KR20190010221A - Infrared optical lens equipped with ta-C and yttrium oxide thin film - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a hybrid infrared optical lens having YbF_3 and Y_2O_3 coating thin film layers and, more specifically, to a hybrid infrared optical lens having ta-C and Y_2O_3 coating thin film layers capable of maintaining a double-side ARC to secure high transmittance and to secure a total transmittance and durability. A far-infrared optical lens having a YbF_3 coating thin film layer, in accordance with the present invention, maintains the double-sided ARC to ensure high transmittance, and is capable of replacing an existing DLC with a ta-C protective layer having a thickness of 100-200 nm to secure total transmittance and durability.

Description

ta-C 및 Y2O3 코팅 박막층을 구비한 하이브리드 적외선 광학렌즈{Infrared optical lens equipped with ta-C and yttrium oxide thin film}[0001] The present invention relates to a hybrid infrared optical lens having ta-C and Y2O3 coating thin film layers,

본 발명은 ta-C 및 Y2O3 코팅 박막층을 구비한 하이브리드 적외선 광학렌즈에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 양면 ARC를 유지하여 고투과율을 확보하고, ta-C를 무반사 코팅에 적용할 수 있도록 Y2O3 등의 접착층을 얇게 증착 후 그 위에 100nm 내지 200nm 두께를 갖는 ta-C 를 형성함으로써 전체 투과율을 향상시키면서 내구성 또한 확보할 수 있는 ta-C 및 Y2O3 코팅 박막층을 구비한 하이브리드 적외선 광학렌즈에 관한 것이다.The present invention relates to a hybrid infrared optical lens having ta-C and Y2O3 coated thin film layers, and more particularly, to a hybrid infrared optical lens having ta-C and Y2O3 coated thin film layers, in which a high transmittance is secured by maintaining both- C and Y2O3 coated thin film layers capable of improving durability while improving the total transmittance by forming a thin film of an adhesive layer and then forming ta-C having a thickness of 100 nm to 200 nm thereon.

일반적으로 DLC(Diamond-like carbon) 박막은 높은 경도, 내마모성, 윤활성, 평활한 표면 조도 등의 뛰어난 기계적 특성과 전기절연성, 화학적 안정성 그리고 높은 광학적 투과성이 있어 산업적으로 다양하게 사용되고 있다.In general, diamond-like carbon (DLC) thin films are widely used industrially because of their excellent mechanical properties such as high hardness, abrasion resistance, lubricity and smooth surface roughness, electrical insulation, chemical stability and high optical transparency.

이러한 DLC 박막의 형성 방식은 수소의 영향에 의한 박막의 물성변화를 초래하므로 최근에는 고체상의 카본을 이용하여 수소가 함유되지 않은 박막의 코팅에 관심이 증대되고 있다. DLC에서 수소 함유는 큰 문제점의 하나로 수소 함유를 원천적으로 배제한다는 것은 큰 의미를 가진다. Since the method of forming the DLC thin film causes a change in the physical properties of the thin film due to the influence of hydrogen, recently, there has been an increasing interest in the coating of a thin film containing no hydrogen by using solid carbon. It is a big problem that DLC contains hydrogen. It is of great significance to exclude hydrogen content from the source.

DLC 박막의 형성을 위한 CVD나 PVD와 같은 종래의 화학적, 물리적 증착방법은 수소 함유와 상관없이 적외선 투과율이 평균 10% 정도 감소하며, 경도가 높지 않다는 단점이 있다. 또한, 부착력과 광학적 특성을 고려하여 다층 구조로 형성되므로 막이 두껍고 코팅공정이 복잡해져 공정효율이 감소된다.Conventional chemical and physical vapor deposition methods such as CVD and PVD for forming a DLC thin film have a disadvantage in that the infrared transmittance is reduced by an average of about 10% irrespective of hydrogen content and hardness is not high. Furthermore, since the film is formed in a multi-layer structure in consideration of adhesion and optical characteristics, the film is thick and the coating process becomes complicated, thereby reducing the process efficiency.

이와 달리 FCVA 증착방법은 다른 물리적 증착방법에 비해 발생하는 이온의 에너지가 높고, 이온화율이 높으며 또한 이온 플럭스(flux)가 높기 때문에 다이아몬드에 가까운 높은 경도와 밀도를 가지며, 기판과의 부착력이 좋고 투과성이나 굴절률 등의 광학적 특성이 우수하며, 열적 안정성이 높은 DLC 박막을 증착할 수 있고, 단층의 박막 형성이 가능하다. In contrast, the FCVA deposition method has high hardness and density close to diamond because of high ion energy, high ionization ratio and high ion flux compared to other physical vapor deposition methods, Or a refractive index, and can deposit a DLC thin film having a high thermal stability and can form a thin film of a single layer.

상술한 FCVA 증착방법으로 증착된 DLC 박막을 비정질 탄소 박막 또는 ta-C(tetrahedral amorphous carbon) 박막이라 부른다. 이러한 FCVA 증착방법은 카본 소스로 고상의 흑연을 사용하므로 수소함유를 원천적으로 방지할 수 있는 장점을 갖는다. The DLC thin film deposited by the above FCVA deposition method is called an amorphous carbon thin film or a ta-C (tetrahedral amorphous carbon) thin film. This FCVA deposition method has the advantage of using hydrogen graphite as a carbon source, and therefore, it is possible to prevent hydrogen content from origin.

한편, 렌즈와 같은 광학제품에는 표면에서 반사되어 소멸되는 빛의 양을 줄여 렌즈를 통과하는 빛의 양을 증대시키기 위해 표면에 무반사(AR; Anti-Reflection) 코팅막이 형성된다. 그러나, 이러한 무반사 코팅막은 경도가 낮아 외부에 노출될 경우 쉽게 스크래치가 발생되는 문제점이 있다.On the other hand, an anti-reflection (AR) coating film is formed on the surface of an optical product such as a lens in order to reduce the amount of light reflected from the surface and disappear, thereby increasing the amount of light passing through the lens. However, such an anti-reflective coating film has a low hardness, and thus scratches easily occur when exposed to the outside.

KRKR 10-149443910-1494439 B1B1 KRKR 10-2001-006821710-2001-0068217 AA KRKR 10-2008-001540010-2008-0015400 AA

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제를 해결하기 위한 것으로서, 적외선 광학렌즈에 양면 무반사 코팅막 구조를 적용하여 고투과율을 확보할 수 있는 ta-C 및 Y2O3 코팅 박막층을 구비한 하이브리드 적외선 광학렌즈를 제공하는 데 그 목적이 있다.The present invention provides a hybrid infrared optical lens having ta-C and Y2O3 coated thin film layers capable of securing a high transmittance by applying a double-side antireflection coating film structure to an infrared optical lens, It has its purpose.

또한, 본 발명은 적외선 광학렌즈에 구비되는 무반사 코팅막의 스크래치 방지를 위한 기존의 DLC 보다 높은 경도와 밀도를 갖고, 투과성 및 굴절률 등의 광학적 특성이 우수하면서 수소를 포함하지 않은 ta-C 박막층을 적외선 무반사 코팅에 적용함에 있어, Y2O3 등의 접착층을 얇게 증착 후 그 위에 100nm 내지 200nm 두께를 갖는 ta-C 박막층을 형성함으로써 높은 투과율과 내구성을 확보할 수 있는 ta-C 및 Y2O3 코팅 박막층을 구비한 하이브리드 적외선 광학렌즈를 제공하는 데 그 목적이 있다. In addition, the present invention relates to an anti-reflection coating for an anti-reflection film, which has a higher hardness and density than an existing DLC for preventing scratches on an anti-reflective coating film and is excellent in optical characteristics such as transmittance and refractive index, In application to an anti-reflective coating, a hybrid having a ta-C and Y2O3 coated thin film layer capable of ensuring a high transmittance and durability by thinly depositing an adhesive layer such as Y2O3 and forming a ta-C thin film layer having a thickness of 100 nm to 200 nm thereon An object of the present invention is to provide an infrared optical lens.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 ta-C 및 Y2O3 코팅 박막층을 구비한 하이브리드 적외선 광학렌즈는 렌즈 기재부와; 상기 렌즈 기재부의 전면에 형성되는 전면 코팅부;를 구비하고, 상기 전면 코팅부는 상기 렌즈 기재부 상에 형성되는 제1 게르마늄 박막층과, 상기 제1 게르마늄 박막층 상에 형성되는 제1 황화아연 박막층과, 상기 제1 황화아연 박막층 상에 형성되는 제2 게르마늄 박막층과, 상기 제2 게르마늄 박막층 상에 형성되는 제2 황화아연 박막층과, 상기 제2 황화아연 박막층 상에 형성되는 불화이터븀 박막층과, 상기 불화이터븀 박막층 상에 형성되는 산화이트륨 박막층과, 상기 산화이트륨 박막층 상에 형성되는 비정질탄소 박막층을 포함하는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a hybrid infrared optical lens including a ta-C and a Y2O3 coating thin film layer. Wherein the front coating unit includes a first germanium thin film layer formed on the lens substrate unit, a first zinc sulfide thin film layer formed on the first germanium thin film layer, A second germanium thin film layer formed on the first zinc sulfide thin film layer, a second zinc sulfide thin film layer formed on the second germanium thin film layer, a yttrium fluoride thin film layer formed on the second zinc sulfide thin film layer, An yttrium oxide thin film layer formed on the ytterbium thin film layer, and an amorphous carbon thin film layer formed on the yttrium oxide thin film layer.

상기 비정질탄소 박막층은 100nm 내지 200nm의 두께로 형성된 것을 특징으로 한다.The amorphous carbon thin film layer is formed to have a thickness of 100 nm to 200 nm.

상기 산화이트륨 박막층은 60nm 내지 70nm 두께로 형성된 것을 특징으로 한다.The yttrium oxide thin film layer is formed to a thickness of 60 nm to 70 nm.

상기 불화이터븀 박막층과 상기 산화이트륨 박막층 사이에는 제3 황화아연 박막층이 개재된 것을 특징으로 한다.And a third zinc sulfide thin film layer is interposed between the yttrium fluoride thin film layer and the yttrium oxide thin film layer.

상기 제3 황화아연 박막층은 300nm 이상의 두께로 형성된 것을 특징으로 한다.And the third zinc sulfide thin film layer is formed to have a thickness of 300 nm or more.

상기 렌즈 기재부의 후면에 상기 전면 코팅부와 대응되는 후면 코팅부가 더 구비된 것을 특징으로 한다.And a rear coating part corresponding to the front coating part is further provided on a rear surface of the lens base part.

본 발명에 따른 ta-C 및 Y2O3 코팅 박막층을 구비한 하이브리드 적외선 광학렌즈는 양면 ARC를 유지하여 고투과율을 확보하고, 기존의 투과율, 경도, 공정 효율이 좋지 못한 DLC를 대신하여 100nm 내지 200nm 두께를 갖는 ta-C 박막을 적외선 무반사 코팅에 적용함에 있어서, Y2O3 등의 접착층을 얇게 증착 후 그 위에 ta-C 박막을 형성함으로써 높은 투과율 및 내구성을 확보할 수 있는 장점을 가진다.The hybrid infrared optical lens having the ta-C and Y2O3 coating thin film layers according to the present invention maintains both-side ARC to secure a high transmittance, and has a thickness of 100 nm to 200 nm instead of the conventional DLC having poor transmittance, hardness, In the application of the ta-C thin film having infrared rays to the anti-reflective coating, it is advantageous that a high transmittance and durability can be ensured by thinly depositing an adhesive layer such as Y2O3 and forming a ta-C thin film thereon.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 ta-C 및 Y2O3 코팅 박막층을 구비한 하이브리드 적외선 광학렌즈의 단면도.
도 2는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 ta-C 및 Y2O3 코팅 박막층을 구비한 하이브리드 적외선 광학렌즈의 단면도.
도 3은 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 ta-C 및 Y2O3 코팅 박막층을 구비한 하이브리드 적외선 광학렌즈의 단면도.1 is a cross-sectional view of a hybrid infrared optical lens having ta-C and Y2O3 coated thin film layers according to an embodiment of the present invention.
2 is a cross-sectional view of a hybrid infrared optical lens having ta-C and Y2O3 coated thin film layers according to another embodiment of the present invention.
3 is a cross-sectional view of a hybrid infrared optical lens having ta-C and Y2O3 coated thin film layers according to another embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 ta-C 및 Y2O3 코팅 박막층을 구비한 하이브리드 적외선 광학렌즈에 대하여 상세하게 설명한다. Hereinafter, a hybrid infrared optical lens having ta-C and Y2O3 coated thin film layers according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1 내지 도 3는 본 발명에 따른 ta-C 및 Y2O3 코팅 박막층을 구비한 하이브리드 적외선 광학렌즈가 도시되어 있다. 도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 ta-C 및 Y2O3 코팅 박막층을 구비한 하이브리드 적외선 광학렌즈는 렌즈 기재부(100)와, 전면 코팅부(200) 및 후면 코팅부(300)를 구비한다.1 to 3 show a hybrid infrared optical lens having ta-C and Y2O3 coating thin film layers according to the present invention. 1 to 3, a hybrid infrared optical lens having ta-C and Y2O3 coating thin film layers according to the present invention includes a lens base 100, a front coating part 200 and a rear coating part 300 Respectively.

상기 렌즈 기재부(100)는 적외선 영역에 사용할 수 있도록 중적외선과 원적외선에서 효과적으로 사용할 수 있는 재질을 적용하는 것이 바람직하며, 그 재질은 높은 굴절률과, 낮은 열분산 특성, 낮은 분산과 흡수, AR코팅의 용이성, 높은 내구성을 만족하는 것을 적용하는 것이 바람직하다.The lens base 100 is preferably made of a material that can be effectively used in the middle infrared ray and the far infrared ray so that the lens base 100 can be used in the infrared range. The material of the lens base 100 is high refractive index, low heat dispersion property, low dispersion and absorption, And high durability are preferably applied.

상기 렌즈 기재부(100)의 일 예로, 게르마늄(Ge), 실리콘(Si), 황화아연(ZnS), 셀렌화아연(ZnSe), 불화마그네슘(MgF2), 사파이어(Sapphire)를 적용할 수 있으며, 이외 에도 calcium fluoride, barium fluoride, sodium fluoride, sodium fluoride, lithium fluoride, potassium bromide 등의 다른 물질을 적용할 수도 있다. As an example of the lens base portion 100, germanium (Ge), silicon (Si), zinc sulfide (ZnS), zinc selenide (ZnSe), magnesium fluoride (MgF2), sapphire, Other materials such as calcium fluoride, barium fluoride, sodium fluoride, sodium fluoride, lithium fluoride, and potassium bromide may also be used.

한편, 상기 전면 코팅부(200)는 렌즈 기재부(100) 전면에 게르마늄(Ge)으로 형성되는 제1 게르마늄 박막층(210)과, 제1 게르마늄 박막층(210) 상에 황화아연(ZnS)으로 형성되는 제1 황화아연 박막층(220)과, 제1 황화아연 박막층(220) 상에 게르마늄으로 형성되는 제2 게르마늄 박막층(230)과, 제2 게르마늄 박막층(230) 상에 황화아연으로 형성되는 제2 황화아연 박막층(240)과, 제2 황화아연 박막층(240) 상에 불화이터븀(YbF3)으로 형성되는 불화이터븀 박막층(250)과, 불화이터븀 박막층(250) 상에 산화이트륨으로 형성되는 산화이트륨 박막층(260)과, 산화이트륨 박막층(260) 상에 형성되는 비정질탄소 박막층(270)을 포함하여 구성된다.The front coating unit 200 includes a first germanium thin film layer 210 formed of germanium (Ge) on the entire surface of the lens substrate 100 and a second germanium thin film layer 210 formed of zinc sulfide (ZnS) on the first germanium thin film layer 210. A second germanium thin film layer 230 formed of germanium on the first zinc sulfide thin film layer 220 and a second germanium thin film layer 230 formed on the second germanium thin film layer 230, A yttrium fluoride thin film layer 250 formed on the second zinc sulfide thin film layer 240 by YbF 3 and a yttrium fluoride thin film layer 250 formed on the yttrium fluoride thin film layer 250 by yttrium oxide And an amorphous carbon thin film layer (270) formed on the yttrium oxide thin film layer (260).

상기 비정질탄소 박막층(270)은 큰 경도를 유지할 수 있도록 100nm 내지 200nm의 두께로 형성되는 것이 바람직하다.The amorphous carbon thin film layer 270 is preferably formed to a thickness of 100 nm to 200 nm so as to maintain a large hardness.

그리고, 상기 산화이트륨 박막층(260)은 비정질탄소 박막층(270)과의 부착력을 높이면서 흡수율은 낮출 수 있도록 산화이트륨(Y2O3)을 적용하며, 60nm 내지 70nm 두께로 형성하는 것이 바람직하다.The yttrium oxide thin film layer 260 is preferably formed to have a thickness of 60 nm to 70 nm by applying yttria (Y 2 O 3 ) so as to lower the absorptivity while increasing the adhesion to the amorphous carbon thin film layer 270.

산화이트륨(yttrium oxide)은 근자외선 영역에서부터 적외선 영역까지 광학 코팅 용도로 사용되는 중간 굴절률의 저흡수성 물질로서, 전자빔이나 스퍼터링으로 밀도가 높은 박막층을 증착할 수 있다. 산화이트륨은 실리콘 디옥사이드층과 함께 결합하여 높은 굴절률 대비 구조를 형성하는데 사용될 수 있고, TiO2(Titanium dioxide)와 Ta2O5(Tantalum pentoxide)와 같은 더 높은 굴절률의 물질과 결합하여 사용될 수도 있다.Yttrium oxide is a medium-refractive, low-absorptive material used for optical coating applications from the near-ultraviolet region to the infrared region and can be deposited with electron beam or sputtering to form a dense thin film layer. Yttrium oxide may be used in combination with a silicon dioxide layer to form a structure with a high refractive index and may be used in combination with a material having a higher refractive index such as TiO 2 (Titanium dioxide) and Ta 2 O 5 (Tantalum pentoxide).

상기 산화이트륨 박막층(260)은 300nm에서 최소 11um 범위에 걸쳐서 비흡수성이고, 글라스(glass), 게르마늄(germanium), 실리콘(silicon), 황화아연(zinc sulfide), 셀렌화아연(zinc selenide) 및 알루미늄(aluminum), 은(silver)과 같은 소재에 대한 고착력이 탁월한 성질을 가진다. 또한, 얇은 산화이트륨 박막층(260)은 비산화물 기판에서의 다층 코팅용인 고착제로서 기능을 가진다. The yttrium oxide layer 260 is absorptive over a range of 300 nm to a minimum of 11 um and is made of glass, germanium, silicon, zinc sulfide, zinc selenide, and aluminum and has excellent properties of adhesion to materials such as aluminum and silver. The thin yttrium oxide layer 260 also functions as a bonding agent for multi-layer coating on a non-oxide substrate.

본 발명에 따른 ta-C 및 Y2O3 코팅 박막층을 구비한 하이브리드 적외선 광학렌즈는 불화이터븀 박막층(250)과 산화이트륨 박막층(260) 사이에 제3 황화아연 박막층(280)이 더 개재되어 형성될 수 있다.The hybrid infrared optical lens having the ta-C and Y2O3 coating thin film layers according to the present invention may further include a third zinc sulfide thin film layer 280 between the yttrium fluoride thin film layer 250 and the yttrium oxide thin film layer 260 have.

이때, 상기 제3 황화아연 박막층(280)은 산화이트륨 박막층(260)과 비정질탄소 박막층(270)의 스트레스를 최소화하기 위해 300nm 이상의 두께로 형성하는 것이 바람직하다.At this time, it is preferable that the third zinc sulfide thin film layer 280 is formed to a thickness of 300 nm or more in order to minimize the stress of the yttrium oxide thin film layer 260 and the amorphous carbon thin film layer 270.

한편, 본 발명에 따른 ta-C 및 Y2O3 코팅 박막층을 구비한 하이브리드 적외선 광학렌즈는 렌즈 기재부(100)의 전면 뿐만 아니라, 렌즈 기재부(100)의 후면에도 전면 코팅부(200)와 대응되는 후면 코팅부(300)가 더 구비될 수 있다.The hybrid infrared optical lens having the ta-C and Y2O3 coating thin film layers according to the present invention can be applied not only to the front surface of the lens base portion 100 but also to the front surface coating portion 200 on the rear surface of the lens base portion 100 The back coating part 300 may further be provided.

상기 후면 코팅부(300)는 렌즈 기재부(100) 후면에 게르마늄(Ge)으로 형성되는 제1 게르마늄 박막층과, 제1 게르마늄 박막층 저면에 황화아연(ZnS)으로 형성되는 제1 황화아연 박막층과, 제1 황화아연 박막층 저면에 게르마늄으로 형성되는 제2 게르마늄 박막층과, 제2 게르마늄 박막층 저면에 황화아연으로 형성되는 제2 황화아연 박막층과, 제2 황화아연 박막층 저면에 불화이터븀으로 형성되는 불화이터븀 박막층을 포함하여 구성될 수 있다.The rear coating part 300 includes a first germanium thin film layer formed of germanium (Ge) on the rear surface of the lens substrate 100, a first zinc sulfide thin film layer formed of zinc sulfide (ZnS) on the bottom surface of the first germanium thin film layer, A second germanium thin film layer formed of germanium on the bottom surface of the first zinc sulfide thin film layer, a second zinc sulfide thin film layer formed of zinc sulfide on the bottom surface of the second germanium thin film layer and a second zinc sulfide thin film layer formed of yttrium fluoride formed on the bottom surface of the second zinc sulfide thin film layer Barium < / RTI > thin film layer.

상기 후면 코팅부(300)는 렌즈 기재부(100)를 기준으로 전면 코팅부(200)와 대칭되는 구조로 형성될 수 있다.The rear coating part 300 may be formed symmetrically with the front coating part 200 with respect to the lens base part 100.

또한, 상기 후면 코팅부(300)는 필요에 따라 불화이터븀 박막층(250) 저면에 산화이트륨으로 형성되는 산화이트륨 박막층과, 산화이트륨 박막층 저면에 형성되는 비정질탄소 박막층을 더 구비할 수 있음은 물론이다.The rear coating part 300 may further include an oxide yttrium thin film layer formed of yttrium oxide on the bottom surface of the yttrium fluoride thin film layer 250 and an amorphous carbon thin film layer formed on the bottom surface of the yttrium oxide thin film layer, to be.

이상에서 설명한 본 발명에 따른 ta-C 및 Y2O3 코팅 박막층을 구비한 하이브리드 적외선 광학렌즈는 첨부된 도면을 참조로 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호의 범위는 첨부된 청구범위의 기술적 사상에 의해서만 정해져야 할 것이다.The hybrid infrared optical lens having ta-C and Y2O3 coated thin film layers according to the present invention described above has been described with reference to the accompanying drawings, but the present invention is not limited thereto. It will be understood that various modifications and equivalent embodiments are possible. Accordingly, the true scope of protection of the present invention should be determined only by the technical idea of the appended claims.

100 : 렌즈 기재부
200 : 전면 코팅부
210 : 제1 게르마늄 박막층
220 : 제1 황화아연 박막층
230 : 제2 게르마늄 박막층
240 : 제2 황화아연 박막층
250 : 불화이터븀 박막층
260 : 산화이트륨 박막층
270 : 비정질탄소 박막층
280 : 제3 황화아연 박막층
300 : 후면 코팅부100:
200: front coating part
210: first germanium thin film layer
220: zinc sulfide thin film layer
230: second germanium thin film layer
240: zinc sulfide thin film layer
250: ytterbium fluoride layer
260: Yttrium oxide layer
270: amorphous carbon thin film layer
280: zinc sulfide thin film layer
300: back coating part

Claims (6)

렌즈 기재부와;
상기 렌즈 기재부의 전면에 형성되는 전면 코팅부;를 구비하고,
상기 전면 코팅부는
상기 렌즈 기재부 상에 형성되는 제1 게르마늄 박막층과,
상기 제1 게르마늄 박막층 상에 형성되는 제1 황화아연 박막층과,
상기 제1 황화아연 박막층 상에 형성되는 제2 게르마늄 박막층과,
상기 제2 게르마늄 박막층 상에 형성되는 제2 황화아연 박막층과,
상기 제2 황화아연 박막층 상에 형성되는 불화이터븀 박막층과,
상기 불화이터븀 박막층 상에 형성되는 산화이트륨 박막층과,
상기 산화이트륨 박막층 상에 형성되는 비정질탄소 박막층을 포함하는 것을 특징으로 하는 ta-C 및 Y2O3 코팅 박막층을 구비한 하이브리드 적외선 광학렌즈.
A lens base portion;
And a front coating part formed on a front surface of the lens base part,
The front-
A first germanium thin film layer formed on the lens base portion,
A first zinc sulfide thin film layer formed on the first germanium thin film layer,
A second germanium thin film layer formed on the first zinc sulfide thin film layer,
A second zinc sulfide thin film layer formed on the second germanium thin film layer,
A yttrium fluoride thin film layer formed on the second zinc sulfide thin film layer,
A yttrium oxide thin film layer formed on the yttrium fluoride thin film layer,
And an amorphous carbon thin film layer formed on the yttrium oxide thin film layer. The hybrid infrared optical lens according to claim 1, wherein the amorphous carbon thin film layer is formed on the yttrium oxide thin film layer.
제1항에 있어서,
상기 비정질탄소 박막층은 100nm 내지 200nm의 두께로 형성된 것을 특징으로 하는 ta-C 및 Y2O3 코팅 박막층을 구비한 하이브리드 적외선 광학렌즈.
The method according to claim 1,
Wherein the amorphous carbon thin film layer has a thickness of 100 nm to 200 nm.
제1항에 있어서,
상기 산화이트륨 박막층은 60nm 내지 70nm 두께로 형성된 것을 특징으로 하는 ta-C 및 Y2O3 코팅 박막층을 구비한 하이브리드 적외선 광학렌즈.
The method according to claim 1,
Wherein the yttrium oxide thin film layer is formed to a thickness of 60nm to 70nm. ≪ RTI ID = 0.0 > 11. < / RTI >
제1항에 있어서,
상기 불화이터븀 박막층과 상기 산화이트륨 박막층 사이에는 제3 황화아연 박막층이 개재된 것을 특징으로 하는 ta-C 및 Y2O3 코팅 박막층을 구비한 하이브리드 적외선 광학렌즈.
The method according to claim 1,
And a third zinc sulfide thin film layer interposed between the yttrium fluoride thin film layer and the yttrium oxide thin film layer, wherein the third zinc sulfide thin film layer is interposed between the yttrium fluoride thin film layer and the yttrium oxide thin film layer.
제4항에 있어서,
상기 제3 황화아연 박막층은 300nm 이상의 두께로 형성된 것을 특징으로 하는 ta-C 및 Y2O3 코팅 박막층을 구비한 하이브리드 적외선 광학렌즈.
5. The method of claim 4,
Wherein the third zinc sulfide thin film layer is formed to a thickness of 300 nm or more. ≪ RTI ID = 0.0 > 11. < / RTI >
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 렌즈 기재부의 후면에 상기 전면 코팅부와 대응되는 후면 코팅부가 더 구비된 것을 특징으로 하는 ta-C 및 Y2O3 코팅 박막층을 구비한 하이브리드 적외선 광학렌즈.
6. The method according to any one of claims 1 to 5,
And a rear coating part corresponding to the front coating part is further provided on a rear surface of the lens base part. ≪ RTI ID = 0.0 > 11. < / RTI >
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113832430A (en) * 2021-09-29 2021-12-24 太原理工大学 Preparation method of diamond-based amorphous carbon-yttrium oxide gradient composite antireflection film
KR20220055655A (en) 2020-10-27 2022-05-04 나노아이텍(주) A Coating Lens Having an Enhancing Coating Lens and a Depositing Method for the Same
KR20220082976A (en) 2020-12-10 2022-06-20 정인용 A Method for Producing a Coating Lens
KR20220091966A (en) * 2020-12-24 2022-07-01 한국광기술원 High functional infrared optical coating and method thereof
KR20220122225A (en) * 2021-02-26 2022-09-02 한국광기술원 Infrared optical lens equipped with ta-C and yttrium oxide thin film
KR20230024731A (en) 2021-08-12 2023-02-21 나노아이텍(주) A Method for Producing a Anti Fingerprinting Coating Lens

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06313802A (en) * 1993-04-28 1994-11-08 Topcon Corp Infrared area multilayer film
KR20010068217A (en) 2000-01-03 2001-07-23 윤덕용 Method of fabricating a refractive silicon microlens
JP2007298661A (en) * 2006-04-28 2007-11-15 Horiba Ltd Antireflection film for infrared light
KR20080015400A (en) 2006-01-30 2008-02-19 스미토모 덴키 고교 가부시키가이샤 Infrared lens, infrared camera and night vision
JP2013041124A (en) * 2011-08-17 2013-02-28 Mitsubishi Electric Corp Infrared optical film, scan mirror and laser beam machine
KR101494439B1 (en) 2013-09-23 2015-02-24 한국세라믹기술원 Infrared lens and method of manufacturing the same
KR101653325B1 (en) * 2015-06-15 2016-09-02 한국광기술원 ta-C coating method for protective layer of infrared ray optical lens

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06313802A (en) * 1993-04-28 1994-11-08 Topcon Corp Infrared area multilayer film
KR20010068217A (en) 2000-01-03 2001-07-23 윤덕용 Method of fabricating a refractive silicon microlens
KR20080015400A (en) 2006-01-30 2008-02-19 스미토모 덴키 고교 가부시키가이샤 Infrared lens, infrared camera and night vision
JP2007298661A (en) * 2006-04-28 2007-11-15 Horiba Ltd Antireflection film for infrared light
JP2013041124A (en) * 2011-08-17 2013-02-28 Mitsubishi Electric Corp Infrared optical film, scan mirror and laser beam machine
KR101494439B1 (en) 2013-09-23 2015-02-24 한국세라믹기술원 Infrared lens and method of manufacturing the same
KR101653325B1 (en) * 2015-06-15 2016-09-02 한국광기술원 ta-C coating method for protective layer of infrared ray optical lens

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20220055655A (en) 2020-10-27 2022-05-04 나노아이텍(주) A Coating Lens Having an Enhancing Coating Lens and a Depositing Method for the Same
KR20220082976A (en) 2020-12-10 2022-06-20 정인용 A Method for Producing a Coating Lens
KR20230023682A (en) 2020-12-10 2023-02-17 정인용 A Method for Producing a Coating Lens
KR20230163965A (en) 2020-12-10 2023-12-01 정인용 A Method for Producing a Coating Lens
KR20220091966A (en) * 2020-12-24 2022-07-01 한국광기술원 High functional infrared optical coating and method thereof
KR20220122225A (en) * 2021-02-26 2022-09-02 한국광기술원 Infrared optical lens equipped with ta-C and yttrium oxide thin film
KR20230024731A (en) 2021-08-12 2023-02-21 나노아이텍(주) A Method for Producing a Anti Fingerprinting Coating Lens
CN113832430A (en) * 2021-09-29 2021-12-24 太原理工大学 Preparation method of diamond-based amorphous carbon-yttrium oxide gradient composite antireflection film
CN113832430B (en) * 2021-09-29 2023-09-05 太原理工大学 Preparation method of diamond-based amorphous carbon-yttrium oxide gradient composite antireflection film

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