KR102637446B1 - Heater, fusing device, image forming device and heating device - Google Patents

Heater, fusing device, image forming device and heating device Download PDF

Info

Publication number
KR102637446B1
KR102637446B1 KR1020177029681A KR20177029681A KR102637446B1 KR 102637446 B1 KR102637446 B1 KR 102637446B1 KR 1020177029681 A KR1020177029681 A KR 1020177029681A KR 20177029681 A KR20177029681 A KR 20177029681A KR 102637446 B1 KR102637446 B1 KR 102637446B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
wiring
heater
resistance heating
row horizontal
horizontal wiring
Prior art date
Application number
KR1020177029681A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20180087138A (en
Inventor
유지 우메무라
쇼헤이 카토
토모히로 모리타
미호 마츠다
Original Assignee
가부시키가이샤 미스즈 코우쿄우
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가부시키가이샤 미스즈 코우쿄우 filed Critical 가부시키가이샤 미스즈 코우쿄우
Publication of KR20180087138A publication Critical patent/KR20180087138A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102637446B1 publication Critical patent/KR102637446B1/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03GELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
    • G03G15/00Apparatus for electrographic processes using a charge pattern
    • G03G15/20Apparatus for electrographic processes using a charge pattern for fixing, e.g. by using heat
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B3/00Ohmic-resistance heating
    • H05B3/10Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03GELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
    • G03G15/00Apparatus for electrographic processes using a charge pattern
    • G03G15/20Apparatus for electrographic processes using a charge pattern for fixing, e.g. by using heat
    • G03G15/2003Apparatus for electrographic processes using a charge pattern for fixing, e.g. by using heat using heat
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B3/00Ohmic-resistance heating
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B3/00Ohmic-resistance heating
    • H05B3/10Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor
    • H05B3/12Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor characterised by the composition or nature of the conductive material
    • H05B3/14Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor characterised by the composition or nature of the conductive material the material being non-metallic
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B3/00Ohmic-resistance heating
    • H05B3/20Heating elements having extended surface area substantially in a two-dimensional plane, e.g. plate-heater
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B2203/00Aspects relating to Ohmic resistive heating covered by group H05B3/00
    • H05B2203/002Heaters using a particular layout for the resistive material or resistive elements
    • H05B2203/004Heaters using a particular layout for the resistive material or resistive elements using zigzag layout

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Resistance Heating (AREA)
  • Surface Heating Bodies (AREA)
  • Fixing For Electrophotography (AREA)
  • Control Of Resistance Heating (AREA)

Abstract

본 발명은 소인 방향으로 협폭인 히터에 있어서도 균열성이 우수한 히터, 정착 장치, 화상 형성 장치 및 가열 장치, 그리고 히터의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 하고, 기체(11)와 기체 상에 각각 따로 급전을 받는 복수의 저항 발열 배선을 구비하고, 저항 발열 배선은, 소인 방향 D1로, 제1 열, 제2 열, 제3 열의 순으로 나란히 배치된 적어도 3열의 횡배선부 X와, 횡배선부간을 접속하는 종배선부 Y가 연결되어 꾸불꾸불한 형상으로 형성되고, 저항 발열 배선 중 적어도 1개의 저항 발열 배선이, 제2 열 횡배선부 X2가, 제1 열 횡배선부 X1 및 제3 열 횡배선부 X3보다 짧게 형성된 패턴 P1, 또는, 제2 열 횡배선부 X2가, 제1 열 횡배선부 X1 및 제3 열 횡배선부 X3보다 길게 형성된 패턴 P2 중 어느 하나를 갖는다.The purpose of the present invention is to provide a heater, a fixing device, an image forming device, a heating device, and a method of manufacturing the heater, which have excellent cracking properties even in a heater with a narrow width in the sweep direction, and are manufactured separately from the base 11 and the base phase. It is provided with a plurality of resistance heating wires that receive power, and the resistance heating wires include at least three rows of horizontal wiring portions The vertical wiring portion Y connecting the sections is connected to form a sinuous shape, and at least one of the resistance heating wirings includes a second row horizontal wiring portion X 2 , a first row horizontal wiring portion Pattern P 1 formed shorter than the 3rd row horizontal wiring part have one or the other

Figure R1020177029681
Figure R1020177029681

Description

히터, 정착 장치, 화상 형성 장치 및 가열 장치Heater, fusing device, image forming device and heating device

본 발명은 히터, 정착 장치, 화상 형성 장치 및 가열 장치에 관한 것이다. 상세하게는, 통전에 의해 발열하는 복수의 저항 배선을 구비하는 히터, 이와 같은 히터를 구비하는 정착 장치, 화상 형성 장치 및 가열 장치에 관한 것이다.The present invention relates to heaters, fixing devices, image forming devices and heating devices. In detail, it relates to a heater provided with a plurality of resistance wires that generate heat when energized, a fixing device provided with such a heater, an image forming device, and a heating device.

대상물의 열처리를 행하기 위한 가열 수단으로서, 스테인리스판이나 세라믹판의 표면에 통전에 의해 발열하는 복수의 저항 발열 배선을 설치한 히터가 알려져 있다. 이와 같은 히터는, 얇고 콤팩트하게 형성할 수 있기 때문에, 예를 들어 복사기나 프린터 등에 내장되어 기록 매체에 토너나 잉크 등을 정착할 목적으로 사용되거나, 건조기에 내장되어 패널 등의 피처리체를 균일하게 가열 건조시킬 목적으로 사용되거나 한다. 이들 용도에서는, 히터의 발열면을 복수의 저항 발열 배선을 배치함으로써, 가열 대상으로 되는 면내에 있어서의 온도 분포를 자기적으로 균일화할 수 있는 히터가 하기 특허문헌 1 및 2에 개시되어 있다.As a heating means for performing heat treatment on an object, a heater equipped with a plurality of resistance heating wires that generate heat by applying electricity to the surface of a stainless steel plate or ceramic plate is known. Since such heaters can be formed thinly and compactly, for example, they are built into copiers and printers and used for the purpose of fixing toner or ink to recording media, or they are built into dryers to uniformly heat objects such as panels. It is used for the purpose of heating and drying. In these applications, the following Patent Documents 1 and 2 disclose heaters that can magnetically equalize the temperature distribution within the surface to be heated by arranging a plurality of resistance heat-generating wires on the heating surface of the heater.

국제 공개 제2013/073276호 팸플릿International Publication No. 2013/073276 Pamphlet

상기 특허문헌 1에는, 정의 저항 온도 계수를 가진 저항 발열 배선을 전기적으로 병렬로 접속하여 구성한 히터가 개시되어 있다. 이들 히터에 의하면, 각 저항 발열 배선은 실질적으로 동일한 발열 특성을 갖기 때문에, 각각의 저항 발열 배선은 서로 온도 분포를 자기적으로 균일화할 수 있다. 그 때문에, 특허문헌 1에 개시된 기술에 의하면, 기체 상의 위치에 상관없이 보다 고도의 균열이 가능해진다.Patent Document 1 discloses a heater constructed by electrically connecting resistance heating wires with a positive temperature coefficient of resistance in parallel. According to these heaters, since each resistance heat generation wiring has substantially the same heat generation characteristics, each resistance heat generation wiring can magnetically equalize the temperature distribution of each other. Therefore, according to the technology disclosed in Patent Document 1, higher level cracking becomes possible regardless of the position on the substrate.

또한, 상기 특허문헌 1의 기술에 의하면, 발열 배선의 병렬 배선이 경사진 직사각형 패턴을 포함하고 있다. 그 때문에, 배선의 비형성 부분이, 히터의 긴 변 방향 또는 폭 방향에 대하여 기울어져, 사용 시에 있어서의 저항 발열 배선부의 국소적인 온도 상승을 초래하지 않는다([0023]).Additionally, according to the technology in Patent Document 1, the parallel wiring of the heat generating wiring includes an inclined rectangular pattern. Therefore, the unformed portion of the wiring is inclined with respect to the long side direction or width direction of the heater, and does not cause a local temperature rise in the resistance heating wiring portion during use ([0023]).

이와 같이, 특허문헌 1에 개시된 히터에 의하면, 우수한 균열을 행할 수 있는 점에서 우수하다.In this way, the heater disclosed in Patent Document 1 is excellent in that it can perform excellent cracking.

이에 비해, 요즘, 상기의 균열을 유지하면서도, 또한, 콤팩트한 히터가 요구되고 있다. 특히, 소인 방향으로 보다 협폭인 히터가 요망되기에 이르고 있다. 그러나, 특허문헌 1에 개시된 히터를, 단순히, 소인 방향으로 보다 협폭으로 되도록 축소하면, 배선의 비형성 부분의 양옆에 배치된 경사 패턴에 의한 영향이 커져, 균열을 유지하기 어려워진다는 과제가 있다.In contrast, these days, heaters that maintain the above-mentioned cracks and are also compact are required. In particular, there is a growing demand for heaters with a narrower width in the sweep direction. However, if the heater disclosed in Patent Document 1 is simply reduced to have a narrower width in the sweep direction, the influence of the inclined patterns disposed on both sides of the unformed portion of the wiring increases, and there is a problem in that it becomes difficult to maintain cracks.

본 발명은 상기 과제를 감안하여 이루어진 것이며, 소인 방향으로 협폭인 히터에 있어서도 균열성이 우수한 히터, 이와 같은 히터를 구비하는 정착 장치, 화상 형성 장치 및 가열 장치, 그리고 히터의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been made in view of the above problems, and provides a heater having excellent cracking properties even for heaters with a narrow width in the sweep direction, a fixing device, an image forming device and a heating device having such a heater, and a method of manufacturing the heater. The purpose.

본 발명은 이하와 같다.The present invention is as follows.

청구항 1에 기재된 히터는, 피가열물과 대면된 상태에서, 상기 피가열물 및 본 히터 중 적어도 한쪽을 소인 방향으로 소인함으로써 상기 피가열물을 가열하는 히터로서,The heater according to claim 1 is a heater that heats the object to be heated by sweeping at least one of the object to be heated and the main heater in a sweep direction while facing the object,

기체와, 상기 기체 상에, 각각 따로 급전을 받는 복수의 저항 발열 배선을 구비하고,Equipped with a body and a plurality of resistance heating wires on the body, each receiving power separately,

상기 저항 발열 배선은, 상기 소인 방향으로, 제1 열, 제2 열, 제3 열의 순으로 나란히 배치된 적어도 3열의 횡배선부와, 상기 횡배선부간을 접속하는 종배선부가 연결되어 꾸불꾸불한 형상으로 형성되어 있고,The resistance heating wiring has at least three rows of horizontal wiring portions arranged side by side in the sweep direction in the order of a first row, a second column, and a third column, and a vertical wiring portion connecting the horizontal wiring portions, and is sinuous. It is formed into a shape,

상기 저항 발열 배선 중 적어도 1개의 저항 발열 배선이, 하기 (P1)의 패턴 또는 하기 (P2)의 패턴 중 어느 하나의 패턴을 갖는 것을 요지로 한다.The point is that at least one of the resistance heating wirings has one of the patterns (P 1 ) below or the patterns (P 2 ) below.

(P1) : 제2 열 횡배선부(X2)가 제1 열 횡배선부(X1) 및 제3 열 횡배선부(X3)보다 짧게 형성된 패턴.(P 1 ): A pattern in which the second row horizontal wiring part (X 2 ) is formed shorter than the first row horizontal wiring part (X 1 ) and the third row horizontal wiring part (X 3 ).

(P2) : 제2 열 횡배선부(X2)가 제1 열 횡배선부(X1) 및 제3 열 횡배선부(X3)보다 길게 형성된 패턴.(P 2 ): A pattern in which the second row horizontal wiring part (X 2 ) is formed longer than the first row horizontal wiring part (X 1 ) and the third row horizontal wiring part (X 3 ).

청구항 2에 기재된 히터는, 청구항 1에 기재된 히터에 있어서, 상기 (P1)의 패턴을 갖는 저항 발열 배선과, 상기 (P2)의 패턴을 갖는 저항 발열 배선의 양쪽의 저항 발열 배선을 구비하고,The heater according to claim 2 is the heater according to claim 1, comprising a resistance heating wiring having the pattern (P 1 ) and resistance heating wiring on both sides of the resistance heating wiring having the pattern (P 2 ), ,

상기 (P1)의 패턴을 갖는 저항 발열 배선과, 상기 (P2)의 패턴을 갖는 저항 발열 배선이 인접하여 배치되어 있는 것을 요지로 한다.The main point is that the resistance heating wiring having the pattern (P 1 ) and the resistance heating wiring having the pattern (P 2 ) are arranged adjacent to each other.

청구항 3에 기재된 히터는, 청구항 1 또는 2에 기재된 히터에 있어서, 상기 저항 발열 배선은, 상기 소인 방향과는 대략 수직인 폭 방향으로, 제1 배선(L1), 제2 배선(L2), 제3 배선(L3), 제4 배선(L4)의 순으로 배열되며, 적어도 4개의 상기 저항 발열 배선을 구비하고 있고,The heater according to claim 3 is the heater according to claim 1 or 2, wherein the resistance heating wiring is a first wiring (L 1 ) and a second wiring (L 2 ) in a width direction substantially perpendicular to the sweep direction. , the third wiring (L 3 ), and the fourth wiring (L 4 ) are arranged in that order, and includes at least four of the resistance heating wires,

상기 제1 배선(L1)의 제1 열 횡배선부(X11) 및 제2 열 횡배선부(X12)를 연결하는 종배선부(Y112)와, 상기 제2 배선(L2)의 제1 열 횡배선부(X21) 및 제2 열 횡배선부(X22)를 연결하는 종배선부(Y212)가 간극을 두고 대향된 대향 개소(A)를 갖고,A vertical wiring part (Y 112 ) connecting the first row horizontal wiring part (X 11 ) and the second row horizontal wiring part (X 12 ) of the first wiring (L 1 ), and the second wiring (L 2 ) The vertical wiring portion (Y 212 ) connecting the first row horizontal wiring portion (X 21 ) and the second row horizontal wiring portion (X 22 ) has an opposing location A facing each other with a gap,

상기 제2 배선(L2)의 제2 열 횡배선부(X22) 및 제3 열 횡배선부(X23)를 연결하는 종배선부(Y223)와, 상기 제3 배선(L3)의 제2 열 횡배선부(X32) 및 제3 열 횡배선부(X33)를 연결하는 종배선부(Y323)는 간극을 두고 대향된 대향 개소(B)를 갖고,A vertical wiring portion (Y 223 ) connecting the second row horizontal wiring portion (X 22 ) and the third row horizontal wiring portion (X 23 ) of the second wiring (L 2 ), and the third wiring (L 3 ) The vertical wiring portion (Y 323 ) connecting the second row horizontal wiring portion (X 32 ) and the third row horizontal wiring portion (

상기 제3 배선(L3)의 제1 열 횡배선부(X31) 및 제2 열 횡배선부(X32)를 연결하는 종배선부(Y312)와, 상기 제4 배선(L4)의 제1 열 횡배선부(X41) 및 제2 열 횡배선부(X42)를 연결하는 종배선부(Y412)는 간극을 두고 대향된 대향 개소(C)를 갖고,A vertical wiring part (Y 312 ) connecting the first row horizontal wiring part (X 31 ) and the second row horizontal wiring part (X 32 ) of the third wiring (L 3 ), and the fourth wiring (L 4 ) The vertical wiring portion (Y 412 ) connecting the first row horizontal wiring portion (X 41 ) and the second row horizontal wiring portion (

상기 대향 개소(B)의 상기 간극의 소인 궤적이, 상기 대향 개소(A)의 상기 간극의 소인 궤적과, 상기 대향 개소(C)의 상기 간극의 소인 궤적 사이에 위치됨과 함께, 상기 대향 개소(A)의 상기 간극의 소인 궤적, 및 상기 대향 개소(C)의 상기 간극의 소인 궤적 중 어느 한쪽의 측으로 치우쳐 위치되어 있는 것을 요지로 한다.The sweep trace of the gap at the opposing point (B) is located between the sweep trace of the gap at the opposing point (A) and the sweep trace of the gap at the opposing point (C), and the sweep trace of the gap at the opposing point (C) The point is that the position is biased toward one of the sweep trace of the gap at A) and the sweep trace of the gap at the opposite location (C).

청구항 4에 기재된 히터는, 청구항 1 내지 3 중 어느 하나에 기재된 히터에 있어서, 각각의 상기 저항 발열 배선은, 상기 소인 방향으로, 상기 제1 열 내지 상기 제3 열에 더하여, 또한, 제4 열의 순으로 나란히 배치된 적어도 4열의 상기 횡배선부와, 상기 횡배선부간을 접속하는 종배선부가 연결되어 꾸불꾸불한 형상으로 형성되어 있고,The heater according to claim 4 is the heater according to any one of claims 1 to 3, wherein each of the resistance heating wires is arranged in the order of the fourth row in addition to the first to third rows in the sweep direction. At least four rows of horizontal wiring portions arranged side by side and vertical wiring portions connecting the horizontal wiring portions are connected to form a sinuous shape,

상기 저항 발열 배선 중 소정의 저항 발열 배선(LS)의 제1 열 횡배선부(XS1) 및 제2 열 횡배선부(XS2)를 연결하는 종배선부(YS12)와, 상기 저항 발열 배선(LS)에 인접한 저항 발열 배선(LT)의 제1 열 횡배선부(XT1) 및 제2 열 횡배선부(XT2)를 연결하는 종배선부(YT12)가 간극을 두고 대향된 대향 개소(D)를 갖고,A vertical wiring part (Y S12) connecting the first row horizontal wiring part (X S1 ) and the second row horizontal wiring part (X S2 ) of a predetermined resistance heating wire ( LS ) among the resistance heating wires, and The vertical wiring part (Y T12) connecting the first row horizontal wiring part (X T1 ) and the second row horizontal wiring part (X T2 ) of the resistance heating wiring (L T ) adjacent to the wiring (L S ) faces each other with a gap. has an opposing point (D),

상기 저항 발열 배선(LS)의 제3 열 횡배선부(XS3) 및 제4 열 횡배선부(XS4)를 연결하는 종배선부(YS34)와, 상기 저항 발열 배선(LT)의 제3 열 횡배선부(XT3) 및 제4 열 횡배선부(XT4)를 연결하는 종배선부(YT34)가 간극을 두고 대향된 대향 개소(E)를 갖고,A vertical wiring part (Y S34 ) connecting the third row horizontal wiring part (X S3 ) and the fourth row horizontal wiring part (X S4 ) of the resistance heating wiring (L S ), and the resistance heating wiring (L T ) The vertical wiring portion (Y T34 ) connecting the third row horizontal wiring portion (X T3 ) and the fourth row horizontal wiring portion (X T4 ) has an opposing location (E) facing each other with a gap,

상기 대향 개소(D)의 상기 간극의 소인 궤적과, 상기 대향 개소(E)의 상기 간극의 소인 궤적이 겹치지 않도록 폭 방향으로 이격되어 있는 것을 요지로 한다.The point is that the sweep trace of the gap at the opposing location (D) and the sweep trace of the gap at the opposing location (E) are spaced apart in the width direction so as not to overlap.

청구항 5에 기재된 히터는, 청구항 1 내지 4 중 어느 하나에 기재된 히터에 있어서, 상기 횡배선부는 상기 종배선부보다도 길게 형성되어 있는 것을 요지로 한다.The gist of the heater described in claim 5 is that, in the heater described in any one of claims 1 to 4, the horizontal wiring portion is formed longer than the vertical wiring portion.

청구항 6에 기재된 히터는, 청구항 1 내지 5 중 어느 하나에 기재된 히터에 있어서, 상기 종배선 중 적어도 일부의 종배선이, 상기 소인 방향에 대하여 경사져 있는 것을 요지로 한다.The gist of the heater described in claim 6 is that, in the heater described in any one of claims 1 to 5, at least some of the vertical wirings are inclined with respect to the sweep direction.

청구항 7에 기재된 히터는, 청구항 1 내지 6 중 어느 하나에 기재된 히터에 있어서, 상기 저항 발열 배선은, 정의 저항 발열 계수를 갖는 것을 요지로 한다.The heater described in claim 7 has the gist of the heater described in any one of claims 1 to 6, wherein the resistance heating wiring has a positive resistance heating coefficient.

청구항 8에 기재된 정착 장치는, 청구항 1 내지 7 중 어느 하나에 기재된 히터를 구비하는 것을 요지로 한다.The main point of the fixing device described in claim 8 is to include the heater described in any one of claims 1 to 7.

청구항 9에 기재된 화상 형성 장치는, 청구항 1 내지 7 중 어느 하나에 기재된 히터를 구비하는 것을 요지로 한다.The image forming apparatus according to claim 9 is provided with the heater according to any one of claims 1 to 7.

청구항 10에 기재된 가열 장치는, 청구항 1 내지 7 중 어느 하나에 기재된 히터를 구비하는 것을 요지로 한다.The summary of the heating device according to claim 10 is to include the heater according to any one of claims 1 to 7.

본 발명의 히터에 의하면, 소인 방향으로 협폭인 히터에 있어서도 균열성이 우수한 히터로 할 수 있다.According to the heater of the present invention, a heater with excellent cracking properties can be obtained even in a heater with a narrow width in the sweep direction.

즉, 제1 열 횡배선부(X1)가 제2 열 횡배선부(X2)에 비해 길고, 또한 제2 열 횡배선부(X2)가 제3 열 횡배선부(X3)에 비해 짧은 패턴(P1), 또는, 제1 열 횡배선부(X1)가 제2 열 횡배선부(X2)에 비해 짧고, 또한 제2 열 횡배선부(X2)가 제3 열 횡배선부(X3)에 비해 긴 패턴(P2)을 구비함으로써, 이들 패턴(P1) 및 패턴(P2)이 갖는 종배선부에 의해 형성되는 소인 궤적을, 폭 방향에서 겹치지 않도록 분산시킬 수 있어, 소인 방향으로 협폭인 히터에 있어서도 균열성이 우수한 히터로 할 수 있다.That is, the first row horizontal wiring part (X 1 ) is longer than the second row horizontal wiring part (X 2 ), and the second row horizontal wiring part (X 2 ) is longer than the third row horizontal wiring part (X 3 ). A pattern (P 1 ) that is shorter than that of the pattern (P 1 ), or, the first row horizontal wiring portion (X 1 ) is shorter than the second row horizontal wiring portion (X 2 ), and the second row horizontal wiring portion (X 2 ) is shorter than the third row By providing a pattern P 2 that is longer than the horizontal wiring portion Therefore, even a heater with a narrow width in the sweep direction can be made into a heater with excellent cracking properties.

패턴(P1)의 저항 발열 배선 및 패턴(P2)의 저항 발열 배선의 양쪽의 저항 발열 배선을 구비하고, 이들 저항 발열 배선이 인접하여 배치되어 있는 경우에는, 횡배선부끼리의 요철을 맞물리게 할 수 있기 때문에, 종배선부에 의해 형성되는 소인 궤적을, 폭 방향에서 겹치지 않도록 분산시키면서, 밀한 전체 패턴을 형성할 수 있다. 따라서, 소인 방향으로 협폭인 히터에 있어서도 균열성이 우수한 히터로 할 수 있다.Resistance heating wiring of the pattern (P 1 ) and resistance heating wiring on both sides of the resistance heating wiring of the pattern (P 2 ) are provided, and when these resistance heating wirings are arranged adjacent to each other, the unevenness of the horizontal wiring portions is engaged. Since this can be done, a dense overall pattern can be formed while dispersing the sweep traces formed by the vertical wiring portion so as not to overlap in the width direction. Therefore, even a heater with a narrow width in the sweep direction can be made into a heater with excellent cracking properties.

대향 개소(B)의 간극의 소인 궤적이, 대향 개소(A)와 대향 개소(C)의 각각의 간극의 소인 궤적의 사이에 위치되고, 또한 대향 개소(B)의 간극의 소인 궤적이, 대향 개소(A) 및 대향 개소(C)의 각각의 간극의 소인 궤적 중 어느 한쪽의 측으로 치우쳐 위치되어 있는 경우에는, 종배선부가 밀집한 영역인 대향 개소가, 소인 방향으로 규칙적으로 나타나는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 소인 방향으로 협폭인 히터에 있어서도 균열성이 우수한 히터로 할 수 있다.The sweep trace of the gap at the opposing point (B) is located between the sweep traces of the respective gaps at the opposing point (A) and the opposing point (C), and the sweep trace of the gap at the opposing point (B) is located between the sweep traces of the respective gaps at the opposing point (A) and the opposing point (C). In the case where the sweep traces of each gap between the location A and the opposing location C are located biased toward one side, the opposing location, which is an area where vertical wiring portions are dense, can be prevented from appearing regularly in the sweep direction. . Therefore, even a heater with a narrow width in the sweep direction can be made into a heater with excellent cracking properties.

저항 발열 배선이 소인 방향으로 적어도 4열의 횡배선부를 구비하고 있고, 대향 개소(D)의 간극의 소인 궤적과, 대향 개소(E)의 간극의 소인 궤적이 겹치지 않도록 폭 방향으로 이격되어 있는 경우에는, 종배선부가 밀집한 영역인 대향 개소가, 소인 방향으로 규칙적으로 나타나는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 소인 방향으로 협폭인 히터에 있어서도 균열성이 우수한 히터로 할 수 있다.In the case where the resistance heating wiring has at least four rows of horizontal wiring sections in the sweep direction, and the sweep trace of the gap at the opposing location (D) is spaced apart in the width direction so that the sweep trace of the gap at the opposing location (E) does not overlap, , it is possible to prevent opposing locations, which are areas where vertical wiring portions are dense, from appearing regularly in the sweep direction. Therefore, even a heater with a narrow width in the sweep direction can be made into a heater with excellent cracking properties.

횡배선부가, 종배선부보다도 길게 형성되어 있는 경우에는, 소인 방향보다도 폭 방향으로 긴 히터에 적합한 패턴을 얻을 수 있다. 따라서, 소인 방향으로 협폭인 히터에 있어서도 균열성이 우수한 히터로 할 수 있다.When the horizontal wiring portion is formed to be longer than the vertical wiring portion, a pattern suitable for a heater that is longer in the width direction than the sweep direction can be obtained. Therefore, even a heater with a narrow width in the sweep direction can be made into a heater with excellent cracking properties.

종배선 중 적어도 일부의 종배선이, 소인 방향에 대하여 경사져 있는 경우에는, 종배선에 의해 피가열물에 부여되는 열을, 소인 시에, 폭 방향으로 분산시킬 수 있다. 따라서, 소인 방향으로 협폭인 히터에 있어서도 균열성이 우수한 히터로 할 수 있다.When at least some of the vertical wirings are inclined with respect to the sweeping direction, the heat given to the object to be heated by the vertical wirings can be dispersed in the width direction during sweeping. Therefore, even a heater with a narrow width in the sweep direction can be made into a heater with excellent cracking properties.

저항 발열 배선이, 정의 저항 발열 계수를 갖는 경우에는, 각 저항 발열 배선의 발열 상태를 자율적으로 균일화시킬 수 있다. 따라서, 소인 방향으로 협폭인 히터에 있어서도 균열성이 우수한 히터로 할 수 있다.When the resistance heating wiring has a positive resistance heating coefficient, the heating state of each resistance heating wiring can be autonomously equalized. Therefore, even a heater with a narrow width in the sweep direction can be made into a heater with excellent cracking properties.

도 1은 본 히터에 있어서의 저항 발열 배선의 일례(패턴 P1)를 모식적으로 도시하는 평면도이다.
도 2는 본 히터에 있어서의 저항 발열 배선의 다른 예(패턴 P2)를 모식적으로 도시하는 평면도이다.
도 3은 본 히터에 있어서의 저항 발열 배선의 배치의 일례를 모식적으로 설명하는 평면도이다.
도 4는 본 히터에 있어서의 저항 발열 배선의 각 부를 모식적으로 설명하는 평면도이다.
도 5는 본 히터에 있어서의 저항 발열 배선의 각 부를 모식적으로 설명하는 평면도이다.
도 6은 본 히터에 있어서의 저항 발열 배선의 대향 개소(A)∼(C)에 대하여 모식적으로 설명하는 평면도이다.
도 7은 본 히터에 있어서의 저항 발열 배선의 대향 개소(D)∼(E)에 대하여 모식적으로 설명하는 평면도이다.
도 8은 실시 형태 1의 히터를 모식적으로 도시하는 평면도이다.
도 9는 실시 형태 2의 히터를 모식적으로 도시하는 평면도이다.
도 10은 실시 형태 3의 히터를 모식적으로 도시하는 평면도이다.
도 11은 실시 형태 4의 히터를 모식적으로 도시하는 평면도이다.
도 12는 실시 형태 5의 히터를 모식적으로 도시하는 평면도이다.
도 13은 실시 형태 5(도 12와 마찬가지)의 히터를 모식적으로 도시하는 평면도이다.
도 14는 실시 형태 6의 히터를 모식적으로 도시하는 평면도이다.
도 15는 실시 형태 7의 히터를 모식적으로 도시하는 평면도이다.
도 16은 본 히터를 사용한 정착 장치의 일례를 도시하는 개략 사시도이다.
도 17은 본 히터를 사용한 정착 장치의 다른 예를 도시하는 개략 사시도이다.
도 18은 본 히터를 사용한 화상 형성 장치의 일례를 도시하는 개략도이다.
1 is a plan view schematically showing an example of resistance heating wiring (pattern P 1 ) in this heater.
FIG. 2 is a plan view schematically showing another example (pattern P 2 ) of resistance heating wiring in this heater.
Fig. 3 is a plan view schematically illustrating an example of the arrangement of resistance heating wiring in this heater.
Figure 4 is a plan view schematically explaining each part of the resistance heating wiring in this heater.
Figure 5 is a plan view schematically explaining each part of the resistance heating wiring in this heater.
Fig. 6 is a plan view schematically explaining the opposing locations (A) to (C) of the resistance heating wiring in this heater.
Fig. 7 is a plan view schematically explaining the opposing locations (D) to (E) of the resistance heating wiring in this heater.
Fig. 8 is a plan view schematically showing the heater of Embodiment 1.
Fig. 9 is a plan view schematically showing the heater of Embodiment 2.
Fig. 10 is a plan view schematically showing the heater of Embodiment 3.
Fig. 11 is a plan view schematically showing the heater of Embodiment 4.
Fig. 12 is a plan view schematically showing the heater of Embodiment 5.
Fig. 13 is a plan view schematically showing the heater of Embodiment 5 (same as Fig. 12).
Fig. 14 is a plan view schematically showing the heater of Embodiment 6.
Fig. 15 is a plan view schematically showing the heater of Embodiment 7.
Fig. 16 is a schematic perspective view showing an example of a fixing device using this heater.
Fig. 17 is a schematic perspective view showing another example of a fixing device using this heater.
Fig. 18 is a schematic diagram showing an example of an image forming apparatus using this heater.

이하, 도면을 참조하면서, 본 발명을 상세하게 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

[1] 히터[1] Heater

본 히터(1)는 피가열물과 대면된 상태에서, 피가열물 및 본 히터(1) 중 적어도 한쪽을 소인 방향(D1)으로 소인함으로써 피가열물을 가열하는 히터이다. 또한, 본 히터(1)는 기체(11)와, 기체(11) 상에 각각 따로 급전을 받는 복수의 저항 발열 배선(12)을 구비하고 있다.The main heater 1 is a heater that heats the object to be heated by sweeping at least one of the object to be heated and the main heater 1 in the sweep direction D 1 while facing the object to be heated. In addition, the present heater 1 is provided with a base 11 and a plurality of resistance heating wires 12 on the base 11, each of which receives power separately.

(1) 횡배선부(X1∼X3)의 길이의 상관에 대하여(1) Regarding the correlation between the lengths of the horizontal wiring sections (X 1 to X 3 )

저항 발열 배선(12)은 소인 방향(D1)으로, 제1 열, 제2 열, 제3 열의 순으로 나란히 배치된 적어도 3열의 횡배선부(X)와, 횡배선부(X)간을 접속하는 종배선부(Y)를 갖고, 횡배선부(X)와 종배선부(Y)가 연결되어 꾸불꾸불한 형상으로 형성되어 있다. 즉, 각 저항 발열 배선(12)은, 각각, 꾸불꾸불한 형상(사행 형상)의 패턴(이하, 간단히 「꾸불꾸불한 패턴」이라고도 함)을 갖고 있다.The resistance heating wiring 12 is formed between at least three rows of horizontal wiring sections It has a vertical wiring portion (Y) connected to it, and the horizontal wiring portion (X) and the vertical wiring portion (Y) are connected to form a sinuous shape. That is, each resistance heating wiring 12 has a serpentine (meandering) pattern (hereinafter, also simply referred to as a “serpentine pattern”).

그리고, 복수의 저항 발열 배선(12) 중 적어도 1개의 저항 발열 배선(12)이 하기의 패턴(P1) 또는 패턴(P2)을 갖고 있다.And, among the plurality of resistance heating wirings 12, at least one resistance heating wiring 12 has the following pattern (P 1 ) or pattern (P 2 ).

(P1) : 제2 열 횡배선부(X2)가 제1 열 횡배선부(X1) 및 제3 열 횡배선부(X3)보다 짧게 형성된 패턴.(P 1 ): A pattern in which the second row horizontal wiring part (X 2 ) is formed shorter than the first row horizontal wiring part (X 1 ) and the third row horizontal wiring part (X 3 ).

(P2) : 제2 열 횡배선부(X2)가 제1 열 횡배선부(X1) 및 제3 열 횡배선부(X3)보다 길게 형성된 패턴.(P 2 ): A pattern in which the second row horizontal wiring part (X 2 ) is formed longer than the first row horizontal wiring part (X 1 ) and the third row horizontal wiring part (X 3 ).

이와 같이, 패턴(P1)(도 1 참조) 또는 패턴(P2)(도 2 참조)을 구비함으로써, 이들 패턴이 갖는 종배선부에 의해 형성되는 소인 궤적이, 폭 방향(D2)으로 겹치지 않도록, 분산시킬 수 있다.In this way, by providing the pattern P 1 (see FIG. 1) or the pattern P 2 (see FIG. 2), the sweep traces formed by the vertical wiring portions of these patterns do not overlap in the width direction D 2 . It can be dispersed so that it does not occur.

즉, 각각 따로 급전을 받는 복수의 저항 발열 배선(12)을 1개의 셀로 생각한 경우에, 종래, 1개의 셀은, 인접된 셀과 발열 영역을 공유하지 않도록 개개로 독립하여 배치되어 있다. 이와 같은 독립 셀의 형태에서는, 인접된 독립 셀끼리의 횡배선은, 소인 방향에서 겹치지 않도록 분리된다. 그러나, 이와 같은 독립 셀 배치에서는, 독립 셀끼리의 경계에, 종배선이 밀집하여 직선적으로 이어진 영역이 형성되게 된다. 소인 방향으로 광폭인 히터이면, 상술한 종배선이 밀집하여 직선적으로 이어진 영역이 존재해도, 예를 들어 이 영역이, 소인 시에 피가열물의 어느 개소에서도 1회는 통과하도록, 횡배선의 열수를 많게 한 패터닝을 행함으로써, 가열의 치우침을 방지할 수 있다.That is, when the plurality of resistive heat-generating wires 12, each of which receives power separately, are considered as one cell, conventionally, each cell is arranged independently so as not to share a heat-generating area with adjacent cells. In this type of independent cell, the horizontal wiring between adjacent independent cells is separated so as not to overlap in the sweep direction. However, in such an independent cell arrangement, a region in which vertical wirings are densely connected and linearly connected is formed at the boundary between the independent cells. If the heater is wide in the sweep direction, even if there is an area where the above-mentioned vertical wires are dense and connected linearly, the number of rows of the horizontal wires must be adjusted so that, for example, this area passes through any part of the object to be heated at least once during the sweep. By performing increased patterning, uneven heating can be prevented.

그러나, 소인 방향으로 협폭인 히터에서는, 소인 방향의 폭을 확보할 수 없기 때문에, 횡배선의 열수를 많게 한 패터닝을 행할 수 없다. 그 때문에, 피가열물에 대하여 종배선이 밀집하여 직선적으로 이어진 영역이 국소적으로 소인되어 버리게 되어, 가열의 치우침이 발생해 버리게 된다.However, in a heater with a narrow width in the sweep direction, the width in the sweep direction cannot be secured, so patterning with an increased number of rows of horizontal wiring cannot be performed. For this reason, areas where longitudinal wiring is dense and linearly connected to the object to be heated are locally swept, resulting in uneven heating.

이에 비해, 본 발명에서는 패턴(P1) 또는 패턴(P2)을 가짐으로써, 소정 셀의 횡배선을, 인접 셀에 대하여 들어가게 한 패터닝을 행하게 된다. 즉, 패턴(P1)은 제2 열 횡배선부(X2)가 제1 열 횡배선부(X1) 및 제3 열 횡배선부(X3)보다 짧게 형성됨으로써, 도 1에 예시한 바와 같이, 점선으로 둘러싼 영역에 다른 저항 발열 배선(12)의 패턴을 수용하는 영역을 확보할 수 있다. 마찬가지로, 패턴(P2)은 제2 열 횡배선부(X2)가 제1 열 횡배선부(X1) 및 제3 열 횡배선부(X3)보다 길게 형성됨으로써, 도 2에 예시한 바와 같이, 점선으로 둘러싼 영역에 다른 저항 발열 배선(12)의 패턴을 수용하는 영역을 확보할 수 있다. 이들 영역을 가짐으로써, 소정 셀의 횡배선을, 인접 셀에 대하여 들어가게 한 패터닝을 행할 수 있다. 따라서, 발열 영역을 인접한 셀간에서 공유한 형태로 할 수 있다. 이와 같은 형태에서는, 소인 방향으로 협폭인 히터라도, 종배선이 밀집하여 직선적으로 이어진 영역이 형성되는 것을 방지하여, 종배선이 밀집하지 않도록 분산시킬 수 있다.In contrast, in the present invention, by having a pattern (P 1 ) or a pattern (P 2 ), patterning is performed so that the lateral wiring of a given cell is inserted into an adjacent cell. That is, the pattern P 1 is formed so that the second row horizontal wiring part X 2 is shorter than the first row horizontal wiring part X 1 and the third row horizontal wiring part X3, as illustrated in FIG. 1 Likewise, an area that accommodates other patterns of resistance heating wires 12 can be secured in the area surrounded by the dotted line. Likewise, the pattern (P 2 ) is such that the second row horizontal wiring portion (X 2 ) is formed longer than the first row horizontal wiring portion (X 1 ) and the third row horizontal wiring portion (X 3 ), as illustrated in FIG. 2 As shown, an area that accommodates other patterns of resistance heating wires 12 can be secured in the area surrounded by the dotted line. By having these areas, it is possible to perform patterning in which the horizontal wiring of a given cell is inserted into an adjacent cell. Therefore, the heating area can be shared between adjacent cells. In this form, even if the heater has a narrow width in the sweep direction, it is possible to prevent the formation of a linearly connected area where the vertical wires are crowded and to disperse the vertical wires so that they are not crowded.

상술한 바와 같이, 본 히터가 구비하는 저항 발열 배선(12)의 각각은, 소인 방향(D1)으로, 제1 열, 제2 열, 제3 열의 순으로 나란히 배치된 적어도 3열의 횡배선부(X)를 갖고 있다. 즉, 본 히터를 구성하는 저항 발열 배선(12)은 횡배선부(X)로서 이들 3열만을 갖는 패턴이어도 되지만, 4열 이상의 횡배선부(X)를 구비해도 된다. 또한, 4열 이상의 횡배선부(X)를 구비하는 경우에는, 제1 열, 제2 열, 제3 열은, 저항 발열 배선(12)의 어느 횡배선부(X)의 연속된 3개를 취출한 것이어도 된다.As described above, each of the resistance heating wirings 12 provided in this heater includes at least three rows of horizontal wiring portions arranged side by side in the sweep direction D 1 in the order of the first row, the second row, and the third row. I have (X). That is, the resistance heating wiring 12 constituting this heater may have a pattern having only these three rows as the horizontal wiring portions X, or may be provided with four or more rows of horizontal wiring portions X. In addition, in the case of providing four or more rows of horizontal wiring portions (X), the first, second, and third rows are three consecutive horizontal wiring portions It may be taken out.

그리고, 본 히터에 배설된 저항 발열 배선(12)은, 각각, 이들 횡배선부(X)간을 접속하는 종배선부(Y)를 구비하고 있다. 또한, 이들 횡배선부(X)와 종배선부(Y)가 연결되어, 전체로서 저항 발열 배선(12)은 꾸불꾸불한 형상(사행 형상)의 패턴(이하, 간단히 「꾸불꾸불한 패턴」이라고도 함)으로 되어 있다.And, the resistance heating wiring 12 disposed in this heater is each provided with a vertical wiring portion Y that connects these horizontal wiring portions X. In addition, these horizontal wiring portions ).

또한, 당연히, 본 히터는, 기체 상에, 상술한 꾸불꾸불한 패턴을 갖는 저항 발열 배선만을 구비해도 되고, 꾸불꾸불한 패턴을 갖지 않는 다른 형태의 저항 발열 배선을, 꾸불꾸불한 패턴을 갖는 저항 발열 배선에 더하여 구비하고 있어도 된다.In addition, of course, this heater may be provided with only the resistance heating wiring having the above-described serpentine pattern on the base, or other types of resistance heating wiring without the serpentine pattern may be used as resistors having the serpentine pattern. It may be provided in addition to the heat generation wiring.

상기 패턴(P1)은 제1 열 횡배선부(X1)가 제2 열 횡배선부(X2)에 비해 길고, 또한 제2 열 횡배선부(X2)가 제3 열 횡배선부(X3)에 비해 짧게 형성된 패턴이다.In the pattern (P 1 ), the first row horizontal wiring part (X 1 ) is longer than the second row horizontal wiring part (X 2 ), and the second row horizontal wiring part (X 2 ) is longer than the third row horizontal wiring part (X 2 ). It is a shorter pattern than (X 3 ).

즉, 바꾸어 말하면, 제2 열 횡배선부(X2)가, 소인 방향(D1)에 있어서, 제1 열 횡배선부(X1)와 제3 열 횡배선부(X3) 사이에 배치되고, 또한 제2 열 횡배선부(X2)의 폭 방향(D2)의 길이가, 제1 열 횡배선부(X1) 및 제3 열 횡배선부(X3)의 폭 방향(D2)의 길이보다도 짧게 형성된 패턴이다.That is, in other words, the second row horizontal wiring portion (X 2 ) is disposed between the first row horizontal wiring portion (X 1 ) and the third row horizontal wiring portion ( In addition, the length of the second row horizontal wiring portion (X 2 ) in the width direction (D 2 ) is equal to the width direction (D) of the first row horizontal wiring portion (X 1 ) and the third row horizontal wiring portion ( 2 ) It is a pattern formed shorter than the length.

따라서, 제1 열 횡배선부(X1)의 폭 방향(D2)의 길이를 LX1이라 하고, 제2 열 횡배선부(X2)의 폭 방향(D2)의 길이를 LX2라 하고, 제3 열 횡배선부(X3)의 폭 방향(D2)의 길이를 LX3이라 한 경우, 「LX1>LX2」 또한 「LX3>LX2」이다.Therefore , the length in the width direction (D 2 ) of the first row horizontal wiring portion (X 1 ) is L In the case where the length of the third row horizontal wiring portion (X 3 ) in the width direction (D 2 ) is L

또한, 각각의 장단의 정도는 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어 0.05≤LX2/{(LX1+LX3)/2}<1로 할 수 있다. 이 값은, 0.2≤LX2/{(LX1+LX3)/2}≤0.95가 바람직하고, 0.5≤LX2/{(LX1+LX3)/2}≤0.9가 보다 바람직하다. 특히, LX2/{(LX1+LX3)/2}가 0.5 이상인 경우에는, 제1 열 횡배선부(X1)와 제2 열 횡배선부(X2)와 제3 열 횡배선부(X3)의 각각의 길이가 과도하게 상이한 것이 억제된다. 이 형태는, 후술하는 바와 같이, 저항 발열 배선(12)이 정의 저항 발열 계수를 갖는 경우에 특히 적합하다. 즉, 길이가 과도하게 상이한 것이 억제됨으로써, 저항 발열 배선(12)이 자율적으로 발열 상태를 균일화시키기 쉽게 할 수 있다.In addition, the degree of each long and short is not particularly limited, but can be set to, for example, 0.05≤L This value is preferably 0.2≤L _ In particular , when L Excessive differences in the respective lengths of (X 3 ) are suppressed. This form is particularly suitable when the resistance heating wiring 12 has a positive resistance heating coefficient, as will be described later. That is, by suppressing excessive differences in length, it is possible to make it easy for the resistance heating wiring 12 to autonomously equalize the heat generation state.

여기서, 제1 열 횡배선부(X1)와 제3 열 횡배선부(X3)의 폭 방향(D2)의 길이는, 어느 한쪽이 다른 쪽에 비해 길게 형성되어도 되고, 동일한 길이여도 된다.Here, the length of the first row horizontal wiring part

상기 패턴(P2)은 제1 열 횡배선부(X1)가 제2 열 횡배선부(X2)에 비해 짧고, 또한 제2 열 횡배선부(X2)가 제3 열 횡배선부(X3)에 비해 길게 형성된 패턴이다.In the pattern (P 2 ), the first row horizontal wiring part (X 1 ) is shorter than the second row horizontal wiring part (X 2 ), and the second row horizontal wiring part (X 2 ) is shorter than the third row horizontal wiring part (X 2 ). It is a pattern formed longer than (X 3 ).

즉, 바꾸어 말하면, 제2 열 횡배선부(X2)가, 소인 방향(D1)에 있어서, 제1 열 횡배선부(X1)와 제3 열 횡배선부(X3) 사이에 배치되고, 또한 제2 열 횡배선부(X2)의 폭 방향(D2)의 길이가, 제1 열 횡배선부(X1) 및 제3 열 횡배선부(X3)의 폭 방향(D2)의 길이보다도 길게 형성된 패턴이다.That is, in other words, the second row horizontal wiring portion (X 2 ) is disposed between the first row horizontal wiring portion (X 1 ) and the third row horizontal wiring portion ( In addition, the length of the second row horizontal wiring portion (X 2 ) in the width direction (D 2 ) is equal to the width direction (D) of the first row horizontal wiring portion (X 1 ) and the third row horizontal wiring portion ( It is a pattern formed longer than the length of 2 ).

따라서, 제1 열 횡배선부(X1)의 폭 방향(D2)의 길이를 LX1이라 하고, 제2 열 횡배선부(X2)의 폭 방향(D2)의 길이를 LX2라 하고, 제3 열 횡배선부(X3)의 폭 방향(D2)의 길이를 LX3이라 한 경우, 「LX1<LX2」 또한 「LX3<LX2」이다.Therefore , the length in the width direction (D 2 ) of the first row horizontal wiring portion (X 1 ) is L In the case where the length of the third row horizontal wiring portion (X 3 ) in the width direction (D 2 ) is L

또한, 각각의 장단의 정도는 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어 1<LX2/{(LX1+LX3)/2}≤5로 할 수 있다. 이 값은, 1.05≤LX2/{(LX1+LX3)/2}≤3이 바람직하고, 1.1≤LX2/{(LX1+LX3)/2}≤2가 보다 바람직하다. 특히, LX2/{(LX1+LX3)/2}가 2 이하인 경우에는, 제1 열 횡배선부(X1)와 제2 열 횡배선부(X2)와 제3 열 횡배선부(X3)의 각각의 길이가 과도하게 상이한 것이 억제된다. 이 형태는, 후술하는 바와 같이, 저항 발열 배선(12)이 정의 저항 발열 계수를 갖는 경우에 특히 적합하다. 즉, 길이가 과도하게 상이한 것이 억제됨으로써, 저항 발열 배선(12)이 자율적으로 발열 상태를 균일화시키기 쉽게 할 수 있다.In addition, the degree of each long and short is not particularly limited, but can be set to, for example, 1 < L This value is preferably 1.05≤L _ In particular , when L Excessive differences in the respective lengths of (X 3 ) are suppressed. This form is particularly suitable when the resistance heating wiring 12 has a positive resistance heating coefficient, as will be described later. That is, by suppressing excessive differences in length, it is possible to make it easy for the resistance heating wiring 12 to autonomously equalize the heat generation state.

여기서, 제1 열 횡배선부(X1)와 제3 열 횡배선부(X3)의 폭 방향(D2)의 길이는, 어느 한쪽이 다른 쪽에 비해 길게 형성되어도 되고, 동일한 길이여도 된다.Here, the length of the first row horizontal wiring part

또한, 패턴(P1) 및 패턴(P2)은 1개의 저항 발열 배선(12)이 이들 양쪽의 특성을 구비하고 있어도 된다. 구체적으로는, 예를 들어 폭 방향(D2)으로 소정의 길이를 갖는 횡배선부(X)와, 폭 방향(D2)의 길이가 횡배선부(X)보다도 짧은 횡배선부(X')를 소인 방향으로 교대로 구비한 패턴을 갖는 저항 발열 배선(12)은 패턴(P1)과, 패턴(P2)의 양쪽의 특성을 갖게 된다.Additionally, for the pattern P 1 and the pattern P 2 , one resistance heating wire 12 may have both of these characteristics. Specifically, for example, a horizontal wiring portion (X) having a predetermined length in the width direction (D 2 ) , and a horizontal wiring portion ( The resistance heating wiring 12 having a pattern in which ) are alternately provided in the sweep direction has characteristics of both the pattern (P 1 ) and the pattern (P 2 ).

또한, 제1 열 횡배선부(X1)의 폭 방향(D2)의 길이 LX1, 제2 열 횡배선부(X2)의 폭 방향(D2)의 길이 LX2, 제3 열 횡배선부(X3)의 폭 방향(D2)의 길이 LX3 등, 횡배선부의 길이의 측정은, 도 4 및 도 5에 도시한 대로이다. 즉, 소인 방향에 대하여 수직인 가상선(U)을 상정하고, 이 가상선(U)에 의해 구획되는 최장의 길이를 각각의 횡배선부의 길이인 것으로 한다. In addition , the length L The length of the horizontal wiring portion, such as the length L That is, an imaginary line U perpendicular to the sweep direction is assumed, and the longest length defined by this imaginary line U is assumed to be the length of each horizontal wiring portion.

상술한 패턴(P1) 및 패턴(P2)은, 기체 상에 배설된 복수의 저항 발열 배선(12) 중 적어도 1개의 저항 발열 배선의 패턴으로서, 패턴(P1) 또는 패턴(P2) 중 적어도 어느 하나를 갖고 있으면 되지만, 기체 상에 배설된 복수의 저항 발열 배선(12) 중, 상이한 2개의 저항 발열 배선의 패턴으로서, 패턴(P1)과 패턴(P2)의 양쪽을 갖는 것이 바람직하다.The above-described pattern (P 1 ) and pattern (P 2 ) are patterns of at least one resistance heating wire among the plurality of resistance heating wires (12) arranged on the base, and are either pattern (P 1 ) or pattern (P 2 ). It is sufficient to have at least one of the above, but among the plurality of resistance heating wires 12 disposed on the body, as the pattern of two different resistance heating wires, one having both the pattern P 1 and the pattern P 2 desirable.

이와 같이, 상이한 2개의 저항 발열 배선(12)의 패턴으로서, 패턴(P1)과 패턴(P2)의 양쪽을 갖는 히터에서는, 이들 패턴(P1) 및 패턴(P2)은 불규칙하게 배치되어 있어도 되지만, 양자가 인접하여 배치되어도 된다(도 3, 도 8-도 14 참조).In this way, in the heater having both the pattern P 1 and the pattern P 2 as two different patterns of the resistance heating wiring 12, the patterns P 1 and the patterns P 2 are arranged irregularly. Alternatively, both may be arranged adjacent to each other (see FIGS. 3, 8-14).

양자가 인접하여 배치되는 경우에는, 횡배선부(X)끼리의 요철을 맞물리게 할 수 있기 때문에, 종배선부(Y)에 의해 형성되는 소인 궤적을, 폭 방향(D2)에서 겹치지 않도록 분산시키면서, 밀한 전체 패턴을 형성할 수 있다. 이 때문에, 소인 방향으로 협폭인 히터에 있어서도 균열성이 우수한 히터로 할 수 있다. 나아가, 적어도 3개의 인접한 저항 발열 배선(12)에 있어서, 패턴(P1)과 패턴(P2)이 교대로 배치되어 있는 것이 바람직하다. 즉, 예를 들어 패턴(P1)과 패턴(P2)과 패턴(P1)이 폭 방향(D2)으로 이 순서로 나란히 배치된 형태나, 패턴(P2)과 패턴(P1)과 패턴(P2)이 폭 방향(D2)으로 이 순서로 나란히 배치된 형태 등을 들 수 있다.In the case where both are arranged adjacent to each other, the unevenness of the horizontal wiring portions A dense overall pattern can be formed. For this reason, even a heater with a narrow width in the sweep direction can be made into a heater with excellent cracking properties. Furthermore, in at least three adjacent resistance heating wires 12, it is preferable that the patterns P 1 and P 2 are alternately arranged. That is, for example, the pattern (P 1 ) and the pattern (P 2 ) and the pattern (P 1 ) are arranged side by side in this order in the width direction (D 2 ), or the pattern (P 2 ) and the pattern (P 1 ). and a pattern (P 2 ) arranged side by side in this order in the width direction (D 2 ).

또한, 특히, 패턴(P1) 및 패턴(P2)은, 후술하는 바와 같이, 동일한 조건 하에서 측정되는 저항값이 동일한 것이 바람직하고, 특히 길이가 동일한 패턴인(횡배선부와 종배선부의 합계 길이가 동일한) 것이 바람직하다.In addition, in particular, it is preferable that the pattern P 1 and the pattern P 2 have the same resistance value measured under the same conditions, as will be described later, and in particular, the pattern has the same length (the total of the horizontal wiring portion and the vertical wiring portion). It is preferable that the length is the same.

또한, 1개의 기체 상에 배치되는 저항 발열 배선(12)의 수는 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어 3 이상으로 할 수 있다. 상한은, 기체의 폭 방향의 길이에 따라 적절한 수로 할 수 있지만, 예를 들어 24 이하로 할 수 있다.Additionally, the number of resistance heating wires 12 disposed on one base is not particularly limited, but can be, for example, three or more. The upper limit can be an appropriate number depending on the length of the body in the width direction, but can be, for example, 24 or less.

또한, 저항 발열 배선(12)은 어떻게 배치해도 되고, 배치에 대해서도 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어 소인 방향(D1)과는 대략 수직인 폭 방향(D2)으로, 나란히 배치할 수 있다.In addition, the resistance heating wiring 12 may be arranged in any way, and there is no particular limitation on the arrangement, but for example, they can be arranged side by side in the width direction D 2 which is substantially perpendicular to the sweep direction D 1 .

또한, 복수의 저항 발열 배선(12)이 폭 방향(D2)으로 나란히 배치되는 경우에는, 각 저항 발열 배선(12)이 갖는 종배선부(Y)는, 인접한 저항 발열 배선(12)끼리에 있어서, 대향되지 않아도 되지만, 본 히터에서는, 간극을 두고 대향되는 것이 바람직하다. 즉, 인접한 저항 발열 배선(12)의 종배선부(Y)끼리가 간극을 두고 대향되어, 대향 개소(Z)를 형성하고 있는 것이 바람직하다(도 3 참조).In addition, when a plurality of resistance heating wirings 12 are arranged side by side in the width direction D 2 , the vertical wiring portion Y of each resistance heating wiring 12 is connected to the adjacent resistance heating wirings 12. However, in this heater, it is preferable that they face each other with a gap. That is, it is preferable that the vertical wiring portions (Y) of adjacent resistance heating wirings 12 face each other with a gap to form an opposing location (Z) (see Fig. 3).

(2) 대향 개소(A∼C)의 상관에 대하여(2) Regarding the correlation between opposing points (A to C)

본 히터에 있어서, 소인 방향(D1)으로 적어도 3열의 횡배선부(X)를 구비한 저항 발열 배선(12)이, 폭 방향(D2)으로 적어도 4개 나란히 배치되어 있는 경우에는, 하기와 같이, 대향 개소(B)의 간극의 소인 궤적(TB)을, 대향 개소(A)와 대향 개소(C) 사이이며, 또한 어느 한쪽의 측으로 치우쳐 위치시킴으로써, 균열성이 우수한 히터로 할 수 있다(도 6 참조).In this heater, when at least four resistance heating wirings 12 having at least three rows of horizontal wiring portions X in the sweep direction D 1 are arranged side by side in the width direction D 2 , as follows: As shown, by positioning the sweep trace (T B ) of the gap at the opposing point (B) between the opposing point (A) and the opposing point (C) with a bias toward either side, a heater with excellent cracking properties can be made. There is (see Figure 6).

즉, 본 히터에서는, 소인 방향(D1)과는 대략 수직인 폭 방향(D2)으로, 제1 배선(L1), 제2 배선(L2), 제3 배선(L3), 제4 배선(L4)의 순으로 배열하고, 적어도 4개의 저항 발열 배선(12)을 구비한 형태에 있어서, 인접한 저항 발열 배선(12)의 종배선부(Y)끼리에서 대향 개소를 형성할 수 있다.That is, in this heater, in the width direction D 2 which is approximately perpendicular to the sweep direction D 1 , the first wiring L 1 , the second wiring L 2 , the third wiring L 3 , and the In the form in which the four wirings (L 4 ) are arranged in order and provided with at least four resistance heating wirings (12), opposing points can be formed between the vertical wiring portions (Y) of the adjacent resistance heating wirings (12). .

이 경우에 있어서, 제1 배선(L1)의 제1 열 횡배선부(X11) 및 제2 열 횡배선부(X12)를 연결하는 종배선부(Y112)와, 제2 배선(L2)의 제1 열 횡배선부(X21) 및 제2 열 횡배선부(X22)를 연결하는 종배선부(Y212)가 간극을 두고 대향된 대향 개소를, 대향 개소(A)라 하고,In this case, a vertical wiring portion (Y 112 ) connecting the first row horizontal wiring portion (X 11 ) and the second row horizontal wiring portion (X 12 ) of the first wiring ( L 1 ), and a second wiring (L) 2 ) The opposing location where the vertical wiring portion (Y 212 ) connecting the first row horizontal wiring portion (X 21 ) and the second row horizontal wiring portion (X 22 ) are opposed with a gap is referred to as the opposing location (A) ,

제2 배선(L2)의 제2 열 횡배선부(X22) 및 제3 열 횡배선부(X23)를 연결하는 종배선부(Y223)와, 제3 배선(L3)의 제2 열 횡배선부(X32) 및 제3 열 횡배선부(X33)를 연결하는 종배선부(Y323)가 간극을 두고 대향된 대향 개소를, 대향 개소(B)라 하고,A vertical wiring part (Y 223 ) connecting the second row horizontal wiring part (X 22 ) and the third row horizontal wiring part (X 23 ) of the second wiring (L 2 ), and the second row of the third wiring (L 3 The opposing location where the vertical wiring portion (Y 323 ) connecting the row horizontal wiring portion (X 32 ) and the third row horizontal wiring portion (X 33 ) are opposed with a gap is called the opposing location (B),

제3 배선(L3)의 제1 열 횡배선부(X31) 및 제2 열 횡배선부(X32)를 연결하는 종배선부(Y312)와, 제4 배선(L4)의 제1 열 횡배선부(X41) 및 제2 열 횡배선부(X42)를 연결하는 종배선부(Y412)가 간극을 두고 대향된 대향 개소를, 대향 개소(C)라 한 경우에,A vertical wiring part (Y 312 ) connecting the first row horizontal wiring part (X 31 ) and the second row horizontal wiring part (X 32 ) of the third wiring (L 3 ), and the first row of the fourth wiring (L 4 ) In the case where the vertical wiring portion (Y 412 ) connecting the row horizontal wiring portion (X 41 ) and the second row horizontal wiring portion (

대향 개소(B)의 간극의 소인 궤적(TB)이, 대향 개소(A)의 간극의 소인 궤적(TA)과, 대향 개소(C)의 간극의 소인 궤적(TC) 사이에 위치됨과 함께, 대향 개소(A)의 간극의 소인 궤적(TA) 및 대향 개소(C)의 간극의 소인 궤적(TC) 중 어느 한쪽의 측으로 치우쳐 위치되는 것이 바람직하다(도 6 참조).The sweep trace T B of the gap at the opposing point B is located between the sweep trace T A of the gap at the opposing point A and the sweep trace T C of the gap at the opposing point C ; Together, it is preferable that the position is biased toward one of the sweep trace T A of the gap at the opposing point A and the sweep trace T C of the gap at the opposing point C (see Fig. 6).

즉, 이 형태를 위해, 대향 개소(B)를 형성하고 있는 종배선부(Y223) 및 종배선부(Y323)의 2개의 종배선부가 모두, 대향 개소(A) 또는 대향 개소(C)의 측으로 치우쳐 배치되는 것이 바람직하다.That is, for this form, the two vertical wiring portions Y 223 and Y 323 forming the opposing location B are both connected to the opposing location A or the opposing location C. It is preferable that they are arranged lopsidedly.

대향 개소(B)는, 어느 정도, 대향 개소(A) 또는 대향 개소(C)의 측으로 치우쳐 있어도 되지만, 예를 들어 대향 개소(A)의 간극의 소인 궤적(TA)과 대향 개소(B)의 간극의 소인 궤적(TB)의 간극의 폭 방향(D2)의 길이를 WAB라 하고, 대향 개소(B)의 간극의 소인 궤적(TB)과 대향 개소(C)의 간극의 소인 궤적(TC)의 간극의 폭 방향(D2)의 길이를 WBC라 한 경우(도 6 참조)에, 0.02≤WAB/WBC≤50으로 할 수 있다. 이 값은, 0.1≤WAB/WBC≤10이 바람직하고, 0.15≤WAB/WBC≤6.5가 보다 바람직하다.The opposing location B may be biased to a certain extent toward the opposing location A or the opposing location C. For example, the sweep trace T A of the gap between the opposing location A and the opposing location B The length in the width direction (D 2 ) of the gap between the sweep trace T B of the gap is W AB , and the sweep trace of the gap between the gap trace T B at the opposing point B is When the length of the gap in the trace T C in the width direction D 2 is W BC (see FIG. 6), 0.02 ≤ W AB /W BC ≤ 50. This value is preferably 0.1≤W AB /W BC≤10 , and more preferably 0.15≤W AB /W BC≤6.5 .

이와 같이, 대향 개소(B)의 간극의 소인 궤적이, 대향 개소(A)와 대향 개소(C)의 각각의 간극의 소인 궤적의 사이에 위치되고, 또한 대향 개소(B)의 간극의 소인 궤적이, 대향 개소(A) 및 대향 개소(C)의 각각의 간극의 소인 궤적 중 어느 한쪽의 측으로 치우쳐 위치되어 있는 경우에는, 종배선부(Y)가 밀집된 영역인 대향 개소가, 소인 방향(D1)으로 규칙적으로 나타나는 것을 방지할 수 있다. 이 때문에, 소인 방향으로 협폭인 히터에 있어서도 균열성이 우수한 히터로 할 수 있다.In this way, the sweep trace of the gap at the opposing point (B) is located between the sweep traces of the respective gaps at the opposing point (A) and the opposing point (C), and the sweep trace of the gap at the opposing point (B) is also located between the sweep traces of the gap at the opposing point (B). In the case where the opposing location (A) and the opposing location (C) are located biased toward one of the sweep traces of each gap, the opposing location, which is an area where the vertical wiring portion (Y) is densely located, is located in the sweep direction (D 1 ) can be prevented from appearing regularly. For this reason, even a heater with a narrow width in the sweep direction can be made into a heater with excellent cracking properties.

전술한 패턴(P1) 및 패턴(P2)의 형태는, 제1 배선(L1), 제2 배선(L2), 제3 배선(L3) 및 제4 배선(L4) 중 어느 저항 발열 배선도 갖지 않고, 이들 이외의 저항 발열 배선이 패턴(P1) 및/또는 패턴(P2)을 가짐으로써 히터로서 성립되어 있어도 된다. 그러나, 본 히터에서는, 제1 배선(L1), 제2 배선(L2), 제3 배선(L3) 및 제4 배선(L4) 중 적어도 1개의 저항 발열 배선이, 패턴(P1) 또는 패턴(P2)을 갖는 것이 바람직하다.The form of the above-described pattern (P 1 ) and pattern (P 2 ) is any of the first wiring (L 1 ), the second wiring (L 2 ), the third wiring (L 3 ), and the fourth wiring (L 4 ). It may be established as a heater by not having a resistance heating wiring and having resistance heating wiring other than these having a pattern (P 1 ) and/or a pattern (P 2 ). However, in this heater, at least one resistance heating wire among the first wire (L 1 ), the second wire (L 2 ), the third wire (L 3 ), and the fourth wire (L 4 ) has a pattern (P 1 ) or a pattern (P 2 ) is preferred.

또한, 본 히터에서는, 제1 배선(L1), 제2 배선(L2), 제3 배선(L3) 및 제4 배선(L4) 중, 제2 배선(L2) 및 제3 배선(L3)이 패턴(P1) 및 패턴(P2)을 각각 갖는 것이 바람직하다. 즉, 예를 들어 제2 배선(L2)이 패턴(P1)을 갖고, 제3 배선(L3)이 패턴(P2)을 갖는 형태나, 제2 배선(L2)이 패턴(P2)을 갖고, 제3 배선(L3)이 패턴(P1)을 갖는 형태인 것이 바람직하다. 이와 같은 형태는, 각각 저항 발열 배선이 존재하는 영역을 보다 콤팩트하게 집약할 수 있어, 자기 온도 균형 작용의 관점에서 바람직하다(도 8, 도 10-도 14 참조).In addition, in this heater, among the first wiring (L 1 ), the second wiring (L 2 ), the third wiring (L 3 ), and the fourth wiring (L 4 ), the second wiring (L 2 ) and the third wiring (L 3 ) preferably has a pattern (P 1 ) and a pattern (P 2 ), respectively. That is, for example, the second wiring (L 2 ) has a pattern (P 1 ), the third wiring (L 3 ) has a pattern (P 2 ), or the second wiring (L 2 ) has a pattern (P 2 ). 2 ), and the third wiring (L 3 ) preferably has a pattern (P 1 ). This form is preferable from the viewpoint of self-temperature balancing function because it allows the areas where each resistance heating wiring exists to be more compactly integrated (see Figs. 8, 10-14).

(3) 대향 개소(D∼E)의 상관에 대하여(3) Regarding the correlation of opposing points (D to E)

본 히터에 있어서, 소인 방향(D1)으로 적어도 4열의 횡배선부(X)를 구비한 저항 발열 배선(12)이, 폭 방향(D2)으로 적어도 2개 나란히 배치되어 있는 경우에는, 하기와 같이, 대향 개소(D)의 간극의 소인 궤적과, 대향 개소(E)의 간극의 소인 궤적이 겹치지 않도록 폭 방향으로 이격되어 있음으로써, 균열성이 우수한 히터로 할 수 있다(도 7 참조).In this heater, when at least two resistance heating wirings 12 having at least four rows of horizontal wiring portions X in the sweep direction D 1 are arranged side by side in the width direction D 2 , as follows: As shown, the sweep trace of the gap at the opposing point (D) and the sweep trace of the gap at the opposing point (E) are spaced apart in the width direction so as not to overlap, so that a heater with excellent cracking properties can be obtained (see Fig. 7). .

본 히터에서는, 저항 발열 배선(12)이, 소인 방향(D1)으로, 제1 열, 제2 열, 제3 열, 제4 열의 순으로 나란히 배치된 적어도 4열의 횡배선부(X)를 가질 수 있다. 본 히터를 구성하는 저항 발열 배선(12)은 횡배선부(X)로서 이들 4열만을 갖는 패턴이어도 되지만, 5열 이상의 횡배선부(X)를 구비해도 된다. 또한, 5열 이상의 횡배선부(X)를 구비하는 경우에는, 제1 열, 제2 열, 제3 열, 제4 열은, 저항 발열 배선(12)의 어느 횡배선부(X)의 연속된 4개를 취출한 것이어도 된다.In this heater, the resistance heating wiring 12 has at least four rows of horizontal wiring portions You can have it. The resistance heating wiring 12 constituting this heater may have a pattern having only these four rows as horizontal wiring portions (X), or may be provided with five or more rows of horizontal wiring portions (X). In addition, in the case of providing five or more rows of horizontal wiring portions It may be taken out of the four.

그리고, 본 히터에 배설된 저항 발열 배선(12)은, 각각, 이들 횡배선부(X)간을 접속하는 종배선부(Y)를 구비하고 있다. 또한, 이들 횡배선부(X)와 종배선부(Y)가 연결되어, 전체로서 저항 발열 배선(LS 및 LT)은 꾸불꾸불한 패턴으로 되어 있다.And, the resistance heating wiring 12 disposed in this heater is each provided with a vertical wiring portion Y that connects these horizontal wiring portions X. Additionally, these horizontal wiring portions (X) and vertical wiring portions (Y) are connected, and the resistance heating wirings LS and LT as a whole have a sinuous pattern.

또한, 본 히터에서는, 상술한 바와 같은, 적어도 4열의 횡배선부(X)를 가진 저항 발열 배선(12)을 인접하여, 적어도 2개 구비할 수 있다.In addition, in this heater, at least two resistance heating wirings 12 having at least four rows of horizontal wiring portions X as described above can be provided adjacent to each other.

즉, 소인 방향(D1)과는 대략 수직인 폭 방향(D2)으로, 적어도 4열의 횡배선부(X)를 가진 소정의 저항 발열 배선(LS)과, 적어도 4열의 횡배선부(X)를 가진 소정의 저항 발열 배선(LT)의 2개의 저항 발열 배선(12)을, 인접하여 배치할 수 있다. 그리고, 이 형태에 있어서, 저항 발열 배선(LS 및 LT)의 종배선부(Y)끼리에서 대향 개소를 형성할 수 있다.That is, in the width direction (D 2 ) approximately perpendicular to the sweep direction (D 1 ), a predetermined resistance heating wiring (L S ) having at least 4 rows of horizontal wiring portions (X), and at least 4 rows of horizontal wiring portions ( Two resistance heating wires (12) of a given resistance heating wire (L T ) having X) can be placed adjacent to each other. And in this form, opposing positions can be formed between the vertical wiring portions Y of the resistance heating wirings LS and LT .

이와 같은 경우에는, 저항 발열 배선(LS)의 제1 열 횡배선부(XS1) 및 제2 열 횡배선부(XS2)를 연결하는 종배선부(YS12)와, 저항 발열 배선(LT)의 제1 열 횡배선부(XT1) 및 제2 열 횡배선부(XT2)를 연결하는 종배선부(YT12)가 간극을 두고 대향된 대향 개소를, 대향 개소(D)라 하고,In this case, the vertical wiring part (Y S12 ) connecting the first row horizontal wiring part (X S1 ) and the second row horizontal wiring part (X S2 ) of the resistance heating wiring ( LS ), and the resistance heating wiring (L The opposing location where the vertical wiring portion (Y T12 ) connecting the first row horizontal wiring portion (X T1 ) and the second row horizontal wiring portion ( ,

저항 발열 배선(LS)의 제3 열 횡배선부(XS3) 및 제4 열 횡배선부(XS4)를 연결하는 종배선부(YS34)와, 저항 발열 배선(LT)의 제3 열 횡배선부(XT3) 및 제4 열 횡배선부(XT4)를 연결하는 종배선부(YT34)가 간극을 두고 대향된 대향 개소를, 대향 개소(E)라 한 경우에,A vertical wiring part (Y S34 ) connecting the third row horizontal wiring part (X S3 ) and the fourth row horizontal wiring part (X S4 ) of the resistance heating wiring (L S ), and the third row of the resistance heating wiring (L T ) In the case where the opposing location where the vertical wiring portion (Y T34 ) connecting the row horizontal wiring portion (X T3 ) and the fourth row horizontal wiring portion (X T4 ) is opposed with a gap is referred to as the opposing location (E),

대향 개소(D)의 간극의 소인 궤적(TD)과, 대향 개소(E)의 간극의 소인 궤적(TE)은 겹치지 않는 것이 바람직하고, 나아가 대향 개소(D)의 간극의 소인 궤적(TD)과, 대향 개소(E)의 간극의 소인 궤적(TE)이 폭 방향으로 이격되어 있는 것이 바람직하다(도 7 참조).It is preferable that the sweep trace T D of the gap at the opposing point D and the sweep trace T E of the gap at the opposing point E do not overlap, and further, the sweep trace T of the gap at the opposing point D It is preferable that D ) and the sweep trace T E of the gap at the opposing location E are spaced apart in the width direction (see FIG. 7 ).

즉, 소인 궤적(TD)과 소인 궤적(TE)의 이격 거리 WDE가 0㎛를 초과하는 것이 바람직하다. 보다 구체적으로는, WDE는, 소인 궤적(TD) 및 소인 궤적(TE) 중 폭(폭 방향 D2에 있어서의 폭)이 보다 작은 소인 궤적의 폭과 동일하거나, 그것보다도 큰 것이 바람직하다. 한편, 이 WDE는, 소인 궤적(TD)의 폭과, 소인 궤적(TE)의 폭의 적산폭보다는 작은 것이 바람직하다. 이와 같은 형태는, 각각 저항 발열 배선이 존재하는 영역을 보다 콤팩트하게 집약할 수 있어, 자기 온도 균형 작용의 관점에서 바람직하다.That is, it is preferable that the separation distance W DE between the sweep trace T D and the sweep trace T E exceeds 0 μm. More specifically, W DE is preferably equal to or larger than the width of the sweep trace (width in the width direction D 2 ) with a smaller width (width in the width direction D 2 ) among the sweep trace (T D ) and the sweep trace (TE). do. On the other hand, it is preferable that this W DE is smaller than the integrated width of the width of the sweep trace T D and the width of the sweep trace T E . This form is preferable from the viewpoint of self-temperature balancing function because it allows the areas where each resistance heating wiring exists to be more compactly integrated.

이와 같이, 대향 개소(D)의 간극의 소인 궤적(TD)과, 대향 개소(E)의 간극의 소인 궤적(TE)이 겹치지 않고, 대향 개소(D)의 간극의 소인 궤적(TD)과, 대향 개소(E)의 간극의 소인 궤적(TE)이 폭 방향으로 이격되어 있는 경우에는, 종배선부(Y)가 밀집된 영역인 대향 개소가, 소인 방향(D1)으로 규칙적으로 나타나는 것을 방지할 수 있다. 이 때문에, 소인 방향으로 협폭인 히터에 있어서도 균열성이 우수한 히터로 할 수 있다.In this way, the sweep trace T D of the gap at the opposing point D does not overlap with the sweep trace T E of the gap at the opposing point E, and the sweep trace T D of the gap at the opposing point D ) and the sweep trace T E of the gap at the opposing location E are spaced apart in the width direction, the opposing location, which is an area where the vertical wiring portion Y is dense, appears regularly in the sweep direction D 1 can be prevented. For this reason, even a heater with a narrow width in the sweep direction can be made into a heater with excellent cracking properties.

또한, 제1 배선(L1), 제2 배선(L2), 제3 배선(L3) 및 제4 배선(L4)에 있어서, 전술한 패턴(P1) 및 패턴(P2)과 형태는, 어느 배선이 구비해도 되고, 또한 구비하고 있지 않아도 되고, 특별히 한정되지 않는다.In addition, in the first wiring (L 1 ), the second wiring (L 2 ), the third wiring (L 3 ), and the fourth wiring (L 4 ), the above-described pattern (P 1 ) and pattern (P 2 ) The form is not particularly limited, and any wiring may or may not be provided.

또한, 당연히, 저항 발열 배선(12)이 소인 방향(D1)으로, 제1 열, 제2 열, 제3 열, 제4 열의 순으로 나란히 배치된 적어도 4열의 횡배선부(X)를 갖고, 또한 이들 횡배선부(X)간을 접속하는 종배선부(Y)를 구비하고, 횡배선부(X)와 종배선부(Y)가 연결되어, 전체로서 저항 발열 배선(LS 및 LT)은 꾸불꾸불한 패턴으로 되고, 또한 폭 방향(D2)으로, 제1 배선(L1), 제2 배선(L2), 제3 배선(L3), 제4 배선(L4)의 순으로 배열되며, 적어도 4개의 저항 발열 배선(12)을 구비한 형태로서, 인접한 저항 발열 배선(12)의 종배선부(Y)끼리에서 대향 개소를 형성하고 있는 경우에는, 전술한 대향 개소(A)∼(E)의 모든 대향 개소를 동시에 구비할 수 있다.In addition, of course, the resistance heating wiring 12 has at least four rows of horizontal wiring portions , and also includes a vertical wiring portion (Y) connecting these horizontal wiring portions (X), and the horizontal wiring portion (X) and the vertical wiring portion (Y) are connected to form resistance heating wiring (L S and L T ) as a whole. becomes a sinuous pattern, and in the width direction (D 2 ), in the order of the first wiring (L 1 ), the second wiring (L 2 ), the third wiring (L 3 ), and the fourth wiring (L 4 ). It is arranged in a form having at least four resistance heating wires 12, and in the case where the longitudinal wiring portions (Y) of adjacent resistance heating wires 12 form opposing locations, the opposing locations (A) described above are All opposing locations of ~(E) can be provided simultaneously.

즉, 대향 개소(B)의 간극의 소인 궤적(TB)이, 대향 개소(A)의 간극의 소인 궤적(TA)과, 대향 개소(C)의 간극의 소인 궤적(TC) 사이에 위치됨과 함께, 대향 개소(A)의 간극의 소인 궤적(TA) 및 대향 개소(C)의 간극의 소인 궤적(TC) 중 어느 한쪽의 측으로 치우쳐 위치되고, 또한 대향 개소(D)의 간극의 소인 궤적(TD)과, 대향 개소(E)의 간극의 소인 궤적(TE)은 겹치지 않고, 대향 개소(D)의 간극의 소인 궤적(TD)과, 대향 개소(E)의 간극의 소인 궤적(TE)이 폭 방향으로 이격된 형태로 할 수 있다(도 12-도 14 참조).That is, the sweep trace T B of the gap at the opposing point B is between the sweep trace T A of the gap at the opposing point A and the sweep trace T C of the gap at the opposing point C. As it is positioned, it is positioned biased toward one of the sweep trace T A of the gap at the opposing point A and the sweep trace T C of the gap at the opposing point C The sweep trace T D of the gap at the opposing point E does not overlap, and the sweep trace T D of the gap at the opposing point D and the gap between the opposing point E The sweep traces (T E ) of can be spaced apart in the width direction (see FIGS. 12-14).

(4) 저항 발열 배선에 대하여(4) About resistance heating wiring

본 히터에 배설되는 저항 발열 배선(12)에 있어서, 횡배선부(X)와 종배선부(Y)는 동일한 길이여도 되고, 어느 한쪽이 보다 길게 형성되어 있어도 되지만, 횡배선부(X)가 종배선부(Y)보다도 길게 형성되어 있는 것이 바람직하다. 전술한 각 패턴은, 횡배선부(X)가 종배선부(Y)보다도 길게 형성된 패턴에 있어서 보다 효과적으로 기능되기 때문이다.In the resistance heating wiring 12 disposed in this heater, the horizontal wiring portion (X) and the vertical wiring portion (Y) may be of the same length, or one may be formed longer, but the horizontal wiring portion ( It is preferable that it is formed longer than the line portion (Y). This is because each of the above-described patterns functions more effectively in a pattern in which the horizontal wiring portion (X) is formed longer than the vertical wiring portion (Y).

횡배선부(X)가 종배선부(Y)보다도 길게 형성되어 있는 경우, 그 정도는 특별히 한정되지 않지만, 횡배선부(X)의 폭 방향(D2)의 길이를 LX라 하고, 종배선부(Y)의 소인 방향(D1)의 길이를 LY라 한 경우에, 예를 들어 1<LX/LY≤1000으로 할 수 있다. 이 비율은 1.5≤LX/LY≤300이 바람직하고, 2≤LX/LY≤150이 보다 바람직하다.When the horizontal wiring portion (X) is formed to be longer than the vertical wiring portion (Y), the extent is not particularly limited , but the length of the horizontal wiring portion ( When the length of the sweep direction (D 1 ) of (Y) is L Y , for example, 1 < L This ratio is preferably 1.5≤L

또한, 횡배선부(X)의 폭 방향(D2)의 길이 LX의 측정은, 전술과 마찬가지로, 도 4 및 도 5에 도시한 바와 같다. 즉, 소인 방향에 대하여 수직인 가상선(U)을 상정하고, 이 가상선(U)에 의해 구획되는 최장의 길이를 횡배선부(X)의 길이 LX라 한다. 한편, 종배선부(Y)의 소인 방향(D1)의 길이 LY의 측정은, 도 4 및 도 5에 도시한 바와 같다. 즉, 소인 방향에 대하여 수직인 가상선(U)을 상정하고, 이 가상선(U)에 의해 구획되는 최장의 길이를 종배선부(Y)의 길이 LY라 한다.In addition, the measurement of the length L That is, an imaginary line U perpendicular to the sweep direction is assumed, and the longest length defined by this imaginary line U is referred to as the length L Meanwhile, the measurement of the length L Y in the sweep direction D 1 of the vertical wiring portion Y is as shown in FIGS. 4 and 5. That is, an imaginary line (U) perpendicular to the sweep direction is assumed, and the longest length defined by this imaginary line (U) is called the length L Y of the vertical wiring portion (Y).

또한, 저항 발열 배선(12)을 구성하는 횡배선부(X) 및 종배선부(Y)는 각각 곡선이어도 되지만, 본 히터에서는 직선적인 패턴인 것이 바람직하다.In addition, the horizontal wiring part

또한, 저항 발열 배선(12)을 구성하는 횡배선부(X)는, 소인 방향(D1)에 대하여 대략 수직으로 배치되면 된다. 구체적으로는, 소인 방향(D1)에 대하여 90도로 배치되어도 되고, 소인 방향(D1)에 대하여 소정의 각도로 경사져도 된다. 이 중, 소인 방향(D1)에 대하여 경사져 있는 경우에는, 통상 소인 방향(D1)에 대하여 80도를 초과하고 100도 이하(단, 90도를 제외함)의 범위이다. 또한, 횡배선부(X)는 복수열 존재하지만, 이들은, 서로 평행하지 않아도 되지만, 서로 평행한 것이 바람직하다.In addition, the horizontal wiring portion Specifically, it may be arranged at 90 degrees with respect to the sweep direction D 1 or may be inclined at a predetermined angle with respect to the sweep direction D 1 . Among these, when it is inclined with respect to the sweep direction D 1 , it is usually in the range of exceeding 80 degrees and 100 degrees or less (however, excluding 90 degrees) with respect to the sweep direction D 1 . In addition, there are multiple rows of horizontal wiring portions

한편, 저항 발열 배선(12)을 구성하는 종배선부(Y)는 인접한 횡배선부(X)끼리를 전기적으로 접속할 수 있으면 되고, 배치 형태는 특별히 한정되지 않지만, 통상 소인 방향(D1)에 대하여 평행 또는 경사져 배치된다. 구체적으로는, 소인 방향(D1)에 대하여 0도로 배치되어도 되고, 소인 방향(D1)에 대하여 소정의 각도로 경사져도 된다. 이 중, 소인 방향(D1)에 대하여 경사져 있는 경우에는, 소인 방향(D1)에 대하여 -80도 이상 80도 이하의 범위로 할 수 있다. 이 각도는, 또한, -60도 이상 60도 이하가 바람직하고, -50도 이상 50도 이하가 보다 바람직하다.On the other hand, the vertical wiring portion Y constituting the resistance heating wiring 12 can electrically connect adjacent horizontal wiring portions They are arranged parallel or inclined. Specifically, it may be arranged at 0 degrees with respect to the sweep direction D 1 or may be inclined at a predetermined angle with respect to the sweep direction D 1 . Among these, when it is inclined with respect to the sweep direction D 1 , it can be set to a range of -80 degrees or more and 80 degrees or less with respect to the sweep direction D 1 . This angle is preferably -60 degrees or more and 60 degrees or less, and more preferably -50 degrees or more and 50 degrees or less.

또한, 종배선부(Y)끼리는, 각각 상이한 배치 형태로 할 수 있지만, 각 대향 개소를 형성한다는 관점에서는, 인접한 상이한 저항 발열 배선끼리의 종배선부(Y)는 대략 평행인 것이 바람직하다. 즉, 예를 들어 전술한 바와 같이, 대향 개소(A)를 구성하는 제1 배선(L1)의 종배선부(Y112)와 제2 배선(L2)의 종배선부(Y212)는, 대략 평행인 것이 바람직하다. 이것은, 대향 개소(B)∼(E) 및 그 밖의 대향 개소에 있어서도 마찬가지이다.Additionally, the vertical wiring portions (Y) can be arranged in different configurations, but from the viewpoint of forming opposing locations, it is preferable that the vertical wiring portions (Y) of different adjacent resistance heating wirings are substantially parallel. That is, for example, as described above, the vertical wiring portion Y 112 of the first wiring L 1 and the vertical wiring portion Y 212 of the second wiring L 2 constituting the opposing location A are approximately It is desirable to be parallel. This also applies to opposing locations (B) to (E) and other opposing locations.

본 히터의 저항 발열 배선을 구성하는 도전 재료는, 통전에 의해 그 저항값에 따른 발열이 가능한 도전 재료이다. 저항 발열 배선에 사용하는 도전 재료의 종류는 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어 은, 구리, 금, 백금, 팔라듐, 로듐, 텅스텐, 몰리브덴, 레늄(Re) 및 루테늄(Ru) 등을 사용할 수 있다. 이들은 1종만을 사용해도 되고 2종 이상을 병용해도 된다. 2종 이상을 병용하는 경우에 있어서는 합금으로 할 수 있다. 보다 구체적으로는, 은-팔라듐 합금, 은-백금 합금, 백금-로듐 합금, 은-루테늄, 은, 구리 및 금 등을 이용할 수 있다.The conductive material constituting the resistance heating wiring of this heater is a conductive material capable of generating heat according to its resistance value when energized. The type of conductive material used for resistance heating wiring is not particularly limited, but for example, silver, copper, gold, platinum, palladium, rhodium, tungsten, molybdenum, rhenium (Re), and ruthenium (Ru) can be used. These may be used alone or two or more types may be used together. When two or more types are used together, an alloy can be used. More specifically, silver-palladium alloy, silver-platinum alloy, platinum-rhodium alloy, silver-ruthenium, silver, copper, and gold can be used.

또한, 각 저항 발열 배선은, 어떠한 저항 발열 특성을 갖고 있어도 되지만, 각 저항 발열 배선의 사이에서, 자기 온도 균형 작용(자기 온도 보완 작용)을 발휘할 수 있는 것이 바람직하다. 그 관점에서, 저항 발열 배선을 구성하는 도전 재료는, 정의 저항 발열 계수를 갖는 것이 바람직하다. 구체적으로는, -200℃ 이상 1000℃ 이하의 온도 범위에 있어서의 저항 온도 계수가 100ppm/℃ 이상 4400ppm/℃ 이하인 것이 바람직하고, 또한 300ppm/℃ 이상 3700ppm/℃ 이하인 것이 보다 바람직하고, 500ppm/℃ 이상 3000ppm/℃ 이하인 것이 특히 바람직하다. 이와 같은 재료로서는 은-팔라듐 합금 등의 은계 합금을 들 수 있다.Additionally, each resistance heat generation wiring may have any resistance heat generation characteristic, but it is preferable that a self-temperature balancing action (self-temperature compensation action) can be exerted among each resistance heat generation wiring. From that point of view, it is preferable that the conductive material constituting the resistance heating wiring has a positive resistance heating coefficient. Specifically, the temperature coefficient of resistance in the temperature range of -200°C to 1000°C is preferably 100ppm/°C to 4400ppm/°C, more preferably 300ppm/°C to 3700ppm/°C, and 500ppm/°C. It is especially preferable that it is 3000ppm/℃ or less. Examples of such materials include silver-based alloys such as silver-palladium alloy.

이와 같이, 정의 저항 온도 계수를 갖는 도전 재료를 사용하여 형성된 저항 발열 배선이 병렬로 접속되어 있는 경우, 이들 복수의 저항 발열 배선끼리는 자기 온도 균형의 작용을 발휘한다. 즉, 예를 들어 제1 저항 발열 배선과 제3 저항 발열 배선 사이에 끼워져, 제2 저항 발열 배선이 있는 경우, 제2 저항 발열 배선의 온도가 저하되면, 열이 주위의 제1 저항 발열 배선 및 제3 저항 발열 배선으로부터 보충되게 된다. 그렇게 되면, 온도가 저하된 제1 저항 발열 배선 및 제3 저항 발열 배선에의 전류가 증가되어, 빼앗긴 열에 의한 온도 저하를 자율적으로 회복하려고 하는 작용이 작동하게 된다. 즉, 제2 저항 발열 배선의 주위의 저항 발열 배선이, 제2 저항 발열 배선의 온도 저하를 보완하도록 행동하게 된다. 이와 같이, 본 히터는, 복수의 저항 발열 배선에 걸쳐 균일하게 발열하도록 자율적으로 제어할 수 있다.In this way, when resistance heating wires formed using a conductive material having a positive temperature coefficient of resistance are connected in parallel, these plural resistance heating wires exert a self-temperature balancing effect. That is, for example, if there is a second resistance heating wire sandwiched between the first resistance heating wire and the third resistance heating wire, when the temperature of the second resistance heating wire decreases, heat is transferred to the surrounding first resistance heating wire and It is supplemented from the third resistance heating wiring. In this case, the current to the first resistance heat generation wiring and the third resistance heat generation wiring whose temperature has decreased increases, and an action to autonomously recover the temperature decrease due to the lost heat is activated. That is, the resistance heat generation wiring around the second resistance heat generation wiring acts to compensate for the decrease in temperature of the second resistance heat generation wiring. In this way, this heater can be autonomously controlled to generate heat uniformly across a plurality of resistance heating wires.

저항 발열 배선의 치수(폭, 길이, 두께 등)는 특별히 한정되지 않고, 사용하는 도전 재료나 요구되는 전기 특성에 따라서, 적절히 정할 수 있다. 단, 보다 우수한 자기 온도 균형의 작용을 얻는다고 하는 관점에서, 저항 발열 배선 중 소정의 저항 발열 배선(LQ)의 제1 열 횡배선부(XQ1)의 소인 궤적과, 제2 열 횡배선부(XQ2)의 소인 궤적과, 제3 열 횡배선부(XQ3)의 소인 궤적이 모두 중복되는 길이(K)는, 제1 열 횡배선부(XQ1), 제2 열 횡배선부(XQ2) 및 제3 열 횡배선부(XQ3)의 합계 길이에 대하여 8% 이상(상한은 33.333%)인 것이 바람직하다. 이 범위임으로써, 각각 저항 발열 배선이, 존재하는 영역이 보다 콤팩트해져, 상기 범위 외인 경우에 비해, 보다 우수한 자기 온도 균형의 작용을 얻을 수 있다. 이 값은, 또한, 10% 이상이 보다 바람직하고, 19% 이상이 특히 바람직하다. 또한, 이 비율은 큰 쪽이 바람직하지만, 예를 들어 33% 이하, 또한 32% 이하, 특히 31% 이하로 할 수 있다.The dimensions (width, length, thickness, etc.) of the resistance heating wiring are not particularly limited and can be determined appropriately depending on the conductive material used and the required electrical characteristics. However, from the viewpoint of obtaining a better self-temperature balance effect, the sweep trace of the first row horizontal wiring portion ( The length (K) over which the sweep trace of (X Q2 ) and the sweep trace of the third row horizontal wiring portion ( It is preferable that it is 8% or more (the upper limit is 33.333%) with respect to the total length of the third row horizontal wiring portion (X Q2 ) and the third row horizontal wiring portion (X Q3 ). By being within this range, the area where each resistive heating wiring exists becomes more compact, and a better self-temperature balance effect can be obtained compared to cases outside the above range. This value is more preferably 10% or more, and particularly preferably 19% or more. In addition, it is preferable that this ratio is larger, but can be, for example, 33% or less, further 32% or less, especially 31% or less.

또한, 각 저항 발열 배선끼리가, 실질적으로 동일한 발열량으로 되도록 하는 경우에는, 각 저항 발열 배선이 실질적으로 동일한 저항값으로 되도록 형성하면 된다. 그 경우, 저항 발열 배선은, 동일한 선 길이, 동일한 선 폭 및 동일한 두께로, 마찬가지의 배선 패턴으로서 형성할 수 있다. 저항 발열 배선의 두께는, 예를 들어 면적 고유 저항의 관점에서 3㎛ 이상 40㎛ 이하로 할 수 있다.In addition, in the case where each resistance heat generation wiring has substantially the same heat generation value, each resistance heat generation wiring may be formed so that the resistance value is substantially the same. In that case, the resistance heating wiring can be formed as a similar wiring pattern with the same line length, same line width, and same thickness. The thickness of the resistance heating wiring can be, for example, 3 μm or more and 40 μm or less from the viewpoint of area specific resistance.

또한, 실질적으로 동일한 발열량을 갖는다란, 각 저항 발열 배선이, 동일한 측정 조건 하에서, 실질적으로 동일한 저항 온도 계수와 저항값을 갖는 것을 의미한다. 예를 들어, 저항 발열 배선간에서의 저항 온도 계수의 차이가 ±20% 이내이며, 또한 저항 발열 배선간에서의 저항값의 차이를 ±10% 이내로 할 수 있다.In addition, having substantially the same calorific value means that each resistance heat generation wiring has substantially the same resistance temperature coefficient and resistance value under the same measurement conditions. For example, the difference in temperature coefficient of resistance between resistance heating wirings can be within ±20%, and the difference in resistance values between resistance heating wirings can be within ±10%.

(5) 기체에 대하여(5) About the aircraft

기체(11)는 저항 발열 배선을 지지하는 기판이다.The base 11 is a board that supports resistance heating wiring.

기체의 치수나 형상은 특별히 한정되지 않지만, 소인 방향(D1)의 길이보다도 폭 방향(D2)의 길이가 긴 형상인 경우에, 특히 본 발명에 구성에 의한 효과를 얻기 쉽다. 구체적으로는, 예를 들어 기체의 소인 방향(D1)의 길이를 LD1이라 하고, 기체의 폭 방향(D2)의 길이를 LD2라 한 경우에, 길이의 비(LD1/LD2)는 0.001 이상 0.25 이하로 할 수 있다. 이 비는, 또한, 0.005 이상 0.2 이하가 바람직하고, 0.01 이상 0.15 이하가 보다 바람직하다. 또한, 그 두께는, 예를 들어 기체의 재질이나 치수 등에 따라서 0.1∼20㎜로 할 수 있다.The size or shape of the body is not particularly limited, but in the case of a shape in which the length in the width direction (D 2 ) is longer than the length in the sweep direction (D 1 ), the effect of the structure of the present invention is particularly easy to be obtained. Specifically, for example, if the length in the sweep direction (D 1 ) of the body is L D1 and the length in the width direction (D 2 ) of the body is L D2 , the length ratio (L D1 /L D2 ) can be between 0.001 and 0.25. This ratio is preferably 0.005 or more and 0.2 or less, and more preferably 0.01 or more and 0.15 or less. Additionally, the thickness can be, for example, 0.1 to 20 mm depending on the material and dimensions of the base.

기체의 재질은, 그 표면 상에서 저항 발열 배선을 발열시킬 수 있으면 되고, 특별히 한정되지 않는다. 기체로서, 예를 들어 금속, 세라믹스 및 이들의 복합 재료 등을 이용할 수 있다. 금속 등의 도전재를 사용하는 경우에는, 기체는 그 도전재 상에 절연층(도시하지 않음)을 형성하여 구성할 수 있다. 이 경우, 저항 발열 배선은 절연층 상에 형성되게 된다.The material of the base is not particularly limited as long as it can cause resistance heating wiring to generate heat on its surface. As the base, for example, metal, ceramics, and composite materials thereof can be used. When using a conductive material such as metal, the base can be constructed by forming an insulating layer (not shown) on the conductive material. In this case, the resistance heating wiring is formed on the insulating layer.

기체를 구성하는 금속으로서는, 스틸 등을 들 수 있고, 그 중에서도 스테인리스를 적합하게 사용할 수 있다. 스테인리스의 종류는 특별히 한정되지 않고, 페라이트계 스테인리스 및/또는 오스테나이트계 스테인리스가 바람직하다. 또한 이들 스테인리스 중에서도 특히 내열성 및/또는 내산화성이 우수한 품종이 바람직하다. 예를 들어, SUS430, SUS436, SUS444, SUS316L 등을 들 수 있다. 이들은 1종만을 사용해도 되고 2종 이상을 병용해도 된다.Examples of metals constituting the base include steel and the like, and among them, stainless steel can be suitably used. The type of stainless steel is not particularly limited, and ferritic stainless steel and/or austenitic stainless steel are preferred. Also, among these stainless steels, varieties with particularly excellent heat resistance and/or oxidation resistance are preferred. For example, SUS430, SUS436, SUS444, SUS316L, etc. can be mentioned. These may be used alone or two or more types may be used together.

또한, 기체를 구성하는 금속으로서, 알루미늄, 마그네슘, 구리 및 이들 금속의 합금을 사용할 수 있다. 이들은 1종만으로 사용해도 되고 2종 이상을 병용해도 된다. 그 중, 알루미늄, 마그네슘 및 이들의 합금(알루미늄 합금, 마그네슘 합금, Al-Mg 합금 등)은 비중이 작기 때문에, 이들을 채용함으로써 본 히터의 경량화를 도모할 수 있다. 또한, 구리 및 그 합금은 열전도성이 우수하기 때문에, 이들을 채용함으로써 본 히터의 균열성의 향상을 도모할 수 있다.Additionally, as the metal constituting the base, aluminum, magnesium, copper, and alloys of these metals can be used. These may be used alone or two or more types may be used together. Among them, aluminum, magnesium and their alloys (aluminum alloy, magnesium alloy, Al-Mg alloy, etc.) have a small specific gravity, so by employing them, the weight of this heater can be reduced. Additionally, since copper and its alloys have excellent thermal conductivity, the cracking properties of this heater can be improved by employing them.

전술한 바와 같이, 기체를 구성하는 재료로서 도전재를 사용하는 경우에는, 그 도전재 상에 절연층을 형성하는 것이 바람직하다. 절연층의 재료는, 기체를 구성하는 도전재와 저항 발열 배선 사이의 전기적 절연을 달성할 수 있으면 되고, 특별히 한정되지 않지만, 특히 유리, 세라믹스, 유리ㆍ세라믹스 등이 바람직하다. 이들 중에서도 기체를 구성하는 재료로서 금속(스테인리스 등)을 사용하는 경우, 절연층의 재료는, 그 열팽창 밸런스의 관점에서, 유리가 바람직하고, 결정화 유리 및 반결정화 유리가 보다 바람직하다. 구체적으로는, SiO2-Al2O3-MO계 유리가 바람직하다. 여기서, MO는 알칼리 토금속의 산화물(MgO, CaO, BaO, SrO 등)이다. 절연층의 두께는 특별히 한정되지 않지만, 30∼200㎛인 것이 바람직하다.As described above, when using a conductive material as a material constituting the base, it is desirable to form an insulating layer on the conductive material. The material of the insulating layer is not particularly limited as long as it can achieve electrical insulation between the conductive material constituting the base and the resistance heating wiring, but glass, ceramics, glass/ceramics, etc. are particularly preferable. Among these, when using a metal (stainless steel, etc.) as a material constituting the base, the material of the insulating layer is preferably glass from the viewpoint of its thermal expansion balance, and crystallized glass and semi-crystallized glass are more preferable. Specifically, SiO 2 -Al 2 O 3 -MO-based glass is preferable. Here, MO is an oxide of an alkaline earth metal (MgO, CaO, BaO, SrO, etc.). The thickness of the insulating layer is not particularly limited, but is preferably 30 to 200 μm.

또한, 세라믹스를 사용하여 기체를 구성하는 경우에는, 고온에 있어서, 기체 상에 설치되는 저항 발열 배선과의 사이의 전기적 절연을 달성할 수 있는 것이면 된다. 예를 들어, 산화알루미늄, 질화알루미늄, 지르코니아, 실리카, 멀라이트, 스피넬, 코디에라이트, 질화규소 등을 들 수 있다. 이들은 1종만을 사용해도 되고 2종 이상을 병용해도 된다. 이들 중, 산화알루미늄 및 질화알루미늄이 바람직하다. 또한, 금속과 세라믹스의 복합 재료로서는, SiC/C나, SiC/Al 등을 들 수 있다. 이들은 1종만을 사용해도 되고 2종 이상을 병용해도 된다.Additionally, when constructing a base using ceramics, any material that can achieve electrical insulation between resistance heating wiring installed on the base at high temperatures is sufficient. Examples include aluminum oxide, aluminum nitride, zirconia, silica, mullite, spinel, cordierite, and silicon nitride. These may be used alone or two or more types may be used together. Among these, aluminum oxide and aluminum nitride are preferred. Additionally, composite materials of metal and ceramics include SiC/C and SiC/Al. These may be used alone or two or more types may be used together.

또한, 전술한 바와 같이, 히터의 발열면과 피가열물이 대면된 상태에서, 피가열물과 히터를 상대적으로 소인 방향(D1)으로 소인시켜 피가열물을 가열하는 경우, 기체의 소인 방향(D1)의 단면 형상은, 소인 방향(D1)과 직교하는 축을 중심으로 하여 피가열물과의 대면측으로 볼록 형상인 원호 형상(즉, 원기둥 또는 원통을, 중심축에 평행인 평면으로 잘라낸 형상)으로 할 수 있다. 그리고, 각 저항 발열 배선은, 볼록 형상의 면 상에 배설할 수도 있고, 반대측의 면(오목 형상의 면) 상에 배설할 수도 있다. 이와 같은 형상으로 함으로써, 히터를 원통형의 롤에 부착하고, 롤을 회전시킴으로써, 롤 상에서 소인되는 피가열물을 효율적으로 가열할 수 있다.In addition, as described above, when heating the object to be heated by sweeping the object to be heated and the heater in a relative sweep direction (D 1 ) with the heating surface of the heater facing the object to be heated, the sweep direction of the gas The cross-sectional shape of (D 1 ) is an arc shape that is convex on the side facing the object to be heated, centered on an axis perpendicular to the sweep direction (D 1 ) (i.e., a cylinder or cylinder cut with a plane parallel to the central axis). shape). Additionally, each resistance heating wire may be arranged on the convex surface or on the opposite surface (concave surface). With such a shape, the heated object swept on the roll can be efficiently heated by attaching the heater to the cylindrical roll and rotating the roll.

(6) 그 밖의 회로 등에 대하여(6) Regarding other circuits, etc.

본 히터는, 전술한 저항 발열 배선 이외에도, 다른 회로를 구비할 수 있다. 다른 회로로서는, 저항 발열 배선에 전극을 공급하기 위한 급전 배선, 본 히터에 전극을 공급하기 위한 외부 배선을 접속하는 랜드 등을 들 수 있다. 이들은 1종만을 구비해도 되고 2종 이상을 구비해도 된다.This heater may be provided with other circuits in addition to the resistance heating wiring described above. Other circuits include power supply wiring for supplying electrodes to the resistance heating wiring, lands for connecting external wiring for supplying electrodes to the main heater, and the like. These may have only one type or two or more types.

저항 발열 배선은, 그 자체가, 급전 배선부(R)를 구비하고 있어도 된다(도 15).The resistance heating wiring itself may be provided with a power supply wiring portion R (FIG. 15).

(7) 용도에 대하여(7) About use

본 히터는, 인쇄기, 복사기, 팩시밀리 등의 화상 형성 장치나 정착 장치 등에 내장되어, 기록 매체에 토너나 잉크 등을 정착하는 정착용 히터로서 이용할 수 있다. 또한, 가열기에 내장되어, 패널 등의 피처리체를 균일하게 가열(건조 또는 소성 등)하는 가열 장치로서 이용할 수 있다. 그 밖에, 금속 제품의 열처리, 각종 형상의 기체에 형성된 도막, 피막의 열처리 등을 적합하게 행할 수 있다. 구체적으로는, 플랫 패널 디스플레이용의 도막(필터 구성 재료)의 열처리, 도장된 금속 제품, 자동차 관련 제품, 목공 제품 등의 도장 건조, 정전 식모 접착 건조, 플라스틱 가공 제품의 열처리, 프린트 기판의 땜납 리플로우, 후막 집적 회로의 인쇄 건조 등에 이용할 수 있다.This heater is built into an image forming device or fixing device such as a printer, copier, or facsimile, and can be used as a fixing heater for fixing toner, ink, etc. to a recording medium. Additionally, it can be built into a heater and used as a heating device for uniformly heating (drying or baking, etc.) a target object such as a panel. In addition, heat treatment of metal products, heat treatment of coating films and coatings formed on substrates of various shapes, etc. can be suitably performed. Specifically, heat treatment of coating films (filter constituent materials) for flat panel displays, coating drying of painted metal products, automobile-related products, woodworking products, etc., electrostatic hair transplantation adhesion drying, heat treatment of plastic processed products, and solder ripple of printed circuit boards. It can be used for printing and drying low and thick film integrated circuits.

(8) 실시 형태에 대하여(8) About embodiment

이상으로부터, 본 히터는, 예를 들어 이하와 같은 실시 형태로 할 수 있다. 또한, 이하의 실시 형태에 따른 도 8-도 15는, 도면 상에 부호를 붙일 수 있도록, 애스펙트비를 변경(소인 방향(D1)이 커지고, 폭 방향(D2)으로 작아지도록 변경)하여 도시한 모식적인 평면도이다.From the above, this heater can have the following embodiments, for example. In addition, in FIGS. 8 to 15 according to the following embodiment, the aspect ratio is changed (changed to become larger in the sweep direction D 1 and smaller in the width direction D 2 ) so that symbols can be attached to the drawings. This is a schematic floor plan.

<실시 형태 1><Embodiment 1>

실시 형태 1의 히터를 모식적으로 도시하는 평면도를 도 8에 도시하였다.A plan view schematically showing the heater of Embodiment 1 is shown in FIG. 8.

실시 형태 1의 히터는 기체(11)를 갖는다. 이 기체(11)는 소인 방향(D1)의 길이 LD1과 폭 방향(D2)의 길이 LD2의 비(LD1/LD2)가 0.013 이상 0.076 이하로 되어, 소인 방향(D1)의 길이보다도 폭 방향(D2)의 길이가 긴 형상이다(이하의 실시 형태에서는, 모두 마찬가지의 기체임). 또한, 기체(11) 상에 각각 따로 급전을 받는 5개의 저항 발열 배선(12)을 구비한다. 각 저항 발열 배선은, 은-팔라듐 합금을 포함하는 페이스트의 베이킹에 의해 형성되어 있고, 각각 정의 저항 발열 계수를 갖고, 각 저항 발열 배선간에서의 저항 온도 계수의 차이는 ±20% 이내로 되어 있다(이하의 실시 형태에서는, 모두 마찬가지의 저항 발열 배선임).The heater of Embodiment 1 has a gas (11). In this body 11, the ratio (L D1 /L D2 ) of the length L D1 in the sweep direction (D 1 ) and the length L D2 in the width direction (D 2 ) is 0.013 or more and 0.076 or less, so that the sweep direction (D 1 ) It is a shape in which the length in the width direction (D 2 ) is longer than the length of (in the following embodiments, all are the same substrates). Additionally, five resistance heating wires 12 each receiving power separately are provided on the body 11. Each resistance heating wiring is formed by baking a paste containing a silver-palladium alloy, each has a positive resistance heating coefficient, and the difference in resistance temperature coefficient between each resistance heating wiring is within ±20% ( In the following embodiments, all resistance heating wiring is the same).

또한, 이들 모든 저항 발열 배선(12)은 소인 방향 D1로, 제1 열, 제2 열, 제3 열의 순으로 나란히 배치된 3열의 횡배선부(X)와, 횡배선부간을 접속하는 종배선부(Y)를 갖고 있다. 모든 횡배선부(X)는, 모두, 종배선부(Y)보다도 길게 형성되고, 또한, 모든 종배선(Y)은 소인 방향 D1에 대하여 경사져 패터닝되어 있다. 그리고, 횡배선부(X)는 종배선부(Y)에 의해 전기적으로 접속되어 꾸불꾸불한 형상으로 형성되어 있다.In addition, all of these resistive heating wires 12 have three rows of horizontal wiring sections It has a line (Y). All of the horizontal wiring portions And, the horizontal wiring portion (X) is electrically connected by the vertical wiring portion (Y) and is formed into a sinuous shape.

또한, 이들 5개의 저항 발열 배선(12)은 소인 방향 D1과는 수직인 폭 방향 D2로, 도 8의 좌측으로부터, 제1 배선(L1), 제2 배선(L2), 제3 배선(L3), 제4 배선(L4), 제5 배선(L5)의 순으로 나란히 배치되고, 이 중, 제2 배선(L2) 및 제4 배선(L4)은 제2 열 횡배선부(X2)가 제1 열 횡배선부(X1) 및 제3 열 횡배선부(X3)보다 길게 형성된 패턴(P2)을 갖고 있다. 또한, 제3 배선(L3)은 제2 열 횡배선부(X2)가 제1 열 횡배선부(X1) 및 제3 열 횡배선부(X3)보다 짧게 형성된 패턴(P1)을 갖고 있다. 즉, 실시 형태 1의 히터(1)는 패턴(P1) 및 패턴(P2)의 양쪽을 상이한 저항 발열 배선으로서 동시에 갖고, 또한, 패턴(P1) 및 패턴(P2)은 인접하여 배치되어 있다.Additionally, these five resistance heating wires 12 are arranged in the width direction D 2 perpendicular to the sweep direction D 1 , from the left side of FIG. 8 , the first wiring L 1 , the second wiring L 2 , and the third wiring L 1 . The wiring (L 3 ), the fourth wiring (L 4 ), and the fifth wiring (L 5 ) are arranged side by side in that order, of which the second wiring (L 2 ) and the fourth wiring (L 4 ) are in the second row. The horizontal wiring portion (X 2 ) has a pattern (P 2 ) formed to be longer than the first row horizontal wiring portion (X 1 ) and the third row horizontal wiring portion (X 3 ). In addition, the third wiring (L 3 ) has a pattern (P 1 ) in which the second row horizontal wiring portion (X 2 ) is shorter than the first row horizontal wiring portion (X 1 ) and the third row horizontal wiring portion (X 3 ). has. That is, the heater 1 of Embodiment 1 simultaneously has both the pattern P 1 and the pattern P 2 as different resistance heating wires, and the pattern P 1 and the pattern P 2 are arranged adjacent to each other. It is done.

또한, 제1 배선(L1)의 제1 열 횡배선부(X11) 및 제2 열 횡배선부(X12)를 연결하는 종배선부(Y112)와, 제2 배선(L2)의 제1 열 횡배선부(X21) 및 제2 열 횡배선부(X22)를 연결하는 종배선부(Y212)가 간극을 두고 대향되어 대향 개소(A)를 형성하고 있다. 마찬가지로, 제2 배선(L2)의 제2 열 횡배선부(X22) 및 제3 열 횡배선부(X23)를 연결하는 종배선부(Y223)와, 제3 배선(L3)의 제2 열 횡배선부(X32) 및 제3 열 횡배선부(X33)를 연결하는 종배선부(Y323)는 간극을 두고 대향되어 대향 개소(B)를 형성하고 있다. 또한 마찬가지로, 제3 배선(L3)의 제1 열 횡배선부(X31) 및 제2 열 횡배선부(X32)를 연결하는 종배선부(Y312)와, 제4 배선(L4)의 제1 열 횡배선부(X41) 및 제2 열 횡배선부(X42)를 연결하는 종배선부(Y412)는 간극을 두고 대향되어 대향 개소(C)를 형성하고 있다.In addition, the vertical wiring portion (Y 112 ) connecting the first row horizontal wiring portion (X 11 ) and the second row horizontal wiring portion (X 12 ) of the first wiring (L 1 ), and the second wiring (L 2 ). Vertical wiring portions (Y 212 ) connecting the first row horizontal wiring portion (X 21 ) and the second row horizontal wiring portion ( Likewise, the vertical wiring portion (Y 223 ) connecting the second row horizontal wiring portion (X 22 ) and the third row horizontal wiring portion (X 23 ) of the second wiring ( L2 ), and the third wiring portion (L 3 ) The vertical wiring portion (Y 323 ) connecting the second-row horizontal wiring portion (X 32 ) and the third-row horizontal wiring portion ( Also, similarly, a vertical wiring part (Y 312 ) connecting the first row horizontal wiring part (X 31 ) and the second row horizontal wiring part (X 32 ) of the third wiring (L 3 ), and a fourth wiring (L 4 ) The vertical wiring portion (Y 412 ) connecting the first row horizontal wiring portion (X 41 ) and the second row horizontal wiring portion (

그리고, 대향 개소(B)의 간극의 소인 궤적 TB는, 대향 개소(A)의 간극의 소인 궤적 TA와, 대향 개소(C)의 간극의 소인 궤적 TC 사이에 위치됨과 함께, 대향 개소(A)의 간극의 소인 궤적 TA의 측으로 치우쳐 위치되어 있다. 즉, 소인 궤적 TA와 소인 궤적 TB의 간극 거리를 WAB라 하고, 소인 궤적 TB와 소인 궤적 TC의 간극 거리를 WBC라 한 경우에, WAB<WBC로 되어 있다.And, the sweep trace T B of the gap at the opposing point (B) is located between the sweep trace T A of the gap at the opposing point ( A ) and the sweep trace T C of the gap at the opposing point (C). The sweep trace of the gap in (A) is located biased toward the side of T A. That is, when the gap distance between the sweep traces T A and the sweep traces T B is set to W AB , and the gap distance between the sweep traces T B and the sweep traces T C is set to W BC , W AB <W BC .

이와 같이, 실시 형태 1의 히터는, 각각 따로 급전을 받는 5개의 저항 발열 배선(12)을 구비하면서, 각 저항 발열 배선끼리는, 소인 방향 D1에 있어서의 가열 영역이 공유되고, 게다가, 인접된 저항 발열 배선의 종배선부(Y)끼리의 대향 개소가 폭 방향 D2에서 겹치지 않도록 분산되어, 소인 방향 D1로 규칙적으로 나타나는 것을 방지하면서, 전체로서 밀한 저항 발열 배선 패턴으로 할 수 있다. 이에 의해, 소인 방향(D1)으로 횡배선부(X)가 3단밖에 없는 협폭인 히터라도, 정상적으로 자기 온도 균형을 기능시켜, 균열성이 우수한 히터로 할 수 있다.In this way, the heater of Embodiment 1 is provided with five resistance heat generation wires 12 that each receive power separately, and the heating area in the sweep direction D 1 is shared between each resistance heat generation wire, and furthermore, the adjacent heat generation wires share the heating area in the sweep direction D 1 . The opposing portions of the vertical wiring portions (Y) of the resistance heating wiring are distributed so as not to overlap in the width direction D 2 , preventing them from appearing regularly in the sweep direction D 1 , and forming a dense resistance heating wiring pattern as a whole. As a result, even if it is a narrow heater with only three horizontal wiring sections

또한, 당연히, 도 8에 도시한 형태를 좌우 거울상 반전시킨 패턴으로 할 수도 있어, 동일한 효과를 얻을 수 있다. 이하의 다른 실시 형태에서도 마찬가지이다.In addition, of course, the shape shown in FIG. 8 can be used as a left-right mirror image inverted pattern, and the same effect can be obtained. The same applies to other embodiments below.

또한, 각 종배선부(Y)는, 도 8에서는, 모두 동일한 각도로 동일한 방향으로 경사져 있지만, 이들은 각각 독립하여 상이한 각도여도 되고, 또한, 각각 독립하여 상이한 방향으로 경사져 있어도 된다. 나아가, 경사진 종배선부(Y)와, 경사지지 않은(소인 방향 D1에 평행) 종배선부(Y)가 혼재되어도 된다. 이하의 다른 실시 형태에서도 마찬가지이다.In addition, although each vertical wiring portion Y is inclined in the same direction at the same angle in FIG. 8, these may be independently different angles, and may be independently inclined in different directions. Furthermore, the inclined vertical wiring portion Y and the non-slanted vertical wiring portion Y (parallel to the sweep direction D 1 ) may be mixed. The same applies to other embodiments below.

<실시 형태 2><Embodiment 2>

실시 형태 2의 히터를 모식적으로 도시하는 평면도를 도 9에 도시하였다.A plan view schematically showing the heater of Embodiment 2 is shown in FIG. 9.

실시 형태 1의 히터는, 기체(11)와, 이 기체(11) 상에 각각 따로 급전을 받는 5개의 저항 발열 배선(12)을 구비한다. 이들 모든 저항 발열 배선(12)은 소인 방향 D1로, 제1 열, 제2 열, 제3 열의 순으로 나란히 배치된 3열의 횡배선부(X)와, 횡배선부간을 접속하는 종배선부(Y)를 갖고 있다. 모든 횡배선부(X)는 모두, 종배선부(Y)보다도 길게 형성되고, 또한 모든 종배선(Y)은 소인 방향 D1에 대하여 경사져 패터닝되어 있다. 그리고, 횡배선부(X)는 종배선부(Y)에 의해 전기적으로 접속되어 꾸불꾸불한 형상으로 형성되어 있다.The heater of Embodiment 1 includes a base body 11 and five resistance heating wires 12 each receiving power separately on the base body 11. All of these resistance heating wires 12 are composed of three rows of horizontal wiring sections ( It has Y). All of the horizontal wiring portions And, the horizontal wiring portion (X) is electrically connected by the vertical wiring portion (Y) and is formed into a sinuous shape.

또한, 이들 5개의 저항 발열 배선(12)은 소인 방향 D1과는 수직인 폭 방향 D2로, 도 9의 좌측으로부터, 제1 배선(L1), 제2 배선(L2), 제3 배선(L3), 제4 배선(L4), 제5 배선(L5)의 순으로 나란히 배치되고, 이 중, 제1 배선(L1) 및 제5 배선(L5)은, 제2 열 횡배선부(X2)가 제1 열 횡배선부(X1) 및 제3 열 횡배선부(X3)보다 짧게 형성된 패턴(P1)을 갖고 있다. 또한, 제3 배선(L3)은 제2 열 횡배선부(X2)가 제1 열 횡배선부(X1) 및 제3 열 횡배선부(X3)보다 길게 형성된 패턴(P2)을 갖고 있다. 즉, 실시 형태 2의 히터(1)는 패턴(P1) 및 패턴(P2)의 양쪽을 상이한 저항 발열 배선으로서 동시에 갖고 있다. 단, 패턴(P1) 및 패턴(P2)은 인접하여 배치되어 있지는 않다.In addition, these five resistance heating wires 12 are arranged in the width direction D 2 perpendicular to the sweep direction D 1 , from the left side of FIG. 9 , the first wiring L 1 , the second wiring L 2 , and the third wiring L 1 . The wiring (L 3 ), the fourth wiring (L 4 ), and the fifth wiring (L 5 ) are arranged side by side in that order, of which the first wiring (L 1 ) and the fifth wiring (L 5 ) are the second wiring (L 5 ). The row horizontal wiring part (X 2 ) has a pattern (P 1 ) that is shorter than the first row horizontal wiring part (X 1 ) and the third row horizontal wiring part (X 3 ). In addition, the third wiring (L 3 ) has a pattern (P 2 ) in which the second row horizontal wiring portion (X 2 ) is formed longer than the first row horizontal wiring portion (X 1 ) and the third row horizontal wiring portion (X 3 ) . has. That is, the heater 1 of Embodiment 2 simultaneously has both the pattern P 1 and the pattern P 2 as different resistance heating wires. However, the pattern (P 1 ) and the pattern (P 2 ) are not arranged adjacent to each other.

또한, 실시 형태 1의 히터(도 8)와 마찬가지로, 대향 개소(A), 대향 개소(B), 대향 개소(C)를 갖고, 소인 궤적 TB는, 소인 궤적 TA와 소인 궤적 TC 사이에 위치됨과 함께, 소인 궤적 TA의 측으로 치우쳐 위치되어 있다. 즉, 소인 궤적 TA와 소인 궤적 TB의 간극 거리를 WAB라 하고, 소인 궤적 TB와 소인 궤적 TC의 간극 거리를 WBC라 한 경우에, WAB<WBC로 되어 있다.In addition, similarly to the heater of Embodiment 1 (FIG. 8), it has opposing points (A), opposing points (B), and opposing points (C), and the sweep trace T B is between the sweep trace T A and the sweep trace T C. In addition to being located at , the location is biased toward the sweep trajectory T A. That is, when the gap distance between the sweep traces T A and the sweep traces T B is set to W AB , and the gap distance between the sweep traces T B and the sweep traces T C is set to W BC , W AB <W BC .

이와 같이, 실시 형태 2의 히터는, 각각 따로 급전을 받는 5개의 저항 발열 배선(12)을 구비하면서, 각 저항 발열 배선끼리는, 소인 방향 D1에 있어서의 가열 영역이 공유되고, 게다가, 인접된 저항 발열 배선의 종배선부(Y)끼리의 대향 개소가 폭 방향 D2에서 겹치지 않도록 분산되어, 소인 방향 D1로 규칙적으로 나타나는 것을 방지하면서, 전체로서 밀한 저항 발열 배선 패턴으로 할 수 있다. 이에 의해, 소인 방향(D1)으로 횡배선부(X)가 3단밖에 없는 협폭인 히터라도, 정상적으로 자기 온도 균형을 기능시켜, 균열성이 우수한 히터로 할 수 있다.In this way, the heater of Embodiment 2 is provided with five resistance heat generation wires 12 that each receive power separately, and the heating area in the sweep direction D 1 is shared between each resistance heat generation wire, and furthermore, the adjacent heat generation wires share the heating area in the sweep direction D 1 . The opposing portions of the vertical wiring portions (Y) of the resistance heating wiring are distributed so as not to overlap in the width direction D 2 , preventing them from appearing regularly in the sweep direction D 1 , and forming a dense resistance heating wiring pattern as a whole. As a result, even if it is a narrow heater with only three horizontal wiring sections

<실시 형태 3><Embodiment 3>

실시 형태 3의 히터를 모식적으로 도시하는 평면도를 도 10에 도시하였다.A plan view schematically showing the heater of Embodiment 3 is shown in FIG. 10.

실시 형태 3의 히터는, 기체(11)와, 이 기체(11) 상에 각각 따로 급전을 받는 5개의 저항 발열 배선(12)을 구비한다. 이들 모든 저항 발열 배선(12)은 소인 방향 D1로, 제1 열, 제2 열, 제3 열의 순으로 나란히 배치된 3열의 횡배선부(X)와, 횡배선부간을 접속하는 종배선부(Y)를 갖고 있다. 모든 횡배선부(X)는 모두, 종배선부(Y)보다도 길게 형성되고, 또한 모든 종배선(Y)은 소인 방향 D1에 대하여 경사져 패터닝되어 있다. 그리고, 횡배선부(X)는 종배선부(Y)에 의해 전기적으로 접속되어 꾸불꾸불한 형상으로 형성되어 있다.The heater of Embodiment 3 includes a base 11 and five resistance heating wires 12 each receiving power separately on the base 11. All of these resistance heating wires 12 are composed of three rows of horizontal wiring sections ( It has Y). All of the horizontal wiring portions And, the horizontal wiring portion (X) is electrically connected by the vertical wiring portion (Y) and is formed in a sinuous shape.

또한, 이들 5개의 저항 발열 배선(12)은 소인 방향 D1과는 수직인 폭 방향 D2로, 도 10의 좌측으로부터, 제1 배선(L1), 제2 배선(L2), 제3 배선(L3), 제4 배선(L4), 제5 배선(L5)의 순으로 나란히 배치되고, 이 중, 제2 배선(L2) 및 제4 배선(L4)은, 제2 열 횡배선부(X2)가 제1 열 횡배선부(X1) 및 제3 열 횡배선부(X3)보다 짧게 형성된 패턴(P1)을 갖고 있다. 또한, 제3 배선(L3)은 제2 열 횡배선부(X2)가 제1 열 횡배선부(X1) 및 제3 열 횡배선부(X3)보다 길게 형성된 패턴(P2)을 갖고 있다. 즉, 실시 형태 3의 히터(1)는 패턴(P1) 및 패턴(P2)의 양쪽을 상이한 저항 발열 배선으로서 동시에 갖고, 또한 패턴(P1) 및 패턴(P2)은 인접하여 배치되어 있다.In addition, these five resistance heating wirings 12 are arranged in the width direction D 2 perpendicular to the sweep direction D 1 , from the left side of FIG. 10 , the first wiring L 1 , the second wiring L 2 , and the third wiring L 1 . The wiring (L 3 ), the fourth wiring (L 4 ), and the fifth wiring (L 5 ) are arranged side by side in that order, of which the second wiring (L 2 ) and the fourth wiring (L 4 ) are the second wiring (L 4 ). The row horizontal wiring part (X 2 ) has a pattern (P 1 ) that is shorter than the first row horizontal wiring part (X 1 ) and the third row horizontal wiring part (X 3 ). In addition, the third wiring (L 3 ) has a pattern (P 2 ) in which the second row horizontal wiring portion (X 2 ) is formed longer than the first row horizontal wiring portion (X 1 ) and the third row horizontal wiring portion (X 3 ) . has. That is, the heater 1 of Embodiment 3 simultaneously has both the pattern P 1 and the pattern P 2 as different resistance heating wires, and the pattern P 1 and the pattern P 2 are arranged adjacent to each other. .

또한, 실시 형태 1의 히터(도 8) 및 실시 형태 2의 히터(도 9)와 마찬가지로, 대향 개소(A), 대향 개소(B), 대향 개소(C)를 갖고, 소인 궤적 TB는, 소인 궤적 TA와 소인 궤적 TC 사이에 위치됨과 함께, 소인 궤적 TA의 측으로 치우쳐 위치되어 있다. 즉, 소인 궤적 TA와 소인 궤적 TB의 간극 거리를 WAB라 하고, 소인 궤적 TB와 소인 궤적 TC의 간극 거리를 WBC라 한 경우에, WAB<WBC로 되어 있다.In addition, similarly to the heater of Embodiment 1 (FIG. 8) and the heater of Embodiment 2 (FIG. 9), it has opposing points (A), opposing points (B), and opposing points (C), and the sweep trajectory T B is: It is located between the sweep trace T A and the sweep trace T C , and is also positioned biased toward the side of the sweep trace T A. That is, when the gap distance between the sweep traces T A and the sweep traces T B is set to W AB , and the gap distance between the sweep traces T B and the sweep traces T C is set to W BC , W AB <W BC .

이와 같이, 실시 형태 3의 히터는, 각각 따로 급전을 받는 5개의 저항 발열 배선(12)을 구비하면서, 각 저항 발열 배선끼리는, 소인 방향 D1에 있어서의 가열 영역이 공유되고, 게다가, 인접된 저항 발열 배선의 종배선부(Y)끼리의 대향 개소가 폭 방향 D2에서 겹치지 않도록 분산되어, 소인 방향 D1로 규칙적으로 나타나는 것을 방지하면서, 전체로서 밀한 저항 발열 배선 패턴으로 할 수 있다. 이에 의해, 소인 방향(D1)으로 횡배선부(X)가 3단밖에 없는 협폭인 히터라도, 정상적으로 자기 온도 균형을 기능시켜, 균열성이 우수한 히터로 할 수 있다.In this way, the heater of Embodiment 3 is provided with five resistance heat generation wires 12 that each receive power separately, and the heating area in the sweep direction D 1 is shared between each resistance heat generation wire, and in addition, the adjacent heat generation wires share a heating area in the sweep direction D 1 . The opposing portions of the vertical wiring portions (Y) of the resistance heating wiring are distributed so as not to overlap in the width direction D 2 , preventing them from appearing regularly in the sweep direction D 1 , and forming a dense resistance heating wiring pattern as a whole. As a result, even if it is a narrow heater with only three horizontal wiring sections

상술한 실시 형태 1, 실시 형태 2 및 실시 형태 3에서는, 실시 형태 3보다도, 실시 형태 1 및 실시 형태 2가 균열의 관점에서 보다 바람직하다. 이것은, 실시 형태 1의 히터(도 8) 및 실시 형태 2의 히터(도 9)가 구비하는 제2 배선(L2), 제3 배선(L3) 및 제4 배선(L4)은, 실시 형태 3의 히터(도 10)가 구비하는 제2 배선(L2), 제3 배선(L3) 및 제4 배선(L4)보다도, 횡배선부(X)끼리의 소인 궤적의 중복 영역이 크기 때문이다.In Embodiment 1, Embodiment 2, and Embodiment 3 described above, Embodiment 1 and Embodiment 2 are more preferable than Embodiment 3 from the viewpoint of cracking. This means that the second wiring (L 2 ), the third wiring (L 3 ), and the fourth wiring (L 4 ) provided in the heater of Embodiment 1 (FIG. 8 ) and the heater of Embodiment 2 (FIG. 9 ) are implemented. The overlapping area of the sweep trace between the horizontal wiring portions Because it's big.

즉, 실시 형태 3의 히터의 제2 배선(L2)은, 제1 열 횡배선부(X21)의 소인 궤적과, 제2 열 횡배선부(X22)의 소인 궤적과, 제3 열 횡배선부(X23)의 소인 궤적이 모두 중복되는 길이(K)가, 제1 열 횡배선부(X21), 제2 열 횡배선부(X22) 및 제3 열 횡배선부(X23)의 합계 길이에 대하여 11.8%이다. 또한, 실시 형태 3의 히터의 제3 배선(L3)은, 제1 열 횡배선부(X31)의 소인 궤적과, 제2 열 횡배선부(X32)의 소인 궤적과, 제3 열 횡배선부(X33)의 소인 궤적이 모두 중복되는 길이(K)가 존재하지 않는 형상이다. 또한, 실시 형태 3의 히터의 제4 배선(L4)은, 제1 열 횡배선부(X41)의 소인 궤적과, 제2 열 횡배선부(X42)의 소인 궤적과, 제3 열 횡배선부(X43)의 소인 궤적이 모두 중복되는 길이(K)가, 제1 열 횡배선부(X41), 제2 열 횡배선부(X42) 및 제3 열 횡배선부(X43)의 합계 길이에 대하여 11.8%이다.That is, the second wiring L 2 of the heater of Embodiment 3 includes the sweep trace of the first row horizontal wiring part X 21 , the sweep trace of the second row horizontal wiring part X 22 , and the third row The length (K) over which the sweep trajectories of the horizontal wiring portion (X 23 ) all overlap is equal to the length K of the first row horizontal wiring portion ( 23 ) is 11.8% of the total length. In addition, the third wiring L 3 of the heater of Embodiment 3 includes a sweep trace of the first row horizontal wiring part X 31 , a sweep trace of the second row horizontal wiring part The sweep trace of the horizontal wiring portion (X 33 ) does not have an overlapping length (K). In addition, the fourth wiring L 4 of the heater of Embodiment 3 includes a sweep trace of the first row horizontal wiring part X 41 , a sweep trace of the second row horizontal wiring part The length (K) over which the sweep trajectories of the horizontal wiring portion ( 43 ) is 11.8% of the total length.

이에 비해, 실시 형태 1의 히터의 제2 배선(L2)은, 제1 열 횡배선부(X21)의 소인 궤적과, 제2 열 횡배선부(X22)의 소인 궤적과, 제3 열 횡배선부(X23)의 소인 궤적이 모두 중복되는 길이(K)가, 제1 열 횡배선부(X21), 제2 열 횡배선부(X22) 및 제3 열 횡배선부(X23)의 합계 길이에 대하여 24.3%이다. 또한, 실시 형태 1의 히터의 제3 배선(L3)은, 제1 열 횡배선부(X31)의 소인 궤적과, 제2 열 횡배선부(X32)의 소인 궤적과, 제3 열 횡배선부(X33)의 소인 궤적이 모두 중복되는 길이(K)가, 제1 열 횡배선부(X31), 제2 열 횡배선부(X32) 및 제3 열 횡배선부(X33)의 합계 길이에 대하여 16.6%이다. 또한, 실시 형태 1의 히터의 제4 배선(L4)은, 제1 열 횡배선부(X41)의 소인 궤적과, 제2 열 횡배선부(X42)의 소인 궤적과, 제3 열 횡배선부(X43)의 소인 궤적이 모두 중복되는 길이(K)가, 제1 열 횡배선부(X41), 제2 열 횡배선부(X42) 및 제3 열 횡배선부(X43)의 합계 길이에 대하여 24.3%이다.In contrast, the second wiring L 2 of the heater of Embodiment 1 has a sweep trace of the first row horizontal wiring part X 21 , a sweep trace of the second row horizontal wiring part X 22 , and a third The length (K) over which the sweep trajectories of the row horizontal wiring portion (X 23 ) all overlap is the first column horizontal wiring portion ( It is 24.3 % of the total length of In addition, the third wiring L 3 of the heater of Embodiment 1 has a sweep trace of the first row horizontal wiring part X 31 , a sweep trace of the second row horizontal wiring part The length K over which the sweep trajectories of the horizontal wiring portion (X 33 ) all overlap is equal to the length K of the first row horizontal wiring portion ( 33 ) is 16.6% of the total length. In addition, the fourth wiring L 4 of the heater of Embodiment 1 has a sweep trace of the first row horizontal wiring part X 41 , a sweep trace of the second row horizontal wiring part X 42 , and a third row The length (K) over which the sweep trajectories of the horizontal wiring portion ( 43 ) is 24.3% of the total length.

또한, 실시 형태 2의 히터의 제2 배선(L2)은, 제1 열 횡배선부(X21)의 소인 궤적과, 제2 열 횡배선부(X22)의 소인 궤적과, 제3 열 횡배선부(X23)의 소인 궤적이 모두 중복되는 길이(K)가, 제1 열 횡배선부(X21), 제2 열 횡배선부(X22) 및 제3 열 횡배선부(X23)의 합계 길이에 대하여 20.5%이다. 또한, 실시 형태 2의 히터의 제3 배선(L3)은 제1 열 횡배선부(X31)의 소인 궤적과, 제2 열 횡배선부(X32)의 소인 궤적과, 제3 열 횡배선부(X33)의 소인 궤적이 모두 중복되는 길이(K)가, 제1 열 횡배선부(X31), 제2 열 횡배선부(X32) 및 제3 열 횡배선부(X33)의 합계 길이에 대하여 16.6%이다. 또한, 실시 형태 2의 히터의 제4 배선(L4)은, 제1 열 횡배선부(X41)의 소인 궤적과, 제2 열 횡배선부(X42)의 소인 궤적과, 제3 열 횡배선부(X43)의 소인 궤적이 모두 중복되는 길이(K)가, 제1 열 횡배선부(X41), 제2 열 횡배선부(X42) 및 제3 열 횡배선부(X43)의 합계 길이에 대하여 20.5%이다.In addition, the second wiring L 2 of the heater of Embodiment 2 includes a sweep trace of the first row horizontal wiring part X 21 , a sweep trace of the second row horizontal wiring part The length (K) over which the sweep trajectories of the horizontal wiring portion (X 23 ) all overlap is equal to the length K of the first row horizontal wiring portion ( 23 ) is 20.5% of the total length. In addition, the third wiring L 3 of the heater of Embodiment 2 has a sweep trace of the first row horizontal wiring part X 31 , a sweep trace of the second row horizontal wiring part The length K over which the sweep trajectories of the wiring portion (X 33 ) all overlap is the first row horizontal wiring portion ( ) is 16.6% of the total length. In addition, the fourth wiring L 4 of the heater of Embodiment 2 has a sweep trace of the first row horizontal wiring part X 41 , a sweep trace of the second row horizontal wiring part The length (K) over which the sweep trajectories of the horizontal wiring portion ( 43 ) is 20.5% of the total length.

이와 같이, 실시 형태 1∼3의 각 히터의 제2 배선(L2), 제3 배선(L3) 및 제4 배선(L4)의 횡배선부(X)끼리의 소인 궤적의 중복을 비교하면, 실시 형태 3에 비해, 실시 형태 1 및 실시 형태 2는 크게 되어 있다. 이에 의해, 제2 배선(L2), 제3 배선(L3) 및 제4 배선(L4)의 각 저항 발열 배선이 존재하는 영역이 콤팩트해져, 보다 우수한 자기 온도 균형의 작용을 얻을 수 있기 때문이다.In this way , the overlap of sweep trajectories between the horizontal wiring portions In other words, compared to Embodiment 3, Embodiments 1 and 2 are larger. As a result, the area where each resistance heating wiring of the second wiring (L 2 ), the third wiring (L 3 ), and the fourth wiring (L 4 ) exists is compacted, and a better self-temperature balancing effect can be obtained. Because.

한편, 실시 형태 3의 히터에 있어서의 제3 배선(L3)은 제1 열 횡배선부(X31)의 소인 궤적과, 제2 열 횡배선부(X32)의 소인 궤적의 2개의 소인 궤적이 동시에 중복되는 형상으로 되어 있다. 또한, 제2 열 횡배선부(X32)의 소인 궤적과, 제3 열 횡배선부(X33)의 소인 궤적의 2개의 소인 궤적이 동시에 중복되는 형상으로 되어 있다. 그러나, 제1 열 횡배선부(X31)의 소인 궤적과, 제2 열 횡배선부(X32)의 소인 궤적과, 제3 열 횡배선부(X33)의 소인 궤적의 3개의 소인 궤적이 동시에 중복되지 않는 형상으로 되어 있다.On the other hand, the third wiring L 3 in the heater of Embodiment 3 has two sweep traces: a sweep trace of the first row horizontal wiring portion X 31 and a sweep trace of the second row horizontal wiring portion X 32 The trajectories overlap at the same time. In addition, the two sweep traces of the second row horizontal wiring portion (X 32 ) and the sweep trace of the third row horizontal wiring portion (X 33 ) are shaped to overlap at the same time. However, there are three sweep traces: the sweep trace of the first row horizontal wiring part (X 31 ), the sweep trace of the second row horizontal wiring part (X 32 ), and the sweep trace of the third row horizontal wiring part (X 33 ) At the same time, it has a shape that does not overlap.

이와 같이 저항 발열 배선은, 소인 궤적의 중복량이 적은 형상으로 함으로써, 소인 궤적의 중복량이 많은 형상의 저항 발열 배선에 비해, 저항 발열 배선이 존재하는 영역을 콤팩트하게 통합하기 어려워진다. 그러나, 실시 형태 3의 히터에서는, 제3 배선(L3)을 소인 궤적의 중복량이 적은 형상으로 함으로써, 제3 배선(L3)에 인접한 다른 2개의 배선 형상의 자유도를 크게 할 수 있어, 제2 배선(L2)과 제4 배선(L4)에 있어서의 소인 궤적의 중복량을 크게 하는 것에 성공하였다. 즉, 인접한 다른 2개의 배선 형상의 자유도를 크게 하기 위해, 1개의 저항 발열 배선의 소인 궤적의 중복량을 적극적으로 저감할 수 있다.In this way, by forming the resistance heating wiring into a shape with a small amount of overlap of sweep traces, it becomes difficult to compactly integrate the area where the resistance heating wiring exists, compared to the resistance heating wiring having a shape with a large amount of overlap of sweep traces. However, in the heater of Embodiment 3, by forming the third wiring L 3 into a shape with a small amount of overlap in the sweep trace, the degree of freedom of the shapes of the other two wirings adjacent to the third wiring L 3 can be increased, It was succeeded in increasing the amount of overlap of the sweep traces in the second wiring (L 2 ) and the fourth wiring (L 4 ). That is, in order to increase the degree of freedom of the shapes of the other two adjacent wiring lines, the amount of overlap in the sweep trace of one resistance heating wiring can be actively reduced.

<실시 형태 4><Embodiment 4>

실시 형태 4의 히터를 모식적으로 도시하는 평면도를 도 11에 도시하였다.A plan view schematically showing the heater of Embodiment 4 is shown in FIG. 11.

실시 형태 4의 히터는, 기체(11)와, 이 기체(11) 상에 각각 따로 급전을 받는 6개의 저항 발열 배선(12)을 구비한다. 이들 모든 저항 발열 배선(12)은, 소인 방향 D1로, 제1 열, 제2 열, 제3 열의 순으로 나란히 배치된 3열의 횡배선부(X)와, 횡배선부간을 접속하는 종배선부(Y)를 갖고 있다. 모든 횡배선부(X)는, 모두, 종배선부(Y)보다도 길게 형성되고, 또한 모든 종배선(Y)은 소인 방향 D1에 대하여 경사져 패터닝되어 있다. 그리고, 횡배선부(X)는 종배선부(Y)에 의해 전기적으로 접속되어 꾸불꾸불한 형상으로 형성되어 있다.The heater of Embodiment 4 includes a base body 11 and six resistance heating wires 12 each receiving power separately on the base body 11. All of these resistance heating wires 12 include three rows of horizontal wiring sections I have (Y). All of the horizontal wiring portions And, the horizontal wiring portion (X) is electrically connected by the vertical wiring portion (Y) and is formed in a sinuous shape.

또한, 이들 6개의 저항 발열 배선(12)은, 소인 방향 D1과는 수직인 폭 방향 D2로, 도 11의 좌측으로부터, 제1 배선(L1), 제2 배선(L2), 제3 배선(L3), 제4 배선(L4), 제5 배선(L5), 제6 배선(L6)의 순으로 나란히 배치되고, 이 중, 제2 배선(L2) 및 제5 배선(L5)은 제2 열 횡배선부(X2)가, 제1 열 횡배선부(X1) 및 제3 열 횡배선부(X3)보다 짧게 형성된 패턴(P1)을 갖고 있다. 또한, 제3 배선(L3)은 제2 열 횡배선부(X2)가 제1 열 횡배선부(X1) 및 제3 열 횡배선부(X3)보다 길게 형성된 패턴(P2)을 갖고 있다. 즉, 실시 형태 4의 히터(1)는 패턴(P1) 및 패턴(P2)의 양쪽을 상이한 저항 발열 배선으로서 동시에 갖고 있다. 그리고, 패턴(P1)을 갖는 제2 배선(L2)과, 패턴(P2)을 갖는 제3 배선(L3)이 인접하여 배치되어 있다.In addition, these six resistance heating wirings 12 are arranged in the width direction D 2 perpendicular to the sweep direction D 1 , from the left side of FIG. 11 , the first wiring L 1 , the second wiring L 2 , and the second wiring L 2 . The 3rd wire (L 3 ), the 4th wire (L 4 ), the 5th wire (L 5 ), and the 6th wire (L 6 ) are arranged side by side in that order, of which the 2nd wire (L 2 ) and the 5th wire The wiring (L 5 ) has a pattern (P 1 ) in which the second row horizontal wiring portion (X 2 ) is formed shorter than the first row horizontal wiring portion (X 1 ) and the third row horizontal wiring portion (X 3 ). . In addition, the third wiring (L 3 ) has a pattern (P 2 ) in which the second row horizontal wiring portion (X 2 ) is formed longer than the first row horizontal wiring portion (X 1 ) and the third row horizontal wiring portion (X 3 ) . has. That is, the heater 1 of Embodiment 4 simultaneously has both the pattern P 1 and the pattern P 2 as different resistance heating wires. And, the second wiring L 2 having the pattern P 1 and the third wiring L 3 having the pattern P 2 are arranged adjacent to each other.

또한, 실시 형태 1∼3의 히터와 마찬가지로, 제1 배선(L1)과 제2 배선(L2)의 대향 개소로서 대향 개소(A)를 갖고, 제2 배선(L2)과 제3 배선(L3)의 대향 개소로서 대향 개소(B)를 갖고, 제3 배선(L3)과 제4 배선(L4)의 대향 개소로서 대향 개소(C)를 갖고 있다. 그리고, 소인 궤적 TB는, 소인 궤적 TA와 소인 궤적 TC 사이에 위치됨과 함께, 소인 궤적 TA의 측으로 치우쳐 위치되어 있다. 즉, 소인 궤적 TA 및 소인 궤적 TB의 간극 거리 WAB와, 소인 궤적 TB 및 소인 궤적 TC의 간극 거리 WBC는 WAB<WBC로 되어 있다.Additionally, like the heaters of Embodiments 1 to 3, there is an opposing location A as an opposing location between the first wiring L 1 and the second wiring L 2 , and the second wiring L 2 and the third wiring It has an opposing location B as an opposing location for (L 3 ), and an opposing location C as an opposing location for the third wiring L 3 and the fourth wiring L 4 . And, the sweep trace T B is located between the sweep trace T A and the sweep trace T C , and is also positioned biased toward the side of the sweep trace T A. That is, the gap distance W AB between the sweep traces T A and the sweep traces T B and the gap distance W BC between the sweep traces T B and the sweep traces T C are W AB <W BC .

또한, 본 실시 형태 4의 히터에서는, 제3 배선(L3)과 제4 배선(L4)의 대향 개소로서 대향 개소(A')를 갖고, 제4 배선(L4)과 제5 배선(L5)의 대향 개소로서 대향 개소(B')를 갖고, 제5 배선(L5)과 제6 배선(L6)의 대향 개소로서 대향 개소(C')를 갖고 있다(제3 배선(L3)을 제1 배선, 제4 배선(L4)을 제2 배선, 제5 배선(L5)을 제3 배선, 제6 배선(L6)을 제4 배선으로 대체하는 것이 가능함). 그리고, 소인 궤적 TB'는, 소인 궤적 TA '와 소인 궤적 TC ' 사이에 위치됨과 함께, 소인 궤적 TC '의 측으로 치우쳐 위치되어 있다. 즉, 소인 궤적 TA 및 소인 궤적 TB의 간극 거리 WAB와, 소인 궤적 TB 및 소인 궤적 TC의 간극 거리 WBC는 WAB>WBC로 되어 있다.In addition, in the heater of this embodiment 4, the third wiring L 3 and the fourth wiring L 4 have an opposing location A' as an opposing location, and the fourth wiring L 4 and the fifth wiring L 4 have an opposing location A'. It has an opposing location B' as an opposing location for L 5 ), and an opposing location C' as an opposing location for the fifth wiring L 5 and the sixth wiring L 6 (third wiring L It is possible to replace 3 ) with the first wiring, the fourth wiring (L 4 ) with the second wiring, the 5th wiring (L 5 ) with the third wiring, and the 6th wiring (L 6 ) with the fourth wiring). In addition, the sweep trace T B' is located between the sweep trace T A ' and the sweep trace T C ' , and is positioned biased toward the side of the sweep trace T C ' . That is, the clearance distance W AB of the sweep trajectory T A and the sweep trajectory T B and the clearance distance W BC of the sweep trajectory T B and the sweep trajectory T C are W AB >W BC .

이와 같이, 본 실시 형태 4의 히터에서는, 대향 개소(A)∼(C)의 세트 2조를, 1개의 히터 내에 구비하고, 이들 중 어느 대향 개소(A)∼(C)에 있어서도, 소인 궤적 TB가, 소인 궤적 TA 또는 소인 궤적 TC 중 어느 쪽인가의 측으로 치우쳐 위치됨으로써, 대향 개소가 폭 방향 D2에서 겹치지 않도록 분산되어, 소인 방향 D1로 규칙적으로 나타나는 것을 방지하면서, 전체로서 밀한 저항 발열 배선 패턴으로 되어 있다. 그리고, 이것에 의해, 소인 방향(D1)으로 횡배선부(X)가 3단밖에 없는 협폭인 히터라도, 정상적으로 자기 온도 균형을 기능시켜, 균열성이 우수한 히터로 할 수 있다.In this way, in the heater of this Embodiment 4, two sets of opposing locations (A) to (C) are provided in one heater, and in any of these opposing locations (A) to (C), a sweep locus is formed. By positioning T B biased toward either the sweep trace T A or the sweep trace T C , the opposing points are distributed so as not to overlap in the width direction D 2 , preventing them from appearing regularly in the sweep direction D 1 , while preventing them from appearing regularly in the sweep direction D 1 as a whole. It has a dense resistance heating wiring pattern. And, as a result, even if it is a narrow heater with only three stages of horizontal wiring section

<실시 형태 5><Embodiment 5>

실시 형태 5의 히터를 모식적으로 도시하는 평면도를 도 12에 도시하였다.A plan view schematically showing the heater of Embodiment 5 is shown in FIG. 12.

실시 형태 5의 히터는, 기체(11)와, 이 기체(11) 상에 각각 따로 급전을 받는 5개의 저항 발열 배선(12)을 구비한다. 이들 모든 저항 발열 배선(12)은 소인 방향 D1로, 제1 열, 제2 열, 제3 열, 제4 열의 순으로 나란히 배치된 4열의 횡배선부(X)와, 횡배선부간을 접속하는 종배선부(Y)를 갖고 있다. 모든 횡배선부(X)는 모두, 종배선부(Y)보다도 길게 형성되고, 또한 모든 종배선(Y)은 소인 방향 D1에 대하여 경사져 패터닝되어 있다. 그리고, 횡배선부(X)는 종배선부(Y)에 의해 전기적으로 접속되어 꾸불꾸불한 형상으로 형성되어 있다.The heater of Embodiment 5 includes a base body 11 and five resistance heating wires 12 each receiving power separately on the base body 11. All of these resistance heating wires 12 are connected to four rows of horizontal wiring sections It has a longitudinal wiring section (Y). All of the horizontal wiring portions And, the horizontal wiring portion (X) is electrically connected by the vertical wiring portion (Y) and is formed in a sinuous shape.

또한, 이들 5개의 저항 발열 배선(12)은 소인 방향 D1과는 수직인 폭 방향 D2로, 도 12의 좌측으로부터, 제1 배선(L1), 제2 배선(L2), 제3 배선(L3), 제4 배선(L4), 제5 배선(L5)의 순으로 나란히 배치되고, 이 중, 제2 배선(L2), 제3 배선(L3) 및 제4 배선(L4)은 패턴(P1)과 패턴(P2)의 양쪽의 패턴을 1개의 저항 발열 배선(12) 내에 구비하고 있다.In addition, these five resistance heating wires 12 are arranged in the width direction D 2 perpendicular to the sweep direction D 1 , from the left side of FIG. 12 , the first wiring L 1 , the second wiring L 2 , and the third wiring L 1 . The wiring (L 3 ), the fourth wiring (L 4 ), and the fifth wiring (L 5 ) are arranged side by side in that order, of which the second wiring (L 2 ), the third wiring (L 3 ), and the fourth wiring are (L 4 ) includes both the pattern P 1 and the pattern P 2 in one resistive heating wire 12 .

즉, 제2 배선(L2)은 제2 열 횡배선부(X22)가 제1 열 횡배선부(X21) 및 제3 열 횡배선부(X23)보다 짧게 형성된 패턴(P1)을 갖고, 또한 제3 열 횡배선부(X23)가 제2 열 횡배선부(X22) 및 제4 열 횡배선부(X24)보다 길게 형성된 패턴(P2)을 갖고 있다. 마찬가지로, 제3 배선(L3)은 제2 열 횡배선부(X32)가 제1 열 횡배선부(X31) 및 제3 열 횡배선부(X33)보다 길게 형성된 패턴(P2)을 갖고, 또한 제3 열 횡배선부(X33)가 제2 열 횡배선부(X32) 및 제4 열 횡배선부(X34)보다 짧게 형성된 패턴(P1)을 갖고 있다. 또한, 제4 배선(L4)은 제2 배선(L2)과 동일 형상으로 되어 있다.That is, the second wiring (L 2 ) has a pattern (P 1 ) in which the second row horizontal wiring part (X 22 ) is shorter than the first row horizontal wiring part (X 21 ) and the third row horizontal wiring part (X 23 ). In addition, the third row horizontal wiring portion (X 23 ) has a pattern (P 2 ) formed to be longer than the second row horizontal wiring portion (X 22 ) and the fourth row horizontal wiring portion (X 24 ). Similarly, the third wiring (L 3 ) has a pattern (P 2 ) in which the second row horizontal wiring portion (X 32 ) is formed longer than the first row horizontal wiring portion (X 31 ) and the third row horizontal wiring portion (X 33 ). In addition, the third row horizontal wiring part (X 33 ) has a pattern (P 1 ) formed shorter than the second row horizontal wiring part (X 32 ) and the fourth row horizontal wiring part (X 34 ). Additionally, the fourth wiring (L 4 ) has the same shape as the second wiring (L 2 ).

즉, 실시 형태 5의 히터(1)는 패턴(P1) 및 패턴(P2)의 양쪽을 1개의 저항 발열 배선이 동시에 갖고, 또한 이들 저항 발열 배선이 인접하여 배치되어 있음으로써, 패턴(P1)과 패턴(P2)이 인접하여 배치되어 있다.That is, the heater 1 of Embodiment 5 has one resistance heating wire on both the pattern P 1 and the pattern P 2 at the same time, and these resistance heating wires are arranged adjacent to each other, so that the pattern P 1 ) and the pattern (P 2 ) are arranged adjacent to each other.

또한, 실시 형태 5의 히터는, 실시 형태 1∼3의 히터와 마찬가지로, 제1 배선(L1)과 제2 배선(L2)의 대향 개소로서 대향 개소(A)를 갖고, 제2 배선(L2)과 제3 배선(L3)의 대향 개소로서 대향 개소(B)를 갖고, 제3 배선(L3)과 제4 배선(L4)의 대향 개소로서 대향 개소(C)를 갖고 있다. 그리고, 소인 궤적 TB는, 소인 궤적 TA와 소인 궤적 TC 사이에 위치됨과 함께, 소인 궤적 TA의 측으로 치우쳐 위치되어 있다. 즉, 소인 궤적 TA 및 소인 궤적 TB의 간극 거리 WAB와, 소인 궤적 TB 및 소인 궤적 TC의 간극 거리 WBC는 WAB<WBC로 되어 있다.In addition, the heater of Embodiment 5, like the heater of Embodiments 1 to 3, has an opposing location A as an opposing location between the first wiring L 1 and the second wiring L 2 , and a second wiring (L 2 ). It has a facing point B as a facing point between L 2 ) and the third wiring L 3 , and has a facing point C as a facing point between the third wiring L 3 and the fourth wiring L 4 . . And, the sweep trace T B is located between the sweep trace T A and the sweep trace T C , and is also positioned biased toward the side of the sweep trace T A. That is, the gap distance W AB between the sweep traces T A and the sweep traces T B and the gap distance W BC between the sweep traces T B and the sweep traces T C are W AB <W BC .

또한, 실시 형태 5의 히터는, 도 13에 도시한 바와 같이, 5개의 저항 발열 배선(12)을 폭 방향 D2로, 도 13의 좌측으로부터, 제S 배선(LS), 제T 배선(LT){당해 제T 배선은, 대향 개소(A)∼(C)에 대해서는 제1 배선(L1)이기도 함}, 제2 배선(L2), 제3 배선(L3), 제4 배선(L4)의 순으로 나란히 배치되어 있는 것으로서 대체하면, 제1 배선(L1)과 제2 배선(L2)의 대향 개소로서 대향 개소(A)를 갖고, 제2 배선(L2)과 제3 배선(L3)의 대향 개소로서 대향 개소(B)를 갖고, 제3 배선(L3)과 제4 배선(L4)의 대향 개소로서 대향 개소(C)를 갖고 있다. 그리고, 소인 궤적 TB는, 소인 궤적 TA와 소인 궤적 TC 사이에 위치됨과 함께, 소인 궤적 TA의 측으로 치우쳐 위치되어 있다. 즉, 소인 궤적 TA 및 소인 궤적 TB의 간극 거리 WAB와, 소인 궤적 TB 및 소인 궤적 TC의 간극 거리 WBC는 WAB<WBC로 되어 있다.In addition, as shown in FIG. 13, the heater of Embodiment 5 includes five resistance heating wires 12 in the width direction D 2 , from the left side of FIG. 13, the S wire ( LS ) and the T wire ( L T ) {The T wiring is also the first wiring (L 1 ) for the opposing locations (A) to (C)}, the second wiring (L 2 ), the third wiring (L 3 ), and the fourth wiring If replaced by being arranged side by side in the order of the wirings L 4 , the first wiring L 1 and the second wiring L 2 have an opposing location A as an opposing location, and the second wiring L 2 It has an opposing location B as an opposing location for the third wiring L 3 , and an opposing location C as an opposing location for the third wiring L 3 and the fourth wiring L 4 . And, the sweep trace T B is located between the sweep trace T A and the sweep trace T C , and is also positioned biased toward the side of the sweep trace T A. That is, the gap distance W AB between the sweep traces T A and the sweep traces T B and the gap distance W BC between the sweep traces T B and the sweep traces T C are W AB <W BC .

이와 같이, 본 실시 형태 5의 히터는, 예를 들어 도 12에 도시한 대향 개소(A)∼(C)의 세트와, 도 13에 도시한 대향 개소(A)∼(C)의 세트의 2조를, 1개의 히터 내에 구비하고, 이들 중 어느 대향 개소(A)∼(C)에 있어서도, 소인 궤적 TB가, 소인 궤적 TA의 측으로 치우쳐 위치됨으로써, 대향 개소가 폭 방향 D2에서 겹치지 않도록 분산되어, 소인 방향 D1로 규칙적으로 나타나는 것을 방지하면서, 전체로서 밀한 저항 발열 배선 패턴으로 되어 있다.In this way, the heater of the fifth embodiment is, for example, two of the set of opposing locations (A) to (C) shown in FIG. 12 and the set of opposing locations (A) to (C) shown in FIG. 13. The tank is provided in one heater, and at any of these opposing locations (A) to (C), the sweep trace T B is positioned with a bias toward the sweep trace T A , so that the opposing locations do not overlap in the width direction D 2 It is dispersed so as not to occur, preventing it from appearing regularly in the sweep direction D 1 , and forming a dense resistance heating wiring pattern as a whole.

또한, 실시 형태 5의 히터는, 도 12에 도시한 바와 같이, 제1 배선(L1)의 제1 열 횡배선부(X11) 및 제2 열 횡배선부(X12)를 연결하는 종배선부(Y112)와, 제1 배선(L1)에 인접한 제2 배선(L2)의 제1 열 횡배선부(X21) 및 제2 열 횡배선부(X22)를 연결하는 종배선부(Y212)가 간극을 두고 대향되어 대향 개소(D)를 형성하고 있다. 또한, 제1 배선(L1)의 제3 열 횡배선부(X13) 및 제4 열 횡배선부(X14)를 연결하는 종배선부(Y134)와, 제2 배선(L2)의 제3 열 횡배선부(X23) 및 제4 열 횡배선부(X24)를 연결하는 종배선부(Y234)가 간극을 두고 대향되어 대향 개소(E)를 형성하고 있다. 그리고, 대향 개소(D)의 간극의 소인 궤적(TD)과, 대향 개소(E)의 간극의 소인 궤적(TE)은 겹치지 않도록 폭 방향으로 이격되어 있다. 즉, 소인 궤적(TD)과 소인 궤적(TE) 사이에는, 간극 거리 WDE가 형성되어, WDE>0㎛로 되어 있다.In addition, the heater of Embodiment 5, as shown in FIG. 12, has a vertical wiring connecting the first row horizontal wiring portion (X 11 ) and the second row horizontal wiring portion (X 12 ) of the first wiring (L 1 ). A vertical wiring portion connecting the line portion (Y 112 ) and the first row horizontal wiring portion (X 21 ) and the second row horizontal wiring portion (X 22 ) of the second wiring (L 2 ) adjacent to the first wiring (L 1 ). (Y 212 ) faces each other with a gap to form an opposing location D. In addition, the vertical wiring portion (Y 134 ) connecting the third row horizontal wiring portion (X 13 ) and the fourth row horizontal wiring portion (X 14 ) of the first wiring (L 1 ), and the second wiring (L 2 ). The vertical wiring portion Y 234 connecting the third row horizontal wiring portion And the sweep trace T D of the gap at the opposing location D and the sweep trace T E of the gap at the opposing location E are spaced apart in the width direction so as not to overlap. That is, a gap distance W DE is formed between the sweep trace T D and the sweep trace T E , and W DE is >0 μm.

마찬가지로, 실시 형태 5의 히터는, 도 12에 도시한 바와 같이, 제3 배선(L3)의 제1 열 횡배선부(X31) 및 제2 열 횡배선부(X32)를 연결하는 종배선부(Y312)와, 제3 배선(L3)에 인접한 제4 배선(L4)의 제1 열 횡배선부(X41) 및 제2 열 횡배선부(X42)를 연결하는 종배선부(Y412)가 간극을 두고 대향되어 대향 개소(D')를 형성하고 있다. 또한, 제3 배선(L3)의 제3 열 횡배선부(X33) 및 제4 열 횡배선부(X34)를 연결하는 종배선부(Y334)와, 제4 배선(L4)의 제3 열 횡배선부(X43) 및 제4 열 횡배선부(X44)를 연결하는 종배선부(Y434)가 간극을 두고 대향되어 대향 개소(E')를 형성하고 있다. 그리고, 대향 개소(D')의 간극의 소인 궤적(TD')과, 대향 개소(E')의 간극의 소인 궤적(TE ')은 겹치지 않도록 폭 방향으로 이격되어 있다. 즉, 소인 궤적(TD')과 소인 궤적(TE ') 사이에는, 간극 거리 WD'E '가 형성되어, WD'E '>0㎛로 되어 있다.Likewise, the heater of Embodiment 5, as shown in FIG. 12, has a vertical wiring connecting the first row horizontal wiring portion (X 31 ) and the second row horizontal wiring portion (X 32 ) of the third wiring (L 3 ). A vertical wiring portion connecting the line portion (Y 312 ) and the first row horizontal wiring portion (X 41 ) and the second row horizontal wiring portion (X 42 ) of the fourth wiring (L 4 ) adjacent to the third wiring (L 3 ). (Y 412 ) faces each other with a gap to form an opposing location D'. In addition, the vertical wiring portion (Y 334 ) connecting the third row horizontal wiring portion (X 33 ) and the fourth row horizontal wiring portion (X 34 ) of the third wiring (L 3 ), and the fourth wiring (L 4 ). The vertical wiring portion (Y 434 ) connecting the third row horizontal wiring portion (X 43 ) and the fourth row horizontal wiring portion ( And the sweep trace T D' of the gap at the opposing location D' and the sweep trace T E ' of the gap at the opposing location E' are spaced apart in the width direction so as not to overlap. That is, a gap distance W D'E ' is formed between the sweep trace T D' and the sweep trace T E ' , and W D'E ' is >0 μm.

이와 같이, 본 실시 형태 5의 히터는, 대향 개소(D) 및 (E)의 세트 2조를, 1개의 히터 내에 구비하고, 이들 대향 개소(D) 및 (E)에 있어서, 소인 궤적 TD와 소인 궤적 TE가 폭 방향 D2에서 겹치지 않도록 분산되면서, 전체로서 밀한 저항 발열 배선 패턴으로 되어 있다.In this way, the heater of the present embodiment 5 includes two sets of opposing locations (D) and (E) in one heater, and in these opposing locations (D) and (E), the sweep trajectory T D and sweep traces T E are distributed so as not to overlap in the width direction D 2 , forming a dense resistance heating wiring pattern as a whole.

즉, 실시 형태 5의 히터는, 각각 따로 급전을 받는 5개의 저항 발열 배선(12)을 구비하면서, 각 저항 발열 배선끼리는, 소인 방향 D1에 있어서의 가열 영역이 공유되고, 게다가, 대향 개소가 폭 방향 D2에서 겹치지 않도록 분산되어, 소인 방향 D1로 규칙적으로 나타나는 것을 방지하면서, 전체로서 밀한 저항 발열 배선 패턴으로 할 수 있다. 이에 의해, 소인 방향(D1)으로 횡배선부(X)가 4단밖에 없는 협폭인 히터라도, 정상적으로 자기 온도 균형을 기능시켜, 균열성이 우수한 히터로 할 수 있다.That is, the heater of Embodiment 5 is provided with five resistance heating wires 12 that each receive power separately, and the heating area in the sweep direction D 1 is shared between the resistance heating wires, and the opposing points are They are distributed so as not to overlap in the width direction D 2 , preventing them from appearing regularly in the sweep direction D 1 , while forming a dense resistance heating wiring pattern as a whole. As a result, even if it is a narrow heater with only four stages of horizontal wiring section

또한, 실시 형태 5의 히터의 도 12에 있어서의 대향 개소(D)(종배선 Y112와 종배선 Y212에 의해 형성) 및 (E)(종배선 Y134와 종배선 Y234에 의해 형성)의 세트는, 실시 형태 5의 히터의 도 13에 있어서의 대향 개소(D)(종배선 YS12와 종배선 YS12에 의해 형성) 및 (E)(종배선 YS12와 종배선 YS12에 의해 형성)의 세트에 대응하고 있다. 즉, 도 13의 제S 배선(LS)이 도 12의 제1 배선(L1)에 대응하고, 도 13의 제T 배선(LT)이 도 12의 제2 배선(L2)에 대응하고 있다.In addition, the opposing portions (D) (formed by vertical wiring Y 112 and vertical wiring Y 212 ) and (E) (formed by vertical wiring Y 134 and vertical wiring Y 234 ) in FIG. 12 of the heater of Embodiment 5. The set is the opposing portions (D) (formed by vertical wiring Y S12 and Y S12) and (E) (formed by vertical wiring Y S12 and vertical wiring Y S12) in FIG. 13 of the heater of Embodiment 5. corresponds to a set of formations). That is, the S wiring ( LS ) in FIG. 13 corresponds to the first wiring (L 1 ) in FIG. 12, and the T wiring (L T ) in FIG. 13 corresponds to the second wiring (L 2 ) in FIG. 12. I'm doing it.

<실시 형태 6><Embodiment 6>

실시 형태 6의 히터를 모식적으로 도시하는 평면도를 도 14에 도시하였다.A plan view schematically showing the heater of Embodiment 6 is shown in FIG. 14.

실시 형태 6의 히터는, 기체(11)와, 이 기체(11) 상에 각각 따로 급전을 받는 6개의 저항 발열 배선(12)을 구비한다. 이들 모든 저항 발열 배선(12)은 소인 방향 D1로, 제1 열, 제2 열, 제3 열, 제4 열의 순으로 나란히 배치된 4열의 횡배선부(X)와, 횡배선부간을 접속하는 종배선부(Y)를 갖고 있다. 모든 횡배선부(X)는 모두, 종배선부(Y)보다도 길게 형성되고, 또한 모든 종배선(Y)은 소인 방향 D1에 대하여 경사져 패터닝되어 있다. 그리고, 횡배선부(X)는 종배선부(Y)에 의해 전기적으로 접속되어 꾸불꾸불한 형상으로 형성되어 있다.The heater of Embodiment 6 includes a base 11 and six resistance heating wires 12 each receiving power separately on the base 11. All of these resistance heating wires 12 are connected to four rows of horizontal wiring sections It has a longitudinal wiring section (Y). All of the horizontal wiring portions And, the horizontal wiring portion (X) is electrically connected by the vertical wiring portion (Y) and is formed into a sinuous shape.

또한, 이들 6개의 저항 발열 배선(12)은, 소인 방향 D1과는 수직인 폭 방향 D2로, 도 14의 좌측으로부터, 제S 배선(LS), 제T 배선(LT), 제1 배선(L1), 제2 배선(L2), 제3 배선(L3), 제4 배선(L4)의 순으로 나란히 배치되고, 이 중, 제T 배선(LT), 제1 배선(L1), 제2 배선(L2) 및 제3 배선(L3)은 패턴(P1)과 패턴(P2)의 양쪽의 패턴을 1개의 저항 발열 배선(12) 내에 구비하고 있다(실시 형태 5에 있어서 설명한 것과 마찬가지임).In addition, these six resistance heating wires 12 are arranged in the width direction D 2 perpendicular to the sweep direction D 1 , from the left side of FIG. 14 , the S wiring LS , the T wiring LT , and the The first wiring (L 1 ), the second wiring (L 2 ), the third wiring (L 3 ), and the fourth wiring (L 4 ) are arranged side by side in that order, of which the T wiring (L T) and the first wiring (L T ) are arranged side by side in that order. The wiring (L 1 ), the second wiring (L 2 ), and the third wiring (L 3 ) have both patterns (P 1 ) and a pattern (P 2 ) in one resistance heating wiring (12). (Same as described in Embodiment 5).

즉, 실시 형태 6의 히터(1)는 패턴(P1) 및 패턴(P2)의 양쪽을 1개의 저항 발열 배선이 동시에 갖고, 또한 이들 저항 발열 배선(제T 배선 LT, 제1 배선 L1, 제2 배선 L2 및 제3 배선 L3)이 인접하여 배치되어 있음으로써, 패턴(P1)과 패턴(P2)이 인접하여 배치되어 있다.That is, the heater 1 of Embodiment 6 has one resistance heating wire for both the pattern P 1 and the pattern P 2 at the same time, and these resistance heating wires (the T wire L T and the first wire L 1 , the second wiring L 2 and the third wiring L 3 ) are arranged adjacent to each other, so that the pattern P 1 and the pattern P 2 are arranged adjacent to each other.

또한, 실시 형태 6의 히터는, 실시 형태 1∼3의 히터와 마찬가지로, 제1 배선(L1)과 제2 배선(L2)의 대향 개소로서 대향 개소(A)를 갖고, 제2 배선(L2)과 제3 배선(L3)의 대향 개소로서 대향 개소(B)를 갖고, 제3 배선(L3)과 제4 배선(L4)의 대향 개소로서 대향 개소(C)를 갖고 있다. 그리고, 소인 궤적 TB는, 소인 궤적 TA와 소인 궤적 TC 사이에 위치됨과 함께, 소인 궤적 TA의 측으로 치우쳐 위치되어 있다. 즉, 소인 궤적 TA 및 소인 궤적 TB의 간극 거리 WAB와, 소인 궤적 TB 및 소인 궤적 TC의 간극 거리 WBC는 WAB<WBC로 되어 있다.In addition, the heater of Embodiment 6, like the heater of Embodiments 1 to 3, has an opposing location A as an opposing location between the first wiring L 1 and the second wiring L 2 , and a second wiring (L 2 ). There is an opposing location B as an opposing location between the third wiring L2) and the third wiring L3, and an opposing location C as an opposing location between the third wiring L3 and the fourth wiring L4. And, the sweep trace T B is located between the sweep trace T A and the sweep trace T C , and is also positioned biased toward the side of the sweep trace T A. That is, the gap distance W AB between the sweep traces T A and the sweep traces T B and the gap distance W BC between the sweep traces T B and the sweep traces T C are W AB <W BC .

또한, 번잡하기 때문에 도시를 생략하였지만, 제S 배선(LS)과 제T 배선(LT)의 대향 개소로서 대향 개소(A)를 갖고, 제T 배선(LT)과 제1 배선(L1)의 대향 개소로서 대향 개소(B)를 갖고, 제1 배선(L1)과 제2 배선(L2)의 대향 개소로서 대향 개소(C)를 갖고 있다. 그리고, 소인 궤적 TB는, 소인 궤적 TA와 소인 궤적 TC 사이에 위치됨과 함께, 소인 궤적 TA의 측으로 치우쳐 위치되어 있다(WAB<WBC). 게다가, 제T 배선(LT)과 제1 배선(L1)의 대향 개소로서 대향 개소(A)를 갖고, 제1 배선(L1)과 제2 배선(L2)의 대향 개소로서 대향 개소(B)를 갖고, 제2 배선(L2)과 제3 배선(L3)의 대향 개소로서 대향 개소(C)를 갖고 있다. 그리고, 소인 궤적 TB는, 소인 궤적 TA와 소인 궤적 TC 사이에 위치됨과 함께, 소인 궤적 TA의 측으로 치우쳐 위치되어 있다(WAB<WBC).In addition, although not shown because of complexity, there is an opposing location A as an opposing location between the S wiring LS and the T wiring LT , and the T wiring LT and the first wiring L 1 ), there is an opposing location B as an opposing location, and an opposing location C is provided as an opposing location between the first wiring L 1 and the second wiring L 2 . And, the sweep trace T B is located between the sweep trace T A and the sweep trace T C , and is also positioned biased toward the sweep trace T A (W AB <W BC ). In addition, there is an opposing point A as an opposing point between the T wiring L T and the first wiring L 1 , and an opposing point A as an opposing point between the first wiring L 1 and the second wiring L 2 . (B), and has an opposing location (C) as an opposing location between the second wiring (L 2 ) and the third wiring (L 3 ). And, the sweep trace T B is located between the sweep trace T A and the sweep trace T C , and is also positioned biased toward the sweep trace T A (W AB <W BC ).

이와 같이, 본 실시 형태 6의 히터는, 대향 개소(A)∼(C)의 세트 3조를, 1개의 히터 내에 구비하고, 이들 중 어느 대향 개소(A)∼(C)에 있어서도, 소인 궤적 TB가, 소인 궤적 TA의 측으로 치우쳐 위치됨으로써, 대향 개소가 폭 방향 D2에서 겹치지 않도록 분산되어, 소인 방향 D1로 규칙적으로 나타나는 것을 방지하면서, 전체로서 밀한 저항 발열 배선 패턴으로 되어 있다.In this way, the heater of the present embodiment 6 includes three sets of opposing locations (A) to (C) in one heater, and the sweep locus is shown in any of these opposing locations (A) to (C). By positioning T B with a bias toward the side of the sweep trajectory T A , opposing locations are distributed so as not to overlap in the width direction D 2 , preventing them from appearing regularly in the sweep direction D 1 , and forming a dense resistance heating wiring pattern as a whole.

또한, 실시 형태 6의 히터는, 도 14에 도시한 바와 같이, 제S 배선(LS)의 제1 열 횡배선부(XS1) 및 제2 열 횡배선부(XS2)를 연결하는 종배선부(YS12)와, 제S 배선(LS)에 인접한 제T 배선(LT)의 제1 열 횡배선부(XT1) 및 제2 열 횡배선부(XT2)를 연결하는 종배선부(YT12)가 간극을 두고 대향되어 대향 개소(D)를 형성하고 있다. 또한, 제S 배선(LS)의 제3 열 횡배선부(XS3) 및 제4 열 횡배선부(XS4)를 연결하는 종배선부(YS34)와, 제T 배선(LT)의 제3 열 횡배선부(XT3) 및 제4 열 횡배선부(XT4)를 연결하는 종배선부(YT34)가 간극을 두고 대향되어 대향 개소(E)를 형성하고 있다. 그리고, 대향 개소(D)의 간극의 소인 궤적(TD)과, 대향 개소(E)의 간극의 소인 궤적(TE)은 겹치지 않도록 폭 방향으로 이격되어 있다. 즉, 소인 궤적(TD)과 소인 궤적(TE) 사이에는, 간극 거리 WDE가 형성되어, WDE>0㎛로 되어 있다.In addition, the heater of Embodiment 6, as shown in FIG. 14, has a vertical wiring connecting the first row horizontal wiring portion (X S1 ) and the second row horizontal wiring portion (X S2 ) of the S wiring ( LS ). A vertical wiring portion connecting the line portion (Y S12 ) and the first row horizontal wiring portion (X T1 ) and the second row horizontal wiring portion (X T2 ) of the T wiring (L T ) adjacent to the S wiring (L S ). (Y T12 ) is opposed to each other with a gap between them, forming an opposing location D. In addition, the vertical wiring part (Y S34 ) connecting the third row horizontal wiring part (X S3 ) and the fourth row horizontal wiring part (X S4 ) of the S wiring ( LS ), and the T wiring (L T ) The vertical wiring portion Y T34 connecting the third row horizontal wiring portion X T3 and the fourth row horizontal wiring portion And the sweep trace T D of the gap at the opposing location D and the sweep trace T E of the gap at the opposing location E are spaced apart in the width direction so as not to overlap. That is, a gap distance W DE is formed between the sweep trace T D and the sweep trace T E , and W DE is >0 μm.

또한, 번잡하기 때문에 도시를 생략하였지만, 제1 배선(L1)의 제1 열 횡배선부(X11) 및 제2 열 횡배선부(X12)를 연결하는 종배선부(Y112)와, 제1 배선(L1)에 인접한 제2 배선(L2)의 제1 열 횡배선부(X21) 및 제2 열 횡배선부(X22)를 연결하는 종배선부(Y212)가 간극을 두고 대향되어 대향 개소(D)를 형성하고 있다. 또한, 제1 배선(L1)의 제3 열 횡배선부(X13) 및 제4 열 횡배선부(X14)를 연결하는 종배선부(Y134)와, 제2 배선(L2)의 제3 열 횡배선부(X23) 및 제4 열 횡배선부(X24)를 연결하는 종배선부(Y234)가 간극을 두고 대향되어 대향 개소(E)를 형성하고 있다. 그리고, 대향 개소(D)의 간극의 소인 궤적(TD)과, 대향 개소(E)의 간극의 소인 궤적(TE)은 겹치지 않도록 폭 방향으로 이격되어 있다. 즉, 소인 궤적(TD)과 소인 궤적(TE) 사이에는, 간극 거리 WDE가 형성되어, WDE>0㎛로 되어 있다.In addition, although not shown because of complexity, a vertical wiring portion (Y 112 ) connecting the first row horizontal wiring portion (X 11 ) and the second row horizontal wiring portion (X 12 ) of the first wiring (L 1 ) ; The vertical wiring part (Y 212 ) connecting the first row horizontal wiring part (X 21 ) and the second row horizontal wiring part (X 22 ) of the second wiring (L 2 ) adjacent to the first wiring (L 1 ) has a gap. They are opposed to each other to form a facing location (D). In addition, the vertical wiring portion (Y 134 ) connecting the third row horizontal wiring portion (X 13 ) and the fourth row horizontal wiring portion (X 14 ) of the first wiring (L 1 ), and the second wiring (L 2 ). The vertical wiring portion Y 234 connecting the third row horizontal wiring portion And the sweep trace T D of the gap at the opposing location D and the sweep trace T E of the gap at the opposing location E are spaced apart in the width direction so as not to overlap. That is, a gap distance W DE is formed between the sweep trace T D and the sweep trace T E , and W DE is >0 μm.

마찬가지로, 제3 배선(L3)의 제1 열 횡배선부(X31) 및 제2 열 횡배선부(X32)를 연결하는 종배선부(Y312)와, 제3 배선(L3)에 인접한 제4 배선(L4)의 제1 열 횡배선부(X41) 및 제2 열 횡배선부(X42)를 연결하는 종배선부(Y412)가 간극을 두고 대향되어 대향 개소(D)를 형성하고 있다. 또한, 제3 배선(L3)의 제3 열 횡배선부(X33) 및 제4 열 횡배선부(X34)를 연결하는 종배선부(Y334)와, 제4 배선(L4)의 제3 열 횡배선부(X43) 및 제4 열 횡배선부(X44)를 연결하는 종배선부(Y434)가 간극을 두고 대향되어 대향 개소(E)를 형성하고 있다. 그리고, 대향 개소(D)의 간극의 소인 궤적(TD)과, 대향 개소(E)의 간극의 소인 궤적(TE)은 겹치지 않도록 폭 방향으로 이격되어 있다. 즉, 소인 궤적(TD)과 소인 궤적(TE) 사이에는, 간극 거리 WDE가 형성되어, WDE>0㎛로 되어 있다.Likewise, the vertical wiring part (Y 312 ) connecting the first row horizontal wiring part (X 31 ) and the second row horizontal wiring part (X 32 ) of the third wiring (L 3 ), and the third wiring (L 3 ). The vertical wiring portion (Y 412 ) connecting the first-row horizontal wiring portion (X 41 ) and the second- row horizontal wiring portion ( is forming. In addition, the vertical wiring portion (Y 334 ) connecting the third row horizontal wiring portion (X 33 ) and the fourth row horizontal wiring portion (X 34 ) of the third wiring (L 3 ), and the fourth wiring (L 4 ). The vertical wiring portion (Y 434 ) connecting the third row horizontal wiring portion (X 43 ) and the fourth row horizontal wiring portion ( And the sweep trace T D of the gap at the opposing location D and the sweep trace T E of the gap at the opposing location E are spaced apart in the width direction so as not to overlap. That is, a gap distance W DE is formed between the sweep trace T D and the sweep trace T E , and W DE is >0 μm.

이와 같이, 본 실시 형태 6의 히터는, 대향 개소(D) 및 (E)의 세트 3조를, 1개의 히터 내에 구비하고, 이들 대향 개소(D) 및 (E)에 있어서, 소인 궤적 TD와 소인 궤적 TE가 폭 방향 D2에서 겹치지 않도록 분산되면서, 전체로서 밀한 저항 발열 배선 패턴으로 되어 있다.In this way, the heater of the sixth embodiment includes three sets of opposing locations (D) and (E) in one heater, and in these opposing locations (D) and (E), the sweep trajectory T D and sweep traces T E are distributed so as not to overlap in the width direction D 2 , forming a dense resistance heating wiring pattern as a whole.

즉, 실시 형태 6의 히터는, 각각 따로 급전을 받는 6개의 저항 발열 배선(12)을 구비하면서, 각 저항 발열 배선끼리는, 소인 방향 D1에 있어서의 가열 영역이 공유되고, 게다가, 대향 개소가 폭 방향 D2에서 겹치지 않도록 분산되어, 소인 방향 D1로 규칙적으로 나타나는 것을 방지하면서, 전체로서 밀한 저항 발열 배선 패턴으로 할 수 있다. 이에 의해, 소인 방향(D1)으로 횡배선부(X)가 4단밖에 없는 협폭인 히터라도, 정상적으로 자기 온도 균형을 기능시켜, 균열성이 우수한 히터로 할 수 있다.That is, the heater of Embodiment 6 is provided with six resistance heating wires 12 that each receive power separately, and the heating area in the sweep direction D 1 is shared between the resistance heating wires, and the opposing points are They are distributed so as not to overlap in the width direction D 2 , preventing them from appearing regularly in the sweep direction D 1 , while forming a dense resistance heating wiring pattern as a whole. As a result, even if it is a narrow heater with only four stages of horizontal wiring section

<실시 형태 7><Embodiment 7>

실시 형태 7의 히터를 모식적으로 도시하는 평면도를 도 15에 도시하였다.A plan view schematically showing the heater of Embodiment 7 is shown in FIG. 15.

실시 형태 7의 히터는, 실시 형태 1의 히터에 있어서, 저항 발열 배선(12)이 급전 배선부(R)를 구비하는 형태를 예시하는 것이다. 도 15에 도시한 바와 같이, 급전 배선부(R)는 소인 방향 D1과 평행하게 패터닝하여, 기체(11)의 단연까지 도출할 수 있다. 이와 같은 급전 배선부(R)를 갖는 경우, 급전 배선부(R)는, 상술한 바와 같이 소인 방향 D1에 대하여 평행하게 패터닝해도 되고, 종배선부(Y)와 마찬가지로 경사져도 된다.The heater of Embodiment 7 exemplifies the heater of Embodiment 1 in which the resistance heating wiring 12 is provided with a power supply wiring portion R. As shown in FIG. 15, the power supply wiring portion R can be patterned parallel to the sweep direction D 1 to lead to the edge of the base 11. In the case of having such a power supply wiring portion R, the power supply wiring portion R may be patterned parallel to the sweep direction D 1 as described above, or may be inclined in the same manner as the vertical wiring portion Y.

[2] 정착 장치[2] Fixing device

본 히터를 구비하는 정착 장치는, 가열 대상이나 정착 수단 등에 의해, 적절히 선택된 구성으로 할 수 있다. 예를 들어, 압착을 수반하는 정착 수단을 구비하여, 종이 등의 기록용 매체에 토너 등을 정착시키는 경우나, 복수의 부재를 접합하는 경우에는, 히터를 구비하는 가열부와, 가압부를 구비하는 정착 장치로 할 수 있다. 물론, 압착을 수반하지 않는 정착 수단으로 할 수도 있다. 본 발명에 있어서는, 종이, 필름 등의 기록용 매체의 표면에 형성된 토너를 포함하는 미정착 화상을 기록용 매체에 정착시키는 정착 장치(5)인 것이 바람직하다.The fixing device provided with this heater can have a configuration appropriately selected depending on the heating object, fixing means, etc. For example, in the case of fixing toner or the like to a recording medium such as paper by providing a fixing means involving compression, or in the case of joining a plurality of members, a heating unit including a heater and a pressing unit are provided. This can be done with a fixing device. Of course, fixation means that do not involve compression can also be used. In the present invention, it is preferable to use a fixing device 5 that fixes an unfixed image containing toner formed on the surface of a recording medium such as paper or film to a recording medium.

도 16은 전자 사진 방식의 화상 형성 장치에 배설되는 정착 장치(5)의 주요부를 도시하고 있다. 정착 장치(5)는 회전 가능한 정착용 롤(51)과, 회전 가능한 가압용 롤(54)을 구비하고, 히터(1)는 정착용 롤(51)의 내부에 배설되어 있다. 히터(1)는, 바람직하게는 정착용 롤(51)의 내표면에 근접하도록 배설된다.Fig. 16 shows the main part of the fixing device 5 installed in the electrophotographic image forming apparatus. The fixing device 5 includes a rotatable fixing roll 51 and a rotatable pressurizing roll 54, and the heater 1 is disposed inside the fixing roll 51. The heater 1 is preferably disposed close to the inner surface of the fixing roll 51.

히터(1)는, 예를 들어 도 18에 도시된 정착 수단(5)과 같이, 히터(1)가 발한 열을 전도 가능한 재료를 포함하는 히터 홀더(53)의 내부에 고정되어, 히터(1)의 발열을, 정착용 롤(51)의 내측으로부터 외표면에 전달하는 구조로 할 수도 있다.The heater 1 is fixed to the inside of a heater holder 53 containing a material capable of conducting the heat generated by the heater 1, such as the fixing means 5 shown in FIG. 18, so that the heater 1 ) can also be structured to transmit the heat generated from the inside of the fixing roll 51 to the outer surface.

도 17도 또한, 전자 사진 방식의 화상 형성 장치에 배설되는 정착 장치(5)의 주요부를 도시하고 있다. 정착 장치(5)는 회전 가능한 정착용 롤(51)과, 회전 가능한 가압용 롤(54)을 구비하고, 정착용 롤(51)에 열을 전달하는 히터(1) 및 가압용 롤(54)과 함께 기록용 매체를 압접하는 고정 패드(52)가 정착용 롤(51)의 내부에 배설되어 있다. 히터(1)는 정착용 롤(51)의 원통면을 따르도록 배설되어 있다.Fig. 17 also shows the main part of the fixing device 5 installed in the electrophotographic image forming apparatus. The fixing device 5 includes a rotatable fixing roll 51 and a rotatable pressurizing roll 54, and a heater 1 and a pressurizing roll 54 that transfer heat to the fixing roll 51. A fixing pad 52 for pressure contacting the recording medium is provided inside the fixing roll 51. The heater 1 is arranged along the cylindrical surface of the fixing roll 51.

도 16 또는 도 17에 도시된 정착 장치(5)에 있어서, 도시하지 않은 전원 장치로부터 전압을 가함으로써 히터(1)를 발열시키고, 그 열이 정착용 롤(51)에 전달된다. 그리고, 표면에 미정착의 토너 화상을 갖는 기록용 매체가, 정착용 롤(51)과 가압용 롤(54) 사이에 공급되면, 정착용 롤(51) 및 가압용 롤(54)의 압접부에 있어서, 토너가 용융하여 정착 화상이 형성된다. 정착용 롤(51) 및 가압용 롤(54)의 압접부를 가지므로, 동반하여 회전한다. 상기와 같이, 히터(1)는 작은 기록용 매체를 사용하였을 때에 발생하기 쉬운 국소적인 온도 상승이 억제되므로, 정착용 롤(51)에 있어서의 온도 불균일이 발생하기 어려워, 정착을 균일하게 행할 수 있다.In the fixing device 5 shown in Figure 16 or Figure 17, the heater 1 is heated by applying voltage from a power supply device (not shown), and the heat is transmitted to the fixing roll 51. Then, when a recording medium having an unfixed toner image on its surface is supplied between the fixing roll 51 and the pressing roll 54, the pressure-welded portion of the fixing roll 51 and the pressing roll 54 In this case, the toner melts and a fixed image is formed. Since it has a pressure contact portion of the fixing roll 51 and the pressure roll 54, they rotate together. As described above, the heater 1 suppresses the local temperature rise that tends to occur when using small recording media, so temperature unevenness in the fixing roll 51 is unlikely to occur, and fixing can be performed uniformly. there is.

본 히터(1)를 구비하는 정착 장치의 다른 형태로서는, 상형 및 하형을 구비하는 금형으로서, 상형 및 하형 중 적어도 한쪽의 내부에 히터를 배설한 형태로 할 수 있다.Another form of the fixing device provided with the present heater 1 may be a mold having an upper mold and a lower mold, with a heater disposed inside at least one of the upper mold and the lower mold.

본 히터(1)를 구비하는 정착 장치는, 전자 사진 방식의 인쇄기, 복사기 등의 화상 형성 장치를 비롯하여, 가정용의 전기 제품, 업무용, 실험용의 정밀 기기 등에 장착하여, 가열, 보온 등의 열원으로서 적합하다.The fixing device equipped with this heater (1) is suitable for installation in image forming devices such as electrophotographic printers and copiers, as well as household electrical appliances, business and laboratory precision equipment, etc. as a heat source for heating and thermal insulation. do.

[3] 화상 형성 장치[3] Image forming device

본 히터를 구비하는 화상 형성 장치는, 가열 대상이나 가열 목적 등에 의해, 적절히 선택된 구성으로 할 수 있다. 본 발명에 있어서는, 도 18에 도시된 바와 같이, 종이, 필름 등의 기록용 매체의 표면에 미정착 화상을 형성하는 작상(作像) 수단과, 미정착 화상을 기록용 매체에 정착시키는 정착 수단(5)을 구비하고, 정착 수단(5)이 본 히터(1)를 구비하는 화상 형성 장치(4)인 것이 바람직하다. 화상 형성 장치(4)는 상기 수단 외에, 기록용 매체 반송 수단이나, 각 수단을 제어하기 위한 제어 수단을 구비하여 구성할 수 있다.The image forming apparatus provided with this heater can have an appropriately selected configuration depending on the object to be heated, the purpose of heating, etc. In the present invention, as shown in Figure 18, an imaging means for forming an unfixed image on the surface of a recording medium such as paper or film, and a fixing means for fixing the unfixed image on the recording medium. (5), and the fixing means (5) is preferably an image forming apparatus (4) equipped with this heater (1). The image forming apparatus 4 may be configured to include, in addition to the above means, recording medium transport means and control means for controlling each means.

도 18은 전자 사진 방식의 화상 형성 장치(4)의 주요부를 도시하는 개략도이다. 작상 수단으로서는, 전사 드럼을 구비하는 방식 및 전사 드럼을 구비하지 않는 방식 중 어느 것이어도 되지만, 도 18은 전사 드럼을 구비하는 형태이다.Fig. 18 is a schematic diagram showing main parts of the electrophotographic image forming apparatus 4. The imaging means may be either a method with a transfer drum or a method without a transfer drum, but Fig. 18 shows a form with a transfer drum.

작상 수단에서는, 회전하면서, 대전 장치(43)에 의해 소정의 전위로 대전 처리된 감광 드럼(44)의 대전 처리면에, 레이저 스캐너(41)로부터 출력되는 레이저가 조사되고, 현상기(45)로부터 공급되는 토너에 의해 정전 잠상이 형성된다. 계속해서, 전위차를 이용하여, 감광 드럼(44)과 연동하는 전사 드럼(46)의 표면에, 토너 화상이 전사된다. 그 후, 전사 드럼(46) 및 전사용 롤(47) 사이에 공급되는 기록용 매체의 표면에, 토너 화상이 전사되어, 미정착 화상을 갖는 기록용 매체가 얻어진다. 토너는, 결착 수지와 착색제와 첨가제를 포함하는 입자이며, 결착 수지의 용융 온도는, 통상 90℃∼250℃이다. 또한, 감광 드럼(44) 및 전사 드럼(46)의 표면에는, 불용의 토너 등을 제거하기 위한 청소 장치를 구비할 수 있다.In the imaging means, while rotating, the charged surface of the photosensitive drum 44, which has been charged to a predetermined potential by the charging device 43, is irradiated with a laser output from the laser scanner 41, and the photosensitive drum 44 is charged to a predetermined potential by the charging device 43. An electrostatic latent image is formed by the supplied toner. Subsequently, the toner image is transferred to the surface of the transfer drum 46 linked with the photosensitive drum 44 using the potential difference. Thereafter, the toner image is transferred to the surface of the recording medium supplied between the transfer drum 46 and the transfer roll 47, and a recording medium having an unfixed image is obtained. Toner is particles containing a binder resin, a colorant, and additives, and the melting temperature of the binder resin is usually 90°C to 250°C. Additionally, the surfaces of the photosensitive drum 44 and the transfer drum 46 may be provided with a cleaning device for removing unsoluble toner and the like.

정착 수단(5)은 상기 정착 장치(5)와 마찬가지의 구성으로 할 수 있고, 가압용 롤(54)과, 통지 방향 통전형의 히터(1)를 보유 지지한 히터 홀더(53)를 내부에 구비하고, 가압용 롤(54)과 연동하는 정착용 롤(51)을 구비한다. 작상 수단으로부터의 미정착 화상을 갖는 기록용 매체는, 정착용 롤(51) 및 가압용 롤(54) 사이에 공급된다. 정착용 롤(51)의 열이, 기록용 매체의 토너 화상을 용융하고, 또한, 용융된 토너가, 정착용 롤(51)과 가압용 롤(54)의 압접부에서 가압되어, 토너 화상이 기록용 매체에 정착된다. 도 18의 정착 수단(5)에 있어서는, 정착용 롤(51) 대신에, 히터(1)를 근접 배치한 정착용 벨트를 구비하는 형태여도 된다.The fixing means 5 can have the same configuration as the fixing device 5, and includes a pressurizing roll 54 and a heater holder 53 holding a heater 1 of a feed direction energization type inside. and a fixing roll (51) interlocked with the pressurizing roll (54). A recording medium containing an unfixed image from the imaging means is supplied between the fixing roll 51 and the pressing roll 54. The heat of the fixing roll 51 melts the toner image on the recording medium, and the melted toner is pressed at the pressure contact portion of the fixing roll 51 and the pressing roll 54, thereby forming the toner image. It is fixed on the recording medium. In the fixing means 5 in Fig. 18, instead of the fixing roll 51, a fixing belt with a heater 1 disposed close to it may be provided.

일반적으로, 정착용 롤(51)의 온도가 불균일해져, 토너에 공급되는 열량이 너무 작은 경우에는 토너가 기록용 매체로부터 박리되고, 한편, 열량이 너무 큰 경우에는 토너가 정착용 롤(51)에 부착되고, 정착용 롤(51)이 일주하여 기록용 매체에 재부착되어 버리는 경우가 있다. 본 발명의 히터를 구비하는 정착 수단(5)에 의하면, 소정의 온도로 신속하게 조정되므로, 문제를 억제할 수 있다.In general, when the temperature of the fixing roll 51 becomes uneven and the amount of heat supplied to the toner is too small, the toner peels off from the recording medium, and on the other hand, when the amount of heat is too large, the toner falls off the fixing roll 51. There are cases where the fixing roll 51 rotates and is re-attached to the recording medium. According to the fixing means 5 provided with the heater of the present invention, the problem can be suppressed because the temperature is quickly adjusted to a predetermined temperature.

본 발명의 화상 형성 장치는, 사용 시에 비통지 영역의 과승온이 억제되어, 전자 사진 방식의 인쇄기, 복사기 등으로서 적합하다.The image forming apparatus of the present invention suppresses excessive temperature increase in non-notification areas during use, and is suitable for electrophotographic printers, copiers, etc.

[4] 가열 장치[4] Heating device

본 히터를 구비하는 가열 장치는, 가열 대상의 크기나 형상 등에 의해, 적절히 선택된 구성으로 할 수 있다. 본 발명에 있어서는, 예를 들어 하우징부와, 피 열처리물의 출납 등을 위해 배치된 밀폐 가능한 창부와, 하우징부의 내부에 배치된 이동 가능한 히터부를 구비하여 구성할 수 있다. 필요에 따라서, 하우징부의 내부에, 피열처리물을 배치하는 피열처리물 설치부, 피열처리물의 가열에 의해 기체가 배출된 경우에, 이 기체를 배출하는 배기부, 하우징부의 내부의 압력을 조정하는, 진공 펌프 등의 압력 조정부 등을 구비할 수 있다. 또한, 가열은, 피열처리물 및 히터부를 고정한 상태에서 행해도 되고, 어느 한쪽을 이동시키면서 행해도 된다.The heating device including this heater can be configured to be appropriately selected depending on the size or shape of the object to be heated. In the present invention, for example, it can be configured to include a housing portion, a sealable window portion disposed for loading and unloading of heat-treated objects, and a movable heater portion disposed inside the housing portion. If necessary, inside the housing, there is a heat-treated object installation section that places the heat-treated object, an exhaust section that discharges gas when the gas is discharged by heating the heat-treated object, and a device that adjusts the pressure inside the housing. , a pressure adjusting unit such as a vacuum pump, etc. may be provided. In addition, heating may be performed while the object to be heat treated and the heater unit are fixed, or may be performed while moving either one.

본 가열 장치는, 물, 유기 용제 등을 포함하는 피열처리물의 건조를, 원하는 온도에서 행하는 장치로서 적합하다. 그리고, 진공 건조기(감압 건조기), 가압 건조기, 제습 건조기, 열풍 건조기, 방폭형 건조기 등으로서 사용할 수 있다. 또한, LCD 패널, 유기 EL 패널 등의 미소성물의 소성을, 원하는 온도에서 행하는 장치로서 적합하다. 그리고, 감압 소성기, 가압 소성기 등으로서 사용할 수 있다.This heating device is suitable as a device for drying an object to be heat-treated containing water, an organic solvent, etc. at a desired temperature. Additionally, it can be used as a vacuum dryer (reduced pressure dryer), pressure dryer, dehumidifying dryer, hot air dryer, explosion-proof dryer, etc. Additionally, it is suitable as a device for baking unfired materials such as LCD panels and organic EL panels at a desired temperature. And, it can be used as a reduced pressure calciner, a pressure calciner, etc.

또한, 본 발명에 있어서는, 상기의 구체적 실시 형태에 나타내는 것에 한정되지 않고, 목적, 용도에 따라서 본 발명의 범위 내에서 다양하게 변경한 실시 형태로 할 수 있다.In addition, the present invention is not limited to the specific embodiments described above, and various modified embodiments can be made within the scope of the present invention depending on the purpose and use.

1 : 히터
11 : 기체
12 : 저항 발열 배선
X : 횡배선부
Y : 종배선부
2 : 피가열물
4 : 화상 형성 장치
41: 레이저 스캐너
42 : 미러
43 : 대전 장치
44 : 감광 드럼
45 : 현상기
46 : 전사 드럼
47 : 전사용 롤
5 : 정착 장치(정착 수단)
51 : 정착용 롤
52 : 고정 패드
53 : 히터 홀더
54 : 가압용 롤
P : 기록용 매체
D1 : 소인 방향
D2 : 폭 방향
1: heater
11: Airframe
12: Resistance heating wiring
X: Horizontal wiring section
Y: Vertical wiring section
2: Heated object
4: Image forming device
41: Laser scanner
42: mirror
43: charging device
44: photosensitive drum
45: developer
46: warrior drum
47: transfer roll
5: Fixing device (fixing means)
51: fixing roll
52: fixed pad
53: heater holder
54: Roll for pressurization
P: recording medium
D 1 : Sweep direction
D 2 : Width direction

Claims (10)

피가열물과 대면된 상태에서, 상기 피가열물 및 본 히터 중 적어도 한쪽을 소인 방향으로 소인함으로써 상기 피가열물을 가열하는 히터로서,
기체와, 상기 기체 상에, 각각 따로 급전을 받는 복수의 저항 발열 배선을 구비하고,
상기 저항 발열 배선은, 상기 소인 방향으로, 제1 열, 제2 열, 제3 열의 순으로 나란히 배치된 적어도 3열의 횡배선부와, 상기 횡배선부간을 접속하는 종배선부가 연결되어 꾸불꾸불한 형상으로 형성되어 있고,
상기 저항 발열 배선 중 적어도 1개의 저항 발열 배선이, 하기 (P1)의 패턴 또는 하기 (P2)의 패턴 중 어느 하나의 패턴을 갖는 것을 특징으로 하는 히터.
(P1) : 제2 열 횡배선부(X2)가 제1 열 횡배선부(X1) 및 제3 열 횡배선부(X3)보다 짧게 형성된 패턴.
(P2) : 제2 열 횡배선부(X2)가 제1 열 횡배선부(X1) 및 제3 열 횡배선부(X3)보다 길게 형성된 패턴.
A heater that heats the object to be heated by sweeping at least one of the object to be heated and the main heater in a sweep direction while facing the object to be heated,
Equipped with a body and a plurality of resistance heating wires on the body, each receiving power separately,
The resistance heating wiring has at least three rows of horizontal wiring portions arranged side by side in the sweep direction in the order of a first row, a second column, and a third column, and a vertical wiring portion connecting the horizontal wiring portions, and is sinuous. It is formed into a shape,
A heater, characterized in that at least one of the resistance heating wirings has one of the patterns (P 1 ) below or the patterns (P 2 ) below.
(P 1 ): A pattern in which the second row horizontal wiring part (X 2 ) is formed shorter than the first row horizontal wiring part (X 1 ) and the third row horizontal wiring part (X 3 ).
(P 2 ): A pattern in which the second row horizontal wiring part (X 2 ) is formed longer than the first row horizontal wiring part (X 1 ) and the third row horizontal wiring part (X 3 ).
제1항에 있어서,
상기 (P1)의 패턴을 갖는 저항 발열 배선과, 상기 (P2)의 패턴을 갖는 저항 발열 배선의 양쪽의 저항 발열 배선을 구비하고,
상기 (P1)의 패턴을 갖는 저항 발열 배선과, 상기 (P2)의 패턴을 갖는 저항 발열 배선이 인접하여 배치되어 있는 히터.
According to paragraph 1,
A resistive heating wire having the pattern (P 1 ) above and a resistance heating wire on both sides of the resistive heating wire having the pattern (P 2 ),
A heater in which a resistance heating wire having the pattern (P 1 ) and a resistance heating wire having the pattern (P 2 ) are arranged adjacent to each other.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 저항 발열 배선은, 상기 소인 방향과는 수직인 폭 방향으로, 제1 배선(L1), 제2 배선(L2), 제3 배선(L3), 제4 배선(L4)의 순으로 배열되며, 적어도 4개의 상기 저항 발열 배선을 구비하고,
상기 제1 배선(L1)의 제1 열 횡배선부(X11) 및 제2 열 횡배선부(X12)를 연결하는 종배선부(Y112)와, 상기 제2 배선(L2)의 제1 열 횡배선부(X21) 및 제2 열 횡배선부(X22)를 연결하는 종배선부(Y212)가 간극을 두고 대향된 대향 개소(A)를 갖고,
상기 제2 배선(L2)의 제2 열 횡배선부(X22) 및 제3 열 횡배선부(X23)를 연결하는 종배선부(Y223)와, 상기 제3 배선(L3)의 제2 열 횡배선부(X32) 및 제3 열 횡배선부(X33)를 연결하는 종배선부(Y323)는 간극을 두고 대향된 대향 개소(B)를 갖고,
상기 제3 배선(L3)의 제1 열 횡배선부(X31) 및 제2 열 횡배선부(X32)를 연결하는 종배선부(Y312)와, 상기 제4 배선(L4)의 제1 열 횡배선부(X41) 및 제2 열 횡배선부(X42)를 연결하는 종배선부(Y412)는 간극을 두고 대향된 대향 개소(C)를 갖고,
상기 대향 개소(B)의 상기 간극의 소인 궤적이, 상기 대향 개소(A)의 상기 간극의 소인 궤적과, 상기 대향 개소(C)의 상기 간극의 소인 궤적 사이에 위치됨과 함께, 상기 대향 개소(A)의 상기 간극의 소인 궤적, 및 상기 대향 개소(C)의 상기 간극의 소인 궤적 중 어느 한쪽의 측으로 치우쳐 위치되어 있는 히터.
According to claim 1 or 2,
The resistance heating wiring is arranged in the following order: first wiring (L 1 ), second wiring (L 2 ), third wiring (L 3 ), and fourth wiring (L 4 ) in the width direction perpendicular to the sweep direction. is arranged, and has at least four of the resistance heating wires,
A vertical wiring part (Y 112 ) connecting the first row horizontal wiring part (X 11 ) and the second row horizontal wiring part (X 12 ) of the first wiring (L 1 ), and the second wiring (L 2 ) The vertical wiring portion (Y 212 ) connecting the first row horizontal wiring portion (X 21 ) and the second row horizontal wiring portion (X 22 ) has an opposing location A facing each other with a gap,
A vertical wiring portion (Y 223 ) connecting the second row horizontal wiring portion (X 22 ) and the third row horizontal wiring portion (X 23 ) of the second wiring (L 2 ), and the third wiring (L 3 ) The vertical wiring portion (Y 323 ) connecting the second row horizontal wiring portion (X 32 ) and the third row horizontal wiring portion (
A vertical wiring part (Y 312 ) connecting the first row horizontal wiring part (X 31 ) and the second row horizontal wiring part (X 32 ) of the third wiring (L 3 ), and the fourth wiring (L 4 ) The vertical wiring portion (Y 412 ) connecting the first row horizontal wiring portion (X 41 ) and the second row horizontal wiring portion (
The sweep trace of the gap at the opposing point (B) is located between the sweep trace of the gap at the opposing point (A) and the sweep trace of the gap at the opposing point (C), and the sweep trace of the gap at the opposing point (C) A heater positioned to be biased toward one of the sweep trace of the gap at A) and the sweep trace of the gap at the opposite location (C).
제1항 또는 제2항에 있어서,
각각의 상기 저항 발열 배선은, 상기 소인 방향으로, 상기 제1 열 내지 상기 제3 열에 더하여, 또한, 제4 열의 순으로 나란히 배치된 적어도 4열의 상기 횡배선부와, 상기 횡배선부간을 접속하는 종배선부가 연결되어 꾸불꾸불한 형상으로 형성되어 있고,
상기 저항 발열 배선 중 소정의 저항 발열 배선(LS)의 제1 열 횡배선부(XS1) 및 제2 열 횡배선부(XS2)를 연결하는 종배선부(YS12)와, 상기 저항 발열 배선(LS)에 인접한 저항 발열 배선(LT)의 제1 열 횡배선부(XT1) 및 제2 열 횡배선부(XT2)를 연결하는 종배선부(YT12)가 간극을 두고 대향된 대향 개소(D)를 갖고,
상기 저항 발열 배선(LS)의 제3 열 횡배선부(XS3) 및 제4 열 횡배선부(XS4)를 연결하는 종배선부(YS34)와, 상기 저항 발열 배선(LT)의 제3 열 횡배선부(XT3) 및 제4 열 횡배선부(XT4)를 연결하는 종배선부(YT34)가 간극을 두고 대향된 대향 개소(E)를 갖고,
상기 대향 개소(D)의 상기 간극의 소인 궤적과, 상기 대향 개소(E)의 상기 간극의 소인 궤적이 겹치지 않도록 폭 방향으로 이격되어 있는 히터.
According to claim 1 or 2,
Each of the resistance heating wirings connects the horizontal wiring portions to at least four rows of horizontal wiring portions arranged side by side in the sweep direction in the order of the first to third columns and the fourth column. The vertical wiring portion is connected to form a sinuous shape,
A vertical wiring part (Y S12) connecting the first row horizontal wiring part (X S1 ) and the second row horizontal wiring part (X S2 ) of a predetermined resistance heating wire ( LS ) among the resistance heating wires, and The vertical wiring part (Y T12) connecting the first row horizontal wiring part (X T1 ) and the second row horizontal wiring part (X T2 ) of the resistance heating wiring (L T ) adjacent to the wiring (L S ) faces each other with a gap. has an opposing point (D),
A vertical wiring part (Y S34 ) connecting the third row horizontal wiring part (X S3 ) and the fourth row horizontal wiring part (X S4 ) of the resistance heating wiring (L S ), and the resistance heating wiring (L T ) The vertical wiring portion (Y T34 ) connecting the third row horizontal wiring portion (X T3 ) and the fourth row horizontal wiring portion (X T4 ) has an opposing location (E) facing each other with a gap,
A heater in which a sweep trace of the gap at the opposing location (D) and a sweep trace of the gap at the opposing location (E) are spaced apart in the width direction so as not to overlap.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 횡배선부는, 상기 종배선부보다도 길게 형성되어 있는 히터.
According to claim 1 or 2,
A heater in which the horizontal wiring portion is formed to be longer than the vertical wiring portion.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 종배선부 중 적어도 일부의 종배선부가, 상기 소인 방향에 대하여 경사져 있는 히터.
According to claim 1 or 2,
A heater in which at least some of the vertical wiring portions are inclined with respect to the sweep direction.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 저항 발열 배선은, 정의 저항 발열 계수를 갖는 히터.
According to claim 1 or 2,
The resistance heating wiring is a heater with a positive resistance heating coefficient.
제1항 또는 제2항에 기재된 히터를 구비하는 것을 특징으로 하는 정착 장치.A fixing device comprising the heater according to claim 1 or 2. 제1항 또는 제2항에 기재된 히터를 구비하는 것을 특징으로 하는 화상 형성 장치.An image forming apparatus comprising the heater according to claim 1 or 2. 제1항 또는 제2항에 기재된 히터를 구비하는 것을 특징으로 하는 가열 장치.A heating device comprising the heater according to claim 1 or 2.
KR1020177029681A 2015-11-27 2016-11-24 Heater, fusing device, image forming device and heating device KR102637446B1 (en)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2015-232372 2015-11-27
JP2015232372 2015-11-27
PCT/JP2016/084850 WO2017090692A1 (en) 2015-11-27 2016-11-24 Heater, fixing device, image-forming device, and heating device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20180087138A KR20180087138A (en) 2018-08-01
KR102637446B1 true KR102637446B1 (en) 2024-02-19

Family

ID=58763479

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020177029681A KR102637446B1 (en) 2015-11-27 2016-11-24 Heater, fusing device, image forming device and heating device

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JP6161859B1 (en)
KR (1) KR102637446B1 (en)
CN (1) CN107535017B (en)
TW (1) TWI706689B (en)
WO (1) WO2017090692A1 (en)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019112058A1 (en) * 2017-12-08 2019-06-13 株式会社美鈴工業 Heater, fixing device, image-forming device, and heating device
JP7276700B2 (en) * 2018-11-30 2023-05-18 株式会社リコー Fixing device and image forming device
JP2022093918A (en) 2020-12-14 2022-06-24 東芝テック株式会社 Image forming apparatus
JP7554490B2 (en) * 2022-07-22 2024-09-20 株式会社美鈴工業 Heater, fixing device, image forming apparatus and heating device

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013073276A1 (en) 2011-11-15 2013-05-23 株式会社美鈴工業 Heater, and fixing device and drying device provided with same
WO2014034744A1 (en) 2012-08-31 2014-03-06 株式会社美鈴工業 Heater, and fixation device, image formation device, and heating device equipped with same
WO2015151905A1 (en) 2014-03-31 2015-10-08 株式会社美鈴工業 Heater, fixing device, image formation device, and heating device provided with heater, and method for producing heater

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11287238A (en) * 1997-06-27 1999-10-19 Ricoh Co Ltd Heating roller
KR101005733B1 (en) * 2006-07-20 2011-01-06 와틀로 일렉트릭 매뉴팩츄어링 컴파니 Layered Heater System Having Conductive Overlays
WO2011024645A1 (en) * 2009-08-27 2011-03-03 三菱電機株式会社 Heating device
JP5983495B2 (en) * 2013-03-28 2016-08-31 株式会社デンソー Radiation heater device

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013073276A1 (en) 2011-11-15 2013-05-23 株式会社美鈴工業 Heater, and fixing device and drying device provided with same
WO2014034744A1 (en) 2012-08-31 2014-03-06 株式会社美鈴工業 Heater, and fixation device, image formation device, and heating device equipped with same
WO2015151905A1 (en) 2014-03-31 2015-10-08 株式会社美鈴工業 Heater, fixing device, image formation device, and heating device provided with heater, and method for producing heater

Also Published As

Publication number Publication date
TWI706689B (en) 2020-10-01
CN107535017B (en) 2020-11-10
JP6161859B1 (en) 2017-07-12
CN107535017A (en) 2018-01-02
JPWO2017090692A1 (en) 2017-11-30
TW201737757A (en) 2017-10-16
KR20180087138A (en) 2018-08-01
WO2017090692A1 (en) 2017-06-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106134284B (en) Heater, fixing device provided with same, image forming apparatus, heating device, and method for manufacturing heater
KR102037827B1 (en) Heater, and fixing device and drying device provided with same
KR102637446B1 (en) Heater, fusing device, image forming device and heating device
JP2012252127A (en) Heating body and image heating device
TWI587731B (en) A heater, and a fixture, an image forming device, and a heating device
CN107615879B (en) Heater, fixing device provided with same, image forming apparatus, and heating device
JP6614742B2 (en) Heater, fixing device, image forming apparatus, and heating device
JP6484077B2 (en) Heater for fixing machine
JP7554490B2 (en) Heater, fixing device, image forming apparatus and heating device
US20240260139A1 (en) Heater, fixing device, image-forming device, and heating device

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant