KR20180108439A - Photosensitive compositions - Google Patents

Photosensitive compositions

Info

Publication number
KR20180108439A
KR20180108439A KR1020180025208A KR20180025208A KR20180108439A KR 20180108439 A KR20180108439 A KR 20180108439A KR 1020180025208 A KR1020180025208 A KR 1020180025208A KR 20180025208 A KR20180025208 A KR 20180025208A KR 20180108439 A KR20180108439 A KR 20180108439A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
compound
meth
acid
bis
phenyl
Prior art date
Application number
KR1020180025208A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
나오키 와타나베
유키 오카모토
Original Assignee
제이엔씨 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 제이엔씨 주식회사 filed Critical 제이엔씨 주식회사
Publication of KR20180108439A publication Critical patent/KR20180108439A/en

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08GMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
    • C08G69/00Macromolecular compounds obtained by reactions forming a carboxylic amide link in the main chain of the macromolecule
    • C08G69/44Polyester-amides
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/20Filters
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/0005Production of optical devices or components in so far as characterised by the lithographic processes or materials used therefor
    • G03F7/0007Filters, e.g. additive colour filters; Components for display devices
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/027Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
    • G03F7/028Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with photosensitivity-increasing substances, e.g. photoinitiators
    • G03F7/031Organic compounds not covered by group G03F7/029
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/038Macromolecular compounds which are rendered insoluble or differentially wettable
    • G03F7/0385Macromolecular compounds which are rendered insoluble or differentially wettable using epoxidised novolak resin
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/038Macromolecular compounds which are rendered insoluble or differentially wettable
    • G03F7/0387Polyamides or polyimides

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Polymers & Plastics (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Materials For Photolithography (AREA)
  • Epoxy Resins (AREA)
  • Macromolecular Compounds Obtained By Forming Nitrogen-Containing Linkages In General (AREA)
  • Optical Filters (AREA)
  • Polymerisation Methods In General (AREA)

Abstract

The present invention relates to a photosensitive composition comprising a polyester amide acid, a compound having a polymerizable double bond, a photopolymerization initiator, an epoxy compound, an epoxy curing agent and an inorganic fine particle, and specifically, to a photosensitive composition obtained by reacting the polyester amide acid with a tetracarboxylic dianhydride, a diamine and a polyhydric hydroxy compound as essential raw material components. With the photosensitive composition of the present invention, a cured film having excellent heat resistance, transparency, flatness, residual film ratio, resolution, and refractive index can be formed.

Description

감광성 조성물{PHOTOSENSITIVE COMPOSITIONS}[0001] PHOTOSENSITIVE COMPOSITIONS [0002]

본 발명은 각종 소자에 사용되는 감광성 조성물, 당해 감광성 조성물로부터 형성되는 경화막, 및 경화막을 사용한 컬러 필터, 절연막, 보호막 혹은 광도파로에 관한 것이다.The present invention relates to a photosensitive composition used in various devices, a cured film formed from the photosensitive composition, and a color filter, an insulating film, a protective film, or an optical waveguide using the cured film.

표시 소자 등의 소자의 제조 공정 중에는, 유기용제, 산, 알칼리 용액 등의 다양한 약품 처리가 이루어지거나, 스퍼터링에 의해 배선 전극을 성막할 때에, 표면이 국부적으로 고온으로 가열되거나 하는 경우가 있다. 이 때문에, 각종 소자의 표면의 열화, 손상, 변질을 방지하는 목적으로 표면 보호막이 형성되는 경우가 있다. 이들의 보호막에는, 상기와 같은 제조 공정 중의 각종 처리에 견딜 수 있는 제반 특성이 요구된다. 구체적으로는, 내열성, 내용제성·내산성·내알칼리성 등의 내약품성, 내수성, 유리 등의 하지 기판에 대한 밀착성, 투명성, 내상성, 평탄성, 내광성 등이 요구된다. 또한, 표시 소자의 고시야각화, 고속 응답화, 고정밀화, 광색역화 등의 고성능화가 진행되는 가운데, 예를 들면 컬러 필터 보호막으로서 사용되는 경우에는, 투명성, 내열성 및 내용제성이 향상된 재료가 요구되고 있다.In the manufacturing process of elements such as display elements, various chemical treatments such as organic solvents, acids, and alkaline solutions are performed, or when the wiring electrodes are formed by sputtering, the surface may be locally heated to a high temperature. For this reason, a surface protective film may be formed for the purpose of preventing deterioration, damage, and alteration of the surface of various devices. These protective films are required to have various properties that can withstand various treatments in the above-described manufacturing process. Specifically, it is required to have heat resistance, chemical resistance such as solvent resistance, acid resistance and alkali resistance, water resistance, adhesion to a base substrate such as glass, transparency, durability, flatness and light resistance. In addition, while high performance such as high viewing angle, fast response, high definition, and coloring of the display device is being promoted, for example, a material having improved transparency, heat resistance and solvent resistance is required when used as a color filter protective film have.

또한, 상기 보호막은 상술한 각각의 역할을 만족시키는 것은 물론, 예를 들면 톱 에미션형 유기 EL 소자의 광학계 부재로서 사용하는 경우에는, 광 취출 효율을 향상시키기 때문에, 고굴절률, 고투명성이 요구된다.Further, in addition to satisfying each of the above-described roles, the protective film is required to have high refractive index and high transparency because it improves the light extraction efficiency when used, for example, as an optical system member of a top emission type organic EL device .

이들 보호막을 형성하기 위한 경화성 조성물의 종류로는, 감광성 조성물, 열경화성 조성물로 대별된다. 열경화성 조성물은 막 형성시에 고온 가열에 의해 완전히 경화시키기 때문에, 그 후의 공정에 있어서 고온으로 가열되는 경우에도 발생하는 휘발분이 적어, 내열성이 우수하다. 이 우수한 특성을 갖는 열경화성의 보호막 재료로는, 예를 들면, 특허문헌 1에 나타내는 바와 같은 폴리에스테르아미드산 조성물이 있다. 그러나, 열경화성 조성물은, 미세 패턴을 형성할 수 없고, 미세 패턴 형성에 있어서는, 레지스트 재료나 많은 추가 공정을 필요로 한다.The types of the curable composition for forming these protective films are roughly classified into a photosensitive composition and a thermosetting composition. Since the thermosetting composition is completely cured by high-temperature heating at the time of film formation, volatilization generated even when heated to a high temperature in subsequent steps is small, and heat resistance is excellent. As a thermosetting protective film material having these excellent characteristics, for example, there is a polyester amide acid composition as shown in Patent Document 1. [ However, the thermosetting composition can not form a fine pattern, and in forming a fine pattern, a resist material and many additional processes are required.

한편, 감광성 조성물의 경우, 미세 패턴의 형성이 용이하며, 성형성이 우수하다. 감광성 조성물은 광중합성기를 갖는 폴리머나 올리고머 혹은 모노머와 광중합 개시제로 이루어지고, 자외선을 비롯한 광의 에너지에 의해 화학 반응을 일으켜 경화하는 것이다. 감광성 조성물의 기판에 대한 도포, 노광, 현상, 소성 등의 공정을 거쳐 미세 패턴을 형성한다.On the other hand, in the case of a photosensitive composition, formation of a fine pattern is easy and moldability is excellent. The photosensitive composition is composed of a polymer, oligomer or monomer having a photopolymerizable group and a photopolymerization initiator and causes a chemical reaction by the energy of light including ultraviolet rays to cure. The photosensitive composition is subjected to processes such as coating, exposure, development, firing, etc. on the substrate to form a fine pattern.

근래에는 패턴 형성의 용이성에서, 감광성 조성물의 보호막으로서의 요구가 증가하고 있고, 보다 높은 현상 후 잔막율(이하, 잔막율이라고 표기)로 미세 패턴 형성이 가능한 감광성 조성물이 요구되고 있다. 또한, 광학계 부재에 대한 사용 목적에서, 높은 잔막율로 미세 패턴 형성이 가능한 것에 추가로, 경화막이 고굴절률이나 고투명성, 고내열성을 갖는 것도 요구되고 있다.In recent years, there has been a demand for a protective film for a photosensitive composition in easiness of pattern formation, and a photosensitive composition capable of forming a fine pattern with a higher residual film ratio (hereinafter referred to as a residual film ratio) is required. Further, in addition to being capable of forming a fine pattern with a high residual film ratio for use in an optical member, it is also demanded that the cured film has a high refractive index, high transparency, and high heat resistance.

고굴절률 경화막을 부여하는 감광성 조성물의 예로서, 특허문헌 2에 나타내는 바와 같이, 무기 미립자를 포함하는 감광성 조성물의 예가 보고되고 있다. 그러나, 특허문헌 2에서는, 아크릴계 수지를 포함하는 감광성 조성물로부터 형성한 경화막의 투과율이나 굴절률은 개시되어 있지만, 내열성을 충분히 만족시킬 수 있는 것이 아니며, 더욱 개량이 요구되고 있다.As an example of a photosensitive composition that gives a high refractive index cured film, an example of a photosensitive composition containing inorganic fine particles has been reported as disclosed in Patent Document 2. However, in Patent Document 2, although the transmittance and the refractive index of a cured film formed from a photosensitive composition containing an acrylic resin have been disclosed, they are not sufficiently satisfactory in heat resistance, and further improvement is required.

또한, 감광성 조성물에 무기 미립자를 첨가하는 경우에 있어서, 감광성 조성물에 포함되는 수지에 대한 무기 미립자의 분산성이 나쁜 경우에는, 무기 미립자의 응집이 일어나, 얻어진 경화막의 투과율 저하나, 잔막율의 저하를 일으키게 되는 등의 문제가 발생하는 경우가 있다.Further, when the inorganic fine particles are added to the photosensitive composition, when the dispersibility of the inorganic fine particles to the resin contained in the photosensitive composition is poor, aggregation of the inorganic fine particles occurs, and the transmittance of the obtained cured film is lowered, And the like may occur in some cases.

일본 공개특허공보 2008-156546호Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2008-156546 일본 공개특허공보 2014-160228호Japanese Patent Application Laid-Open No. 2014-160228

본 발명의 과제는 컬러 필터, 절연막, 보호막, 또는 광도파로 등, 다양한 용도에 적용하기 위해, 내열성, 투명성, 평탄성, 나아가서는, 특히 잔막율, 해상성, 굴절률이 우수한 경화막을 제공하는 것이다. 또한, 이러한 경화막을 형성할 수 있는 감광성 조성물을 제공하는 것이다.The object of the present invention is to provide a cured film excellent in heat resistance, transparency, flatness, further, particularly, residual film ratio, resolution and refractive index, for application to various applications such as color filters, insulating films, protective films or optical waveguides. Further, it is intended to provide a photosensitive composition capable of forming such a cured film.

본 발명자들은 상기 과제를 해결하기 위해 예의 검토한 결과, 폴리에스테르아미드산, 중합성 이중 결합을 갖는 화합물, 광중합 개시제, 에폭시 화합물, 에폭시 경화제, 무기 미립자를 포함하는 조성물, 및 당해 조성물을 경화하여 얻어지는 경화막에 의해, 상기 목적을 달성할 수 있는 것을 알아내어, 본 발명을 완성하기에 이르렀다.As a result of intensive studies to solve the above problems, the present inventors have found that a composition comprising a polyester amide acid, a compound having a polymerizable double bond, a photopolymerization initiator, an epoxy compound, an epoxy curing agent and an inorganic microfine particle, And that the above object can be achieved by the cured film, and thus the present invention has been accomplished.

본 발명은 이하의 구성을 포함한다.The present invention includes the following configuration.

[1] 폴리에스테르아미드산(A), 중합성 이중 결합을 갖는 화합물(B), 광중합 개시제(C), 에폭시 화합물(D), 에폭시 경화제(E), 및 무기 미립자(F)를 포함하는 감광성 조성물로서;[1] A photosensitive resin composition comprising a polyester amide acid (A), a polymerizable double bond-containing compound (B), a photopolymerization initiator (C), an epoxy compound (D), an epoxy curing agent (E) As a composition;

상기 폴리에스테르아미드산(A)는 X몰의 테트라카르복실산 이무수물, Y몰의 디아민 및 Z몰의 다가히드록시 화합물을 하기 식 (1) 및 식 (2)의 관계가 성립되는 비율로 반응시킴으로써 얻어지고, 하기 식 (3)으로 나타내는 구성 단위 및 하기 식 (4)로 나타내는 구성 단위를 포함하고;The polyester amide acid (A) is obtained by reacting X mole of tetracarboxylic dianhydride, Y mole of diamine and Z mole of polyhydric hydroxy compound at a ratio satisfying the relations of the following formulas (1) and (2) And includes a constituent unit represented by the following formula (3) and a constituent unit represented by the following formula (4);

상기 중합성 이중 결합을 갖는 화합물(B)는 중합성 이중 결합을 1분자당 2개 이상 포함하고;The compound (B) having a polymerizable double bond has two or more polymerizable double bonds per molecule;

상기 에폭시 화합물(D)는 에폭시기를 1분자당 2∼10개 포함하고;The epoxy compound (D) contains 2 to 10 epoxy groups per molecule;

상기 폴리에스테르아미드산(A) 100중량부에 대해, 상기 중합성 이중 결합을 갖는 화합물(B)의 총량은 20∼300중량부이며, 상기 에폭시 화합물(D)의 총량은 20∼200중량부인 감광성 조성물;The total amount of the polymerizable double bond-containing compound (B) is 20 to 300 parts by weight based on 100 parts by weight of the polyester amide acid (A), the total amount of the epoxy compound (D) is 20 to 200 parts by weight, Composition;

0.2≤Z/Y≤8.0·······(1)0.2? Z / Y? 8.0 (1)

0.2≤(Y+Z)/X≤5.0 ···(2)0.2? (Y + Z) /X? 5.0 (2)

Figure pat00001
Figure pat00001

식 (3) 및 식 (4)에 있어서, R1은 테트라카르복실산 이무수물로부터 2개의 -CO-O-CO-를 제외한 잔기이며, R2는 디아민으로부터 2개의 -NH2를 제외한 잔기이며, R3은 다가히드록시 화합물로부터 2개의 -OH를 제외한 잔기이다.In the formulas (3) and (4), R 1 is a residue excluding two -CO-O-CO- from a tetracarboxylic acid dianhydride, R 2 is a residue excluding two -NH 2 from a diamine, , And R < 3 > is a residue excluding two -OH from the polyhydric hydroxy compound.

[2] 상기 폴리에스테르아미드산(A)의 원료 성분이 추가로 모노히드록시 화합물을 포함하는 [1]에 기재된 감광성 조성물.[2] The photosensitive composition according to [1], wherein the raw material component of the polyester amide acid (A) further comprises a monohydroxy compound.

[3] 상기 모노히드록시 화합물이 이소프로필알코올, 알릴알코올, 벤질알코올, 히드록시에틸메타크릴레이트, 프로필렌글리콜모노에틸에테르, 3-에틸-3-히드록시메틸옥세탄, 및 4-메톡시페놀로부터 선택되는 적어도 하나인 [2]에 기재된 감광성 조성물.[3] The method according to [1], wherein the monohydroxy compound is at least one selected from the group consisting of isopropyl alcohol, allyl alcohol, benzyl alcohol, hydroxyethyl methacrylate, propylene glycol monoethyl ether, Is at least one selected from the group consisting of a halogen atom and a halogen atom.

[4] 상기 폴리에스테르아미드산(A)의 중량 평균 분자량이 1,000∼200,000이며;[4] The polyester amide acid (A) has a weight average molecular weight of 1,000 to 200,000;

상기 테트라카르복실산 이무수물이 3,3',4,4'-디페닐술폰테트라카르복실산 이무수물, 3,3',4,4'-디페닐에테르테트라카르복실산 이무수물, 2,2-[비스(3,4-디카르복시페닐)]헥사플루오로프로판 이무수물, 1,2,3,4-부탄테트라카르복실산 이무수물, 및 에틸렌글리콜비스(안히드로트리멜리테이트)로부터 선택되는 적어도 하나이며;Wherein the tetracarboxylic acid dianhydride is selected from the group consisting of 3,3 ', 4,4'-diphenylsulfone tetracarboxylic dianhydride, 3,3', 4,4'-diphenyl ether tetracarboxylic dianhydride, (Dihydrocarbodiimide) is selected from 2- [bis (3,4-dicarboxyphenyl)] hexafluoropropane dianhydride, 1,2,3,4-butanetetracarboxylic acid dianhydride, and ethylene glycol bis Is at least one;

상기 디아민이 3,3'-디아미노디페닐술폰 및 비스[4-(3-아미노페녹시)페닐]술폰으로부터 선택되는 적어도 하나이며;The diamine is at least one selected from 3,3'-diaminodiphenylsulfone and bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfone;

상기 다가히드록시 화합물이 에틸렌글리콜, 프로필렌글리콜, 1,4-부탄디올, 1,5-펜탄디올, 1,6-헥산디올, 1,7-헵탄디올, 1,8-옥탄디올, 2,2-비스(4-히드록시시클로헥실)프로판, 4,4'-디히드록시디시클로헥실 및 이소시아눌산 트리스(2-히드록시에틸)로부터 선택되는 적어도 하나이며;Wherein the polyhydric hydroxy compound is selected from the group consisting of ethylene glycol, propylene glycol, 1,4-butanediol, 1,5-pentanediol, 1,6-hexanediol, 1,7- Bis (4-hydroxycyclohexyl) propane, 4,4'-dihydroxydicyclohexyl, and isocyanuric acid tris (2-hydroxyethyl);

상기 중합성 이중 결합을 갖는 화합물(B)가 디펜타에리스리톨펜타아크릴레이트, 디펜타에리스리톨헥사아크릴레이트, 펜타에리스리톨테트라아크릴레이트, 펜타에리스리톨트리아크릴레이트, 및 이소시아눌산에틸렌옥시드 변성 트리아크릴레이트로부터 선택되는 적어도 하나를, 상기 중합성 이중 결합을 갖는 화합물의 총 중량에 대해 50중량% 이상 함유하고;Wherein the polymerizable double bond-containing compound (B) is at least one compound selected from the group consisting of dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, pentaerythritol triacrylate, and isocyanuric acid ethyleneoxide- At least one selected is contained in an amount of 50% by weight or more based on the total weight of the compound having a polymerizable double bond;

상기 에폭시 화합물(D)가 3',4'-에폭시시클로헥실메틸-3,4-에폭시시클로헥산카르복실레이트, 1-메틸-4-(2-메틸옥시라닐)-7-옥사비시클로[4.1.0]헵탄, 2-[4-(2,3-에폭시프로폭시)페닐]-2-[4-[1,1-비스[4-(2,3-에폭시프로폭시)페닐]에틸]페닐]프로판과, 1,3-비스[4-[1-[4-(2,3-에폭시프로폭시)페닐]-1-[4-[1-[4-(2,3-에폭시프로폭시)페닐]-1-메틸에틸]페닐]에틸]페녹시]-2-프로판올과의 혼합물, 2-[4-(2,3-에폭시프로폭시)페닐]-2-[4-[1,1-비스[4-(2,3-에폭시프로폭시)페닐]에틸]페닐]프로판, 1,1,1-트리스(4-히드록시페닐)에탄트리글리시딜에테르, 1,3-비스(옥시라닐메틸)-5-(2-프로페닐)-1,3,5-트리아진-2,4,6(1H,3H,5H)-트리온, 및 2,2-비스(히드록시메틸)-1-부탄올의 1,2-에폭시-4-(2-옥시라닐)시클로헥산 부가물로부터 선택되는 적어도 하나인 [1]∼[3] 중 어느 하나에 기재된 감광성 조성물.Wherein the epoxy compound (D) is at least one selected from the group consisting of 3 ', 4'-epoxycyclohexylmethyl-3,4-epoxycyclohexanecarboxylate, 1-methyl- Ethyl] phenyl] phenyl] -2- [4- [1,1-bis [4- (2,3-epoxypropoxy) ] Propane and 1,3-bis [4- [1- [4- (2,3-epoxypropoxy) phenyl] -1- [4- [1- [4- Phenoxy] phenyl] ethyl] phenoxy] -2-propanol, 2- [4- (2,3- Tris (4-hydroxyphenyl) ethane triglycidyl ether, 1,3-bis (oxiranylmethyl) propane, (1H, 3H, 5H) -triene, and 2,2-bis (hydroxymethyl) -1- The photosensitive composition according to any one of [1] to [3], wherein the photosensitive composition is at least one selected from 1,2-epoxy-4- (2-oxiranyl) cyclohexane adduct of butanol.

[5] 상기 광중합 개시제(C)가 α-아미노알킬페논계 광중합 개시제, 아실포스핀옥사이드계 광중합 개시제 및 옥심에스테르계 광중합 개시제로부터 선택되는 적어도 하나인 [1]∼[4] 중 어느 하나에 기재된 감광성 조성물.[5] The photopolymerization initiator according to any one of [1] to [4], wherein the photopolymerization initiator (C) is at least one selected from an α-aminoalkylphenon-based photopolymerization initiator, an acylphosphine oxide-based photopolymerization initiator and an oximeester- Sensitive composition.

[6] 상기 에폭시 경화제(E)가 트리멜리트산 무수물, 헥사히드로트리멜리트산 무수물 및 2-운데실이미다졸로부터 선택되는 적어도 하나인 [1]∼[5] 중 어느 하나에 기재된 감광성 조성물.[6] The photosensitive composition according to any one of [1] to [5], wherein the epoxy curing agent (E) is at least one selected from trimellitic anhydride, hexahydrotrimellitic anhydride and 2-undecylimidazole.

[7] 상기 테트라카르복실산 이무수물이 3,3',4,4'-디페닐에테르테트라카르복실산 이무수물 및 1,2,3,4-부탄테트라카르복실산 이무수물로부터 선택되는 적어도 하나이며;[7] The method according to any one of [1] to [3], wherein the tetracarboxylic acid dianhydride is at least one selected from 3,3 ', 4,4'-diphenyl ether tetracarboxylic dianhydride and 1,2,3,4- One;

상기 디아민이 3,3'-디아미노디페닐술폰이며;The diamine is 3,3'-diaminodiphenylsulfone;

상기 다가히드록시 화합물이 1,4-부탄디올이며;The polyhydric hydroxy compound is 1,4-butanediol;

상기 중합성 이중 결합을 갖는 화합물(B)가 디펜타에리스리톨펜타아크릴레이트 및 디펜타에리스리톨헥사아크릴레이트로부터 선택되는 적어도 하나이며;The compound (B) having a polymerizable double bond is at least one selected from dipentaerythritol pentaacrylate and dipentaerythritol hexaacrylate;

상기 광중합 개시제(C)가 하기 식 (5)로 나타내는 화합물을 광중합 개시제의 전체 중량에 대해 50중량% 이상 함유하고;The photopolymerization initiator (C) contains a compound represented by the following formula (5) in an amount of 50% by weight or more based on the total weight of the photopolymerization initiator;

상기 에폭시 화합물(D)가 2-[4-(2,3-에폭시프로폭시)페닐]-2-[4-[1,1-비스[4-(2,3-에폭시프로폭시)페닐]에틸]페닐]프로판과, 1,3-비스[4-[1-[4-(2,3-에폭시프로폭시)페닐]-1-[4-[1-[4-(2,3-에폭시프로폭시)페닐]-1-메틸에틸]페닐]에틸]페녹시]-2-프로판올과의 혼합물, 및 2-[4-(2,3-에폭시프로폭시)페닐]-2-[4-[1,1-비스[4-(2,3-에폭시프로폭시)페닐]에틸]페닐]프로판으로부터 선택되는 적어도 하나이며;Wherein the epoxy compound (D) is at least one selected from the group consisting of 2- [4- (2,3-epoxypropoxy) phenyl] -2- [4- [1,1- ] Phenyl] propane, and 1,3-bis [4- [1- [4- (2,3-epoxypropoxy) phenyl] -1- [4- [1- [4- Phenoxy] phenyl] -2- [4- [1, 2-dihydroxyphenyl] , 1-bis [4- (2,3-epoxypropoxy) phenyl] ethyl] phenyl] propane;

상기 에폭시 경화제(E)가 트리멜리트산 무수물 및 2-운데실이미다졸로부터 선택되는 적어도 하나를 포함하고;Wherein the epoxy curing agent (E) comprises at least one selected from trimellitic anhydride and 2-undecylimidazole;

추가로, 용제로서 3-메톡시프로피온산메틸 및 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종을 함유하는 [1]∼[6] 중 어느 하나에 기재된 감광성 조성물;The photosensitive composition according to any one of [1] to [6], further comprising at least one solvent selected from the group consisting of methyl 3-methoxypropionate and propylene glycol monomethyl ether acetate;

Figure pat00002
Figure pat00002

식 중, R4, R5, R7는 각각 독립적으로 탄소수 1∼5의 알킬기, 탄소수 2∼5의 알케닐기, 또는 탄소수 2∼5의 알키닐기이고, R6은 탄소수 1∼15의 알킬기, 탄소수 2∼15의 알케닐기, 또는 탄소수 2∼15의 알키닐기이고, n는 각각 독립적으로 0∼5의 정수이다.Wherein R 4 , R 5 and R 7 are each independently an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, an alkenyl group having 2 to 5 carbon atoms, or an alkynyl group having 2 to 5 carbon atoms, R 6 is an alkyl group having 1 to 15 carbon atoms, An alkenyl group having 2 to 15 carbon atoms or an alkynyl group having 2 to 15 carbon atoms, and each n is independently an integer of 0 to 5.

[8] 상기 폴리에스테르아미드산(A)의 원료가 스티렌-무수말레산 공중합체를 포함하는 [1]∼[7] 중 어느 하나에 기재된 감광성 조성물.[8] The photosensitive composition according to any one of [1] to [7], wherein the raw material of the polyester amide acid (A) comprises a styrene / maleic anhydride copolymer.

[9] 상기 무기 미립자(F)가 폴리에스테르아미드산(A) 100중량부에 대해 30∼300중량부 함유하는 [1]∼[8] 중 어느 하나에 기재된 감광성 조성물.[9] The photosensitive composition according to any one of [1] to [8], wherein the inorganic fine particles (F) contain 30 to 300 parts by weight per 100 parts by weight of the polyester amide acid (A).

[10] 상기 무기 미립자(F)는 1차 입자경이 1∼100㎚인 산화티탄 또는 산화지르코니아인 [1]∼[9] 중 어느 하나에 기재된 감광성 조성물.[10] The photosensitive composition according to any one of [1] to [9], wherein the inorganic fine particles (F) are titanium oxide or zirconia having a primary particle size of 1 to 100 nm.

[11] [1]∼[10] 중 어느 하나에 기재된 감광성 조성물로부터 얻어지는 경화막.[11] A cured film obtained from the photosensitive composition according to any one of [1] to [10].

[12] [11]에 기재된 경화막을 투명 보호막으로서 갖는 컬러 필터.[12] A color filter having the cured film described in [11] as a transparent protective film.

[13] [11]에 기재된 경화막을 갖는 전자 디바이스.[13] An electronic device having the cured film according to [11].

이상의 구성에 의해, 본 발명에 따른 감광성 조성물은 내열성, 투명성, 평탄성, 나아가서는, 특히 잔막율, 해상성, 및 굴절률이 우수한 경화막을 형성할 수 있다. 이 경화막은 컬러 필터, 보호막, 절연막, 광도파로 등의 다양한 용도에 응용할 수 있다.With the above-described constitution, the photosensitive composition according to the present invention can form a cured film having excellent heat resistance, transparency, flatness, further, particularly excellent residual film ratio, resolution, and refractive index. This cured film can be applied to various applications such as a color filter, a protective film, an insulating film, and an optical waveguide.

1. 감광성 조성물1. Photosensitive composition

본 발명의 감광성 조성물은 테트라카르복실산 이무수물, 디아민, 다가히드록시 화합물을 필수 원료 성분으로 하여 반응시킴으로써 얻어지는 폴리에스테르아미드산(A), 중합성 이중 결합을 갖는 화합물(B), 광중합 개시제(C), 에폭시기를 1분자당 2∼10개 포함하는 에폭시 화합물(D), 에폭시 경화제(E), 및 무기 미립자(F)를 포함하는 조성물이다. 또한, 폴리에스테르아미드산(A) 100중량부에 대해, 중합성 이중 결합을 갖는 화합물(B)의 총량은 20∼300중량부이고, 에폭시 화합물(D)의 총량은 20∼200중량부이고, 무기 미립자(F)의 총량은 30∼300중량부이다.The photosensitive composition of the present invention comprises a polyester amide acid (A) obtained by reacting a tetracarboxylic dianhydride, a diamine, and a polyhydric hydroxy compound as essential raw material components, a compound (B) having a polymerizable double bond, a photopolymerization initiator C), an epoxy compound (D) containing 2 to 10 epoxy groups per molecule, an epoxy curing agent (E), and inorganic fine particles (F). The total amount of the compound (B) having a polymerizable double bond is 20 to 300 parts by weight based on 100 parts by weight of the polyester amide acid (A), the total amount of the epoxy compound (D) is 20 to 200 parts by weight, The total amount of the inorganic fine particles (F) is 30 to 300 parts by weight.

한편, 본 발명에 따른 감광성 조성물은 본 발명의 효과가 얻어지는 범위에 있어서, 상기 이외의 다른 성분을 추가로 함유해도 된다.On the other hand, the photosensitive composition according to the present invention may further contain other components in addition to the above-mentioned components in the range in which the effect of the present invention can be obtained.

1-1. 폴리에스테르아미드산(A)1-1. The polyester amide acid (A)

폴리에스테르아미드산(A)은 테트라카르복실산 이무수물, 디아민, 다가히드록시 화합물을 필수 원료 성분으로 하여 반응시킴으로써 얻어진다. 또한, 폴리에스테르아미드산(A)는 X몰의 테트라카르복실산 이무수물, Y몰의 디아민 및 Z몰의 다가히드록시 화합물을 하기 식 (1) 및 식 (2)의 관계가 성립되는 비율로 반응시킴으로써 얻어진다.The polyester amide acid (A) is obtained by reacting tetracarboxylic dianhydride, diamine, and polyhydric hydroxy compound as essential raw material components. Further, the polyester amide acid (A) is obtained by reacting X mole of tetracarboxylic dianhydride, Y mole of diamine and Z mole of polyhydric hydroxy compound at a ratio in which the relationship of the following formulas (1) and (2) .

또한, 폴리에스테르아미드산(A)는 식 (3)으로 나타내는 구성 단위, 식 (4)로 나타내는 구성 단위를 갖는다. 식 (3), 식 (4)에 있어서, R1은 테트라카르복실산 이무수물로부터 2개의 -CO-O-CO-를 제외한 잔기이며, R2는 디아민으로부터 2개의 -NH2를 제외한 잔기이다. R3는 중합성 이중 결합을 가져도 된다.The polyester amide acid (A) has a structural unit represented by the formula (3) and a structural unit represented by the formula (4). In the formulas (3) and (4), R 1 is a residue excluding two -CO-O-CO- from a tetracarboxylic dianhydride and R 2 is a residue excluding two -NH 2 from a diamine . R 3 may have a polymerizable double bond.

폴리에스테르아미드산(A)의 합성에는 적어도 용제가 필요하고, 이 용제를 그대로 남겨서 핸들링성 등을 고려한 액상이나 겔상의 감광성 조성물로 해도 되고, 이 용제를 제거하여 운반성 등을 고려한 고체 형상의 조성물로 해도 된다. 또한, 폴리에스테르아미드산(A)의 합성에는, 원료로서 필요에 따라 모노히드록시 화합물 및 스티렌-무수 말레산 공중합체로부터 선택되는 1종 이상의 화합물을 포함하고 있어도 되고, 그 중에서도, 모노히드록시 화합물을 포함하는 것이 바람직하다. 또한, 폴리에스테르아미드산(A)의 합성에는, 원료로서 본 발명의 목적을 저해하지 않는 범위에서, 필요에 따라 상기 이외의 다른 화합물을 포함하고 있어도 된다. 이러한 다른 원료의 예로서, 실리콘 함유 모노아민을 들 수 있다.In order to synthesize the polyester amide acid (A), at least a solvent is required, and the solvent may be left as it is to give a liquid or gel photosensitive composition in consideration of handling properties, etc. The solvent may be removed to obtain a solid composition . In the synthesis of the polyester amide acid (A), at least one compound selected from a monohydroxy compound and a styrene-maleic anhydride copolymer may be contained as a raw material if necessary. Among them, a monohydroxy compound . The synthesis of the polyester amide acid (A) may also include other compounds than those mentioned above as needed as far as the object of the present invention is not impaired as a raw material. Examples of such other raw materials include silicon-containing monoamines.

1-1-1. 테트라카르복실산 이무수물 1-1-1. Tetracarboxylic dianhydride

본 발명에서는 폴리에스테르아미드산(A)을 얻기 위한 재료로서, 테트라카르복실산 이무수물을 사용한다. 바람직한 테트라카르복실산 이무수물의 구체예는, 3,3',4,4'-벤조페논테트라카르복실산 이무수물, 2,2',3,3'-벤조페논테트라카르복실산 이무수물, 2,3,3',4'-벤조페논테트라카르복실산 이무수물, 3,3',4,4'-디페닐술폰테트라카르복실산 이무수물, 2,2',3,3'-디페닐술폰테트라카르복실산 이무수물, 2,3,3',4'-디페닐술폰테트라카르복실산 이무수물, 3,3',4,4'-디페닐에테르테트라카르복실산 이무수물, 2,2',3,3'-디페닐에테르테트라카르복실산 이무수물, 2,3,3',4'-디페닐에테르테트라카르복실산 이무수물, 2,2-[비스(3,4-디카르복시페닐)]헥사플루오로프로판 이무수물, 1,2,3,4-부탄테트라카르복실산 이무수물, 에틸렌글리콜비스(안히드로트리멜리테이트)(상품명; TMEG-100, 신닛폰리카 주식회사), 시클로부탄테트라카르복실산 이무수물, 메틸시클로부탄테트라카르복실산 이무수물, 시클로펜탄테트라카르복실산 이무수물, 시클로헥산테트라카르복실산 이무수물, 및 에탄테트라카르복실산 이무수물을 들 수 있다. 이들 중 1종 이상을 사용할 수 있다.In the present invention, a tetracarboxylic acid dianhydride is used as a material for obtaining the polyester amide acid (A). Specific examples of the preferable tetracarboxylic dianhydride include 3,3 ', 4,4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 2,2', 3,3'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 2 , 3,3 ', 4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 3,3', 4,4'-diphenylsulfone tetracarboxylic acid dianhydride, 2,2 ', 3,3'-diphenyl Sulfone tetracarboxylic acid dianhydride, 2,3,3 ', 4'-diphenylsulfone tetracarboxylic dianhydride, 3,3', 4,4'-diphenyl ether tetracarboxylic dianhydride, 2, 2 ', 3,3'-diphenyl ether tetracarboxylic dianhydride, 2,3,3', 4'-diphenyl ether tetracarboxylic dianhydride, 2,2- [bis (3,4-di Carboxyphenyl)] hexafluoropropane dianhydride, 1,2,3,4-butanetetracarboxylic acid dianhydride, ethylene glycol bis (anhydrotrimellitate) (TMEG-100, Shin-Nippon Rika Co., Ltd.) Cyclobutane tetracarboxylic acid dianhydride, methylcyclobutane tetracarboxylic acid dianhydride , There may be mentioned the cyclopentane tetracarboxylic dianhydride, cyclohexane tetracarboxylic dianhydride, ethane and the dianhydride. One or more of these may be used.

이들 중에서도, 경화막에 양호한 투명성을 부여하는 3,3',4,4'-디페닐술폰테트라카르복실산 이무수물, 3,3',4,4'-디페닐에테르테트라카르복실산 이무수물, 2,2-[비스(3,4-디카르복시페닐)]헥사플루오로프로판 이무수물, 1,2,3,4-부탄테트라카르복실산 이무수물, 및 TMEG-100이 보다 바람직하고, 3,3',4,4'-디페닐에테르테트라카르복실산 이무수물, 3,3',4,4'-디페닐술폰테트라카르복실산 이무수물 및 1,2,3,4-부탄테트라카르복실산 이무수물이 특히 바람직하다. Among them, 3,3 ', 4,4'-diphenylsulfone tetracarboxylic acid dianhydride, 3,3', 4,4'-diphenyl ether tetracarboxylic acid dianhydride which gives good transparency to the cured film , And 2,2- [bis (3,4-dicarboxyphenyl)] hexafluoropropane dianhydride, 1,2,3,4-butanetetracarboxylic acid dianhydride, and TMEG-100 are more preferable, and 3 , 3 ', 4,4'-diphenyl ether tetracarboxylic dianhydride, 3,3', 4,4'-diphenylsulfone tetracarboxylic acid dianhydride and 1,2,3,4-butanetetracar Particularly preferred is a mixed acid dianhydride.

1-1-2. 디아민 1-1-2. Diamine

본 발명에서는 폴리에스테르아미드산(A)을 얻기 위한 재료로서, 디아민을 사용한다. 바람직한 디아민의 구체예는, 4,4'-디아미노디페닐술폰, 3,3'-디아미노디페닐술폰, 3,4'-디아미노디페닐술폰, 비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]술폰, 비스[4-(3-아미노페녹시)페닐]술폰, 비스[3-(4-아미노페녹시)페닐]술폰, [4-(4-아미노페녹시)페닐][3-(4-아미노페녹시)페닐]술폰, [4-(3-아미노페녹시)페닐][3-(4-아미노페녹시)페닐]술폰, 및 2,2-비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]헥사플루오로프로판을 들 수 있다. 이들 중 1종 이상을 사용할 수 있다. In the present invention, a diamine is used as a material for obtaining the polyester amide acid (A). Specific examples of preferred diamines include 4,4'-diaminodiphenylsulfone, 3,3'-diaminodiphenylsulfone, 3,4'-diaminodiphenylsulfone, bis [4- (4-aminophenoxy Phenyl] sulfone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [3- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfone, [4- (3-aminophenoxy) phenyl] Phenoxy) phenyl] hexafluoropropane. One or more of these may be used.

이들 중에서도, 경화막에 양호한 투명성을 부여하는 3,3'-디아미노디페닐술폰 및 비스[4-(3-아미노페녹시)페닐]술폰이 보다 바람직하고, 3,3'-디아미노디페닐술폰이 특히 바람직하다. Among them, 3,3'-diaminodiphenylsulfone and bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfone which give good transparency to the cured film are more preferable, and 3,3'-diaminodiphenyl Sulfone is particularly preferred.

1-1-3. 다가히드록시 화합물 1-1-3. The polyhydric hydroxy compound

본 발명은 폴리에스테르아미드산(A)을 얻기 위한 재료로서, 중합성 이중 결합을 갖지 않는 다가히드록시 화합물, 또는/및 중합성 이중 결합을 갖는 다가히드록시 화합물을 사용한다.As the material for obtaining the polyester amide acid (A), a polyhydric hydroxy compound having no polymerizable double bond and / or a polyhydric hydroxy compound having a polymerizable double bond are used in the present invention.

중합성 이중 결합을 갖지 않는 다가히드록시 화합물로서, 에틸렌글리콜, 디에틸렌글리콜, 트리에틸렌글리콜, 테트라에틸렌글리콜, 중량 평균 분자량 1,000 이하의 폴리에틸렌글리콜, 프로필렌글리콜, 디프로필렌글리콜, 트리프로필렌글리콜, 테트라프로필렌글리콜, 중량 평균 분자량 1,000 이하의 폴리프로필렌글리콜, 1,2-부탄디올, 1,3-부탄디올, 1,2-펜탄디올, 1,5-펜탄디올, 2,4-펜탄디올, 1,2,5-펜탄트리올, 1,2-헥산디올, 1,6-헥산디올, 2,5-헥산디올, 1,2,6-헥산트리올, 1,2-헵탄디올, 1,7-헵탄디올, 1,2,7-헵탄트리올, 1,2-옥탄디올, 1,8-옥탄디올, 3,6-옥탄디올, 1,2,8-옥탄트리올, 1,2-노난디올, 1,9-노난디올, 1,2,9-노난트리올, 1,2-데칸디올, 1,10-데칸디올, 1,2,10-데칸트리올, 1,2-도데칸디올, 1,12-도데칸디올, 글리세린, 트리메틸올프로판, 펜타에리스리톨, 디펜타에리스리톨, 이소시아눌산 트리스(2-히드록시에틸), 비스페놀 A(2,2-비스(4-히드록시페닐)프로판), 비스페놀 S(비스(4-히드록시페닐)술폰), 비스페놀 F(비스(4-히드록시페닐)메탄), 2,2-비스(4-히드록시시클로헥실)프로판, 4,4'-디히드록시디시클로헥실, 2-히드록시벤질알코올, 4-히드록시벤질알코올, 2-(4-히드록시페닐)에탄올, 디에탄올아민, 및 트리에탄올아민을 들 수 있다.As the polyhydric hydroxy compound having no polymerizable double bond, ethylene glycol, diethylene glycol, triethylene glycol, tetraethylene glycol, polyethylene glycol having a weight average molecular weight of 1,000 or less, propylene glycol, dipropylene glycol, tripropylene glycol, Glycols, polypropylene glycols having a weight average molecular weight of 1,000 or less, 1,2-butanediol, 1,3-butanediol, 1,2-pentanediol, 1,5-pentanediol, - pentanetriol, 1,2-hexanediol, 1,6-hexanediol, 2,5-hexanediol, 1,2,6-hexanetriol, 1,2-heptanediol, 1,6-hexanediol, 1,6-hexanediol, 1,2,7-heptanetriol, 1,2-octanediol, 1,2-decanediol, 1,2-decanediol, 1,2-dodecanediol, 1,2-dodecanediol, 1,12-decanediol, - dodecanediol, glycerin, trimethylol propane, pentaerythritol, dipentaerythritol, Bis (4-hydroxyphenyl) propane), bisphenol S (bis (4-hydroxyphenyl) sulfone), bisphenol F (bis (4- Hydroxyphenyl) methane), 2,2-bis (4-hydroxycyclohexyl) propane, 4,4'-dihydroxydicyclohexyl, 2-hydroxybenzyl alcohol, (4-hydroxyphenyl) ethanol, diethanolamine, and triethanolamine.

중합성 이중 결합을 갖는 다가히드록시 화합물의 구체예로서, 글리세린모노알릴에테르, 트리메틸올프로판모노알릴에테르, 펜타에리스리톨모노알릴에테르, 펜타에리스리톨디알릴에테르, 디펜타에리스리톨모노알릴에테르, 디펜타에리스리톨디알릴에테르, 디펜타에리스리톨트리알릴에테르, 디펜타에리스리톨테트라알릴에테르, 소르비톨모노알릴에테르, 소르비톨디알릴에테르, 소르비톨트리알릴에테르, 소르비톨테트라알릴에테르, 글리세린모노(메타)아크릴레이트, 트리메틸올프로판모노(메타)아크릴레이트, 펜타에리스리톨모노(메타)아크릴레이트, 펜타에리스리톨디(메타)아크릴레이트, 디펜타에리스리톨모노(메타)아크릴레이트, 디펜타에리스리톨디(메타)아크릴레이트, 디펜타에리스리톨트리(메타)아크릴레이트, 디펜타에리스리톨테트라(메타)아크릴레이트, 소르비톨모노(메타)아크릴레이트, 소르비톨디(메타)아크릴레이트, 소르비톨트리(메타)아크릴레이트, 소르비톨테트라(메타)아크릴레이트, 에틸렌글리콜디글리시딜에테르의 (메타)아크릴산 변성물, 프로필렌글리콜디글리시딜에테르의 (메타)아크릴산 변성물, 트리프로필렌글리콜디글리시딜에테르의 (메타)아크릴산 변성물, 글리세린디글리시딜에테르의 (메타)아크릴산 변성물, 비스페놀 A 디글리시딜에테르의 (메타)아크릴산 변성물, 프로필렌옥시드 변성 비스페놀 A 디글리시딜에테르의 (메타)아크릴산 변성물, 비스페놀 S 디글리시딜에테르의 (메타)아크릴산 변성물, 프로필렌옥시드 변성 비스페놀 S 디글리시딜에테르의 (메타)아크릴산 변성물, 비스페놀 F 디글리시딜에테르의 (메타)아크릴산 변성물, 프로필렌옥시드 변성 비스페놀 F 디글리시딜에테르의 (메타)아크릴산 변성물, 비크실레놀디글리시딜에테르의 (메타)아크릴산 변성물, 비페놀디글리시딜에테르의 (메타)아크릴산 변성물, 플루오렌디페놀디글리시딜에테르의 (메타)아크릴산 변성물, 시클로헥산-1,4-디메탄올디글리시딜에테르의 (메타)아크릴산 변성물, 수첨 비스페놀 A 디글리시딜에테르의 (메타)아크릴산 변성물, 트리시클로데칸디메탄올디글리시딜에테르의 (메타)아크릴산 변성물, 및 에폭시기를 1분자당 2개 이상 포함하는 다른 화합물의 (메타)아크릴산 변성물을 들 수 있고, 이들 중 적어도 1종을 사용할 수 있다.Specific examples of the polyhydric hydroxy compound having a polymerizable double bond include glycerin monoallyl ether, trimethylolpropane monoallyl ether, pentaerythritol monoallyl ether, pentaerythritol diallyl ether, dipentaerythritol monoallyl ether, dipentaerythritol di (Meth) acrylate, trimethylolpropane mono (meth) acrylate, dipentaerythritol triallyl ether, dipentaerythritol tetraallyl ether, sorbitol monoallyl ether, sorbitol diallyl ether, sorbitol triallyl ether, sorbitol tetraallyl ether, glycerin mono Acrylate, dipentaerythritol mono (meth) acrylate, dipentaerythritol di (meth) acrylate, dipentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol mono Acrylate, dipentaerythritol tetra (meta (Meth) acrylic acid modified product of sorbitol mono (meth) acrylate, sorbitol di (meth) acrylate, sorbitol tri (meth) acrylate, sorbitol tetra (meth) acrylate, ethylene glycol diglycidyl ether (Meth) acrylic acid modified product of propylene glycol diglycidyl ether, (meth) acrylic acid modified product of tripropylene glycol diglycidyl ether, (meth) acrylic acid modified product of glycerin diglycidyl ether, bisphenol A diglycidyl Acrylic acid modified product of propylene oxide modified bisphenol A diglycidyl ether, (meth) acrylic acid modified product of bisphenol S diglycidyl ether, (meth) acrylic acid modified product of propylene oxide modified bisphenol A diglycidyl ether, S (meth) acrylic acid modified product of diglycidyl ether, (meth) acrylic acid modified product of bisphenol F diglycidyl ether, propylene oxide modified bisphenol F (Meth) acrylic acid modified product of diglycidyl ether, (meth) acrylic acid modified product of biscylenoldiglycidyl ether, (meth) acrylic acid modified product of biphenol diglycidyl ether, fluorene diphenol diglycidyl (Meth) acrylic acid modified product of cyclohexane-1,4-dimethanol diglycidyl ether, a (meth) acrylic acid modified product of hydrogenated bisphenol A diglycidyl ether, a tricyclo (Meth) acrylic acid modified product of decanedimethanol diglycidyl ether, and (meth) acrylic acid modified product of another compound containing two or more epoxy groups per molecule, and at least one of them may be used .

이들 중에서, 반응 용제에 대한 용해성이 양호한 화합물은 에틸렌글리콜, 프로필렌글리콜, 1,4-부탄디올, 1,5-펜탄디올, 1,6-헥산디올, 1,7-헵탄디올, 1,8-옥탄디올, 이소시아눌산 트리스(2-히드록시에틸), 2,2-비스(4-히드록시시클로헥실)프로판, 4,4'-디히드록시디시클로헥실, 2-히드록시벤질알코올, 4-히드록시벤질알코올, 2-(4-히드록시페닐)에탄올, 에틸렌글리콜디글리시딜에테르의 (메타)아크릴산 변성물, 프로필렌글리콜디글리시딜에테르의 (메타)아크릴산 변성물, 글리세린디글리시딜에테르의 (메타)아크릴산 변성물, 비스페놀 A 디글리시딜에테르의 (메타)아크릴산 변성물, 프로필렌옥시드 변성 비스페놀 A 디글리시딜에테르의 (메타)아크릴산 변성물, 비스페놀 S 디글리시딜에테르의 (메타)아크릴산 변성물, 프로필렌옥시드 변성 비스페놀 S 디글리시딜에테르의 (메타)아크릴산 변성물, 비스페놀 F 디글리시딜에테르의 (메타)아크릴산 변성물, 및 프로필렌옥시드 변성 비스페놀 F 디글리시딜에테르의 (메타)아크릴산 변성물이 보다 바람직하다. 또한, 1,4-부탄디올, 1,5-펜탄디올, 1,6-헥산디올, 2-히드록시벤질알코올, 4-히드록시벤질알코올, 2-(4-히드록시페닐)에탄올, 에틸렌글리콜디글리시딜에테르의 (메타)아크릴산 변성물, 프로필렌글리콜디글리시딜에테르의 (메타)아크릴산 변성물, 트리프로필렌글리콜디글리시딜에테르의 (메타)아크릴산 변성물, 글리세린디글리시딜에테르의 (메타)아크릴산 변성물, 비스페놀 A 디글리시딜에테르의 (메타)아크릴산 변성물, 및 프로필렌옥시드 변성 비스페놀 A 디글리시딜에테르의 (메타)아크릴산 변성물이 특히 바람직하다.Among them, the compound having good solubility in a reaction solvent is preferably at least one compound selected from the group consisting of ethylene glycol, propylene glycol, 1,4-butanediol, 1,5-pentanediol, 1,6-hexanediol, (2-hydroxyethyl), 2,2-bis (4-hydroxycyclohexyl) propane, 4,4'-dihydroxydicyclohexyl, 2-hydroxybenzyl alcohol, 4- (Meth) acrylic acid modified product of ethylene glycol diglycidyl ether, (meth) acrylic acid modified product of propylene glycol diglycidyl ether, glycerin diglycidyl ether of glycerin diglycidyl ether, (Meth) acrylic acid modified product of bisphenol A diglycidyl ether, a (meth) acrylic acid modified product of bisphenol A diglycidyl ether, a (meth) acrylic acid modified product of bisphenol A diglycidyl ether, (Meth) acrylic acid modified product of ether, propylene oxide modified bisphenol S diglycidyl Le of (meth) acrylic acid modified product, bisphenol F diglycidyl more preferably (meth) acrylic acid modified product of glycidyl ether of (meth) acrylic acid-modified water, and propylene oxide-modified bisphenol F diglycidyl ether. Further, it is also possible to use aliphatic diols such as 1,4-butanediol, 1,5-pentanediol, 1,6-hexanediol, 2-hydroxybenzyl alcohol, 4-hydroxybenzyl alcohol, 2- (Meth) acrylic acid modified product of glycidyl ether, (meth) acrylic acid modified product of propylene glycol diglycidyl ether, (meth) acrylic acid modified product of tripropylene glycol diglycidyl ether, modified product of glycerin diglycidyl ether (Meth) acrylic acid modified product of bisphenol A diglycidyl ether, (meth) acrylic acid modified product of bisphenol A diglycidyl ether, and (meth) acrylic acid modified product of propylene oxide modified bisphenol A diglycidyl ether.

에틸렌글리콜디글리시딜에테르의 메타크릴산 변성물, 프로필렌글리콜디글리시딜에테르의 아크릴산 변성물, 트리프로필렌글리콜디글리시딜에테르의 아크릴산 변성물, 글리세린디글리시딜에테르의 아크릴산 변성물, 비스페놀 A 디글리시딜에테르의 메타크릴산 변성물, 비스페놀 A 디글리시딜에테르의 아크릴산 변성물, 프로필렌옥시드 변성 비스페놀 A 디글리시딜에테르의 메타크릴산 변성물, 및 프로필렌옥시드 변성 비스페놀 A 디글리시딜에테르의 아크릴산 변성물로서 하기 시판품을 사용할 수 있다.Methacrylic acid modified product of ethylene glycol diglycidyl ether, acrylic acid modified product of propylene glycol diglycidyl ether, acrylic acid modified product of tripropylene glycol diglycidyl ether, acrylic acid modified product of glycerin diglycidyl ether, Methacrylic acid modified products of bisphenol A diglycidyl ether, acrylic acid modified products of bisphenol A diglycidyl ether, methacrylic acid modified products of propylene oxide modified bisphenol A diglycidyl ether, and propylene oxide modified bisphenol As the acrylic acid modified product of diglycidyl ether A, the following commercially available products can be used.

에틸렌글리콜디글리시딜에테르의 메타크릴산 변성물의 구체예는, 에폭시에스테르 40EM(상품명; 교에이샤 화학 주식회사)이다. 프로필렌글리콜디글리시딜에테르의 아크릴산 변성물의 구체예는, 에폭시에스테르 70PA(상품명; 교에이샤 화학 주식회사)이다. 트리프로필렌글리콜디글리시딜에테르의 아크릴산 변성물의 구체예는, 에폭시에스테르 200PA(상품명; 교에이샤 화학 주식회사)이다. 글리세린디글리시딜에테르의 아크릴산 변성물의 구체예는, 에폭시에스테르 80MFA(상품명; 교에이샤 화학 주식회사)이다. 비스페놀 A 디글리시딜에테르의 메타크릴산 변성물의 구체예는, 에폭시에스테르 3000MK(상품명; 교에이샤 화학 주식회사)이다. 비스페놀 A 디글리시딜에테르의 아크릴산 변성물의 구체예는, 에폭시에스테르 3000A(상품명; 교에이샤 화학 주식회사)이다. 프로필렌옥시드 변성 비스페놀 A 디글리시딜에테르의 메타크릴산 변성물의 구체예는, 에폭시에스테르 3002M(N)(상품명; 교에이샤 화학 주식회사)이다. 프로필렌옥시드 변성 비스페놀 A 디글리시딜에테르의 아크릴산 변성물의 구체예는, 에폭시에스테르 3002A(N)(상품명; 교에이샤 화학 주식회사)이다.A specific example of the methacrylic acid-modified product of ethylene glycol diglycidyl ether is epoxy ester 40EM (trade name, manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.). A concrete example of the acrylic acid-modified product of propylene glycol diglycidyl ether is epoxy ester 70PA (trade name, manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.). A concrete example of the acrylic acid-modified product of tripropylene glycol diglycidyl ether is epoxy ester 200PA (trade name, manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.). A concrete example of an acrylic acid-modified product of glycerin diglycidyl ether is an epoxy ester 80 MFA (trade name, manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.). A specific example of the methacrylic acid-modified product of bisphenol A diglycidyl ether is epoxy ester 3000MK (trade name, manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.). A specific example of the acrylic acid-modified product of bisphenol A diglycidyl ether is epoxy ester 3000A (trade name, manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.). A specific example of the methacrylic acid-modified product of propylene oxide-modified bisphenol A diglycidyl ether is epoxy ester 3002M (N) (trade name, manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.). A specific example of the acrylic acid-modified product of propylene oxide-modified bisphenol A diglycidyl ether is epoxy ester 3002A (N) (trade name, manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.).

1-1-4. 모노히드록시 화합물 1-1-4. Monohydroxy compound

본 발명에서는, 폴리에스테르아미드산(A)을 얻기 위한 재료로서, 중합성 이중 결합을 갖지 않는 모노히드록시 화합물, 및/또는 중합성 이중 결합을 갖는 모노히드록시 화합물을 사용해도 된다. 모노히드록시 화합물을 사용하면, 감광성 조성물의 보존 안정성이 향상된다.In the present invention, as a material for obtaining the polyester amide acid (A), a monohydroxy compound having no polymerizable double bond and / or a monohydroxy compound having a polymerizable double bond may be used. When the monohydroxy compound is used, the storage stability of the photosensitive composition is improved.

중합성 이중 결합을 갖지 않는 모노히드록시 화합물의 구체예는, 바람직하게는 이소프로필알코올, 벤질알코올, 프로필렌글리콜모노에틸에테르, 프로필렌글리콜모노메틸에테르, 디프로필렌글리콜모노에틸에테르, 디프로필렌글리콜모노메틸에테르, 에틸렌글리콜모노에틸에테르, 에틸렌글리콜모노메틸에테르, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르, 테르피네올, 3-에틸-3-히드록시메틸옥세탄, 디메틸벤질카르비놀, 및 4-메톡시페놀(히드로퀴논모노메틸에테르; MEHQ)를 들 수 있다.Concrete examples of the monohydroxy compound having no polymerizable double bond are preferably isopropyl alcohol, benzyl alcohol, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monoethyl ether, dipropylene glycol monomethyl Ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, terpineol, 3-ethyl-3-hydroxymethyloxetane, dimethylbenzylcarbinol, and 4-methoxyphenol (hydroquinone monomethyl ether; MEHQ).

중합성 이중 결합을 갖는 모노히드록시 화합물의 구체예는, 바람직하게는 푸르푸릴알코올, 알릴알코올, 히드록시에틸(메타)아크릴레이트, 히드록시프로필(메타)아크릴레이트, 히드록시부틸(메타)아크릴레이트, 2-히드록시-3-페녹시프로필(메타)아크릴레이트, (메타)아크릴산 4-히드록시페닐, p-히드록시(메타)아크릴아닐리드, 1,4-시클로헥산디메탄올모노(메타)아크릴레이트, 3-(2-히드록시페닐)(메타)아크릴산, 글리세린디(메타)아크릴레이트, 트리메틸올프로판디(메타)아크릴레이트, 펜타에리스리톨트리(메타)아크릴레이트, 디펜타에리스리톨펜타(메타)아크릴레이트, 페닐글리시딜에테르의 (메타)아크릴산 변성물, tert-부틸페닐글리시딜에테르의 (메타)아크릴산 변성물, 및 에폭시기를 1분자당 1개 포함하는 다른 화합물의 (메타)아크릴산 변성물을 들 수 있고, 이들 중 적어도 1종을 사용할 수 있다.Specific examples of the monohydroxy compound having a polymerizable double bond are preferably furfuryl alcohol, allyl alcohol, hydroxyethyl (meth) acrylate, hydroxypropyl (meth) acrylate, hydroxybutyl Hydroxypropyl (meth) acrylate, 4-hydroxyphenyl (meth) acrylate, p-hydroxy (meth) acrylanilide, 1,4-cyclohexanedimethanol mono Acrylate, trimethylolpropane di (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (metha) acrylate, (Meth) acrylic acid modified product of phenylglycidyl ether, (meth) acrylic acid modified product of tert-butylphenyl glycidyl ether, and (meth) acrylic acid of another compound containing one epoxy group per molecule Denatured water And at least one of them may be used.

이들 중에서, 벤질알코올, 프로필렌글리콜모노에틸에테르, 3-에틸-3-히드록시메틸옥세탄, 4-메톡시페놀, 히드록시에틸(메타)아크릴레이트, 히드록시프로필(메타)아크릴레이트, 히드록시부틸(메타)아크릴레이트, 2-히드록시-3-페녹시프로필(메타)아크릴레이트, (메타)아크릴산 4-히드록시페닐, p-히드록시(메타)아크릴아닐리드, 1,4-시클로헥산디메탄올모노(메타)아크릴레이트, 3-(2-히드록시페닐)(메타)아크릴산은 보다 바람직하다. 이들을 사용하여 만들어지는 폴리에스테르아미드산(A)과, 에폭시기 함유 폴리머, 에폭시 화합물(D), 에폭시 경화제(E), 무기 미립자(F)를 혼합한 경우의 상용성이나, 감광성 조성물의 컬러 필터 상으로의 도포성을 고려하면, 모노히드록시 화합물에는, 벤질알코올, 4-메톡시페놀, 히드록시에틸(메타)아크릴레이트, 히드록시프로필(메타)아크릴레이트, 히드록시부틸(메타)아크릴레이트, (메타)아크릴산 4-히드록시페닐, p-히드록시(메타)아크릴아닐리드, 및 1,4-시클로헥산디메탄올모노(메타)아크릴레이트의 사용이 특히 바람직하다.Of these, benzyl alcohol, propylene glycol monoethyl ether, 3-ethyl-3-hydroxymethyloxetane, 4-methoxyphenol, hydroxyethyl (meth) acrylate, hydroxypropyl (meth) Acrylate such as butyl (meth) acrylate, 2-hydroxy-3-phenoxypropyl (meth) acrylate, 4-hydroxyphenyl (meth) acrylate, Methanol mono (meth) acrylate and 3- (2-hydroxyphenyl) (meth) acrylic acid are more preferred. Compatibility of the polyester amide acid (A) produced by using these components with the epoxy group-containing polymer, the epoxy compound (D), the epoxy curing agent (E) and the inorganic fine particles (F) (Meth) acrylate, hydroxypropyl (meth) acrylate, hydroxybutyl (meth) acrylate, hydroxybutyl (meth) acrylate, and the like. The use of 4-hydroxyphenyl (meth) acrylate, p-hydroxy (meth) acrylanilide and 1,4-cyclohexanedimethanol mono (meth) acrylate is particularly preferred.

메타크릴산 4-히드록시페닐, p-히드록시(메타)아크릴아닐리드, 및 1,4-시클로헥산디메탄올모노아크릴레이트로서 하기 시판품을 사용할 수 있다. 메타크릴산 4-히드록시페닐의 구체예는, HQMA(상품명; 오사카 유기 화학 공업 주식회사)이다. p-히드록시(메타)아크릴아닐리드의 구체예는, HMAd(상품명; 오사카 유기 화학 공업 주식회사)이다. 1,4-시클로헥산디메탄올모노아크릴레이트의 구체예는, 1,4-시클로헥산디메탄올모노아크릴레이트(CHDMMA)(상품명; 니혼 카세이 주식회사)이다.Acrylic acid anhydride, 4-hydroxyphenyl methacrylate, p-hydroxy (meth) acryl anilide, and 1,4-cyclohexanedimethanol monoacrylate. A specific example of 4-hydroxyphenyl methacrylate is HQMA (trade name; manufactured by Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd.). A specific example of p-hydroxy (meth) acrylanilide is HMAd (trade name; manufactured by Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd.). A specific example of 1,4-cyclohexanedimethanol monoacrylate is 1,4-cyclohexanedimethanol monoacrylate (CHDMMA) (trade name; Nihon Kasei Co., Ltd.).

모노히드록시 화합물은, 테트라카르복실산 이무수물, 디아민, 및 다가히드록시 화합물의 총량 100중량부에 대해, 0∼300중량부 함유하여 반응시키는 것이 바람직하다. 보다 바람직하게는 5∼200중량부이다.The monohydroxy compound is preferably reacted in an amount of 0 to 300 parts by weight based on 100 parts by weight of the total amount of the tetracarboxylic dianhydride, the diamine, and the polyhydric hydroxy compound. More preferably 5 to 200 parts by weight.

1-1-5. 스티렌-무수 말레산 공중합체1-1-5. Styrene-maleic anhydride copolymer

또한, 본 발명에 사용되는 폴리에스테르아미드산(A)는 상기의 원료에 산 무수물기를 3개 이상 갖는 화합물을 첨가하여 합성해도 된다. 그렇게 함으로써, 경화막의 잔막율이 향상되기 때문에 바람직하다. 산 무수물기를 3개 이상 갖는 화합물의 예로는, 스티렌-무수 말레산 공중합체를 들 수 있다. 스티렌-무수 말레산 공중합체를 구성하는 각 성분의 비율에 대해서는, 스티렌/무수 말레산의 몰비가 0.5∼4이며, 바람직하게는 1∼3이다. 나아가서는, 1 또는 2가 보다 바람직하고, 1이 특히 바람직하다.The polyester amide acid (A) used in the present invention may be synthesized by adding a compound having three or more acid anhydride groups to the above raw materials. By doing so, the residual film ratio of the cured film is improved, which is preferable. Examples of the compound having three or more acid anhydride groups include a styrene-maleic anhydride copolymer. The molar ratio of styrene / maleic anhydride to the components constituting the styrene / maleic anhydride copolymer is 0.5 to 4, preferably 1 to 3. Further, 1 or 2 is more preferable, and 1 is particularly preferable.

스티렌-무수 말레산 공중합체의 구체예로는, SMA3000P, SMA2000P, SMA1000P(모두 상품명; 카와하라 유화 주식회사)를 들 수 있다. 이들 중에서도, 경화막의 내열성 및 내알칼리성이 양호해지는 SMA1000P가 특히 바람직하다.Specific examples of the styrene-maleic anhydride copolymer include SMA3000P, SMA2000P, and SMA1000P (all trade names, manufactured by Kawahara Oil Company, Ltd.). Of these, SMA1000P in which the heat resistance and alkali resistance of the cured film are improved is particularly preferable.

스티렌-무수 말레산 공중합체는 테트라카르복실산 이무수물, 디아민, 및 다가히드록시 화합물의 합계량 100중량부에 대해 0∼500중량부 함유하는 것이 바람직하다. 보다 바람직하게는 10∼300중량부이다.The styrene-maleic anhydride copolymer preferably contains 0 to 500 parts by weight per 100 parts by weight of the total amount of the tetracarboxylic acid dianhydride, diamine, and polyhydric hydroxy compound. More preferably 10 to 300 parts by weight.

1-1-6. 실리콘 함유 모노아민1-1-6. Silicon-containing monoamines

폴리에스테르아미드산(A)의 합성에는, 원료로서 본 발명의 목적을 저해하지 않는 범위에서, 필요에 따라 상기 이외의 다른 원료를 포함하고 있어도 되고, 다른 원료의 예로서, 실리콘 함유 모노아민을 들 수 있다.In the synthesis of the polyester amide acid (A), other raw materials other than those described above may be included as necessary in the range that does not impair the object of the present invention as a raw material, and examples of other raw materials include silicon-containing monoamines .

본 발명에서 사용되는 실리콘 함유 모노아민의 구체예는, 바람직하게는 3-아미노프로필트리메톡시실란, 3-아미노프로필트리에톡시실란, 3-아미노프로필메틸디메톡시실란, 3-아미노프로필메틸디에톡시실란, 4-아미노부틸트리메톡시실란, 4-아미노부틸트리에톡시실란, 4-아미노부틸메틸디에톡시실란, p-아미노페닐트리메톡시실란, p-아미노페닐트리에톡시실란, p-아미노페닐메틸디메톡시실란, p-아미노페닐메틸디에톡시실란, m-아미노페닐트리메톡시실란, 및 m-아미노페닐메틸디에톡시실란을 들 수 있다. 이들 중 적어도 1종 이상을 사용할 수 있다.Specific examples of the silicon-containing monoamines used in the present invention are preferably 3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-aminopropylmethyldimethoxysilane, 3- Aminobutyltrimethoxysilane, p-aminophenyltriethoxysilane, p-aminophenyltriethoxysilane, p-aminophenyltrimethoxysilane, p-aminobutyltrimethoxysilane, Aminophenylmethyldimethoxysilane, p-aminophenylmethyldiethoxysilane, m-aminophenyltrimethoxysilane, and m-aminophenylmethyldiethoxysilane. At least one of them may be used.

이들 중에서, 경화막의 내산성이 양호한 3-아미노프로필트리에톡시실란 및 p-아미노페닐트리메톡시실란이 보다 바람직하고, 3-아미노프로필트리에톡시실란이 내산성, 상용성의 관점에서, 특히 바람직하다.Of these, 3-aminopropyltriethoxysilane and p-aminophenyltrimethoxysilane which are excellent in the acid resistance of the cured film are more preferable, and 3-aminopropyltriethoxysilane is particularly preferable in view of acid resistance and compatibility.

실리콘 함유 모노아민은 테트라카르복실산 이무수물, 디아민, 및 다가히드록시 화합물의 총량 100중량부에 대해, 0∼300중량부 함유하는 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 5∼200중량부이다.The silicon-containing monoamine preferably contains 0 to 300 parts by weight, more preferably 5 to 200 parts by weight, per 100 parts by weight of the total amount of the tetracarboxylic acid dianhydride, diamine, and polyhydric hydroxy compound.

1-1-7. 폴리에스테르아미드산(A)의 합성 반응에 사용되는 용제 1-1-7. The solvent used for the synthesis reaction of the polyester amide acid (A)

폴리에스테르아미드산(A)을 얻기 위한 합성 반응에 사용되는 용제의 구체예로서, 디에틸렌글리콜디메틸에테르, 디에틸렌글리콜메틸에틸에테르, 디에틸렌글리콜디에틸에테르, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 3-메톡시프로피온산메틸, 3-에톡시프로피온산에틸, 락트산에틸, 시클로헥사논을 들 수 있다. 이들 중에서도, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 3-메톡시프로피온산메틸, 또는 디에틸렌글리콜메틸에틸에테르가 바람직하다.Specific examples of the solvent used in the synthesis reaction for obtaining the polyester amide acid (A) include diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether acetate, ethylene Glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, ethyl lactate, and cyclohexanone. Among these, propylene glycol monomethyl ether acetate, methyl 3-methoxypropionate, and diethylene glycol methyl ethyl ether are preferable.

1-1-8. 폴리에스테르아미드산(A)의 합성 방법1-1-8. Synthesis method of polyester amide acid (A)

본 발명에서 사용되는 폴리에스테르아미드산(A)의 합성 방법은 테트라카르복실산 이무수물 X몰, 디아민 Y몰, 및 다가히드록시 화합물 Z몰을 상기 용제 중에서 반응시킨다. 이 때, X, Y 및 Z는 이들 사이에 하기 식 (1) 및 식 (2)의 관계가 성립되는 비율로 정하는 것이 바람직하다. 이 범위이면, 폴리에스테르아미드산의 용제에 대한 용해성이 높고, 따라서 조성물의 도포성이 향상되어, 결과적으로 평탄성이 우수한 경화막을 얻을 수 있다.In the method for synthesizing the polyester amide acid (A) used in the present invention, X mole of tetracarboxylic dianhydride, Y mole of diamine, and Z mole of polyhydric hydroxy compound are reacted in the solvent. In this case, it is preferable that X, Y, and Z are defined by the ratio in which the relationship of the following formulas (1) and (2) is established between them. When the content is within this range, the solubility of the polyester amide acid in the solvent is high, so that the coating property of the composition is improved, and as a result, a cured film having excellent flatness can be obtained.

0.2≤Z/Y≤8.0·······(1)0.2? Z / Y? 8.0 (1)

0.2≤(Y+Z)/X≤5.0 ···(2)0.2? (Y + Z) /X? 5.0 (2)

식 (1)에 있어서, 바람직하게는 0.7≤Z/Y≤7.0이며, 보다 바람직하게는 1.0≤Z/Y≤5.0이다. 또한, 식 (2)에 있어서, 바람직하게는 0.5≤(Y+Z)/X≤4.0이며, 보다 바람직하게는 0.6≤(Y+Z)/X≤2.0이다.In the formula (1), preferably 0.7? Z / Y? 7.0, more preferably 1.0? Z / Y? 5.0. In the formula (2), 0.5? (Y + Z) / X? 4.0, and more preferably 0.6? Y + Z / X? 2.0.

본 발명에서 사용되는 폴리에스테르아미드산(A)는 상기의 반응 조건에 있어서, Y+Z에 대해 X를 과잉하게 사용한 조건하에서는, 말단에 산 무수물기(-CO-O-CO-)를 갖는 분자가 말단에 아미노기나 수산기를 갖는 분자보다 과잉하게 생성되는 것으로 생각된다. 그러한 모노머의 구성으로 반응시키는 경우에는 필요에 따라, 분자 말단의 산 무수물기와 반응시켜 말단을 에스테르화하기 위해, 상술한 모노히드록시 화합물을 첨가할 수 있다. 모노히드록시 화합물을 첨가하여 반응함으로써 얻어진 폴리에스테르아미드산(A)는 에폭시 화합물(D) 및 에폭시 경화제(E)와의 상용성이 개선됨과 함께, 그들을 포함하는 본 발명의 감광성 조성물의 도포성이 개선된다.The polyester amide acid (A) to be used in the present invention is a polyester amide acid (A) having an acid anhydride group (-CO-O-CO-) at the terminal end thereof under the conditions of excessively using X relative to Y + Is thought to be generated excessively in comparison with molecules having an amino group or hydroxyl group. When the reaction is carried out by such a monomer composition, the above-mentioned monohydroxy compound may be added, if necessary, in order to react with the acid anhydride group at the terminal of the molecule to esterify the terminal. The polyester amide acid (A) obtained by reacting with a monohydroxy compound added improves the compatibility with the epoxy compound (D) and the epoxy curing agent (E), and improves the applicability of the photosensitive composition of the invention containing them do.

또한, 상술한 모노머의 구성으로 반응시키는 경우에는, 분자 말단의 산 무수물기와 반응시켜 말단에 실릴기를 도입하기 위해, 실리콘 함유 모노아민을 첨가할 수 있다. 실리콘 함유 모노아민을 첨가하여 반응함으로써 얻어진 폴리에스테르아미드산(A)을 함유하는 감광성 조성물을 사용하면, 경화막의 내산성이 개선된다.In the case of reacting with the above-described monomer composition, a silicon-containing monoamine may be added in order to react with an acid anhydride group at the terminal of the molecule to introduce a silyl group at the terminal. When the photosensitive composition containing the polyester amide acid (A) obtained by adding and reacting the silicon-containing monoamine is used, the acid resistance of the cured film is improved.

반응 용제는 테트라카르복실산 이무수물, 디아민 및 다가히드록시 화합물의 총량 100중량부에 대해 100중량부 이상 사용하면, 반응이 원활하게 진행되기 때문에 바람직하다. 반응은 40℃∼200℃에서 0.2∼20시간 반응시키는 것이 좋다.The reaction solvent is preferably used in an amount of 100 parts by weight or more based on 100 parts by weight of the total amount of tetracarboxylic dianhydride, diamine and polyhydric hydroxy compound, because the reaction proceeds smoothly. The reaction is preferably carried out at 40 ° C to 200 ° C for 0.2 to 20 hours.

반응 원료의 반응계로의 첨가 순서는 특별히 한정되지 않는다. 즉, 테트라카르복실산 이무수물, 디아민 및 다가히드록시 화합물을 동시에 반응 용제에 첨가하는 방법, 디아민 및 다가히드록시 화합물을 반응 용제 중에 용해시킨 후, 테트라카르복실산 이무수물을 첨가하는 방법, 테트라카르복실산 이무수물 및 다가히드록시 화합물을 미리 반응시킨 후, 그 반응 생성물에 디아민을 첨가하는 방법, 혹은 테트라카르복실산 이무수물과 디아민을 미리 반응시킨 후, 그 반응 생성물에 다가히드록시 화합물을 첨가하는 방법 등, 어느 방법도 사용할 수 있다.The order of addition of the reaction raw materials to the reaction system is not particularly limited. That is, a method of simultaneously adding a tetracarboxylic dianhydride, a diamine, and a polyhydric hydroxy compound to a reaction solvent, a method of dissolving a diamine and a polyhydric hydroxy compound in a reaction solvent, followed by adding a tetracarboxylic dianhydride, A method in which a carboxylic acid dianhydride and a polyhydric hydroxy compound are reacted in advance and then a diamine is added to the reaction product or a method in which a tetracarboxylic dianhydride and a diamine are reacted in advance and then a polyhydric hydroxy compound Or a method in which the catalyst is added.

상기의 실리콘 함유 모노아민을 반응시키는 경우, 테트라카르복실산 이무수물과 디아민 및 다가히드록시 화합물의 반응 후, 반응액을 40℃ 이하까지 냉각시킨 후, 실리콘 함유 모노아민을 첨가하여, 10∼40℃에서 0.1∼6시간 반응시키면 된다. 또한, 모노히드록시 화합물은 반응의 어느 시점에 첨가해도 된다.When the above-mentioned silicon-containing monoamine is reacted, after the reaction between the tetracarboxylic acid dianhydride and the diamine and the polyhydric hydroxy compound, the reaction solution is cooled to 40 ° C or lower, and then the silicon-containing monoamine is added, Deg.] C for 0.1 to 6 hours. The monohydroxy compound may be added at any point in the reaction.

이와 같이 하여 합성된 폴리에스테르아미드산(A)는 식 (3)으로 나타내는 구성 단위, 식 (4)로 나타내는 구성 단위를 포함하고, 그 말단은 원료인 테트라카르복실산 이무수물, 디아민, 다가히드록시 화합물, 혹은 모노히드록시 화합물에서 유래하는 산 무수물기, 아미노기, 히드록시기, 혹은 1가의 유기기, 또는 이들 화합물 이외의 첨가물에 의해 구성된다. 이러한 구성을 포함함으로써, 경화성이 양호해진다.The polyester amide acid (A) thus synthesized contains the structural unit represented by the formula (3) and the structural unit represented by the formula (4), and the terminal thereof is a tetracarboxylic acid dianhydride, a diamine, An amino group, a hydroxyl group, a monovalent organic group, or an additive other than these compounds, which is derived from a monocarboxylic acid compound, a hydroxy compound, or a monohydroxy compound. By including such a constitution, the curability is improved.

얻어진 폴리에스테르아미드산(A)의 중량 평균 분자량은 바람직하게는 1,000∼200,000이며, 3,000∼50,000이 보다 바람직하다. 이들 범위에 있으면, 평탄성 및 내열성이 양호하다.The weight average molecular weight of the obtained polyester amide acid (A) is preferably 1,000 to 200,000, more preferably 3,000 to 50,000. Within these ranges, flatness and heat resistance are good.

본 명세서 중의 중량 평균 분자량은 GPC법(칼럼 온도: 35℃, 유속: 1㎖/min)에 의해 구한 폴리스티렌 환산 값이다. 표준 폴리스티렌에는 분자량이 645∼132,900의 폴리스티렌(예를 들면, 애질런트·테크놀로지 주식회사의 폴리스티렌 캘리브레이션 키트 PL2010-0102), 칼럼에는 PLgel MIXED-D(애질런트·테크놀로지 주식회사)를 사용하고, 이동상으로서 THF를 사용하여 측정할 수 있다. 본 명세서 중의 시판품의 중량 평균 분자량은 카탈로그 게재값이다.The weight average molecular weight in this specification is the polystyrene reduced value determined by GPC method (column temperature: 35 캜, flow rate: 1 ml / min). PLgel MIXED-D (Agilent Technologies Co., Ltd.) was used as a column, and THF was used as a mobile phase, and polystyrene having a molecular weight of 645 to 132,900 (for example, Polystyrene calibration kit PL2010-0102 manufactured by Agilent Technologies Co., Can be measured. The weight average molecular weights of commercially available products in this specification are catalog published values.

1-2. 중합성 이중 결합을 갖는 화합물(B) 1-2. The compound (B) having a polymerizable double bond

1-2-1. 중합성 이중 결합을 1분자당 2개 이상 갖는 화합물 1-2-1. A compound having two or more polymerizable double bonds per molecule

본 발명에 사용되는 중합성 이중 결합을 갖는 화합물(B)는 특별히 한정되지 않지만, 중합성 이중 결합을 1분자당 2개 이상 갖는 화합물인 것이 바람직하다.The compound (B) having a polymerizable double bond used in the present invention is not particularly limited, but is preferably a compound having two or more polymerizable double bonds per molecule.

중합성 이중 결합을 갖는 화합물(B)는 폴리에스테르아미드산(A) 100중량부에 대해 20∼300중량부 사용되지만, 50∼300중량부이면 잔막율이 양호해져 바람직하다.The compound (B) having a polymerizable double bond is used in an amount of 20 to 300 parts by weight based on 100 parts by weight of the polyester amide acid (A), but preferably 50 to 300 parts by weight.

본 발명의 감광성 조성물에 함유되는 중합성 이중 결합을 1분자당 2개 이상 갖는 화합물로서, 에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 디에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 트리에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 테트라에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 폴리에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 에피클로로히드린 변성 에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 에피클로로히드린 변성 디에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 에피클로로히드린 변성 트리에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 에피클로로히드린 변성 테트라에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 에피클로로히드린 변성 폴리에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 프로필렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 디프로필렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 트리프로필렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 테트라프로필렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 폴리프로필렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 에피클로로히드린 변성 프로필렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 에피클로로히드린 변성 디프로필렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 에피클로로히드린 변성 트리프로필렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 에피클로로히드린 변성 테트라프로필렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 에피클로로히드린 변성 폴리프로필렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 트리메틸올프로판트리(메타)아크릴레이트, 에틸렌옥시드 변성 트리메틸올프로판트리(메타)아크릴레이트, 프로필렌옥시드 변성 트리메틸올프로판트리(메타)아크릴레이트, 에피클로로히드린 변성 트리메틸올프로판트리(메타)아크릴레이트, 디트리메틸올프로판테트라(메타)아크릴레이트, 글리세롤(메타)아크릴레이트, 글리세롤디(메타)아크릴레이트, 글리세롤트리(메타)아크릴레이트, 에피클로로히드린 변성 글리세롤트리(메타)아크릴레이트, 1,6-헥산디올디(메타)아크릴레이트, 에피클로로히드린 변성 1,6-헥산디올디(메타)아크릴레이트, 메톡시화 시클로헥실디(메타)아크릴레이트, 네오펜틸글리콜디(메타)아크릴레이트, 히드록시피발산네오펜틸글리콜디(메타)아크릴레이트, 카프로락톤 변성 히드록시피발산네오펜틸글리콜디(메타)아크릴레이트, 디글리세린테트라(메타)아크릴레이트, 디글리세린에틸렌옥시드 변성 아크릴레이트, 펜타에리스리톨트리(메타)아크릴레이트, 펜타에리스리톨테트라(메타)아크릴레이트, 스테아린산 변성 펜타에리스리톨디(메타)아크릴레이트, 디펜타에리스리톨펜타(메타)아크릴레이트, 알킬 변성 디펜타에리스리톨펜타(메타)아크릴레이트, 알킬 변성 디펜타에리스리톨테트라(메타)아크릴레이트, 알킬 변성 디펜타에리스리톨트리(메타)아크릴레이트, 디펜타에리스리톨헥사(메타)아크릴레이트, 카프로락톤 변성 디펜타에리스리톨헥사(메타)아크릴레이트, 다염기산 변성 (메타)아크릴 올리고머, 알릴화 시클로헥실디(메타)아크릴레이트, 비스[(메타)아크릴옥시네오펜틸글리콜]아디페이트, 비스페놀 A 디(메타)아크릴레이트, 에틸렌옥시드 변성 비스페놀 A 디(메타)아크릴레이트, 비스페놀 F 디(메타)아크릴레이트, 에틸렌옥시드 변성 비스페놀 F 디(메타)아크릴레이트, 비스페놀 S 디(메타)아크릴레이트, 에틸렌옥시드 변성 비스페놀 S 디(메타)아크릴레이트, 1,4-부탄디올디(메타)아크릴레이트, 1,3-부틸렌글리콜(메타)아크릴레이트, 디시클로펜타닐디아크릴레이트, 폴리에스테르디아크릴레이트, 폴리에스테르트리아크릴레이트, 폴리에스테르테트라아크릴레이트, 폴리에스테르펜타아크릴레이트, 폴리에스테르헥사아크릴레이트, 에틸렌옥시드 변성 인산디(메타)아크릴레이트, 에틸렌옥시드 변성 인산트리(메타)아크릴레이트, 에틸렌옥시드 변성 인산디(메타)아크릴레이트, 에틸렌옥시드 변성 인산트리(메타)아크릴레이트, 에피클로로히드린 변성 프탈산디(메타)아크릴레이트, 테트라브로모비스페놀 A 디(메타)아크릴레이트, 트리글리세롤디(메타)아크릴레이트, 네오펜틸글리콜 변성 트리메틸올프로판디(메타)아크릴레이트, 이소시아눌산에틸렌옥시드 변성 디아크릴레이트, 이소시아눌산에틸렌옥시드 변성 트리아크릴레이트, 카프로락톤 변성 트리스[(메타)아크릴옥시에틸]이소시아누레이트, (메타)아크릴화 이소시아누레이트, 페닐글리시딜에테르아크릴레이트 헥사메틸렌디이소시아네이트 우레탄프리폴리머, 페닐글리시딜에테르아크릴레이트 톨루엔디이소시아네이트 우레탄프리폴리머, 펜타에리스리톨트리아크릴레이트 헥사메틸렌디이소시아네이트 우레탄프리폴리머, 펜타에리스리톨트리아크릴레이트 톨루엔디이소시아네이트 우레탄프리폴리머, 펜타에리스리톨트리아크릴레이트 이소포론디이소시아네이트 우레탄프리폴리머, 디펜타에리스리톨펜타아크릴레이트 헥사메틸렌디이소시아네이트 우레탄프리폴리머, 무황변 타입 올리고우레탄아크릴레이트, 페놀노볼락형 에폭시 수지의 (메타)아크릴산 변성물, 크레졸 노볼락형 에폭시 수지의 (메타)아크릴산 변성물, 및 카르복실산 함유 우레탄아크릴레이트 올리고머 등을 들 수 있다.Examples of the compound having two or more polymerizable double bonds per molecule contained in the photosensitive composition of the present invention include ethylene glycol di (meth) acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate, triethylene glycol di Acrylate, epichlorohydrin denatured ethylene glycol di (meth) acrylate, epichlorohydrin denatured diethylene glycol di (meth) acrylate, polyethylene glycol di (meth) acrylate, Epichlorohydrin modified diethylene glycol di (meth) acrylate, epichlorohydrin modified tetraethylene glycol di (meth) acrylate, epichlorohydrin modified polyethylene glycol di (meth) acrylate, propylene glycol di (meth) Acrylate, dipropylene glycol di (meth) acrylate, tripropylene glycol di (meth) acrylate, tetrapropylene glycol di Propylene glycol di (meth) acrylate, epichlorohydrin-modified dipropylene glycol di (meth) acrylate, epichlorohydrin-modified propylene glycol di (meth) (Meth) acrylate, epichlorohydrin-modified polypropylene glycol di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, epichlorohydrin-modified polypropylene glycol di (Meth) acrylate, ethylene oxide modified trimethylolpropane tri (meth) acrylate, propylene oxide modified trimethylol propane tri (meth) acrylate, epichlorohydrin modified trimethylol propane tri (meth) acrylate, ditrimethylol propane Tetra (meth) acrylate, glycerol (meth) acrylate, glycerol di (meth) acrylate (Meth) acrylate, epichlorohydrin-modified glycerol tri (meth) acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, epichlorohydrin-modified 1,6-hexanediol di Acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, hydroxypivalic acid di (meth) acrylate, caprolactone-modified hydroxypivalic acid neopentyl glycol (Meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, diglycerin tetra (meth) acrylate, diglycerin ethylene oxide modified acrylate, pentaerythritol tri ) Acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, alkyl-modified dipentaerythritol penta (meth) acrylate, alkyl-modified dipenta (Meth) acrylate modified with erythritol tetra (meth) acrylate, alkyl modified dipentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, caprolactone modified dipentaerythritol hexa (Meth) acrylate, bis [(meth) acryloxy neopentyl glycol] adipate, bisphenol A di (meth) acrylate, ethylene oxide modified bisphenol A di (meth) acrylate, bisphenol F Di (meth) acrylate, ethylene oxide modified bisphenol F di (meth) acrylate, bisphenol S di (meth) acrylate, ethylene oxide modified bisphenol S di (meth) acrylate, 1,4-butanediol di ) Acrylate, 1,3-butylene glycol (meth) acrylate, dicyclopentanyl diacrylate, polyester diacrylate, polyester tree (Meth) acrylate, ethylene tetraacrylate, polyester pentaacrylate, polyester hexaacrylate, ethylene oxide modified di (meth) acrylate, ethylene oxide modified phosphoric tri (meth) acrylate, ethylene oxide modified phosphoric acid Di (meth) acrylate, ethylene oxide modified phosphoric acid tri (meth) acrylate, epichlorohydrin modified phthalic acid di (meth) acrylate, tetrabromobisphenol A di (meth) acrylate, triglycerol di Acrylate, isocyanuric acid ethylene oxide-modified triacrylate, caprolactone-modified tris [(meth) acryloxyethyl (meth) acrylate] ] Isocyanurate, (meth) acrylated isocyanurate, phenylglycidyl ether acrylate Hexamethylene diisocyanate urethane prepolymer, phenyl glycidyl ether acrylate toluene diisocyanate urethane prepolymer, pentaerythritol triacrylate hexamethylene diisocyanate urethane prepolymer, pentaerythritol triacrylate toluene diisocyanate urethane prepolymer, pentaerythritol triacrylate isophorone (Meta) acrylic acid modified product of a phenol novolak type epoxy resin, a (meth) acrylic acid modified product of a cresol novolak type epoxy resin, a diisocyanate urethane prepolymer, a dipentaerythritol pentaacrylate hexamethylene diisocyanate urethane prepolymer, Acrylic acid-modified products, and carboxylic acid-containing urethane acrylate oligomers.

중합성 이중 결합을 1분자당 2개 이상 갖는 화합물은 상기의 화합물을 단독으로 사용해도 되고, 2 이상을 혼합하여 사용해도 된다. The compound having two or more polymerizable double bonds per molecule may be used alone or in combination of two or more.

중합성 이중 결합을 1분자당 2개 이상 갖는 화합물 중에서도, 트리메틸올프로판트리아크릴레이트, 펜타에리스리톨트리아크릴레이트, 펜타에리스리톨테트라아크릴레이트, 디펜타에리스리톨펜타아크릴레이트, 디펜타에리스리톨헥사아크릴레이트, 다염기산 변성 (메타)아크릴 올리고머, 이소시아눌산에틸렌옥시드 변성 디아크릴레이트, 이소시아눌산에틸렌옥시드 변성 트리아크릴레이트, 또는 이들의 혼합물을 사용하는 것이, 경화막의 내열성, 내약품성의 관점에서 바람직하다. Among the compounds having two or more polymerizable double bonds per molecule, it is preferable to use compounds having two or more polymerizable double bonds per molecule, such as trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, (Meth) acrylate oligomer, isocyanuric acid ethyleneoxide-modified diacrylate, isocyanuric acid ethyleneoxide-modified triacrylate, or a mixture thereof is preferably used from the viewpoints of heat resistance and chemical resistance of the cured film.

트리메틸올프로판트리아크릴레이트, 펜타에리스리톨트리아크릴레이트, 펜타에리스리톨테트라아크릴레이트, 디펜타에리스리톨펜타아크릴레이트, 디펜타에리스리톨헥사아크릴레이트, 다염기산 변성 (메타)아크릴 올리고머, 이소시아눌산에틸렌옥시드 변성 디아크릴레이트, 이소시아눌산에틸렌옥시드 변성 트리아크릴레이트, 또는 이들의 혼합물로는, 하기 시판품을 사용할 수 있다.Trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, polybasic acid modified (meth) acryl oligomer, isocyanuric acid ethylene oxide modified diacryl , Isocyanuric acid ethylene oxide-modified triacrylate, and mixtures thereof, the following commercially available products can be used.

트리메틸올프로판트리아크릴레이트의 구체예는, 아로닉스 M-309(상품명; 도아 합성 주식회사)이다. 펜타에리스리톨트리아크릴레이트 및 펜타에리스리톨테트라아크릴레이트의 혼합물의 구체예는, 아로닉스 M-306(65∼70중량%), M-305(55∼63중량%), 및 M-450(10중량% 미만)(모두 상품명; 도아 합성 주식회사, 괄호 내의 함유율은 혼합물 중의 펜타에리스리톨트리아크릴레이트의 함유율의 카탈로그 게재값)이다. 디펜타에리스리톨펜타아크릴레이트 및 디펜타에리스리톨헥사아크릴레이트의 혼합물의 구체예는, 아로닉스 M-403(50∼60중량%), M-400(40∼50중량%), M-402(30∼40중량%), M-404(30∼40중량%), M-406(25∼35중량%), 및 M-405(10∼20중량%)(모두 상품명; 도아 합성 주식회사, 괄호 내의 함유율은 혼합물 중의 디펜타에리스리톨펜타아크릴레이트의 함유율의 카탈로그 게재값)이다. 다염기산 변성 (메타)아크릴 올리고머의 구체예로는, 아로닉스 M-510 및 M-520(모두 상품명; 도아 합성 주식회사)이다. 이소시아눌산에틸렌옥시드 변성 디아크릴레이트의 구체예는, 아로닉스 M-215(상품명; 도아 합성 주식회사)이다. 이소시아눌산에틸렌옥시드 변성 디아크릴레이트 및 이소시아눌산에틸렌옥시드 변성 트리아크릴레이트의 혼합물의 구체예는, 아로닉스 M-315(3∼13중량%)(상품명; 도아 합성 주식회사, 괄호 내의 함유율은 혼합물 중의 이소시아눌산에틸렌옥시드 변성 디아크릴레이트의 함유율의 카탈로그 게재값)이다. 페놀노볼락형 에폭시 수지의 아크릴산 변성물의 구체예는, TEA-100(상품명; 케이에스엠 주식회사)이다. 크레졸 노볼락형 에폭시 수지의 아크릴산 변성물의 구체예는, CNEA-100(상품명; 케이에스엠 주식회사)이다.A specific example of trimethylolpropane triacrylate is Aronix M-309 (trade name, manufactured by Toa Synthetic Co., Ltd.). Specific examples of mixtures of pentaerythritol triacrylate and pentaerythritol tetraacrylate include Aronix M-306 (65-70 wt%), M-305 (55-63 wt%) and M-450 (10 wt% ) (All trade names: Doa Synthetic Co., Ltd., content in the parentheses is the catalog value of the content of pentaerythritol triacrylate in the mixture). Specific examples of the mixture of dipentaerythritol pentaacrylate and dipentaerythritol hexaacrylate include Aronix M-403 (50 to 60 wt%), M-400 (40 to 50 wt%), M-402 40% by weight), M-406 (25 to 35% by weight) and M-405 (10 to 20% by weight) The catalog value of the content of dipentaerythritol pentaacrylate in the mixture). Concrete examples of the polybasic acid-modified (meth) acryl oligomer include Aronix M-510 and M-520 (all trade names, Doa Synthetic Co., Ltd.). A specific example of the isocyanuric acid ethylene oxide-modified diacrylate is Aronix M-215 (trade name, manufactured by Toa Gosei Co., Ltd.). Specific examples of the mixture of isocyanuric acid ethyleneoxide-modified diacrylate and isocyanuric acid ethyleneoxide-modified triacrylate include Aronix M-315 (3-13% by weight) (trade name: Doa Synthetic Co., Is the catalog value of the content of isocyanuric acid ethylene oxide-modified diacrylate in the mixture). A specific example of the acrylic acid-modified product of the phenol novolak type epoxy resin is TEA-100 (trade name, manufactured by KSM). A specific example of the acrylic acid-modified product of the cresol novolak type epoxy resin is CNEA-100 (trade name, KSM Co., Ltd.).

1-2-2. 그 밖의 중합성 이중 결합을 갖는 화합물 1-2-2. Other compounds having a polymerizable double bond

중합성 이중 결합을 갖는 화합물(B)는 상기의 중합성 이중 결합을 1분자당 2개 이상 갖는 화합물에 해당하지 않는 그 밖의 중합성 이중 결합을 갖는 화합물을 포함해도 된다. 그 밖의 중합성 이중 결합을 갖는 화합물로서 본 발명의 감광성 조성물에는 해상성의 관점에서, 중합성 이중 결합을 1분자당 1개 갖고, 또한 -OH 및 -COOH로부터 선택되는 관능기를 1분자당 적어도 1개 갖는 화합물을 추가로 함유해도 된다. 중합성 이중 결합을 1분자당 1개 갖고, 또한 -OH 및 -COOH로부터 선택되는 관능기를 1분자당 적어도 1개 갖는 화합물은 폴리에스테르아미드산 100중량부에 대해 1∼50중량부이면 해상성이 양호해진다.The compound (B) having a polymerizable double bond may contain a compound having another polymerizable double bond which does not correspond to a compound having two or more polymerizable double bonds per molecule. As the other compound having a polymerizable double bond, in the photosensitive composition of the present invention, at least one polymerizable double bond per molecule and one functional group selected from -OH and -COOH May be further contained. The compound having one polymerizable double bond per molecule and having at least one functional group selected from -OH and -COOH per molecule is preferably 1 to 50 parts by weight per 100 parts by weight of the polyester amide acid, .

이러한 중합성 이중 결합을 1분자당 1개 갖고, 또한 -OH 및 -COOH로부터 선택되는 관능기를 1분자당 적어도 1개 갖는 화합물로는, 예를 들면, (메타)아크릴산, 히드록시에틸(메타)아크릴레이트, 히드록시프로필(메타)아크릴레이트, 히드록시부틸(메타)아크릴레이트, 2-히드록시-3-페녹시프로필(메타)아크릴레이트, 숙신산 2-(메타)아크릴로일옥시에틸, 헥사히드로프탈산 2-(메타)아크릴로일옥시에틸, 프탈산 2-(메타)아크릴로일옥시에틸, 프탈산 2-(메타)아크릴로일옥시에틸-2-히드록시에틸, (메타)아크릴산 4-히드록시페닐, p-히드록시(메타)아크릴아닐리드, 4-히드록시부틸(메타)아크릴레이트, 1,4-시클로헥산디메탄올모노(메타)아크릴레이트, 글리세린모노(메타)아크릴레이트, 3-(2-히드록시페닐)(메타)아크릴산, 및 β-카르복시에틸(메타)아크릴레이트를 들 수 있다.Examples of the compound having one such polymerizable double bond per molecule and having at least one functional group selected from -OH and -COOH per molecule include (meth) acrylic acid, hydroxyethyl (meth) acrylate, (Meth) acrylate, hydroxypropyl (meth) acrylate, hydroxybutyl (meth) acrylate, 2-hydroxy- Acrylates such as 2- (meth) acryloyloxyethyl phthalate, 2- (meth) acryloyloxyethyl phthalate, 2- (meth) acryloyloxyethyl-2-hydroxyethyl phthalate, 4- (Meth) acrylate, 4-hydroxybutyl (meth) acrylate, 1,4-cyclohexanedimethanol mono (meth) acrylate, glycerin mono 2-hydroxyphenyl) (meth) acrylic acid, and? -Carboxyethyl (meth) acrylate. .

이들 중에서도, (메타)아크릴산 4-히드록시페닐 및 p-히드록시(메타)아크릴아닐리드는 해상성이 양호해져 바람직하다.Of these, 4-hydroxyphenyl (meth) acrylate and p-hydroxy (meth) acrylanilide are preferred because of their good resolution.

1-3. 광중합 개시제(C) 1-3. The photopolymerization initiator (C)

본 발명의 감광성 조성물에 함유되는 광중합 개시제(C)는 폴리에스테르아미드산(A), 중합성 이중 결합을 갖는 화합물(B), 광중합 개시제(C), 에폭시 화합물(D), 및 에폭시 경화제(E), 무기 미립자(F)를 함유하는 조성물의 중합을 개시할 수 있는 것이면 특별히 한정되지 않는다.The photopolymerization initiator (C) contained in the photosensitive composition of the present invention contains a polyester amide acid (A), a compound having a polymerizable double bond (B), a photopolymerization initiator (C), an epoxy compound (D), and an epoxy curing agent ) And the inorganic fine particles (F), as long as it is capable of initiating polymerization of the composition.

본 발명의 감광성 조성물에 함유되는 광중합 개시제(C)로는, 벤조페논, 미힐러케톤, 4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논, 크산톤, 티옥산톤, 이소프로필크산톤, 2,4-디에틸티옥산톤, 2-에틸안트라퀴논, 아세토페논, 2-히드록시-2-메틸프로피오페논, 2-히드록시-2-메틸-4'-이소프로필프로피오페논, 1-히드록시시클로헥실페닐케톤, 이소프로필벤조인에테르, 이소부틸벤조인에테르, 2,2-디에톡시아세토페논, 2,2-디메톡시-2-페닐아세토페논, 캠퍼퀴논, 벤즈안트론, 2-메틸-1-[4-(메틸티오)페닐]-2-(4-모르폴리닐)-1-프로파논(예를 들면, 상품명; IRGACURE 907, BASF 재팬 주식회사), 2-(디메틸아미노)-1-(4-(4-모르폴리노)페닐)-2-(페닐메틸)-1-부타논(예를 들면, 상품명; IRGACURE 369, BASF 재팬 주식회사), 4-디메틸아미노벤조산에틸, 4-디메틸아미노벤조산이소아밀, 4,4'-디(t-부틸퍼옥시카르보닐)벤조페논, 3,4,4'-트리(t-부틸퍼옥시카르보닐)벤조페논, 1,2-옥탄디온,1-[4-(페닐티오)페닐]-,2-(O-벤조일옥심)(예를 들면, 상품명; IRGACURE OXE01, BASF 재팬 주식회사), 에타논,1-[9-에틸-6-(2-메틸벤조일)-9H-카르바졸-3-일]-,1-(O-아세틸옥심)(예를 들면, 상품명; IRGACURE OXE02, BASF 재팬 주식회사), IRGACURE OXE03(상품명; BASF 재팬 주식회사), 1,2-프로판디온,1-[4-[4-(2-히드록시에톡시)페닐티오]페닐]-2-(O-아세틸옥심)(예를 들면, 상품명; 아데카아클즈 NCI-930, 주식회사 ADEKA), 아데카아클즈 NCI-831(상품명; 주식회사 ADEKA), 아데카옵토머 N-1919(상품명; 주식회사 ADEKA), 2,4,6-트리메틸벤조일디페닐포스핀옥사이드, 2-(4'-메톡시스티릴)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(3',4'-디메톡시스티릴)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(2',4'-디메톡시스티릴)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(2'-메톡시스티릴)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(4'-펜틸옥시스티릴)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-[p-N,N-디(에톡시카르보닐메틸)]-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 1,3-비스(트리클로로메틸)-5-(2'-클로로페닐)-s-트리아진, 1,3-비스(트리클로로메틸)-5-(4'-메톡시페닐)-s-트리아진, 2-(p-디메틸아미노스티릴)벤즈옥사졸, 2-(p-디메틸아미노스티릴)벤즈티아졸, 2-메르캅토벤조티아졸, 3,3'-카르보닐비스(7-디에틸아미노쿠마린), 2-(o-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸, 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라키스(4-에톡시카르보닐페닐)-1,2'-비이미다졸, 2,2'-비스(2,4-디클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸, 2,2'-비스(2,4-디브로모페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸, 2,2'-비스(2,4,6-트리클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸, 3-(2-메틸-2-디메틸아미노프로피오닐)카르바졸, 3,6-비스(2-메틸-2-모르폴리노프로피오닐)-9-n-도데실카르바졸, 1-히드록시시클로헥실페닐케톤, 및 비스(η5-2,4-시클로펜타디엔-1-일)-비스(2,6-디플루오로-3-(1H-피롤-1-일)-페닐)티타늄 등을 들 수 있다.Examples of the photopolymerization initiator (C) contained in the photosensitive composition of the present invention include benzophenone, Michler's ketone, 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone, xanthone, thioxanthone, isopropylxanthone, Diethyl thioxanthone, 2-ethyl anthraquinone, acetophenone, 2-hydroxy-2-methylpropiophenone, 2-hydroxy-2-methyl-4'-isopropylpropiophenone, 2-methylethoxyacetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, camphorquinone, benzanthrone, 2-methyl IRGACURE 907, BASF Japan KK), 2- (dimethylamino) -1- [4- (methylthio) phenyl] -2- (4-morpholinyl) (Trade name: IRGACURE 369, manufactured by BASF Japan KK), ethyl 4-dimethylaminobenzoate, 4-dimethyl-3- Aminobenzoic acid isoamyl, 4,4'-di (t-butylperoxycar 2- (O-phenyl) benzophenone, 3,4,4'-tri (t-butylperoxycarbonyl) benzophenone, (9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] -, 1- Propane, 1 - [4- [4- (2-hydroxyphenyl) -1H-pyrazolo [l, (Trade name: ADEKA NCI-930, manufactured by ADEKA), Adeka's NCI-831 (trade name: ADEKA Co., Ltd.), and phenanthio] Trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, 2- (4'-methoxystyryl) -4,6-bis (trichloromethyl) - (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (2 ', 4'-dimethoxystyryl) -4,6-bis -4,6-bis (trichloromethyl) -s- Triazine, 2- (2'-methoxystyryl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4'-pentyloxystyryl) (Trichloromethyl) -s-triazine, 1,3-bis (trichloro (meth) acrylate) (4'-methoxyphenyl) -s-triazine, 2- (p-toluenesulfonyl) Dimethylaminostyryl) benzoxazole, 2- (p-dimethylaminostyryl) benzothiazole, 2-mercaptobenzothiazole, 3,3'-carbonylbis (7-diethylaminocoumarin) (o-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole, 2,2'-bis -Tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) -1,2'-biimidazole, 2,2'-bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl Bis (2,4-dibromophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole, 2,2'-bis , 2'-bis (2,4,6-trichlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetra (2-methyl-2-morpholinopropionyl) -9-n (2-methyl-2-dimethylaminopropionyl) carbazole, - dodecyl carbazole, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, and bis (η 5 -2,4- cyclopentadiene-1-yl) -bis (2,6-difluoro -3- (1H- pyrrole -1-yl) -phenyl) titanium, and the like.

광중합 개시제(C)는 단독으로 사용해도 되고, 2개 이상을 혼합하여 사용해도 된다. 광중합 개시제(C) 중에서도, α-아미노알킬페논계, 아실포스핀옥사이드계, 옥심에스테르계 광중합 개시제인 것이, 노광 시의 도막의 감도 및 경화막의 투명성의 관점에서 바람직하다. 한편, 본 명세서에서는 기판 상에 스핀 코트, 인쇄 그 외의 방법으로 형성된 감광성 조성물의 박막을 예비 건조(프리베이크)하여 얻어진 박막을 「도막」이라고 칭한다. 이 도막은 그 후의 노광-현상-세정-건조 등의 공정을 거친 후, 본 소성(포스트베이크)에 의해 경화막이 된다. 본 명세서에서는, 상기 예비 건조로부터 건조까지의 공정에 있어서의 박막을 모두 「도막」으로 하고, 예를 들면, 「노광 시의 도막」, 「현상 후의 도막」이라는 표기에 의해, 성막 공정의 어느 단계의 도막인지를 나타내도록 한다.The photopolymerization initiator (C) may be used alone, or two or more photopolymerization initiators may be used in combination. Among the photopolymerization initiators (C), α-aminoalkylphenone-based, acylphosphine oxide-based, oximeester-based photopolymerization initiators are preferable from the viewpoints of sensitivity of the coating film upon exposure and transparency of the cured film. In the present specification, a thin film obtained by preliminarily drying (prebaking) a thin film of a photosensitive composition formed on a substrate by spin coating, printing or other methods is referred to as a " coating film ". This coating film is subjected to a subsequent process such as exposure-development-cleaning-drying, and then becomes a cured film by main firing (post-baking). In the present specification, the thin films in the steps from the preliminary drying to the drying are all referred to as " coating films ", and at any step of the film formation step, for example, Of the coating film.

광중합 개시제(C) 중에서도, 1,2-옥탄디온,1-[4-(페닐티오)페닐]-,2-(O-벤조일옥심) 또는 1,2-프로판디온,1-[4-[4-(2-히드록시에톡시)페닐티오]페닐]-2-(O-아세틸옥심)이 광중합 개시제의 전체 중량에 대해 20중량% 이상인 것이, 도막의 감도 및 경화막의 투명성의 관점에서 보다 바람직하다. 또한, 50중량% 이상이면 더욱 바람직하다. 광중합 개시제가 1,2-옥탄디온,1-[4-(페닐티오)페닐]-,2-(O-벤조일옥심) 또는 1,2-프로판디온,1-[4-[4-(2-히드록시에톡시)페닐티오]페닐]-2-(O-아세틸옥심)만으로 이루어지는 것이어도 된다. Among the photopolymerization initiators (C), preferred are 1,2-octanedione, 1- [4- (phenylthio) phenyl] -, 2- (O- More preferably 20% by weight or more based on the total weight of the photopolymerization initiator from the viewpoints of the sensitivity of the coating film and the transparency of the cured film (hereinafter, referred to as " - (2-hydroxyethoxy) . It is more preferable that the content is 50% by weight or more. Wherein the photopolymerization initiator is at least one selected from the group consisting of 1,2-octanedione, 1- [4- (phenylthio) phenyl], 2- (O-benzoyloxime) Hydroxyethoxy) phenylthio] phenyl] -2- (O-acetyloxime) alone.

1-4. 에폭시 화합물(D)1-4. The epoxy compound (D)

본 발명에 사용되는 에폭시 화합물(D)는 에폭시기를 1분자당 2∼10개 포함한다. 본 발명의 감광성 조성물에 에폭시 화합물(D)을 첨가함으로써, 경화막의 내열성을 높일 수 있다. 에폭시 화합물(D)는 폴리에스테르아미드산(A) 100중량부에 대해, 20∼200중량부이면 평탄성이 양호해진다.The epoxy compound (D) used in the present invention contains 2 to 10 epoxy groups per molecule. By adding the epoxy compound (D) to the photosensitive composition of the present invention, the heat resistance of the cured film can be enhanced. When the epoxy compound (D) is 20 to 200 parts by weight based on 100 parts by weight of the polyester amide acid (A), the flatness is improved.

에폭시 화합물(D)의 바람직한 예로서, 3',4'-에폭시시클로헥실메틸-3,4-에폭시시클로헥산카르복실레이트(예를 들면, 상품명; 셀록사이드 2021P, 주식회사 다이셀), 1-메틸-4-(2-메틸옥시라닐)-7-옥사비시클로[4.1.0]헵탄(예를 들면, 상품명; 셀록사이드 3000, 주식회사 다이셀), 2-[4-(2,3-에폭시프로폭시)페닐]-2-[4-[1,1-비스[4-(2,3-에폭시프로폭시)페닐]에틸]페닐]프로판과, 1,3-비스[4-[1-[4-(2,3-에폭시프로폭시)페닐]-1-[4-[1-[4-(2,3-에폭시프로폭시)페닐]-1-메틸에틸]페닐]에틸]페녹시]-2-프로판올과의 혼합물(예를 들면, 상품명; TECHMORE VG3101L, 주식회사 프린텍), 2-[4-(2,3-에폭시프로폭시)페닐]-2-[4-[1,1-비스[4-(2,3-에폭시프로폭시)페닐]에틸]페닐]프로판, 1,1,1-트리스(4-히드록시페닐)에탄트리글리시딜에테르(예를 들면, 상품명; jER 1032H60, 미츠비시 케미컬 주식회사), 1,3-비스(옥시라닐메틸)-5-(2-프로페닐)-1,3,5-트리아진-2,4,6(1H,3H,5H)-트리온, 2,2-비스(히드록시메틸)-1-부탄올의 1,2-에폭시-4-(2-옥시라닐)시클로헥산 부가물(예를 들면, 상품명; EHPE3150, 주식회사 다이셀) 등을 들 수 있다.As a preferable example of the epoxy compound (D), 3 ', 4'-epoxycyclohexylmethyl-3,4-epoxycyclohexanecarboxylate (for example, trade name: Celloxide 2021P, (2-methyloxylanyl) -7-oxabicyclo [4.1.0] heptane (trade name, Celloxide 3000, Daicel Inc.), 2- [4- Bis [4- [1- [4-methoxyphenyl] ethyl] phenyl] Phenyl] -1-methylethyl] phenyl] ethyl] phenoxy] -2 (2-methylpropoxy) 2- propanediol (trade name: TECHMORE VG3101L, manufactured by PRINTEC), 2- [4- (2,3-epoxypropoxy) phenyl] -2- [4- [ Ethyl] phenyl] propane, 1,1,1-tris (4-hydroxyphenyl) ethane triglycidyl ether (trade name: jER 1032H60, Mitsubishi Chemical Co., , 1,3-bis (oxirane (1H, 3H, 5H) -triene, 2,2-bis (hydroxymethyl) -1- 1,2-epoxy-4- (2-oxiranyl) cyclohexane adduct of butanol (trade name: EHPE3150, Daicel Co., Ltd.).

1-5. 에폭시 경화제(E)1-5. Epoxy curing agent (E)

본 발명의 감광성 조성물에는, 평탄성, 내약품성을 향상시키기 위해, 에폭시 경화제(E)가 사용된다. 에폭시 경화제(E)로는, 산 무수물계 경화제, 아민계 경화제, 페놀계 경화제, 이미다졸계 경화제, 촉매형 경화제, 및 술포늄염, 벤조티아조늄염, 암모늄염, 포스포늄염 등의 감열성 산발생제 등이 있지만, 경화막의 착색을 피하는 것 및 경화막의 내열성의 관점에서, 산 무수물계 경화제 또는 이미다졸계 경화제가 바람직하다.In the photosensitive composition of the present invention, an epoxy curing agent (E) is used to improve flatness and chemical resistance. Examples of the epoxy curing agent (E) include an acid anhydride type curing agent, an amine type curing agent, a phenol type curing agent, an imidazole type curing agent, a catalyst type curing agent and a thermosensitive acid generator such as a sulfonium salt, a benzothiazonium salt, an ammonium salt and a phosphonium salt Etc. From the viewpoint of avoiding coloring of the cured film and the heat resistance of the cured film, an acid anhydride-based curing agent or an imidazole-based curing agent is preferable.

산 무수물계 경화제의 구체예로는, 지방족 디카르복실산 무수물, 예를 들면, 무수 말레산, 무수 테트라히드로프탈산, 무수 헥사히드로프탈산, 무수 메틸헥사히드로프탈산, 헥사히드로트리멜리트산 무수물 등, 방향족 다가카르복실산 무수물, 예를 들면, 무수 프탈산, 트리멜리트산 무수물 등을 들 수 있다. 이들 중에서도, 감광성 조성물의 용제에 대한 용해성을 손상시키지 않고 경화막의 내열성을 향상시킬 수 있는 트리멜리트산 무수물 및 헥사히드로트리멜리트산 무수물이 특히 바람직하다.Specific examples of the acid anhydride-based curing agent include aliphatic dicarboxylic acid anhydrides such as maleic anhydride, tetrahydrophthalic acid anhydride, hexahydrophthalic anhydride, methylhexahydrophthalic acid anhydride, and hexahydrotrimellitic anhydride, And polycarboxylic acid anhydrides such as phthalic anhydride and trimellitic anhydride. Among them, trimellitic acid anhydride and hexahydrotrimellitic acid anhydride which can improve the heat resistance of the cured film without deteriorating the solubility of the photosensitive composition in a solvent are particularly preferable.

이미다졸계 경화제의 구체예로는, 2-운데실이미다졸, 2-헵타데실이미다졸, 2-페닐이미다졸, 2-페닐-4-메틸이미다졸, 2,3-디히드로-1H-피롤로[1,2-a]벤즈이미다졸, 1-시아노에틸-2-운데실이미다졸륨트리멜리테이트를 들 수 있다. 이들 중에서도, 감광성 조성물의 용제에 대한 용해성을 손상시키지 않고 경화막의 경화성을 향상시킬 수 있는 2-운데실이미다졸이 특히 바람직하다. Specific examples of the imidazole-based curing agent include 2-undecylimidazole, 2-heptadecylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, -1H-pyrrolo [1,2-a] benzimidazole, and 1-cyanoethyl-2-undecylimidazolium trimellitate. Of these, 2-undecylimidazole, which can improve the curability of the cured film without deteriorating the solubility of the photosensitive composition in a solvent, is particularly preferable.

1-6. 무기 미립자(F) 1-6. The inorganic fine particles (F)

무기 미립자(F)는 특별히 한정되지 않지만, Si, Al, Mg, Ca, Sc, Ti, V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn, Ga, Ge, As, Se, Rb, Sr, Y, Zr, Nb, Mo, Tc, Ru, Ag, In, Sn, Sb, Te, Cs, Ba, Hf, Ta, W, Re, La, Ce, Pr, Nd, Pm, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, Lu 등의 산화물, 황산염, 탄산염, 불화물 등의 단독 염 혹은 복염(MgAl2O4 등)을 들 수 있다.The inorganic fine particles (F) are not particularly limited, and the inorganic fine particles (F) are preferably selected from the group consisting of Si, Al, Mg, Ca, Sc, Ti, V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn, Ga, Ge, As, Se, , Y, Zr, Nb, Mo, Tc, Ru, Ag, In, Sn, Sb, Te, Cs, Ba, Hf, Ta, W, Re, La, Ce, Pr, Nd, (MgAl 2 O 4 ) such as oxides, sulfates, carbonates and fluorides of Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb and Lu.

무기 미립자(F)로는, 이들 중에서도, 주기율표 제4족 원소의 산화물 입자인 것이 바람직하고, 또한 굴절률이 높은 미립자를 첨가함으로써, 얻어지는 경화막의 굴절률을 더욱 높일 수 있다. 이 구체예로는, 산화티탄, 산화지르코늄, 산화하프늄 및 이들의 금속 산화물과, 산화규소나 산화주석의 복합 입자를 들 수 있고, 얻어지는 경화막의 굴절률을 높이는 효과 면에서, 산화티탄 및 산화지르코늄이 바람직하다.Among them, the inorganic fine particles (F) are preferably oxide particles of the Group 4 elements of the periodic table, and the refractive index of the resulting cured film can be further increased by adding fine particles having a high refractive index. Specific examples thereof include composite particles of titanium oxide, zirconium oxide, hafnium oxide and metal oxides thereof, and silicon oxide and tin oxide. From the viewpoint of enhancing the refractive index of the resulting cured film, titanium oxide and zirconium oxide desirable.

산화티탄은 광 촉매 활성이 있기 때문에, 광학 용도에 사용하기 위해서는 입자 표면을 산화규소로 피복하는 것이 바람직하다. 또한, 산화티탄에는 결정형의 차이에 의해, 아나타제형과 루틸형이 존재하지만, 굴절률이 높고, 내광성이 우수한 점에서 루틸형이 바람직하다.Since titanium oxide has photocatalytic activity, it is preferable to coat the surface of the particles with silicon oxide for use in optical applications. In addition, anatase type and rutile type exist in titanium oxide due to difference in crystal form, but rutile type is preferable because of high refractive index and excellent light resistance.

감광성 조성물 중에 무기 미립자(F)가 분산된 조성물에 광이 입사하면, 분산 입자에 의한 레일리 산란이 발생하지만, 이 레일리 산란을 작게 하면 조사된 광이 산란되지 않고 조성물 중을 투과할 수 있다. 예를 들면, 조성물을 경화시켜 전자 디바이스의 봉지제 등을 제작한 경우, 상술하는 바와 같은 광 취출 효율을 향상시키거나 할 수 있다. 또한, 조성물을 경화시켜 광도파로를 제작한 경우, 광도파로를 전파하는 광 신호의 산란이 적기 때문에, 광도파로의 광 전파 손실이 저감된다. 레일리 산란은 분산 입자의 입자경의 3승에 비례하는 점에서, 그 산란을 억제하기 위해서는, 조성물 중의 무기 미립자(F)의 1차 입자경은 작은 것이 바람직하다.When light enters a composition in which the inorganic fine particles (F) are dispersed in the photosensitive composition, Rayleigh scattering occurs due to dispersed particles. However, when the Rayleigh scattering is reduced, the irradiated light can transmit through the composition without scattering. For example, when the composition is cured to produce an encapsulant or the like of an electronic device, the light extraction efficiency as described above can be improved. Further, when the optical waveguide is made by curing the composition, scattering of the optical signal propagating through the optical waveguide is small, so that the light propagation loss of the optical waveguide is reduced. It is preferable that the primary particle diameter of the inorganic fine particles (F) in the composition is small in order to suppress the scattering because the Rayleigh scattering is proportional to the third power of the particle diameter of the dispersed particles.

감광성 조성물 중의 무기 미립자(F)의 1차 입자경은 무기 미립자(F)의 2차 응집에 의한 경화막의 백화를 방지하기 위해 1㎚ 이상이며, 박막 형성 시의 면 균일성이 우수하려면 100㎚ 이하이다. 1차 입자경은 바람직하게는 1∼50㎚이며, 보다 바람직하게는 5∼15㎚이다. 조성물 중의 무기 미립자(F)는 응집이 완전히 풀린 1차 입자 상태에 있는 것과, 복수 개의 1차 입자가 응집한 상태에 있는 것이 존재한다. 여기서, 무기 미립자(F)의 1차 입자경이란, 응집되어 있지 않는 입자의 입자경이고, 1차 입자가 응집된 응집체의 입자경은 응집 입자경이다. 조성물 중의 무기 미립자(F)의 1차 입자경을 측정하는 방법으로는, SEM(주사형 전자 현미경)이나, TEM(투과형 전자 현미경)에 의해 직접 입자를 관찰하는 방법이나, 광 산란법에 따라 측정하는 방법을 들 수 있다.The primary particle diameter of the inorganic fine particles (F) in the photosensitive composition is 1 nm or more to prevent whitening of the cured film due to secondary agglomeration of the inorganic fine particles (F), and is 100 nm or less for excellent surface uniformity in forming a thin film . The primary particle size is preferably 1 to 50 nm, more preferably 5 to 15 nm. The inorganic fine particles (F) in the composition are present in the primary particle state in which aggregation is completely released and in the state in which a plurality of primary particles are aggregated. Here, the primary particle diameter of the inorganic fine particles (F) is the particle diameter of the non-aggregated particles, and the aggregated particle diameter of the primary aggregated particles is the aggregated particle diameter. Examples of the method for measuring the primary particle size of the inorganic fine particles (F) in the composition include a method of directly observing the particles by SEM (scanning electron microscope) or TEM (transmission electron microscope) Method.

무기 미립자(F)의 굴절률(나노 입자가 아닌 벌크 재료로서의 굴절률 nD)은 1.6∼3.5이고, 바람직하게는 1.8∼3.0이며, 보다 바람직하게는 2.0∼2.8이다.The refractive index (refractive index nD as a bulk material instead of nano particles) of the inorganic fine particles (F) is 1.6 to 3.5, preferably 1.8 to 3.0, and more preferably 2.0 to 2.8.

무기 미립자(F)는 분체상이어도 되고, 용매 분산체여도 된다. 분산매로는, 예를 들면 메탄올, 메틸에틸케톤, 메틸이소부틸케톤, 시클로헥사논, N-메틸-2-피롤리돈, 프로필렌글리콜모노메틸에테르 등을 들 수 있다.The inorganic fine particles (F) may be in powder form or may be a solvent dispersion. Examples of the dispersion medium include methanol, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, N-methyl-2-pyrrolidone and propylene glycol monomethyl ether.

무기 미립자(F)로서 사용할 수 있는 시판품의 예로는, 예를 들면 산화티탄 나노 필러 분산액(테이카사 제조의 ND-139, 미쿠니 색소사 제조의 C007M 등), 산화지르코늄 나노 필러 분산액(미쿠니 색소사 제조의 MHI B642M, 미쿠니 색소사 제조의 B943M, 솔라(주) 제조의 ZR-011 등), 산화규소 피복 아나타제형 산화티탄-메탄올 분산 졸(쇼쿠바이 화성 공업사 제조, 옵토레이크 시리즈), 산화규소 피복-산화주석 함유 루틸형 산화티탄-메탄올 분산 졸(테이카사 제조, TS 시리즈), 산화지르코늄-메틸에틸케톤 분산 졸(오사카 시멘트사 제조, HXU-120JC) 등을 들 수 있다.Examples of commercially available products that can be used as the inorganic fine particles (F) include titanium oxide nanopillar dispersion (ND-139 manufactured by Teika Co., Ltd., C007M manufactured by Mikuni Color Company), zirconium oxide nanopillar dispersion (manufactured by Mikuni Color Company (Manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., MHI B642M, manufactured by Mikuni Color Co., Ltd., B943M, manufactured by Solar Corporation), silicon oxide-coated anatase titanium oxide- (TS series), and zirconium oxide-methyl ethyl ketone dispersion sol (HXU-120JC, manufactured by Osaka Cement Co., Ltd.), and the like.

무기 미립자(F)의 함유량은 폴리에스테르아미드산(A) 100중량부에 대해, 30∼300중량부이다. 얻어지는 경화물의 굴절률이 하기의 원하는 범위이기 위해서는, 무기 미립자(F)의 함유량은 30중량부 이상이다. 또한, 포토리소그래피법에 의한 패턴 가공 처리를 행한 경우에, 얻어지는 경화물의 잔막율이 적정이기 위해서는, 무기 미립자(F)의 함유량은 400중량부 이하이다.The content of the inorganic fine particles (F) is 30 to 300 parts by weight based on 100 parts by weight of the polyester amide acid (A). The content of the inorganic fine particles (F) is 30 parts by weight or more so that the refractive index of the resulting cured product is in the below-mentioned desired range. In addition, when the pattern processing by the photolithography method is carried out, the content of the inorganic fine particles (F) is preferably not more than 400 parts by weight in order that the residual film ratio of the resulting cured product is proper.

감광성 조성물을 경화막으로 한 경우의 굴절률(nD)은 1.6∼3.0이다. 바람직하게는 1.6∼2.0이며, 더욱 바람직하게는 1.6∼1.8이다. 굴절률(nD)은 나트륨의 D선, 파장 589.3㎚의 광에 대한 굴절률이고, 측정 방법은 실시예에서 나타내는 대로이다.The refractive index (nD) when the photosensitive composition is a cured film is 1.6 to 3.0. Preferably 1.6 to 2.0, and more preferably 1.6 to 1.8. The refractive index (nD) is the refractive index for the D-line of sodium and the wavelength of 589.3 nm, and the measurement method is as shown in the examples.

1-7. 그 밖의 성분1-7. Other components

본 발명의 감광성 조성물에는, 도포 균일성, 접착성, 투명성, 해상성, 평탄성, 및 내약품성을 향상시키기 위해 각종 첨가제를 첨가할 수 있다. 첨가제에는, 음이온계, 양이온계, 비이온계, 불소계 또는 실리콘계의 계면활성제, 커플링제, 힌더드페놀계, 힌더드아민계, 인계, 유황계 화합물 등의 산화방지제, 분자량 조정제, 자외선 흡수제, 응집 방지제, 열 가교제, 광산 발생제, 용제를 주로 들 수 있다.To the photosensitive composition of the present invention, various additives may be added to improve coating uniformity, adhesiveness, transparency, resolution, flatness, and chemical resistance. Examples of the additives include antioxidants such as anionic, cationic, nonionic, fluorinated or silicone surfactants, coupling agents, hindered phenol-based, hindered amine-based, phosphorus-based and sulfur-based compounds, molecular weight regulators, ultraviolet absorbers, An antioxidant, an antioxidant, a heat-crosslinking agent, a photoacid generator and a solvent.

1-7-1. 계면활성제1-7-1. Surfactants

본 발명의 감광성 조성물에는, 도포 균일성을 향상시키기 위해, 계면활성제를 첨가해도 된다. 계면활성제의 구체예는, 폴리플로우 No. 75, 폴리플로우 No. 90, 폴리플로우 No. 95(모두 상품명; 교에이샤 화학 주식회사), 디스퍼빅(Disperbyk) 161, 디스퍼빅 162, 디스퍼빅 163, 디스퍼빅 164, 디스퍼빅 166, 디스퍼빅 170, 디스퍼빅 180, 디스퍼빅 181, 디스퍼빅 182, BYK-300, BYK-306, BYK-310, BYK-320, BYK-330, BYK-342, BYK-346, BYK-361N, BYK-UV3500, BYK-UV3570(모두 상품명; 빅케미·재팬 주식회사), KP-341, KP-368, KF-96-50CS, KF-50-100CS(모두 상품명; 신에츠 화학 공업 주식회사), 서프론 S611(상품명; AGC 세이미 케미칼 주식회사), 푸타젠트 222F, 푸타젠트 208G, 푸타젠트 251, 푸타젠트 710FL, 푸타젠트 710FM, 푸타젠트 710FS, 푸타젠트 601AD, 푸타젠트 650A, FTX-218(모두 상품명; 주식회사 네오스), 메가팍크 F-410, 메가팍크 F-430, 메가팍크 F-444, 메가팍크 F-472SF, 메가팍크 F-475, 메가팍크 F-477, 메가팍크 F-552, 메가팍크 F-553, 메가팍크 F-554, 메가팍크 F-555, 메가팍크 F-556, 메가팍크 F-558, 메가팍크 F-559, 메가팍크 R-94, 메가팍크 RS-75, 메가팍크 RS-72-K, 메가팍크 RS-76-NS, 메가팍크 DS-21(모두 상품명; DIC 주식회사), TEGO Twin 4000, TEGO Twin 4100, TEGO Flow 370, TEGO Glide 440, TEGO Glide 450, TEGO Rad 2200N(모두 상품명; 에보닉 재팬 주식회사), 플루오로알킬벤젠술폰산염, 플루오로알킬카르복실산염, 플루오로알킬폴리옥시에틸렌에테르, 플루오로알킬암모늄요오드화물, 플루오로알킬베타인, 플루오로알킬술폰산염, 디글리세린테트라키스(플루오로알킬폴리옥시에틸렌에테르), 플루오로알킬트리메틸암모늄염, 플루오로알킬아미노술폰산염, 폴리옥시에틸렌노닐페닐에테르, 폴리옥시에틸렌옥틸페닐에테르, 폴리옥시에틸렌알킬에테르, 폴리옥시에틸렌라우릴에테르, 폴리옥시에틸렌올레일에테르, 폴리옥시에틸렌트리데실에테르, 폴리옥시에틸렌세틸에테르, 폴리옥시에틸렌스테아릴에테르, 폴리옥시에틸렌라우레이트, 폴리옥시에틸렌올레에이트, 폴리옥시에틸렌스테아레이트, 폴리옥시에틸렌라우릴아민, 소르비탄라우레이트, 소르비탄팔미테이트, 소르비탄스테아레이트, 소르비탄올레에이트, 소르비탄지방산에스테르, 폴리옥시에틸렌소르비탄라우레이트, 폴리옥시에틸렌소르비탄팔미테이트, 폴리옥시에틸렌소르비탄스테아레이트, 폴리옥시에틸렌소르비탄올레에이트, 폴리옥시에틸렌나프틸에테르, 알킬벤젠술폰산염, 및 알킬디페닐에테르디술폰산염을 들 수 있다. 이들로부터 선택되는 적어도 하나를 사용하는 것이 바람직하다.In the photosensitive composition of the present invention, a surfactant may be added in order to improve coating uniformity. Specific examples of the surfactant include polyphosphoric acid esters such as polyphosphoric acid esters. 75, Polyflow No. " 90, poly flow No. Disperbyk 161, Disperobic 162, Disperobic 163, Disperobic 164, Disperobic 166, Disperobic 170, Disperobic 180, Disperobic 181, Disperbyk 182 (all trade names, , BYK-300, BYK-306, BYK-310, BYK-320, BYK-330, BYK-342, BYK-346, BYK- (Trade name: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), Surflon S611 (trade name, available from AGC Seiyam Chemical Co., Ltd.), Futagent 222F, Futagent 208G 430, Megapack F-430, Megaplock F-430, Megaplock F-430, Megaplock F-430, Megaplock F-480, F-554, Megaplock F-555, Megaplock F-554, Megaplock F-554, Megaplock F-474, Megaplock F- 556, MegaPak F-558, MegaPak F TEGO Twin 4000, TEGO Twin (manufactured by DIC Corporation), Megapak RS-75, Megapak RS-75, Megapak RS- 4100, TEGO Flow 370, TEGO Glide 440, TEGO Glide 450, TEGO Rad 2200N (all trade names, Ebonic Japan Co., Ltd.), fluoroalkylbenzenesulfonic acid salts, fluoroalkylcarboxylic acid salts, fluoroalkylpolyoxyethylene ethers, (Fluoroalkylpolyoxyethylene ether), a fluoroalkyltrimethylammonium salt, a fluoroalkylaminosulfonate salt, a polyoxyethylene nonylphenyl (meth) acrylate, a fluoroalkylsulfonate salt, Ether, polyoxyethylene octyl phenyl ether, polyoxyethylene alkyl ether, polyoxyethylene lauryl ether, polyoxyethylene oleyl ether, polyoxyethylene tridecyl ether, polyoxyethylene cetyl ether, polyoxyethylene Polyoxyethylene stearate, polyoxyethylene laurylamine, sorbitan laurate, sorbitan palmitate, sorbitan stearate, sorbitan oleate, sorbitan monostearate, sorbitan monostearate, Polyoxyethylene sorbitan fatty acid ester, polyoxyethylene sorbitan palmitate, polyoxyethylene sorbitan stearate, polyoxyethylene sorbitan oleate, polyoxyethylene naphthyl ether, alkyl benzene sulfonate, and alkyl And diphenyl ether disulfonic acid salts. It is preferable to use at least one selected from these.

이들 계면활성제 중에서도, BYK-306, BYK-342, BYK-346, KP-341, KP-368, 서프론 S611, 푸타젠트 710FL, 푸타젠트 710FM, 푸타젠트 710FS, 푸타젠트 601AD, 푸타젠트 650A, 메가팍크 F-477, 메가팍크 F-556, 메가팍크 F-559, 메가팍크 RS-72-K, 메가팍크 DS-21, TEGO Twin 4000, 플루오로알킬벤젠술폰산염, 플루오로알킬카르복실산염, 플루오로알킬폴리옥시에틸렌에테르, 플루오로알킬술폰산염, 플루오로알킬트리메틸암모늄염, 및 플루오로알킬아미노술폰산염 중에서 선택되는 적어도 1종이면, 감광성 조성물의 도포 균일성이 높아지기 때문에 바람직하다.Of these surfactants, BYK-306, BYK-342, BYK-346, KP-341, KP-368, Surfron S611, Putagent 710FL, Putagent 710FM, Putagent 710FS, Putagent 601AD, Putagent 650A, Examples of the fluoroalkylbenzene sulfonic acid salts include fluorocarbonsulfonic acid salts such as Parkfaque F-477, Megafac F-556, Megafac F-559, Megapak RS-72-K, Megapak DS- 21, TEGO Twin 4000, At least one selected from the group consisting of fluoroalkyl ethers, fluoroalkyl ethers, fluoroalkylsulfonates, fluoroalkyltrimethylammonium salts and fluoroalkylaminosulfonates is preferred because the coating uniformity of the photosensitive composition is enhanced.

본 발명의 감광성 조성물에 있어서의 계면활성제의 함유량은 감광성 조성물 전체량에 대해 0.01∼10중량%인 것이 바람직하다.The content of the surfactant in the photosensitive composition of the present invention is preferably 0.01 to 10% by weight based on the total amount of the photosensitive composition.

1-7-2. 커플링제 1-7-2. Coupling agent

본 발명의 감광성 조성물은 형성되는 경화막과 기판의 밀착성을 더욱 향상시키는 관점에서, 커플링제를 추가로 함유해도 된다.The photosensitive composition of the present invention may further contain a coupling agent from the viewpoint of further improving the adhesion between the cured film to be formed and the substrate.

이러한 커플링제로는 예를 들면, 실란계, 알루미늄계 또는 티타네이트계의 커플링제를 사용할 수 있다. 구체적으로는, 3-글리시딜옥시프로필디메틸에톡시실란, 3-글리시딜옥시프로필메틸디에톡시실란, 3-글리시딜옥시프로필트리메톡시실란(예를 들면, 상품명; 사이라에스 S510, JNC 주식회사), 2-(3,4-에폭시시클로헥실)에틸트리메톡시실란(예를 들면, 상품명; 사이라에스 S530, JNC 주식회사), 3-메르캅토프로필트리메톡시실란(예를 들면, 상품명; 사이라에스 S810, JNC 주식회사), 3-글리시딜옥시프로필트리메톡시실란의 중합체(예를 들면, 상품명; COATOSIL MP 200, 모멘티브·퍼포먼스·머티리얼 합동 주식회사) 등의 실란계 커플링제, 아세트알콕시알루미늄디이소프로필레이트 등의 알루미늄계 커플링제, 및 테트라이소프로필비스(디옥틸포스파이트)티타네이트 등의 티타네이트계 커플링제를 들 수 있다. As such a coupling agent, for example, a silane-based, aluminum-based or titanate-based coupling agent can be used. Specific examples thereof include 3-glycidyloxypropyldimethylethoxysilane, 3-glycidyloxypropylmethyldiethoxysilane, 3-glycidyloxypropyltrimethoxysilane (for example, trade name: Saira S510 , JNC Co., Ltd.), 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane (trade name: Saira S530, JNC Co., Ltd.), 3-mercaptopropyltrimethoxysilane Silane coupling agents such as a polymer of 3-glycidyloxypropyltrimethoxysilane (for example, trade name: COATOSIL MP 200, Momentive Performance Material Joint-Stock Co., Ltd.) An aluminum-based coupling agent such as an aliphatic hydrocarbon-based coupling agent, an aliphatic hydrocarbon-based coupling agent, and an alkoxy aluminum diisopropylate; and a titanate-based coupling agent such as tetraisopropyl bis (dioctylphosphite) titanate.

이들 중에서도, 3-글리시딜옥시프로필트리메톡시실란이 밀착성을 향상시키는 효과가 크기 때문에 바람직하다.Among them, 3-glycidyloxypropyltrimethoxysilane is preferable because it has a large effect of improving the adhesion.

커플링제의 함유량은 감광성 조성물 전체량에 대해, 0.01중량% 이상, 10중량% 이하인 것이 형성되는 경화막과 기판의 밀착성이 향상되기 때문에 바람직하다.The content of the coupling agent is preferably 0.01% by weight or more and 10% by weight or less based on the total amount of the photosensitive composition, because adhesion between the cured film and the substrate is improved.

1-7-3. 산화방지제 1-7-3. Antioxidant

본 발명의 감광성 조성물은, 투명성의 향상, 경화막이 고온에 노출된 경우의 황변을 방지하는 관점에서, 산화방지제를 추가로 함유해도 된다.The photosensitive composition of the present invention may further contain an antioxidant in order to improve transparency and prevent yellowing when the cured film is exposed to high temperatures.

본 발명의 감광성 조성물에는, 힌더드페놀계, 힌더드아민계, 인계, 유황계 화합물 등의 산화방지제를 첨가해도 된다. 이 중에서도 힌더드페놀계가 내후성의 관점에서 바람직하다. 구체예로는, Irganox 1010, Irganox 1010FF, Irganox 1035, Irganox 1035FF, Irganox 1076, Irganox 1076FD, Irganox 1098, Irganox 1135, Irganox 1330, Irganox 1726, Irganox 1425WL, Irganox 1520L, Irganox 245, Irganox 245FF, Irganox 259, Irganox 3114, Irganox 565(모두 상품명; BASF 재팬 주식회사), ADK STAB AO-20, ADK STAB AO-30, ADK STAB AO-50, ADK STAB AO-60, ADK STAB AO-80(모두 상품명; 주식회사 ADEKA)를 들 수 있다. 이 중에서도, Irganox 1010, ADK STAB AO-60이 보다 바람직하다.To the photosensitive composition of the present invention, an antioxidant such as a hindered phenol-based, hindered amine-based, phosphorus-based, or sulfur-based compound may be added. Among them, the hindered phenol system is preferable from the viewpoint of weather resistance. Specific examples include Irganox 1010, Irganox 1010FF, Irganox 1035, Irganox 1035FF, Irganox 1076, Irganox 1076FD, Irganox 1098, Irganox 1135, Irganox 1330, Irganox 1726, Irganox 1425WL, Irganox 1520L, Irganox 245, Irganox 245FF, Irganox 259, ADK STAB AO-30, ADK STAB AO-50, ADK STAB AO-60, ADK STAB AO-80 (all trade names, ADEKA Co., Ltd.), Irganox 3114, Irganox 565 (all trade names; BASF Japan Co., . Of these, Irganox 1010 and ADK STAB AO-60 are more preferable.

산화방지제는, 감광성 조성물 전체량에 대해, 0.1∼10중량부 첨가하여 사용된다.The antioxidant is used in an amount of 0.1 to 10 parts by weight based on the total amount of the photosensitive composition.

1-7-4. 분자량 조정제1-7-4. Molecular weight regulator

본 발명의 감광성 조성물은 중합에 의해 분자량이 높아지는 것을 억제하고, 우수한 해상성을 발현하기 위해, 분자량 조정제를 추가로 함유해도 된다. 분자량 조정제로는, 메르캅탄류, 크산토겐류, 퀴논류, 히드로퀴논류, 페놀류, 카테콜류, 크레졸류, 2,4-디페닐-4-메틸-1-펜텐, 페노티아진 등을 들 수 있다.The photosensitive composition of the present invention may further contain a molecular weight regulator in order to suppress the increase in molecular weight by polymerization and to exhibit excellent resolution. Examples of the molecular weight adjusting agent include mercaptans, xanthogens, quinones, hydroquinones, phenols, catechol, cresols, 2,4-diphenyl-4-methyl-1-pentene and phenothiazine .

분자량 조정제의 구체예로는, 1,4-나프토퀴논, 1,2-벤조퀴논, 1,4-벤조퀴논, 메틸-p-벤조퀴논, 안트라퀴논, 히드로퀴논, 메틸히드로퀴논, t-부틸히드로퀴논, 2,5-디-t-부틸히드로퀴논, 2,5-디-t-아밀히드로퀴논, 1,4-디히드록시나프탈렌, 3,6-디히드록시벤조노르보르난, 4-메톡시페놀, 2,2',6,6'-테트라-t-부틸-4,4'-디히드록시비페닐, 3-(3,5-디-t-부틸-4-히드록시페닐)프로피온산스테아릴, 2,2'-메틸렌비스(6-t-부틸-4-에틸페놀), 2,4,6-트리스(3',5'-디-t-부틸-4'-히드록시벤질)메시틸렌, 펜타에리스리톨테트라키스[3-(3,5-디-t-부틸-4-히드록시페닐)프로피오네이트], 4-t-부틸피로카테콜, n-헥실메르캅탄, n-옥틸메르캅탄, n-도데실메르캅탄, t-도데실메르캅탄, 티오글리콜산, 디메틸크산토겐술피드, 디이소프로필크산토겐디술피드, 2,6-디-t-부틸-p-크레졸, 4,4'-부틸리덴비스(6-t-부틸-m-크레졸), 4,4'-티오비스(6-t-부틸-m-크레졸), 2,4-디페닐-4-메틸-1-펜텐, 페노티아진, 2-히드록시-1,4-나프토퀴논 등을 들 수 있다.Specific examples of the molecular weight regulator include 1,4-naphthoquinone, 1,2-benzoquinone, 1,4-benzoquinone, methyl-p-benzoquinone, anthraquinone, hydroquinone, methylhydroquinone, Di-t-butylhydroquinone, 2,5-di-t-amylhydroquinone, 1,4-dihydroxynaphthalene, 3,6-dihydroxybenzonorboranes, 4-methoxyphenol, 2 , 2 ', 6,6'-tetra-t-butyl-4,4'-dihydroxybiphenyl, stearyl 3- (3,5-di-t- butyl-4-hydroxyphenyl) , 2'-methylenebis (6-t-butyl-4-ethylphenol), 2,4,6-tris (3 ', 5'-di- 4-hydroxyphenyl) propionate], 4-t-butyl pyrocatechol, n-hexyl mercaptan, n-octyl mercaptan, n Dodecyl mercaptan, t-dodecyl mercaptan, thioglycolic acid, dimethyl xanthogen sulfide, diisopropyl xanthogen disulfide, 2,6-di-t-butyl- -Butylidenebis (6-t-butyl-m- Cresol), 2,4-diphenyl-4-methyl-1-pentene, phenothiazine, 2-hydroxy- Naphthoquinone, and the like.

1-7-5. 자외선 흡수제 1-7-5. Ultraviolet absorber

본 발명의 감광성 조성물은 형성된 패턴 형상 투명막의 열화 방지능을 더욱 향상시키는 관점에서, 자외선 흡수제를 포함해도 된다.The photosensitive composition of the present invention may contain an ultraviolet absorber from the viewpoint of further improving the deterioration preventing ability of the patterned transparent film formed.

자외선 흡수제의 구체예는, TINUVIN P, TINUVIN 120, TINUVIN 144, TINUVIN 213, TINUVIN 234, TINUVIN 326, TINUVIN 571, TINUVIN 765(모두 상품명; BASF 재팬 주식회사)이다.Specific examples of ultraviolet absorbers are TINUVIN P, TINUVIN 120, TINUVIN 144, TINUVIN 213, TINUVIN 234, TINUVIN 326, TINUVIN 571, TINUVIN 765 (both trade names; BASF Japan Co., Ltd.).

자외선 흡수제는 감광성 조성물 전체량에 대해, 0.01∼10중량부 첨가하여 사용된다.The ultraviolet absorber is used in an amount of 0.01 to 10 parts by weight based on the total amount of the photosensitive composition.

1-7-6. 응집 방지제 1-7-6. Anti-aggregation agent

본 발명의 감광성 조성물은 고형분을 용제와 혼합하여 응집을 방지시키는 관점에서, 응집 방지제를 포함해도 된다.The photosensitive composition of the present invention may contain an anti-aggregation agent from the viewpoint of mixing the solid content with a solvent to prevent agglomeration.

응집 방지제의 구체예는, 디스퍼빅(Disperbyk)-145, 디스퍼빅-161, 디스퍼빅-162, 디스퍼빅-163, 디스퍼빅-164, 디스퍼빅-182, 디스퍼빅-184, 디스퍼빅-185, 디스퍼빅-2163, 디스퍼빅-2164, BYK-220S, 디스퍼빅-191, 디스퍼빅-199, 디스퍼빅-2015(모두 상품명; 빅케미·재팬 주식회사), FTX-218, 푸타젠트 710FM, 푸타젠트 710FS(모두 상품명; 주식회사 네오스), 플로우렌 G-600, 플로우렌 G-700(모두 상품명; 교에이샤 화학 주식회사)이다.Specific examples of the coagulation inhibitor include Disperbyk-145, Disperby-161, Disperby-162, Disperby-163, Disperby-164, Disperby-182, Disperby-184, Disperby- Disperbyk-2163, Disperbyk-2164, BYK-220S, Disperbyk-191, Disperbyk-199, Disperbyk-2015 (all trade names; Big Chem Japan Co., Ltd.), FTX-218, (All trade names; Neos Co., Ltd.), FLOREN G-600 and FLOWREN G-700 (all trade names, manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.).

응집 방지제는 감광성 조성물 전체량에 대해, 0.01∼10중량부 첨가하여 사용된다.The coagulation inhibitor is added in an amount of 0.01 to 10 parts by weight based on the total amount of the photosensitive composition.

1-7-7. 열 가교제1-7-7. Thermal crosslinking agent

본 발명의 감광성 조성물은 내열성, 내약품성, 막면 내 균일성, 가요성, 유연성, 탄성을 더욱 향상시키는 관점에서, 열 가교제를 포함해도 된다.The photosensitive composition of the present invention may contain a heat crosslinking agent in view of further improving heat resistance, chemical resistance, uniformity in film plane, flexibility, flexibility and elasticity.

열 가교제의 구체예는, 니카락 MW-30HM, 니카락 MW-100LM, 니카락 MX-270, 니카락 MX-280, 니카락 MX-290, 니카락 MW-390, 니카락 MW-750LM(모두 상품명; 주식회사 산와 케미컬)이다.Specific examples of thermal crosslinking agents include NIKARAK MW-30HM, NIKARAK MW-100LM, NIKARAK MX-270, NIKARAK MX-280, NIKARAK MX-290, NIKARAK MW-390, Sanwa Chemical Co., Ltd.).

열 가교제는 감광성 조성물 전체량에 대해, 0.1∼10중량부 첨가하여 사용된다.The heat crosslinking agent is used in an amount of 0.1 to 10 parts by weight based on the total amount of the photosensitive composition.

1-7-8. 광산 발생제 1-7-8. Photoacid generator

본 발명의 감광성 조성물은 해상도를 향상시키는 관점에서, 광산 발생제를 포함해도 된다. 광산 발생제로는, 1,2-퀴논디아지드 화합물이 사용된다.The photosensitive composition of the present invention may contain a photoacid generator from the viewpoint of improving the resolution. As the photoacid generator, a 1,2-quinonediazide compound is used.

1,2-퀴논디아지드 화합물의 구체예는, 2,3,4-트리히드록시벤조페논-1,2-나프토퀴논디아지드-4-술폰산에스테르, 2,3,4-트리히드록시벤조페논-1,2-나프토퀴논디아지드-5-술폰산에스테르, 2,4,6-트리히드록시벤조페논-1,2-나프토퀴논디아지드-4-술폰산에스테르, 2,4,6-트리히드록시벤조페논-1,2-나프토퀴논디아지드-5-술폰산에스테르; Specific examples of the 1,2-quinonediazide compound include 2,3,4-trihydroxybenzophenone-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, 2,3,4-trihydroxybenzo 2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid ester, 2,4,6-trihydroxybenzophenone-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, 2,4,6- Trihydroxybenzophenone-1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid ester;

2,2',4,4'-테트라히드록시벤조페논-1,2-나프토퀴논디아지드-4-술폰산에스테르, 2,2',4,4'-테트라히드록시벤조페논-1,2-나프토퀴논디아지드-5-술폰산에스테르, 2,3,3',4-테트라히드록시벤조페논-1,2-나프토퀴논디아지드-4-술폰산에스테르, 2,3,3',4-테트라히드록시벤조페논-1,2-나프토퀴논디아지드-5-술폰산에스테르, 2,3,4,4'-테트라히드록시벤조페논-1,2-나프토퀴논디아지드-4-술폰산에스테르, 2,3,4,4'-테트라히드록시벤조페논-1,2-나프토퀴논디아지드-5-술폰산에스테르;2,2 ', 4,4'-tetrahydroxybenzophenone-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, 2,2', 4,4'-tetrahydroxybenzophenone-1,2 -Naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid ester, 2,3,3 ', 4-tetrahydroxybenzophenone-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, 2,3,3', 4 -Tetrahydroxybenzophenone-1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid ester, 2,3,4,4'-tetrahydroxybenzophenone-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid Ester, 2,3,4,4'-tetrahydroxybenzophenone-1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid ester;

비스(2,4-디히드록시페닐)메탄-1,2-나프토퀴논디아지드-4-술폰산에스테르, 비스(2,4-디히드록시페닐)메탄-1,2-나프토퀴논디아지드-5-술폰산에스테르;Bis (2,4-dihydroxyphenyl) methane-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, bis (2,4-dihydroxyphenyl) methane-1,2-naphthoquinonediazide -5-sulfonic acid ester;

비스(p-히드록시페닐)메탄-1,2-나프토퀴논디아지드-4-술폰산에스테르, 비스(p-히드록시페닐)메탄-1,2-나프토퀴논디아지드-5-술폰산에스테르;Bis (p-hydroxyphenyl) methane-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, bis (p-hydroxyphenyl) methane-1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid ester;

트리(p-히드록시페닐)메탄-1,2-나프토퀴논디아지드-4-술폰산에스테르, 트리(p-히드록시페닐)메탄-1,2-나프토퀴논디아지드-5-술폰산에스테르, 1,1,1-트리(p-히드록시페닐)에탄-1,2-나프토퀴논디아지드-4-술폰산에스테르, 1,1,1-트리(p-히드록시페닐)에탄-1,2-나프토퀴논디아지드-5-술폰산에스테르; Tri (p-hydroxyphenyl) methane-1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid ester, tri (p-hydroxyphenyl) methane- (P-hydroxyphenyl) ethane-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, 1,1,1-tri -Naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid ester;

비스(2,3,4-트리히드록시페닐)메탄-1,2-나프토퀴논디아지드-4-술폰산에스테르, 비스(2,3,4-트리히드록시페닐)메탄-1,2-나프토퀴논디아지드-5-술폰산에스테르, 2,2-비스(2,3,4-트리히드록시페닐)프로판-1,2-나프토퀴논디아지드-4-술폰산에스테르, 2,2-비스(2,3,4-트리히드록시페닐)프로판-1,2-나프토퀴논디아지드-5-술폰산에스테르; Bis (2,3,4-trihydroxyphenyl) methane-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, bis (2,3,4-trihydroxyphenyl) methane- (2,3,4-trihydroxyphenyl) propane-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, 2,2-bis 2,3,4-trihydroxyphenyl) propane-1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid ester;

1,1,3-트리스(2,5-디메틸-4-히드록시페닐)-3-페닐프로판-1,2-나프토퀴논디아지드-4-술폰산에스테르, 1,1,3-트리스(2,5-디메틸-4-히드록시페닐)-3-페닐프로판-1,2-나프토퀴논디아지드-5-술폰산에스테르; (2,5-dimethyl-4-hydroxyphenyl) -3-phenylpropane-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, 1,1,3-tris , 5-dimethyl-4-hydroxyphenyl) -3-phenylpropane-1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid ester;

4,4'-[1-[4-[1-[4-히드록시페닐]-1-메틸에틸]페닐]에틸리덴]비스페놀-1,2-나프토퀴논디아지드-4-술폰산에스테르, 4,4'-[1-[4-[1-[4-히드록시페닐]-1-메틸에틸]페닐]에틸리덴]비스페놀-1,2-나프토퀴논디아지드-5-술폰산에스테르; Methylphenyl] ethylidene] bisphenol-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, 4,4'- [1- [4- [1- [4- hydroxyphenyl] , 4 '- [1- [4- [1- [4-hydroxyphenyl] -1-methylethyl] phenyl] ethylidene] bisphenol-1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid ester;

비스(2,5-디메틸-4-히드록시페닐)-2-히드록시페닐메탄-1,2-나프토퀴논디아지드-4-술폰산에스테르, 비스(2,5-디메틸-4-히드록시페닐)-2-히드록시페닐메탄-1,2-나프토퀴논디아지드-5-술폰산에스테르; Bis (2,5-dimethyl-4-hydroxyphenyl) -2-hydroxyphenylmethane-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, bis (2,5- ) -2-hydroxyphenylmethane-1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid ester;

3,3,3',3'-테트라메틸-1,1'-스피로비인덴-5,6,7,5',6',7'-헥산올-1,2-나프토퀴논디아지드-4-술폰산에스테르, 3,3,3',3'-테트라메틸-1,1'-스피로비인덴-5,6,7,5',6',7'-헥산올-1,2-나프토퀴논디아지드-5-술폰산에스테르; 3,3,3 ', 3'-tetramethyl-1,1'-spirobindene-5,6,7,5', 6 ', 7'-hexanol-l, 2-naphthoquinonediazide- Sulfonic acid ester, 3,3,3 ', 3'-tetramethyl-1,1'-spirobindene-5,6,7,5', 6 ', 7'-hexanol- Toquinonediazide-5-sulfonic acid ester;

2,2,4-트리메틸-7,2',4'-트리히드록시플라반-1,2-나프토퀴논디아지드-4-술폰산에스테르, 및 2,2,4-트리메틸-7,2',4'-트리히드록시플라반-1,2-나프토퀴논디아지드-5-술폰산에스테르이다.2,2,4-trimethyl-7,2 ', 4'-trihydroxyflagane-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester and 2,2,4-trimethyl- , 4'-trihydroxyplazane-1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid ester.

광산 발생제는 감광성 조성물 전체량에 대해, 0.01∼10중량부 첨가하여 사용된다.The photoacid generator is added in an amount of 0.01 to 10 parts by weight based on the total amount of the photosensitive composition.

1-8. 용제 1-8. solvent

본 발명의 감광성 조성물에는 용제가 첨가되어도 된다. 본 발명의 감광성 조성물에 임의로 첨가되는 용제는 폴리에스테르아미드산(A), 중합성 이중 결합을 갖는 화합물(B), 광중합 개시제(C), 에폭시 화합물(D) 등을 용해할 수 있는 용제가 바람직하다. 당해 용제의 구체예는, 아세트산에틸, 아세트산부틸, 아세트산프로필, 프로피온산부틸, 락트산에틸, 메톡시아세트산메틸, 메톡시아세트산에틸, 메톡시아세트산부틸, 에톡시아세트산메틸, 에톡시아세트산에틸, 아세트산3-메톡시부틸, 3-옥시프로피온산메틸, 3-히드록시프로피온산에틸, 3-메톡시프로피온산메틸, 3-메톡시프로피온산에틸, 3-에톡시프로피온산메틸, 3-에톡시프로피온산에틸, 2-히드록시프로피온산메틸, 2-히드록시프로피온산프로필, 2-메톡시프로피온산메틸, 2-메톡시프로피온산에틸, 2-메톡시프로피온산프로필, 2-에톡시프로피온산메틸, 2-에톡시프로피온산에틸, 2-히드록시-2-메틸프로피온산메틸, 2-히드록시-2-메틸프로피온산에틸, 2-메톡시-2-메틸프로피온산메틸, 2-에톡시-2-메틸프로피온산에틸, 피루브산메틸, 피루브산에틸, 피루브산프로필, 아세토아세트산메틸, 아세토아세트산에틸, 2-옥소부탄산메틸, 2-옥소부탄산에틸, 4-히드록시-4-메틸-2-펜타논, 1,4-부탄디올, 프로필렌글리콜모노메틸에테르, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노프로필에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노부틸에테르아세테이트, 시클로헥사논, 시클로펜타논, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르, 디에틸렌글리콜모노부틸에테르, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜모노부틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜디메틸에테르, 디에틸렌글리콜디에틸에테르, 및 디에틸렌글리콜메틸에틸에테르이다. 용제는 이들 중 1종이어도 되고, 이들 중 2종 이상의 혼합물이어도 된다. A solvent may be added to the photosensitive composition of the present invention. The solvent optionally added to the photosensitive composition of the present invention is preferably a solvent capable of dissolving the polyester amide acid (A), the compound having a polymerizable double bond (B), the photopolymerization initiator (C), the epoxy compound (D) Do. Specific examples of the solvent include ethyl acetate, butyl acetate, propyl acetate, butyl propionate, ethyl lactate, methyl methoxyacetate, ethyl methoxyacetate, butyl methoxyacetate, ethoxyacetate, ethoxyacetate, Methoxypropionate, methyl 3-hydroxypropionate, methyl 3-oxypropionate, ethyl 3-hydroxypropionate, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, Methoxypropionate, methyl 2-hydroxypropionate, methyl 2-methoxypropionate, ethyl 2-methoxypropionate, propyl 2-methoxypropionate, methyl 2-ethoxypropionate, ethyl 2-ethoxypropionate, Methyl propionate, ethyl 2-hydroxy-2-methylpropionate, methyl 2-methoxy-2-methylpropionate, ethyl 2-ethoxy-2-methylpropionate, methyl pyruvate, ethyl pyruvate, Propyleneglycol monomethyl ether, propyleneglycol monomethylether, propyleneglycol monomethylether, propyleneglycol monomethylether, propyleneglycol monomethylether, propyleneglycol monomethylether, propyleneglycol monomethylether, propyleneglycol monomethylether, Propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monopropyl ether acetate, ethylene glycol monobutyl ether acetate, cyclohexanone, cyclopentanone, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, Diethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monobutyl ether acetate, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, and diethylene glycol methyl ethyl Ether. The solvent may be one of these, or a mixture of two or more of them.

2. 감광성 조성물의 보존2. Preservation of photosensitive compositions

본 발명의 감광성 조성물은 -30℃∼25℃의 범위에서 보존하면, 조성물의 경시 안정성이 양호해져 바람직하다. 보존 온도가 -20℃∼10℃이면, 석출물도 없어 한층 바람직하다. When the photosensitive composition of the present invention is stored at a temperature in the range of -30 占 폚 to 25 占 폚, stability with time of the composition becomes favorable. If the storage temperature is -20 占 폚 to 10 占 폚, no precipitates are more preferable.

3. 감광성 조성물로부터 얻어지는 경화막3. The cured film obtained from the photosensitive composition

본 발명의 감광성 조성물은 폴리에스테르아미드산(A), 중합성 이중 결합을 갖는 화합물(B), 광중합 개시제(C), 에폭시 화합물(D), 에폭시 경화제(E) 및 무기 미립자(F)를 혼합하고, 목적으로 하는 특성에 따라서는, 추가로, 용제, 커플링제, 계면활성제, 및 그 밖의 첨가제를 필요에 따라 선택하여 첨가하고, 그들을 균일하게 혼합 용해함으로써 얻을 수 있다.The photosensitive composition of the present invention comprises a mixture of a polyester amide acid (A), a compound having a polymerizable double bond (B), a photopolymerization initiator (C), an epoxy compound (D), an epoxy curing agent (E) And optionally adding and optionally adding a solvent, a coupling agent, a surfactant, and other additives according to the desired properties, and mixing and dissolving them uniformly.

상기와 같이 하여 조제된 감광성 조성물(용제가 없는 고형 상태의 경우에는 용제에 용해시킨 후)을 기체 표면에 도포하고, 예를 들면 가열 등에 의해 용제를 제거하면, 도막을 형성할 수 있다. 기체 표면에 대한 감광성 조성물의 도포는 스핀 코트법, 롤 코트법, 디핑법, 플렉소법, 스프레이법, 및 슬릿 코트법 등 종래로부터 공지의 방법을 사용할 수 있다. 이어서, 이 도막은 핫 플레이트 또는 오븐 등에서 가열(프리베이크)된다. 가열 조건은 각 성분의 종류 및 배합 비율에 따라 상이하지만, 통상 70∼150℃에서 오븐이면 5∼15분간, 핫 플레이트라면 1∼5분간이다.When the photosensitive composition prepared as described above (after dissolving in a solvent in a solid state without solvent) is applied to the base surface and the solvent is removed, for example, by heating, a coating film can be formed. The application of the photosensitive composition to the surface of the substrate can be carried out by a conventionally known method such as a spin coating method, a roll coating method, a dipping method, a flexo printing method, a spraying method, and a slit coating method. Subsequently, this coating film is heated (prebaked) on a hot plate, an oven or the like. The heating conditions differ depending on the kind of each component and the blending ratio, but it is usually from 70 to 150 DEG C for 5 to 15 minutes in an oven and from 1 to 5 minutes in a hot plate.

그 후, 도막에 소망하는 패턴 형상의 마스크를 개재하여 자외선을 조사한다. 자외선 조사량은 i선으로 5∼1000mJ/㎠가 적당하다. 자외선이 조사된 감광성 조성물은 중합성 이중 결합을 갖는 화합물(B)의 중합에 의해 3차원 가교체가 되고, 알칼리 현상액에 대해 불용화된다.Thereafter, the coating film is irradiated with ultraviolet rays through a mask of a desired pattern shape. The amount of ultraviolet radiation is suitably 5 to 1000 mJ / cm 2 by i-line. The photosensitive composition to which ultraviolet light is irradiated becomes a three-dimensional crosslinked product by polymerization of the compound (B) having a polymerizable double bond, and is insoluble in an alkali developing solution.

이어서, 샤워 현상, 스프레이 현상, 패들 현상, 딥 현상 등에 의해 도막을 알칼리 현상액에 침지하고, 불필요한 부분을 용해 제거한다. 알칼리 현상액의 구체예는, 탄산나트륨, 수산화나트륨, 수산화칼륨 등의 무기 알칼리류의 수용액, 및 테트라메틸암모늄히드록시드, 테트라에틸암모늄히드록시드 등의 유기 알칼리류의 수용액이다. 또한, 상기 알칼리 현상액에 메탄올, 에탄올, 및 계면활성제 등을 적당량 첨가하여 사용할 수도 있다.Subsequently, the coating film is immersed in an alkali developing solution by a shower phenomenon, a spray phenomenon, a puddle phenomenon, a dip phenomenon, or the like, and an unnecessary portion is dissolved and removed. Specific examples of the alkali developing solution include aqueous solutions of inorganic alkalis such as sodium carbonate, sodium hydroxide, and potassium hydroxide, and aqueous solutions of organic alkalis such as tetramethylammonium hydroxide and tetraethylammonium hydroxide. In addition, an appropriate amount of methanol, ethanol, and a surfactant may be added to the alkali developing solution.

마지막으로 도막을 완전히 경화시키기 위해 180∼250℃, 바람직하게는 200∼250℃에서 오븐이라면 30∼90분간, 핫 플레이트라면 5∼30분간 가열 처리함으로써 경화막을 얻을 수 있다.Finally, in order to completely cure the coated film, the cured film can be obtained by heating at 180 to 250 ° C, preferably 200 to 250 ° C for 30 to 90 minutes in an oven and for 5 to 30 minutes in a hot plate.

이와 같이 하여 얻어진 경화막은 가열 시에 있어서 추가로, 1) 폴리에스테르아미드산(A)의 폴리아미드산 부분이 탈수 고리화하여 이미드 결합을 형성하고, 2) 폴리에스테르아미드산(A)의 카르복실산이 에폭시기 함유 폴리머와 반응하여 고분자량화하고 있기 때문에, 매우 강인하고, 투명성, 내열성, 내약품성, 평탄성, 밀착성, 내광성, 및 내스퍼터성이 우수하다. 또한, 이 경화막은 현상 후에 양호한 잔막율을 갖는다. 따라서, 본 발명의 경화막은 컬러 필터용의 보호막으로서 사용하면 효과적이고, 이 컬러 필터를 사용하여 액정 표시 소자나 고체 촬상 소자를 제조할 수 있다. 또한, 본 발명의 경화막은 컬러 필터용의 보호막 이외에도, TFT와 투명 전극 사이에 형성되는 투명 절연막이나 투명 전극과 배향막 사이에 형성되는 투명 절연막, LED 발광체의 보호막으로서 사용하면 효과적이다. 또한, 본 발명의 경화막은 높은 굴절률을 갖고 있고, 유기 EL 소자용의 광도파로로서 사용해도 효과적이다.The cured film thus obtained is further subjected to a heat treatment at the time of heating in such a manner that 1) the polyamic acid portion of the polyester amide acid (A) is dehydrated and cyclized to form an imide bond, and 2) Since the carboxylic acid reacts with the epoxy group-containing polymer to have a high molecular weight, it is very strong and has excellent transparency, heat resistance, chemical resistance, flatness, adhesion, light resistance and sputter resistance. Further, this cured film has a good residual film ratio after development. Therefore, the cured film of the present invention is effective when used as a protective film for a color filter, and a liquid crystal display element or a solid-state image pickup element can be manufactured by using this color filter. In addition to the protective film for the color filter, the cured film of the present invention is also effective as a protective film for a transparent insulating film formed between the TFT and the transparent electrode, a transparent insulating film formed between the transparent electrode and the orientation film, and an LED luminous body. Further, the cured film of the present invention has a high refractive index and is also effective as an optical waveguide for an organic EL device.

본 발명의 전자 디바이스는 상술한 경화막 부착 기판을 갖는 전자 디바이스다. 본 발명의 경화막 부착 기판을 사용함으로써, 플렉시블한 전자 디바이스가 얻어진다.The electronic device of the present invention is an electronic device having the above-mentioned cured film-attached substrate. By using the substrate with a cured film of the present invention, a flexible electronic device can be obtained.

본 발명의 감광성 조성물로부터 얻어지는 경화물은 고굴절률이기 때문에, 광도파로에 바람직하게 사용된다. 광도파로는 전자 기기 등의 회로 기판 상에 형성되고, 기판 상에 실장된 IC 간의 광 신호를 전달하는 작용을 갖는다. 광도파로는 광 신호가 전파되는 코어부와, 코어부를 둘러싸는 코어부보다 굴절률이 낮은 클래딩부로 이루어진다. 광도파로에는, 선 형상의 코어부의 주위를 클래딩부가 둘러싸는 구조를 갖는 채널형 광도파로나, 층 형상의 코어부의 상하를 층 형상의 클래딩부가 덮는 구조를 갖는 슬라브형 광도파로 등이 있지만, 본 발명의 감광성 조성물로부터 얻어지는 경화물은 어느 것이든 사용할 수 있고, 또한 코어부와 클래딩부 양쪽 모두에 사용해도 되고, 어느 쪽이든 한쪽에만 사용해도 된다.Since the cured product obtained from the photosensitive composition of the present invention has a high refractive index, it is preferably used for an optical waveguide. The optical waveguide is formed on a circuit substrate such as an electronic apparatus and has an action of transmitting an optical signal between ICs mounted on the substrate. The optical waveguide is composed of a core portion in which an optical signal propagates and a cladding portion having a refractive index lower than that of the core portion surrounding the core portion. The optical waveguide includes a channel type optical waveguide having a structure in which a cladding portion surrounds a linear core portion and a slab type optical waveguide having a structure in which a cladding portion in a layer shape is covered above and below the core portion in a layer form. Can be used either in the core portion or in the cladding portion, or in either one of the core portion and the cladding portion.

광도파로의 클래딩부 및 코어부의 굴절률이나 두께는 설계하는 광도파로에 따라 임의로 선택할 수 있다. 멀티 모드 광도파로의 경우는, 코어부와 클래딩부의 굴절률차를 크게 하여, 코어부를 두껍게 하는 것이 적합하다. 싱글 모드 광도파로의 경우는, 코어부와 클래딩부의 굴절률 차이를 작게 하여, 코어부를 얇게 하고, 싱글 모드 전파가 실현되도록 한다.The refractive index and thickness of the cladding portion and the core portion of the optical waveguide can be arbitrarily selected depending on the optical waveguide to be designed. In the case of a multimode optical waveguide, it is preferable to increase the refractive index difference between the core portion and the cladding portion to thicken the core portion. In the case of the single mode optical waveguide, the refractive index difference between the core portion and the cladding portion is reduced, and the core portion is made thinner, so that the single mode propagation is realized.

실시예Example

다음으로, 본 발명을 합성예, 참고예, 실시예, 및 비교예에 의해 구체적으로 설명하지만, 본 발명은 이들 실시예에 의해 전혀 한정되는 것은 아니다.Next, the present invention will be described concretely with reference to Synthesis Examples, Reference Examples, Examples, and Comparative Examples, but the present invention is not limited at all by these Examples.

표 1∼2 중의 각 성분의 약칭에 대해,With respect to abbreviations of the components in Tables 1 and 2,

ODPA는 3,3',4,4'-디페닐에테르테트라카르복실산 이무수물,ODPA is a 3,3 ', 4,4'-diphenyl ether tetracarboxylic dianhydride,

BT-100은 1,2,3,4-부탄테트라카르복실산 이무수물,BT-100 is a 1,2,3,4-butanetetracarboxylic dianhydride,

SMA1000P는 스티렌-무수 말레산 공중합체(상품명; 카와하라 유화 주식회사), SMA1000P is a copolymer of styrene-maleic anhydride copolymer (trade name: Kawahara Yuka Co., Ltd.)

MEHQ는 4-메톡시페놀(히드로퀴논모노메틸에테르), MEHQ is 4-methoxyphenol (hydroquinone monomethyl ether),

에폭시에스테르 70PA는 프로필렌글리콜디글리시딜에테르의 아크릴산 변성물(상품명; 교에이샤 화학 주식회사),Epoxy ester 70PA is an acrylic acid-modified product of propylene glycol diglycidyl ether (trade name, manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.)

DDS는 3,3'-디아미노디페닐술폰, DDS is 3,3'-diaminodiphenyl sulfone,

M-520은 중합성 이중 결합을 갖는 화합물 아로닉스 M-520(상품명; 도아 합성 주식회사),M-520 is a compound having a polymerizable double bond Aronix M-520 (trade name: Doa Synthetic Co., Ltd.)

NCI-930은 광중합 개시제 아데카아클즈 NCI-930(상품명; 주식회사 ADEKA), NCI-930 is a photopolymerization initiator, Adekaques NCI-930 (trade name: ADEKA Co., Ltd.)

VG3101L는 에폭시 화합물 TECHMORE VG3101L(상품명; 주식회사 프린텍), VG3101L is an epoxy compound TECHMORE VG3101L (trade name: PRINTEC Co., Ltd.)

TMA는 에폭시 경화제 트리멜리트산 무수물, TMA is an epoxy curing agent, trimellitic anhydride,

ND-139는 무기 미립자(상품명; 테이카 주식회사), ND-139 is an inorganic fine particle (trade name: Teika Co., Ltd.)

S510은 커플링제 사이라에이스 S510(상품명; JNC 주식회사), S510 is a coupling agent, Ace S510 (trade name, JNC Co., Ltd.)

AO-60은 산화방지제 ADK STAB AO-60(상품명; 주식회사 ADEKA), AO-60 is an antioxidant ADK STAB AO-60 (trade name: ADEKA)

BYK-342는 계면활성제 BYK-342(상품명; 빅케미·재팬 주식회사), BYK-342 is a surfactant, BYK-342 (trade name; Big-Chem Japan Co., Ltd.)

PGMEA는 용제 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, PGMEA is a solvent comprising propylene glycol monomethyl ether acetate,

PGME는 용제 프로필렌글리콜모노메틸에테르, PGME is a solvent comprising propylene glycol monomethyl ether,

EDM는 용제 디에틸렌글리콜에틸메틸에테르이다.EDM is a solvent diethylene glycol ethyl methyl ether.

[합성예 1] 폴리에스테르아미드산(A1) 용액의 합성[Synthesis Example 1] Synthesis of polyester amide acid (A1) solution

교반기 부착 4구 플라스크에 탈수 정제한 PGMEA, BT-100, SMA1000P, 벤질알코올, 1,4-부탄디올의 순서로 하기의 중량으로 넣어, 건조 질소기류하 125℃에서 3시간 교반하였다.Into a four-necked flask equipped with a stirrer was added dehydrated and purified PGMEA, BT-100, SMA1000P, benzyl alcohol and 1,4-butanediol in the following proportions in that order, followed by stirring at 125 DEG C for 3 hours in a dry nitrogen stream.

PGMEA 42.81gPGMEA 42.81 g

BT-100 3.04gBT-100 3.04 g

SMA1000P 14.45gSMA1000P 14.45 g

벤질알코올 4.64gBenzyl alcohol 4.64 g

1,4-부탄디올 0.92g0.92 g of 1,4-butanediol

그 후, 반응액을 25℃까지 냉각하고, DDS, PGMEA를 하기의 중량으로 투입하여, 20∼30℃에서 2시간 교반한 후, 125℃에서 2시간 교반하였다.Thereafter, the reaction solution was cooled to 25 DEG C, DDS and PGMEA were added in the following weights, and the mixture was stirred at 20 to 30 DEG C for 2 hours and then at 125 DEG C for 2 hours.

DDS 0.95gDDS 0.95g

PGMEA 7.04gPGMEA 7.04 g

[Z/Y=2.7, (Y+Z)/X=0.9][Z / Y = 2.7, (Y + Z) /X=0.9]

그 후, 반응액을 25℃까지 냉각하고, 트리멜리트산 무수물(TMA), PGMEA를 하기의 중량으로 투입하여, 20∼30℃에서 2시간 교반하였다.Thereafter, the reaction solution was cooled to 25 deg. C, trimellitic anhydride (TMA) and PGMEA were added at the following weights, and the mixture was stirred at 20 to 30 DEG C for 2 hours.

TMA 0.24gTMA 0.24 g

PGMEA 6.15gPGMEA 6.15g

용액을 실온까지 냉각하고, 담황색 투명폴리에스테르아미드산(A1)의 30중량% 용액을 얻었다. 용액의 일부를 샘플링하여, GPC 분석(폴리스티렌 표준)에 의해 중량 평균 분자량을 측정하였다. 얻어진 폴리에스테르아미드산(A1)의 중량 평균 분자량은 15,000이었다.The solution was cooled to room temperature to obtain a 30 wt% solution of light yellow transparent polyester amide acid (A1). A part of the solution was sampled and the weight average molecular weight was measured by GPC analysis (polystyrene standard). The polyester amide acid (A1) thus obtained had a weight average molecular weight of 15,000.

[합성예 2∼4] 폴리에스테르아미드산(A2∼A4) 용액의 합성[Synthesis Examples 2 to 4] Synthesis of polyester amide acid (A2 to A4) solutions

합성예 1의 방법에 준하여, 표 1에 기재된 온도, 시간 및 비율(단위: g)로 각 성분을 반응시켜, 폴리에스테르아미드산 용액을 얻었다.Each component was reacted at the temperature, time and ratio (unit: g) shown in Table 1 in accordance with the method of Synthesis Example 1 to obtain a polyester amide acid solution.

Figure pat00003
Figure pat00003

[실시예 1][Example 1]

합성예 1에서 얻어진 폴리에스테르아미드산(A1)의 30중량% 용액, M-520, NCI-930, VG3101L, TMA, ND-139, 2-히드록시-1,4-나프토퀴논, S510, AO-60, BYK-342, PGMEA, PGME, EDM을 표 2에 기재된 비율(단위: g)로 혼합 용해하고, 멤브레인 필터(0.2㎛)로 여과하여 감광성 조성물을 얻었다.A 30 wt% solution of the polyester amide acid (A1) obtained in Synthesis Example 1, M-520, NCI-930, VG3101L, TMA, ND-139, 2-hydroxy-1,4-naphthoquinone, S510, AO -60, BYK-342, PGMEA, PGME and EDM were mixed and dissolved in the ratio (unit: g) shown in Table 2 and filtered through a membrane filter (0.2 탆) to obtain a photosensitive composition.

[실시예 2∼8 및 비교예 1∼2][Examples 2 to 8 and Comparative Examples 1 to 2]

실시예 1의 방법에 준하여, 표 2에 기재된 비율(단위: g)로 각 성분을 혼합 용해하고, 감광성 조성물을 얻었다.Each component was mixed and dissolved in the ratio shown in Table 2 (unit: g) in accordance with the method of Example 1 to obtain a photosensitive composition.

Figure pat00004
Figure pat00004

[평가용 성막 방법][Film forming method for evaluation]

감광성 조성물을 유리 기판 상에 400rpm으로 10초간 스핀 코트하고, 100℃의 핫 플레이트 상에서 120초간 프리베이크하였다. 그리고, 공기 중에서 50㎛ 폭의 홀 및 라인 패턴을 갖는 마스크를 개재하여, 프록시미티 노광기 TME-150 PRC를 사용하고, 노광 갭 100㎛로 노광하였다. 노광량은 적산 광량계 UIT-102, 수광기 UVD-365 PD로 측정하여 30mJ/㎠로 했다. 노광 후의 도막을 탄산나트륨·탄산수소나트륨의 완충액을 사용하여 27℃에서 60초간 패들 현상한 후, 미노광부를 제거하였다. 현상 후의 도막을 순수로 20초간 세정한 후 100℃의 핫 플레이트로 2분간 건조하였다. 추가로, 오븐 중 230℃에서 30분간 포스트베이크하여, 막 두께 1.5㎛의 패턴 형상 경화막 부착 유리 기판을 얻었다.The photosensitive composition was spin-coated on a glass substrate at 400 rpm for 10 seconds and prebaked on a hot plate at 100 캜 for 120 seconds. Then, using a proximity exposure apparatus TME-150 PRC, exposure was carried out with an exposure gap of 100 mu m through a mask having holes and line patterns of 50 mu m in width in the air. The amount of exposure was measured to 30 mJ / cm 2 by measuring with a cumulative photometer UIT-102 and a UV detector UVD-365 PD. After the exposure, the coated film was subjected to paddle development at 27 DEG C for 60 seconds using a buffer solution of sodium carbonate / sodium hydrogencarbonate, and then the unexposed portion was removed. The developed coating film was washed with pure water for 20 seconds and then dried with a hot plate at 100 DEG C for 2 minutes. Further, post-baking was performed in an oven at 230 캜 for 30 minutes to obtain a glass substrate with a patterned cured film having a thickness of 1.5 탆.

이와 같이 하여 얻어진 경화막에 대해, 잔막율, 해상성, 굴절률, 투명성, 평탄성에 대해 특성을 평가하였다.The properties of the cured film thus obtained were evaluated for the residual film ratio, resolution, refractive index, transparency and flatness.

[잔막율의 평가 방법][Evaluation method of residual film ratio]

단차·표면 조도·미세 형상 측정 장치(상품명; P-17, KLA TENCOR 주식회사)를 이용하여, 현상 전 막 두께 및 현상 후 막 두께를 측정하고, 잔막율(현상 후의 막 두께×100/현상 전의 막 두께)을 산출했다. 잔막율이 80% 이상인 경우를 ○, 현상 후의 잔막율이 80% 미만인 경우를 ×로 했다.The film thickness before development and the film thickness after development were measured using a step, surface roughness and fine shape measuring device (trade name: P-17, KLA TENCOR Co., Ltd.), and the residual film ratio (film thickness after development x 100 / Thickness) was calculated. The case where the residual film ratio was 80% or more was evaluated as & cir &, and the case where the residual film ratio after development was less than 80% was evaluated as & cir &

[해상성의 평가 방법][Evaluation method of resolution]

얻어진 패턴 형상 경화막 부착 유리 기판을 50배의 광학 현미경으로 관찰하고, 마스크 사이즈 50㎛ 폭에 대응한 홀 및 라인 패턴의 해상성을 평가하였다. 홀 및 라인 패턴이 해상된 경우를 「○」, 해상되지 않은 경우를 「×」로 했다.The resulting glass substrate with a patterned cured film was observed with a 50x optical microscope to evaluate the resolution of holes and line patterns corresponding to a mask size of 50 占 퐉 width. The case where the hole and line pattern were resolved was evaluated as " ", and the case where the resolution was not evaluated was evaluated as " x ".

[굴절률의 평가 방법][Evaluation method of refractive index]

반사 분광 막후계 FE-3000(오오츠카 전자(주) 제조)을 이용하여, 상기 경화막의 굴절률을 측정하였다. 굴절률이 1.60 이상인 경우를 ○, 1.60 미만인 경우를 ×로 했다.The refractive index of the cured film was measured using a reflective spectroscopic film sublayer FE-3000 (manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd.). The case where the refractive index was 1.60 or more was evaluated as & cir &

[투명성의 평가 방법][Evaluation method of transparency]

헤이즈 미터 HAZE-GARD PLUS(BYK(주) 제조)를 이용하여, 상기 경화막의 전광선 투과율 및 헤이즈를 측정하였다. 투과율이 90% 이상인 경우를 ○, 90% 미만인 경우를 ×로 했다. 헤이즈가 1% 이하인 경우를 ○, 1% 초과인 경우를 ×로 했다.The total light transmittance and haze of the cured film were measured using a haze meter HAZE-GARD PLUS (manufactured by BYK Corporation). A case where the transmittance was 90% or more was evaluated as & cir & and a case where the transmittance was less than 90% was evaluated as & A case where the haze was 1% or less was evaluated as & cir & and a case where the haze was more than 1% was evaluated as x.

[평탄성의 평가 방법][Evaluation method of flatness]

R, G, B를 포함하는 화소를 갖는 무경화막 컬러 필터 기판 상에 감광성 조성물을 400rpm으로 10초간 스핀 코트하고, 100℃의 핫 플레이트 상에서 120초간 프리베이크하였다. 이어서, 오븐 중 230℃에서 30분간 포스트베이크하여, 보호막의 평균 막 두께 1.5㎛인 경화막 부착 컬러 필터 기판을 얻었다. 그 후, 얻어진 경화막 부착 컬러 필터 기판에 대해, 단차·표면 조도·미세 형상 측정 장치를 이용하여 표면 단차를 측정하고, 결과를 표 3에 나타내었다. 최대 단차가 0.25㎛ 이하인 경우를 평탄성 ○, 0.26㎛ 이상인 경우를 평탄성 ×라고 평가하였다. 또한, 무경화막 컬러 필터 기판은 최대 단차가 1㎛인 것을 사용하였다.The photosensitive composition was spin-coated at 400 rpm for 10 seconds on the uncured film color filter substrate having pixels including R, G, and B, and prebaked on a hot plate at 100 캜 for 120 seconds. Subsequently, post-baking was performed in an oven at 230 캜 for 30 minutes to obtain a color filter substrate with a cured film having an average film thickness of 1.5 탆 as a protective film. Thereafter, the obtained surface roughness of the color filter substrate with a cured film was measured using a step, surface roughness and fine shape measuring device, and the results are shown in Table 3. When the maximum step difference was 0.25 占 퐉 or less, the flatness was evaluated as?, And when the step was 0.26 占 퐉 or more, the flatness was evaluated as 占. The uncured film color filter substrate used had a maximum step difference of 1 占 퐉.

이하, 실시예 1∼8 및 비교예 1∼2의 경화막의 평가 결과를 표 3에 나타내었다.The evaluation results of the cured films of Examples 1 to 8 and Comparative Examples 1 and 2 are shown in Table 3 below.

Figure pat00005
Figure pat00005

표 3에 나타낸 결과로부터 명백한 바와 같이, 실시예 1∼8의 경화막은 잔막율, 해상성, 굴절률, 투명성, 평탄성 모든 면에 있어서 균형이 잡혀 있는 것을 알 수 있었다. 한편, 비교예 1∼2의 경화막은 각 평가 항목 모두 「○」가 되는 것은 없다. 비교예 1의 경화막은 잔막율이 떨어지고, 비교예 2의 경화막은 현상 후에 막이 전부 용해되었다. 이상과 같이, 합성예에 기재된 폴리에스테르아미드산을 사용하여, 무기 미립자 첨가량의 비율이 본 발명의 범위 내인 경우, 모든 특성을 만족시킬 수 있었다.As is clear from the results shown in Table 3, it was found that the cured films of Examples 1 to 8 were balanced in all aspects of the film residual rate, resolution, refractive index, transparency and flatness. On the other hand, the cured films of Comparative Examples 1 and 2 do not become "? &Quot; The cured film of Comparative Example 1 had a low residual film ratio, and the cured film of Comparative Example 2 was completely dissolved after development. As described above, when the ratio of the amount of the inorganic fine particles added was within the range of the present invention, all the characteristics could be satisfied by using the polyester amide acid described in Synthesis Example.

본 발명의 감광성 조성물은 높은 내열성을 갖는 폴리에스테르아미드산을 주재로 하고 있고, 동 조성물에 의해 형성된 경화막은 내열성, 투명성, 평탄성이 우수하고, 해상성, 잔막율, 굴절률에 있어서 기존 막의 성능을 능가하고 있다. 본 발명의 경화막은 광학 재료로서의 특성이 우수하며, 컬러 필터, LED 발광 소자 및 수광 소자 등의 각종 광학 재료 등의 보호막, 및 TFT와 투명 전극 사이 및 투명 전극과 배향막 사이에 형성되는 투명 절연막으로서 이용할 수 있다.The photosensitive composition of the present invention is based on a polyester amide acid having a high heat resistance. The cured film formed from the composition has excellent heat resistance, transparency and flatness, and is superior in the resolution, residual film ratio and refractive index . The cured film of the present invention has excellent properties as an optical material and is used as a protective film for various optical materials such as a color filter, an LED light emitting element and a light receiving element, and as a transparent insulating film formed between the TFT and the transparent electrode and between the transparent electrode and the orientation film .

Claims (13)

폴리에스테르아미드산(A), 중합성 이중 결합을 갖는 화합물(B), 광중합 개시제(C), 에폭시 화합물(D), 에폭시 경화제(E), 및 무기 미립자(F)를 포함하는 감광성 조성물로서;
상기 폴리에스테르아미드산(A)는 X몰의 테트라카르복실산 이무수물, Y몰의 디아민 및 Z몰의 다가히드록시 화합물을 하기 식 (1) 및 식 (2)의 관계가 성립되는 비율로 반응시킴으로써 얻어지고, 하기 식 (3)으로 나타내는 구성 단위 및 하기 식 (4)로 나타내는 구성 단위를 포함하고;
상기 중합성 이중 결합을 갖는 화합물(B)는 중합성 이중 결합을 1분자당 2개 이상 포함하고;
상기 에폭시 화합물(D)는 에폭시기를 1분자당 2∼10개 포함하고;
상기 폴리에스테르아미드산(A) 100중량부에 대해, 상기 중합성 이중 결합을 갖는 화합물(B)의 총량은 20∼300중량부이며, 상기 에폭시 화합물(D)의 총량은 20∼200중량부인 감광성 조성물:
0.2≤Z/Y≤8.0·······(1)
0.2≤(Y+Z)/X≤5.0 ···(2)
Figure pat00006

식 (3) 및 식 (4)에 있어서, R1은 테트라카르복실산 이무수물로부터 2개의 -CO-O-CO-를 제외한 잔기이며, R2는 디아민으로부터 2개의 -NH2를 제외한 잔기이며, R3은 다가히드록시 화합물로부터 2개의 -OH를 제외한 잔기이다.
1. A photosensitive composition comprising a polyester amide acid (A), a compound (B) having a polymerizable double bond, a photopolymerization initiator (C), an epoxy compound (D), an epoxy curing agent (E), and an inorganic fine particle (F);
The polyester amide acid (A) is obtained by reacting X mole of tetracarboxylic dianhydride, Y mole of diamine and Z mole of polyhydric hydroxy compound at a ratio satisfying the relations of the following formulas (1) and (2) And includes a constituent unit represented by the following formula (3) and a constituent unit represented by the following formula (4);
The compound (B) having a polymerizable double bond has two or more polymerizable double bonds per molecule;
The epoxy compound (D) contains 2 to 10 epoxy groups per molecule;
The total amount of the polymerizable double bond-containing compound (B) is 20 to 300 parts by weight based on 100 parts by weight of the polyester amide acid (A), the total amount of the epoxy compound (D) is 20 to 200 parts by weight, Composition:
0.2? Z / Y? 8.0 (1)
0.2? (Y + Z) /X? 5.0 (2)
Figure pat00006

In the formulas (3) and (4), R 1 is a residue excluding two -CO-O-CO- from a tetracarboxylic acid dianhydride, R 2 is a residue excluding two -NH 2 from a diamine, , And R < 3 > is a residue excluding two -OH from the polyhydric hydroxy compound.
제 1 항에 있어서,
상기 폴리에스테르아미드산(A)의 원료 성분이 추가로 모노히드록시 화합물을 포함하는 감광성 조성물.
The method according to claim 1,
Wherein the raw material component of the polyester amide acid (A) further comprises a monohydroxy compound.
제 2 항에 있어서,
상기 모노히드록시 화합물이 이소프로필알코올, 알릴알코올, 벤질알코올, 히드록시에틸메타크릴레이트, 프로필렌글리콜모노에틸에테르, 3-에틸-3-히드록시메틸옥세탄, 및 4-메톡시페놀로부터 선택되는 적어도 하나인 감광성 조성물.
3. The method of claim 2,
Wherein the monohydroxy compound is selected from isopropyl alcohol, allyl alcohol, benzyl alcohol, hydroxyethyl methacrylate, propylene glycol monoethyl ether, 3-ethyl-3-hydroxymethyloxetane, and 4-methoxyphenol Lt; / RTI >
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 폴리에스테르아미드산(A)의 중량 평균 분자량이 1,000∼200,000이며;
상기 테트라카르복실산 이무수물이 3,3',4,4'-디페닐술폰테트라카르복실산 이무수물, 3,3',4,4'-디페닐에테르테트라카르복실산 이무수물, 2,2-[비스(3,4-디카르복시페닐)]헥사플루오로프로판 이무수물, 1,2,3,4-부탄테트라카르복실산 이무수물, 및 에틸렌글리콜비스(안히드로트리멜리테이트)로부터 선택되는 적어도 하나이며;
상기 디아민이 3,3'-디아미노디페닐술폰 및 비스[4-(3-아미노페녹시)페닐]술폰으로부터 선택되는 적어도 하나이며;
상기 다가히드록시 화합물이 에틸렌글리콜, 프로필렌글리콜, 1,4-부탄디올, 1,5-펜탄디올, 1,6-헥산디올, 1,7-헵탄디올, 1,8-옥탄디올, 2,2-비스(4-히드록시시클로헥실)프로판, 4,4'-디히드록시디시클로헥실 및 이소시아눌산 트리스(2-히드록시에틸)로부터 선택되는 적어도 하나이며;
상기 중합성 이중 결합을 갖는 화합물(B)가 디펜타에리스리톨펜타아크릴레이트, 디펜타에리스리톨헥사아크릴레이트, 펜타에리스리톨테트라아크릴레이트, 펜타에리스리톨트리아크릴레이트, 및 이소시아눌산에틸렌옥시드 변성 트리아크릴레이트로부터 선택되는 적어도 하나를, 상기 중합성 이중 결합을 갖는 화합물의 총 중량에 대해 50중량% 이상 함유하고;
상기 에폭시 화합물(D)가 3',4'-에폭시시클로헥실메틸-3,4-에폭시시클로헥산카르복실레이트, 1-메틸-4-(2-메틸옥시라닐)-7-옥사비시클로[4.1.0]헵탄, 2-[4-(2,3-에폭시프로폭시)페닐]-2-[4-[1,1-비스[4-(2,3-에폭시프로폭시)페닐]에틸]페닐]프로판과, 1,3-비스[4-[1-[4-(2,3-에폭시프로폭시)페닐]-1-[4-[1-[4-(2,3-에폭시프로폭시)페닐]-1-메틸에틸]페닐]에틸]페녹시]-2-프로판올과의 혼합물, 2-[4-(2,3-에폭시프로폭시)페닐]-2-[4-[1,1-비스[4-(2,3-에폭시프로폭시)페닐]에틸]페닐]프로판, 1,1,1-트리스(4-히드록시페닐)에탄트리글리시딜에테르, 1,3-비스(옥시라닐메틸)-5-(2-프로페닐)-1,3,5-트리아진-2,4,6(1H,3H,5H)-트리온, 및 2,2-비스(히드록시메틸)-1-부탄올의 1,2-에폭시-4-(2-옥시라닐)시클로헥산 부가물로부터 선택되는 적어도 하나인 감광성 조성물.
4. The method according to any one of claims 1 to 3,
The weight average molecular weight of the polyester amide acid (A) is 1,000 to 200,000;
Wherein the tetracarboxylic acid dianhydride is selected from the group consisting of 3,3 ', 4,4'-diphenylsulfone tetracarboxylic dianhydride, 3,3', 4,4'-diphenyl ether tetracarboxylic dianhydride, (Dihydrocarbodiimide) is selected from 2- [bis (3,4-dicarboxyphenyl)] hexafluoropropane dianhydride, 1,2,3,4-butanetetracarboxylic acid dianhydride, and ethylene glycol bis Is at least one;
The diamine is at least one selected from 3,3'-diaminodiphenylsulfone and bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfone;
Wherein the polyhydric hydroxy compound is selected from the group consisting of ethylene glycol, propylene glycol, 1,4-butanediol, 1,5-pentanediol, 1,6-hexanediol, 1,7- Bis (4-hydroxycyclohexyl) propane, 4,4'-dihydroxydicyclohexyl, and isocyanuric acid tris (2-hydroxyethyl);
Wherein the polymerizable double bond-containing compound (B) is at least one compound selected from the group consisting of dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, pentaerythritol triacrylate, and isocyanuric acid ethyleneoxide- At least one selected is contained in an amount of 50% by weight or more based on the total weight of the compound having a polymerizable double bond;
Wherein the epoxy compound (D) is at least one selected from the group consisting of 3 ', 4'-epoxycyclohexylmethyl-3,4-epoxycyclohexanecarboxylate, 1-methyl- Ethyl] phenyl] phenyl] -2- [4- [1,1-bis [4- (2,3-epoxypropoxy) ] Propane and 1,3-bis [4- [1- [4- (2,3-epoxypropoxy) phenyl] -1- [4- [1- [4- Phenoxy] phenyl] ethyl] phenoxy] -2-propanol, 2- [4- (2,3- Tris (4-hydroxyphenyl) ethane triglycidyl ether, 1,3-bis (oxiranylmethyl) propane, (1H, 3H, 5H) -triene, and 2,2-bis (hydroxymethyl) -1- (2-oxiranyl) cyclohexane adduct of 1,3-butanediol and 1,2-epoxy-4- (2-oxiranyl) cyclohexane adduct of butanol.
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 광중합 개시제(C)가 α-아미노알킬페논계 광중합 개시제, 아실포스핀옥사이드계 광중합 개시제 및 옥심에스테르계 광중합 개시제로부터 선택되는 적어도 하나인 감광성 조성물.
5. The method according to any one of claims 1 to 4,
Wherein the photopolymerization initiator (C) is at least one selected from an? -Aminoalkylphenone-based photopolymerization initiator, an acylphosphine oxide-based photopolymerization initiator, and an oxime ester-based photopolymerization initiator.
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 에폭시 경화제(E)가 트리멜리트산 무수물, 헥사히드로트리멜리트산 무수물 및 2-운데실이미다졸로부터 선택되는 적어도 하나인 감광성 조성물.
6. The method according to any one of claims 1 to 5,
Wherein the epoxy curing agent (E) is at least one selected from trimellitic anhydride, hexahydrotrimellitic anhydride and 2-undecylimidazole.
제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 테트라카르복실산 이무수물이 3,3',4,4'-디페닐에테르테트라카르복실산 이무수물 및 1,2,3,4-부탄테트라카르복실산 이무수물로부터 선택되는 적어도 하나이며;
상기 디아민이 3,3'-디아미노디페닐술폰이며;
상기 다가히드록시 화합물이 1,4-부탄디올이며;
상기 중합성 이중 결합을 갖는 화합물(B)가 디펜타에리스리톨펜타아크릴레이트 및 디펜타에리스리톨헥사아크릴레이트로부터 선택되는 적어도 하나이며;
상기 광중합 개시제(C)가 하기 식 (5)로 나타내는 화합물을 광중합 개시제의 전체 중량에 대해 50중량% 이상 함유하고;
상기 에폭시 화합물(D)가 2-[4-(2,3-에폭시프로폭시)페닐]-2-[4-[1,1-비스[4-(2,3-에폭시프로폭시)페닐]에틸]페닐]프로판과, 1,3-비스[4-[1-[4-(2,3-에폭시프로폭시)페닐]-1-[4-[1-[4-(2,3-에폭시프로폭시)페닐]-1-메틸에틸]페닐]에틸]페녹시]-2-프로판올과의 혼합물 및 2-[4-(2,3-에폭시프로폭시)페닐]-2-[4-[1,1-비스[4-(2,3-에폭시프로폭시)페닐]에틸]페닐]프로판으로부터 선택되는 적어도 하나이며;
상기 에폭시 경화제(E)가 트리멜리트산 무수물 및 2-운데실이미다졸로부터 선택되는 적어도 하나를 포함하고;
추가로, 용제로서 3-메톡시프로피온산메틸 및 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종을 함유하는 감광성 조성물:
Figure pat00007

식 중, R4, R5, R7는 각각 독립적으로 탄소수 1∼5의 알킬기, 탄소수 2∼5의 알케닐기, 또는 탄소수 2∼5의 알키닐기이고, R6은 탄소수 1∼15의 알킬기, 탄소수 2∼15의 알케닐기, 또는 탄소수 2∼15의 알키닐기이고, n는 각각 독립적으로 0∼5의 정수이다.
7. The method according to any one of claims 1 to 6,
The tetracarboxylic acid dianhydride is at least one selected from 3,3 ', 4,4'-diphenyl ether tetracarboxylic dianhydride and 1,2,3,4-butanetetracarboxylic dianhydride;
The diamine is 3,3'-diaminodiphenylsulfone;
The polyhydric hydroxy compound is 1,4-butanediol;
The compound (B) having a polymerizable double bond is at least one selected from dipentaerythritol pentaacrylate and dipentaerythritol hexaacrylate;
The photopolymerization initiator (C) contains a compound represented by the following formula (5) in an amount of 50% by weight or more based on the total weight of the photopolymerization initiator;
Wherein the epoxy compound (D) is at least one selected from the group consisting of 2- [4- (2,3-epoxypropoxy) phenyl] -2- [4- [1,1- ] Phenyl] propane, and 1,3-bis [4- [1- [4- (2,3-epoxypropoxy) phenyl] -1- [4- [1- [4- Phenoxy] phenyl] -2- [4- [1, 2-dihydroxyphenyl] Bis [4- (2,3-epoxypropoxy) phenyl] ethyl] phenyl] propane;
Wherein the epoxy curing agent (E) comprises at least one selected from trimellitic anhydride and 2-undecylimidazole;
Further, a photosensitive composition containing at least one selected from the group consisting of methyl 3-methoxypropionate and propylene glycol monomethyl ether acetate as a solvent:
Figure pat00007

Wherein R 4 , R 5 and R 7 are each independently an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, an alkenyl group having 2 to 5 carbon atoms, or an alkynyl group having 2 to 5 carbon atoms, R 6 is an alkyl group having 1 to 15 carbon atoms, An alkenyl group having 2 to 15 carbon atoms or an alkynyl group having 2 to 15 carbon atoms, and each n is independently an integer of 0 to 5.
제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 폴리에스테르아미드산(A)의 원료가 스티렌-무수말레산 공중합체를 포함하는 감광성 조성물.
8. The method according to any one of claims 1 to 7,
Wherein the raw material of the polyester amide acid (A) comprises a styrene-maleic anhydride copolymer.
제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 무기 미립자(F)가 폴리에스테르아미드산(A) 100중량부에 대해 30∼300중량부 함유하는 감광성 조성물.
9. The method according to any one of claims 1 to 8,
Wherein the inorganic fine particles (F) contain 30 to 300 parts by weight per 100 parts by weight of the polyester amide acid (A).
제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 무기 미립자(F)는 1차 입자경이 1∼100㎚인 산화티탄 또는 산화지르코니아인 감광성 조성물.
10. The method according to any one of claims 1 to 9,
The inorganic fine particles (F) are titanium oxide or zirconia having a primary particle diameter of 1 to 100 nm.
제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항의 감광성 조성물로부터 얻어지는 경화막.A cured film obtained from the photosensitive composition according to any one of claims 1 to 10. 제 11 항의 경화막을 투명 보호막으로서 갖는 컬러 필터.A color filter having the cured film of claim 11 as a transparent protective film. 제 11 항의 경화막을 갖는 전자 디바이스.An electronic device having the cured film of claim 11.
KR1020180025208A 2017-03-24 2018-03-02 Photosensitive compositions KR20180108439A (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017058819 2017-03-24
JPJP-P-2017-058819 2017-03-24

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20180108439A true KR20180108439A (en) 2018-10-04

Family

ID=63706135

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020180025208A KR20180108439A (en) 2017-03-24 2018-03-02 Photosensitive compositions

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP2018163340A (en)
KR (1) KR20180108439A (en)
CN (1) CN108628094A (en)
TW (1) TW201835164A (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7315695B2 (en) * 2019-11-15 2023-07-26 三井化学株式会社 LAMINATED PRODUCT, METHOD FOR MANUFACTURING LAMINATED BODY, COMPOSITION FOR FORMING ANTI-FOGING FILM, ANTI-FOGING FILM AND COMPOSITION SET FOR FORMING ANTI-FOGING FILM
JP7335975B2 (en) * 2019-11-28 2023-08-30 東京応化工業株式会社 Photosensitive ink composition, cured product, display panel, and method for producing cured product

Also Published As

Publication number Publication date
CN108628094A (en) 2018-10-09
TW201835164A (en) 2018-10-01
JP2018163340A (en) 2018-10-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6668691B2 (en) Photosensitive composition
KR20170082461A (en) Photosensitive compositions
JP2017078856A (en) Photosensitive composition
TW201829552A (en) Polyester amide acids and photosensitive compositions containing the same
KR20180007299A (en) Photosensitive compositions
JP2017102432A (en) Photosensitive composition
KR20180108439A (en) Photosensitive compositions
KR20180107716A (en) Photosensitive compositions
JP7017126B2 (en) Curable composition
JP2019044160A (en) Thermosetting composition
TWI813756B (en) Thermosetting compositions, cured film, and color filter
KR20180101198A (en) Photosensitive compositions
JP6947102B2 (en) Thermosetting composition
KR20180005597A (en) Photosensitive compositions
KR20180110582A (en) Photosensitive compositions
JP7119677B2 (en) thermosetting composition
KR20180087105A (en) Photosensitive compositions
JP2021059713A (en) Thermosetting composition
TW202349036A (en) Photosensitive resin composition, cured film thereof, and display component and display device with that film
CN110857371A (en) Thermosetting composition, cured film and color filter