈산 38.0 g를 혼합하고, 90℃에서 6시간 반응시켜, 카르도 수지인 수지 B2a를 얻었다. 산 무수물기의 소실은 IR 스펙트럼에 의해 확인했다.Then, 600 g of 3-methoxybutyl acetate was added to 307.0 g of the bisphenol fluorene-type epoxy acrylate thus obtained, and then 80.5 g of benzophenone tetracarboxylic dianhydride and 1 g of tetraethylammonium bromide were mixed , The temperature was gradually raised, and the reaction was carried out at 110 to 115 ° C for 4 hours. After disappearance of the acid anhydride group was confirmed, 38.0 g of 1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride was mixed and reacted at 90 DEG C for 6 hours to obtain a resin B2a which is a cardo resin. The disappearance of the acid anhydride group was confirmed by IR spectrum.

착색제(C)로는 20 질량부의 C.I. 피그먼트 블루 16과 20 질량부의 C.I. 피그먼트 블루 60과 12 질량부의 카본 블랙과 48 질량부의 락탐계 흑색 안료(하기 식으로 표시되는 화합물)를, 분산제(착색제 고형분 중 20 질량%)의 존재 하, 12시간 비즈 밀에 의해 혼합, 분산시켜 얻은 흑색 안료 조성물을 이용했다.As the colorant (C), 20 parts by mass of C.I. Pigment Blue 16 and 20 parts by mass of C.I. Pigment Blue 60, 12 parts by mass of carbon black and 48 parts by mass of a lactam black pigment (compound represented by the following formula) were mixed and dispersed by a bead mill for 12 hours in the presence of a dispersing agent (20 mass% The black pigment composition thus obtained was used.

[화 63][0065]

Figure pat00064
Figure pat00064

유기용제로는 3-메톡시부틸아세테이트(MBA)와 시클로헥사논(AN)과 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트(PGMEA)의 혼합 용제(혼합비(질량비), MBA:AN:PGMEA=60:20:20)을 이용했다.As the organic solvent, a mixed solvent (mixing ratio (mass ratio), MBA: AN: PGMEA = 60:20:20) of 3-methoxybutyl acetate (MBA), cyclohexanone (AN) and propylene glycol monomethyl ether acetate ).

얻어진 실시예 1~4, 비교예 1 및 비교예 2의 감광성 조성물을 이용하여, 하기 방법에 따라서 감광성 조성물의 감도와 패턴 형상을 평가했다.Using the obtained photosensitive compositions of Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 and 2, the sensitivity and pattern shape of the photosensitive composition were evaluated according to the following methods.

<감도 및 패턴 형상 평가>≪ Evaluation of sensitivity and pattern shape >

각 실시예 및 비교예에서 얻은 감광성 조성물을, 스피너를 이용해 유리 기판 상에 도포한 후, 도막을 100℃에서 120초간 건조시켜 막 두께 약 2.5 ㎛의 경화막이 형성되는 막 두께의 도막을 얻었다.The photosensitive composition obtained in each of the Examples and Comparative Examples was applied on a glass substrate using a spinner, and then the coated film was dried at 100 캜 for 120 seconds to obtain a coated film having a thickness of about 2.5 탆.

그 다음에, 노광 장치(탑콘 제, TME150RTO)를 이용하여, 도막에 대해서 직경 10 ㎛의 닷 패턴 형성용의 네가티브형 마스크를 통해서 노광을 실시했다.Subsequently, exposure was performed on the coating film through a negative type mask for dot pattern formation of 10 mu m in diameter using an exposure apparatus (TME150RTO, manufactured by TOPCON Co., Ltd.).

노광 후, 농도 0.05 질량%의 수산화칼륨의 수용액을 현상액으로서 이용하여, 25℃ 60초의 조건으로 스프레이 현상을 실시했다.After the exposure, a spraying phenomenon was carried out at 25 캜 for 60 seconds using an aqueous solution of potassium hydroxide at a concentration of 0.05% by mass as a developer.

현상 후의 노광된 도막을, 230℃에서 20분간의 조건으로 포스트베이크 하여 패턴화된 경화막을 얻었다.The exposed coated film after development was post-baked at 230 캜 for 20 minutes to obtain a patterned cured film.

형성된 닷 패턴의 패턴 벗겨짐과 단면 형상의 테이퍼 각을, 노광량을 바꾸어 확인했다. 패턴 형성할 수 있는 최저 노광량을 기재했다. 이 최저 노광량을, 감도(mJ/㎠)로 하여 표 2에 기재한다.The pattern peeling of the formed dot pattern and the taper angle of the cross-sectional shape were confirmed by changing the exposure amount. The minimum exposure amount capable of forming a pattern is described. This minimum exposure amount is shown in Table 2 as sensitivity (mJ / cm 2).

또, 감도와 동일한 노광량에서 형성된 패턴의 단면 형상을 현미경에 의해 관찰하고, 기판 표면과 패턴 단면이 이루는 각인 테이퍼 각을 측정했다.The cross-sectional shape of the pattern formed at the same exposure amount as the sensitivity was observed with a microscope, and the taper angle, which is the angle formed by the substrate surface and the pattern end face, was measured.

이하, 도 1(a) 및 도 1(b)를 참조하여 테이퍼 각에 대해 설명한다.Hereinafter, the taper angle will be described with reference to Figs. 1 (a) and 1 (b).

감광성 조성물을 사용하여 차광성의 패턴을 형성하는 경우, 도 1(a)에 나타내는 바와 같이, 상기 패턴의 폭방향의 단면인 단면(1)이, 아랫변(1a)의 폭보다도 윗변(1b)의 폭이 조금 좁은 사다리꼴 형상이 되는 것이 일반적으로 바람직하다. 이때, 패턴의 단면(1)이 기판(도시하지 않음)과의 사이에서 이루는 각 θ는 80°에 가까운 예각이 된다. When the light-shielding pattern is formed by using the photosensitive composition, as shown in Fig. 1 (a), the cross section 1, which is a cross section in the width direction of the pattern, is formed on the upper side 1b, It is generally preferable to have a trapezoidal shape with a narrow width. At this time, the angle [theta] formed by the cross section 1 of the pattern and the substrate (not shown) becomes an acute angle close to 80 [deg.].

그러나, 종래 알려진 감광성 조성물을 이용해 차광성의 패턴을 형성하는 경우, 전술한 각 θ이 과도하게 작거나, 도 1(b)에 나타내는 바와 같이 현상시에 패턴의 저부의 일부가 용해함에 따라 상기 패턴의 폭방향의 단면이 되는 단면(2)에서의 아랫변(2a)의 양단에 언더컷(21)을 일으키는 경우가 있다. 언더컷(21)이 생길 때, 패턴의 단면(2)이 기판(도시하지 않음)과의 사이에서 이루는 각 θ는 둔각이 된다.However, in the case where a light-shielding pattern is formed using a known photosensitive composition, when the above-mentioned angle? Is excessively small or as shown in FIG. 1 (b), as a part of the bottom of the pattern melts at the time of development, The undercuts 21 may be formed on both ends of the lower side 2a of the end face 2 in the width direction of the lower face 2a. When the undercut 21 is formed, the angle? Formed between the cross section 2 of the pattern and the substrate (not shown) becomes an obtuse angle.

차광성의 패턴에 언더컷이 생기면, 예를 들면, 이와 같은 패턴을 블랙 매트릭스로서 이용해 표시장치를 작성할 때에, 언더컷 부분에 잔류하는 기포에 의해서 화상 표시장치에서 화질의 저하가 생기는 경우가 있다.When an undercut occurs in the light shielding pattern, for example, when such a pattern is used as a black matrix, a bubble remaining in the undercut portion may cause a deterioration in image quality in the image display apparatus.

차광성의 패턴의 단면 형상에 관한 상기의 사정을 고려해, 측정된 테이퍼 각에 근거하여 패턴의 단면 형상을 이하의 기준에 따라서 판정했다.Taking into consideration the above-mentioned condition concerning the sectional shape of the light shielding pattern, the sectional shape of the pattern was judged according to the following criteria based on the measured taper angle.

패턴의 단면 형상(테이퍼 각)의 평가 결과를 표 2에 기재한다.Table 2 shows the evaluation results of the cross-sectional shape (taper angle) of the pattern.

×:20~30도×: 20 to 30 degrees

△:30~50도?: 30 to 50 degrees

○:50~65도○: 50 to 65 degrees

◎:65~80도 ◎: 65 to 80 degrees

Figure pat00065
Figure pat00065

표 2에 의하면, 광중합 개시제(A)로서 흡광 스펙트럼에 있어서, 320 ㎚ 이상 400 ㎚ 미만의 파장 영역에서 피크를 가지는 옥심에스테르 화합물을 2종 포함하고, 400 ㎚ 이상의 파장 영역 중 어느 하나의 파장에서 10 이상의 그램 흡광 계수를 나타내는 화합물을 광중합 개시제(A)로서 포함하지 않으며, 2종의 옥심에스테르 화합물에 대한 피크의 극대 파장이 각각 상이한 실시예의 감광성 조성물이면, 감광성 조성물이 락탐계 안료를 포함하고 있어도, 저노광량으로의 기판에 양호하게 밀착한 패턴의 형성과, 형성된 패턴의 바람직한 단면 형상을 양립할 수 있다는 것을 알 수 있다.As shown in Table 2, the photopolymerization initiator (A) contains two oxime ester compounds having a peak in the wavelength region of 320 nm or more and less than 400 nm in the light absorption spectrum, and 10 Or more of the compound represented by the formula (1) is not included as the photopolymerization initiator (A), and the peak wavelengths of the two oxime ester compounds are different from each other, even if the photosensitive composition contains a lactam- It can be seen that the formation of the pattern closely adhering well to the substrate at the low exposure dose and the favorable cross-sectional shape of the formed pattern can be achieved.

Claims (13)

광중합 개시제(A)와 착색제(C)를 포함하는 감광성 조성물로서,
흡광 스펙트럼에 있어서, 320 ㎚ 이상 400 ㎚ 미만의 파장 영역에서 피크를 가지는 옥심에스테르 화합물을 2종 이상 포함하고,
상기 광중합 개시제(A)가 400 ㎚ 이상의 파장 영역 중 어느 하나의 파장에서 10 이상의 그램 흡광 계수를 나타내는 화합물을 포함하지 않으며,
2종 이상의 상기 옥심에스테르 화합물에 대한 상기 피크의 극대 파장이 각각 상이하고,
상기 착색제(C)가 락탐 안료를 함유하는 감광성 조성물.
1. A photosensitive composition comprising a photopolymerization initiator (A) and a colorant (C)
In the absorption spectrum, two or more oxime ester compounds having a peak in a wavelength region of 320 nm or more and less than 400 nm are contained,
Wherein the photopolymerization initiator (A) does not contain a compound exhibiting a gravimetric extinction coefficient of 10 or more at any one wavelength in a wavelength region of 400 nm or more,
The maximum wavelengths of the peaks with respect to the two or more kinds of oxime ester compounds are different from each other,
Wherein the colorant (C) contains a lactam pigment.
청구항 1에 있어서,
2종 이상의 상기 옥심에스테르 화합물에 대한 상기 피크의 극대 파장 중, 가장 장파장측의 극대 파장을 λmax-r로 하고, 가장 단파장측의 극대 파장을 λmax-b로 하는 경우에, 상기 λmax-r와 상기 λmax-b의 차이가 20 ㎚ 이상인 감광성 조성물.
The method according to claim 1,
Of the maximum wavelength of the peak of the two or more of the oxime ester compounds, the maximum wavelength of the long wavelength side of the maximum wavelength λ max to-r, and the short wavelength side in the case of a λ max-b, wherein λ max- wherein the difference between r and the? max-b is 20 nm or more.
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 광중합 개시제(A)가 하기 식 (a1):
[화 1]
Figure pat00066

(식 (a1) 중, R1은 1가의 유기기이며, R2는 치환기를 가져도 되는 탄화수소기, 또는 치환기를 가져도 되는 헤테로시크릴기이며, R3은 1가의 유기기이며, R4는 1가의 유기기이며, R5 및 R6은 각각 독립적으로 치환기를 가져도 되는 벤젠환, 또는 치환기를 가져도 되는 나프탈렌환이며, m1, m2 및 m3은 각각 0 또는 1이다.)
로 표시되고, 하기 (1)~(3):
(1) R1이 -OR7로 표시되는 기를 포함하고, R7이 할로게노알킬기이다.
(2) m2가 1이며, R4가 -OR7로 표시되는 기를 포함하고, R7이 할로게노알킬기이다.
(3) R3이 치환기를 가져도 되는 분기쇄상 알킬기이다.
중 적어도 하나의 조건을 만족시키는 옥심에스테르 화합물(A1)과, 하기 식 (a2):
[화 2]
Figure pat00067

(식 (a2) 중, CR은 하기 식 (a2a) 또는 하기 식 (a2b):
[화 3]
Figure pat00068

로 표시되는 기이며, Ra1은 수소 원자, 니트로기 또는 1가의 유기기이며, Ra2 및 Ra3은 각각 치환기를 가져도 되는 쇄상 알킬기, 치환기를 가져도 되는 쇄상 알콕시기, 치환기를 가져도 되는 환상 유기기, 또는 수소 원자이며, Ra2와 Ra3은 서로 결합하여 환을 형성해도 되고, Ra4는 1가의 유기기이며, Ra5는 수소 원자, 치환기를 가져도 되는 탄소 원자수 1 이상 20 이하의 지방족 탄화수소기, 또는 치환기를 가져도 되는 아릴기이며, n1은 0 이상 4 이하의 정수이며, n2는 0 또는 1이다.)
로 표시되는 옥심에스테르 화합물(A2)을 포함하는 감광성 조성물.
The method according to claim 1 or 2,
Wherein the photopolymerization initiator (A) is represented by the following formula (a1):
However,
Figure pat00066

(In the formula (a1), R 1 is a monovalent organic group, R 2 is a hydrocarbon group which may have a substituent, or a heterocyclyl group which may have a substituent, R 3 is a monovalent organic group, and R 4 R 5 and R 6 are each independently a benzene ring which may have a substituent or a naphthalene ring which may have a substituent and m 1, m 2 and m 3 are each 0 or 1.)
(1) to (3):
(1) R 1 includes a group represented by -OR 7 , and R 7 is a halogenoalkyl group.
(2) m2 is 1, R 4 comprises a group represented by -OR 7 , and R 7 is a halogenoalkyl group.
(3) R 3 is a branched chain alkyl group which may have a substituent.
(A1) satisfying at least one of the following conditions: (a2) an oxime ester compound
[Figure 2]
Figure pat00067

(In the formula (a2), CR represents a group represented by the following formula (a2a) or the following formula (a2b):
[Figure 3]
Figure pat00068

, R a1 is a hydrogen atom, a nitro group or a monovalent organic group, R a2 and R a3 each represent a straight chain alkyl group which may have a substituent, a straight chain alkoxy group which may have a substituent, Or a hydrogen atom, R a2 and R a3 may combine with each other to form a ring, R a4 is a monovalent organic group, and R a5 represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms which may have a substituent An aliphatic hydrocarbon group or an aryl group which may have a substituent, n1 is an integer of 0 or more and 4 or less, and n2 is 0 or 1.)
(A2) represented by the following general formula (1).
청구항 3에 있어서,
상기 식 (a2)에 있어서, 상기 CR가 상기 식 (a2a)로 표시되는 기인 감광성 조성물.
The method of claim 3,
Wherein in the formula (a2), the CR is a group represented by the formula (a2a).
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
중합성 기재 성분(B)을 포함하고, 중합성 기재 성분(B)이 광중합성 화합물(B1), 또는 광중합성 화합물(B1)과 수지(B2)를 포함하는 감광성 조성물.
The method according to claim 1 or 2,
A photosensitive composition comprising a polymerizable base component (B), wherein the polymerizable base component (B) comprises a photopolymerizable compound (B1) or a photopolymerizable compound (B1) and a resin (B2).
청구항 1 또는 청구항 2에 기재된 감광성 조성물을 이용해 도막을 형성하는 것과,
상기 도막에 대해서, 노광하는 것
을 포함하는 경화물 형성 방법.
A method for forming a coating film using the photosensitive composition according to claim 1 or 2,
As for the coating film,
≪ / RTI >
청구항 6에 있어서,
상기 도막에 대해서 위치 선택적으로 노광이 수행되고,
노광된 도막을 현상하는 것을 포함하는 경화물 형성 방법.
The method of claim 6,
The exposure is performed in a position-selective manner with respect to the coating film,
And developing the exposed coating film.
청구항 1 또는 청구항 2에 기재된 감광성 조성물의 경화물.A cured product of the photosensitive composition according to claim 1 or 2. 청구항 8에 기재된 경화물을 포함하는, 블랙 매트릭스 또는 블랙 컬럼 스페이서.A black matrix or black column spacer comprising the cured product of claim 8. 청구항 9에 기재된 블랙 매트릭스 또는 블랙 컬럼 스페이서를 구비하는 화상 표시장치용 패널.A panel for an image display apparatus comprising the black matrix or black column spacer according to claim 9. 청구항 10에 기재된 화상 표시장치용 패널을 구비하는 화상 표시장치.An image display apparatus comprising the panel for an image display apparatus according to claim 10. 청구항 1 또는 청구항 2에 기재된 감광성 조성물을 포함하는 감광성 접착제.A photosensitive adhesive comprising the photosensitive composition according to claim 1 or 2. 피접착면을 접착하는 방법으로서,
대향하는 피접착면의 한쪽 또는 양쪽에 청구항 12에 기재된 감광성 접착제로 이루어진 접착제층을 형성하는 것과,
상기 접착제층을 노광에 의해 경화시키는 것을 포함하는 방법.
As a method for bonding an adherend surface,
Forming an adhesive layer made of the photosensitive adhesive according to claim 12 on one or both sides of the opposite surface to be adhered,
And curing the adhesive layer by exposure.
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