KR20190013410A - 가스 센서 - Google Patents

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KR20190013410A
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gas
gas sensor
heater
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황인성
김무섭
이성은
이성희
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엘지전자 주식회사
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Abstract

본 발명은 습도 영향성을 최소화 하는 가스 센서에 관한 것이다. 본 발명은 기판, 상기 기판 상에 배치되고, 배선 전극, 히터 전극 및 가스 감지 물질을 구비하는 단위 센싱 유닛, 상기 기판 위에 형성되어 상기 단위 센싱 유닛을 에워싸는 측벽부 및 상기 단위 센싱 유닛의 상측에 배치되며 적어도 하나의 홀을 포함하는 덮개부를 구비하는 보호 캡 및 상기 단위 센싱 유닛과 상기 덮개부 사이에 배치되는 히터부를 포함하고, 상기 히터부는 상기 단위 센싱 유닛 주변의 습도를 낮추도록, 상기 히터 전극과 함께 발열되는 것을 특징으로 하는 가스 센서를 제공한다.

Description

가스 센서{GAS SENSOR}
본 발명은 습도 영향성을 최소화 하는 가스 센서에 관한 것이다.
유해대기 오염물질 노출 및 환경성 질환 등이 사회적 이슈가 됨에 따라, 정부에서는 대기 정책 목적에 부합되는 대기오염물질군의 분류체계 개선 등을 통해 국민건강 증진을 위해 노력하고 있다.
최근 스마트폰에 환경센서의 일종인 온습도센서가 채용되고 있으며, 스마트폰이나 웨어러블 기기에서 특히 가스센서에 대한 관심이 높아지고 있다.
종래 가스센서는 사이즈, 소비전력, 안정성, 감도, 응답속도 등이 스마트폰 및 웨어러블 기기에 사용되기에 적합하지 않다. 이에, 개선 된 새로운 가스센서 및 패키지의 개발이 필수적이다.
이에 따라, 가스 센서 제조에 Micro Electro-Mechanical Systems(MEMS) 기술이 활용되고 있다. MEMS를 이용한 가스 센서에서는 센서 소자로부터의 전기신호를 취득하기 위해, 와이어 본딩을 진행하게 되는데, 와이어 본딩을 진행하기 위해서는 센서 소자에 와이어 본딩을 위한 전극 패드가 형성되어 있어야 하고, 센서소자가 부착 된 기판에도 별도로 전극 패드가 있어야 한다. 이 때 내부의 전극패드와 패키지 밖의 전극패드를 연결하기 위하여 와이어 본딩을 진행하게 된다. 이러한 와이어 본딩은 진동이나 외부 환경에 매우 취약한 구조를 갖기 때문에 최근 플립칩 본딩이나 BGA등의 다양한 패키징 방식이 등장하고 있다.
상술한 패키징 방식이 개발됨에 따라, 다양한 분야에 가스 센서를 적용하고자 하는 시도가 계속되고 있다. 다만, 가스 센서의 센싱 감도는 주변환경에 민감하기 때문에, 가스 센서를 다양한 분야에 적용하기에 어려움이 있다. 예를 들어, 가스 센서는 주변 습도에 따라 그 감도가 달라지기 때문에, 습도차이가 큰 환경에서는 사용이 어려운 실정이다.
본 발명은 주변 습도에 상관없이 센싱 감도를 유지할 수 있는 가스 센서를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 가스 선택성을 가지는 가스 센서를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
상술한 첫 번째 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 기판, 상기 기판 상에 배치되고, 배선 전극, 히터 전극 및 가스 감지 물질을 구비하는 단위 센싱 유닛, 상기 기판 위에 형성되어 상기 단위 센싱 유닛을 에워싸는 측벽부 및 상기 단위 센싱 유닛의 상측에 배치되며 적어도 하나의 홀을 포함하는 덮개부를 구비하는 보호 캡 및 상기 단위 센싱 유닛과 상기 덮개부 사이에 배치되는 히터부를 포함하고, 상기 히터부는 상기 단위 센싱 유닛 주변의 습도를 낮추도록, 상기 히터 전극과 함께 발열되는 것을 특징으로 하는 가스 센서를 제공한다.
일 실시 예에 있어서, 상기 히터부는 다공성 기판 및 상기 다공성 기판 상에 증착되는 발열 전극으로 이루어질 수 있다.
일 실시 예에 있어서, 상기 측벽부는 외부 물질이 상기 다공성 기판을 통해서만 상기 단위 센싱 유닛에 도달하도록, 상기 다공성 기판의 측면을 에워쌀 수 있다.
일 실시 예에 있어서, 상기 다공성 기판에는 특정 물질의 분해를 촉진하는 촉매가 도포될 수 있다.
일 실시 예에 있어서, 상기 다공성 기판은 복수의 층으로 이루어질 수 있다.
일 실시 예에 있어서, 상기 복수의 층 중 적어도 하나의 층에 발열 전극이 증착될 수 있다.
일 실시 예에 있어서, 상기 복수의 층 중 어느 하나의 층에 포함된 기공들의 평균 입경과 상기 어느 하나의 층과 다른 층에 포함된 기공들의 평균 입경은 서로 다를 수 있다.
일 실시 예에 있어서, 상기 복수의 층 각각에는 서로 다른 종류의 촉매가 도포될 수 있다.
본 발명에 따르면, 가스 센서에 내장된 히터부가 반영구적으로 주변 습도를 감소시키기 때문에 가스 센서의 습도 영향성을 최소화할 수 있게 된다.
또한, 본 발명에 따르면 단위 센싱 유닛에 도달할 수 있는 기체의 종류를 분자의 크기에 따라 제한할 수 있기 때문에 가스 센서에 가스 선택성을 부여할 수 있게 된다.
또한, 본 발명에 따르면 단위 센싱 유닛에 도달할 수 있는 기체의 종류를 특정 촉매와 반응하지 않는 기체로 제한할 수 있기 때문에 가스 센서에 가스 선택성을 부여할 수 있게 된다.
도 1은 종래 가스 센서의 단면도이다.
도 2는 본 발명에 따른 가스 센서의 단면도이다.
도 3a 는 단위 센싱 유닛의 단면도이다.
도 3b는 단위 센싱 유닛의 평면도이다.
도 4 및 5는 본 발명에 따른 가스 센서의 변형 실시 예이다.
도 6은 히터부를 포함하지 않는 가스 센서의 감지신호를 나타내는 그래프이다.
도 7은 본 발명에 따른 가스 센서의 감지신호를 나타내는 그래프이다.
도 8은 에탄올 기체의 농도에 따른 가스 센서의 감도를 나타내는 그래프이다.
도 9는 에탄올 기체의 농도에 따른 가스 센서의 감도 향상율을 나타내는 그래프이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 명세서에 개시된 실시 예를 상세히 설명하되, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 유사한 구성요소는 동일한 참조 번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. 이하의 설명에서 사용되는 구성요소에 대한 접미사 "모듈" 및 "부"는 명세서 작성의 용이함만이 고려되어 부여되거나 혼용되는 것으로서, 그 자체로 서로 구별되는 의미 또는 역할을 갖는 것은 아니다. 또한, 본 명세서에 개시된 실시 예를 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 명세서에 개시된 실시 예의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 첨부된 도면은 본 명세서에 개시된 실시 예를 쉽게 이해할 수 있도록 하기 위한 것일 뿐, 첨부된 도면에 의해 본 명세서에 개시된 기술적 사상이 제한되는 것으로 해석되어서는 아니 됨을 유의해야 한다.
또한, 층, 영역 또는 기판과 같은 요소가 다른 구성요소 "상(on)"에 존재하는 것으로 언급될 때, 이것은 직접적으로 다른 요소 상에 존재하거나 또는 그 사이에 중간 요소가 존재할 수도 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.
본 발명은 습도의 영향을 최소화한 가스 센서에 관한 것이다. 구체적으로, 본 발명에 따른 가스 센서는 가열을 통해 가스 센서 주변의 습도를 감소시켜, 가스 센서 주변 습도를 일정하게 유지한다. 본 발명에 따른 가스 센서에 대하여 설명하기에 앞서 가스 센서의 습도 영향성을 감소시키는 종래 방법에 대하여 설명한다.
도 1은 종래 가스 센서의 단면도이다.
종래 가스 센서는 기판(10), 센싱부(20), 수분 필터(30) 보호 캡(40)을 구비할 수 있다.
가스 센서를 구성하는 구성요소들은 상기 기판(10)위에 형성된다. 기판(10) 위에는 가스 센서를 외부 전원 및 제어부와 연결하기 위한 배선전극들이 형성될 수 있다.
센싱부(20)는 특정 가스와 반응하여 신호를 발생시킨다. 센싱부(20)에 포함된 가스 감지 물질은 특정 가스와 반응하여 그 저항 값이 달라진다. 이에 따라, 센싱부(20)에 흐르는 전류량이 달라질 수 있는 데, 이러한 전류량 변화가 가스 감지 신호가 된다.
상기 센싱부(20)는 보호 캡(40)으로 덮인다. 상기 보호 캡(40)은 상기 센싱부(20)로 기체 상태 이외의 외부 물질이 진입하는 것을 방지한다. 기체 상태의 외부 물질은 보호 캡(40)에 형성된 홀(41)을 통해 상기 센싱부(20)로 도달할 수 있다.
다만, 상기 센싱부(20)에 구비된 가스 감지물질은 특정 가스뿐 아니라 수증기와도 반응할 수 있다. 이로 인하여, 가스 센스 주변 습도가 높은 경우, 센서의 감도가 떨어질 수 있다.
이를 방지하기 위해, 종래 가스 센서는 수분 필터(30)를 포함한다. 상기 수분 필터(30)는 가스 센서 주변 수증기를 흡수하여 가스 센서 주변 수증기가 가스 감지 물질과 반응하는 것을 방지한다. 하지만, 상기 수분 필터(30)가 흡수할 수 있는 수증기의 양은 제한되어 있다. 이 때문에, 가스 센서 주변 습도가 높을 경우, 수분 필터(30)가 포화되어 본래의 기능을 발휘할 수 없게 된다.
본 발명은 주변 습도에 상관없이 가스 센서의 습도 영향성을 최소화할 수 있는 구조를 제시한다. 이하, 본 발명에 대하여 구체적으로 설명한다.
도 2는 본 발명에 따른 가스 센서의 단면도이고, 도 3a 는 단위 센싱 유닛의 단면도이고, 도 3b는 단위 센싱 유닛의 평면도이고, 도 4 및 5는 본 발명에 따른 가스 센서의 변형 실시 예이다.
종래 가스 센서는 단위 센싱 유닛(100), 기판(210), 히터부(230) 및 보호 캡(240)을 구비한다.
단위 기판(110)은 실리콘으로 이루어질 수 있으며, 이에 한정되지 않고, 후술할 구성요소들을 지지할 수 있는 모든 소재가 단위 기판으로 활용될 수 있다. 단위 센싱 유닛(100)의 모든 구성요소들은 단위 기판(110)위에 배치된다.
도 3a 및 3b를 참조하면, 히터 전극(122)은 기판 상면에 배치될 수 있다. 하지만, 이에 한정되지 않고, 히터 전극(122)은 기판 하면에 배치될 수 있다. 이에 대해서는 후술한다.
히터 전극(122)은 백금, 텅스텐 중 어느 하나로 이루어질 수 있다. 다만, 이에 한정되지 않고, 전압을 걸어줄 경우 열이 발생되는 모든 소재가 히터 전극으로 사용될 수 있다.
히터 전극(122)은 후술할 감지물질에 열 에너지를 공급하는 역할을 한다. 본 발명에 따른 센서는 히터 전극(122)에 인가되는 전압을 조절하여, 감지물질에 공급되는 열 에너지의 양을 조절할 수 있고, 이를 통해, 감지물질의 온도를 조절할 수 있게 된다.
한편, 절연막(121)은 히터 전극(122)과 다른 전극들을 절연 시킨다. 절연막(121)은 실리콘 산화물로 이루어질 수 있으며, 이에 한정되지 않고, 히터 전극(122)과 다른 전극들을 절연시킬 수 있는 모든 소재들이 활용될 수 있다.
한편, 감지 전극(132)은 절연막(121) 위에 배치될 수 있다. 이때, 절연막(121)은 히터전극(122)과 감지 전극(132)을 절연 시킨다.
한편, 도시되지 않았지만, 히터 전극(122)은 단위 기판(110) 하면에 배치될 수 있으며, 이러한 경우, 감지 전극(132)은 단위 기판(110) 상면에 배치된다. 이때, 히터 전극(121)과 감지 전극(131)은 단위 기판(110)을 사이에 두고 배치된다.
감지 전극(132)은 가스 감지 물질(131)의 전기적 성질 변화로 인하여 발생되는 신호를 출력한다. 여기서, 출력되는 신호는 저항변화, 전류변화 등일 수 있다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 센서 어레이에서 출력되는 신호는 감지 전극(132)에서 출력되는 신호를 의미한다.
한편, 가스 감지 물질(131)은 감지 전극(132)을 덮도록 배치된다. 가스 감지 물질(131)의 주성분은 산화 주석으로 이루어지며, 백금, 납, 니켈 등의 금속 및 그 산화물, 고분자, 유기화합물 등이 혼합될 수 있다.
히터 전극(122)으로부터 가스 감지 물질(131)에 열 에너지가 가해지는 경우, 가스 감지 물질(131)의 자유 전자가 증가하며, 증가된 자유 전자에 의하여 대기중의 산소가 가스 감지 물질(131)에 흡착된다. 이에 따라, 가스 감지 물질(131)을 이루는 산화주석 입자에 전위장벽이 형성되어 입자간 전기전도도가 낮아진다.
이러한 상태에서, 가스 감지 물질(131)에 흡착된 산소가 특정 기체와 반응하는 경우, 가스 감지 물질(131)의 전기 전도도가 다시 증가한다. 감지 전극(132)은 가스 감지 물질(131)에 흡착되었던 산소가 탈착 됨에 따라 발생되는 신호를 출력한다.
상술한 바에 따르면, 센서의 감도는 산소의 흡착량 및 탈착량의 차이가 클수록 높아진다. 이를 위해, 산화 주석의 온도를 높여주어야 한다. 센서의 감도가 최대가 되는 온도는 센싱하고자 하는 기체의 종류에 따라 달라진다.
상기 단위 센싱 유닛(100)은 상기 기판(210) 상에 배치된다. 그 밖에도, 상기 기판(210) 상에는 본 발명에 따른 가스 센서를 구성하는 구성요소들이 배치될 수 있다.
상기 단위 센싱 유닛(100)은 보호 캡(240)으로 덮인다. 상기 보호 캡(240)은 상기 단위 센싱 유닛(100)으로 기체 상태 이외의 외부 물질이 진입하는 것을 방지한다. 구체적으로, 보호 캡(240)은 상기 기판(210) 위에 형성되어 상기 단위 센싱 유닛을 에워싸는 측벽부 및 상기 단위 센싱 유닛(100)의 상측에 배치되어 적어도 하나의 홀(241)을 포함하는 덮개부를 포함한다. 기체 상태의 외부 물질은 상기 홀(241)을 통해 상기 단위 센싱 유닛(100)으로 도달할 수 있다.
한편, 히터부(230)는 상기 단위 센싱 유닛(100)과 상기 덮개부 사이에 배치된다. 상기 히터부(230)는 단위 센싱 유닛(100) 주변의 습도를 낮추도록, 상기 히터 전극(122)과 함께 발열된다.
상기 히터부(230)는 상기 단위 센싱 유닛(100) 상측에서 온도를 높여 외부의 수증기가 센서 내로 유입되는 것을 방지한다. 상기 히터부(230)는 수증기를 흡수하지 않고, 가스 센서 주변 습도를 감소시키기 때문에, 반영구적으로 가스 센서의 습도 영향성을 감소시킬 수 있다.
한편, 상기 히터부(230)는 지지 기판(231) 및 상기 지지 기판(231) 상에 증착되는 발열 전극(232)으로 이루어질 수 있다. 상기 지지 기판(231)에는 적어도 하나의 홀이 형성될 수 있다. 상기 보호 캡(240)의 홀(241)을 통해 가스 센서로 들어온 외부 기체는 상기 지지 기판(231)에 형성된 홀을 지나 단위 센싱 유닛(100)에 도달할 수 있다.
한편, 도 4와 같이, 상기 지지 기판(231)은 다공성 기판(231')으로 이루어질 수 있다. 다공성 기판(231')은 복수의 기공들을 포함하기 때문에 기체 상태의 외부 물질을 통과시킬 수 있다. 일 실시 예에 있어서, 상기 다공성 기판(231')은 다공성 알루미나 기판(Anodic Alumina Oxide)일 수 있다.
한편, 상기 다공성 기판(231')에 포함된 기공들의 평균 입경은 다공성 기판(231') 제조 시 조절이 가능하다. 다공성 기판(231')에 포함된 기공의 크기에 따라 다공성 기판(231')을 통과할 수 있는 기체의 종류가 달라질 수 있다. 이를 이용하면, 가스 센서에 가스 선택성을 부여할 수 있다.
구체적으로, 상기 보호 캡(240)에 구비된 측벽부는 외부 물질이 상기 다공성 기판(231')을 통해서만 상기 단위 센싱 유닛(100)에 도달하도록, 상기 다공성 기판의 측면을 에워쌀 수 있다. 단위 센싱 유닛(100)에 도달 할 수 있는 물질은 상기 다공성 기판에 포함된 기공보다 작은 크기를 가져야 한다. 상기 다공성 기판(231')은 다공성 기판에 포함된 기공보다 큰 분자를 차단한다. 이를 통해, 본 발명은 가스 센서에 가스 선택성을 부여할 수 있게 된다.
한편, 본 발명은 상기 다공성 기판과 촉매를 활용하여 가스 센서에 가스 선택성을 부여할 수 있다. 구체적으로, 도 5를 참조하면, 상기 다공성 기판에는 특정 물질의 분해를 촉진하는 촉매(233)가 도포될 수 있다. 상기 다공성 기판(230)에 촉매(233)가 도포될 경우, 상기 촉매(233)와 외부 물질과의 접촉면적이 커지며, 촉매(233)의 성능이 향상될 수 있다. 이로 인하여, 상기 촉매(233)에 의하여 분해되는 기체는 상기 단위 센싱 유닛(100)까지 도달할 수 없게 된다. 이를 통해, 본 발명은 가스 센서에 가스 선택성을 부여할 수 있게 된다.
한편, 본 발명은 복수의 다공성 기판을 활용하여 가스 센서에 가스 선택성을 부여할 수 있다. 구체적으로 상기 다공성 기판은 복수의 층으로 이루어질 수 있다.
상기 복수의 층 중 적어도 하나의 층에는 발열 전극이 증착될 수 있다. 다수의 층에 발열 전극을 증착시킬 경우, 가스 센서의 습도 영향성을 대폭 낮출 수 있다.
한편, 도 5를 참조하면, 상기 복수의 층들(231a 내지 231e) 각각에 포함된 기공들의 크기는 서로 다를 수 있다. 구체적으로, 상기 복수의 층(231a 내지 231e) 중 어느 하나의 층에 포함된 기공들의 평균 입경과 상기 어느 하나의 층과 다른 층에 포함된 기공들의 평균 입경은 서로 다를 수 있다.
상기 단위 센싱 유닛(100)과 가까운 층일수록 평균 입경의 크기를 작게 할 경우, 극히 한정된 종류의 기체만 상기 단위 센싱 유닛(100)에 도달할 수 있게 된다. 이를 통해, 본 발명은 가스 센서에 가스 선택성을 부여할 수 있게 된다.
한편, 상기 복수의 층 각각에는 서로 다른 종류의 촉매(233a 내지 233c)가 도포될 수 있다. 이러한 경우, 상기 복수의 층 각각에 도포된 촉매에 의하여 분해되지 않는 기체만이 단위 센싱 유닛(100)에 도달할 수 있기 때문에, 가스 센서의 가스 선택성을 높일 수 있게 된다.
이하에서는, 본 발명에 따른 가스 센서의 습도 영향성에 대하여 설명한다.
도 6은 히터부를 포함하지 않는 가스 센서의 감지신호를 나타내는 그래프이고, 도 7은 본 발명에 따른 가스 센서의 감지신호를 나타내는 그래프이다.
가스 센서의 습도 영향성을 측정하기 위해, 70%의 습도 조건에서 에탄올 기체의 농도를 변화시키며 가스 센서에서 발생되는 신호를 측정하였다. 실험에는 세 종류의 센서를 사용하였다. 구체적으로, 히터부가 없는 센서(이하, 비교 예), 히터부에 1.2V의 전압을 인가하는 센서(이하, 실시 예1), 히터부에 2.1V의 전압을 인가하는 센서(이하, 실시 예2)이다. 여기서, 비교 예, 실시 예1 및 2 모두 가스 감지물질로서 Pd, SnO2을 포함한다.
도 6을 참조하면, 에탄올 기체의 농도가 5ppm일 때 신호와 에탄올 기체의 농도가 10ppm일 때 신호는 확실하게 구분되지만, 에탄올 기체가 없을 때 신호와 에탄올 기체의 농도가 5ppm 일 때 신호는 잘 구분되지 않는다. 이를 통해, 비교 예는 고습도 조건에서 감도가 좋지 않는 것을 확인할 수 있다.
한편, 도 7을 참조하면, 에탄올 기체의 농도가 5ppm일 때 신호와 에탄올 기체의 농도가 10ppm일 때 신호가 확실하게 구분될 뿐 아니라, 에탄올 기체가 없을 때 신호와 에탄올 기체의 농도가 5ppm 일 때 신호 또한 확실하게 구분된다. 이를 통해, 본 발명에 따른 가스 센서는 고습도 조건에서도 높은 감도를 가지는 것을 확인할 수 있다.
한편, 히터부에 인가한 전압이 높을수록(실시 예1 및 2 비교) 외부 물질에 대한 반응속도가 빠른 것을 확인할 수 있다.
한편, 에탄올 기체의 농도를 점진적으로 증가시키면서 비교 예, 실시 예1 및 2의 감도 및 감도 향상율을 측정하였다.
도 8은 에탄올 기체의 농도에 따른 가스 센서의 감도를 나타내는 그래프이고, 도 9는 에탄올 기체의 농도에 따른 가스 센서의 감도 향상율을 나타내는 그래프이다.
도 8을 참조하면, 에탄올 농도에 상관없이 실시 예2의 감도가 가장 높은 것을 확인할 수 있고, 비교 예는 5ppm 이하의 에탄올을 감지하지 못하는 것을 확인할 수 있다.
한편, 도 9를 참조하면, 실시 예1 및 2의 경우 에탄올 기체의 농도가 5ppm일 때 감도가 최대인 것을 확인할 수 있고, 비교 예의 경우, 에탄올 농도에 상관없이 감도가 일정한 것을 확인할 수 있다.
본 발명은 본 발명의 정신 및 필수적 특징을 벗어나지 않는 범위에서 다른 특정한 형태로 구체화될 수 있음은 당업자에게 자명하다.
또한, 상기의 상세한 설명은 모든 면에서 제한적으로 해석되어서는 아니되고 예시적인 것으로 고려되어야 한다. 본 발명의 범위는 첨부된 청구항의 합리적 해석에 의해 결정되어야 하고, 본 발명의 등가적 범위 내에서의 모든 변경은 본 발명의 범위에 포함된다.

Claims (8)

  1. 기판;
    상기 기판 상에 배치되고, 배선 전극, 히터 전극 및 가스 감지 물질을 구비하는 단위 센싱 유닛;
    상기 기판 위에 형성되어 상기 단위 센싱 유닛을 에워싸는 측벽부 및 상기 단위 센싱 유닛의 상측에 배치되며 적어도 하나의 홀을 포함하는 덮개부를 구비하는 보호 캡; 및
    상기 단위 센싱 유닛과 상기 덮개부 사이에 배치되는 히터부를 포함하고,
    상기 히터부는,
    상기 단위 센싱 유닛 주변의 습도를 낮추도록, 상기 히터 전극과 함께 발열되는 것을 특징으로 하는 가스 센서.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 히터부는,
    다공성 기판; 및
    상기 다공성 기판 상에 증착되는 발열 전극으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 가스 센서.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 측벽부는,
    외부 물질이 상기 다공성 기판을 통해서만 상기 단위 센싱 유닛에 도달하도록, 상기 다공성 기판의 측면을 에워싸는 것을 특징으로 하는 가스 센서.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 다공성 기판에는 특정 물질의 분해를 촉진하는 촉매가 도포되는 것을 특징으로 하는 가스 센서.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 다공성 기판은 복수의 층으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 가스 센서.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 복수의 층 중 적어도 하나의 층에 발열 전극이 증착되는 것을 특징으로 하는 가스 센서.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 복수의 층 중 어느 하나의 층에 포함된 기공들의 평균 입경과 상기 어느 하나의 층과 다른 층에 포함된 기공들의 평균 입경은 서로 다른 것을 특징으로 하는 가스 센서.
  8. 제5항에 있어서,
    상기 복수의 층 각각에는 서로 다른 종류의 촉매가 도포되는 것을 특징으로 하는 가스 센서.
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