KR20190017553A

KR20190017553A - Film frame, display substrate manufacturing system and display substrate manufacturing method

Info

Publication number: KR20190017553A
Application number: KR1020170102561A
Authority: KR
Inventors: 김동욱; 이주현; 김병상; 박경빈; 손기주; 유호
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 2017-08-11
Filing date: 2017-08-11
Publication date: 2019-02-20
Also published as: KR102440363B1; CN109388019A; US10942447B2; CN109388019B; US20190049837A1

Abstract

According to embodiments of the present invention, a film frame configured to be able to load an imprint film comprises: a pair of frame members extended in a first direction and arranged to be aligned with each other; a fixated end clamp connected to the pair of frame members and extended in a second direction vertical to the first direction; and a free end clamp arranged between the pair of frame members, extended in the second direction, and configured to be assembled with and separated from the pair of frame members. The fixated end clamp includes: a first magnetic fixated unit extended in the second direction; and a second magnetic fixated unit arranged on the first magnetic fixated unit. The free end clamp includes: a third magnetic fixated unit extended in the second direction; and a fourth magnetic fixated unit arranged on the third magnetic fixated unit. The present invention can automate a process of loading the imprint film on the film frame.

Description

[0001] The present invention relates to a film frame, a display substrate manufacturing system, and a display substrate manufacturing method,

본 발명은 필름 프레임, 디스플레이 기판의 제조 시스템 및 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 임프린트 필름이 적재되는 필름 프레임, 임프린트 필름을 이용한 디스플레이 기판의 제조 시스템 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a system and method for manufacturing a film frame and a display substrate, and more particularly, to a system and a method for manufacturing a display substrate using a film frame and an imprint film on which an imprint film is mounted.

임프린트 기술은 반도체 장치의 생산을 위한 리소그래피 기술 중 하나이다. 임프린트 기술은 미세한 요철 패턴이 형성된 몰드(예컨대 임프린트 필름)를 원판으로 사용하여, 실리콘 기판 또는 유리 기판 등의 기판 상에 요철 패턴을 형성하는 기술이다.Imprint technology is one of the lithography techniques for the production of semiconductor devices. The imprint technique is a technique for forming a concavo-convex pattern on a substrate such as a silicon substrate or a glass substrate by using a mold (e.g., an imprint film) having a minute uneven pattern formed thereon as a disk.

본 발명이 이루고자 하는 과제중 하나는 디스플레이 기판의 제조 과정을 자동화하여 디스플레이 기판의 제조 효율 및 신뢰도를 제고하는 것이다.One of the problems to be solved by the present invention is to improve manufacturing efficiency and reliability of a display substrate by automating the manufacturing process of the display substrate.

본 발명이 해결하고자 하는 과제들은 이상에서 언급한 과제에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problems to be solved by the present invention are not limited to the above-mentioned problems, and other problems not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상술한 과제를 해결하기 위한, 일부 실시예들에 따른 임프린트용 필름을 적재할 수 있도록 구성된 필름 프레임은 제1 방향으로 연장되며 서로 정렬되어 배치된 한 쌍의 프레임 멤버들; 상기 한 쌍의 프레임 멤버들에 연결되며, 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 연장되는 고정단 클램프; 및 상기 한 쌍의 프레임 멤버들의 사이에 배치되되, 상기 제2 방향으로 연장되고 상기 한 쌍의 프레임 멤버들에 대해 결합하고 분리될 수 있도록 구성된 자유단 클램프를 포함하고 상기 고정단 클램프는 상기 제2 방향으로 연장되는 제1 자기 고정 유닛 및 상기 제1 자기 고정 유닛 상에 배치된 제2 자기 고정 유닛을 포함하고, 상기 자유단 클램프는 상기 제2 방향으로 연장되는 제3 자기 고정 유닛 및 상기 제3 자기 고정 유닛 상에 배치된 제4 자기 고정 유닛을 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above-mentioned problems, a film frame configured to be able to load a film for imprint according to some embodiments includes a pair of frame members extending in a first direction and arranged in alignment with each other; A fixed stage clamp connected to the pair of frame members and extending in a second direction perpendicular to the first direction; And a free end clamp disposed between the pair of frame members, the free end clamp being configured to extend in the second direction and to be engaged and disengaged with respect to the pair of frame members, And a second magnetic fixed unit disposed on the first magnetic fixed unit, wherein the free end clamp includes a third magnetic fixed unit extending in the second direction, and a third magnetic fixed unit extending in the second direction, And a fourth magnetic fixing unit disposed on the magnetic fixing unit.

다른 일부 실시예들에 따른 디스플레이 기판 제조 시스템은 필름 로딩 스테이지; 상기 필름 로딩 스테이지에서 임프린트 필름을 적재할 수 있도록 구성된 필름 프레임; 및 상기 임프린트 필름으로 디스플레이 기판에 임프린트 공정을 수행하는 임프린트 스테이지를 포함하는 디스플레이 제조 시스템에 있어서, 상기 필름 로딩 스테이지는; 사각 평판 형태의 필름 로딩 척; 및 상기 필름 로딩 척의 대향하는 한 쌍의 제1 가장자리들에 인접하게 배치된 접착성 롤 및 몰드를 포함하고, 상기 필름 로딩 스테이지 및 상기 임프린트 스테이지 사이에서 상기 필름 프레임을 이동시킬 수 있도록 구성된 이송 수단;을 포함한다.A display substrate manufacturing system according to some other embodiments includes a film loading stage; A film frame configured to load an imprint film in the film loading stage; And an imprint stage for performing an imprint process on the display substrate with the imprint film, wherein the film loading stage comprises: A film loading chuck in the form of a rectangular plate; And transfer means configured to transfer the film frame between the film loading stage and the imprint stage, the transfer means comprising an adhesive roll and a mold disposed adjacent to an opposing pair of first edges of the film loading chuck; .

다른 일부 실시예들에 따른 디스플레이 기판 제조 방법은, 필름 프레임을 필름 로딩 스테이지에 제공하는 단계; 임프린트 필름을 상기 필름 로딩 스테이지에 제공하는 단계; 상기 임프린트 필름을 상기 필름 프레임에 대해 정렬시키는 단계; 상기 임프린트 필름을 상기 필름 프레임에 고정시키는 단계; 및 상기 임프린트 필름을 디스플레이 기판상에 임프린트 하는 단계를 포함하되, 상기 임프린트 필름을 제공하는 단계는 탄성력을 이용하여 상기 임프린트 필름에 부착된 보호 필름과 상기 임프린트 필름을 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to some other embodiments, a method of manufacturing a display substrate includes providing a film frame to a film loading stage; Providing an imprinted film on the film loading stage; Aligning the imprinted film with respect to the film frame; Fixing the imprinted film to the film frame; And a step of imprinting the imprinted film on a display substrate, wherein the step of providing the imprinted film includes separating the imprinted film and the protective film attached to the imprinted film by using an elastic force do.

본 발명의 기술적 사상에 따르면, 임프린트 필름을 필름 프레임에 적재하는 단계를 자동화할 수 있다. 이에 따라서 디스플레이 기판의 생산 효율을 향상시키고 신뢰도를 제고할 수 있다.According to the technical idea of the present invention, the step of loading the imprint film on the film frame can be automated. Accordingly, the production efficiency of the display substrate can be improved and the reliability can be improved.

도 1은 일부 실시예들에 따른 디스플레이 기판 제조 시스템을 도시한 블록도이다.
도 2는 일부 실시예들에 따른 필름 로딩 스테이지(1)를 도시한 평면도이다.
도 3a 및 3b는 도 2의 절단선 I-I'에 대응하는 단면도이다.
도 3c는 일부 실시예들에 따른 보호 필름 분리를 설명하기 위한 그래프이다.
도 4는 도 2의 절단선 II-II'에 대응하는 단면도이다.
도 5a는 일부 실시예들에 따른 필름 프레임을 설명하기 위한 분해 사시도이다.
도 5b는 일부 실시예들에 따른 필름 프레임을 설명하기 위한 사시도이다.
도 5c는 도 5b의 절단선 III-III'를 따라 취한 단면도이다.
도 6a 내지 6c는 일부 실시예들에 따른 필름 프레임을 설명하기 위한 사시도들이다.
도 7a 내지 7c는 일부 실시예들에 따른 필름 프레임을 설명하기 위한 단면도들이다.
도 8a 및 8b는 일부 실시예들에 따른 임프린트 스테이지를 설명하기 위한 평면도들이다.
도 9는 일부 실시예들에 따른 디스플레이 기판 제조 방법을 설명하기 위한 순서도이다.1 is a block diagram illustrating a display substrate manufacturing system in accordance with some embodiments.
2 is a plan view showing a film loading stage 1 according to some embodiments.
Figures 3a and 3b are cross-sectional views corresponding to the cut line I-I 'of Figure 2.
3C is a graph for explaining the separation of the protective film according to some embodiments.
4 is a cross-sectional view corresponding to the cutting line II-II 'of FIG. 2;
5A is an exploded perspective view illustrating a film frame according to some embodiments.
5B is a perspective view illustrating a film frame according to some embodiments.
5C is a cross-sectional view taken along line III-III 'of FIG. 5B.
6A to 6C are perspective views for explaining a film frame according to some embodiments.
7A to 7C are cross-sectional views illustrating a film frame according to some embodiments.
8A and 8B are top plan views for explaining an imprint stage according to some embodiments.
9 is a flow chart for explaining a display substrate manufacturing method according to some embodiments.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명한다. 도면 상의 동일한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 사용하고, 이들에 대한 중복된 설명은 생략한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The same reference numerals are used for the same constituent elements in the drawings, and a duplicate description thereof will be omitted.

도 1은 일부 실시예들에 따른 디스플레이 기판 제조 시스템(1000)을 도시한 블록도이다. Figure 1 is a block diagram illustrating a display substrate manufacturing system 1000 in accordance with some embodiments.

도 1을 참조하면 디스플레이 기판 제조 시스템(1000)은 필름 로딩 스테이지(1) 및 임프린트 스테이지(2)를 포함할 수 있다. 도시되지 않았으나, 디스플레이 기판 제조 시스템(1000)은 임프린트 필름(IF, 도 3a 참조)이 적재되는 필름 프레임(200, 5a 참조)을 더 포함할 수 있다. 임프린트 필름(IF, 도 3a 참조)은 필름 로딩 스테이지(1)에서 필름 프레임(200, 5a 참조)에 적재될 수 있다. 임프린트 필름(IF, 도 3a 참조)이 적재된 필름 프레임(200, 5a 참조)은 임프린트 스테이지(2)로 이동하여 디스플레이 기판에 임프린트 공정을 수행할 수 있다.Referring to FIG. 1, a display substrate manufacturing system 1000 may include a film loading stage 1 and an imprint stage 2. Although not shown, the display substrate manufacturing system 1000 may further include a film frame 200, 5a on which an imprint film IF (see FIG. 3A) is loaded. The imprint film IF (see Fig. 3A) can be loaded on the film frame 200, 5a in the film loading stage 1. Fig. The film frames 200 and 5a loaded with the imprint film IF (see FIG. 3A) are moved to the imprint stage 2 to perform the imprint process on the display substrate.

임프린트 공정은, 주형(예컨대, 임프린트 필름)의 요철 패턴을 기판 등에 전사하는 공정이다. 기판 상에 광경화성 약액층(예컨대, 자외선 경화 물질)을 도포하고, 주형을 사용하여 약액층 상에 요철 패턴을 형성한다. 요철 패턴이 형성된 약액층에 광(예를 들어, 자외선)을 조사하여 약액층을 경화한 후 주형을 경화된 약액층로부터 분리한다.The imprint process is a process of transferring the concavo-convex pattern of a mold (e.g., an imprint film) to a substrate or the like. A photocurable chemical liquid layer (for example, an ultraviolet curable material) is applied on a substrate, and a concavo-convex pattern is formed on the chemical liquid layer by using a mold. (For example, ultraviolet rays) is irradiated to the chemical liquid layer formed with the concavo-convex pattern to cure the chemical liquid layer, and then the mold is separated from the cured chemical liquid layer.

도 2는 일부 실시예들에 따른 필름 로딩 스테이지(1)를 설명하기 위한 평면도이다. 도 3a 및 3b는 도 2의 절단선 I-I'에 대응하는 단면도이고, 도 4는 도 2의 절단선 II-II'에 대응하는 단면도이다.2 is a plan view for illustrating the film loading stage 1 according to some embodiments. 3A and 3B are cross-sectional views corresponding to the cutting line I-I 'of FIG. 2, and FIG. 4 is a cross-sectional view corresponding to the cutting line II-II' of FIG.

다만, 도 3a, 3b 및 도 4에서는 일부 실시예들의 이해를 위해 도 2와 달리 필름 로딩 스테이지(1) 상에 추가적으로 제공된 임프린트 필름(IF) 및 필름(PF)이 도시되어있다.3A, 3B and 4, an imprint film IF and a film PF provided additionally on the film loading stage 1, unlike in Fig. 2, are shown for the sake of understanding some embodiments.

도 2를 참조하면 필름 로딩 스테이지(1)는 필름 로딩 척(110), 보호 필름 분리 수단(120), 필름 고정 수단(130), 기준단(141), 정렬자(143) 및 정렬자 구동 수단(145)을 포함한다.2, the film loading stage 1 includes a film loading chuck 110, a protective film separating means 120, a film holding means 130, a reference end 141, an aligner 143, (145).

필름 로딩 척(110)은 후술하는 필름 프레임(200, 도 5a 참조)에 임프린트 필름(IF, 도 3a 참조)을 적재하는 동안 임프린트 필름(IF, 도 3a 참조)을 지지하도록 구성된 평판 형태의 척이다. 필름 로딩 척(110)은 적어도 두 쌍의 대향하는 가장자리들을 포함할 수 있다. 필름 로딩 척(110)은 대략 사각 평판 형태로 실질적으로 서로 수직한 두 방향으로 연장될 수 있고, 본 명세서에서는 이를 각각 제1, 제2 방향(X, Y)이라 지칭한다. 또한 필름 로딩 척(110)의 상면에 실질적으로 수직한 방향을 제3 방향(Z)이라고 지칭한다. 도면상에 화살표로 표시된 방향과 이의 반대 방향은 동일 방향으로 지칭한다. 일반적으로 필름 로딩 스테이지(1)는 필름 로딩 척(110)의 상면이 지면에 대해 평행하도록 배치될 수 있다. 도 2를 참조하면 필름 로딩 척(110)의 제1 방향(X)에 따른 길이가 제2 방향(Y)에 따른 길이보다 더 긴 것으로 도시되었으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 예컨대, 필름 로딩 척(110)의 제1 방향(X)에 따른 길이가 제2 방향(Y)에 따른 길이와 같거나 더 작은 것도 가능하다. The film loading chuck 110 is a flat chuck configured to support an imprint film IF (see Fig. 3A) while loading an imprint film IF (see Fig. 3A) on a film frame 200 (see Fig. 5A) . The film loading chuck 110 may include at least two pairs of opposed edges. The film loading chuck 110 may extend in two directions substantially perpendicular to each other in a substantially rectangular plate shape and is referred to herein as a first and a second direction (X, Y), respectively. A direction substantially perpendicular to the upper surface of the film loading chuck 110 is referred to as a third direction Z. [ The direction indicated by the arrow in the drawing and the direction opposite thereto are referred to as the same direction. Generally, the film loading stage 1 can be arranged such that the upper surface of the film loading chuck 110 is parallel to the paper surface. 2, the length of the film loading chuck 110 along the first direction X is longer than the length along the second direction Y, but the present invention is not limited thereto. For example, the length of the film loading chuck 110 along the first direction X may be equal to or smaller than the length along the second direction Y. [

필름 로딩 척(110)의 제2 방향(Y)에 따라 연장되는 두 가장자리에 인접하게 보호 필름 분리 수단(120)이 배치될 수 있다. 보호 필름 분리 수단(120)은 후술하듯 임프린트 필름(IF)의 공정면 상에 제공된 보호 필름(PF)을 분리할 수 있도록 구성된다. 여기서 임프린트 필름(IF)의 공정면은 디스플레이 기판(505, 도 8b 참조) 상에 제공된 약액층(510, 도 8b 참조)에 요철 패턴을 형성하도록 기형성된 요철 패턴을 포함하는 면이다.The protective film separating means 120 may be disposed adjacent to the two edges extending in the second direction Y of the film loading chuck 110. The protective film separating means 120 is configured to separate the protective film PF provided on the process surface of the imprint film IF as described later. Here, the processing surface of the imprint film IF is a surface including a concavo-convex pattern formed to form a concave-convex pattern on the chemical layer 510 (see FIG. 8B) provided on the display substrate 505 (see FIG.

필름 로딩 척(110)의 제1 방향(X)에 따라 연장되는 가장자리 중 어느 하나, 즉 제2 방향(Y)에 따른 일단에, 기준단(141)이 연결될 수 있다. 필름 로딩 척(110)의 제1 방향(X)에 따라 연장되는 가장자리 중 다른 하나에 인접하게 정렬자(143)가 배치될 수 있다. 정렬자(143)는 필름 로딩 척(110)과 연결된 정렬자 구동 수단(145)에 연결될 수 있다. 정렬자(143)는 정렬자 구동 수단(145)에 의해 제2 방향(Y)을 따라 이동할 수 있다.The reference end 141 may be connected to one end along the first direction X of the film loading chuck 110, that is, one end along the second direction Y. [ The aligner 143 may be disposed adjacent to the other one of the edges extending in the first direction X of the film loading chuck 110. [ The aligner 143 may be connected to the aligner driving means 145 connected to the film loading chuck 110. The aligner 143 can be moved along the second direction Y by the aligner driving means 145.

필름 로딩 척(110) 위에 필름 고정 수단(130)이 제공될 수 있다. 필름 고정 수단(130)은 소정의 구동 수단에 의해 제3 방향(Z)을 따라 이동할 수 있다. The film loading means 130 may be provided on the film loading chuck 110. The film fixing means 130 can be moved along the third direction Z by a predetermined driving means.

이제 도 2 및 3a를 참조하면, 필름 로딩 스테이지(1) 상에 임프린트 필름(IF)이 제공될 수 있다. 임프린트 필름(IF)은 전술한 임프린트 공정의 주형에 해당할 수 있다. 도시되지 않았으나, 임프린트 필름(IF)의 공정면은 미세 요철 패턴을 포함할 수 있다. 보호 필름(PF)은 임프린트 필름(IF)의 공정면의 미세 입자에 의해 오염되거나 외부 충격에 의한 미세 요철 패턴의 손상되는 것을 방지하도록 임프린트 필름의 공정면 상에 제공될 수 있다. 따라서 임프린트 필름(IF)을 후술하는 필름 프레임(200, 도 5a 참조)에 적재하기 전, 보호 필름(PF)을 분리할 필요가 있다.Referring now to FIGS. 2 and 3A, an imprint film IF may be provided on the film loading stage 1. The imprint film (IF) may correspond to the template of the above-mentioned imprint process. Although not shown, the processing surface of the imprint film IF may include a fine uneven pattern. The protective film PF may be provided on the processing surface of the imprint film to prevent the imprinted film IF from being contaminated by the fine particles on the processing surface or damaging the fine concave and convex pattern due to the external impact. Therefore, it is necessary to separate the protective film PF before loading the imprint film IF into the film frame 200 (see Fig. 5A) to be described later.

필름 로딩 척(110)은 필름 로딩 척(110) 상에 배치된 임프린트 필름(IF) 및 보호 필름(PF)을 부상시키도록 구성될 수 있다. 하지만 이에 제한되는 것은 아니고, 필름 로딩 척(110)은 보호 필름(PF)에 접촉하여 보호 필름(PF) 및 임프린트 필름(IF)을 지지할 수 있다. 필름 로딩 척(110)의 구성에 대해서는 이후에 더욱 자세히 기술하도록 한다. The film loading chuck 110 may be configured to float the imprint film IF and the protective film PF disposed on the film loading chuck 110. [ However, the present invention is not limited thereto, and the film loading chuck 110 may contact the protective film PF to support the protective film PF and the imprint film IF. The configuration of the film loading chuck 110 will be described later in more detail.

필름 고정 수단(130)은 후술하듯 임프린트 필름(IF)을 필름 프레임(200, 도 5a 참조)에 대해 정렬한 후, 임프린트 필름(IF)을 안정적으로 고정할 수 있다. 필름 고정 수단(130)은 예컨대 공압식일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.The film fixing means 130 can stably fix the imprint film IF after aligning the imprint film IF with the film frame 200 (see Fig. 5A) as described later. The film securing means 130 may be, for example, pneumatic, but is not limited thereto.

보호 필름 분리 수단(120)은 접착성 롤(121)과 주형(126)을 포함할 수 있다. 접착성 롤(121)의 표면은 접착성을 가질 수 있다. 접착성 롤(121)의 표면은 접착성 롤(121)에 접촉한 보호 필름(PF)이 접착성 롤(121)에 부착되도록 충분히 강한 접착력을 가질 수 있다. 접착성 롤(121)은 예컨대, 원기둥형일 수 있고, 그 단면 프로파일은 원형일 수 있다. 접착성 롤(121)의 단면 프로파일이 원형인 경우 접착성 롤(121)의 반지름은 약 20mm 이하일 수 있다. 하지만 이에 제한되는 것은 아니고, 접착성 롤(121)의 단면 프로파일은 다양한 곡면 프로파일 및/또는 다각형 프로파일을 가질 수 있다.The protective film separating means 120 may comprise an adhesive roll 121 and a mold 126. The surface of the adhesive roll 121 may have adhesive properties. The surface of the adhesive roll 121 can have an adhesive force strong enough so that the protective film PF in contact with the adhesive roll 121 adheres to the adhesive roll 121. [ The adhesive roll 121 may, for example, be cylindrical, and its cross-sectional profile may be circular. If the cross-sectional profile of the adhesive roll 121 is circular, the radius of the adhesive roll 121 may be about 20 mm or less. But is not limited thereto, the cross-sectional profile of the adhesive roll 121 may have various curved and / or polygonal profiles.

주형(126)은 접착성 롤(121) 상에 배치되되, 제3 방향(Z)을 따라 이동 가능하도록 구성될 수 있다. 하지만 이에 제한되는 것은 아니고, 필름 로딩 척(110), 접착성 롤(121) 및 필름 고정 수단(130)이 제3 방향(Z)을 따라 이동 가능하도록 구성될 수 있다. 접착성 롤(121) 및 주형(126)은 제3 방향(Z)으로 서로 상대 운동하도록 구성될 수 있다. 일부 실시예들에 따르면 주형(126)의 일부분은 접착성 롤(121)에 대응하는 프로파일을 가질 수 있다. 일부 실시예들에 따르면 주형(126)의 접착성 롤(121)과 대향하는 면은 접착성 롤(121)의 표면과 맞물릴 수 있도록 구성된 프로파일을 가질 수 있다. 예컨대, 접착성 롤(121)의 단면 프로파일이 원형인 경우, 주형(126)의 단면 프로파일의 일부는 이에 대응되어 호(arc)를 포함할 수 있다. 또한 접착성 롤(121)의 단면 프로파일이 다양한 곡면 프로파일 및/또는 다각형 프로파일을 가지는 경우, 주형(126)의 단면 프로파일의 일부는 이에 대응하여 다양한 곡면 프로파일 및/또는 다각형 프로파일을 가질 수 있다. 접착성 롤(121) 및 주형(126)을 이용한 보호 필름(PF)의 분리 방법은 뒤에 구체적으로 설명하기로 한다.The mold 126 is disposed on the adhesive roll 121 and can be configured to be movable along the third direction Z. [ However, the present invention is not limited thereto, and the film loading chuck 110, the adhesive roll 121, and the film fixing means 130 may be configured to be movable along the third direction Z. The adhesive rolls 121 and the molds 126 may be configured to move relative to each other in the third direction Z. [ According to some embodiments, a portion of the mold 126 may have a profile corresponding to the adhesive roll 121. According to some embodiments, the surface of the mold 126 that faces the adhesive roll 121 may have a profile configured to engage the surface of the adhesive roll 121. For example, if the cross-sectional profile of the adhesive roll 121 is circular, a portion of the cross-sectional profile of the mold 126 may correspond to it and include an arc. Also, if the cross-sectional profile of the adhesive roll 121 has various curved and / or polygonal profiles, some of the cross-sectional profiles of the mold 126 may have correspondingly different curved and / or polygonal profiles. The method of separating the protective film PF using the adhesive roll 121 and the mold 126 will be described in detail later.

도 2 및 3b를 참조하면, 일부 실시예들에 따른 보호 필름 분리 수단(120')은 접착성 롤(121') 및 주형(126')을 포함할 수 있다. 접착성 롤(121')은 보호 필름의 일단으로부터 타단으로 제1 방향(X)을 따라 이동할 수 있도록 구성된다. 일부 실시예들에 따르면 평판 형태의 주형(126')이 제공될 수 있다. Referring to Figures 2 and 3b, the protective film separating means 120 'according to some embodiments may include an adhesive roll 121' and a mold 126 '. The adhesive roll 121 'is configured to move from one end of the protective film to the other end along the first direction X. [ According to some embodiments, a mold 126 'in the form of a flat plate may be provided.

이제 도 2 및 도 4를 참조하면, 필름 로딩 척(110) 상에 보호 필름(PF, 도 3a 참조)이 분리된 임프린트 필름(IF)이 제공될 수 있다. 도시되지 않았으나, 필름 로딩 척(110)은 행과 열을 따라 배치된 복수개의 기체 유출구를 포함할 수 있다. 기체 유출구를 통해 상방으로 출사된 기체는 임프린트 필름(IF)을 필름 로딩 척(110)의 상면 상에 부상시킬 수 있다. 이에 따라 임프린트 필름(IF)은 필름 로딩 척(110)으로부터 이격되어 필름 로딩 척(110)의 상면에 접하지 않을 수 있다.Referring now to FIGS. 2 and 4, an imprint film IF having a protective film PF (see FIG. 3A) separated therefrom may be provided on the film loading chuck 110. Although not shown, the film loading chuck 110 may include a plurality of gas outlets arranged along rows and columns. The gas emitted upward through the gas outlet can float the imprint film IF on the upper surface of the film loading chuck 110. Accordingly, the imprint film IF may not contact the upper surface of the film loading chuck 110, away from the film loading chuck 110.

기준단(141)은 필름 로딩 척(110)의 제2 방향(Y)에 따른 일단에 연결될 수 있다. 기준단(141)은 제1 방향(X)으로 연장되는 막대 형상을 가질 수 있고, 기준단(141)의 상면은 필름 로딩 척(110)의 상면보다 높을 수 있다. 기준단(141)의 필름 로딩 척(110)과 접하는 면은 필름 로딩 척(110)의 상면에 대해 실질적으로 수직할 수 있다.The reference end 141 may be connected to one end along the second direction Y of the film loading chuck 110. The reference end 141 may have a rod shape extending in the first direction X and the upper surface of the reference end 141 may be higher than the upper surface of the film loading chuck 110. The surface of the reference end 141 that is in contact with the film loading chuck 110 may be substantially perpendicular to the upper surface of the film loading chuck 110.

정렬자(143)는 필름 로딩 척(110)의 제2 방향(Y)에 따른 타단에 연결될 수 있다. 정렬자(143)와 기준단(141)은 필름 로딩 척(110)을 사이에 두고 이격되어 배치될 수 있다. 정렬자(143)는 제1 방향(X)으로 연장되는 막대형상을 갖고, 기준단(141)의 상면은 필름 로딩 척(110)의 상면보다 높을 수 있다. 정렬자(143)의 상면은 기준단(141)의 상면과 실질적으로 동일 레벨에 배치될 수 있다. The aligner 143 may be connected to the other end along the second direction Y of the film loading chuck 110. The aligner 143 and the reference end 141 may be spaced apart from each other with the film loading chuck 110 therebetween. The aligner 143 has a rod shape extending in the first direction X and the upper surface of the reference end 141 may be higher than the upper surface of the film loading chuck 110. The upper surface of the aligner 143 may be disposed at substantially the same level as the upper surface of the reference end 141.

정렬자 구동 수단(145)은 필름 로딩 척(110) 및 정렬자에 연결될 수 있다. 정렬자 구동 수단(145)은 제2 방향(Y)으로 이동할 수 있도록 구성되어, 정렬자 구동 수단(145)의 이동에 따라 정렬자(143) 또한 이동할 수 있다. 정렬자 구동 수단(145)은 모터식 구동 장치, 공압식 구동 장치, 볼 스크류 구동 장치등을 포함할 수 있으나 이에 제한되지 않는다. 정렬자 구동 수단(145)은 제2 방향(Y)으로 이동함에 따라 필름 로딩 척(110) 내로 삽입될 수 있다. 이에 따라 정렬자(143)의 일면은 필름 로딩 척(110)과 접할 수 있다.The aligner drive means 145 may be connected to the film loading chuck 110 and the aligner. The aligner drive means 145 is configured to be movable in the second direction Y so that the aligner 143 can also move as the aligner drive means 145 moves. The aligner drive means 145 may include, but is not limited to, a motorized drive, a pneumatic drive, a ball screw drive, and the like. The aligner driving means 145 can be inserted into the film loading chuck 110 as it moves in the second direction Y. [ Accordingly, one side of the aligner 143 can be in contact with the film loading chuck 110.

도 5a는 일부 실시예들에 따른 필름 프레임을 설명하기 위한 분해 사시도이다. 도 5b는 일부 실시예들에 따른 필름 프레임을 설명하기 위한 사시도이다. 도 5c는 도 5b의 절단선 III-III'를 따라 취한 단면도이다.5A is an exploded perspective view illustrating a film frame according to some embodiments. 5B is a perspective view illustrating a film frame according to some embodiments. 5C is a cross-sectional view taken along line III-III 'of FIG. 5B.

도 5a 내지 5c를 참조하면, 필름 프레임(200)은 한 쌍의 제1 프레임 멤버들(201) 및 한 쌍의 제1 프레임 멤버들(201)의 일단 사이에 연결된 제2 프레임 멤버(202)를 포함할 수 있다. 한 쌍의 제1 프레임 멤버들(201) 및 제2 프레임 멤버(202)는 소정의 방향으로 연장되는 막대 형상일 수 있다. 제1 프레임 멤버들(201)은 각각 제2 프레임 멤버(202)에 인접하게 형성된 자유단 결합 홈(205)을 포함할 수 있다. 자유단 결합 홈(205)은 후술하는 자유단 샤프트들(249, 도 5a 참조)이 삽입될 수 있도록 소정의 크기 및 형상을 갖도록 형성될 수 있다. 필름 프레임(200)이 필름 로딩 척(110) 상에 배치될 때, 제1 프레임 멤버들(201)은 제1 방향(X)에 실질적으로 평행하게 연장될 수 있고, 제2 프레임 멤버(202)는 제2 방향(Y)에 실질적으로 평행하게 연장될 수 있다. 이하에서는 방향을 지칭함에 있어서, 필름 프레임(200)이 필름 로딩 척(110) 상에 배치될 때의 방향을 기준으로 하여 도 2 및 도 3a 내지 3b 에서 정의된 방향과 일치하도록 설명한다.5A to 5C, the film frame 200 includes a pair of first frame members 201 and a second frame member 202 connected between one ends of the pair of first frame members 201 . The pair of first frame members 201 and the second frame member 202 may be in a rod shape extending in a predetermined direction. The first frame members 201 may each include a free end engagement groove 205 formed adjacent to the second frame member 202. The free end engagement groove 205 may be formed to have a predetermined size and shape so that the free end shafts 249 (see FIG. 5A) described later can be inserted. When the film frame 200 is placed on the film loading chuck 110 the first frame members 201 may extend substantially parallel to the first direction X and the second frame member 202 may extend, May extend substantially parallel to the second direction (Y). Hereinafter, referring to the directions, the description will be made on the basis of the direction when the film frame 200 is placed on the film loading chuck 110 so as to coincide with the directions defined in Figs. 2 and 3A to 3B.

일부 실시예들에 따르면 필름 프레임(200)은 프레임 상면으로부터 돌출된 복수개의 이송 로봇 결합 수단들(206)을 포함할 수 있다. 이송 로봇 결합 수단들(206)은 이송 로봇이 필름 프레임(200)에 결합할 수 있도록 구성된다. 이송 로봇 결합 수단들(206) 중 일부는 제1 프레임 멤버들(201)의 타단, 즉 제1 프레임 멤버들(201)의 단부 중 제2 프레임 멤버(202)로부터 이격된 단부에 배치될 수 있다. 이송 로봇 결합 수단들(206) 중 다른 일부는 제2 프레임 멤버(202)의 제2 방향(Y) 중심에 배치될 수 있다. 도 5a 및 5b를 참조하면 세 개의 이송 로봇 결합 수단들(206)이 제공되었으나, 이에 제한되는 것은 아니고, 1개, 2개 또는 4개 이상의 이송 로봇 결합 수단이 제공될 수 있다. 또한 이송 로봇 결합 수단의 형상 및 배치는 예시적인 것으로서 어떠한 의미에서도 본 발명을 제한하지 않는다.According to some embodiments, the film frame 200 may include a plurality of transfer robot engagement means 206 projecting from the upper surface of the frame. The transfer robot joining means 206 is configured so that the transfer robot can engage with the film frame 200. Some of the transfer robot engaging means 206 may be disposed at the other end of the first frame members 201, i.e., at the end spaced from the second frame member 202 of the end of the first frame members 201 . Another portion of the transfer robot engagement means 206 may be disposed in the second direction Y of the second frame member 202. 5A and 5B, three transfer robot joining means 206 are provided, but not limited thereto, one, two or four or more transfer robot joining means may be provided. Also, the shape and arrangement of the transfer robot engagement means are illustrative and do not limit the present invention in any sense.

한 쌍의 제1 프레임 멤버들(201)의 타단 사이에 제1 자기 고정 유닛(210)이 배치될 수 있다. 즉, 제1 자기 고정 유닛(210)은 제1 프레임 멤버들(201)의 단부들 중 제2 프레임 멤버(202)로부터 이격된 단부들 사이에 배치될 수 있다. 제1 자기 고정 유닛(210)은 제1 프레임 멤버들(201)에 연결될 수 있다. 제2 자기 고정 유닛(220)은 제1 자기 고정 유닛(210)상에 배치될 수 있다. 제2 자기 고정 유닛(220)은 제1 자기 고정 유닛(210)과 자기적으로 결합할 수 있도록 구성된다. 제2 자기 고정 유닛(220)은 소정의 구동 수단에 의해 제1 자기 고정 유닛(210)에 대해 상대적으로 이동할 수 있다. 제1 및 제2 자기 고정 유닛들(210, 220)은 제2 방향(Y)으로 연장될 수 있다. 제1 및 제2 자기 고정 유닛들(210, 220)은 고정단 클램프를 구성할 수 있다.The first magnetic fixing unit 210 may be disposed between the other ends of the pair of first frame members 201. [ That is, the first magnetic fixation unit 210 may be disposed between the ends of the first frame members 201 that are spaced apart from the second frame member 202. [ The first magnetic fixation unit 210 may be connected to the first frame members 201. And the second magnetic fixation unit 220 may be disposed on the first magnetic fixation unit 210. [ The second magnetostatic unit 220 is configured to magnetically couple with the first magnetostatic unit 210. The second magnetic fixation unit 220 can be moved relative to the first magnetic fixation unit 210 by a predetermined drive means. The first and second magnetic fixation units 210 and 220 may extend in the second direction Y. [ The first and second magnetic fixed units 210 and 220 may constitute a fixed end clamp.

제3 자기 고정 유닛(230)은 제1 프레임 멤버들(201)에 대하여 결합되고 분리될 수 있도록 구성된다. 제3 자기 고정 유닛(230)은 자유단 샤프트들(249)을 포함할 수 있다. 제3 자기 고정 유닛(230)이 제1 프레임 멤버들(201)에 결합되는 경우 자유단 샤프트들(249)은 자유단 결합 홈(205)에 삽입될 수 있다. 자유단 샤프트들(249)은 예컨대 제3 자기 고정 유닛(230)으로부터 돌출되어 제2 방향(Y)으로 연장되는 막대형상 또는 원기둥 형상일 수 있으나 이에 제한되지 않는다. 제3 자기 고정 유닛(230)이 제1 프레임 멤버들(201)에 결합한 경우, 제3 자기 고정 유닛(230)은 제2 프레임 멤버(202)에 인접한 소정의 위치에 배치될 수 있다. 제4 자기 고정 유닛(240)은 제3 자기 고정 유닛(230)상에 배치될 수 있다. 제4 자기 고정 유닛(240)은 제3 자기 고정 유닛(230)과 자기적으로 결합할 수 있도록 구성될 수 있다. 제4 자기 고정 유닛(240)은 제3 자기 고정 유닛에 대해서 상대적으로 이동 가능하도록 소정의 구동수단에 연결될 수 있다. 제3 및 제4 자기 고정 유닛들(230, 240)은 제2 방향(Y)으로 연장될 수 있다. 제3 및 제4 자기 고정 유닛들(230, 240)은 함께 자유단 클램프를 구성할 수 있다. 자유단 클램프와 고정단 클램프가 각각 임프린트 필름(IF)의 제1 방향(X)에 따른 단부들을 홀드할 수 있도록, 제1 자기 고정 유닛(210), 그리고 필름 프레임(200)에 결합된 제3 자기 고정 유닛(230)은 서로 충분히 이격되어 배치될 수 있다.The third magnetic fixation unit 230 is configured to be engaged and disengaged with respect to the first frame members 201. The third magnetic fixation unit 230 may include free end shafts 249. The free end shafts 249 can be inserted into the free end engagement grooves 205 when the third magnetostatic unit 230 is coupled to the first frame members 201. [ The free end shafts 249 may be, for example, in the form of a rod or a cylinder that protrudes from the third magnetic fixing unit 230 and extends in the second direction Y, but is not limited thereto. When the third magnetic fixing unit 230 is coupled to the first frame members 201, the third magnetic fixing unit 230 may be disposed at a predetermined position adjacent to the second frame member 202. [ And the fourth magnetic fixation unit 240 may be disposed on the third magnetic fixation unit 230. [ The fourth magnetostatic unit 240 may be configured to be magnetically coupled to the third magnetostatic unit 230. The fourth magnetic fixation unit 240 may be connected to a predetermined drive means so as to be relatively movable with respect to the third magnetic fixation unit. The third and fourth magnetic fixation units 230 and 240 may extend in the second direction Y. [ The third and fourth magnetic fixation units 230 and 240 together can constitute a free end clamp. A first magnetic fixation unit 210 and a third magnetic fixation unit 210 coupled to the film frame 200 so that the free end clamp and the fixed end clamp can respectively hold the ends along the first direction X of the imprint film IF. The magnetostatic units 230 can be arranged sufficiently apart from each other.

도 5b 및 도 5c를 참조하면 필름 프레임(200)은 필름 로딩 척(110) 상에 배치될 수 있다. 필름 프레임(200)은 임프린트 필름(IF)을 적재할 수 있다. 임프린트 필름(IF)의 일단은 고정단 클램프, 즉 제1 및 제2 자기 고정 유닛들(210, 220)에 의해 고정될 수 있다. 임프린트 필름(IF)의 타단은 자유단 클램프, 즉 제3 및 제4 자기 고정 유닛들(230, 240)에 의해 고정될 수 있다. Referring to FIGS. 5B and 5C, the film frame 200 may be disposed on the film loading chuck 110. The film frame 200 can load the imprint film IF. One end of the imprint film IF can be fixed by a fixed end clamp, that is, the first and second magnetic fixed units 210 and 220. [ The other end of the imprint film IF can be fixed by a free end clamp, that is, the third and fourth magnetic fixation units 230 and 240.

제1 자기 고정 유닛(210)은 제1 자기 유닛(211) 및 제1 자기 유닛(211)을 커버하는 제1 커버 유닛(215)을 포함할 수 있다. 제2 자기 고정 유닛(220)은 제2 자기 유닛(221) 및 제2 자기 유닛(221)을 커버하는 제2 커버 유닛(225)을 포함할 수 있다. 제3 자기 고정 유닛(230)은 제3 자기 유닛(231) 및 제3 자기 유닛(231)을 커버하는 제3 커버 유닛(235)을 포함할 수 있다. 제4 자기 고정 유닛(240)은 제4 자기 유닛(241) 및 제4 자기 유닛(241)을 커버하는 제4 커버 유닛(245)을 포함할 수 있다.The first magnetic fixing unit 210 may include a first cover unit 215 covering the first magnetic unit 211 and the first magnetic unit 211. [ The second magnetic fixation unit 220 may include a second cover unit 225 covering the second magnetic unit 221 and the second magnetic unit 221. The third magnetic fixation unit 230 may include a third cover unit 235 covering the third magnetic unit 231 and the third magnetic unit 231. The fourth magnetic fixation unit 240 may include a fourth cover unit 245 covering the fourth magnetic unit 241 and the fourth magnetic unit 241. [

일부 실시예들에 따르면, 제1 및 제2 자기 유닛들(211, 221) 중 하나는 자석을 포함하고, 다른 하나는 자석 또는 자성체 중 어느 하나를 포함할 수 있다. 제3 및 제4 자기 유닛들(231, 241) 중 하나는 자석을 포함하고, 다른 하나는 자석 또는 자성체 중 어느 하나를 포함할 수 있다. 제1 내지 제4 자기 유닛들(211, 221, 231, 241) 중 일부는 전자석 또는 영구 자석을 포함할 수 있으나 이에 제한되지 않는다. 제1 내지 제4 자기 유닛들(211, 221, 231, 241)의 제1 내지 제4 커버 유닛들(215, 225, 235, 245)에 인접한 부분은 제1 내지 제4 커버 유닛들(215, 225, 235, 245)에 이격된 부분과 서로 다른 극에 해당할 수 있다. 예컨대, 제1 내지 제4 자기 유닛들(211, 221, 231, 241)의 제1 내지 제4 커버 유닛들(215, 225, 235, 245)에 인접한 부분은 N극에 해당하는 경우 제1 내지 제4 커버 유닛들(215, 225, 235, 245)에 이격된 부분은 S극에 해당할 수 있고, 그 반대의 경우도 가능하다. 제1 내지 제4 자기 유닛들(211, 221, 231, 241)에 대한 자세한 설명은 도 7a 내지 7c를 참조하여 후술하도록 한다. 제1 및 제2 자기 유닛들(211, 221)은 서로 자기적으로 상호작용할 수 있다. 제1 및 제2 자기 유닛들(211, 221)은 서로 인력을 작용할 수 있다. 이에 따라 제1 및 제2 커버 유닛들(215, 225)이 임프린트 필름(IF)을 사이에 두고 맞물린 상태에서 임프린트 필름에 수직 항력을 작용하여 임프린트 필름(IF)의 일단을 고정할 수 있다. 제3 및 제4 자기 유닛들(231, 241)은 서로 자기적으로 상호작용할 수 있다. 제3 및 제4 자기 유닛들(231, 241)은 서로 인력을 작용할 수 있다. 이에 따라 제3 및 제4 커버 유닛들(235, 245)이 임프린트 필름(IF)을 사이에 두고 맞물린 상태에서 임프린트 필름에 수직 항력을 작용하여 임프린트 필름(IF)의 타단을 고정할 수 있다. 이때 임프린트 필름(FI)의 공정면 중 제1 및 제3 커버 유닛들(215, 235)과 접하는 부분은 요철 패턴이 형성되지 않은 영역에 해당할 수 있다.According to some embodiments, one of the first and second magnetic units 211 and 221 may include a magnet, and the other may include either a magnet or a magnetic body. One of the third and fourth magnetic units 231 and 241 may include a magnet and the other may include either a magnet or a magnetic body. Some of the first to fourth magnetic units 211, 221, 231, and 241 may include, but are not limited to, electromagnets or permanent magnets. A portion of the first to fourth magnetic units 211, 221, 231, and 241 adjacent to the first to fourth cover units 215, 225, 235, and 245 includes first to fourth cover units 215, 225, 235, and 245, respectively. For example, when the portion of the first to fourth magnetic units 211, 221, 231, and 241 adjacent to the first to fourth cover units 215, 225, 235, and 245 corresponds to N poles, The portion spaced apart from the fourth cover units 215, 225, 235, and 245 may correspond to the S pole, and vice versa. Details of the first to fourth magnetic units 211, 221, 231, and 241 will be described later with reference to Figs. 7A to 7C. The first and second magnetic units 211 and 221 can magnetically interact with each other. The first and second magnetic units 211 and 221 may act on each other. Accordingly, one end of the imprint film IF can be fixed by applying a vertical drag force to the imprint film while the first and second cover units 215 and 225 are engaged with each other with the imprint film IF interposed therebetween. The third and fourth magnetic units 231 and 241 can magnetically interact with each other. The third and fourth magnetic units 231 and 241 may act on each other. Accordingly, the third and fourth cover units 235 and 245 can be fixed to the other end of the imprint film IF by applying a vertical drag force to the imprint film with the imprint film IF interposed therebetween. At this time, a portion of the processing surface of the imprint film FI that is in contact with the first and third cover units 215 and 235 may correspond to an area where the concavo-convex pattern is not formed.

기존에는 필름 프레임에 임프린트 필름의 고정을 위해, 수동으로 볼트를 조작하는 방식의 고정 방법이 사용되었다. 이에 따라 임프린트 필름의 고정의 신뢰도 및 재현성이 저하되었다. 일부 실시예들에 따르면 자기력을 이용한 자유단 클램프 및 고정단 클램프를 제공하므로, 균일한 세기의 임프린트 필름(IF)의 고정을 제공할 수 있고 고정에 대한 신뢰도를 제고할 수 있다. 또한 강한 세기의 고정력을 사용하면서 임프린트 필름(IF)의 주름을 최소화할 수 있으며, 공정 중 발생하는 임프린트 필름(IF) 상의 장력에 의한 임프린트 필름(IF) 미끄러짐을 방지할 수 있다. Conventionally, a fixing method of manually operating a bolt was used to fix an imprint film on a film frame. As a result, the reliability and reproducibility of the fixing of the imprint film were deteriorated. According to some embodiments, a free end clamp using a magnetic force and a fixed end clamp are provided, so that it is possible to provide a fixation of a uniform intensity of an imprint film (IF) and to improve the reliability of fixation. Also, it is possible to minimize the wrinkles of the imprint film IF while using a strong fixing force, and to prevent the imprint film IF slipping due to the tension on the imprint film IF that occurs during the process.

도 6a 내지 6c는 일부 실시예들에 따른 필름 프레임에 포함되는 제1 내지 제4 커버 유닛들(210, 220, 230, 240)을 설명하기 위한 사시도들이다.6A to 6C are perspective views illustrating first to fourth cover units 210, 220, 230, and 240 included in a film frame according to some embodiments.

도 6a를 참조하면 제1 및 제2 커버 유닛들(215, 225)은 각각 서로 맞물리도록 구성된 대향면들을 갖고, 제3 및 제4 커버 유닛들(235, 245)은 각각 서로 맞물리도록 구성된 대향면들을 가질 수 있다. 제1 내지 제4 커버 유닛(215, 225, 235, 245)은 경사면들을 포함할 수 있다. 제1 및 제3 커버 유닛들(215, 235)의 경사면들은 서로 대향할 수 있다. Referring to FIG. 6A, the first and second cover units 215 and 225 each have opposing faces configured to mate with each other, and the third and fourth cover units 235 and 245 have opposing faces . The first to fourth cover units 215, 225, 235, and 245 may include inclined surfaces. The inclined surfaces of the first and third cover units 215 and 235 may be opposed to each other.

제1 내지 제4 커버 유닛들(215, 225, 235, 245)은 직각 삼각 기둥형일 수 있다. 제1 및 제3 커버 유닛들(215, 235)의 수평 단면적, 즉 제1 및 제2 방향(X, Y)에 수평한 단면적은 아래 방향으로 갈수록 증가할 수 있다. 제1 내지 제4 커버 유닛들(215, 225, 235, 245)의 수평 단면적은 제3 방향(Z)을 따라 연속적으로 변할 수 있다. 하지만 이에 제한되는 것은 아니고, 제1 내지 제4 커버 유닛들(215, 225, 235, 245)의 하단으로부터 이격된 부분의 수평 단면적은 제3 방향(Z)을 따라 불연속하게 변할 수 있다. 이때 아래 방향이라 함은, 필름 프레임(200)이 필름 로딩 척 상에 배치되었을 때, 제3 방향(Z)으로 필름 프레임에 가까워지는 방향에 해당할 수 있다.The first to fourth cover units 215, 225, 235, and 245 may have a right triangular prism shape. The horizontal cross-sectional area of the first and third cover units 215 and 235, that is, the horizontal cross-sectional area in the first and second directions X and Y, may increase toward the downward direction. The horizontal cross-sectional area of the first to fourth cover units 215, 225, 235, and 245 may be continuously varied along the third direction Z. However, the present invention is not limited thereto, and the horizontal cross-sectional area of the portion separated from the lower end of the first to fourth cover units 215, 225, 235, and 245 may be discontinuously changed along the third direction Z. Here, the downward direction may correspond to a direction in which the film frame 200 approaches the film frame in the third direction Z when the film frame 200 is disposed on the film loading chuck.

도 6b를 참조하면, 도 6a와 달리 제1, 제2 커버 유닛들(215, 225)이 서로 대향하는 면들 및 제3, 제4 커버 유닛들(235, 245)이 서로 대향하는 면들은 곡면에 해당할 수 있다. 일부 실시예들에 따르면 제1 및 제3 커버 유닛들(215, 225)의 제2 및 제4 커버 유닛들(225, 245)과 대향하는 면들은 볼록한 면에 해당할 수 있다. 제2 및 제4 커버 유닛들(225, 245)의 제1 및 제3 커버 유닛들(215, 235)과 대향하는 면들은 오목한 면에 해당할 수 있다. 6B, the surfaces of the first and second cover units 215 and 225 opposed to each other and the surfaces of the third and fourth cover units 235 and 245 opposed to each other are curved . According to some embodiments, the surfaces of the first and third cover units 215 and 225 facing the second and fourth cover units 225 and 245 may correspond to a convex surface. The surfaces of the second and fourth cover units 225 and 245 facing the first and third cover units 215 and 235 may correspond to concave surfaces.

도 6c를 참조하면, 일부 실시예들에 따르면 제1 및 제3 커버 유닛들(215, 225)의 제2 및 제4 커버 유닛들(225, 245)과 대향하는 면들은 오목한 면에 해당할 수 있다. 제2 및 제4 커버 유닛들(225, 245)의 제1 및 제3 커버 유닛들(215, 235)과 대향하는 면들은 볼록한 면에 해당할 수 있다. 도 6a 내지 6c에 도시된 제1 내지 제4 커버 유닛들의 형상은 예시적인 것들로서, 제1 내지 제4 커버 유닛들의 대향면들은 임의의 적절한 형상을 가질 수 있다.Referring to FIG. 6C, according to some embodiments, the surfaces of the first and third cover units 215 and 225 facing the second and fourth cover units 225 and 245 may correspond to concave surfaces have. The surfaces of the second and fourth cover units 225 and 245 facing the first and third cover units 215 and 235 may correspond to a convex surface. The shapes of the first to fourth cover units shown in Figs. 6A to 6C are illustrative, and the opposing faces of the first to fourth cover units may have any suitable shape.

도 7a 내지 7c는 일부 실시예들에 따른 제1 내지 제4 자기 유닛을 설명하기 위한 단면도들이다.7A to 7C are sectional views for explaining the first to fourth magnetic units according to some embodiments.

도 7a를 참조하면, 제1 내지 제4 자기 유닛들이 자석에 해당할 때, 제1 내지 제4 자기 유닛들(211, 221, 231, 241)은 정렬되어 배치된 복수개의 자석들을 포함할 수 있다. 자석들은 제1 극(A) 및 제2 극(B)을 포함할 수 있다. 제1 극(A)과 제2 극(B)은 서로 다른 극에 해당할 수 있다. 예컨대, 제1 극(A)이 N극에 해당하는 경우 제2 극(B)이 S극에 해당할 수 있고, 제1 극(A)이 S극에 해당하는 경우 제2 극(B)이 N극에 해당할 수 있다. 도면상 상하로 배치된 두 개의 극이 하나의 자석을 이룰 수 있으나 이에 제한되는 것은 아니다. 일부 실시예들에 따르면, 제1 내지 제4 자기 유닛들(211, 221, 231, 241) 중 적어도 일부는 제2 방향(Y)을 따라 극방향이 교대로 배치된 극성의 복수개의 자석들을 포함할 수 있다. 예컨대 제2 방향(Y)에 따른 일단에 배치된 자석의 위에 배치된 극성이 제1 극(A)인 경우 그에 이웃한 자석의 위에 배치된 극성은 제2 극(B)일 수 있다. 도 7A를 참조하면 복수개의 자석이 연속적으로 형성된 것으로 도시되었으나, 복수개의 자석들은 소정의 간격을 가지고 이격되어 배치될 수 있다. Referring to FIG. 7A, when the first to fourth magnetic units correspond to a magnet, the first to fourth magnetic units 211, 221, 231, and 241 may include a plurality of aligned magnets . The magnets may comprise a first pole (A) and a second pole (B). The first pole (A) and the second pole (B) may correspond to different poles. For example, when the first pole A corresponds to the N pole, the second pole B may correspond to the S pole, and when the first pole A corresponds to the S pole, N pole. The two poles arranged up and down in the drawing may form one magnet, but are not limited thereto. According to some embodiments, at least some of the first to fourth magnetic units 211, 221, 231, and 241 include a plurality of magnets of polarity alternately arranged in the second direction Y can do. For example, when the polarity disposed on one end of the magnet disposed at one end along the second direction Y is the first pole A, the polarity disposed on the neighboring magnet may be the second pole B. Referring to FIG. 7A, a plurality of magnets are illustrated as being continuously formed, but a plurality of magnets may be spaced apart at a predetermined interval.

일부 실시예들에 따르면 자기 유닛들은 제2 방향(Y)을 따라 정렬되어 배치된 복수개의 자석들을 포함하는데, 임프린트 필름을 고정하는 힘은 복수개의 자석들의 배열에 의존할 수 있다. 일부 실시예들에 따르면 제2 방향(Y)을 따라 교대로 배치된 복수개의 자석들이 제공된 경우, 동일한 극성의 극들을 인접하게 배치하는 것에 비해 약 2배 이상의 고정력을 제공할 수 있다.According to some embodiments, the magnetic units include a plurality of magnets arranged in alignment along the second direction Y, wherein the force to hold the imprint film may depend on the arrangement of the plurality of magnets. According to some embodiments, when a plurality of magnets arranged alternately along the second direction Y are provided, it is possible to provide a fixing force of about twice or more as compared with arranging the poles of the same polarity adjacent to each other.

하지만 이에 제한되는 것은 아니고, 도 7b처럼 제1 내지 제4 자기 유닛(211', 221', 231', 241')은 동일한 극성의 극들이 인접하게 배치된 복수개의 자석들을 포함할 수 있고, 도 7c처럼 제1 내지 제4 자기 유닛들(211", 221", 231", 241")은 하나의 연속된 자석을 포함할 수 있다.7B, the first to fourth magnetic units 211 ', 221', 231 ', and 241' may include a plurality of magnets having poles of the same polarity disposed adjacent to each other, 7c, the first through fourth magnetic units 211 ", 221 ", 231 ", and 241 "may include one continuous magnet.

도 8a는 임프린트 스테이지 및 임프린트 스테이지 상에 배치된 필름 프레임(200)을 도시한 평면도이다. 도 8b는 이를 측면에서 바라본 평면도이다.8A is a plan view showing a film frame 200 disposed on an imprint stage and an imprint stage. 8B is a plan view thereof viewed from the side.

도 8a 및 도 8b를 참조하면, 임프린트 스테이지(2)는 임프린트 척(501), 약액층(510)이 제공된 디스플레이 기판(505), 가압부(520) 및 자유단 후크(530)를 포함할 수 있다. 임프린트 스테이지(2)에 임프린트 필름(IF)이 적재된 필름 프레임(200)이 제공될 수 있다. 전술했듯, 이송로봇(미도시)은 임프린트 필름(IF)이 적재된 필름 프레임(200)을 필름 로딩 스테이지(1, 도 1 참조)에서 임프린트 스테이지(2)로 이송할 수 있다.8A and 8B, the imprint stage 2 may include an imprint chuck 501, a display substrate 505 provided with a chemical layer 510, a pressing portion 520, and a free end hook 530 have. The imprint stage 2 may be provided with a film frame 200 on which an imprint film IF is loaded. As described above, the transfer robot (not shown) can transfer the film frame 200 loaded with the imprint film IF to the imprint stage 2 from the film loading stage 1 (see Fig. 1).

약액층(510)은 예를 들어 자외선 등의 특정 파장 범위의 높은 에너지(예를 들어 수~수백 mW/cm²)를 가지는 광을 조사하면 짧은 시간 내에 경화반응이 진행되는 광경화성 레진에 해당할 수 있다. 약액층(510)은 예컨대, 광경화성 아크릴계 레진, 광경화성 비닐에테르계 레진 등일 수 있다.The chemical solution layer 510 corresponds to a photocurable resin that undergoes a curing reaction in a short time when irradiated with light having a high energy (for example, several to several hundreds mW / cm ² ) in a specific wavelength range such as ultraviolet . The chemical liquid layer 510 may be, for example, a photo-curing acrylic resin, a photo-curable vinyl ether resin, or the like.

가압부(520)는 임프린트 필름(IF)을 디스플레이 기판(505) 상에 도포된 약액층(510)에 가압하여 임프린트 필름(IF) 상에 형성된 미세 요철 패턴을 약액층(510)에 전사할 수 있다. 가압부(520)는 예를 들어, 임프린트 필름(IF)을 디스플레이 기판(505)에 가압하는 가압 롤러에 해당할 수 있다. The pressing portion 520 presses the imprint film IF onto the drug solution layer 510 coated on the display substrate 505 to transfer the fine concave and convex pattern formed on the imprint film IF to the chemical solution layer 510 have. The pressing portion 520 may correspond to a pressing roller for pressing the imprint film IF onto the display substrate 505, for example.

가압 과정에서 제1 및 제2 자기 고정 유닛들(210, 220)로 구성된 고정단 클램프는 소정의 위치를 유지할 수 있다. 제3 및 제4 자기 고정 유닛들(230, 240)로 구성된 자유단 클램프는 소정의 궤도를 따라 이동할 수 있다. 제3 자기 고정 유닛(230)의 자유단 샤프트(249)는 자유단 후크(530)와 결합될 수 있다. 자유단 후크(530)가 소정의 구동 수단에 의해 소정의 궤도로 이동함에 따라, 자유단 클램프 또한 이동할 수 있다.The fixed end clamp composed of the first and second magnetic fixed units 210 and 220 can maintain a predetermined position during the pressing process. The free end clamp composed of the third and fourth magnetic fixed units 230 and 240 can move along a predetermined orbit. The free end shaft 249 of the third magnetostatic unit 230 can be engaged with the free end hook 530. [ As the free end hook 530 moves to the predetermined trajectory by the predetermined driving means, the free end clamp can also move.

임프린트 필름(IF)이 디스플레이 기판(505)에 가압된 상태로 유지되는 동안에 소정의 광원으로부터 소정의 광(예를 들어, 자외선 광)이 약액층에 조사되어, 경화과정이 진행될 수 있다. 이에 의하여, 디스플레이 기판(505) 상에 임프린트 필름(IF)에 대응되는 요철 패턴이 형성될 수 있다. While the imprint film IF is kept pressed on the display substrate 505, predetermined light (for example, ultraviolet light) is irradiated from a predetermined light source onto the chemical liquid layer, and the curing process can proceed. Thus, a concavo-convex pattern corresponding to the imprint film IF can be formed on the display substrate 505. [

도 9는 일부 실시예들에 따른 디스플레이 기판 제조 방법을 설명하기 위한 순서도이다.9 is a flow chart for explaining a display substrate manufacturing method according to some embodiments.

도 1, 도 3a 및 도 9를 참조하면 공정 P1010에서 임프린트 필름(IF) 및 필름 프레임(200)을 필름 로딩 스테이지(1)에 제공할 수 있다.Referring to FIGS. 1, 3A, and 9, an imprint film IF and a film frame 200 may be provided to the film loading stage 1 in the process P1010.

전술했듯 임프린트 필름(IF)의 공정면 상에는 공정면을 보호하기 위한 보호 필름(PF)이 부착될 수 있으므로 필름 프레임(200, 도 5a참조)에 임프린트 필름(IF)을 장착하기 전에 보호 필름(PF)을 분리할 수 있다.As described above, since the protective film PF for protecting the process surface may be attached to the process surface of the imprint film IF, the protective film PF may be attached to the film frame 200 (see FIG. 5A) Can be separated.

도 3a를 참조하면 보호 필름(PF)을 분리하기 위해 주형(126)을 접착성 롤(121)에 대해 상대적으로 이동시킬 수 있다. 주형(126)과 접착성 롤(121)이 보호 필름(PF) 및 임프린트 필름(IF)을 사이에 두고 맞물리도록, 접착성 롤(121)에 대해 주형(126)을 제3 방향(Z)으로 상대적으로 이동시킨다. 이어서 주형(126)을 임프린트 필름(IF)에 대해 이격시키면 보호 필름(PF) 접착성 롤(121) 사이에 부착력이 작용하고, 임프린트 필름(IF)에 탄성 복원력이 작용하므로, 보호 필름(PF)이 임프린트 필름(IF)로부터 분리될 수 있다. 이에 따라 임프린트 필름(IF)을 지지하는 별도의 진공 장치나 접착성 롤(121)에 대한 부가적인 구동장치 없이 용이하게 보호 필름의 분리를 자동화할 수 있다.Referring to FIG. 3A, the mold 126 can be moved relative to the adhesive roll 121 to separate the protective film PF. The mold 126 is moved in the third direction Z relative to the adhesive roll 121 so that the mold 126 and the adhesive roll 121 are engaged with each other with the protective film PF and the imprint film IF interposed therebetween. Relative movement. Then, when the mold 126 is separated from the imprint film IF, an adhesive force acts between the protective film (PF) adhesive rolls 121 and an elastic restoring force acts on the imprint film IF, Can be separated from the imprint film (IF). This makes it possible to easily automate the separation of the protective film without an additional vacuum device for supporting the imprint film IF or an additional driving device for the adhesive roll 121.

도 3b를 참조하면, 도 3a와 달리, 접착성 롤은 보호 필름(PF)의 일단에서 보호 필름과 접촉하는 위치에 제공된 후 제1 방향(X)을 따라 타단으로 이동할 수 있다. 이에 따라 접착성 롤(121)의 부착력에 의해 보호 필름(PF)이 접착성 롤(121)에 순차적으로 부착된다. 이때 보호 필름(PF)과 함께 변형된 임프린트 필름(IF)에 탄성 복원력이 작용하므로, 임프린트 필름(IF)이 보호 필름(PF)으로부터 분리될 수 있다.Referring to FIG. 3B, unlike FIG. 3A, the adhesive roll may be provided at a position where it contacts the protective film at one end of the protective film PF, and then may move to the other end along the first direction X. FIG. The protective film PF is sequentially attached to the adhesive roll 121 by the adhesive force of the adhesive roll 121. [ At this time, since the elastic restoring force acts on the deformed imprint film IF together with the protective film PF, the imprint film IF can be separated from the protective film PF.

도 3c는 예시적인 실시예들에 따른 보호 필름의 분리를 설명하기 위한 그래프이다. 도 3c를 참조하면 원기둥 형상의 접착성 롤(121, 도 3a 참조)의 반경에 따른 이형력(separation force)이 도시되어 있다. 그래프의 가로축과 세로축의 단위는 각각 임의의 단위(arbitrary unit)를 갖도록 도시되어있다. 접착성 롤(121, 도 3a 참조)의 반경이 작을수록 이형력이 커지는 것을 확인할 수 있다. 임의의 유닛을 일부 실시예들에 따르면 30mN/mm 정도의 이형력을 가지는 보호 필름(PF)의 경우 반경이 약 20mm의 주형을 이용할 경우 임프린트 필름(IF)과 보호필름을 분리할 수 있다.3C is a graph for explaining the separation of the protective film according to the exemplary embodiments. Referring to FIG. 3C, a separation force according to the radius of the cylindrical roll 121 (see FIG. 3A) is shown. The units of the horizontal and vertical axes of the graph are shown to have arbitrary units, respectively. It can be seen that the smaller the radius of the adhesive roll 121 (see Fig. 3A) is, the greater the release force becomes. According to some embodiments, in the case of a protective film (PF) having a releasing force of about 30 mN / mm, the imprint film (IF) and the protective film can be separated by using a mold having a radius of about 20 mm.

도 1, 도 4 및 도 9를 참조하면 공정 P1020에서 임프린트 필름(IF)을 필름 프레임(200)에 대해 정렬시킬 수 있다. 이때 임프린트 필름(IF)을 필름 프레임(200)에 정렬시키는 것은, 임프린트 필름을 기준단(141)에 대해 정렬시키는 것을 통해 수행될 수 있다.Referring to FIGS. 1, 4 and 9, in step P1020, the imprint film IF can be aligned with respect to the film frame 200. FIG. At this time, aligning the imprint film IF to the film frame 200 can be performed by aligning the imprint film with respect to the reference end 141. [

필름 로딩 척(110)에 형성된 기체 유출구에서 출사되는 기체에 의해 보호 필름(PF, 도 3a참조)이 분리된 임프린트 필름(IF)은 부상될 수 있다. 이에 따라 임프린트 필름(IF)의 공정면은 필름 로딩 척(110)의 상면으로부터 이격될 수 있고, 오염원에 대한 접촉으로부터 보호될 수 있다. 정렬자(143)는 전술했듯 정렬자 구동 수단(145)에 의해 구동되어 임프린트 필름(IF)을 기준단(141)에 대해 정렬시킬 수 있다. The imprint film IF separated from the protective film PF (see Fig. 3A) by the gas exiting from the gas outlet formed in the film loading chuck 110 can be lifted. So that the process surface of the imprint film IF can be spaced from the top surface of the film loading chuck 110 and can be protected from contact with contaminants. The aligner 143 can be driven by the aligner driving means 145 to align the imprint film IF with respect to the reference end 141 as described above.

종래의 임프린트 필름 정렬은 작업자에 의해 수동으로 수행되었다. 따라서 임프린트 필름 정렬시 척과의 마찰에 의한 정전기 발생 및 척과의 접촉에 의한 입자 오염 등의 문제가 있었다. 일부 실시예들에 따르면, 임프린트 필름(IF)은 필름 로딩 척(110)과 접촉하지 않은 상태에서 정렬을 수행함으로써 마찰에 의한 접촉성 오염 입자, 마찰 정전기 및 박리 정전기 등의 발생을 사전에 방지할 수 있다. 또한 필름 로딩 척(110)과의 마찰력이 0에 가까우므로 작은 힘으로 용이하게 임프린트 필름(IF)을 정렬할 수 있다. 정렬된 임프린트 필름(IF)은 부상된 상태를 유지한 채 고정 수단(130, 도 2 참조)에 의해 고정될 수 있다.Conventional imprint film alignment was performed manually by an operator. Therefore, when aligning the imprint film, static electricity is generated due to the friction between the chuck and particles, and particle contamination due to contact with the chuck is encountered. According to some embodiments, the imprint film IF performs alignment in a state where it is not in contact with the film loading chuck 110, thereby preventing occurrence of contact contaminant particles, friction static electricity, peeling static electricity, and the like due to friction . Further, since the frictional force with the film loading chuck 110 is close to zero, the imprint film IF can be easily aligned with a small force. The aligned imprint film IF can be fixed by the fixing means 130 (see Fig. 2) while maintaining the floating state.

이어서, 도 5b, 5c 및 도 9를 참조하면, 공정 P1030에서 도 5b 및 5c를 이용하여 설명했던 방식을 이용해 임프린트 필름(IF)을 필름 프레임(200)에 대해 고정할 수 있다.5B, 5C, and 9, the imprint film IF can be fixed with respect to the film frame 200 using the method described with reference to FIGS. 5B and 5C in the process P1030.

이어서, 도 1 및 9를 참조하면, 공정 P1040에서 소정의 이송 로봇에 의해 필름 로딩 스테이지에 배치된 임프린트 필름이 적재된 필름 프레임을 임프린트 스테이지로 이송할 수 있다.1 and 9, in step P1040, the film frame on which the imprint film placed on the film loading stage is loaded by the predetermined transfer robot can be transferred to the imprint stage.

이어서, 도 8a, 8b 및 도9를 참조하면, 공정 P1050에서 도 8a 및 8b를 이용하여 설명했던 방식을 이용하여, 디스플레이 기판에 임프린트 필름을 임프린트할 수 있다.Next, referring to FIGS. 8A, 8B, and 9, imprint films may be imprinted on the display substrate using the method described with reference to FIGS. 8A and 8B in process P1050.

대면적 임프린트 공정에서는 나노급 패턴의 균일한 전사를 위해 몰드와 기판간 순차적인 접촉이 이루어져야 하며, 이를 위해서는 대면적 필름의 정렬 및 적재 기술이 공정 성능을 결정하는 중요한 요소이다. 현재 임프린트의 피딩(Feeding)에서 시작하여 절단, 이송/고정, 정렬, 고정에 이르는 일련의 순차적 공정이 대부분 작업자의 수동에 의해 진행되고 있다. 이에 따라 작업 재현성 저하로 인하여 공정 영향 인자 제어에 어려움이 있다. 또한 임프린트 필름을 이송한 후 고정하고 정렬하는 과정에서 발행하는 접촉 및 마찰에 의한 정전기 발생, 작업자에 의한 외부 오염 가능성, 택트 타임(Tact time) 제어의 어려움 등의 문제점이 발생할 수 있다. 일부 실시예들에 따르면 임프린트 설비에서의 필름 적재 공정의 자동화 방법 및 장치를 구현함으로써 공정 재현성 및 양산성 확보가 가능하다.In the large-area imprint process, sequential contact between the mold and the substrate is required for uniform transfer of nano-level patterns. For this purpose, alignment and loading technology of large-area films are important factors for determining the process performance. A series of sequential processes starting from the feeding of the present imprint to cutting, transferring, fixing, aligning, and fixing are proceeding manually by the operator. Accordingly, it is difficult to control the process influencing factor due to the low reproducibility of the work. In addition, problems such as the generation of static electricity due to contact and friction issued during the process of fixing and aligning the imprinted film after transferring, the possibility of external contamination by the operator, and difficulty in controlling the tact time may occur. According to some embodiments, it is possible to realize process reproducibility and mass productivity by implementing a method and apparatus for automating a film loading process in an imprint facility.

지금까지, 본 발명을 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.While the present invention has been described with reference to exemplary embodiments thereof, it will be understood by those of ordinary skill in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. will be. Accordingly, the true scope of the present invention should be determined by the technical idea of the appended claims.

1: 필름 로딩 스테이지, 2: 임프린트 스테이지, 110: 기판 로딩 척, 120: 보호 필름 분리 수단, 121: 접착성 롤, 126: 주형 130: 필름 고정 수단, 200: 필름 프레임, 201: 제1 프레임 멤버 202: 제2 프레임 멤버, 205: 자유단 결합 홈, 이송 로봇 결합 수단, 210, 220, 230, 240: 자기 고정 유닛, 211, 221, 231, 241: 자기 유닛, 215, 225, 235, 245: 커버 유닛, 249: 자유단 샤프트 501: 임프린트 척 505: 디스플레이 기판, 510: 약액층, 520: 가압부, 530: 자유단 후크, IF:임프린트 필름, PF: 보호 필름, 1000: 디스플레이 기판 제조 시스템The present invention relates to a film loading apparatus and a method of manufacturing the same, and more particularly, to a film loading apparatus which comprises a film loading stage, an imprint stage, a substrate loading chuck, a protective film separating means, A second frame member and a free end of the second frame member are connected to a free end of the movable frame by a transfer robot. A cover unit, 249, a free end shaft, an imprint chuck, 505, a display substrate, 510 a chemical layer, 520 a pressing portion, 530 a free end hook, IF an imprint film,

Claims

A film frame configured to be able to load a film for imprinting,
A pair of frame members extending in a first direction and arranged in alignment with each other;
A fixed stage clamp connected to the pair of frame members and extending in a second direction perpendicular to the first direction; And
And a free end clamp disposed between the pair of frame members, the free end clamp extending in the second direction and configured to be coupled to and separated from the pair of frame members,
Wherein the fixed end clamp includes a first magnetic fixed unit extending in the second direction and a second magnetic fixed unit disposed on the first magnetic fixed unit, And a third magnetic fixed unit disposed on the third magnetic fixed unit.

The method according to claim 1,
Wherein the first magnetic fixing unit includes a first magnetic unit and a first cover unit covering the first magnetic unit,
The second magnetic fixation unit includes a second magnetic unit and a second cover unit that covers the second magnetic unit,
The third magnetic fixation unit includes a third magnetic unit and a third cover unit that covers the third magnetic unit, and
Wherein the fourth magnetic fixation unit comprises a fourth magnetic unit and a fourth cover unit covering the fourth magnetic unit.

3. The method of claim 2,
Wherein at least one of the first to fourth magnetic units includes a plurality of magnets alternately arranged in the polar direction along the second direction.

3. The method of claim 2,
Wherein said first and second cover units each have opposing surfaces configured to mate with each other, said third and fourth cover units each having opposed surfaces configured to mate with each other, said first and third cover units And a horizontal cross-sectional area in the second direction increases as it goes down.

5. The method of claim 4,
Sectional areas in the first and second directions of the first to fourth cover units are continuously changed.

A film loading stage;
A film frame configured to load an imprint film in the film loading stage;
An imprint stage for performing an imprint process on the display substrate with the imprint film; And
And a transfer means configured to transfer the film frame between the film loading stage and the imprint stage,
A film loading chuck in the form of a flat plate having at least two pairs of opposing edges; And
And an adhesive roll and mold disposed adjacent the first edges of the film loading chuck, the opposite edges of the film loading chuck.

10. The method of claim 9,
The film loading chuck comprises:
A reference end which is different from the first edges of the film loading chuck and is connected to one of the second edges facing each other;
Aligner drive means connected to the other of said second edges; And
And an aligner connected to the aligner driving means,
Wherein the film loading chuck comprises a plurality of gas outlets and is configured to float an imprint film disposed on the film loading chuck.

A method of manufacturing a display substrate,
Providing a film frame to a film loading stage;
Providing an imprinted film on the film loading stage;
Aligning the imprinted film with respect to the film frame;
Fixing the imprinted film to the film frame; And
Imprinting the imprinted film on a display substrate,
Wherein the providing of the imprinted film comprises separating the imprinted film from the protective film attached to the imprinted film by using an elastic force.

9. The method of claim 8,
Wherein the step of separating the protective film and the imprinted film comprises:
Attaching the protective film and the adhesive roll; And
And elastically deforming the protective film. &Lt; RTI ID = 0.0 > 11. < / RTI >

10. The method of claim 9,
Wherein the adhesive roll has a predetermined profile,
Wherein the step of elastically deforming the protective film and the imprinted film comprises:
Providing the imprinted film between molds having a profile corresponding to the profile of the adhesive roll; And
And moving the adhesive roll and the mold so that they engage with each other with the imprint film interposed therebetween.