KR20190014288A - 수직형 로더 제어 방법 - Google Patents
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Abstract
정전기 영향을 방지할 수 있는 수직형 로더 제어 방법이 개시된다.
수직형 로더 제어 방법은
상기 기판의 저면이 이동하는 궤적 상에 브러시를 설치하는 과정;
상기 로딩암을 상기 기판 적재대 쪽으로 전진시키고 상기 흡착부가 상기 기판 적재대에 적재된 상기 기판을 흡착하게 하는 과정;
상기 로딩암을 후진시켜 상기 기판을 상기 로더의 로딩 위치까지 이송시키는 과정;
상기 로딩암을 한 차례 전후진시켜 상기 기판이 상기 기판 적재대에 적재된 위치와 상기 로더의 로딩 위치 사이에서 한 차례 전후진되게 하는 과정;
상기 기판을 상기 로더에 로딩하는 과정;
을 포함한다.
상기 로딩암을 후진시키는 과정을 통하여 상기 기판의 저면이 상기 브러시의 브러시솔과 마찰되면서 정전기력에 의해 서로 흡착된 기판들을 분리시키고, 상기 로딩암을 한 차례 전후진시키는 과정을 통하여 로딩되지 않을 기판을 상기 기판 적재대에 되돌리고 로딩될 기판만이 상기 로더에 로딩되게 하는 효과를 갖는다.
수직형 로더 제어 방법은
상기 기판의 저면이 이동하는 궤적 상에 브러시를 설치하는 과정;
상기 로딩암을 상기 기판 적재대 쪽으로 전진시키고 상기 흡착부가 상기 기판 적재대에 적재된 상기 기판을 흡착하게 하는 과정;
상기 로딩암을 후진시켜 상기 기판을 상기 로더의 로딩 위치까지 이송시키는 과정;
상기 로딩암을 한 차례 전후진시켜 상기 기판이 상기 기판 적재대에 적재된 위치와 상기 로더의 로딩 위치 사이에서 한 차례 전후진되게 하는 과정;
상기 기판을 상기 로더에 로딩하는 과정;
을 포함한다.
상기 로딩암을 후진시키는 과정을 통하여 상기 기판의 저면이 상기 브러시의 브러시솔과 마찰되면서 정전기력에 의해 서로 흡착된 기판들을 분리시키고, 상기 로딩암을 한 차례 전후진시키는 과정을 통하여 로딩되지 않을 기판을 상기 기판 적재대에 되돌리고 로딩될 기판만이 상기 로더에 로딩되게 하는 효과를 갖는다.
Description
본 발명은 수직형 로더(vertical loader)에 관한 것으로서 특히, 정전기 영향을 방지할 수 있는 수직형 로더 제어 방법에 관한 것이다.
수직형 로더는 수직으로 놓인 기판을 잡아서 수평으로 이동하는 수평 컨베이어에 올리는 장치를 말한다.
도 1은 수직형 로더의 개략적인 구성을 도시한다.
도 1에 도시된 수직형 로더(100)는 로딩암(120), 흡착부(140, 미도시), 기판 적재대(200), 로더(150) 그리고 수평 컨베이어(300)를 구비한다.
도 1에 상세하게 도시되지는 않았지만, 기판 적재대(200)는 "L"자 형상으로 이루어진다.
기판 적재대(200)에는 복수의 기판(22)이 수직으로 세워진 채로 겹쳐서 쌓여있다. 수평 컨베이어(300)는 그 위에 놓이는 기판을 수평 방향으로 이송시킨다.
기판(22)은 대체로 장방형의 얇은 판으로 이루어진다.
도 2 내지 도 6은 기판 로딩을 위한 종래의 수직형 로더 제어 방법을 구분 동작으로 도시한다.
도 2는 수직형 로더를 기판 적재대 방향에서 본 것을 도시한다.
도 2를 참조하면, 수직형 로더(100)는 로딩암(120), 로딩암(120)의 선단에 부착된 흡착부(140), 로딩암(120)과 흡착부(140)에 의해 로딩 위치로 이송된 기판(22)을 상방의 수평 컨베이어(300)로 옮기는 로더(150)를 포함한다. 흡착부(140)는 중공 파이프 형태의 연질 고무로 이루어지며, 도면에서 빨간색 파란색 등으로 도시되고 있다.
로딩암(120)과 흡착부(140)에 의해 이송된 기판(22)은 로더(150)에 로딩되고, 로더(150)를 상방으로 90도 회전시킴에 의해 기판(22)이 수평 컨베이어(300)에 로딩된다.
도 3은 흡착부(140)에 기판(22)이 흡착된 상태를 도시한다.
수직형 로더(100)의 초기 동작에서 로딩암(120)을 전진시켜 흡착부(140)에 기판(22)이 흡착되게 한다.
기판은 기판 적재대(200, 도 1 참조)에 적재되어 있다.
기판(22)은 매우 반질반질하며, 마치 거울처럼 보이고 있다.
흡착부(140)와 기판(22)이 접촉된 상태에서 흡착부(140)와 기판(22)이 접촉된 상태에서 흡착부(140) 내부의 공기를 빼내면 진공압에 의해 기판(22)이 흡착부(140)에 흡착된다.
도 4는 분리가 완료된 기판을 로더(150)가 수취하여 상방으로 회전하기 시작하는 모습을 도시한다.
도 4에는 세워져 있는 기판(22)들이 도시된다. 기판(22)은 L자 형상의 기판 적재대(200)에 적재되어 있다.
로딩암(120)이 전진하여 흡착부(140)에 기판(22)이 흡착되면, 로딩암(120)을 후진시켜 기판(22)을 로더(150)의 로딩 위치로 이송시킨다. 기판(22)이 로더(150)의 로딩 위치로 이송된 상태에서 흡착부(140)의 흡착 상태를 해제하면, 기판(22)이 로더(150)에 올려진다. 이후, 로더(150)를 상방으로 회전시킨다.
도 5는 로더의 동작에 의해 기판이 수평 컨베이어에 올려진 상태를 도시한다.
로더(150)가 상방으로 90도 회전하면, 기판(22)이 수평 컨베이어(300) 상에 놓이게 된다. 이후, 수평 컨베이어(300)의 동작에 의해 기판(22)이 도면에서 좌측으로 이송하고 비워진 로더(150)는 하방으로 90도 회전하여 원래의 위치로 되돌아 간다.
도 6은 기판의 적재 위치와 로딩 위치를 설명하기 위한 것이다.
기판 적재대(200)는 L자 형상을 가지며 그 위에 기판(22)의 세워져서 쌓인다. 이때, 기판(22)이 적재된 위치를 적재 위치라 한다.
도면에서 상세하게 도시되지는 않았지만, 기판 적재대(200)는 초기위치와 적재 위치를 갖는다. 초기 위치는 작업자가 대차에 놓인 기판을 기판 적재대(200)에 올려놓는 위치이며, 수직형 로더(100)의 전방 맨 끝이 된다.
작업자에 의해 기판(22)이 기판 적재대(200)에 올려지면, 기판 적재대(200)를 로더(150)쪽으로 이동시켜 적재 위치에 위치시킨다. 적재 위치는 도 1에 도시되는 것처럼 기판 적재대(200)가 수직 로딩 동작을 대기하는 위치이다.
한편, 로딩 위치는 기판(22)이 로더(150)에 놓이는 위치이다. 도 5의 원으로 도시되는 바와 같이 로더(150)의 하부에는 기판 로딩 및 지지를 위한 홈이 형성되어 있다. 기판(22)의 하부가 이 홈에 삽입된다. 기판(22)을 홈에 삽입되게 하기 위하여 기판(22)을 놓는 위치를 홈 내의 아무 곳이라도 좋으나 통상 홈의 중앙을 설정하며, 이 위치를 기판의 로딩 위치라 한다.
도 7은 정전기력에 의한 영향을 보이기 위한 것이다.
수직형 로더(100)는 기판 적재대(200)에 수직으로 세워져 있는 기판을 잡아서 90도 상방으로 회전시켜서 수평 컨베이어(300)에 올려놓는다.
기판 적재대(200)에는 복수의 기판(22)이 겹쳐서 쌓여있기 때문에, 인접한 기판(22)들 사이에 정전기력이 작용한다. 이 정전기력에 의해 인접한 기판(22)들이 서로 달라붙게 된다.
기판(22)의 무게가 기판(22)들 사이에 작용하는 정전기력에 의한 영향을 받지 않을 정도로 무거울 때는 문제가 발생하지 않는다.
그렇지만, 기판(22)의 무게가 정전기력에 의한 영향을 받을 정도로 가벼울 때에는 수직 로딩시 문제가 발생한다.
구체적으로 가볍고 얇은 기판(대체로 0.3mm 이하)의 기판을 수직 로딩할 경우, 두 개의 기판(22)이 서로 붙은 채로 한꺼번에 로딩되는 현상이 발생한다. 이는 기판(22)의 무게가 기판(22) 사이에 작용하는 정전기력보다 적기 때문에 기판(22)들이 서로 붙어서 로딩되기 때문에 발생한다.
따라서 가볍고 얇은 기판(22)을 수직 로딩하는 경우, 정전기력에 의해 기판(22)들이 서로 붙은 채로 로딩되는 것을 방지하기 위한 수단이 요구된다.
특허공개 KR 10-2006-0021275 (2006.03.07.)
특허공개 KR 10-2006-0137105 (2006.12.28.)
특허공개 KR 10-1997-0009719 (1997.03.21.)
본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위하여 된 것으로서, 기판 사이의 정전기력에 의한 영향을 방지할 수 있는 수직형 로더 제어 방법을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
본 발명의 다른 목적은 기존의 수직형 로더의 구조를 변경시키지 않으면서 간단한 수단에 의해 정전기력에 의한 영향을 방지할 수 있는 수직형 로더 제어 방법을 제공하는 것에 있다.
상기의 목적을 달성하는 본 발명에 따른 수직형 로더 제어 방법은
진퇴 운동 및 회전 운동이 가능한 로딩암, 상기 로딩암의 선단에 부착된 흡착부, 상기 기판을 지지하는 기판 적재대, 상기 로딩암 및 상기 흡착부에 의해 상기 기판 적재대로부터 로딩 위치로 옮겨진 상기 기판을 수평 컨베이어로 옮기는 로더를 포함하는 수직형 로더에 있어서,
상기 기판의 저면이 이동하는 궤적 상에 브러시를 설치하는 과정;
상기 로딩암을 상기 기판 적재대 쪽으로 전진시키고 상기 흡착부가 상기 기판 적재대에 적재된 상기 기판을 흡착하게 하는 과정;
상기 로딩암을 후진시켜 상기 기판을 상기 로더의 로딩 위치까지 이송시키는 과정;
상기 로딩암을 한 차례 전후진시켜 상기 기판이 상기 기판 적재대에 적재된 위치와 상기 로더의 로딩 위치 사이에서 한 차례 전후진되게 하는 과정;
상기 기판을 상기 로더에 로딩하는 과정;
을 포함하며,
여기서, 상기 로딩암을 후진시키는 과정을 통하여 상기 기판의 저면이 상기 브러시의 브러시솔과 마찰하면서 정전기력에 의해 서로 흡착된 기판들을 분리시키고, 상기 로딩암을 한 차례 전후진시키는 과정을 통하여 로딩되지 않을 기판을 상기 기판 적재대에 되돌리고 로딩될 기판만이 상기 로더에 로딩되게 하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 수직형 로더 제어 방법은 상기 기판이 로더의 로딩 위치로 당겨질 때 상기 브러시가 상기 기판의 하부와 접촉하게 함으로써, 정전기력에 의해 서로 붙은 기판들이 분리되도록 함으로써 로딩될 기판만이 로더에 로딩되게 하는 효과를 갖는다.
도 1은 수직형 로더의 개략적인 구성을 도시한다.
도 2는 수직형 로더를 기판 적재대 방향에서 본 것을 도시한다.
도 3은 흡착부에 기판이 흡착된 상태를 도시한다.
도 4는 기판을 로딩한 로더가 상방으로 회전하기 시작하는 모습을 도시한다.
도 5는 로더의 동작에 의해 기판이 수평 컨베이어에 올려진 상태를 도시한다.
도 6은 기판의 적재 위치와 로딩 위치를 설명하기 위한 것이다.
도 7은 정전기력에 의한 영향을 보이기 위한 것이다.
도 8은 브러시의 설치 위치를 도시한다.
도 9는 브러시의 설치 상태를 도시한다.
도 10은 브러시에 의한 작용을 보이기 위해 도시된 것이다.
도 11은 본 발명에 따른 수직형 로더 제어 방법을 보이는 흐름도이다.
도 2는 수직형 로더를 기판 적재대 방향에서 본 것을 도시한다.
도 3은 흡착부에 기판이 흡착된 상태를 도시한다.
도 4는 기판을 로딩한 로더가 상방으로 회전하기 시작하는 모습을 도시한다.
도 5는 로더의 동작에 의해 기판이 수평 컨베이어에 올려진 상태를 도시한다.
도 6은 기판의 적재 위치와 로딩 위치를 설명하기 위한 것이다.
도 7은 정전기력에 의한 영향을 보이기 위한 것이다.
도 8은 브러시의 설치 위치를 도시한다.
도 9는 브러시의 설치 상태를 도시한다.
도 10은 브러시에 의한 작용을 보이기 위해 도시된 것이다.
도 11은 본 발명에 따른 수직형 로더 제어 방법을 보이는 흐름도이다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구성 및 동작을 상세히 설명하기로 한다.
도 8은 브러시의 설치 위치를 도시한다.
브러시(206)는 기판(22)의 저면이 이동하는 궤적 상에 설치된다. 또한, 브러시(206)의 브러시솔(206a)이 이동하는 기판(22)의 저면과 마찰하도록, 브러시(206)는 적절한 위치에 설치되어야 한다.
도 8의 왼쪽 그림을 참조하면, 브러시(206)는 로딩 위치와 적재 위치 사이에서 로딩 위치 쪽으로 치우쳐서 설치된다.
도 8의 오른쪽 그림을 참조하면, 브러시(206)는 브러시솔(206a)을 포함한다.
브러시솔(206a)은 적재위치에서 로딩 위치 사이로 이동하는 기판(22)과 마찰되는 높이로 설치된다.
도 9는 브러시의 설치 상태를 도시한다.
브러시(206)는 기판 적재대(200)가 이동하는 레일(202)의 곁에 설치된 기판 지지대(204)에 부착된다.
도 9에는 왼쪽에만 브러시(206)를 설치한 것이 도시되고 있다. 브러시(206)는 좌우로 하나씩 설치하는 것이 바람직하다.
겹쳐진 기판(22)들 사이에는 정전기력이 적용한다. 이 정전기력에 의해 이웃한 기판(22)들이 서로 달라붙게 된다.
도 10은 브러시에 의한 작용을 보이기 위해 도시된 것이다.
로딩암(120)이 후진할 때, 기판(22)이 당겨지는 것과 동시에, 도 8에 도시된 바와 같이, 기판(22)의 하부가 브러시(206)의 브러시 솔(206a)과 마찰한다.
만일, 기판(22)들이 서로 붙어있었다면 기판(22)과 브러시 솔(206a) 사이의 마찰력에 의해 서로 분리되는 것을 알 수 있다.
브러시(206)는 기판(22)의 좌우측 하부와 마찰하도록 좌우로 두개가 설치되는 것이 바람직하다.
도 11은 본 발명에 따른 수직형 로더 제어 방법을 보이는 흐름도이다.
도 11을 참조하면, 본 발명에 따른 수직형 로더 제어 방법은
기판(22)의 저면이 이동하는 궤적 상에 브러시(206)를 설치하는 과정(S702),
로딩암(120)을 기판 적재대(200) 쪽으로 전진시키고 흡착부(140)가 기판 적재대(200)에 적재된 기판(22)을 흡착하게 하는 과정(S704)
로딩암(120)을 후진시켜 기판(22)을 로더(150)의 로딩 위치까지 이송시키는 과정(S706),
로딩암(150)을 한 차례 전후진시켜 기판 적재대(200)에 적재된 위치와 상기 로더의 로딩 위치 사이에서 기판(22)이 한 차례 전후진되게 하는 과정(S708),
흡착부(140)의 흡착 상태를 해제시켜 기판(22)을 로더(150)에 적재시키는 과정(S710)을 포함한다.
로딩암을 후진시키는 과정(S706)을 통하여 기판(22)의 저면이 브러시(206)와 마찰되면서 정전기력에 의해 서로 흡착된 기판(22)들이 분리되고, 로딩암(150)을 한 차례 전후진시키는 과정(S708)을 통하여 로딩되지 않을 기판을 기판 적재대(200)에 되돌리고 로딩될 기판만이 로더(150)에 로딩되게 한다.
로딩암(120)은 수평방향으로 진퇴하는 진퇴 운동과 상하방으로 회전하는 회전 운동을 수행한다.
로딩 동작에 있어서, 먼저 로딩암(120)이 기판 적재대(200) 쪽으로 전진하게 된다. 로딩암(120)의 선단에 부착된 흡착부(140)가 기판(22)에 접촉한 상태에서 흡착부(140) 내부의 공기를 배기시키면 진공압에 의해 기판(22)이 흡착부(140)에 흡착된다.
기판(22)이 흡착되면, 로딩암(120)이 후진하게 된다. 로딩암(120)의 후진에 의해 흡착부(140)에 흡착된 기판(22)이 로더(150)쪽으로 당겨진다.
기판(22)이 기판 적재대(200)의 적재위치로부터 로더(150)의 로딩 위치에 도달하는 과정에서 기판(22)의 저면이 브러시솔(206a)과 마찰한다.
이러한 마찰 적용에 의해 정전기력에 의해 서로 붙은 기판(22)들이 분리된다.
로딩될 기판만이 수직 로딩되게 하기 위하여, 로딩암(120)을 한 차례 전후진시킨다. 이러한 전후진 동작에 의해 로딩되지 않을 기판은 기판 적재대(200)의 적재 위치로 되돌려지고, 로딩될 기판만이 로더(150)의 로딩 위치에 놓이게 된다.
이후 흡착부(140)의 흡착 상태를 해제시키면 기판(22)이 로더(150)의 홈에 삽입된다.
이후, 로더(150)가 상방으로 90도로 회전한다.
로더(150)가 90도로 회전한 결과, 기판(22)이 수평 컨베이어(300)의 상부에 수평 방향으로 놓이게 된다.
수평 컨베이어(300)의 작용에 의해 기판(22)이 수평으로 이송된다.
100... 수직형 로더 120...로딩암
140...흡착부 150...로더
22...기판
200...기판 적재대 204...기판 지지대
206...브러시 206a...브러시 솔
300...수평 컨베이어
140...흡착부 150...로더
22...기판
200...기판 적재대 204...기판 지지대
206...브러시 206a...브러시 솔
300...수평 컨베이어
Claims (1)
- 진퇴 운동 및 회전 운동이 가능한 로딩암;
상기 로딩암의 선단에 부착된 흡착부;
상기 기판을 지지하는 기판 적재대;
상기 로딩암 및 상기 흡착부에 의해 상기 기판 적재대로부터 로딩 위치로 옮겨진 상기 기판을 수평 컨베이어로 옮기는 로더를 포함하는 수직형 로더 제어방법에 있어서,
상기 기판의 저면이 이동하는 궤적 상에 브러시를 설치하는 과정;
상기 로딩암을 상기 기판 적재대 쪽으로 전진시키고 상기 흡착부가 상기 기판 적재대에 적재된 상기 기판을 흡착하게 하는 과정;
상기 로딩암을 후진시켜 상기 기판을 상기 로더의 로딩 위치까지 이송시키는 과정;
상기 로딩암을 한 차례 전후진시켜 상기 기판이 상기 기판 적재대에 적재된 위치와 상기 로더의 로딩 위치 사이에서 한 차례 전후진되게 하는 과정;
상기 기판을 상기 로더에 로딩하는 과정;
을 포함하며,
여기서, 상기 로딩암을 후진시키는 과정을 통하여 상기 기판의 저면이 상기 브러시의 브러시솔과 마찰되면서 정전기력에 의해 서로 흡착된 기판들을 분리시키고, 상기 로딩암을 한 차례 전후진시키는 과정을 통하여 로딩되지 않을 기판을 상기 기판 적재대에 되돌리고 로딩될 기판만이 상기 로더에 로딩되게 하는 것을 특징으로 하는 수직형 로더 제어 방법.
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| KR1020170097497A KR20190014288A (ko) | 2017-08-01 | 2017-08-01 | 수직형 로더 제어 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| KR1020170097497A KR20190014288A (ko) | 2017-08-01 | 2017-08-01 | 수직형 로더 제어 방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20190014288A true KR20190014288A (ko) | 2019-02-12 |
Family
ID=65369170
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020170097497A KR20190014288A (ko) | 2017-08-01 | 2017-08-01 | 수직형 로더 제어 방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR20190014288A (ko) |
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2017
- 2017-08-01 KR KR1020170097497A patent/KR20190014288A/ko not_active Application Discontinuation
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