KR20190009485A - Apparatus for cleaning a magazine - Google Patents

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KR20190009485A KR1020170091264A KR20170091264A KR20190009485A KR 20190009485 A KR20190009485 A KR 20190009485A KR 1020170091264 A KR1020170091264 A KR 1020170091264A KR 20170091264 A KR20170091264 A KR 20170091264A KR 20190009485 A KR20190009485 A KR 20190009485A
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Abstract

A magazine cleaning apparatus has a fixing plate disposed to be fixed on a front side in the front and rear direction, a variable plate disposed on a rear side in the front and rear direction so as to be variable for adjustment of a width in the front and rear direction, and both lateral surface plates fixing the fixing plate and the variable plate and cleans a magazine with open upper and lower portions. The magazine cleaning apparatus can comprise: a loading portion in which the magazine is loaded, and which checks the loading direction of the magazine; a standby unit allowing the magazine transferred from the loading unit to be put on standby before cleaning; a cleaning unit cleaning an outer surface and an inner surface of the magazine transferred from the standby unit; a dry unit injecting air to the magazine which has been cleaned for drying; and an unloading unit for unloading of the magazine which has been dried.

Description

매거진 세정 장치{Apparatus for cleaning a magazine}[0001] Apparatus for cleaning a magazine [0002]

본 발명은 매거진 세정 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 인쇄회로기판과 같은 평판 형태의 대상물을 적재하는 매거진을 세정하기 위한 매거진 세정 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a magazine cleaning apparatus, and more particularly, to a magazine cleaning apparatus for cleaning a magazine for loading a flat object such as a printed circuit board.

일반적으로, 다이 본딩 공정과 같은 반도체 제조 공정에서 인쇄회로기판과 같은 대상물은 매거진에 적재된 상태에서 이송된다. 상기 매거진을 이용하여 상기 대상물을 반복적으로 이송하면, 상기 매거진의 내부 및 외부에 이물질이 부착될 수 있다. 상기 이물질은 상기 반도체 제조 공정에 의해 제조되는 반도체 소자의 불량을 초래할 수 있다. 따라서, 상기 매거진의 이물질을 제거하기 위해 상기 매거진의 세정이 필요하다. Generally, in a semiconductor manufacturing process such as a die bonding process, an object such as a printed circuit board is transferred while being loaded on a magazine. When the object is repeatedly transferred using the magazine, foreign matter may be adhered to the inside and the outside of the magazine. The foreign matter may cause defective semiconductor devices manufactured by the semiconductor manufacturing process. Therefore, it is necessary to clean the magazine in order to remove foreign substances from the magazine.

종래 기술에 따르면, 작업자가 브러시 등을 이용하여 상기 매거진을 수작업으로 세정한다. 그러므로, 상기 매거진을 세정하는데 많은 노동력과 시간이 필요하며, 작업자의 능력에 따라 상기 매거진의 세정 품질이 달라질 수 있다. According to the related art, an operator manually cleans the magazine using a brush or the like. Therefore, much labor and time are required to clean the magazine, and the cleaning quality of the magazine may vary depending on the ability of the operator.

본 발명은 매거진을 자동으로 신속하게 세정할 수 있는 매거진 세정 장치를 제공한다. The present invention provides a magazine cleaning apparatus capable of automatically and quickly cleaning a magazine.

본 발명에 따른 매거진 세정 장치는 전후 방향의 전방에 위치가 고정되도록 배치되는 고정판, 상기 전후 방향의 후방에 상기 전후 방향의 폭을 조절하기 위해 위치가 가변되도록 배치되는 가변판 및 상기 고정판과 상기 가변판을 고정하는 양측면판들을 가지며, 상하가 개방되는 매거진을 세정하되, 상기 매거진이 로딩되며, 상기 매거진의 로딩 방향을 확인하기 위한 로딩부와, 상기 로딩부로부터 이송된 매거진을 세정하기 전에 대기시키는 대기부와, 상기 대기부로부터 이송된 상기 매거진의 외측면과 내측면을 세정하기 위한 세정부와, 세정이 완료된 매거진으로 에어를 분사하여 건조시키기 위한 건조부 및 건조가 완료된 매거진을 언로딩하기 위한 언로딩부를 포함할 수 있다. The magazine cleaning apparatus according to the present invention is characterized in that the magazine cleaning apparatus includes a fixed plate disposed to be fixed in the forward and backward directions, a variable plate disposed rearward in the longitudinal direction to adjust the width in the longitudinal direction, A loading unit for cleaning the magazine having both side plates for fixing the plate and opening up and down, the magazine being loaded and for confirming the loading direction of the magazine, and a magazine transferred from the loading unit to wait before being cleaned A cleaning unit for cleaning the outer side surface and the inner side surface of the magazine transferred from the standby portion, a drying unit for spraying and drying air into the cleaned magazine, and a drying unit for unloading the dried magazine And an unloading portion.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 매거진의 상기 로딩 방향을 확인하기 위해 상기 로딩부는 상기 매거진이 안착되는 안착면으로부터 돌출되는 핀들을 이용하여 상기 매거진에서 고정판의 위치를 감지할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, in order to confirm the loading direction of the magazine, the loading unit may detect the position of the fixing plate at the magazine by using pins projecting from a seating surface on which the magazine is seated.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 세정부는, 상기 전후 방향과 수직하는 좌우 방향으로 연장하도록 구비되며, 상하 방향 및 상기 전후 방향으로 이동하면서 상기 매거진의 내측면을 세정하는 제1 브러시 및 상기 상하 방향 및 상기 좌우 방향으로 이동 가능하도록 구비되며, 상기 고정판의 외측면과 상기 가변판의 외측면으로 증기를 분사하여 세정하는 제1 세정 노즐들을 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the cleaner includes: a first brush that is provided to extend in the left-right direction perpendicular to the front-rear direction and that moves in the up-and-down direction and in the front-rear direction and cleans the inner surface of the magazine; And first cleaning nozzles provided to be movable in the up-and-down direction and the left-right direction and spraying steam to the outer surface of the fixing plate and the outer surface of the variable plate to clean them.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 매거진의 전후 방향 폭에 따라 상기 상하 방향 수직면에 대해 상기 전후 방향으로 각도가 조절되도록 상기 제1 브러시를 선회시킴으로써 상기 제1 브러시의 상기 전후 방향 이동 거리를 조절할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, by moving the first brush so that the angle is adjusted in the front-rear direction with respect to the vertical direction in accordance with the front-rear direction width of the magazine, Can be adjusted.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제1 브러시는, 모가 상기 전후 방향으로 형성되며, 상기 고정판의 내측면과 상기 가변판의 내측면을 세정하기 위한 중앙 브러시 및 모가 상기 좌우 방향으로 형성되며, 상기 양측면판들의 내측면을 세정하기 위한 양단 브러시를 포함할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the first brush is formed in the forward and backward directions, and a central brush and a forehead for cleaning the inner surface of the fixing plate and the inner surface of the variable plate are formed in the left and right directions And a both-end brush for cleaning the inner surface of the both side plates.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 세정부는, 상기 상하 방향 및 상기 좌우 방향으로 이동 가능하도록 구비되며, 상기 고정판의 내측면과 상기 가변판의 내측면으로 증기를 분사하여 세정하는 제2 세정 노즐들을 더 포함할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the cleaning section is provided so as to be movable in the up-and-down direction and the left-right direction, and is provided with a second cleaning section for cleaning the inside surface of the fixing plate and the inside surface of the variable- And may further include cleaning nozzles.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 세정부는, 상기 좌우 방향 양측에 상기 상하 방향을 따라 연장하도록 구비되며, 회전하면서 상기 매거진에서 양측면들의 외측면을 세정하는 제2 브러시들 및 상기 상측과 상기 하측에 상기 좌우 방향을 따라 연장하도록 구비되며, 상기 매거진의 상부면과 하부면을 세정하는 제3 브러시들을 더 포함할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the cleaner includes second brushes provided on both sides in the left-right direction and extending along the up-and-down direction to clean the outer surface of both side surfaces of the magazine while rotating, And third brushes provided to extend along the left and right directions on the lower side and to clean upper and lower surfaces of the magazine.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 세정부는, 상기 제1 세정 노즐들에서 분사된 증기가 상기 매거진이 투입되는 투입구와 상기 매거진이 배출되는 배출구를 통해 외부로 누출되는 것을 방지하기 위해 상기 투입구와 상기 배출구를 개폐하는 도어들을 더 포함할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the cleaning section may further include a cleaning nozzle for preventing steam, which is jetted from the first cleaning nozzles, from leaking out through an inlet through which the magazine is inserted and an outlet through which the magazine is discharged, And a door for opening and closing the discharge port.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 세정부는, 상기 세정부와 연결되며, 상기 제1 세정 노즐들에서 분사된 증기를 외부로 배기하기 위한 배기 덕트와, 상기 배기 덕트를 통해 상기 증기를 배기하기 위한 배기 펌프 및 상기 배기 펌프에 의해 배출된 상기 증기와 충돌하여 상기 증기를 응축시키기 위한 저온 부재를 더 포함할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the cleaner may further include an exhaust duct connected to the cleaner and exhausting the steam injected from the first cleaning nozzles to the outside, and an exhaust duct for exhausting the steam through the exhaust duct. And a low-temperature member for condensing the steam by colliding with the exhaust gas discharged by the exhaust pump and the exhaust pump for exhausting the exhaust gas.

본 발명에 따른 매거진 세정 장치는 제1 브러시, 제2 브러시들, 제3 브러시들 및 세정 노즐들을 이용하여 매거진을 세정할 수 있다. 따라서, 상기 매거진의 세정에 소요되는 시간과 인력을 줄일 수 있으며, 상기 매거진의 세정 품질을 균일하게 유지할 수 있다. The magazine cleaning apparatus according to the present invention can clean the magazine using the first brush, the second brushes, the third brushes, and the cleaning nozzles. Therefore, it is possible to reduce the time and manpower required for cleaning the magazine, and to maintain the cleaning quality of the magazine uniformly.

상기 매거진 세정 장치는 상기 매거진의 전후 방향 폭에 따라 제1 브러시의 상기 전후 방향 이동 거리를 조절할 수 있다. 따라서, 상기 매거진의 상기 전후 방향 폭이 가변되더라도 상기 매거진의 상기 전후 방향 폭에 대응하여 상기 제1 브러시가 상기 전후 방향으로 이동하는 폭을 조절할 수 있다. 그러므로, 상기 제1 브러시가 상기 매거진의 내측면을 안정적으로 세정할 수 있다. The magazine cleaning device can adjust the moving distance of the first brush in the forward and backward directions according to the front-back direction width of the magazine. Therefore, even if the front-rear direction width of the magazine is variable, the width of the first brush moving in the back-and-forth direction can be adjusted corresponding to the front-rear direction width of the magazine. Therefore, the first brush can stably clean the inner surface of the magazine.

상기 매거진 세정 장치는 배기 덕트, 배기 펌프 및 저온 부재를 이용하여 세정부 내부의 증기를 응축하여 액체인 물로 배출한다. 따라서, 배기 덕트를 통해 배출된 증기로 인해 상기 세정부의 외부에 구비된 장치들이 손상되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 상기 세정부의 증기가 배출되므로, 상기 매거진의 배출을 위해 도어를 개방하더라도 상기 배출구를 통해 상기 증기가 외부로 배출되는 것을 방지할 수 있다.The magazine cleaning apparatus condenses the vapor inside the cleaning section by using an exhaust duct, an exhaust pump, and a low-temperature member, and discharges the purified water as liquid water. Accordingly, it is possible to prevent damage to devices provided outside the cleaning unit due to the steam exhausted through the exhaust duct. In addition, since the steam of the cleaner is discharged, even if the door is opened to discharge the magazine, the steam can be prevented from being discharged to the outside through the discharge port.

상기 매거진 세정 장치는 핀을 이용하여 상기 매거진에서 고정판의 위치를 감지하여 상기 매거진의 로딩 방향을 확인할 수 있다. 따라서, 상기 매거진이 정방향으로 배치된 상태로 세정이 이루어질 수 있다. The magazine cleaning device can detect the loading direction of the magazine by sensing the position of the fixing plate at the magazine using a pin. Therefore, the cleaning can be performed with the magazines arranged in the normal direction.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 매거진 세정 장치를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 매거진을 설명하기 위한 평면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 세정부를 설명하기 위한 정면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 제1 브러시의 동작을 설명하기 위한 측면도이다.
도 5는 도 4에 도시된 제1 브러시를 설명하기 위한 정면도이다.
1 is a schematic side view for explaining a magazine cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a plan view for explaining the magazine shown in Fig. 1. Fig.
Fig. 3 is a front view for explaining the cleaning section shown in Fig. 1. Fig.
4 is a side view for explaining the operation of the first brush shown in FIG.
5 is a front view for explaining the first brush shown in Fig.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 매거진 세정 장치에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. Hereinafter, a magazine cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The present invention is capable of various modifications and various forms, and specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the text. It should be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular forms disclosed, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. Like reference numerals are used for like elements in describing each drawing. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures are enlarged to illustrate the present invention in order to clarify the present invention.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. The terms first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as a second component, and similarly, the second component may also be referred to as a first component.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used in this application is used only to describe a specific embodiment and is not intended to limit the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In this application, the terms "comprises", "having", and the like are used to specify that a feature, a number, a step, an operation, an element, a part or a combination thereof is described in the specification, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다. Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries are to be interpreted as having a meaning consistent with the contextual meaning of the related art and are to be interpreted as either ideal or overly formal in the sense of the present application Do not.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 매거진 세정 장치를 설명하기 위한 개략적인 측면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 매거진을 설명하기 위한 평면도이며, 도 3은 도 1에 도시된 세정부를 설명하기 위한 정면도이며, 도 4는 도 1에 도시된 제1 브러시의 동작을 설명하기 위한 측면도이며, 도 5는 도 4에 도시된 제1 브러시를 설명하기 위한 정면도이다.FIG. 1 is a schematic side view for explaining a magazine cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a plan view for explaining a magazine shown in FIG. 1, and FIG. 3 is a cross- FIG. 4 is a side view for explaining the operation of the first brush shown in FIG. 1, and FIG. 5 is a front view for explaining the first brush shown in FIG.

도 1 내지 도 5를 참조하면, 매거진 세정 장치(100)는 매거진(10)을 세정하기 위한 것으로, 로딩부(110), 대기부(120), 세정부(130), 건조부(140) 및 언로딩부(150)를 포함한다. 1 to 5, the magazine cleaning apparatus 100 is for cleaning the magazine 10 and includes a loading unit 110, a standby unit 120, a cleaning unit 130, a drying unit 140, And an unloading unit 150.

매거진(10)은 인쇄회로기판과 같은 평판 형태의 대상물을 적재하기 위한 것으로, 고정판(11), 가변판(12), 양측면판(13) 및 프레임(14)을 포함한다. The magazine 10 is for loading a plate-shaped object such as a printed circuit board and includes a fixing plate 11, a variable plate 12, both side plates 13 and a frame 14.

고정판(11)은 전후 방향의 전방에 상하 방향으로 세워지도록 배치되며, 위치가 고정된다. 가변판(12)은 상기 전후 방향의 후방에 상하 방향으로 세워지도록 배치되며, 위치가 가변될 수 있다. 고정판(11)과 가변판(12)은 서로 마주보면 면에 각각 다수의 슬롯들이 형성되며, 상기 대상물은 상기 슬롯들에 삽입될 수 있다. The fixing plate 11 is arranged so as to stand in the vertical direction in front of the front-rear direction, and its position is fixed. The variable plate 12 is disposed in the vertical direction behind the front and rear direction, and the position thereof can be varied. The fixed plate 11 and the variable plate 12 face each other and have a plurality of slots formed on their respective surfaces, and the object may be inserted into the slots.

상기 대상물의 폭이 달라지는 경우, 가변판(12)의 위치를 조절함으로써 고정판(11)과 가변판(12) 사이의 전후 방향 폭을 조절할 수 있다. 따라서, 매거진(10)은 다양한 폭의 대상물을 적재할 수 있다. In the case where the width of the object is changed, the front-rear direction width between the fixed plate 11 and the variable plate 12 can be adjusted by adjusting the position of the variable plate 12. Thus, the magazine 10 can load objects of various widths.

양측면판(13)은 상기 전후 방향과 수직하는 좌우 방향 양측에 상하 방향으로 세워지도록 각각 배치되며, 고정판(11)과 가변판(12)을 고정한다. The both side plates 13 are arranged on both sides in the left and right direction perpendicular to the front and rear direction so as to be vertically arranged, and fix the fixing plate 11 and the variable plate 12.

프레임(14)은 양단이 양측면판(13)과 각각 고정되며, 매거진(10)을 구조적으로 안정화한다. Both ends of the frame 14 are fixed to the both side plates 13, thereby structurally stabilizing the magazine 10.

매거진(10)은 상판과 하판이 없으므로, 상하가 개방되는 구조를 갖는다. Since the magazine 10 has no upper and lower plates, it has a structure in which the upper and lower openings are opened.

매거진(10)은 컨베이어, 이송 레일 등의 이송 수단(미도시)에 의해 로딩부(110)에서부터 언로딩부(150)로 이송될 수 있다. The magazine 10 can be conveyed from the loading section 110 to the unloading section 150 by a conveying means (not shown) such as a conveyor or a conveying rail.

로딩부(110), 대기부(120), 세정부(130), 건조부(140) 및 언로딩부(150)는 순차적으로 배치될 수 있다. 예를 들면, 로딩부(110), 대기부(120), 세정부(130), 건조부(140) 및 언로딩부(150)는 일렬로 배열될 수 있다. The loading unit 110, the waiting unit 120, the cleaning unit 130, the drying unit 140, and the unloading unit 150 may be sequentially arranged. For example, the loading unit 110, the waiting unit 120, the cleaning unit 130, the drying unit 140, and the unloading unit 150 may be arranged in a line.

로딩부(110)는 매거진(10)이 로딩되며, 매거진(10)의 로딩 방향을 확인한다. 매거진(10)은 별도의 이송수단이나 작업자에 의해 로딩부(110)에 로딩될 수 있다. The loading unit 110 loads the magazine 10 and confirms the loading direction of the magazine 10. The magazine 10 may be loaded into the loading section 110 by a separate transporting means or an operator.

구체적으로, 로딩부(110)는 핀(112)을 갖는다. 핀(112)은 매거진(10)이 안착되는 안착면으로부터 돌출 가능하도록 구비된다. Specifically, the loading portion 110 has a pin 112. The pin 112 is provided so as to protrude from the seating surface on which the magazine 10 is seated.

일 예로, 매거진(10)의 고정판(11)이 상기 전후 방향의 전방에 위치하는 경우 상기 안착면으로부터 돌출된 핀(112)이 고정판(11)에 걸리지 않고, 매거진(10)의 고정판(11)이 상기 전후 방향의 후에 위치하는 경우 상기 안착면으로부터 돌출된 핀(112)이 고정판(11)에 걸리며, 핀(112)이 매거진(10)을 밀어올릴 수 있다. For example, when the fixing plate 11 of the magazine 10 is positioned in the front-rear direction, the pin 112 protruding from the seating surface is not caught by the fixing plate 11, and the fixing plate 11 of the magazine 10, The pin 112 protruding from the seating surface is caught by the fixing plate 11 and the pin 112 can push up the magazine 10. [

핀(112)이 매거진(10)을 밀어올리는 경우, 매거진(10)의 고정판(11)이 상기 전후 방향의 전방에 위치하도록 매거진(10)의 로딩 방향을 변경할 수 있다. When the pin 112 pushes up the magazine 10, the loading direction of the magazine 10 can be changed so that the fixing plate 11 of the magazine 10 is positioned forward in the front-rear direction.

따라서, 로딩부(110)는 핀(112)을 이용하여 매거진(10)에서 고정판(11)의 위치를 감지하여 매거진(10)의 로딩 방향을 확인할 수 있다. Therefore, the loading unit 110 can detect the loading direction of the magazine 10 by detecting the position of the fixing plate 11 in the magazine 10 using the pin 112. [

한편, 로딩부(110)는 매거진(10)의 로딩 방향이 잘못된 경우, 알람이나 경고음을 발생할 수도 있다. On the other hand, when the loading direction of the magazine 10 is wrong, the loading unit 110 may generate an alarm or a warning sound.

대기부(120)는 로딩부(110)로부터 이송된 매거진(10)을 세정하기 전에 대기시킨다. The waiting section 120 waits before cleaning the magazine 10 transferred from the loading section 110. [

세정부(130)는 대기부(120)로부터 이송되는 매거진(10)의 외측면과 내측면을 세정한다. The cleaning section 130 cleans the outer surface and the inner surface of the magazine 10 conveyed from the standby section 120.

세정부(130)는 외부와 격리되는 챔버 형태를 갖는다. 따라서, 후술하는 제1 세정 노즐(133) 및 제2 세정 노즐(134)에서 분사된 증기가 외부로 누출되는 것을 방지할 수 있다. The cleaning section 130 has a chamber shape that is isolated from the outside. Therefore, it is possible to prevent the vapor sprayed from the first cleaning nozzle 133 and the second cleaning nozzle 134, which will be described later, from leaking to the outside.

세정부(130)는 매거진(10)의 투입과 배출을 위해 세정부(130)를 개폐하는 도어(131)들을 갖는다. The cleaning section 130 has doors 131 for opening and closing the cleaning section 130 for inputting and discharging the magazine 10.

도어(131)들은 세정부(130)에서 상기 전후 방향에 각각 구비되며, 매거진(10)이 투입되는 투입구 및 매거진(10)이 배출되는 배출구를 각각 개폐한다. 도어(131)들은 대기부(120)의 매거진(10)이 세정부(130)로 투입되거나 세정부(130)의 매거진(10)이 건조부(140)로 배출될 때 선택적으로 개방될 수 있다. The doors 131 are respectively provided in the front and rear direction in the cleaning section 130 and open and close the inlet for charging the magazine 10 and the outlet for discharging the magazine 10, respectively. The doors 131 may be selectively opened when the magazine 10 of the standby portion 120 is inserted into the cleaning portion 130 or the magazine 10 of the cleaning portion 130 is discharged to the drying portion 140 .

또한, 제1 세정 노즐(133) 및 제2 세정 노즐(134)에서 증기가 분사될 때, 도어(131)들은 차단된 상태를 유지하므로, 도어(131)들을 통해 상기 증기가 세정부(130)의 외부로 배출되는 것을 방지할 수 있다. When the steam is sprayed from the first cleaning nozzle 133 and the second cleaning nozzle 134, the doors 131 are kept shut off, Can be prevented from being discharged outside.

세정부(130)는 제1 브러시(132)를 포함할 수 있다. The cleaning section 130 may include a first brush 132.

제1 브러시(132)는 상기 좌우 방향으로 연장하도록 구비된다. 제1 브러시(132)의 길이는 고정판(11)의 길이, 즉 양측면판(13) 사이의 거리와 실질적으로 동일하다. The first brush 132 is provided to extend in the left-right direction. The length of the first brush 132 is substantially equal to the length of the fixing plate 11, that is, the distance between the both side plates 13.

제1 브러시(132)는 상기 상하 방향 및 상기 전후 방향으로 이동 가능하도록 구비된다. The first brush 132 is provided so as to be movable in the up-and-down direction and the back-and-forth direction.

예를 들면, 제1 브러시(132)는 제1 구동부(미도시)에 의해 상기 상하 방향으로 이동하고, 제2 구동부(미도시)에 의해 상기 상하 방향 수직면에 대해 상기 전후 방향으로 각도가 조절되도록 선회함으로써 상기 전후 방향으로 이동할 수 있다. For example, the first brush 132 is moved in the up-and-down direction by a first driving unit (not shown) so that the angle is adjusted in the front-rear direction with respect to the vertical direction by the second driving unit It is possible to move in the front-rear direction by turning.

다른 예로, 제1 브러시(132)는 제1 구동부(미도시)에 의해 상기 상하 방향으로 이동하고, 제2 구동부(미도시)에 의해 상기 전후 방향으로 이동할 수 있다. As another example, the first brush 132 may move in the vertical direction by a first driving unit (not shown), and may move in the forward and backward directions by a second driving unit (not shown).

제1 브러시(132)가 상기 상하 방향 및 상기 전후 방향으로 이동할 수 있으므로, 제1 브러시(132)를 이용하여 매거진(10)의 내측면을 용이하게 세정할 수 있다. The inner surface of the magazine 10 can be easily cleaned by using the first brush 132 since the first brush 132 can move in the vertical direction and the back and forth direction.

특히, 매거진(10)의 전후 방향 폭에 따라 제1 브러시(132)의 상기 전후 방향 이동 거리를 조절할 수 있다. 매거진(10)에서 고정판(11)과 가변판(12) 사이의 전후 방향 폭이 가변되더라도 매거진(10)의 상기 전후 방향 폭에 대응하여 제1 브러시(132)가 상기 전후 방향으로 이동하는 폭을 조절할 수 있다. 그러므로, 제1 브러시(132)가 매거진(10)의 내측면을 안정적으로 세정할 수 있다. In particular, the forward and backward movement distance of the first brush 132 can be adjusted according to the front-rear direction width of the magazine 10. Even if the front and rear direction widths between the fixed plate 11 and the variable plate 12 are varied in the magazine 10, the width of the first brush 132 moving in the forward and backward directions corresponding to the front- Can be adjusted. Therefore, the first brush 132 can stably clean the inner surface of the magazine 10.

한편, 제1 브러시(132)는 중앙 브러시(132a)와 양단 브러시(132b)로 이루어질 수 있다. Meanwhile, the first brush 132 may be composed of a center brush 132a and a both-end brush 132b.

중앙 브러시(132a)의 모는 상기 전후 방향으로 형성된다. 따라서, 중앙 브러시(132a)가 고정판(11)과 가변판(12)의 슬롯들에 삽입될 수 있다. 그러므로, 중앙 브러시(132a)를 이용하여 고정판(11)과 가변판(12)의 내측면과 상기 슬롯들에 잔류하는 이물질을 용이하게 제거할 수 있다. The wicks of the central brush 132a are formed in the forward and backward directions. Therefore, the center brush 132a can be inserted into the slots of the fixing plate 11 and the variable plate 12. [ Therefore, it is possible to easily remove the inner surface of the fixing plate 11 and the variable plate 12 and the foreign substances remaining in the slots by using the center brush 132a.

양단 브러시(132b)의 모는 상기 좌우 방향으로 형성된다. 따라서, 양단 브러시(132b)는 양측면판(13)의 내측면과 충분히 접촉할 수 있다. 그러므로, 양단 브러시(132b)를 이용하여 양측면판(113)의 내측면에 잔류하는 이물질을 용이하게 제거할 수 있다. The brushes of the brushes at both ends 132b are formed in the left-right direction. Accordingly, the both-end brushes 132b can sufficiently contact the inner surface of the both side plates 13. [ Therefore, foreign matter remaining on the inner surface of the both side plates 113 can be easily removed by using the both-end brushes 132b.

세정부(130)는 제1 세정 노즐(133)들을 포함한다. Cleaning section 130 includes first cleaning nozzles 133.

제1 세정 노즐(133)들은 상기 상하 방향 및 상기 좌우 방향으로 이동 가능하도록 구비된다. 제1 세정 노즐(133)들은 고정판(11)의 전방 및 가변판(12)의 후방에 각각 배치되며, 고정판(11)의 외측면과 가변판(12)의 외측면으로 세정액을 증기 상태로 분사하여 세정한다. 상기 세정액은 탈이온수이거나, 별도의 첨가제가 첨가된 상기 탈이온수일 수 있다. The first cleaning nozzles 133 are provided so as to be movable in the up-down direction and the left-right direction. The first cleaning nozzles 133 are disposed at the front of the fixing plate 11 and at the rear of the variable plate 12 so that the cleaning liquid is sprayed to the outer surface of the fixing plate 11 and the outer surface of the variable plate 12 in a vapor state . The cleaning liquid may be deionized water or the deionized water to which a separate additive is added.

고정판(11)의 외측면과 가변판(12)의 외측면은 구조가 복잡하거나, 프레임(14)의 간섭으로 인해 브러시로 세정하기가 어렵다. 따라서, 제1 세정 노즐(133)을 이용하여 고정판(11)의 외측면과 가변판(12)의 외측면을 세정한다. The outer surface of the fixing plate 11 and the outer surface of the variable plate 12 are complicated in structure or difficult to be cleaned by the brush due to the interference of the frame 14. [ Therefore, the outer surface of the fixing plate 11 and the outer surface of the variable plate 12 are cleaned by using the first cleaning nozzle 133. [

제1 세정 노즐(133)들은 고정판(11)의 외측면 및 가변판(12)의 외측면에 대해 상기 좌우 방향으로 왕복이동하면서 점차적으로 상방에서 하방으로 수직 이동할 수 있다. 따라서, 고정판(11)의 외측면 및 가변판(12)의 외측면으로부터 분리된 상기 이물질이 하방으로 이동하면서 제거된다. 그러므로, 고정판(11)의 외측면 및 가변판(12)의 외측면으로부터 분리된 상기 이물질이 다시 고정판(11)의 외측면 및 가변판(12)의 외측면에 부착되는 것을 방지할 수 있다. The first cleaning nozzles 133 can be vertically moved downward from the upper side of the fixing plate 11 and gradually from the upper side to the outer side of the variable plate 12 while reciprocating in the left-right direction. Therefore, the foreign matter separated from the outer surface of the fixing plate 11 and the outer surface of the variable plate 12 is removed while moving downward. Therefore, the foreign matter separated from the outer surface of the fixing plate 11 and the outer surface of the variable plate 12 can be prevented from being attached to the outer surface of the fixing plate 11 and the outer surface of the variable plate 12.

세정부(130)는 제2 세정 노즐(134)들을 더 포함할 수 있다.Cleaning section 130 may further include second cleaning nozzles 134.

제2 세정 노즐(134)들은 상기 상하 방향 및 상기 좌우 방향으로 이동 가능하도록 구비된다. 제2 세정 노즐(134)들은 고정판(11)과 가변판(12) 사이에 배치되며, 고정판(11)의 내측면과 가변판(12)의 내측면으로 상기 세정액을 증기 상태로 분사하여 세정한다. The second cleaning nozzles 134 are provided so as to be movable in the up-down direction and the left-right direction. The second cleaning nozzles 134 are arranged between the fixing plate 11 and the variable plate 12 and are cleaned by spraying the cleaning liquid in the vapor state to the inner surface of the fixing plate 11 and the inner surface of the variable plate 12 .

제2 세정 노즐(134)들은 고정판(11)의 내측면 및 가변판(12)의 내측면에 대해 상기 좌우 방향으로 왕복이동하면서 점차적으로 상방에서 하방으로 수직 이동할 수 있다. The second cleaning nozzles 134 can reciprocate in the left and right direction with respect to the inner surface of the fixing plate 11 and the inner surface of the variable plate 12 and gradually move vertically downward from the upper surface.

제2 세정 노즐(134)은 제1 브러시(132)에 의해 세정된 고정판(11)의 내측면 및 가변판(12)의 내측면을 추가로 세정할 수 있다. 그러므로, 고정판(11)의 내측면 및 가변판(12)의 내측면에 잔류하는 이물질을 보다 확실하게 제거할 수 있다. The second cleaning nozzle 134 can further clean the inner surface of the fixed plate 11 and the inner surface of the variable plate 12 cleaned by the first brush 132. [ Therefore, foreign matter remaining on the inner surface of the fixing plate 11 and the inner surface of the variable plate 12 can be more reliably removed.

세정부(130)는 제2 브러시(135)들 및 제3 브러시(136)들을 더 포함할 수 있다. The cleaning section 130 may further include second brushes 135 and third brushes 136. [

제2 브러시(135)들은 세정부(130)에서 상기 좌우 방향 양측에 상기 상하 방향을 따라 연장하도록 구비될 수 있다. 이때, 제2 브러시(135)들은 세정부(130)의 상기 투입구에 인접하게 배치될 수 있다.The second brushes 135 may be provided on both sides of the cleaning part 130 in the left and right direction so as to extend along the vertical direction. At this time, the second brushes 135 may be disposed adjacent to the inlet of the cleaner 130.

제2 브러시(135)들은 회전하면서 매거진(10)에서 양측면(13)들의 외측면을 세정한다. The second brushes 135 rotate to clean the outer surfaces of the opposite side surfaces 13 in the magazine 10.

제2 브러시(135)들이 세정부(130)의 상기 투입구에 인접하게 배치되므로, 매거진(10)이 상기 투입구를 통해 세정부(130)로 투입되는 동안 제2 브러시(135)들이 매거진(10)에서 양측면(13)들의 외측면 전체를 충분히 세정할 수 있다. Since the second brushes 135 are disposed adjacent to the charging port of the cleaning section 130 so that the second brushes 135 are inserted into the magazine 10 while the magazine 10 is being supplied to the cleaning section 130 through the charging port, The entire outer surface of both side surfaces 13 can be sufficiently cleaned.

한편, 매거진(10)을 대기부(120)와 세정부(130) 사이를 왕복 이동하면서 제2 브러시(135)들로 매거진(10)에서 양측면(13)들의 외측면을 세정할 수 있다. 이 경우, 매거진(10)에서 양측면(13)들의 외측면을 보다 확실하게 세정할 수 있다. The magazine 10 can be cleaned from the magazine 10 with the outer surfaces of the side surfaces 13 by the second brushes 135 while reciprocating between the standby portion 120 and the cleaning portion 130. In this case, it is possible to more reliably clean the outer surfaces of the both side surfaces 13 in the magazine 10.

제3 브러시(136)들은 세정부(130)에서 상측과 하측에 상기 좌우 방향을 따라 연장하도록 구비될 수 있다. 이때, 제3 브러시(136)들은 세정부(130)의 상기 투입구에 인접하게 배치될 수 있다. 즉, 제3 브러시(136)들은 상기 투입구의 상측 및 하측에 각각 배치될 수 있다. The third brushes 136 may extend upward and downward from the cleaning part 130 along the left and right direction. At this time, the third brushes 136 may be disposed adjacent to the inlet of the cleaner 130. That is, the third brushes 136 may be disposed on the upper side and the lower side of the loading port, respectively.

제3 브러시(136)들은 상기 투입구를 통해 투입되는 매거진(10)의 상부면과 하부면을 세정한다. The third brushes 136 clean the upper surface and the lower surface of the magazine 10 inserted through the charging port.

제3 브러시(136)들이 세정부(130)의 상기 투입구에 인접하게 배치되므로, 매거진(10)이 상기 투입구를 통해 세정부(130)로 투입되는 동안 제3 브러시(136)들이 매거진(10)의 상부면과 하부면 전체를 충분히 세정할 수 있다. The third brushes 136 are disposed adjacent to the charging port of the cleaning section 130 so that the third brushes 136 are moved to the magazine 10 while the magazine 10 is being supplied to the cleaning section 130 through the charging port. It is possible to sufficiently clean the entire upper surface and the lower surface.

한편, 매거진(10)을 대기부(120)와 세정부(130) 사이를 왕복 이동하면서 제3 브러시(136)들로 매거진(10)의 상부면과 하부면을 세정할 수 있다. 이 경우, 매거진(10)의 상부면과 하부면을 보다 확실하게 세정할 수 있다. Meanwhile, the magazine 10 may be reciprocated between the standby portion 120 and the cleaning portion 130 to clean the upper surface and the lower surface of the magazine 10 with the third brushes 136. In this case, the upper surface and the lower surface of the magazine 10 can be cleaned more reliably.

세정부(130)는 배기 덕트(137), 배기 펌프(138) 및 저온 부재(139)를 더 포함할 수 있다. The cleaning section 130 may further include an exhaust duct 137, an exhaust pump 138, and a low temperature member 139.

배기 덕트(137)는 세정부(130)와 연결되며, 제1 세정 노즐(133)들 및 제2 세정 노즐(134)들에서 분사된 증기를 외부로 배출하기 위한 통로이다. The exhaust duct 137 is connected to the cleaning section 130 and is a passage for discharging the vapor sprayed from the first cleaning nozzles 133 and the second cleaning nozzles 134 to the outside.

배기 펌프(138)는 세정부(130)의 내부 또는 배기 덕트(137)의 입구 또는 출구에 구비되며, 상기 증기를 배기 덕트(137)를 통해 배기한다. The exhaust pump 138 is provided inside the cleaner 130 or at the inlet or outlet of the exhaust duct 137 and exhausts the steam through the exhaust duct 137.

저온 부재(139)는 대기 덕트(137)의 출구와 인접하게 구비되며, 상대적으로 낮은 온도를 갖는다. 예를 들면, 저온 부재(139)의 내부에는 냉각 라인(미도시)이 구비될 수 있다. The low temperature member 139 is provided adjacent to the outlet of the atmospheric duct 137 and has a relatively low temperature. For example, a cooling line (not shown) may be provided inside the low temperature member 139.

저온 부재(139)는 배기 펌프(138)에 의해 배출된 상기 증기와 충돌하여 상기 증기를 응축시킨다. 상기 증기가 상대적으로 온도가 낮은 저온 부재(139)와 충돌하므로, 상기 증기가 보다 효과적으로 응축될 수 있다. The low temperature member 139 collides with the vapor discharged by the exhaust pump 138 to condense the vapor. Since the steam collides with the low temperature member 139 having a relatively low temperature, the steam can be condensed more effectively.

배기 덕트(137)를 통해 배기된 증기가 응축되어 액체인 물로 배출되므로, 상기 증기로 인해 세정부(130)의 외부에 구비된 장치들이 손상되는 것을 방지할 수 있다. The steam exhausted through the exhaust duct 137 is condensed and discharged into the liquid water so that the devices provided outside the cleaner 130 can be prevented from being damaged due to the steam.

또한, 세정부(130)는 배기 덕트(137), 배기 펌프(138) 및 저온 부재(139)를 이용하여 내부의 증기를 배출하므로, 매거진(10)의 배출을 위해 도어(131)를 개방하더라도 상기 배출구를 통해 상기 증기가 외부로 배출되는 것을 방지할 수 있다. Since the cleaning section 130 discharges the internal steam by using the exhaust duct 137, the exhaust pump 138 and the low temperature member 139, even if the door 131 is opened for discharging the magazine 10 And the steam can be prevented from being discharged to the outside through the outlet.

건조부(140)는 세정이 완료된 매거진(10)으로 에어를 분사하여 건조시킨다. The drying unit 140 blows air to the magazine 10 that has been cleaned and dries it.

구체적으로, 건조부(140)는 건조 노즐(142)을 포함한다.Specifically, the drying section 140 includes a drying nozzle 142. [

건조 노즐(142)은 상기 상하 방향 및 상기 좌우 방향으로 이동 가능하도록 구비된다. 건조 노즐(142)은 매거진(10)을 향해 압축 공기를 분사한다. 따라서, 건조 노즐(142)은 매거진(10)에 잔류하는 세정액을 제거하여 매거진(10)을 건조시킬 수 있다. The drying nozzle 142 is provided so as to be movable in the up-down direction and the left-right direction. The drying nozzle 142 ejects the compressed air toward the magazine 10. Therefore, the drying nozzle 142 can dry the magazine 10 by removing the cleaning liquid remaining in the magazine 10.

건조 노즐(142)은 매거진(10)에 대해 상기 좌우 방향으로 왕복이동하면서 점차적으로 상방에서 하방으로 수직 이동할 수 있다. 따라서, 매거진(10)으로부터 제거된 세정액이 하방으로 이동하면서 제거된다. 그러므로, 매거진(10)으로부터 제거된 세정액이 다시 매거진(10)에 부착되는 것을 방지할 수 있다. The drying nozzle 142 can reciprocate in the left-right direction with respect to the magazine 10 and gradually move vertically downward from the upper side. Therefore, the cleaning liquid removed from the magazine 10 is removed while moving downward. Therefore, the cleaning liquid removed from the magazine 10 can be prevented from being adhered to the magazine 10 again.

일 예로, 제1 세정 노즐(133)들만 구비된 경우, 건조 노즐(142)은 고정판(11)의 전방 및 가변판(12)의 후방에 각각 구비될 수 있다. 건조 노즐(142)을 이용하여 고정판(11)의 외측면과 가변판(12)의 외측면을 동시에 건조할 수 있다. For example, when only the first cleaning nozzles 133 are provided, the drying nozzles 142 may be provided in front of the fixing plate 11 and behind the variable plate 12, respectively. The outer surface of the fixing plate 11 and the outer surface of the variable plate 12 can be dried at the same time by using the drying nozzle 142. [

다른 예로, 제1 세정 노즐(133)들 및 제2 세정 노즐(134)들이 모두 구비된 경우, 건조 노즐(142)은 고정판(11)의 전방, 가변판(12)의 후방, 고정판(11)과 가변판(12) 사이에 각각 구비될 수 있다. 건조 노즐(142)을 이용하여 고정판(11)의 외측면과 내측면, 가변판(12)의 외측면과 내측면을 동시에 건조할 수 있다. The drying nozzle 142 may be disposed in front of the fixing plate 11, behind the variable plate 12, on the fixing plate 11, And the variable plate 12, respectively. The outer side surface and the inner side surface of the fixed plate 11 and the outer side surface and the inner side surface of the variable plate 12 can be simultaneously dried by using the drying nozzle 142. [

따라서, 매거진(10)의 건조 시간을 단축할 수 있다. Therefore, the drying time of the magazine 10 can be shortened.

상기에서는 세정부(130)와 건조부(140)가 별도로 구비되는 것으로 설명되었지만, 세정부(130)와 건조부(140)가 일체로 구비될 수도 있다. Although the cleaning part 130 and the drying part 140 are separately provided in the above description, the cleaning part 130 and the drying part 140 may be integrally formed.

이때, 제1 세정 노즐(133)들 및 제2 세정 노즐(134)들에 건조 노즐(142)이 추가로 장착될 수 있다. 제1 세정 노즐(133)들 및 제2 세정 노즐(134)들에 의해 매거진(10)의 세정이 완료되면, 건조 노즐(142)에 의해 매거진(10)을 건조한다. At this time, the drying nozzles 142 may be further mounted on the first cleaning nozzles 133 and the second cleaning nozzles 134. When the cleaning of the magazine 10 is completed by the first cleaning nozzles 133 and the second cleaning nozzles 134, the magazine 10 is dried by the drying nozzle 142.

언로딩부(150)는 건조가 완료된 매거진(10)이 이송되며, 매거진(10)을 언로딩한다. 매거진(10)의 언로딩은 별도의 이송 수단이나 작업자에 의해 이루어질 수 있다. The unloading unit 150 transfers the dried magazine 10 and unloads the magazine 10. Unloading of the magazine 10 may be performed by a separate conveying means or an operator.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 매거진 세정 장치는 브러시와 세정 노즐들을 이용하여 매거진의 내부와 외부를 세정할 수 있다. 따라서, 상기 매거진의 세정에 소요되는 시간과 인력을 줄일 수 있으며, 상기 매거진의 세정 품질을 균일하게 유지할 수 있다. As described above, the magazine cleaning apparatus according to the present invention can clean the inside and the outside of the magazine by using the brush and the cleaning nozzles. Therefore, it is possible to reduce the time and manpower required for cleaning the magazine, and to maintain the cleaning quality of the magazine uniformly.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the present invention as defined by the following claims. It can be understood that it is possible.

100 : 매거진 세정 장치 110 : 로딩부
112 : 핀 120 : 대기부
130 : 세정부 131 : 도어
132 : 제1 브러시 133 : 제1 세정 노즐
134 : 제2 세정 노즐 135 : 제2 브러시
136 : 제3 브러시 137 : 배기 덕트
138 : 배기 펌프 139 : 저온 부재
140 : 건조부 142 : 건조 노즐
150 : 언로딩부 10 : 매거진
100: magazine cleaning device 110: loading part
112: pin 120:
130: Taxi 131: Door
132: first brush 133: first cleaning nozzle
134: second cleaning nozzle 135: second brush
136: third brush 137: exhaust duct
138: Exhaust pump 139: Low temperature member
140: drying section 142: drying nozzle
150: Unloading section 10: Magazine

Claims (9)

전후 방향의 전방에 위치가 고정되도록 배치되는 고정판, 상기 전후 방향의 후방에 상기 전후 방향의 폭을 조절하기 위해 위치가 가변되도록 배치되는 가변판 및 상기 고정판과 상기 가변판을 고정하는 양측면판들을 가지며, 상하가 개방되는 매거진을 세정하는 매거진 세정 장치에 있어서,
상기 매거진이 로딩되며, 상기 매거진의 로딩 방향을 확인하기 위한 로딩부;
상기 로딩부로부터 이송된 매거진을 세정하기 전에 대기시키는 대기부;
상기 대기부로부터 이송된 상기 매거진의 외측면과 내측면을 세정하기 위한 세정부;
세정이 완료된 매거진으로 에어를 분사하여 건조시키기 위한 건조부; 및
건조가 완료된 매거진을 언로딩하기 위한 언로딩부를 포함하는 것을 특징으로 하는 매거진 세정 장치.
A fixed plate disposed so as to be fixed in front of the front and rear direction, a variable plate disposed rearward in the front-rear direction so as to be variable in position to adjust the width in the longitudinal direction, and both side plates for fixing the fixed plate and the variable plate And a magazine cleaning device for cleaning upper and lower magazines,
A loading unit for loading the magazine and confirming a loading direction of the magazine;
A standby portion for waiting the magazine transferred from the loading portion before cleaning;
A cleaning unit for cleaning outer and inner surfaces of the magazine transferred from the standby portion;
A drying unit for spraying and drying air to the magazine having been cleaned; And
And an unloading unit for unloading the dried magazine.
제1항에 있어서, 상기 매거진의 상기 로딩 방향을 확인하기 위해 상기 로딩부는 상기 매거진이 안착되는 안착면으로부터 돌출되는 핀들을 이용하여 상기 매거진에서 고정판의 위치를 감지하는 것을 특징으로 하는 매거진 세정 장치. 2. The magazine cleaning apparatus according to claim 1, wherein the loading unit detects the position of the fixing plate at the magazine by using pins protruding from the seating surface on which the magazine is seated to confirm the loading direction of the magazine. 제1항에 있어서, 상기 세정부는,
상기 전후 방향과 수직하는 좌우 방향으로 연장하도록 구비되며, 상하 방향 및 상기 전후 방향으로 이동하면서 상기 매거진의 내측면을 세정하는 제1 브러시; 및
상기 상하 방향 및 상기 좌우 방향으로 이동 가능하도록 구비되며, 상기 고정판의 외측면과 상기 가변판의 외측면으로 증기를 분사하여 세정하는 제1 세정 노즐들을 포함하는 것을 특징으로 하는 매거진 세정 장치.
2. The apparatus according to claim 1,
A first brush provided to extend in a left-right direction perpendicular to the front-rear direction and to clean an inner surface of the magazine while moving in a vertical direction and a back-and-forth direction; And
And first cleaning nozzles provided to be movable in the up-down direction and the left-right direction and spraying steam to the outer surface of the fixing plate and the outer surface of the variable plate to clean the magenta cleaning nozzle.
제3항에 있어서, 상기 매거진의 전후 방향 폭에 따라 상기 상하 방향 수직면에 대해 상기 전후 방향으로 각도가 조절되도록 상기 제1 브러시를 선회시킴으로써 상기 제1 브러시의 상기 전후 방향 이동 거리를 조절하는 것을 특징으로 하는 매거진 세정 장치. The apparatus according to claim 3, wherein the first brush is rotated so that the angle of the magazine in the front-rear direction is adjusted with respect to the vertical direction in accordance with the front-rear width of the magazine, . 제3항에 있어서, 상기 제1 브러시는,
모가 상기 전후 방향으로 형성되며, 상기 고정판의 내측면과 상기 가변판의 내측면을 세정하기 위한 중앙 브러시; 및
모가 상기 좌우 방향으로 형성되며, 상기 양측면판들의 내측면을 세정하기 위한 양단 브러시를 포함하는 것을 특징으로 하는 매거진 세정 장치.
4. The brushless motor according to claim 3,
A center brush formed in the front and rear direction for cleaning the inner surface of the fixing plate and the inner surface of the variable plate; And
And both ends of the brushes are formed in the left and right directions, and both ends of the brushes are cleaned to clean the inner surface of the both side plates.
제3항에 있어서, 상기 세정부는, 상기 상하 방향 및 상기 좌우 방향으로 이동 가능하도록 구비되며, 상기 고정판의 내측면과 상기 가변판의 내측면으로 증기를 분사하여 세정하는 제2 세정 노즐들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 매거진 세정 장치.The washing machine according to claim 3, wherein the cleaner is provided to be movable in the up-and-down direction and the left-to-right direction, and further includes second cleaning nozzles for spraying steam to the inner surface of the fixing plate and the inner surface of the variable plate The magazine cleaning device comprising: 제3항에 있어서, 상기 세정부는,
상기 좌우 방향 양측에 상기 상하 방향을 따라 연장하도록 구비되며, 회전하면서 상기 매거진에서 양측면들의 외측면을 세정하는 제2 브러시들; 및
상기 상측과 상기 하측에 상기 좌우 방향을 따라 연장하도록 구비되며, 상기 매거진의 상부면과 하부면을 세정하는 제3 브러시들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 매거진 세정 장치.
4. The apparatus according to claim 3,
Second brushes provided on both sides in the left and right direction to extend along the up and down direction and to clean the outer surfaces of both side surfaces of the magazine while rotating; And
Further comprising third brushes provided on the upper side and the lower side to extend along the left and right direction and to clean upper and lower surfaces of the magazine.
제3항에 있어서, 상기 세정부는,
상기 제1 세정 노즐들에서 분사된 증기가 상기 매거진이 투입되는 투입구와 상기 매거진이 배출되는 배출구를 통해 외부로 누출되는 것을 방지하기 위해 상기 투입구와 상기 배출구를 개폐하는 도어들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 매거진 세정 장치.
4. The apparatus according to claim 3,
And a door for opening and closing the inlet and the outlet so as to prevent the vapor sprayed from the first cleaning nozzles from leaking out through the inlet through which the magazine is inserted and the outlet through which the magazine is discharged. The magazine cleaning device.
제3항에 있어서, 상기 세정부는,
상기 세정부와 연결되며, 상기 제1 세정 노즐들에서 분사된 증기를 외부로 배기하기 위한 배기 덕트;
상기 배기 덕트를 통해 상기 증기를 배기하기 위한 배기 펌프; 및
상기 배기 펌프에 의해 배출된 상기 증기와 충돌하여 상기 증기를 응축시키기 위한 저온 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 매거진 세정 장치.
4. The apparatus according to claim 3,
An exhaust duct connected to the cleaner and exhausting the vapor sprayed from the first cleaning nozzles to the outside;
An exhaust pump for exhausting the steam through the exhaust duct; And
Further comprising a low-temperature member for impinging the steam discharged by the exhaust pump to condense the steam.
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6143430A (en) * 1984-08-07 1986-03-03 Mitsubishi Electric Corp Cassette cleaner
JPH04343428A (en) * 1991-05-21 1992-11-30 Seiko Epson Corp Cassette of substrate washing device
JP2000317411A (en) * 1999-05-12 2000-11-21 Dan Sangyo Kk Device and method for cleaning and drying
KR100987323B1 (en) * 2010-05-18 2010-10-12 (주) 디바이스이엔지 Cleaner for wafer container

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6143430A (en) * 1984-08-07 1986-03-03 Mitsubishi Electric Corp Cassette cleaner
JPH04343428A (en) * 1991-05-21 1992-11-30 Seiko Epson Corp Cassette of substrate washing device
JP2000317411A (en) * 1999-05-12 2000-11-21 Dan Sangyo Kk Device and method for cleaning and drying
KR100987323B1 (en) * 2010-05-18 2010-10-12 (주) 디바이스이엔지 Cleaner for wafer container

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