KR20180131790A - Product test handler - Google Patents

Product test handler Download PDF

Info

Publication number
KR20180131790A
KR20180131790A KR1020170068333A KR20170068333A KR20180131790A KR 20180131790 A KR20180131790 A KR 20180131790A KR 1020170068333 A KR1020170068333 A KR 1020170068333A KR 20170068333 A KR20170068333 A KR 20170068333A KR 20180131790 A KR20180131790 A KR 20180131790A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
product
unit
pick
coupled
picker
Prior art date
Application number
KR1020170068333A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR101935400B1 (en
Inventor
윤태준
Original Assignee
주식회사 씨케이엘
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 씨케이엘 filed Critical 주식회사 씨케이엘
Priority to KR1020170068333A priority Critical patent/KR101935400B1/en
Publication of KR20180131790A publication Critical patent/KR20180131790A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101935400B1 publication Critical patent/KR101935400B1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2886—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
    • G01R31/2891—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks related to sensing or controlling of force, position, temperature
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2893—Handling, conveying or loading, e.g. belts, boats, vacuum fingers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67721—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations the substrates to be conveyed not being semiconductor wafers or large planar substrates, e.g. chips, lead frames

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

A product test handler comprises: a product support unit which is disposed on a base body and on which a product to be tested is seated; a product pick-up unit which is installed on the base body and loads and unloads the product to and from the product support unit; and a transfer unit which transfers the product pick-up unit. The product pick-up unit includes: a body fixed to the transfer unit; a motor fixed to the body; a cam coupled to a shaft of the motor and changing an interval with the product support unit; a pick-up body driven by the cam in a direction toward the product support unit; an air cylinder coupled to the pick-up body; a picker coupled to a cylinder rod of the air cylinder and picking up the product; and an air regulator providing the air pressure designated by the air cylinder. The contact pressure between the product and the picker can be freely adjusted by an operator.

Description

제품 테스트 핸들러{PRODUCT TEST HANDLER}Product test handler {PRODUCT TEST HANDLER}

본 발명은 제품 테스트 핸들러에 관한 것으로, 특히 본 발명은 피커가 제품을 픽업하는 과정에서 제품에 과도한 압력을 인가하여 제품이 파손 또는 손상되는 것을 방지한 제품 테스트 핸들러에 관한 것이다.The present invention relates to a product test handler, in particular, to a product test handler that prevents a product from being damaged or damaged by applying excessive pressure to the product during picking up the product.

최근 들어, 반도체 소자 제조 기술의 발달에 의하여 다양한 기능 및 고성능을 갖는 다양한 반도체 제품들이 개발되고 있다.In recent years, various semiconductor products having various functions and high performance have been developed by the development of semiconductor device manufacturing technology.

반도체 소자 제조 공정에 의하여 생산된 반도체 제품은 일반적으로 테스트가 진행된 후 포장 및 출하된다.The semiconductor products produced by the semiconductor device manufacturing process are generally packaged and shipped after the test.

반도체 제품의 테스트를 수행하기 위해서는 일반적으로 테스트 핸들러가 사용되는데, 테스트 핸들러는 제품을 테스트하는 테스트 유닛 및 반도체 제품을 테스트 유닛으로 로딩 및 제품을 테스트 유닛으로부터 언로딩하는 픽업 유닛을 포함한다.To perform testing of semiconductor products, test handlers are typically used, which include a test unit for testing the product and a pick-up unit for loading the semiconductor product into the test unit and unloading the product from the test unit.

대한민국 등록실용신안공보 제20-0197286호, 테스트 핸들러의 컨택트 픽커 조립체 (2000년 7월 11일 등록)에는 BGA나 CSP형 반도체 디바이스를 픽킹하여 테스트 소켓에 전기적으로 접속시키는 테스트 핸들러의 컨텍트 픽커 조립체가 개시되어 있다.A test handler contact picker assembly (registered on July 11, 2000) of the Korean Registered Utility Model No. 20-0197286, a test handler for picking a BGA or CSP type semiconductor device and electrically connecting to a test socket, Lt; / RTI >

상기 테스트 핸들러의 컨텍트 픽커 조립체는 픽커 부재와 진공 패드 사이에 개재되어 진공패드를 하측으로 탄력 지지하는 압축 코일 스프링을 포함한다.The contact picker assembly of the test handler includes a compression coil spring interposed between the picker member and the vacuum pad to elastically support the vacuum pad downward.

압축 코일 스프링은 컨택트 픽커 조립체의 조립 오차 등에 의해 테스트 소켓에 대한 진공 패드의 접촉 위치가 어긋남에 따른 접속 불량을 방지하는 역할을 한다.The compression coil spring serves to prevent connection failure due to misalignment of the contact position of the vacuum pad with respect to the test socket due to an assembly error of the contact picker assembly or the like.

그러나 픽커 조립체에 압축 코일 스프링을 적용할 경우 테스트 소켓에 대한 진공 패드의 접촉 위치 어긋남을 방지할 수 있는 반면, 픽커가 반도체 디바이스를 픽업할 때 픽커가 반도체 디바이스에 과도한 압력을 인가하여 취성이 약한 반도체 디바이스의 파손이 발생 될 수 있다.However, when the compression coil spring is applied to the picker assembly, it is possible to prevent the displacement of the contact position of the vacuum pad with respect to the test socket. However, when the picker picks up the semiconductor device, the picker applies excessive pressure to the semiconductor device, The device may be damaged.

픽커가 반도체 디바이스에 과도한 압력을 인가하는 요인으로서는 픽커의 위치 편차, 반도체 디바이스의 배치, 반도체 디바이스의 두께 편차 및 픽커의 스트로크 오차 등 일 수 있다.Factors for applying the excessive pressure to the semiconductor device by the picker may be positional deviation of the picker, placement of the semiconductor device, thickness deviation of the semiconductor device, stroke error of the picker, and the like.

이와 같이 픽커가 반도체 디바이스에 과도한 압력을 인가할 경우, 작업자는 압축 코일 스프링의 탄성력을 조절해야 하지만 압축 코일 스프링의 탄성력을 작업자가 수작업으로 조절하기 매우 어렵고, 이로 인해 압축 코일 스프링의 탄성력 조절에 많은 시간이 소요되며, 압축 코일 스프링의 탄성력을 미세하게 조절하기 어려울 경우 압축 코일 스프링 전체를 교환해야 하는 문제점을 갖는다.In this way, when the picker applies an excessive pressure to the semiconductor device, the operator must adjust the elastic force of the compression coil spring, but it is very difficult for the operator to manually adjust the elastic force of the compression coil spring. And it is difficult to finely adjust the elastic force of the compression coil spring, the entire compression coil spring must be replaced.

대한민국 등록실용신안공보 제20-0197286호, 테스트 핸들러의 컨택트 픽커 조립체 (2000년 7월 11일 등록)Korean Registered Utility Model No. 20-0197286, contact picker assembly of test handler (registered July 11, 2000)

본 발명은 피커가 제품에 직접 접촉하여 제품을 픽업할 때 제품의 편차, 피커가 일정한 압력으로 제품과 접촉되어 제품의 파손을 방지하며, 제품과 피커의 접촉 압력을 작업자가 자유롭게 조절할 수 있는 제품 테스트 핸들러를 제공한다.The present invention relates to a product testing method and a product testing method capable of freely adjusting contact pressure between a product and a picker when a picker contacts the product directly to pick up the product, Handler is provided.

일실시예로서, 제품 테스트 핸들러는 베이스 몸체 상에 배치되며 테스트 될 제품이 안착 되는 제품 지지 유닛; 상기 베이스 몸체에 설치되며, 상기 제품 지지 유닛으로 상기 제품을 로딩 및 언로딩하는 제품 픽업 유닛; 및 상기 제품 픽업 유닛을 이송하는 이송 유닛을 포함하며, 상기 제품 픽업 유닛은 상기 이송 유닛에 고정된 몸체, 상기 몸체에 고정된 모터, 상기 모터의 축에 결합 되어 상기 제품 지지 유닛과 이루는 간격을 변경시키는 캠, 상기 캠에 의하여 상기 제품 지지 유닛을 향하는 방향으로 구동되는 픽업 몸체, 상기 픽업 몸체에 결합된 에어 실린더, 상기 에어 실린더의 실린더 로드에 결합 되어 상기 제품을 픽업하는 피커 및 상기 에어 실린더로 지정된 공기압을 제공하는 에어 레귤레이터를 포함한다.In one embodiment, the product test handler is disposed on the base body and includes a product support unit on which the product to be tested is seated; A product pick-up unit installed on the base body for loading and unloading the product with the product supporting unit; And a transfer unit for transferring the product pick-up unit, wherein the product pick-up unit includes a body fixed to the transfer unit, a motor fixed to the body, and an interval between the motor coupled to the shaft of the motor and the product support unit A pick-up body driven by the cam in a direction toward the product supporting unit, an air cylinder coupled to the pick-up body, a picker coupled to the cylinder rod of the air cylinder to pick up the product, And an air regulator for providing air pressure.

제품 테스트 핸들러의 상기 피커는 상기 몸체에 결합된 슬라이드를 따라 슬라이딩 되면서 직선 왕복 운동한다.The picker of the product test handler slides along the slide coupled to the body and reciprocates linearly.

제품 테스트 핸들러의 상기 몸체는 상기 몸체에 고정된 스프링 고정판 및 상기 스프링 고정판에 결합되어 픽업 몸체에 탄성력을 인가하는 복귀 스프링을 포함한다.The body of the product test handler includes a spring fixing plate fixed to the body and a return spring coupled to the spring fixing plate to apply an elastic force to the pickup body.

제품 테스트 핸들러는 상기 몸체에 배치된 센서 유닛 및 상기 픽업 몸체에 배치되어 상기 센서 유닛에 의하여 센싱 되는 센싱 부재를 포함한다.The product test handler includes a sensor unit disposed on the body and a sensing member disposed on the pickup body and being sensed by the sensor unit.

제품 테스트 핸들러의 상기 에어 레귤레이터는 상기 공기압을 조절하기 위한 다이얼 방식 공기압 조절 노브를 포함한다.The air regulator of the product test handler includes a dial type air pressure adjustment knob for adjusting the air pressure.

본 발명에 따른 제품 테스트 핸들러는 피커가 제품에 직접 접촉하여 제품을 픽업할 때 제품의 편차, 피커가 일정한 압력으로 제품과 접촉되어 제품의 파손을 방지하며, 제품과 피커의 접촉 압력을 작업자가 자유롭게 조절할 수 있는 효과를 갖는다.The product test handler according to the present invention is a product test handler in which the picker contacts the product to pick up the product, the deviation of the product, the picker comes into contact with the product at a constant pressure to prevent breakage of the product, It has a controllable effect.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 제품 테스트 핸들러의 측면도이다.
도 2는 도 1의 제품 픽업 유닛 및 에어 레귤레이터를 도시한 사시도이다.
도 3은 도 2의 제품 픽업 유닛을 도시한 사시도이다.
도 4는 도 2의 에어 레귤레이터의 사시도이다.1 is a side view of a product test handler according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a perspective view showing the product pick-up unit and the air regulator of Fig. 1;
3 is a perspective view showing the product pick-up unit of Fig.
4 is a perspective view of the air regulator of Fig.

이하 설명되는 본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고, 여러 가지 실시 예를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에서 상세하게 설명하고자 한다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The invention, which is set forth below, may be embodied with various changes and may have various embodiments, and specific embodiments thereof are shown by way of example in the drawings and will herein be described in detail.

그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.It is to be understood, however, that the invention is not to be limited to the specific embodiments, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used in this application is used only to describe a specific embodiment and is not intended to limit the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, the terms "comprises" or "having" and the like are used to specify that there is a feature, a number, a step, an operation, an element, a component or a combination thereof described in the specification, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, components, or combinations thereof.

또한 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 구분하여 설명하기 위해 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.Also, the terms first, second, etc. may be used to distinguish between various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 제품 테스트 핸들러의 측면도이다. 도 2는 도 1의 제품 픽업 유닛 및 에어 레귤레이터를 도시한 사시도이다. 도 3은 도 2의 제품 픽업 유닛을 도시한 사시도이다. 도 4는 도 2의 에어 레귤레이터의 사시도이다.1 is a side view of a product test handler according to an embodiment of the present invention. Fig. 2 is a perspective view showing the product pick-up unit and the air regulator of Fig. 1; 3 is a perspective view showing the product pick-up unit of Fig. 4 is a perspective view of the air regulator of Fig.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 제품 테스트 핸들러(700)는 베이스 몸체(100), 제품 지지 유닛(200), 제품 픽업 유닛(300) 및 이송 유닛(400)을 포함한다.1 to 4, the product test handler 700 includes a base body 100, a product supporting unit 200, a product pick-up unit 300, and a transfer unit 400.

베이스 몸체(100)는 제품 지지 유닛(200), 제품 픽업 유닛(300) 및 이송 유닛(400)을 지지하는 역할을 한다.The base body 100 serves to support the product supporting unit 200, the product pick-up unit 300, and the transfer unit 400.

제품 지지 유닛(200)은 베이스 몸체(100)의 상면 상에 적어도 하나가 배치된다. 제품 지지 유닛(200)은, 예를 들어, 로더(미도시)로부터 테스트될 제품이 언로딩되어 제품 픽업 유닛(300)에 의하여 픽업될 수 있도록 한다.At least one product supporting unit 200 is disposed on the upper surface of the base body 100. The product supporting unit 200 allows the product to be tested to be unloaded from the loader (not shown) and picked up by the product pick-up unit 300, for example.

제품 지지 유닛(200)은 하나의 제품이 배치되기에 적합한 구성 및 사이즈를 갖고, 제품 지지 유닛(200)은, 예를 들어, 베이스 몸체(100) 상에 적어도 2개가 배치될 수 있다.The product support unit 200 has a configuration and size suitable for placing one product, and at least two product support units 200 may be disposed on the base body 100, for example.

이송 유닛(400)은 베이스 몸체(100)의 상기 상면 상에 배치된다.The transfer unit 400 is disposed on the upper surface of the base body 100.

본 발명의 일실시예에서, 이송 유닛(400)은 제품 지지 유닛(200)에 배치된 제품을 픽업하여 후속 공정, 예를 들어, 테스트 공정으로 이송한다.In one embodiment of the present invention, the transfer unit 400 picks up the product placed in the product support unit 200 and transfers it to a subsequent process, for example a test process.

이송 유닛(400)은, 예를 들어, 로터리(rotary) 방식으로 제품을 이송할 수 있으며, 이송 유닛(400)이 로터리 방식으로 제품을 이송할 경우 한정된 면적 내에서 제품의 이송 효율을 극대화 시킬 수 있다.The transfer unit 400 can transfer the product in a rotary manner, for example. When the transfer unit 400 transfers the product in a rotary manner, the transfer efficiency of the product can be maximized within a limited area have.

이송 유닛(400)은 회전 유닛(410), 회전축(420), 로터리 암(430) 및 장착부(440)를 포함한다.The transfer unit 400 includes a rotation unit 410, a rotation axis 420, a rotary arm 430, and a mounting unit 440.

회전 유닛(410)은, 예를 들어, 회전력을 발생시키는 모터를 포함할 수 있고, 회전축(420)은 베이스 몸체(100)의 상면에 대하여 수직한 방향으로 배치되고, 회전 유닛(410)의 축에 결합 되어 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전된다.The rotating unit 410 may include a motor for generating a rotating force and the rotating shaft 420 is disposed in a direction perpendicular to the upper surface of the base body 100, And is rotated clockwise or counterclockwise.

이송 유닛(400)의 회전 유닛(410)은 단속적으로 회전축(420)을 회전시킬 수 있다.The rotation unit 410 of the transfer unit 400 can rotate the rotation axis 420 intermittently.

로터리 암(430)은 링 형상으로 형성되며, 로터리 암(430)은 베이스 몸체(100)의 상면과 평행한 방향으로 배치된다.The rotary arm 430 is formed in a ring shape, and the rotary arm 430 is disposed in a direction parallel to the upper surface of the base body 100.

로터리 암(430)은 회전축(420)의 회전 중심에 결합 되며, 로터리 암(430)은 회전축(420)과 동일한 방향으로 회전된다.The rotary arm 430 is coupled to the rotation center of the rotary shaft 420 and the rotary arm 430 is rotated in the same direction as the rotary shaft 420.

장착부(440)는 로터리 암(430)에 결합 되며, 장착부(440)는 제품 픽업 유닛(300)이 로터리 암(430)에 결합 될 수 있도록 매개체 역할을 한다.The mounting portion 440 is coupled to the rotary arm 430 and the mounting portion 440 serves as an intermediary for coupling the product pick-up unit 300 to the rotary arm 430.

본 발명의 일실시예에서, 이송 유닛(400)의 구성은 제품의 종류 및 이송 방식에 따라 도시된 도면 및 상세한 설명의 기재와 다르게 다양한 방식으로 변경될 수 있다.In an embodiment of the present invention, the configuration of the transfer unit 400 may be changed in various ways different from the description of the drawings and the detailed description according to the kind of the product and the transfer method.

제품 픽업 유닛(300)은 이송 유닛(400)의 장착부(440)에 결합 되어 이송 유닛(400)에 의하여 회전되면서 제품 지지 유닛(200)에 배치된 제품을 픽업하여 후속 공정으로 이송한다.The product pick-up unit 300 is coupled to the mounting portion 440 of the transfer unit 400 and picks up the product placed in the product supporting unit 200 while being rotated by the transfer unit 400 to transfer the product to the subsequent process.

본 발명의 일실시예에서, 제품 픽업 유닛(300)의 일부 구성은 이송 유닛(400)의 장착부(440)에 고정되며, 제품 픽업 유닛(300)의 일부 구성은 제품 지지 유닛(200)과 가까워지는 방향으로 하강하거나 제품 지지 유닛(200)으로부터 멀어지는 방향으로 상승 되면서 제품 지지 유닛(200)에 배치된 제품을 픽업한다.In one embodiment of the present invention, a part of the configuration of the product pick-up unit 300 is fixed to the mounting portion 440 of the transfer unit 400 and a part of the configuration of the product pick-up unit 300 is close to the product supporting unit 200 The user picks up the product placed in the product supporting unit 200 while descending in the losing direction or rising in the direction away from the product supporting unit 200.

그러나 제품 픽업 유닛(300)이 제품을 픽업하기 위해서는 제품 픽업 유닛(300)의 일부 구성이 제품과 접촉해야 하고, 제품 픽업 유닛(300)이 제품과 접촉하면서 제품에 과도한 압력이 인가될 경우 제품의 파손 또는 손상이 발생 되지만 본 발명의 일실시예에서는 제품 픽업 유닛(300)의 독특한 기술에 의하여 제품 픽업 유닛(300)이 제품과 접촉될 때 제품에 과도한 압력이 인가되는 것을 방지하여 제품 파손이 발생 되지 않게 된다.However, in order for the product pick-up unit 300 to pick up the product, some configuration of the product pick-up unit 300 must contact the product, and when excessive pressure is applied to the product while the product pick-up unit 300 is in contact with the product, However, in an embodiment of the present invention, when the product pick-up unit 300 is brought into contact with the product by the unique technique of the product pick-up unit 300, excessive pressure is prevented from being applied to the product, .

도 2 및 도 3을 참조하면, 제품 픽업 유닛(300)은 몸체(310), 모터(320), 캠(330), 픽업 몸체(340), 에어 실린더(350), 피커(360) 및 에어 레귤레이터(370)를 포함한다.2 and 3, the product pick-up unit 300 includes a body 310, a motor 320, a cam 330, a pickup body 340, an air cylinder 350, a picker 360, (370).

몸체(310)는 이송 유닛(400)의 장착부(440)에 고정되며 몸체(310)는 모터(320), 캠(330), 픽업 몸체(340), 에어 실린더(350), 피커(360)를 지지하는 역할을 한다. 본 발명의 일실시예에서, 몸체(310)는 금속 소재로 제작될 수 있다.The body 310 is fixed to the mounting portion 440 of the transfer unit 400 and the body 310 includes a motor 320, a cam 330, a pickup body 340, an air cylinder 350, a picker 360 . In an embodiment of the present invention, the body 310 may be made of a metal material.

예를 들어, 몸체(310)는 이송 유닛(400)의 장착부(440)에 베이스 몸체(100)의 상면에 대하여 수직한 방향으로 배치될 수 있다.For example, the body 310 may be disposed on the mounting portion 440 of the transfer unit 400 in a direction perpendicular to the upper surface of the base body 100.

모터(320)는 몸체(310)의 상단에 결합 된다. 모터(320)는 회전되는 축(미도시)을 포함한다.The motor 320 is coupled to the upper end of the body 310. The motor 320 includes an axis (not shown) that is rotated.

모터(320)의 축은 베이스 몸체(100)의 상면과 마주하는 방향으로 배치되며, 모터(320)의 축은 베이스 몸체(100)의 상면에 대하여 수직한 방향으로 형성된다.The shaft of the motor 320 is disposed in a direction facing the upper surface of the base body 100 and the shaft of the motor 320 is formed in a direction perpendicular to the upper surface of the base body 100.

모터(320)는 축을 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전시킬 수 있고, 이에 더하여 모터(320)는 축을 연속적 또는 단속적으로 회전시킬 수 있다.The motor 320 can rotate the shaft clockwise or counterclockwise, and in addition, the motor 320 can rotate the shaft continuously or intermittently.

캠(330)은 모터(320)의 축에 결합 되며 캠(330)은 모터(320)의 축과 함께 회전된다.The cam 330 is coupled to the shaft of the motor 320 and the cam 330 is rotated together with the shaft of the motor 320. [

캠(330)은 후술 될 픽업 몸체(340)가 베이스 몸체(100)의 상면과 가까워지는 방향으로 하강 또는 베이스 몸체(100)의 상면과 멀어지는 방향으로 승강 되도록 한다. 이를 구현하기 위해 캠(330)의 하면에는 높이 차이가 있는 곡면이 형성된다.The cam 330 allows the pick-up body 340 to be lowered in the direction of approaching the upper surface of the base body 100 or moved in a direction away from the upper surface of the base body 100. In order to realize this, a curved surface having a height difference is formed on the lower surface of the cam 330.

픽업 몸체(340)는 베이스 몸체(100)의 상면에 대하여 수직 하게 형성된 몸체(310)의 측면에 결합 된다. 예를 들어, 픽업 몸체(340)는 몸체(310)의 측면에 형성된 가이드 레일을 따라 베이스 몸체(100)의 상면에 대하여 가까운 방향으로 하강 또는 베이스 몸체(100)의 상면에 대하여 멀어지는 방향으로 승강 된다.The pickup body 340 is coupled to a side surface of the body 310 formed to be perpendicular to the upper surface of the base body 100. For example, the pick-up body 340 is moved up and down along a guide rail formed on a side surface of the body 310 in a direction close to the upper surface of the base body 100 or in a direction away from the upper surface of the base body 100 .

픽업 몸체(340)는 플레이트 형성으로 형성되며, 픽업 몸체(340)의 상단에는 캠(330)과 접촉되는 캠 롤러(345)가 배치되며, 캠(330)의 회전에 의하여 캠 롤러(345)에는 변위가 발생 되고, 캠 롤러(345)에 발생 된 변위에 의하여 픽업 몸체(340) 역시 승강 또는 하강한다.The pickup body 340 is formed by a plate and a cam roller 345 contacting the cam 330 is disposed at the upper end of the pickup body 340. The cam roller 345 is rotated by the rotation of the cam 330 A displacement is generated, and the pickup body 340 also ascends or descends by the displacement generated in the cam roller 345.

한편, 픽업 몸체(340)의 캠 롤러(345)가 항상 캠(330)과 접촉 및 픽업 몸체(340)가 하강한 후 상승될 수 있도록 하기 위해 몸체(310)의 측면에는 측면으로부터 돌출된 스프링 고정판(313)이 배치된다.In order to allow the cam roller 345 of the pickup body 340 to always be in contact with the cam 330 and to be lifted after the pickup body 340 descends, (313).

스프링 고정판(313)의 상면은 승하강 되는 픽업 몸체(340)의 하단과 마주하게 배치되며, 스프링 고정판(313) 및 픽업 몸체(340)의 사이에는 탄성 부재인 복귀 스프링(315)이 배치된다. 본 발명의 일실시예에서, 복귀 스프링(315)은, 예를 들어, 코일 스프링을 포함할 수 있다.The upper surface of the spring fixing plate 313 faces the lower end of the pick-up body 340 and the return spring 315 as an elastic member is disposed between the spring fixing plate 313 and the pickup body 340. In one embodiment of the invention, the return spring 315 may comprise, for example, a coil spring.

스프링 고정판(313) 및 픽업 몸체(340)의 사이에 배치된 탄성 부재(315)는 픽업 몸체(340)가 하강 후 상승 될 때 픽업 몸체(340)의 캠 롤러(345)가 항상 캠(340)과 접촉된 상태를 유지할 수 있도록 한다. The elastic member 315 disposed between the spring fixing plate 313 and the pickup body 340 is always in contact with the cam 340 of the pickup body 340 when the pickup body 340 is lifted and then raised. So as to maintain the contact state.

에어 실린더(350)는, 예를 들어, 직육면체 플레이트 형상으로 형성되며, 에어 실린더(350)는 픽업 몸체(340)의 외측면에 결합 된다.The air cylinder 350 is formed, for example, in the shape of a rectangular parallelepiped plate, and the air cylinder 350 is coupled to the outer surface of the pickup body 340.

에어 실린더(350)는 에어 실린더 몸체(352) 및 실린더 로드(355)를 포함한다.The air cylinder 350 includes an air cylinder body 352 and a cylinder rod 355.

에어 실린더 몸체(352)는 픽업 몸체(340)에 결합 되며, 에어 실린더 몸체(352)는 픽업 몸체(340)의 승강 또는 하강에 대응하여 승강 또는 하강 된다.The air cylinder body 352 is coupled to the pickup body 340 and the air cylinder body 352 is lifted or lowered corresponding to the lifting or lowering of the pickup body 340.

에어 실린더 몸체(352)에는 에어 실린더 몸체(352)의 내부로 유체압을 제공하는 에어 레귤레이터(370)가 연결된다.The air cylinder body 352 is connected to an air regulator 370 that provides fluid pressure to the inside of the air cylinder body 352.

에어 실린더 로드(355)는 에어 레귤레이터(370)를 통해 에어 실린더 몸체(352)로 제공된 유체압에 의하여 변위가 발생된다.The air cylinder rod 355 is displaced by the fluid pressure supplied to the air cylinder body 352 through the air regulator 370. [

피커(360)는 에어 실린더 로드(355)의 끝단에 결합 되며, 피커(360)는 대기압 보다 낮은 진공압 등을 이용하여 제품과 접촉된 후 제품을 흡착한다.The picker 360 is coupled to the end of the air cylinder rod 355, and the picker 360 contacts the product using a vacuum pressure or the like lower than atmospheric pressure, and then adsorbs the product.

본 발명의 일실시예에서, 피커(360)는 몸체(310)의 측면에 형성되며 베이스 몸체(100)의 상면에 대하여 수직하게 형성된 가이드 레일에 장착되며 피커(360)는 가이드 레일을 따라 승강 및 하강된다.The picker 360 is mounted on a guide rail formed on the side surface of the body 310 and formed perpendicular to the upper surface of the base body 100 and the picker 360 is moved up and down along the guide rail, Down.

에어 레귤레이터(370)는 에어 실린더(350)에 일정한 공기압을 제공함으로써 다양한 원인에 의하여 피커(360) 및 제품 사이의 간격이 변경되더라도 피커(360)가 제품에 과도한 압력이 제공되지 않도록 한다.The air regulator 370 provides a constant air pressure to the air cylinder 350 so that the picker 360 is not subjected to excessive pressure on the product even if the spacing between the picker 360 and the product changes due to various causes.

본 발명의 일실시예에서, 에어 실린더(350) 및 에어 레귤레이터(370)를 사용하지 않을 경우 모터(320)의 축의 회전에 의하여 캠(330)이 회전됨에 따라 픽업 몸체(340)에는 캠(330)에 의하여 변위가 발생 되는데, 픽업 몸체(340)에서 발생된 변위에 의하여 피커(360)가 제품과 접촉될 경우 다양한 원인에 의하여 피커(360)는 제품에 과도한 압력을 인가되어 제품의 손상 또는 파손이 발생될 수 있다.When the air cylinder 350 and the air regulator 370 are not used, the rotation of the shaft of the motor 320 causes the rotation of the cam 330 in the pickup body 340, When the picker 360 is brought into contact with the product due to the displacement generated in the pick-up body 340, due to various causes, the picker 360 is subjected to excessive pressure to damage or break the product May occur.

그러나, 본 발명의 일실시예에서 에어 실린더(350) 및 에어 레귤레이터(370)를 사용할 경우, 모터(320)의 축의 회전에 의하여 캠(330)이 회전됨에 따라 캠(330)에 의하여 픽업 몸체(340) 및 에어 실린더(350) 및 피커(360)에도 변위가 발생되지만, 픽업 몸체(340)의 변위는 피커(360)의 변위와 다를 수 있고 이로 인해 피커(360)가 제품에 과도한 압력을 인가하지 않음으로써 제품의 손상 또는 파손을 방지할 수 있다. 이는 에어 실린더(350)가 제품에 인가되는 압력의 일부를 흡수하여 완충시키기 때문이다.However, when the air cylinder 350 and the air regulator 370 are used in the embodiment of the present invention, as the cam 330 is rotated by the rotation of the shaft of the motor 320, The displacement of the pick-up body 340 may be different from the displacement of the picker 360 so that the picker 360 may apply excessive pressure to the product It is possible to prevent damage or breakage of the product. This is because the air cylinder 350 absorbs and buffers a part of the pressure applied to the product.

한편, 도 4에 도시된 바와 같이 에어 레귤레이터(370)는 제품에 따라서 피커(360)가 제품에 인가하는 최적의 가압력을 조절할 수 있도록 하며, 이를 위해 에어 레귤레이터(370)에는 에어 실린더(350)로 제공되는 압력을 아날로그 방식으로 조절하는 아날로그 방식 공기압 조절 노브(375) 및 압력을 확인할 수 있는 디지털 메타(digital meter;378)가 배치될 수 있다. 물론 본 발명의 일실시예에서, 에어 레귤레이터(370)는 디지털 방식으로 에어 실린더(350)로 제공되는 압력을 조절할 수 있다.4, the air regulator 370 can adjust the optimum pressing force applied to the product by the picker 360 according to the product. To this end, the air regulator 370 is provided with an air cylinder 350 An analog pneumatic control knob 375 for analogically adjusting the pressure to be provided and a digital meter 378 for confirming the pressure can be disposed. Of course, in one embodiment of the invention, the air regulator 370 can regulate the pressure provided to the air cylinder 350 in a digital manner.

한편, 도 3에 도시된 바와 같이 몸체(310)에는 고정된 센서 유닛(317)이 장착되고, 픽업 몸체(340)에는 센서 부재(318)가 배치된다.3, a fixed sensor unit 317 is mounted on the body 310, and a sensor member 318 is disposed on the pickup body 340. As shown in FIG.

센서 부재(318)는 제품 지지 유닛(200)에 지정된 제품 이외에 다른 사이즈를 갖는 제품이 예상치 못하게 유입되거나 제품의 위치가 변경되는 등 제품의 두께가 지정된 오차를 벗어날 경우 센서 유닛(317)에 센서 부재(318)가 인식되고, 센서 유닛(317)이 센서 부재(318)를 인식할 경우 공정은 중단되고 알람 등이 발생 되어 작업자가 공정 이상 상태를 확인할 수 있도록 한다.The sensor member 318 may be provided in the sensor unit 317 when the thickness of the product is out of a specified error, such as a product having a different size other than the product specified in the product supporting unit 200, When the sensor unit 317 recognizes the sensor member 318, the process is stopped and an alarm or the like is generated so that the operator can check the process abnormal condition.

한편, 에어 실린더(350)에는 에어 실린더 내부의 압력이 비정상적으로 상승된 것이 확인될 경우 공정을 중단시키는 오버로드 센서(319)가 장착될 수 있다.On the other hand, an overload sensor 319 for stopping the process can be mounted on the air cylinder 350 when it is confirmed that the pressure inside the air cylinder has abnormally increased.

이상에서 상세하게 설명한 바에 의하면, 피커가 제품에 직접 접촉하여 제품을 픽업할 때 제품의 편차, 피커가 일정한 압력으로 제품과 접촉되어 제품의 파손을 방지하며, 제품과 피커의 접촉 압력을 작업자가 자유롭게 조절할 수 있는 효과를 갖는다.As described in detail above, when the picker contacts the product directly to pick up the product, the deviation of the product and the picker contact with the product at a constant pressure to prevent breakage of the product, and the contact pressure between the product and the picker can be freely It has a controllable effect.

한편, 본 도면에 개시된 실시예는 이해를 돕기 위해 특정 예를 제시한 것에 지나지 않으며, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다. 여기에 개시된 실시예 이외에도 본 발명의 기술적 사상에 바탕을 둔 다른 변형예들이 실시 가능하다는 것은, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게는 자명한 것이다.It should be noted that the embodiments disclosed in the drawings are merely examples of specific examples for the purpose of understanding, and are not intended to limit the scope of the present invention. It will be apparent to those skilled in the art that other modifications based on the technical idea of the present invention are possible in addition to the embodiments disclosed herein.

100...베이스 몸체 200...제품 지지 유닛
300...제품 픽업 유닛 400...이송 유닛
700...제품 테스트 핸들러100 ... base body 200 ... product support unit
300 ... product pick-up unit 400 ... transfer unit
700 ... product test handler

Claims (5)

베이스 몸체 상에 배치되며 테스트 될 제품이 안착 되는 제품 지지 유닛;
상기 베이스 몸체에 설치되며, 상기 제품 지지 유닛으로 상기 제품을 로딩 및 언로딩하는 제품 픽업 유닛; 및
상기 제품 픽업 유닛을 이송하는 이송 유닛을 포함하며,
상기 제품 픽업 유닛은 상기 이송 유닛에 고정된 몸체, 상기 몸체에 고정된 모터, 상기 모터의 축에 결합 되어 상기 제품 지지 유닛과 이루는 간격을 변경시키는 캠, 상기 캠에 의하여 상기 제품 지지 유닛을 향하는 방향으로 구동되는 픽업 몸체, 상기 픽업 몸체에 결합된 에어 실린더, 상기 에어 실린더의 실린더 로드에 결합 되어 상기 제품을 픽업하는 피커 및 상기 에어 실린더로 지정된 공기압을 제공하는 에어 레귤레이터를 포함하는 제품 테스트 핸들러.A product support unit disposed on the base body and on which the product to be tested is seated;
A product pick-up unit installed on the base body for loading and unloading the product with the product supporting unit; And
And a transfer unit for transferring the product pick-up unit,
The product pick-up unit includes a body fixed to the conveying unit, a motor fixed to the body, a cam coupled to the shaft of the motor to change an interval between the shaft and the product supporting unit, A pick-up body coupled to the pick-up body, an air cylinder coupled to the cylinder rod of the air cylinder to pick up the product, and an air regulator providing air pressure specified by the air cylinder. 제1항에 있어서,
상기 피커는 상기 몸체에 결합된 슬라이드를 따라 슬라이딩 되면서 직선 왕복 운동하는 제품 테스트 핸들러.The method according to claim 1,
Wherein the picker slides along a slide coupled to the body and reciprocates linearly. 제2항에 있어서,
상기 몸체는 상기 몸체에 고정된 스프링 고정판 및 상기 스프링 고정판에 결합되어 픽업 몸체에 탄성력을 인가하는 복귀 스프링을 포함하는 제품 테스트 핸들러.3. The method of claim 2,
Wherein the body includes a spring fixing plate fixed to the body and a return spring coupled to the spring fixing plate to apply an elastic force to the pickup body. 제1항에 있어서,
상기 몸체에 배치된 센서 유닛 및 상기 픽업 몸체에 배치되어 상기 센서 유닛에 의하여 센싱 되는 센싱 부재를 포함하는 제품 테스트 핸들러.The method according to claim 1,
A sensor unit disposed on the body, and a sensing member disposed on the pickup body and being sensed by the sensor unit. 제1항에 있어서,
상기 에어 레귤레이터는 상기 공기압을 조절하기 위한 다이얼 방식 공기압 조절 노브를 포함하는 제품 테스트 핸들러.
The method according to claim 1,
And the air regulator includes a dial type air pressure adjusting knob for adjusting the air pressure.
KR1020170068333A 2017-06-01 2017-06-01 Product test handler KR101935400B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020170068333A KR101935400B1 (en) 2017-06-01 2017-06-01 Product test handler

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020170068333A KR101935400B1 (en) 2017-06-01 2017-06-01 Product test handler

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20180131790A true KR20180131790A (en) 2018-12-11
KR101935400B1 KR101935400B1 (en) 2019-01-07

Family

ID=64671786

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020170068333A KR101935400B1 (en) 2017-06-01 2017-06-01 Product test handler

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101935400B1 (en)

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013061359A (en) * 2013-01-10 2013-04-04 Seiko Epson Corp Pressing device for electronic component, and ic handler

Also Published As

Publication number Publication date
KR101935400B1 (en) 2019-01-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7486094B2 (en) Apparatus for testing un-moulded IC devices using air flow system and the method of using the same
US20160118362A1 (en) Bonding apparatus and substrate manufacturing equipment including the same
KR100639149B1 (en) Semiconductor chip flipping assembly and apparatus for bonding semiconductor chip using the same
CN109791895B (en) Substrate inspection method and substrate inspection apparatus
TWI613452B (en) Electronic component conveying device and electronic component inspection device
KR101935400B1 (en) Product test handler
CN113650045B (en) Manipulator for picking up wafer
JP5995047B2 (en) Mounting device
JP6115617B2 (en) Mounting device
JP3548857B2 (en) Compliance device
JP2005251813A (en) Wafer level burn in alignment device and method
JPH0526284U (en) Adsorption device
JPH0566989U (en) Semiconductor wafer stage for probing equipment
JPH0843487A (en) Conveyance apparatus
JP2002160187A (en) Holding device, conveying device, ic inspection device, holding method, conveying method and ic inspection method
JPH05243236A (en) Electroplating apparatus
JPH06249916A (en) Contact unit for handler
JPH11333775A (en) Parts sucking device, parts handling device, and parts testing device
KR20190031357A (en) Wafer pusher of a wafer prober and method of controlling the wafer pusher
KR100273982B1 (en) Device for loading and unloading semiconductor device in test socket
US10816574B2 (en) High insertion count test socket
TWI674411B (en) Electronic component transfer device with positioning function, testing apparatus having the same and transfer method thereof
JPH05113466A (en) Testing and measuring apparatus for ic device
KR20020049333A (en) Device loading and unloading apparatus in the test site of handler
JP2921164B2 (en) Lead bonding equipment

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right