KR20180129947A - 부정조작-방지 화학 시약 패키지 - Google Patents

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Abstract

컨테이너; 커버로서, 컨테이너와 결합하여 컨테이너 및 커버가 포위된 체적부를 형성하도록 구성되는, 커버; 및 컨테이너 및 커버가 밀봉된 상태로 결합될 때에 커버 및 컨테이너와 협력하여 수용 패키지를 부정조작-방지성으로 만들고 그에 따라 수용 패키지를 포위하는 주변 환경으로부터 포위된 체적부를 격리하는 적어도 하나의 부정조작-방지 기계 체결구를 포함하는, 부정조작-방지 수용 패키지가 설명된다. 그러한 수용 패키지는 수용 패키지의 외부 환경으로 방출되면 건강, 안전성, 및/또는 환경 위험성을 유발하는 화학 시약의 보관 및 운반에 유용하게 채용된다.

Description

부정조작-방지 화학 시약 패키지
관련 출원
2016년 4월 19일자로 출원된 미국 가특허 출원 제62/324,342호의 35 U.S.C. §119 하에서의 우선권의 이익이 본원에 의해 주장된다. 미국 가특허 출원 제62/324,342호의 개시내용은 본 명세서에 사실상, 전체적으로, 참조로 포함된다.
분야
본 개시내용은 일반적으로 패키지로서, 패키지의 주변 환경에 대한 노출로부터 보호되는 것이 바람직한 재료, 물품, 조립체 등의 수용을 위한 패키지, 예컨대, 화학 시약, 특히 패키지의 현장 환경으로 방출되면 건강, 안전성, 또는 환경 위험성을 유발할 수 있는 유독성 또는 그렇지 않으면 유해성을 갖는 것들을 수용하는 데 사용되는 화학 시약 패키지에 관한 것이다. 더 구체적으로, 본 개시내용은 패키지로서, 패키지의 주변 환경 또는 패키지를 포위하는 주변 환경에 대한 패키지의 내용물의 바람직하지 않은 노출에 대해 보호하는 부정조작-방지 안전성 특징부(tamper-resistant safety feature)를 갖는 패키지에 관한 것이다.
고체 및 액체 화학 시약의 운반, 보관, 설치, 및 사용에서, 화학 시약의 수용을 위한 광범위한 패키지가 개발되어 왔다. 그러한 화학 시약 중 많은 것들은 화학 시약 패키지가 파손되어 수용된 화학 시약이 노출되고 그에 따라 패키지의 현장 환경으로 방출되면 건강, 안전성, 및 환경 위험성을 유발한다.
예를 들어, 반도체 제조 산업에서, 광범위한 화학 수소화물, 산, 및 유기금속 시약이 집적 회로 및 마이크로일렉트로닉 제품의 제조에 이용된다. 그러한 시약 중 많은 것들은 작업자에게 건강에 악영향을 미치지 않으면서 일간 기준으로 노출될 수 있는 화학 물질의 수준인, 극히 낮은 임계 한계 수치(threshold limit value)(TLV)를 갖는다. 이것은 평판 디스플레이 및 태양광 패널의 제조에 사용되는 많은 고체 및 액체 시약에도 적용된다. 이러한 시약을 수용하는 화학 시약 패키지의 파손과 관련된 건강 및 안전성 고려사항에 추가하여, 많은 경우에 고순도 또는 심지어 초고순도를 가질 것이 요구되는, 화학 시약이 컨테이너의 주변 환경에 노출되어 주변 환경 노출에 의해 열화되면 시약의 순도가 악영향을 받을 수 있고 그에 따라 그것이 그 의도된 목적에 부족해지거나 심지어 불필요해지는 부수적인 단점이 있다.
따라서, 계속하여, 본 기술분야는 향상된 안전성 특성을 갖는 화학 시약 패키지 설계를 추구하고, 패키지로부터 패키지의 주변 환경으로의 화학 시약의 원하지 않는 방출을 방지하는 것을 돕고, 그러한 주변 환경에 대한 노출로부터 화학 시약을 보호하려고 시도한다.
본 개시내용은 패키지로서, 컨테이너 및 커버가 서로에 기계적으로 체결되고, 패키지의 내용물이 패키지의 외부 환경에 대한 노출로부터 보호되는 것이 바람직한, 패키지에 관한 것이다.
일 양태에서, 본 개시내용은 컨테이너; 커버로서, 컨테이너와 결합하여 컨테이너 및 커버가 포위된 체적부를 형성하도록 구성되는, 커버; 및 컨테이너 및 커버가 밀봉된 상태로 결합될 때에 커버 및 컨테이너와 협력하여 수용 패키지를 부정조작-방지성으로 만들고 그에 따라 수용 패키지의 주변 환경 또는 수용 패키지를 포위하는 주변 환경으로부터 포위된 체적부를 격리하는 적어도 하나의 부정조작-방지 기계 체결구를 포함하는, 부정조작-방지 수용 패키지에 관한 것이다.
또 다른 양태에서, 본 개시내용은 컨테이너; 커버로서, 컨테이너의 일부와 결합하여 컨테이너 및 커버가 포위된 체적부를 형성하도록 구성되는, 커버; 및 커버와 결합하는 컨테이너의 부분과 커버를 상호연결하도록 구성되는 기계 체결구의 어레이를 포함하고, 그러한 어레이는, 결합된 컨테이너 및 커버를 집합적으로 밀봉하는 밀봉 기계 체결구를 포함하는, 상기 기계 체결구의 제1 서브-어레이; 및 커버와 결합하는 컨테이너의 부분과 커버를 상호연결하지만, (i) 결합된 컨테이너 및 커버를, 상기 기계 체결구의 제1 서브-어레이의 부재 시에 집합적으로, 밀봉하지 않고, (ii) 결합된 컨테이너 및 커버로부터의 그 부정조작 제거에 의한 것을 제외하면 커버가 컨테이너로부터 분리되는 것을 그 부정조작-방지 특성에 의해 방지하는 부정조작-방지 기계 체결구를 포함하는, 상기 기계 체결구의 제2 서브-어레이를 포함하는, 부정조작-방지 수용 패키지에 관한 것이다.
추가적인 또 다른 양태에서, 본 개시내용은 컨테이너; 커버로서, 화학 시약 컨테이너의 일부와 결합하여 컨테이너 및 커버가 포위된 체적부를 형성하도록 구성되는, 커버; 결합된 컨테이너 및 커버 중간의 적어도 하나의 밀봉 요소; 및 커버와 결합하는 컨테이너의 부분과 커버를 상호연결하도록 구성되는 기계 체결구의 어레이를 포함하고, 그러한 어레이는, 결합된 컨테이너 및 커버를 적어도 하나의 밀봉 요소와 함께 집합적으로 누출-방지 밀봉하는 밀봉 기계 체결구를 포함하는, 기계 체결구의 제1 서브-어레이; 및 커버와 결합하는 컨테이너의 부분과 커버를 상호연결하지만, (i) 결합된 컨테이너 및 커버를, 기계 체결구의 제1 서브-어레이의 부재 시에 집합적으로, 누출-방지 밀봉하지 않고, (ii) 결합된 컨테이너 및 커버로부터의 그 부정조작 제거에 의한 것을 제외하면 커버가 컨테이너로부터 분리되는 것을 그 부정조작-방지 특성에 의해 방지하는 부정조작-방지 기계 체결구를 포함하는, 상기 기계 체결구의 제2 서브-어레이를 포함하는, 부정조작-방지 패키지에 관한 것이다.
추가적인 또 다른 양태에서, 본 개시내용은 컨테이너; 커버로서, 컨테이너의 일부와 결합하여 컨테이너 및 커버가 포위된 체적부를 형성하도록 구성되는, 커버; 및 커버와 결합하는 컨테이너의 부분과 커버를 상호연결하도록 구성되는 기계 체결구의 어레이를 포함하고, 어레이는, 결합된 컨테이너 및 커버를 집합적으로 밀봉하는 밀봉 기계 체결구를 포함하는, 상기 기계 체결구의 제1 서브-어레이; 및 커버와 결합하는 컨테이너의 부분과 커버를 상호연결하지만, (i) 결합된 컨테이너 및 커버를, 상기 기계 체결구의 제1 서브-어레이의 부재 시에 집합적으로, 밀봉하지 않고, (ii) 결합된 컨테이너 및 커버로부터의 그 부정조작 제거에 의한 것을 제외하면 커버가 컨테이너로부터 분리되는 것을 그 부정조작-방지 특성에 의해 방지하는 부정조작-방지 기계 체결구를 포함하는, 상기 기계 체결구의 제2 서브-어레이를 포함하는, 부정조작-방지 수용 패키지에 관한 것이다. 부정조작-방지 수용 패키지는 일부 실시예에서 (i) 상기 기계 체결구의 제1 서브-어레이의 밀봉 기계 체결구보다 작은 크기를 갖는 특징; (ii) 밀봉 기계 체결구의 제거에 적합한 기계 체결구 공구에 의해 제거불가능한 특징; (iii) 기계 체결구의 제1 서브-어레이의 밀봉 기계 체결구가 돌출하는 표면 아래로 커버 내에 카운터싱킹되는 특징; 및 (iv) 상기 기계 체결구의 제1 서브-어레이의 밀봉 기계 체결구의 로크 토크의 10 내지 60%인 로크 토크에 의해 특징지어지는 특징 중 적어도 하나를 갖는 부정조작-방지 기계 체결구를 포함하는 상기 기계 체결구의 제2 서브-어레이를 가질 수 있다. 본 부정조작-방지 수용 패키지의 일부 실시예에서, 특징 (i)-(iv) 중 적어도 2개가 패키지 내에 존재한다. 부정조작-방지 수용 패키지는 결합된 컨테이너 및 커버 중간의 적어도 하나의 밀봉 요소를 더 포함할 수 있고, 커버와 결합하는 컨테이너의 부분은 커버의 주연 부분을 위한 결합 표면을 제공하는 외향 연장 플랜지를 임의로 포함할 수 있다. 부정조작-방지 수용 패키지는 패키지의 포위된 체적부 내에 액체 화학 시약 재료를 또는 포위된 체적부 내에 입자상 또는 크러스트형 형태를 가질 수 있는 고체 화학 시약 재료를 수용할 수 있다. 부정조작-방지 수용 패키지 컨테이너는 가열되어 열에너지를 포위된 체적부 내의 재료로 전달하고 그에 따라 재료의 증기를 발생시키도록 구성된다. 부정조작-방지 수용 패키지는 적어도 하나의 지지 구조체, 포위된 체적부 내의 트레이, 또는 액체 또는 고체 화학 시약 재료를 보유하는 포위된 체적부 내의 트레이의 어레이를 더 포함할 수 있다. 부정조작-방지 수용 패키지의 실시예에서, 기계 체결구의 제2 서브-어레이는 밀봉 기계 체결구의 제거에 적합한 기계 체결구 공구에 의해 제거불가능한 부정조작-방지 기계 체결구를 포함할 수 있고, 임의로 상기 기계 체결구의 제2 서브-어레이는 상기 기계 체결구의 제1 서브-어레이의 밀봉 기계 체결구의 로크 토크의 10 내지 60%인 로크 토크에 의해 특징지어지는 부정조작-방지 기계 체결구를 포함한다.
추가적인 양태에서, 본 개시내용은 컨테이너; 커버로서, 컨테이너와 결합하여 컨테이너 및 커버가 포위된 체적부를 형성하도록 구성되는, 커버; 및 컨테이너 및 커버가 밀봉된 상태로 결합될 때에 커버 및 컨테이너와 협력하여 수용 패키지를 부정조작-방지성으로 만들고 그에 따라 수용 패키지의 주변 환경으로부터 포위된 체적부를 격리하는 적어도 하나의 부정조작-방지 기계 체결구를 포함하는, 부정조작-방지 수용 패키지에 관한 것이다. 부정조작-방지 수용 패키지는 일부 실시예에서 부정조작-방지 기계 체결구의 어레이를 포함할 수 있고, 추가적인 실시예에서, 적어도 하나의 부정조작-방지 기계 체결구는 컨테이너 및 커버를 밀봉된 상태로 유지하는 데 효과적일 수 있다. 부정조작 방지 수용 패키지의 일부 실시예에서, 적어도 하나의 부정조작-방지 기계 체결구는 밀봉 브래킷과 결합할 수 있고 그에 따라 밀봉 브래킷은 컨테이너 및 커버 상에 압축을 부여하여 컨테이너 및 커버를 밀봉된 상태로 밀봉하고 그에 따라 주변 환경으로부터 포위된 체적부를 격리한다. 일부 실시예에서, 적어도 하나의 부정조작-방지 기계 체결구는 커버 및 컨테이너와 나사 결합가능하다.
다른 양태에서, 본 개시내용은 컨테이너; 및 커버로서, 화학 시약 컨테이너의 일부와 결합하여 컨테이너 및 커버가 포위된 체적부를 형성하도록 구성되는, 커버로 구성되거나 그것들을 포함하는 부정조작-방지 패키지에 관한 것이다. 부정조작-방지 패키지는 결합된 컨테이너 및 커버 중간의 적어도 하나의 밀봉 요소; 및 커버와 결합하는 컨테이너의 부분과 커버를 상호연결하도록 구성되는 기계 체결구의 어레이를 포함하고, 어레이는, 결합된 컨테이너 및 커버를 적어도 하나의 밀봉 요소와 함께 집합적으로 누출-방지 밀봉하는 밀봉 기계 체결구를 포함하는, 기계 체결구의 제1 서브-어레이; 및 커버와 결합하는 컨테이너의 부분과 커버를 상호연결하지만, (i) 결합된 컨테이너 및 커버를, 기계 체결구의 제1 서브-어레이의 부재 시에 집합적으로, 누출-방지 밀봉하지 않고, (ii) 결합된 컨테이너 및 커버로부터의 그 부정조작 제거에 의한 것을 제외하면 커버가 컨테이너로부터 분리되는 것을 그 부정조작-방지 특성에 의해 방지하는 부정조작-방지 기계 체결구를 포함하는, 상기 기계 체결구의 제2 서브-어레이를 포함한다. 부정조작-방지 패키지는 대체로 평면형의 외부 표면을 갖는 커버를 가질 수 있고, 부정조작-방지 기계 체결구는 커버의 평면형 외부 표면 내에 카운터-싱킹되어 그 부정조작-방지성을 향상시킬 수 있다. 부정조작-방지 패키지를 위한 부정조작-방지 기계 체결구는 밀봉 기계 체결구의 로크 토크의 10% 내지 60%인 로크 토크를 가질 수 있다. 부정조작 방지 패키지의 커버와 결합하는 컨테이너는 커버의 주연 부분을 위한 결합 표면을 제공하는 외향 연장 플랜지를 포함할 수 있다.
추가적인 양태에서, 본 개시내용은 본 명세서에서 다양하게 설명된 것과 같은, 본 개시내용에 따른 부정조작-방지 패키지, 및 커버 및 컨테이너로부터 부정조작-방지 기계 체결구를 정당조작으로 제거하도록 특별하게 구성되고, 커버 및 컨테이너로부터 밀봉 기계 체결구를 제거하는 데 비효과적인 부정조작-방지 기계 체결구 제거 공구를 포함하는, 키트에 관한 것이다.
본 개시내용의 다른 양태, 특징 및 실시예는 후속의 상세한 설명 및 첨부된 청구범위로부터 더 충분하게 분명해질 것이다.
도 1(종래 기술)은 본 개시내용의 부정조작-방지 특징부가 유용하게 적용될 수 있는 타입의 화학 시약 패키지의 사시도이다.
도 2는 본 개시내용의 부정조작-방지 특징부가 적용된 화학 시약 패키지의 사시도이다.
도 3은 기계 체결구의 제1 서브-어레이 내의 밀봉 기계 체결구, 및 기계 체결구의 제2 서브-어레이의 부정조작-방지 기계 체결구의 세부를 도시하는, 도 2의 화학 시약 패키지의 부분 확대 사시도이다.
도 4는 본 개시내용의 또 다른 실시예에 따른, 본 개시내용의 부정조작-방지 특징부가 적용된 화학 시약 패키지의 사시도이다.
도 5는 기계 체결구의 제1 서브-어레이 내의 밀봉 기계 체결구, 및 기계 체결구의 제2 서브-어레이의 부정조작-방지 기계 체결구의 세부를 도시하는, 도 2의 화학 시약 패키지의 부분 확대 사시도이다.
도 6은 부정조작-방지 밀봉 부재를 포함하는, 본 개시내용의 또 다른 실시예에 따른, 화학 시약 패키지의 사시도이다.
본 개시내용은 패키지로서, 패키지의 주변 환경에 대한 노출로부터 패키지의 내용물을 보호하는 부정조작-방지 안전성 특징부를 포함하는, 패키지에 관한 것이다.
일 양태에서, 본 개시내용은 컨테이너; 커버로서, 컨테이너와 결합하여 컨테이너 및 커버가 포위된 체적부를 형성하도록 구성되는, 커버; 및 컨테이너 및 커버가 밀봉된 상태로 결합될 때에 커버 및 컨테이너와 협력하여 수용 패키지를 부정조작-방지성으로 만들고 그에 따라 수용 패키지의 주변 환경으로부터 포위된 체적부를 격리하는 적어도 하나의 부정조작-방지 기계 체결구를 포함하는, 부정조작-방지 수용 패키지에 관한 것이다.
그러한 부정조작-방지 수용 패키지의 다양한 실시예에서, 부정조작-방지 기계 체결구의 어레이가 채용될 수 있다. 다양한 실시예에서, 부정조작-방지 기계 체결구는 커버 및 컨테이너와 나사 결합가능하다. 부정조작-방지 기계 체결구는 다양한 실시예에서 부정조작-방지 기계 체결구가 컨테이너 및 커버를 밀봉된 상태로 유지하는 데 효과적인 형태를 가질 수 있다.
다양한 실시예에서, 부정조작-방지 수용 패키지는 적어도 하나의 부정조작-방지 기계 체결구의 각각이 밀봉 브래킷과 결합하고 그에 따라 밀봉 브래킷이 컨테이너 및 커버 상에 압축을 부여하여 컨테이너 및 커버를 밀봉된 상태로 밀봉하고 그에 따라 패키지의 포위된 체적부가 수용 패키지의 주변 환경으로부터 격리되도록 구성될 수 있다.
따라서, 다양한 실시예에서, 부정조작-방지 기계 체결구는 컨테이너 및 커버를 포함하는 패키지에 대한 부정조작-방지 특성을 부여하는 역할을 하고, 그리고 또한 컨테이너 및 커버를 밀봉하거나, 밀봉하는 것을 돕는 데 효과적이고, 그에 따라 그것들이 밀봉된 상태에 있고 그에 따라 패키지의 주변 환경으로부터 패키지의 포위된 체적부를 격리하는 역할을 하는, 이중 목적의 역할을 할 수 있다.
본 개시내용의 패키지에 이용되는 부정조작-방지 기계 체결구는 예컨대, 패키지에 화학 시약이 로딩되어 밀봉된 후에, 그리고 패키지의 리로딩, 리컨디셔닝, 또는 다른 최종적인 배치 전에, 결합된 커버 및 컨테이너 조립체로부터의 커버의 부정조작 제거에 의한 것을 제외하면 커버가 컨테이너로부터 분리되는 것을 방지하는 데 효과적이도록 구성된다.
다양한 실시예에서, 본 개시내용은 컨테이너; 커버로서, 컨테이너의 일부와 결합하여 컨테이너 및 커버가 포위된 체적부를 형성하도록 구성되는, 커버; 및 커버와 결합하는 컨테이너의 부분과 커버를 상호연결하도록 구성되는 기계 체결구의 어레이를 포함하고, 그러한 어레이는, 결합된 컨테이너 및 커버를 집합적으로 밀봉하는 밀봉 기계 체결구를 포함하는, 상기 기계 체결구의 제1 서브-어레이; 및 커버와 결합하는 컨테이너의 부분과 커버를 상호연결하지만, (i) 결합된 컨테이너 및 커버를, 상기 기계 체결구의 제1 서브-어레이의 부재 시에 집합적으로, 밀봉하지 않고, (ii) 결합된 컨테이너 및 커버로부터의 그 부정조작 제거에 의한 것을 제외하면 커버가 컨테이너로부터 분리되는 것을 그 부정조작-방지 특성에 의해 방지하는 부정조작-방지 기계 체결구를 포함하는, 상기 기계 체결구의 제2 서브-어레이를 포함하는, 부정조작-방지 수용 패키지에 관한 것이다.
다른 실시예에서, 본 개시내용은 컨테이너; 커버로서, 화학 시약 컨테이너의 일부와 결합하여 컨테이너 및 커버가 포위된 체적부를 형성하도록 구성되는, 커버; 결합된 컨테이너 및 커버 중간의 적어도 하나의 밀봉 요소; 및 커버와 결합하는 컨테이너의 부분과 커버를 상호연결하도록 구성되는 기계 체결구의 어레이를 포함하고, 그러한 어레이는, 결합된 컨테이너 및 커버를 적어도 하나의 밀봉 요소와 함께 집합적으로 누출-방지 밀봉하는 밀봉 기계 체결구를 포함하는, 기계 체결구의 제1 서브-어레이; 및 커버와 결합하는 컨테이너의 부분과 커버를 상호연결하지만, (i) 결합된 컨테이너 및 커버를, 기계 체결구의 제1 서브-어레이의 부재 시에 집합적으로, 누출-방지 밀봉하지 않고, (ii) 결합된 컨테이너 및 커버로부터의 그 부정조작 제거에 의한 것을 제외하면 커버가 컨테이너로부터 분리되는 것을 그 부정조작-방지 특성에 의해 방지하는 부정조작-방지 기계 체결구를 포함하는, 상기 기계 체결구의 제2 서브-어레이를 포함하는, 부정조작-방지 패키지에 관한 것이다.
위에서-설명된 부정조작-방지 수용 패키지의 다양한 실시예에서, 기계 체결구의 제2 서브-어레이는 (i) 상기 기계 체결구의 제1 서브-어레이의 밀봉 기계 체결구보다 작은 크기를 갖는 특징; (ii) 밀봉 기계 체결구의 제거에 적합한 기계 체결구 공구에 의해 제거불가능한 특징; (iii) 기계 체결구의 제1 서브-어레이의 밀봉 기계 체결구가 돌출하는 표면 아래로 커버 내에 카운터싱킹되는 특징; 및 (iv) 기계 체결구의 제1 서브-어레이의 밀봉 기계 체결구의 로크 토크의 10 내지 60%인 로크 토크에 의해 특징지어지는 특징 중 적어도 하나를 갖는 부정조작-방지 기계 체결구를 포함할 수 있다.
위에서 설명된 부정조작-방지 수용 패키지는 다양한 실시예에서 기계 체결구의 제1 서브-어레이의 밀봉 기계 체결구가 결합된 컨테이너 및 커버를 누출-방지 밀봉하고, 기계 체결구의 제2 서브-어레이의 기계 체결구가 결합된 컨테이너 및 커버를, 기계 체결구의 제1 서브-어레이의 부재 시에 집합적으로, 누출-방지 밀봉하지 않도록 구성될 수 있다.
위에서 설명된 부정조작-방지 수용 패키지는 특정 실시예에서 결합된 컨테이너 및 커버 중간의 적어도 하나의 밀봉 요소, 예컨대, 개스킷, 예컨대, 금속 개스킷, 탄성중합체 재료의 원형 링, 또는 다른 밀봉 요소 또는 요소들을 더 포함할 수 있다.
부정조작-방지 수용 패키지는 다양한 실시예에서 커버와 결합하는 컨테이너의 부분이 커버의 주연 부분을 위한 결합 표면을 제공하는 외향 연장 플랜지를 포함하도록 구성될 수 있다.
본 개시내용의 부정조작-방지 수용 패키지는 임의의 적절한 구조 재료 또는 재료들로 형성될 수 있다. 예를 들어, 컨테이너 및 커버는 금속으로 형성될 수 있고, 여기서 컨테이너 및 커버는 동일한 금속으로, 또는 대안으로서 상이한 금속으로 형성된다. 다양한 실시예에서, 컨테이너 및 커버는 스테인리스강으로 형성된다.
부정조작-방지 수용 패키지의 사용에서, 화학 시약 원료 재료의 하나 이상의 상이 패키지의 포위된 체적부 내에 수용될 수 있다. 다양한 실시예에서, 화학 시약 원료 재료는 포위된 체적부 내에서 고체 재료의 증기를 발생시키는 증기압을 갖는 고체 재료와 같은, 포위된 체적부 내에 수용되는 고체 재료를 포함할 수 있다. 다른 실시예에서, 원료 재료는 상당한 증기압을 갖는 액체를 포함할 수 있고, 그에 따라 화학 시약의 액체 및 증기가 패키지 내에 존재한다.
일부 실시예에서, 패키지는 증발기 패키지로서 사용하도록 구성 및 배열될 수 있고, 여기서 컨테이너는 가열되어 열에너지를 포위된 체적부 내에 수용되는 고체 화학 시약 재료로 전달하도록 구성된다. 그러한 실시예에서, 부정조작-방지 수용 패키지는 열에너지를 패키지의 포위된 체적부 내의 고체 재료로 전달하는 데 적합한 히터와 조합하여 제공될 수 있고, 그에 따라 고체 화학 시약은 컨테이너의 가열에 의해 휘발될 수 있고, 그에 따라 증기가 발생되어 패키지로부터 분배된다.
일반적으로, 부정조작-방지 수용 패키지는 반도체 제품, 평판 디스플레이, 또는 태양광 패널의 제조를 위한 화학 시약과 같은, 임의의 적절한 화학 시약 재료를 포위된 체적부 내에 수용할 수 있다. 패키지 내의 고체 화학 시약은 임의의 적절한 형태, 예컨대, 입자상, 과립형, 분말, 또는 다른 불연속적인 형태; 대안으로서 블록, 벽돌, 또는 불(boule) 형태와 같은 일체형의 형태; 또는 대안으로서 크러스트형 층이 입자상 형태를 갖는 고체 화학 시약 위에 놓이는 고체 화학 시약의 융합된 크러스트를 포함하는, 크러스트형 층 형태를 가질 수 있다.
부정조작-방지 수용 패키지는 다양한 실시예에서 내부 체적부 내의 적어도 하나의 지지 구조체를 포함하고, 그에 따라 그 상으로의 고체 화학 시약의 보유를 위한 지지 표면을 제공한다. 지지 구조체는 임의의 적절한 타입을 가질 수 있다. 예를 들어, 부정조작-방지 수용 패키지 내의 지지 구조체는 포위된 체적부 내에 장착되는 적어도 하나의 트레이를 포함할 수 있다. 다양한 실시예에서, 지지 구조체는 예를 들어 본 명세서의 도 1에 도시된 것과 같은 타입의 트레이의 어레이와 같은, 포위된 체적부 내의 트레이의 어레이를 포함할 수 있다.
다양한 실시예에서, 부정조작-방지 수용 패키지는 기계 체결구의 제2 서브-어레이가 기계 체결구의 제1 서브-어레이의 밀봉 기계 체결구보다 작은 크기를 갖는 부정조작-방지 기계 체결구를 포함하도록 제조될 수 있다. 다른 실시예에서, 기계 체결구의 제2 서브-어레이는 밀봉 기계 체결구의 제거에 적합한 기계 체결구 공구에 의해 제거불가능한 부정조작-방지 기계 체결구를 포함한다. 또 다른 실시예에서, 기계 체결구의 제2 서브-어레이는 상기 기계 체결구의 제1 서브-어레이의 밀봉 기계 체결구가 돌출하는 표면 아래의 커버 내에 카운터싱킹되는 부정조작-방지 기계 체결구를 포함한다. 또 다른 실시예에서, 상기 기계 체결구의 제2 서브-어레이는 상기 기계 체결구의 제1 서브-어레이의 밀봉 기계 체결구의 로크 토크의 10 내지 60%인 로크 토크에 의해 특징지어지는 부정조작-방지 기계 체결구를 포함한다. 추가적인 다른 실시예에서, 부정조작-방지 기계 체결구의 그러한 선행의 특징 중 임의의 것이 그러한 특징 중 임의의 2개 이상의 다양한 조합으로 채용되어 부정조작-방지 패키지를 제공할 수 있고 그에 따라 요구된 부정조작-방지 특성을 제공한다.
특정 실시예에서, 부정조작-방지 패키지는 컨테이너; 커버로서, 화학 시약 컨테이너의 일부와 결합하여 컨테이너 및 커버가 포위된 체적부를 형성하도록 구성되는, 커버; 결합된 컨테이너 및 커버 중간의 적어도 하나의 밀봉 요소; 및 커버와 결합하는 컨테이너의 부분과 커버를 상호연결하도록 구성되는 기계 체결구의 어레이를 포함할 수 있고, 그러한 어레이는, 결합된 컨테이너 및 커버를 적어도 하나의 밀봉 요소와 함께 집합적으로 누출-방지 밀봉하는 밀봉 기계 체결구를 포함하는, 기계 체결구의 제1 서브-어레이; 및 커버와 결합하는 컨테이너의 부분과 커버를 상호연결하지만, (i) 결합된 컨테이너 및 커버를, 기계 체결구의 제1 서브-어레이의 부재 시에 집합적으로, 누출-방지 밀봉하지 않고, (ii) 결합된 컨테이너 및 커버로부터의 그 부정조작 제거에 의한 것을 제외하면 커버가 컨테이너로부터 분리되는 것을 그 부정조작-방지 특성에 의해 방지하는 부정조작-방지 기계 체결구를 포함하는, 상기 기계 체결구의 제2 서브-어레이를 포함하는, 부정조작-방지 패키지에 관한 것이다.
그러한 특정 실시예는 커버가 대체로 평면형의 외부 표면을 갖고, 부정조작-방지 기계 체결구가 그러한 표면 내에 카운터-싱킹되어 그 부정조작-방지성을 향상시키도록 구성될 수 있다. 대안으로서, 또는 추가로, 부정조작-방지 기계 체결구는 밀봉 기계 체결구의 로크 토크의 10% 내지 60%인 로크 토크를 가질 수 있다. 패키지는 이전에 설명된 그러한 실시예 중 임의의 것에서 커버와 결합하는 컨테이너의 부분이 커버의 주연 부분을 위한 결합 표면을 제공하는 외향 연장 플랜지를 포함하도록 제조될 수 있다.
본 개시내용은 또 다른 양태에서 본 명세서에 다양하게 설명된 것과 같은, 본 개시내용에 따른 부정조작-방지 패키지, 및 커버 및 컨테이너로부터 부정조작-방지 기계 체결구를 정당조작으로 제거하도록 특별하게 구성되고, 커버 및 컨테이너로부터 밀봉 기계 체결구를 제거하는 데 비효과적인 부정조작-방지 기계 체결구 제거 공구를 포함하는, 키트에 관한 것이다.
도면을 이제부터 참조하면, 도 1(종래 기술)은 본 개시내용의 부정조작-방지 특징부가 유용하게 적용될 수 있는 타입의 화학 시약 패키지의 사시도이다.
후속의 설명이 고체 화학 시약 증발기 패키지를 대상으로 하지만, 그러한 특정 패키지는 단지 예시적인 성격을 갖는다는 것이 이해될 것이고, 여기서 본 개시내용의 부정조작-방지 특징부는 일반적으로 커버가 기계 체결구에 의해 접합되는 컨테이너를 포함하는 패키지에 적용될 수 있고 그에 따라 컨테이너 및 커버에 의해 포위되어 화학 시약 재료를 수용하는 내부 체적부가 형성되고 그에 따라 그것들은 그러한 패키지의 외부 환경으로부터 격리되고 그에 따라 그러한 화학 시약 재료는 패키지 내로의 그 수용과 관련하여 위험성의 증가를 유발하지 않는다.
본 개시내용은 그에 따라 예시적인 고체 화학 시약 증발기 패키지를 참조하여 설명될 것이고, 여기서 휘발성 고체 화학 시약이 열에너지를 컨테이너로 가함으로써 가열되어 그것이 컨테이너에 의해 고체 화학 시약으로 전달될 수 있고 그에 따라 시약이 휘발되어 대응 화학 시약 증기가 형성되고, 형성된 시약 증기는 반도체 제조 설비와 같은, 증기-이용 설비, 또는 평판 디스플레이, 태양광 패널, 또는 화학 시약 증기가 제조 공정에 이용되는 다른 적합한 제품을 제조하는 설비로 분배된다.
그러한 타입의 증발기 패키지가 도 1에 도시된다. 증발기 패키지(10)는 예를 들어 은, 은 합금, 구리, 구리 합금, 알루미늄, 알루미늄 합금, 납, 니켈 클래드, 스테인리스강, 그래파이트, 실리콘 카바이드 코팅된 그래파이트, 붕소 질화물, 세라믹 재료 등, 또는 그러한 타입의 구조 재료 중 2개 이상의 적절한 조합, 혼합물 및 합금 중 임의의 것과 같은, 적절한 열-전도성 재료로 제조되는, 컨테이너(12)를 포함한다.
컨테이너는 컨테이너의 내부 체적부를 함께 형성하는 바닥부(14) 및 외접 측벽(16)을 포함한다. 컨테이너는 그 내부 체적부를 통한 캐리어 가스의 균등한 유동을 용이하게 하는 임의의 형상을 가질 수 있다. 다양한 실시예에서, 컨테이너는 매우 근접한 허용오차(예컨대, 1 인치의 1/1000 내지 3/1000의 범위 내에 있음)까지 기계가공되는 원통형 형상을 가질 수 있다.
컨테이너는 밸브가 개방될 때에, 캐리어 가스를 컨테이너의 내부 체적부 내로 선택적으로 유입시키도록 배열되는 캐리어 가스 입구 밸브(20)가 장착되는 커버(18)를 포함한다.
컨테이너의 내부 체적부 내에는 복수의 수직으로 적층된 트레이(22)가 위치된다. 적층된 트레이는 서로로부터 분리가능하고 컨테이너로부터 제거가능하고 그에 따라 세척 및 재충전이 용이하다. 컨테이너 내에는 입구 밸브(20)와 관련되는 커버 내의 가스 입구에 연결(예컨대, 용접)되어 캐리어 가스를 수직으로 적층된 트레이의 어레이 내의 최하부 트레이 아래의 내부 체적부의 저부까지 운반하는 내부 캐리어 가스 다운튜브(23)가 위치된다. 도 1에서, 다운튜브(23)는 트레이의 바닥부(24)를 통해 연장하는 각각의 트레이의 원통형 칼라(27)를 통과한다. 트레이의 바닥부(24)와 다운튜브의 접합부에서의 누출-없는 밀봉을 보증하기 위해, 특히 원료 재료가 액체이면, 밀봉 O-링(38)이 연속적인 트레이들 사이에 위치될 수 있다는 것이 이해될 것이다. 추가적인 외부 O-링이 또한 각각의 트레이 측벽의 상부 표면 상의 트레이들 사이를 밀봉하는 데 채용될 수 있다.
화학 원료 시약이 고체 형태를 가질 때에, 다양한 구조 요소가 캐리어 가스 유동 내로의 고체의 비말동반을 억제 또는 최소화하는 데 채용될 수 있다. 그러한 비말동반-방지 특징부는 임의의 적절한 타입을 가질 수 있고, 예를 들어 프릿 요소(frit element) 그리고 또한 프릿 이외의 입자 억제 특징부 또는 디바이스를 포함할 수 있다. 프릿 이외의 입자 억제 특징부는 다양한 실시예에서 사행형 유동 경로, 상향유동 고체 분리 구조체, 입자 응집 또는 수집 기능의 역할을 하는 접선방향 가스 유동 사이드 스트림 등을 포함한다. 특정 예로서, 예컨대, 1 내지 100 ㎛의 범위 내의 공극 크기를 갖는 고순도 스테인리스강 프릿, 및 프릿 이외의 적어도 하나의 입자 억제 특징부가 임의의 적절한 위치에 추가되어 캐리어 가스 유속을 제어할 수 있다. 프릿이 예를 들어 트레이와 관련되는 각각의 관통-튜브(30)의 '입구'에 설치될 수 있거나, 큰 디스크 프릿이 상부 트레이에 추가되어 컨테이너 상으로의 리드(lid)의 설치로부터의 압력에 의해 그 내에 밀봉될 수 있거나, 그렇지 않으면 출구 가스 유동 경로 내에 배치될 수 있다.
도 1에 도시된 바와 같이, 각각의 트레이 내에서의 관통-튜브의 위치설정은 인접 트레이 내의 관통-튜브의 위치로부터 약간 오프셋되고, 그에 의해 캐리어 가스가 증발된 원료 재료와 캐리어 가스의 접촉을 위해 트레이 내에서 강제로 순환하게 한 후에야 생성된 가스 혼합물이 관통-튜브를 통해 다음의-인접 트레이 영역 내로 운반된다. 그러한 구성에 의해, 원료 시약 재료와 캐리어 가스의 다단계의 접촉은 캐리어 가스가 상당히 효율적인 방식으로 포화되게 한다.
증발기 패키지(10)의 크기는 CVD 장치 또는 이온 주입 시스템과 같은, 하류의 유체-이용 설비에 공급될 증기의 양에 따라 폭넓게 변화될 수 있다. 일 실시예에서, 증발기는 약 3 내지 6 인치 범위 내의, 예컨대, 약 3.75 인치의 내경을 갖는 원통형 형태를 갖는다. 증발기 컨테이너의 내부 체적부 내의 트레이의 개수는 증발기 패키지의 크기에 의해 결정될 것이다. 다양한 실시예에서, 3개 내지 5개의 트레이가 증발기 컨테이너 내에 포위된다.
다수의 트레이를 수용하는 증발기는 가열될 수 있고, 증발될 특정 원료 재료에 적절한 요구된 온도, 증발기로부터 하류의 유체-이용 설비로 전달되는 캐리어 가스 혼합물 내의 원료 시약의 요구된 농도, 및 원료 시약 증발 작업에 채용되는 특정 세트의 작업 조건에서 유지될 수 있다.
증발기 컨테이너의 가열은 임의의 적절한 방식으로 수행될 수 있다. 일 실시예에서, 리본 히터가 증발기 주위에 권취된다. 또 다른 실시예에서, 증발기의 외부 표면의 적어도 주요 부분을 덮는 형상을 갖는 블록 히터가 증발기 컨테이너를 가열하는 데 채용된다. 또 다른 실시예에서, 상승된 온도의 열전달 유체가 증발기 컨테이너의 외부 표면과 접촉되어 그 가열을 수행할 수 있다. 추가적인 실시예는 증발기 컨테이너 상에 부딪치는 적외선 또는 다른 복사 에너지에 의한 가열을 포함한다.
본 개시내용은 추가적인 실시예에서 컨테이너 내에서의 고온 가스의 순환에 의한 원료 시약의 가열을 고려하여 고체 원료 시약의 대류 가열을 수행한다.
증발기 컨테이너의 가열 방법은 증발기가 그에 의해 요구된 온도 수준까지 변화되어 정확하고 신뢰가능한 방식으로 그러한 온도 수준에서 유지되기만 하면 특별히 제한되지 않는다.
열적으로 균질한 방식으로 증발기 컨테이너를 가열하여 컨테이너의 내부 체적부에서의 온도 편차가 최소화되는 것이 바람직하다. 트레이가 벽과 직접적으로 열 접촉하는, 특정 실시예에서, 벽으로부터의 열전도를 거친 그러한 트레이의 가열은 트레이 상의 원료 시약을 증발시키는 편리하고 효과적인 방식을 제공한다.
일부 적용분야에서 증발기 컨테이너의 내부 체적부 내의 추가된 표면적 구조를 이용하여 원료 시약 재료의 증발을 위한 그것의 가열의 정도 및 속도를 향상시키는 것이 바람직할 수 있다.
원료 재료의 고효율 증발을 성취하는 또 다른 수단으로서, 캐리어 가스는 증발기 컨테이너의 내부 체적부로의 그 유입 전에 가열되어 화학 시약의 가열 및 증발을 도울 수 있다. 예를 들어, 캐리어 가스를 입구 밸브(20)에 공급하는 유동 라인 은 열-추적되거나, 그렇지 않으면 가열되어 요구된 온도 수준에서 증발기 컨테이너로의 캐리어 가스의 전달을 수행할 수 있다.
승화성 고체 원료 화학 시약으로부터의 증기 전달을 위한 특정 구성에서, 증발기 패키지는 가열 표면적을 증가시키는 복수의 가열 관통-튜브를 포함하는 일련의 가열 트레이를 이용하고, 그에 의해 고체 원료 화학 시약 재료의 승화가 증가된 열 분포의 결과로서 상당히 효율적인 방식으로 성취될 수 있게 한다.
본 개시내용에 따른 증발기 패키지의 사용에서, 원료 시약 재료는 커버를 용기에 고정하기 전에(커버(18)가 볼트 기계 체결구에 의해 용기에 고정되는, 도 1 참조), 증발기 컨테이너 내로 유입되거나, 트레이 내에 수용되거나, 그렇지 않으면 증발기 컨테이너의 내부 체적부 내에 배치될 수 있다. 원료 시약 재료는 고체 형태, 액체 형태, 반고체 형태, 또는 적절한 용매 매체 내에 용해 또는 분산되는 원료 시약 재료를 함유하는 용액을 포함하는, 임의의 적절한 형태를 가질 수 있다.
일 실시예에서, 원료 시약 재료는 적절한 두께의 필름 또는 코팅으로서 트레이의 표면 그리고 트레이 공동 내의 관통-튜브의 표면 상에 코팅되는, 퇴적물의 형태로 제공된다. 그러한 필름 또는 코팅은 원료 시약을 가열함으로써 그것을 용융시키고, 용융된 원료 시약 재료를 트레이 및 관통-튜브의 표면에 가하고, 이어서 가해진 재료를 냉각시키는 방법을 포함하는, 다양한 적절한 방법 중 임의의 것에 의해 형성될 수 있다.
원료 화학 시약이 금속 착물을 포함하는 또 다른 실시예에서, 금속 착물이 용매 내에 용해될 수 있고, 생성된 용액이 트레이 및 관통-튜브의 표면에 가해지고, 이어서 용매가 감압 하에서 가해진 재료로부터 제거된다.
증발기 패키지는 그에 따라 증발기 컨테이너의 내부 체적부 내의 중심 다운튜브 상에 장착되는 복수의 수직으로 적층된 트레이를 포함할 수 있다. 원료 화학 시약 재료는 미리결정된 양의 원료 화학 시약, 예컨대, 계량된 양의 입자상 고체로의 트레이의 충전에 의해, 용기의 내부 체적부 내로 로딩될 수 있다. 증발기 용기 내로의 원료 시약의 그러한 로딩 후에, 패키지의 커버(18)는 용기의 상부에 위치되고, 예들 들어 폴리테트라플루오로에틸렌 또는 탄성중합체로 제조되는 O-링 요소에 의해, 그리고 볼트 체결구와 같은 기계 체결구에 의해 그것에 밀봉된다.
증발기 패키지의 조립, 그리고 패키지 컨테이너의 포위된 체적부로의 캐리어 가스의 전달, 및 원료 화학 시약 증기를 함유하는 캐리어 가스 혼합물의 용기로부터의 배출을 위한 공정 라인과 증발기 패키지의 커플링 후에, 증발기 히터가 작동되어 증발기 컨테이너의 가열을 수행한다. 가열은 증발기 및 접촉 트레이 내의 내부 온도가 원료 화학 시약 재료를 증발시키기에 충분한 온도까지 상승되도록 수행된다.
도 2는 본 개시내용의 부정조작-방지 특징부가 적용된 화학 시약 패키지(50)의 사시도이다.
도시된 것과 같은 화학 시약 패키지(50)는 컨테이너(52)를 포함하고, 컨테이너(52)는 그 상부 단부에서 외향 및 원주방향 연장 플랜지(54)를 갖는다. 플랜지는 도시된 바와 같이 평탄형 상부 표면(60)을 갖는 커버(56)와 맞물려 결합한다. 커버에는 패키지의 입구 통로 부재와 관련되는 입구 밸브, 및 출구 통로 부재와 관련되는 출구 밸브를 포함하는, 밸브 어레이(64)가 커플링된다.
도 2의 패키지의 커버(56)는 기계 체결구의 어레이에 의해 컨테이너(52)의 상부 부분의 플랜지(54)와 상호연결된다. 기계 체결구의 어레이는 결합된 컨테이너 및 커버를 집합적으로 밀봉하는 밀봉 기계 체결구(58)를 포함하는, 기계 체결구의 제1 서브-어레이, 및 커버와 결합하는 컨테이너의 부분과 커버를 상호연결하지만, (i) 결합된 컨테이너 및 커버를, 기계 체결구의 제1 서브-어레이의 부재 시에 집합적으로, 밀봉하지 않고, (ii) 결합된 컨테이너 및 커버로부터의 그 부정조작 제거에 의한 것을 제외하면 커버가 컨테이너로부터 분리되는 것을 그 부정조작-방지 특성에 의해 방지하는 부정조작-방지 기계 체결구(72)를 포함하는, 기계 체결구의 제2 서브-어레이를 포함한다.
도 3은 기계 체결구의 제1 서브-어레이 내의 밀봉 기계 체결구(58), 및 기계 체결구의 제2 서브-어레이의 부정조작-방지 기계 체결구(72)의 세부를 도시하는, 도 2의 화학 시약 패키지의 부분 확대 사시도이다.
따라서, 도 2 및 도 3의 패키지는 패키지의 사용자가 컨테이너로부터 커버를 완전히 제거하는 것을 방지하는 것이 그 유일한 목적인, 패키지의 비밀봉 특징부로서의 부정조작-방지 볼트를 포함한다. 부정조작-방지 볼트는 특별한 키에 의해서만 정당조작으로 제거될 수 있는 특별한 볼트이다. 그러한 특별한 키는 판매 시에 패키지 구매자에게 패키지와 함께 제공되어 패키지 내용물에 대한 노출로 인한 부상 또는 손상의 위험성을 수반하지 않는 상황에서만 사용될 수 있다. 도 3에 도시된 바와 같이, 부정조작-방지 볼트는 패키지 커버의 표면 아래로 약간 함몰되어 플라이어 또는 바이스 그립과 같은 공구가 그러한 부정조작-방지 볼트를 제거하는 데 사용되는 것을 방지하는 평탄형 헤드 특성을 가질 수 있다.
도 4는 본 개시내용의 또 다른 실시예에 따른, 본 개시내용의 부정조작-방지 특징부가 적용된 화학 시약 패키지(80)의 사시도이다.
도시된 것과 같은 화학 시약 패키지(80)는 컨테이너(82)를 포함하고, 컨테이너(82)는 그 상부 단부에서 외향 및 원주방향 연장 플랜지(84)를 갖는다. 플랜지는 도시된 바와 같이 평탄형 상부 표면(88)을 갖는 커버(86)와 맞물려 결합한다. 커버에는 패키지의 입구 통로 부재와 관련되는 입구 밸브, 및 출구 통로 부재와 관련되는 출구 밸브를 포함하는, 밸브 어레이(92)가 커플링된다.
도 4 패키지의 커버(86)는 기계 체결구의 어레이에 의해 컨테이너(82)의 상부 부분의 플랜지(84)와 상호연결된다. 기계 체결구의 어레이는 결합된 컨테이너 및 커버를 집합적으로 밀봉하는 밀봉 기계 체결구(90)를 포함하는, 기계 체결구의 제1 서브-어레이, 및 커버와 결합하는 컨테이너의 부분과 커버를 상호연결하지만, (i) 결합된 컨테이너 및 커버를, 기계 체결구의 제1 서브-어레이의 부재 시에 집합적으로, 밀봉하지 않고, (ii) 결합된 컨테이너 및 커버로부터의 그 부정조작 제거에 의한 것을 제외하면 커버가 컨테이너로부터 분리되는 것을 그 부정조작-방지 특성에 의해 방지하는 부정조작-방지 기계 체결구(98)를 포함하는, 기계 체결구의 제2 서브-어레이를 포함한다. 단지 3개의 부정조작-방지 체결구(98)가 도 4의 사시도에서 관찰가능하지만, 제4 부정조작-방지 체결구가 패키지의 커버(86) 상에 배치되는 밸브 클러스터(92) 뒤에 위치된다는 것이 이해될 것이다. 부정조작-방지 기계 체결구의 개수는 특정 패키지의 구조 및 요건에 따라 변화될 수 있고, 기계 체결구의 제2 서브-어레이가 2개, 3개, 4개, 5개, 6개, 또는 그 이상의 부정조작-방지 기계 체결구를 포함하는 패키지를 포함하는, 특정 패키지 적용분야에서, 임의의 적절한 개수가 채용될 수 있다는 것이 추가로 이해될 것이다.
도 5는 기계 체결구의 제1 서브-어레이 내의 밀봉 기계 체결구(90), 및 기계 체결구의 제2 서브-어레이의 부정조작-방지 기계 체결구(98)의 세부를 도시하는, 도 2의 화학 시약 패키지의 부분 확대 사시도이다.
도 6은 부정조작-방지 밀봉 부재를 포함하는, 본 개시내용의 또 다른 실시예에 따른, 화학 시약 패키지(110)의 사시도이다.
부정조작-방지 패키지(110)는 화학 시약을 보유하는 포위된 내부 체적부를 한정하는 외접 원통형 벽(114) 및 바닥부(도 6에서 관찰가능하지 않음)를 갖는 컨테이너(112)를 포함하고, 컨테이너의 주변 환경에 대한 화학 시약의 노출은 건강 및/또는 안전성 문제, 및/또는 화학 시약에 대한 손상, 예컨대, 화학 시약의 공기-매개 분해를 야기할 것이다.
컨테이너(112)는 패키지의 커버(124)의 외주연 부분(126)에 의해 맞물려 결합되는 상부, 반경방향 외향 연장 플랜지(116)를 포함한다. 커버(124) 상에는 캐리어 가스가 컨테이너의 내부 체적부 내로 유입되어 그 내에서 화학 시약의 증기와 접촉할 수 있게 하는, 입구 하위조립체(120), 및 출구 하위조립체(140)를 포함하는, 입구/출구 조립체(118)가 장착된다. 그러한 화학 시약은 컨테이너(112)의 가열(가열 구성요소가 도 6에 도시되지 않음)에 의해 휘발되는 고체 화학 시약일 수 있다. 화학 시약의 증기와 캐리어 가스의 접촉은 캐리어 가스/화학 시약 증기 혼합물을 생성하고, 생성된 혼합물은 컨테이너로부터 유동에 의해 출구 하위조립체(140)를 통해 배출된다. 그러한 목적을 위해, 출구 하위조립체(140)는 적절한 유동 회로에 커플링되어 캐리어 가스/화학 시약 증기 혼합물을, 화학 시약 증기가 이용되는, 하류 공정으로 운반할 수 있다.
도 6은 중간 요크 섹션에 의해 접합되는 2개의 평행한 플랜지 섹션을 포함하는 형태를 도시된 바와 같이 갖는, 밀봉 브래킷(160)을 포함하고, 그에 따라 밀봉 브래킷이 대체로 C자-형상을 갖는, 예시적인 부정조작-방지 특징부를 포함한다. 밀봉 브래킷에는 내부에 나사산형 구멍(164)을 갖는 상부 플랜지, 및 내부에 나사산형 구멍(162)을 갖는 하부 플랜지가 형성된다. 이러한 실시예에서, 패키지의 커버(124)의 외주연 부분(126) 그리고 상부, 반경방향 외향 연장 플랜지(116)에는 개구(150)가 있는 커버(124)의 상부 표면에서 종료하는, 그것들을 관통하는 나사산형 통로(152)가 제공된다. 밀봉 브래킷(160)은 그에 따라 외주연 부분(126) 및 상부, 반경방향 외향 연장 플랜지(116) 위에 위치될 수 있고, 그에 따라 나사산형 구멍(162) 및 나사산형 구멍(164)은 나사산형 통로(152)와 정렬되고, 여기서 나사산형 구멍(164)은 개구(150) 위에 놓인다. 나사산형 기계 체결구(166)가 이어서 나사산형 구멍(164), 개구(150), 통로(152), 및 나사산형 구멍(162)과 나사 결합될 수 있고, 그에 따라 생성된 조립체는 컨테이너의 상부, 반경방향 외향 연장 플랜지(116)와 커버의 외주연 부분(126)의 압축 결합을 부여하여 그 사이의 밀봉을 수행한다. 그러한 압축 결합의 밀봉 작용을 돕기 위해, 개스킷, 밀봉 링 등이 커버의 외주연 부분(126)과 컨테이너의 상부, 반경방향 외향 연장 플랜지(116) 사이에 배치될 수 있다.
그러한 목적을 위한 나사산형 기계 체결구(166)에는 나사산형 구멍(164), 개구(150), 통로(152), 및 나사산형 구멍(162)을 통한 나사산형 기계 체결구의 회전 구동을 위한 특별한 공구를 요구하는 부정조작-방지 헤드가 제공된다. 도 6의 실시예가 단지 단일의 부정조작-방지 특징부, 즉, 나사 결합가능한 C자형 클램프 조립체를 채용하는 것으로서 도시되지만, 다른 실시예에서, 다수의 그러한 클램프 조립체가 플랜지 및 커버 구성요소의 주연부를 따라 제공될 수 있고, 그에 따라 컨테이너 및 커버는 부정조작-방지 클램프 조립체로 충분하게 원주방향으로 고정된다는 것이 이해될 것이다.
도시된 것과 같은 커버 및 컨테이너 플랜지를 통한 통로(152)와의 나사 결합 대신에, 밀봉 브래킷은 그것이 그 주연 영역에서 커버 및 컨테이너 플랜지와 결합하고, 여기서 밀봉 브래킷의 각각의 플랜지 내의 나사산형 개구(162, 164)가 플랜지(116) 그리고 커버의 외주연 부분(126)의 모서리로부터 반경방향으로 변위되고, 그에 따라 나사산형 기계 체결구(166) 그 자체가 플랜지(116) 또는 커버의 외주연 부분(126)과 접촉하지 않도록 구성될 수 있다는 것이 또한 이해될 것이다.
결합된 플랜지(116) 그리고 커버의 외주연 부분(126) 위에 압입되는 단일-피스 부재인 밀봉 브래킷(160) 대신에, 밀봉 브래킷은 서로와 수직으로 활주가능하게 결합가능한 각각의 상부 및 하부 부분으로 형성될 수 있고, 그에 따라 나사산형 기계 체결구는 밀봉 브래킷의 수직으로 활주가능하게 결합된 상부 및 하부를 서로를 향해 견인하고 그에 의해 커버 및 컨테이너 플랜지에 대한 압축 작용의 증가를 부여하여, 부정조작-방지 특징부를 형성하는 것과 동시에, 밀봉 작용을 수행하는 데 효과적이라는 것이 추가로 이해될 것이다. 그러한 2-피스 밀봉 브래킷은 플랜지 및 커버의 주연 부분 내의 개구와 결합하는 기계 체결구와 함께 사용될 수 있고, 또는 대안으로서 2-피스 밀봉 브래킷은 나사산형 기계 체결구가 커버 및 컨테이너 플랜지의 수직 외부 모서리 표면으로부터 외향으로 반경방향으로 변위되도록 배열될 수 있다.
다른 형태의 밀봉 조립체가 채용될 수 있고, 그에 따라 밀봉 기능에 추가하여, 그것들이 배치되는 화학 시약 패키지에 대한 부정조작-방지성을 동시에 부여한다는 것이 또한 이해될 것이다.
마지막으로, 본 개시내용의 부정조작-방지 특징부는 부상 또는 사망의 위험성, 또는 패키지, 예컨대, 화학 시약 패키지의 주변 환경에 대한 손상을 수반할 수 있는 유독성 또는 그렇지 않으면 유해성 화학 시약의 경우에, 패키지의 내용물을 패키지의 외부 환경에 노출시킬 수 있는 우연한 또는 돌발적인 개방으로부터, 내용물을 보호하는 데 효과적으로 이용될 수 있다는 것이 위의 설명으로부터 이해될 것이다.
본 개시내용이 특정 양태, 특징 및 예시적인 실시예를 참조하여 본 명세서에 설명되었지만, 본 개시내용의 유용성은 그에 따라 제한되지 않고, 오히려 본 명세서의 설명에 기초하여, 본 개시내용의 기술분야의 통상의 기술자에게 제안하는 것과 같은, 많은 다른 변화, 변형 및 대안적인 실시예까지 확장되고 그것들을 포함한다는 것이 이해될 것이다. 대응하여, 이후에 청구되는 것과 같은 개시내용은 그 사상 및 범주 내에서, 모든 그러한 변화, 변형 및 대안적인 실시예를 포함하는 것으로서, 폭넓게 해석 및 이해되도록 의도된다.

Claims (18)

  1. 컨테이너;
    커버로서, 컨테이너의 일부와 결합하여 컨테이너 및 커버가 포위된 체적부를 형성하도록 구성되는, 커버; 및
    커버와 결합하는 컨테이너의 부분과 커버를 상호연결하도록 구성되는 기계 체결구의 어레이
    를 포함하고, 상기 어레이는,
    결합된 컨테이너 및 커버를 집합적으로 밀봉하는 밀봉 기계 체결구를 포함하는, 상기 기계 체결구의 제1 서브-어레이; 및
    커버와 결합하는 컨테이너의 부분과 커버를 상호연결하지만, (i) 결합된 컨테이너 및 커버를, 상기 기계 체결구의 제1 서브-어레이의 부재 시에 집합적으로, 밀봉하지 않고, (ii) 결합된 컨테이너 및 커버로부터의 그 부정조작 제거에 의한 것을 제외하면 커버가 컨테이너로부터 분리되는 것을 그 부정조작-방지 특성에 의해 방지하는 부정조작-방지 기계 체결구를 포함하는, 상기 기계 체결구의 제2 서브-어레이
    를 포함하는,
    부정조작-방지 수용 패키지.
  2. 제1항에 있어서, 상기 기계 체결구의 제2 서브-어레이는 (i) 상기 기계 체결구의 제1 서브-어레이의 밀봉 기계 체결구보다 작은 크기를 갖는 특징; (ii) 밀봉 기계 체결구의 제거에 적합한 기계 체결구 공구에 의해 제거불가능한 특징; (iii) 상기 기계 체결구의 제1 서브-어레이의 밀봉 기계 체결구가 돌출하는 표면 아래로 커버 내에 카운터싱킹되는 특징; 및 (iv) 상기 기계 체결구의 제1 서브-어레이의 밀봉 기계 체결구의 로크 토크의 10 내지 60%인 로크 토크에 의해 특징지어지는 특징 중 적어도 하나를 갖는 부정조작-방지 기계 체결구를 포함하는, 부정조작-방지 수용 패키지.
  3. 제2항에 있어서, 특징 (i)-(iv) 중 적어도 2개를 포함하는, 부정조작-방지 수용 패키지.
  4. 제1항에 있어서, 결합된 컨테이너 및 커버 중간의 적어도 하나의 밀봉 요소를 더 포함하는, 부정조작-방지 수용 패키지.
  5. 제4항에 있어서, 적어도 하나의 밀봉 요소는 개스킷을 포함하는, 부정조작-방지 수용 패키지.
  6. 제1항에 있어서, 컨테이너는 가열되어 열에너지를 포위된 체적부 내의 고체 재료로 전달하도록 구성되는, 부정조작-방지 수용 패키지.
  7. 제6항에 있어서, 열에너지를 포위된 체적부 내의 고체 재료로 전달하는 데 적합한 히터와 조합한, 부정조작-방지 수용 패키지.
  8. 제6항에 있어서, 적어도 하나의 지지 구조체는 포위된 체적부 내의 적어도 하나의 트레이를 포함하는, 부정조작-방지 수용 패키지.
  9. 제1항에 있어서, 상기 기계 체결구의 제2 서브-어레이는 밀봉 기계 체결구의 제거에 적합한 기계 체결구 공구에 의해 제거불가능한 부정조작-방지 기계 체결구를 포함하는, 부정조작-방지 수용 패키지.
  10. 제1항에 있어서, 상기 기계 체결구의 제2 서브-어레이는 상기 기계 체결구의 제1 서브-어레이의 밀봉 기계 체결구의 로크 토크의 10 내지 60%인 로크 토크에 의해 특징지어지는 부정조작-방지 기계 체결구를 포함하는, 부정조작-방지 수용 패키지.
  11. 컨테이너;
    커버로서, 컨테이너와 결합하여 컨테이너 및 커버가 포위된 체적부를 형성하도록 구성되는, 커버; 및
    컨테이너 및 커버가 밀봉된 상태로 결합될 때에 커버 및 컨테이너와 협력하여 수용 패키지를 부정조작-방지성으로 만들고 그에 따라 수용 패키지의 주변 환경으로부터 포위된 체적부를 격리하는 적어도 하나의 부정조작-방지 기계 체결구
    를 포함하는, 부정조작-방지 수용 패키지.
  12. 제11항에 있어서, 상기 부정조작-방지 기계 체결구의 어레이를 포함하는, 부정조작-방지 수용 패키지.
  13. 제11항에 있어서, 적어도 하나의 부정조작-방지 기계 체결구는 컨테이너 및 커버를 밀봉된 상태로 유지하는 데 효과적인, 부정조작-방지 수용 패키지.
  14. 제11항에 있어서, 적어도 하나의 부정조작-방지 기계 체결구의 각각은 밀봉 브래킷과 결합하고 그에 따라 밀봉 브래킷은 컨테이너 및 커버 상에 압축을 부여하여 컨테이너 및 커버를 상기 밀봉된 상태로 밀봉하고 그에 따라 주변 환경으로부터 포위된 체적부를 격리하는, 부정조작-방지 수용 패키지.
  15. 제11항에 있어서, 적어도 하나의 부정조작-방지 기계 체결구의 각각은 커버 및 컨테이너와 나사 결합가능한, 부정조작-방지 수용 패키지.
  16. 컨테이너;
    커버로서, 화학 시약 컨테이너의 일부와 결합하여 컨테이너 및 커버가 포위된 체적부를 형성하도록 구성되는, 커버;
    결합된 컨테이너 및 커버 중간의 적어도 하나의 밀봉 요소; 및
    커버와 결합하는 컨테이너의 부분과 커버를 상호연결하도록 구성되는 기계 체결구의 어레이
    를 포함하고, 상기 어레이는,
    결합된 컨테이너 및 커버를 적어도 하나의 밀봉 요소와 함께 집합적으로 누출-방지 밀봉하는 밀봉 기계 체결구를 포함하는, 상기 기계 체결구의 제1 서브-어레이; 및
    커버와 결합하는 컨테이너의 부분과 커버를 상호연결하지만, (i) 결합된 컨테이너 및 커버를, 상기 기계 체결구의 제1 서브-어레이의 부재 시에 집합적으로, 누출-방지 밀봉하지 않고, (ii) 결합된 컨테이너 및 커버로부터의 그 부정조작 제거에 의한 것을 제외하면 커버가 컨테이너로부터 분리되는 것을 그 부정조작-방지 특성에 의해 방지하는 부정조작-방지 기계 체결구를 포함하는, 상기 기계 체결구의 제2 서브-어레이
    를 포함하는,
    부정조작-방지 패키지.
  17. 제16항에 있어서, 부정조작-방지 기계 체결구는 밀봉 기계 체결구의 로크 토크의 10% 내지 60%인 로크 토크를 갖는, 부정조작-방지 패키지.
  18. 제16항에 있어서, 커버와 결합하는 컨테이너의 부분은 커버의 주연 부분을 위한 결합 표면을 제공하는 외향 연장 플랜지를 포함하는, 부정조작-방지 패키지.
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