KR20180110582A - Photosensitive compositions - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a photosensitive composition which comprises: polyester amide acid (A), a compound (B) having a polymerizable double bond, a photopolymerization initiators (C), a polymer (D) having an epoxy group with weight average molecular weight of 3,000 to 50,000, an epoxy compound (E) containing 2-10 epoxy groups per molecule and having weight average molecular weight of less than 3,000, an epoxy curing agent (F), and a molecular weight modifier (G). The photosensitive composition of the present invention does not require an organic solvent having high polarity, and it is possible to form a cured film which is excellent in transparency, heat resistance, chemical resistance, flatness, resolution, and chemical resistance and is suitably used for electronic parts.

Description

감광성 조성물{PHOTOSENSITIVE COMPOSITIONS}[0001] PHOTOSENSITIVE COMPOSITIONS [0002]

본 발명은 전자 부품에 있어서의 절연 재료, 반도체 장치에 있어서의 패시베이션막, 버퍼 코트막, 층간 절연막, 또는 평탄화막, 또는 표시 소자에 있어서의 층간 절연막 또는 컬러 필터용 보호막 등의 형성에 사용되는 감광성 조성물에 관한 것이다. 나아가서는, 상기 감광성 조성물을 사용하여 형성되는 투명막, 및 그 막을 갖는 전자 부품에 관한 것이다.The present invention relates to a photosensitive material for use in the formation of an insulating material in an electronic part, a passivation film in a semiconductor device, a buffer coat film, an interlayer insulating film, a planarizing film, an interlayer insulating film in a display element, ≪ / RTI > Further, the present invention relates to a transparent film formed using the photosensitive composition, and an electronic component having the film.

플랫 패널 디스플레이로 대표되는 표시 소자 등의 소자의 제조 공정 중에는, 유기용제, 산, 알칼리 용액 등의 다양한 약품 처리가 이루어지거나, 스퍼터링에 의해 배선 전극을 성막할 때에, 표면이 국부적으로 고온으로 가열되거나 하는 경우가 있다. 이 때문에, 소자 표면의 열화, 손상, 변질을 방지하는 목적으로 표면 보호막이 형성되는 경우가 있다. 이들 보호막에는 상기와 같은 제조 공정 중의 각종 처리를 견딜 수 있는 제반 특성이 요구된다. 구체적으로는 투명성, 평탄성, 내광성, 내상성, 내수성, 유리 등의 하지 기판에 대한 밀착성, 나아가서는 상기 내열성, 내용제성·내산성·내알칼리성 등의 내약품성 등이 요구된다. In the manufacturing process of a device such as a display device typified by a flat panel display, various chemicals such as an organic solvent, an acid, and an alkali solution are processed, or when the wiring electrode is formed by sputtering, the surface is locally heated to a high temperature . Therefore, a surface protective film may be formed for the purpose of preventing deterioration, damage and alteration of the surface of the device. These protective films are required to have various properties capable of enduring various treatments in the above-described manufacturing process. Specifically, it is required to have transparency, flatness, light resistance, resistance to chemicals, water resistance, adhesiveness to a base substrate such as glass, and further, chemical resistance such as heat resistance, solvent resistance, acid resistance and alkali resistance.

또한, 근래 수요가 확대되고 있는 터치 패널에서는 박형화, 경량화가 진행되고, 그에 따라, 절연 재료에 종래 요구되고 있었던, 기판에 대한 밀착성, 투명성, 평탄성, 내열성 등의 제반 특성뿐만 아니라, 전극 간에 간극없이 정확하게 형성할 수 있다는 현상성이 요구된다. 또한, 절연막 상에 ITO를 증착하고, 부분적으로 에칭하여 전극을 형성하는 제조 공정을 1회 또는 복수회 경과하는 경우에는 ITO 에칭액에 대한 내성도 필요하다. In recent years, the demand for touch panels has been increasingly thinner and lighter. As a result, it has become possible to provide various characteristics such as adhesiveness to substrates, transparency, flatness, heat resistance, and the like, It is required to be developable that it can be accurately formed. Further, when the manufacturing process of depositing ITO on the insulating film and partially etching the electrode to form an electrode is performed once or several times, resistance to the ITO etchant is also required.

이들 보호막이나 절연막을 형성하기 위한 경화성 조성물의 종류로는, 감광성 조성물, 열경화성 조성물로 대별된다. 열경화성 조성물은 막 형성시에 고온 가열에 의해 완전히 경화시키기 때문에, 그 후의 공정에 있어서 고온으로 가열되는 경우가 있다고 해도 발생하는 휘발분이 적어, 내열성이 우수하다. 이 우수한 특성을 갖는 열경화성의 보호막 재료로는, 폴리에스테르아미드산 조성물(예를 들면, 특허문헌 1을 참조)이 있다. 그러나, 열경화성 조성물은 스크라이브 라인을 형성할 수 없고, 제조 패널 분할시에 보호막의 미세한 찌꺼기가 대량으로 발생하기 때문에, 그 후에 고도의 패널 세정 공정이 필요해진다. The types of the curable composition for forming these protective films and insulating films are roughly classified into photosensitive compositions and thermosetting compositions. Since the thermosetting composition is completely cured by high-temperature heating at the time of film formation, even if it is heated at a high temperature in subsequent steps, volatile matter generated is small, and heat resistance is excellent. As a thermosetting protective film material having such excellent properties, there is a polyester amide acid composition (for example, see Patent Document 1). However, the scribing line can not be formed in the thermosetting composition, and a large amount of fine residue of the protective film is generated at the time of dividing the production panel, so that a highly advanced panel cleaning process is required afterwards.

한편, 감광성 조성물은 광중합성기를 갖는 폴리머나 올리고머 혹은 모노머와 광중합 개시제로 이루어지고, 자외선을 비롯한 광의 에너지에 의해 화학 반응을 일으켜, 경화하는 것이다. 감광성 조성물은 예를 들면, 제조 패널 분할시에 사용하는 스크라이브 라인을 용이하게 형성할 수 있기 때문에, 보호막의 미세한 찌꺼기가 발생하지 않는다는 이점이 있는 반면, 통상의 감광성 조성물에 의해 형성된 보호막은 열경화성 조성물에 의해 형성된 보호막과 비교하여, 내열성이 불충분하다. On the other hand, the photosensitive composition is composed of a polymer, an oligomer or monomer having a photopolymerizable group and a photopolymerization initiator and causes a chemical reaction by the energy of light including ultraviolet rays to cure. Since the photosensitive composition can easily form a scribe line to be used at the time of dividing the production panel, for example, there is an advantage that no fine residue of the protective film is generated, whereas a protective film formed by a conventional photosensitive composition is a thermosetting composition The heat resistance is insufficient.

근래, 내열성, 내용제성, 내약품성을 필요로 하는 보호막의 요구가 증가하고, 또한, 미세 패턴 형상을 필요로 하는 보호막의 요구도 증가하고 있다. 이에 따라, 내열성, 내용제성, 내약품성이 우수한 보호막을 형성할 수 있고, 또한, 미세 패턴을 형성할 수 있는 감광성 조성물이 요구되고 있다. In recent years, a demand for a protective film that requires heat resistance, solvent resistance, and chemical resistance has increased, and a demand for a protective film requiring a fine pattern shape has also increased. Accordingly, a photosensitive composition capable of forming a protective film excellent in heat resistance, solvent resistance, and chemical resistance and capable of forming a fine pattern has been demanded.

매우 우수한 내열성을 갖는 보호막을 형성할 수 있는 감광성 조성물로는, 폴리이미드 전구체 조성물(예를 들면, 특허문헌 2를 참조), 가용성 폴리이미드 조성물(예를 들면, 특허문헌 3을 참조)이 있다. 그러나, 어느 감광성 조성물에 있어서도, 얻어지는 폴리이미드 전구체 조성물 또는 가용성 폴리이미드 조성물을 용해시키는 것이 가능한 유기용제는 한정되고, 매우 극성이 높은 유기용제가 필요해진다. As a photosensitive composition capable of forming a protective film having excellent heat resistance, there are a polyimide precursor composition (see, for example, Patent Document 2) and a soluble polyimide composition (see, for example, Patent Document 3). However, in any of the photosensitive compositions, the organic solvent capable of dissolving the polyimide precursor composition or the soluble polyimide composition to be obtained is limited, and an organic solvent having a very high polarity is required.

폴리이미드 전구체 조성물, 가용성 폴리이미드 조성물 등이 용해되는 극성이 높은 유기용제로는, 피롤리돈계, 술폭시드계, 포름아미드계, 아세트아미드계, 페놀계, 테트라히드로푸란, 디옥산,γ-부티로락톤 등을 들 수 있다. Examples of the highly polar organic solvent in which the polyimide precursor composition, soluble polyimide composition and the like are dissolved include pyrrolidone, sulfoxide, formamide, acetamide, phenol, tetrahydrofuran, dioxane, And lactones.

이들 감광성 조성물을 특히 컬러 필터 보호막으로서 사용하는 경우, 이들 극성이 높은 유기용제가 포함되어 있으면, 하지 컬러 필터층이 침지되어, 예를 들면 화소에 포함되는 안료 또는 염료 등의 착색 재료가 용출하기 때문에, 고품질의 표시 소자를 제조하는 것이 곤란해진다. When these photosensitive compositions are used particularly as a protective film for color filters, if the organic solvents having high polarity are contained, the base color filter layer is immersed and coloring materials such as pigments or dyes contained in the pixels are eluted, It becomes difficult to manufacture a high-quality display device.

감광성 조성물을 컬러 필터의 보호막으로 사용하고 있는 예로는 특허문헌 4 및 특허문헌 5가 있지만, 이들에 기재된 감광성 조성물을 사용하여, 본 발명자들이 보호막을 형성하려고 한 결과, 형성된 패턴은 충분히 만족시키는 것은 아니며, 더 한층의 개량이 요구되고 있다. Patent Documents 4 and 5 disclose that a photosensitive composition is used as a protective film for a color filter. However, as a result of the inventors attempting to form a protective film using the photosensitive composition described above, the pattern formed is not satisfactory enough , Further improvement is required.

감광성 조성물을 다층 배선 기판에 있어서 ITO 전극의 보호막으로 사용하는 경우, ITO 에칭액에 대한 내성이 필요하지만, 특허문헌 5에서는 ITO 에칭액에 대한 내성은 언급하고 있지 않다. When a photosensitive composition is used as a protective film for an ITO electrode in a multilayer wiring board, resistance to an ITO etching solution is required. However, Patent Document 5 does not mention resistance to an ITO etching solution.

또한, 감광성 조성물, 열경화성 조성물에 관계없이, 이들 경화성 조성물은 하지 기판에 대한 도포성이 우수하다는 것이 요구되고 있다. In addition, regardless of the photosensitive composition or the thermosetting composition, it is required that these curable compositions have excellent applicability to the base substrate.

일본 공개특허공보 2008-156546호Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2008-156546 일본 공개특허공보 소59-068332호Japanese Patent Application Laid-Open No. 59-068332 일본 공개특허공보 2002-003516호Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-003516 일본 공개특허공보 2011-090275호Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2011-090275 일본 공개특허공보 2016-103010호Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2016-103010

본 발명의 과제는 극성이 높은 유기용제를 필요로 하지 않으며, 투명성, 내열성, 평탄성, 해상성, 및 내약품성이 우수한 경화막을 부여하는 감광성 조성물을 제공하는 것이다. 또한, 상기 감광성 조성물에 의해 형성되는 경화막을 제공하는 것, 나아가서는, 상기 경화막을 갖는 전자 부품을 제공하는 것이다. The object of the present invention is to provide a photosensitive composition which does not require an organic solvent having a high polarity and which gives a cured film excellent in transparency, heat resistance, flatness, resolution and chemical resistance. It is another object of the present invention to provide a cured film formed by the photosensitive composition, and further to provide an electronic component having the cured film.

본 발명자들은 상기 과제를 해결하기 위해 예의 검토한 결과, 테트라카르복실산 이무수물, 디아민 및 다가히드록시 화합물을 포함하는 화합물의 반응으로부터 얻어지는 폴리에스테르아미드산, 중합성 이중 결합을 갖는 화합물, 광중합 개시제, 에폭시 화합물, 에폭시 경화제 및 분자량 조정제를 포함하는 조성물, 및 당해 조성물을 경화하여 얻어지는 경화막에 의해, 상기 목적을 달성할 수 있음을 알아내고, 본 발명을 완성하기에 이르렀다. As a result of intensive studies for solving the above problems, the present inventors have found that a polyester amide acid obtained from the reaction of a compound containing a tetracarboxylic acid dianhydride, a diamine and a polyhydric hydroxy compound, a compound having a polymerizable double bond, , A composition comprising an epoxy compound, an epoxy curing agent and a molecular weight modifier, and a cured film obtained by curing the composition, thereby accomplishing the present invention.

본 발명은 이하의 구성을 포함한다. The present invention includes the following configuration.

[1] 폴리에스테르아미드산(A), 중합성 이중 결합을 갖는 화합물(B), 광중합 개시제(C), 에폭시기를 갖는 중합체(D), 에폭시 화합물(E), 에폭시 경화제(F), 및 분자량 조정제(G)를 포함하는 감광성 조성물로서;(1) A photopolymerizable composition comprising a polyester amide acid (A), a compound having a polymerizable double bond (B), a photopolymerization initiator (C), a polymer (D) having an epoxy group, an epoxy compound (E), an epoxy curing agent As the photosensitive composition comprising the modifier (G);

상기 폴리에스테르아미드산(A)는, X몰의 테트라카르복실산 이무수물, Y몰의 디아민 및 Z몰의 다가히드록시 화합물을 하기 식 (1) 및 식 (2)의 관계가 성립되는 비율로 반응시킴으로써 얻어지고, 하기 식 (3)으로 나타내는 구성 단위 및 하기 식 (4)로 나타내는 구성 단위를 포함하고;The polyester amide acid (A) is obtained by reacting X mole of a tetracarboxylic dianhydride, Y mole of a diamine and Z mole of a polyhydric hydroxy compound at a ratio in which the relationship of the following formulas (1) and (2) (3) and a constituent unit represented by the following formula (4): " (1) "

상기 중합성 이중 결합을 갖는 화합물(B)는 중합성 이중 결합을 1분자당 2개 이상 포함하고;The compound (B) having a polymerizable double bond has two or more polymerizable double bonds per molecule;

상기 에폭시기를 갖는 중합체(D)는 중량 평균 분자량이 3,000∼50,000이며;The polymer (D) having an epoxy group has a weight average molecular weight of 3,000 to 50,000;

상기 에폭시 화합물(E)는 에폭시기를 1분자당 2∼10개 포함하고, 중량 평균 분자량이 3,000 미만이며;The epoxy compound (E) contains 2 to 10 epoxy groups per molecule and has a weight average molecular weight of less than 3,000;

상기 폴리에스테르아미드산(A) 100중량부에 대해, 상기 중합성 이중 결합을 갖는 화합물(B)의 총량은 20∼300중량부이며, 상기 에폭시기를 갖는 중합체(D) 및 상기 에폭시 화합물(E)의 총량은 20∼200중량부이며;The total amount of the polymerizable double bond-containing compound (B) is 20 to 300 parts by weight based on 100 parts by weight of the polyester amide acid (A). The polymer (D) having the epoxy group and the epoxy compound (E) Is 20 to 200 parts by weight;

상기 광중합 개시제(C)의 함유량이 상기 분자량 조정제(G)의 함유량의 5.0배보다 많으며, 30배 미만인 것을 특징으로 하는 감광성 조성물;Wherein the content of the photopolymerization initiator (C) is more than 5.0 times and less than 30 times the content of the molecular weight modifier (G).

0.2≤Z/Y≤8.0·······(1)0.2? Z / Y? 8.0 (1)

0.2≤(Y+Z)/X≤5.0 ···(2)0.2? (Y + Z) /X? 5.0 (2)

Figure pat00001
Figure pat00001

식 (3) 및 식 (4)에 있어서, R1은 테트라카르복실산 이무수물로부터 2개의 -CO-O-CO-를 제외한 잔기이며, R2는 디아민으로부터 2개의 -NH2를 제외한 잔기이며, R3은 다가히드록시 화합물로부터 2개의 -OH를 제외한 잔기이다. In the formulas (3) and (4), R 1 is a residue excluding two -CO-O-CO- from a tetracarboxylic acid dianhydride, R 2 is a residue excluding two -NH 2 from a diamine, , And R < 3 > is a residue excluding two -OH from the polyhydric hydroxy compound.

[2] 상기 폴리에스테르아미드산의 원료 성분이 추가로 모노히드록시 화합물을 포함하는 [1]에 기재된 감광성 조성물.[2] The photosensitive composition according to [1], wherein the raw material component of the polyester amide acid further comprises a monohydroxy compound.

[3] 상기 모노히드록시 화합물이 이소프로필알코올, 알릴알코올, 벤질알코올, 히드록시에틸메타크릴레이트, 프로필렌글리콜모노에틸에테르, 및 3-에틸-3-히드록시메틸옥세탄으로부터 선택되는 1종 이상인 [2]에 기재된 감광성 조성물.[3] The process according to [1], wherein the monohydroxy compound is at least one selected from the group consisting of isopropyl alcohol, allyl alcohol, benzyl alcohol, hydroxyethyl methacrylate, propylene glycol monoethyl ether and 3-ethyl- The photosensitive composition according to [2].

[4] 상기 폴리에스테르아미드산(A)의 중량 평균 분자량이 1,000∼200,000이며;[4] The polyester amide acid (A) has a weight average molecular weight of 1,000 to 200,000;

상기 테트라카르복실산 이무수물이 3,3',4,4'-디페닐술폰테트라카르복실산 이무수물, 3,3',4,4'-디페닐에테르테트라카르복실산 이무수물, 2,2-[비스(3,4-디카르복시페닐)]헥사플루오로프로판 이무수물, 1,2,3,4-부탄테트라카르복실산 이무수물, 및 에틸렌글리콜비스(안히드로트리멜리테이트)로부터 선택되는 1종 이상이며;Wherein the tetracarboxylic acid dianhydride is selected from the group consisting of 3,3 ', 4,4'-diphenylsulfone tetracarboxylic dianhydride, 3,3', 4,4'-diphenyl ether tetracarboxylic dianhydride, (Dihydrocarbodiimide) is selected from 2- [bis (3,4-dicarboxyphenyl)] hexafluoropropane dianhydride, 1,2,3,4-butanetetracarboxylic acid dianhydride, and ethylene glycol bis Or more;

상기 디아민이 3,3'-디아미노디페닐술폰 및 비스[4-(3-아미노페녹시)페닐]술폰으로부터 선택되는 1종 이상이며;The diamine is at least one selected from 3,3'-diaminodiphenylsulfone and bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfone;

상기 다가히드록시 화합물이 에틸렌글리콜, 프로필렌글리콜, 1,4-부탄디올, 1,5-펜탄디올, 1,6-헥산디올, 1,7-헵탄디올, 1,8-옥탄디올, 2,2-비스(4-히드록시시클로헥실)프로판, 4,4'-디히드록시디시클로헥실 및 이소시아눌산 트리스(2-히드록시에틸)로부터 선택되는 1종 이상이며;Wherein the polyhydric hydroxy compound is selected from the group consisting of ethylene glycol, propylene glycol, 1,4-butanediol, 1,5-pentanediol, 1,6-hexanediol, 1,7- Bis (4-hydroxycyclohexyl) propane, 4,4'-dihydroxydicyclohexyl, and isocyanuric acid tris (2-hydroxyethyl);

상기 중합성 이중 결합을 갖는 화합물(B)가 디펜타에리스리톨펜타아크릴레이트, 디펜타에리스리톨헥사아크릴레이트, 펜타에리스리톨테트라아크릴레이트, 펜타에리스리톨트리아크릴레이트, 이소시아눌산에틸렌옥시드 변성 트리아크릴레이트 및 다염기산 변성 (메타)아크릴 올리고머로부터 선택되는 1종 이상을 상기 중합성 이중 결합을 갖는 화합물의 총 중량에 대해 50중량% 이상 함유하고;Wherein the polymerizable double bond-containing compound (B) is at least one compound selected from the group consisting of dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, pentaerythritol triacrylate, isocyanuric acid ethyleneoxide- Modified (meth) acryl oligomer in an amount of 50% by weight or more based on the total weight of the compound having a polymerizable double bond;

상기 광중합 개시제(C)가 α-아미노알킬페논계, 아실포스핀옥사이드계, 옥심에스테르계 광중합 개시제로부터 선택되는 1종 이상이며;The photopolymerization initiator (C) is at least one selected from an? -Aminoalkylphenone-based, acylphosphine oxide-based, oximeester-based photopolymerization initiator;

상기 에폭시기를 갖는 중합체(D)가 에폭시기를 갖는 라디칼 중합성 모노머(d1)과 상기 (d1) 이외의 라디칼 중합성 모노머(d2)의 혼합물로부터의 반응 생성물인 에폭시기를 갖는 공중합체이며; 그리고,Wherein the polymer (D) having an epoxy group has an epoxy group which is a reaction product from a mixture of a radically polymerizable monomer (d1) having an epoxy group and a radically polymerizable monomer (d2) other than the above (d1); And,

상기 에폭시 경화제(F)가 트리멜리트산 무수물, 헥사히드로트리멜리트산 무수물 및 2-운데실이미다졸로부터 선택되는 1종 이상인 [1]∼[3] 중 어느 하나에 기재된 감광성 조성물.The photosensitive composition according to any one of [1] to [3], wherein the epoxy curing agent (F) is at least one selected from trimellitic anhydride, hexahydrotrimellitic anhydride and 2-undecylimidazole.

[5] 상기 에폭시기를 갖는 라디칼 중합성 모노머(d1)이 글리시딜(메타)아크릴레이트, 3,4-에폭시시클로헥실메틸(메타)아크릴레이트 및 4-히드록시부틸(메타)아크릴레이트 글리시딜에테르로부터 선택되는 1종 이상이며;[5] The method according to any one of [1] to [5], wherein the radically polymerizable monomer (d1) having an epoxy group is selected from the group consisting of glycidyl (meth) acrylate, 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate and 4-hydroxybutyl And at least one selected from diesters;

(d1) 이외의 라디칼 중합성 모노머(d2)가 2관능 (메타)아크릴레이트의 1종 이상을 포함하는 [4]에 기재된 감광성 조성물.The photosensitive composition according to [4], wherein the radically polymerizable monomer (d2) other than (d1) comprises at least one bifunctional (meth) acrylate.

[6] 상기 분자량 조정제(G)가 메르캅탄류, 크산토겐류, 퀴논류, 히드로퀴논 류, 2,4-디페닐-4-메틸-1-펜텐으로부터 선택되는 1종 이상인 [1]∼[5] 중 어느 하나에 기재된 감광성 조성물.[6] The composition according to any one of [1] to [5], wherein the molecular weight modifier (G) is at least one selected from mercaptans, xanthogens, quinones, hydroquinones, Wherein the photosensitive composition is a photosensitive composition.

[7] 상기 테트라카르복실산 이무수물이 3,3',4,4'-디페닐에테르테트라카르복실산 이무수물 및 1,2,3,4-부탄테트라카르복실산 이무수물로부터 선택되는 1종 이상이며;[7] The process according to [1], wherein the tetracarboxylic dianhydride is selected from 3,3 ', 4,4'-diphenyl ether tetracarboxylic acid dianhydride and 1,2,3,4-butanetetracarboxylic dianhydride More than species;

상기 디아민이 3,3'-디아미노디페닐술폰이며;The diamine is 3,3'-diaminodiphenylsulfone;

상기 다가히드록시 화합물이 1,4-부탄디올이며;The polyhydric hydroxy compound is 1,4-butanediol;

상기 모노히드록시 화합물이 벤질알코올이며;The monohydroxy compound is benzyl alcohol;

상기 중합성 이중 결합을 갖는 화합물(B)가 디펜타에리스리톨펜타아크릴레이트, 디펜타에리스리톨헥사아크릴레이트 및 다염기산 변성 (메타)아크릴 올리고머로부터 선택되는 1종 이상이며;The compound (B) having a polymerizable double bond is at least one selected from dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate and polybasic acid modified (meth) acrylic oligomer;

상기 2관능 (메타)아크릴레이트가 에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 디에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 1,4-부탄디올디(메타)아크릴레이트, 1,3-부탄디올디(메타)아크릴레이트, 네오펜틸글리콜디(메타)아크릴레이트, 트리시클로데칸디메탄올디(메타)아크릴레이트로부터 선택되는 1종 이상이며;Wherein the bifunctional (meth) acrylate is selected from the group consisting of ethylene glycol di (meth) acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate, 1,4-butanediol di (meth) (Meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, and tricyclodecane dimethanol di (meth) acrylate;

상기 광중합 개시제(C)가 1,2-옥탄디온,1-[4-(페닐티오)페닐]-,2-(O-벤조일옥심), 에타논,1-[9-에틸-6-(2-메틸벤조일)-9H-카르바졸-3-일]-,1-(O-아세틸옥심) 및 1,2-프로판디온,1-[4-[4-(2-히드록시에톡시)페닐티오]페닐]-2-(O-아세틸옥심)으로부터 선택되는 1종 이상을 광중합 개시제(C)의 전체 중량에 대해 50중량% 이상 함유하고;Wherein the photopolymerization initiator (C) is at least one selected from the group consisting of 1,2-octanedione, 1- [4- (phenylthio) phenyl] -, 2- (O-benzoyloxime), ethanone, 1- [ -Methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] -, 1- (O-acetyloxime), and 1,2-propanedione, 1- [4- [4- (2-hydroxyethoxy) ] Phenyl] -2- (O-acetyloxime) in an amount of 50% by weight or more based on the total weight of the photopolymerization initiator (C);

상기 에폭시 경화제(F)가 트리멜리트산 무수물 및 2-운데실이미다졸로부터 선택되는 1종 이상이며; 그리고,Wherein the epoxy curing agent (F) is at least one selected from trimellitic anhydride and 2-undecylimidazole; And,

추가로 용제로서 3-메톡시프로피온산메틸 및 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트로부터 선택되는 1종 이상을 함유하는 [5]에 기재된 감광성 조성물.The photosensitive composition according to [5], further comprising at least one solvent selected from methyl 3-methoxypropionate and propylene glycol monomethyl ether acetate as a solvent.

[8] 상기 분자량 조정제(G)가 나프토퀴논류 및 히드로퀴논류로부터 선택되는 1종 이상인 [1]∼[7] 중 어느 하나에 기재된 감광성 조성물.[8] The photosensitive composition according to any one of [1] to [7], wherein the molecular weight modifier (G) is at least one selected from naphtoquinones and hydroquinones.

[9] [1]∼[8] 중 어느 하나에 기재된 감광성 조성물로부터 얻어지는 경화막.[9] A cured film obtained from the photosensitive composition according to any one of [1] to [8].

[10] [9]에 기재된 경화막을 투명 보호막으로서 갖는 컬러 필터.[10] A color filter having the cured film described in [9] as a transparent protective film.

[11] [10]에 기재된 컬러 필터를 사용한 표시 소자.[11] A display element using the color filter according to [10].

[12] [10]에 기재된 컬러 필터를 사용한 고체 촬상 소자.[12] A solid-state imaging device using the color filter according to [10].

[13] TFT와 투명 전극 사이에 형성되는 투명 절연막으로서, [9]에 기재된 경화막을 사용한 표시 소자.[13] A transparent insulating film formed between a TFT and a transparent electrode, comprising a cured film according to [9].

[14] TFT와 배향막 사이에 형성되는 투명 절연막으로서, [9]에 기재된 경화막을 사용한 표시 소자.[14] A transparent insulating film formed between a TFT and an orientation film, which uses the cured film according to [9].

[15] [9]에 기재된 경화막을 보호막으로서 사용한 LED 발광체.[15] An LED light source using the cured film according to [9] as a protective film.

[16] [9]에 기재된 경화막을 투명 보호막으로서 갖는 층간 절연막.[16] An interlayer insulating film having the cured film described in [9] as a transparent protective film.

본 발명의 바람직한 양태에 따른 감광성 조성물은 극성이 높은 유기용제를 필요로 하지 않고, 또한 투명성, 내열성, 평탄성, 해상성, 및 내약품성에 있어서 우수한 경화막을 형성할 수 있는 재료이며, 표시 소자의 컬러 필터 보호막으로서 사용한 경우, 표시 품위 및 신뢰성을 향상시킬 수 있다. 또한, 각종 광학 재료의 보호막 및 투명 절연막으로서도 사용할 수 있다. The photosensitive composition according to a preferred embodiment of the present invention is a material capable of forming a cured film which does not require an organic solvent having a high polarity and is excellent in transparency, heat resistance, flatness, resolution and chemical resistance, When used as a filter protective film, display quality and reliability can be improved. It can also be used as a protective film for various optical materials and a transparent insulating film.

1. 감광성 조성물1. Photosensitive composition

본 발명의 감광성 조성물은 테트라카르복실산 이무수물, 디아민 및 다가히드록시 화합물을 필수 원료 성분으로서 반응시킴으로써 얻어지는 폴리에스테르아미드산(A), 중합성 이중 결합을 1분자당 2개 이상 포함하는 화합물(B), 광중합 개시제(C), 에폭시기를 갖는 중합체(D), 에폭시기를 1분자당 2∼10개 포함하고, 중량 평균 분자량이 3,000 미만인 에폭시 화합물(E), 에폭시 경화제(F) 및 분자량 조정제(G)를 포함하는 조성물이다. 상기 폴리에스테르아미드산(A) 100중량부에 대해, 중합성 이중 결합을 갖는 화합물(B)가 20∼300중량부이며, 에폭시기를 갖는 중합체(D) 및 에폭시 화합물(E)의 총량이 20∼200중량부, 광중합 개시제(C)의 함유량이 분자량 조정제(G)의 함유량의 5.0배보다 많고, 30배 미만인 것을 특징으로 하는 감광성 조성물이다. 또한, 본 발명의 감광성 조성물은 본 발명의 효과가 얻어지는 범위에 있어서, 상기 이외의 다른 성분을 추가로 함유하고 있어도 된다. The photosensitive composition of the present invention comprises a polyester amide acid (A) obtained by reacting a tetracarboxylic acid dianhydride, a diamine and a polyhydric hydroxy compound as essential raw material components, a compound containing two or more polymerizable double bonds per molecule (E), an epoxy curing agent (F), and a molecular weight modifier (B) having a weight average molecular weight of 3,000 or less and containing 2 to 10 epoxy groups per molecule G). Wherein the total amount of the polymer (D) having an epoxy group and the epoxy compound (E) is 20 to 300 parts by weight, the amount of the polymerizable double bond-containing compound (B) is 20 to 300 parts by weight based on 100 parts by weight of the polyester amide acid (A) , And the content of the photopolymerization initiator (C) is more than 5.0 times the content of the molecular weight modifier (G) and less than 30 times. In addition, the photosensitive composition of the present invention may further contain other components than the above in the range in which the effect of the present invention can be obtained.

1-1. 폴리에스테르아미드산(A)1-1. The polyester amide acid (A)

폴리에스테르아미드산은 테트라카르복실산 이무수물, 디아민 및 다가히드록시 화합물을 필수 원료 성분으로 하여 반응시킴으로써 얻어진다. 더욱 상세하게는, X몰의 테트라카르복실산 이무수물, Y몰의 디아민 및 Z몰의 다가히드록시 화합물을 하기 식 (1) 및 식 (2)의 관계가 성립되는 비율로 반응시킴으로써 얻어진다. The polyester amide acid is obtained by reacting tetracarboxylic dianhydride, diamine and polyhydric hydroxy compound as essential raw material components. More specifically, it is obtained by reacting X mol of tetracarboxylic dianhydride, Y mol of diamine and Z mol of polyhydric hydroxy compound at a ratio in which the relationship of the following formulas (1) and (2) is satisfied.

0.2≤Z/Y≤8.0·······(1)0.2? Z / Y? 8.0 (1)

0.2≤(Y+Z)/X≤5.0 ···(2)0.2? (Y + Z) /X? 5.0 (2)

폴리에스테르아미드산은 하기 식 (3)으로 나타내는 구성 단위 및 식 (4)로 나타내는 구성 단위를 갖는다.The polyester amide acid has a structural unit represented by the following formula (3) and a structural unit represented by the following formula (4).

Figure pat00002
Figure pat00002

식 (3) 및 식 (4)에 있어서, R1은 테트라카르복실산 이무수물로부터 2개의 -CO-O-CO-를 제외한 잔기이며, 바람직하게는 탄소수 2∼30의 유기기이다. R2는 디아민으로부터 2개의 -NH2를 제외한 잔기이며, 바람직하게는 탄소수 2∼30의 유기기이다. R3은 다가히드록시 화합물로부터 2개의 -OH를 제외한 잔기이며, 바람직하게는 탄소수 2∼20의 유기기이다. In the formulas (3) and (4), R 1 is a residue excluding two -CO-O-CO- from a tetracarboxylic acid dianhydride, and preferably an organic group having 2 to 30 carbon atoms. R 2 is a residue other than -NH 2 from a diamine, preferably an organic group having 2 to 30 carbon atoms. R 3 is a residue excluding two -OH from the polyhydric hydroxy compound, preferably an organic group having 2 to 20 carbon atoms.

폴리에스테르아미드산의 합성에는 적어도 용제가 필요하고, 이 용제를 그대로 남겨서 핸들링성 등을 고려한 액상이나 겔상의 감광성 조성물로 해도 되고, 이 용제를 제거하여 운반성 등을 고려한 고체 형상의 조성물로 해도 된다. 또한, 폴리에스테르아미드산의 합성에는 원료로서, 필요에 따라 모노히드록시 화합물 및 스티렌-무수 말레산 공중합체로부터 선택되는 1종 이상의 화합물을 포함하고 있어도 되고, 그 중에서도, 모노히드록시 화합물을 포함하는 것이 바람직하다. 또한, 폴리에스테르아미드산의 합성에는 원료로서, 본 발명의 목적을 저해하지 않는 범위에서, 필요에 따라 상기 이외의 다른 화합물을 포함하고 있어도 된다. 이러한 다른 원료의 예로서, 실리콘 함유 모노아민을 들 수 있다. The synthesis of the polyester amide acid requires at least a solvent and may be a liquid or gel photosensitive composition in which the solvent is left as it is in consideration of handling properties and the solid composition may be prepared by removing the solvent . In the synthesis of the polyester amide acid, at least one compound selected from a monohydroxy compound and a styrene-maleic anhydride copolymer may be contained as a raw material if necessary, and among them, a monohydroxy compound . The synthesis of the polyester amide acid may also contain, as a raw material, other compounds than those described above, as needed, without impairing the object of the present invention. Examples of such other raw materials include silicon-containing monoamines.

1-1-1. 테트라카르복실산 이무수물1-1-1. Tetracarboxylic dianhydride

본 발명에서는 폴리에스테르아미드산을 얻기 위한 재료로서, 테트라카르복실산 이무수물을 사용한다. 바람직한 테트라카르복실산 이무수물의 구체예는, 3,3',4,4'-벤조페논테트라카르복실산 이무수물, 2,2',3,3'-벤조페논테트라카르복실산 이무수물, 2,3,3',4'-벤조페논테트라카르복실산 이무수물, 3,3',4,4'-디페닐술폰테트라카르복실산 이무수물, 2,2',3,3'-디페닐술폰테트라카르복실산 이무수물, 2,3,3',4'-디페닐술폰테트라카르복실산 이무수물, 3,3',4,4'-디페닐에테르테트라카르복실산 이무수물, 2,2',3,3'-디페닐에테르테트라카르복실산 이무수물, 2,3,3',4'-디페닐에테르테트라카르복실산 이무수물, 2,2-[비스(3,4-디카르복시페닐)]헥사플루오로프로판 이무수물, 1,2,3,4-부탄테트라카르복실산 이무수물, 에틸렌글리콜비스(안히드로트리멜리테이트)(상품명; TMEG-100, 신닛폰리카 주식회사), 시클로부탄테트라카르복실산 이무수물, 메틸시클로부탄테트라카르복실산 이무수물, 시클로펜탄테트라카르복실산 이무수물, 시클로헥산테트라카르복실산 이무수물, 및 에탄테트라카르복실산 이무수물을 들 수 있다. 이들 중 1종 이상을 사용할 수 있다. In the present invention, a tetracarboxylic acid dianhydride is used as a material for obtaining a polyester amide acid. Specific examples of the preferable tetracarboxylic dianhydride include 3,3 ', 4,4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 2,2', 3,3'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 2 , 3,3 ', 4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 3,3', 4,4'-diphenylsulfone tetracarboxylic acid dianhydride, 2,2 ', 3,3'-diphenyl Sulfone tetracarboxylic acid dianhydride, 2,3,3 ', 4'-diphenylsulfone tetracarboxylic dianhydride, 3,3', 4,4'-diphenyl ether tetracarboxylic dianhydride, 2, 2 ', 3,3'-diphenyl ether tetracarboxylic dianhydride, 2,3,3', 4'-diphenyl ether tetracarboxylic dianhydride, 2,2- [bis (3,4-di Carboxyphenyl)] hexafluoropropane dianhydride, 1,2,3,4-butanetetracarboxylic acid dianhydride, ethylene glycol bis (anhydrotrimellitate) (TMEG-100, Shin-Nippon Rika Co., Ltd.) Cyclobutane tetracarboxylic acid dianhydride, methylcyclobutane tetracarboxylic acid dianhydride , There may be mentioned the cyclopentane tetracarboxylic dianhydride, cyclohexane tetracarboxylic dianhydride, ethane and the dianhydride. One or more of these may be used.

이들 중에서도, 경화막에 양호한 투명성을 부여하는 3,3',4,4'-디페닐술폰테트라카르복실산 이무수물, 3,3',4,4'-디페닐에테르테트라카르복실산 이무수물, 2,2-[비스(3,4-디카르복시페닐)]헥사플루오로프로판 이무수물, 1,2,3,4-부탄테트라카르복실산 이무수물, 및 TMEG-100이 보다 바람직하고, 3,3',4,4'-디페닐에테르테트라카르복실산 이무수물, 3,3',4,4'-디페닐술폰테트라카르복실산 이무수물 및 1,2,3,4-부탄테트라카르복실산 이무수물이 특히 바람직하다. Among them, 3,3 ', 4,4'-diphenylsulfone tetracarboxylic acid dianhydride, 3,3', 4,4'-diphenyl ether tetracarboxylic acid dianhydride which gives good transparency to the cured film , And 2,2- [bis (3,4-dicarboxyphenyl)] hexafluoropropane dianhydride, 1,2,3,4-butanetetracarboxylic acid dianhydride, and TMEG-100 are more preferable, and 3 , 3 ', 4,4'-diphenyl ether tetracarboxylic dianhydride, 3,3', 4,4'-diphenylsulfone tetracarboxylic acid dianhydride and 1,2,3,4-butanetetracar Particularly preferred is a mixed acid dianhydride.

1-1-2. 디아민1-1-2. Diamine

본 발명에서는 폴리에스테르아미드산을 얻기 위한 재료로서, 디아민을 사용한다. 바람직한 디아민의 구체예는, 4,4'-디아미노디페닐술폰, 3,3'-디아미노디페닐술폰, 3,4'-디아미노디페닐술폰, 비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]술폰, 비스[4-(3-아미노페녹시)페닐]술폰, 비스[3-(4-아미노페녹시)페닐]술폰, [4-(4-아미노페녹시)페닐][3-(4-아미노페녹시)페닐]술폰, [4-(3-아미노페녹시)페닐][3-(4-아미노페녹시)페닐]술폰, 및 2,2-비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]헥사플루오로프로판을 들 수 있다. 이들 중 1종 이상을 사용할 수 있다. In the present invention, a diamine is used as a material for obtaining a polyester amide acid. Specific examples of preferred diamines include 4,4'-diaminodiphenylsulfone, 3,3'-diaminodiphenylsulfone, 3,4'-diaminodiphenylsulfone, bis [4- (4-aminophenoxy Phenyl] sulfone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [3- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfone, [4- (3-aminophenoxy) phenyl] Phenoxy) phenyl] hexafluoropropane. One or more of these may be used.

이들 중에서도, 경화막에 양호한 투명성을 부여하는 3,3'-디아미노디페닐술폰 및 비스[4-(3-아미노페녹시)페닐]술폰이 보다 바람직하고, 3,3'-디아미노디페닐술폰이 특히 바람직하다. Among them, 3,3'-diaminodiphenylsulfone and bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfone which give good transparency to the cured film are more preferable, and 3,3'-diaminodiphenyl Sulfone is particularly preferred.

1-1-3. 다가히드록시 화합물1-1-3. The polyhydric hydroxy compound

본 발명에서는 폴리에스테르아미드산을 얻기 위한 재료로서, 다가히드록시 화합물을 사용한다. 바람직한 다가히드록시 화합물의 구체예는, 에틸렌글리콜, 디에틸렌글리콜, 트리에틸렌글리콜, 테트라에틸렌글리콜, 중량 평균 분자량 1,000 이하의 폴리에틸렌글리콜, 프로필렌글리콜, 디프로필렌글리콜, 트리프로필렌글리콜, 테트라프로필렌글리콜, 중량 평균 분자량 1,000 이하의 폴리프로필렌글리콜, 1,2-부탄디올, 1,3-부탄디올, 1,4-부탄디올, 1,2-펜탄디올, 1,5-펜탄디올, 2,4-펜탄디올, 1,2,5-펜탄트리올, 1,2-헥산디올, 1,6-헥산디올, 2,5-헥산디올, 1,2,6-헥산트리올, 1,2-헵탄디올, 1,7-헵탄디올, 1,2,7-헵탄트리올, 1,2-옥탄디올, 1,8-옥탄디올, 3,6-옥탄디올, 1,2,8-옥탄트리올, 1,2-노난디올, 1,9-노난디올, 1,2,9-노난트리올, 1,2-데칸디올, 1,10-데칸디올, 1,2,10-데칸트리올, 1,2-도데칸디올, 1,12-도데칸디올, 글리세린, 트리메틸올프로판, 펜타에리스리톨, 디펜타에리스리톨, 이소시아눌산 트리스(2-히드록시에틸), 비스페놀 A(2,2-비스(4-히드록시페닐)프로판), 비스페놀 S(비스(4-히드록시페닐)술폰), 비스페놀 F(비스(4-히드록시페닐)메탄), 2,2-비스(4-히드록시시클로헥실)프로판, 4,4'-디히드록시디시클로헥실, 디에탄올아민, 및 트리에탄올아민을 들 수 있다. 이들 중 1종 이상을 사용할 수 있다. In the present invention, a polyhydric hydroxy compound is used as a material for obtaining a polyester amide acid. Specific examples of the preferable polyhydric hydroxy compound are ethylene glycol, diethylene glycol, triethylene glycol, tetraethylene glycol, polyethylene glycol having a weight average molecular weight of 1,000 or less, propylene glycol, dipropylene glycol, tripropylene glycol, tetrapropylene glycol, Polypropylene glycol having an average molecular weight of 1,000 or less, 1,2-butanediol, 1,3-butanediol, 1,4-butanediol, 1,2-pentanediol, 1,5-pentanediol, Pentanediol, 1,2-hexanediol, 1,6-hexanediol, 2,5-hexanediol, 1,2,6-hexanetriol, 1,2-heptanediol, 1,7- Heptanediol, 1,2,7-heptanetriol, 1,2-octanediol, 1,8-octanediol, 3,6-octanediol, 1,2,8-octanetriol, , 1,9-nonanediol, 1,2,9-nonanthiol, 1,2-decanediol, 1,10-decanediol, 1,2,10-decanediol, 1,12-dodecanediol, glycerin, trimethylol propane, pentaerythritol, dipentaerythritol, Bis (4-hydroxyphenyl) propane), bisphenol S (bis (4-hydroxyphenyl) sulfone), bisphenol F (bis (4- (Hydroxyphenyl) methane), 2,2-bis (4-hydroxycyclohexyl) propane, 4,4'-dihydroxydicyclohexyl, diethanolamine, and triethanolamine. One or more of these may be used.

이들 중에서도, 반응 용제에 대한 용해성이 양호한 에틸렌글리콜, 프로필렌글리콜, 1,4-부탄디올, 1,5-펜탄디올, 1,6-헥산디올, 1,7-헵탄디올, 1,8-옥탄디올, 2,2-비스(4-히드록시시클로헥실)프로판, 4,4'-디히드록시디시클로헥실, 및 이소시아눌산 트리스(2-히드록시에틸)이 보다 바람직하고, 1,4-부탄디올, 1,5-펜탄디올 및 1,6-헥산디올이 특히 바람직하다. Among them, ethylene glycol, propylene glycol, 1,4-butanediol, 1,5-pentanediol, 1,6-hexanediol, 1,7-heptanediol, Dihydroxydicyclohexyl, and isocyanuric acid tris (2-hydroxyethyl) are more preferable, and 1,4-butanediol, 1,4-butanediol, 1,5-pentanediol and 1,6-hexanediol are particularly preferred.

1-1-4. 모노히드록시 화합물1-1-4. Monohydroxy compound

본 발명에서는 폴리에스테르아미드산을 얻기 위한 재료로서, 모노히드록시 화합물을 사용해도 된다. 모노히드록시 화합물을 사용함으로써, 감광성 조성물의 보존 안정성이 향상된다. 바람직한 모노히드록시 화합물의 구체예는, 벤질알코올, 프로필렌글리콜모노에틸에테르, 프로필렌글리콜모노메틸에테르, 디프로필렌글리콜모노에틸에테르, 디프로필렌글리콜모노메틸에테르, 에틸렌글리콜모노에틸에테르, 에틸렌글리콜모노메틸에테르, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르, 히드록시에틸메타크릴레이트, 테르피네올, 3-에틸-3-히드록시메틸옥세탄 및 디메틸벤질카르비놀을 들 수 있다. 이들 중 1종 이상을 사용할 수 있다. In the present invention, a monohydroxy compound may be used as a material for obtaining a polyester amide acid. By using the monohydroxy compound, the storage stability of the photosensitive composition is improved. Specific examples of preferred monohydroxy compounds include benzyl alcohol, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monoethyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monomethyl ether , Diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, hydroxyethyl methacrylate, terpineol, 3-ethyl-3-hydroxymethyloxetane and dimethylbenzylcarbinol. One or more of these may be used.

이들 중에서도 벤질알코올, 히드록시에틸메타크릴레이트, 프로필렌글리콜모노에틸에테르, 및 3-에틸-3-히드록시메틸옥세탄이 보다 바람직하다. 이들을 사용하여 만들어지는 폴리에스테르아미드산과, 에폭시기를 갖는 중합체, 에폭시 화합물 및 에폭시 경화제를 혼합한 경우의 상용성이나, 감광성 조성물의 컬러 필터 상으로의 도포성을 고려하면, 모노히드록시 화합물에는 벤질알코올의 사용이 특히 바람직하다. Among these, benzyl alcohol, hydroxyethyl methacrylate, propylene glycol monoethyl ether, and 3-ethyl-3-hydroxymethyloxetane are more preferable. Considering the compatibility when a polyester amide acid produced by using these, a polymer having an epoxy group, an epoxy compound and an epoxy curing agent are mixed, and a coating property of the photosensitive composition on a color filter, the monohydroxy compound includes benzyl alcohol Is particularly preferable.

모노히드록시 화합물은 테트라카르복실산 이무수물, 디아민, 및 다가히드록시 화합물의 합계량 100중량부에 대해 0∼300중량부 함유하여 반응시키는 것이 바람직하다. 보다 바람직하게는 5∼200중량부이다. The monohydroxy compound is preferably reacted in an amount of 0 to 300 parts by weight based on 100 parts by weight of the total amount of tetracarboxylic dianhydride, diamine, and polyhydric hydroxy compound. More preferably 5 to 200 parts by weight.

1-1-5. 스티렌-무수 말레산 공중합체1-1-5. Styrene-maleic anhydride copolymer

또한, 본 발명에 사용되는 폴리에스테르아미드산은 상기 원료에 산 무수물기를 3개 이상 갖는 화합물을 첨가하여 합성해도 된다. 그렇게 함으로써, 경화막의 투명성이 향상되기 때문에 바람직하다. 산 무수물기를 3개 이상 갖는 화합물의 예로는, 스티렌-무수 말레산 공중합체를 들 수 있다. 스티렌-무수 말레산 공중합체를 구성하는 각 성분의 비율에 대해서는, 스티렌/무수 말레산의 몰비가 0.5∼4이며, 바람직하게는 1∼3이다. 나아가서는, 1 또는 2가 보다 바람직하고, 1이 특히 바람직하다. The polyester amide acid used in the present invention may be synthesized by adding a compound having three or more acid anhydride groups to the raw material. By doing so, the transparency of the cured film is improved, which is preferable. Examples of the compound having three or more acid anhydride groups include a styrene-maleic anhydride copolymer. The molar ratio of styrene / maleic anhydride to the components constituting the styrene / maleic anhydride copolymer is 0.5 to 4, preferably 1 to 3. Further, 1 or 2 is more preferable, and 1 is particularly preferable.

스티렌-무수 말레산 공중합체의 구체예로는 SMA3000P, SMA2000P, SMA1000P(모두 상품명; 카와하라 유화 주식회사)를 들 수 있다. 이들 중에서도, 경화막의 내열성 및 내알칼리성이 양호해지는 SMA1000P가 특히 바람직하다. Specific examples of the styrene-maleic anhydride copolymer include SMA3000P, SMA2000P, and SMA1000P (all trade names, Kawahara Oil Company). Of these, SMA1000P in which the heat resistance and alkali resistance of the cured film are improved is particularly preferable.

스티렌-무수 말레산 공중합체는 테트라카르복실산 이무수물, 디아민, 및 다가히드록시 화합물의 합계량 100중량부에 대해 0∼500중량부 함유하는 것이 바람직하다. 보다 바람직하게는 10∼300중량부이다. The styrene-maleic anhydride copolymer preferably contains 0 to 500 parts by weight per 100 parts by weight of the total amount of the tetracarboxylic acid dianhydride, diamine, and polyhydric hydroxy compound. More preferably 10 to 300 parts by weight.

1-1-6. 실리콘 함유 모노아민1-1-6. Silicon-containing monoamines

폴리에스테르아미드산의 합성에는 원료로서, 본 발명의 목적을 저해하지 않는 범위에서, 필요에 따라 상기 이외의 다른 원료를 포함하고 있어도 되고, 이러한 다른 원료의 예로서, 실리콘 함유 모노아민을 들 수 있다. The synthesis of the polyester amide acid may include raw materials other than those described above as needed as far as the object of the present invention is not impaired, and examples of such other raw materials include silicon-containing monoamines .

본 발명에서 사용되는 바람직한 실리콘 함유 모노아민의 구체예는, 3-아미노프로필트리메톡시실란, 3-아미노프로필트리에톡시실란, 3-아미노프로필메틸디메톡시실란, 3-아미노프로필메틸디에톡시실란, 4-아미노부틸트리메톡시실란, 4-아미노부틸트리에톡시실란, 4-아미노부틸메틸디에톡시실란, p-아미노페닐트리메톡시실란, p-아미노페닐트리에톡시실란, p-아미노페닐메틸디메톡시실란, p-아미노페닐메틸디에톡시실란, m-아미노페닐트리메톡시실란, 및 m-아미노페닐메틸디에톡시실란을 들 수 있다. 이들 중 1종 이상을 사용할 수 있다. Specific examples of preferred silicon-containing monoamines for use in the present invention are 3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-aminopropylmethyldimethoxysilane, 3-aminopropylmethyldiethoxysilane , 4-aminobutyltrimethoxysilane, 4-aminobutyltriethoxysilane, 4-aminobutylmethyldiethoxysilane, p-aminophenyltrimethoxysilane, p-aminophenyltriethoxysilane, p-aminophenyl Methyldimethoxysilane, p-aminophenylmethyldiethoxysilane, m-aminophenyltrimethoxysilane, and m-aminophenylmethyldiethoxysilane. One or more of these may be used.

이들 중에서도, 경화막의 내산성이 양호해지는 3-아미노프로필트리에톡시실란 및 p-아미노페닐트리메톡시실란이 보다 바람직하고, 3-아미노프로필트리에톡시실란이 내산성, 상용성의 관점에서 특히 바람직하다. Of these, 3-aminopropyltriethoxysilane and p-aminophenyltrimethoxysilane which are excellent in the acid resistance of the cured film are more preferable, and 3-aminopropyltriethoxysilane is particularly preferable in view of acid resistance and compatibility.

실리콘 함유 모노아민은 테트라카르복실산 이무수물, 디아민, 및 다가히드록시 화합물의 합계량 100중량부에 대해 0∼300중량부 함유하는 것이 바람직하다. 보다 바람직하게는 5∼200중량부이다. The silicon-containing monoamine is preferably contained in an amount of 0 to 300 parts by weight based on 100 parts by weight of the total amount of tetracarboxylic dianhydride, diamine, and polyhydric hydroxy compound. More preferably 5 to 200 parts by weight.

1-1-7. 폴리에스테르아미드산의 합성 반응에 사용되는 용제1-1-7. Solvent used for synthesis reaction of polyester amide acid

폴리에스테르아미드산을 얻기 위한 합성 반응에 사용되는 용제의 구체예로는, 디에틸렌글리콜디메틸에테르, 디에틸렌글리콜메틸에틸에테르, 디에틸렌글리콜디에틸에테르, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 3-메톡시프로피온산메틸, 3-에톡시프로피온산에틸, 락트산에틸, 시클로헥사논을 들 수 있다. 이들 중에서도 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 3-메톡시프로피온산메틸, 또는 디에틸렌글리콜메틸에틸에테르가 바람직하다. Specific examples of the solvent used in the synthesis reaction for obtaining the polyester amide acid include diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether acetate, ethylene glycol mono Ethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, ethyl lactate, and cyclohexanone. Of these, propylene glycol monomethyl ether acetate, methyl 3-methoxypropionate, or diethylene glycol methyl ethyl ether are preferable.

1-1-8. 폴리에스테르아미드산의 합성 방법1-1-8. Synthesis method of polyester amide acid

본 발명에서 사용되는 폴리에스테르아미드산의 합성 방법은 테트라카르복실산 이무수물 X몰, 디아민 Y몰, 및 다가히드록시 화합물 Z몰을 상기 용제 중에서 반응시킨다. 이때 X, Y 및 Z는 그들 사이에 하기 식 (1) 및 식 (2)의 관계가 성립되는 비율로 정하는 것이 바람직하다. 이 범위이면, 폴리에스테르아미드산의 용제에 대한 용해성이 높고, 따라서 조성물의 도포성이 향상되고, 결과적으로 평탄성이 우수한 경화막을 얻을 수 있다. In the method for synthesizing the polyester amide acid used in the present invention, X mole of a tetracarboxylic dianhydride, Y mole of a diamine, and Z mole of a polyhydric hydroxy compound are reacted in the solvent. At this time, it is preferable that X, Y, and Z are defined by the ratio in which the relationship of the following formulas (1) and (2) is established between them. When the content is within this range, the solubility of the polyester amide acid in the solvent is high, so that the coating property of the composition is improved, and as a result, a cured film having excellent flatness can be obtained.

0.2≤Z/Y≤8.0·······(1)0.2? Z / Y? 8.0 (1)

0.2≤(Y+Z)/X≤5.0 ···(2)0.2? (Y + Z) /X? 5.0 (2)

식 (1)에 있어서, 바람직하게는 0.7≤Z/Y≤7.0이며, 보다 바람직하게는 1.0≤Z/Y≤5.0이다. 또한, 식 (2)에 있어서, 바람직하게는 0.5≤(Y+Z)/X≤4.0이며, 보다 바람직하게는 0.6≤(Y+Z)/X≤2.0이다. In the formula (1), preferably 0.7? Z / Y? 7.0, more preferably 1.0? Z / Y? 5.0. In the formula (2), 0.5? (Y + Z) / X? 4.0, and more preferably 0.6? Y + Z / X? 2.0.

본 발명에서 사용되는 폴리에스테르아미드산은 상기 반응 조건에 있어서 Y+Z에 대하여 X를 과잉하게 사용한 조건하에서는, 말단에 산 무수물기(-CO-O-CO-)를 갖는 분자가 말단에 아미노기나 수산기를 갖는 분자보다 과잉하게 생성되는 것으로 생각된다. 그러한 모노머의 구성으로 반응시키는 경우에는 필요에 따라, 분자 말단의 산 무수물기와 반응시켜 말단을 에스테르화하기 위해, 상술한 모노히드록시 화합물을 첨가할 수 있다. 모노히드록시 화합물을 첨가하여 반응함으로써 얻어진 폴리에스테르아미드산은 에폭시 화합물 및 에폭시 경화제와의 상용성이 개선됨과 함께, 그들을 포함하는 본 발명의 감광성 조성물의 도포성이 개선된다. The polyester amide acid to be used in the present invention is a polyester amide acid in which a molecule having an acid anhydride group (-CO-O-CO-) at the end thereof has an amino group or a hydroxyl group at the end thereof under the condition that X is excessively used relative to Y + Is thought to be generated in excess of the molecule. When the reaction is carried out by such a monomer composition, the above-mentioned monohydroxy compound may be added, if necessary, in order to react with the acid anhydride group at the terminal of the molecule to esterify the terminal. The polyester amide acid obtained by adding and reacting the monohydroxy compound is improved in compatibility with the epoxy compound and the epoxy curing agent, and the applicability of the photosensitive composition of the present invention containing them is improved.

또한, 전술한 모노머의 구성으로 반응시키는 경우에는 분자 말단의 산 무수물기와 반응시켜 말단에 실릴기를 도입하기 위해, 실리콘 함유 모노아민을 첨가할 수 있다. 실리콘 함유 모노아민을 첨가하여 반응함으로써 얻어진 폴리에스테르아미드산을 함유하는 본 발명의 감광성 조성물을 사용하면, 얻어진 경화막의 내산성이 개선된다. 또한, 전술한 모노머의 구성으로 반응시키는 경우에는 모노히드록시 화합물 및 실리콘 함유 모노아민을 모두 첨가하여 반응시킬 수도 있다. In the case of reacting with the above-described monomer composition, a silicon-containing monoamine may be added in order to react with an acid anhydride group at the terminal of the molecule to introduce a silyl group at the terminal. When the photosensitive composition of the present invention containing a polyester amide acid obtained by adding and reacting a silicon-containing monoamine is used, the acid resistance of the obtained cured film is improved. When the reaction is carried out by the above-described monomer composition, the monohydroxy compound and the silicon-containing monoamine may be added and reacted.

반응 용제는 테트라카르복실산 이무수물, 디아민 및 다가히드록시 화합물의 합계 100중량부에 대해 100중량부 이상 사용하면, 반응이 원활하게 진행되기 때문에 바람직하다. 반응은 40℃∼200℃에서, 0.2∼20시간 반응시키는 것이 좋다. The reaction solvent is preferably used in an amount of 100 parts by weight or more based on 100 parts by weight of the total of the tetracarboxylic acid dianhydride, diamine and polyhydric hydroxy compound, because the reaction proceeds smoothly. The reaction is preferably carried out at 40 ° C to 200 ° C for 0.2 to 20 hours.

반응 원료의 반응계로의 첨가 순서는 특별히 한정되지 않는다. 즉, 테트라카르복실산 이무수물과 디아민 및 다가히드록시 화합물을 동시에 반응 용제에 첨가하는 방법, 디아민 및 다가히드록시 화합물을 반응 용제 중에 용해시킨 후, 테트라카르복실산 이무수물을 첨가하는 방법, 테트라카르복실산 이무수물과 다가히드록시 화합물을 미리 반응시킨 후, 그 반응 생성물에 디아민을 첨가하는 방법, 또는 테트라카르복실산 이무수물과 디아민을 미리 반응시킨 후, 그 반응 생성물에 다가히드록시 화합물을 첨가하는 방법 등의 모든 방법을 사용할 수 있다. The order of addition of the reaction raw materials to the reaction system is not particularly limited. That is, a method of simultaneously adding a tetracarboxylic dianhydride, a diamine and a polyhydric hydroxy compound to a reaction solvent, a method of dissolving a diamine and a polyhydric hydroxy compound in a reaction solvent, followed by adding a tetracarboxylic dianhydride, A method of previously reacting a carboxylic acid dianhydride and a polyhydric hydroxy compound and then adding a diamine to the reaction product or a method of reacting a tetracarboxylic dianhydride with a diamine in advance and then adding a polyhydric hydroxy compound And a method of adding an organic solvent to the solution.

상기 실리콘 함유 모노아민을 반응시키는 경우에는 테트라카르복실산 이무수물과, 디아민 및 다가히드록시 화합물의 반응이 종료된 후에, 반응액을 40℃ 이하까지 냉각한 후, 실리콘 함유 모노아민을 첨가하여, 10∼40℃에서 0.1∼6시간 반응시키면 된다. 또한, 모노히드록시 화합물은 반응의 어느 시점에서 첨가해도 된다. When the above-mentioned silicon-containing monoamine is reacted, after the reaction between the tetracarboxylic acid dianhydride and the diamine and the polyhydric hydroxy compound is completed, the reaction solution is cooled to 40 ° C or lower, and then the silicon-containing monoamine is added, The reaction is carried out at 10 to 40 ° C for 0.1 to 6 hours. The monohydroxy compound may be added at any point in the reaction.

이와 같이 하여 합성된 폴리에스테르아미드산은 상기 식 (3)으로 나타내는 구성 단위 및 식 (4)로 나타내는 구성 단위를 포함하고, 그 말단은 원료인 테트라카르복실산 이무수물, 디아민 또는 다가히드록시 화합물에 유래하는 산 무수물기, 아미노기 또는 히드록시기이거나, 또는 이들 화합물 이외의 첨가물이 그 말단을 구성한다. 이러한 구성을 포함함으로써, 경화성이 양호해진다. The polyester amide acid thus synthesized contains the structural unit represented by the formula (3) and the structural unit represented by the formula (4), and the terminal thereof is bonded to the tetracarboxylic acid dianhydride, diamine or polyhydric hydroxy compound An amino group or a hydroxyl group, or an additive other than these compounds constitutes the terminal. By including such a constitution, the curability is improved.

얻어진 폴리에스테르아미드산의 중량 평균 분자량은 1,000∼200,000인 것이 바람직하고, 3,000∼50,000이 보다 바람직하다. 이들 범위에 있으면, 평탄성 및 내열성이 양호해진다. The weight average molecular weight of the resulting polyester amide acid is preferably 1,000 to 200,000, more preferably 3,000 to 50,000. Within these ranges, flatness and heat resistance are improved.

본 명세서 중의 중량 평균 분자량은 GPC법(칼럼 온도: 35℃, 유속: 1ml/min)에 의해 구한 폴리스티렌 환산 값이다. 표준 폴리스티렌에는 분자량이 645∼132,900의 폴리스티렌(예를 들면, 애질런트·테크놀로지 주식회사의 폴리스티렌 캘리브레이션 키트 PL2010-0102), 칼럼에는 PLgel MIXED-D(애질런트·테크놀로지 주식회사)를 사용하고, 이동상으로서 THF를 사용하여 측정할 수 있다. 한편, 본 명세서 중의 시판품의 중량 평균 분자량은 카탈로그 게재값이다. The weight average molecular weight in this specification is a polystyrene reduced value determined by GPC method (column temperature: 35 캜, flow rate: 1 ml / min). PLgel MIXED-D (Agilent Technologies Co., Ltd.) was used as a column, and THF was used as a mobile phase, and polystyrene having a molecular weight of 645 to 132,900 (for example, Polystyrene calibration kit PL2010-0102 manufactured by Agilent Technologies Co., Can be measured. On the other hand, the weight average molecular weights of commercially available products in this specification are the catalog values.

1-2. 중합성 이중 결합을 갖는 화합물(B)1-2. The compound (B) having a polymerizable double bond

1-2-1. 중합성 이중 결합을 1분자당 2개 이상 갖는 화합물1-2-1. A compound having two or more polymerizable double bonds per molecule

본 발명에 사용되는 중합성 이중 결합을 갖는 화합물은 특별히 한정되는 것은 아니지만, 중합성 이중 결합을 1분자당 2개 이상 갖는 화합물인 것이 바람직하다. 중합성 이중 결합을 갖는 화합물은 폴리에스테르아미드산 100중량부에 대해, 20∼300중량부이면 현상 후 잔막율이 양호해져 바람직하다. The compound having a polymerizable double bond used in the present invention is not particularly limited, but a compound having two or more polymerizable double bonds per molecule is preferable. With respect to 100 parts by weight of the polyester amide acid, the compound having a polymerizable double bond is preferably 20 to 300 parts by weight since the residual film ratio after development becomes favorable.

본 발명의 감광성 조성물에 함유되는 중합성 이중 결합을 1분자당 2개 이상 갖는 화합물로는, 에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 디에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 트리에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 테트라에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 폴리에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 에피클로로히드린 변성 에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 에피클로로히드린 변성 디에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 에피클로로히드린 변성 트리에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 에피클로로히드린 변성 테트라에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 에피클로로히드린 변성 폴리에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 프로필렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 디프로필렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 트리프로필렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 테트라프로필렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 폴리프로필렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 에피클로로히드린 변성 프로필렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 에피클로로히드린 변성 디프로필렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 에피클로로히드린 변성 트리프로필렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 에피클로로히드린 변성 테트라프로필렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 에피클로로히드린 변성 폴리프로필렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 트리메틸올프로판트리(메타)아크릴레이트, 에틸렌옥시드 변성 트리메틸올프로판트리(메타)아크릴레이트, 프로필렌옥시드 변성 트리메틸올프로판트리(메타)아크릴레이트, 에피클로로히드린 변성 트리메틸올프로판트리(메타)아크릴레이트, 디트리메틸올프로판테트라(메타)아크릴레이트, 글리세롤(메타)아크릴레이트, 글리세롤디(메타)아크릴레이트, 글리세롤트리(메타)아크릴레이트, 에피클로로히드린 변성 글리세롤트리(메타)아크릴레이트, 1,6-헥산디올디(메타)아크릴레이트, 에피클로로히드린 변성 1,6-헥산디올디(메타)아크릴레이트, 메톡시화 시클로헥실디(메타)아크릴레이트, 네오펜틸글리콜디(메타)아크릴레이트, 히드록시피발산네오펜틸글리콜디(메타)아크릴레이트, 카프로락톤 변성 히드록시피발산네오펜틸글리콜디(메타)아크릴레이트, 디글리세린테트라(메타)아크릴레이트, 디글리세린에틸렌옥시드 변성 아크릴레이트, 펜타에리스리톨트리(메타)아크릴레이트, 펜타에리스리톨테트라(메타)아크릴레이트, 스테아린산 변성 펜타에리스리톨디(메타)아크릴레이트, 디펜타에리스리톨펜타(메타)아크릴레이트, 알킬 변성 디펜타에리스리톨펜타(메타)아크릴레이트, 알킬 변성 디펜타에리스리톨테트라(메타)아크릴레이트, 알킬 변성 디펜타에리스리톨트리(메타)아크릴레이트, 디펜타에리스리톨헥사(메타)아크릴레이트, 카프로락톤 변성 디펜타에리스리톨헥사(메타)아크릴레이트, 다염기산변성 (메타)아크릴 올리고머, 알릴화 시클로헥실디(메타)아크릴레이트, 비스[(메타)아크릴옥시네오펜틸글리콜]아디페이트, 비스페놀 A 디(메타)아크릴레이트, 에틸렌옥시드 변성 비스페놀 A 디(메타)아크릴레이트, 비스페놀 F 디(메타)아크릴레이트, 에틸렌옥시드 변성 비스페놀 F 디(메타)아크릴레이트, 비스페놀 S 디(메타)아크릴레이트, 에틸렌옥시드 변성 비스페놀 S 디(메타)아크릴레이트, 1,4-부탄디올디(메타)아크릴레이트, 1,3-부틸렌글리콜(메타)아크릴레이트, 디시클로펜타닐디아크릴레이트, 폴리에스테르디아크릴레이트, 폴리에스테르트리아크릴레이트, 폴리에스테르테트라아크릴레이트, 폴리에스테르펜타아크릴레이트, 폴리에스테르헥사아크릴레이트, 에틸렌옥시드 변성 인산디(메타)아크릴레이트, 에틸렌옥시드 변성 인산트리(메타)아크릴레이트, 에피클로로히드린 변성 프탈산디(메타)아크릴레이트, 테트라브로모비스페놀 A 디(메타)아크릴레이트, 트리글리세롤디(메타)아크릴레이트, 네오펜틸글리콜 변성 트리메틸올프로판디(메타)아크릴레이트, 이소시아눌산에틸렌옥시드 변성 디아크릴레이트, 이소시아눌산에틸렌옥시드 변성 트리아크릴레이트, 카프로락톤 변성 트리스[(메타)아크릴옥시에틸]이소시아누레이트, (메타)아크릴화 이소시아누레이트, 페닐글리시딜에테르아크릴레이트 헥사메틸렌디이소시아네이트 우레탄프리폴리머, 페닐글리시딜에테르아크릴레이트 톨루엔디이소시아네이트 우레탄프리폴리머, 펜타에리스리톨트리아크릴레이트 헥사메틸렌디이소시아네이트 우레탄프리폴리머, 펜타에리스리톨트리아크릴레이트 톨루엔디이소시아네이트 우레탄프리폴리머, 펜타에리스리톨트리아크릴레이트 이소포론디이소시아네이트 우레탄프리폴리머, 디펜타에리스리톨펜타아크릴레이트 헥사메틸렌디이소시아네이트 우레탄프리폴리머, 무황변 타입 올리고우레탄아크릴레이트, 및 카르복실산 함유 우레탄아크릴레이트 올리고머 등을 들 수 있다. Examples of the compound having two or more polymerizable double bonds per molecule contained in the photosensitive composition of the present invention include ethylene glycol di (meth) acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate, triethylene glycol di (meth) Acrylate, epichlorohydrin-modified ethylene glycol di (meth) acrylate, epichlorohydrin-modified diethylene glycol di (meth) acrylate, polyethylene glycol di (meth) acrylate, , Epichlorohydrin modified triethylene glycol di (meth) acrylate, epichlorohydrin modified tetraethylene glycol di (meth) acrylate, epichlorohydrin modified polyethylene glycol di (meth) acrylate, propylene glycol di ) Acrylate, dipropylene glycol di (meth) acrylate, tripropylene glycol di (meth) acrylate, tetrapropylene glycol di Propylene glycol di (meth) acrylate, epichlorohydrin-modified dipropylene glycol di (meth) acrylate, epichlorohydrin-modified propylene glycol di (meth) (Meth) acrylate, epichlorohydrin-modified polypropylene glycol di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, epichlorohydrin-modified polypropylene glycol di (Meth) acrylate, ethylene oxide modified trimethylolpropane tri (meth) acrylate, propylene oxide modified trimethylol propane tri (meth) acrylate, epichlorohydrin modified trimethylol propane tri (meth) acrylate, ditrimethylol propane Tetra (meth) acrylate, glycerol (meth) acrylate, glycerol di (meth) acrylate (Meth) acrylate, epichlorohydrin-modified glycerol tri (meth) acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, epichlorohydrin-modified 1,6-hexanediol di Acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, hydroxypivalic acid di (meth) acrylate, caprolactone-modified hydroxypivalic acid neopentyl glycol (Meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, diglycerin tetra (meth) acrylate, diglycerin ethylene oxide modified acrylate, pentaerythritol tri ) Acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, alkyl-modified dipentaerythritol penta (meth) acrylate, alkyl-modified dipenta (Meth) acrylate modified with erythritol tetra (meth) acrylate, alkyl modified dipentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, caprolactone modified dipentaerythritol hexa (Meth) acrylate, bis [(meth) acryloxy neopentyl glycol] adipate, bisphenol A di (meth) acrylate, ethylene oxide modified bisphenol A di (meth) acrylate, bisphenol F Di (meth) acrylate, ethylene oxide modified bisphenol F di (meth) acrylate, bisphenol S di (meth) acrylate, ethylene oxide modified bisphenol S di (meth) acrylate, 1,4-butanediol di ) Acrylate, 1,3-butylene glycol (meth) acrylate, dicyclopentanyl diacrylate, polyester diacrylate, polyester tree (Meth) acrylate modified with ethylene oxide, tri (meth) acrylate modified with ethylene oxide, epichlorohydrin modified (meth) acrylate modified with phosphoric acid, (Meth) acrylate, isobutylene di (meth) acrylate, tetrabromobisphenol A di (meth) acrylate, triglycerol di (meth) acrylate, neopentyl glycol modified trimethylol propane di Diacrylate, isocyanuric acid ethylene oxide modified triacrylate, caprolactone modified tris [(meth) acryloxyethyl] isocyanurate, (meth) acrylated isocyanurate, phenylglycidyl ether acrylate hexamethylene Diisocyanate urethane prepolymer, phenyl glycidyl ether acrylate toluene di Cyanate urethane prepolymer, pentaerythritol triacrylate hexamethylene diisocyanate urethane prepolymer, pentaerythritol triacrylate toluene diisocyanate urethane prepolymer, pentaerythritol triacrylate isophorone diisocyanate urethane prepolymer, dipentaerythritol pentaacrylate hexamethylene diisocyanate Urethane prepolymer, non-yellowing type oligourethane acrylate, and carboxylic acid-containing urethane acrylate oligomer.

중합성 이중 결합을 1분자당 2개 이상 갖는 화합물은 상기 화합물을 단독으로 사용해도 되고, 2 이상을 혼합하여 사용해도 된다. The compound having two or more polymerizable double bonds per molecule may be used alone or in combination of two or more.

중합성 이중 결합을 1분자당 2개 이상 갖는 화합물 중에서도, 트리메틸올프로판트리아크릴레이트, 펜타에리스리톨트리아크릴레이트, 펜타에리스리톨테트라아크릴레이트, 디펜타에리스리톨펜타아크릴레이트, 디펜타에리스리톨헥사아크릴레이트, 다염기산변성 (메타)아크릴 올리고머, 이소시아눌산에틸렌옥시드 변성 디아크릴레이트, 이소시아눌산에틸렌옥시드 변성 트리아크릴레이트, 또는 이들의 혼합물을 사용하는 것이, 경화막의 내열성, 내약품성의 관점에서 바람직하다. Among the compounds having two or more polymerizable double bonds per molecule, it is preferable to use compounds having two or more polymerizable double bonds per molecule, such as trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, (Meth) acrylate oligomer, isocyanuric acid ethyleneoxide-modified diacrylate, isocyanuric acid ethyleneoxide-modified triacrylate, or a mixture thereof is preferably used from the viewpoints of heat resistance and chemical resistance of the cured film.

트리메틸올프로판트리아크릴레이트, 펜타에리스리톨트리아크릴레이트, 펜타에리스리톨테트라아크릴레이트, 디펜타에리스리톨펜타아크릴레이트, 디펜타에리스리톨헥사아크릴레이트, 다염기산변성 (메타)아크릴 올리고머, 이소시아눌산에틸렌옥시드 변성 디아크릴레이트, 이소시아눌산에틸렌옥시드 변성 트리아크릴레이트, 또는 이들의 혼합물로는, 하기와 같은 시판품을 사용할 수 있다. 트리메틸올프로판트리아크릴레이트의 구체예는, 아로닉스 M-309(상품명; 도아 합성 주식회사)이다. 펜타에리스리톨트리아크릴레이트 및 펜타에리스리톨테트라아크릴레이트의 혼합물의 구체예는, 아로닉스 M-306(65∼70중량%), M-305(55∼63중량%), M-303(30∼60중량%), M-452(25∼40중량%), 및 M-450(10중량% 미만, 이하 「M-450」이라고 약기)(모두 상품명; 도아 합성 주식회사, 괄호 내의 함유율은 혼합물 중의 펜타에리스리톨트리아크릴레이트의 함유율의 카탈로그 게재값)이다. 디펜타에리스리톨펜타아크릴레이트 및 디펜타에리스리톨헥사아크릴레이트의 혼합물의 구체예는, 아로닉스 M-403(50∼60중량%), M-400(40∼50중량%), M-402(30∼40중량%, 이하 「M-402」라고 약기), M-404(30∼40중량%), M-406(25∼35중량%), 및 M-405(10∼20중량%)(모두 상품명; 도아 합성 주식회사, 괄호 내의 함유율은 혼합물 중의 디펜타에리스리톨펜타아크릴레이트의 함유율의 카탈로그 게재값)이다. 다염기산변성 (메타)아크릴 올리고머의 구체예로는, 아로닉스 M-510 및 M-520(모두 상품명; 도아 합성 주식회사)이다. 이소시아눌산에틸렌옥시드 변성 디아크릴레이트의 구체예는, 아로닉스 M-215(상품명; 도아 합성 주식회사)이다. 이소시아눌산에틸렌옥시드 변성 디아크릴레이트 및 이소시아눌산에틸렌옥시드 변성 트리아크릴레이트의 혼합물의 구체예는, 아로닉스 M-315(3∼13중량%, 이하 「M-315」라고 약기)(상품명; 도아 합성 주식회사, 괄호 내의 함유율은 혼합물 중의 이소시아눌산에틸렌옥시드 변성 디아크릴레이트의 함유율의 카탈로그 게재값)이다. Trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, polybasic acid modified (meth) acryl oligomer, isocyanuric acid ethylene oxide modified diacryl , Isocyanuric acid ethylene oxide-modified triacrylate, or mixtures thereof, the following commercially available products can be used. A specific example of trimethylolpropane triacrylate is Aronix M-309 (trade name, manufactured by Toa Synthetic Co., Ltd.). Specific examples of the mixture of pentaerythritol triacrylate and pentaerythritol tetraacrylate include Aronix M-306 (65 to 70 wt%), M-305 (55 to 63 wt%), M-303 %), M-452 (25-40 wt%) and M-450 (less than 10 wt%, hereinafter abbreviated as M-450) (all trade names: Doa Synthetic Co., Ltd., pentaerythritol tri Acrylate content). Specific examples of the mixture of dipentaerythritol pentaacrylate and dipentaerythritol hexaacrylate include Aronix M-403 (50 to 60 wt%), M-400 (40 to 50 wt%), M-402 40 to 40 wt%), M-406 (25 to 35 wt%), and M-405 (10 to 20 wt% ; The content ratio in parentheses is the catalog value of the content of dipentaerythritol pentaacrylate in the mixture). Concrete examples of the polybasic acid-modified (meth) acryl oligomer include Aronix M-510 and M-520 (all trade names, Doa Synthetic Co., Ltd.). A specific example of the isocyanuric acid ethylene oxide-modified diacrylate is Aronix M-215 (trade name, manufactured by Toa Gosei Co., Ltd.). Specific examples of the mixture of isocyanuric acid ethyleneoxide-modified diacrylate and isocyanuric acid ethyleneoxide-modified triacrylate include Aronix M-315 (3 to 13% by weight, hereinafter abbreviated as "M-315" Trade name, manufactured by Toa Seisakusho Co., Ltd., content in parentheses is the catalog value of the content of isocyanuric acid ethylene oxide-modified diacrylate in the mixture).

1-2-2. 중합성 이중 결합을 1분자당 1개 갖고, 또한, -OH 및-COOH로부터 선택되는 관능기를 1분자당 적어도 1개 갖는 화합물1-2-2. A compound having at least one polymerizable double bond per molecule and at least one functional group selected from -OH and -COOH

본 발명의 감광성 조성물에는 해상성의 관점에서, 중합성 이중 결합을 1분자당 1개 갖고, 또한, -OH 및-COOH로부터 선택되는 관능기를 1분자당 적어도 1개 갖는 화합물을 추가로 함유해도 된다. 중합성 이중 결합을 1분자당 1개 갖고, 또한, -OH 및 -COOH로부터 선택되는 관능기를 1분자당 적어도 1개 갖는 화합물은 폴리에스테르아미드산 100중량부에 대해, 1∼50중량부이면 해상성이 양호해져 바람직하다. The photosensitive composition of the present invention may further contain a compound having one polymerizable double bond per molecule and at least one functional group selected from -OH and -COOH per molecule from the viewpoint of resolution. The compound having one polymerizable double bond per molecule and having at least one functional group selected from -OH and -COOH per molecule is preferably used in an amount of 1 to 50 parts by weight per 100 parts by weight of the polyester amide acid, So that the property is preferable.

이러한 중합성 이중 결합을 1분자당 1개 갖고, 또한, -OH 및-COOH로부터 선택되는 관능기를 1분자당 적어도 1개 갖는 화합물로는, 예를 들면, (메타)아크릴산, 히드록시에틸(메타)아크릴레이트, 히드록시프로필(메타)아크릴레이트, 히드록시부틸(메타)아크릴레이트, 2-히드록시-3-페녹시프로필(메타)아크릴레이트, 숙신산 2-(메타)아크릴로일옥시에틸, 헥사히드로프탈산 2-(메타)아크릴로일옥시에틸, 프탈산 2-(메타)아크릴로일옥시에틸, 프탈산 2-(메타)아크릴로일옥시에틸-2-히드록시에틸, (메타)아크릴산 4-히드록시페닐, p-히드록시(메타)아크릴아닐리드, 4-히드록시부틸(메타)아크릴레이트, 1,4-시클로헥산디메탄올모노(메타)아크릴레이트, 글리세린모노(메타)아크릴레이트, 아크릴산 3-(2-히드록시페닐), 및 β-카르복시에틸(메타)아크릴레이트를 들 수 있다. Examples of the compound having one such polymerizable double bond per molecule and having at least one functional group selected from -OH and -COOH per molecule include (meth) acrylic acid, hydroxyethyl (meth) acrylate (Meth) acrylate, hydroxypropyl (meth) acrylate, hydroxybutyl (meth) acrylate, 2-hydroxy-3-phenoxypropyl (Meth) acryloyloxyethyl methacrylate, 2- (meth) acryloyloxyethyl phthalate, 2- (meth) acryloyloxyethyl-2-hydroxyethyl phthalate, 4- (Meth) acrylate, 3-hydroxybutyl (meth) acrylate, 1,4-cyclohexanedimethanol mono (meth) acrylate, glycerin mono - (2-hydroxyphenyl), and? -Carboxyethyl (meth) acrylate.

이들 중에서도 (메타)아크릴산 4-히드록시페닐 및 p-히드록시(메타)아크릴 아닐리드는 해상성이 양호해져 바람직하다. Of these, 4-hydroxyphenyl (meth) acrylate and p-hydroxy (meth) acrylanilide are preferable because their resolution is improved.

1-3. 광중합 개시제(C)1-3. The photopolymerization initiator (C)

본 발명의 감광성 조성물에 함유되는 광중합 개시제는 폴리에스테르아미드산, 중합성 이중 결합을 갖는 화합물, 광중합 개시제, 에폭시 화합물, 에폭시 경화제, 분자량 조정제를 함유하는 조성물의 중합을 개시할 수 있는 것이면 특별히 한정되는 것은 아니다. The photopolymerization initiator contained in the photosensitive composition of the present invention is particularly limited as long as it can initiate polymerization of a composition containing a polyester amide acid, a compound having a polymerizable double bond, a photopolymerization initiator, an epoxy compound, an epoxy curing agent and a molecular weight modifier It is not.

본 발명의 감광성 조성물에 함유되는 광중합 개시제로는, 벤조페논, 미힐러케톤, 4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논, 크산톤, 티옥산톤, 이소프로필크산톤, 2,4-디에틸티옥산톤, 2-에틸안트라퀴논, 아세토페논, 2-히드록시-2-메틸프로피오페논, 2-히드록시-2-메틸-4'-이소프로필프로피오페논, 1-히드록시시클로헥실페닐케톤, 이소프로필벤조인에테르, 이소부틸벤조인에테르, 2,2-디에톡시아세토페논, 2,2-디메톡시-2-페닐아세토페논, 캠퍼퀴논, 벤즈안트론, 2-메틸-1-[4-(메틸티오)페닐]-2-(4-모르폴리닐)-1-프로파논(예를 들면, 상품명; IRGACURE 907, BASF 재팬 주식회사), 2-(디메틸아미노)-1-(4-(4-몰르폴리노)페닐)-2-(페닐메틸)-1-부타논(예를 들면, 상품명; IRGACURE 369, BASF 재팬 주식회사), 4-디메틸아미노벤조산에틸, 4-디메틸아미노벤조산이소아밀, 4,4'-디(t-부틸퍼옥시카르보닐)벤조페논, 3,4,4'-트리(t-부틸퍼옥시카르보닐)벤조페논, 1,2-옥탄디온,1-[4-(페닐티오)페닐]-,2-(O-벤조일옥심)(예를 들면, 상품명; IRGACURE OXE01, BASF 재팬 주식회사), 에타논,1-[9-에틸-6-(2-메틸벤조일)-9H-카르바졸-3-일]-,1-(O-아세틸옥심)(예를 들면, 상품명; IRGACURE OXE02, BASF 재팬 주식회사), OXE03(상품명; BASF 재팬 주식회사), OXE04(상품명; BASF 재팬 주식회사), 1,2-프로판디온,1-[4-[4-(2-히드록시에톡시)페닐티오]페닐]-2-(O-아세틸옥심)(예를 들면, 상품명; 아데카아클즈 NCI-930, 주식회사 ADEKA), 아데카아클즈 NCI-831(상품명; 주식회사 ADEKA), 아데카옵토머 N-1919(상품명; 주식회사 ADEKA), 2,4,6-트리메틸벤조일디페닐포스핀옥사이드, 2-(4'-메톡시스티릴)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(3',4'-디메톡시스티릴)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(2',4'-디메톡시스티릴)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(2'-메톡시스티릴)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(4'-펜틸옥시스티릴)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-[p-N,N-디(에톡시카르보닐메틸)]-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 1,3-비스(트리클로로메틸)-5-(2'-클로로페닐)-s-트리아진, 1,3-비스(트리클로로메틸)-5-(4'-메톡시페닐)-s-트리아진, 2-(p-디메틸아미노스티릴)벤즈옥사졸, 2-(p-디메틸아미노스티릴)벤즈티아졸, 2-메르캅토벤조티아졸, 3,3'-카르보닐비스(7-디에틸아미노쿠마린), 2-(o-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸, 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라키스(4-에톡시카르보닐페닐)-1,2'-비이미다졸, 2,2'-비스(2,4-디클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸, 2,2'-비스(2,4-디브로모페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸, 2,2'-비스(2,4,6-트리클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸, 3-(2-메틸-2-디메틸아미노프로피오닐)카르바졸, 3,6-비스(2-메틸-2-모르폴리노프로피오닐)-9-n-도데실카르바졸, 1-히드록시시클로헥실페닐케톤, 및 비스(η5-2,4-시클로펜타디엔-1-일)-비스(2,6-디플루오로-3-(1H-피로필-1-일)-페닐)티타늄 등을 들 수 있다. Examples of the photopolymerization initiator contained in the photosensitive composition of the present invention include benzophenone, Michler's ketone, 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone, xanthone, thioxanthone, isopropylxanthone, Diethyl thioxanthone, 2-ethyl anthraquinone, acetophenone, 2-hydroxy-2-methylpropiophenone, 2-hydroxy-2-methyl-4'-isopropylpropiophenone, 1-hydroxycyclo Hexyl phenyl ketone, isopropyl benzoin ether, isobutyl benzoin ether, 2,2-diethoxy acetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, camphorquinone, benzanthrone, (IRGACURE 907, BASF Japan KK), 2- (dimethylamino) -1- (4-fluorophenyl) (Trade name: IRGACURE 369, BASF Japan Co., Ltd.), ethyl 4-dimethylaminobenzoate, 4-dimethylaminobenzoic acid Isoamyl, 4,4'-di (t-butylperoxycarbo 2- (O-methyl) benzophenone, 3,4,4'-tri (t-butylperoxycarbonyl) benzophenone, (9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] -, 1- OXE04 (trade name, BASF Japan Co., Ltd.), 1,2-propanedione, 1- [4-ethylhexyloxypropane (ADEKA NCI-930, ADEKA Co., Ltd.), Adeka's NCI-831 (trade name; available from Dainippon Ink and Chemicals, Incorporated) (ADEKA), Adeka Optomer N-1919 (trade name, ADEKA), 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, 2- (4'-methoxystyryl) -4,6 Bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (3 ', 4'-dimethoxystyryl) -4,6- 4'-dimethoxystyryl) -4,6- Bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4'-pentyloxystyryl) -4,6-bis (Trichloromethyl) -s-triazine, 4- [pN, N-di (ethoxycarbonylmethyl)] - 2,6- (Trichloromethyl) -5- (2'-chlorophenyl) -s-triazine, 1,3-bis (trichloromethyl) -Triazine, 2- (p-dimethylaminostyryl) benzoxazole, 2- (p-dimethylaminostyryl) benzthiazole, 2-mercaptobenzothiazole, 3,3'-carbonylbis -Diethylaminocoumarin), 2- (o-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole, 2,2'- -4,4 ', 5,5'-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) -1,2'-biimidazole, 2,2'-bis (2,4-dichlorophenyl) ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole, 2,2'-bis (2,4-dibromophenyl) -4,4', 5,5'-tetraphenyl- , 2'-biimidazole, 2,2'-bis (2,4,6-trickle (2-methyl-2-dimethylaminopropionyl) carbazole, 3,6-bis (2 -methyl-2-morpholino-propionyl) -9-n- dodecyl carbazole, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, and bis (η 5 -2,4- cyclopentadiene-1-yl) -bis (2,6-difluoro-3- (1H-pyrrolyl-1-yl) -phenyl) titanium.

광중합 개시제는 단독으로 사용해도 되고, 2개 이상을 혼합하여 사용해도 된다. 광중합 개시제 중에서도, α-아미노알킬페논계, 아실포스핀옥사이드계, 옥심에스테르계 광중합 개시제인 것이, 노광시의 도막의 감도 및 경화막의 투명성의 관점에서 바람직하다. 한편, 본 명세서에서는 기판상에 스핀 코트, 인쇄 그 외의 방법으로 형성된 감광성 조성물의 박막을 예비 건조(프리베이크)하여 얻어진 박막을 「도막」이라고 칭한다. 이 도막은 그 후의 노광-현상-세정-건조 등의 공정을 거친 후, 본 소성(포스트베이크)에 의해 경화막이 된다. 본 명세서에서는 상기 예비 가열부터 건조까지의 공정에 있어서의 박막을 모두 「도막」으로 하고, 예를 들면, 「노광시의 도막」, 「현상 후의 도막」이라는 표기에 의해, 성막 공정의 어느 단계의 도막인지를 나타내도록 한다. The photopolymerization initiator may be used alone, or two or more photopolymerization initiators may be used in combination. Of the photopolymerization initiators, α-aminoalkylphenone-based, acylphosphine oxide-based and oximeester-based photopolymerization initiators are preferable from the viewpoints of sensitivity of the coating film at the time of exposure and transparency of the cured film. In the present specification, a thin film obtained by preliminarily drying (prebaking) a thin film of a photosensitive composition formed on a substrate by spin coating, printing or other methods is referred to as a " coating film ". This coating film is subjected to a subsequent process such as exposure-development-cleaning-drying, and then becomes a cured film by main firing (post-baking). In the present specification, the thin films in the steps from the preliminary heating to the drying are all referred to as " coating films ", and at any stage of the film formation process, for example, To indicate whether it is a coated film.

광중합 개시제 중에서도 1,2-옥탄디온,1-[4-(페닐티오)페닐]-,2-(O-벤조일옥심) 또는 1,2-프로판디온,1-[4-[4-(2-히드록시에톡시)페닐티오]페닐]-2-(O-아세틸옥심)이 광중합 개시제의 전체 중량에 대해 20중량% 이상인 것이, 도막의 감도 및 경화막의 투명성의 관점에서 보다 바람직하다. 또한, 50중량% 이상이면 더욱 바람직하다. 광중합 개시제가 1,2-옥탄디온,1-[4-(페닐티오)페닐]-,2-(O-벤조일옥심) 또는 1,2-프로판디온,1-[4-[4-(2-히드록시에톡시)페닐티오]페닐]-2-(O-아세틸옥심)만으로 이루어지는 것이라도 된다. Among the photopolymerization initiators, 1- [4- [4- (2- (4-fluorophenyl) phenyl] Hydroxyethoxy) phenylthio] phenyl] -2- (O-acetyloxime) is preferably 20% by weight or more based on the total weight of the photopolymerization initiator from the viewpoints of sensitivity of the coating film and transparency of the cured film. It is more preferable that the content is 50% by weight or more. Wherein the photopolymerization initiator is at least one selected from the group consisting of 1,2-octanedione, 1- [4- (phenylthio) phenyl], 2- (O-benzoyloxime) Hydroxyethoxy) phenylthio] phenyl] -2- (O-acetyloxime) alone.

1-4. 에폭시기를 갖는 중합체(D)1-4. The polymer (D) having an epoxy group

본 발명에 사용되는 에폭시기를 갖는 중합체는 중량 평균 분자량이 3,000 이상이다. 본 발명의 감광성 조성물에 에폭시 화합물을 첨가함으로써, 경화막의 내열성, 내용제성, 내약품성을 높일 수 있다. The polymer having an epoxy group used in the present invention has a weight average molecular weight of 3,000 or more. By adding an epoxy compound to the photosensitive composition of the present invention, the heat resistance, solvent resistance, and chemical resistance of the cured film can be enhanced.

에폭시기를 갖는 중합체는 글리시딜(메타)아크릴레이트와 다른 라디칼 중합 성 모노머를 반응시킴으로써 얻어진다. 이러한 에폭시기를 갖는 공중합체를 사용하는 것은 감광성 조성물로부터 얻어지는 경화막의 투명성이 높아지고, UV 오존 처리 공정이나 자외선 노광 공정에서의 투명성 저하를 억제할 수 있기 때문에 바람직하다. 글리시딜(메타)아크릴레이트는 에폭시기를 갖는 공중합체를 구성하는 전체 모노머 중, 50∼99중량%를 차지하는 것이, 평탄성, 내열성, 내용제성의 관점에서 바람직하다. Polymers having epoxy groups are obtained by reacting glycidyl (meth) acrylate with other radically polymerizable monomers. Use of such a copolymer having an epoxy group is preferable because the transparency of the cured film obtained from the photosensitive composition is enhanced and the deterioration of transparency in the UV ozone treatment process and ultraviolet exposure process can be suppressed. Glycidyl (meth) acrylate preferably accounts for 50 to 99% by weight of all the monomers constituting the copolymer having an epoxy group from the viewpoints of flatness, heat resistance and solvent resistance.

다른 라디칼 중합성 모노머로는 단관능 (메타)아크릴레이트, 2관능 (메타)아크릴레이트 및 3관능 이상의 다관능 (메타)아크릴레이트를 예시할 수 있다. 감광성 조성물로부터 얻어지는 경화막의 내열성, 내약품성을 향상시키려면, 3관능 이상의 다관능 (메타)아크릴레이트를 사용하는 것이 바람직하고, 한편, 경화막의 평탄성, 조성물 중에서의 폴리에스테르아미드산과의 상용성을 향상시키려면, 단관능 (메타)아크릴레이트를 사용하는 것이 바람직하다. 그러나, 경화막의 내열성, 내용제성과 경화막의 평탄성, 조성물 중에서의 폴리에스테르아미드산과의 상용성은 트레이드 오프하는 경향이 있기 때문에, 이들 성능을 균형있게 발휘시키기 위해서는, 2관능 (메타)아크릴레이트를 사용하는 것이 바람직하다. Other radical polymerizable monomers include monofunctional (meth) acrylate, bifunctional (meth) acrylate and trifunctional or higher polyfunctional (meth) acrylate. In order to improve the heat resistance and chemical resistance of the cured film obtained from the photosensitive composition, it is preferable to use a trifunctional or more polyfunctional (meth) acrylate. On the other hand, the flatness of the cured film and the compatibility with the polyester amide acid , It is preferable to use monofunctional (meth) acrylate. However, since the heat resistance of the cured film, the smoothness of the solvent resistance and the flatness of the cured film, and the compatibility with the polyester amide acid in the composition tend to trade off, in order to exhibit these performances in a balanced manner, .

2관능 (메타)아크릴레이트의 바람직한 예로는, 에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 디에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 1,4-부탄디올디(메타)아크릴레이트, 1,3-부탄디올디(메타)아크릴레이트, 네오펜틸글리콜디(메타)아크릴레이트, 트리시클로데칸디메탄올디(메타)아크릴레이트를 들 수 있다. 이들은 글리시딜(메타)아크릴레이트와 반응시킴으로써 얻어지는 에폭시기를 갖는 중합체의 폴리에스테르아미드산과의 상용성이 양호해지기 때문에 바람직하다. 2관능 (메타)아크릴레이트는 에폭시기를 갖는 중합체의 원료가 되는 전체 모노머 중 1∼30중량부 함유되는 것이, 평탄성, 내열성, 내약품성의 관점에서 바람직하다. Preferable examples of the bifunctional (meth) acrylate include ethylene glycol di (meth) acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate, 1,4-butanediol di (meth) acrylate, (Meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, and tricyclodecane dimethanol di (meth) acrylate. These are preferable because compatibility with a polyester amide acid of a polymer having an epoxy group obtained by reacting with glycidyl (meth) acrylate is improved. The bifunctional (meth) acrylate is preferably contained in an amount of 1 to 30 parts by weight based on the total monomers to be used as a raw material for the polymer having an epoxy group from the viewpoints of flatness, heat resistance and chemical resistance.

상기 에폭시기를 갖는 중합체는 원료 성분으로서 글리시딜(메타)아크릴레이트와 2관능 (메타)아크릴레이트 이외의 라디칼 중합성 모노머를 포함해도 된다. 이와 같은 그 밖의 라디칼 중합성 모노머는 0∼20중량% 함유되어 있는 것이, 본 발명의 효과를 저해하지 않고, 상기 그 밖의 라디칼 중합성 모노머에 의한 특성을 발현시키는 관점에서 바람직하다. 그 밖의 라디칼 중합성 모노머로는, 상기 단관능 (메타)아크릴레이트 및 3관능 이상의 다관능 (메타)아크릴레이트를 사용할 수 있다. The polymer having an epoxy group may contain a radical polymerizable monomer other than glycidyl (meth) acrylate and bifunctional (meth) acrylate as a raw material component. Such other radically polymerizable monomer is contained in an amount of 0 to 20% by weight from the viewpoint of exhibiting the properties of the other radically polymerizable monomer without impairing the effect of the present invention. As the other radical polymerizable monomer, the monofunctional (meth) acrylate and the trifunctional or more polyfunctional (meth) acrylate can be used.

단관능 (메타)아크릴레이트의 구체예는, 메틸(메타)아크릴레이트, 부틸(메타)아크릴레이트, 시클로헥실(메타)아크릴레이트, 이소보르닐(메타)아크릴레이트, 디시클로펜타닐(메타)아크릴레이트, 디시클로펜테닐(메타)아크릴레이트, 디시클로펜테닐옥시에틸(메타)아크릴레이트, 페닐(메타)아크릴레이트, 벤질(메타)아크릴레이트, 메톡시폴리에틸렌글리콜(메타)아크릴레이트, 2-히드록시에틸(메타)아크릴레이트, 2-히드록시프로필(메타)아크릴레이트, 글리세롤모노(메타)아크릴레이트, m-페녹시벤질(메타)아크릴레이트, 및 테트라히드로푸르푸릴(메타)아크릴레이트이다. Specific examples of the monofunctional (meth) acrylate include methyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, dicyclopentanyl (Meth) acrylate, methoxypolyethylene glycol (meth) acrylate, dicyclopentenyloxyethyl (meth) acrylate, phenyl (meth) acrylate, benzyl (Meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, glycerol mono (meth) acrylate, m-phenoxybenzyl (meth) acrylate and tetrahydrofurfuryl .

3관능 이상의 다관능 (메타)아크릴레이트의 구체예는, 트리메틸올프로판트리(메타)아크릴레이트, 펜타에리스리톨트리아크릴레이트, 트리메틸올프로판에톡시트리아크릴레이트, 트리메틸올프로판프로폭시트리아크릴레이트, 에톡시화 이소시아눌산트리아크릴레이트, ε-카프로락톤 변성 트리스-(2-아크릴옥시에틸)이소시아누레이트, 글리세린에톡시트리아크릴레이트, 글리세린프로폭시트리아크릴레이트, 디트리메틸올프로판테트라아크릴레이트, 펜타에리스리톨테트라아크릴레이트, 에톡시화 펜타에리스리톨테트라아크릴레이트이다. Specific examples of the trifunctional or more polyfunctional (meth) acrylate include trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol triacrylate, trimethylolpropaneethoxy triacrylate, trimethylolpropane propoxy triacrylate, (2-acryloxyethyl) isocyanurate, glycerin ethoxy triacrylate, glycerin propoxy triacrylate, ditrimethylol propane tetraacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, Erythritol tetraacrylate, and ethoxylated pentaerythritol tetraacrylate.

그 밖의 라디칼 중합성 모노머는 1종류라도 2종류 이상이라도 된다. The other radically polymerizable monomers may be used alone or in combination of two or more.

글리시딜(메타)아크릴레이트와 2관능 (메타)아크릴레이트를 필수 원료 성분으로 하여 반응시킴으로써 얻어지는 에폭시기를 갖는 중합체의 중량 평균 분자량은 3,000∼50,000인 것이 바람직하고, 3,000∼20,000이 보다 바람직하다. 분자량이 이들 범위에 있으면, 충분한 해상성, 평탄성, 내열성, 내약품성이 얻어진다. The weight average molecular weight of the polymer having an epoxy group obtained by reacting glycidyl (meth) acrylate and bifunctional (meth) acrylate as essential raw material components is preferably 3,000 to 50,000, more preferably 3,000 to 20,000. When the molecular weight is within these ranges, sufficient resolution, flatness, heat resistance and chemical resistance can be obtained.

1-4-1. 에폭시기를 갖는 중합체의 합성 반응에 사용되는 용제1-4-1. The solvent used for the synthesis reaction of the polymer having an epoxy group

글리시딜(메타)아크릴레이트와 2관능 (메타)아크릴레이트를 필수 원료 성분으로 하여 반응시킴으로써 얻어지는 에폭시기를 갖는 중합체의 합성에는 적어도 용제가 필요하다. At least a solvent is required for the synthesis of a polymer having an epoxy group obtained by reacting glycidyl (meth) acrylate and bifunctional (meth) acrylate as essential raw material components.

에폭시기를 갖는 중합체를 얻기 위한 중합 반응에 사용되는 용제의 구체예 로는, 디에틸렌글리콜디메틸에테르, 디에틸렌글리콜메틸에틸에테르, 디에틸렌글리콜디에틸에테르, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 3-메톡시프로피온산메틸, 3-에톡시프로피온산에틸, 락트산에틸, 시클로헥사논, N-메틸-2-피롤리돈, 및 N,N-디메틸아세트아미드를 들 수 있다. 이들 중에서도, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 3-메톡시프로피온산메틸 및 디에틸렌글리콜메틸에틸에테르가 바람직하다. Specific examples of the solvent used in the polymerization reaction for obtaining the polymer having an epoxy group include diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl Ethyl acetate, propyleneglycol monomethyl ether acetate, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, ethyl lactate, cyclohexanone, N-methyl-2-pyrrolidone, and N, . Among these, propylene glycol monomethyl ether acetate, methyl 3-methoxypropionate and diethylene glycol methyl ethyl ether are preferable.

이들 용제는 단독, 또는 2종 이상의 혼합 용제로서 사용할 수 있다. 또한, 용제의 전체량에 대하여 30중량% 이하의 비율이면, 상기 용제 이외에 다른 용제를 혼합하여 사용할 수도 있다. These solvents may be used alone or in combination of two or more. If the proportion is 30% by weight or less based on the total amount of the solvent, a solvent other than the above solvent may be mixed and used.

1-4-2. 에폭시기를 갖는 중합체의 합성 방법1-4-2. Method for synthesizing a polymer having an epoxy group

에폭시기를 갖는 중합체의 합성 방법은 특별히 제한되지 않지만, 용제를 사용한 용액 중에서의 라디칼 중합이 바람직하다. 반응 용제는 글리시딜(메타)아크릴레이트, 2관능 (메타)아크릴레이트, 및 필요에 따라 사용되는 그 밖의 라디칼 중합성 모노머의 합계 100중량부에 대해 100중량부 이상 사용하면, 반응이 원활하게 진행되기 때문에 바람직하다. 중합 온도는 사용하는 중합 개시제로부터 라디칼이 충분히 발생하는 온도이면 특별히 한정되지 않지만, 통상 50℃∼150℃의 범위이다. 중합 시간도 특별히 한정되지 않지만, 통상 1∼24시간의 범위이다. 또한, 당해 중합은 가압, 감압 또는 대기압 중 어느 압력하에서도 행할 수 있다. A method of synthesizing a polymer having an epoxy group is not particularly limited, but radical polymerization in a solution using a solvent is preferable. When the reaction solvent is used in an amount of 100 parts by weight or more per 100 parts by weight of the total of the glycidyl (meth) acrylate, the bifunctional (meth) acrylate, and other radical polymerizable monomers used if necessary, It is preferable. The polymerization temperature is not particularly limited as long as a radical is sufficiently generated from the polymerization initiator to be used, but is usually in the range of 50 to 150 캜. The polymerization time is not particularly limited, but is usually in the range of 1 to 24 hours. Further, the polymerization can be carried out under any pressure of pressure, reduced pressure or atmospheric pressure.

에폭시기를 갖는 중합체의 합성에는 공지의 중합 개시제를 사용할 수 있다. 중합 개시제로는 열에 의해 라디칼을 발생시키는 화합물, 아조비스이소부티로니트릴 등의 아조계 개시제, 및 과산화 벤조일 등의 과산화물계 개시제를 들 수 있다. 라디칼 중합 반응에서는 생성되는 공중합체의 분자량을 조절하기 위해, 티오글리콜산 등의 연쇄 이동제를 적당량 첨가해도 된다. A known polymerization initiator may be used for the synthesis of the polymer having an epoxy group. Examples of the polymerization initiator include a compound capable of generating a radical by heat, an azo-based initiator such as azobisisobutyronitrile, and a peroxide-based initiator such as benzoyl peroxide. In the radical polymerization, an appropriate amount of a chain transfer agent such as thioglycolic acid may be added in order to control the molecular weight of the resulting copolymer.

에폭시기를 갖는 중합체는 합성에 사용한 용제를 그대로 남겨서 핸들링성 등을 고려한 에폭시 화합물 용액으로 해도 되고, 이 용제를 제거하여 운반성 등을 고려한 고체 형상의 에폭시 화합물로 해도 된다. The polymer having an epoxy group may be an epoxy compound solution in which the solvent used for synthesis is left as it is in consideration of handling property and the like. The solvent may be removed to obtain a solid epoxy compound taking into account the transportability and the like.

1-5. 에폭시 화합물(E)1-5. The epoxy compound (E)

본 발명에 사용되는 에폭시 화합물은 에폭시기를 1분자당 2∼10개 포함하고, 또한 중량 평균 분자량이 3,000 미만이다. 본 발명의 감광성 조성물에 에폭시 화합물을 첨가함으로써, 경화막의 내열성을 높일 수 있다. The epoxy compound used in the present invention contains 2 to 10 epoxy groups per molecule and has a weight average molecular weight of less than 3,000. By adding an epoxy compound to the photosensitive composition of the present invention, the heat resistance of the cured film can be increased.

에폭시 화합물의 바람직한 예로는, 3',4'-에폭시시클로헥실메틸-3,4-에폭시시클로헥산카르복시레이트(예를 들면, 상품명; 셀록사이드 2021P, 주식회사 다이셀), 1-메틸-4-(2-메틸옥시라닐)-7-옥사비시클로[4.1.0]헵탄(예를 들면, 상품명; 셀록사이드 3000, 주식회사 다이셀), 2-[4-(2,3-에폭시프로폭시)페닐]-2-[4-[1,1-비스[4-(2,3-에폭시프로폭시)페닐]에틸]페닐]프로판과 1,3-비스[4-[1-[4-(2,3-에폭시프로폭시)페닐]-1-[4-[1-[4-(2,3-에폭시프로폭시)페닐]-1-메틸에틸]페닐]에틸]페녹시]-2-프로판올과의 혼합물(예를 들면, 상품명; TECHMORE VG3101L, 주식회사 프린텍), 2-[4-(2,3-에폭시프로폭시)페닐]-2-[4-[1,1-비스[4-(2,3-에폭시프로폭시)페닐]에틸]페닐]프로판, 1,1,1-트리스(4-히드록시페닐)에탄트리글리시딜에테르(예를 들면, 상품명; jER 1032H60, 미츠비시 케미컬 주식회사), 1,3-비스(옥시라닐메틸)-5-(2-프로페닐)-1,3,5-트리아진-2,4,6(1H,3H,5H)-트리온, 2,2-비스(히드록시메틸)-1-부탄올의 1,2-에폭시-4-(2-옥시라닐)시클로헥산 부가물(예를 들면, 상품명; EHPE3150, 주식회사 다이셀) 등을 들 수 있다. Preferable examples of the epoxy compound include 3 ', 4'-epoxycyclohexylmethyl-3,4-epoxycyclohexanecarboxylate (for example, trade name: Celloxide 2021P, (2-methyloxylanyl) -7-oxabicyclo [4.1.0] heptane (trade name, Celloxide 3000, Bis [4- [1- [4- (2,3-epoxypropoxy) phenyl] ethyl] phenyl] -1-methylpropyl] phenyl] ethyl] phenoxy] -2-propanol in the form of a mixture of 1- [4- [1- (2,3-epoxypropoxy) phenyl] -2- [4- [1,1-bis [4- (2,3- (Trade name: jER 1032H60, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), 1,1,1-tris (4-hydroxyphenyl) Bis (oxiranyl (1H, 3H, 5H) -triene, 2,2-bis (hydroxymethyl) -1- 1,2-epoxy-4- (2-oxiranyl) cyclohexane adduct of butanol (trade name: EHPE3150, Daicel Co., Ltd.).

에폭시기를 갖는 중합체(D) 및 에폭시 화합물(E)의 총량은 폴리에스테르아미드산(A) 100중량부에 대해, 20∼200중량부이면 평탄성이 양호해져 바람직하다. The total amount of the epoxy group-containing polymer (D) and the epoxy compound (E) is preferably from 20 to 200 parts by weight, based on 100 parts by weight of the polyester amide acid (A).

1-6. 에폭시 경화제(F)1-6. The epoxy curing agent (F)

본 발명의 감광성 조성물에는 평탄성, 내약품성, 내용제성을 향상시키기 위해, 에폭시 경화제가 사용된다. 에폭시 경화제로는 산 무수물계 경화제, 아민계 경화제, 페놀계 경화제, 이미다졸계 경화제, 촉매형 경화제, 및 술포늄염, 벤조티아조늄염, 암모늄염, 포스포늄염 등의 감열성 산발생제 등이 있지만, 경화막의 착색을 피하는 것 및 경화막의 내열성의 관점에서, 산 무수물계 경화제 또는 이미다졸계 경화제가 바람직하다. In the photosensitive composition of the present invention, an epoxy curing agent is used to improve the flatness, chemical resistance and solvent resistance. Examples of the epoxy curing agent include acid anhydride type curing agents, amine type curing agents, phenol type curing agents, imidazole type curing agents, catalyst type curing agents, and thermosensitive acid generators such as sulfonium salts, benzothiazonium salts, ammonium salts and phosphonium salts , An acid anhydride-based curing agent or an imidazole-based curing agent is preferable from the viewpoint of avoiding coloring of the cured film and the heat resistance of the cured film.

산 무수물계 경화제의 구체예로는, 지방족 디카르복실산 무수물, 예를 들면, 무수 말레산, 무수 테트라히드로프탈산, 무수 헥사히드로프탈산, 무수 메틸헥사히드로프탈산, 헥사히드로트리멜리트산 무수물 등, 방향족 다가 카르복실산 무수물, 예를 들면, 무수 프탈산, 트리멜리트산 무수물 등을 들 수 있다. 이들 중에서도, 감광성 조성물의 용제에 대한 용해성을 손상하는 일 없이 경화막의 내열성을 향상시킬 수 있는 트리멜리트산 무수물 및 헥사히드로트리멜리트산 무수물이 특히 바람직하다. Specific examples of the acid anhydride-based curing agent include aliphatic dicarboxylic acid anhydrides such as maleic anhydride, tetrahydrophthalic acid anhydride, hexahydrophthalic anhydride, methylhexahydrophthalic acid anhydride, and hexahydrotrimellitic anhydride, And polycarboxylic acid anhydrides such as phthalic anhydride and trimellitic anhydride. Among them, trimellitic acid anhydride and hexahydrotrimellitic acid anhydride which can improve the heat resistance of the cured film without impairing the solubility of the photosensitive composition in a solvent are particularly preferable.

이미다졸계 경화제의 구체예로는, 2-운데실이미다졸, 2-헵타데실이미다졸, 2-페닐이미다졸, 2-페닐-4-메틸이미다졸, 2,3-디히드로-1H-피롤로[1,2-a]벤즈이미다졸, 1-시아노에틸-2-운데실이미다졸륨트리멜리테이트를 들 수 있다. 이들 중에서도, 감광성 조성물의 용제에 대한 용해성을 손상하는 일 없이 경화막의 경화성을 향상시킬 수 있는 2-운데실이미다졸이 특히 바람직하다. Specific examples of the imidazole-based curing agent include 2-undecylimidazole, 2-heptadecylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, -1H-pyrrolo [1,2-a] benzimidazole, and 1-cyanoethyl-2-undecylimidazolium trimellitate. Of these, 2-undecylimidazole is particularly preferable, which can improve the curability of the cured film without impairing the solubility of the photosensitive composition in a solvent.

1-7. 분자량 조정제(G)1-7. Molecular weight adjuster (G)

본 발명의 감광성 조성물에는 중합에 의해 분자량이 높아지는 것을 억제하고, 우수한 해상성을 발현하기 위해, 분자량 조정제를 사용한다. 분자량 조정제로는 메르캅탄류, 크산토겐류, 퀴논류, 히드로퀴논류, 페놀류, 카테콜류, 크레졸류, 2,4-디페닐-4-메틸-1-펜텐 및 페노티아진 등을 들 수 있다. In the photosensitive composition of the present invention, a molecular weight regulator is used in order to suppress the increase in the molecular weight by polymerization and to exhibit excellent resolution. Molecular weight adjusting agents include mercaptans, xanthogens, quinones, hydroquinones, phenols, catechol, cresols, 2,4-diphenyl-4-methyl-1-pentene and phenothiazine.

분자량 조정제의 구체예로는, 1,4-나프토퀴논, 2-히드록시-1,4-나프토퀴논, 1,2-벤조퀴논, 1,4-벤조퀴논, 메틸-p-벤조퀴논, 안트라퀴논, 히드로퀴논, 메틸히드로퀴논, t-부틸히드로퀴논, 2,5-디-t-부틸히드로퀴논, 2,5-디-t-아밀히드로퀴논, 1,4-디히드록시나프탈렌, 3,6-디히드록시벤조노르보르난, 4-메톡시페놀, 2,2',6,6'-테트라-t-부틸-4,4'-디히드록시비페닐, 3-(3,5-디-t-부틸-4-히드록시페닐)프로피온산스테아릴, 2,2'-메틸렌비스(6-t-부틸-4-에틸페놀), 2,4,6-트리스(3',5'-디-t-부틸-4'-히드록시벤질)메시틸렌, 펜타에리스리톨테트라키스[3-(3,5-디-t-부틸-4-히드록시페닐)프로피오네이트], 4-t-부틸피로카테콜, n-헥실메르캅탄, n-옥틸메르캅탄, n-도데실메르캅탄, t-도데실메르캅탄, 티오글리콜산, 디메틸크산토겐술피드, 디이소프로필크산토겐디술피드, 2,6-디-t-부틸-p-크레졸, 4,4'-부틸리덴비스(6-t-부틸-m-크레졸), 4,4'-티오비스(6-t-부틸-m-크레졸), 2,4-디페닐-4-메틸-1-펜텐, 페노티아진 등을 들 수 있다. Specific examples of the molecular weight regulator include 1,4-naphthoquinone, 2-hydroxy-1,4-naphthoquinone, 1,2-benzoquinone, 1,4- Anthraquinone, hydroquinone, methylhydroquinone, t-butylhydroquinone, 2,5-di-t-butylhydroquinone, 2,5-di-t-amylhydroquinone, 1,4-dihydroxynaphthalene, 4-methoxyphenol, 2,2 ', 6,6'-tetra-t-butyl-4,4'-dihydroxybiphenyl, 3- (3,5- Butyl-4-hydroxyphenyl) propionic acid stearyl, 2,2'-methylenebis (6-t- Butyl-4'-hydroxybenzyl) mesitylene, pentaerythritol tetrakis [3- (3,5-di-t-butyl-4-hydroxyphenyl) propionate], 4- hexyl mercaptan, n-octyl mercaptan, n-dodecyl mercaptan, t-dodecyl mercaptan, thioglycolic acid, dimethyl xanthogen sulfide, diisopropyl xanthogen disulfide, t-butyl-p-cresol, 4,4 (6-t-butyl-m-cresol), 4,4'-thiobis (6-t- Pentene, phenothiazine, and the like.

분자량 조정제는 단독으로 사용해도 되고, 2개 이상을 조합하여 사용해도 된다. 분자량 조정제 중에서도, 나프토퀴논계 분자량 조정제이면, 우수한 해상성을 발현한다는 점에서 바람직하다. The molecular weight modifier may be used alone or in combination of two or more. Of the molecular weight regulators, naphthoquinone molecular weight regulators are preferred because they exhibit excellent resolution.

분자량 조정제 중에서도 페놀성 수산기를 갖는 2-히드록시-1,4-나프토퀴논이면, 해상성의 관점에서 보다 바람직하다. 또한, 광중합 개시제의 함유량이 분자량 조정제의 함유량의 5.0배 보다 많고, 30배 미만이 되도록 분자량 조정제를 함유하는 것이 해상성의 관점에서 바람직하고, 광중합 개시제의 함유량이 분자량 조정제의 함유량의 5.1배 보다 많고, 20배 이하가 되도록 분자량 조정제를 함유하는 것이 보다 바람직하다. 광중합 개시제의 함유량이 분자량 조정제의 함유량의 5.2배 보다 많고, 10배 이하가 되도록 분자량 조정제를 함유하는 것이 더욱 바람직하다.Among the molecular weight regulators, 2-hydroxy-1,4-naphthoquinone having a phenolic hydroxyl group is more preferable from the viewpoint of resolution. It is more preferable that the content of the photopolymerization initiator is more than 5.0 times the content of the molecular weight regulator and the content of the photopolymerization initiator is more than 5.1 times the content of the molecular weight regulator, And more preferably 20 times or less. It is more preferable that the content of the photopolymerization initiator is more than 5.2 times the content of the molecular weight regulator, and the content of the photopolymerization initiator is 10 times or less.

1-8. 폴리에스테르아미드산, 중합성 이중 결합을 갖는 화합물, 광중합 개시제, 에폭시기를 갖는 중합체, 에폭시 화합물, 에폭시 경화제 및 분자량 조정제의 비율 1-8. A ratio of a polyester amide acid, a compound having a polymerizable double bond, a photopolymerization initiator, a polymer having an epoxy group, an epoxy compound, an epoxy curing agent,

본 발명의 감광성 조성물에 있어서, 폴리에스테르아미드산 100중량부에 대한, 중합성 이중 결합을 갖는 화합물의 비율은 20∼300중량부이다. 중합성 이중 결합을 갖는 화합물의 비율이 이 범위이면, 내열성, 평탄성, 내약품성, 현상 후 잔막율의 밸런스가 양호하다. 중합성 이중 결합을 갖는 화합물이 100∼300중량부의 범위이면 더욱 바람직하다.In the photosensitive composition of the present invention, the ratio of the polymerizable double bond-containing compound to the polyester amide acid is from 20 to 300 parts by weight based on 100 parts by weight of the polyester amide acid. When the proportion of the compound having a polymerizable double bond is within this range, the balance of heat resistance, flatness, chemical resistance, and residual film ratio after development is satisfactory. More preferably, the compound having a polymerizable double bond is in a range of 100 to 300 parts by weight.

폴리에스테르아미드산 100중량부에 대한, 광중합 개시제의 비율은 2∼60중량 부이다. 광중합 개시제의 비율이 이 범위인 것이 노광시의 도막의 감도의 관점에서 바람직하다. The ratio of the photopolymerization initiator to 100 parts by weight of the polyester amide acid is 2 to 60 parts by weight. The ratio of the photopolymerization initiator within this range is preferable from the viewpoint of the sensitivity of the coating film upon exposure.

본 발명의 감광성 조성물에 있어서, 폴리에스테르아미드산 100중량부에 대한, 에폭시기를 갖는 중합체와 에폭시 화합물의 합계량의 비율은 20∼200중량부이다. 에폭시기를 갖는 중합체와 에폭시 화합물의 합계량의 비율이 이 범위이면, 내열성, 평탄성의 밸런스가 양호하다. 에폭시기를 갖는 중합체와 에폭시 화합물의 합계량이 20∼150중량부의 범위이면 더욱 바람직하다.In the photosensitive composition of the present invention, the ratio of the total amount of the epoxy group-containing polymer and the epoxy compound to 100 parts by weight of the polyester amide acid is 20 to 200 parts by weight. When the ratio of the total amount of the epoxy group-containing polymer and the epoxy compound is in this range, the balance between heat resistance and flatness is good. More preferably, the total amount of the epoxy compound-containing polymer and the epoxy compound is in the range of 20 to 150 parts by weight.

에폭시기를 갖는 중합체와 에폭시 화합물의 합계량에 대한 에폭시 경화제의 비율은 에폭시기를 갖는 중합체와 에폭시 화합물의 합계량 100중량부에 대해, 에폭시 경화제 0.1∼60중량부이다. 예를 들면 에폭시 경화제가 산 무수물계 경화제의 경우의 첨가량에 대해서, 보다 상세하게는 에폭시기에 대하여, 에폭시 경화제 중의 카르복실산 무수물기 또는 카르복실기가 0.1∼1.5배당량이 되도록 첨가하는 것이 바람직하다. 이때, 카르복실산 무수물기는 2가로 계산한다. 카르복실산 무수물기 또는 카르복실기가 0.15∼0.8배당량이 되도록 첨가하면 내약품성이 한층 향상되기 때문에, 더욱 바람직하다.The ratio of the epoxy curing agent to the total amount of the polymer having an epoxy group and the epoxy compound is 0.1 to 60 parts by weight of the epoxy curing agent with respect to 100 parts by weight of the total amount of the polymer having an epoxy group and the epoxy compound. For example, it is preferable to add the epoxy curing agent so that the amount of the carboxylic anhydride group or the carboxyl group in the epoxy curing agent is 0.1 to 1.5 times as much as the amount of the epoxy curing agent in the case of the acid anhydride curing agent. At this time, the carboxylic acid anhydride group is calculated two times. More preferably 0.15 to 0.8 parts by weight of the carboxylic acid anhydride group or the carboxyl group because the chemical resistance is further improved.

1-9. 그 밖의 성분 1-9. Other components

본 발명의 감광성 조성물에는 도포 균일성, 접착성을 향상시키기 위해 각종 첨가제를 첨가할 수 있다. 첨가제에는 용제, 광산 발생제, 음이온계, 양이온계, 비이온계, 불소계 또는 실리콘계의 계면활성제, 밀착성 향상제, 힌더드페놀계, 힌더드아민계, 인계, 유황계 화합물 등의 산화방지제를 주로 들 수 있다. Various additives may be added to the photosensitive composition of the present invention in order to improve coating uniformity and adhesiveness. The additives include antioxidants such as solvents, photoacid generators, anionic, cationic, nonionic, fluorine or silicon surfactants, adhesion improvers, hindered phenols, hindered amines, phosphorus, .

1-9-1. 용제1-9-1. solvent

본 발명의 감광성 조성물에는 용제가 첨가되어도 된다. 본 발명의 감광성 조성물에 임의로 첨가되는 용제는 폴리에스테르아미드산, 중합성 이중 결합을 갖는 화합물, 에폭시 화합물, 에폭시 경화제 등이 용해되는 용제가 바람직하다. 당해 용제의 구체예는, 아세트산에틸, 아세트산부틸, 아세트산프로필, 프로피온산부틸, 락트산에틸, 메톡시아세트산메틸, 메톡시아세트산에틸, 메톡시아세트산부틸, 에톡시아세트산메틸, 에톡시아세트산에틸, 3-옥시프로피온산메틸, 3-히드록시프로피온산에틸, 3-메톡시프로피온산메틸, 3-메톡시프로피온산에틸, 3-에톡시프로피온산메틸, 3-에톡시프로피온산에틸, 2-히드록시프로피온산메틸, 2-히드록시프로피온산프로필, 2-메톡시프로피온산메틸, 2-메톡시프로피온산에틸, 2-메톡시프로피온산프로필, 2-에톡시프로피온산메틸, 2-에톡시프로피온산에틸, 2-히드록시-2-메틸프로피온산메틸, 2-히드록시-2-메틸프로피온산에틸, 2-메톡시-2-메틸프로피온산메틸, 2-에톡시-2-메틸프로피온산에틸, 피루브산메틸, 피루브산에틸, 피루브산프로필, 아세토아세트산에틸, 아세토아세트산에틸, 2-옥소부탄산메틸, 2-옥소부탄산에틸, 4-히드록시-4-메틸-2-펜타논, 1,4-부탄디올, 프로필렌글리콜모노메틸에테르, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노프로필에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노부틸에테르아세테이트, 시클로헥사논, 시클로펜타논, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜모노부틸에테르, 디에틸렌글리콜모노부틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜디메틸에테르, 디에틸렌글리콜디에틸에테르, 및 디에틸렌글리콜메틸에틸에테르이다. 용제는 이들 1종이라도 되고, 이들 2종 이상의 혼합물이라도 된다. A solvent may be added to the photosensitive composition of the present invention. The solvent optionally added to the photosensitive composition of the present invention is preferably a solvent in which a polyester amide acid, a compound having a polymerizable double bond, an epoxy compound, an epoxy curing agent and the like are dissolved. Specific examples of the solvent include ethyl acetate, butyl acetate, propyl acetate, butyl propionate, ethyl lactate, methyl methoxyacetate, ethyl methoxyacetate, butyl methoxyacetate, ethyl ethoxyacetate, Methyl propionate, ethyl 3-hydroxypropionate, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, methyl 2-hydroxypropionate, Methyl propionate, methyl 2-methoxypropionate, methyl 2-methoxypropionate, ethyl 2-methoxypropionate, propyl 2-methoxypropionate, methyl 2-ethoxypropionate, Methyl propionate, methyl 2-ethoxy-2-methylpropionate, methyl pyruvate, ethyl pyruvate, propyl pyruvate, acetoacetic acid, , Ethyl acetoacetate, methyl 2-oxobutanoate, ethyl 2-oxobutanoate, 4-hydroxy-4-methyl-2-pentanone, 1,4-butanediol, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether Propylene glycol monoethyl ether acetate, ethylene glycol monobutyl ether acetate, cyclohexanone, cyclopentanone, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol mono Ethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol monobutyl ether acetate, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, and diethylene glycol methyl ethyl ether. The solvent may be one of these, or a mixture of two or more thereof.

1-9-2. 광산 발생제1-9-2. Photoacid generator

본 발명의 감광성 조성물에는 우수한 해상성을 발현하기 위해, 광산 발생제를 첨가해도 된다. 광산 발생제로는 1,2-퀴논디아지드 화합물을 들 수 있다. A photoacid generator may be added to the photosensitive composition of the present invention in order to exhibit excellent resolution. Examples of the photoacid generator include a 1,2-quinonediazide compound.

1,2-퀴논디아지드 화합물의 구체예는, 2,3,4-트리히드록시벤조페논-1,2-나프토퀴논디아지드-4-술폰산에스테르, 2,3,4-트리히드록시벤조페논-1,2-나프토퀴논디아지드-5-술폰산에스테르(예를 들면, 상품명; NT-200, 도요 합성 화학 공업), 2,4,6-트리히드록시벤조페논-1,2-나프토퀴논디아지드-4-술폰산에스테르, 2,4,6-트리히드록시벤조페논-1,2-나프토퀴논디아지드-5-술폰산에스테르; 2,2',4,4'-테트라히드록시벤조페논-1,2-나프토퀴논디아지드-4-술폰산에스테르, 2,2',4,4'-테트라히드록시벤조페논-1,2-나프토퀴논디아지드-5-술폰산에스테르, 2,3,3',4-테트라히드록시벤조페논-1,2-나프토퀴논디아지드-4-술폰산에스테르, 2,3,3',4-테트라히드록시벤조페논-1,2-나프토퀴논디아지드-5-술폰산에스테르, 2,3,4,4'-테트라히드록시벤조페논-1,2-나프토퀴논디아지드-4-술폰산에스테르, 2,3,4,4'-테트라히드록시벤조페논-1,2-나프토퀴논디아지드-5-술폰산에스테르; 비스(2,4-디히드록시페닐)메탄-1,2-나프토퀴논디아지드-4-술폰산에스테르, 비스(2,4-디히드록시페닐)메탄-1,2-나프토퀴논디아지드-5-술폰산에스테르, 비스(p-히드록시페닐)메탄-1,2-나프토퀴논디아지드-4-술폰산에스테르, 비스(p-히드록시페닐)메탄-1,2-나프토퀴논디아지드-5-술폰산에스테르; 트리(p-히드록시페닐)메탄-1,2-나프토퀴논디아지드-4-술폰산에스테르, 트리(p-히드록시페닐)메탄-1,2-나프토퀴논디아지드-5-술폰산에스테르, 1,1,1-트리(p-히드록시페닐)에탄-1,2-나프토퀴논디아지드-4-술폰산에스테르, 1,1,1-트리(p-히드록시페닐)에탄-1,2-나프토퀴논디아지드-5-술폰산에스테르; 비스(2,3,4-트리히드록시페닐)메탄-1,2-나프토퀴논디아지드-4-술폰산에스테르, 비스(2,3,4-트리히드록시페닐)메탄-1,2-나프토퀴논디아지드-5-술폰산에스테르, 2,2-비스(2,3,4-트리히드록시페닐)프로판-1,2-나프토퀴논디아지드-4-술폰산에스테르, 2,2-비스(2,3,4-트리히드록시페닐)프로판-1,2-나프토퀴논디아지드-5-술폰산에스테르; 1,1,3-트리스(2,5-디메틸-4-히드록시페닐)-3-페닐프로판-1,2-나프토퀴논디아지드-4-술폰산에스테르, 1,1,3-트리스(2,5-디메틸-4-히드록시페닐)-3-페닐프로판-1,2-나프토퀴논디아지드-5-술폰산에스테르, 4,4'-[1-[4-[1-[4-히드록시페닐]-1-메틸에틸]페닐]에틸리덴]비스페놀-1,2-나프토퀴논디아지드-4-술폰산에스테르, 4,4'-[1-[4-[1-[4-히드록시페닐]-1-메틸에틸]페닐]에틸리덴]비스페놀-1,2-나프토퀴논디아지드-5-술폰산에스테르; 비스(2,5-디메틸-4-히드록시페닐)-2-히드록시페닐메탄-1,2-나프토퀴논디아지드-4-술폰산에스테르, 비스(2,5-디메틸-4-히드록시페닐)-2-히드록시페닐메탄-1,2-나프토퀴논디아지드-5-술폰산에스테르, 3,3,3',3'-테트라메틸-1,1'-스피로비인덴-5,6,7,5',6',7'-헥산올-1,2-나프토퀴논디아지드-4-술폰산에스테르, 3,3,3',3'-테트라메틸-1,1'-스피로비인덴-5,6,7,5',6',7'-헥산올-1,2-나프토퀴논디아지드-5-술폰산에스테르; 2,2,4-트리메틸-7,2',4'-트리히드록시플라반-1,2-나프토퀴논디아지드-4-술폰산에스테르, 및 2,2,4-트리메틸-7,2',4'-트리히드록시플라반-1,2-나프토퀴논디아지드-5-술폰산에스테르이다. Specific examples of the 1,2-quinonediazide compound include 2,3,4-trihydroxybenzophenone-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, 2,3,4-trihydroxybenzo Phenone-1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid ester (for example, trade name: NT-200 available from Toyo Synthetic Chemical Industry Co., Ltd.), 2,4,6-trihydroxybenzophenone- Toquinonediazide-4-sulfonic acid ester, 2,4,6-trihydroxybenzophenone-1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid ester; 2,2 ', 4,4'-tetrahydroxybenzophenone-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, 2,2', 4,4'-tetrahydroxybenzophenone-1,2 -Naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid ester, 2,3,3 ', 4-tetrahydroxybenzophenone-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, 2,3,3', 4 -Tetrahydroxybenzophenone-1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid ester, 2,3,4,4'-tetrahydroxybenzophenone-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid Ester, 2,3,4,4'-tetrahydroxybenzophenone-1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid ester; Bis (2,4-dihydroxyphenyl) methane-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, bis (2,4-dihydroxyphenyl) methane-1,2-naphthoquinonediazide (P-hydroxyphenyl) methane-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, bis (p-hydroxyphenyl) methane-1,2-naphthoquinonediazide -5-sulfonic acid ester; Tri (p-hydroxyphenyl) methane-1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid ester, tri (p-hydroxyphenyl) methane- (P-hydroxyphenyl) ethane-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, 1,1,1-tri -Naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid ester; Bis (2,3,4-trihydroxyphenyl) methane-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, bis (2,3,4-trihydroxyphenyl) methane- (2,3,4-trihydroxyphenyl) propane-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, 2,2-bis 2,3,4-trihydroxyphenyl) propane-1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid ester; (2,5-dimethyl-4-hydroxyphenyl) -3-phenylpropane-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, 1,1,3-tris 4-hydroxyphenyl) -3-phenylpropane-1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid ester, 4,4 '- [1- [4- [ Methylphenyl] ethylidene] bisphenol-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, 4,4 '- [1- [4- [1- [4- Phenyl] -1-methylethyl] phenyl] ethylidene] bisphenol-1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid ester; Bis (2,5-dimethyl-4-hydroxyphenyl) -2-hydroxyphenylmethane-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, bis (2,5- 2-hydroxyphenylmethane-1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid ester, 3,3,3 ', 3'-tetramethyl-1,1'-spirobindene- 7,5 ', 6', 7'-hexanol-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, 3,3,3 ', 3'- tetramethyl-1,1'-spirobindene -5,6,7,5 ', 6', 7'-hexanol-1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid ester; 2,2,4-trimethyl-7,2 ', 4'-trihydroxyflagane-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester and 2,2,4-trimethyl- , 4'-trihydroxyplazane-1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid ester.

1-9-3. 계면활성제1-9-3. Surfactants

본 발명의 감광성 조성물에는 도포 균일성을 향상시키기 위해 계면활성제를 첨가해도 된다. 계면활성제의 구체예는, 폴리플로우 No. 75, 폴리플로우 No. 90, 폴리플로우 No. 95(모두 상품명; 교에이샤 화학 주식회사), 디스퍼빅(Disperbyk)-161, 디스퍼빅-162, 디스퍼빅-163, 디스퍼빅-164, 디스퍼빅-166, 디스퍼빅-170, 디스퍼빅-180, 디스퍼빅-181, 디스퍼빅-182, BYK-300, BYK-306, BYK-310, BYK-320, BYK-330, BYK-342, BYK-346, BYK-361N, BYK-UV3500, BYK-UV3570(모두 상품명; 빅케미·재팬 주식회사), KP-341, KP-368, KF-96-50CS, KF-50-100CS(모두 상품명; 신에츠 화학 공업 주식회사), 서프론 S611(상품명; AGC 세이미 케미칼 주식회사), 푸타젠트 222F, 푸타젠트 208G, 푸타젠트 251, 푸타젠트 710FL, 푸타젠트 710FM, 푸타젠트 710FS, 푸타젠트 601AD, 푸타젠트 650A, FTX-218(모두 상품명; 주식회사 네오스), 메가팍크 F-410, 메가팍크 F-430, 메가팍크 F-444, 메가팍크 F-472SF, 메가팍크 F-475, 메가팍크 F-477, 메가팍크 F-552, 메가팍크 F-553, 메가팍크 F-554, 메가팍크 F-555, 메가팍크 F-556, 메가팍크 F-558, 메가팍크 F-559, 메가팍크 R-94, 메가팍크 RS-75, 메가팍크 RS-72-K, 메가팍크 RS-76-NS, 메가팍크 DS-21(모두 상품명; DIC 주식회사), TEGO Twin 4000, TEGO Twin 4100, TEGO Flow 370, TEGO Glide 440, TEGO Glide 450, TEGO Rad 2200N(모두 상품명; 에보닉 데구사 재팬 주식회사), 플루오로알킬벤젠술폰산염, 플루오로알킬카르복실산염, 플루오로알킬폴리옥시에틸렌에테르, 플루오로알킬암모늄요오드화물, 플루오로알킬베타인, 플루오로알킬술폰산염, 디글리세린테트라키스(플루오로알킬폴리옥시에틸렌에테르), 플루오로알킬트리메틸암모늄염, 플루오로알킬아미노술폰산염, 폴리옥시에틸렌노닐페닐에테르, 폴리옥시에틸렌옥틸페닐에테르, 폴리옥시에틸렌알킬에테르, 폴리옥시에틸렌라우릴에테르, 폴리옥시에틸렌올레일에테르, 폴리옥시에틸렌트리데실에테르, 폴리옥시에틸렌세틸에테르, 폴리옥시에틸렌스테아릴에테르, 폴리옥시에틸렌라우레이트, 폴리옥시에틸렌올레에이트, 폴리옥시에틸렌스테아레이트, 폴리옥시에틸렌라우릴아민, 소르비탄라우레이트, 소르비탄팔미테이트, 소르비탄스테아레이트, 소르비탄올레에이트, 소르비탄지방산에스테르, 폴리옥시에틸렌소르비탄라우레이트, 폴리옥시에틸렌소르비탄팔미테이트, 폴리옥시에틸렌소르비탄스테아레이트, 폴리옥시에틸렌소르비탄올레에이트, 폴리옥시에틸렌나프틸에테르, 알킬벤젠술폰산염, 및 알킬디페닐에테르디술폰산염을 들 수 있다. 이들로부터 선택되는 적어도 1개를 사용하는 것이 바람직하다. A surfactant may be added to the photosensitive composition of the present invention to improve coating uniformity. Specific examples of the surfactant include polyphosphoric acid esters such as polyphosphoric acid esters. 75, Polyflow No. " 90, poly flow No. Disperbyk-161, Disperobic-162, Disperobic-163, Disperobic-164, Disperobic-166, Disperobic-170, Disperbyk-161, BYK-310, BYK-310, BYK-330, BYK-342, BYK-346, BYK-361N, BYK-UV3500, BYK-UV3570 Ltd.), Surflon S611 (trade name, available from AGC Seiyam Chemical Co., Ltd.), KP-341, KP-368, KF-96-50CS, KF- (All trade names, Neos), Megapox F-410 (trade name, manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd.), Fujitsu F-410, Fujitsu F- Megapack F-554, Megapack F-554, Megaplock F-474, Megapack F-552, Megapack F-553, Megapack F-554, Megapak F- Parkfax F-555, Megafock F-556, Megafock F-558, Megafox F TEGO Twin 4000, TEGO Twin (manufactured by DIC Corporation), Megapak RS-75, Megapak RS-75, Megapak RS- 4100, TEGO Flow 370, TEGO Glide 440, TEGO Glide 450, and TEGO Rad 2200N (all trade names, Ebonic Degussa Japan KK), fluoroalkylbenzenesulfonate, fluoroalkylcarboxylate, fluoroalkylpolyoxyethylene ether , Fluoroalkylammonium iodide, fluoroalkyl betaine, fluoroalkyl sulfonic acid salt, diglycerin tetrakis (fluoroalkyl polyoxyethylene ether), fluoroalkyltrimethylammonium salt, fluoroalkylaminosulfonic acid salt, polyoxyethylene Nonyl phenyl ether, polyoxyethylene octyl phenyl ether, polyoxyethylene alkyl ether, polyoxyethylene lauryl ether, polyoxyethylene oleyl ether, polyoxyethylene tridecyl ether, polyoxyethylene cetyl ether, polyoxyethylene But are not limited to, ethylene stearyl ether, polyoxyethylene laurate, polyoxyethylene oleate, polyoxyethylene stearate, polyoxyethylene laurylamine, sorbitan palaurate, sorbitan stearate, sorbitan oleate, Sorbitan monostearate, sorbitan fatty acid ester, polyoxyethylene sorbitan laurate, polyoxyethylene sorbitan palmitate, polyoxyethylene sorbitan stearate, polyoxyethylene sorbitan oleate, polyoxyethylene naphthyl ether, alkyl benzene sulfonate and Alkyl diphenyl ether disulfonate salts. It is preferable to use at least one selected from these.

이들 계면활성제 중에서도 BYK-306, BYK-342, BYK-346, KP-341, KP-368, 서프론 S611, 푸타젠트 710FL, 푸타젠트 710FM, 푸타젠트 710FS, 푸타젠트 601AD, 푸타젠트 650A, 메가팍크 F-477, 메가팍크 F-556, 메가팍크 F-559, 메가팍크 RS-72-K, 메가팍크 DS-21, TEGO Twin 4000, 플루오로알킬벤젠술폰산염, 플루오로알킬카르복실산염, 플루오로알킬폴리옥시에틸렌에테르, 플루오로알킬술폰산염, 플루오로알킬트리메틸암모늄염, 및 플루오로알킬아미노술폰산염 중에서 선택되는 적어도 1종이면, 감광성 조성물의 도포 균일성이 높아지기 때문에 바람직하다. Of these surfactants, BYK-306, BYK-342, BYK-346, KP-341, KP-368, Surfron S611, Putagent 710FL, Putagent 710FM, Putagent 710FS, Putagent 601AD, Putagent 650A, F-477, Megafac F-556, Megafac F-559, Megapack RS-72-K, Megapak DS-21, TEGO Twin 4000, fluoroalkylbenzenesulfonic acid salts, fluoroalkylcarboxylic acid salts, fluoro At least one selected from alkyl polyoxyethylene ether, fluoroalkylsulfonic acid salt, fluoroalkyltrimethylammonium salt, and fluoroalkylaminosulfonic acid salt is preferable because uniformity of application of the photosensitive composition is enhanced.

본 발명의 감광성 조성물에 있어서의 계면활성제의 함유량은 감광성 조성물 전체량에 대하여 0.01∼10중량%인 것이 바람직하다. The content of the surfactant in the photosensitive composition of the present invention is preferably 0.01 to 10 wt% with respect to the total amount of the photosensitive composition.

1-9-4. 밀착성 향상제1-9-4. Adhesion improving agent

본 발명의 감광성 조성물은 형성되는 경화막과 기판의 밀착성을 더욱 향상시키는 관점에서, 밀착성 향상제를 추가로 함유해도 된다. 밀착성 향상제에는 커플링제를 들 수 있다. The photosensitive composition of the present invention may further contain an adhesion improver from the viewpoint of further improving the adhesion between the cured film to be formed and the substrate. The adhesion improver includes a coupling agent.

이러한 커플링제로는 예를 들면, 실란계, 알루미늄계 또는 티타네이트계의 커플링제를 사용할 수 있다. 구체적으로는, 3-글리시딜옥시프로필디메틸에톡시실란, 3-글리시딜옥시프로필메틸디에톡시실란, 3-글리시딜옥시프로필트리메톡시실란(예를 들면, 상품명; 사이라에스 S510, JNC 주식회사), 2-(3,4-에폭시시클로헥실)에틸트리메톡시실란(예를 들면, 상품명; 사이라에스 S530, JNC 주식회사), 3-메르캅토프로필트리메톡시실란(예를 들면, 상품명; 사이라에스 S810, JNC 주식회사), 3-글리시딜옥시프로필트리메톡시실란의 중합체(예를 들면, 상품명; COATOSIL MP 200, 모멘티브·퍼포먼스·머티리얼 합동 주식회사) 등의 실란계 커플링제, 아세트알콕시알루미늄디이소프로필레이트 등의 알루미늄계 커플링제, 및 테트라이소프로필비스(디옥틸포스파이트)티타네이트 등의 티타네이트계 커플링제를 들 수 있다. As such a coupling agent, for example, a silane-based, aluminum-based or titanate-based coupling agent can be used. Specific examples thereof include 3-glycidyloxypropyldimethylethoxysilane, 3-glycidyloxypropylmethyldiethoxysilane, 3-glycidyloxypropyltrimethoxysilane (for example, trade name: Saira S510 , JNC Co., Ltd.), 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane (trade name: Saira S530, JNC Co., Ltd.), 3-mercaptopropyltrimethoxysilane Silane coupling agents such as a polymer of 3-glycidyloxypropyltrimethoxysilane (for example, trade name: COATOSIL MP 200, Momentive Performance Material Joint-Stock Co., Ltd.) An aluminum-based coupling agent such as an aliphatic hydrocarbon-based coupling agent, an aliphatic hydrocarbon-based coupling agent, and an alkoxy aluminum diisopropylate; and a titanate-based coupling agent such as tetraisopropyl bis (dioctylphosphite) titanate.

이들 중에서도, 3-글리시딜옥시프로필트리메톡시실란이 밀착성을 향상시키는 효과가 크기 때문에 바람직하다. Among them, 3-glycidyloxypropyltrimethoxysilane is preferable because it has a large effect of improving the adhesion.

커플링제의 함유량은 감광성 조성물 전체량에 대하여, 0.01중량% 이상, 10중량% 이하인 것이 형성되는 경화막과 기판과의 밀착성이 향상되기 때문에 바람직하다. The content of the coupling agent is preferably 0.01% by weight or more and 10% by weight or less based on the total amount of the photosensitive composition, because adhesion between the cured film and the substrate is improved.

1-9-5. 중합성 이중 결합을 갖는 매크로 모노머1-9-5. Macromonomers having a polymerizable double bond

본 발명의 감광성 조성물은 전항에서 서술한 밀착성의 관점에서, 중합성 이중 결합을 갖는 매크로 모노머를 추가로 함유해도 된다. The photosensitive composition of the present invention may further contain a macromonomer having a polymerizable double bond from the viewpoint of adhesion described in the preceding paragraph.

중합성 이중 결합을 갖는 매크로 모노머는 분자쇄의 말단에 중합 가능한 탄소-탄소 불포화 이중 결합을 갖는 수평균 분자량이 1,000∼30,000의 반응성의 올리고머 또는 폴리머이다. The macromonomer having a polymerizable double bond is a reactive oligomer or polymer having a number average molecular weight of 1,000 to 30,000 and having a carbon-carbon unsaturated double bond polymerizable at the terminal of the molecular chain.

시판품으로서 입수할 수 있는 이러한 매크로 모노머로는 편말단 메타크릴로일화 폴리메틸메타크릴레이트 올리고머(Mn=6,000, 상품명; AA-6, 도아 합성(주)제) 및 편말단 메타크릴로일화 폴리-n-부틸아크릴레이트 올리고머(Mn=6,000, 상품명; AB-6, 도아 합성(주)제), 편말단 메타크릴로일화 폴리스티렌 올리고머(Mn=6,000, 상품명; AS-6, 도아 합성(주)제)를 들 수 있다. Examples of such macromonomers available as commercial products include mono-terminated methacryloylated polymethyl methacrylate oligomers (Mn = 6,000, trade name: AA-6, manufactured by Doja Kasei Co., Ltd.) and mono-terminated methacryloyl- (Mn = 6,000, trade name: AS-6, manufactured by Doa Kagaku Kogyo Co., Ltd.) was used as a polymerization initiator (Mn = 6,000, trade name: AB- ).

1-9-6. 산화 방지제1-9-6. Antioxidant

본 발명의 감광성 조성물은 투명성의 향상, 경화막이 고온에 노출된 경우의 황변을 방지하는 관점에서, 산화 방지제를 추가로 함유해도 된다. The photosensitive composition of the present invention may further contain an antioxidant from the viewpoints of improving transparency and preventing yellowing when the cured film is exposed to high temperatures.

본 발명의 감광성 조성물에는 힌더드페놀계, 힌더드아민계, 인계, 유황계 화합물 등의 산화 방지제를 첨가해도 된다. 이 중에서도 힌더드 페놀계가 내후성의 관점에서 바람직하다. 구체예로는 Irganox 1010, Irganox FF, Irganox 1035, Irganox 1035FF, Irganox 1076, Irganox 1076FD, Irganox 1076DWJ, Irganox 1098, Irganox 1135, Irganox 1330, Irganox 1726, Irganox 1425WL, Irganox 1520L, Irganox 245, Irganox 245FF, Irganox 245DWJ, Irganox 259, Irganox 3114, Irganox 565, Irganox 565DD, Irganox 295(모두 상품명; BASF 재팬 주식회사), ADK STAB AO-20, ADK STAB AO-30, ADK STAB AO-50, ADK STAB AO-60, ADK STAB AO-80(모두 상품명; 주식회사 ADEKA)을 들 수 있다. 이 중에서도 Irganox 1010, ADK STAB AO-60이 보다 바람직하다. Antioxidants such as hindered phenol-based, hindered amine-based, phosphorus-based, and sulfur-based compounds may be added to the photosensitive composition of the present invention. Among them, the hindered phenol system is preferable from the viewpoint of weather resistance. Specific examples include Irganox 1010, Irganox FF, Irganox 1035, Irganox 1035FF, Irganox 1076, Irganox 1076FD, Irganox 1076DWJ, Irganox 1098, Irganox 1135, Irganox 1330, Irganox 1726, Irganox 1425WL, Irganox 1520L, Irganox 245, Irganox 245FF, Irganox ADK STAB AO-30, ADK STAB AO-50, ADK STAB AO-60, ADK STAB AO-20, ADK STAB AO-20, Irganox 259, Irganox 3114, Irganox 565, Irganox 565DD, Irganox 295 (all trade names; BASF Japan Co., STAB AO-80 (all trade names; ADEKA Co., Ltd.). Of these, Irganox 1010 and ADK STAB AO-60 are more preferable.

산화 방지제는 감광성 조성물 전체량에 대하여, 0.1∼10중량부 첨가하여 사용된다. The antioxidant is used in an amount of 0.1 to 10 parts by weight based on the total amount of the photosensitive composition.

1-10. 감광성 조성물의 보존1-10. Preservation of Photosensitive Compositions

본 발명의 감광성 조성물은 -30℃∼25℃의 범위에서 보존하면, 조성물의 경시 안정성이 양호해져 바람직하다. 보존 온도가 -20℃∼10℃이면, 석출물도 없어 한층 바람직하다. When the photosensitive composition of the present invention is stored at a temperature in the range of -30 占 폚 to 25 占 폚, stability with time of the composition becomes favorable. If the storage temperature is -20 占 폚 to 10 占 폚, no precipitates are more preferable.

2. 감광성 조성물로부터 얻어지는 경화막2. The cured film obtained from the photosensitive composition

본 발명의 감광성 조성물은 폴리에스테르아미드산, 중합성 이중 결합을 갖는 화합물, 에폭시기를 갖는 중합체, 에폭시 화합물, 에폭시 경화제 및 분자량 조정제를 혼합하고, 목적으로 하는 특성에 따라서는, 추가로 용제, 커플링제, 계면활성제, 및 그 밖의 첨가제를 필요에 따라 선택하여 첨가하고, 그들을 균일하게 혼합 용해함으로써 얻을 수 있다. The photosensitive composition of the present invention can be produced by mixing a polyester amide acid, a compound having a polymerizable double bond, a polymer having an epoxy group, an epoxy compound, an epoxy curing agent and a molecular weight modifier, , Surfactants, and other additives, if necessary, and mixing them uniformly and dissolving them.

상기와 같이 하여 조제된 감광성 조성물(용제가 없는 고형 상태의 경우에는 용제에 용해시킨 후)을 기체 표면에 도포하고, 예를 들면 가열 등에 의해 용제를 제거하면, 도막을 형성할 수 있다. 기체 표면에 대한 감광성 조성물의 도포는 스핀 코트법, 롤 코트법, 디핑법, 플렉소법, 스프레이법, 및 슬릿 코트법 등 종래로부터 공지의 방법을 사용할 수 있다. 이어서, 이 도막은 핫 플레이트 또는 오븐 등에서 가열(프리베이크)된다. 가열 조건은 각 성분의 종류 및 배합 비율에 따라 상이하지만, 통상 70∼150℃에서, 오븐이면 5∼15분간, 핫 플레이트라면 1∼5분간이다. When the photosensitive composition prepared as described above (after dissolving in a solvent in a solid state without solvent) is applied to the base surface and the solvent is removed, for example, by heating, a coating film can be formed. The application of the photosensitive composition to the surface of the substrate can be carried out by a conventionally known method such as a spin coating method, a roll coating method, a dipping method, a flexo printing method, a spraying method, and a slit coating method. Subsequently, this coating film is heated (prebaked) on a hot plate, an oven or the like. The heating conditions differ depending on the kind of each component and the blending ratio, but it is usually 70 to 150 DEG C for 5 to 15 minutes in an oven and 1 to 5 minutes in a hot plate.

그 후, 도막에 소망하는 패턴 형상의 마스크를 개재하여 자외선을 조사한다. 자외선 조사량은 i선으로 5∼1000mJ/㎠가 적당하다. 자외선이 조사된 감광성 조성물은 중합성 이중 결합을 갖는 화합물의 중합에 의해 3차원 가교체가 되고, 알칼리 현상액에 대하여 불용화된다. Thereafter, the coating film is irradiated with ultraviolet rays through a mask of a desired pattern shape. The amount of ultraviolet radiation is suitably 5 to 1000 mJ / cm 2 by i-line. The photosensitive composition to which ultraviolet light is irradiated becomes a three-dimensional crosslinked product by polymerization of a compound having a polymerizable double bond, and is insoluble in an alkali developing solution.

이어서, 샤워 현상, 스프레이 현상, 패들 현상, 딥 현상 등에 의해 도막을 알칼리 현상액에 침지하고, 불필요한 부분을 용해 제거한다. 알칼리 현상액의 구체예는, 탄산 나트륨, 수산화 나트륨, 수산화 칼륨 등의 무기 알칼리류의 수용액, 및 테트라메틸암모늄히드록시드, 테트라에틸암모늄히드록시드 등의 유기 알칼리류의 수용액이다. 또한, 상기 알칼리 현상액에 메탄올, 에탄올, 및 계면활성제 등을 적당량 첨가하여 사용할 수도 있다. Subsequently, the coating film is immersed in an alkali developing solution by a shower phenomenon, a spray phenomenon, a puddle phenomenon, a dip phenomenon, or the like, and an unnecessary portion is dissolved and removed. Specific examples of the alkali developing solution include aqueous solutions of inorganic alkalis such as sodium carbonate, sodium hydroxide, and potassium hydroxide, and aqueous solutions of organic alkalis such as tetramethylammonium hydroxide and tetraethylammonium hydroxide. In addition, an appropriate amount of methanol, ethanol, and a surfactant may be added to the alkali developing solution.

마지막으로 도막을 완전히 경화시키기 위해 180∼250℃, 바람직하게는 200∼250℃에서, 오븐이라면 30∼90분간, 핫 플레이트라면 5∼30분간 가열 처리함으로써 경화막을 얻을 수 있다. Finally, in order to completely cure the coating film, the cured film can be obtained by heating at 180 to 250 캜, preferably 200 to 250 캜, for an oven for 30 to 90 minutes and for a hot plate for 5 to 30 minutes.

이와 같이 하여 얻어진 경화막은 가열시에 있어 추가로, 1) 폴리에스테르아미드산의 폴리아미드산 부분이 탈수 고리화하여 이미드 결합을 형성하고, 2) 폴리에스테르아미드산의 카르복실산이 에폭시기를 갖는 중합체와 반응하여 고분자량화하고 있기 때문에, 매우 강인하고, 투명성, 내열성, 내약품성, 평탄성, 밀착성, 내광성, 및 내스퍼터성이 우수하다. 따라서, 본 발명의 경화막은 컬러 필터용의 보호막으로서 사용하면 효과적이고, 이 컬러 필터를 사용하여 액정 표시 소자나 고체 촬상 소자를 제조할 수 있다. 또한, 본 발명의 경화막은 컬러 필터용의 보호막 이외에도, TFT와 투명 전극 사이에 형성되는 투명 절연막이나 투명 전극과 배향막 사이에 형성되는 투명 절연막으로서 사용하면 효과적이다. 또한, 본 발명의 경화막은 LED 발광체의 보호막으로서 사용해도 효과적이다. When the cured film thus obtained is heated, furthermore, 1) the polyamic acid portion of the polyester amide acid is dehydrated and cyclized to form an imide bond, and 2) the carboxylic acid of the polyester amide acid is a polymer having an epoxy group And is thus very strong, and is excellent in transparency, heat resistance, chemical resistance, flatness, adhesion, light resistance, and sputter resistance. Therefore, the cured film of the present invention is effective when used as a protective film for a color filter, and a liquid crystal display element or a solid-state image pickup element can be manufactured by using this color filter. In addition to the protective film for the color filter, the cured film of the present invention is also effective when used as a transparent insulating film formed between the TFT and the transparent electrode or a transparent insulating film formed between the transparent electrode and the orientation film. Further, the cured film of the present invention is also effective as a protective film for an LED light-emitting body.

실시예Example

다음으로 본 발명을 합성예, 실시예, 및 비교예에 의해 구체적으로 설명하지만, 본 발명은 이들 실시예에 의해 전혀 한정되는 것은 아니다. 한편, 표 1∼2 중의 각종 재료의 약칭에 대해서 이하에 설명한다. M-402는 중합성 이중 결합을 갖는 화합물 아로닉스 M-402(상품명; 도아 합성 주식회사), NCI-930은 광중합 개시제 아데카아쿨즈 NCI-930(상품명; 주식회사 ADEKA), VG3101L은 에폭시 화합물 TECHMORE VG3101L(상품명; 주식회사 프린텍), EHPE3150은 에폭시 화합물 EHPE3150(상품명; 주식회사 다이셀), TMA는 에폭시 경화제 트리멜리트산 무수물, S510은 밀착성 향상제 사이라에스 S510(상품명; JNC 주식회사), MP200은 커플링제 COATOSIL MP200(상품명; 모먼티브·퍼포먼스·머티리얼 합동회사), AO-60은 산화방지제 ADK STAB AO-60(상품명; 주식회사 ADEKA), F-556은 계면활성제 메가팍크 F-556(상품명; DIC 주식회사), MMP는 용제 3-메톡시프로피온산메틸, PGMEA는 용제 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 그리고, EDM은 용제 디에틸렌글리콜에틸메틸에테르이다. EXAMPLES Next, the present invention will be described concretely with reference to Synthesis Examples, Examples and Comparative Examples, but the present invention is not limited at all by these Examples. The abbreviations of various materials in Tables 1 and 2 will be described below. M-402 is a polymerizable double bond-containing compound ARONIX M-402 (trade name, manufactured by Toa Gosei Co., Ltd.), NCI-930 is a photopolymerization initiator ADEKA COULSE NCI-930 (trade name: ADEKA), VG3101L is an epoxy compound TECHMORE VG3101L (Trade name, manufactured by JNC Corporation), MP200 is a coupling agent COATOSIL MP200 (trade name, manufactured by Nippon Polyurethane Industry Co., Ltd.), EHPE3150 is an epoxy compound EHPE3150 F-556 is a surfactant Megapak F-556 (trade name, manufactured by DIC Co., Ltd.), MMP is a surfactant commercially available from Mitsubishi Kasei Kogyo Co., Ltd., and AO-60 is an antioxidant ADK STAB AO- Solvent 3-methoxypropionate methyl, PGMEA is solvent propylene glycol monomethyl ether acetate, and EDM is solvent diethylene glycol ethyl methyl ether.

또한, VG3101L은 2-[4-(2,3-에폭시프로폭시)페닐]-2-[4-[1,1-비스[4-(2,3-에폭시프로폭시)페닐]에틸]페닐]프로판(분자량=593) 90중량% 및 1,3-비스[4-[1-[4-(2,3-에폭시프로폭시)페닐]-1-[4-[1-[4-(2,3-에폭시프로폭시)페닐]-1-메틸에틸]페닐]에틸]페녹스]-2-프로판올(분자량=1,129) 10중량%의 혼합물이며, EHPE3150은 분자식 C126H194O33으로 나타나는 화합물이며, 분자량은 2,237이다(모두 제품의 안전 데이터 시트를 참조).In addition, VG3101L can be prepared by reacting 2- [4- (2,3-epoxypropoxy) phenyl] -2- [4- [1,1-bis [4- (2,3- Propane (molecular weight = 593) 90% by weight and 1,3-bis [4- [1- [4- (2,3-epoxypropoxy) phenyl] -1- [4- [1- [4- (Molecular weight = 1,129), and EHPE 3150 is a compound represented by the molecular formula C 126 H 194 O 33 , And a molecular weight of 2,237 (all refer to the product safety data sheet).

우선, 테트라카르복실산 이무수물, 디아민, 다가히드록시 화합물 등의 반응 생성물로 이루어지는 폴리에스테르아미드산(A)의 용액, 및 에폭시기를 갖는 중합체(D)의 용액을 이하에 나타내는 바와 같이 합성했다(합성예 1 및 2).First, a solution of a polyester amide acid (A) comprising a reaction product of a tetracarboxylic acid dianhydride, a diamine, a polyhydric hydroxy compound and the like, and a solution of the polymer (D) having an epoxy group was synthesized as shown below Synthesis Examples 1 and 2).

[합성예 1]폴리에스테르아미드산(A) 용액의 합성[Synthesis Example 1] Synthesis of polyester amide acid (A) solution

교반기 부착 4구 플라스크에 탈수 정제한 PGMEA, BT-100, SMA1000P(상품명; 스티렌·무수 말레산 공중합체, 카와하라 유화 주식회사), 1,4-부탄디올, 벤질알코올의 순서로 하기의 중량으로 넣어, 건조 질소기류하 125℃에서 3시간 교반했다.  In a four-necked flask equipped with a stirrer, PGMEA, BT-100, SMA1000P dehydrated and purified (trade name: styrene · maleic anhydride copolymer, Kawahara Oil Co., Ltd.), 1,4-butanediol, And the mixture was stirred at 125 DEG C for 3 hours under a nitrogen stream.

PGMEA 481.37g PGMEA 481.37 g

BT-100 34.47gBT-100 34.47 g

SMA1000P 164.11g SMA1000P 164.11g

1,4-부탄디올 10.45g 10.45 g of 1,4-butanediol

벤질알코올 50.17gBenzyl alcohol 50.17 g

그 후, 반응액을 25℃까지 냉각하고, 3,3'-디아미노디페닐술폰(이하, DDS라고 약기), PGMEA를 하기의 중량으로 투입하여, 20∼30℃에서 2시간 교반한 후, 125℃에서 2시간 교반했다. Thereafter, the reaction solution was cooled to 25 DEG C, 3,3'-diaminodiphenylsulfone (hereinafter abbreviated as DDS) and PGMEA were added in the following weights, and the mixture was stirred at 20 to 30 DEG C for 2 hours, Followed by stirring at 125 DEG C for 2 hours.

DDS 10.80gDDS 10.80g

PGMEA 148.63gPGMEA 148.63 g

〔Z/Y=2.7, (Y+Z)/X=0.9〕[Z / Y = 2.7, (Y + Z) /X=0.9]

용액을 실온까지 냉각하고, 담황색 투명한 폴리에스테르아미드산(A)의 30중량% 용액을 얻었다. 용액의 일부를 샘플링하여, GPC 분석(폴리스티렌 표준)에 의해 중량 평균 분자량을 측정했다. 그 결과, 얻어진 폴리에스테르아미드산(A)의 중량 평균 분자량은 10,000이었다. The solution was cooled to room temperature to obtain a 30 wt% solution of light yellow transparent polyester amide acid (A). A part of the solution was sampled and the weight average molecular weight was measured by GPC analysis (polystyrene standard). As a result, the resulting polyester amide acid (A) had a weight average molecular weight of 10,000.

[합성예 2]에폭시기를 갖는 중합체(D) 용액의 합성[Synthesis Example 2] Synthesis of polymer (D) solution having epoxy group

교반기 부착 4구 플라스크에 중합 용제로서 탈수 정제한 MMP, 에폭시기를 갖는 라디칼 중합성 화합물(a1)로서 글리시딜메타크릴레이트, 그 밖의 중합성 화합물(a2)로서 디에틸렌글리콜디메타크릴레이트(NK 에스테르 2G; 상품명; 신나카무라 화학 공업 주식회사)를 하기의 중량으로 넣고, 추가로 중합개시제로서 디메틸-2,2'-아조비스(2-메틸프로피오네이트)(V-601; 상품명; 와코 순약 공업 주식회사)를 하기의 중량으로 넣고, 건조 질소기류하 110℃에서 2시간 교반했다. MMP obtained by dehydration and purification as a polymerization solvent in a four-necked flask equipped with a stirrer, glycidyl methacrylate as a radically polymerizable compound (a1) having an epoxy group and diethylene glycol dimethacrylate (NK) as another polymerizable compound (a2) (2-methylpropionate) (V-601, trade name; manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) as a polymerization initiator Ltd.) was weighed in the following weight and stirred at 110 DEG C for 2 hours in a dry nitrogen stream.

MMP 31.50gMMP 31.50g

글리시딜메타크릴레이트 12.15g12.15 g of glycidyl methacrylate

디에틸렌글리콜디메타크릴레이트 1.35g1.35 g of diethylene glycol dimethacrylate

V-601 2.03g V-601 2.03 g

용액을 실온까지 냉각하고, 에폭시기를 갖는 중합체(D)의 30.0중량% 용액을 얻었다. 용액의 일부를 샘플링하여, GPC 분석(폴리스티렌 표준)에 의해 중량 평균 분자량을 측정했다. 그 결과, 얻어진 에폭시기를 갖는 중합체(D)의 중량 평균 분자량은 4,000이었다. The solution was cooled to room temperature to obtain a 30.0 wt% solution of the polymer (D) having an epoxy group. A part of the solution was sampled and the weight average molecular weight was measured by GPC analysis (polystyrene standard). As a result, the obtained polymer (D) having an epoxy group had a weight average molecular weight of 4,000.

[실시예 1][Example 1]

교반 날개가 부착된 1000ml의 세퍼러블 플라스크를 질소 치환하고, 그 플라스크에, 합성예 1에서 얻어진 폴리에스테르아미드산(A) 용액을 40.00g, 중합성 이중 결합을 갖는 화합물로서 M-402를 60.00g, 분자량 조정제로서 2-히드록시-1,4-나프토퀴논을 0.06g, 광중합 개시제로서 NCI-930을 1.2g, 에폭시기를 갖는 중합체(D) 용액을 12.00g, 에폭시 화합물로서 EHPE3150을 1.2g, 에폭시 경화제로서 트리멜리트산 무수물(이하, 「TMA」라고 약기)을 2.0g, 첨가제로서 3-글리시딜옥시프로필트리메톡시실란의 중합체(상품명; COATOSIL MP 200, 모멘티브·퍼포먼스·머티리얼 합동 회사)를 1.92g, NT-200(상품명; 도요 합성 공업 주식회사)을 0.64g, 및 ADK STAB AO-60(상품명; 주식회사 ADEKA)을 0.06g, 용제로서 탈수 정제한 MMP를 4.1g, 및 PGMEA를 22.0g 넣고, 실온에서 3시간 교반하여, 균일하게 용해시켰다. 이어서, 메가팍크 F-556(상품명; DIC 주식회사) 0.02g을 투입하고, 실온에서 1시간 교반하여, 멤브레인 필터(0.2㎛)로 여과하여 감광성 조성물을 조제했다. A 1000 ml separable flask equipped with a stirring wing was purged with nitrogen and 40.00 g of the polyester amide acid (A) solution obtained in Synthesis Example 1 and 60.00 g of M-402 as a compound having a polymerizable double bond , 1.2 g of NCI-930 as a photopolymerization initiator, 12.00 g of a polymer (D) solution having an epoxy group, 1.2 g of EHPE3150 as an epoxy compound, 2.0 g of trimellitic anhydride (hereinafter abbreviated as "TMA") as an epoxy curing agent, and 3 g of glycidyloxypropyltrimethoxysilane polymer (trade name: COATOSIL MP 200, Momentive Performance Material Co., Ltd. ), 0.64 g of NT-200 (trade name, manufactured by Toyo Synthetic Chemical Industry Co., Ltd.), 0.06 g of ADK STAB AO-60 (trade name: ADEKA), 4.1 g of dehydrated and purified MMP as a solvent, and 22.0 g of PGMEA g, and the mixture was stirred at room temperature for 3 hours to dissolve uniformly. Subsequently, 0.02 g of Megafac F-556 (trade name: DIC Co., Ltd.) was added, stirred at room temperature for 1 hour, and filtered through a membrane filter (0.2 탆) to prepare a photosensitive composition.

[실시예 2∼4][Examples 2 to 4]

실시예 1의 방법에 준하여, 표 1에 기재된 비율(단위: g)로 각 성분을 혼합 용해하여, 감광성 조성물을 얻었다. Each component was mixed and dissolved in accordance with the method of Example 1 at the ratio shown in Table 1 (unit: g) to obtain a photosensitive composition.

Figure pat00003
Figure pat00003

[비교예 1∼4][Comparative Examples 1 to 4]

실시예 1의 방법에 준하여, 표 2의 비율(단위: g)로 각 성분을 혼합 용해하여, 감광성 조성물을 얻었다. Each component was mixed and dissolved in accordance with the method of Example 1 at the ratio shown in Table 2 (unit: g) to obtain a photosensitive composition.

Figure pat00004
Figure pat00004

상기에서 얻어진 감광성 조성물을 각각 유리 기판 상에 550rpm으로 10초간 스핀 코트하고, 100℃의 핫 플레이트 상에서 80초간 프리베이크했다. 이어서, 공기 중에서 프록시미티 노광기 TME-150PRC(상품명; 주식회사 탑콘)를 사용하여, 노광했다. 노광량은 적산 광량계 UIT-102(상품명; 우시오 주식회사), 수광기 UVD-365 PD(상품명; 우시오 주식회사)로 측정하여 30mJ/㎠로 했다. 노광 후의 도막을 27℃의 탄산 나트륨·탄산 수소 나트륨의 완충액을 사용하여 40초간 현상한 후, 도막을 순수로 20초간 세정한 후 100℃의 핫 플레이트로 2분간 건조했다. 추가로 230℃에서 30분간 포스트베이크하여, 막두께 3.0㎛의 경화막이 형성된 유리 기판(1)을 얻었다. Each of the photosensitive compositions obtained above was spin-coated on a glass substrate at 550 rpm for 10 seconds and prebaked on a hot plate at 100 캜 for 80 seconds. Subsequently, the resist film was exposed in the air using a proximity photoresist TME-150PRC (trade name: Topcon Co., Ltd.). The exposure amount was 30 mJ / cm 2, as measured with a cumulative photometer UIT-102 (trade name, manufactured by Ushio Co., Ltd.) and a photodetector UVD-365 PD (trade name, manufactured by Ushio Co., Ltd.). The coated film after exposure was developed for 40 seconds using a buffer solution of sodium carbonate / sodium hydrogencarbonate at 27 DEG C, and then the coating film was washed with pure water for 20 seconds and then dried with a hot plate at 100 DEG C for 2 minutes. Post baking was performed at 230 캜 for 30 minutes to obtain a glass substrate 1 having a cured film having a film thickness of 3.0 탆.

상기 유리 기판을 ITO 부착 유리 기판으로 변경한 것 이외는 상기 경화막 부착 유리 기판(1)의 제작 방법에 준하여, 각각의 감광성 조성물로부터 경화막 부착 유리 기판(2)을 얻었다. A glass substrate (2) with a cured film was obtained from each photosensitive composition in accordance with the above-described method for producing the glass substrate (1) with a cured film, except that the glass substrate was changed to an ITO-attached glass substrate.

이하에 설명하는 방법으로 상기 경화막 부착 유리 기판(1)을 사용하여 현상 후 잔막율, 밀착성, 및 내약품성, 내열성, 투명성을, 경화막 부착 유리 기판(2)을 사용하여 밀착성 및 내약품성을 평가했다. The glass substrate 1 with a cured film was used to measure the residual film ratio, adhesion, chemical resistance, heat resistance and transparency of the film after the development by using the glass substrate 2 with a cured film to determine adhesion and chemical resistance I appreciated.

[현상 후 잔막율의 평가 방법][Evaluation method of residual film ratio after development]

단차·표면 조도·미세 형상 측정 장치(상품명; P-16, KLA TENCOR 주식회사)를 이용하여, 상기 경화막 부착 유리 기판(1)의 현상 전의 막두께 및 현상 후의 막두께를 측정하고, 하기 계산식에 의해 현상 후 잔막율을 산출했다. 현상 후 잔막율이 80% 이상인 경우를 ○, 현상 후 잔막율이 80% 미만인 경우를 ×로 했다. The film thickness before development and the film thickness after development of the glass substrate 1 with a cured film were measured using a step, surface roughness and fine shape measuring device (trade name: P-16, KLA TENCOR Co., Ltd.) The residual film ratio after development was calculated. The case where the residual film ratio after development was 80% or more was evaluated as & cir & and the case where the residual film ratio after development was less than 80% was evaluated as & cir &

현상 후 잔막율=(현상 후의 막두께/현상 전의 막두께)×100Film thickness after development = (film thickness after development / film thickness before development) x 100

[해상성 평가용 기판의 제조][Production of substrate for evaluation of resolution]

다음으로 감광성 조성물을 유리 기판 상에 550rpm으로 10초간 스핀 코트하고, 100℃의 핫 플레이트 상에서 80초간 프리베이크했다. 그리고, 공기 중에서 30㎛ 폭의 홀 및 라인 패턴을 갖는 마스크를 개재하여, 프록시미티 노광기 TME-150 PRC를 사용하여, 노광 갭 100㎛로 노광했다. 노광량은 적산 광량계 UIT-102, 수광기 UVD-365PD로 측정하여 30mJ/㎠로 했다. 노광 후의 도막을 27℃의 탄산 나트륨·탄산 수소 나트륨의 완충액을 사용하여 40초간 현상한 후, 도막을 순수로 20초간 세정한 후 100℃의 핫 플레이트로 2분간 건조했다. 추가로 오븐 중 230℃에서 30분간 포스트베이크하여, 막두께 3.0㎛의 경화막이 형성된 유리 기판(3)을 얻었다. Next, the photosensitive composition was spin-coated on a glass substrate at 550 rpm for 10 seconds and prebaked on a hot plate at 100 캜 for 80 seconds. Then, exposure was carried out with an exposure gap of 100 占 퐉 using a proximity phototray TME-150 PRC via a mask having holes and line patterns of 30 占 퐉 width in the air. The amount of exposure was measured to 30 mJ / cm 2 by measuring with an integrated photometer UIT-102 and a photoconductor UVD-365PD. The coated film after exposure was developed for 40 seconds using a buffer solution of sodium carbonate / sodium hydrogencarbonate at 27 DEG C, and then the coating film was washed with pure water for 20 seconds and then dried with a hot plate at 100 DEG C for 2 minutes. Post baking was performed at 230 캜 for 30 minutes in an oven to obtain a glass substrate 3 on which a cured film having a film thickness of 3.0 탆 was formed.

이와 같이 하여 얻어진 경화막에 대해서 해상성을 평가했다. The cured film thus obtained was evaluated for its resolution.

[해상성의 평가 방법][Evaluation method of resolution]

얻어진 패턴 형상의 경화막 부착 유리 기판(3)을 1,000배의 광학 현미경으로 관찰하고, 마스크 사이즈 30㎛ 폭으로 대응한 홀 및 라인 패턴의 해상성을 평가했다. 홀 및 라인 패턴이 해상된 경우를 「○」, 해상되지 않은 경우를 「×」로 했다. The obtained patterned glass substrate 3 with a cured film was observed with a 1,000-fold optical microscope, and the resolution of holes and line patterns corresponding to a mask size of 30 mu m in width was evaluated. The case where the hole and line pattern were resolved was evaluated as " ", and the case where the resolution was not evaluated was evaluated as " x ".

[내열성의 평가 방법][Evaluation method of heat resistance]

상기에서 얻어진 경화막 부착 유리 기판(1)을 230℃에서 1시간 재가열한 후, 가열 전의 막두께 및 가열 후의 막두께를 측정하여, 하기 계산식에 의해 가열 후 잔막율을 산출하고, 내열성을 평가했다. 막두께의 측정에는, P-16을 이용했다. 가열 후 잔막율이 95% 이상인 경우를 ○, 가열 후 잔막율이 95% 미만인 경우를 ×로 했다. The glass substrate 1 with the cured film thus obtained was reheated at 230 DEG C for 1 hour, and then the film thickness before heating and the film thickness after heating were measured, and the film residual ratio after heating was calculated by the following equation to evaluate the heat resistance . For the measurement of the film thickness, P-16 was used. A case where the residual film ratio after heating was 95% or more was evaluated as & cir & and a case where the residual film ratio after heating was less than 95% was evaluated as x.

가열 후 잔막율=(가열 후의 막두께/가열 전의 막두께)×100Film thickness after heating = (film thickness after heating / film thickness before heating) x 100

[투명성의 평가 방법][Evaluation method of transparency]

상기에서 얻어진 경화막 부착 유리 기판(1)에 있어서, 자외 가시 근적외 분광 광도계(상품명; V-670, 니혼 분광 주식회사)에 의해, 경화막만의 파장 400㎚에서의 투과율을 측정하여, 투명성을 평가했다. 투과율이 95% 이상인 경우를 ○, 95% 미만인 경우를 ×로 했다. The transmittance of the cured film only at a wavelength of 400 nm was measured by the ultraviolet visible near infrared spectrophotometer (trade name: V-670, Nihon Spectroscopy Co., Ltd.) in the glass substrate 1 with the cured film obtained above, I appreciated. A case where the transmittance was 95% or more was evaluated as & cir & and a case where the transmittance was less than 95% was evaluated as &

[밀착성의 평가 방법][Evaluation method of adhesion]

JIS K 5600-5-6(크로스 컷 시험)에 준거하여 밀착성을 평가했다. 즉, 상기에서 얻어진 경화막 부착 유리 기판(1) 및 (2)에 1㎜×1㎜의 정방형의 눈금이 100개 형성되도록 컷을 넣고, 눈금 위에 셀로판 테이프(쓰리엠제, 스카치(등록상표) 셀로판 테이프 No.610)를 붙이고 나서 벗겨내는 테이프 박리 시험을 행했다. 눈금 중의 경화막이 전혀 박리되어 있지 않은 경우는 ○, 눈금 중의 경화막의 3분의 1 미만이 박리되어 있는 경우는 △, 3분의 1 이상이 박리되어 있는 경우는 ×로 했다. The adhesion was evaluated in accordance with JIS K 5600-5-6 (crosscut test). That is, cuts were made so as to form 100 squares of 1 mm x 1 mm square on the glass substrates 1 and 2 with cured films obtained above, and a cellophane tape (3M, Scotch (TM) Tape No. 610) was attached to the tape, and then peeled off. The case where the cured film in the scale is not peeled off at all, the case where less than one-third of the cured film in the scale is peeled is?, And the case where more than one-third is peeled is x.

[내약품성의 평가 방법][Evaluation method of chemical resistance]

상기에서 얻어진 경화막 부착 유리 기판(1) 및 (2)를 25℃의 ITO 에칭액(상품명; ITO-301, 칸토 화학제)에 6분간 침지한 후, 순수로 세정하여, 수분을 닦아낸다. 추가로 1㎜×1㎜의 정방형의 눈금이 100개 형성되도록 컷을 넣고, 눈금 상에 셀로판 테이프(쓰리엠제, 스카치(등록상표) 셀로판 테이프 No.610)를 붙이고 나서 벗겨내는 테이프 박리 시험을 행하고, 내약품성을 평가했다. 눈금 중의 경화막이 전혀 박리되어 있지 않은 경우는 ○, 눈금 중의 경화막의 3분의 1 미만이 박리되어 있는 경우는 △, 3분의 1 이상이 박리되어 있는 경우는 ×로 했다. The glass substrates 1 and 2 with the cured films thus obtained were immersed in an ITO etchant (trade name: ITO-301, manufactured by Kanto Kagaku Co., Ltd.) at 25 ° C for 6 minutes and then rinsed with pure water to wipe out the water. Further, cuts were made so as to form 100 squares with a square of 1 mm x 1 mm, a tape peeling test was carried out in which a cellophane tape (3M, Scotch (TM) cellophane tape No. 610) , And chemical resistance. The case where the cured film in the scale is not peeled off at all, the case where less than one-third of the cured film in the scale is peeled is?, And the case where more than one-third is peeled is x.

이하, 실시예 1∼4를 표 3에, 비교예 1∼4의 경화막의 평가 결과를 표 4에 기재했다. Examples 1 to 4 are shown in Table 3, and the evaluation results of the cured films of Comparative Examples 1 to 4 are shown in Table 4 below.

Figure pat00005
Figure pat00005

Figure pat00006
Figure pat00006

표 3에 나타낸 결과로부터 명백한 바와 같이 실시예 1∼4의 경화막은 현상 후 잔막율, 해상성, 내열성, 투명성, 밀착성, 및 내약품성이 우수하다. 한편, 비교 예 1∼4의 경화막은 각 평가 항목 모두 「○」가 되는 것은 아니다. 이상과 같이, 테트라카르복실산 이무수물, 디아민 및 다가히드록시 화합물을 필수 원료 성분으로 하여 반응시킴으로써 얻어지는 폴리에스테르아미드산을 사용하여, 에폭시 화합물의 분자량이 본 발명의 범위 내인 경우, 모든 특성을 만족시킬 수 있었다.  As is clear from the results shown in Table 3, the cured films of Examples 1 to 4 are excellent in residual film ratio after development, resolution, heat resistance, transparency, adhesion, and chemical resistance. On the other hand, the cured films of Comparative Examples 1 to 4 do not become "? &Quot; As described above, when a polyester amide acid obtained by reacting tetracarboxylic acid dianhydride, diamine and polyhydric hydroxy compound as essential raw material components is used, when the molecular weight of the epoxy compound is within the range of the present invention, .

본 발명의 감광성 조성물로부터 얻어진 경화막은 투명성, 내열성, 평탄성, 해상성 및 내약품성 등 광학 재료로서의 특성에도 우수하다는 점에서, 컬러 필터, LED 발광 소자 및 수광 소자 등의 각종 광학 재료 등의 보호막, 및, TFT와 투명 전극 사이 및 투명 전극과 배향막 사이에 형성되는 투명 절연막으로서 이용할 수 있다. Since the cured film obtained from the photosensitive composition of the present invention is excellent in optical characteristics such as transparency, heat resistance, flatness, resolution and chemical resistance, it is preferable to use a protective film for various optical materials such as color filters, LED light emitting devices and light receiving devices, , A transparent insulating film formed between the TFT and the transparent electrode and between the transparent electrode and the alignment film.

Claims (16)

폴리에스테르아미드산(A), 중합성 이중 결합을 갖는 화합물(B), 광중합 개시제(C), 에폭시기를 갖는 중합체(D), 에폭시 화합물(E), 에폭시 경화제(F) 및 분자량 조정제(G)를 포함하는 감광성 조성물로서;
상기 폴리에스테르아미드산(A)은 X몰의 테트라카르복실산 이무수물, Y몰의 디아민 및 Z몰의 다가히드록시 화합물을 하기 식 (1) 및 식 (2)의 관계가 성립되는 비율로 반응시킴으로써 얻어지고, 하기 식 (3)으로 나타내는 구성 단위 및 하기 식 (4)로 나타내는 구성 단위를 포함하고;
상기 중합성 이중 결합을 갖는 화합물(B)는 중합성 이중 결합을 1분자당 2개 이상 포함하고;
상기 에폭시기를 갖는 중합체(D)는 중량 평균 분자량이 3,000∼50,000이며;
상기 에폭시 화합물(E)는 에폭시기를 1분자당 2∼10개 포함하고, 중량 평균 분자량이 3,000 미만이고;
상기 폴리에스테르아미드산(A) 100중량부에 대해, 상기 중합성 이중 결합을 갖는 화합물(B)의 총량은 20∼300중량부이며, 상기 에폭시기를 갖는 중합체(D) 및 상기 에폭시 화합물(E)의 총량은 20∼200중량부이며;
상기 광중합 개시제(C)의 함유량이 상기 분자량 조정제(G)의 함유량의 5.0배보다 많으며, 30배 미만인 것을 특징으로 하는 감광성 조성물;
0.2≤Z/Y≤8.0·······(1)
0.2≤(Y+Z)/X≤5.0 ···(2)
Figure pat00007

식 (3) 및 식 (4)에 있어서, R1은 테트라카르복실산 이무수물로부터 2개의 -CO-O-CO-를 제외한 잔기이며, R2는 디아민으로부터 2개의 -NH2를 제외한 잔기이며, R3은 다가히드록시 화합물로부터 2개의 -OH를 제외한 잔기이다.
(A), a polymerizable double bond-containing compound (B), a photopolymerization initiator (C), an epoxy group-containing polymer (D), an epoxy compound (E), an epoxy curing agent (F) As a photosensitive composition;
The polyester amide acid (A) is obtained by reacting X mole of a tetracarboxylic acid dianhydride, Y mole of a diamine and Z mole of a polyhydric hydroxy compound at a ratio satisfying the relations of the following formulas (1) and (2) And includes a constituent unit represented by the following formula (3) and a constituent unit represented by the following formula (4);
The compound (B) having a polymerizable double bond has two or more polymerizable double bonds per molecule;
The polymer (D) having an epoxy group has a weight average molecular weight of 3,000 to 50,000;
The epoxy compound (E) contains 2 to 10 epoxy groups per molecule and has a weight average molecular weight of less than 3,000;
The total amount of the polymerizable double bond-containing compound (B) is 20 to 300 parts by weight based on 100 parts by weight of the polyester amide acid (A). The polymer (D) having the epoxy group and the epoxy compound (E) Is 20 to 200 parts by weight;
Wherein the content of the photopolymerization initiator (C) is more than 5.0 times and less than 30 times the content of the molecular weight modifier (G).
0.2? Z / Y? 8.0 (1)
0.2? (Y + Z) /X? 5.0 (2)
Figure pat00007

In the formulas (3) and (4), R 1 is a residue excluding two -CO-O-CO- from a tetracarboxylic acid dianhydride, R 2 is a residue excluding two -NH 2 from a diamine, , And R < 3 > is a residue excluding two -OH from the polyhydric hydroxy compound.
제 1 항에 있어서,
상기 폴리에스테르아미드산의 원료 성분이 추가로 모노히드록시 화합물을 포함하는 감광성 조성물.
The method according to claim 1,
Wherein the raw material component of the polyester amide acid further comprises a monohydroxy compound.
제 2 항에 있어서,
상기 모노히드록시 화합물이 이소프로필알코올, 알릴알코올, 벤질알코올, 히드록시에틸메타크릴레이트, 프로필렌글리콜모노에틸에테르, 및 3-에틸-3-히드록시메틸옥세탄으로부터 선택되는 1종 이상인 감광성 조성물.
3. The method of claim 2,
Wherein the monohydroxy compound is at least one selected from isopropyl alcohol, allyl alcohol, benzyl alcohol, hydroxyethyl methacrylate, propylene glycol monoethyl ether, and 3-ethyl-3-hydroxymethyloxetane.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 폴리에스테르아미드산(A)의 중량 평균 분자량이 1,000∼200,000이며;
상기 테트라카르복실산 이무수물이 3,3',4,4'-디페닐술폰테트라카르복실산 이무수물, 3,3',4,4'-디페닐에테르테트라카르복실산 이무수물, 2,2-[비스(3,4-디카르복시페닐)]헥사플루오로프로판 이무수물, 1,2,3,4-부탄테트라카르복실산 이무수물, 및 에틸렌글리콜비스(안히드로트리멜리테이트)로부터 선택되는 1종 이상이며;
상기 디아민이 3,3'-디아미노디페닐술폰 및 비스[4-(3-아미노페녹시)페닐]술폰으로부터 선택되는 1종 이상이며;
상기 다가히드록시 화합물이 에틸렌글리콜, 프로필렌글리콜, 1,4-부탄디올, 1,5-펜탄디올, 1,6-헥산디올, 1,7-헵탄디올, 1,8-옥탄디올, 2,2-비스(4-히드록시시클로헥실)프로판, 4,4'-디히드록시디시클로헥실 및 이소시아눌산 트리스(2-히드록시에틸)로부터 선택되는 1종 이상이며;
상기 중합성 이중 결합을 갖는 화합물(B)가 디펜타에리스리톨펜타아크릴레이트, 디펜타에리스리톨헥사아크릴레이트, 펜타에리스리톨테트라아크릴레이트, 펜타에리스리톨트리아크릴레이트, 이소시아눌산에틸렌옥시드 변성 트리아크릴레이트 및 다염기산 변성 (메타)아크릴 올리고머로부터 선택되는 1종 이상을 상기 중합성 이중 결합을 갖는 화합물의 총 중량에 대해 50중량% 이상 함유하고;
상기 광중합 개시제(C)가 α-아미노알킬페논계, 아실포스핀옥사이드계, 옥심에스테르계 광중합 개시제로부터 선택되는 1종 이상이며;
상기 에폭시기를 갖는 중합체(D)가 에폭시기를 갖는 라디칼 중합성 모노머(d1)와 상기 (d1) 이외의 라디칼 중합성 모노머(d2)의 혼합물로부터의 반응 생성물인 에폭시기를 갖는 공중합체이며; 그리고,
상기 에폭시 경화제(F)가 트리멜리트산 무수물, 헥사히드로트리멜리트산 무수물 및 2-운데실이미다졸로부터 선택되는 1종 이상인 감광성 조성물.
4. The method according to any one of claims 1 to 3,
The weight average molecular weight of the polyester amide acid (A) is 1,000 to 200,000;
Wherein the tetracarboxylic acid dianhydride is selected from the group consisting of 3,3 ', 4,4'-diphenylsulfone tetracarboxylic dianhydride, 3,3', 4,4'-diphenyl ether tetracarboxylic dianhydride, (Dihydrocarbodiimide) is selected from 2- [bis (3,4-dicarboxyphenyl)] hexafluoropropane dianhydride, 1,2,3,4-butanetetracarboxylic acid dianhydride, and ethylene glycol bis Or more;
The diamine is at least one selected from 3,3'-diaminodiphenylsulfone and bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfone;
Wherein the polyhydric hydroxy compound is selected from the group consisting of ethylene glycol, propylene glycol, 1,4-butanediol, 1,5-pentanediol, 1,6-hexanediol, 1,7- Bis (4-hydroxycyclohexyl) propane, 4,4'-dihydroxydicyclohexyl, and isocyanuric acid tris (2-hydroxyethyl);
Wherein the polymerizable double bond-containing compound (B) is at least one compound selected from the group consisting of dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, pentaerythritol triacrylate, isocyanuric acid ethyleneoxide- Modified (meth) acryl oligomer in an amount of 50% by weight or more based on the total weight of the compound having a polymerizable double bond;
The photopolymerization initiator (C) is at least one selected from an? -Aminoalkylphenone-based, acylphosphine oxide-based, oximeester-based photopolymerization initiator;
Wherein the polymer (D) having an epoxy group has an epoxy group as a reaction product from a mixture of a radically polymerizable monomer (d1) having an epoxy group and a radically polymerizable monomer (d2) other than the above (d1); And,
Wherein the epoxy curing agent (F) is at least one selected from trimellitic anhydride, hexahydrotrimellitic anhydride, and 2-undecylimidazole.
제 4 항에 있어서,
상기 에폭시기를 갖는 라디칼 중합성 모노머(d1)가 글리시딜(메타)아크릴레이트, 3,4-에폭시시클로헥실메틸(메타)아크릴레이트 및 4-히드록시부틸(메타)아크릴레이트 글리시딜에테르로부터 선택되는 1종 이상이며;
(d1) 이외의 라디칼 중합성 모노머(d2)가 2관능 (메타)아크릴레이트의 1종 이상을 포함하는 감광성 조성물.
5. The method of claim 4,
The radically polymerizable monomer (d1) having an epoxy group is prepared from glycidyl (meth) acrylate, 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate and 4-hydroxybutyl (meth) acrylate glycidyl ether At least one selected;
wherein the radically polymerizable monomer (d2) other than (d1) comprises at least one bifunctional (meth) acrylate.
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 분자량 조정제(G)가 메르캅탄류, 크산토겐류, 퀴논류, 히드로퀴논류, 2,4-디페닐-4-메틸-1-헵텐으로부터 선택되는 1종 이상인 감광성 조성물.
6. The method according to any one of claims 1 to 5,
Wherein the molecular weight modifier (G) is at least one selected from mercaptans, xanthogens, quinones, hydroquinones, and 2,4-diphenyl-4-methyl-1-heptene.
제 5 항에 있어서,
상기 테트라카르복실산 이무수물이 3,3',4,4'-디페닐에테르테트라카르복실산 이무수물 및 1,2,3,4-부탄테트라카르복실산 이무수물로부터 선택되는 1종 이상이며;
상기 디아민이 3,3'-디아미노디페닐술폰이며;
상기 다가히드록시 화합물이 1,4-부탄디올이며;
상기 모노히드록시 화합물이 벤질알코올이며;
상기 중합성 이중 결합을 갖는 화합물(B)가 디펜타에리스리톨펜타아크릴레이트, 디펜타에리스리톨헥사아크릴레이트 및 다염기산변성 (메타)아크릴 올리고머로부터 선택되는 1종 이상이며;
상기 2관능 (메타)아크릴레이트가 에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 디에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 1,4-부탄디올디(메타)아크릴레이트, 1,3-부탄디올디(메타)아크릴레이트, 네오펜틸글리콜디(메타)아크릴레이트, 트리시클로데칸디메탄올디(메타)아크릴레이트로부터 선택되는 1종 이상이며;
상기 광중합 개시제(C)가 1,2-옥탄디온,1-[4-(페닐티오)페닐]-,2-(O-벤조일옥심), 에타논,1-[9-에틸-6-(2-메틸벤조일)-9H-카르바졸-3-일]-,1-(O-아세틸옥심) 및 1,2-프로판디온,1-[4-[4-(2-히드록시에톡시)페닐티오]페닐]-2-(O-아세틸옥심)으로부터 선택되는 1종 이상을 광중합 개시제(C)의 전체 중량에 대해 50중량% 이상 함유하고;
상기 에폭시 경화제(F)가 트리멜리트산 무수물 및 2-운데실이미다졸로부터 선택되는 1종 이상이며; 그리고,
추가로 용제로서 3-메톡시프로피온산메틸 및 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트로부터 선택되는 1종 이상을 함유하는 감광성 조성물.
6. The method of claim 5,
Wherein the tetracarboxylic acid dianhydride is at least one selected from 3,3 ', 4,4'-diphenyl ether tetracarboxylic dianhydride and 1,2,3,4-butanetetracarboxylic dianhydride ;
The diamine is 3,3'-diaminodiphenylsulfone;
The polyhydric hydroxy compound is 1,4-butanediol;
The monohydroxy compound is benzyl alcohol;
The compound (B) having a polymerizable double bond is at least one selected from dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate and polybasic acid modified (meth) acrylic oligomer;
Wherein the bifunctional (meth) acrylate is selected from the group consisting of ethylene glycol di (meth) acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate, 1,4-butanediol di (meth) (Meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, and tricyclodecane dimethanol di (meth) acrylate;
Wherein the photopolymerization initiator (C) is at least one selected from the group consisting of 1,2-octanedione, 1- [4- (phenylthio) phenyl] -, 2- (O-benzoyloxime), ethanone, 1- [ -Methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] -, 1- (O-acetyloxime), and 1,2-propanedione, 1- [4- [4- (2-hydroxyethoxy) ] Phenyl] -2- (O-acetyloxime) in an amount of 50% by weight or more based on the total weight of the photopolymerization initiator (C);
Wherein the epoxy curing agent (F) is at least one selected from trimellitic anhydride and 2-undecylimidazole; And,
Further comprising at least one solvent selected from methyl 3-methoxypropionate and propylene glycol monomethyl ether acetate as a solvent.
제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 분자량 조정제(G)가 나프토퀴논류 및 히드로퀴논류로부터 선택되는 1종 이상인 감광성 조성물.
8. The method according to any one of claims 1 to 7,
Wherein the molecular weight modifier (G) is at least one selected from naphthoquinones and hydroquinones.
제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항의 감광성 조성물로부터 얻어지는 경화막.A cured film obtained from the photosensitive composition according to any one of claims 1 to 8. 제 9 항의 경화막을 투명 보호막으로서 갖는 컬러 필터.A color filter having the cured film of claim 9 as a transparent protective film. 제 10 항의 컬러 필터를 사용한 표시 소자.A display element using the color filter of claim 10. 제 10 항의 컬러 필터를 사용한 고체 촬상 소자.A solid-state imaging device using the color filter of claim 10. TFT와 투명 전극 사이에 형성되는 투명 절연막으로서 제 9 항의 경화막을 사용한 표시 소자.A display element using the cured film of claim 9 as a transparent insulating film formed between a TFT and a transparent electrode. TFT와 배향막 사이에 형성되는 투명 절연막으로서 제 9 항의 경화막을 사용한 표시 소자.A display element using the cured film of claim 9 as a transparent insulating film formed between a TFT and an orientation film. 제 9 항의 경화막을 보호막으로서 사용한 LED 발광체.An LED light source using the cured film of claim 9 as a protective film. 제 9 항의 경화막을 투명 보호막으로서 갖는 층간 절연막.An interlayer insulating film having the cured film of claim 9 as a transparent protective film.
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