KR20180097376A - 스퍼터링용 로터리 타겟 어셈블리의 분리장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 스퍼터링용 로터리 타겟 어셈블리의 분리방법 및 분리장치에 관한 것으로서, 특히 코팅된 인듐을 녹여 스퍼터링용 로터리 타겟 어셈블리를 용이하게 분리시켜 일부 부품을 재사용할 수 있는 스퍼터링용 로터리 타겟 어셈블리의 분리방법 및 분리장치에 관한 것이다.
본 발명의 스퍼터링용 로터리 타겟 어셈블리의 분리방법은, 외주면에 인듐이 코팅된 백킹튜브와, 상기 백킹튜브의 외주면에 결합되고 내주면에 인듐이 코팅된 중공형상의 스퍼터링 타겟과, 상기 백킹튜브의 외주면과 상기 스퍼터링 타겟의 내주면 사이의 간극에 충진되어 상기 스퍼터링 타겟을 상기 백킹튜브에 접합시키는 엘라스토머를 포함하여 이루어진 스퍼터링용 로터리 타겟 어셈블리의 분리방법에 있어서, 상기 엘라스토머는 열경화성수지로 이루어지고, 상기 인듐의 녹는점 이상으로 열을 가하여 상기 인듐을 용융시킴으로써 상기 백킹튜브와 스퍼터링 타겟을 분리시키는 것을 특징으로 하는 한다.

Description

스퍼터링용 로터리 타겟 어셈블리의 분리방법 및 분리장치 { SEPARATING METHOD AND SEPARATING APPARATUS OF ROTARY TARGET ASSEMBLY FOR SPUTTERING }
본 발명은 스퍼터링용 로터리 타겟 어셈블리의 분리방법 및 분리장치에 관한 것으로서, 특히 코팅된 인듐을 녹여 스퍼터링용 로터리 타겟 어셈블리를 용이하게 분리시켜 일부 부품을 재사용할 수 있는 스퍼터링용 로터리 타겟 어셈블리의 분리방법 및 분리장치에 관한 것이다.
일반적으로 스퍼터링(Sputtering)이란 목적물 표면에 막의 형태로 부착하는 기술을 말하는 것으로, 이러한 스퍼터링은 세라믹이나 반도체 소재 등에 전자 회로를 만들기 위해 고진공 상태에서 고체를 증발시켜 박막(Thinfilm)이나 후막(Thick film)을 형성하는 경우에 사용된다.
다시 말해서, 전술한 바와 같은 스퍼터링(Sputtering)은 진공 중에 불활성가스(주로 아르곤 가스(Ar gas))를 도입시키면서 기판과 타겟(Target : 부착 되어지는 물질 Cr·Ti 등) 사이에 직류전압을 가하여 이온화시킨 아르곤을 타겟에 충돌시켜서 타겟 물질을 기판에 막 형성시키는 방법이다.
또한, 아르곤 가스와 같이 미량의 O2·N2가스를 넣는 것에 의해　반응성 스퍼터링(ITO·TiN 등)을 행할 수 있다.
전술한 바와 같은 스퍼터링은 건식도금법으로 분류되어 코팅하는 대상물을 액체나 고온기체에 노출시키지 않고 도금처리가 된다.
그에 따라, 여러 가지 기반재료(수지·Glass·Ceramic·기타)의 판재물·성형품에 예를 들면, 전극·실드(Shield)·마스킹(Masking)으로써 사용되어지고 있다.
한편, 전술한 바와 같이 코팅이나 박막과 같은 도금처리를 하는 스퍼터링 장비에서 고전압을 인가하는 전극으로써 로터리 타겟이 사용된다.
이러한 스퍼터링용 로터리 타겟은 원통형의 백킹 튜브와 백킹 튜브의 외주면으로 결합 구성되는 원통형의 타겟으로 이루어지되 타겟은 인듐(Indium)의 용융 결합에 의한 접합에 의해 백킹 튜브의 외주면 상에 결합되어 일체화된다.
전술한 바와 같은 인듐(Indium)은 주기율표 13족인 붕소족에 속하는 희유금속 원소로, 1863년에 페르디난드 라이크와 테오도르 리히터가 아연광석에서 밝은 은백색 광택이 나는 인듐을 발견해 독특한 남색(indigo)의 스펙트럼선을 내놓는다고 해서 인듐이라고 명명하였다.
그리고, 전술한 바와 같은 인듐(Indium)은 녹으면 깨끗한 유리 및 다른 표면에 달라붙거나 적시는 특이한 성질이 있기 때문에 유리·금속·석영·세라믹·대리석 사이를 용접 밀봉(鎔接密封)하는데 쓰이며, 내식성(耐蝕性)을 증가시키고 표면에 접착성 유막(油膜)을 형성하기 때문에 항공기용 엔진 베어링을 도장(塗裝)하는 데에도 쓰인다.
그러나, 전술한 바와 같이 종래 기술에 따른 스퍼터링용 로터리 타겟 어셈블리를 구성하는 원통형의 백킹튜브 외주면 상에 원통형의 스퍼터링 타겟을 용융 결합되도록 하는 인듐(Indium)은 희귀금속에 속하여 고가라는 점에서 스퍼터링용 로터리 타겟 어셈블리의 제조에 따른 생산단가의 상승이 따르게 되는 문제가 있다.
아울러, 전술한 바와 같은 종래 기술에 따른 스퍼터링용 로터리 타겟 어셈블리를 구성하는 원통형의 백킹 튜브의 외주면 상에 원통형의 스퍼터링 타겟을 용융 결합되도록 하는 인듐(Indium)은 희귀금속으로 그 공급량이 많지 않기 때문에 시장의 가격이 매우 불안정하여 수급에 문제가 있다.
또한, 종래 기술의 본딩재로 사용하는 인듐(Indium) 접합은 인듐을 인듐의 융점온도인 163도 이상으로 가열하여 고온에서 접합을 함으로써 열팽창 계수가 아주 적은 실리콘(Si)이나 실리콘 산화물(SiO2) 타겟 재질과 백킹 튜브의 재질인 스테인리스나 티타늄 재질과의 사이에 과도한 열팽창 차이로 인하여 접합 후 상온에서 스퍼터링 타겟이 깨지거나 크랙이 발생하는 문제가 있다.
전술한 바와 같은 문제를 해결하기 위해서, 대한민국 공개특허 제10-2015-0061185호에는 엘라스토머를 이용하여 스퍼터링 타겟과 백킹튜브를 결합시키는 기술이 나타나 있다.
위와 같은 스퍼터링용 로터리 타겟 어셈블리를 장시간 사용함에 의해 상기 스퍼터링 타겟이 마모되어 교환하고자 할 경우, 종래에는 스퍼터링 타겟과 백킹튜브가 인듐 및 엘라스토머에 의해 결합되어 있기 때문에, 상기 백킹튜브의 재사용을 위해 상기 백킹튜브를 스퍼터링 타겟으로부터 분리시키는데 어려움이 있었다.
대한민국 공개특허 제10-2015-0061185호
본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로써, 인듐과 엘라스토머에 의해 결합된 백킹튜브와 스퍼터링 타겟에서 백킹튜브를 스퍼터링 타겟으로부터 용이하게 분리시켜 재사용할 수 있고, 코팅된 고가의 인듐도 재사용 또는 재활용할 수 있는 스퍼터링용 로터리 타겟 어셈블리의 분리방법 및 분리장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 스퍼터링용 로터리 타겟 어셈블리의 분리방법은, 외주면에 인듐이 코팅된 백킹튜브와, 상기 백킹튜브의 외주면에 결합되고 내주면에 인듐이 코팅된 중공형상의 스퍼터링 타겟과, 상기 백킹튜브의 외주면과 상기 스퍼터링 타겟의 내주면 사이의 간극에 충진되어 상기 스퍼터링 타겟을 상기 백킹튜브에 접합시키는 엘라스토머를 포함하여 이루어진 스퍼터링용 로터리 타겟 어셈블리의 분리방법에 있어서, 상기 엘라스토머는 열경화성수지로 이루어지고, 상기 인듐의 녹는점 이상으로 열을 가하여 상기 인듐을 용융시킴으로써 상기 백킹튜브와 스퍼터링 타겟을 분리시키는 것을 특징으로 하는 한다.
상기 스퍼터링용 로터리 타겟 어셈블리를 히터가 장착된 분리장치 내부에 삽입하는 삽입단계와; 상기 히터를 상기 인듐의 녹는점 이상의 온도로 상승시켜 상기 인듐을 용융시키는 용융단계와; 상기 용융된 인듐을 수거하는 수거단계와; 상기 백킹튜브의 외주면과 상기 스퍼터링 타겟의 내주면에 코팅된 상기 인듐이 제거됨에 의해 상기 백킹튜브와 스퍼터링 타겟을 상호 분리시키는 분리단계;를 포함하여 이루어진다.
상기 수거단계에서는 내부에 상기 스퍼터링용 로터리 타겟 어셈블리가 배치된 상기 분리장치를 경사지게 배치하여, 용융된 상기 인듐이 하방향으로 유동되어 수거되도록 한다.
또한, 상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 스퍼터링용 로터리 타겟 어셈블리의 분리장치는, 내부에 스퍼터링용 로터리 타겟 어셈블리가 삽입되는 중공 기둥형상의 하우징과; 상기 하우징에 장착되어 상기 스퍼터링용 로터리 타겟 어셈블리를 가열하는 히터와; 상기 하우징의 하부에 배치되어 상기 하우징을 지지하는 테이블과; 상기 하우징의 일단에 형성된 관통공과; 상기 관통공이 형성된 상기 하우징의 하부에 배치되는 수거통;을 포함하여 이루어지되, 상기 스퍼터링용 로터리 타겟 어셈블리는, 외주면에 인듐이 코팅된 백킹튜브와, 상기 백킹튜브의 외주면에 결합되고 내주면에 인듐이 코팅된 중공형상의 스퍼터링 타겟과, 상기 백킹튜브의 외주면과 상기 스퍼터링 타겟의 내주면 사이의 간극에 충진되어 상기 스퍼터링 타겟을 상기 백킹튜브에 접합시키는 엘라스토머를 포함하여 이루어지고, 상기 엘라스토머는 열경화성수지로 이루어지며, 상기 히터에 의해 가열되어 용융된 상기 인듐은 상기 관통공을 통해 상기 수거통으로 수거되어 상기 백킹튜브와 상기 스퍼터링 타겟의 결합이 분리되는 것을 특징으로 한다.
상기 하우징은 상기 관통공이 하부에 위치하도록 경사지게 배치된다.
상기 하우징의 일단 하부를 상기 테이블의 상부에 상하방향으로 회전 가능하게 힌지결합하는 힌지부와; 하부가 상기 테이블의 상부에 결합되고 상부가 상기 하우징의 타단 하부에 결합된 실린더;를 더 포함하여 이루어지되, 상기 실린더의 길이가 가변됨에 따라 상기 하우징은 상기 힌지부를 중심으로 상방향으로 회전하여 경사지게 배치된다.
이상에서 설명한 바와 같은 본 발명의 스퍼터링용 로터리 타겟 어셈블리의 분리방법 및 분리장치에 따르면 다음과 같은 효과가 있다.
인듐과 엘라스토머에 의해 결합된 백킹튜브와 스퍼터링 타겟에서 백킹튜브를 스퍼터링 타겟으로부터 용이하게 분리시켜 재사용할 수 있고, 코팅된 고가의 인듐도 재사용 또는 재활용할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 스퍼터링용 로터리 타겟 어셈블리의 분리방법의 순서도,
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 스퍼터링용 로터리 타겟 어셈블리의 단면구조도,
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 스퍼터링용 로터리 타겟 어셈블리를 분리장치에 삽입하여 인듐을 용융시키는 상태의 단면구조도,
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 스퍼터링용 로터리 타겟 어셈블리의 분리방법에서 분리단계를 도시한 단면구조도.
본 발명의 스퍼터링용 로터리 타겟 어셈블리의 분리방법은 도 1에 도시된 바와 같이, 삽입단계(S1)와, 용융단계(S2)와, 수거단계(S3)와, 분리단계(S4)를 포함하여 이루어진다.
상기 스퍼터링용 로터리 타겟 어셈블리(200)는 도 2에 도시된 바와 같이, 외주면에 인듐(230)이 코팅된 백킹튜브(210)와, 상기 백킹튜브(210)의 외주면에 결합되고 내주면에 인듐(230)이 코팅된 중공형상의 스퍼터링 타겟(220)과, 상기 백킹튜브(210)의 외주면과 상기 스퍼터링 타겟(220)의 내주면 사이의 간극에 충진되어 상기 스퍼터링 타겟(220)을 상기 백킹튜브(210)에 접합시키는 엘라스토머(240)를 포함하여 이루어진다.
위와 같은 상기 스퍼터링용 로터리 타겟 어셈블리(200)에 대해서는 공개특허 제10-2015-0061185호에 자세히 나타나 있는바, 이에 대한 자세한 설명은 생략한다.
상기 엘라스토머(240)는 열가소성수지가 아닌 열경화성수지로 이루어진다.
상기 삽입단계(S1)는 도 3에 도시된 바와 같이 스퍼터링용 로터리 타겟 어셈블리(200)를 히터(120)가 장착된 분리장치(100) 내부에 삽입하는 단계이다.
상기 용융단계(S2)는 상기 히터(120)를 상기 인듐(230)의 녹는점 이상의 온도를 상승시켜 상기 인듐(230)을 용융시키는 단계이다.
이때, 상기 엘라스토머(240)는 열경화성수지로 이루어져 있기 때문에, 상기 히터(120)에 의해 가열되어도 상기 엘라스토머(240)가 녹는 것을 방지할 수 있고, 상기 인듐(230)만 녹도록 할 수 있다.
상기 수거단계(S3)는 상기 용융단계(S2)에 의해 용융된 상기 인듐(230)을 수거하는 단계이다.
상기 수거단계(S3)에서는 내부에 상기 스퍼터링용 로터리 타겟 어셈블리(200)가 배치된 상기 분리장치(100)를 경사지게 배치하여, 용융된 상기 인듐(230)이 하방향으로 유동되어 용이하게 수거되도록 한다.
상기 분리단계(S4)는 도 4에 도시된 바와 같이 상기 백킹튜브(210)의 외주면과 상기 스퍼터링 타겟(220)의 내주면에 코팅된 상기 인듐(230)이 제거됨에 의해 상기 백킹튜브(210)과 스퍼터링 타겟(220)을 상호 분리시키는 단계이다.
즉, 상기 백킹튜브(210)와 스퍼터링 타겟(220)은 상기 인듐(230) 및 엘라스토머(240)를 통해 상호 결합되어 있는데, 상기 인듐(230)이 용융되어 수거됨으로써 상기 백킹튜브(210)와 스퍼터링 타겟(220)은 결합되지 않게 된다.
따라서, 상기 백킹튜브(210)와 스퍼터링 타겟(220)을 상호 분리시켜, 상기 백킹튜브(210)를 재사용할 수 있다.
위와 같은 분리방법에 사용되는 분리장치(100)는 도 3에 도시된 바와 같다.
상기 분리장치(100)는, 하우징(110)과, 히터(120)와, 테이블(130)과, 수거통(140)을 포함하여 이루어진다.
상기 하우징(110)은 중공 기둥형상으로 이루어지고, 내부에 상기 스퍼터링용 로터리 타겟 어셈블리(200)가 삽입된다.
상기 하우징(110)의 일단에는 용융된 상기 인듐(230)이 상기 하우징(110)의 외부로 배출되도록 하기 위한 관통공(115)이 형성되어 있다.
상기 히터(120)는 상기 하우징(110)의 둘레를 따라 장착되고, 상기 하우징(110)의 내부에 삽입된 상기 스퍼터링용 로터리 타겟 어셈블리(200)를 가열한다.
상기 테이블(130)은 상기 하우징(110)의 하부에 배치되어 상기 하우징(110)을 안정적으로 지지한다.
상기 수거통(140)은 상기 관통공(115)이 형성된 상기 하우징(110)의 하부에 배치되어 상기 관통공(115)을 통해 배출되는 인듐(230)을 수거한다.
위와 같이 상기 히터(120)가 상기 인듐의 녹는점 이상으로 가열되어 용융된 상기 인듐(230)은 상기 관통공(115)을 통해 상기 수거통(140)으로 수거되고, 이로 인해 상기 백킹튜브(210)와 상기 스퍼터링 타겟(220)의 결합이 분리되게 된다.
이때, 상기 엘라스토머(240)는 열경화성수지로 이루어져 있기 때문에, 상기 히터(120)의 가열에도 녹지 않고 경화된 상태를 유지하게 된다.
따라서, 상기 히터(120)의 가열시 상기 인듐(230)만 녹아 배출되게 된다.
상기 하우징(110)은 상기 관통공(115)이 하부에 위치하도록 경사지게 배치되도록 함이 바람직하다.
위와 같이 상기 하우징(110)이 상기 관통공(115)이 형성된 방향으로 경사지게 배치됨으로써, 상기 하우징(110)의 내부에서 용융된 상기 인듐(230)이 상기 관통공(115)을 통해 상기 하우징(110)의 외부로 보다 용이하게 배출될 수 있다.
이때, 상기 하우징(110)은 처음부터 경사진 상태로 상기 테이블(130)에 고정 장착될 수도 있으나, 본 실시예와 같이 힌지부(150)와 실린더(160)를 더 포함하여 이루어져 상기 하우징(110)이 상기 테이블(130)에 대하여 상하방향으로 회전됨에 따라 경사지게 배치되도록 함이 바람직하다.
상기 힌지부(150)는 상기 하우징(110)의 일단 하부를 상기 테이블(130)의 상부에 상하방향으로 회전 가능하게 힌지결합한다.
상기 실린더(160)는 하부가 상기 테이블(130)의 상부에 결합되고 상부가 상기 하우징(110)의 타단 하부에 결합된다.
따라서, 상기 실린더(160)의 길이가 가변됨에 따라 상기 하우징(110)은 상기 힌지부(150)를 중심으로 상방향으로 회전하여 경사지게 배치되게 된다.
즉, 상기 스퍼터링용 로터리 타겟 어셈블리(200)를 상기 하우징(110)에 삽입할 때에는 상기 실린더(160)를 수축시켜 상기 하우징(110)이 수평 배치되게 하여 상기 스퍼터링용 로터리 타겟 어셈블리(200)의 삽입이 용이하도록 하고, 상기 히터(120)에 의해 상기 스퍼터링용 로터리 타겟 어셈블리(200)를 가열하고자 할 경우에는 상기 실린더(160)를 신장시켜 상기 하우징(110)이 경사지게 배치되도록 한다.
상기 실린더(160)가 신장되어 상기 하우징(110)이 경사지게 배치됨에 따라 상기 관통공(115)이 최하부에 위치하게 되어, 상기 하우징(110)의 내부에서 용융된 인듐(230)이 상기 하우징(110) 내부에서 아랫방향으로 유동되면서 상기 관통공(115)을 통해 배출되어 상기 수거통(140)으로 수거될 수 있게 된다.
위와 같이 상기 백킹튜브(210)의 외주면과 상기 스퍼터링 타겟(220)의 내주면에 코팅되어 있던 상기 인듐(230)이 용융되어 상기 수거통(140)으로 수거됨으로써, 도 4에 도시된 바와 같이 상기 백킹튜브(210) 및 스퍼터링 타겟(220)은 상기 엘라스토머(240)에 결합되지 않고 이격된 상태에 놓이게 된다.
따라서, 상기 스퍼터링용 로터리 타겟 어셈블리(200)에서 상기 백킹튜브(210)과 상기 스퍼터링 타겟(220)을 용이하게 분리시켜 재사용할 수 있고, 또한 수거된 고가의 인듐(230)을 재사용 또는 재활용할 수 있다.
본 발명인 스퍼터링용 로터리 타겟 어셈블리의 분리방법 및 분리장치는 전술한 실시예에 국한하지 않고, 본 발명의 기술 사상이 허용되는 범위 내에서 다양하게 변형하여 실시할 수 있다.
S1 : 삽입단계, S2 : 용융단계, S3 : 수거단계, S4 : 분리단계,
100 : 분리장치,
110 : 하우징, 115 : 관통공,
120 : 히터,
130 : 테이블,
140 : 수거통,
150 : 힌지부, 160 : 실린더,
200 : 스퍼터링용 로터리 타겟 어셈블리, 210 : 백킹튜브, 220 : 스퍼터링 타겟, 230 : 인듐, 240 : 엘라스토머.

Claims (6)

  1. 외주면에 인듐이 코팅된 백킹튜브와, 상기 백킹튜브의 외주면에 결합되고 내주면에 인듐이 코팅된 중공형상의 스퍼터링 타겟과, 상기 백킹튜브의 외주면과 상기 스퍼터링 타겟의 내주면 사이의 간극에 충진되어 상기 스퍼터링 타겟을 상기 백킹튜브에 접합시키는 엘라스토머를 포함하여 이루어진 스퍼터링용 로터리 타겟 어셈블리의 분리방법에 있어서,
    상기 엘라스토머는 열경화성수지로 이루어지고,
    상기 인듐의 녹는점 이상으로 열을 가하여 상기 인듐을 용융시킴으로써 상기 백킹튜브와 스퍼터링 타겟을 분리시키는 것을 특징으로 하는 스퍼터링용 로터리 타겟 어셈블리의 분리방법.
  2. 청구항1에 있어서,
    상기 스퍼터링용 로터리 타겟 어셈블리를 히터가 장착된 분리장치 내부에 삽입하는 삽입단계와;
    상기 히터를 상기 인듐의 녹는점 이상의 온도로 상승시켜 상기 인듐을 용융시키는 용융단계와;
    상기 용융된 인듐을 수거하는 수거단계와;
    상기 백킹튜브의 외주면과 상기 스퍼터링 타겟의 내주면에 코팅된 상기 인듐이 제거됨에 의해 상기 백킹튜브와 스퍼터링 타겟을 상호 분리시키는 분리단계;를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 스퍼터링용 로터리 타겟 어셈블리의 분리방법.
  3. 청구항2에 있어서,
    상기 수거단계에서는 내부에 상기 스퍼터링용 로터리 타겟 어셈블리가 배치된 상기 분리장치를 경사지게 배치하여, 용융된 상기 인듐이 하방향으로 유동되어 수거되도록 하는 것을 특징으로 하는 스퍼터링용 로터리 타겟 어셈블리의 분리방법.
  4. 내부에 스퍼터링용 로터리 타겟 어셈블리가 삽입되는 중공 기둥형상의 하우징과;
    상기 하우징에 장착되어 상기 스퍼터링용 로터리 타겟 어셈블리를 가열하는 히터와;
    상기 하우징의 하부에 배치되어 상기 하우징을 지지하는 테이블과;
    상기 하우징의 일단에 형성된 관통공과;
    상기 관통공이 형성된 상기 하우징의 하부에 배치되는 수거통;을 포함하여 이루어지되,
    상기 스퍼터링용 로터리 타겟 어셈블리는,
    외주면에 인듐이 코팅된 백킹튜브와, 상기 백킹튜브의 외주면에 결합되고 내주면에 인듐이 코팅된 중공형상의 스퍼터링 타겟과, 상기 백킹튜브의 외주면과 상기 스퍼터링 타겟의 내주면 사이의 간극에 충진되어 상기 스퍼터링 타겟을 상기 백킹튜브에 접합시키는 엘라스토머를 포함하여 이루어지고,
    상기 엘라스토머는 열경화성수지로 이루어지며,
    상기 히터에 의해 가열되어 용융된 상기 인듐은 상기 관통공을 통해 상기 수거통으로 수거되어 상기 백킹튜브와 상기 스퍼터링 타겟의 결합이 분리되는 것을 특징으로 하는 스퍼터링용 로터리 타겟 어셈블리의 분리장치.
  5. 청구항4에 있어서,
    상기 하우징은 상기 관통공이 하부에 위치하도록 경사지게 배치되는 것을 특징으로 하는 스퍼터링용 로터리 타겟 어셈블리의 분리장치.
  6. 청구항5에 있어서,
    상기 하우징의 일단 하부를 상기 테이블의 상부에 상하방향으로 회전 가능하게 힌지결합하는 힌지부와;
    하부가 상기 테이블의 상부에 결합되고 상부가 상기 하우징의 타단 하부에 결합된 실린더;를 더 포함하여 이루어지되,
    상기 실린더의 길이가 가변됨에 따라 상기 하우징은 상기 힌지부를 중심으로 상방향으로 회전하여 경사지게 배치되는 것을 특징으로 하는 스퍼터링용 로터리 타겟 어셈블리의 분리장치.
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