KR20190018037A - Photosensitive resin laminate roll - Google Patents

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Abstract

롤을 풀 때에 감광성 수지 적층체 롤 단면으로부터 간단하게 이물질을 제거할 수 있는 감광성 수지 적층체 롤을 제공한다. 이 감광성 수지 적층체 롤은, 감광성 수지 적층체가 권심에 롤상으로 권취되어 있고, 롤 단면 보호 부재가, 권취된 감광성 수지 적층체의 단면에 접촉하도록 배치된 감광성 수지 적층체 롤로서, 롤 단면 보호 부재는, 롤 단면과 접촉하는 측에 점착제 조성물을 가지고 있고, 감광성 수지 적층체는, 적어도 지지층과, 지지층에 적층되는 감광성 수지층을 포함한다.Provided is a photosensitive resin laminate roll capable of simply removing foreign matters from a cross section of a photosensitive resin laminate roll when releasing the roll. This photosensitive resin laminated body roll is a photosensitive resin laminated body roll in which a laminated photosensitive resin layer is wound in a roll on a core and the roll end face protective member is disposed so as to come into contact with the end face of the wound photosensitive resin laminate, Comprises a pressure-sensitive adhesive composition on the side in contact with the roll section, and the photosensitive resin laminate includes at least a support layer and a photosensitive resin layer laminated on the support layer.

Description

감광성 수지 적층체 롤{PHOTOSENSITIVE RESIN LAMINATE ROLL}[0001] PHOTOSENSITIVE RESIN LAMINATE ROLL [0002]

본 발명은, 감광성 수지 적층체 롤에 관한 것이다.The present invention relates to a photosensitive resin laminate roll.

종래, 감광성 엘리먼트의 곤포로서는 몇 가지의 양태가 개시되어 있다. 예를 들어 롤 단면을 보호하기 위해서 단면 보호 부재가 배치된 곤포가 개시되어 있다 (특허문헌 1).BACKGROUND ART [0002] Conventionally, several aspects are disclosed as a packing of a photosensitive element. For example, there is disclosed a wrapping in which a cross-sectional protective member is disposed to protect a roll cross section (Patent Document 1).

일본 공개특허공보 2005-41537호Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2005-41537

본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 롤을 풀 때에 감광성 수지 적층체 롤 단면으로부터 간단하게 이물질을 제거할 수 있는 감광성 수지 적층체 롤을 제공하는 것이다.A problem to be solved by the present invention is to provide a photosensitive resin laminate roll which can easily remove foreign matter from the end face of a roll of a photosensitive resin laminate when a roll is unwound.

상기 과제는, 본 발명의 이하의 구성에 의해 해결할 수 있다. 즉, 본 발명은 이하와 같다 : The above problem can be solved by the following constitution of the present invention. That is, the present invention is as follows:

[1][One]

감광성 수지 적층체가 권심에 롤상으로 권취되어 있고, The photosensitive resin laminate is wound in a rolled form on the core,

롤 단면 보호 부재가, 권취된 감광성 수지 적층체의 단면에 접촉하도록 배치된 감광성 수지 적층체 롤로서, A roll of a photosensitive resin laminated body in which a roll section protecting member is arranged so as to come into contact with an end face of a wound photosensitive resin laminate,

상기 롤 단면 보호 부재는, 롤 단면과 접촉하는 측에 점착제 조성물을 가지고 있고, Wherein the roll section protection member has a pressure-sensitive adhesive composition on a side in contact with the roll section,

상기 감광성 수지 적층체는, 적어도 지지층과, 당해 지지층에 적층되는 감광성 수지층을 포함하는, 감광성 수지 적층체 롤.Wherein the photosensitive resin laminate comprises at least a support layer and a photosensitive resin layer laminated on the support layer.

[2][2]

차광 시트에 의해 덮이는 것을 특징으로 하는[1]에 기재된 감광성 수지 적층체 롤.A photosensitive resin laminated body roll according to [1], characterized in that it is covered with a light-shielding sheet.

[3][3]

상기 차광 시트가 통형상인 것을 특징으로 하는[2]에 기재된 감광성 수지 적층체 롤.The photosensitive resin laminated body roll according to [2], wherein the light-shielding sheet is cylindrical.

[4][4]

상기 권심의 길이가 상기 감광성 수지 적층체의 폭보다 길고, The length of the winding core is longer than the width of the photosensitive resin laminate,

상기 롤 단면 보호 부재는 롤상으로 권취된 감광성 수지 적층체의 단면에 구비되는 링상 시트이며, 당해 링상 시트가 상기 권심의 돌출부를 삽입 통과하여 구비되는 [1] ~ [3] 중 어느 한 항에 기재된 감광성 수지 적층체 롤.The roll-side protection member is a ring-shaped sheet provided on an end face of a photosensitive resin laminate wound in a roll form, and the ring-shaped sheet is inserted into the projection of the winding core through the insertion hole. Photosensitive resin laminate roll.

[5][5]

상기 링상 시트의 내경이 권심의 외경의 1 ∼ 1.1 배인 것을 특징으로 하는[4]에 기재된 감광성 수지 적층체 롤.The photosensitive resin laminated body roll according to [4], wherein the inner diameter of the ring-shaped sheet is 1 to 1.1 times the outer diameter of the winding core.

[6][6]

수평으로 돌출된 평판 상에, 상기 링상 시트를 그 반이 공중에 존재하도록 설치하고, 상기 링상 시트의 공중에 존재하는 부분에 있어서 평판으로부터 가장 떨어진 상기 링상 시트의 선단과, 평판의 상기 링상 시트와 접촉하고 있는 측의 면의 거리를 절곡 거리 H (mm) 로 하고, 상기 링상 시트의 외경의 반을 R (mm) 로 했을 때, H/R 이 0.06 ∼ 0.59 인 것을 특징으로 하는,[4]또는[5]에 기재된 감광성 수지 적층체 롤.Wherein the ring-shaped sheet is provided so as to be in the air in a state of being projected horizontally, and the tip end of the ring-shaped sheet which is farthest from the flat plate in a portion in the air of the ring- (4), wherein the ratio of H / R is 0.06 to 0.59, wherein a distance between the contacting surface and the contacting surface is defined as a bending distance H (mm), and a half of the outer diameter of the ring- Or the photosensitive resin laminate roll described in [5].

[7][7]

상기 단면 보호 부재와 저밀도 폴리에틸렌 필름의 접착력이, 5 gf/inch ∼ 250 gf/inch 인 것을 특징으로 하는,[1]∼[6]중 어느 한 항에 기재된 감광성 수지 적층체 롤.The photosensitive resin laminated body roll according to any one of [1] to [6], wherein the adhesive strength between the cross-sectional protective member and the low-density polyethylene film is from 5 gf / inch to 250 gf / inch.

[8][8]

상기 롤 단면 보호 부재의 기재가, 무발진지, 저발진지, 합성지, 또는 종이와 수지 기재를 첩합(貼合)하여 이루어지는 것인 것을 특징으로 하는[1]∼[7]중 어느 한 항에 기재된 감광성 수지 적층체 롤.The photosensitive member according to any one of [1] to [7], which is characterized in that the substrate of the rolled section protection member is a non-fogged, low fogged, synthetic paper, Resin laminate roll.

[9][9]

상기 감광성 수지층이, 카르복실기를 함유하는 알칼리 가용성 고분자, 부가 중합성 모노머, 광 중합 개시제를 함유하는 감광성 수지 조성물로 이루어지는 층인 것을 특징으로 하는[1]∼[8]중 어느 한 항에 기재된 감광성 수지 적층체 롤.The photosensitive resin according to any one of [1] to [8], wherein the photosensitive resin layer is a layer comprising a photosensitive resin composition containing an alkali-soluble polymer containing a carboxyl group, an addition polymerizable monomer, Laminate roll.

[10][10]

상기 카르복실기를 함유하는 알칼리 가용성 고분자가, 스티렌 또는 그 유도체를 공중합한 것인 것을 특징으로 하는[9]에 기재된 감광성 수지 적층체 롤.The photosensitive resin laminated body roll according to [9], wherein the alkali-soluble polymer containing a carboxyl group is a copolymer of styrene or a derivative thereof.

[11][11]

상기 부가 중합성 모노머가, 비스페놀 A 계 (메트)아크릴레이트 화합물을 함유하는 것을 특징으로 하는[9]또는[10]에 기재된 감광성 수지 적층체 롤.The photosensitive resin laminated body roll according to [9] or [10], wherein the addition polymerizable monomer contains a bisphenol A (meth) acrylate compound.

[12][12]

상기 광 중합 개시제가, 헥사아릴비이미다졸 또는 그 유도체를 함유하는 것을 특징으로 하는[9]∼[11]중 어느 한 항에 기재된 감광성 수지 적층체 롤.The photosensitive resin laminated body roll according to any one of [9] to [11], wherein the photopolymerization initiator is a hexaaryl biimidazole or a derivative thereof.

[13][13]

상기 점착제 조성물이, 아크릴계 수지를 함유하는 것을 특징으로 하는[1]∼ [12]중 어느 한 항에 기재된 감광성 수지 적층체 롤.The photosensitive resin laminated body roll according to any one of [1] to [12], wherein the pressure-sensitive adhesive composition comprises an acrylic resin.

[14][14]

상기 점착제 조성물이, 점착제와 입자를 함유하고, 그 입자의 50 질량% 이상은, 그 점착제 조성물의 도포 두께의 80 ∼ 120 % 의 직경을 갖는 것이며, 또한 그 입자의 함유량은, 점착제 100 중량부에 대해 5 중량부 내지 30 중량부인 것을 특징으로 하는[1]∼[13]중 어느 한 항에 기재된 감광성 수지 적층체 롤.Wherein the pressure-sensitive adhesive composition contains a pressure-sensitive adhesive and particles, wherein at least 50 mass% of the particles have a diameter of 80 to 120% of a thickness of the pressure-sensitive adhesive composition applied, and the content of the particles is 100 parts by mass The photosensitive resin laminated body roll according to any one of [1] to [13], wherein the photosensitive resin layer is in the range of 5 to 30 parts by weight.

[15][15]

감광성 수지 적층체를 권심에 롤상으로 권취하고, 롤 단면 보호 부재를, 권취된 감광성 수지 적층체의 단면에 접촉하도록 구비하는 감광성 수지 적층체 롤의 제조 방법으로서, A process for producing a photosensitive resin laminate roll in which a photosensitive resin laminate is wound in a roll in a winding manner and the roll end face protection member is brought into contact with the end face of the wound photosensitive resin laminate,

당해 권심의 길이가 당해 감광성 수지 적층체의 폭보다 길고, The length of the winding is longer than the width of the photosensitive resin laminate,

당해 감광성 수지 적층체는, 적어도 지지층과, 당해 지지층에 적층되는 감광성 수지층을 포함하고, The photosensitive resin laminate includes at least a support layer and a photosensitive resin layer laminated on the support layer,

당해 롤 단면 보호 부재는,The rolled section protection member,

롤 단면과 접촉하는 측에 점착제 조성물을 가지고 있고, And a pressure-sensitive adhesive composition on the side in contact with the roll section,

롤상으로 권취된 감광성 수지 적층체의 단면에 일체 또는 복수의 부분으로 분할된 상태로 구비되고, 롤상으로 권취된 감광성 수지 적층체의 단면에 구비된 후는 내경이 권심의 외경의 1 ∼ 1.1 배의 링상 시트인 것을 특징으로 하는, The photosensitive resin laminate wound in a rolled state is provided in a state in which it is divided into one or a plurality of parts, and after the photosensitive resin laminate is wound on the roll, the inner diameter of the photosensitive resin laminate is 1 to 1.1 times Characterized in that it is a ring-shaped sheet,

감광성 수지 적층체 롤의 제조 방법.A method for producing a photosensitive resin laminate roll.

[16][16]

상기 링상 시트의 내경이 상기 권심의 외경의 1.001 ∼ 1.1 배이며, 상기 권심의 돌출부를 삽입 통과하여 구비되어 있는 것을 특징으로 하는,[15]에 기재된 감광성 수지 적층체 롤의 제조 방법.The method of producing a photosensitive resin laminated body roll according to [15], wherein the ring-shaped sheet has an inner diameter of 1.001 to 1.1 times as large as the outer diameter of the winding core, and is inserted through the projection of the winding core.

[17][17]

수평으로 돌출된 평판 상에, 상기 링상 시트를 그 반이 공중에 존재하도록 설치하고, 상기 링상 시트의 공중에 존재하는 부분에 있어서 평판으로부터 가장 떨어진 상기 링상 시트의 선단과, 평판의 상기 링상 시트와 접촉하고 있는 측의 면의 거리를 절곡 거리 H (mm) 로 하고, 상기 링상 시트의 외경의 반을 R (mm) 로 했을 때, H/R 이 0.06 ∼ 0.59 인 것을 특징으로 하는,[15]또는[16]에 기재된 감광성 수지 적층체 롤의 제조 방법.Wherein the ring-shaped sheet is provided so as to be in the air in a state of being projected horizontally, and the tip end of the ring-shaped sheet which is farthest from the flat plate in a portion in the air of the ring- (15), wherein H / R is 0.06 to 0.59, where B (mm) is the bending distance of the contacting side, and R Or the photosensitive resin laminate roll according to [16].

[18][18]

상기 링상 시트와 저밀도 폴리에틸렌 필름의 접착력이, 5 gf/inch ∼ 250 gf/inch 인 것을 특징으로 하는,[15]∼[17]중 어느 한 항에 기재된 감광성 수지 적층체 롤의 제조 방법.The process for producing a photosensitive resin laminated body roll according to any one of [15] to [17], wherein the adhesion between the ring-shaped sheet and the low-density polyethylene film is from 5 gf / inch to 250 gf / inch.

[19][19]

[15]∼[18]중 어느 한 항에 기재된 방법으로 감광성 수지 적층체 롤을 제조하고, 또한 통형상의 차광 시트에 의해 덮는 것을 특징으로 하는 감광성 수지 적층체 롤의 곤포 방법.A method for packing a photosensitive resin laminate roll, characterized in that a photosensitive resin laminate roll is produced by the method according to any one of [15] to [18] and further covered with a tubular light shielding sheet.

[20][20]

필름이 권심에 롤상으로 권취되어 있는 필름 롤용의 링상 시트로서, 1. A ring-shaped sheet for a film roll in which a film is wound in a roll-

상기 권심의 길이는, 상기 필름의 폭보다 길고, The length of the winding core is longer than the width of the film,

상기 링상 시트의 내경이 권심의 외경의 1 ∼ 1.1 배이며, 또한 The inner diameter of the ring-shaped sheet is 1 to 1.1 times the outer diameter of the core, and

상기 링상 시트는, 상기 권취된 필름의 단면에 접촉하고, 이 단면과 접촉하는 측에 점착제 조성물을 가지고 있고, 상기 권심의 돌출부를 삽입 통과하여 필름 롤에 구비되는, Wherein the ring-shaped sheet has a pressure-sensitive adhesive composition on a side contacting the end face of the wound film and in contact with the end face, wherein the pressure-

링상 시트.Ring top sheet.

[21][21]

상기 필름은, 감광성 수지 적층체인[20]에 기재된 링상 시트.The above-mentioned film is a ring-shaped sheet described in [20], which is a laminate of photosensitive resin.

[22][22]

수평으로 돌출된 평판 상에, 상기 링상 시트를 그 반이 공중에 존재하도록 설치하고, 상기 링상 시트의 공중에 존재하는 부분에 있어서 평판으로부터 가장 떨어진 상기 링상 시트의 선단과, 평판의 상기 링상 시트와 접촉하고 있는 측의 면의 거리를 절곡 거리 H (mm) 로 하고, 상기 링상 시트의 외경의 반을 R (mm) 로 했을 때, H/R 이 0.06 ∼ 0.59 인 것을 특징으로 하는,[20]또는[21]에 기재된 링상 시트.Wherein the ring-shaped sheet is provided so as to be in the air in a state of being projected horizontally, and the tip end of the ring-shaped sheet which is farthest from the flat plate in a portion in the air of the ring- (20), wherein H / R is from 0.06 to 0.59, where B (mm) is the bending distance between the contacting surface and R (mm) Or the ring-shaped sheet according to [21].

[23][23]

저밀도 폴리에틸렌 필름과의 접착력이, 5 gf/inch ∼ 250 gf/inch 인 것을 특징으로 하는,[20]∼[22]중 어느 한 항에 기재된 링상 시트.The ring-shaped sheet according to any one of [20] to [22], wherein the adhesive strength to the low-density polyethylene film is from 5 gf / inch to 250 gf / inch.

[24][24]

무발진지, 저발진지, 또는 종이와 수지 기재를 첩합하여 이루어지는 것인 기재를 갖는 것을 특징으로 하는,[20]∼[23]중 어느 한 항에 기재된 링상 시트.The ring-shaped sheet according to any one of the items [20] to [23], characterized by having a base material which is made of a nonwoven fabric, a low density paper or a laminate of paper and a resin base material.

[25][25]

상기 감광성 수지층이, 카르복실기를 함유하는 알칼리 가용성 고분자, 부가 중합성 모노머, 광 중합 개시제를 함유하는 감광성 수지 조성물로 이루어지는 층인 것을 특징으로 하는, 제 21 항 내지 제 24 항 중 어느 한 항에 기재된 링상 시트.The photosensitive resin composition according to any one of claims 21 to 24, characterized in that the photosensitive resin layer is a layer comprising a photosensitive resin composition containing an alkali-soluble polymer containing a carboxyl group, an addition polymerizable monomer and a photopolymerization initiator Sheet.

[26][26]

상기 카르복실기를 함유하는 알칼리 가용성 고분자가, 스티렌 또는 그 유도체를 공중합한 것인 것을 특징으로 하는,[25]에 기재된 링상 시트.The ring-shaped sheet according to [25], wherein the alkali-soluble polymer containing a carboxyl group is a copolymer of styrene or a derivative thereof.

[27][27]

상기 부가 중합성 모노머가, 비스페놀 A 계 (메트)아크릴레이트 화합물을 함유하는 것을 특징으로 하는,[25]또는[26]에 기재된 링상 시트.The ring-shaped sheet according to [25] or [26], wherein the addition polymerizable monomer contains a bisphenol A (meth) acrylate compound.

[28][28]

상기 광 중합 개시제가, 헥사아릴비이미다졸 또는 그 유도체를 함유하는 것을 특징으로 하는,[25]∼[27]중 어느 한 항에 기재된 링상 시트.The ring-shaped sheet according to any one of [25] to [27], wherein the photopolymerization initiator comprises hexaaryl biimidazole or a derivative thereof.

[29][29]

상기 점착제 조성물이, 아크릴계 수지를 함유하는 것을 특징으로 하는,[20] ∼[28]중 어느 한 항에 기재된 링상 시트.The ring-shaped sheet according to any one of [20] to [28], wherein the pressure-sensitive adhesive composition comprises an acrylic resin.

[30][30]

상기 점착제 조성물이, 점착제와 입자를 함유하고, 그 입자의 50 질량% 이상은, 그 점착제 조성물의 도포 두께의 80 ∼ 120 % 의 직경을 갖는 것이며, 또한 그 입자의 함유량은, 점착제 100 중량부에 대해 5 중량부 내지 30 중량부인 것을 특징으로 하는,[20]∼[29]중 어느 한 항에 기재된 링상 시트.Wherein the pressure-sensitive adhesive composition contains a pressure-sensitive adhesive and particles, wherein at least 50 mass% of the particles have a diameter of 80 to 120% of a thickness of the pressure-sensitive adhesive composition applied, and the content of the particles is 100 parts by mass The ring-shaped sheet according to any one of the items [20] to [29], wherein the weight ratio is 5 parts by weight to 30 parts by weight.

[31][31]

차광 시트에 의해 덮인,[20]∼[30]에 기재된 링상 시트를 구비한 필름 롤.A film roll comprising a ring-shaped sheet according to any one of [20] to [30], which is covered with a light-shielding sheet.

본 발명의 감광성 수지 적층체 롤을 사용하면, 롤을 풀 때에 감광성 수지 적층체 롤 단면으로부터 간단하게 이물질을 제거할 수 있다.By using the photosensitive resin laminate roll of the present invention, it is possible to easily remove foreign matter from the end face of the photosensitive resin laminate roll when releasing the roll.

도 1 은, 감광성 수지 적층체가 권심에 롤상으로 권취되어 있고, 롤 단면 보호 부재가, 권취된 감광성 수지 적층체의 단면에 접촉하도록 배치되어 있는 감광성 수지 적층체 롤의 일 양태의 개략도이다.
도 2 는, 절곡 거리 H 와, 링상 시트의 외경의 반 R 을 나타내는 도면이다.
도 3 은, 통형상의 차광 시트에 의해 덮여 있는 감광성 수지 적층체 롤의 일 양태의 개략도를 나타낸다.
BRIEF DESCRIPTION OF DRAWINGS FIG. 1 is a schematic view of an embodiment of a photosensitive resin laminate roll in which a photosensitive resin laminate is wound in a roll on a core, and a roll-end protection member is disposed so as to contact the end face of the wound photosensitive resin laminate.
2 is a view showing the folding distance H and half R of the outer diameter of the ring-shaped sheet.
Fig. 3 shows a schematic view of an embodiment of a photosensitive resin laminate roll covered with a tubular light-shielding sheet.

이하, 본 발명을 실시하기 위한 최량의 형태 (이하, 「실시형태」 라고 약기한다.) 에 대해 상세하게 설명한다. 또한, 본 발명은, 이하의 실시형태로 한정되는 것이 아니고, 그 요지의 범위 내에서 여러 가지 변형하여 실시할 수 있다.BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, the best mode for carrying out the present invention (hereinafter abbreviated as "an embodiment") will be described in detail. The present invention is not limited to the following embodiments, and various modifications may be made within the scope of the present invention.

감광성 수지 적층체 롤은, 장척상 (띠형상) 의 감광성 수지 적층체가 그 길이 방향으로 권심에 권취되어 있고, 롤 단면 보호 부재가, 권취된 감광성 수지 적층체의 단면 (상기 띠형상의 감광성 수지 적층체의 폭방향 단부측) 에 접촉하도록 배치된 감광성 수지 적층체 롤이다.In the photosensitive resin laminate roll, a laminate of photosensitive resin laminate in the form of a long belt (strip-shaped) is wound around the core in the longitudinal direction thereof, and the roll end protection member is wound around the end face of the wound photosensitive resin laminate Side end side of the sieve) of the photosensitive resin laminated body roll.

도 1 은, 이와 같은 감광성 수지 적층체 롤 (10) 의 일 양태의 개략도를 나타내고 있다. 여기서는, 감광성 수지 적층체 (1) 는, 지지층 (4), 당해 지지층에 적층되는 감광성 수지층 (5), 및 수의(隨意)의 보호층 (6) 을 포함하고, 이 적층체 (1) 가 권심 (2) 에 권취되어 있다. 그리고, 이 권취된 감광성 수지 적층체의 양방의 단면에 접촉하여 롤 단면 보호 부재 (3) 가 배치되어 있다. 여기서는, 롤 단면 보호 부재 (3) 는, 링상 시트로서 나타내고 있다.Fig. 1 shows a schematic view of an embodiment of such a photosensitive resin laminate roll 10. As shown in Fig. Here, the photosensitive resin laminate 1 includes a support layer 4, a photosensitive resin layer 5 laminated on the support layer, and a protective layer 6 of water, Is wound on the core (2). Then, the roll end surface protection member 3 is disposed in contact with both end faces of the wound photosensitive resin laminate. Here, the roll section protection member 3 is shown as a ring-shaped sheet.

(감광성 수지 적층체)(Photosensitive resin laminate)

감광성 수지 적층체는, 적어도 지지층과, 당해 지지층 상에 적층되는 감광성 수지층을 포함하고, 바람직하게는 추가로, 감광성 수지층 상에 적층되는 보호층을 포함한다. 드라이 필름 레지스트, 드라이 필름 포토레지스트로 불리는 감광성 필름도 감광성 수지 적층체에 포함된다.The photosensitive resin laminate includes at least a support layer and a photosensitive resin layer laminated on the support layer, and preferably further includes a protective layer laminated on the photosensitive resin layer. A photosensitive film called a dry film resist or a dry film photoresist is also included in the photosensitive resin laminate.

지지층은, 감광성 수지층을 지지하는 것이면 된다. 사용되는 지지층으로서는, 노광 광원으로부터 방사되는 광을 투과하는 투명한 것이 바람직하다. 이와 같은 지지층으로서는, 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름, 폴리비닐알코올 필름, 폴리염화비닐 필름, 염화비닐 공중합체 필름, 폴리염화비닐리덴 필름, 염화비닐리덴 공중합 필름, 폴리메타크릴산메틸 공중합체 필름, 폴리스티렌 필름, 폴리아크릴로니트릴 필름, 스티렌 공중합체 필름, 폴리아미드 필름, 셀룰로오스 유도체 필름 등을 들 수 있다. 이들의 필름은, 필요에 따라 연신된 것도 사용 가능하다. 해상도의 관점에서 헤이즈치가 5 이하의 필름이 바람직하다. 헤이즈치 3 이하가 보다 바람직하고, 헤이즈치 2.5 이하가 더욱 바람직하고, 헤이즈치 1 이하가 보다 더 바람직하다. 지지층의 두께는, 얇은 것이 화상 형성성 및 경제성의 면에서 유리하지만, 감광성 수지 조성물층의 도공 시의 열수축을 유지할 필요 등에서, 10 ∼ 30 ㎛ 의 것이 바람직하게 사용된다. 예를 들어, 테이진 듀퐁 필름 (주) 제조 GR19, GR16, 미츠비시 수지 (주) 제조 R310-16, R340G16, 토오레 폴리에스테르 필름 (주) 제조 FB40 (16 ㎛ 막두께), FB60 (16 ㎛ 막두께) 등을 들 수 있다.The supporting layer may be one which supports the photosensitive resin layer. As the supporting layer to be used, it is preferable that the support layer is transparent to transmit light emitted from the exposure light source. Examples of the support layer include a polyethylene terephthalate film, a polyvinyl alcohol film, a polyvinyl chloride film, a vinyl chloride copolymer film, a polyvinylidene chloride film, a vinylidene chloride copolymer film, a polymethyl methacrylate copolymer film, a polystyrene film, A polyacrylonitrile film, a styrene copolymer film, a polyamide film, and a cellulose derivative film. These films may be stretched if necessary. From the viewpoint of resolution, a film having a haze value of 5 or less is preferable. A haze value of 3 or less is more preferable, a haze value of 2.5 or less is more preferable, and a haze value of 1 or less is even more preferable. Although the thickness of the support layer is advantageous from the viewpoints of image forming property and economical efficiency, the thickness of the support layer is preferably 10 to 30 占 퐉 in view of maintaining heat shrinkage upon coating the photosensitive resin composition layer. For example, GR19 and GR16 manufactured by Teijin DuPont Film Co., Ltd., R310-16 and R340G16 manufactured by Mitsubishi Plastics, FB40 (16 탆 film thickness) manufactured by Toray Polyester Film Co., Thickness).

보호층은, 감광성 수지층과의 밀착력에 대해, 지지층보다 보호층이 충분히 작기 때문에 용이하게 박리할 수 있다. 예를 들어, 폴리에틸렌 필름, 및 폴리프로필렌 필름, 연신 폴리프로필렌 필름 등을 보호층으로서 바람직하게 사용할 수 있다. 또, 일본 공개특허공보 소59-202457호에 개시되어 있는 박리성이 우수한 필름을 사용할 수 있다. 보호층의 막두께는 10 ∼ 100 ㎛ 가 바람직하고, 10 ∼ 50 ㎛ 가 보다 바람직하다. 예를 들어, 타마폴리 (주) 제조 GF-18, GF-818, GF-858 등을 들 수 있다.The protective layer can be easily peeled off because the protective layer is sufficiently smaller than the support layer in adhesion to the photosensitive resin layer. For example, a polyethylene film, a polypropylene film, a stretched polypropylene film and the like can be preferably used as a protective layer. In addition, a film having excellent peelability disclosed in JP-A-59-202457 can be used. The thickness of the protective layer is preferably 10 to 100 mu m, more preferably 10 to 50 mu m. For example, GF-18, GF-818, and GF-858 manufactured by Tama Polyol Co., Ltd. can be mentioned.

감광성 수지층은, 감광성 수지 조성물을 지지층에 도포, 건조시켜 적층할 수 있다. 감광성 수지층의 두께는, 바람직하게는, 5 ∼ 100 ㎛ 이며, 보다 바람직한 상한은 50 ㎛ 이다. 감광성 수지층의 두께가 5 ㎛ 에 가까워질수록, 해상도는 향상되고, 100 ㎛ 에 가까워질수록, 막 강도가 향상되므로, 용도에 따라 적절히 선택할 수 있다.The photosensitive resin layer can be laminated by applying a photosensitive resin composition to a support layer and drying the solution. The thickness of the photosensitive resin layer is preferably 5 to 100 占 퐉, and more preferably 50 占 퐉. The closer the thickness of the photosensitive resin layer is to 5 mu m, the higher the resolution, and the closer to 100 mu m the film strength is, the better it can be selected depending on the application.

감광성 수지 적층체를 제조하는 방법으로서는, 종래 알려져 있는 방법을 채용할 수 있다. 예를 들어, 감광성 수지층에 사용하는 감광성 수지 조성물을, 용제와 혼합하여 감광성 수지 조성물 조합액으로서 준비해 두고, 지지층에 바 코터 또는 롤 코터를 사용하여 도포하여 건조시키고, 지지층 상에 그 감광성 수지 조성물로 이루어지는 감광성 수지층을 적층한다. 감광성 수지 조성물 조합액은 25 ℃ 에서 500 ∼ 4000 mPa·초가 되도록 용제를 첨가하여 조합하는 것이 바람직하다. 용제에는, 메틸에틸케톤, 아세톤, 에탄올, 메탄올, 프로판올, 프로필렌글리콜모노메틸에테르, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 톨루엔, 등을 감광성 수지 조성물 조합액 점도, 건조성, 잔존 용매량, 도공성, 발포성의 관점에서 적절히 선택하여 사용할 수 있다. 이어서, 그 감광성 수지층 상에 보호층을 적층함으로써 감광성 수지 적층체를 제작할 수 있다.As a method for producing the photosensitive resin laminate, a conventionally known method can be employed. For example, a photosensitive resin composition used for a photosensitive resin layer is mixed with a solvent to prepare a photosensitive resin composition combination solution. The base resin composition is applied to the support layer using a bar coater or a roll coater, followed by drying. Is laminated on the photosensitive resin layer. It is preferable that the photosensitive resin composition combination liquid is added at a temperature of 25 ° C to 500 to 4000 mPa · s by adding a solvent. Examples of the solvent include solvents such as methyl ethyl ketone, acetone, ethanol, methanol, propanol, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate and toluene in combination with a photosensitive resin composition in terms of viscosity, drying composition, residual solvent amount, And the like. Then, a photosensitive resin laminate can be prepared by laminating a protective layer on the photosensitive resin layer.

감광성 수지 적층체는 장척상으로 권심에 권취되어 롤상으로 되어 사용된다. 감는 길이는, 특별히 한정되지 않지만, 롤의 중량과 취급의 용이함의 관점에서 320 m 이하가 바람직하다. 1 개의 감광성 수지 적층체 롤로 라미네이트할 수 있는 기재가 많으면 효율이 좋기 때문에, 생산성의 관점에서 감는 길이는 100 m 이상이 바람직하다.The photosensitive resin laminate is rolled up into a long winding shape and used as a roll. The winding length is not particularly limited, but is preferably 320 m or less in view of the weight of the roll and ease of handling. Since a large number of substrates that can be laminated with a single photosensitive resin laminate roll are more efficient, the winding length from the viewpoint of productivity is preferably 100 m or more.

(권심)(Reverence)

권심은, 코어라고도 불리는 경우가 있다. 그 형상은 특별히 한정되지 않지만, 원통상이거나, 원주상이어도 된다. 감광성 수지 적층체는 에칭 또는 도금 레지스트, 나아가서는 영구 패턴으로서 전자 재료에 사용되기 때문에, 발진하지 않는 처리가 실시된 것이 바람직하고, 플라스틱 수지제가 바람직하다. 플라스틱 수지의 소재는, 가볍고, 강도가 우수하고, 발진하지 않는 것이 바람직하다. 폴리프로필렌 (PP) 수지, 아크릴로니트릴부타디엔스티렌 (ABS) 수지, 나일론 수지, 폴리염화비닐 수지 등이 사용 가능하고, ABS 수지가 바람직하다. 권심의 직경은 특별히 한정되지 않지만, 감광성 수지 적층체 롤이 라미네이터에 장착되는 경우에, 장치에 장착되도록, 바람직하게는 2 ∼ 5 인치, 보다 바람직하게는 3 인치의 직경이다. 권심의 길이 (원통상, 또는 원주상의 권심을 사용하는 경우에는 그 축방향 길이) 는, 감광성 수지 적층체의 폭과 대비하여 동일하거나, 혹은 짧아도 되지만, 감광성 수지 적층체를 권취했을 때에 양측에 적당한 돌출부를 확보할 수 있도록, 감광성 수지 적층체의 폭보다 큰 길이인 것이 바람직하다. 이 돌출부에 삽입 통과하도록 링상 시트가 장착되기 때문에 바람직하다. 또 이 돌출부에 코어 홀더라고 불리는 베어링을 끼워 맞추고, 감광성 수지 적층체 롤이 이동하지 않도록, 공중에 매달린 상태로 보관할 수도 있다.Sometimes called core, also called core. The shape thereof is not particularly limited, but may be cylindrical or circular. Since the photosensitive resin laminate is used as an etching or plating resist, and further as a permanent pattern for an electronic material, it is preferable that a process not oscillating is performed, and a plastic resin is preferable. The material of the plastic resin is preferably light, excellent in strength, and does not oscillate. Polypropylene (PP) resin, acrylonitrile butadiene styrene (ABS) resin, nylon resin, polyvinyl chloride resin and the like can be used, and ABS resin is preferable. The diameter of the winding core is not particularly limited, but is preferably 2 to 5 inches, and more preferably 3 inches in diameter when the photosensitive resin laminate roll is mounted on the laminator. The length of the winding core (the length in the axial direction when the cylindrical or circumferential winding core is used) may be the same or shorter than the width of the photosensitive resin laminate. However, when the photosensitive resin laminate is wound, It is preferable that the length is larger than the width of the photosensitive resin laminate so as to secure a suitable protrusion. So that the ring-shaped sheet is inserted so as to be inserted into the projecting portion. Also, a bearing called a core holder may be fitted to the protruding portion, and the photosensitive resin laminate roll may be kept hanging in the air so that the roll does not move.

(롤 단면 보호 부재)(Roll section protection member)

롤 단면 보호 부재는, 권취된 감광성 수지 적층체의 단면에 접촉하도록 배치된다. 그 형상으로서는 특별히 한정되지 않고, 일정한 면적으로 단면에 접촉하여 롤 단면의 적어도 일부를 피복 보호하는 것이면 지장이 없지만, 그 중에서도, 권취된 감광성 수지 적층체의 단면에 접촉하도록 권심의 돌출부를 삽입 통과하여 배치되는 링상 시트인 것이 바람직하다. 또한, 감광성 수지 적층체 롤의 단면의 거의 전체를 실질적으로 덮을 수 있는 크기의 폭을 가진 링상인 것이 바람직하다. 롤 단면 보호 부재는, 권취된 감광성 수지 적층체의 일단에만 사용해도 되지만, 바람직하게는 양단에 사용한다.The roll section protection member is arranged to contact the end face of the wound photosensitive resin laminate. The shape is not particularly limited and may be any shape as long as it covers at least a part of the end surface of the roll in contact with the end surface in a predetermined area. However, among them, the projecting portion of the winding is inserted into contact with the end surface of the wound photosensitive resin laminate It is preferable that the sheet is a ring-shaped sheet. Further, it is preferable that the photosensitive resin laminate roll is a ring phase having a width enough to substantially cover substantially the entire cross section of the roll of the photosensitive resin laminate. The roll section protection member may be used only at one end of the wound photosensitive resin laminate, but is preferably used at both ends.

롤 단면 보호 부재가 링상 시트인 경우에, 그 링 내경은, 권심에 삽입 통과하여 사용할 수 있도록, 권심의 외경보다 약간 큰 것이 바람직하다. 또, 링상 시트의 중심과 권심의 중심이 약간 어긋남으로써, 링상 시트의 외주가 롤상으로 권취된 감광성 수지 적층체의 외주로부터 약간 비어져 나온다. 이것에 의해 링상 시트의 떼어내기가 용이해지는 점에서 권심의 외경보다 약간 큰 것이 바람직하다. 구체적으로는, 링 내경은 권심의 외경의 1.001 배 이상이 장착 시에 권심에의 들러붙음이 없어 바람직하다. 보다 바람직하게는 1.005 배 이상이며, 더욱 바람직하게는 1.01 배 이상이다. 롤 단면 전체를 보호하고, 이물질을 제거하는 관점에서, 링 내경은 권심의 외경의 1.1 배 이하가 바람직하고, 보다 바람직하게는 1.05 배 이하이며, 더욱 바람직하게는 1.03 배 이하이다.When the roll section protecting member is a ring-shaped sheet, its ring inner diameter is preferably slightly larger than the outer diameter of the winding core so that it can be inserted into the winding core and used. Further, the center of the ring-shaped sheet slightly deviates from the center of the winding core, so that the outer periphery of the ring-shaped sheet comes out slightly from the outer periphery of the wound photosensitive resin laminate. It is preferable that the outer diameter of the ring-shaped sheet is slightly larger than the outer diameter of the ring-shaped ring in view of facilitating the removal of the ring-shaped sheet. Concretely, the ring inner diameter is preferably 1.001 times or more of the outer diameter of the core, because it does not adhere to the core at the time of installation. More preferably 1.005 times or more, and further preferably 1.01 times or more. From the viewpoint of protecting the entire roll cross section and removing foreign matter, the ring inner diameter is preferably 1.1 times or less, more preferably 1.05 times or less, more preferably 1.03 times or less of the outer diameter of the winding core.

링 외경은, 감광성 수지 적층체 롤의 단면을 덮을 수 있도록, 롤상으로 권취된 감광성 수지 적층체의 외경의 0.99 배 이상이 바람직하고, 1 배 이상이 보다 바람직하다. 또, 감광성 수지 적층체 롤을 덮는 차광성의 원통상 튜브 등의 곤포재에의 부착을 억제하는 관점에서, 링 외경은 감광성 수지 적층체 롤의 외경의 1.1 배 이하가 바람직하고, 보다 바람직하게는 1.05 배 이하이며, 더욱 바람직하게는 1.03 배 이하이다.The ring outer diameter is preferably 0.99 times or more, more preferably 1 time or more, of the outer diameter of the photosensitive resin laminate wound in the roll so as to cover the end face of the photosensitive resin laminate roll. The outer diameter of the ring is preferably 1.1 times or less the outer diameter of the photosensitive resin laminate roll from the viewpoint of suppressing the adhesion to the wrapping material such as the light-shielding cylindrical tube covering the photosensitive resin laminate roll, 1.05 times or less, and more preferably 1.03 times or less.

롤 단면 보호 부재의 기재는, 폴리에스테르, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리페닐렌설파이드, 폴리프로필렌, 나일론, 각각 무연신, 연신, 2 축 연신한 것, 그리고, 저밀도 폴리에틸렌, 고밀도 폴리에틸렌, 경질 폴리염화비닐, 연질 폴리염화비닐, 셀로판, 아세테이트, 셀룰로오스트리아세테이트, 폴리스티렌, 폴리카보네이트, 폴리이미드, 등의 플라스틱 수지, 그리고, 발진 방지 처리된 종이, 발진 방지 처리된 상질지, 크린 페이퍼, 그리고, 종이와 상기 플라스틱 수지를 첩합한 것, 합성지 등을 들 수 있다. 감광성 수지 적층체는, 에칭 또는 도금 레지스트, 나아가서는 영구 패턴으로서 전자 재료에 사용되기 때문에, 발진하지 않는 처리가 실시된 것이 바람직하다. 정전기의 발생이 적고, 단면으로의 추종성이 양호하고 이물질 제거성이 우수하고 또한 장착성도 우수하다는 관점에서, 기재는 발진 방지 처리된 종이, 발진 방지 처리된 상질지, 크린 페이퍼, 그리고, 종이와 상기 플라스틱 수지를 첩합한 것, 합성지가 소재로서 바람직하다. 합성지는 폴리프로필렌을 주원료로 하고 있는 것이 바람직하다.The base material of the roll section protection member may be any one of a polyester, a polyethylene terephthalate, a polyphenylene sulfide, a polypropylene, and a nylon which are each made of an unoriented, stretched or biaxially stretched film and a low density polyethylene, a high density polyethylene, a hard polyvinyl chloride, Plastic resins such as soft polyvinyl chloride, cellophane, acetate, cellulose triacetate, polystyrene, polycarbonate, polyimide and the like, antistatic-treated paper, anti-vibration treated surface paper, clean paper, Resins, synthetic paper, and the like. Since the photosensitive resin laminate is used as an etching or plating resist, and further as a permanent pattern for an electronic material, it is preferable that a process not oscillating is performed. From the viewpoint of less generation of static electricity, good followability to the cross section, excellent removability of foreign matters, and excellent mounting property, the base material is preferably a paper having an anti-vibration treatment, an anti-vibration treated top paper, a clean paper, Synthetic resin, and synthetic resin are preferably used as the material. It is preferable that the synthetic paper mainly contains polypropylene.

기재가 발진 방지 처리된 종이, 발진 방지 처리된 상질지, 크린 페이퍼, 그리고, 종이와 상기 플라스틱 수지를 첩합한 것인 경우, 기재의 두께는 50 ∼ 500 ㎛ 가 바람직하다. 장착성의 관점에서 50 ㎛ 이상이 바람직하고, 단면으로의 추종성, 이물질 제거성의 관점에서 500 ㎛ 이하가 바람직하다. 보다 바람직하게는 60 ∼ 200 ㎛, 더욱 바람직하게는 60 ∼ 150 ㎛ 이다.In the case where the base material is an anti-vibration treated paper, an anti-vibration treated top paper, a clean paper, and a paper and a plastic resin are laminated, the thickness of the base material is preferably 50 to 500 μm. From the viewpoint of mountability, 50 mu m or more is preferable, and from the viewpoint of cross-sectional trackability and removability of foreign matter, 500 mu m or less is preferable. More preferably 60 to 200 占 퐉, and still more preferably 60 to 150 占 퐉.

롤 단면 보호 부재는, 이형성, 방오성의 관점에서 표면이 엠보스 가공되어 있어도 된다. 롤 단면 보호 부재는, 감광성 수지 적층체 롤의 단면과 접촉하는 측에 점착제 조성물을 갖는다. 롤 단면 보호 부재는, 평면에서 보아 원형상의 링상 시트인 것이 바람직하다.The surface protection member may be embossed from the viewpoints of releasability and antifouling property. The roll section protection member has a pressure-sensitive adhesive composition on the side in contact with the cross section of the photosensitive resin laminate roll. It is preferable that the roll section protection member is a circular ring sheet in plan view.

상기 링상 시트는, 수평으로 돌출된 평판 상에, 상기 링상 시트를 그 반이 공중에 존재하도록 설치하고, 상기 링상 시트의 공중에 존재하는 부분에 있어서 평판으로부터 가장 떨어진 상기 링상 시트의 선단과, 평판의 상기 링상 시트와 접촉하고 있는 측의 면의 거리를 절곡 거리 H (mm) 로 하고, 상기 링상 시트의 외경의 반을 R (mm) 로 했을 때, H/R 이 0.06 ∼ 0.59 인 것이 바람직하다. 링상 시트의 롤 단면 장착성의 관점에서 0.59 이하가 바람직하다. 보다 바람직하게는, 0.5 이하이며, 더욱 바람직하게는 0.45 이하이다. 롤 단면으로의 추종성과 이물질 제거성의 관점에서 0.06 이상이 바람직하다. 보다 바람직하게는 0.1 이상, 더욱 바람직하게는 0.15 이상이다.Wherein said ring-shaped sheet is provided on a horizontally protruding flat plate so that said ring-shaped sheet is halfway in the air, and a tip end of said ring-shaped sheet which is farthest from said flat plate in a portion existing in the air of said ring- H / R is preferably in the range of 0.06 to 0.59 when the bending distance H (mm) is a distance between the surface of the ring-shaped sheet contacting the ring-shaped sheet and R (mm) . From the viewpoint of the roll section mounting property of the ring-shaped sheet, it is preferably 0.59 or less. More preferably, it is 0.5 or less, and more preferably 0.45 or less. It is preferably 0.06 or more from the viewpoint of trackability to the cross-section of the roll and removability of foreign matter. More preferably 0.1 or more, and even more preferably 0.15 or more.

절곡 거리 H 의 측정 방법은 이하와 같다. 먼저, 도 2 에 나타내는 바와 같이 실질적으로 수평 방향 (연직 방향과 직행하는 방향) 으로 돌출한 실질적인 평판 (7) 상에 링상 시트 (3) 를 설치한다. 이 때 점착제를 구비한 면을 상향으로 하여 평판 (7) 에 첩부되지 않도록 한다. 링상 시트 (3) 의 반이 공중에 존재하도록, 즉, 평판의 단부에 존재하는 실질적으로 직선상의 단변 상에 링상 시트 (3) 의 중심이 오도록, 링상 시트를 고정시킨다. 고정할 때는, 도 2 에 나타내는 바와 같은 고정 부재 (8) 로 고정해도 된다. 이 때, 링상 시트 (3) 가 중력 이외의 영향을 받아, 휘거나 절곡되거나 하지 않도록 한다. 링상 시트의 공중에 존재하는 부분 (단부에서 비어져 나와 있는 부분) 에서, 평판의 단변으로부터 가장 떨어진 링상 시트의 선단과, 평판의 링상 시트와 접하는 면이 형성하는 가상면의 연직 방향 거리를 L 자형 자로 측정한다. 측정 장소는 시즈오카현 후지시로 한다.The method of measuring the bending distance H is as follows. First, as shown in Fig. 2, a ring-shaped sheet 3 is provided on a substantially flat plate 7 projecting in a substantially horizontal direction (direction perpendicular to the vertical direction). At this time, the surface provided with the adhesive is directed upward so as not to be attached to the flat plate (7). The ring-shaped sheet is fixed so that half of the ring-shaped sheet 3 is in the air, that is, the center of the ring-shaped sheet 3 is on the substantially straight short side existing at the end of the flat plate. When fixed, it may be fixed with a fixing member 8 as shown in Fig. At this time, the ring-shaped seat 3 is affected by factors other than gravity, so that it is not bent or bent. The distance in the vertical direction between the tip end of the ring-shaped sheet most distant from the short side of the flat plate and the imaginary plane formed by the surface in contact with the ring-shaped sheet of flat plate in the air- . The measurement site shall be Fuji-shi, Shizuoka.

(점착제 조성물)(Pressure-sensitive adhesive composition)

점착제 조성물은, 롤 단면 보호 부재를 박리했을 때에 감광성 수지 필름 단면에 풀잔여물이 없고, 롤 단면 보호 부재를 박리했을 때에 롤 단면 보호 부재에 감광성 수지의 부착이 없도록 공지된 점착제 조성물을 선택하여 사용할 수 있다.The pressure-sensitive adhesive composition is prepared by using a known pressure-sensitive adhesive composition so that there is no residue on the end face of the photosensitive resin film when the roll-end protection member is peeled off and the photosensitive resin is not adhered to the roll- .

그 중에서도, 이물질 제거성과 이형성의 관점에서 아크릴계 수지를 함유하는 것이 바람직하다. 감광성 수지 조성물이, 카르복실기를 함유하는 알칼리 가용성 고분자, 부가 중합성 모노머, 광 중합 개시제를 함유하는 감광성 수지 조성물이며, 점착제 조성물이 아크릴계 수지를 함유하는 경우, 이물질 제거성과 이형성을 고도로 양립할 수 있는 관점에서 더욱 바람직하다.Among them, it is preferable to contain an acrylic resin from the viewpoints of foreign matter removal and releasability. When the photosensitive resin composition is a photosensitive resin composition containing a carboxyl group-containing alkali-soluble polymer, an addition polymerizable monomer, and a photopolymerization initiator, and the pressure-sensitive adhesive composition contains an acrylic resin, a viewpoint capable of highly removing both foreign matter and releasability .

점착제 조성물은, 입자를 함유하는 것이 바람직하고, 그 입자의 50 질량% 이상은, 그 점착제 조성물의 도포 두께의 80 ∼ 120 % 의 직경을 갖는 것이며, 또한 그 입자의 함유량은, 점착제 100 중량부에 대해 5 중량부 내지 30 중량부인 것이 바람직하다. 또한, 입자의 직경은 현미경 관찰에 의해, 임의의 100 개의 입자에 대해 그 최대 직경을 관찰하고, 그 평균치로서 산출했다.The pressure-sensitive adhesive composition preferably contains particles, wherein 50% by mass or more of the particles have a diameter of 80 to 120% of the coating thickness of the pressure-sensitive adhesive composition and the content of the particles is 100 parts by mass Is preferably 5 parts by weight to 30 parts by weight. The diameter of the particles was observed by microscopic observation, and the maximum diameter of any 100 particles was observed and calculated as an average value thereof.

입자의 직경은, 이형성의 관점에서 80 % 이상이 바람직하고, 120 % 이하가 점착성의 관점에서 바람직하다. 90 ∼ 110 % 가 보다 바람직하고, 100 % 가 더욱 바람직하다.The diameter of the particles is preferably 80% or more from the viewpoint of releasability, and 120% or less is preferable from the viewpoint of adhesiveness. , More preferably 90 to 110%, further preferably 100%.

입자는 통상적으로, 단일의 입도인 것은 이론적으로 가능해도, 실제로는 입수 곤란한 경우가 많다. 가능한 한 입도 분포가 좁은, 즉 샤프한 입도 곡선을 갖는 것이 바람직하다.The particles usually have a single particle size, which is theoretically possible, but is often difficult to obtain in practice. It is preferable that the particle size distribution is as narrow as possible, that is, it has a sharp particle size curve.

점착제 전체량의 50 질량% 이상은 그 점착제의 도포 두께의 80 ∼ 120 % 의 직경인 것이 바람직하다. 이형성과 점착성의 밸런스의 관점에서 70 질량% 이상이 보다 바람직하고, 80 질량% 이상이 더욱 바람직하다.It is preferable that 50 mass% or more of the total amount of the pressure-sensitive adhesive is a diameter of 80 to 120% of the thickness of the pressure-sensitive adhesive. More preferably 70% by mass or more, and more preferably 80% by mass or more from the viewpoint of the balance between releasability and tackiness.

입자의 함유량은, 점착제 100 중량부에 대해 5 중량부 내지 30 중량부가 바람직하다. 첩부한 경우에 공기 기포의 빠짐성의 관점에서 5 중량부 이상이 바람직하고, 접착성의 관점에서 30 이하가 바람직하다. 10 중량부 내지 25 중량부가 보다 바람직하다. 입자의 재질이 유리의 경우 15 ∼ 30 중량부가 바람직하고, 플라스틱제에서는 5 ∼ 25 중량부가 바람직하다.The content of the particles is preferably 5 parts by weight to 30 parts by weight per 100 parts by weight of the pressure-sensitive adhesive. In the case of pasting, 5 parts by weight or more is preferable from the viewpoint of the dropping of air bubbles, and 30 or less is preferable from the viewpoint of adhesiveness. More preferably 10 parts by weight to 25 parts by weight. The material of the particles is preferably 15 to 30 parts by weight in the case of glass and 5 to 25 parts by weight in the case of plastic.

입자의 재질은, 플라스틱, 무기재가 바람직하다. 플라스틱으로서는, 폴리메타크릴레이트계, 폴리에틸렌메타크릴레이트계, 폴리스티렌계, 폴리스티렌아크릴계, 폴리에틸렌계, 폴리프로필렌계, 폴리스티렌부타디엔계, 폴리스티렌디비닐벤젠계, 폴리우레탄계, 폴리벤조구아나민계, 멜라민계를 들 수 있다. 무기재로서는, 유리, 실리카 (규산염 광물), 탄산칼슘을 들 수 있다.The material of the particle is preferably plastic or inorganic material. Examples of the plastics include polymethacrylate, polyethylene methacrylate, polystyrene, polystyrene acrylic, polyethylene, polypropylene, polystyrene butadiene, polystyrene divinylbenzene, polyurethane, polybenzoguanamine, . Examples of the inorganic material include glass, silica (silicate mineral), and calcium carbonate.

점착제의 접착력은, 조성물 전체의 연화 온도를 내리는 것이나 수지 성분의 극성을 올림으로써, 향상시킬 수 있다.The adhesive force of the pressure-sensitive adhesive can be improved by lowering the softening temperature of the entire composition or increasing the polarity of the resin component.

단면 보호 부재와 저밀도 폴리에틸렌 필름의 접착력으로서는, 이물질 제거성과 장착성의 관점에서, 바람직하게는 5 gf/inch ∼ 250 gf/inch 이며, 보다 바람직하게는 50 gf/inch ∼ 240 gf/inch 이다.The adhesion strength between the cross-sectional protective member and the low-density polyethylene film is preferably 5 gf / inch to 250 gf / inch, more preferably 50 gf / inch to 240 gf / inch from the viewpoint of foreign matter removal and mountability.

또한, 당해 접착력은, 다음과 같이 하여 측정된다. 즉, 단면 보호 부재의 점착제 조성물의 층이 형성되어 있는 면에 저밀도 폴리에틸렌 필름 (LDPE) 시트를 핸드 롤러로 첩부한다. 저밀도 폴리에틸렌 필름은 타마폴리 주식회사 제조 GF-858 을 사용한다. 폭 1 inch, 길이 15 cm 의 단책상으로 커트하고, 상대 습도 50 %, 섭씨 23 도에서 11 시간 습도 조절한다. 주식회사 오리엔테크 제조 텐실론 RTM-500, 로드 셀 1 kg, 인장 속도 100 mm/min 으로 인장 시험한다. 이 때, 샘플의 단면 보호 부재를 텐실론의 하부에서 척 (고정) 하고, 저밀도 폴리에틸렌 필름을 인장부에서 척 (고정) 하여, 인장 시험한다. 인장 시험 중, 신장 10 mm 내지 50 mm 의 구간에서 하중의 적분 평균을 취하여, 시험 횟수 2 회의 평균을 취하고, 이것을 접착성의 값으로 한다.The adhesive force is measured in the following manner. That is, the low-density polyethylene film (LDPE) sheet is affixed to the surface of the cross-sectional protective member on which the layer of the pressure-sensitive adhesive composition is formed with a hand roller. As the low-density polyethylene film, GF-858 manufactured by Tama Poly Co., Ltd. is used. It is cut into 1 inch wide and 15 cm long desk, and humidity is adjusted at relative humidity 50% and 23 degrees Celsius for 11 hours. A tensile test is carried out at a tensile speed of 100 mm / min. At a load cell of 1 kg, Tensilon RTM-500 manufactured by ORIENTECH CORPORATION. At this time, the sample's cross-sectional protective member is chucked (fixed) at the bottom of the tensilon, and the low-density polyethylene film is chucked (fixed) at the tensile portion. In the tensile test, an integral average of the load is taken in a section of 10 mm to 50 mm in height, and an average of the number of times of the test is taken as an adhesive value.

(감광성 수지 적층체 롤의 제조 방법)(Method for producing photosensitive resin laminate roll)

감광성 수지 적층체 롤은, 이물질의 부착과 수송 시의 감광을 억제하는 관점에서 차광 시트로 덮는 것이 바람직하다. 차광 시트는 차광성 필름이라고 부를 수도 있다. 차광 시트는, 그것을 감광성 수지 적층체 롤에 감도록 하여 덮을 수 있다. 도 3 에 나타내는 바와 같이, 차광 시트 (9) 가 통형상인 경우, 감광성 수지 롤 (1) 을 통 내에 삽입함으로써 덮을 수 있으므로 바람직하다. 또한 통의 길이가 감광성 수지 적층체 롤 (1) 의 권심 (2) 보다 긴 경우, 도 3 에 나타내는 바와 같이, 권심 (2) 보다 긴 부분을 권심 내부에 끼워넣음으로써, 이물질의 부착과 감광을 더욱 억제할 수 있기 때문에 바람직하다.The photosensitive resin laminate roll is preferably covered with a light-shielding sheet from the viewpoint of suppressing light sensitivity during adhering and transportation of foreign matters. The light-shielding sheet may be called a light-shielding film. The light-shielding sheet can be covered by winding it on the photosensitive resin laminate roll. As shown in Fig. 3, in the case where the light shielding sheet 9 is cylindrical, it is preferable that the light shielding sheet 9 can be covered by inserting the photosensitive resin roll 1 in the cylinder. 3, when the length of the barrel is longer than that of the winding 2 of the photosensitive resin laminate roll 1, the portion longer than the winding core 2 is fitted into the inside of the winding core, It is preferable because it can further suppress.

차광 시트는, 감광성 수지 적층체 롤을 예를 들어 경량의 낙하물과의 접촉이나 곤포 용기와의 경미한 접촉으로부터 보호할 수 있다는 관점에서 폴리에틸렌제가 바람직하다. 막두께는 적당한 강도를 유지하고, 핀홀을 억제하는 관점에서 10 ㎛ 이상이 바람직하고, 취급성의 관점에서 300 ㎛ 이하가 바람직하다. 보다 바람직하게는 20 ∼ 200 ㎛, 더욱 바람직하게는 30 ∼ 130 ㎛ 이다. 차광성을 높이기 위해 흑색이 바람직하다.The light-shielding sheet is preferably a polyethylene material from the viewpoint that the photosensitive resin laminate roll can be protected from, for example, contact with a lightweight drop or a slight contact with a packaging container. The film thickness is preferably 10 占 퐉 or more from the viewpoint of maintaining an appropriate strength and suppressing pinholes, and is preferably 300 占 퐉 or less from the viewpoint of handling. More preferably 20 to 200 占 퐉, and still more preferably 30 to 130 占 퐉. Black is preferable for increasing the light shielding property.

감광성 수지 적층체 롤은, 상기 권심과 끼워 맞추는 볼록부가 형성된 코어 홀더라고 불리는 1 쌍의 부재에 의해 공중에 매달아 고정시키는 것이 바람직하다. 공중에 매달아 고정시킴으로써, 수송 시에 감광성 수지 적층체가 곤포 용기의 바닥면 벽면과 접촉하는 것을 방지할 수 있다. 코어 홀더로서는, 예를 들어 일본 공개특허공보 2004-42952 및 일본 공개특허공보 2003-89477 에 기재된 것을 들 수 있다.It is preferable that the photosensitive resin laminate roll is suspended and fixed in the air by a pair of members called core holders formed with convex portions to be fitted with the cores. It is possible to prevent the photosensitive resin laminate from contacting with the bottom wall surface of the packaging container during transportation. Examples of the core holder include those described in JP-A-2004-42952 and JP-A-2003-89477.

차광 시트로 감광성 수지 적층체 롤을 덮는 경우, 차광 시트의 권심보다 긴 부분을 권심 내에 끼워넣고, 그 끼워넣은 부분을 사이에 두도록 하여 추가로 코어 홀더를 장착하면, 이물질의 부착과 감광을 억제할 수 있기 때문에 바람직하다.When the photosensitive resin laminate roll is covered with the light-shielding sheet, if the core holder is further mounted with the longer portion of the light-shielding sheet inserted into the core than the core of the light-shielding sheet with the sandwiched portion interposed therebetween, It is preferable.

(감광성 수지 조성물)(Photosensitive resin composition)

감광성 수지 조성물은, (a) 카르복실기를 함유하는 알칼리 가용성 고분자, (b) 부가 중합성 모노머, (c) 광 중합 개시제를 함유하는 것이 바람직하다.The photosensitive resin composition preferably contains (a) an alkali-soluble polymer containing a carboxyl group, (b) an addition polymerizable monomer, and (c) a photopolymerization initiator.

링상 시트를 롤 단면으로부터 박리할 때에, 롤 단면의 풀잔여물이 적고, 링상 시트에의 감광성 수지 조성물의 부착도 적어지는 관점에서, 감광성 수지 조성물이 상기 (a) ∼ (c) 를 포함하는 것이 바람직하다.From the viewpoint that when the ring-shaped sheet is peeled off from the roll section, the amount of the residue remaining on the roll surface is small and the adhesion of the photosensitive resin composition to the ring-shaped sheet is also reduced, it is preferable that the photosensitive resin composition includes (a) desirable.

(a) 카르복실기를 함유하는 알칼리 가용성 고분자(a) an alkali-soluble polymer containing a carboxyl group

(a) 카르복실기를 함유하는 알칼리 가용성 고분자는, α,β-불포화 카르복실기 함유 단량체를 중합 성분으로 하고 있고, 알칼리 가용성 고분자의 산 당량이 100 ∼ 600, 또한, 중량 평균 분자량이 5,000 ∼ 500,000 인 것이 바람직하다. 카르복실기를 함유하는 알칼리 가용성 고분자 중의 카르복실기는, 감광성 수지 조성물이 알칼리 수용액으로 이루어지는 현상액 또는 박리액에 대해, 현상성 또는 박리성을 갖기 때문에 필요하다. 산 당량이란, 그 중에 1 당량의 카르복실기를 갖는 알칼리 가용성 고분자의 질량을 말한다. 산 당량의 보다 바람직한 하한은 250 이며, 또 보다 바람직한 상한은 450 이다. (a) 카르복실기를 함유하는 알칼리 가용성 고분자의 산 당량은, 현상 내성이 향상되고, 해상도 및 밀착성이 향상되는 점, 또한 용매 또는 감광성 수지 조성물 중의 다른 성분, 특히 후술하는 (b) 부가 중합성 모노머와의 상용성을 확보한다는 관점에서 100 이상이 바람직하고, 현상성 및 박리성이 향상되는 점에서 600 이하가 바람직하다. 산 당량의 측정은, 히라누마 산업 (주) 제조 히라누마 자동 적정 장치 (COM-555) 를 사용하여, 0.1 mol/ℓ 의 수산화나트륨을 사용하여 전위차 적정법에 의해 실시된다.The alkali-soluble polymer (a) containing a carboxyl group preferably contains an α, β-unsaturated carboxyl group-containing monomer as a polymerization component, preferably has an acid equivalent weight of 100 to 600 and a weight average molecular weight of 5,000 to 500,000 Do. The carboxyl group in the alkali-soluble polymer containing a carboxyl group is necessary because the photosensitive resin composition has developability or peelability with respect to a developer or release agent comprising an aqueous alkaline solution. The acid equivalent means the mass of an alkali-soluble polymer having one equivalent of carboxyl groups therein. A more preferable lower limit of the acid equivalent is 250, and a more preferable upper limit is 450. The acid equivalent of the alkali-soluble polymer containing a carboxyl group (a) is preferably from 0.01 to 10 parts by weight, more preferably from 0.01 to 10 parts by weight, more preferably from 0.1 to 50 parts by weight, Is preferably 100 or more from the viewpoint of ensuring the compatibility of the photosensitive resin composition of the present invention and is preferably 600 or less in that development and releasability are improved. The measurement of the acid equivalent was carried out by potentiometric titration using 0.1 mol / l sodium hydroxide by using a Hirunuma automatic titrator (COM-555) manufactured by Hiranuma Industrial Co., Ltd.

(a) 카르복실기를 함유하는 알칼리 가용성 고분자의 중량 평균 분자량은, 5,000 ∼ 500,000 이 바람직하다. 중량 평균 분자량은, 감광성 수지 적층체의 두께를 균일하게 유지하여 현상액에 대한 내성을 얻는다는 관점, 또한 에지 퓨즈가 억제되는 점에서 5,000 이상이 바람직하고, 또, 현상성을 유지한다는 관점에서 500,000 이하가 바람직하다. 에지 퓨즈란, 감광성 수지 적층체를 롤상으로 권취한 경우에 롤 단면으로부터 감광성 수지 조성물이 스며나오는 현상이다. 스며나온 감광성 수지 조성물은 롤 상태로 지지층 보호층을 개재하여 이웃하는 다른 층의 감광성 수지층으로부터 스며나온 감광성 수지 조성물과 유착되는 경우가 있다. 유착된 감광성 수지 조성물은, 즉 에지 퓨즈한 감광성 수지 조성물은, 롤상의 감광성 수지 적층체를 풀어 라미네이트할 때에 단면으로부터 박리하여 레지스트 칩이 되어 비산하는 경우가 있다. 레지스트 칩이 라미네이트 후의 기판에 부착되면, 그것이, 다음에 노광용의 마스크에 부착되고, 노광되어 경화되고, 네거티브 레지스트의 경우에는 노광을 차단하여, 패턴의 결손이 된다.The weight average molecular weight of the alkali-soluble polymer containing a carboxyl group (a) is preferably 5,000 to 500,000. The weight average molecular weight is preferably not less than 5,000 from the standpoint of maintaining the thickness of the photosensitive resin laminate uniformly to obtain resistance to a developing solution and also from the point that the edge fuse is suppressed, . The edge fuse is a phenomenon in which the photosensitive resin composition exudes from the end face of the roll when the photosensitive resin laminate is wound in a roll form. The light-sensitive resin composition that has permeated may adhere to the photosensitive resin composition exuded from the photosensitive resin layer of another adjacent layer through the support layer protective layer in the roll state. When the laminated photosensitive resin laminate of the roll-like photosensitive resin composition is laminated, the laminated photosensitive resin composition, that is, the edge-fused photosensitive resin composition, may peel off from the end face to scatter as a resist chip. When a resist chip is attached to a substrate after lamination, it is attached to a mask for exposure, exposed and cured, and in the case of a negative resist, exposure is cut off, resulting in a pattern defect.

보다 바람직하게는, (a) 카르복실기를 함유하는 알칼리 가용성 고분자의 중량 평균 분자량의 하한은, 20,000 이며, (a) 카르복실기를 함유하는 알칼리 가용성 고분자의 중량 평균 분자량의 상한은 250,000 이다. 본 명세서에 있어서의 중량 평균 분자량이란, 겔 퍼미에이션 크로마토그래피 (GPC) 에 의해 폴리스티렌 (쇼와전공 (주) 제조 Shodex STANDARD SM-105) 의 검량선을 사용하여 측정한 중량 평균 분자량을 의미한다.More preferably, (a) the lower limit of the weight average molecular weight of the alkali-soluble polymer containing a carboxyl group is 20,000, and (a) the upper limit of the weight average molecular weight of the alkali- soluble polymer containing a carboxyl group is 250,000. The weight average molecular weight in the present specification means the weight average molecular weight measured by gel permeation chromatography (GPC) using a calibration curve of polystyrene (Shodex STANDARD SM-105 manufactured by Showa Denko K.K.).

(a) 카르복실기를 함유하는 알칼리 가용성 고분자의 중량 평균 분자량은, 닛폰 분광 (주) 제조 겔 퍼미에이션 크로마토그래피를 사용하여, 이하의 조건으로 측정할 수 있다 : The weight-average molecular weight of the alkali-soluble polymer containing a carboxyl group (a) can be measured using gel permeation chromatography, manufactured by Nippon Bunko K. K. under the following conditions:

시차 굴절률계 : RI-1530 Differential refractometer: RI-1530

펌프 : PU-1580 Pump: PU-1580

디개서 : DG-980-50D: DG-980-50

칼럼 오븐 : CO-1560Column oven: CO-1560

칼럼 : 차례로 KF-8025, KF-806M×2, KF-807Column: KF-8025, KF-806Mx2, KF-807

용리액 : THF.Eluent: THF.

(a) 카르복실기를 함유하는 알칼리 가용성 고분자는, 후술하는 제 1 또는 제 2 단량체에서 선택된 1 종 이상의 단량체를 성분으로서 함유하는 (공) 중합체인 것이 바람직하다.(a) the alkali-soluble polymer containing a carboxyl group is preferably a (co) polymer containing as a component at least one monomer selected from the first or second monomer to be described later.

제 1 단량체는, 분자 중에 중합성 불포화기를 1 개 갖는 카르복실산 또는 산무수물이다. 예를 들어, (메트)아크릴산, 푸마르산, 계피산, 크로톤산, 이타콘산, 말레산 무수물, 말레산반에스테르를 들 수 있다. 그 중에서도, 특히 (메트)아크릴산이 바람직하다.The first monomer is a carboxylic acid or an acid anhydride having one polymerizable unsaturated group in the molecule. Examples thereof include (meth) acrylic acid, fumaric acid, cinnamic acid, crotonic acid, itaconic acid, maleic anhydride and maleic acid ester. Among them, (meth) acrylic acid is particularly preferable.

제 2 단량체는, 비산성이며, 또한 분자 중에 중합성 불포화기를 적어도 1 개 갖는 단량체이다. 예를 들어, 메틸(메트)아크릴레이트, 에틸(메트)아크릴레이트, n-프로필(메트)아크릴레이트, 이소프로필(메트)아크릴레이트, n-부틸(메트)아크릴레이트, 이소부틸(메트)아크릴레이트, tert-부틸(메트)아크릴레이트, 2-하이드록시에틸(메트)아크릴레이트, 2-하이드록시프로필(메트)아크릴레이트, 시클로헥실(메트)아크릴레이트, 2-에틸헥실(메트)아크릴레이트, 벤질(메트)아크릴레이트, 아세트산비닐 등의 비닐알코올의 에스테르류, (메트)아크릴로니트릴, 스티렌, 및 중합 가능한 스티렌 유도체를 들 수 있다. 그 중에서도, 메틸(메트)아크릴레이트, n-부틸(메트)아크릴레이트, 스티렌, 및 벤질(메트)아크릴레이트가 바람직하고, 해상도의 관점에서 스티렌을 사용하는 것은 특히 바람직하다.The second monomer is a non-acidic monomer having at least one polymerizable unsaturated group in the molecule. (Meth) acrylate, isopropyl (meth) acrylate, isopropyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, isobutyl (Meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, cyclohexyl , Esters of vinyl alcohol such as benzyl (meth) acrylate and vinyl acetate, (meth) acrylonitrile, styrene, and polymerizable styrene derivatives. Among them, methyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, styrene, and benzyl (meth) acrylate are preferable, and it is particularly preferable to use styrene from the viewpoint of resolution.

(a) 카르복실기를 함유하는 알칼리 가용성 고분자는, 상기의 단량체를 혼합하고, 용제, 예를 들어, 아세톤, 메틸에틸케톤, 또는 이소프로판올로 희석한 용액에, 라디칼 중합 개시제, 예를 들어, 과산화벤조일, 아조이소부티로니트릴을 적당량 첨가하고, 가열 교반함으로써 합성되는 것이 바람직하다. 혼합물의 일부를 반응액에 적하하면서 합성을 실시하는 경우도 있다. 반응 종료 후, 또한 용제를 첨가하여, 원하는 농도로 조정하는 경우도 있다. 합성 수단으로서는, 용액 중합 이외에, 괴상 중합, 현탁 중합, 또는 유화 중합을 사용해도 된다.(a) The alkali-soluble polymer containing a carboxyl group can be obtained by mixing a monomer as described above and adding a radical polymerization initiator such as benzoyl peroxide, benzoyl peroxide, benzoyl peroxide, benzoyl peroxide or the like to a solution prepared by diluting the monomer with a solvent such as acetone, methyl ethyl ketone, or isopropanol, It is preferable that azo isobutyronitrile is added in an appropriate amount and the mixture is heated and stirred. The synthesis may be carried out while dropping a part of the mixture into the reaction solution. After completion of the reaction, a solvent may be further added to adjust the concentration to a desired level. As the synthesizing means, bulk polymerization, suspension polymerization, or emulsion polymerization may be used in addition to solution polymerization.

특히 바람직한 (a) 카르복실기를 함유하는 알칼리 가용성 고분자는, 제 1 단량체와 제 2 단량체의 공중합 비율이, 제 1 단량체가 10 ∼ 60 질량%, 제 2 단량체가 40 ∼ 90 질량% 인 것이며, 보다 더 바람직하게는 제 1 단량체가 15 ∼ 35 질량%, 제 2 단량체가 65 ∼ 85 질량% 이다.Particularly preferred alkali-soluble polymers (a) containing carboxyl groups are those wherein the copolymerization ratio of the first monomer and the second monomer is 10 to 60% by mass of the first monomer and 40 to 90% by mass of the second monomer, Preferably, the content of the first monomer is 15 to 35 mass% and the content of the second monomer is 65 to 85 mass%.

(a) 카르복실기를 함유하는 알칼리 가용성 고분자의 보다 구체적인 예로서는, 메타크릴산메틸, 메타크릴산 및 스티렌을 공중합 성분으로서 함유하는 중합체, 메타크릴산메틸, 메타크릴산 및 아크릴산n-부틸을 공중합 성분으로서 함유하는 중합체, 그리고 메타크릴산벤질, 메타크릴산메틸 및 아크릴산2-에틸헥실을 공중합 성분으로서 함유하는 중합체 등을 들 수 있다.More specific examples of the alkali-soluble polymer (a) containing a carboxyl group include a polymer containing methyl methacrylate, methacrylic acid and styrene as copolymer components, methyl methacrylate, methacrylic acid and n-butyl acrylate as copolymerizable components , And polymers containing benzyl methacrylate, methyl methacrylate, and 2-ethylhexyl acrylate as copolymer components.

감광성 수지 조성물 중에 있어서의 (a) 카르복실기를 함유하는 알칼리 가용성 고분자의 함유량은, 감광성 수지 조성물의 전체 고형분을 기준으로서, 20 ∼ 90 질량% 의 범위이며, 바람직하게는, 40 ∼ 60 질량% 이다. (a) 카르복실기를 함유하는 알칼리 가용성 고분자의 함유량은, 감광성 수지 조성물의 알칼리 현상성을 유지하고, 노광, 현상에 의해 형성되는 레지스트 패턴이, 레지스트로서의 특성, 예를 들어, 텐팅, 에칭 및 각종 도금 공정에 있어서 충분한 내성을 갖는다는 관점에서 20 질량% 이상이 바람직하고, 경화 전의 감광성 수지 조성물, 경화 후 레지스트 패턴이 충분한 유연성을 갖는다는 관점에서 90 질량% 이하가 바람직하다.The content of the alkali-soluble polymer (a) containing a carboxyl group in the photosensitive resin composition is in the range of 20 to 90 mass%, preferably 40 to 60 mass%, based on the total solid content of the photosensitive resin composition. The content of the alkali-soluble polymer containing a carboxyl group (a) is preferably such that the alkali developability of the photosensitive resin composition is maintained, and the resist pattern formed by exposure and development has properties as a resist, for example, tenting, From the viewpoint of having sufficient resistance in the process, the amount is preferably 20% by mass or more, more preferably 90% by mass or less from the viewpoint that the photosensitive resin composition before curing and the resist pattern after curing have sufficient flexibility.

(b) 부가 중합성 모노머(b) an addition-polymerizable monomer

(b) 부가 중합성 모노머는, 분자 내에 적어도 1 개의 중합 가능한 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 화합물이다. 에틸렌성 불포화 결합은, 말단 에틸렌성 불포화기인 것이 바람직하다. 또한 고해상성, 에지 퓨즈성 및 텐팅성의 관점에서, (b) 부가 중합성 모노머로서, 적어도 1 종의 비스페놀 A 계 (메트)아크릴레이트 화합물을 사용하는 것이 바람직하다.(b) The addition polymerizable monomer is a compound having at least one polymerizable ethylenically unsaturated bond in the molecule. The ethylenically unsaturated bond is preferably a terminal ethylenic unsaturated group. From the viewpoints of high resolution, edge fusing and tentability, it is preferable to use at least one bisphenol A (meth) acrylate compound as the addition polymerizable monomer (b).

본 명세서에서는, 비스페놀 A 계 (메트)아크릴레이트 화합물이란, (메트)아크릴로일기 또는 (메트)아크릴로일기에서 유래하는 탄소­탄소 불포화 이중 결합과 비스페놀 A 에서 유래하는 -C6H4-C(CH3)2-C6H4- 기를 갖는 화합물을 말한다. 구체예로서는, 비스페놀 A 의 양단에 각각 평균 2 단위의 에틸렌옥사이드를 부가한 폴리에틸렌글리콜의 디메타크릴레이트 (신나카무라 화학 공업 (주) 제조 NK 에스테르 BPE-200) 또는 비스페놀 A 의 양단에 각각 평균 5 단위의 에틸렌옥사이드를 부가한 폴리에틸렌글리콜의 디메타크릴레이트 (신나카무라 화학 공업 (주) 제조 NK 에스테르 BPE-500), 비스페놀 A 의 양단에 각각 평균 6 단위의 에틸렌옥사이드와 평균 2 단위의 프로필렌옥사이드를 부가한 폴리알킬렌글리콜의 디메타크릴레이트, 비스페놀 A 의 양단에 각각 평균 15 단위의 에틸렌옥사이드와 평균 2 단위의 프로필렌옥사이드를 부가한 폴리알킬렌글리콜의 디메타크릴레이트를 들 수 있다.In the present specification, the bisphenol A (meth) acrylate compound means a compound having a carbon-carbon unsaturated double bond derived from a (meth) acryloyl group or a (meth) acryloyl group and -C6H4-C -C6H4- group. Specific examples thereof include dimethacrylates of polyethylene glycol (NK ester BPE-200 manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.) in which ethylene oxide is added in an average of 2 units on both ends of bisphenol A or bisphenol A, (NK Ester BPE-500, manufactured by Shin Nakamura Chemical Co., Ltd.) having ethylene oxide added with ethylene oxide, an average of 6 units of ethylene oxide and an average of 2 units of propylene oxide were added to both ends of bisphenol A Dimethacrylates of one polyalkylene glycol, and dimethacrylates of polyalkylene glycols obtained by adding ethylene oxide of 15 units on average and propylene oxide of 2 units on average at both ends of bisphenol A, respectively.

(b) 부가 중합성 모노머로서, 상기의 화합물 이외에도 적어도 1 개의 에틸렌성 불포화기를 갖는 이미 알려진 화합물을 사용할 수 있다. 예를 들어, 4-노닐페닐헵타에틸렌글리콜디프로필렌글리콜아크릴레이트, 2-하이드록시-3-페녹시프로필아크릴레이트, 페녹시헥사에틸렌글리콜아크릴레이트, 무수 프탈산과 2-하이드록시프로필아크릴레이트의 반에스테르 화합물과 프로필렌옥사이드의 반응물 (닛폰 촉매 화학 제조, 상품명 OE-A 200), As the addition polymerizable monomer (b), known compounds having at least one ethylenic unsaturated group in addition to the above-mentioned compounds can be used. For example, there can be mentioned 4-nonylphenylheptaethylene glycol dipropylene glycol acrylate, 2-hydroxy-3-phenoxypropyl acrylate, phenoxyhexaethylene glycol acrylate, half of phthalic anhydride and 2-hydroxypropyl acrylate A reaction product of an ester compound and propylene oxide (trade name: OE-A 200, manufactured by Nippon Catalysts & Chemicals, Inc.)

4-노르말옥틸페녹시펜타프로필렌글리콜아크릴레이트, 1,6-헥산디올(메트)아크릴레이트, 1,4-시클로헥산디올디(메트)아크릴레이트, 폴리프로필렌글리콜디(메트)아크릴레이트, 폴리에틸렌글리콜디(메트)아크릴레이트 등의 폴리옥시알킬렌글리콜디(메트)아크릴레이트, 2-디(p-하이드록시페닐)프로판디(메트)아크릴레이트, 글리세롤트리(메트)아크릴레이트, 펜타에리트리톨펜타(메트)아크릴레이트, 트리메틸올프로판트리글리시딜에테르트리(메트)아크릴레이트, 2,2-비스(4-메타크릴옥시펜타에톡시페닐)프로판, 헥사메틸렌디이소시아네이트와 노나프로필렌글리콜모노메타크릴레이트의 우레탄화물 등의 우레탄기를 함유하는 다관능기 (메트)아크릴레이트, 이소시아누르산에스테르 화합물의 다관능 (메트)아크릴레이트 등을 들 수 있다. 이들은, 단독으로 사용하거나, 2 종류 이상 병용해도 되고, 비스페놀 A 계 (메트)아크릴레이트 화합물과 병용할 수도 있다.(Meth) acrylate, 4-n-octylphenoxypentapropylene glycol acrylate, 1,6-hexanediol (meth) acrylate, 1,4-cyclohexanediol di Di (p-hydroxyphenyl) propane di (meth) acrylate, glycerol tri (meth) acrylate and pentaerythritol penta (meth) (Meth) acrylate, trimethylolpropane triglycidyl ether tri (meth) acrylate, 2,2-bis (4-methacryloxypentaethoxyphenyl) propane, hexamethylene diisocyanate and nonapropylene glycol monomethacrylate Polyfunctional (meth) acrylate containing a urethane group such as urethane of urethane group, and polyfunctional (meth) acrylate of isocyanuric acid ester compound. These may be used alone, or two or more of them may be used together, or may be used in combination with a bisphenol A (meth) acrylate compound.

감광성 수지 조성물 중의 (b) 부가 중합성 모노머의 함유량은, 감광성 수지 조성물의 전체 고형분을 기준으로서, 5 ∼ 75 질량% 의 범위이며, 보다 바람직하게는, 15 ∼ 70 질량% 이다. (b) 부가 중합성 모노머의 함유량은, 해상성, 밀착성 및 구리 라인의 형성성의 관점에서, 5 질량% 이상이며, 경화막의 유연성의 관점에서, 75 질량% 이하이다.The content of the addition polymerizable monomer (b) in the photosensitive resin composition is in the range of 5 to 75% by mass, and more preferably 15 to 70% by mass, based on the total solid content of the photosensitive resin composition. The content of the addition polymerizable monomer (b) is 5% by mass or more from the viewpoints of resolution, adhesion and copper line formation, and 75% by mass or less from the viewpoint of flexibility of the cured film.

(c) 광 중합 개시제(c) a photopolymerization initiator

(c) 광 중합 개시제로서는, 감광성 수지의 광 중합 개시제로서 통상적으로 사용되는 것을 적절히 사용할 수 있지만, 특히 헥사아릴비스이미다졸 (이하, 트리아릴이미다졸릴 2 량체라고도 한다.) 이 바람직하게 사용된다.As the photopolymerization initiator (c), those ordinarily used as photopolymerization initiators for photosensitive resins can be suitably used, and hexaaryl bisimidazole (hereinafter also referred to as triarylimidazolyl dimer) is preferably used .

트리아릴이미다졸릴 2 량체로서는, 예를 들어, 2-(o-클로로페닐)-4,5-디페닐이미다졸릴 2 량체 (이하, 「2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,1'-비스이미다졸」 이라고도 한다.), 2,2',5-트리스(o-클로로페닐)-4-(3,4-디메톡시페닐)-4',5'-디페닐이미다졸릴 2 량체, 2,4-비스-(o-클로로페닐)-5-(3,4-디메톡시페닐)-디페닐이미다졸릴 2 량체, Examples of the triarylimidazolyl dimer include 2- (o-chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer (hereinafter referred to as 2,2'-bis (2-chlorophenyl) (4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,1'-bisimidazole), 2,2', 5-tris (o- chlorophenyl) -4- Diphenylimidazolyl dimer, 2,4-bis- (o-chlorophenyl) -5- (3,4-dimethoxyphenyl) -diphenylimidazolyl dimer ,

2,4,5-트리스(o-클로로페닐)-디페닐이미다졸릴 2 량체, 2-(o-클로로페닐)-비스-4,5-(3,4-디메톡시페닐)-이미다졸릴 2 량체, 2,2'-비스-(2-플루오로페닐)-4,4',5,5'-테트라키스-(3-메톡시페닐)-이미다졸릴 2 량체, 2,2'-비스-(2,3-디플루오로메틸페닐)-4,4',5,5'-테트라키스-(3-메톡시페닐)-이미다졸릴 2 량체, 2,2'-비스-(2,4-디플루오로페닐)-4,4',5,5'-테트라키스-(3-메톡시페닐)-이미다졸릴 2 량체, (O-chlorophenyl) -diphenylimidazolyl dimer, 2- (o-chlorophenyl) -bis-4,5- (3,4- dimethoxyphenyl) -imidazolyl (2-fluorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis- (3-methoxyphenyl) -imidazolyl dimer, 2,2'- Bis- (2,3-difluoromethylphenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis- (3-methoxyphenyl) -imidazolyl dimer, 2,2'- 4-difluorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis- (3-methoxyphenyl) -imidazolyl dimer,

2,2'-비스-(2,5-디플루오로페닐)-4,4',5,5'-테트라키스-(3-메톡시페닐)-이미다졸릴 2 량체, 2,2'-비스-(2,6-디플루오로페닐)-4,4',5,5'-테트라키스-(3-메톡시페닐)-이미다졸릴 2 량체, 2,2'-비스-(2,3,4-트리플루오로페닐)-4,4',5,5'-테트라키스-(3-메톡시페닐)-이미다졸릴 2 량체, 2,2'-비스-(2,3,5-트리플루오로페닐)-4,4',5,5'-테트라키스-(3-메톡시페닐)-이미다졸릴 2 량체, (2,5-difluorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis- (3-methoxyphenyl) -imidazolyl dimer, 2,2'- Bis- (2,6-difluorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis- (3-methoxyphenyl) -imidazolyl dimer, 2,2'- (3,4-trifluorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis- (3-methoxyphenyl) -imidazolyl dimer, 2,2'- -Trifluorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis- (3-methoxyphenyl) -imidazolyl dimer,

2,2'-비스-(2,3,6-트리플루오로페닐)-4,4',5,5'-테트라키스-(3-메톡시페닐)-이미다졸릴 2 량체, 2,2'-비스-(2,4,5-트리플루오로페닐)-4,4',5,5'-테트라키스-(3-메톡시페닐)-이미다졸릴 2 량체, 2,2'-비스-(2,4,6-트리플루오로페닐)-4,4',5,5'-테트라키스-(3-메톡시페닐)-이미다졸릴 2 량체, (2,3,6-trifluorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis- (3-methoxyphenyl) -imidazolyl dimer, 2,2'-bis Bis- (2,4,5-trifluorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis- (3-methoxyphenyl) -imidazolyl dimer, 2,2'-bis - (2,4,6-trifluorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis- (3-methoxyphenyl) -imidazolyl dimer,

2,2'-비스-(2,3,4,5-테트라플루오로페닐)-4,4',5,5'-테트라키스-(3-메톡시페닐)-이미다졸릴 2 량체, 2,2'-비스-(2,3,4,6-테트라플루오로페닐)-4,4',5,5'-테트라키스-(3-메톡시페닐)-이미다졸릴 2 량체, 및 2,2'-비스-(2,3,4,5,6-펜타플루오로페닐)-4,4',5,5'-테트라키스-(3-메톡시페닐)-이미다졸릴 2 량체를 들 수 있다.Tetrakis- (3-methoxyphenyl) -imidazolyl dimer, 2, 2'-bis- (2,3,4,5-tetrafluorophenyl) -4,4 ' , 2'-bis- (2,3,4,6-tetrafluorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis- (3-methoxyphenyl) -imidazolyl dimer, and 2 , 2'-bis- (2,3,4,5,6-pentafluorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis- (3-methoxyphenyl) -imidazolyl dimer .

특히, 2-(o-클로로페닐)-4,5-디페닐이미다졸릴 2 량체는 해상성 또는 경화 레지스트막의 강도에 대해 높은 효과를 갖는 광 중합 개시제이며, 바람직하게 사용된다. 이들은 단독으로 사용해도 되고 또는 2 종류 이상 조합하여 사용해도 된다. 또, 하기의 아크리딘 화합물, 피라졸린 화합물 등과 합하여 사용할 수도 있다.Particularly, the 2- (o-chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer is a photopolymerization initiator having a high effect on the strength of a resolution or cured resist film and is preferably used. These may be used alone or in combination of two or more. The acridine compound, the pyrazoline compound, and the like may be used in combination.

바람직한 실시형태에서는, (c) 광 중합 개시제로서 아크리딘 화합물 또는 피라졸린 화합물이 사용된다. 아크리딘 화합물로서는, 아크리딘, 9-페닐아크리딘, 9-(4-톨릴)아크리딘, 9-(4-메톡시페닐)아크리딘, 9-(4-하이드록시페닐)아크리딘, 9-에틸아크리딘, 9-클로로에틸아크리딘, 9-메톡시아크리딘, 9-에톡시아크리딘, In a preferred embodiment, (c) an acridine compound or a pyrazoline compound is used as a photopolymerization initiator. Examples of the acridine compound include acridine, 9-phenylacridine, 9- (4-tolyl) acridine, 9- (4-methoxyphenyl) Acridine, 9-ethylacridine, 9-chloroethylacridine, 9-methoxyacridine, 9-ethoxyacridine,

9-(4-메틸페닐)아크리딘, 9-(4-에틸페닐)아크리딘, 9-(4-n-프로필페닐)아크리딘, 9-(4-n-부틸페닐)아크리딘, 9-(4-tert-부틸페닐)아크리딘, 9-(4-에톡시페닐)아크리딘, 9-(4-아세틸페닐)아크리딘, 9-(4-디메틸아미노페닐)아크리딘, 9-(4-클로로페닐)아크리딘, 9- (4-methylphenyl) acridine, 9- (4-ethylphenyl) acridine, 9- , 9- (4-tert-butylphenyl) acridine, 9- (4-ethoxyphenyl) acridine, 9- Pyridine, 9- (4-chlorophenyl) acridine,

9-(4-브로모페닐)아크리딘, 9-(3-메틸페닐)아크리딘, 9-(3-tert-부틸페닐)아크리딘, 9-(3-아세틸페닐)아크리딘, 9-(3-디메틸아미노페닐)아크리딘, 9-(3-디에틸아미노페닐)아크리딘, 9-(3-클로로페닐)아크리딘, 9-(3-브로모페닐)아크리딘, 9-(2-피리딜)아크리딘, 9-(3-피리딜)아크리딘, 9-(4-피리딜)아크리딘을 들 수 있다. 그 중에서도, 9-페닐아크리딘이 바람직하다.9- (3-tert-butylphenyl) acridine, 9- (3-methylphenyl) acridine, 9- 9- (3-bromophenyl) acridine, 9- (3-dimethylaminophenyl) acridine, 9- Pyridine) acridine, 9- (2-pyridyl) acridine, 9- (3-pyridyl) acridine, and 9- (4-pyridyl) acridine. Among them, 9-phenylacridine is preferable.

피라졸린 화합물로서는, 1-페닐-3-(4-tert-부틸-스티릴)-5-(4-tert-부틸-페닐)-피라졸린, 1-(4-(벤조옥사졸-2-일)페닐)-3-(4-tert-부틸-스티릴)-5-(4-tert-부틸-페닐)-피라졸린, 1-페닐-3-(4-비페닐)-5-(4-tert-부틸-페닐)-피라졸린, 1-페닐-3-(4-비페닐)-5-(4-tert-옥틸-페닐)-피라졸린이 바람직하다.Examples of the pyrazoline compound include 1-phenyl-3- (4-tert-butyl-styryl) -5- (4-tert- butylphenyl) Phenyl) -3- (4-tert-butyl-styryl) -5- (4-tert- butylphenyl) phenyl-3- (4-biphenyl) -5- (4-tert-butyl-phenyl) -pyrazolene are preferred.

상기 이외의 광 중합 개시제로서는, 예를 들어, 2-에틸안트라퀴논, 옥타에틸안트라퀴논, 1,2-벤즈안트라퀴논, 2,3-벤즈안트라퀴논, 2-페닐안트라퀴논, 2,3-디페닐안트라퀴논, 1-클로로안트라퀴논, 1,4-나프토퀴논, 9,10-페난트라퀴논, 2-메틸-1,4-나프토퀴논, 2,3-디메틸안트라퀴논, 및 3-클로로-2-메틸안트라퀴논 등의 퀴논류, Examples of the photopolymerization initiator other than the above include 2-ethyl anthraquinone, octaethyl anthraquinone, 1,2-benzanthraquinone, 2,3-benzanthraquinone, 2-phenylanthraquinone, 2-methyl-1, 4-naphthoquinone, 2,3-dimethyl anthraquinone, and 3-chloro -2-methyl anthraquinone, and the like,

벤조페논, 미힐러케톤[4,4'-비스(디메틸아미노)벤조페논], 및 4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논 등의 방향족 케톤류, 벤조인, 벤조인에틸에테르, 벤조인페닐에테르, 메틸벤조인, 및 에틸벤조인 등의 벤조인에테르류, Aromatic ketones such as benzophenone, Michler's ketone [4,4'-bis (dimethylamino) benzophenone] and 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone, benzoin, benzoin ethyl ether, Benzoin ethers such as phenyl ether, methylbenzoin, and ethylbenzoin,

벤질디메틸케탈, 벤질디에틸케탈, 티오크산톤류와 알킬아미노벤조산의 조합, 1-페닐-1,2-프로판디온-2-O-벤조인옥심, 1-페닐-1,2-프로판디온-2-(O-에톡시카르보닐)옥심 등의 옥심에스테르류를 들 수 있다.Benzyl dimethyl ketal, benzyl diethyl ketal, a combination of thioxanthones and alkyl aminobenzoic acids, 1-phenyl-1,2-propanedione-2-O-benzoin oxime, And oxime esters such as 2- (O-ethoxycarbonyl) oxime.

또한, 상기 서술한 티오크산톤류와 알킬아미노벤조산의 조합으로서는, 예를 들어 에틸티오크산톤과 디메틸아미노벤조산에틸의 조합, 2-클로르티오크산톤과 디메틸아미노벤조산에틸의 조합, 및 이소프로필티오크산톤과 디메틸아미노벤조산에틸의 조합을 들 수 있다. 또, N-아릴아미노산을 사용해도 된다. N-아릴아미노산의 예로서는, N-페닐글리신, N-메틸-N-페닐글리신, N-에틸-N-페닐글리신 등을 들 수 있다. 그 중에서도, N-페닐글리신이 특히 바람직하다.Examples of the combination of the thioxantho acids and alkylaminobenzoic acids described above include a combination of ethyl thioxanthone and ethyl dimethyl aminobenzoate, a combination of 2-chlorothioxanthone and ethyl dimethyl aminobenzoate, and a combination of isopropylthio And a combination of ethyl xanthone and dimethylaminobenzoate. N-arylamino acid may also be used. Examples of the N-aryl amino acid include N-phenylglycine, N-methyl-N-phenylglycine, N-ethyl-N-phenylglycine and the like. Among them, N-phenylglycine is particularly preferable.

감광성 수지 조성물 중의 (c) 광 중합 개시제의 함유량은, 감광성 수지 조성물의 전체 고형분을 기준으로서, 0.01 ∼ 30 질량% 의 범위이며, 보다 바람직한 하한은 0.05 질량%, 더욱 바람직한 하한은 0.1 질량%, 보다 바람직한 상한은 15 질량%, 더욱 바람직한 상한은 10 질량% 이다. (c) 광 중합 개시제의 함유량은, 노광에 의한 광 중합 시에 충분한 감도를 얻는다는 관점에서 0.01 질량% 이상이며, 광 중합 시에 감광성 수지 조성물의 저면 (즉 광원으로부터 먼 부분) 에까지 광을 충분히 투과시켜, 양호한 해상성 및 밀착성을 얻는다는 관점에서, 30 질량% 이하이다.The content of the photopolymerization initiator (c) in the photosensitive resin composition is in the range of 0.01 to 30% by mass based on the total solid content of the photosensitive resin composition, more preferably 0.05% by mass, more preferably 0.1% The preferable upper limit is 15% by mass, and the more preferable upper limit is 10% by mass. The content of the photopolymerization initiator (c) is 0.01 mass% or more from the viewpoint of obtaining sufficient sensitivity at the time of photopolymerization by exposure, and the light is sufficiently emitted from the bottom of the photosensitive resin composition And is not more than 30% by mass from the viewpoint of obtaining good resolution and adhesion.

(e) 그 밖의 첨가제(e) Other additives

감광성 수지 조성물에는, 상기 (a) ∼ (c) 의 성분 외에 각종 첨가제를 함유시킬 수 있다. 구체적으로는, 예를 들어 염료, 안료 등의 착색 물질이 함유된다. 이와 같은 착색 물질로서는, 예를 들어, 프탈로시아닌 그린, 크리스탈 바이올렛, 메틸 오렌지, 나일 블루 2B, 빅토리아 블루, 말라카이트 그린, 베이직 블루 20, 다이아몬드 그린 등을 들 수 있다.The photosensitive resin composition may contain various additives in addition to the components (a) to (c). Specifically, for example, a coloring material such as a dye and a pigment is contained. Examples of such a coloring material include phthalocyanine green, crystal violet, methyl orange, nile blue 2B, Victoria blue, malachite green, basic blue 20, diamond green and the like.

상기 착색 물질을 함유하는 경우에는, 착색 물질의 첨가량은, 감광성 수지 조성물의 전체 고형분을 기준으로서, 0.001 ∼ 1 질량% 인 것이 바람직하다. 착색 물질의 첨가량이, 0.001 질량% 이상일 때는, 취급성 향상이라는 효과가 있고, 1 질량% 이하일 때는, 보존 안정성을 유지한다는 효과가 있다.When the coloring material is contained, the amount of the coloring material to be added is preferably 0.001 to 1% by mass based on the total solid content of the photosensitive resin composition. When the addition amount of the coloring material is 0.001% by mass or more, there is an effect of improving the handling property, and when it is 1% by mass or less, the storage stability is maintained.

또, 노광에 의해 가시상을 부여할 수 있도록, 감광성 수지 조성물 중에 발색제를 함유시켜도 된다. 이와 같은 발색계 염료로서는, 로이코 염료, 또는 플루오란 염료와 할로겐 화합물의 조합을 들 수 있다.In addition, a coloring agent may be contained in the photosensitive resin composition so that a visible image can be given by exposure. Examples of such a coloring dye include a leuco dye or a combination of a fluoro dye and a halogen compound.

예를 들어, 로이코 염료로서는, 트리스(4-디메틸아미노-2-메틸페닐)메탄[로이코크리스탈 바이올렛], 트리스(4-디메틸아미노-2-메틸페닐)메탄[로이코말라카이트 그린], 및 플루오란 염료를 들 수 있다. 그 중에서도, 로이코크리스탈 바이올렛을 사용한 경우, 콘트라스트가 양호하여 바람직하다.Examples of the leuco dyes include tris (4-dimethylamino-2-methylphenyl) methane [leuco crystal violet], tris (4-dimethylamino-2-methylphenyl) methane [leuco malachite green], and fluororan dyes . Among them, when Loico crystal violet is used, the contrast is preferably good.

상기 할로겐 화합물로서는, 브롬화아밀, 브롬화이소아밀, 브롬화이소부틸렌, 브롬화에틸렌, 브롬화디페닐메틸, 브롬화벤잘, 브롬화메틸렌, 트리브로모메틸페닐술폰, 4 브롬화탄소, 트리스(2,3-디브로모프로필)포스페이트, 트리클로로아세트아미드, 요오드화아밀, 요오드화이소부틸, 1,1,1-트리클로로-2,2-비스(p-클로로페닐)에탄, 헥사클로로에탄, 클로르화트리아진 화합물 등을 들 수 있다.Examples of the halogen compound include amides such as amyl bromide, isoamyl bromide, isobutylene bromide, ethylene bromide, diphenylmethyl bromide, benzene bromide, methylene bromide, tribromomethylphenylsulfone, tetrabromocarbon, tris (2,3-dibromo Propyl) phosphate, trichloroacetamide, amyl iodide, isobutyl iodide, 1,1,1-trichloro-2,2-bis (p-chlorophenyl) ethane, hexachloroethane, .

이들의 염료를 함유하는 경우, 감광성 수지 조성물 중의 염료의 함유량은, 감광성 수지 조성물의 전체 고형분을 기준으로서, 각각 0.1 ∼ 10 질량% 가 바람직하다.When these dyes are contained, the content of the dyes in the photosensitive resin composition is preferably 0.1 to 10% by mass based on the total solid content of the photosensitive resin composition.

또한, 감광성 수지 조성물의 열안정성 및 보존 안정성을 향상시키기 위해서, 라디칼 중합 금지제, 또는 벤조트리아졸류 및 카르복시벤조트리아졸류로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 종 이상의 화합물을 감광성 수지 조성물에 함유시키는 것이 바람직하다.In order to improve the thermal stability and storage stability of the photosensitive resin composition, it is preferable to incorporate at least one compound selected from the group consisting of radical polymerization inhibitors, benzotriazoles, and carboxybenzotriazoles into the photosensitive resin composition Do.

이와 같은 라디칼 중합 금지제로서는, 예를 들어, p-메톡시페놀, 하이드로퀴논, 피로갈롤, 나프틸아민, tert-부틸카테콜, 염화 제 1 구리, 2,6-디-tert-부틸-p-크레졸, 2,2'-메틸렌비스(4-메틸-6-tert-부틸페놀), 2,2'-메틸렌비스(4-에틸-6-tert-부틸페놀), 니트로소페닐하이드록시아민알루미늄염, 디페닐니트로소아민을 들 수 있다.Examples of such a radical polymerization inhibitor include p-methoxyphenol, hydroquinone, pyrogallol, naphthylamine, tert-butylcatechol, cuprous chloride, 2,6-di-tert- -Cresol, 2,2'-methylenebis (4-methyl-6-tert-butylphenol), 2,2'-methylenebis Salts, and diphenylnitrosamine.

벤조트리아졸류로서는, 예를 들어, 1,2,3-벤조트리아졸, 1-클로로-1,2,3-벤조트리아졸, 비스(N-2-에틸헥실)아미노메틸렌-1,2,3-벤조트리아졸, 비스(N-2-에틸헥실)아미노메틸렌-1,2,3-톨릴트리아졸, 비스(N-2-하이드록시에틸)아미노메틸렌-1,2,3-벤조트리아졸을 들 수 있다.Examples of the benzotriazoles include 1,2,3-benzotriazole, 1-chloro-1,2,3-benzotriazole, bis (N-2-ethylhexyl) aminomethylene- Benzotriazole, bis (N-2-ethylhexyl) aminomethylene-1,2,3-tolyltriazole, bis (N-2- hydroxyethyl) aminomethylene- .

카르복시벤조트리아졸류로서는, 예를 들어, 4-카르복시-1,2,3-벤조트리아졸, 5-카르복시-1,2,3-벤조트리아졸, (N,N-디부틸아미노)카르복시벤조트리아졸, N-(N,N-디-2-에틸헥실)아미노메틸렌카르복시벤조트리아졸, N-(N,N-디-2-하이드록시에틸)아미노메틸렌카르복시벤조트리아졸, N-(N,N-디-2-에틸헥실)아미노에틸렌카르복시벤조트리아졸을 들 수 있다.Carboxybenzotriazoles include, for example, 4-carboxy-1,2,3-benzotriazole, 5-carboxy-1,2,3-benzotriazole, (N, N- dibutylamino) carboxybenzotriazole Aminomethylenecarboxybenzotriazole, N- (N, N-di-2-hydroxyethyl) aminomethylene carboxybenzotriazole, N- (N, N- N-di-2-ethylhexyl) aminoethylene carboxybenzotriazole.

라디칼 중합 금지제, 벤조트리아졸류, 및/또는 카르복시벤조트리아졸류의 합계 첨가량은, 감광성 수지 조성물의 전체 고형분을 기준으로서, 바람직하게는 0.001 ∼ 3 질량% 이며, 보다 바람직한 하한은 0.05 질량%, 보다 바람직한 상한은 1 질량% 이다. 이 합계 첨가량은, 감광성 수지 조성물에 보존 안정성을 부여한다는 관점에서 0.001 질량% 이상이 바람직하고, 감도를 유지한다는 관점에서 3 질량% 이하가 바람직하다.The total addition amount of the radical polymerization inhibitor, the benzotriazoles and / or the carboxybenzotriazoles is preferably 0.001 to 3% by mass, more preferably 0.05% by mass, more preferably 0.05 to 3% by mass based on the total solid content of the photosensitive resin composition The preferred upper limit is 1% by mass. The total amount added is preferably 0.001% by mass or more from the viewpoint of imparting storage stability to the photosensitive resin composition, and is preferably 3% by mass or less from the viewpoint of maintaining the sensitivity.

감광성 수지 조성물에는, 필요에 따라, 그 밖의 가소제를 함유시켜도 된다. 이와 같은 가소제로서는, 예를 들어, 비스페놀 A 를 폴리알킬렌옥사이드 변성한 화합물을 들 수 있다.Other plasticizers may be added to the photosensitive resin composition, if necessary. Examples of such plasticizers include compounds obtained by modifying bisphenol A with polyalkylene oxide.

그 외에, 예를 들어, 폴리옥시에틸렌소르비탄라우레이트, 폴리옥시에틸렌소르비탄올레에이트 등의 소르비탄 유도체, 폴리에틸렌글리콜, 폴리프로필렌글리콜 등의 폴리알킬렌글리콜류, 디에틸프탈레이트 등의 프탈산에스테르류, o-톨루엔술폰산아미드, p-톨루엔술폰산아미드, 시트르산트리부틸, 시트르산트리에틸, 아세틸시트르산트리에틸, 아세틸시트르산트리-n-프로필, 아세틸시트르산트리-n-부틸 등의 가소제를 사용할 수 있다. 특히 소르비탄 유도체 및 폴리알킬렌글리콜류를 사용하는 것이 바람직하다.In addition, sorbitan derivatives such as polyoxyethylene sorbitan trioleate and polyoxyethylene sorbitan oleate, polyalkylene glycols such as polyethylene glycol and polypropylene glycol, phthalic acid esters such as diethyl phthalate , o-toluenesulfonic acid amide, p-toluenesulfonic acid amide, tributyl citrate, triethyl citrate, triethyl acetylcitrate, tri-n-propylcitrate citrate, and tri-n-butyl acetylcitrate. Particularly, sorbitan derivatives and polyalkylene glycols are preferably used.

감광성 수지 조성물 중의 가소제의 함유량은, 감광성 수지 조성물의 전체 고형분을 기준으로서 1 ∼ 50 질량% 인 것이 바람직하고, 보다 바람직한 하한은 3 질량%, 보다 바람직한 상한은 30 질량% 이다. 현상 시간의 지연을 억제하고, 경화막에 유연성을 부여하는 관점에서 1 질량% 이상이 바람직하고, 또 경화 부족 또는 콜드 플로우를 억제하는 관점에서 50 질량% 이하가 바람직하다.The content of the plasticizer in the photosensitive resin composition is preferably 1 to 50 mass%, more preferably 3 mass%, and still more preferably 30 mass%, based on the total solid content of the photosensitive resin composition. From the viewpoint of suppressing the delay in developing time and imparting flexibility to the cured film, is preferably 1% by mass or more, more preferably 50% by mass or less from the viewpoint of insufficient curing or suppressing cold flow.

실시예Example

이하, 실시예에 있어서 더욱 구체적으로 설명하지만, 이것으로 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, the present invention will be described more specifically in the following examples, but the present invention is not limited thereto.

최초로 실시예 및 비교예의 평가용 샘플의 제작 방법을 설명하고, 이어서, 얻어진 샘플에 대한 평가 방법 및 그 평가 결과를 나타낸다. 여기서는, 롤 단면 보호 부재로서 링상 시트를 사용했다.First, the method for producing samples for evaluation in the examples and comparative examples will be described first, followed by evaluation methods for the obtained samples and evaluation results thereof. Here, a ring-shaped sheet is used as the roll-end-surface protecting member.

(실시예 1 ∼ 12, 비교예 1)(Examples 1 to 12 and Comparative Example 1)

1. 평가용 샘플의 제작1. Preparation of sample for evaluation

실시예 및 비교예에 있어서의 평가용 샘플은 다음과 같이 하여 제작했다.The samples for evaluation in the examples and comparative examples were produced as follows.

<감광성 수지 적층체의 제작>≪ Preparation of Photosensitive Resin Laminate >

하기 표 1 에 나타내는 조성물 1 (단, 각 성분의 숫자는 고형분으로서의 배합량 (질량부) 을 나타낸다. 표 1 중의 약호는 표 2 에 따른다.) 및 용매를 충분히 교반, 혼합하여 감광성 수지 조성물 조합액으로 하고, 지지체로서 16 ㎛ 두께의 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름 (미츠비시 수지 (주) 제조 R310) 을 준비하고, 이 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름의 표면에 감광성 수지 조성물 조합액을 다이코터를 사용하여 균일하게 도포, 건조시켜, 감광성 수지층을 형성했다. 감광성 수지층의 두께는 15 ㎛ 였다. 이어서, 감광성 수지층의, 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름을 적층하고 있지 않은 표면 상에, 보호층으로서 33 ㎛ 두께의 폴리에틸렌 필름 (타마폴리 (주) 제조 GF-858) 을 첩합하여 감광성 수지 적층체 (1) 를 얻었다.(The abbreviations in Table 1 are as shown in Table 2) and the solvent were thoroughly stirred and mixed to prepare a photosensitive resin composition combination liquid , And a polyethylene terephthalate film (R310, manufactured by Mitsubishi Resin Co., Ltd.) having a thickness of 16 mu m was prepared as a support, and the solution of the photosensitive resin composition was uniformly coated on the surface of the polyethylene terephthalate film using a die coater and dried , A photosensitive resin layer was formed. The thickness of the photosensitive resin layer was 15 mu m. Subsequently, a 33 占 퐉 -thick polyethylene film (GF-858 manufactured by Tama Poly Co., Ltd.) as a protective layer was laminated on the surface of the photosensitive resin layer on which the polyethylene terephthalate film was not laminated to form the photosensitive resin laminate 1, .

또, 상기 감광성 수지 적층체 (1) 에 있어서, 조성물 1 을 조성물 2 ∼ 6 으로 한 것 이외는, 감광성 수지 적층체 (1) 와 동일하게 제조하여, 감광성 수지 적층체 (2 ∼ 6) 를 얻었다. 상기 감광성 수지 적층체 (1) 에 있어서, 조성물 1 을 조성물 7 ∼ 10 으로 하고, 감광성 수지층의 두께를 10 ㎛ 로 한 것 이외는, 감광성 수지 적층체 (1) 와 동일하게 제조하여, 감광성 수지 적층체 (7 ∼ 10) 를 얻었다.A photosensitive resin laminate (2 to 6) was obtained in the same manner as in the photosensitive resin laminate (1) except that the composition 1 was used as the composition 2 to 6 in the photosensitive resin laminate (1) . The photosensitive resin laminate (1) was prepared in the same manner as in the photosensitive resin laminate (1) except that the composition 1 was used as the composition 7 to 10 and the photosensitive resin layer was made to have a thickness of 10 탆, To obtain laminated bodies (7 to 10).

<감광성 수지 적층체 롤의 제작>≪ Preparation of photosensitive resin laminate roll >

링상 시트는, 표 3 ∼ 표 5 에 나타내는 시트를 사용했다. 링상 시트의 아크릴 수지를 함유하는 점착제 조성물은, 특별히 설명이 없는 경우, 에리에루택크 NS80/SBG85S/재박리 (에리에루 탁셀 주식회사 제조) 의 점착제 조성물을 그대로 사용했다.As the ring-shaped sheet, the sheets shown in Tables 3 to 5 were used. In the pressure-sensitive adhesive composition containing the acrylic resin of the ring-shaped sheet, the pressure-sensitive adhesive composition of ErieruTak NS80 / SBG85S / re-exfoliation (manufactured by Eriertexcel Co., Ltd.) was used as it is unless otherwise specified.

샘플 F 및 G 에 대해서는 점착제 조성물은 이하와 같이 하여 조정했다. 즉, 표 2 에 기재된 B-1 및 M-8 을 고형분비로 45 : 55 및 40 : 60 이 되도록 배합하여 기재에 건조 후의 막두께가 15 ㎛ 가 되도록 도포 건조시켜 조정했다.For the samples F and G, the pressure-sensitive adhesive composition was adjusted as follows. That is, B-1 and M-8 shown in Table 2 were blended so as to have a solid content ratio of 45:55 and 40:60, and the coating was applied to the substrate so as to have a dry thickness of 15 μm and dried.

감광성 수지 적층체 (1) 를 폭 495 mm 로 슬릿하고, 내경 77 mm, 외경 88 mm, 길이 530 mm 의 ABS 수지제 권심 (코어) 에 300 m 감았다. 롤상으로 감겨진 감광성 수지 적층체의 외경은 180 mm 였다.The photosensitive resin laminate 1 was slit with a width of 495 mm and wound in an ABS resin core (core) having an inner diameter of 77 mm, an outer diameter of 88 mm and a length of 530 mm by 300 m. The outer diameter of the photosensitive resin laminate wound in a roll form was 180 mm.

타단이 고정되어 수평으로 유지할 수 있도록 설계된 봉상의 스테인리스제 락 홀더에, 코어에 감겨져 롤상이 된 감광성 수지 적층체를 유지시켰다.Shaped stainless steel lock holder designed so that the other end was fixed and held horizontally, the photosensitive resin laminated body wound around the core and held in a roll-like state was held.

외주 500 mm, 길이 800 mm, 두께 80 ㎛ 의 원통형 차광성 폴리에틸렌 튜브로 롤상이 된 감광성 수지 적층체를 덮었다.A photosensitive resin laminate rolled in a cylindrical light-shielding polyethylene tube having an outer diameter of 500 mm, a length of 800 mm and a thickness of 80 占 퐉 was covered.

상기 차광성 폴리에틸렌 튜브로 덮인 롤상의 감광성 수지 적층체를 락 홀더로부터 떼어내고, 폭 330 mm 높이 100 mm 상부가 오목 형상으로 만곡하여 롤을 고정할 수 있도록 설계된 쿠션 위에 롤을 설치했다.The photosensitive resin laminate on the roll coated with the light-shielding polyethylene tube was peeled from the lock holder, and a roll was installed on a cushion designed to fix the roll with a width of 330 mm and a height of 100 mm.

차광성 폴리에틸렌 튜브의 일단을 되접고, 롤상 감광성 수지 적층체의 단면을 노출시켜, 링상 시트를 장착했다. 다른 일단도 동일하게 하여 링상 시트를 장착하여, 감광성 수지 적층체 롤 (1) 을 제조했다.One end of the light-shielding polyethylene tube was folded back, and a cross-section of the rolled photosensitive resin laminate was exposed to attach a ring-shaped sheet. A ring-shaped sheet was attached to the other end in the same manner to produce a photosensitive resin laminate roll (1).

차광성 폴리에틸렌 튜브를 코어 내에 끼워넣고, 중심부가 볼록 형상으로 코어와 끼워 맞추도록 설계된 코어 홀더를 장착하여, 감광성 수지 롤 (1) 을 곤포했다.A light-shielding polyethylene tube was inserted into the core, and a core holder designed to fit the core with the core in a convex shape was mounted, and the photosensitive resin roll (1) was packed.

2. 평가 기준2. Evaluation Criteria

이하의 평가 항목과 평가 기준으로 감광성 수지 적층체 롤을 평가하여 순위매김했다. 평가 결과를 표 3 ∼ 5 에 나타낸다.The photosensitive resin laminate roll was evaluated and ranked according to the following evaluation items and evaluation criteria. The evaluation results are shown in Tables 3 to 5.

(1) 이물질 제거성(1) Foreign matter removing property

감광성 수지 적층체 롤로부터 링상 시트를 박리하고, 이물질이 링상 시트에 부착되어 있는지 확인했다. 이하와 같이 순위 매김했다.The ring-shaped sheet was peeled from the photosensitive resin laminate roll, and it was confirmed whether or not the foreign substance adhered to the ring-shaped sheet. And ranked as follows.

○ : 이물질이 링상 시트에 부착되어 있었다. 롤 단면에 다른 점착 테이프를 첩부하여 박리했지만 이물질의 부착은 확인할 수 없었다.A: Foreign matter adhered to the ring sheet. Another adhesive tape was pasted on the roll section to peel off, but adhesion of the foreign matter could not be confirmed.

△ : 이물질이 링상 시트에 부착되어 있었지만, 롤 단면에 다른 점착 테이프를 첩부하여 박리한 결과 이 점착 테이프에도 이물질의 부착이 확인되었다.?: The foreign substance was adhered to the ring-shaped sheet, but another adhesive tape was pasted on the end face of the roll and peeled off. As a result, adherence of foreign matter to the adhesive tape was confirmed.

× : 이물질이 링상 시트에 부착되어 있지 않았다. 롤 단면에 다른 점착 테이프를 첩부하여 박리하자 이물질의 부착이 확인되었다.X: No foreign matter adhered to the ring-shaped sheet. Adhesion of foreign matter was confirmed by sticking another adhesive tape to the roll section and peeling it off.

(2) 링상 시트 장착성(2) Mountability of the ring seat

상기 <감광성 수지 적층체 롤의 제작> 에 기재된 바와 같이 롤을 제작하고, 링상 필름을 롤 단면에 장착할 때의 장착성을 이하와 같이 순위 매김했다.The rolls were prepared as described in < Production of photosensitive resin laminate roll >, and the mountability when the ring-shaped film was mounted on the roll section was ranked as follows.

○ : 링상 시트를 간단히 장착할 수 있었다. 롤 단면에 첩부할 때 주름 없이 첩부할 수 있었다.A: The ring-shaped sheet could be easily mounted. It could be attached without wrinkles when it was attached to the roll section.

△ : 락 홀더 또는 권심에 링상 시트가 첩부되어, 장착에 시간을 필요로 했다. 롤 단면에 첩부할 때, 일부 주름이 발생하거나 공기가 들어갔다.?: The ring-shaped sheet was stuck to the lock holder or the core, requiring time for mounting. When pasting to the roll section, some wrinkles or air entered.

× : 락 홀더 또는 권심에 링상 시트가 첩부되어, 장착에 시간을 필요로 했다. 원하지 않는 지점에 첩부된 링상 시트를 박리하여 재차 첩부할 때에, 링상 시트가 신장하여 변형되어 버리거나 찢어져 버려, 롤 단면에의 첩부가 곤란했다.X: The ring-shaped sheet was stuck to the lock holder or the core, requiring time for mounting. The ring-shaped sheet is stretched and deformed or torn when the ring-shaped sheet pasted to an undesired point is peeled and reapplied, making it difficult to attach the ring-shaped sheet to the roll section.

(3) 링상 시트의 포장재 첩부성(3) Packing material of ring sheet

상기 <감광성 수지 적층체 롤의 제작> 에 기재된 바와 같이 롤을 제작한 후, 이것을 풀었다. 풀은 후도 장착 시와 동일하게 링상 시트가 단면에 장착되어 있는지 관찰하고, 이하와 같이 순위 매김했다.A roll was prepared as described in < Production of photosensitive resin laminate roll >, which was then loosened. It was observed whether the ring sheet was attached to the end face in the same manner as in the case of the back mounting, and ranked as follows.

○ : 장착 시와 동일하게 장착되어 있다.∘: Mounted in the same way as when mounted.

△ : 롤을 풀 때에 링상 시트가 차광성 원통형 폴리에틸렌 시트에 첩부되어, 일부 단면으로부터 박리되어 있는 지점이 있다.DELTA: When the roll is released, the ring-shaped sheet is attached to the light-shielding cylindrical polyethylene sheet, and there is a point where the ring-shaped sheet is peeled off from a part of the end surface.

× : 롤을 풀 때에 링상 시트가 차광성 원통형 폴리에틸렌 시트에 첩부되어, 차광성 원통형 폴리에틸렌 시트와 함께 박리되어 있다.X: When the roll was released, the ring-shaped sheet was attached to the light-shielding cylindrical polyethylene sheet and peeled together with the light-shielding cylindrical polyethylene sheet.

(4) 링상 시트의 제거성(4) Removability of the ring sheet

상기 <감광성 수지 적층체 롤의 제작> 에 기재된 바와 같이 롤을 제작한 후, 이것을 풀고, 수지제 장갑을 낀 손으로 링상 시트를 박리했다. 박리 시의 작업성을 이하와 같이 순위 매김했다.After the roll was prepared as described in " Production of photosensitive resin laminate roll ", the roll was loosened, and the ring-shaped sheet was peeled off with a hand made of resin gloves. The workability at the time of peeling was ranked as follows.

○ : 링상 시트를 5 초 이내에 용이하게 박리할 수 있다.?: The ring-shaped sheet can be easily peeled off within 5 seconds.

△ : 링상 시트의 박리에 5 초 이상 시간을 필요로 한다.DELTA: Time required for peeling of the ring sheet for 5 seconds or more.

(5) 이물질 개수(5) Number of foreign substances

상기 <감광성 수지 적층체 롤의 제작> 에 기재된 바와 같이 롤상의 감광성 수지 적층체를 14 개 제작했다. 모든 롤의 단면으로부터 이물질을 제거하고, 이 14 개 중에서 랜덤하게 롤 단면에 합계 4 지점 이물질을 부착시켰다. 그 후, 모든 롤에 링상 시트 장착하여 박리하고, 롤 단면에 부착되어 있는 이물질을 카운트했다.Fourteen photosensitive resin laminate rolls were prepared as described in < Production of photosensitive resin laminate roll >. The foreign substances were removed from the cross sections of all the rolls, and a total of four foreign substances were adhered to the roll cross section at random among these. Thereafter, a ring-shaped sheet was attached to all the rolls and peeled off, and the foreign substances adhering to the rolls were counted.

Figure pat00001
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Figure pat00002
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Figure pat00003
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Figure pat00004
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Figure pat00005
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감광성 수지 적층체 (1) 를 감광성 수지 적층체 (2 ∼ 6) 로 하고, 링상 시트에 샘플 B 를 사용한 것 이외는, 감광성 수지 적층체 롤 (1) 과 마찬가지로 감광성 수지 적층체 롤을 제작하고, 이것을 감광성 수지 적층체 롤 (2 ∼ 6) 로 했다. 감광성 수지 롤 (2 ∼ 6) 을 사용하여 (1) ∼ (5) 의 평가를 실시한 결과 감광성 수지 적층체 롤 (1) 을 사용한 경우와 동일한 결과를 얻을 수 있었다.A photosensitive resin laminate roll was prepared in the same manner as in the case of the photosensitive resin laminate roll (1) except that the photosensitive resin laminate (1) was a photosensitive resin laminate (2 to 6) This was used as photosensitive resin laminate rolls (2 to 6). Evaluation of (1) to (5) was carried out using the photosensitive resin rolls (2 to 6), and the same results as those in the case of using the photosensitive resin laminate roll (1) were obtained.

감광성 수지 적층체 (1) 를 감광성 수지 적층체 (7 ∼ 10) 로 하고, 링상 시트에 샘플 B 를 사용하고, 외경 180 mm 를 외경 176 mm 로 한 것 이외는, 감광성 수지 적층체 롤 (1) 과 마찬가지로 감광성 수지 적층체 롤을 제작하고, 이것을 감광성 수지 적층체 롤 (7 ∼ 10) 로 했다. 롤상으로 권취된 감광성 수지 적층체의 외경은 176 mm 였다. 감광성 수지 롤 (7 ∼ 10) 을 사용하여 (1) ∼ (5) 의 평가를 실시한 결과 감광성 수지 적층체 롤 (1) 을 사용한 경우와 동일한 결과를 얻을 수 있었다.A photosensitive resin laminate roll (1) was obtained in the same manner as in the photosensitive resin laminate (1) except that the photosensitive resin laminate (1) was a photosensitive resin laminate (7 to 10) , A photosensitive resin laminate roll was prepared and used as a photosensitive resin laminate roll (7 to 10). The outer diameter of the photosensitive resin laminate wound in the roll form was 176 mm. Evaluation of (1) to (5) using photosensitive resin rolls (7 to 10) gave the same results as in the case of using the photosensitive resin laminate roll (1).

산업상 이용가능성Industrial availability

상기 서술한 감광성 수지 적층체 롤은, 롤을 풀 때에 용이하게 이물질이 제거되므로 정밀 기기, 전자 재료의 가공에 유용하고, 정밀 기기, 전자 재료에 삽입되는 영구 패턴으로서도 유용하다.The photosensitive resin laminate roll described above is useful for processing precision instruments and electronic materials because foreign matters are easily removed when rolls are unrolled, and is also useful as a permanent pattern to be inserted into precision instruments and electronic materials.

1 : 감광성 수지 적층체
2 : 권심
3 : 롤 단면 보호 부재 (링상 시트)
4 : 지지층
5 : 감광성 수지층
6 : 보호층
7 : 평판
8 : 고정 부재
9 : 차광 시트
10 : 감광성 수지 적층체 롤
1: photosensitive resin laminate
2: Reason
3: Roll section protection member (ring-shaped sheet)
4: Support layer
5: Photosensitive resin layer
6: Protective layer
7: Reputation
8: Fixing member
9: Shading sheet
10: Photosensitive resin laminate roll

Claims (31)

감광성 수지 적층체가 권심에 롤상으로 권취되어 있고,
롤 단면 보호 부재가, 권취된 감광성 수지 적층체의 단면에 접촉하도록 배치된 감광성 수지 적층체 롤로서,
상기 롤 단면 보호 부재는, 롤 단면과 접촉하는 측에 점착제 조성물을 가지고 있고,
상기 감광성 수지 적층체는, 적어도 지지층과, 당해 지지층에 적층되는 감광성 수지층을 포함하는,
감광성 수지 적층체 롤.
The photosensitive resin laminate is wound in a rolled form on the core,
A roll of a photosensitive resin laminated body in which a roll section protecting member is arranged so as to come into contact with an end face of a wound photosensitive resin laminate,
Wherein the roll section protection member has a pressure-sensitive adhesive composition on a side in contact with the roll section,
Wherein the photosensitive resin laminate comprises at least a support layer and a photosensitive resin layer laminated on the support layer,
Photosensitive resin laminate roll.
제 1 항에 있어서,
차광 시트에 의해 덮이는 것을 특징으로 하는 감광성 수지 적층체 롤.
The method according to claim 1,
Wherein the light-shielding sheet is covered with a light-shielding sheet.
제 2 항에 있어서,
상기 차광 시트가 통형상인 것을 특징으로 하는 감광성 수지 적층체 롤.
3. The method of claim 2,
Wherein the light-shielding sheet is cylindrical.
제 1 항에 있어서,
상기 권심의 길이가 상기 감광성 수지 적층체의 폭보다 길고,
상기 롤 단면 보호 부재는 롤상으로 권취된 감광성 수지 적층체의 단면에 구비되는 링상 시트이며, 당해 링상 시트가 상기 권심의 돌출부를 삽입 통과하여 구비되는 감광성 수지 적층체 롤.
The method according to claim 1,
The length of the winding core is longer than the width of the photosensitive resin laminate,
Wherein the roll protection member is a ring-shaped sheet provided on an end face of the photosensitive resin laminate wound in a roll form, and the ring-shaped sheet is provided by inserting the protrusion of the winding core.
제 4 항에 있어서,
상기 링상 시트의 내경이 권심의 외경의 1 ∼ 1.1 배인 것을 특징으로 하는 감광성 수지 적층체 롤.
5. The method of claim 4,
Wherein the inner diameter of the ring-shaped sheet is 1 to 1.1 times the outer diameter of the winding core.
제 4 항에 있어서,
수평으로 돌출된 평판 상에, 상기 링상 시트를 그 반이 공중에 존재하도록 설치하고, 상기 링상 시트의 공중에 존재하는 부분에 있어서 평판으로부터 가장 떨어진 상기 링상 시트의 선단과, 평판의 상기 링상 시트와 접촉하고 있는 측의 면의 거리를 절곡 거리 H (mm) 로 하고, 상기 링상 시트의 외경의 반을 R (mm) 로 했을 때, H/R 이 0.06 ∼ 0.59 인 것을 특징으로 하는 감광성 수지 적층체 롤.
5. The method of claim 4,
Wherein the ring-shaped sheet is provided so as to be in the air in a state of being projected horizontally, and the tip end of the ring-shaped sheet which is farthest from the flat plate in a portion in the air of the ring- Wherein a ratio of H / R is 0.06 to 0.59, where B (mm) is the bending distance of the contact side, and R (mm) is the half of the outer diameter of the ring-shaped sheet. role.
제 1 항에 있어서,
상기 단면 보호 부재와 저밀도 폴리에틸렌 필름의 접착력이, 5 gf/inch ∼ 250 gf/inch 인 것을 특징으로 하는 감광성 수지 적층체 롤.
The method according to claim 1,
Wherein the adhesive force between the cross-sectional protective member and the low-density polyethylene film is 5 gf / inch to 250 gf / inch.
제 1 항에 있어서,
상기 롤 단면 보호 부재의 기재가, 무발진지, 저발진지, 합성지, 또는 종이와 수지 기재를 첩합하여 이루어지는 것인 것을 특징으로 하는 감광성 수지 적층체 롤.
The method according to claim 1,
Wherein the substrate of the rolled section protection member is formed by blending a non-fogged spot, a low fogging spot, a synthetic paper, or a paper and a resin base material.
제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 감광성 수지층이, 카르복실기를 함유하는 알칼리 가용성 고분자, 부가 중합성 모노머, 광 중합 개시제를 함유하는 감광성 수지 조성물로 이루어지는 층인 것을 특징으로 하는 감광성 수지 적층체 롤.
9. The method according to any one of claims 1 to 8,
Wherein the photosensitive resin layer is a layer comprising a photosensitive resin composition containing an alkali-soluble polymer containing a carboxyl group, an addition polymerizable monomer, and a photopolymerization initiator.
제 9 항에 있어서,
상기 카르복실기를 함유하는 알칼리 가용성 고분자가, 스티렌 또는 그 유도체를 공중합한 것인 것을 특징으로 하는 감광성 수지 적층체 롤.
10. The method of claim 9,
Wherein the alkali-soluble polymer containing a carboxyl group is a copolymer of styrene or a derivative thereof.
제 9 항에 있어서,
상기 부가 중합성 모노머가, 비스페놀 A 계 (메트)아크릴레이트 화합물을 함유하는 것을 특징으로 하는 감광성 수지 적층체 롤.
10. The method of claim 9,
Wherein the addition polymerizable monomer contains a bisphenol A (meth) acrylate compound.
제 9 항에 있어서,
상기 광 중합 개시제가, 헥사아릴비이미다졸 또는 그 유도체를 함유하는 것을 특징으로 하는 감광성 수지 적층체 롤.
10. The method of claim 9,
Wherein the photopolymerization initiator comprises hexaaryl biimidazole or a derivative thereof.
제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 점착제 조성물이, 아크릴계 수지를 함유하는 것을 특징으로 하는 감광성 수지 적층체 롤.
9. The method according to any one of claims 1 to 8,
Wherein the pressure-sensitive adhesive composition comprises an acrylic resin.
제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 점착제 조성물이, 점착제와 입자를 함유하고, 그 입자의 50 질량% 이상은, 그 점착제 조성물의 도포 두께의 80 ∼ 120 % 의 직경을 갖는 것이며, 또한 그 입자의 함유량은, 점착제 100 중량부에 대해 5 중량부 내지 30 중량부인 것을 특징으로 하는 감광성 수지 적층체 롤.
9. The method according to any one of claims 1 to 8,
Wherein the pressure-sensitive adhesive composition contains a pressure-sensitive adhesive and particles, wherein at least 50 mass% of the particles have a diameter of 80 to 120% of a thickness of the pressure-sensitive adhesive composition applied, and the content of the particles is 100 parts by mass To 5 parts by weight to 30 parts by weight per 100 parts by weight of the photosensitive resin composition.
감광성 수지 적층체를 권심에 롤상으로 권취하고, 롤 단면 보호 부재를, 권취된 감광성 수지 적층체의 단면에 접촉하도록 구비하는 감광성 수지 적층체 롤의 제조 방법으로서,
당해 권심의 길이가 당해 감광성 수지 적층체의 폭보다 길고,
당해 감광성 수지 적층체는, 적어도 지지층과, 당해 지지층에 적층되는 감광성 수지층을 포함하고,
당해 롤 단면 보호 부재는,
롤 단면과 접촉하는 측에 점착제 조성물을 가지고 있고,
롤상으로 권취된 감광성 수지 적층체의 단면에 일체 또는 복수의 부분으로 분할된 상태로 구비되고, 롤상으로 권취된 감광성 수지 적층체의 단면에 구비된 후는 내경이 권심의 외경의 1 ∼ 1.1 배의 링상 시트인 것을 특징으로 하는,
감광성 수지 적층체 롤의 제조 방법.
A process for producing a photosensitive resin laminate roll in which a photosensitive resin laminate is wound in a roll in a winding manner and the roll end face protection member is brought into contact with the end face of the wound photosensitive resin laminate,
The length of the winding is longer than the width of the photosensitive resin laminate,
The photosensitive resin laminate includes at least a support layer and a photosensitive resin layer laminated on the support layer,
The rolled section protection member,
And a pressure-sensitive adhesive composition on the side in contact with the roll section,
The photosensitive resin laminate wound in a rolled state is provided in a state in which it is divided into one or a plurality of parts, and after the photosensitive resin laminate is wound on the roll, the inner diameter of the photosensitive resin laminate is 1 to 1.1 times Characterized in that it is a ring-shaped sheet,
A method for producing a photosensitive resin laminate roll.
제 15 항에 있어서,
상기 링상 시트의 내경이 상기 권심의 외경의 1.001 ∼ 1.1 배이며, 상기 권심의 돌출부를 삽입 통과하여 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 감광성 수지 적층체 롤의 제조 방법.
16. The method of claim 15,
Wherein the inner diameter of the ring-shaped sheet is 1.001 to 1.1 times as large as the outer diameter of the core, and the projections of the core are passed through the core.
제 15 항에 있어서,
수평으로 돌출된 평판 상에, 상기 링상 시트를 그 반이 공중에 존재하도록 설치하고, 상기 링상 시트의 공중에 존재하는 부분에 있어서 평판으로부터 가장 떨어진 상기 링상 시트의 선단과, 평판의 상기 링상 시트와 접촉하고 있는 측의 면의 거리를 절곡 거리 H (mm) 로 하고, 상기 링상 시트의 외경의 반을 R (mm) 로 했을 때, H/R 이 0.06 ∼ 0.59 인 것을 특징으로 하는 감광성 수지 적층체 롤의 제조 방법.
16. The method of claim 15,
Wherein the ring-shaped sheet is provided so as to be in the air in a state of being projected horizontally, and the tip end of the ring-shaped sheet which is farthest from the flat plate in a portion in the air of the ring- Wherein a ratio of H / R is 0.06 to 0.59, where B (mm) is the bending distance of the contact side, and R (mm) is the half of the outer diameter of the ring-shaped sheet. A method of manufacturing a roll.
제 15 항에 있어서,
상기 링상 시트와 저밀도 폴리에틸렌 필름의 접착력이, 5 gf/inch ∼ 250 gf/inch 인 것을 특징으로 하는 감광성 수지 적층체 롤의 제조 방법.
16. The method of claim 15,
Wherein the adhesion between the ring-shaped sheet and the low-density polyethylene film is from 5 gf / inch to 250 gf / inch.
제 15 항 내지 제 18 항 중 어느 한 항에 기재된 방법으로 감광성 수지 적층체 롤을 제조하고, 또한 통형상의 차광 시트에 의해 덮는 것을 특징으로 하는 감광성 수지 적층체 롤의 곤포 방법.A method for packing a photosensitive resin laminate roll, characterized in that a photosensitive resin laminate roll is produced by the method according to any one of claims 15 to 18 and further covered with a tubular light shielding sheet. 필름이 권심에 롤상으로 권취되어 있는 필름 롤용의 링상 시트로서,
상기 권심의 길이는, 상기 필름의 폭보다 길고,
상기 링상 시트의 내경이 권심의 외경의 1 ∼ 1.1 배이며, 또한
상기 링상 시트는, 상기 권취된 필름의 단면에 접촉하고,
이 단면과 접촉하는 측에 점착제 조성물을 가지고 있고, 상기 권심의 돌출부를 삽입 통과하여 필름 롤에 구비되는,
링상 시트.
1. A ring-shaped sheet for a film roll in which a film is wound in a roll-
The length of the winding core is longer than the width of the film,
The inner diameter of the ring-shaped sheet is 1 to 1.1 times the outer diameter of the core, and
Wherein the ring-shaped sheet is in contact with an end face of the wound film,
And a pressure-sensitive adhesive composition is provided on the side in contact with the end face,
Ring top sheet.
제 20 항에 있어서,
상기 필름은, 감광성 수지 적층체인 링상 시트.
21. The method of claim 20,
The film is a ring-shaped sheet, which is a laminate of photosensitive resin.
제 20 항에 있어서,
수평으로 돌출된 평판 상에, 상기 링상 시트를 그 반이 공중에 존재하도록 설치하고, 상기 링상 시트의 공중에 존재하는 부분에 있어서 평판으로부터 가장 떨어진 상기 링상 시트의 선단과, 평판의 상기 링상 시트와 접촉하고 있는 측의 면의 거리를 절곡 거리 H (mm) 로 하고, 상기 링상 시트의 외경의 반을 R (mm) 로 했을 때, H/R 이 0.06 ∼ 0.59 인 것을 특징으로 하는 링상 시트.
21. The method of claim 20,
Wherein the ring-shaped sheet is provided so as to be in the air in a state of being projected horizontally, and the tip end of the ring-shaped sheet which is farthest from the flat plate in a portion in the air of the ring- Wherein the ratio H / R is 0.06 to 0.59, where B (mm) is the bending distance of the contacting side, and R (mm) is the half of the outer diameter of the ring-shaped sheet.
제 20 항에 있어서,
저밀도 폴리에틸렌 필름과의 접착력이, 5 gf/inch ∼ 250 gf/inch 인 것을 특징으로 하는 링상 시트.
21. The method of claim 20,
Wherein the adhesive strength to the low-density polyethylene film is 5 gf / inch to 250 gf / inch.
제 20 항에 있어서,
무발진지, 저발진지, 합성지, 또는 종이와 수지 기재를 첩합하여 이루어지는 것인 기재를 갖는 것을 특징으로 하는 링상 시트.
21. The method of claim 20,
Wherein the base sheet is made of a nonwoven fabric, a low density paper, a synthetic paper, or a paper base and a resin base material.
제 21 항 내지 제 24 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 감광성 수지층이, 카르복실기를 함유하는 알칼리 가용성 고분자, 부가 중합성 모노머, 광 중합 개시제를 함유하는 감광성 수지 조성물로 이루어지는 층인 것을 특징으로 하는 링상 시트.
25. The method according to any one of claims 21 to 24,
Wherein the photosensitive resin layer is a layer comprising a photosensitive resin composition containing an alkali-soluble polymer containing a carboxyl group, an addition polymerizable monomer, and a photopolymerization initiator.
제 25 항에 있어서,
상기 카르복실기를 함유하는 알칼리 가용성 고분자가, 스티렌 또는 그 유도체를 공중합한 것인 것을 특징으로 하는 링상 시트.
26. The method of claim 25,
Wherein the alkali-soluble polymer containing a carboxyl group is a copolymer of styrene or a derivative thereof.
제 25 항에 있어서,
상기 부가 중합성 모노머가, 비스페놀 A 계 (메트)아크릴레이트 화합물을 함유하는 것을 특징으로 하는 링상 시트.
26. The method of claim 25,
Wherein the addition polymerizable monomer contains a bisphenol A (meth) acrylate compound.
제 25 항에 있어서,
상기 광 중합 개시제가, 헥사아릴비이미다졸 또는 그 유도체를 함유하는 것을 특징으로 하는 링상 시트.
26. The method of claim 25,
Wherein the photo polymerization initiator comprises hexaaryl biimidazole or a derivative thereof.
제 20 항 내지 제 24 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 점착제 조성물이, 아크릴계 수지를 함유하는 것을 특징으로 하는 링상 시트.
25. The method according to any one of claims 20 to 24,
Wherein the pressure-sensitive adhesive composition comprises an acrylic resin.
제 20 항 내지 제 24 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 점착제 조성물이, 점착제와 입자를 함유하고, 그 입자의 50 질량% 이상은, 그 점착제 조성물의 도포 두께의 80 ∼ 120 % 의 직경을 갖는 것이며, 또한 그 입자의 함유량은, 점착제 100 중량부에 대해 5 중량부 내지 30 중량부인 것을 특징으로 하는 링상 시트.
25. The method according to any one of claims 20 to 24,
Wherein the pressure-sensitive adhesive composition contains a pressure-sensitive adhesive and particles, wherein at least 50 mass% of the particles have a diameter of 80 to 120% of a thickness of the pressure-sensitive adhesive composition applied, and the content of the particles is 100 parts by mass And 5 to 30 parts by weight per 100 parts by weight of the total weight of the ring-shaped sheet.
차광 시트에 의해 덮인, 제 20 항 내지 제 24 항 중 어느 한 항에 기재된 링상 시트를 구비한 필름 롤.A film roll comprising the ring-shaped sheet according to any one of claims 20 to 24, which is covered by a light-shielding sheet.
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