KR20180127129A - 노광설비용 진공척 보수 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 진공척의 상면에 돌출 형성되는 엠보싱 그룹 중 일부 엠보싱의 마모로 인해 엠보싱 그룹 전체가 불균일한 평탄도를 나타내는 경우 마모된 부분을 코팅으로 보상하여 애초 엠보싱의 높이 수준으로 평탄도를 복원시키는 기술로서, 엠보싱 그룹 중 일부의 엠보싱이 마모로 낮아지면 그 낮아진 엠보싱을 포함하여 엠보싱 그룹 전체에 대해 박막층을 형성한 후 목적하는 높이까지 그 박막층이 형성된 엠보싱 그룹에 대해 연마 과정을 거침으로써 애초 엠보싱의 높이도 보상하고 엠보싱 그룹 전체의 평탄도도 복원시킬 수 있는 기술이다. 특히, 엠보싱 그룹에 대해 형성되는 박막층을 DLC 코팅막으로 구현함으로써, 이후 잦은 마찰로 인한 외력으로부터 엠보싱 그룹의 내마모성을 향상시키는 기술에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 엠보싱 그룹에 대해 형성되는 박막층을 DLC 코팅막으로 구현함으로써 진공척의 수명을 연장시키는 장점도 나타낸다.
Description
본 발명은 진공척의 상면에 돌출 형성되는 엠보싱 그룹 중 일부 엠보싱의 마모로 인해 엠보싱 그룹 전체가 불균일한 평탄도를 나타내는 경우 마모된 부분을 코팅으로 보상하여 애초 엠보싱의 높이 수준으로 평탄도를 복원시키는 기술에 관한 것이다.
더욱 상세하게는, 본 발명은 엠보싱 그룹 중 일부의 엠보싱이 마모로 낮아지면 그 낮아진 엠보싱을 포함하여 엠보싱 그룹 전체에 대해 박막층을 형성한 후 목적하는 높이까지 그 박막층이 형성된 엠보싱 그룹에 대해 연마 과정을 거침으로써 애초 엠보싱의 높이도 보상하고 엠보싱 그룹 전체의 평탄도도 복원시킬 수 있는 기술이다.
특히, 엠보싱 그룹에 대해 형성되는 박막층을 DLC 코팅막으로 구현함으로써, 이후 잦은 마찰로 인한 외력으로부터 엠보싱 그룹의 내마모성을 향상시키는 기술에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼의 공정 중에서 웨이퍼에 빛을 조사하여 목적하는 패턴을 형성하는 노광공정이 있다. 이를 위해, [도 1]에서와 같이 진공척(100)은 스테이지(10)에 안착된 상태에서 자신이 상면에 노광공정을 위한 웨이퍼(20)를 흡착하여 고정시킨다.
여기서, 웨이퍼(20)에 대한 노광공정을 정밀하게 수행하기 위해서는 웨이퍼(20)를 흡착하는 진공척(100)의 평탄도가 매우 중요하다. 상세하게, 웨이퍼(20)가 진공척(100)의 상면에서 들뜬 상태로 지지되도록 진공척(100)의 상면에는 다수의 엠보싱이 돌출되어 있다.
그리고, 그 엠보싱의 돌출 높이는 진공척의 종류에 따라 대략 0.2mm 내지 0.3mm 정도로 형성되며, 각 엠보싱 간의 높이 차이는 대략 500nm 이내를 유지하여야 한다.
즉, 스테이지(10) 자체는 정밀하게 진공척(100)의 수평을 유지한다고 할 때, 진공척(100)의 상면에 구비되는 다수의 엠보싱 간 높이 차이가 대략 500nm 이내를 유지해야 웨이퍼(20)의 정밀한 노광공정이 이루어질 수 있다.
다시 말해, 진공척(100)의 상면에 구비되는 엠보싱 그룹의 평탄도가 높아야만 웨이퍼(20)의 정밀한 노광공정이 가능해진다.
그런데, 노광공정을 위해 진공척(100)의 상면에 웨이퍼(20)를 무수히 오르내리는 동작을 하게 되면 엠보싱 그룹 중 불특정 섹션에서 마모가 발생하게 되는데, 이렇게 발생한 마모로 인해 엠보싱 그룹에 구비되는 다수의 엠보싱 간에 높이 차가 발생하게 된다.
이처럼, 엠보싱 그룹에서 부분적으로 높이 차가 발생하게 되면 웨이퍼(20)를 하방향으로 흡입하는 진공척(100)의 석션에 의해 웨이퍼(20)가 미세하게 휘어지는 현상이 발생하게 되고, 그 웨이퍼(20)의 휘어짐 때문에 결국 웨이퍼(20)의 노광공정에서도 불량이 발생할 수 밖에 없는 문제점이 있다.
이러한 경우 종래에는 노광공정의 불량률이 크지 않는 선까지 엠보싱 그룹의 불균일한 평탄도를 무시하거나 아예 엠보싱 그룹의 가장 낮아진 엠보싱의 높이로 연마한 진공척을 그냥 사용하는 방법을 택하였다.
그러나, 엠보싱 그룹의 불균일한 평탄도를 무시하는 경우에는 노광공정의 불량률을 피할 수 없게 되고, 엠보싱 그룹의 가장 낮아진 엠보싱의 높이로 연마한 진공척을 그냥 사용하는 경우에는 그 진공척의 수명을 단축시키는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기한 점을 감안하여 제안된 것으로, 본 발명의 목적은 엠보싱 그룹 중 일부 엠보싱의 마모된 부분을 코팅으로 보상하여 애초 엠보싱의 높이 수준으로 평탄도를 복원시키는 노광설비용 진공척 보수 방법을 제공함에 있다.
또한, 본 발명의 목적은 마모된 엠보싱 그룹에 대해 보상된 박막층이 잦은 마찰로 인한 외력으로부터 내마모성을 향상시킬 수 있는 노광설비용 진공척 보수 방법을 제공함에 있다.
상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 제 1 실시예에 따른 보수 방법은 노광설비용 웨이퍼의 일면을 흡착할 때 그 흡착된 웨이퍼의 일면을 지지하는 엠보싱이 일면에 다수 배치되어 원반형의 엠보싱 그룹을 이루는 노광설비용 진공척에서 그 엠보싱 그룹이 평탄해지도록 보수하는 방법으로서, (a) 엠보싱 그룹에 다수 구비되는 엠보싱(이하, '기준 엠보싱'이라 함)에 대한 기준 높이 스펙을 획득하는 단계; (b) 엠보싱 그룹의 선단부에 대한 높이 보상을 위해 엠보싱 그룹의 선단부에 박막층을 형성하는 단계; (c) 박막층이 형성된 엠보싱 그룹의 선단부에 대해 기준 엠보싱의 높이로 연마하는 단계;를 포함하여 구성된다.
여기서, 단계 (b)는, (b-1) 엠보싱 그룹이 위치하는 노광설비용 진공척의 일면에 박막층에 대응하는 DLC 코팅막을 형성하는 단계;를 포함하여 구성됨이 바람직하다.
그리고, 단계 (b-1)은, 노광설비용 진공척이 진공환경에 노출된 상태에서 엠보싱 그룹이 위치하는 노광설비용 진공척의 일면에 플라즈마의 생성으로 활성화된 탄소분자, 탄화수소분자 중 하나이상의 분자를 가속시키는 단계;를 포함하여 구성될 수 있다.
한편, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 보수 방법은 단계 (b) 이전에, (a-1) 엠보싱 그룹에 구비된 다수의 엠보싱 간 높낮이 편차를 모니터링하는 단계; (a-2) 다수의 엠보싱 간 높낮이 편차가 미리 정한 기준편차를 초과함을 식별하는 단계;를 포함하여 구성되고, 단계 (a-2)와 단계 (b) 사이에, 엠보싱 그룹에서 최저 높이의 엠보싱이 기준 엠보싱의 높이 이상이 되도록 엠보싱 그룹의 선단부에 보상할 박막층의 두께를 결정하는 단계;를 더 포함하여 구성되고, 단계 (b)는, (b-2) 결정된 박막층의 두께에 따라 엠보싱 그룹의 선단부에 박막층을 형성하는 단계;를 더 포함하여 구성되고, 단계 (c)는, 박막층이 형성된 엠보싱 그룹의 선단부에 대해 기준 엠보싱의 높이로 연마하는 단계;를 포함하여 구성될 수 있다.
이때, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 보수 방법은 단계 (b-2) 이후, 박막층이 형성된 엠보싱 그룹의 각 엠보싱 높이가 기준 엠보싱의 높이 이상임을 식별하는 단계;를 더 포함하여 구성될 수 있다.
또한, 단계 (c)는, 박막층이 형성된 엠보싱 그룹의 각 엠보싱 높이가 기준 엠보싱의 높이와 일치하는지 여부를 식별하는 단계;를 더 포함하여 구성될 수 있다.
그리고, 본 발명의 제 3 실시예에 따른 보수 방법은 단계 (a-2)와 단계 (b) 사이에, 엠보싱 그룹에서 최저 높이를 갖는 엠보싱(이하, '최저 엠보싱' 이라 함)을 감안하여 엠보싱 그룹의 선단부에 보상할 박막층의 두께를 결정하는 단계;를 더 포함하여 구성되고, 단계 (b)는, 결정된 박막층의 두께에 따라 엠보싱 그룹의 선단부에 박막층을 형성하는 단계;를 더 포함하여 구성되고, 단계 (c)는, 박막층이 형성된 엠보싱 그룹의 선단부에 대해 최저 엠보싱에 형성된 박막층의 높이로 연마하는 단계;를 포함하여 구성될 수 있다.
본 발명은 진공척의 상면에 돌출 형성되는 엠보싱 그룹 중 일부 엠보싱의 마모로 인해 엠보싱 그룹 전체가 불균일한 평탄도를 나타내는 경우 그 마모된 부분을 코팅으로 높이 보상하여 애초 엠보싱의 높이 수준으로 평탄도를 복원시킴에 따라 기존 노광공정의 불량률을 해소시키는 장점을 나타낸다.
또한, 본 발명은 엠보싱 그룹에 대해 형성되는 박막층을 DLC 코팅막으로 구현함으로써 잦은 마찰로 인한 외력(예: 웨이퍼의 업다운에 의한 마찰, 로봇암의 마찰)으로부터 엠보싱 그룹의 내마모성을 향상시키는 장점을 나타낸다.
또한, 본 발명은 엠보싱 그룹에 대해 형성되는 박막층을 DLC 코팅막으로 구현함으로써 진공척의 수명을 연장시키는 장점도 나타낸다.
[도 1]은 노광설비용 진공척의 개략적인 사용상태도,
[도 2]는 본 발명에 따른 보수 대상인 진공척을 촬영한 예시도,
[도 3]은 [도 1]의 일부분을 발췌하여 확대 도시한 것으로서, 진공척의 상세한 구성 설명을 위해 그 규격과 배율을 실제와 다르게 확대 도시한 도면,
[도 4]는 [도 3]의 상태에서 엠보싱 그룹의 일부 엠보싱이 마모된 일례를 나타낸 도면,
[도 5]는 [도 4]의 상태에서 박막층이 형성된 상태를 도시한 예시도,
[도 6]은 [도 5]의 상태에서 기준 엠보싱의 높이로 엠보싱 그룹 전체가 연마된 상태를 도시한 예시도,
[도 7]은 [도 3]의 상태에서 엠보싱 그룹의 일부 엠보싱이 마모된 다른 일례를 나타낸 도면,
[도 8]은 [도 7]의 상태에서 박막층이 형성된 상태를 도시한 예시도,
[도 9]는 [도 8]의 상태에서 최저 엠보싱에 형성된 박막층의 높이로 엠보싱 그룹 전체가 연마된 상태를 도시한 예시도,
[도 10]은 본 발명의 제 1 실시예에 따라 노광설비용 진공척을 보수하는 과정을 나타낸 순서도,
[도 11]은 본 발명의 제 2 실시예에 따라 노광설비용 진공척을 보수하는 과정을 나타낸 순서도,
[도 12]는 본 발명의 제 3 실시예에 따라 노광설비용 진공척을 보수하는 과정을 나타낸 순서도,
[도 13]은 본 발명에 따른 보수 방법을 구현하기 위한 전용 S/W를 통해 엠보싱 그룹이 위치한 진공척 일면의 평탄도 그래픽으로서, 엠보싱 그룹에 대한 보수가 이루지기 전의 상태를 나타낸 예시도,
[도 14]는 [도 13]의 상태에서 엠보싱 그룹에 대한 보수가 이루어진 후의 상태를 나타낸 예시도이다.
[도 2]는 본 발명에 따른 보수 대상인 진공척을 촬영한 예시도,
[도 3]은 [도 1]의 일부분을 발췌하여 확대 도시한 것으로서, 진공척의 상세한 구성 설명을 위해 그 규격과 배율을 실제와 다르게 확대 도시한 도면,
[도 4]는 [도 3]의 상태에서 엠보싱 그룹의 일부 엠보싱이 마모된 일례를 나타낸 도면,
[도 5]는 [도 4]의 상태에서 박막층이 형성된 상태를 도시한 예시도,
[도 6]은 [도 5]의 상태에서 기준 엠보싱의 높이로 엠보싱 그룹 전체가 연마된 상태를 도시한 예시도,
[도 7]은 [도 3]의 상태에서 엠보싱 그룹의 일부 엠보싱이 마모된 다른 일례를 나타낸 도면,
[도 8]은 [도 7]의 상태에서 박막층이 형성된 상태를 도시한 예시도,
[도 9]는 [도 8]의 상태에서 최저 엠보싱에 형성된 박막층의 높이로 엠보싱 그룹 전체가 연마된 상태를 도시한 예시도,
[도 10]은 본 발명의 제 1 실시예에 따라 노광설비용 진공척을 보수하는 과정을 나타낸 순서도,
[도 11]은 본 발명의 제 2 실시예에 따라 노광설비용 진공척을 보수하는 과정을 나타낸 순서도,
[도 12]는 본 발명의 제 3 실시예에 따라 노광설비용 진공척을 보수하는 과정을 나타낸 순서도,
[도 13]은 본 발명에 따른 보수 방법을 구현하기 위한 전용 S/W를 통해 엠보싱 그룹이 위치한 진공척 일면의 평탄도 그래픽으로서, 엠보싱 그룹에 대한 보수가 이루지기 전의 상태를 나타낸 예시도,
[도 14]는 [도 13]의 상태에서 엠보싱 그룹에 대한 보수가 이루어진 후의 상태를 나타낸 예시도이다.
먼저, [도 1]은 노광설비용 진공척의 개략적인 사용상태도이고, [도 2]는 본 발명에 따른 보수 대상인 진공척을 촬영한 예시도이고, [도 3]은 [도 1]의 일부분을 발췌하여 확대 도시한 것으로서, 진공척의 상세한 구성 설명을 위해 그 규격과 배율을 실제와 다르게 확대 도시한 도면이다.
[도 1]의 스테이지(10)에 안착되는 진공척(100)은 [도 2]와 [도 3]에서와 같이 진공척 몸체부(110)의 상면에 높이가 대략 0.2mm 정도의 매우 작은 돌출부인 엠보싱(121 내지 127)이 다수 형성됨에 따라 엠보싱 그룹을 이룬다.
그런데, 노광공정을 위해 그 진공척(100)의 상면에 웨이퍼(20)를 무수히 올렸다가 내리는 동작이 반복되거나 웨이퍼(20)를 업로드/다운로드 하는 로봇암의 동작이 반복되는 과정에서 엠보싱 그룹의 일부 엠보싱이 마모됨에 따라 결국 엠보싱 그룹의 불균일한 평탄도를 나타낸다.
본 발명은 위와 같이 불균일한 평탄도를 나타내는 엠보싱 그룹에 대해 낮은 높이를 갖는 엠보싱의 높이를 보상함으로써 결국 애초의 균일한 평탄도를 복원시키는 것이다.
[도 4]는 [도 3]의 상태에서 엠보싱 그룹의 일부 엠보싱이 마모된 일례를 나타낸 도면이고, [도 5]는 [도 4]의 상태에서 박막층이 형성된 상태를 도시한 예시도이고, [도 6]은 [도 5]의 상태에서 기준 엠보싱의 높이로 엠보싱 그룹 전체가 연마된 상태를 도시한 예시도이다.
먼저, 진공척 몸체부(110)의 상면에 구비되는 다수의 엠보싱(121 내지 127)은 [도 3]에서와 같이 애초 균일한 높이로 제작됨에 따라 엠보싱 그룹 전체로 볼 때 균일할 평탄도를 나타낸다.
그런데, 노광공정을 위해 진공척(100)의 상면에 웨이퍼(20)를 무수히 올렸다가 내리는 동작이 반복되거나 웨이퍼(20)를 업로드/다운로드 하는 로봇암의 동작이 반복되는 과정에서 [도 4]에서와 같이 엠보싱 그룹의 일부 엠보싱(123,124,125)이 마모됨에 따라 점차적으로 엠보싱 그룹은 불균일한 평탄도를 나타낸다.
이때, [도 5]에서와 같이 마모된 엠보싱(123,124,125)을 포함한 진공척(100)의 상면 전체에 기준 엠보싱의 높이 이상으로 박막층(C1 내지 C8)을 형성한 후, [도 6]에서와 같이 엠보싱 그룹의 전체 높이가 동일하도록 연마함으로써 엠보싱 그룹 전체에 대해 균일한 평탄도를 구현할 수 있다.
그리고, 엠보싱 그룹의 전체 높이가 동일하도록 연마할 때, 바람직하게는 [도 6]에서와 같이 바람직하게는 기준 엠보싱의 높이로 구현하여 애초 엠보싱 그룹을 제작할 당시의 스펙을 유지할 수 있다.
한편, 엠보싱 그룹이 위치하는 진공척(100)의 일면에 형성되는 박막층은 DLC 코팅막으로 구성됨이 바람직하다. 이처럼, 박막층을 DLC 코팅막으로 구성함으로써 잦은 마찰로 인한 외력(예: 웨이퍼의 업다운에 의한 마찰, 로봇암의 마찰)으로부터 엠보싱 그룹의 내마모성을 향상시킴에 따라 결국 진공척(100)의 수명을 연장시킬 수도 있다.
[도 7]은 [도 3]의 상태에서 엠보싱 그룹의 일부 엠보싱이 마모된 다른 일례를 나타낸 도면이고, [도 8]은 [도 7]의 상태에서 박막층이 형성된 상태를 도시한 예시도이고, [도 9]는 [도 8]의 상태에서 최저 엠보싱에 형성된 박막층의 높이로 엠보싱 그룹 전체가 연마된 상태를 도시한 예시도이다.
먼저, 진공척 몸체부(110) 상면에 구비되는 다수의 엠보싱(121 내지 127)은 [도 3]에서와 같이 애초 균일한 높이로 제작됨에 따라 엠보싱 그룹 전체로 볼 때 균일할 평탄도를 나타낸다.
그런데, 노광공정을 위해 진공척(100)의 상면에 웨이퍼(20)를 무수히 올렸다가 내리는 동작이 반복되거나 웨이퍼(20)를 업로드/다운로드 하는 로봇암의 동작이 반복되는 과정에서 [도 7]에서와 같이 엠보싱 그룹의 일부 엠보싱(123,124,125)이 마모됨에 따라 결국 엠보싱 그룹의 불균일한 평탄도를 발생시킨다.
[도 7]의 경우는 [도 4]의 경우와 달리 엠보싱 그룹 중 가장 낮은 엠보싱(124)의 높이가 너무 낮기 때문에 그 마모된 높이를 애초 제작될 당시의 기준 엠보싱 높이로 보상한다면 코팅되는 박막층의 두께가 너무 커진다.
이때, 각 엠보싱 사이에 대응하는 진공척(100)의 상면에 코팅되는 박막층의 두께도 너무 커지게 되어 결국 엠보싱 그룹의 각 엠보싱 사이에 대응하는 공기 소통로가 제약을 받을 수 있다.
그 결과, 위와 같이 엠보싱 그룹 중 가장 낮은 엠보싱(124)의 높이가 너무 낮은 경우에는 [도 8]에서와 같이 코팅되는 박막층(T1 내지 T8)의 두께를 조정하여 형성하고, [도 9]에서와 같이 엠보싱 그룹 중 가장 낮은 높이를 갖는 엠보싱(124)에 코팅된 박막층(T4)의 높이로 연마함이 바람직하다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다.
[도 10]은 본 발명의 제 1 실시예에 따라 노광설비용 진공척을 보수하는 과정을 나타낸 순서도이다.
단계 (S110) : 본 발명의 제 1 실시예에 따른 보수 방법은 노광설비용 진공척(100)의 상면에 다수 돌출되는 엠보싱 그룹이 평탄해지도록 보수하는 방법으로서, 먼저 [도 3]에서와 같이 엠보싱 그룹에 다수 구비되는 엠보싱(이하, '기준 엠보싱'이라 함)에 대한 기준 높이 스펙을 획득한다. 즉, 본 발명에 따른 보수 방법을 구현하기 위한 전용 S/W가 미리 입력된 진공척(100)의 기준 엠보싱(121 내지 127)에 대한 기준 높이 스펙을 저장한다.
단계 (S120) : 이어서, 엠보싱 그룹의 선단부에 대한 높이 보상을 위해 엠보싱 그룹의 선단부에 [도 5]와 [도 8]에서와 같이 박막층을 형성한다. 이때, 그 박막층은 바람직하게는 DLC 코팅막으로 형성할 수 있다.
여기서, DLC 코팅막의 형성은 바람직하게는 노광설비용 진공척(100)이 진공환경에 노출된 상태에서 엠보싱 그룹이 위치하는 진공척(100)의 일면에 플라즈마의 생성으로 활성화된 탄소분자, 탄화수소분자 중 하나이상의 분자를 가속시켜 구현할 수 있다.
단계 (S130) : 그리고, DLC 코팅막으로 박막층이 형성된 엠보싱 그룹의 선단부에 대해 애초 제작될 당시의 엠보싱 높이인 기준 엠보싱의 높이로 연마한다. 이를 통해 엠보싱 그룹은 애초 진공척(100)이 제작될 당시의 높이 수준으로 복원됨과 동시에 애초 진공척(100)이 제작될 당시의 수준으로 평탄도를 복원시킬 수 있게 된다.
[도 11]은 본 발명의 제 2 실시예에 따라 노광설비용 진공척을 보수하는 과정을 나타낸 순서도이다.
단계 (S210) : 본 발명의 제 2 실시예에 따른 보수 방법은 노광설비용 진공척(100)의 상면에 다수 돌출되는 엠보싱 그룹이 평탄해지도록 보수하는 방법으로서, 먼저 [도 3]에서와 같이 엠보싱 그룹에 다수 구비되는 엠보싱(이하, '기준 엠보싱'이라 함)에 대한 기준 높이 스펙을 획득한다. 즉, 본 발명에 따른 보수 방법을 구현하기 위한 전용 S/W가 미리 입력된 진공척(100)의 기준 엠보싱(121 내지 127)에 대한 기준 높이 스펙을 저장한다.
단계 (S220) : 그리고, 그 전용 S/W는 [도 4]에서와 같이 사용으로 마모된 상태의 진공척(100)에 구비된 다수의 엠보싱에 대한 높이를 모니터링하고, 그 모니터링한 다수의 엠보싱에 대한 높이를 애초 제작 당시의 진공척(100)에 구비된 기준 엠보싱의 기준 높이 스펙과 비교한다.
단계 (S230) : 이어서, 그 비교 결과, 다수의 엠보싱(121 내지 127) 간 높낮이 편차가 미리 정한 기준편차를 초과함을 식별한다. 여기서, 예컨대 가장 낮은 엠보싱의 높이와 기준 엠보싱의 높이 편차를 기준편차로 미리 정하여 그 기준편차가 500nm 이상인 경우 기준편차를 초과한 것으로 판단할 수 있다.
단계 (S240) : 그리고, [도 4]에서와 같이 엠보싱 그룹에서 최저 높이의 엠보싱(124)이 기준 엠보싱의 높이 이상이 되도록 엠보싱 그룹의 선단부에 보상할 박막층의 두께를 결정한다.
단계 (S250) : 이어서, 그 결정된 박막층의 두께에 따라 [도 5]에서와 같이 엠보싱 그룹의 선단부에 박막층을 형성한다. 이때, 그 박막층은 바람직하게는 DLC 코팅막으로 형성할 수 있다.
단계 (S260, S270) : 이때, 박막층이 형성된 엠보싱 그룹의 각 엠보싱 높이가 기준 엠보싱의 높이 이상임을 식별하면, [도 6]에서와 같이 그 박막층이 형성된 엠보싱 그룹의 선단부에 대해 기준 엠보싱의 높이로 연마한다. 이를 통해 엠보싱 그룹은 애초 진공척(100)이 제작될 당시의 높이 수준으로 복원됨과 동시에 애초 진공척(100)이 제작될 당시의 수준으로 평탄도를 복원시킬 수 있게 된다.
단계 (S280) : 이어서, 그 박막층이 형성된 엠보싱 그룹의 각 엠보싱 높이가 기준 엠보싱의 높이와 일치하는지 여부를 식별함에 따라 해당 엠보싱 그룹의 평탄도가 균일한지 여부를 재차 확인할 수 있다.
[도 12]는 본 발명의 제 3 실시예에 따라 노광설비용 진공척을 보수하는 과정을 나타낸 순서도이다.
단계 (S310) : 본 발명의 제 3 실시예에 따른 보수 방법은 노광설비용 진공척(100)의 상면에 다수 돌출되는 엠보싱 그룹이 평탄해지도록 보수하는 방법으로서, 먼저 [도 3]에서와 같이, 엠보싱 그룹에 다수 구비되는 엠보싱(이하, '기준 엠보싱'이라 함)에 대한 기준 높이 스펙을 획득한다. 즉, 본 발명에 따른 보수 방법을 구현하기 위한 전용 S/W가 미리 입력된 진공척(100)의 기준 엠보싱(121 내지 127)에 대한 기준 높이 스펙을 저장한다.
단계 (S320) : 그리고, 그 전용 S/W는 [도 7]에서와 같이, 사용으로 마모된 상태의 진공척(100)에 구비된 다수의 엠보싱에 대한 높이를 모니터링하고, 그 모니터링한 다수의 엠보싱에 대한 높이를 애초 제작 당시의 진공척(100)에 구비된 기준 엠보싱의 기준 높이 스펙과 비교한다.
단계 (S330) : 이어서, 그 비교 결과, 다수의 엠보싱(121 내지 127) 간 높낮이 편차가 미리 정한 기준편차를 초과함을 식별한다. 여기서, 예컨대 가장 낮은 엠보싱의 높이와 기준 엠보싱의 높이 편차를 기준편차로 미리 정하여 그 기준편차가 1000nm 이상인 경우 기준편차를 초과한 것으로 판단할 수 있다.
단계 (S340) : 그리고, 그 엠보싱 그룹에서 최저 높이를 갖는 엠보싱(이하, '최저 엠보싱' 이라 함)을 감안하여 엠보싱 그룹의 선단부에 보상할 박막층의 두께를 결정한다.
단계 (S350) : 이어서, 그 결정된 박막층의 두께에 따라 [도 8]에서와 같이, 엠보싱 그룹의 선단부에 박막층을 형성한다. 여기서도, 그 박막층은 바람직하게는 DLC 코팅막으로 형성할 수 있다.
단계 (S360) : 그리고, 그 박막층이 형성된 엠보싱 그룹의 선단부에 대해 [도 9]에서와 같이, 최저 엠보싱(124)에 형성된 박막층(T4)의 높이까지 연마한다. 이를 통해, 진공척(100)이 제작될 당시의 수준으로 평탄도를 복원시킬 수 있게 된다.
[도 13]은 본 발명에 따른 보수 방법을 구현하기 위한 전용 S/W를 통해 엠보싱 그룹이 위치한 진공척 일면의 평탄도 그래픽으로서, 엠보싱 그룹에 대한 보수가 이루지기 전의 상태를 나타낸 예시도이고, [도 14]는 [도 13]의 상태에서 엠보싱 그룹에 대한 보수가 이루어진 후의 상태를 나타낸 예시도이다.
먼저, [도 13]을 참조하면, 엠보싱 그룹 중 일부의 엠보싱이 마모된 상태로서 진공척(100)의 상면이 울통불퉁하게 매우 불균일한 평탄도를 나타냄을 알 수 있다.
그리고, [도 14]를 참조하면, 엠보싱 그룹 중 그 마모된 일부의 엠보싱에 대해 코팅으로 높이 보상을 함으로써 진공척(100)의 울퉁불퉁한 상면이 [도 13]에서 보다 상대적으로 더 균일한 평탄도를 나타냄을 확인할 수 있다.
10 : 스테이지
20 : 웨이퍼
100 : 진공척
110 : 진공척 몸체부
121 내지 127 : 진공척 엠보싱
C1 내지 C8 : 박막층
C3', C4', C5' : 연마 박막층
T1 내지 T8 : 박막층
T4', T5' : 연마 박막층
L1, L2 : 기준 엠보싱 높이 연장선
L3 : 최저 엠보싱 높이 보상 연장선
d1, d2 : 최저 엠보싱과 기준 엠보싱의 높이 차
20 : 웨이퍼
100 : 진공척
110 : 진공척 몸체부
121 내지 127 : 진공척 엠보싱
C1 내지 C8 : 박막층
C3', C4', C5' : 연마 박막층
T1 내지 T8 : 박막층
T4', T5' : 연마 박막층
L1, L2 : 기준 엠보싱 높이 연장선
L3 : 최저 엠보싱 높이 보상 연장선
d1, d2 : 최저 엠보싱과 기준 엠보싱의 높이 차
Claims (8)
- 노광설비용 웨이퍼의 일면을 흡착할 때 그 흡착된 웨이퍼의 일면을 지지하는 엠보싱이 일면에 다수 배치되어 원반형의 엠보싱 그룹을 이루는 노광설비용 진공척에서 상기 엠보싱 그룹이 평탄해지도록 보수하는 방법으로서,
(a) 상기 엠보싱 그룹에 다수 구비되는 엠보싱(이하, '기준 엠보싱'이라 함)에 대한 기준 높이 스펙을 획득하는 단계;
(b) 상기 엠보싱 그룹의 선단부에 대한 높이 보상을 위해 상기 엠보싱 그룹의 선단부에 박막층을 형성하는 단계;
(c) 상기 기준 엠보싱의 높이를 감안하여 상기 박막층이 형성된 엠보싱 그룹이 평탄해지도록 연마하는 단계;
를 포함하여 구성되는 노광설비용 진공척 보수 방법.
- 청구항 1에 있어서,
상기 단계 (b)는,
(b-1) 상기 엠보싱 그룹이 위치하는 상기 노광설비용 진공척의 일면에 상기 박막층에 대응하는 DLC 코팅막을 형성하는 단계;
를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 노광설비용 진공척 보수 방법.
- 청구항 2에 있어서,
상기 단계 (b-1)은,
상기 노광설비용 진공척이 진공환경에 노출된 상태에서 상기 엠보싱 그룹이 위치하는 상기 노광설비용 진공척의 일면에 플라즈마의 생성으로 활성화된 탄소분자, 탄화수소분자 중 하나이상의 분자를 가속시키는 단계;
를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 노광설비용 진공척 보수 방법.
- 청구항 3에 있어서,
상기 단계 (b) 이전에,
(a-1) 상기 엠보싱 그룹에 구비된 다수의 엠보싱 간 높낮이 편차를 모니터링하는 단계;
(a-2) 상기 다수의 엠보싱 간 높낮이 편차가 미리 정한 기준편차를 초과함을 식별하는 단계;
를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 노광설비용 진공척 보수 방법.
- 청구항 4에 있어서,
상기 단계 (a-2)와 상기 단계 (b) 사이에,
상기 엠보싱 그룹에서 최저 높이의 엠보싱이 상기 기준 엠보싱의 높이 이상이 되도록 상기 엠보싱 그룹의 선단부에 보상할 상기 박막층의 두께를 결정하는 단계;
를 더 포함하여 구성되고,
상기 단계 (b)는,
(b-2) 상기 결정된 박막층의 두께에 따라 상기 엠보싱 그룹의 선단부에 박막층을 형성하는 단계;
를 더 포함하여 구성되고,
상기 단계 (c)는,
상기 박막층이 형성된 엠보싱 그룹의 선단부에 대해 상기 기준 엠보싱의 높이로 연마하는 단계;
를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 노광설비용 진공척 보수 방법.
- 청구항 5에 있어서,
상기 단계 (b-2) 이후,
상기 박막층이 형성된 상기 엠보싱 그룹의 각 엠보싱 높이가 상기 기준 엠보싱의 높이 이상임을 식별하는 단계;
를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 노광설비용 진공척 보수 방법.
- 청구항 6에 있어서,
상기 단계 (c)는,
상기 박막층이 형성된 상기 엠보싱 그룹의 각 엠보싱 높이가 상기 기준 엠보싱의 높이와 일치하는지 여부를 식별하는 단계;
를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 노광설비용 진공척 보수 방법.
- 청구항 4에 있어서,
상기 단계 (a-2)와 상기 단계 (b) 사이에,
상기 엠보싱 그룹에서 최저 높이를 갖는 엠보싱(이하, '최저 엠보싱' 이라 함)을 감안하여 상기 엠보싱 그룹의 선단부에 보상할 상기 박막층의 두께를 결정하는 단계;
를 더 포함하여 구성되고,
상기 단계 (b)는,
상기 결정된 박막층의 두께에 따라 상기 엠보싱 그룹의 선단부에 박막층을 형성하는 단계;
를 더 포함하여 구성되고,
상기 단계 (c)는,
상기 박막층이 형성된 엠보싱 그룹의 선단부에 대해 상기 최저 엠보싱에 형성된 상기 박막층의 높이로 연마하는 단계;
를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 노광설비용 진공척 보수 방법.
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|---|---|---|---|
| KR1020170062584A KR101974449B1 (ko) | 2017-05-19 | 2017-05-19 | 노광설비용 진공척 보수를 위한 불균일 엠보싱 간 평탄화 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| KR1020170062584A KR101974449B1 (ko) | 2017-05-19 | 2017-05-19 | 노광설비용 진공척 보수를 위한 불균일 엠보싱 간 평탄화 방법 |
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|---|---|
| KR20180127129A true KR20180127129A (ko) | 2018-11-28 |
| KR101974449B1 KR101974449B1 (ko) | 2019-05-02 |
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| KR1020170062584A KR101974449B1 (ko) | 2017-05-19 | 2017-05-19 | 노광설비용 진공척 보수를 위한 불균일 엠보싱 간 평탄화 방법 |
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|---|---|---|---|---|
| KR20080076802A (ko) * | 2007-02-14 | 2008-08-20 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판 탑재대 및 그 표면 처리 방법 |
| JP2009060035A (ja) * | 2007-09-03 | 2009-03-19 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 静電チャック部材、その製造方法及び静電チャック装置 |
| KR101272736B1 (ko) * | 2013-02-07 | 2013-06-10 | 주식회사 템네스트 | 에어로졸 코팅을 이용한 정전척 재생 방법 |
| KR101328492B1 (ko) * | 2013-04-02 | 2013-11-13 | 주식회사 템네스트 | 에어로졸 코팅을 이용한 정전척 재생 방법 |
-
2017
- 2017-05-19 KR KR1020170062584A patent/KR101974449B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (4)
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