KR20180105785A - Mems microphone having convex0concave shaped diaphragm - Google Patents

Mems microphone having convex0concave shaped diaphragm Download PDF

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KR20180105785A
KR20180105785A KR1020170032908A KR20170032908A KR20180105785A KR 20180105785 A KR20180105785 A KR 20180105785A KR 1020170032908 A KR1020170032908 A KR 1020170032908A KR 20170032908 A KR20170032908 A KR 20170032908A KR 20180105785 A KR20180105785 A KR 20180105785A
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Abstract

The present invention relates to a micro electro machining systems (MEMS) microphone having an uneven structure diaphragm which minimizes noise by smoothly performing vibration of a diaphragm. The MEMS microphone comprises: a substrate (100) having a back chamber formed at the center thereof; a lower support part (200a) formed on an upper part of the substrate; the diaphragm (300) mounted on the lower support part (200a); an upper support part (200b) located on the diaphragm (300); and a back plate (400) located on the upper support part (200b). The diaphragm (300) is formed in an uneven structure on an edge.

Description

요철구조체 진동판을 갖는 멤스 마이크로폰{MEMS MICROPHONE HAVING CONVEX0CONCAVE SHAPED DIAPHRAGM}MEMS MICROPHONE HAVING CONVEX CONCAVE SHAPED DIAPHRAGM WITH VIBRATION PLATE

본 발명은 마이크로폰에 관한 것으로, 보다 상세하게는 진동판의 구조개선을 통해 음향 특성을 향상시키는 멤스 마이크로폰에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a microphone, and more particularly, to a MEMS microphone that improves acoustic characteristics by improving the structure of a diaphragm.

마이크로폰은 음향 신호를 전기신호로 변환하는 장치로써, 음향기기, 통신기기 또는 의료기기 등에 내장되어 사용되고 있다. 마이크로폰이 내장되는 다양한 기기들이 소형화되어 감에 따라 마이크로폰의 초소형화가 요구되고 있다. 이러한 요구에 따라 멤스 마이크로폰의 개발이 활발히 이루어지고 있다. A microphone is a device that converts an acoustic signal into an electric signal, and is used in an acoustic device, a communication device, a medical device, or the like. As the various devices with built-in microphones become smaller in size, miniaturization of microphones is required. In response to these demands, the development of MEMS microphones is being actively pursued.

멤스 마이크로폰은 초소형화가 가능하고 부품 간의 분리된 생산공정을 일괄화할 수 있어 성능과 생산효율에 있어서 크게 각광을 받고 있다. 멤스 마이크로폰은 표면실장기술(SMT: Surface Mount Technology)과 전자 기계 시스템(MEMS) 기술을 이용한 반도체 가공기술 등을 적용하여 제작된다. MEMS microphones have become very popular for their performance and production efficiency because they can be miniaturized and can be separated into separate production processes. MEMS microphones are fabricated using surface mount technology (SMT) and semiconductor processing technology using electromechanical systems (MEMS) technology.

멤스(MEMS: Micro Electro Machining Systems) 공정은 반도체 공정기술을 바탕으로 안정적이며 조절 가능한 물성을 갖는 박막을 제조할 수 있고 일괄공정이 가능하여 소형이면서도 저렴한 고성능 마이크로폰 칩을 구현할 수 있다. 또한 기존의 일렉트릿 콘덴서 마이크로폰에 비하여 높은 온도에서 조립 및 동작이 가능하므로 기존에 사용하고 있는 표면실장(SMD)장비 및 기술을 이용하여 MEMS 마이크로폰 패키지를 조립할 수 있는 장점이 있다.The MEMS (Micro Electro Machining Systems) process can produce thin films with stable and adjustable properties based on semiconductor process technology, and it is possible to realize a compact and inexpensive high performance microphone chip by batch process. Also, since it can be assembled and operated at a higher temperature than a conventional electret condenser microphone, there is an advantage that a MEMS microphone package can be assembled by using a surface mount (SMD) equipment and technology which are used in the past.

마이크로폰의 경우, 진동판(diaphragm)에 다수의 배기홀(vent hole)이 형성되어, 백 챔버(Back Chamber) 내부와 외부의 공기를 왕래시켜 공기압 평형을 이루게 한다. In the case of a microphone, a plurality of vent holes are formed in a diaphragm to allow air in and out of the back chamber to be in an air pressure balance.

그런데, 진동판에 형성된 다수의 배기홀은 진동판의 진동을 방해하여, 노이즈 발생 등으로 신호대잡음비(SNR; Signal to Noise Ratio)가 악화되는 문제점이 있었다.However, a large number of exhaust holes formed in the diaphragm interfere with the vibration of the diaphragm, thereby causing a problem that the signal to noise ratio (SNR) is deteriorated due to noise or the like.

(문헌 1) 대한민국 공개특허공보 제20-2009-0000180호 (2009.01.08)(Document 1) Korean Patent Publication No. 20-2009-0000180 (2009.01.08) (문헌 2) 대한민국 등록특허공보 제10-0901777호 (2009.06.02)(Document 2) Korean Patent Registration No. 10-0901777 (Jun. 2, 2009)

본 발명에 따른 요철구조체 진동판을 갖는 멤스 마이크로폰은 다음과 같은 해결과제를 가진다.The MEMS microphone having the diaphragm structure diaphragm according to the present invention has the following problems.

첫째, 진동판의 진동이 원활하게 수행되도록 하여 노이즈를 최소화하고자 한다.First, vibration of the diaphragm is smoothly performed to minimize noise.

둘째, 진동판의 가장자리 구조개선 및/또는 배기홀의 형성위치를 변경시키고자 한다.Second, it is desired to improve the edge structure of the diaphragm and / or change the formation position of the exhaust hole.

본 발명의 해결과제는 이상에서 언급한 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 해결과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해되어질 수 있을 것이다. The solution of the present invention is not limited to those mentioned above, and other solutions not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

본 발명은 요철구조체 진동판을 갖는 멤스 마이크로폰으로서, 중앙에 백 챔버가 형성된 기판, 기판 상부에 형성된 하부 지지부, 하부 지지부상에 안착되는 진동판, 진동판 상에 배치되는 상부 지지부 및 상부 지지부 상에 배치되는 백 플레이트를 포함하며, 진동판은 가장자리에 요철구조로 형성된 것이 특징이다.The present invention relates to a MEMS microphone having a concave-convex structure diaphragm, the MEMS microphone comprising: a substrate having a back chamber formed at the center thereof; a lower support section formed on the upper surface of the substrate; a vibration plate seated on the lower support section; an upper support section disposed on the diaphragm; Plate, and the diaphragm is formed in a concave-convex structure at the edge.

본 발명에 있어서, 진동판의 요철구조체는 기판의 내면(A)보다 더 외측에 형성되는 것이 바람직하다.In the present invention, it is preferable that the irregular structure of the diaphragm is formed on the outer side of the inner surface (A) of the substrate.

본 발명에 있어서, 진동판의 요철구조체는 상부가 요부이고, 하부가 철부로 형성된 구조체, 상부가 철부이고, 하부가 요부로 형성된 구조체 및 상부와 하부가 모두 요부로 형성된 구조체 중 어느 하나의 구조체인 것이 바람직하다.In the present invention, the concave-convex structure of the diaphragm is any one of a structure having a concave portion at the upper portion and a convex portion at the lower portion, a convex portion at the upper portion, a concave portion at the lower concave portion, desirable.

본 발명에 있어서, 요부는 지지부 쪽으로 요부가 연장형성되는 것이 바람직하다.In the present invention, it is preferable that the concave portion is formed so that the concave portion extends toward the support portion.

본 발명에 있어서, 진동판의 배기홀은 요철구조체에 형성되는 것이 바람직하다.In the present invention, it is preferable that the exhaust hole of the diaphragm is formed in the uneven structure.

본 발명에 있어서, 진동판의 배기홀은 요철구조체보다 더 외측에 형성되는 것이 바람직하다.In the present invention, the exhaust hole of the diaphragm is preferably formed on the outer side of the uneven structure.

본 발명에 있어서, 요부 또는 철부의 높이는 진동판의 두께의 1/4를 초과하지 않는 것이 바람직하다.In the present invention, it is preferable that the height of the recessed portion or the convex portion does not exceed 1/4 of the thickness of the diaphragm.

본 발명에 따른 요철구조체 진동판을 갖는 멤스 마이크로폰은 다음과 같은 효과를 가진다.The MEMS microphone having the diaphragm structure diaphragm according to the present invention has the following effects.

첫째, 진동판의 가장자리 형성된 요철구조를 경계로 삼아, 진동판의 진동이 원활히 수행되도록 한다.First, using the concave-convex structure formed at the edge of the diaphragm as a boundary, vibration of the diaphragm is smoothly performed.

둘째, 다양한 요철구조를 구현하여, SNR 특성이 향상되도록 한다.Second, various concavo-convex structures are implemented to improve the SNR characteristics.

셋째, 요철구조에 배기홀을 형성시켜, SNR 특성이 향상되도록 한다.Third, an exhaust hole is formed in the concavo-convex structure to improve the SNR characteristics.

본 발명의 효과는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 효과들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해되어 질 수 있을 것이다.The effects of the present invention are not limited to those mentioned above, and other effects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

도 1은 종래 진동판 및 배기홀이 구비된 멤스 마이크로폰의 구조를 나타내는 정단면도이다.
도 2는 본 발명에 진동판이 구비된 멤스 마이크로폰의 구조를 나타내는 정단면도이다.
도 3 내지 도 8은 본 발명에 따른 진동판의 다양한 실시예를 나타내는 도면이다.
도 9는 도 3의 요철구조체를 설명하기 위한 부분확대도이다.
도 10은 본 발명의 요철구조체의 두께 상관관계를 나타내는 도면이다.1 is a front sectional view showing the structure of a conventional MEMS microphone having a diaphragm and an exhaust hole.
2 is a front sectional view showing the structure of a MEMS microphone having a diaphragm according to the present invention.
3 to 8 are views showing various embodiments of the diaphragm according to the present invention.
9 is a partially enlarged view for explaining the concavo-convex structure of FIG.
10 is a view showing the thickness correlation of the irregular structure of the present invention.

이하, 첨부한 도면을 참조하여, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예를 설명한다. 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 이해할 수 있는 바와 같이, 후술하는 실시예는 본 발명의 개념과 범위를 벗어나지 않는 한도 내에서 다양한 형태로 변형될 수 있다. 가능한 한 동일하거나 유사한 부분은 도면에서 동일한 도면부호를 사용하여 나타낸다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art can easily carry out the present invention. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. Wherever possible, the same or similar parts are denoted using the same reference numerals in the drawings.

본 명세서에서 사용되는 전문용어는 단지 특정 실시예를 언급하기 위한 것이며, 본 발명을 한정하는 것을 의도하지는 않는다. 여기서 사용되는 단수 형태들은 문구들이 이와 명백히 반대의 의미를 나타내지 않는 한 복수 형태들도 포함한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. The singular forms as used herein include plural forms as long as the phrases do not expressly express the opposite meaning thereto.

본 명세서에서 사용되는 "포함하는"의 의미는 특정 특성, 영역, 정수, 단계, 동작, 요소 및/또는 성분을 구체화하며, 다른 특정 특성, 영역, 정수, 단계, 동작, 요소, 성분 및/또는 군의 존재나 부가를 제외시키는 것은 아니다.Means that a particular feature, region, integer, step, operation, element and / or component is specified and that other specific features, regions, integers, steps, operations, elements, components, and / It does not exclude the existence or addition of a group.

본 명세서에서 사용되는 기술용어 및 과학용어를 포함하는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 일반적으로 이해하는 의미와 동일한 의미를 가진다. 사전에 정의된 용어들은 관련기술문헌과 현재 개시된 내용에 부합하는 의미를 가지는 것으로 추가 해석되고, 정의되지 않는 한 이상적이거나 매우 공식적인 의미로 해석되지 않는다.All terms including technical and scientific terms used herein have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Predefined terms are further interpreted as having a meaning consistent with the relevant technical literature and the present disclosure, and are not to be construed as ideal or very formal meanings unless defined otherwise.

본 발명은 종래의 진동판에 구비되지 않은 '요철구조체'의 형상과 배치위치 등을 기술적 특징으로 하므로 이를 중심으로 설명하고자 한다. 따라서 그 외의 종래 마이크로폰의 기본 구조와 형상 등은 차용하며, 종래 기술에 대한 설명은 생략하고자 한다.The present invention is based on the technical features of the shape and arrangement position of the 'concavo-convex structure' not provided in the conventional diaphragm. Therefore, the basic structure and shape of other conventional microphones are borrowed, and a description of the related art is omitted.

본 명세서에서 '내측(inside)'과 '외측(outside)'의 용어가 사용되는데, 백챔버(Back Chamber)가 위치한 방향을 '내측'이라고 지칭하며, 그로부터 바깥 외부로 가는 방향을 '외측'이라고 지칭한다(도 2 참조).In this specification, the terms 'inside' and 'outside' are used. The direction in which the back chamber is located is referred to as 'inside', and the direction from outside to outside is referred to as 'outside' (See FIG. 2).

이하에서는 도면을 중심으로 본 발명을 설명하고자 한다. Hereinafter, the present invention will be described with reference to the drawings.

도 1은 종래 진동판 및 배기홀이 구비된 멤스 마이크로폰의 구조를 나타내는 정단면도이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 백챔버 상측에 놓인 진동판의 대응 부분에 배기홀(vent hole)이 형성되어 있다. 이러한 구조는 진동판의 진동시 배기홀도 함께 진동하게 되면서, 음향의 노이즈를 발생시키는 등 신호대잡음비(이하 'SNR'이라 함)가 악화되는 문제점이 있다.1 is a front sectional view showing the structure of a conventional MEMS microphone having a diaphragm and an exhaust hole. As shown in Fig. 1, a vent hole is formed in a corresponding portion of the vibration plate placed on the upper side of the back chamber. Such a structure has a problem in that a signal-to-noise ratio (hereinafter referred to as " SNR ") is deteriorated due to generation of acoustic noise as the exhaust hole vibrates together with vibration of the diaphragm.

본 발명은 멤스 마이크로폰에 관한 것으로서, 중앙에 백 챔버가 형성된 기판(100), 상기 기판 상부에 형성된 하부 지지부(200a), 하부 지지부(200a)상에 안착되는 진동판(300), 진동판(300) 상에 배치되는 상부 지지부(200b) 및 상부 지지부(200b)상에 배치되는 백 플레이트(400)를 포함하는 것이 바람직하다. 즉 본 발명의 기본 배치구조는 종래기술과 유사하다. The present invention relates to a MEMS microphone, and more particularly, to a MEMS microphone having a substrate 100 formed with a back chamber at the center, a lower support 200a formed on the substrate, a diaphragm 300 mounted on the lower support 200a, And a back plate 400 disposed on the upper support portion 200b. That is, the basic layout structure of the present invention is similar to the prior art.

다만, 본 발명에 따른 진동판(300)은 가장자리에 요철구조로 형성된 것을 특징으로 한다.However, the diaphragm 300 according to the present invention is characterized by being formed in a concave-convex structure at the edge.

도 2는 본 발명에 진동판이 구비된 멤스 마이크로폰의 구조를 나타내는 정단면도이다. 도 3 내지 도 8은 본 발명에 따른 진동판의 다양한 실시예를 나타내는 도면이다.2 is a front sectional view showing the structure of a MEMS microphone having a diaphragm according to the present invention. 3 to 8 are views showing various embodiments of the diaphragm according to the present invention.

도 2에 도시된 A선은 백챔버(Back Chamber)의 외면이자, 기판(100)의 내면에 해당되는 경계 위치를 나타낸다.A line A in FIG. 2 represents an outer surface of a back chamber and a boundary position corresponding to an inner surface of the substrate 100.

본 발명에 따른 진동판의 요철구조체의 형성위치는, 도 2에 도시된 바와 같이, 기판(100)의 내면(A선)보다 더 외측에 형성되는 것이 바람직하다. 이는 진동판의 요철구조체의 형성위치가 백챔버(Back Chamber)의 바로 상측에 배치되지 않는 것을 의미한다.It is preferable that the formation position of the concavo-convex structure of the diaphragm according to the present invention is formed on the outer side of the inner surface (line A) of the substrate 100 as shown in Fig. This means that the formation position of the concave-convex structure of the diaphragm is not disposed just above the back chamber.

진동판(300)의 가장자리에 요철구조체가 형성되면, 요철구조체는 진동의 양 경계점으로 작동하게 된다. 이는 요철구조체의 내측은 진동이 원활하게 수행되고, 요철구조체의 외측은 진동으로부터 상대적으로 자유롭다는 것을 의미한다.When the concavo-convex structure is formed at the edge of the diaphragm 300, the concavo-convex structure is operated at a positive boundary point of vibration. This means that the inside of the uneven structure is smoothly vibrated and the outside of the uneven structure is relatively free from vibration.

본 발명에 따른 진동판의 요철구조체는 다음과 같은 실시예들이 적용가능하다. The following embodiments are applicable to the concavo-convex structure of the diaphragm according to the present invention.

제1 실시예는, 도 3에 도시된 바와 같이, 상부가 요부(320)이고, 하부가 철부(330)로 형성된 구조체이다. 한편 제1 실시예는 도 8에 도시된 바와 같이, 상부에 형성된 요부(320)가 지지부(200a,200b)쪽으로 연장형성되는 실시예로 응용되는 것도 가능하다.As shown in FIG. 3, the first embodiment is a structure in which an upper concave portion 320 and a lower convex portion 330 are formed. In the first embodiment, as shown in FIG. 8, it is also possible to apply the embodiment in which the concave portion 320 formed on the upper portion is extended toward the support portions 200a and 200b.

제2 실시예는, 도 4에 도시된 바와 같이, 상부가 철부(330)이고, 하부가 요부(320)로 형성된 구조체이다. As shown in FIG. 4, the second embodiment is a structure in which the upper portion is the convex portion 330 and the lower portion is the concave portion 320.

제3 실시예는, 도 5에 도시된 바와 같이, 상부와 하부가 모두 요부(320)로 형성된 구조체이다. As shown in FIG. 5, the third embodiment is a structure in which both the upper and lower portions are formed as recesses 320.

제4 실시예는, 도 6에 도시된 바와 같이, 상부 또는 하부 어느 한 곳이 요부(320)로 형성된 구조체이다.As shown in FIG. 6, the fourth embodiment is a structure in which either the upper portion or the lower portion is formed by the recess 320.

한편, 본 발명에 따른 요부(320)는 지지부(200a,200b)쪽으로 요부가 연장형성되는 것이 가능하다. 도 8은 상부에 형성된 요부(320)가 지지부(200a,200b)쪽으로 연장형성되는 일 실시예를 제시한 것이다.In the meantime, the concave portion 320 according to the present invention can be extended to the supporting portions 200a and 200b. 8 shows an embodiment in which the recess 320 formed on the upper portion is extended toward the supports 200a and 200b.

본 발명에 있어서, 진동판(300)의 배기홀(310)은 기판(100)의 내면(A선)보다 더 외측에 형성되는 것이 바람직하다. 이는 백챔버의 상측에 위치한 진동판(300)에는 어떠한 배기홀(310)도 형성되지 않는다는 것을 의미한다. 배기홀(310)이 백챔버의 바로 위에 형성되지 않으므로, 배기홀(310)의 존재로 인한 진동판(300)의 진동방해로 발생되는 노이즈가 해소되는 효과가 있다. 이는 음향의 SNR 향상에 크게 기여될 수 있다.In the present invention, it is preferable that the exhaust hole 310 of the diaphragm 300 is formed on the outer side of the inner surface (line A) of the substrate 100. This means that no exhaust hole 310 is formed in the diaphragm 300 located above the back chamber. Since the exhaust hole 310 is not formed directly on the back chamber, the noise generated by the vibration of the diaphragm 300 due to the presence of the exhaust hole 310 is eliminated. This can contribute greatly to improving the SNR of the sound.

도 9는 도 3의 요철구조체를 설명하기 위한 부분확대도로서, 본 발명에 따른 요철구조체의 명확한 설명을 위해 일부 과도한 도시를 하였음을 밝힌다. 도 9에 도시된 바와 같이, 요철구조체의 요부(320)의 하면에 배기홀(310)이 관통형성되어 있음을 알 수 있다.FIG. 9 is a partially enlarged view for explaining the irregular structure of FIG. 3, and it is clarified that the irregular structure according to the present invention is partially illustrated for clarity. As shown in FIG. 9, it can be seen that the exhaust hole 310 is formed through the lower surface of the concave portion 320 of the uneven structure.

한편, 본 발명에 있어서, 진동판(300)의 배기홀(310)은 요철구조체보다 더 외측에 형성되는 실시예도 가능하다. 도 7에는 배기홀(310)은 요철구조체가 아니라, 그 보다 더 외측에 형성되는 것이 예시되어 있다.Meanwhile, in the present invention, it is also possible that the exhaust hole 310 of the diaphragm 300 is formed on the outer side of the uneven structure. In Fig. 7, the exhaust hole 310 is formed not on the uneven structure but on the outer side.

도 10은 본 발명의 요철구조체의 두께 상관관계를 나타내는 도면이다. 본 발명에 따른 요부(320) 또는 철부(330)의 높이는 진동판(300)의 두께의 1/4를 초과하지 않는 것이 바람직하다. 만약 상기 1/4을 초과하면, 진동되는 경계에 가해지는 하중으로 내구성이 문제되기 때문이다.10 is a view showing the thickness correlation of the irregular structure of the present invention. It is preferable that the height of the concave portion 320 or the convex portion 330 according to the present invention does not exceed 1/4 of the thickness of the diaphragm 300. [ If the ratio exceeds 1/4, durability is a problem due to the load applied to the vibrating boundary.

정리하면, 본 발명에 따른 요철구조체는 기판의 내면(A선)보다 더 외측에 배치되는 것이 바람직하다. 본 발명에 따른 배기홀(310)은 요철구조체에 형성되거나, 요철구조체보다 더 외측에 형성되는 것이 바람직하다.In summary, it is preferable that the irregular structure according to the present invention is disposed on the outer side of the inner surface (line A) of the substrate. The exhaust hole 310 according to the present invention is preferably formed on the irregular structure or on the outer side of the irregular structure.

본 명세서에서 설명되는 실시예와 첨부된 도면은 본 발명에 포함되는 기술적 사상의 일부를 예시적으로 설명하는 것에 불과하다. 따라서, 본 명세서에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술적 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이므로, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아님은 자명하다. 본 발명의 명세서 및 도면에 포함된 기술적 사상의 범위 내에서 당업자가 용이하게 유추할 수 있는 변형 예와 구체적인 실시 예는 모두 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The embodiments and the accompanying drawings described in the present specification are merely illustrative of some of the technical ideas included in the present invention. Accordingly, the embodiments disclosed herein are for the purpose of describing rather than limiting the technical spirit of the present invention, and it is apparent that the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments. It will be understood by those of ordinary skill in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.

100 : 기판 200a,200b : 지지부
300 : 진동판 310 : 배기홀
320 : 요부 330 : 철부
400 : 백플레이트100: substrate 200a, 200b:
300: diaphragm 310: exhaust hole
320: main part 330: convex part
400: back plate

Claims (7)

중앙에 백 챔버가 형성된 기판(100), 상기 기판 상부에 형성된 하부 지지부(200a), 하부 지지부(200a)상에 안착되는 진동판(300), 진동판(300) 상에 배치되는 상부 지지부(200b) 및 상부 지지부(200b)상에 배치되는 백 플레이트(400)를 포함하며,
상기 진동판(300)은 가장자리에 요철구조로 형성된 것을 특징으로 하는 요철구조체 진동판을 갖는 멤스 마이크로폰.A lower support portion 200a formed on the upper portion of the substrate, a diaphragm 300 mounted on the lower support portion 200a, an upper support portion 200b disposed on the vibration plate 300, And a back plate 400 disposed on the upper support portion 200b,
Wherein the diaphragm (300) is formed in a concave-convex structure at the edge. 청구항 1에 있어서,
상기 진동판의 요철구조체는 기판의 내면(A)보다 더 외측에 형성되는 것을 특징으로 하는 요철구조체 진동판을 갖는 멤스 마이크로폰.The method according to claim 1,
Wherein the concavo-convex structure of the diaphragm is formed on the outer side of the inner surface (A) of the substrate. 청구항 1에 있어서, 상기 진동판의 요철구조체는
상부가 요부(320)이고, 하부가 철부(330)로 형성된 구조체, 상부가 철부(330)이고, 하부가 요부(320)로 형성된 구조체 및 상부와 하부가 모두 요부(320)로 형성된 구조체 중 어느 하나의 구조체인 것을 특징으로 하는 요철구조체 진동판을 갖는 멤스 마이크로폰.2. The diaphragm structure according to claim 1,
A structure in which the upper portion is the concave portion 320 and the lower portion is the convex portion 330, the upper portion is the convex portion 330, the lower portion is the concave portion 320 and the concave portion is the concave portion 320 Wherein the diaphragm is a single structure. 청구항 3에 있어서,
상기 요부(320)는 지지부(200a,200b)쪽으로 요부가 연장형성되는 것을 특징으로 하는 요철구조체 진동판을 갖는 멤스 마이크로폰.The method of claim 3,
Wherein the concave portion (320) is formed with a concave portion extending toward the support portions (200a, 200b). 청구항 3에 있어서,
상기 진동판의 배기홀(310)은 요철구조체에 형성되는 것을 특징으로 하는 요철구조체 진동판을 갖는 멤스 마이크로폰.The method of claim 3,
And the exhaust hole (310) of the diaphragm is formed on the concavo-convex structure. 청구항 3에 있어서,
상기 진동판의 배기홀(310)은 요철구조체보다 더 외측에 형성되는 것을 특징으로 하는 요철구조체 진동판을 갖는 멤스 마이크로폰.The method of claim 3,
And the exhaust hole (310) of the diaphragm is formed on the outer side of the uneven structure. 청구항 3에 있어서,
요부 또는 철부의 높이는 진동판의 두께의 1/4를 초과하지 않는 것을 특징으로 하는 요철구조체 진동판을 갖는 멤스 마이크로폰.The method of claim 3,
And the height of the concave or convex portion does not exceed 1/4 of the thickness of the diaphragm.
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