KR20180122251A - Material sheet end detecting device for cassette - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 검출장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 카세트의 각 수납공간부에 소재 시트가 수납되어 있는지 여부를 자동으로 실시간 확인하여 작업효율을 향상시킬 수 있는 카세트용 소재 시트 단부 검출장치에 관한 것이다.The present invention relates to a detecting device, and more particularly, to a cassette material sheet end detecting device capable of automatically checking whether a material sheet is stored in each storage space portion of a cassette in real time, .
일반적으로, 반도체 장치의 제조 공정은 증착, 사진 인쇄, 식각, 이온 주입, 연마, 세정 건조 등과 같은 일련의 단위 공정들의 반복적인 조합으로 이루어진다.Generally, the manufacturing process of a semiconductor device is a repetitive combination of a series of unit processes such as deposition, photolithography, etching, ion implantation, polishing, cleaning and drying.
각 단위 공정들은 25매 또는 50매의 웨이퍼 단위로 수행되며, 단위 공정들 간의 이동시에도 웨이퍼 수납 용기에 웨이퍼들을 수납하여 이동시킨다.Each unit process is performed in units of 25 wafers or 50 wafers, and the wafers are accommodated and moved in the wafer storage container even during the movement between the unit processes.
이 웨이퍼 수납 용기로는 웨이퍼 사이즈가 8인치인 경우에는 개방형 웨이퍼 카세트가 많이 사용되었으나, 최근 웨이퍼의 이동 과정에서 발생할 수 있는 오염을 방지하기 위해 밀폐형 카세트인 풉(front open unified pod:FOUP)이 많이 사용된다.In this wafer storage container, an open type wafer cassette is often used when the wafer size is 8 inches. However, in order to prevent contamination that may occur in the recent wafer transfer process, a front open unified pod (FOUP) Is used.
이러한 풉은 웨이퍼가 수납되는 카세트의 전면에 커버가 구비되어 카세트를 밀폐시키며, 커버는 별도의 개폐 장치에 의해 카세트로부터 분리된다.Such a FOUP is provided with a cover on the front surface of the cassette in which the wafer is housed to seal the cassette, and the cover is separated from the cassette by a separate opening and closing apparatus.
이 풉은 미국 특허 제6,186,311호에 개진된 바와 같이, 풉에 수납된 웨이퍼들이 단위 공정들을 수행하는 공정 장치들에 로딩되면, 풉에 수납된 웨이퍼들의 위치 및 웨이퍼들의 수납 상태 등을 확인하는 맵핑(mapping)이 수행된다.As disclosed in U. S. Patent No. 6,186, 311, when the wafers stored in the FOUP are loaded into the processing apparatuses performing the unit processes, the FOUP is mapped to confirm the positions of the wafers housed in the FOUP and the housings of the wafers mapping is performed.
풉에 수납된 웨이퍼들에 대한 맵핑을 살펴보면, 풉이 공정 장치의 로드 포트 스테이지에 로딩되어 로드 포트의 도어부에 밀착되면, 로드 포트 내부에 구비되는 커버 개폐 장치에 의해 커버를 개방된다.When the FOUP is loaded on the load port stage of the processing apparatus and brought into close contact with the door portion of the load port, the cover is opened by the cover opening / closing device provided inside the load port.
커버 개폐 장치는 커버를 클램핑하여 하방으로 이동하며, 맴핑 장치는 커버가 개폐된 상태에서 웨이퍼들의 위치 및 수납 상태를 확인하게 되며, 이처럼, 종래에는 풉의 커버를 개방한 상태에서 풉에 수납된 웨이퍼의 수량 등을 감지할 수밖에 없었다.The cover opening / closing device clamps the cover to move downward, and the positioning device confirms the position and the storage state of the wafers in a state where the cover is opened and closed. Thus, conventionally, And the amount of water.
이에 따라, 카세트에 수납된 소재 시트의 수납 여부를 정확하게 확인함은 물론, 자동으로 확인할 수 있게 하여 작업효율을 향상시킬 수 있는 기술에 대한 개발이 절실히 요구되고 있는 실정이다.Accordingly, there is an urgent need to develop a technique capable of accurately confirming whether or not a material sheet accommodated in a cassette is accommodated, and automatically confirming whether the material sheet is accommodated in the cassette, thereby improving work efficiency.
이에 본 발명은 상기와 같은 문제점들을 해소하기 위해 안출된 것으로써, 소재 시트가 수납되기 위한 복수의 수납공간부를 갖는 카세트, 상기 카세트에 수납된 복수의 소재시트 각 단부를 향하여 직선형의 빔을 조사하는 빔조사부, 상기 빔조사부에 의해 조사된 빔의 패턴을 포함한 영상을 획득하기 위한 영상획득수단, 상기 영상획득수단에 의해 획득한 영상을 정상적인 빔 패턴과 비교하여 분석하기 위한 비교분석부, 및 딥 러닝을 기반으로 상기 빔조사부와 영상획득수단, 비교분석부를 제어하기 위한 메인제어부,를 포함하여 해당 카세트의 각 수납공간부에 소재 시트의 수납여부를 확인함은 물론, 수납된 소재 시트의 단부 상태를 자동으로 실시간 확인할 수 있어 작업효율을 향상시킬 수 있는 카세트용 소재 시트 단부 검출장치를 제공하는 것이 목적이다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention has been made keeping in mind the above problems occurring in the prior art, and an object of the present invention is to provide a cassette having a plurality of accommodating space portions for accommodating a sheet of material, An image acquiring unit for acquiring an image including a beam pattern irradiated by the beam irradiating unit, a comparison / analysis unit for comparing and analyzing the image acquired by the image acquiring unit with a normal beam pattern, And a main control unit for controlling the beam irradiating unit, the image acquiring unit, and the comparator / analyzing unit based on the received image data, to confirm whether or not the material sheets are stored in the respective storage spaces of the cassettes, It is an object of the present invention to provide a material sheet end detecting device for a cassette capable of automatically checking in real time, It is enemy.
상기 목적을 이루기 위한 본 발명은, 소재 시트가 수납되기 위한 복수의 수납공간부를 갖는 카세트, 상기 카세트에 수납된 복수의 소재시트 각 단부를 향하여 직선형의 빔을 조사하는 빔조사부, 상기 빔조사부에 의해 조사된 빔의 패턴을 포함한 영상을 획득하기 위한 영상획득수단, 상기 영상획득수단에 의해 획득한 영상을 정상적인 빔 패턴과 비교하여 분석하기 위한 비교분석부, 및 딥 러닝을 기반으로 상기 빔조사부와 영상획득수단, 비교분석부를 제어하기 위한 메인제어부,를 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a cassette including: a cassette having a plurality of storage space portions for storing a material sheet; a beam irradiation portion for irradiating a linear beam toward each end of a plurality of material sheets housed in the cassette; A comparison and analysis unit for comparing the image acquired by the image acquisition unit with a normal beam pattern and analyzing the image acquired by the image acquisition unit, Acquisition means, and a main control section for controlling the comparison and analysis section.
바람직하게, 상기 영상획득수단은 상기 카세트의 수납공간부의 개방된 전측에 위치되고, 상기 빔조사부는, 상기 영상획득수단과 카세트를 지나는 연장선상을 기준으로, 상기 카세트를 향하여 연장선상과 일정 각도로 빔을 조사한다.Preferably, the image acquiring means is located at an open front side of the storage space portion of the cassette, and the beam irradiating portion irradiates the cassette with the image acquiring means and the cassette at a predetermined angle The beam is irradiated.
그리고 상기 빔조사부는, 상기 카세트에 수납된 복수의 소재 시트의 일측 단부들을 향하여 빔을 조사하는 제1빔조사부, 및 상기 카세트에 수납된 복수의 소재 시트의 타측 단부들을 향하여 빔을 조사하는 제2빔조사부,를 포함한다.The beam irradiating unit includes a first beam irradiating unit for irradiating a beam toward one end of a plurality of work sheets accommodated in the cassette, and a second beam irradiating unit for irradiating a beam toward the other ends of the plurality of work sheets accommodated in the cassette And a beam irradiation unit.
또한, 상기 영상획득수단은, 상기 빔이 조사된 카세트를 향하여 조명을 조사하기 위한 조명부, 상기 조명부에 의해 조명이 조사된 상태에서 빔을 포함한 카세트의 영상을 획득하기 위한 카메라, 카메라의 포커싱을 유지하기 위한 렌즈, 및 상기 조명부와 카메라를 제어하기 위한 영상제어부,를 포함한다.The image acquiring unit may include an illumination unit for irradiating illumination toward the cassette irradiated with the beam, a camera for acquiring an image of the cassette including the beam in a state in which the illumination unit is illuminated by the illumination unit, And an image control unit for controlling the illumination unit and the camera.
그리고 상기 영상획득수단을 상하이동시키기 위한 이동부,를 더 포함한다.And a moving unit for moving the image acquiring unit up and down.
또한, 상기 이동부는, 베이스프레임, 상기 베이스프레임에 구비되는 가이드레일, 상기 영상획득수단이 설치되고, 상기 가이드레일을 따라 이동되기 위한 설치블럭, 상기 베이스프레임의 상단부와 하단부에 각각 구비되는 한 쌍의 롤러, 상기 한 쌍의 롤러를 연결하여 상기 설치블럭을 이동시키기 위한 밸트, 및 상기 한 쌍의 롤러 중 어느 하나를 회전 시키기 위한 구동모터,를 포함한다.The moving unit may include a base frame, a guide rail provided on the base frame, a mounting block for moving the guide rail, and a pair of upper and lower A belt for connecting the pair of rollers to move the installation block, and a drive motor for rotating any one of the pair of rollers.
그리고 정상적인 빔 패턴과 비정상적인 다양한 빔 패턴에 대한 카세트에 수납된 소재 시트의 데이터가 저장된 데이터베이스,가 구비되고, 상기 비교분석부는, 상기 영상획득수단에 의해 획득한 영상 중 빔 패턴을 검출하는 영상분석부, 상기 영상분석부에서 검출된 빔 패턴과 상기 데이터베이스의 빔 패턴을 대조하여 동일한 빔 패턴을 검출하는 패턴검출부, 및 상기 패턴검출부에서 검출된 패턴에 대한 소재 시트 수납 상태를 확인하기 위한 패턴해석부,를 포함한다.And a database in which data of a material sheet stored in a cassette for a normal beam pattern and abnormal various beam patterns is stored, wherein the comparison and analysis unit comprises an image analysis unit for detecting a beam pattern in the image acquired by the image acquisition unit, A pattern analyzer for verifying the beam pattern detected by the image analyzer and the beam pattern of the database to detect the same beam pattern, and a pattern analyzer for checking the state of accommodating the material sheet with respect to the pattern detected by the pattern detector, .
또한, 상기 패턴해석부의 데이터는, 해당 카세트에 수납된 소재 시트 단부의 형태와 소재 시트의 수납여부를 포함한다.The data of the pattern analyzing section includes the shape of the end of the material sheet accommodated in the cassette and whether or not the material sheet is stored.
그리고 상기 패턴해석부의 데이터를 수신하여 표시하기 위한 표시부,가 더 구비되고, 상기 메인제어부에 의해 제어된다.And a display unit for receiving and displaying data of the pattern analyzing unit, and is controlled by the main control unit.
또한, 사전에 등록된 단말기로 상기 패턴해석부의 데이터를 실시간 발송하는 메세지발송부,가 더 포함된다.And a message sending unit for sending data of the pattern analyzing unit in real time to a terminal registered in advance.
상기한 바와 같이, 본 발명에 의한 카세트용 소재 시트 단부 검출장치에 의하면, 해당 카세트의 각 수납공간부에 소재 시트의 수납여부를 확인함은 물론, 수납된 소재 시트의 단부 상태를 자동으로 실시간 확인할 수 있어 작업효율을 향상시킬 수 있게 하는 매우 유용하고 효과적인 발명이다.As described above, according to the cassette material sheet end detecting device of the present invention, it is possible to confirm whether or not the material sheets are stored in the respective storage space portions of the cassettes, Which is a very useful and effective invention that can improve work efficiency.
도 1은 본 발명에 따른 검출장치를 도시한 도면이고,
도 2는 본 발명에 따른 빔조사부를 도시한 도면이며,
도 3은 본 발명에 따른 영상획득수단을 도시한 도면이고,
도 4는 본 발명에 따른 영상획득수단의 이동부를 도시한 도면이며,
도 5는 본 발명에 따른 비교분석부를 도시한 도면이다.1 is a view showing a detection device according to the present invention,
2 is a view showing a beam irradiation unit according to the present invention,
3 is a view showing an image acquiring means according to the present invention,
4 is a view showing a moving unit of the image acquiring means according to the present invention,
5 is a diagram illustrating a comparison and analysis unit according to the present invention.
이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시 형태를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 첨부된 도면과 함께 이하에 개시될 상세한 설명은 본 발명의 예시적인 실시형태를 설명하고자 하는 것이며, 본 발명이 실시될 수 있는 유일한 실시형태를 나타내고자 하는 것이 아니다. 이하의 상세한 설명은 본 발명의 완전한 이해를 제공하기 위해서 구체적 세부사항을 포함한다. 그러나, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 이러한 구체적 세부사항 없이도 실시될 수 있음을 안다.Hereinafter, preferred embodiments according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The following detailed description, together with the accompanying drawings, is intended to illustrate exemplary embodiments of the invention and is not intended to represent the only embodiments in which the invention may be practiced. The following detailed description includes specific details in order to provide a thorough understanding of the present invention. However, those skilled in the art will appreciate that the present invention may be practiced without these specific details.
몇몇 경우, 본 발명의 개념이 모호해지는 것을 피하기 위하여 공지의 구조 및 장치는 생략되거나, 각 구조 및 장치의 핵심기능을 중심으로 한 블록도 형식으로 도시될 수 있다.In some instances, well-known structures and devices may be omitted or may be shown in block diagram form, centering on the core functionality of each structure and device, to avoid obscuring the concepts of the present invention.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함(comprising 또는 including)"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 또한, 명세서에 기재된 "…부"의 용어는 적어도 하나의 기능이나 동작을 처리하는 단위를 의미한다. 또한, "일(a 또는 an)", "하나(one)", "그(the)" 및 유사 관련어는 본 발명을 기술하는 문맥에 있어서(특히, 이하의 청구항의 문맥에서) 본 명세서에 달리 지시되거나 문맥에 의해 분명하게 반박되지 않는 한, 단수 및 복수 모두를 포함하는 의미로 사용될 수 있다.Throughout the specification, when an element is referred to as "comprising" or " including ", it is meant that the element does not exclude other elements, do. Further, the term "part" described in the specification means a unit for processing at least one function or operation. Also, the terms " a or ", "one "," the ", and the like are synonyms in the context of describing the invention (particularly in the context of the following claims) May be used in a sense including both singular and plural, unless the context clearly dictates otherwise.
본 발명의 실시예들을 설명함에 있어서 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략할 것이다. 그리고 후술되는 용어들은 본 발명의 실시예에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.In the following description of the present invention, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear. The following terms are defined in consideration of the functions in the embodiments of the present invention, which may vary depending on the intention of the user, the intention or the custom of the operator. Therefore, the definition should be based on the contents throughout this specification.
이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명에 따른 검출장치를 도시한 도면이고, 도 2는 본 발명에 따른 빔조사부를 도시한 도면이며, 도 3은 본 발명에 따른 영상획득수단을 도시한 도면이고, 도 4는 본 발명에 따른 영상획득수단의 이동부를 도시한 도면이며, 도 5는 본 발명에 따른 비교분석부를 도시한 도면이다.2 is a view showing a beam irradiating unit according to the present invention, FIG. 3 is a view showing an image acquiring unit according to the present invention, and FIG. 4 is a view FIG. 5 is a view showing a comparison and analysis unit according to the present invention. FIG.
도면에서 도시한 바와 같이, 카세트용 소재 시트 단부 검출장치(10)는 카세트(30)와 빔조사부(100), 영상획득수단(200), 비교분석부(300) 및 메인제어부(400)로 구성된다.As shown in the figure, the cassette material sheet
카세트(30)는 복수의 수납공간부가 구비되는 것으로, 각 수납공간부에는 소재 시트(1)가 각각 수납된다.The
이 복수의 소재 시트가 수납된 카세트(30)는 이송장치에 의해 이송과정 중 검사과정을 거치게 된다.The
이를 위한, 빔조사부(100)는 카세트(30)에 수납된 복수의 소재 시트(1) 각 단부를 향하여 직선형 패턴의 빔을 조사하도록 구비된다.To this end, the
그리고 영상획득수단(200)은 빔조사부(100)에 의해 조사된 빔의 패턴(20)을 포함한 카세트(1)의 영상을 획득하기 위해 구비된다.The
비교분석부(300)는 영상획득수단(200)에 의해 획득한 영상을 정상적인 빔 패턴과 비교하여 분석하기 위해 구비된다.The comparison and
또한 메인제어부(400)는 딥 러닝(Deep-Learning)을 기반으로, 빔조사부(100)와 영상획득수단(200), 비교분석부(300)를 제어하기 위해 구비된다.The
이러한 카세트용 소재 시트 단부 검출장치(10)의 작동상태를 살펴보면, 이송장치에 의해 이송되는 카세트(30)을 향하여 빔을 조사하고, 빔이 조사된 카세트(30)의 영상을 획득한다.Looking at the operating state of the
획득된 영상은 비교분석부(300)에 의해 빔의 패턴(20)을 분석 및 검출한 다음, 저장되어 있던 각 패턴과 비교하여 카세트(30)에 소재 시트의 수납 여부를 확인한다.The acquired image is analyzed and detected by the
이에, 카세트(30)에 소재 시트가 수납된 수납공간부와 비어있는 수납공간부를 확인할 수 있다.Thus, it is possible to confirm the storage space portion in which the material sheet is stored in the
이를 위한, 영상획득수단(200)은 카세트(30)의 수납공간부의 개방된 전측에 위치되어 패턴을 포함한 카세트 영상을 획득하게 된다.To this end, the image acquiring means 200 is located on the open front side of the storage space portion of the
그리고 빔조사부(100)는 영상획득수단(200)과 카세트(30)를 지나는 연장선상을 기준으로, 카세트(30)를 향하여 연장선상과 일정 각도로 빔을 조사한다.The
이러한 빔의 패턴(20)은 영상획득수단(200)과 일정 각도로 영상을 획득함에 따라, 카세트(30)에 수납된 각 소재 시트(1)의 단부를 지나면서 끊어지는 부분이 생기며, 이 끊어진 패턴은 각 수납공간부에 소재 시트(1)의 수납 여부를 확인할 수 있다.As the
또한 각 끊어진 패턴(20)은 직선 또는 경사 또는 호 형상으로 맺히고, 비교분석부(300)에서 획득한 영상을 분석하여 패턴(20)을 분석하여 각 소재 시트(1)의 단부 상태를 파악할 수 있다.Each
여기서, 빔조사부(100)는 도 2에서 도시한 바와 같이, 제1빔조사부(110)와 제2빔조사부(120)로 구성된다.Here, as shown in FIG. 2, the
제1빔조사부(110)는 카세트(30)에 수납된 복수의 소재 시트의 일측 단부들을 향하여 빔을 조사하고, 제2빔조사부(120)는 카세트(30)에 수납된 복수의 소재 시트의 타측 단부들을 향하여 빔을 조사하도록 구비된다.The first
이러한 제1빔조사부(110)와 제2빔조사부(120)에서 각각의 빔을 조사하여 각 패턴(20, 20')을 분석함에 따라 각 소재 시트(1)의 단부 일측와 타측에 대한 정확한 데이터를 확인할 수 있다.The first
이를 위한, 영상획득수단(200)은 도 3에서 도시한 바와 같이, 조명부(210)와 카메라(220), 렌즈(230) 및 영상제어부(240)로 구성된다.3, the
조명부(210)는 빔이 조사된 카세트(30)를 향하여 조명을 조사하기 위해 구비되고, 카메라(220)는 조명부(210)에 의해 조명이 조사된 상태에서 빔을 포함한 카세트(30)의 영상을 획득하기 위해 구비된다.The
그리고 렌즈(230)는 카메라(220)의 포커싱을 유지하기 위해 구비되며, 영상제어부(240)는 조명부(210)와 카메라(220)를 제어하기 위해 구비된다.The
이러한 영상획득수단(200)에 의해 패턴이 포함된 카세트(30)의 영상을 획득할 수 있다.The image of the
또한 도 4에서 도시한 바와 같이, 영상획득수단(200)을 상하이동시키기 위한 이동부(800)를 더 포함한다.As shown in FIG. 4, the apparatus further includes a moving
이 이동부(800)는 베이스프레임(810)과 가이드레일(820), 설치블럭(830), 롤러(840), 밸트(850) 및 구동모터(860)로 구성된다.The moving
가이드레일(820)은 베이스프레임(810)에 구비된다.The
그리고 설치블럭(830)은 영상획득수단(200)이 설치되고, 가이드레일(820)을 따라 이동되기 위해 구비된다.The
롤러(840)는 베이스프레임(810)의 상단부와 하단부에 각각 구비되고, 밸트(850)는 한 쌍의 롤러(840)를 연결하여 설치블럭(830)을 이동시키기 위해 구비된다.The
또한 구동모터(860)는 한 쌍의 롤러(840) 중 어느 하나를 회전시키기 위해 구비되어 일방향 또는 타방향으로 회전시켜 설치블럭(830)을 상하 이동시킴에 따라 영상획득수단(200)을 승강시킬 수 있다.Further, the driving
그리고 정상적인 빔 패턴과 비정상적인 다양한 빔 패턴에 대한 카세트(30)와 소재 시트(1)의 데이터가 저장된 데이터베이스(500)가 구비된다.And a
비교분석부(300)는 도 5에서 도시한 바와 같이, 영상분석부(310)와 패턴검출부(320) 및 패턴해석부(330)로 구성된다.As shown in FIG. 5, the comparison and
영상분석부(310)는 영상획득수단(200)에 의해 획득한 영상 중 빔 패턴을 검출한다.The
그리고 패턴검출부(320)는 영상분석부(310)에서 검출된 빔 패턴(20)과 데이터베이스(500)의 빔 패턴을 대조하여 동일한 빔 패턴을 검출하게 된다.The
패턴해석부(330)는 패턴검출부(320)에서 검출된 패턴(20)에 대한 소재 시트의 유무와 단부 상태를 확인하기 위해 구비된다.The
여기서, 패턴해석부(330)의 데이터는 해당 카세트에 수납된 소재 시트 단부의 형태와 소재 시트의 수납여부를 포함한다.Here, the data of the
또한 패턴해석부(330)의 데이터를 수신하여 표시하기 위한 표시부(600)가 더 구비된다.And a
이 표시부(600)는 패턴(20)을 포함한 영상이 표시되어 관리자가 실시간 확인할 수 있는 것으로, 메인제어부(400)에 의해 제어된다.The
그리고 메세지발송부(700)가 구비되어 사전에 등록된 단말기로 패턴해석부(330)의 데이터를 실시간 발송한다.A
여기서, 사전에 등록된 단말기는 작업자와 관리자 등의 휴대폰이나 PDA단말기 등이다.Here, the terminal registered in advance is a mobile phone or a PDA terminal such as an operator and a manager.
10 : 검출장치
100 : 빔조사부
200 : 영상획득수단
300 : 비교분석부
400 : 메인제어부
500 : 데이터베이스
600 : 표시부
700 : 메세지발송부10: Detection device 100: Beam irradiation part
200: image acquiring means 300: comparative analyzing unit
400: main control unit 500: database
600: Display section 700: Message sending section
Claims (9)
상기 카세트에 수납된 복수의 소재시트 각 단부를 향하여 직선형의 빔을 조사하는 빔조사부;
상기 빔조사부에 의해 조사된 빔의 패턴을 포함한 영상을 획득하기 위한 영상획득수단;
상기 영상획득수단에 의해 획득한 영상을 정상적인 빔 패턴과 비교하여 분석하기 위한 비교분석부; 및
딥 러닝을 기반으로 상기 빔조사부와 영상획득수단, 비교분석부를 제어하기 위한 메인제어부;를 포함하는 카세트용 소재 시트 단부 검출장치.A cassette having a plurality of accommodating space parts for accommodating a sheet of material;
A beam irradiating unit for irradiating a straight beam toward each end of a plurality of material sheets accommodated in the cassette;
Image acquiring means for acquiring an image including a pattern of a beam irradiated by the beam irradiating portion;
A comparison and analysis unit for comparing the image acquired by the image acquisition unit with a normal beam pattern and analyzing the image; And
And a main control unit for controlling the beam irradiation unit, the image acquisition unit, and the comparison / analysis unit based on the deep running.
상기 영상획득수단은 상기 카세트의 수납공간부의 개방된 전측에 위치되고,
상기 빔조사부는,
상기 영상획득수단과 카세트를 지나는 연장선상을 기준으로, 상기 카세트를 향하여 연장선상과 일정 각도로 빔을 조사하는 것을 특징으로 하는 카세트용 소재 시트 단부 검출장치.The method according to claim 1,
Wherein the image acquiring means is located on an open front side of the storage space portion of the cassette,
The beam-
And a beam is irradiated to the cassette at an angle with an extension line on the basis of the extension line passing through the image acquiring means and the cassette.
상기 카세트에 수납된 복수의 소재 시트의 일측 단부들을 향하여 빔을 조사하는 제1빔조사부; 및
상기 카세트에 수납된 복수의 소재 시트의 타측 단부들을 향하여 빔을 조사하는 제2빔조사부;를 포함하는 카세트용 소재 시트 단부 검출장치.The apparatus according to claim 1,
A first beam irradiating unit for irradiating a beam toward one end of a plurality of work sheets accommodated in the cassette; And
And a second beam irradiating unit for irradiating a beam toward the other end portions of the plurality of work sheets housed in the cassette.
상기 빔이 조사된 카세트를 향하여 조명을 조사하기 위한 조명부;
상기 조명부에 의해 조명이 조사된 상태에서 빔을 포함한 카세트의 영상을 획득하기 위한 카메라;
카메라의 포커싱을 유지하기 위한 렌즈; 및
상기 조명부와 카메라를 제어하기 위한 영상제어부;를 포함하는 카세트용 소재 시트 단부 검출장치.2. The image capturing apparatus according to claim 1,
An illumination unit for irradiating illumination toward the cassette onto which the beam is irradiated;
A camera for acquiring an image of a cassette including a beam in a state that the illumination is irradiated by the illumination unit;
A lens for maintaining the focusing of the camera; And
And an image control unit for controlling the illumination unit and the camera.
상기 영상획득수단을 상하이동시키기 위한 이동부;를 더 포함하는 카세트용 소재 시트 단부 검출장치.5. The method of claim 4,
And a moving unit for moving the image acquiring unit up and down.
베이스프레임;
상기 베이스프레임에 구비되는 가이드레일;
상기 영상획득수단이 설치되고, 상기 가이드레일을 따라 이동되기 위한 설치블럭;
상기 베이스프레임의 상단부와 하단부에 각각 구비되는 한 쌍의 롤러;
상기 한 쌍의 롤러를 연결하여 상기 설치블럭을 이동시키기 위한 밸트; 및
상기 한 쌍의 롤러 중 어느 하나를 회전 시키기 위한 구동모터;를 포함하는 카세트용 소재 시트 단부 검출장치.6. The apparatus according to claim 5,
A base frame;
A guide rail provided on the base frame;
An installation block for installing the image acquiring unit and moving along the guide rail;
A pair of rollers provided at an upper end portion and a lower end portion of the base frame, respectively;
A belt for connecting the pair of rollers to move the installation block; And
And a driving motor for rotating any one of the pair of rollers.
정상적인 빔 패턴과 비정상적인 다양한 빔 패턴에 대한 카세트에 수납된 소재 시트의 데이터가 저장된 데이터베이스;가 구비되고,
상기 비교분석부는,
상기 영상획득수단에 의해 획득한 영상 중 빔 패턴을 검출하는 영상분석부;
상기 영상분석부에서 검출된 빔 패턴과 상기 데이터베이스의 빔 패턴을 대조하여 동일한 빔 패턴을 검출하는 패턴검출부; 및
상기 패턴검출부에서 검출된 패턴에 대한 소재 시트 수납 상태를 확인하기 위한 패턴해석부;를 포함하는 카세트용 소재 시트 단부 검출장치.The method according to claim 1,
A database storing data of a material sheet stored in a cassette for a normal beam pattern and abnormal various beam patterns,
The comparison /
An image analyzing unit for detecting a beam pattern in an image acquired by the image acquiring unit;
A pattern detector for detecting the same beam pattern by collating the beam pattern detected by the image analyzer with the beam pattern of the database; And
And a pattern analyzing unit for checking a state of accommodating the sheet of material with respect to the pattern detected by the pattern detecting unit.
상기 패턴해석부의 데이터를 수신하여 표시하기 위한 표시부;가 더 구비되고, 상기 메인제어부에 의해 제어되는 것을 특징으로 하는 카세트용 소재 시트 단부 검출장치.8. The method of claim 7,
And a display unit for receiving and displaying data of the pattern analyzing unit, wherein the display unit is controlled by the main control unit.
사전에 등록된 단말기로 상기 패턴해석부의 데이터를 실시간 발송하는 메세지발송부;가 더 포함되는 카세트용 소재 시트 단부 검출장치.8. The method of claim 7,
And a message sending unit for sending data of the pattern analyzing unit in real time to a terminal registered in advance.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020170056550A KR101982918B1 (en) | 2017-05-02 | 2017-05-02 | Material sheet end detecting device for cassette |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020170056550A KR101982918B1 (en) | 2017-05-02 | 2017-05-02 | Material sheet end detecting device for cassette |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20180122251A true KR20180122251A (en) | 2018-11-12 |
| KR101982918B1 KR101982918B1 (en) | 2019-05-27 |
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ID=64398013
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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| KR (1) | KR101982918B1 (en) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR200336812Y1 (en) * | 2003-09-17 | 2003-12-24 | 김광렬 | Apparatus for detecting a defect on edge area of a wafer |
| KR20120000760A (en) * | 2010-06-28 | 2012-01-04 | 동원대학 산학협력단 | Crack detecting device |
| KR20120103565A (en) * | 2009-11-17 | 2012-09-19 | 신포니아 테크놀로지 가부시끼가이샤 | Wafer detecting apparatus |
| JP2013004927A (en) * | 2011-06-21 | 2013-01-07 | Toshiba Corp | Wafer mapping device and wafer mapping method |
-
2017
- 2017-05-02 KR KR1020170056550A patent/KR101982918B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (4)
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| JP2013004927A (en) * | 2011-06-21 | 2013-01-07 | Toshiba Corp | Wafer mapping device and wafer mapping method |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR101982918B1 (en) | 2019-05-27 |
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