KR20180087138A - Heater, fixing device, image forming device and heating device - Google Patents
Heater, fixing device, image forming device and heating device Download PDFInfo
- Publication number
- KR20180087138A KR20180087138A KR1020177029681A KR20177029681A KR20180087138A KR 20180087138 A KR20180087138 A KR 20180087138A KR 1020177029681 A KR1020177029681 A KR 1020177029681A KR 20177029681 A KR20177029681 A KR 20177029681A KR 20180087138 A KR20180087138 A KR 20180087138A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- wiring
- heater
- transverse
- pattern
- heat generating
- Prior art date
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 title claims abstract description 129
- 238000010408 sweeping Methods 0.000 claims abstract description 99
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 11
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 11
- 238000005336 cracking Methods 0.000 abstract description 23
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 22
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 13
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 description 10
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 9
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 6
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 5
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 4
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 4
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 4
- 229910001252 Pd alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- SWELZOZIOHGSPA-UHFFFAOYSA-N palladium silver Chemical compound [Pd].[Ag] SWELZOZIOHGSPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 3
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 230000006837 decompression Effects 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 2
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018134 Al-Mg Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018467 Al—Mg Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000861 Mg alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001260 Pt alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000629 Rh alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- IHWJXGQYRBHUIF-UHFFFAOYSA-N [Ag].[Pt] Chemical compound [Ag].[Pt] IHWJXGQYRBHUIF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JMGVPAUIBBRNCO-UHFFFAOYSA-N [Ru].[Ag] Chemical compound [Ru].[Ag] JMGVPAUIBBRNCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910000963 austenitic stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 229910052878 cordierite Inorganic materials 0.000 description 1
- JSKIRARMQDRGJZ-UHFFFAOYSA-N dimagnesium dioxido-bis[(1-oxido-3-oxo-2,4,6,8,9-pentaoxa-1,3-disila-5,7-dialuminabicyclo[3.3.1]nonan-7-yl)oxy]silane Chemical compound [Mg++].[Mg++].[O-][Si]([O-])(O[Al]1O[Al]2O[Si](=O)O[Si]([O-])(O1)O2)O[Al]1O[Al]2O[Si](=O)O[Si]([O-])(O1)O2 JSKIRARMQDRGJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002241 glass-ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 239000013080 microcrystalline material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 229910052863 mullite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 238000013021 overheating Methods 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- PXXKQOPKNFECSZ-UHFFFAOYSA-N platinum rhodium Chemical compound [Rh].[Pt] PXXKQOPKNFECSZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052702 rhenium Inorganic materials 0.000 description 1
- WUAPFZMCVAUBPE-UHFFFAOYSA-N rhenium atom Chemical compound [Re] WUAPFZMCVAUBPE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 description 1
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052596 spinel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011029 spinel Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03G—ELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
- G03G15/00—Apparatus for electrographic processes using a charge pattern
- G03G15/20—Apparatus for electrographic processes using a charge pattern for fixing, e.g. by using heat
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B3/00—Ohmic-resistance heating
- H05B3/10—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03G—ELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
- G03G15/00—Apparatus for electrographic processes using a charge pattern
- G03G15/20—Apparatus for electrographic processes using a charge pattern for fixing, e.g. by using heat
- G03G15/2003—Apparatus for electrographic processes using a charge pattern for fixing, e.g. by using heat using heat
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B3/00—Ohmic-resistance heating
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B3/00—Ohmic-resistance heating
- H05B3/10—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor
- H05B3/12—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor characterised by the composition or nature of the conductive material
- H05B3/14—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor characterised by the composition or nature of the conductive material the material being non-metallic
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B3/00—Ohmic-resistance heating
- H05B3/20—Heating elements having extended surface area substantially in a two-dimensional plane, e.g. plate-heater
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B2203/00—Aspects relating to Ohmic resistive heating covered by group H05B3/00
- H05B2203/002—Heaters using a particular layout for the resistive material or resistive elements
- H05B2203/004—Heaters using a particular layout for the resistive material or resistive elements using zigzag layout
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Resistance Heating (AREA)
- Surface Heating Bodies (AREA)
- Fixing For Electrophotography (AREA)
- Control Of Resistance Heating (AREA)
Abstract
본 발명은 소인 방향으로 협폭인 히터에 있어서도 균열성이 우수한 히터, 정착 장치, 화상 형성 장치 및 가열 장치, 그리고 히터의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 하고, 기체(11)와 기체 상에 각각 따로 급전을 받는 복수의 저항 발열 배선을 구비하고, 저항 발열 배선은, 소인 방향 D1로, 제1 열, 제2 열, 제3 열의 순으로 나란히 배치된 적어도 3열의 횡배선부 X와, 횡배선부간을 접속하는 종배선부 Y가 연결되어 꾸불꾸불한 형상으로 형성되고, 저항 발열 배선 중 적어도 1개의 저항 발열 배선이, 제2 열 횡배선부 X2가, 제1 열 횡배선부 X1 및 제3 열 횡배선부 X3보다 짧게 형성된 패턴 P1, 또는, 제2 열 횡배선부 X2가, 제1 열 횡배선부 X1 및 제3 열 횡배선부 X3보다 길게 형성된 패턴 P2 중 어느 하나를 갖는다.An object of the present invention is to provide a heater, a fixing apparatus, an image forming apparatus, a heating apparatus, and a heater manufacturing method excellent in cracking property even in a heater narrow in the sweeping direction, And the resistance heat generating wiring is provided with at least three rows of lateral wiring portions X arranged in the order of the first row, the second row and the third row in the sweeping direction D 1 , At least one resistance heat generating wiring among the resistance heat generating wirings, a second heat transverse wiring portion X 2 , a first heat transverse wiring portion X 1, and a second heat transverse wiring portion X 1 are formed in a serpentine shape, column 3 of the transverse wire portion X 3 shorter formed pattern P 1, or the second thermal transverse wire unit X 2, first heat lateral wire unit X 1 and the third column the transverse wire unit and hold the pattern formed than X 3 P 2 .
Description
본 발명은 히터, 정착 장치, 화상 형성 장치 및 가열 장치에 관한 것이다. 상세하게는, 통전에 의해 발열하는 복수의 저항 배선을 구비하는 히터, 이와 같은 히터를 구비하는 정착 장치, 화상 형성 장치 및 가열 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a heater, a fixing device, an image forming apparatus, and a heating apparatus. More particularly, the present invention relates to a heater having a plurality of resistance wirings that generate heat by energization, a fixing device having such a heater, an image forming apparatus, and a heating apparatus.
대상물의 열처리를 행하기 위한 가열 수단으로서, 스테인리스판이나 세라믹판의 표면에 통전에 의해 발열하는 복수의 저항 발열 배선을 설치한 히터가 알려져 있다. 이와 같은 히터는, 얇고 콤팩트하게 형성할 수 있기 때문에, 예를 들어 복사기나 프린터 등에 내장되어 기록 매체에 토너나 잉크 등을 정착할 목적으로 사용되거나, 건조기에 내장되어 패널 등의 피처리체를 균일하게 가열 건조시킬 목적으로 사용되거나 한다. 이들 용도에서는, 히터의 발열면을 복수의 저항 발열 배선을 배치함으로써, 가열 대상으로 되는 면내에 있어서의 온도 분포를 자기적으로 균일화할 수 있는 히터가 하기 특허문헌 1 및 2에 개시되어 있다.As a heating means for performing a heat treatment of an object, there is known a heater in which a plurality of resistance heat generating wirings provided on a surface of a stainless steel plate or a ceramic plate to generate heat by energization are provided. Such a heater can be formed thinly and compactly. For example, the heater can be used for fixing toner or ink to a recording medium, for example, incorporated in a copying machine, a printer, or the like, Or may be used for the purpose of heating and drying. In these applications, a heater capable of magnetically uniformizing the temperature distribution in a surface to be heated by disposing a plurality of resistance heating wires on the heating surface of the heater is disclosed in
상기 특허문헌 1에는, 정의 저항 온도 계수를 가진 저항 발열 배선을 전기적으로 병렬로 접속하여 구성한 히터가 개시되어 있다. 이들 히터에 의하면, 각 저항 발열 배선은 실질적으로 동일한 발열 특성을 갖기 때문에, 각각의 저항 발열 배선은 서로 온도 분포를 자기적으로 균일화할 수 있다. 그 때문에, 특허문헌 1에 개시된 기술에 의하면, 기체 상의 위치에 상관없이 보다 고도의 균열이 가능해진다.
또한, 상기 특허문헌 1의 기술에 의하면, 발열 배선의 병렬 배선이 경사진 직사각형 패턴을 포함하고 있다. 그 때문에, 배선의 비형성 부분이, 히터의 긴 변 방향 또는 폭 방향에 대하여 기울어져, 사용 시에 있어서의 저항 발열 배선부의 국소적인 온도 상승을 초래하지 않는다([0023]).Further, according to the technique of
이와 같이, 특허문헌 1에 개시된 히터에 의하면, 우수한 균열을 행할 수 있는 점에서 우수하다.Thus, the heater disclosed in
이에 비해, 요즘, 상기의 균열을 유지하면서도, 또한, 콤팩트한 히터가 요구되고 있다. 특히, 소인 방향으로 보다 협폭인 히터가 요망되기에 이르고 있다. 그러나, 특허문헌 1에 개시된 히터를, 단순히, 소인 방향으로 보다 협폭으로 되도록 축소하면, 배선의 비형성 부분의 양옆에 배치된 경사 패턴에 의한 영향이 커져, 균열을 유지하기 어려워진다는 과제가 있다.On the other hand, there is a demand for a compact heater while maintaining the above-mentioned cracks. Particularly, a heater having a narrower width in the sweeping direction is desired. However, if the heater disclosed in
본 발명은 상기 과제를 감안하여 이루어진 것이며, 소인 방향으로 협폭인 히터에 있어서도 균열성이 우수한 히터, 이와 같은 히터를 구비하는 정착 장치, 화상 형성 장치 및 가열 장치, 그리고 히터의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and it is an object of the present invention to provide a heater having excellent crackability even in a heater narrow in the sweeping direction, a fixing device having such a heater, an image forming apparatus and a heater, The purpose.
본 발명은 이하와 같다.The present invention is as follows.
청구항 1에 기재된 히터는, 피가열물과 대면된 상태에서, 상기 피가열물 및 본 히터 중 적어도 한쪽을 소인 방향으로 소인함으로써 상기 피가열물을 가열하는 히터로서,The heater according to
기체와, 상기 기체 상에, 각각 따로 급전을 받는 복수의 저항 발열 배선을 구비하고,And a plurality of resistive heat generating wirings, each of which is separately supplied with power,
상기 저항 발열 배선은, 상기 소인 방향으로, 제1 열, 제2 열, 제3 열의 순으로 나란히 배치된 적어도 3열의 횡배선부와, 상기 횡배선부간을 접속하는 종배선부가 연결되어 꾸불꾸불한 형상으로 형성되어 있고,Wherein the resistance heat generating wiring includes at least three horizontal wiring portions arranged in the order of the first column, the second column and the third column in the sweeping direction and a vertical wiring portion connecting the horizontal wiring portions, Shaped,
상기 저항 발열 배선 중 적어도 1개의 저항 발열 배선이, 하기 (P1)의 패턴 또는 하기 (P2)의 패턴 중 어느 하나의 패턴을 갖는 것을 요지로 한다.And at least one resistance heat generating wiring among the resistance heat generating wirings has a pattern of any one of the following pattern (P 1 ) or the following pattern (P 2 ).
(P1) : 제2 열 횡배선부(X2)가 제1 열 횡배선부(X1) 및 제3 열 횡배선부(X3)보다 짧게 형성된 패턴.(P 1 ): a pattern in which the second thermal transverse wiring portion X 2 is formed shorter than the first thermal transverse wiring portion X 1 and the third thermal transverse wiring portion X 3 .
(P2) : 제2 열 횡배선부(X2)가 제1 열 횡배선부(X1) 및 제3 열 횡배선부(X3)보다 길게 형성된 패턴.(P 2): the second column lateral wiring pattern portion (X 2) is formed longer than the first transverse heat wire unit (X 1) and the third column the transverse wire unit (X 3).
청구항 2에 기재된 히터는, 청구항 1에 기재된 히터에 있어서, 상기 (P1)의 패턴을 갖는 저항 발열 배선과, 상기 (P2)의 패턴을 갖는 저항 발열 배선의 양쪽의 저항 발열 배선을 구비하고,The heater according to claim 2 is the heater according to
상기 (P1)의 패턴을 갖는 저항 발열 배선과, 상기 (P2)의 패턴을 갖는 저항 발열 배선이 인접하여 배치되어 있는 것을 요지로 한다.The resistance heat generating wiring having the pattern of (P 1 ) and the resistance heat generating wiring having the pattern of (P 2 ) are arranged adjacently.
청구항 3에 기재된 히터는, 청구항 1 또는 2에 기재된 히터에 있어서, 상기 저항 발열 배선은, 상기 소인 방향과는 대략 수직인 폭 방향으로, 제1 배선(L1), 제2 배선(L2), 제3 배선(L3), 제4 배선(L4)의 순으로 배열되며, 적어도 4개의 상기 저항 발열 배선을 구비하고 있고,The heater according to
상기 제1 배선(L1)의 제1 열 횡배선부(X11) 및 제2 열 횡배선부(X12)를 연결하는 종배선부(Y112)와, 상기 제2 배선(L2)의 제1 열 횡배선부(X21) 및 제2 열 횡배선부(X22)를 연결하는 종배선부(Y212)가 간극을 두고 대향된 대향 개소(A)를 갖고,A vertical wiring portion Y 112 connecting the first and second vertical wiring portions X 11 and X 12 of the first wiring line L 1 and a second wiring portion Y 112 of the second wiring L 2 The longitudinal end portion Y 212 connecting the first column crossing portion X 21 and the second column crossing portion X 22 has an opposed portion A opposed to each other with a gap therebetween,
상기 제2 배선(L2)의 제2 열 횡배선부(X22) 및 제3 열 횡배선부(X23)를 연결하는 종배선부(Y223)와, 상기 제3 배선(L3)의 제2 열 횡배선부(X32) 및 제3 열 횡배선부(X33)를 연결하는 종배선부(Y323)는 간극을 두고 대향된 대향 개소(B)를 갖고,Of the second heat lateral wire unit (X 22) and the third heat and jongbae line portion (Y 223) connecting the transverse wire unit (X 23), the third wires (L 3) of said second wire (L 2) The vertical wiring portion Y 323 connecting the second and third vertical wiring portions X 32 and X 33 has the opposed portion B opposed to each other with a gap therebetween,
상기 제3 배선(L3)의 제1 열 횡배선부(X31) 및 제2 열 횡배선부(X32)를 연결하는 종배선부(Y312)와, 상기 제4 배선(L4)의 제1 열 횡배선부(X41) 및 제2 열 횡배선부(X42)를 연결하는 종배선부(Y412)는 간극을 두고 대향된 대향 개소(C)를 갖고,A final longitudinal wiring portion Y 312 connecting the first and second lateral wiring portions X 31 and X 32 of the third wiring L 3 and a second longitudinal wiring portion Y 312 of the fourth wiring L 4 , The longitudinal wiring portion Y 412 connecting the first and second vertical wiring portions X 41 and X 42 has an opposed portion C opposed to each other with a gap therebetween,
상기 대향 개소(B)의 상기 간극의 소인 궤적이, 상기 대향 개소(A)의 상기 간극의 소인 궤적과, 상기 대향 개소(C)의 상기 간극의 소인 궤적 사이에 위치됨과 함께, 상기 대향 개소(A)의 상기 간극의 소인 궤적, 및 상기 대향 개소(C)의 상기 간극의 소인 궤적 중 어느 한쪽의 측으로 치우쳐 위치되어 있는 것을 요지로 한다.Wherein the sweep trajectory of the gap of the opposed portion (B) is positioned between the sweep trajectory of the gap of the opposed portion (A) and the sweep trajectory of the gap of the opposed portion (C) A) of the gap and the sweep trajectory of the gap of the opposed portion (C).
청구항 4에 기재된 히터는, 청구항 1 내지 3 중 어느 하나에 기재된 히터에 있어서, 각각의 상기 저항 발열 배선은, 상기 소인 방향으로, 상기 제1 열 내지 상기 제3 열에 더하여, 또한, 제4 열의 순으로 나란히 배치된 적어도 4열의 상기 횡배선부와, 상기 횡배선부간을 접속하는 종배선부가 연결되어 꾸불꾸불한 형상으로 형성되어 있고,The heater according to
상기 저항 발열 배선 중 소정의 저항 발열 배선(LS)의 제1 열 횡배선부(XS1) 및 제2 열 횡배선부(XS2)를 연결하는 종배선부(YS12)와, 상기 저항 발열 배선(LS)에 인접한 저항 발열 배선(LT)의 제1 열 횡배선부(XT1) 및 제2 열 횡배선부(XT2)를 연결하는 종배선부(YT12)가 간극을 두고 대향된 대향 개소(D)를 갖고,(Y S12 ) connecting the first and second heat transfer wirings (X S1 and X S2 ) of the resistance heat generating wiring (L S ) among the resistance heat generating wirings; The longitudinal end portion Y T12 connecting the first heat transverse wiring portion X T1 and the second heat transitory wiring portion X T2 of the resistance heat generating wiring L T adjacent to the wiring L S , (D), which is located at a predetermined position,
상기 저항 발열 배선(LS)의 제3 열 횡배선부(XS3) 및 제4 열 횡배선부(XS4)를 연결하는 종배선부(YS34)와, 상기 저항 발열 배선(LT)의 제3 열 횡배선부(XT3) 및 제4 열 횡배선부(XT4)를 연결하는 종배선부(YT34)가 간극을 두고 대향된 대향 개소(E)를 갖고,The third column the transverse wire unit (X S3) and the fourth column jongbae line portion (Y S34), and the resistance heating wire (L T) for connecting the transverse wire unit (X S4) of the resistance heating wire (L S) The longitudinal end portion Y T34 connecting the third row lateral wiring portion X T3 and the fourth column lateral wiring portion X T4 has the opposed portion E opposed to each other with a gap therebetween,
상기 대향 개소(D)의 상기 간극의 소인 궤적과, 상기 대향 개소(E)의 상기 간극의 소인 궤적이 겹치지 않도록 폭 방향으로 이격되어 있는 것을 요지로 한다.Wherein the sweep trajectory of the gap of the opposed portion (D) and the sweep trajectory of the gap of the opposed portion (E) do not overlap with each other.
청구항 5에 기재된 히터는, 청구항 1 내지 4 중 어느 하나에 기재된 히터에 있어서, 상기 횡배선부는 상기 종배선부보다도 길게 형성되어 있는 것을 요지로 한다.According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a heater according to any one of the first to fourth aspects, wherein the lateral wiring portion is longer than the longitudinal wiring portion.
청구항 6에 기재된 히터는, 청구항 1 내지 5 중 어느 하나에 기재된 히터에 있어서, 상기 종배선 중 적어도 일부의 종배선이, 상기 소인 방향에 대하여 경사져 있는 것을 요지로 한다.The heater according to claim 6 is the heater according to any one of
청구항 7에 기재된 히터는, 청구항 1 내지 6 중 어느 하나에 기재된 히터에 있어서, 상기 저항 발열 배선은, 정의 저항 발열 계수를 갖는 것을 요지로 한다.The heater according to claim 7 is the heater according to any one of
청구항 8에 기재된 정착 장치는, 청구항 1 내지 7 중 어느 하나에 기재된 히터를 구비하는 것을 요지로 한다.A fixing device according to an eighth aspect of the present invention is provided with the heater according to any one of the first to seventh aspects.
청구항 9에 기재된 화상 형성 장치는, 청구항 1 내지 7 중 어느 하나에 기재된 히터를 구비하는 것을 요지로 한다.An image forming apparatus according to a ninth aspect of the present invention is provided with the heater according to any one of the first to seventh aspects.
청구항 10에 기재된 가열 장치는, 청구항 1 내지 7 중 어느 하나에 기재된 히터를 구비하는 것을 요지로 한다.The heating device according to
본 발명의 히터에 의하면, 소인 방향으로 협폭인 히터에 있어서도 균열성이 우수한 히터로 할 수 있다.According to the heater of the present invention, it is possible to make the heater excellent in the cracking property even in the heater narrow in the sweeping direction.
즉, 제1 열 횡배선부(X1)가 제2 열 횡배선부(X2)에 비해 길고, 또한 제2 열 횡배선부(X2)가 제3 열 횡배선부(X3)에 비해 짧은 패턴(P1), 또는, 제1 열 횡배선부(X1)가 제2 열 횡배선부(X2)에 비해 짧고, 또한 제2 열 횡배선부(X2)가 제3 열 횡배선부(X3)에 비해 긴 패턴(P2)을 구비함으로써, 이들 패턴(P1) 및 패턴(P2)이 갖는 종배선부에 의해 형성되는 소인 궤적을, 폭 방향에서 겹치지 않도록 분산시킬 수 있어, 소인 방향으로 협폭인 히터에 있어서도 균열성이 우수한 히터로 할 수 있다.That is, the first row transverse wire unit (X 1) and a second open transverse wire portion (X 2) the long, and compared to the second heat transverse wire portion (X 2) the third row transverse wire unit (X 3) than short pattern (P 1), or, the first heat lateral wire unit (X 1) is shorter than the second row transverse wire portion (X 2), also a second open transverse wire portion (X 2) the third column By providing the long pattern P 2 in comparison with the lateral wiring portion X 3 , the sweep traces formed by the longitudinally wired portions of the patterns P 1 and P 2 can be dispersed so as not to overlap in the width direction In addition, even in a heater narrow in the sweeping direction, a heater excellent in cracking property can be obtained.
패턴(P1)의 저항 발열 배선 및 패턴(P2)의 저항 발열 배선의 양쪽의 저항 발열 배선을 구비하고, 이들 저항 발열 배선이 인접하여 배치되어 있는 경우에는, 횡배선부끼리의 요철을 맞물리게 할 수 있기 때문에, 종배선부에 의해 형성되는 소인 궤적을, 폭 방향에서 겹치지 않도록 분산시키면서, 밀한 전체 패턴을 형성할 수 있다. 따라서, 소인 방향으로 협폭인 히터에 있어서도 균열성이 우수한 히터로 할 수 있다.And the resistance heat generating wiring of the pattern P 1 and the resistance heat generating wiring of the pattern P 2. If these resistance heat generating wirings are disposed adjacent to each other, the irregularities of the lateral wiring portions are engaged with each other The sweep trajectory formed by the dominant extension line portion can be dispersed so as not to overlap in the width direction, so that a dense whole pattern can be formed. Therefore, even in a heater narrow in the sweeping direction, a heater excellent in cracking property can be obtained.
대향 개소(B)의 간극의 소인 궤적이, 대향 개소(A)와 대향 개소(C)의 각각의 간극의 소인 궤적의 사이에 위치되고, 또한 대향 개소(B)의 간극의 소인 궤적이, 대향 개소(A) 및 대향 개소(C)의 각각의 간극의 소인 궤적 중 어느 한쪽의 측으로 치우쳐 위치되어 있는 경우에는, 종배선부가 밀집한 영역인 대향 개소가, 소인 방향으로 규칙적으로 나타나는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 소인 방향으로 협폭인 히터에 있어서도 균열성이 우수한 히터로 할 수 있다.The sweep trajectory of the gap of the opposed portion B is located between the sweep traces of the respective gaps of the opposed portion A and the opposed portion C and the sweep trajectory of the gap of the opposed portion B is located in the opposite It is possible to prevent the opposing portions, which are the regions where the vertical wiring portions are dense, from appearing regularly in the sweeping direction when they are biased toward either one of the sweep traces of the gaps between the portions A and the opposing portions C . Therefore, even in a heater narrow in the sweeping direction, a heater excellent in cracking property can be obtained.
저항 발열 배선이 소인 방향으로 적어도 4열의 횡배선부를 구비하고 있고, 대향 개소(D)의 간극의 소인 궤적과, 대향 개소(E)의 간극의 소인 궤적이 겹치지 않도록 폭 방향으로 이격되어 있는 경우에는, 종배선부가 밀집한 영역인 대향 개소가, 소인 방향으로 규칙적으로 나타나는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 소인 방향으로 협폭인 히터에 있어서도 균열성이 우수한 히터로 할 수 있다.When the resistance heat generating wiring is provided with at least four rows of transverse wiring portions in the sweeping direction and the sweep locus of the gap of the opposing portion D and the sweep traces of the gap of the opposing portion E are spaced apart in the width direction , It is possible to prevent the opposing portions, which are regions where the vertical wiring portions are dense, from appearing regularly in the sweeping direction. Therefore, even in a heater narrow in the sweeping direction, a heater excellent in cracking property can be obtained.
횡배선부가, 종배선부보다도 길게 형성되어 있는 경우에는, 소인 방향보다도 폭 방향으로 긴 히터에 적합한 패턴을 얻을 수 있다. 따라서, 소인 방향으로 협폭인 히터에 있어서도 균열성이 우수한 히터로 할 수 있다.When the lateral wiring portion is longer than the longitudinal wiring portion, a pattern suitable for a heater that is longer in the width direction than the sweeping direction can be obtained. Therefore, even in a heater narrow in the sweeping direction, a heater excellent in cracking property can be obtained.
종배선 중 적어도 일부의 종배선이, 소인 방향에 대하여 경사져 있는 경우에는, 종배선에 의해 피가열물에 부여되는 열을, 소인 시에, 폭 방향으로 분산시킬 수 있다. 따라서, 소인 방향으로 협폭인 히터에 있어서도 균열성이 우수한 히터로 할 수 있다.When at least a part of the vertical wirings are inclined with respect to the sweeping direction, heat applied to the object to be heated by the vertical wirings can be dispersed in the width direction at the time of sweeping. Therefore, even in a heater narrow in the sweeping direction, a heater excellent in cracking property can be obtained.
저항 발열 배선이, 정의 저항 발열 계수를 갖는 경우에는, 각 저항 발열 배선의 발열 상태를 자율적으로 균일화시킬 수 있다. 따라서, 소인 방향으로 협폭인 히터에 있어서도 균열성이 우수한 히터로 할 수 있다.When the resistance heat generating wiring has a positive resistance heating coefficient, the heating state of each resistance heat generating wiring can be autonomously made uniform. Therefore, even in a heater narrow in the sweeping direction, a heater excellent in cracking property can be obtained.
도 1은 본 히터에 있어서의 저항 발열 배선의 일례(패턴 P1)를 모식적으로 도시하는 평면도이다.
도 2는 본 히터에 있어서의 저항 발열 배선의 다른 예(패턴 P2)를 모식적으로 도시하는 평면도이다.
도 3은 본 히터에 있어서의 저항 발열 배선의 배치의 일례를 모식적으로 설명하는 평면도이다.
도 4는 본 히터에 있어서의 저항 발열 배선의 각 부를 모식적으로 설명하는 평면도이다.
도 5는 본 히터에 있어서의 저항 발열 배선의 각 부를 모식적으로 설명하는 평면도이다.
도 6은 본 히터에 있어서의 저항 발열 배선의 대향 개소(A)∼(C)에 대하여 모식적으로 설명하는 평면도이다.
도 7은 본 히터에 있어서의 저항 발열 배선의 대향 개소(D)∼(E)에 대하여 모식적으로 설명하는 평면도이다.
도 8은 실시 형태 1의 히터를 모식적으로 도시하는 평면도이다.
도 9는 실시 형태 2의 히터를 모식적으로 도시하는 평면도이다.
도 10은 실시 형태 3의 히터를 모식적으로 도시하는 평면도이다.
도 11은 실시 형태 4의 히터를 모식적으로 도시하는 평면도이다.
도 12는 실시 형태 5의 히터를 모식적으로 도시하는 평면도이다.
도 13은 실시 형태 5(도 12와 마찬가지)의 히터를 모식적으로 도시하는 평면도이다.
도 14는 실시 형태 6의 히터를 모식적으로 도시하는 평면도이다.
도 15는 실시 형태 7의 히터를 모식적으로 도시하는 평면도이다.
도 16은 본 히터를 사용한 정착 장치의 일례를 도시하는 개략 사시도이다.
도 17은 본 히터를 사용한 정착 장치의 다른 예를 도시하는 개략 사시도이다.
도 18은 본 히터를 사용한 화상 형성 장치의 일례를 도시하는 개략도이다.1 is a plan view schematically showing an example of resistance heat generating wiring (pattern P 1 ) in the present heater.
2 is a plan view schematically showing another example (pattern P 2 ) of resistance heat generating wiring in the present heater.
3 is a plan view for schematically explaining an example of the arrangement of resistance heat generating wiring in the present heater.
Fig. 4 is a plan view for schematically explaining each part of the resistance heat generating wiring in the present heater. Fig.
5 is a plan view for schematically explaining each portion of the resistance heat generating wiring in the present heater.
Fig. 6 is a plan view schematically illustrating the opposing portions (A) to (C) of the resistance heating wire in the present heater.
Fig. 7 is a plan view schematically illustrating the opposing portions (D) to (E) of the resistance heating wiring in the present heater.
8 is a plan view schematically showing the heater of the first embodiment.
9 is a plan view schematically showing the heater of the second embodiment.
10 is a plan view schematically showing the heater of the third embodiment.
11 is a plan view schematically showing the heater of the fourth embodiment.
Fig. 12 is a plan view schematically showing the heater of
Fig. 13 is a plan view schematically showing a heater according to Embodiment 5 (similar to Fig. 12). Fig.
14 is a plan view schematically showing the heater of the sixth embodiment.
15 is a plan view schematically showing the heater of the seventh embodiment.
16 is a schematic perspective view showing an example of a fixing apparatus using this heater.
17 is a schematic perspective view showing another example of a fixing apparatus using this heater.
18 is a schematic view showing an example of an image forming apparatus using this heater.
이하, 도면을 참조하면서, 본 발명을 상세하게 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
[1] 히터[1] Heaters
본 히터(1)는 피가열물과 대면된 상태에서, 피가열물 및 본 히터(1) 중 적어도 한쪽을 소인 방향(D1)으로 소인함으로써 피가열물을 가열하는 히터이다. 또한, 본 히터(1)는 기체(11)와, 기체(11) 상에 각각 따로 급전을 받는 복수의 저항 발열 배선(12)을 구비하고 있다.The
(1) 횡배선부(X1∼X3)의 길이의 상관에 대하여(1) Correlation between the lengths of the lateral wiring portions (X 1 to X 3 )
저항 발열 배선(12)은 소인 방향(D1)으로, 제1 열, 제2 열, 제3 열의 순으로 나란히 배치된 적어도 3열의 횡배선부(X)와, 횡배선부(X)간을 접속하는 종배선부(Y)를 갖고, 횡배선부(X)와 종배선부(Y)가 연결되어 꾸불꾸불한 형상으로 형성되어 있다. 즉, 각 저항 발열 배선(12)은, 각각, 꾸불꾸불한 형상(사행 형상)의 패턴(이하, 간단히 「꾸불꾸불한 패턴」이라고도 함)을 갖고 있다.The resistance
그리고, 복수의 저항 발열 배선(12) 중 적어도 1개의 저항 발열 배선(12)이 하기의 패턴(P1) 또는 패턴(P2)을 갖고 있다.At least one
(P1) : 제2 열 횡배선부(X2)가 제1 열 횡배선부(X1) 및 제3 열 횡배선부(X3)보다 짧게 형성된 패턴.(P 1 ): a pattern in which the second thermal transverse wiring portion X 2 is formed shorter than the first thermal transverse wiring portion X 1 and the third thermal transverse wiring portion X 3 .
(P2) : 제2 열 횡배선부(X2)가 제1 열 횡배선부(X1) 및 제3 열 횡배선부(X3)보다 길게 형성된 패턴.(P 2): the second column lateral wiring pattern portion (X 2) is formed longer than the first transverse heat wire unit (X 1) and the third column the transverse wire unit (X 3).
이와 같이, 패턴(P1)(도 1 참조) 또는 패턴(P2)(도 2 참조)을 구비함으로써, 이들 패턴이 갖는 종배선부에 의해 형성되는 소인 궤적이, 폭 방향(D2)으로 겹치지 않도록, 분산시킬 수 있다.In this manner, by providing the pattern P 1 (see FIG. 1) or the pattern P 2 (see FIG. 2), the sweep traces formed by the domed line portions of these patterns are overlapped in the width direction D 2 So that it can be dispersed.
즉, 각각 따로 급전을 받는 복수의 저항 발열 배선(12)을 1개의 셀로 생각한 경우에, 종래, 1개의 셀은, 인접된 셀과 발열 영역을 공유하지 않도록 개개로 독립하여 배치되어 있다. 이와 같은 독립 셀의 형태에서는, 인접된 독립 셀끼리의 횡배선은, 소인 방향에서 겹치지 않도록 분리된다. 그러나, 이와 같은 독립 셀 배치에서는, 독립 셀끼리의 경계에, 종배선이 밀집하여 직선적으로 이어진 영역이 형성되게 된다. 소인 방향으로 광폭인 히터이면, 상술한 종배선이 밀집하여 직선적으로 이어진 영역이 존재해도, 예를 들어 이 영역이, 소인 시에 피가열물의 어느 개소에서도 1회는 통과하도록, 횡배선의 열수를 많게 한 패터닝을 행함으로써, 가열의 치우침을 방지할 수 있다.That is, in the case where a plurality of resistance
그러나, 소인 방향으로 협폭인 히터에서는, 소인 방향의 폭을 확보할 수 없기 때문에, 횡배선의 열수를 많게 한 패터닝을 행할 수 없다. 그 때문에, 피가열물에 대하여 종배선이 밀집하여 직선적으로 이어진 영역이 국소적으로 소인되어 버리게 되어, 가열의 치우침이 발생해 버리게 된다.However, in the heater narrow in the sweeping direction, the width in the sweeping direction can not be ensured, so that patterning can not be performed with the number of rows of the horizontal wiring increased. As a result, the region where the vertical wirings are closely packed and linearly connected to the object to be heated is locally swelled, and the heating is deviated.
이에 비해, 본 발명에서는 패턴(P1) 또는 패턴(P2)을 가짐으로써, 소정 셀의 횡배선을, 인접 셀에 대하여 들어가게 한 패터닝을 행하게 된다. 즉, 패턴(P1)은 제2 열 횡배선부(X2)가 제1 열 횡배선부(X1) 및 제3 열 횡배선부(X3)보다 짧게 형성됨으로써, 도 1에 예시한 바와 같이, 점선으로 둘러싼 영역에 다른 저항 발열 배선(12)의 패턴을 수용하는 영역을 확보할 수 있다. 마찬가지로, 패턴(P2)은 제2 열 횡배선부(X2)가 제1 열 횡배선부(X1) 및 제3 열 횡배선부(X3)보다 길게 형성됨으로써, 도 2에 예시한 바와 같이, 점선으로 둘러싼 영역에 다른 저항 발열 배선(12)의 패턴을 수용하는 영역을 확보할 수 있다. 이들 영역을 가짐으로써, 소정 셀의 횡배선을, 인접 셀에 대하여 들어가게 한 패터닝을 행할 수 있다. 따라서, 발열 영역을 인접한 셀간에서 공유한 형태로 할 수 있다. 이와 같은 형태에서는, 소인 방향으로 협폭인 히터라도, 종배선이 밀집하여 직선적으로 이어진 영역이 형성되는 것을 방지하여, 종배선이 밀집하지 않도록 분산시킬 수 있다.In contrast, according to the present invention, the pattern (P 1 ) or the pattern (P 2 ) is provided so that the horizontal wiring of a predetermined cell is patterned so as to enter the adjacent cell. That is, the pattern P 1 is formed so that the second thermal transverse wiring portion X 2 is shorter than the first thermal transverse wiring portion X 1 and the third thermal transverse
상술한 바와 같이, 본 히터가 구비하는 저항 발열 배선(12)의 각각은, 소인 방향(D1)으로, 제1 열, 제2 열, 제3 열의 순으로 나란히 배치된 적어도 3열의 횡배선부(X)를 갖고 있다. 즉, 본 히터를 구성하는 저항 발열 배선(12)은 횡배선부(X)로서 이들 3열만을 갖는 패턴이어도 되지만, 4열 이상의 횡배선부(X)를 구비해도 된다. 또한, 4열 이상의 횡배선부(X)를 구비하는 경우에는, 제1 열, 제2 열, 제3 열은, 저항 발열 배선(12)의 어느 횡배선부(X)의 연속된 3개를 취출한 것이어도 된다.As described above, each of the
그리고, 본 히터에 배설된 저항 발열 배선(12)은, 각각, 이들 횡배선부(X)간을 접속하는 종배선부(Y)를 구비하고 있다. 또한, 이들 횡배선부(X)와 종배선부(Y)가 연결되어, 전체로서 저항 발열 배선(12)은 꾸불꾸불한 형상(사행 형상)의 패턴(이하, 간단히 「꾸불꾸불한 패턴」이라고도 함)으로 되어 있다.The resistance
또한, 당연히, 본 히터는, 기체 상에, 상술한 꾸불꾸불한 패턴을 갖는 저항 발열 배선만을 구비해도 되고, 꾸불꾸불한 패턴을 갖지 않는 다른 형태의 저항 발열 배선을, 꾸불꾸불한 패턴을 갖는 저항 발열 배선에 더하여 구비하고 있어도 된다.Naturally, the heater may be provided with only the resistance heating wiring having the above-described serpentine pattern on the substrate, and the resistance heating wiring having another shape without the serpentine pattern may be formed as a resistor having a serpentine pattern It may be provided in addition to the heat generating wiring.
상기 패턴(P1)은 제1 열 횡배선부(X1)가 제2 열 횡배선부(X2)에 비해 길고, 또한 제2 열 횡배선부(X2)가 제3 열 횡배선부(X3)에 비해 짧게 형성된 패턴이다.Wherein the pattern (P 1) has a first open transverse wire unit (X 1) it is long compared to the second row transverse wire portion (X 2), also a second open transverse wire portion (X 2) the third row transverse wire unit (X 3 ).
즉, 바꾸어 말하면, 제2 열 횡배선부(X2)가, 소인 방향(D1)에 있어서, 제1 열 횡배선부(X1)와 제3 열 횡배선부(X3) 사이에 배치되고, 또한 제2 열 횡배선부(X2)의 폭 방향(D2)의 길이가, 제1 열 횡배선부(X1) 및 제3 열 횡배선부(X3)의 폭 방향(D2)의 길이보다도 짧게 형성된 패턴이다.That is, in other words, the second placed between the open transverse wire portion (X 2) is, sweep direction (D 1) in the first column transverse wire unit (X 1) and the third column the transverse wire unit (X 3) to And the length in the width direction D 2 of the second row cross wiring portion X 2 is equal to the width direction D of the first column cross wiring portion X 1 and the third column cross wiring portion X 3 2 ).
따라서, 제1 열 횡배선부(X1)의 폭 방향(D2)의 길이를 LX1이라 하고, 제2 열 횡배선부(X2)의 폭 방향(D2)의 길이를 LX2라 하고, 제3 열 횡배선부(X3)의 폭 방향(D2)의 길이를 LX3이라 한 경우, 「LX1>LX2」 또한 「LX3>LX2」이다.Thus, the first column the length in the transverse direction (D 2) of the transverse wire portion (X 1) is referred to as L X1, the second column the length in the transverse direction (D 2) of the transverse wire portion (X 2) L X2 La L X1 > L X2 "and" L X3 > L X2 "when the length in the width direction D 2 of the third row vertical wiring portion X 3 is L X3 .
또한, 각각의 장단의 정도는 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어 0.05≤LX2/{(LX1+LX3)/2}<1로 할 수 있다. 이 값은, 0.2≤LX2/{(LX1+LX3)/2}≤0.95가 바람직하고, 0.5≤LX2/{(LX1+LX3)/2}≤0.9가 보다 바람직하다. 특히, LX2/{(LX1+LX3)/2}가 0.5 이상인 경우에는, 제1 열 횡배선부(X1)와 제2 열 횡배선부(X2)와 제3 열 횡배선부(X3)의 각각의 길이가 과도하게 상이한 것이 억제된다. 이 형태는, 후술하는 바와 같이, 저항 발열 배선(12)이 정의 저항 발열 계수를 갖는 경우에 특히 적합하다. 즉, 길이가 과도하게 상이한 것이 억제됨으로써, 저항 발열 배선(12)이 자율적으로 발열 상태를 균일화시키기 쉽게 할 수 있다.The degree of each end is not particularly limited, but may be, for example, 0.05? L X2 / {(L X1 + L X3 ) / 2} <1. This value is preferably 0.2? L X2 / {(L X1 + L X3 ) / 2}? 0.95, more preferably 0.5? L X2 / {(L X1 + L X3 ) / 2}? Particularly, in the case where L X2 / {(L X1 + L X3 ) / 2} is 0.5 or more, the first thermal transverse wiring portion X 1 , the second thermal transverse wiring portion X 2 , that the respective lengths of the (X 3) excessively different is suppressed. This configuration is particularly suitable when the resistance
여기서, 제1 열 횡배선부(X1)와 제3 열 횡배선부(X3)의 폭 방향(D2)의 길이는, 어느 한쪽이 다른 쪽에 비해 길게 형성되어도 되고, 동일한 길이여도 된다.Here, the lengths of the first and the third horizontal cross wiring parts X 1 and X 2 in the width direction D 2 may be longer than the other lengths or may be the same length.
상기 패턴(P2)은 제1 열 횡배선부(X1)가 제2 열 횡배선부(X2)에 비해 짧고, 또한 제2 열 횡배선부(X2)가 제3 열 횡배선부(X3)에 비해 길게 형성된 패턴이다.Wherein the pattern (P 2) has a first open transverse wire unit (X 1) and the second column is short compared with the transverse wire portion (X 2), also a second open transverse wire portion (X 2) the third row transverse wire unit (X 3 ).
즉, 바꾸어 말하면, 제2 열 횡배선부(X2)가, 소인 방향(D1)에 있어서, 제1 열 횡배선부(X1)와 제3 열 횡배선부(X3) 사이에 배치되고, 또한 제2 열 횡배선부(X2)의 폭 방향(D2)의 길이가, 제1 열 횡배선부(X1) 및 제3 열 횡배선부(X3)의 폭 방향(D2)의 길이보다도 길게 형성된 패턴이다.That is, in other words, the second placed between the open transverse wire portion (X 2) is, sweep direction (D 1) in the first column transverse wire unit (X 1) and the third column the transverse wire unit (X 3) to And the length in the width direction D 2 of the second row cross wiring portion X 2 is equal to the width direction D of the first column cross wiring portion X 1 and the third column cross wiring portion X 3 2 ).
따라서, 제1 열 횡배선부(X1)의 폭 방향(D2)의 길이를 LX1이라 하고, 제2 열 횡배선부(X2)의 폭 방향(D2)의 길이를 LX2라 하고, 제3 열 횡배선부(X3)의 폭 방향(D2)의 길이를 LX3이라 한 경우, 「LX1<LX2」 또한 「LX3<LX2」이다.Thus, the first column the length in the transverse direction (D 2) of the transverse wire portion (X 1) is referred to as L X1, the second column the length in the transverse direction (D 2) of the transverse wire portion (X 2) L X2 La and the third column when the length in the transverse direction (D 2) of the transverse wire portion (3 X) a L as X3, "L X1 <X2 L" is also "L X3 <X2 L".
또한, 각각의 장단의 정도는 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어 1<LX2/{(LX1+LX3)/2}≤5로 할 수 있다. 이 값은, 1.05≤LX2/{(LX1+LX3)/2}≤3이 바람직하고, 1.1≤LX2/{(LX1+LX3)/2}≤2가 보다 바람직하다. 특히, LX2/{(LX1+LX3)/2}가 2 이하인 경우에는, 제1 열 횡배선부(X1)와 제2 열 횡배선부(X2)와 제3 열 횡배선부(X3)의 각각의 길이가 과도하게 상이한 것이 억제된다. 이 형태는, 후술하는 바와 같이, 저항 발열 배선(12)이 정의 저항 발열 계수를 갖는 경우에 특히 적합하다. 즉, 길이가 과도하게 상이한 것이 억제됨으로써, 저항 발열 배선(12)이 자율적으로 발열 상태를 균일화시키기 쉽게 할 수 있다.In addition, the degree of each long end is not particularly limited, but may be, for example, 1 < L X2 / {(L X1 + L X3 ) / 2} This value is 1.05≤L X2 / {(L X1 + L X3) / 2} ≤3 are preferable, and 1.1≤L X2 / {(L X1 + L X3) / 2} ≤2 is more preferable. Particularly, in the case where L X2 / {(L X1 + L X3 ) / 2} is 2 or less, the first thermal transverse wiring portion X 1 , the second thermal transverse wiring portion X 2 , that the respective lengths of the (X 3) excessively different is suppressed. This configuration is particularly suitable when the resistance
여기서, 제1 열 횡배선부(X1)와 제3 열 횡배선부(X3)의 폭 방향(D2)의 길이는, 어느 한쪽이 다른 쪽에 비해 길게 형성되어도 되고, 동일한 길이여도 된다.Here, the lengths of the first and the third horizontal cross wiring parts X 1 and X 2 in the width direction D 2 may be longer than the other lengths or may be the same length.
또한, 패턴(P1) 및 패턴(P2)은 1개의 저항 발열 배선(12)이 이들 양쪽의 특성을 구비하고 있어도 된다. 구체적으로는, 예를 들어 폭 방향(D2)으로 소정의 길이를 갖는 횡배선부(X)와, 폭 방향(D2)의 길이가 횡배선부(X)보다도 짧은 횡배선부(X')를 소인 방향으로 교대로 구비한 패턴을 갖는 저항 발열 배선(12)은 패턴(P1)과, 패턴(P2)의 양쪽의 특성을 갖게 된다.In the pattern P 1 and the pattern P 2 , one resistance
또한, 제1 열 횡배선부(X1)의 폭 방향(D2)의 길이 LX1, 제2 열 횡배선부(X2)의 폭 방향(D2)의 길이 LX2, 제3 열 횡배선부(X3)의 폭 방향(D2)의 길이 LX3 등, 횡배선부의 길이의 측정은, 도 4 및 도 5에 도시한 대로이다. 즉, 소인 방향에 대하여 수직인 가상선(U)을 상정하고, 이 가상선(U)에 의해 구획되는 최장의 길이를 각각의 횡배선부의 길이인 것으로 한다.In addition, the first thermal length L X2 in the horizontal wiring portion (X 1) in the width direction (D 2) length L X1, the second column the transverse direction (D 2) of the transverse wire portion (X 2) of the third heat lateral The length of the lateral wiring portion such as the length L X3 of the wiring portion X 3 in the width direction D 2 is measured as shown in Figs. 4 and 5. In other words, it is assumed that a virtual line U perpendicular to the sweeping direction is assumed, and the longest length defined by this imaginary line U is the length of each lateral wiring portion.
상술한 패턴(P1) 및 패턴(P2)은, 기체 상에 배설된 복수의 저항 발열 배선(12) 중 적어도 1개의 저항 발열 배선의 패턴으로서, 패턴(P1) 또는 패턴(P2) 중 적어도 어느 하나를 갖고 있으면 되지만, 기체 상에 배설된 복수의 저항 발열 배선(12) 중, 상이한 2개의 저항 발열 배선의 패턴으로서, 패턴(P1)과 패턴(P2)의 양쪽을 갖는 것이 바람직하다.The pattern P 1 and the pattern P 2 described above are patterns of at least one resistance heat generating wiring among a plurality of resistance
이와 같이, 상이한 2개의 저항 발열 배선(12)의 패턴으로서, 패턴(P1)과 패턴(P2)의 양쪽을 갖는 히터에서는, 이들 패턴(P1) 및 패턴(P2)은 불규칙하게 배치되어 있어도 되지만, 양자가 인접하여 배치되어도 된다(도 3, 도 8-도 14 참조).As described above, in the case of the heater having both of the patterns P 1 and P 2 as the patterns of the two different
양자가 인접하여 배치되는 경우에는, 횡배선부(X)끼리의 요철을 맞물리게 할 수 있기 때문에, 종배선부(Y)에 의해 형성되는 소인 궤적을, 폭 방향(D2)에서 겹치지 않도록 분산시키면서, 밀한 전체 패턴을 형성할 수 있다. 이 때문에, 소인 방향으로 협폭인 히터에 있어서도 균열성이 우수한 히터로 할 수 있다. 나아가, 적어도 3개의 인접한 저항 발열 배선(12)에 있어서, 패턴(P1)과 패턴(P2)이 교대로 배치되어 있는 것이 바람직하다. 즉, 예를 들어 패턴(P1)과 패턴(P2)과 패턴(P1)이 폭 방향(D2)으로 이 순서로 나란히 배치된 형태나, 패턴(P2)과 패턴(P1)과 패턴(P2)이 폭 방향(D2)으로 이 순서로 나란히 배치된 형태 등을 들 수 있다.The concavo-convex portions of the transverse wiring portions X can be engaged with each other, so that the swath locus formed by the longitudinal portion Y is dispersed so as not to overlap in the width direction D 2 , So that a dense whole pattern can be formed. Therefore, it is possible to make the heater excellent in the cracking property even in the heater narrow in the sweeping direction. Furthermore, it is preferable that the pattern P 1 and the pattern P 2 are alternately arranged in at least three adjacent resistance
또한, 특히, 패턴(P1) 및 패턴(P2)은, 후술하는 바와 같이, 동일한 조건 하에서 측정되는 저항값이 동일한 것이 바람직하고, 특히 길이가 동일한 패턴인(횡배선부와 종배선부의 합계 길이가 동일한) 것이 바람직하다.Particularly, as described later, the pattern P 1 and the pattern P 2 preferably have the same resistance value measured under the same conditions. In particular, the pattern P 1 and the pattern P 2 preferably have the same resistance value (the sum of the cross- The length is the same).
또한, 1개의 기체 상에 배치되는 저항 발열 배선(12)의 수는 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어 3 이상으로 할 수 있다. 상한은, 기체의 폭 방향의 길이에 따라 적절한 수로 할 수 있지만, 예를 들어 24 이하로 할 수 있다.The number of resistance
또한, 저항 발열 배선(12)은 어떻게 배치해도 되고, 배치에 대해서도 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어 소인 방향(D1)과는 대략 수직인 폭 방향(D2)으로, 나란히 배치할 수 있다.The resistance
또한, 복수의 저항 발열 배선(12)이 폭 방향(D2)으로 나란히 배치되는 경우에는, 각 저항 발열 배선(12)이 갖는 종배선부(Y)는, 인접한 저항 발열 배선(12)끼리에 있어서, 대향되지 않아도 되지만, 본 히터에서는, 간극을 두고 대향되는 것이 바람직하다. 즉, 인접한 저항 발열 배선(12)의 종배선부(Y)끼리가 간극을 두고 대향되어, 대향 개소(Z)를 형성하고 있는 것이 바람직하다(도 3 참조).When the plurality of resistance
(2) 대향 개소(A∼C)의 상관에 대하여(2) Correlation between opposing points (A to C)
본 히터에 있어서, 소인 방향(D1)으로 적어도 3열의 횡배선부(X)를 구비한 저항 발열 배선(12)이, 폭 방향(D2)으로 적어도 4개 나란히 배치되어 있는 경우에는, 하기와 같이, 대향 개소(B)의 간극의 소인 궤적(TB)을, 대향 개소(A)와 대향 개소(C) 사이이며, 또한 어느 한쪽의 측으로 치우쳐 위치시킴으로써, 균열성이 우수한 히터로 할 수 있다(도 6 참조).In the present heater, when at least four resistance
즉, 본 히터에서는, 소인 방향(D1)과는 대략 수직인 폭 방향(D2)으로, 제1 배선(L1), 제2 배선(L2), 제3 배선(L3), 제4 배선(L4)의 순으로 배열하고, 적어도 4개의 저항 발열 배선(12)을 구비한 형태에 있어서, 인접한 저항 발열 배선(12)의 종배선부(Y)끼리에서 대향 개소를 형성할 수 있다.That is, in the heater, sweep direction (D 1) as is in the transverse direction (D 2) substantially perpendicular to the first line (L 1), second wiring (L 2), the third wires (L 3), the The opposite ends can be formed between the longitudinal wirings Y of the adjacent resistance
이 경우에 있어서, 제1 배선(L1)의 제1 열 횡배선부(X11) 및 제2 열 횡배선부(X12)를 연결하는 종배선부(Y112)와, 제2 배선(L2)의 제1 열 횡배선부(X21) 및 제2 열 횡배선부(X22)를 연결하는 종배선부(Y212)가 간극을 두고 대향된 대향 개소를, 대향 개소(A)라 하고,In this case, the end portion Y 112 of the first wiring L 1 is connected to the first wiring portion X 11 and the second wiring portion X 12 of the
제2 배선(L2)의 제2 열 횡배선부(X22) 및 제3 열 횡배선부(X23)를 연결하는 종배선부(Y223)와, 제3 배선(L3)의 제2 열 횡배선부(X32) 및 제3 열 횡배선부(X33)를 연결하는 종배선부(Y323)가 간극을 두고 대향된 대향 개소를, 대향 개소(B)라 하고,The first of the two wires (L 2) of the second heat lateral wire unit (X 22) and the third heat and jongbae line portion (Y 223) connecting the transverse wire unit (X 23), the third wires (L 3) 2 The opposing portion where the terminal vertical portion Y 323 connecting the thermal transverse wiring portion X 32 and the third thermal transverse wiring portion X 33 are opposed to each other with a gap is referred to as an opposing portion B,
제3 배선(L3)의 제1 열 횡배선부(X31) 및 제2 열 횡배선부(X32)를 연결하는 종배선부(Y312)와, 제4 배선(L4)의 제1 열 횡배선부(X41) 및 제2 열 횡배선부(X42)를 연결하는 종배선부(Y412)가 간극을 두고 대향된 대향 개소를, 대향 개소(C)라 한 경우에,A vertical wiring portion Y 312 connecting the first and second horizontal wiring portions X 31 and X 32 of the third wiring L 3 and a first wiring portion Y 312 of the fourth wiring L 4 , In the case where the opposing portion where the longitudinal crossing portion Y 412 connecting the first and second heat transverse wiring portions X 41 and X 42 are opposed to each other with a gap is referred to as an opposing portion C,
대향 개소(B)의 간극의 소인 궤적(TB)이, 대향 개소(A)의 간극의 소인 궤적(TA)과, 대향 개소(C)의 간극의 소인 궤적(TC) 사이에 위치됨과 함께, 대향 개소(A)의 간극의 소인 궤적(TA) 및 대향 개소(C)의 간극의 소인 궤적(TC) 중 어느 한쪽의 측으로 치우쳐 위치되는 것이 바람직하다(도 6 참조).As soon positioned between stamp of the gap between the opposing portions (B) the trajectory (T B) is, the counter positions (A) stamp of gap locus of (T A), a stamp of the gap between the opposing portion (C) the trajectory (T C) It is preferable to be biased toward one of the sweep trajectory T A of the gap of the opposed portion A and the sweep trajectory T c of the gap of the opposed portion C (see FIG. 6).
즉, 이 형태를 위해, 대향 개소(B)를 형성하고 있는 종배선부(Y223) 및 종배선부(Y323)의 2개의 종배선부가 모두, 대향 개소(A) 또는 대향 개소(C)의 측으로 치우쳐 배치되는 것이 바람직하다.That is, for this form, the two longitudinal wiring portions of the longitudinal wiring portion Y 223 and the longitudinal wiring portion Y 323 forming the opposed portion B are all connected to the side of the opposed portion A or the opposed portion C .
대향 개소(B)는, 어느 정도, 대향 개소(A) 또는 대향 개소(C)의 측으로 치우쳐 있어도 되지만, 예를 들어 대향 개소(A)의 간극의 소인 궤적(TA)과 대향 개소(B)의 간극의 소인 궤적(TB)의 간극의 폭 방향(D2)의 길이를 WAB라 하고, 대향 개소(B)의 간극의 소인 궤적(TB)과 대향 개소(C)의 간극의 소인 궤적(TC)의 간극의 폭 방향(D2)의 길이를 WBC라 한 경우(도 6 참조)에, 0.02≤WAB/WBC≤50으로 할 수 있다. 이 값은, 0.1≤WAB/WBC≤10이 바람직하고, 0.15≤WAB/WBC≤6.5가 보다 바람직하다.For example, the intersection point B of the gap between the opposed portion A and the opposed portion B may be offset to the opposed portion A or the opposed portion C. However, The length of the gap in the widthwise direction D 2 of the gap of the sweep trajectory T B of the gap of the gap G 1 is W AB and the length of the gap G 2 of the gap of the gap G 2 between the sweep locus T B of the gap of the opposed portion B and the opposed portion C locus can be made, 0.02≤W AB / W BC ≤50 in the case where the length in the transverse direction (d 2) of the gap W of LA BC (T C) (see Fig. 6). This value, 0.1≤W AB / W BC ≤10 are preferred, more preferably 0.15≤W AB / W BC ≤6.5.
이와 같이, 대향 개소(B)의 간극의 소인 궤적이, 대향 개소(A)와 대향 개소(C)의 각각의 간극의 소인 궤적의 사이에 위치되고, 또한 대향 개소(B)의 간극의 소인 궤적이, 대향 개소(A) 및 대향 개소(C)의 각각의 간극의 소인 궤적 중 어느 한쪽의 측으로 치우쳐 위치되어 있는 경우에는, 종배선부(Y)가 밀집된 영역인 대향 개소가, 소인 방향(D1)으로 규칙적으로 나타나는 것을 방지할 수 있다. 이 때문에, 소인 방향으로 협폭인 히터에 있어서도 균열성이 우수한 히터로 할 수 있다.As described above, the sweep trajectory of the gap of the opposed portion B is located between the sweep traces of the respective gaps of the opposed portion A and the opposed portion C, and the sweep trajectory of the gap of the opposed portion B Is positioned biased toward one of the sweep locus of the gap between the opposed portion A and the opposed portion C, the opposed portion, which is the dense region of the longitudinal overlap portion Y, is located in the sweeping direction D 1 ) Can be prevented from being regularly displayed. Therefore, it is possible to make the heater excellent in the cracking property even in the heater narrow in the sweeping direction.
전술한 패턴(P1) 및 패턴(P2)의 형태는, 제1 배선(L1), 제2 배선(L2), 제3 배선(L3) 및 제4 배선(L4) 중 어느 저항 발열 배선도 갖지 않고, 이들 이외의 저항 발열 배선이 패턴(P1) 및/또는 패턴(P2)을 가짐으로써 히터로서 성립되어 있어도 된다. 그러나, 본 히터에서는, 제1 배선(L1), 제2 배선(L2), 제3 배선(L3) 및 제4 배선(L4) 중 적어도 1개의 저항 발열 배선이, 패턴(P1) 또는 패턴(P2)을 갖는 것이 바람직하다.The shapes of the pattern P 1 and the pattern P 2 are the same as those of the first wiring L 1 , the second wiring L 2 , the third wiring L 3 and the fourth wiring L 4 The resistive heating wiring may not be provided and other resistance heating wiring may be formed as a heater by having the pattern P 1 and / or the pattern P 2 . However, in the heater, the first wiring (L 1), second wiring (L 2), the third wires (L 3) and the fourth wiring is at least one resistance heating wire of the (L 4), the pattern (P 1 ) Or a pattern (P 2 ).
또한, 본 히터에서는, 제1 배선(L1), 제2 배선(L2), 제3 배선(L3) 및 제4 배선(L4) 중, 제2 배선(L2) 및 제3 배선(L3)이 패턴(P1) 및 패턴(P2)을 각각 갖는 것이 바람직하다. 즉, 예를 들어 제2 배선(L2)이 패턴(P1)을 갖고, 제3 배선(L3)이 패턴(P2)을 갖는 형태나, 제2 배선(L2)이 패턴(P2)을 갖고, 제3 배선(L3)이 패턴(P1)을 갖는 형태인 것이 바람직하다. 이와 같은 형태는, 각각 저항 발열 배선이 존재하는 영역을 보다 콤팩트하게 집약할 수 있어, 자기 온도 균형 작용의 관점에서 바람직하다(도 8, 도 10-도 14 참조).In this heater, the first wiring (L 1), second wiring (L 2), the third wires (L 3) and the fourth wires (L 4) of the second wiring (L 2) and the third wire (L 3 ) preferably have a pattern (P 1 ) and a pattern (P 2 ), respectively. That is, for example, the second wiring L 2 has the pattern P 1 , the third wiring L 3 has the pattern P 2 , or the second wiring L 2 has the pattern P 2 ), and the third wiring (L 3 ) has a pattern (P 1 ). Such a configuration can be more compactly integrated in the region where the resistance heating wiring exists and is preferable from the viewpoint of the function of balancing the temperature (refer to Figs. 8 and 10 to 14).
(3) 대향 개소(D∼E)의 상관에 대하여(3) Correlation between opposing points (D to E)
본 히터에 있어서, 소인 방향(D1)으로 적어도 4열의 횡배선부(X)를 구비한 저항 발열 배선(12)이, 폭 방향(D2)으로 적어도 2개 나란히 배치되어 있는 경우에는, 하기와 같이, 대향 개소(D)의 간극의 소인 궤적과, 대향 개소(E)의 간극의 소인 궤적이 겹치지 않도록 폭 방향으로 이격되어 있음으로써, 균열성이 우수한 히터로 할 수 있다(도 7 참조).When at least two resistance
본 히터에서는, 저항 발열 배선(12)이, 소인 방향(D1)으로, 제1 열, 제2 열, 제3 열, 제4 열의 순으로 나란히 배치된 적어도 4열의 횡배선부(X)를 가질 수 있다. 본 히터를 구성하는 저항 발열 배선(12)은 횡배선부(X)로서 이들 4열만을 갖는 패턴이어도 되지만, 5열 이상의 횡배선부(X)를 구비해도 된다. 또한, 5열 이상의 횡배선부(X)를 구비하는 경우에는, 제1 열, 제2 열, 제3 열, 제4 열은, 저항 발열 배선(12)의 어느 횡배선부(X)의 연속된 4개를 취출한 것이어도 된다.In this heater, the resistance
그리고, 본 히터에 배설된 저항 발열 배선(12)은, 각각, 이들 횡배선부(X)간을 접속하는 종배선부(Y)를 구비하고 있다. 또한, 이들 횡배선부(X)와 종배선부(Y)가 연결되어, 전체로서 저항 발열 배선(LS 및 LT)은 꾸불꾸불한 패턴으로 되어 있다.The resistance
또한, 본 히터에서는, 상술한 바와 같은, 적어도 4열의 횡배선부(X)를 가진 저항 발열 배선(12)을 인접하여, 적어도 2개 구비할 수 있다.In this heater, at least two resistance
즉, 소인 방향(D1)과는 대략 수직인 폭 방향(D2)으로, 적어도 4열의 횡배선부(X)를 가진 소정의 저항 발열 배선(LS)과, 적어도 4열의 횡배선부(X)를 가진 소정의 저항 발열 배선(LT)의 2개의 저항 발열 배선(12)을, 인접하여 배치할 수 있다. 그리고, 이 형태에 있어서, 저항 발열 배선(LS 및 LT)의 종배선부(Y)끼리에서 대향 개소를 형성할 수 있다.That is, a predetermined resistance heat generating wiring (L S ) having at least four horizontal wiring portions (X) in the width direction (D 2 ) substantially perpendicular to the sweeping direction (D 1 ) and at least four horizontal wiring portions Two resistance
이와 같은 경우에는, 저항 발열 배선(LS)의 제1 열 횡배선부(XS1) 및 제2 열 횡배선부(XS2)를 연결하는 종배선부(YS12)와, 저항 발열 배선(LT)의 제1 열 횡배선부(XT1) 및 제2 열 횡배선부(XT2)를 연결하는 종배선부(YT12)가 간극을 두고 대향된 대향 개소를, 대향 개소(D)라 하고,In this case,
저항 발열 배선(LS)의 제3 열 횡배선부(XS3) 및 제4 열 횡배선부(XS4)를 연결하는 종배선부(YS34)와, 저항 발열 배선(LT)의 제3 열 횡배선부(XT3) 및 제4 열 횡배선부(XT4)를 연결하는 종배선부(YT34)가 간극을 두고 대향된 대향 개소를, 대향 개소(E)라 한 경우에,The third column the cross wiring portion of the resistance heating wire (L S) (X S3) and the fourth third heat jongbae line portion (Y S34), and a resistance heating wire (L T) for connecting the transverse wire unit (X S4) In the case where the opposing portion where the longitudinal wiring portion Y T34 connecting the thermal transverse wiring portion X T3 and the fourth thermal transverse wiring portion X T4 oppose to each other with a gap is referred to as an opposing portion E,
대향 개소(D)의 간극의 소인 궤적(TD)과, 대향 개소(E)의 간극의 소인 궤적(TE)은 겹치지 않는 것이 바람직하고, 나아가 대향 개소(D)의 간극의 소인 궤적(TD)과, 대향 개소(E)의 간극의 소인 궤적(TE)이 폭 방향으로 이격되어 있는 것이 바람직하다(도 7 참조).Stamp on the opposed positions (D) gap sweep trajectory (T D) and the opposing portions (E) sweep trajectory (T E) are preferably non-overlapping, and further the opposing portion (D) of the gap of the gap between the trajectory (T D and the sweep trajectory T E of the gap between the opposed portions E are preferably spaced in the width direction (see FIG. 7).
즉, 소인 궤적(TD)과 소인 궤적(TE)의 이격 거리 WDE가 0㎛를 초과하는 것이 바람직하다. 보다 구체적으로는, WDE는, 소인 궤적(TD) 및 소인 궤적(TE) 중 폭(폭 방향 D2에 있어서의 폭)이 보다 작은 소인 궤적의 폭과 동일하거나, 그것보다도 큰 것이 바람직하다. 한편, 이 WDE는, 소인 궤적(TD)의 폭과, 소인 궤적(TE)의 폭의 적산폭보다는 작은 것이 바람직하다. 이와 같은 형태는, 각각 저항 발열 배선이 존재하는 영역을 보다 콤팩트하게 집약할 수 있어, 자기 온도 균형 작용의 관점에서 바람직하다.That is, it is preferable that the distance W DE between the swath trajectory (T D ) and the swath trajectory (T E ) exceeds 0 탆. More specifically, W DE is preferably equal to or greater than the width of the smaller trajectory of the sweep trajectory (T D ) and the sweep trajectory (T E ) in the width (width in the width direction D 2 ) Do. On the other hand, it is preferable that the W DE is smaller than the width of the sweep trajectory (T D ) and the width of the sweep trajectory (T E ). Such a configuration can be more compactly integrated in the region where the resistance heating wiring exists and is preferable from the viewpoint of the self-temperature balancing action.
이와 같이, 대향 개소(D)의 간극의 소인 궤적(TD)과, 대향 개소(E)의 간극의 소인 궤적(TE)이 겹치지 않고, 대향 개소(D)의 간극의 소인 궤적(TD)과, 대향 개소(E)의 간극의 소인 궤적(TE)이 폭 방향으로 이격되어 있는 경우에는, 종배선부(Y)가 밀집된 영역인 대향 개소가, 소인 방향(D1)으로 규칙적으로 나타나는 것을 방지할 수 있다. 이 때문에, 소인 방향으로 협폭인 히터에 있어서도 균열성이 우수한 히터로 할 수 있다.In this way, the counter portion (D) sweep trajectory (T D) and the opposing portions (E) sweep trajectory (T E) do not overlap is, the counter positions (D) stamp in the gap trajectory (T D of the gap of the gap And the sweep trajectory T E of the gap between the opposed portions E are spaced apart in the width direction, the opposed portions as dense regions of the longitudinal denser portions Y regularly appear in the sweeping direction D 1 Can be prevented. Therefore, it is possible to make the heater excellent in the cracking property even in the heater narrow in the sweeping direction.
또한, 제1 배선(L1), 제2 배선(L2), 제3 배선(L3) 및 제4 배선(L4)에 있어서, 전술한 패턴(P1) 및 패턴(P2)과 형태는, 어느 배선이 구비해도 되고, 또한 구비하고 있지 않아도 되고, 특별히 한정되지 않는다.Further, the first wiring (L 1), second wiring (L 2), the third wires (L 3) and a fourth in the wire (L 4), the above-described pattern (P 1) and the pattern (P 2) and The shape may be either provided or not, and is not particularly limited.
또한, 당연히, 저항 발열 배선(12)이 소인 방향(D1)으로, 제1 열, 제2 열, 제3 열, 제4 열의 순으로 나란히 배치된 적어도 4열의 횡배선부(X)를 갖고, 또한 이들 횡배선부(X)간을 접속하는 종배선부(Y)를 구비하고, 횡배선부(X)와 종배선부(Y)가 연결되어, 전체로서 저항 발열 배선(LS 및 LT)은 꾸불꾸불한 패턴으로 되고, 또한 폭 방향(D2)으로, 제1 배선(L1), 제2 배선(L2), 제3 배선(L3), 제4 배선(L4)의 순으로 배열되며, 적어도 4개의 저항 발열 배선(12)을 구비한 형태로서, 인접한 저항 발열 배선(12)의 종배선부(Y)끼리에서 대향 개소를 형성하고 있는 경우에는, 전술한 대향 개소(A)∼(E)의 모든 대향 개소를 동시에 구비할 수 있다.Naturally, the resistance
즉, 대향 개소(B)의 간극의 소인 궤적(TB)이, 대향 개소(A)의 간극의 소인 궤적(TA)과, 대향 개소(C)의 간극의 소인 궤적(TC) 사이에 위치됨과 함께, 대향 개소(A)의 간극의 소인 궤적(TA) 및 대향 개소(C)의 간극의 소인 궤적(TC) 중 어느 한쪽의 측으로 치우쳐 위치되고, 또한 대향 개소(D)의 간극의 소인 궤적(TD)과, 대향 개소(E)의 간극의 소인 궤적(TE)은 겹치지 않고, 대향 개소(D)의 간극의 소인 궤적(TD)과, 대향 개소(E)의 간극의 소인 궤적(TE)이 폭 방향으로 이격된 형태로 할 수 있다(도 12-도 14 참조).That is, between the stamp of the gap between the opposing portions (B) the trajectory (T B) is, the counter positions (A) stamp of gap locus of (T A), a stamp of the gap between the opposing portion (C) the trajectory (T C) position as soon biased together, the side of one of the opposing portions (a) stamp of gap locus of (T a) and the sweep trajectory (T C) of the gap between the opposing portion (C) side is positioned, and the gap of the opposing portion (D) The sweep trajectory T D of the gap D and the sweep trajectory T E of the gap between the opposed portions E do not overlap with the sweep trajectory T D of the gap of the opposed portion D, The trajectory of the sweep of the trajectory T E may be spaced apart in the width direction (see Figs. 12 to 14).
(4) 저항 발열 배선에 대하여(4) Resistive heating wiring
본 히터에 배설되는 저항 발열 배선(12)에 있어서, 횡배선부(X)와 종배선부(Y)는 동일한 길이여도 되고, 어느 한쪽이 보다 길게 형성되어 있어도 되지만, 횡배선부(X)가 종배선부(Y)보다도 길게 형성되어 있는 것이 바람직하다. 전술한 각 패턴은, 횡배선부(X)가 종배선부(Y)보다도 길게 형성된 패턴에 있어서 보다 효과적으로 기능되기 때문이다.In the
횡배선부(X)가 종배선부(Y)보다도 길게 형성되어 있는 경우, 그 정도는 특별히 한정되지 않지만, 횡배선부(X)의 폭 방향(D2)의 길이를 LX라 하고, 종배선부(Y)의 소인 방향(D1)의 길이를 LY라 한 경우에, 예를 들어 1<LX/LY≤1000으로 할 수 있다. 이 비율은 1.5≤LX/LY≤300이 바람직하고, 2≤LX/LY≤150이 보다 바람직하다.The length of the transverse wiring section X in the width direction D 2 is L x and the length of the transverse wiring section X in the longitudinal direction is set to be L x , For example, 1 < L X / L Y & le; 1000 in the case where the length of the sweeping direction (D 1 ) of the image Y is L Y. The ratio is preferably 1.5 L X / L Y 300, more preferably 2 L X / L Y 150.
또한, 횡배선부(X)의 폭 방향(D2)의 길이 LX의 측정은, 전술과 마찬가지로, 도 4 및 도 5에 도시한 바와 같다. 즉, 소인 방향에 대하여 수직인 가상선(U)을 상정하고, 이 가상선(U)에 의해 구획되는 최장의 길이를 횡배선부(X)의 길이 LX라 한다. 한편, 종배선부(Y)의 소인 방향(D1)의 길이 LY의 측정은, 도 4 및 도 5에 도시한 바와 같다. 즉, 소인 방향에 대하여 수직인 가상선(U)을 상정하고, 이 가상선(U)에 의해 구획되는 최장의 길이를 종배선부(Y)의 길이 LY라 한다.The measurement of the length L X in the width direction D 2 of the transverse wiring portion X is as shown in Figs. 4 and 5, as described above. That is, a virtual line U perpendicular to the sweeping direction is assumed, and the longest length defined by the imaginary line U is referred to as a length L X of the lateral wiring portion X. On the other hand, the measurement of the length L Y in the sweeping direction D 1 of the longitudinal dashed line Y is as shown in Figs. 4 and 5. That is, imaginary line U perpendicular to the sweeping direction is assumed, and the longest length defined by this imaginary line U is called the length L Y of the longitudinal end portion Y.
또한, 저항 발열 배선(12)을 구성하는 횡배선부(X) 및 종배선부(Y)는 각각 곡선이어도 되지만, 본 히터에서는 직선적인 패턴인 것이 바람직하다.The horizontal wiring portion X and the longitudinal wiring portion Y constituting the resistance
또한, 저항 발열 배선(12)을 구성하는 횡배선부(X)는, 소인 방향(D1)에 대하여 대략 수직으로 배치되면 된다. 구체적으로는, 소인 방향(D1)에 대하여 90도로 배치되어도 되고, 소인 방향(D1)에 대하여 소정의 각도로 경사져도 된다. 이 중, 소인 방향(D1)에 대하여 경사져 있는 경우에는, 통상 소인 방향(D1)에 대하여 80도를 초과하고 100도 이하(단, 90도를 제외함)의 범위이다. 또한, 횡배선부(X)는 복수열 존재하지만, 이들은, 서로 평행하지 않아도 되지만, 서로 평행한 것이 바람직하다.The transverse wiring portion X constituting the resistance
한편, 저항 발열 배선(12)을 구성하는 종배선부(Y)는 인접한 횡배선부(X)끼리를 전기적으로 접속할 수 있으면 되고, 배치 형태는 특별히 한정되지 않지만, 통상 소인 방향(D1)에 대하여 평행 또는 경사져 배치된다. 구체적으로는, 소인 방향(D1)에 대하여 0도로 배치되어도 되고, 소인 방향(D1)에 대하여 소정의 각도로 경사져도 된다. 이 중, 소인 방향(D1)에 대하여 경사져 있는 경우에는, 소인 방향(D1)에 대하여 -80도 이상 80도 이하의 범위로 할 수 있다. 이 각도는, 또한, -60도 이상 60도 이하가 바람직하고, -50도 이상 50도 이하가 보다 바람직하다.On the other hand, jongbae grounding line (Y) constituting the
또한, 종배선부(Y)끼리는, 각각 상이한 배치 형태로 할 수 있지만, 각 대향 개소를 형성한다는 관점에서는, 인접한 상이한 저항 발열 배선끼리의 종배선부(Y)는 대략 평행인 것이 바람직하다. 즉, 예를 들어 전술한 바와 같이, 대향 개소(A)를 구성하는 제1 배선(L1)의 종배선부(Y112)와 제2 배선(L2)의 종배선부(Y212)는, 대략 평행인 것이 바람직하다. 이것은, 대향 개소(B)∼(E) 및 그 밖의 대향 개소에 있어서도 마찬가지이다.The end portions Y may be formed in different arrangements. However, from the viewpoint of forming the opposed portions, it is preferable that the end portions Y of the adjacent resistance heat generating wirings are substantially parallel to each other. That is, for example, as described above, the vertical wiring portion Y 112 of the first wiring line L 1 and the vertical wiring line portion Y 212 of the second wiring L 2 , which constitute the opposing portion A, It is preferably parallel. The same applies to the opposing portions (B) to (E) and other opposing portions.
본 히터의 저항 발열 배선을 구성하는 도전 재료는, 통전에 의해 그 저항값에 따른 발열이 가능한 도전 재료이다. 저항 발열 배선에 사용하는 도전 재료의 종류는 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어 은, 구리, 금, 백금, 팔라듐, 로듐, 텅스텐, 몰리브덴, 레늄(Re) 및 루테늄(Ru) 등을 사용할 수 있다. 이들은 1종만을 사용해도 되고 2종 이상을 병용해도 된다. 2종 이상을 병용하는 경우에 있어서는 합금으로 할 수 있다. 보다 구체적으로는, 은-팔라듐 합금, 은-백금 합금, 백금-로듐 합금, 은-루테늄, 은, 구리 및 금 등을 이용할 수 있다.The conductive material constituting the resistance heat generating wiring of the present heater is a conductive material capable of generating heat according to the resistance value by energization. The kind of the conductive material used for the resistance heat generating wiring is not particularly limited. For example, silver, copper, gold, platinum, palladium, rhodium, tungsten, molybdenum, rhenium (Re) and ruthenium (Ru) can be used. These may be used alone or in combination of two or more. When two or more kinds are used in combination, an alloy may be used. More specifically, a silver-palladium alloy, a silver-platinum alloy, a platinum-rhodium alloy, silver-ruthenium, silver, copper and gold can be used.
또한, 각 저항 발열 배선은, 어떠한 저항 발열 특성을 갖고 있어도 되지만, 각 저항 발열 배선의 사이에서, 자기 온도 균형 작용(자기 온도 보완 작용)을 발휘할 수 있는 것이 바람직하다. 그 관점에서, 저항 발열 배선을 구성하는 도전 재료는, 정의 저항 발열 계수를 갖는 것이 바람직하다. 구체적으로는, -200℃ 이상 1000℃ 이하의 온도 범위에 있어서의 저항 온도 계수가 100ppm/℃ 이상 4400ppm/℃ 이하인 것이 바람직하고, 또한 300ppm/℃ 이상 3700ppm/℃ 이하인 것이 보다 바람직하고, 500ppm/℃ 이상 3000ppm/℃ 이하인 것이 특히 바람직하다. 이와 같은 재료로서는 은-팔라듐 합금 등의 은계 합금을 들 수 있다.Although each resistance heat generating wiring may have any resistance heating characteristic, it is preferable that the resistance heating wiring can exhibit a self-temperature balancing action (self-temperature compensating action) between the respective resistance heat generating wirings. From this viewpoint, it is preferable that the conductive material constituting the resistance heat generating wiring has a positive resistance heating coefficient. Specifically, it is preferable that the resistance temperature coefficient in a temperature range of -200 DEG C to 1000 DEG C is 100ppm / DEG C or more and 4400ppm / DEG C or less, more preferably 300ppm / DEG C or more and 3700ppm / DEG C or less, And more preferably not more than 3000 ppm / ° C. Examples of such a material include silver-based alloys such as silver-palladium alloys.
이와 같이, 정의 저항 온도 계수를 갖는 도전 재료를 사용하여 형성된 저항 발열 배선이 병렬로 접속되어 있는 경우, 이들 복수의 저항 발열 배선끼리는 자기 온도 균형의 작용을 발휘한다. 즉, 예를 들어 제1 저항 발열 배선과 제3 저항 발열 배선 사이에 끼워져, 제2 저항 발열 배선이 있는 경우, 제2 저항 발열 배선의 온도가 저하되면, 열이 주위의 제1 저항 발열 배선 및 제3 저항 발열 배선으로부터 보충되게 된다. 그렇게 되면, 온도가 저하된 제1 저항 발열 배선 및 제3 저항 발열 배선에의 전류가 증가되어, 빼앗긴 열에 의한 온도 저하를 자율적으로 회복하려고 하는 작용이 작동하게 된다. 즉, 제2 저항 발열 배선의 주위의 저항 발열 배선이, 제2 저항 발열 배선의 온도 저하를 보완하도록 행동하게 된다. 이와 같이, 본 히터는, 복수의 저항 발열 배선에 걸쳐 균일하게 발열하도록 자율적으로 제어할 수 있다.In this way, when resistance heat generating wiring formed using a conductive material having a positive temperature coefficient of resistance is connected in parallel, the plural resistance heat generating wirings exert the function of self-temperature balancing. That is, for example, when the second resistance heating wire is sandwiched between the first resistance heating wire and the third resistance heating wire and the temperature of the second resistance heating wire is lowered, And is supplemented from the third resistance heating wire. As a result, the current to the first resistance heating wire and the third resistance heating wire whose temperature has decreased is increased, and the action of autonomously recovering the temperature drop due to the detached heat is activated. That is, the resistance heat generating wiring around the second resistance heat generating wiring acts to compensate the temperature decrease of the second resistance heating wiring. As described above, the present heater can be autonomously controlled to uniformly generate heat across a plurality of resistance heat generating wirings.
저항 발열 배선의 치수(폭, 길이, 두께 등)는 특별히 한정되지 않고, 사용하는 도전 재료나 요구되는 전기 특성에 따라서, 적절히 정할 수 있다. 단, 보다 우수한 자기 온도 균형의 작용을 얻는다고 하는 관점에서, 저항 발열 배선 중 소정의 저항 발열 배선(LQ)의 제1 열 횡배선부(XQ1)의 소인 궤적과, 제2 열 횡배선부(XQ2)의 소인 궤적과, 제3 열 횡배선부(XQ3)의 소인 궤적이 모두 중복되는 길이(K)는, 제1 열 횡배선부(XQ1), 제2 열 횡배선부(XQ2) 및 제3 열 횡배선부(XQ3)의 합계 길이에 대하여 8% 이상(상한은 33.333%)인 것이 바람직하다. 이 범위임으로써, 각각 저항 발열 배선이, 존재하는 영역이 보다 콤팩트해져, 상기 범위 외인 경우에 비해, 보다 우수한 자기 온도 균형의 작용을 얻을 수 있다. 이 값은, 또한, 10% 이상이 보다 바람직하고, 19% 이상이 특히 바람직하다. 또한, 이 비율은 큰 쪽이 바람직하지만, 예를 들어 33% 이하, 또한 32% 이하, 특히 31% 이하로 할 수 있다.The dimensions (width, length, thickness, etc.) of the resistance heat generating wiring are not particularly limited and can be appropriately determined according to the conductive material to be used and the required electric characteristics. However, from the viewpoint of obtaining a more excellent function of the self-temperature balance, the sweep traces of the first heat transverse wiring portion (X Q1 ) of the predetermined resistance heat generating wiring (L Q ) among the resistance heat generating wirings, (X Q2) sweep trajectory and the third column length (K) that sweep trace overlap both of the transverse wire portion (X Q3) of the first heat lateral wire unit (X Q1), part 2 column transverse wires ( (Upper limit: 33.333%) with respect to the total length of the third row cross wiring portion (X Q2 ) and the third column cross wiring portion (X Q3 ). With this range, the regions where the resistance heat generating wiring is present become more compact, and a better function of the self-temperature balance can be obtained as compared with the case where the resistance heating wiring is out of the above range. This value is more preferably 10% or more, and particularly preferably 19% or more. The ratio is preferably larger, but may be, for example, 33% or less, more preferably 32% or less, particularly preferably 31% or less.
또한, 각 저항 발열 배선끼리가, 실질적으로 동일한 발열량으로 되도록 하는 경우에는, 각 저항 발열 배선이 실질적으로 동일한 저항값으로 되도록 형성하면 된다. 그 경우, 저항 발열 배선은, 동일한 선 길이, 동일한 선 폭 및 동일한 두께로, 마찬가지의 배선 패턴으로서 형성할 수 있다. 저항 발열 배선의 두께는, 예를 들어 면적 고유 저항의 관점에서 3㎛ 이상 40㎛ 이하로 할 수 있다.Further, in the case where the respective resistance heat generating wirings are made to have substantially the same heat generating amount, the resistance heat generating wirings may be formed so as to have substantially the same resistance value. In this case, the resistance heat generating wiring can be formed as a similar wiring pattern with the same line length, the same line width, and the same thickness. The thickness of the resistance heat generating wiring can be set to, for example, not less than 3 μm and not more than 40 μm from the viewpoint of the area resistivity.
또한, 실질적으로 동일한 발열량을 갖는다란, 각 저항 발열 배선이, 동일한 측정 조건 하에서, 실질적으로 동일한 저항 온도 계수와 저항값을 갖는 것을 의미한다. 예를 들어, 저항 발열 배선간에서의 저항 온도 계수의 차이가 ±20% 이내이며, 또한 저항 발열 배선간에서의 저항값의 차이를 ±10% 이내로 할 수 있다.Also, having substantially the same calorific value means that each resistance heat generating wiring has substantially the same resistance temperature coefficient and resistance value under the same measurement conditions. For example, the difference in resistance temperature coefficient between resistance heating wires is within ± 20%, and the difference in resistance value between resistance heating wires can be within ± 10%.
(5) 기체에 대하여(5) About gas
기체(11)는 저항 발열 배선을 지지하는 기판이다.The
기체의 치수나 형상은 특별히 한정되지 않지만, 소인 방향(D1)의 길이보다도 폭 방향(D2)의 길이가 긴 형상인 경우에, 특히 본 발명에 구성에 의한 효과를 얻기 쉽다. 구체적으로는, 예를 들어 기체의 소인 방향(D1)의 길이를 LD1이라 하고, 기체의 폭 방향(D2)의 길이를 LD2라 한 경우에, 길이의 비(LD1/LD2)는 0.001 이상 0.25 이하로 할 수 있다. 이 비는, 또한, 0.005 이상 0.2 이하가 바람직하고, 0.01 이상 0.15 이하가 보다 바람직하다. 또한, 그 두께는, 예를 들어 기체의 재질이나 치수 등에 따라서 0.1∼20㎜로 할 수 있다.The size and shape of the substrate are not particularly limited, but particularly when the length in the width direction D 2 is longer than the length in the sweeping direction D 1 , the effect of the constitution of the present invention is easily obtained. Specifically, for example, when the length of the sweeping direction (D 1 ) of the gas is L D1 and the length of the gas in the width direction (D 2 ) is L D2 , the length ratio (L D1 / L D2 ) Can be 0.001 or more and 0.25 or less. This ratio is more preferably 0.005 or more and 0.2 or less, and still more preferably 0.01 or more and 0.15 or less. The thickness may be 0.1 to 20 mm, for example, depending on the material and dimensions of the base body.
기체의 재질은, 그 표면 상에서 저항 발열 배선을 발열시킬 수 있으면 되고, 특별히 한정되지 않는다. 기체로서, 예를 들어 금속, 세라믹스 및 이들의 복합 재료 등을 이용할 수 있다. 금속 등의 도전재를 사용하는 경우에는, 기체는 그 도전재 상에 절연층(도시하지 않음)을 형성하여 구성할 수 있다. 이 경우, 저항 발열 배선은 절연층 상에 형성되게 된다.The material of the substrate is not particularly limited as long as it can generate heat of the resistance heat generating wiring on the surface thereof. As the base, for example, metals, ceramics, and composite materials thereof can be used. When a conductive material such as a metal is used, the base may be formed by forming an insulating layer (not shown) on the conductive material. In this case, the resistance heat generating wiring is formed on the insulating layer.
기체를 구성하는 금속으로서는, 스틸 등을 들 수 있고, 그 중에서도 스테인리스를 적합하게 사용할 수 있다. 스테인리스의 종류는 특별히 한정되지 않고, 페라이트계 스테인리스 및/또는 오스테나이트계 스테인리스가 바람직하다. 또한 이들 스테인리스 중에서도 특히 내열성 및/또는 내산화성이 우수한 품종이 바람직하다. 예를 들어, SUS430, SUS436, SUS444, SUS316L 등을 들 수 있다. 이들은 1종만을 사용해도 되고 2종 이상을 병용해도 된다.As a metal constituting the base, steel and the like are exemplified, and among them, stainless steel can be suitably used. The kind of the stainless steel is not particularly limited, and ferritic stainless steel and / or austenitic stainless steel is preferable. Among these stainless steels, those having excellent heat resistance and / or oxidation resistance are preferred. Examples thereof include SUS430, SUS436, SUS444, SUS316L and the like. These may be used alone or in combination of two or more.
또한, 기체를 구성하는 금속으로서, 알루미늄, 마그네슘, 구리 및 이들 금속의 합금을 사용할 수 있다. 이들은 1종만으로 사용해도 되고 2종 이상을 병용해도 된다. 그 중, 알루미늄, 마그네슘 및 이들의 합금(알루미늄 합금, 마그네슘 합금, Al-Mg 합금 등)은 비중이 작기 때문에, 이들을 채용함으로써 본 히터의 경량화를 도모할 수 있다. 또한, 구리 및 그 합금은 열전도성이 우수하기 때문에, 이들을 채용함으로써 본 히터의 균열성의 향상을 도모할 수 있다.As the metal constituting the base, aluminum, magnesium, copper, and alloys of these metals can be used. These may be used alone or in combination of two or more. Among them, aluminum, magnesium, and their alloys (aluminum alloy, magnesium alloy, Al-Mg alloy, etc.) have a small specific gravity, so that the weight of the heater can be reduced by employing them. Further, since copper and its alloys are excellent in thermal conductivity, they can be used to improve the cracking property of the present heater.
전술한 바와 같이, 기체를 구성하는 재료로서 도전재를 사용하는 경우에는, 그 도전재 상에 절연층을 형성하는 것이 바람직하다. 절연층의 재료는, 기체를 구성하는 도전재와 저항 발열 배선 사이의 전기적 절연을 달성할 수 있으면 되고, 특별히 한정되지 않지만, 특히 유리, 세라믹스, 유리ㆍ세라믹스 등이 바람직하다. 이들 중에서도 기체를 구성하는 재료로서 금속(스테인리스 등)을 사용하는 경우, 절연층의 재료는, 그 열팽창 밸런스의 관점에서, 유리가 바람직하고, 결정화 유리 및 반결정화 유리가 보다 바람직하다. 구체적으로는, SiO2-Al2O3-MO계 유리가 바람직하다. 여기서, MO는 알칼리 토금속의 산화물(MgO, CaO, BaO, SrO 등)이다. 절연층의 두께는 특별히 한정되지 않지만, 30∼200㎛인 것이 바람직하다.As described above, when a conductive material is used as a material constituting the base, it is preferable to form an insulating layer on the conductive material. The material of the insulating layer is not particularly limited, as long as it can achieve electrical insulation between the conductive material constituting the base and the resistance heat generating wiring. In particular, glass, ceramics, glass ceramics and the like are preferable. Among them, when a metal (stainless steel or the like) is used as a material constituting the base, the material of the insulating layer is preferably glass in view of the balance of thermal expansion, and more preferably, crystallized glass and semi-crystallized glass. Specifically, SiO 2 -Al 2 O 3 -MO based glass is preferable. Here, MO is an oxide of an alkaline earth metal (MgO, CaO, BaO, SrO, or the like). The thickness of the insulating layer is not particularly limited, but is preferably 30 to 200 mu m.
또한, 세라믹스를 사용하여 기체를 구성하는 경우에는, 고온에 있어서, 기체 상에 설치되는 저항 발열 배선과의 사이의 전기적 절연을 달성할 수 있는 것이면 된다. 예를 들어, 산화알루미늄, 질화알루미늄, 지르코니아, 실리카, 멀라이트, 스피넬, 코디에라이트, 질화규소 등을 들 수 있다. 이들은 1종만을 사용해도 되고 2종 이상을 병용해도 된다. 이들 중, 산화알루미늄 및 질화알루미늄이 바람직하다. 또한, 금속과 세라믹스의 복합 재료로서는, SiC/C나, SiC/Al 등을 들 수 있다. 이들은 1종만을 사용해도 되고 2종 이상을 병용해도 된다.In the case of forming a base body by using ceramics, any material that can achieve electrical insulation with a resistance heat generating wiring provided on a base body at a high temperature may be used. Examples thereof include aluminum oxide, aluminum nitride, zirconia, silica, mullite, spinel, cordierite, silicon nitride and the like. These may be used alone or in combination of two or more. Of these, aluminum oxide and aluminum nitride are preferable. Examples of the composite material of metal and ceramics include SiC / C, SiC / Al, and the like. These may be used alone or in combination of two or more.
또한, 전술한 바와 같이, 히터의 발열면과 피가열물이 대면된 상태에서, 피가열물과 히터를 상대적으로 소인 방향(D1)으로 소인시켜 피가열물을 가열하는 경우, 기체의 소인 방향(D1)의 단면 형상은, 소인 방향(D1)과 직교하는 축을 중심으로 하여 피가열물과의 대면측으로 볼록 형상인 원호 형상(즉, 원기둥 또는 원통을, 중심축에 평행인 평면으로 잘라낸 형상)으로 할 수 있다. 그리고, 각 저항 발열 배선은, 볼록 형상의 면 상에 배설할 수도 있고, 반대측의 면(오목 형상의 면) 상에 배설할 수도 있다. 이와 같은 형상으로 함으로써, 히터를 원통형의 롤에 부착하고, 롤을 회전시킴으로써, 롤 상에서 소인되는 피가열물을 효율적으로 가열할 수 있다.As described above, when the object to be heated is heated by sweeping the object to be heated and the heater relatively in the sweeping direction (D 1 ) with the heating surface of the heater facing the object to be heated, cross-sectional shape of (D 1), the sweep direction (D 1) and an axis perpendicular to the arc of a convex shape toward the face of the object of heating the shape (i.e., a columnar or cylindrical, cut by a plane parallel to the central axis Shape). Each of the resistance heat generating wirings may be disposed on the convex surface or on the opposite surface (concave surface). By adopting such a shape, it is possible to efficiently heat the object to be heated on the roll by attaching the heater to the cylindrical roll and rotating the roll.
(6) 그 밖의 회로 등에 대하여(6) Other circuits
본 히터는, 전술한 저항 발열 배선 이외에도, 다른 회로를 구비할 수 있다. 다른 회로로서는, 저항 발열 배선에 전극을 공급하기 위한 급전 배선, 본 히터에 전극을 공급하기 위한 외부 배선을 접속하는 랜드 등을 들 수 있다. 이들은 1종만을 구비해도 되고 2종 이상을 구비해도 된다.The present heater may have other circuits in addition to the resistance heat generating wiring described above. Other circuits include a feed interconnection for supplying an electrode to the resistance heat generating interconnection, and a land for connecting an external interconnection for supplying an electrode to the present heater. These may be one kind alone or two or more kinds.
저항 발열 배선은, 그 자체가, 급전 배선부(R)를 구비하고 있어도 된다(도 15).The resistance heat generating wiring itself may be provided with the power supply wiring portion R (Fig. 15).
(7) 용도에 대하여(7) Usage
본 히터는, 인쇄기, 복사기, 팩시밀리 등의 화상 형성 장치나 정착 장치 등에 내장되어, 기록 매체에 토너나 잉크 등을 정착하는 정착용 히터로서 이용할 수 있다. 또한, 가열기에 내장되어, 패널 등의 피처리체를 균일하게 가열(건조 또는 소성 등)하는 가열 장치로서 이용할 수 있다. 그 밖에, 금속 제품의 열처리, 각종 형상의 기체에 형성된 도막, 피막의 열처리 등을 적합하게 행할 수 있다. 구체적으로는, 플랫 패널 디스플레이용의 도막(필터 구성 재료)의 열처리, 도장된 금속 제품, 자동차 관련 제품, 목공 제품 등의 도장 건조, 정전 식모 접착 건조, 플라스틱 가공 제품의 열처리, 프린트 기판의 땜납 리플로우, 후막 집적 회로의 인쇄 건조 등에 이용할 수 있다.This heater can be used as a fixing heater incorporated in an image forming apparatus such as a printing machine, a copying machine, a facsimile, etc., a fixing device and the like, and fixing toner or ink to the recording medium. Further, it can be used as a heating device built in a heater and uniformly heating (drying, firing, etc.) an object to be processed such as a panel. In addition, the heat treatment of the metal product, the coating film formed on the gas of various shapes, and the heat treatment of the coating film can be appropriately performed. More specifically, the present invention relates to a method for manufacturing a flat panel display, which includes heat treatment of a coating film (filter constituent material), coating and drying of painted metal products, automobile related products, woodworking products, And can be used for printing and drying of a thick film integrated circuit.
(8) 실시 형태에 대하여(8) About the embodiment
이상으로부터, 본 히터는, 예를 들어 이하와 같은 실시 형태로 할 수 있다. 또한, 이하의 실시 형태에 따른 도 8-도 15는, 도면 상에 부호를 붙일 수 있도록, 애스펙트비를 변경(소인 방향(D1)이 커지고, 폭 방향(D2)으로 작아지도록 변경)하여 도시한 모식적인 평면도이다.From the above, the present heater can be, for example, the following embodiment. Figs. 8 to 15 according to the following embodiments will be described with reference to Figs. 8 to 15 in which the aspect ratio is changed (the sweeping direction D 1 is increased and the widthwise direction D 2 is decreased) Fig.
<실시 형태 1>≪
실시 형태 1의 히터를 모식적으로 도시하는 평면도를 도 8에 도시하였다.Fig. 8 is a plan view schematically showing the heater of
실시 형태 1의 히터는 기체(11)를 갖는다. 이 기체(11)는 소인 방향(D1)의 길이 LD1과 폭 방향(D2)의 길이 LD2의 비(LD1/LD2)가 0.013 이상 0.076 이하로 되어, 소인 방향(D1)의 길이보다도 폭 방향(D2)의 길이가 긴 형상이다(이하의 실시 형태에서는, 모두 마찬가지의 기체임). 또한, 기체(11) 상에 각각 따로 급전을 받는 5개의 저항 발열 배선(12)을 구비한다. 각 저항 발열 배선은, 은-팔라듐 합금을 포함하는 페이스트의 베이킹에 의해 형성되어 있고, 각각 정의 저항 발열 계수를 갖고, 각 저항 발열 배선간에서의 저항 온도 계수의 차이는 ±20% 이내로 되어 있다(이하의 실시 형태에서는, 모두 마찬가지의 저항 발열 배선임).The heater according to the first embodiment has a
또한, 이들 모든 저항 발열 배선(12)은 소인 방향 D1로, 제1 열, 제2 열, 제3 열의 순으로 나란히 배치된 3열의 횡배선부(X)와, 횡배선부간을 접속하는 종배선부(Y)를 갖고 있다. 모든 횡배선부(X)는, 모두, 종배선부(Y)보다도 길게 형성되고, 또한, 모든 종배선(Y)은 소인 방향 D1에 대하여 경사져 패터닝되어 있다. 그리고, 횡배선부(X)는 종배선부(Y)에 의해 전기적으로 접속되어 꾸불꾸불한 형상으로 형성되어 있다.All of the resistance
또한, 이들 5개의 저항 발열 배선(12)은 소인 방향 D1과는 수직인 폭 방향 D2로, 도 8의 좌측으로부터, 제1 배선(L1), 제2 배선(L2), 제3 배선(L3), 제4 배선(L4), 제5 배선(L5)의 순으로 나란히 배치되고, 이 중, 제2 배선(L2) 및 제4 배선(L4)은 제2 열 횡배선부(X2)가 제1 열 횡배선부(X1) 및 제3 열 횡배선부(X3)보다 길게 형성된 패턴(P2)을 갖고 있다. 또한, 제3 배선(L3)은 제2 열 횡배선부(X2)가 제1 열 횡배선부(X1) 및 제3 열 횡배선부(X3)보다 짧게 형성된 패턴(P1)을 갖고 있다. 즉, 실시 형태 1의 히터(1)는 패턴(P1) 및 패턴(P2)의 양쪽을 상이한 저항 발열 배선으로서 동시에 갖고, 또한, 패턴(P1) 및 패턴(P2)은 인접하여 배치되어 있다.The five resistance
또한, 제1 배선(L1)의 제1 열 횡배선부(X11) 및 제2 열 횡배선부(X12)를 연결하는 종배선부(Y112)와, 제2 배선(L2)의 제1 열 횡배선부(X21) 및 제2 열 횡배선부(X22)를 연결하는 종배선부(Y212)가 간극을 두고 대향되어 대향 개소(A)를 형성하고 있다. 마찬가지로, 제2 배선(L2)의 제2 열 횡배선부(X22) 및 제3 열 횡배선부(X23)를 연결하는 종배선부(Y223)와, 제3 배선(L3)의 제2 열 횡배선부(X32) 및 제3 열 횡배선부(X33)를 연결하는 종배선부(Y323)는 간극을 두고 대향되어 대향 개소(B)를 형성하고 있다. 또한 마찬가지로, 제3 배선(L3)의 제1 열 횡배선부(X31) 및 제2 열 횡배선부(X32)를 연결하는 종배선부(Y312)와, 제4 배선(L4)의 제1 열 횡배선부(X41) 및 제2 열 횡배선부(X42)를 연결하는 종배선부(Y412)는 간극을 두고 대향되어 대향 개소(C)를 형성하고 있다.The end portion Y 112 of the first wiring L 1 is connected to the first wiring portion X 11 and the second wiring portion X 12 of the first wiring L 1 , The longitudinal end portion Y 212 connecting the first column crossing portion X 21 and the second column crossing portion X 22 is opposed to each other with a gap to form the opposed portion A. Similarly, the second line (L2) of the second heat lateral wire unit (X 22) and the third heat and jongbae line portion (Y 223) connecting the transverse wire unit (X 23), the third wires (L 3) The longitudinal wiring portion Y 323 connecting the two column lateral wiring portions X 32 and the third column lateral wiring portions X 33 is opposed to each other with a gap to form the opposed portion B. Likewise, the third wire (L 3) of the first heat lateral wire unit (X 31) and the second heat and jongbae line portion (Y 312) connecting the transverse wire unit (X 32), the fourth wires (L 4) the first transverse heat wire unit (X 41) and the second heat jongbae line portion (Y 412) connecting the transverse wire unit (X 42) are opposed with a gap to form a facing portion (C).
그리고, 대향 개소(B)의 간극의 소인 궤적 TB는, 대향 개소(A)의 간극의 소인 궤적 TA와, 대향 개소(C)의 간극의 소인 궤적 TC 사이에 위치됨과 함께, 대향 개소(A)의 간극의 소인 궤적 TA의 측으로 치우쳐 위치되어 있다. 즉, 소인 궤적 TA와 소인 궤적 TB의 간극 거리를 WAB라 하고, 소인 궤적 TB와 소인 궤적 TC의 간극 거리를 WBC라 한 경우에, WAB<WBC로 되어 있다.The sweep path T B of the gap of the opposed portion B is located between the sweep trajectory T A of the gap of the opposed portion A and the sweep trajectory T C of the gap of the opposed portion C, Is located biased toward the sweep trajectory T A of the clearance of the air bag A. That is, when the gap distance between the sweep trajectory T A and the sweep trajectory T B is W AB and the gap distance between the sweep trajectory T B and the sweep trajectory T C is W BC , W AB <W BC .
이와 같이, 실시 형태 1의 히터는, 각각 따로 급전을 받는 5개의 저항 발열 배선(12)을 구비하면서, 각 저항 발열 배선끼리는, 소인 방향 D1에 있어서의 가열 영역이 공유되고, 게다가, 인접된 저항 발열 배선의 종배선부(Y)끼리의 대향 개소가 폭 방향 D2에서 겹치지 않도록 분산되어, 소인 방향 D1로 규칙적으로 나타나는 것을 방지하면서, 전체로서 밀한 저항 발열 배선 패턴으로 할 수 있다. 이에 의해, 소인 방향(D1)으로 횡배선부(X)가 3단밖에 없는 협폭인 히터라도, 정상적으로 자기 온도 균형을 기능시켜, 균열성이 우수한 히터로 할 수 있다.As described above, the heater according to the first embodiment has the five resistance
또한, 당연히, 도 8에 도시한 형태를 좌우 거울상 반전시킨 패턴으로 할 수도 있어, 동일한 효과를 얻을 수 있다. 이하의 다른 실시 형태에서도 마찬가지이다.Naturally, the pattern shown in Fig. 8 can be formed as a left-right mirror-inverted pattern, and the same effect can be obtained. The same applies to the other embodiments described below.
또한, 각 종배선부(Y)는, 도 8에서는, 모두 동일한 각도로 동일한 방향으로 경사져 있지만, 이들은 각각 독립하여 상이한 각도여도 되고, 또한, 각각 독립하여 상이한 방향으로 경사져 있어도 된다. 나아가, 경사진 종배선부(Y)와, 경사지지 않은(소인 방향 D1에 평행) 종배선부(Y)가 혼재되어도 된다. 이하의 다른 실시 형태에서도 마찬가지이다.8, all the longitudinal end portions Y are inclined in the same direction at the same angle, but they may be independently different from each other, or may be inclined in different directions independently of one another. Furthermore, the inclined end portion Y may be mixed with the end portion Y not inclined (parallel to the sweeping direction D 1 ). The same applies to the other embodiments described below.
<실시 형태 2>≪ Embodiment 2 >
실시 형태 2의 히터를 모식적으로 도시하는 평면도를 도 9에 도시하였다.Fig. 9 is a plan view schematically showing the heater of the second embodiment.
실시 형태 1의 히터는, 기체(11)와, 이 기체(11) 상에 각각 따로 급전을 받는 5개의 저항 발열 배선(12)을 구비한다. 이들 모든 저항 발열 배선(12)은 소인 방향 D1로, 제1 열, 제2 열, 제3 열의 순으로 나란히 배치된 3열의 횡배선부(X)와, 횡배선부간을 접속하는 종배선부(Y)를 갖고 있다. 모든 횡배선부(X)는 모두, 종배선부(Y)보다도 길게 형성되고, 또한 모든 종배선(Y)은 소인 방향 D1에 대하여 경사져 패터닝되어 있다. 그리고, 횡배선부(X)는 종배선부(Y)에 의해 전기적으로 접속되어 꾸불꾸불한 형상으로 형성되어 있다.The heater of
또한, 이들 5개의 저항 발열 배선(12)은 소인 방향 D1과는 수직인 폭 방향 D2로, 도 9의 좌측으로부터, 제1 배선(L1), 제2 배선(L2), 제3 배선(L3), 제4 배선(L4), 제5 배선(L5)의 순으로 나란히 배치되고, 이 중, 제1 배선(L1) 및 제5 배선(L5)은, 제2 열 횡배선부(X2)가 제1 열 횡배선부(X1) 및 제3 열 횡배선부(X3)보다 짧게 형성된 패턴(P1)을 갖고 있다. 또한, 제3 배선(L3)은 제2 열 횡배선부(X2)가 제1 열 횡배선부(X1) 및 제3 열 횡배선부(X3)보다 길게 형성된 패턴(P2)을 갖고 있다. 즉, 실시 형태 2의 히터(1)는 패턴(P1) 및 패턴(P2)의 양쪽을 상이한 저항 발열 배선으로서 동시에 갖고 있다. 단, 패턴(P1) 및 패턴(P2)은 인접하여 배치되어 있지는 않다.The five resistance
또한, 실시 형태 1의 히터(도 8)와 마찬가지로, 대향 개소(A), 대향 개소(B), 대향 개소(C)를 갖고, 소인 궤적 TB는, 소인 궤적 TA와 소인 궤적 TC 사이에 위치됨과 함께, 소인 궤적 TA의 측으로 치우쳐 위치되어 있다. 즉, 소인 궤적 TA와 소인 궤적 TB의 간극 거리를 WAB라 하고, 소인 궤적 TB와 소인 궤적 TC의 간극 거리를 WBC라 한 경우에, WAB<WBC로 되어 있다.The sweep trajectory T B has an opposite portion A, an opposite portion B and an opposite portion C in the same manner as in the heater of Embodiment 1 (FIG. 8), and the sweep trajectory T B is a distance between the sweep trajectory T A and the sweep trajectory T C And is biased to the side of the sweep trajectory T A. That is, when the gap distance between the sweep trajectory T A and the sweep trajectory T B is W AB and the gap distance between the sweep trajectory T B and the sweep trajectory T C is W BC , W AB <W BC .
이와 같이, 실시 형태 2의 히터는, 각각 따로 급전을 받는 5개의 저항 발열 배선(12)을 구비하면서, 각 저항 발열 배선끼리는, 소인 방향 D1에 있어서의 가열 영역이 공유되고, 게다가, 인접된 저항 발열 배선의 종배선부(Y)끼리의 대향 개소가 폭 방향 D2에서 겹치지 않도록 분산되어, 소인 방향 D1로 규칙적으로 나타나는 것을 방지하면서, 전체로서 밀한 저항 발열 배선 패턴으로 할 수 있다. 이에 의해, 소인 방향(D1)으로 횡배선부(X)가 3단밖에 없는 협폭인 히터라도, 정상적으로 자기 온도 균형을 기능시켜, 균열성이 우수한 히터로 할 수 있다.As described above, the heater according to the second embodiment has the five resistance
<실시 형태 3>≪
실시 형태 3의 히터를 모식적으로 도시하는 평면도를 도 10에 도시하였다.Fig. 10 is a plan view schematically showing the heater of the third embodiment.
실시 형태 3의 히터는, 기체(11)와, 이 기체(11) 상에 각각 따로 급전을 받는 5개의 저항 발열 배선(12)을 구비한다. 이들 모든 저항 발열 배선(12)은 소인 방향 D1로, 제1 열, 제2 열, 제3 열의 순으로 나란히 배치된 3열의 횡배선부(X)와, 횡배선부간을 접속하는 종배선부(Y)를 갖고 있다. 모든 횡배선부(X)는 모두, 종배선부(Y)보다도 길게 형성되고, 또한 모든 종배선(Y)은 소인 방향 D1에 대하여 경사져 패터닝되어 있다. 그리고, 횡배선부(X)는 종배선부(Y)에 의해 전기적으로 접속되어 꾸불꾸불한 형상으로 형성되어 있다.The heater of
또한, 이들 5개의 저항 발열 배선(12)은 소인 방향 D1과는 수직인 폭 방향 D2로, 도 10의 좌측으로부터, 제1 배선(L1), 제2 배선(L2), 제3 배선(L3), 제4 배선(L4), 제5 배선(L5)의 순으로 나란히 배치되고, 이 중, 제2 배선(L2) 및 제4 배선(L4)은, 제2 열 횡배선부(X2)가 제1 열 횡배선부(X1) 및 제3 열 횡배선부(X3)보다 짧게 형성된 패턴(P1)을 갖고 있다. 또한, 제3 배선(L3)은 제2 열 횡배선부(X2)가 제1 열 횡배선부(X1) 및 제3 열 횡배선부(X3)보다 길게 형성된 패턴(P2)을 갖고 있다. 즉, 실시 형태 3의 히터(1)는 패턴(P1) 및 패턴(P2)의 양쪽을 상이한 저항 발열 배선으로서 동시에 갖고, 또한 패턴(P1) 및 패턴(P2)은 인접하여 배치되어 있다.The five resistance
또한, 실시 형태 1의 히터(도 8) 및 실시 형태 2의 히터(도 9)와 마찬가지로, 대향 개소(A), 대향 개소(B), 대향 개소(C)를 갖고, 소인 궤적 TB는, 소인 궤적 TA와 소인 궤적 TC 사이에 위치됨과 함께, 소인 궤적 TA의 측으로 치우쳐 위치되어 있다. 즉, 소인 궤적 TA와 소인 궤적 TB의 간극 거리를 WAB라 하고, 소인 궤적 TB와 소인 궤적 TC의 간극 거리를 WBC라 한 경우에, WAB<WBC로 되어 있다.Further, the first embodiment as with the heater (8) and carrying out a heater of Embodiment 2 (Fig. 9), opposed portions (A), the opposing portions (B), has an opposing portion (C), sweep trajectory T B, Is located between the sweep trajectory T A and the sweep trajectory T C , and is biased toward the sweep trajectory T A. That is, when the gap distance between the sweep trajectory T A and the sweep trajectory T B is W AB and the gap distance between the sweep trajectory T B and the sweep trajectory T C is W BC , W AB <W BC .
이와 같이, 실시 형태 3의 히터는, 각각 따로 급전을 받는 5개의 저항 발열 배선(12)을 구비하면서, 각 저항 발열 배선끼리는, 소인 방향 D1에 있어서의 가열 영역이 공유되고, 게다가, 인접된 저항 발열 배선의 종배선부(Y)끼리의 대향 개소가 폭 방향 D2에서 겹치지 않도록 분산되어, 소인 방향 D1로 규칙적으로 나타나는 것을 방지하면서, 전체로서 밀한 저항 발열 배선 패턴으로 할 수 있다. 이에 의해, 소인 방향(D1)으로 횡배선부(X)가 3단밖에 없는 협폭인 히터라도, 정상적으로 자기 온도 균형을 기능시켜, 균열성이 우수한 히터로 할 수 있다.As described above, the heater of
상술한 실시 형태 1, 실시 형태 2 및 실시 형태 3에서는, 실시 형태 3보다도, 실시 형태 1 및 실시 형태 2가 균열의 관점에서 보다 바람직하다. 이것은, 실시 형태 1의 히터(도 8) 및 실시 형태 2의 히터(도 9)가 구비하는 제2 배선(L2), 제3 배선(L3) 및 제4 배선(L4)은, 실시 형태 3의 히터(도 10)가 구비하는 제2 배선(L2), 제3 배선(L3) 및 제4 배선(L4)보다도, 횡배선부(X)끼리의 소인 궤적의 중복 영역이 크기 때문이다.In
즉, 실시 형태 3의 히터의 제2 배선(L2)은, 제1 열 횡배선부(X21)의 소인 궤적과, 제2 열 횡배선부(X22)의 소인 궤적과, 제3 열 횡배선부(X23)의 소인 궤적이 모두 중복되는 길이(K)가, 제1 열 횡배선부(X21), 제2 열 횡배선부(X22) 및 제3 열 횡배선부(X23)의 합계 길이에 대하여 11.8%이다. 또한, 실시 형태 3의 히터의 제3 배선(L3)은, 제1 열 횡배선부(X31)의 소인 궤적과, 제2 열 횡배선부(X32)의 소인 궤적과, 제3 열 횡배선부(X33)의 소인 궤적이 모두 중복되는 길이(K)가 존재하지 않는 형상이다. 또한, 실시 형태 3의 히터의 제4 배선(L4)은, 제1 열 횡배선부(X41)의 소인 궤적과, 제2 열 횡배선부(X42)의 소인 궤적과, 제3 열 횡배선부(X43)의 소인 궤적이 모두 중복되는 길이(K)가, 제1 열 횡배선부(X41), 제2 열 횡배선부(X42) 및 제3 열 횡배선부(X43)의 합계 길이에 대하여 11.8%이다.That is, the second wiring (L 2 ) of the heater according to the third embodiment has the sweep trajectory of the first thermal transverse wiring portion X 21 , the sweep locus of the second thermal transverse wiring portion X 22 , The length K in which the sweep traces of the transverse wiring portion X 23 are all overlapped is smaller than the length K of the first transverse interconnection portion X 21 , the second heat transverse interconnection portion X 22 , and the third heat transverse interconnection portion X 23 ) is 11.8%. Further, the third wires (L 3) of the heater in accordance with
이에 비해, 실시 형태 1의 히터의 제2 배선(L2)은, 제1 열 횡배선부(X21)의 소인 궤적과, 제2 열 횡배선부(X22)의 소인 궤적과, 제3 열 횡배선부(X23)의 소인 궤적이 모두 중복되는 길이(K)가, 제1 열 횡배선부(X21), 제2 열 횡배선부(X22) 및 제3 열 횡배선부(X23)의 합계 길이에 대하여 24.3%이다. 또한, 실시 형태 1의 히터의 제3 배선(L3)은, 제1 열 횡배선부(X31)의 소인 궤적과, 제2 열 횡배선부(X32)의 소인 궤적과, 제3 열 횡배선부(X33)의 소인 궤적이 모두 중복되는 길이(K)가, 제1 열 횡배선부(X31), 제2 열 횡배선부(X32) 및 제3 열 횡배선부(X33)의 합계 길이에 대하여 16.6%이다. 또한, 실시 형태 1의 히터의 제4 배선(L4)은, 제1 열 횡배선부(X41)의 소인 궤적과, 제2 열 횡배선부(X42)의 소인 궤적과, 제3 열 횡배선부(X43)의 소인 궤적이 모두 중복되는 길이(K)가, 제1 열 횡배선부(X41), 제2 열 횡배선부(X42) 및 제3 열 횡배선부(X43)의 합계 길이에 대하여 24.3%이다.On the other hand, the second wiring (L 2 ) of the heater of the first embodiment has the sweep trajectory of the first thermal transverse wiring portion (X 21 ), the sweep trajectory of the second thermal transverse wiring portion (X 22 ) The length K in which the sweep traces of the thermal transverse wiring X 23 are all overlapped is smaller than the length K of the first thermal transverse interconnection X 21 , the second thermal transverse interconnection X 22 , X 23 ). The third wiring (L 3 ) of the heater of the first embodiment has the sweep trajectory of the first thermal transverse wiring portion X 31 , the sweep trajectory of the second thermal transverse wiring portion X 32 , The length K in which the sweep traces of the lateral wiring portion X 33 are all overlapped is smaller than the length K of the first row lateral wiring portion X 31 , the second column lateral wiring portion X 32 and the third column lateral wiring portion X 33 ) is 16.6%. The fourth wiring (L 4 ) of the heater of the first embodiment has a sweep locus of the first thermal transverse wiring portion X 41 , a sweep trajectory of the second thermal transverse wiring portion X 42 , The length K in which the sweep traces of the transverse wiring portion X 43 are all overlapped is smaller than the length K of the first transverse wiring portion X 41 , the second thermal transverse wiring portion X 42 , and the third thermal transverse wiring portion X 43 ) is 24.3%.
또한, 실시 형태 2의 히터의 제2 배선(L2)은, 제1 열 횡배선부(X21)의 소인 궤적과, 제2 열 횡배선부(X22)의 소인 궤적과, 제3 열 횡배선부(X23)의 소인 궤적이 모두 중복되는 길이(K)가, 제1 열 횡배선부(X21), 제2 열 횡배선부(X22) 및 제3 열 횡배선부(X23)의 합계 길이에 대하여 20.5%이다. 또한, 실시 형태 2의 히터의 제3 배선(L3)은 제1 열 횡배선부(X31)의 소인 궤적과, 제2 열 횡배선부(X32)의 소인 궤적과, 제3 열 횡배선부(X33)의 소인 궤적이 모두 중복되는 길이(K)가, 제1 열 횡배선부(X31), 제2 열 횡배선부(X32) 및 제3 열 횡배선부(X33)의 합계 길이에 대하여 16.6%이다. 또한, 실시 형태 2의 히터의 제4 배선(L4)은, 제1 열 횡배선부(X41)의 소인 궤적과, 제2 열 횡배선부(X42)의 소인 궤적과, 제3 열 횡배선부(X43)의 소인 궤적이 모두 중복되는 길이(K)가, 제1 열 횡배선부(X41), 제2 열 횡배선부(X42) 및 제3 열 횡배선부(X43)의 합계 길이에 대하여 20.5%이다.The second wiring (L 2 ) of the heater of the second embodiment has the sweep trajectory of the first thermal transverse wiring portion X 21 , the sweep trajectory of the second thermal transverse wiring portion X 22 , The length K in which the sweep traces of the transverse wiring portion X 23 are all overlapped is smaller than the length K of the first transverse interconnection portion X 21 , the second heat transverse interconnection portion X 22 , and the third heat transverse interconnection portion X 23 ) is 20.5%. The third wiring L 3 of the heater according to the second embodiment has the sweep trajectory of the first thermal interconnection line X 31 and the sweep trajectory of the second thermal interconnection line X 32 , The length K in which the sweep traces of the wiring portion X 33 are all overlapped is smaller than the length K of the first thermal transverse wiring portion X 31 , the second thermal transverse wiring portion X 32 and the third thermal transverse wiring portion X 33 ) Is 16.6%. Further, the fourth wires (L 4) of the heater in accordance with Embodiment 2, the first heat lateral wire unit (X 41) sweep trajectory, and a second heat sweep trajectory and the third column in the horizontal wiring portion (X 42) of the The length K in which the sweep traces of the transverse wiring portion X 43 are all overlapped is smaller than the length K of the first transverse wiring portion X 41 , the second thermal transverse wiring portion X 42 , and the third thermal transverse wiring portion X 43 ) is 20.5%.
이와 같이, 실시 형태 1∼3의 각 히터의 제2 배선(L2), 제3 배선(L3) 및 제4 배선(L4)의 횡배선부(X)끼리의 소인 궤적의 중복을 비교하면, 실시 형태 3에 비해, 실시 형태 1 및 실시 형태 2는 크게 되어 있다. 이에 의해, 제2 배선(L2), 제3 배선(L3) 및 제4 배선(L4)의 각 저항 발열 배선이 존재하는 영역이 콤팩트해져, 보다 우수한 자기 온도 균형의 작용을 얻을 수 있기 때문이다.As described above, the overlapping of the trailing locus of the second wiring (L 2 ), the third wiring (L 3 ) and the fourth wiring (L 4 ) of each heater in
한편, 실시 형태 3의 히터에 있어서의 제3 배선(L3)은 제1 열 횡배선부(X31)의 소인 궤적과, 제2 열 횡배선부(X32)의 소인 궤적의 2개의 소인 궤적이 동시에 중복되는 형상으로 되어 있다. 또한, 제2 열 횡배선부(X32)의 소인 궤적과, 제3 열 횡배선부(X33)의 소인 궤적의 2개의 소인 궤적이 동시에 중복되는 형상으로 되어 있다. 그러나, 제1 열 횡배선부(X31)의 소인 궤적과, 제2 열 횡배선부(X32)의 소인 궤적과, 제3 열 횡배선부(X33)의 소인 궤적의 3개의 소인 궤적이 동시에 중복되지 않는 형상으로 되어 있다.On the other hand, the third wiring (L 3 ) of the heater of the third embodiment has two traces of the trailing locus of the first thermal transverse wiring portion X 31 and the trajectory of the second thermal transverse wiring portion X 32 And the trajectory is formed so as to overlap at the same time. In addition, the sweep trajectory of the second row cross wiring portion X 32 and the sweep trajectory of the third column cross wiring portion X 33 are formed so as to simultaneously overlap with each other. However, there are three scribe traces of the sweep locus of the first row crosswise wiring portion X 31 , the sweep locus of the second row crosswise wiring portion X 32 , and the sweep trajectory of the third row crosswise wiring portion X 33 At the same time.
이와 같이 저항 발열 배선은, 소인 궤적의 중복량이 적은 형상으로 함으로써, 소인 궤적의 중복량이 많은 형상의 저항 발열 배선에 비해, 저항 발열 배선이 존재하는 영역을 콤팩트하게 통합하기 어려워진다. 그러나, 실시 형태 3의 히터에서는, 제3 배선(L3)을 소인 궤적의 중복량이 적은 형상으로 함으로써, 제3 배선(L3)에 인접한 다른 2개의 배선 형상의 자유도를 크게 할 수 있어, 제2 배선(L2)과 제4 배선(L4)에 있어서의 소인 궤적의 중복량을 크게 하는 것에 성공하였다. 즉, 인접한 다른 2개의 배선 형상의 자유도를 크게 하기 위해, 1개의 저항 발열 배선의 소인 궤적의 중복량을 적극적으로 저감할 수 있다.As described above, by forming the resistive heat-generating wiring so as to have a small amount of sweep trajectory, it is difficult to compactly integrate the region where the resistance heat-generating wiring exists, as compared with the resistance heat generating wiring having the shape in which the sweep trajectory overlap amount is large. However, in the heater of
<실시 형태 4>≪ Fourth Embodiment >
실시 형태 4의 히터를 모식적으로 도시하는 평면도를 도 11에 도시하였다.Fig. 11 is a plan view schematically showing the heater of the fourth embodiment.
실시 형태 4의 히터는, 기체(11)와, 이 기체(11) 상에 각각 따로 급전을 받는 6개의 저항 발열 배선(12)을 구비한다. 이들 모든 저항 발열 배선(12)은, 소인 방향 D1로, 제1 열, 제2 열, 제3 열의 순으로 나란히 배치된 3열의 횡배선부(X)와, 횡배선부간을 접속하는 종배선부(Y)를 갖고 있다. 모든 횡배선부(X)는, 모두, 종배선부(Y)보다도 길게 형성되고, 또한 모든 종배선(Y)은 소인 방향 D1에 대하여 경사져 패터닝되어 있다. 그리고, 횡배선부(X)는 종배선부(Y)에 의해 전기적으로 접속되어 꾸불꾸불한 형상으로 형성되어 있다.The heater of
또한, 이들 6개의 저항 발열 배선(12)은, 소인 방향 D1과는 수직인 폭 방향 D2로, 도 11의 좌측으로부터, 제1 배선(L1), 제2 배선(L2), 제3 배선(L3), 제4 배선(L4), 제5 배선(L5), 제6 배선(L6)의 순으로 나란히 배치되고, 이 중, 제2 배선(L2) 및 제5 배선(L5)은 제2 열 횡배선부(X2)가, 제1 열 횡배선부(X1) 및 제3 열 횡배선부(X3)보다 짧게 형성된 패턴(P1)을 갖고 있다. 또한, 제3 배선(L3)은 제2 열 횡배선부(X2)가 제1 열 횡배선부(X1) 및 제3 열 횡배선부(X3)보다 길게 형성된 패턴(P2)을 갖고 있다. 즉, 실시 형태 4의 히터(1)는 패턴(P1) 및 패턴(P2)의 양쪽을 상이한 저항 발열 배선으로서 동시에 갖고 있다. 그리고, 패턴(P1)을 갖는 제2 배선(L2)과, 패턴(P2)을 갖는 제3 배선(L3)이 인접하여 배치되어 있다.The six resistance heat generating
또한, 실시 형태 1∼3의 히터와 마찬가지로, 제1 배선(L1)과 제2 배선(L2)의 대향 개소로서 대향 개소(A)를 갖고, 제2 배선(L2)과 제3 배선(L3)의 대향 개소로서 대향 개소(B)를 갖고, 제3 배선(L3)과 제4 배선(L4)의 대향 개소로서 대향 개소(C)를 갖고 있다. 그리고, 소인 궤적 TB는, 소인 궤적 TA와 소인 궤적 TC 사이에 위치됨과 함께, 소인 궤적 TA의 측으로 치우쳐 위치되어 있다. 즉, 소인 궤적 TA 및 소인 궤적 TB의 간극 거리 WAB와, 소인 궤적 TB 및 소인 궤적 TC의 간극 거리 WBC는 WAB<WBC로 되어 있다.As in the case of the heaters according to the first to third embodiments, the first wiring (L 1 ) and the second wiring (L 2 ) have opposing portions A as opposing parts and the second wiring (L 2 ) has opposing portions (B) as the opposite portions of the (L 3), it has a first opposing portion (C) as the opposite portions of the third wire (3 L) and the fourth wire (4 L). The sweep trajectory T B is located between the sweep trajectory T A and the sweep trajectory T C and is biased toward the sweep trajectory T A. That is, the sweep trajectory T of the gap distance A and gap distance of the sweep trajectory T W B and AB, sweep trajectory T B and T C W BC sweep trajectory is a W AB <W BC.
또한, 본 실시 형태 4의 히터에서는, 제3 배선(L3)과 제4 배선(L4)의 대향 개소로서 대향 개소(A')를 갖고, 제4 배선(L4)과 제5 배선(L5)의 대향 개소로서 대향 개소(B')를 갖고, 제5 배선(L5)과 제6 배선(L6)의 대향 개소로서 대향 개소(C')를 갖고 있다(제3 배선(L3)을 제1 배선, 제4 배선(L4)을 제2 배선, 제5 배선(L5)을 제3 배선, 제6 배선(L6)을 제4 배선으로 대체하는 것이 가능함). 그리고, 소인 궤적 TB'는, 소인 궤적 TA '와 소인 궤적 TC ' 사이에 위치됨과 함께, 소인 궤적 TC '의 측으로 치우쳐 위치되어 있다. 즉, 소인 궤적 TA 및 소인 궤적 TB의 간극 거리 WAB와, 소인 궤적 TB 및 소인 궤적 TC의 간극 거리 WBC는 WAB>WBC로 되어 있다.The heater of the fourth embodiment has an opposing portion A 'as an opposed portion between the third wiring L 3 and the fourth wiring L 4 and the fourth wiring L 4 and the fifth wiring L 5) has a having a) 'opposite points (C as opposed portions of) a has, the fifth wire (L 5) and a sixth wiring (L 6), the opposing portions (B as opposed places (the third wire (L 3 can be replaced with the first wiring, the fourth wiring L 4 with the second wiring, the fifth wiring L 5 with the third wiring, and the sixth wiring L 6 with the fourth wiring. Then, the sweep trajectory T B ' is located between the sweep trajectory T A ' and the sweep trajectory T C ' and is biased toward the sweep trajectory T C ' . That is, the sweep trajectory T of the gap distance A and gap distance of the sweep trajectory T W B and AB, sweep trajectory T B and T C W BC sweep trajectory is a W AB> W BC.
이와 같이, 본 실시 형태 4의 히터에서는, 대향 개소(A)∼(C)의 세트 2조를, 1개의 히터 내에 구비하고, 이들 중 어느 대향 개소(A)∼(C)에 있어서도, 소인 궤적 TB가, 소인 궤적 TA 또는 소인 궤적 TC 중 어느 쪽인가의 측으로 치우쳐 위치됨으로써, 대향 개소가 폭 방향 D2에서 겹치지 않도록 분산되어, 소인 방향 D1로 규칙적으로 나타나는 것을 방지하면서, 전체로서 밀한 저항 발열 배선 패턴으로 되어 있다. 그리고, 이것에 의해, 소인 방향(D1)으로 횡배선부(X)가 3단밖에 없는 협폭인 히터라도, 정상적으로 자기 온도 균형을 기능시켜, 균열성이 우수한 히터로 할 수 있다.As described above, in the heater according to the fourth embodiment, two sets of opposing portions (A) to (C) are provided in one heater, and at any of the opposing portions (A) to T B is shifted toward one of the sweep trajectory T A or the sweep trajectory T C so that the opposing portions are dispersed so as not to overlap in the width direction D 2 and prevented from appearing regularly in the sweep direction D 1 , And has a tight resistance heat generating wiring pattern. As a result, even a heater having a narrow width in which only three transverse wiring sections X are provided in the sweeping direction D 1 can function as a self-temperature balancer normally and can provide a heater excellent in cracking properties.
<실시 형태 5>≪
실시 형태 5의 히터를 모식적으로 도시하는 평면도를 도 12에 도시하였다.Fig. 12 is a plan view schematically showing the heater of
실시 형태 5의 히터는, 기체(11)와, 이 기체(11) 상에 각각 따로 급전을 받는 5개의 저항 발열 배선(12)을 구비한다. 이들 모든 저항 발열 배선(12)은 소인 방향 D1로, 제1 열, 제2 열, 제3 열, 제4 열의 순으로 나란히 배치된 4열의 횡배선부(X)와, 횡배선부간을 접속하는 종배선부(Y)를 갖고 있다. 모든 횡배선부(X)는 모두, 종배선부(Y)보다도 길게 형성되고, 또한 모든 종배선(Y)은 소인 방향 D1에 대하여 경사져 패터닝되어 있다. 그리고, 횡배선부(X)는 종배선부(Y)에 의해 전기적으로 접속되어 꾸불꾸불한 형상으로 형성되어 있다.The heater of
또한, 이들 5개의 저항 발열 배선(12)은 소인 방향 D1과는 수직인 폭 방향 D2로, 도 12의 좌측으로부터, 제1 배선(L1), 제2 배선(L2), 제3 배선(L3), 제4 배선(L4), 제5 배선(L5)의 순으로 나란히 배치되고, 이 중, 제2 배선(L2), 제3 배선(L3) 및 제4 배선(L4)은 패턴(P1)과 패턴(P2)의 양쪽의 패턴을 1개의 저항 발열 배선(12) 내에 구비하고 있다.The five resistance
즉, 제2 배선(L2)은 제2 열 횡배선부(X22)가 제1 열 횡배선부(X21) 및 제3 열 횡배선부(X23)보다 짧게 형성된 패턴(P1)을 갖고, 또한 제3 열 횡배선부(X23)가 제2 열 횡배선부(X22) 및 제4 열 횡배선부(X24)보다 길게 형성된 패턴(P2)을 갖고 있다. 마찬가지로, 제3 배선(L3)은 제2 열 횡배선부(X32)가 제1 열 횡배선부(X31) 및 제3 열 횡배선부(X33)보다 길게 형성된 패턴(P2)을 갖고, 또한 제3 열 횡배선부(X33)가 제2 열 횡배선부(X32) 및 제4 열 횡배선부(X34)보다 짧게 형성된 패턴(P1)을 갖고 있다. 또한, 제4 배선(L4)은 제2 배선(L2)과 동일 형상으로 되어 있다.That is, the second line (L 2) of the second heat lateral wire unit (X 22) of the first heat lateral wire unit (X 21) and the third heat short patterned than the transverse wire unit (X 23) (P 1) And the third thermal transverse wiring portion X 23 has a pattern P 2 formed longer than the second thermal transverse wiring portion X 22 and the fourth thermal transverse wiring portion X 24 . Similarly, the third wire (L 3) is a second row transverse wire unit (X 32) of the first heat lateral wire unit (X 31) and the third column is formed longer than the transverse wire unit (X 33) the pattern (P 2) And the third thermal transverse wiring portion X 33 has a pattern P 1 formed shorter than the second thermal transverse wiring portion X 32 and the fourth thermal transverse wiring portion X 34 . The fourth wiring (L 4 ) has the same shape as the second wiring (L 2 ).
즉, 실시 형태 5의 히터(1)는 패턴(P1) 및 패턴(P2)의 양쪽을 1개의 저항 발열 배선이 동시에 갖고, 또한 이들 저항 발열 배선이 인접하여 배치되어 있음으로써, 패턴(P1)과 패턴(P2)이 인접하여 배치되어 있다.That is, in the
또한, 실시 형태 5의 히터는, 실시 형태 1∼3의 히터와 마찬가지로, 제1 배선(L1)과 제2 배선(L2)의 대향 개소로서 대향 개소(A)를 갖고, 제2 배선(L2)과 제3 배선(L3)의 대향 개소로서 대향 개소(B)를 갖고, 제3 배선(L3)과 제4 배선(L4)의 대향 개소로서 대향 개소(C)를 갖고 있다. 그리고, 소인 궤적 TB는, 소인 궤적 TA와 소인 궤적 TC 사이에 위치됨과 함께, 소인 궤적 TA의 측으로 치우쳐 위치되어 있다. 즉, 소인 궤적 TA 및 소인 궤적 TB의 간극 거리 WAB와, 소인 궤적 TB 및 소인 궤적 TC의 간극 거리 WBC는 WAB<WBC로 되어 있다.The heater according to the fifth embodiment has the opposite portion A as an opposed portion between the first wiring L 1 and the second wiring L 2 and has the second wiring L 2) and having a facing portion (B) as the opposite portions of the third wire (L 3), the has a facing portion (C) as the opposite portions of the third wire (L 3) and the fourth wires (L 4) . The sweep trajectory T B is located between the sweep trajectory T A and the sweep trajectory T C and is biased toward the sweep trajectory T A. That is, the sweep trajectory T of the gap distance A and gap distance of the sweep trajectory T W B and AB, sweep trajectory T B and T C W BC sweep trajectory is a W AB <W BC.
또한, 실시 형태 5의 히터는, 도 13에 도시한 바와 같이, 5개의 저항 발열 배선(12)을 폭 방향 D2로, 도 13의 좌측으로부터, 제S 배선(LS), 제T 배선(LT){당해 제T 배선은, 대향 개소(A)∼(C)에 대해서는 제1 배선(L1)이기도 함}, 제2 배선(L2), 제3 배선(L3), 제4 배선(L4)의 순으로 나란히 배치되어 있는 것으로서 대체하면, 제1 배선(L1)과 제2 배선(L2)의 대향 개소로서 대향 개소(A)를 갖고, 제2 배선(L2)과 제3 배선(L3)의 대향 개소로서 대향 개소(B)를 갖고, 제3 배선(L3)과 제4 배선(L4)의 대향 개소로서 대향 개소(C)를 갖고 있다. 그리고, 소인 궤적 TB는, 소인 궤적 TA와 소인 궤적 TC 사이에 위치됨과 함께, 소인 궤적 TA의 측으로 치우쳐 위치되어 있다. 즉, 소인 궤적 TA 및 소인 궤적 TB의 간극 거리 WAB와, 소인 궤적 TB 및 소인 궤적 TC의 간극 거리 WBC는 WAB<WBC로 되어 있다.13, the five
이와 같이, 본 실시 형태 5의 히터는, 예를 들어 도 12에 도시한 대향 개소(A)∼(C)의 세트와, 도 13에 도시한 대향 개소(A)∼(C)의 세트의 2조를, 1개의 히터 내에 구비하고, 이들 중 어느 대향 개소(A)∼(C)에 있어서도, 소인 궤적 TB가, 소인 궤적 TA의 측으로 치우쳐 위치됨으로써, 대향 개소가 폭 방향 D2에서 겹치지 않도록 분산되어, 소인 방향 D1로 규칙적으로 나타나는 것을 방지하면서, 전체로서 밀한 저항 발열 배선 패턴으로 되어 있다.As described above, the heater according to the fifth embodiment is provided with the set of the opposed portions (A) to (C) shown in FIG. 12 and the set of the opposed portions (A) to (C) The sweep trajectory T B is biased to the sweep trajectory T A side so that the opposed points are overlapped in the width direction D 2 , So that it is prevented from appearing regularly in the sweeping direction D 1 , and is formed as a resistive heat generating wiring pattern as a whole.
또한, 실시 형태 5의 히터는, 도 12에 도시한 바와 같이, 제1 배선(L1)의 제1 열 횡배선부(X11) 및 제2 열 횡배선부(X12)를 연결하는 종배선부(Y112)와, 제1 배선(L1)에 인접한 제2 배선(L2)의 제1 열 횡배선부(X21) 및 제2 열 횡배선부(X22)를 연결하는 종배선부(Y212)가 간극을 두고 대향되어 대향 개소(D)를 형성하고 있다. 또한, 제1 배선(L1)의 제3 열 횡배선부(X13) 및 제4 열 횡배선부(X14)를 연결하는 종배선부(Y134)와, 제2 배선(L2)의 제3 열 횡배선부(X23) 및 제4 열 횡배선부(X24)를 연결하는 종배선부(Y234)가 간극을 두고 대향되어 대향 개소(E)를 형성하고 있다. 그리고, 대향 개소(D)의 간극의 소인 궤적(TD)과, 대향 개소(E)의 간극의 소인 궤적(TE)은 겹치지 않도록 폭 방향으로 이격되어 있다. 즉, 소인 궤적(TD)과 소인 궤적(TE) 사이에는, 간극 거리 WDE가 형성되어, WDE>0㎛로 되어 있다.Further, in
마찬가지로, 실시 형태 5의 히터는, 도 12에 도시한 바와 같이, 제3 배선(L3)의 제1 열 횡배선부(X31) 및 제2 열 횡배선부(X32)를 연결하는 종배선부(Y312)와, 제3 배선(L3)에 인접한 제4 배선(L4)의 제1 열 횡배선부(X41) 및 제2 열 횡배선부(X42)를 연결하는 종배선부(Y412)가 간극을 두고 대향되어 대향 개소(D')를 형성하고 있다. 또한, 제3 배선(L3)의 제3 열 횡배선부(X33) 및 제4 열 횡배선부(X34)를 연결하는 종배선부(Y334)와, 제4 배선(L4)의 제3 열 횡배선부(X43) 및 제4 열 횡배선부(X44)를 연결하는 종배선부(Y434)가 간극을 두고 대향되어 대향 개소(E')를 형성하고 있다. 그리고, 대향 개소(D')의 간극의 소인 궤적(TD')과, 대향 개소(E')의 간극의 소인 궤적(TE ')은 겹치지 않도록 폭 방향으로 이격되어 있다. 즉, 소인 궤적(TD')과 소인 궤적(TE ') 사이에는, 간극 거리 WD'E '가 형성되어, WD'E '>0㎛로 되어 있다.Likewise, the heater of
이와 같이, 본 실시 형태 5의 히터는, 대향 개소(D) 및 (E)의 세트 2조를, 1개의 히터 내에 구비하고, 이들 대향 개소(D) 및 (E)에 있어서, 소인 궤적 TD와 소인 궤적 TE가 폭 방향 D2에서 겹치지 않도록 분산되면서, 전체로서 밀한 저항 발열 배선 패턴으로 되어 있다.As described above, in the heater according to the fifth embodiment, two sets of opposing portions D and E are provided in one heater. In these opposing portions D and E, the sweep trajectory T D And the sweep trajectory T E are dispersed so as not to overlap each other in the width direction D 2 , thereby forming a resistance heat generating wiring pattern as a whole.
즉, 실시 형태 5의 히터는, 각각 따로 급전을 받는 5개의 저항 발열 배선(12)을 구비하면서, 각 저항 발열 배선끼리는, 소인 방향 D1에 있어서의 가열 영역이 공유되고, 게다가, 대향 개소가 폭 방향 D2에서 겹치지 않도록 분산되어, 소인 방향 D1로 규칙적으로 나타나는 것을 방지하면서, 전체로서 밀한 저항 발열 배선 패턴으로 할 수 있다. 이에 의해, 소인 방향(D1)으로 횡배선부(X)가 4단밖에 없는 협폭인 히터라도, 정상적으로 자기 온도 균형을 기능시켜, 균열성이 우수한 히터로 할 수 있다.That is, the heater of
또한, 실시 형태 5의 히터의 도 12에 있어서의 대향 개소(D)(종배선 Y112와 종배선 Y212에 의해 형성) 및 (E)(종배선 Y134와 종배선 Y234에 의해 형성)의 세트는, 실시 형태 5의 히터의 도 13에 있어서의 대향 개소(D)(종배선 YS12와 종배선 YS12에 의해 형성) 및 (E)(종배선 YS12와 종배선 YS12에 의해 형성)의 세트에 대응하고 있다. 즉, 도 13의 제S 배선(LS)이 도 12의 제1 배선(L1)에 대응하고, 도 13의 제T 배선(LT)이 도 12의 제2 배선(L2)에 대응하고 있다.12 (formed by the longitudinal wiring Y 112 and the longitudinal wiring Y 212 ) and E (formed by the longitudinal wiring Y 134 and the longitudinal wiring Y 234 ) shown in Fig. 12 of the heater in
<실시 형태 6>≪ Embodiment 6 >
실시 형태 6의 히터를 모식적으로 도시하는 평면도를 도 14에 도시하였다.Fig. 14 is a plan view schematically showing the heater of the sixth embodiment.
실시 형태 6의 히터는, 기체(11)와, 이 기체(11) 상에 각각 따로 급전을 받는 6개의 저항 발열 배선(12)을 구비한다. 이들 모든 저항 발열 배선(12)은 소인 방향 D1로, 제1 열, 제2 열, 제3 열, 제4 열의 순으로 나란히 배치된 4열의 횡배선부(X)와, 횡배선부간을 접속하는 종배선부(Y)를 갖고 있다. 모든 횡배선부(X)는 모두, 종배선부(Y)보다도 길게 형성되고, 또한 모든 종배선(Y)은 소인 방향 D1에 대하여 경사져 패터닝되어 있다. 그리고, 횡배선부(X)는 종배선부(Y)에 의해 전기적으로 접속되어 꾸불꾸불한 형상으로 형성되어 있다.The heater of Embodiment 6 includes a
또한, 이들 6개의 저항 발열 배선(12)은, 소인 방향 D1과는 수직인 폭 방향 D2로, 도 14의 좌측으로부터, 제S 배선(LS), 제T 배선(LT), 제1 배선(L1), 제2 배선(L2), 제3 배선(L3), 제4 배선(L4)의 순으로 나란히 배치되고, 이 중, 제T 배선(LT), 제1 배선(L1), 제2 배선(L2) 및 제3 배선(L3)은 패턴(P1)과 패턴(P2)의 양쪽의 패턴을 1개의 저항 발열 배선(12) 내에 구비하고 있다(실시 형태 5에 있어서 설명한 것과 마찬가지임).The six resistance
즉, 실시 형태 6의 히터(1)는 패턴(P1) 및 패턴(P2)의 양쪽을 1개의 저항 발열 배선이 동시에 갖고, 또한 이들 저항 발열 배선(제T 배선 LT, 제1 배선 L1, 제2 배선 L2 및 제3 배선 L3)이 인접하여 배치되어 있음으로써, 패턴(P1)과 패턴(P2)이 인접하여 배치되어 있다.That is, the
또한, 실시 형태 6의 히터는, 실시 형태 1∼3의 히터와 마찬가지로, 제1 배선(L1)과 제2 배선(L2)의 대향 개소로서 대향 개소(A)를 갖고, 제2 배선(L2)과 제3 배선(L3)의 대향 개소로서 대향 개소(B)를 갖고, 제3 배선(L3)과 제4 배선(L4)의 대향 개소로서 대향 개소(C)를 갖고 있다. 그리고, 소인 궤적 TB는, 소인 궤적 TA와 소인 궤적 TC 사이에 위치됨과 함께, 소인 궤적 TA의 측으로 치우쳐 위치되어 있다. 즉, 소인 궤적 TA 및 소인 궤적 TB의 간극 거리 WAB와, 소인 궤적 TB 및 소인 궤적 TC의 간극 거리 WBC는 WAB<WBC로 되어 있다.The heater according to the sixth embodiment has the opposite portion A as an opposed portion between the first wiring L 1 and the second wiring L 2 and has the second wiring L2 as an opposing portion of the third wiring L3 and an opposing portion C as an opposing portion between the third wiring L3 and the fourth wiring L4. The sweep trajectory T B is located between the sweep trajectory T A and the sweep trajectory T C and is biased toward the sweep trajectory T A. That is, the sweep trajectory T of the gap distance A and gap distance of the sweep trajectory T W B and AB, sweep trajectory T B and T C W BC sweep trajectory is a W AB <W BC.
또한, 번잡하기 때문에 도시를 생략하였지만, 제S 배선(LS)과 제T 배선(LT)의 대향 개소로서 대향 개소(A)를 갖고, 제T 배선(LT)과 제1 배선(L1)의 대향 개소로서 대향 개소(B)를 갖고, 제1 배선(L1)과 제2 배선(L2)의 대향 개소로서 대향 개소(C)를 갖고 있다. 그리고, 소인 궤적 TB는, 소인 궤적 TA와 소인 궤적 TC 사이에 위치됨과 함께, 소인 궤적 TA의 측으로 치우쳐 위치되어 있다(WAB<WBC). 게다가, 제T 배선(LT)과 제1 배선(L1)의 대향 개소로서 대향 개소(A)를 갖고, 제1 배선(L1)과 제2 배선(L2)의 대향 개소로서 대향 개소(B)를 갖고, 제2 배선(L2)과 제3 배선(L3)의 대향 개소로서 대향 개소(C)를 갖고 있다. 그리고, 소인 궤적 TB는, 소인 궤적 TA와 소인 궤적 TC 사이에 위치됨과 함께, 소인 궤적 TA의 측으로 치우쳐 위치되어 있다(WAB<WBC).Further, although not shown, because troublesome, the S line (L S) and the T line as opposed portions of the (L T) has an opposing portion (A), the T line (L T) and a first wiring (L 1 as an opposed portion and has an opposed portion C as an opposed portion between the first wiring L 1 and the second wiring L 2 . The sweep trajectory T B is located between the sweep trajectory T A and the sweep trajectory T C, and is biased toward the sweep trajectory T A (W AB <W BC ). In addition, the T counter positions as opposite portions of the wire (L T) and a first wiring (L 1) the counter has a portion (A), a first wiring (L 1) and the second wire (L 2) as opposed to portions of the (B), and an opposing portion (C) as an opposed portion between the second wiring (L 2 ) and the third wiring (L 3 ). The sweep trajectory T B is located between the sweep trajectory T A and the sweep trajectory T C, and is biased toward the sweep trajectory T A (W AB <W BC ).
이와 같이, 본 실시 형태 6의 히터는, 대향 개소(A)∼(C)의 세트 3조를, 1개의 히터 내에 구비하고, 이들 중 어느 대향 개소(A)∼(C)에 있어서도, 소인 궤적 TB가, 소인 궤적 TA의 측으로 치우쳐 위치됨으로써, 대향 개소가 폭 방향 D2에서 겹치지 않도록 분산되어, 소인 방향 D1로 규칙적으로 나타나는 것을 방지하면서, 전체로서 밀한 저항 발열 배선 패턴으로 되어 있다.As described above, in the heater of the sixth embodiment, three sets of opposing portions (A) to (C) are provided in one heater, and at any of the opposing portions (A) to T B are shifted toward the sweep trajectory T A side so that the opposing portions are dispersed so as not to overlap in the width direction D 2 and are prevented from appearing regularly in the sweeping direction D 1 while being formed as a resistance heating wiring pattern as a whole.
또한, 실시 형태 6의 히터는, 도 14에 도시한 바와 같이, 제S 배선(LS)의 제1 열 횡배선부(XS1) 및 제2 열 횡배선부(XS2)를 연결하는 종배선부(YS12)와, 제S 배선(LS)에 인접한 제T 배선(LT)의 제1 열 횡배선부(XT1) 및 제2 열 횡배선부(XT2)를 연결하는 종배선부(YT12)가 간극을 두고 대향되어 대향 개소(D)를 형성하고 있다. 또한, 제S 배선(LS)의 제3 열 횡배선부(XS3) 및 제4 열 횡배선부(XS4)를 연결하는 종배선부(YS34)와, 제T 배선(LT)의 제3 열 횡배선부(XT3) 및 제4 열 횡배선부(XT4)를 연결하는 종배선부(YT34)가 간극을 두고 대향되어 대향 개소(E)를 형성하고 있다. 그리고, 대향 개소(D)의 간극의 소인 궤적(TD)과, 대향 개소(E)의 간극의 소인 궤적(TE)은 겹치지 않도록 폭 방향으로 이격되어 있다. 즉, 소인 궤적(TD)과 소인 궤적(TE) 사이에는, 간극 거리 WDE가 형성되어, WDE>0㎛로 되어 있다.14, the heater according to the sixth embodiment is formed by connecting the first row interconnect X S1 and the second interconnect X S2 S2 of the S th line L s , grounding line (Y S12), and the S line first row transverse wire unit (X T1) and the second heat jongbae line portion connecting the lateral wire unit (X T2) of (L S) the T line (L T) adjacent to the (Y T12 ) are opposed to each other with a gap to form the opposed portion (D). Further, in the S line third row transverse wire unit (X S3) and the fourth column jongbae line portion (Y S34), and the T line (L T) for connecting the transverse wire unit (X S4) of the (L S) The longitudinal end portion Y T34 connecting the third row lateral wiring portion X T3 and the fourth column lateral wiring portion X T4 is opposed to each other with a gap to form the opposing portion E. The sweep trajectory T D of the gap of the opposed portion D and the sweep trajectory T E of the gap of the opposed portion E are spaced apart in the width direction so as not to overlap with each other. That is, a gap distance W DE is formed between the sweep trajectory (T D ) and the sweep trajectory (T E ), and W DE > 0 μm.
또한, 번잡하기 때문에 도시를 생략하였지만, 제1 배선(L1)의 제1 열 횡배선부(X11) 및 제2 열 횡배선부(X12)를 연결하는 종배선부(Y112)와, 제1 배선(L1)에 인접한 제2 배선(L2)의 제1 열 횡배선부(X21) 및 제2 열 횡배선부(X22)를 연결하는 종배선부(Y212)가 간극을 두고 대향되어 대향 개소(D)를 형성하고 있다. 또한, 제1 배선(L1)의 제3 열 횡배선부(X13) 및 제4 열 횡배선부(X14)를 연결하는 종배선부(Y134)와, 제2 배선(L2)의 제3 열 횡배선부(X23) 및 제4 열 횡배선부(X24)를 연결하는 종배선부(Y234)가 간극을 두고 대향되어 대향 개소(E)를 형성하고 있다. 그리고, 대향 개소(D)의 간극의 소인 궤적(TD)과, 대향 개소(E)의 간극의 소인 궤적(TE)은 겹치지 않도록 폭 방향으로 이격되어 있다. 즉, 소인 궤적(TD)과 소인 궤적(TE) 사이에는, 간극 거리 WDE가 형성되어, WDE>0㎛로 되어 있다.Although not shown in the figure because it is troublesome, the solid line portion Y 112 connecting the first row transverse wiring portion X 11 and the second thermal transverse wiring portion X 12 of the first wiring L 1 , claim for the first row transverse wire unit (X 21) and the second heat jongbae line portion (Y 212) connecting the transverse wire unit (X 22) the gap of the second wiring (L 2) adjacent to the first wiring (L 1) So that the opposed portion D is formed. Further, the first wiring third row transverse wire unit (X 13) and the fourth heat and jongbae line portion (Y 134) connecting the transverse wire unit (X 14), the second wires (L 2) of the (L 1) The longitudinal end portion Y 234 connecting the third row lateral wiring portion X 23 and the fourth column lateral wiring portion X 24 is opposed to each other with a gap to form the opposing portion E. The sweep trajectory T D of the gap of the opposed portion D and the sweep trajectory T E of the gap of the opposed portion E are spaced apart in the width direction so as not to overlap with each other. That is, a gap distance W DE is formed between the sweep trajectory (T D ) and the sweep trajectory (T E ), and W DE > 0 μm.
마찬가지로, 제3 배선(L3)의 제1 열 횡배선부(X31) 및 제2 열 횡배선부(X32)를 연결하는 종배선부(Y312)와, 제3 배선(L3)에 인접한 제4 배선(L4)의 제1 열 횡배선부(X41) 및 제2 열 횡배선부(X42)를 연결하는 종배선부(Y412)가 간극을 두고 대향되어 대향 개소(D)를 형성하고 있다. 또한, 제3 배선(L3)의 제3 열 횡배선부(X33) 및 제4 열 횡배선부(X34)를 연결하는 종배선부(Y334)와, 제4 배선(L4)의 제3 열 횡배선부(X43) 및 제4 열 횡배선부(X44)를 연결하는 종배선부(Y434)가 간극을 두고 대향되어 대향 개소(E)를 형성하고 있다. 그리고, 대향 개소(D)의 간극의 소인 궤적(TD)과, 대향 개소(E)의 간극의 소인 궤적(TE)은 겹치지 않도록 폭 방향으로 이격되어 있다. 즉, 소인 궤적(TD)과 소인 궤적(TE) 사이에는, 간극 거리 WDE가 형성되어, WDE>0㎛로 되어 있다.Similarly, the second to the first open transverse wire unit (X 31) and the second heat jongbae line portion (Y 312), and a third wiring (L 3) for connecting the cross wire unit (X 32) of the third wire (L 3) adjacent the fourth first row transverse wire unit (X 41) and the second column is the opposite with the the jongbae line portion (Y 412) connecting the transverse wire unit (X 42) the gap facing portion (D) of the wire (L 4) . The end portion Y 334 of the third wiring L 3 connecting the third and fourth lateral wiring portions X 33 and X 34 and the end portion Y 334 of the fourth wiring L 4 The longitudinal end portions Y 434 connecting the third and fourth vertical wiring portions X 43 and X 44 are opposed to each other with a gap to form the opposing portion E. The sweep trajectory T D of the gap of the opposed portion D and the sweep trajectory T E of the gap of the opposed portion E are spaced apart in the width direction so as not to overlap with each other. That is, a gap distance W DE is formed between the sweep trajectory (T D ) and the sweep trajectory (T E ), and W DE > 0 μm.
이와 같이, 본 실시 형태 6의 히터는, 대향 개소(D) 및 (E)의 세트 3조를, 1개의 히터 내에 구비하고, 이들 대향 개소(D) 및 (E)에 있어서, 소인 궤적 TD와 소인 궤적 TE가 폭 방향 D2에서 겹치지 않도록 분산되면서, 전체로서 밀한 저항 발열 배선 패턴으로 되어 있다.As described above, the heater according to the sixth embodiment is provided with three sets of the opposing portions D and E in one heater. In these heaters D and E, the sweep trajectory T D And the sweep trajectory T E are dispersed so as not to overlap each other in the width direction D 2 , thereby forming a resistance heat generating wiring pattern as a whole.
즉, 실시 형태 6의 히터는, 각각 따로 급전을 받는 6개의 저항 발열 배선(12)을 구비하면서, 각 저항 발열 배선끼리는, 소인 방향 D1에 있어서의 가열 영역이 공유되고, 게다가, 대향 개소가 폭 방향 D2에서 겹치지 않도록 분산되어, 소인 방향 D1로 규칙적으로 나타나는 것을 방지하면서, 전체로서 밀한 저항 발열 배선 패턴으로 할 수 있다. 이에 의해, 소인 방향(D1)으로 횡배선부(X)가 4단밖에 없는 협폭인 히터라도, 정상적으로 자기 온도 균형을 기능시켜, 균열성이 우수한 히터로 할 수 있다.In other words, the heater of the sixth embodiment has six resistance
<실시 형태 7>≪ Embodiment 7 >
실시 형태 7의 히터를 모식적으로 도시하는 평면도를 도 15에 도시하였다.Fig. 15 is a plan view schematically showing the heater of Embodiment 7. Fig.
실시 형태 7의 히터는, 실시 형태 1의 히터에 있어서, 저항 발열 배선(12)이 급전 배선부(R)를 구비하는 형태를 예시하는 것이다. 도 15에 도시한 바와 같이, 급전 배선부(R)는 소인 방향 D1과 평행하게 패터닝하여, 기체(11)의 단연까지 도출할 수 있다. 이와 같은 급전 배선부(R)를 갖는 경우, 급전 배선부(R)는, 상술한 바와 같이 소인 방향 D1에 대하여 평행하게 패터닝해도 되고, 종배선부(Y)와 마찬가지로 경사져도 된다.The heater according to the seventh embodiment is a configuration in which the
[2] 정착 장치[2] fixing devices
본 히터를 구비하는 정착 장치는, 가열 대상이나 정착 수단 등에 의해, 적절히 선택된 구성으로 할 수 있다. 예를 들어, 압착을 수반하는 정착 수단을 구비하여, 종이 등의 기록용 매체에 토너 등을 정착시키는 경우나, 복수의 부재를 접합하는 경우에는, 히터를 구비하는 가열부와, 가압부를 구비하는 정착 장치로 할 수 있다. 물론, 압착을 수반하지 않는 정착 수단으로 할 수도 있다. 본 발명에 있어서는, 종이, 필름 등의 기록용 매체의 표면에 형성된 토너를 포함하는 미정착 화상을 기록용 매체에 정착시키는 정착 장치(5)인 것이 바람직하다.The fixing device having the heater can be appropriately selected by a heating object, a fixing means, or the like. For example, in a case where toner or the like is fixed to a recording medium such as paper by providing a fixing means accompanied by pressing, or when a plurality of members are bonded, a heating portion having a heater and a pressing portion A fixing device can be used. Of course, it may be a fixing means not involving pressing. In the present invention, it is preferable that the fixing
도 16은 전자 사진 방식의 화상 형성 장치에 배설되는 정착 장치(5)의 주요부를 도시하고 있다. 정착 장치(5)는 회전 가능한 정착용 롤(51)과, 회전 가능한 가압용 롤(54)을 구비하고, 히터(1)는 정착용 롤(51)의 내부에 배설되어 있다. 히터(1)는, 바람직하게는 정착용 롤(51)의 내표면에 근접하도록 배설된다.16 shows the main part of the fixing
히터(1)는, 예를 들어 도 18에 도시된 정착 수단(5)과 같이, 히터(1)가 발한 열을 전도 가능한 재료를 포함하는 히터 홀더(53)의 내부에 고정되어, 히터(1)의 발열을, 정착용 롤(51)의 내측으로부터 외표면에 전달하는 구조로 할 수도 있다.The
도 17도 또한, 전자 사진 방식의 화상 형성 장치에 배설되는 정착 장치(5)의 주요부를 도시하고 있다. 정착 장치(5)는 회전 가능한 정착용 롤(51)과, 회전 가능한 가압용 롤(54)을 구비하고, 정착용 롤(51)에 열을 전달하는 히터(1) 및 가압용 롤(54)과 함께 기록용 매체를 압접하는 고정 패드(52)가 정착용 롤(51)의 내부에 배설되어 있다. 히터(1)는 정착용 롤(51)의 원통면을 따르도록 배설되어 있다.Fig. 17 also shows the main part of the fixing
도 16 또는 도 17에 도시된 정착 장치(5)에 있어서, 도시하지 않은 전원 장치로부터 전압을 가함으로써 히터(1)를 발열시키고, 그 열이 정착용 롤(51)에 전달된다. 그리고, 표면에 미정착의 토너 화상을 갖는 기록용 매체가, 정착용 롤(51)과 가압용 롤(54) 사이에 공급되면, 정착용 롤(51) 및 가압용 롤(54)의 압접부에 있어서, 토너가 용융하여 정착 화상이 형성된다. 정착용 롤(51) 및 가압용 롤(54)의 압접부를 가지므로, 동반하여 회전한다. 상기와 같이, 히터(1)는 작은 기록용 매체를 사용하였을 때에 발생하기 쉬운 국소적인 온도 상승이 억제되므로, 정착용 롤(51)에 있어서의 온도 불균일이 발생하기 어려워, 정착을 균일하게 행할 수 있다.In the
본 히터(1)를 구비하는 정착 장치의 다른 형태로서는, 상형 및 하형을 구비하는 금형으로서, 상형 및 하형 중 적어도 한쪽의 내부에 히터를 배설한 형태로 할 수 있다.As another mode of the fixing device including the
본 히터(1)를 구비하는 정착 장치는, 전자 사진 방식의 인쇄기, 복사기 등의 화상 형성 장치를 비롯하여, 가정용의 전기 제품, 업무용, 실험용의 정밀 기기 등에 장착하여, 가열, 보온 등의 열원으로서 적합하다.The fixing device provided with the
[3] 화상 형성 장치[3] Image forming apparatus
본 히터를 구비하는 화상 형성 장치는, 가열 대상이나 가열 목적 등에 의해, 적절히 선택된 구성으로 할 수 있다. 본 발명에 있어서는, 도 18에 도시된 바와 같이, 종이, 필름 등의 기록용 매체의 표면에 미정착 화상을 형성하는 작상(作像) 수단과, 미정착 화상을 기록용 매체에 정착시키는 정착 수단(5)을 구비하고, 정착 수단(5)이 본 히터(1)를 구비하는 화상 형성 장치(4)인 것이 바람직하다. 화상 형성 장치(4)는 상기 수단 외에, 기록용 매체 반송 수단이나, 각 수단을 제어하기 위한 제어 수단을 구비하여 구성할 수 있다.The image forming apparatus having the heater can be appropriately selected depending on the object to be heated or the object to be heated. In the present invention, as shown in Fig. 18, there are provided a forming means for forming an unfixed image on the surface of a recording medium such as paper or film, a fixing means for fixing the unfixed image to the recording medium (5), and the fixing means (5) is an image forming apparatus (4) having the heater (1). The
도 18은 전자 사진 방식의 화상 형성 장치(4)의 주요부를 도시하는 개략도이다. 작상 수단으로서는, 전사 드럼을 구비하는 방식 및 전사 드럼을 구비하지 않는 방식 중 어느 것이어도 되지만, 도 18은 전사 드럼을 구비하는 형태이다.Fig. 18 is a schematic view showing the main part of the electrophotographic
작상 수단에서는, 회전하면서, 대전 장치(43)에 의해 소정의 전위로 대전 처리된 감광 드럼(44)의 대전 처리면에, 레이저 스캐너(41)로부터 출력되는 레이저가 조사되고, 현상기(45)로부터 공급되는 토너에 의해 정전 잠상이 형성된다. 계속해서, 전위차를 이용하여, 감광 드럼(44)과 연동하는 전사 드럼(46)의 표면에, 토너 화상이 전사된다. 그 후, 전사 드럼(46) 및 전사용 롤(47) 사이에 공급되는 기록용 매체의 표면에, 토너 화상이 전사되어, 미정착 화상을 갖는 기록용 매체가 얻어진다. 토너는, 결착 수지와 착색제와 첨가제를 포함하는 입자이며, 결착 수지의 용융 온도는, 통상 90℃∼250℃이다. 또한, 감광 드럼(44) 및 전사 드럼(46)의 표면에는, 불용의 토너 등을 제거하기 위한 청소 장치를 구비할 수 있다.The laser output from the
정착 수단(5)은 상기 정착 장치(5)와 마찬가지의 구성으로 할 수 있고, 가압용 롤(54)과, 통지 방향 통전형의 히터(1)를 보유 지지한 히터 홀더(53)를 내부에 구비하고, 가압용 롤(54)과 연동하는 정착용 롤(51)을 구비한다. 작상 수단으로부터의 미정착 화상을 갖는 기록용 매체는, 정착용 롤(51) 및 가압용 롤(54) 사이에 공급된다. 정착용 롤(51)의 열이, 기록용 매체의 토너 화상을 용융하고, 또한, 용융된 토너가, 정착용 롤(51)과 가압용 롤(54)의 압접부에서 가압되어, 토너 화상이 기록용 매체에 정착된다. 도 18의 정착 수단(5)에 있어서는, 정착용 롤(51) 대신에, 히터(1)를 근접 배치한 정착용 벨트를 구비하는 형태여도 된다.The fixing means 5 may have the same configuration as that of the fixing
일반적으로, 정착용 롤(51)의 온도가 불균일해져, 토너에 공급되는 열량이 너무 작은 경우에는 토너가 기록용 매체로부터 박리되고, 한편, 열량이 너무 큰 경우에는 토너가 정착용 롤(51)에 부착되고, 정착용 롤(51)이 일주하여 기록용 매체에 재부착되어 버리는 경우가 있다. 본 발명의 히터를 구비하는 정착 수단(5)에 의하면, 소정의 온도로 신속하게 조정되므로, 문제를 억제할 수 있다.In general, when the temperature of the fixing
본 발명의 화상 형성 장치는, 사용 시에 비통지 영역의 과승온이 억제되어, 전자 사진 방식의 인쇄기, 복사기 등으로서 적합하다.The image forming apparatus of the present invention is suitable for an electrophotographic printing machine, a copying machine, or the like, since overheating of the non notification area is suppressed in use.
[4] 가열 장치[4] heating devices
본 히터를 구비하는 가열 장치는, 가열 대상의 크기나 형상 등에 의해, 적절히 선택된 구성으로 할 수 있다. 본 발명에 있어서는, 예를 들어 하우징부와, 피 열처리물의 출납 등을 위해 배치된 밀폐 가능한 창부와, 하우징부의 내부에 배치된 이동 가능한 히터부를 구비하여 구성할 수 있다. 필요에 따라서, 하우징부의 내부에, 피열처리물을 배치하는 피열처리물 설치부, 피열처리물의 가열에 의해 기체가 배출된 경우에, 이 기체를 배출하는 배기부, 하우징부의 내부의 압력을 조정하는, 진공 펌프 등의 압력 조정부 등을 구비할 수 있다. 또한, 가열은, 피열처리물 및 히터부를 고정한 상태에서 행해도 되고, 어느 한쪽을 이동시키면서 행해도 된다.The heating apparatus having the heater can be appropriately selected depending on the size and shape of the object to be heated. In the present invention, for example, it can be constituted by including a housing part, a hermetically sealable window part arranged for inserting and receiving the heat treated article, and a movable heater part arranged inside the housing part. An exhaust part for exhausting the gas when the gas is exhausted by the heating of the object to be heated, a pressure adjusting part for adjusting the pressure inside the housing part , A pressure adjusting unit such as a vacuum pump, or the like. The heating may be performed while fixing the heat treatment object and the heater portion, or may be performed while moving either of them.
본 가열 장치는, 물, 유기 용제 등을 포함하는 피열처리물의 건조를, 원하는 온도에서 행하는 장치로서 적합하다. 그리고, 진공 건조기(감압 건조기), 가압 건조기, 제습 건조기, 열풍 건조기, 방폭형 건조기 등으로서 사용할 수 있다. 또한, LCD 패널, 유기 EL 패널 등의 미소성물의 소성을, 원하는 온도에서 행하는 장치로서 적합하다. 그리고, 감압 소성기, 가압 소성기 등으로서 사용할 수 있다.The present heating apparatus is suitable as an apparatus for drying the object to be heat-treated including water, an organic solvent and the like at a desired temperature. It can be used as a vacuum dryer (decompression dryer), a pressure dryer, a dehumidifying dryer, a hot air dryer, an explosion-proof dryer and the like. Further, it is suitable as an apparatus for performing firing of microcrystalline materials such as an LCD panel and an organic EL panel at a desired temperature. Then, it can be used as a decompression sintering machine, a pressure sintering machine, or the like.
또한, 본 발명에 있어서는, 상기의 구체적 실시 형태에 나타내는 것에 한정되지 않고, 목적, 용도에 따라서 본 발명의 범위 내에서 다양하게 변경한 실시 형태로 할 수 있다.In addition, the present invention is not limited to the above-described specific embodiment, and various modifications may be made within the scope of the present invention depending on the purpose and use.
1 : 히터
11 : 기체
12 : 저항 발열 배선
X : 횡배선부
Y : 종배선부
2 : 피가열물
4 : 화상 형성 장치
41: 레이저 스캐너
42 : 미러
43 : 대전 장치
44 : 감광 드럼
45 : 현상기
46 : 전사 드럼
47 : 전사용 롤
5 : 정착 장치(정착 수단)
51 : 정착용 롤
52 : 고정 패드
53 : 히터 홀더
54 : 가압용 롤
P : 기록용 매체
D1 : 소인 방향
D2 : 폭 방향1: heater
11: Gas
12: Resistance heating wiring
X: transverse wiring portion
Y:
2: The object to be heated
4: Image forming apparatus
41: Laser Scanner
42: mirror
43:
44: photosensitive drum
45: developing cartridge
46: Transfer drum
47: Transfer roll
5: Fixing device (fixing means)
51: Fixing roll
52: Fixing Pad
53: Heater holder
54: pressure roll
P: recording medium
D 1 : Scoring direction
D 2 : width direction
Claims (10)
기체와, 상기 기체 상에, 각각 따로 급전을 받는 복수의 저항 발열 배선을 구비하고,
상기 저항 발열 배선은, 상기 소인 방향으로, 제1 열, 제2 열, 제3 열의 순으로 나란히 배치된 적어도 3열의 횡배선부와, 상기 횡배선부간을 접속하는 종배선부가 연결되어 꾸불꾸불한 형상으로 형성되어 있고,
상기 저항 발열 배선 중 적어도 1개의 저항 발열 배선이, 하기 (P1)의 패턴 또는 하기 (P2)의 패턴 중 어느 하나의 패턴을 갖는 것을 특징으로 하는 히터.
(P1) : 제2 열 횡배선부(X2)가 제1 열 횡배선부(X1) 및 제3 열 횡배선부(X3)보다 짧게 형성된 패턴.
(P2) : 제2 열 횡배선부(X2)가 제1 열 횡배선부(X1) 및 제3 열 횡배선부(X3)보다 길게 형성된 패턴.A heater for heating the object to be heated by sweeping at least one of the object to be heated and the present heater in a sweeping direction in a state of being opposed to the object to be heated,
And a plurality of resistive heat generating wirings, each of which is separately supplied with power,
Wherein the resistance heat generating wiring includes at least three horizontal wiring portions arranged in the order of the first column, the second column and the third column in the sweeping direction and a vertical wiring portion connecting the horizontal wiring portions, Shaped,
Wherein at least one resistance heating wire among the resistance heating wires has a pattern of any one of the following pattern (P 1 ) or the following pattern (P 2 ).
(P 1 ): a pattern in which the second thermal transverse wiring portion X 2 is formed shorter than the first thermal transverse wiring portion X 1 and the third thermal transverse wiring portion X 3 .
(P 2): the second column lateral wiring pattern portion (X 2) is formed longer than the first transverse heat wire unit (X 1) and the third column the transverse wire unit (X 3).
상기 (P1)의 패턴을 갖는 저항 발열 배선과, 상기 (P2)의 패턴을 갖는 저항 발열 배선의 양쪽의 저항 발열 배선을 구비하고,
상기 (P1)의 패턴을 갖는 저항 발열 배선과, 상기 (P2)의 패턴을 갖는 저항 발열 배선이 인접하여 배치되어 있는 히터.The method according to claim 1,
A resistance heating wire having the pattern of (P 1 ) and a resistance heating wire of both of the resistance heating wire having the pattern of (P 2 )
Wherein the resistance heat generating wiring having the pattern of (P 1 ) and the resistance heat generating wiring having the pattern of (P 2 ) are disposed adjacent to each other.
상기 저항 발열 배선은, 상기 소인 방향과는 대략 수직인 폭 방향으로, 제1 배선(L1), 제2 배선(L2), 제3 배선(L3), 제4 배선(L4)의 순으로 배열되며, 적어도 4개의 상기 저항 발열 배선을 구비하고,
상기 제1 배선(L1)의 제1 열 횡배선부(X11) 및 제2 열 횡배선부(X12)를 연결하는 종배선부(Y112)와, 상기 제2 배선(L2)의 제1 열 횡배선부(X21) 및 제2 열 횡배선부(X22)를 연결하는 종배선부(Y212)가 간극을 두고 대향된 대향 개소(A)를 갖고,
상기 제2 배선(L2)의 제2 열 횡배선부(X22) 및 제3 열 횡배선부(X23)를 연결하는 종배선부(Y223)와, 상기 제3 배선(L3)의 제2 열 횡배선부(X32) 및 제3 열 횡배선부(X33)를 연결하는 종배선부(Y323)는 간극을 두고 대향된 대향 개소(B)를 갖고,
상기 제3 배선(L3)의 제1 열 횡배선부(X31) 및 제2 열 횡배선부(X32)를 연결하는 종배선부(Y312)와, 상기 제4 배선(L4)의 제1 열 횡배선부(X41) 및 제2 열 횡배선부(X42)를 연결하는 종배선부(Y412)는 간극을 두고 대향된 대향 개소(C)를 갖고,
상기 대향 개소(B)의 상기 간극의 소인 궤적이, 상기 대향 개소(A)의 상기 간극의 소인 궤적과, 상기 대향 개소(C)의 상기 간극의 소인 궤적 사이에 위치됨과 함께, 상기 대향 개소(A)의 상기 간극의 소인 궤적, 및 상기 대향 개소(C)의 상기 간극의 소인 궤적 중 어느 한쪽의 측으로 치우쳐 위치되어 있는 히터.3. The method according to claim 1 or 2,
The resistance heating wire is, the sweep direction is substantially perpendicular to the width direction, of the first wiring (L 1), second wiring (L 2), the third wires (L 3), the fourth line (L 4) And at least four resistance heating wires are provided,
A vertical wiring portion Y 112 connecting the first and second vertical wiring portions X 11 and X 12 of the first wiring line L 1 and a second wiring portion Y 112 of the second wiring L 2 The longitudinal end portion Y 212 connecting the first column crossing portion X 21 and the second column crossing portion X 22 has an opposed portion A opposed to each other with a gap therebetween,
Of the second heat lateral wire unit (X 22) and the third heat and jongbae line portion (Y 223) connecting the transverse wire unit (X 23), the third wires (L 3) of said second wire (L 2) The vertical wiring portion Y 323 connecting the second and third vertical wiring portions X 32 and X 33 has the opposed portion B opposed to each other with a gap therebetween,
A final longitudinal wiring portion Y 312 connecting the first and second lateral wiring portions X 31 and X 32 of the third wiring L 3 and a second longitudinal wiring portion Y 312 of the fourth wiring L 4 , The longitudinal wiring portion Y 412 connecting the first and second vertical wiring portions X 41 and X 42 has an opposed portion C opposed to each other with a gap therebetween,
Wherein the sweep trajectory of the gap of the opposed portion (B) is positioned between the sweep trajectory of the gap of the opposed portion (A) and the sweep trajectory of the gap of the opposed portion (C) A) of the gap and the sweep locus of the gap of the opposed portion (C).
각각의 상기 저항 발열 배선은, 상기 소인 방향으로, 상기 제1 열 내지 상기 제3 열에 더하여, 또한, 제4 열의 순으로 나란히 배치된 적어도 4열의 상기 횡배선부와, 상기 횡배선부간을 접속하는 종배선부가 연결되어 꾸불꾸불한 형상으로 형성되어 있고,
상기 저항 발열 배선 중 소정의 저항 발열 배선(LS)의 제1 열 횡배선부(XS1) 및 제2 열 횡배선부(XS2)를 연결하는 종배선부(YS12)와, 상기 저항 발열 배선(LS)에 인접한 저항 발열 배선(LT)의 제1 열 횡배선부(XT1) 및 제2 열 횡배선부(XT2)를 연결하는 종배선부(YT12)가 간극을 두고 대향된 대향 개소(D)를 갖고,
상기 저항 발열 배선(LS)의 제3 열 횡배선부(XS3) 및 제4 열 횡배선부(XS4)를 연결하는 종배선부(YS34)와, 상기 저항 발열 배선(LT)의 제3 열 횡배선부(XT3) 및 제4 열 횡배선부(XT4)를 연결하는 종배선부(YT34)가 간극을 두고 대향된 대향 개소(E)를 갖고,
상기 대향 개소(D)의 상기 간극의 소인 궤적과, 상기 대향 개소(E)의 상기 간극의 소인 궤적이 겹치지 않도록 폭 방향으로 이격되어 있는 히터.4. The method according to any one of claims 1 to 3,
Each of the resistance heat generating wirings is connected to at least four rows of the transverse wiring portions arranged in the order of the fourth column in addition to the first to third columns in the sweeping direction, The longitudinal wiring portions are connected to form a serpentine shape,
(Y S12 ) connecting the first and second heat transfer wirings (X S1 and X S2 ) of the resistance heat generating wiring (L S ) among the resistance heat generating wirings; The longitudinal end portion Y T12 connecting the first heat transverse wiring portion X T1 and the second heat transitory wiring portion X T2 of the resistance heat generating wiring L T adjacent to the wiring L S , (D), which is located at a predetermined position,
The third column the transverse wire unit (X S3) and the fourth column jongbae line portion (Y S34), and the resistance heating wire (L T) for connecting the transverse wire unit (X S4) of the resistance heating wire (L S) The longitudinal end portion Y T34 connecting the third row lateral wiring portion X T3 and the fourth column lateral wiring portion X T4 has the opposed portion E opposed to each other with a gap therebetween,
Wherein the sweep trajectory of the gap of the opposed portion (D) and the sweep trajectory of the gap of the opposed portion (E) do not overlap.
상기 횡배선부는, 상기 종배선부보다도 길게 형성되어 있는 히터.5. The method according to any one of claims 1 to 4,
Wherein the lateral wiring portion is longer than the longitudinal wiring portion.
상기 종배선 중 적어도 일부의 종배선이, 상기 소인 방향에 대하여 경사져 있는 히터.6. The method according to any one of claims 1 to 5,
Wherein at least a part of the vertical wirings are inclined with respect to the sweeping direction.
상기 저항 발열 배선은, 정의 저항 발열 계수를 갖는 히터.7. The method according to any one of claims 1 to 6,
Wherein the resistance heating wire has a positive resistance heating coefficient.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015232372 | 2015-11-27 | ||
JPJP-P-2015-232372 | 2015-11-27 | ||
PCT/JP2016/084850 WO2017090692A1 (en) | 2015-11-27 | 2016-11-24 | Heater, fixing device, image-forming device, and heating device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20180087138A true KR20180087138A (en) | 2018-08-01 |
KR102637446B1 KR102637446B1 (en) | 2024-02-19 |
Family
ID=58763479
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020177029681A KR102637446B1 (en) | 2015-11-27 | 2016-11-24 | Heater, fusing device, image forming device and heating device |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6161859B1 (en) |
KR (1) | KR102637446B1 (en) |
CN (1) | CN107535017B (en) |
TW (1) | TWI706689B (en) |
WO (1) | WO2017090692A1 (en) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20200092255A (en) | 2017-12-08 | 2020-08-03 | 가부시키가이샤 미스즈 코우쿄우 | Heater, fixing device, image forming device and heating device |
JP7276700B2 (en) * | 2018-11-30 | 2023-05-18 | 株式会社リコー | Fixing device and image forming device |
JP2022093918A (en) | 2020-12-14 | 2022-06-24 | 東芝テック株式会社 | Image forming apparatus |
JP2024014572A (en) * | 2022-07-22 | 2024-02-01 | 株式会社美鈴工業 | Heater, fixing device, image forming apparatus, and heating device |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013073276A1 (en) | 2011-11-15 | 2013-05-23 | 株式会社美鈴工業 | Heater, and fixing device and drying device provided with same |
WO2014034744A1 (en) * | 2012-08-31 | 2014-03-06 | 株式会社美鈴工業 | Heater, and fixation device, image formation device, and heating device equipped with same |
WO2015151905A1 (en) * | 2014-03-31 | 2015-10-08 | 株式会社美鈴工業 | Heater, fixing device, image formation device, and heating device provided with heater, and method for producing heater |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11287238A (en) * | 1997-06-27 | 1999-10-19 | Ricoh Co Ltd | Heating roller |
JP4921553B2 (en) * | 2006-07-20 | 2012-04-25 | ワトロウ エレクトリック マニュファクチュアリング カンパニー | Laminated heater, method for manufacturing laminated heater, and method for forming laminated heater |
CN102483237B (en) * | 2009-08-27 | 2014-06-04 | 三菱电机株式会社 | Heating device |
JP5983495B2 (en) * | 2013-03-28 | 2016-08-31 | 株式会社デンソー | Radiation heater device |
-
2016
- 2016-11-24 JP JP2017516536A patent/JP6161859B1/en active Active
- 2016-11-24 KR KR1020177029681A patent/KR102637446B1/en active IP Right Grant
- 2016-11-24 WO PCT/JP2016/084850 patent/WO2017090692A1/en active Application Filing
- 2016-11-24 CN CN201680027125.0A patent/CN107535017B/en active Active
- 2016-11-25 TW TW105138896A patent/TWI706689B/en active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013073276A1 (en) | 2011-11-15 | 2013-05-23 | 株式会社美鈴工業 | Heater, and fixing device and drying device provided with same |
WO2014034744A1 (en) * | 2012-08-31 | 2014-03-06 | 株式会社美鈴工業 | Heater, and fixation device, image formation device, and heating device equipped with same |
WO2015151905A1 (en) * | 2014-03-31 | 2015-10-08 | 株式会社美鈴工業 | Heater, fixing device, image formation device, and heating device provided with heater, and method for producing heater |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPWO2017090692A1 (en) | 2017-11-30 |
TWI706689B (en) | 2020-10-01 |
TW201737757A (en) | 2017-10-16 |
JP6161859B1 (en) | 2017-07-12 |
KR102637446B1 (en) | 2024-02-19 |
WO2017090692A1 (en) | 2017-06-01 |
CN107535017B (en) | 2020-11-10 |
CN107535017A (en) | 2018-01-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN106134284B (en) | Heater, fixing device provided with same, image forming apparatus, heating device, and method for manufacturing heater | |
KR102037827B1 (en) | Heater, and fixing device and drying device provided with same | |
KR20180087138A (en) | Heater, fixing device, image forming device and heating device | |
TWI587731B (en) | A heater, and a fixture, an image forming device, and a heating device | |
CN110573967B (en) | Heater, fixing device, image forming apparatus, and heating device | |
JP6530088B2 (en) | Heater, fixing device including the same, image forming apparatus and heating device | |
WO2024018826A1 (en) | Heater, fixing device, image formation device, and heating device | |
CN205644025U (en) | Heater and image forming device | |
JP2017050050A (en) | Heater and image forming apparatus | |
CN220755080U (en) | Thick film heater | |
JPH08153571A (en) | Heat emitting body, fixing device, and image forming device | |
JPH08272249A (en) | Heater, fixing device and image forming device | |
JPH08264263A (en) | Heat generating body, fixing device, and image forming device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant |