KR20180074237A - Multi-layered printed circuit board - Google Patents

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KR20180074237A
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insulating layer
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서일종
강명삼
민태홍
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삼성전기주식회사
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Abstract

Disclosed is a printed circuit board. The printed circuit board according to an aspect of the present invention comprises: a metal layer having a through hole formed therein; an upper conductor pattern layer and a lower conductor pattern layer respectively formed on the metal layer; an upper insulating layer formed between the metal layer and the upper conductor pattern layer; a lower insulating layer formed between the metal layer and the lower conductor pattern layer; and a low melting point metal layer and a high melting point metal layer having a melting point higher than a melting point of the low melting point metal layer.In order to connect the upper conductor pattern layer and the lower conductor pattern layer to each other, the present invention also includes: the upper insulating layer; the lower insulating layer; and a through via formed in the through hole.

Description

인쇄회로기판{MULTI-LAYERED PRINTED CIRCUIT BOARD}[0001] MULTI-LAYERED PRINTED CIRCUIT BOARD [0002]

본 발명은 인쇄회로기판에 관한 것이다.The present invention relates to a printed circuit board.

통상적으로 인쇄회로기판은 코어 기판 상에 복수의 빌드업층을 순차적으로 적층하여 생산된다. 이렇게 순차적으로 빌드업층을 적층하여 인쇄회로기판을 생산하는 것을 순차적층공법이라고 칭할 수 있다.Typically, a printed circuit board is produced by sequentially laminating a plurality of buildup layers on a core substrate. The production of the printed circuit board by sequentially stacking the build-up layers can be referred to as a sequential layer construction method.

순차적층공법에 의해 인쇄회로기판을 제조할 경우, 인쇄회로기판의 층 수가 늘어나면 적층공정 수도 증가한다. 이러한 적층공정은 기존에 이미 적층되어 있는 부분에도 열을 가하기 때문에, 불필요하고 예측 불가능한 변형을 일으킬 수 있다. 이러한 변형이 많을수록 층간 정합이 어렵게 된다.When a printed circuit board is manufactured by a sequential lamination method, the number of lamination steps increases as the number of printed circuit boards increases. Such a lamination process may cause unnecessary and unpredictable deformation because heat is applied to a portion already existing in the lamination process. The more such deformation, the more difficult the interlayer matching becomes.

이에 따라, 각각의 빌드업층을 단위기판으로 분리 생산한 후 복수의 단위기판을 일괄적으로 동시에 적층하여 인쇄회로기판을 생산하는 일괄적층공법이 개발되었다.Accordingly, a batch lamination method has been developed in which a plurality of unit substrates are collectively laminated at the same time after the respective buildup layers are separated and produced as a unit substrate to produce a printed circuit board.

대한민국 공개특허공보 제10- 2011-0066044호 (2011.06.16)Korean Patent Publication No. 10- 2011-0066044 (June 16, 2011)

본 발명의 실시예에 따르면, 휨(warpage)을 방지할 수 있는 인쇄회로기판이 제공될 수 있다.According to the embodiment of the present invention, a printed circuit board capable of preventing warpage can be provided.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 인쇄회로기판을 나타내는 도면.
도 2는 본 발명의 제2 실시예에 따른 인쇄회로기판을 나타내는 도면.
도 3은 본 발명의 제3 실시예에 따른 인쇄회로기판을 나타내는 도면.
도 4, 도 5 및 도 8 내지 도 18은 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로기판의 제조방법을 순차적으로 나타내는 도면으로,
도 4 및 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로기판의 제조방법에 적용되는 메탈단위기판의 제조공정을 순차적으로 나타내는 도면이고,
도 8 내지 도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로기판의 제조방법에 적용되는 일반단위기판의 제조공정을 순차적으로 나타내는 도면이고,
도 14 내지 도 16는 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로기판의 제조방법에 적용되는 보호단위기판의 제조공정을 순차적으로 나타내는 도면이고,
도 17 및 도 18은 도 3, 도 4, 도 6 및 도 8 내지 도 16를 통해 제조된 메탈단위기판, 일반단위기판 및 보호단위기판을 일괄적으로 적층하는 것을 나타내는 도면.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로기판의 제조방법에 적용되는 메탈단위기판의 제1 변형예를 나타내는 도면.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로기판의 제조방법에 적용되는 메탈단위기판의 제2 변형예를 나타내는 도면.
1 shows a printed circuit board according to a first embodiment of the present invention.
2 shows a printed circuit board according to a second embodiment of the present invention.
3 shows a printed circuit board according to a third embodiment of the present invention.
4, 5, and 8 to 18 are views sequentially illustrating a method of manufacturing a printed circuit board according to an embodiment of the present invention,
FIGS. 4 and 5 are views sequentially illustrating a process of manufacturing a metal unit substrate, which is applied to a method of manufacturing a printed circuit board according to an embodiment of the present invention,
8 to 13 are views sequentially illustrating a manufacturing process of a general unit substrate, which is applied to a method of manufacturing a printed circuit board according to an embodiment of the present invention,
14 to 16 are views sequentially illustrating the steps of manufacturing a protective unit substrate to be applied to a method of manufacturing a printed circuit board according to an embodiment of the present invention,
FIGS. 17 and 18 are views showing the lamination of the metal unit substrate, the general unit substrate, and the protective unit substrate manufactured through FIGS. 3, 4, 6 and 8 to 16 collectively.
6 is a view showing a first modification of a metal unit substrate applied to a method of manufacturing a printed circuit board according to an embodiment of the present invention.
7 is a view showing a second modification of a metal unit substrate applied to a method of manufacturing a printed circuit board according to an embodiment of the present invention.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. 그리고, 명세서 전체에서, "상에"라 함은 대상 부분의 위 또는 아래에 위치함을 의미하는 것이며, 반드시 중력 방향을 기준으로 상 측에 위치하는 것을 의미하는 것이 아니다.The terminology used in this application is used only to describe a specific embodiment and is not intended to limit the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, the terms "comprises" or "having" and the like are used to specify that there is a feature, a number, a step, an operation, an element, a component or a combination thereof described in the specification, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, components, or combinations thereof. In the specification, "on" means to be located above or below the object portion, and does not necessarily mean that the object is located on the upper side with respect to the gravitational direction.

또한, 결합이라 함은, 각 구성 요소 간의 접촉 관계에 있어, 각 구성 요소 간에 물리적으로 직접 접촉되는 경우만을 뜻하는 것이 아니라, 다른 구성이 각 구성 요소 사이에 개재되어, 그 다른 구성에 구성 요소가 각각 접촉되어 있는 경우까지 포괄하는 개념으로 사용하도록 한다.In addition, the term " coupled " is used not only in the case of direct physical contact between the respective constituent elements in the contact relation between the constituent elements, but also means that other constituent elements are interposed between the constituent elements, Use them as a concept to cover each contact.

도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.The sizes and thicknesses of the respective components shown in the drawings are arbitrarily shown for convenience of explanation, and thus the present invention is not necessarily limited to those shown in the drawings.

이하, 본 발명에 따른 인쇄회로기판의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of a printed circuit board according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, wherein like reference numerals refer to the same or corresponding components, A description thereof will be omitted.

인쇄회로기판Printed circuit board

(제1 (First 실시예Example ))

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 인쇄회로기판을 나타내는 도면이다.1 is a view showing a printed circuit board according to a first embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 인쇄회로기판(1000)은 메탈층(510), 상부도체패턴층(110), 하부도체패턴층(210), 상부절연층(120), 하부절연층(220) 및 관통비아(V1)를 포함하고, 솔더레지스트층(620)을 더 포함할 수 있다.1, a printed circuit board 1000 according to a first embodiment of the present invention includes a metal layer 510, an upper conductive pattern layer 110, a lower conductive pattern layer 210, an upper insulating layer 120, A lower insulating layer 220 and through vias V1 and may further include a solder resist layer 620. [

메탈층(510)은 후술할 상부 및 하부도체패턴층(110, 210)을 구성하는 물질보다 상대적으로 강성이 우수한 물질을 포함한다. 예로써, 메탈층(510)은 통상의 인쇄회로기판의 도체패턴을 형성하는데 사용되는 구리(Cu)보다 강성이 우수한 인바(Invar)를 포함할 수 있다.The metal layer 510 includes a material having relatively higher rigidity than the material constituting the upper and lower conductor pattern layers 110 and 210 to be described later. By way of example, the metal layer 510 may comprise Invar, which is more rigid than copper (Cu) used to form the conductor pattern of a conventional printed circuit board.

메탈층(510)은 인바(Invar)를 포함하는 3층 구조로 형성될 수 있다. 예로써, 메탈층(510)은, 인바(Invar)를 포함하는 내층(511)의 양면에 구리(Cu)를 포함하는 외층(512, 513)이 각각 형성된 구조일 수 있다. 또는, 메탈층(510)은, 구리를 포함하는 내층(511)의 양면에 인바(Invar)를 포함하는 외층(512, 513)이 각각 형성된 구조일 수 있다.The metal layer 510 may be formed in a three-layer structure including Invar. For example, the metal layer 510 may have a structure in which outer layers 512 and 513 including copper (Cu) are formed on both surfaces of an inner layer 511 including Invar. Alternatively, the metal layer 510 may have a structure in which outer layers 512 and 513 including Invar are formed on both surfaces of the inner layer 511 including copper.

관통홀(H)은 메탈층(510)을 관통한다. 관통홀(H)에는 후술할 관통비아(V1)가 형성된다.The through hole (H) penetrates the metal layer (510). In the through hole H, a through via V1 to be described later is formed.

상부 및 하부도체패턴층(110, 210)은 메탈층(510) 상에 각각 형성된다. 즉, 상부도체패턴층(110)은 메탈층(510)의 상부에 형성되고, 하부도체패턴층(210)은 메탈층(510)의 하부에 형성된다. 상부 및 하부도체패턴층(110, 210) 각각은 통상의 인쇄회로기판의 신호패턴, 파워패턴, 그라운드패턴 및 외부연결단자 중 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다.The upper and lower conductor pattern layers 110 and 210 are formed on the metal layer 510, respectively. That is, the upper conductor pattern layer 110 is formed on the upper portion of the metal layer 510 and the lower conductor pattern layer 210 is formed on the lower side of the metal layer 510. Each of the upper and lower conductor pattern layers 110 and 210 may include at least one of a signal pattern, a power pattern, a ground pattern, and an external connection terminal of a conventional printed circuit board.

상부도체패턴층(110)과 하부도체패턴층(210)은 상호 간의 형성위치만 상이할 뿐이다. 따라서, 이하의 본 실시예에 따른 인쇄회로기판(1000)의 설명에서는, 상부도체패턴층(110)과 하부도체패턴층(210) 간의 구별이 필요한 경우를 제외하고 도체패턴층으로 통칭하기로 한다. 또한, 도 1을 기준으로 상부도체패턴층(110)을 제1 도체패턴층으로 하부도체패턴층(210)을 제2 도체패턴층으로 칭하기로 한다.The upper conductor pattern layer 110 and the lower conductor pattern layer 210 are only different in formation position from each other. Therefore, in the following description of the printed circuit board 1000 according to the present embodiment, the conductor pattern layer is generally referred to as a conductor pattern layer except for the case where the upper conductor pattern layer 110 and the lower conductor pattern layer 210 need to be distinguished . 1, the upper conductor pattern layer 110 is referred to as a first conductor pattern layer and the lower conductor pattern layer 210 is referred to as a second conductor pattern layer.

도체패턴층(110, 210)은 전기적 특성이 우수한 구리(Cu), 은(Ag), 팔라듐(Pd), 알루미늄(Al), 니켈(Ni), 티타늄(Ti), 금(Au), 백금(Pt) 등으로 형성될 수 있다. 제1 도체패턴층(110)과 제2 도체패턴층(210)의 패턴 형상은 서로 동일할 수도 있지만, 설계 상의 필요에 따라 서로 다르게 형성될 수도 있다.The conductor pattern layers 110 and 210 may be formed of copper (Cu), silver (Ag), palladium (Pd), aluminum (Al), nickel (Ni), titanium (Ti) Pt) or the like. The pattern shapes of the first conductor pattern layer 110 and the second conductor pattern layer 210 may be identical to each other, but may be different from each other depending on design requirements.

상부절연층(120)은 메탈층(510)과 제1 도체패턴층(110) 사이에 형성되고, 하부절연층(220)은 메탈층(510)과 제2 도체패턴층(210) 사이에 형성된다.The upper insulating layer 120 is formed between the metal layer 510 and the first conductive pattern layer 110 and the lower insulating layer 220 is formed between the metal layer 510 and the second conductive pattern layer 210 do.

상부절연층(120)과 하부절연층(220)은 상호 간의 형성위치만 상이할 뿐이다. 따라서, 이하의 본 실시예에 따른 인쇄회로기판(1000)의 설명에서는, 상부절연층(120)과 하부절연층(220) 간의 구별이 필요한 경우를 제외하고 절연층으로 통칭하기로 한다. 또한, 도 1을 기준으로 상부절연층(120)을 제1 절연층으로, 하부절연층(120)을 제2 절연층으로 칭한다. 이하의 설명에서는 설명의 편의를 위해 제1 절연층(120)에 대해서만 설명하기로 한다. The upper insulating layer 120 and the lower insulating layer 220 are only different in formation position from each other. Therefore, in the following description of the printed circuit board 1000 according to the present embodiment, the insulating layer will be referred to as an insulating layer except for the case where the upper insulating layer 120 and the lower insulating layer 220 need to be distinguished. 1, the upper insulating layer 120 is referred to as a first insulating layer, and the lower insulating layer 120 is referred to as a second insulating layer. In the following description, only the first insulating layer 120 will be described for convenience of explanation.

절연층(120)은 광경화성 수지를 포함하여 광에 반응하는 물질로 이루어진 감광성 절연층일 수 있다. 또는 절연층(120)은 통상의 층간 절연물질인 프리프레그(prepreg) 또는 ABF(Ajinomoto Build-up Film)와 같은 비감광성 절연물질로 형성될 수 있다.The insulating layer 120 may be a photosensitive insulating layer made of a material that reacts with light including a photocurable resin. Or the insulating layer 120 may be formed of a non-photosensitive insulating material such as a prepreg or an Ajinomoto Build-up Film (ABF) which is a typical interlayer insulating material.

감광성 절연층(120)은 빛에 의하여 경화도가 조절될 수 있다. 다만, 감광성 절연층(220)은 열경화성이기도 하며, 열에 의해서 경화도가 조절될 수 있다.The degree of curing of the photosensitive insulating layer 120 can be controlled by light. However, the photosensitive insulating layer 220 is also thermosetting, and the degree of curing can be controlled by heat.

감광성 절연층(120)은 포토리소그래피(photolithography) 공정이 가능하므로, 프리프레그(prepreg)와 같은 비감광성 절연층에 홀을 가공하는 경우보다 미세홀 구현에 유리하고, 한 번의 포토리소그래피 공정만으로 복수의 홀을 동시에 형성할 수 있으므로 홀 형성 공정을 단순화할 수 있다. 또한, 감광성 절연층(120)은 포토리소그래피 공정으로 인해 홀 형상을 보다 용이하게 다양한 형상으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 홀의 종단면 형상은 역사다리꼴, 정사다리꼴, 직사각형 등이 될 수 있다.Since the photosensitive insulating layer 120 is capable of a photolithography process, it is more advantageous to realize fine holes than a hole is formed in a non-photosensitive insulating layer such as a prepreg, and a plurality of Holes can be simultaneously formed, so that the hole forming process can be simplified. Further, the photosensitive insulating layer 120 can be formed into various shapes in a hole shape more easily due to the photolithography process. For example, the shape of the vertical cross-section of the hole may be an inverted trapezoid, an orthogonal trapezoid, a rectangle, or the like.

감광성 절연층(120)은 포지티브 타입(positive type) 또는 네거티브 타입(negative type)일 수 있다. 포지티브 타입(positive type)의 감광성 절연층(120)의 경우, 노광된 부분의 광중합체 폴리머 결합이 끊어진다. 이후, 현상 공정을 수행하면, 빛을 받아 광중합체 폴리머 결합이 끊어진 부분이 제거된다. 네거티브 타입(negative type)의 감광성 절연층(220)의 경우, 노광된 부분이 광중합 반응을 일으켜 단일구조에서 사슬구조의 3차원 망상 구조가 되며, 현상 공정을 수행하면, 빛을 받지 않은 부분이 제거된다.The photosensitive insulating layer 120 may be a positive type or a negative type. In the case of the positive type photosensitive insulating layer 120, the photopolymer polymer bond of the exposed portion is broken. Thereafter, when the developing process is performed, a portion where the photopolymer polymer bond breaks due to light is removed. In the case of the negative type photosensitive insulating layer 220, the exposed portions cause a photopolymerization reaction to form a three-dimensional network structure of a chain structure in a single structure. When a developing process is performed, do.

감광성 절연층(120)은 광경화성 수지에 무기필러가 함유된 것일 수 있다. 무기필러는 감광성 절연층(120)의 강성을 향상시키고 열팽창계수를 감소시킨다. 무기필러로는 실리카(SiO2), 알루미나(Al2O3), 탄화규소(SiC), 황산바륨(BaSO4), 탈크, 진흙, 운모가루, 수산화알루미늄(AlOH3), 수산화마그네슘(Mg(OH)2), 탄산칼슘(CaCO3), 탄산마그네슘(MgCO3), 산화마그네슘(MgO), 질화붕소(BN), 붕산알루미늄(AlBO3), 티탄산바륨(BaTiO3) 및 지르콘산칼슘(CaZrO3)으로 구성된 군에서 선택된 적어도 하나 이상이 사용될 수 있다.The photosensitive insulating layer 120 may contain an inorganic filler in the photocurable resin. The inorganic filler improves the rigidity of the photosensitive insulating layer 120 and reduces the thermal expansion coefficient. As the inorganic filler, silica (SiO 2 ), alumina (Al 2 O 3 ), silicon carbide (SiC), barium sulfate (BaSO 4 ), talc, clay, mica powder, aluminum hydroxide (AlOH 3 ), magnesium hydroxide OH) 2 ), calcium carbonate (CaCO 3 ), magnesium carbonate (MgCO 3 ), magnesium oxide (MgO), boron nitride (BN), aluminum borate (AlBO 3 ), barium titanate (BaTiO 3 ) and calcium zirconate 3 ) may be used.

제1 절연층(120) 및 제2 절연층(220) 각각은 제1 도체패턴층(110) 및 제2 도체패턴층(120)과 함께 후술할 제1 및 제2 일반단위기판(100, 200)에 포함된다. 즉, 제1 절연층(120)은 제1 도체패턴층(110)과 함께 후술할 제1 일반단위기판(100)에 포함된다. 제1 절연층(120) 및 제2 절연층(220)은, 순차적층공법과 달리 서로 분리되어 별개로 형성된 후 일괄적으로 동시에 적층된다.Each of the first insulating layer 120 and the second insulating layer 220 includes a first conductor pattern layer 110 and a second conductor pattern layer 120 together with first and second general unit substrates 100 and 200 ). That is, the first insulating layer 120 is included in the first general unit substrate 100 together with the first conductor pattern layer 110. The first insulating layer 120 and the second insulating layer 220 are formed separately from each other and are stacked at the same time, unlike the sequential layering method.

관통비아(V1)는 제1 도체패턴층(110)과 제2 도체패턴층(120)을 서로 연결하도록 제1 절연층(120), 제2 절연층(220) 및 관통홀(H)에 형성된다. 관통비아(V1)의 양단은 각각 제1 도체패턴층(110)과 제2 도체패턴층(210)에 접촉되어 제1 도체패턴층(110)과 제2 도체패턴층(210)을 전기적으로 서로 연결한다.The through vias V1 are formed in the first insulating layer 120, the second insulating layer 220 and the through holes H so as to connect the first conductor pattern layer 110 and the second conductor pattern layer 120 to each other do. Both ends of the through vias V1 are in contact with the first conductor pattern layer 110 and the second conductor pattern layer 210 to electrically connect the first conductor pattern layer 110 and the second conductor pattern layer 210 to each other Connect.

관통비아(V1)는 저융점금속층(20) 및 저융점금속층(20)의 용융점보다 높은 용융점을 가지는 고융점금속층(10)을 포함한다. 도 1을 참고하면, 본 실시예에 적용되는 관통비아(V1)는, 제1 도체패턴층(110)과 제2 도체패턴층(210)에 각각 형성된 고융점금속층(10) 및 고융점금속층(10) 사이에 개재되고 관통홀(H)에 형성되는 저융점금속층(20)을 포함한다.The through vias (V1) include a refractory metal layer (10) having a melting point higher than the melting point of the low melting point metal layer (20) and the low melting point metal layer (20). 1, the through vias V1 used in the present embodiment are formed of a high melting point metal layer 10 and a high melting point metal layer 10 formed in the first conductor pattern layer 110 and the second conductor pattern layer 210 And a low melting point metal layer (20) interposed between the through holes (H).

고융점금속층(10)은 전기적 특성이 우수하고 저융점금속층(20)의 용융점보다 높은 용융점을 가지는 구리(Cu), 은(Ag), 팔라듐(Pd), 알루미늄(Al), 니켈(Ni), 티타늄(Ti), 금(Au), 백금(Pt) 등으로 형성될 수 있다. 일 예로, 고융점금속층(10)과 도체패턴층(110, 210)은 모두 구리로 형성될 수 있는데, 이 경우 양자는 동종물질로 형성되므로 상호 간의 결합력이 향상된다. 또한, 양자를 서로 다른 물질로 형성하는 경우에 비하여, 공정을 단순화할 수 있고 생산비를 절감할 수 있다. 하지만, 상술한 예는 예시적인 것으로 본 발명의 범위가 이에 제한되는 것은 아니다.The refractory metal layer 10 is made of copper (Cu), silver (Ag), palladium (Pd), aluminum (Al), nickel (Ni), or the like, which has excellent electrical characteristics and has a melting point higher than the melting point of the low melting point metal layer Titanium (Ti), gold (Au), platinum (Pt), or the like. For example, both the refractory metal layer 10 and the conductor pattern layers 110 and 210 may be formed of copper. In this case, since both are formed of the same material, the bonding strength between the refractory metal layer 10 and the conductor pattern layers 110 and 210 is improved. Further, the process can be simplified and the production cost can be reduced as compared with the case where the two materials are formed of different materials. However, the above-mentioned examples are illustrative and the scope of the present invention is not limited thereto.

저융점금속층(20)은 고융점금속층(10)의 용융점보다 용융점이 낮다. 저융점금속층(20)은 솔더 재질로 이루어질 수 있다. 여기서 '솔더'란 땜납에 사용될 수 있는 금속재료를 의미하며, 납(Pb)을 포함하는 합금일 수도 있지만, 납을 포함하지 않을 수 있다. 예를 들어, 솔더는, 주석(Sn), 은(Ag), 구리(Cu) 또는 이 중에서 선택된 금속들의 합금일 수 있다. 구체적으로 본 발명의 실시예에서 사용되는 솔더는 솔더 전체에 대한 주석(Sn)의 함량이 90% 이상인 주석, 은 및 구리를 성분으로 포함하는 합금일 수 있다.The melting point of the low melting point metal layer (20) is lower than the melting point of the high melting point metal layer (10). The low melting point metal layer 20 may be made of a solder material. Here, 'solder' means a metal material which can be used for solder, and may be an alloy including lead (Pb), but may not contain lead. For example, the solder may be tin (Sn), silver (Ag), copper (Cu), or an alloy of metals selected therefrom. Specifically, the solder used in the embodiment of the present invention may be an alloy containing tin, silver and copper having a tin (Sn) content of 90% or more with respect to the entire solder.

저융점금속층(20)은 후술할 단위기판(100, 200, 500, 600)을 일괄적층할 때 적어도 일부가 용융되어 단위기판(100, 200, 500, 600)들 간의 압력 불균일을 완화할 수 있다.The low-melting-point metal layer 20 melts at least partly when the unit substrates 100, 200, 500, and 600 to be described later are laminated together to alleviate pressure unevenness between the unit substrates 100, 200, 500, and 600 .

저융점금속층(20)은 일괄적층 시의 온도 및 압력으로 인해 적어도 일부가 용융되므로, 저융점금속층(20)은 고융점금속층(10) 또는 도체패턴층(110, 210)을 구성하는 물질과 용이하게 반응할 수 있다. 따라서, 저융점금속층(20)과 고융점금속층(10) 또는 도체패턴층(110, 210) 사이에는 금속간화합물층(Inter-Metallic Compound, IMC)이 형성될 수 있다. 금속간화합물층으로 인해 도체패턴층(110, 210) 간의 물리적 결합력이 향상된다.The low-melting-point metal layer 20 is melted at least partially due to the temperature and pressure in the laminating process, so that the low-melting-point metal layer 20 is easily melted by the material constituting the high- melting point metal layer 10 or the conductor pattern layers 110 and 210 You can react. Accordingly, an intermetallic compound (IMC) layer may be formed between the low melting point metal layer 20 and the high melting point metal layer 10 or between the conductor pattern layers 110 and 210. The physical bonding force between the conductor pattern layers 110 and 210 is improved due to the intermetallic compound layer.

절연층(120, 220)은 관통홀(H)의 내벽과 관통비아(V1) 사이를 충전한다. 후술할 바와 같이, 절연층(120, 220)은 일괄적층 전까지 반경화상태(B-stage)를 유지한다. 또한, 본 실시예의 경우 관통홀(H)의 직경은 관통비아(V1)의 직경보다 크게 형성된다. 따라서, 일괄적층 시 절연층(120, 220)의 유동성으로 인해 절연층(120, 220)은 관통홀(H)의 내벽과 관통비아(V1) 사이의 공간을 충전한다.The insulating layers 120 and 220 fill the space between the inner wall of the through hole H and the through via V1. As will be described later, the insulating layers 120 and 220 maintain the semi-cured state (B-stage) until collectively laminated. In this embodiment, the diameter of the through hole H is larger than the diameter of the through via V1. Therefore, the insulating layers 120 and 220 fill the space between the inner wall of the through hole H and the through via V1 due to the fluidity of the insulating layers 120 and 220 in the batch lamination.

솔더레지스트층(620)은 도체패턴층(110, 210) 상에 형성된다. 솔더레지스트층(620)은 도체패턴층(110, 210)을 외부로부터 보호하고 단락(short)을 방지하도록 전기절연성물질을 포함한다. 또한, 솔더레지스트층(620)은 감광성 물질을 포함할 수 있고, 강성 또는 열팽창계수의 조절 필요성에 따라 무기필러를 포함할 수 있다.A solder resist layer 620 is formed on the conductor pattern layers 110 and 210. The solder resist layer 620 includes an electrically insulating material to protect the conductor pattern layers 110 and 210 from the outside and prevent a short circuit. In addition, the solder resist layer 620 may comprise a photosensitive material and may include an inorganic filler depending on the need to adjust the stiffness or thermal expansion coefficient.

솔더레지스트층(620)은 도체패턴층(110, 210) 중 외부연결단자를 외부로 개방하는 개구가 형성될 수 있다.The solder resist layer 620 may have openings for opening the external connection terminals out of the conductor pattern layers 110 and 210 to the outside.

(제2 (Second 실시예Example ))

도 2는 본 발명의 제2 실시예에 따른 인쇄회로기판을 나타내는 도면이다.2 is a view showing a printed circuit board according to a second embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 본 실시예에 따른 인쇄회로기판(2000)은, 메탈층(510), 상부도체패턴층(110), 하부도체패턴층(210), 상부절연층(120), 하부절연층(220), 관통비아(V1) 및 절연막(520)을 포함하고, 솔더레지스트층(620)을 더 포함할 수 있다.2, the printed circuit board 2000 according to the present embodiment includes a metal layer 510, an upper conductive pattern layer 110, a lower conductive pattern layer 210, an upper insulating layer 120, Layer V2, a via hole V1, and an insulating film 520, and may further include a solder resist layer 620. [

본 실시예에 따른 인쇄회로기판(2000)은 본 발명의 제1 실시예에 따른 인쇄회로기판(1000)과 비교할 때 절연막(520)과 관통비아(V1)가 상이하므로, 본 실시예를 설명함에 있어서는 본 실시예에 적용되는 절연막(520) 및 관통비아(V1)를 중심으로 설명한다.Since the printed circuit board 2000 according to the present embodiment differs from the printed circuit board 1000 according to the first embodiment of the present invention in the insulating film 520 and the through vias V1, The insulating film 520 and the through vias V1 applied to the present embodiment will be mainly described.

절연막(520)은 관통홀(H)의 내벽과 관통비아(V1) 사이에 형성된다. 보다 구체적으로, 절연막(520)은 관통홀(H)의 내벽을 포함하는 메탈층(510)의 표면에 형성된다. 절연막(520)은 전기전도성 물질로 구성되는 메탈층(510)의 표면에 형성됨으로써 메탈층(510)과 도체패턴층(110, 210) 간의 단락(short)을 방지한다.The insulating film 520 is formed between the inner wall of the through hole H and the through via V1. More specifically, the insulating film 520 is formed on the surface of the metal layer 510 including the inner wall of the through hole H. [ The insulating layer 520 is formed on the surface of the metal layer 510 made of an electrically conductive material to prevent a short between the metal layer 510 and the conductor pattern layers 110 and 210.

절연막(520)은 페럴린과 같은 절연물질을 메탈층(510)에 증착하여 형성될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.The insulating layer 520 may be formed by depositing an insulating material such as ferrolein on the metal layer 510, but is not limited thereto.

절연막(520)은, 관통홀(H) 내에 후술할 도체필라(30)가 형성되도록 매우 얇은 두께로 형성된다. 관통홀(H) 내벽에 절연막(520)이 형성되므로 관통홀(H) 내에는 절연막(520)에 의해 정의되는 관통공(H')이 형성된다.The insulating film 520 is formed to have a very thin thickness so that a conductor pillar 30 to be described later is formed in the through hole H. [ Since the insulating film 520 is formed on the inner wall of the through hole H, a through hole H 'defined by the insulating film 520 is formed in the through hole H.

본 실시예에 적용되는 관통비아(V1)는, 고융점금속층(10), 저융점금속층(20) 및 도체필라(30)를 포함한다.The through vias V1 applied to the present embodiment include a high melting point metal layer 10, a low melting point metal layer 20, and a conductor pillar 30. [

도체필라(30)는 관통공(H')에 형성된다. 도체필라(30)는 도금을 통해 형성되거나 도체페이스트로 형성될 수 있다. 도체필라(30)은 전기적 특성이 우수한 구리(Cu), 은(Ag), 팔라듐(Pd), 알루미늄(Al), 니켈(Ni), 티타늄(Ti), 금(Au), 백금(Pt) 등으로 형성될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.The conductor pillar 30 is formed in the through hole H '. The conductor pillar 30 may be formed by plating or may be formed of a conductive paste. The conductor pillar 30 is made of a material such as copper, silver, palladium, aluminum, nickel, titanium, gold, platinum But is not limited thereto.

도체필라(30)는 상술한 저융점금속층(20)과 동일한 재질 및 동일한 방법으로 형성될 수 있다. 또는, 도체필라(30)는 저융점금속층(20)과 상이한 재질로 형성될 수 있다. 도체필라(30)와 저융점금속층(20)의 재질이 서로 상이한 경우는, 도체필라(30)와 저융점금속층(20) 사이에 금속간화합물층이 형성될 수 있다.The conductor pillar 30 may be formed of the same material and the same method as the low melting point metal layer 20 described above. Alternatively, the conductor pillar 30 may be formed of a material different from the low melting point metal layer 20. When the material of the conductor pillar 30 and the low melting point metal layer 20 are different from each other, an intermetallic compound layer may be formed between the conductor pillar 30 and the low melting point metal layer 20.

(제3 (Third 실시예Example ))

도 3은 본 발명의 제3 실시예에 따른 인쇄회로기판을 나타내는 도면이다.3 is a view illustrating a printed circuit board according to a third embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면, 본 실시예에 따른 인쇄회로기판(3000)은, 메탈층(510), 상부도체패턴층(110), 하부도체패턴층(210), 상부절연층(120), 하부절연층(220), 관통비아(V1), 절연막(520) 및 층간비아(V2)를 포함하고, 솔더레지스트층(620)을 더 포함할 수 있다.3, the printed circuit board 3000 according to the present embodiment includes a metal layer 510, an upper conductive pattern layer 110, a lower conductive pattern layer 210, an upper insulating layer 120, Layer vias V2 and may include a solder resist layer 620. The solder resist layer 620 may be formed of a conductive material such as silicon oxide.

본 실시예에 따른 인쇄회로기판(3000)은, 본 발명의 제2 실시예에 따른 인쇄회로기판(2000)과 비교할 때, 층간비아(V2)를 더 포함하고, 상부도체패턴층(110) 및/또는 하부도체패턴층(210)의 수가 상이한 바 본 실시예를 설명함에 있어서는 상기의 차이점을 중심으로 설명한다.The printed circuit board 3000 according to the present embodiment further includes the interlayer vias V2 as compared with the printed circuit board 2000 according to the second embodiment of the present invention, And / or the number of the lower conductor pattern layers 210 are different. In the following description of the present embodiment, the difference will be mainly described.

본 실시예에 적용되는 상부도체패턴층(110) 및/또는 하부도체패턴층(210, 310, 410)은 각각 복수로 형성된다. 이 때, 상부도체패턴층(110)의 수와 하부도체패턴층(210, 310, 410)의 수는 서로 상이할 수 있다.The upper conductor pattern layer 110 and / or the lower conductor pattern layers 210, 310, and 410, which are applied to the present embodiment, are each formed in a plurality. At this time, the number of the upper conductor pattern layers 110 and the number of the lower conductor pattern layers 210, 310, and 410 may be different from each other.

통상의 인쇄회로기판의 경우, 도체패턴의 밀도 차이 및 절연재의 밀도 차이 등에 따라 기판의 상부와 하부에서 강성 및 열팽창계수가 서로 상이할 수 있다. 이로 인해 기판의 상부 또는 하부에서 휨이 발생할 수 있다. 따라서, 본 실시예의 경우에는 메탈층(510)을 기판의 휨이 발생하는 영역에 배치함으로써 기판의 휨을 방지한다.In the case of a general printed circuit board, the rigidity and the thermal expansion coefficient may be different from each other in the upper and lower portions of the substrate depending on the density difference of the conductor pattern and the density difference of the insulating material. As a result, warpage may occur at the top or bottom of the substrate. Therefore, in the case of the present embodiment, the metal layer 510 is disposed in the region where the warpage of the substrate occurs, thereby preventing warpage of the substrate.

도 3은, 기판의 휨이 상부 측에서 발생하는 경우 메탈층(510)이 기판의 상부측에 형성되는 것을 예시적으로 도시한 것이다. 도 3은, 상부도체패턴층(110)이 단수로 형성되고 하부도체패턴층(210, 310, 410)이 복수로 형성되는 것을 도시하고 있으나 이는 예시적인 것에 불과하다. 따라서, 상부도체패턴층(110) 및 하부도체패턴층(210, 310, 410)의 수는 다양하게 변경될 수 있다.Fig. 3 exemplarily shows that the metal layer 510 is formed on the upper side of the substrate when the warpage of the substrate occurs on the upper side. 3 shows that the upper conductive pattern layer 110 is formed in a single number and the lower conductive pattern layers 210, 310, and 410 are formed in plural, but this is only an illustrative example. Therefore, the number of the upper conductor pattern layer 110 and the lower conductor pattern layers 210, 310, and 410 may be variously changed.

한편, 제3 도체패턴층(310) 및 제4 도체패턴층(410)에는 본 발명의 제1 실시예에 따른 인쇄회로기판에서 설명한 도체패턴층(110, 210)에 대한 설명이 그대로 적용될 수 있다.The description of the conductor pattern layers 110 and 210 described in the printed circuit board according to the first embodiment of the present invention can be directly applied to the third conductor pattern layer 310 and the fourth conductor pattern layer 410 .

층간비아(V2)는, 인접하는 상부도체패턴층(110)을 서로 연결하거나 인접하는 하부도체패턴층(210, 310, 410)을 서로 연결한다. 도 3에는 층간비아(V2)가 인접하는 하부도체패턴층(210, 310, 410)을 서로 연결하도록 하부절연층(220, 320, 420)에 형성되는 것으로 도시하고 있으나, 상부도체패턴층(110)이 복수로 형성된다면 층간비아(V2)는 인접한 상부도체패턴층(110)을 연결하도록 상부절연층(120)에 형성될 수도 있다.The interlayer vias V2 connect adjacent upper conductor pattern layers 110 or connect adjacent lower conductor pattern layers 210, 310 and 410 to each other. 3, the interlayer vias V2 are formed on the lower insulating layers 220, 320 and 420 so as to connect the adjacent lower conductive pattern layers 210, 310 and 410 to each other. However, the upper conductive pattern layer 110 The interlayer vias V2 may be formed in the upper insulating layer 120 to connect the adjacent upper conductive pattern layers 110. [

인쇄회로기판의 제조 방법Manufacturing method of printed circuit board

도 4, 도 5 및 도 8 내지 도 18은 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로기판의 제조방법을 순차적으로 나타내는 도면이다. 구체적으로, 도 4, 도 5 및 도 8 내지 도 18은 상술한 본 발명의 제3 실시예에 따른 인쇄회로기판(3000)을 제조하기 위한 예시적인 제조방법에 해당한다.4, 5, and 8 to 18 are views sequentially illustrating a method of manufacturing a printed circuit board according to an embodiment of the present invention. 4, 5 and 8 to 18 correspond to an exemplary manufacturing method for manufacturing the printed circuit board 3000 according to the third embodiment of the present invention described above.

보다 상세하게, 도 4 및 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로기판의 제조방법에 적용되는 메탈단위기판의 제조공정을 순차적으로 나타내는 도면이고, 도 8 내지 도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로기판의 제조방법에 적용되는 일반단위기판의 제조공정을 순차적으로 나타내는 도면이고, 도 14 내지 도 16는 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로기판의 제조방법에 적용되는 보호단위기판의 제조공정을 순차적으로 나타내는 도면이고, 도 17 및 도 18은 도 3, 도 4, 도 6 및 도 8 내지 도 16를 통해 제조된 메탈단위기판, 일반단위기판 및 보호단위기판을 일괄적으로 적층하는 것을 나타내는 도면이다. 도 6 및 도 7은 각각 메탈단위기판의 변형예를 나타내는 도면이다.4 and 5 are views sequentially illustrating a process of manufacturing a metal unit substrate according to an embodiment of the present invention. FIGS. 8 to 13 are views FIGS. 14 to 16 are views showing a process of manufacturing a printed circuit board according to an embodiment of the present invention. FIG. 14 to FIG. FIGS. 17 and 18 show the steps of manufacturing the unit substrate, the unit substrate and the protection unit substrate manufactured through FIGS. 3, 4, 6 and 8 to 16 in a batch As shown in Fig. 6 and 7 are views showing a modification of the metal unit substrate, respectively.

이하에서는, 메탈단위기판의 제조공정, 일반단위기판의 제조공정 및 보호단위기판의 제조공정을 순차적으로 설명한 후 복수의 단위기판을 적층하는 공정을 설명한다. 또한, 메탈단위기판, 일반단위기판 및 보호단위기판의 구별의 필요가 없는 한 단위기판으로 통칭하기로 한다.Hereinafter, a process for manufacturing a metal unit substrate, a process for manufacturing a general unit substrate, and a process for manufacturing a protective unit substrate will be described in order and a process for laminating a plurality of unit substrates will be described. Unless otherwise required to distinguish the metal unit substrate, the general unit substrate, and the protection unit substrate, they are collectively referred to as a unit substrate.

(메탈단위기판의 제조방법)(Manufacturing Method of Metal Unit Substrate)

도 4 및 도 5 는 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로기판의 제조방법에 적용되는 메탈단위기판의 제조공정을 순차적으로 나타내는 도면이다.FIGS. 4 and 5 are views sequentially illustrating a process of manufacturing a metal unit substrate, which is applied to a method of manufacturing a printed circuit board according to an embodiment of the present invention.

우선, 도 4을 참고하면 내층판(511')의 양면에 외층판(512', 513')이 형성된 메탈원판(MP)을 준비한다.4, a metal plate MP having outer layer plates 512 'and 513' formed on both sides of the inner layer plate 511 'is prepared.

내층판(511'), 외층판(512', 513') 및 메탈원판(MP)는 각각 후속 공정을 통해 본 발명의 제1 내지 제3 실시예에 따른 인쇄회로기판(1000, 2000, 3000)에서 설명한 내층(511), 외층(512) 및 메탈층(510)이 되는 구성이다.The inner layer board 511 ', the outer layer boards 512' and 513 'and the metal disk MP are connected to the printed circuit boards 1000, 2000 and 3000 according to the first to third embodiments of the present invention, respectively, The inner layer 511, the outer layer 512 and the metal layer 510 described in connection with FIG.

내층판(511')은 인바(Invar)를 포함할 수 있고, 외층판(512', 513')은 구리(Cu)를 포함할 수 있다. 외층판(512', 513')은 내층판(511')의 양면에 각각 필름형태로 적층되거나 전해도금을 통해 형성될 수 있다.The inner lamina 511 'may comprise Invar and the outer lamina 512', 513 'may comprise copper Cu. The outer layer plates 512 'and 513' may be laminated on both sides of the inner layer board 511 'in a film form or may be formed by electrolytic plating.

다음으로, 도 5를 참고하면 메탈원판(MP)에 관통홀(H)을 가공한 후 절연막(520)을 형성한다.Next, referring to FIG. 5, a through hole H is formed in the metal disk MP, and then an insulating film 520 is formed.

메탈층(510)은 메탈원판(MP)을 선택적으로 제거하여 관통홀(H)을 형성함으로써 제조될 수 있다. 메탈원판(MP)의 일부를 선택적으로 제거하는 것으로는 화학적 에칭법, 레이저 드릴링법, 또는 기계적 드릴링법 중 적어도 어느 하나에 의할 수 있다.The metal layer 510 may be manufactured by selectively removing the metal plate MP to form a through hole H. [ The selective removal of a portion of the metal original plate (MP) may be performed by at least one of chemical etching, laser drilling, and mechanical drilling.

절연막(520)은 관통홀(H)의 내벽을 포함하는 메탈층(510)의 표면을 따라 형성된다. 이 때, 절연막(520)의 두께는 관통홀(H) 직경의 절반보다 작은 값으로 형성되므로, 관통홀(H) 내에 관통공(H')이 형성된다. 즉, 관통공(H')은 관통홀(H) 내에 형성되고 절연막(520)에 의해 정의된다.The insulating film 520 is formed along the surface of the metal layer 510 including the inner wall of the through hole H. [ At this time, since the thickness of the insulating film 520 is formed to be smaller than half of the diameter of the through hole H, a through hole H 'is formed in the through hole H. That is, the through hole H 'is formed in the through hole H and is defined by the insulating film 520.

절연막(520)은 메탈층(110)에 패럴린과 같은 절연물질을 증착함으로써 형성될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 다른 예로 메탈층(510)의 표면을 모두 커버하는 절연재를 메탈층(510)에 형성한 후 관통홀(H) 내에 관통공(H')이 형성되도록 절연재의 일부를 제거함으로써 절연막(520)을 형성할 수도 있다.The insulating layer 520 may be formed by depositing an insulating material such as paralin on the metal layer 110, but is not limited thereto. As another example, after forming an insulating material covering the entire surface of the metal layer 510 in the metal layer 510, a part of the insulating material is removed so that the through hole H 'is formed in the through hole H, .

도 6 및 도 7은 본 실시예에 적용되는 메탈단위기판의 변형예를 나타내는 도면이다. 도 6 및 도 7은 본 발명의 제1 실시예 및 제2 실시예에 따른 인쇄회로기판(1000, 2000) 각각에 적용되는 메탈단위기판(500', 500'')이다.6 and 7 are views showing a modification of the metal unit substrate according to the present embodiment. 6 and 7 are metal unit substrates 500 'and 500' 'applied to the printed circuit boards 1000 and 2000 according to the first and second embodiments of the present invention, respectively.

제1 실시예에 따른 인쇄회로기판(1000)에 적용되는 메탈단위기판(500')은, 관통홀(H)의 내벽과 관통비아(V1) 사이의 공간을 절연층(120, 220)이 충전한다. 따라서, 도 4 및 도 5에서 설명한 메탈단위기판(500)과 달리 절연막(520)이 형성되지 않는다.The metal unit substrate 500 'applied to the printed circuit board 1000 according to the first embodiment is formed such that the space between the inner wall of the through hole H and the through vias V1 is filled with the insulating layers 120 and 220 do. Therefore, unlike the metal unit substrate 500 described with reference to FIGS. 4 and 5, the insulating layer 520 is not formed.

제2 실시예에 따른 인쇄회로기판(2000)에 적용되는 메탈단위기판(500'')은, 도 4 및 도 5에서 설명한 메탈단위기판(500)과 유사하나, 관통공(H') 내를 도체필라(30)가 충전한다.The metal unit substrate 500 '' applied to the printed circuit board 2000 according to the second embodiment is similar to the metal unit substrate 500 described with reference to FIGS. 4 and 5 except that the through holes H ' The conductor pillar 30 is charged.

(일반단위기판의 제조방법)(Manufacturing method of general unit substrate)

도 8 내지 도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로기판의 제조방법에 적용되는 일반단위기판의 제조공정을 순차적으로 나타내는 도면이다.FIGS. 8 to 13 are views sequentially illustrating a process of manufacturing a general unit substrate, which is applied to a method of manufacturing a printed circuit board according to an embodiment of the present invention.

우선, 도 8을 참고하면 제1 캐리어(C1)의 양면에 제1 금속박(F1, F1')을 각각 형성한다. 제1 캐리어(C1)는 요구되는 강성을 가지는 금속재, 무기재 또는 유기재 중 어느 하나로 형성될 수 있다. 제1 금속박(F1, F1')은 구리박일 수 있으나, 다른 전도성 금속을 포함할 수도 있다. 제1 금속박(F1, F1')은 필름형태로 제1 캐리어(C1)의 양면에 적층 형성될 수도 있고, 도금공정을 통해 제1 캐리어(C1)의 양면에 형성될 수도 있다.First, referring to FIG. 8, first metal foils F1 and F1 'are formed on both surfaces of the first carrier C1. The first carrier C1 may be formed of any one of metal materials, inorganic materials, and organic materials having required rigidity. The first metal foils F1 and F1 'may be copper foils, but may include other conductive metals. The first metal foils F1 and F1 'may be laminated on both sides of the first carrier C1 in a film form or may be formed on both sides of the first carrier C1 through a plating process.

다음으로, 도 9를 참고하면 제1 금속박(F1, F1')에 선택적으로 제1 도체패턴층(110)을 형성한다. 제1 도체패턴층(110)은 제1 금속박(F1, F1')을 시드층으로 하는 MSAP(Modified Semi-Additive Process)법으로 형성될 수 있다. 제1 도체패턴층(110)은 제1 금속박(F1, F1')상에는 제1 도체패턴층(110)과 역패턴을 가지는 도금레지스트를 형성하고 전해도금을 수행하고, 전해도금 완료 후 도금레지스트를 제거함으로써 형성될 수 있다. 한편, 상술한 예에서는 통상의 회로패턴 형성공법 중 MSAP 법에 국한하여 설명하였으나, 주지의 Substractive 법, Full-Additive 법 또는 Semi-Additive 법 중 어느 하나를 이용하여 제1 도체패턴층(110)을 형성할 수도 있다.Next, referring to FIG. 9, the first conductor pattern layer 110 is selectively formed on the first metal foils F1 and F1 '. The first conductor pattern layer 110 may be formed by an MSAP (Modified Semi-Additive Process) method using the first metal foils F1 and F1 'as seed layers. The first conductor pattern layer 110 is formed by forming a plating resist having a pattern opposite to that of the first conductor pattern layer 110 on the first metal foils F1 and F1 'and performing electrolytic plating. After completion of electrolytic plating, And removing it. In the above example, the MSAP method in the conventional circuit pattern forming method is described. However, the first conductor pattern layer 110 may be formed using any one of the well-known Substractive method, Full-Additive method, or Semi- .

다음으로, 도 10을 참고하면 제1 도체패턴층(110)) 상에 제1 절연층(120)을 형성한다. 제1 절연층(120)에는 제1 도체패턴층(110) 중 일부를 선택적으로 외부로 노출시키는 개구부가 형성된다. 개구부는 포토리쏘그래피 공법으로 형성될 수 있다. 즉, 제1 도체패턴층(110)의 전면에 감광성 절연물질인 제1 절연층(120)을 형성한 후 선택적 노광 및 현상을 통해 개구부가 형성될 수 있다. 또한, 개구부는 레이저드릴링으로 형성될 수도 있다.Next, referring to FIG. 10, a first insulating layer 120 is formed on the first conductor pattern layer 110). The first insulating layer 120 is formed with openings selectively exposing a part of the first conductor pattern layer 110 to the outside. The opening may be formed by a photolithography method. That is, the first insulating layer 120, which is a photosensitive insulating material, may be formed on the entire surface of the first conductor pattern layer 110, and an opening may be formed through selective exposure and development. Further, the opening may be formed by laser drilling.

제1 절연층(120)은 진공 라미네이터를 이용하여 제1 도체패턴(110)에 라미네이트 될 수 있다. 다만, 라미네이트되어 선택적 노광 공정을 거친 제1 절연층(120)은 일괄적층 시까지 후경화 공정을 거치지 않기 때문에 반경화 상태(B-stage)로 있게 된다. 예로써, 선택적 노광 공정을 거친 제1 절연층(120)은 완전경화 상태(C-stage) 대비 10~20% 경화도를 가질 수 있다. 한편, 필요에 따라, 제1 절연층(120)이 별도의 공정을 통하여 완전경화 상태(C-stage) 대비 50% 경화도를 가지도록 반경화시킬 수 있다. 별도의 반경화 공정은 개구를 형성하기 위한 포토리소그래피 공정에 사용되는 UV광을 이용하여 이루어질 수 있다. 그러나 이 경우에도, 제1 절연층(120)은 일괄적층 전까지 완전경화되지 않는다.The first insulating layer 120 may be laminated to the first conductor pattern 110 using a vacuum laminator. However, since the first insulating layer 120 laminated and subjected to the selective exposure process is not subjected to the post-curing process until the lamination is performed in a lump, it is in a semi-cured state (B-stage). For example, the first insulating layer 120 having undergone the selective exposure process may have a degree of curing of 10 to 20% as compared with the C-stage. On the other hand, if necessary, the first insulating layer 120 may be semi-cured through a separate process so as to have a 50% curability relative to the fully cured state (C-stage). A separate semi-curing process may be performed using UV light used in the photolithography process to form the openings. However, also in this case, the first insulating layer 120 is not completely cured until collectively laminated.

다음으로, 도 11을 참고하면 제1 절연층(120)의 개구부에 고융점금속층(10)과 저융점금속층(20)을 순차적으로 형성한다. 제1 일반단위기판(100)의 고융점금속층(10)및 저융점금속층(20)은 제2 일반단위기판(도 17의 200)의 고융점금속층(10) 및 저융점금속층(20)과 함께 일괄적층 후 관통비아(V1)를 형성한다.Next, referring to FIG. 11, a refractory metal layer 10 and a refractory metal layer 20 are sequentially formed in the opening of the first insulating layer 120. The refractory metal layer 10 and the low melting point metal layer 20 of the first general unit substrate 100 together with the refractory metal layer 10 and the low melting point metal layer 20 of the second general unit substrate 200 Thereby forming the through vias V1 after the collective lamination.

고융점금속층(10)은 전해도금을 통해 형성된다. 전해도금의 경우 이방성 또는 등방성 도금을 모두 포함한다. 고융점금속층(10)은 구리전해도금을 통해 형성되어 구리(Cu)를 포함할 수 있다. 고융점금속층(10)을 전해도금으로 형성함에 있어 시드층은 제1 도체패턴층(110)일 수 있다. 또는 시드층은 제1 도체패턴층(110)이 아닌 별도의 공정을 통해 형성된 것일 수 있다. The refractory metal layer 10 is formed through electrolytic plating. In the case of electrolytic plating, it includes both anisotropic and isotropic plating. The refractory metal layer 10 may be formed through copper electroplating to include copper (Cu). In forming the refractory metal layer 10 by electrolytic plating, the seed layer may be the first conductor pattern layer 110. Or the seed layer may be formed through a separate process other than the first conductor pattern layer 110.

저융점금속층(20)은 i) 저융점금속, 예를 들어 솔더와 같은 저융점금속을 선택적으로 도금하거나 ii) 솔더 페이스트와 같은 저융점금속 페이스트를 선택적으로 도포한 후에 저융점금속 페이스트를 건조함으로써 형성될 수 있다. 솔더 또는 솔더 페이스트는 주석, 은, 구리 또는 여기서 선택된 금속들의 합금을 주성분으로 할 수 있다. 또한, 본 발명에서 사용되는 솔더 페이스트에는 플럭스(flux)가 포함되지 않을 수 있다. 솔더 페이스트는 상대적으로 높은 온도(ex. 800℃)에서 굳는 소결형과 상대적으로 낮은 온도(ex. 200℃)에서 굳는 경화형이 있다. 본 실시예에 사용되는 솔더 페이스트는 솔더 페이스트의 경화 시 제1 절연층(220)의 완전경화를 방지하도록 상대적으로 낮은 온도에서 굳는 경화형일 수 있다.The low melting point metal layer 20 can be formed by selectively plating a low melting metal such as i) a low melting metal such as solder, or ii) selectively applying a low melting metal paste such as a solder paste and then drying the low melting metal paste . The solder or solder paste may be based on tin, silver, copper or an alloy of the metals selected here. In addition, the solder paste used in the present invention may not contain flux. Solder pastes are sintered at relatively high temperatures (eg 800 ° C) and hardened at relatively low temperatures (eg 200 ° C). The solder paste used in this embodiment may be curable at a relatively low temperature to prevent complete curing of the first insulating layer 220 when the solder paste is cured.

저융점금속 페이스트는 비교적 높은 점성을 가지는 것일 수 있으며, 고융점금속층(10) 상에 형성된 후 그 형상을 유지할 수 있다. 또한, 저융점금속 페이스트는 저융점금속 입자를 가지며, 이러한 입자에 의하여 저융점금속 페이스트가 굳어서 형성된 저융점금속층(20)의 표면은 울퉁불퉁할 수 있다.The low melting point metal paste may have a relatively high viscosity and may maintain its shape after being formed on the high melting point metal layer 10. Further, the low melting point metal paste has low melting point metal particles, and the surface of the low melting point metal layer 20 formed by hardening of the low melting point metal paste by these particles can be rugged.

다음으로, 도 12를 참고하면, 저융점금속층(20) 및 제1 절연층(120)을 커버하는 커버필름(CF)을 형성한다. 커버필름(CF)은 일반단위기판(100, 200, 300, 400)을 외부로부터 보호한다. 구체적으로, 커버필름(CF)은 일반단위기판(100, 200, 300, 400)에 결합되어 일괄적층 공정 직전 각각의 일반단위기판(100, 200, 300, 400)으로부터 분리된다.Next, referring to FIG. 12, a cover film CF covering the low melting point metal layer 20 and the first insulating layer 120 is formed. The cover film CF protects the general unit substrates 100, 200, 300 and 400 from the outside. Specifically, the cover film CF is bonded to the general unit substrates 100, 200, 300, and 400 and is separated from each of the general unit substrates 100, 200, 300, and 400 immediately before the collective stacking process.

다음으로, 도 13을 참고하면, 제1 금속박(F1, F1')으로부터 제1 캐리어(C1)를 분리하고, 제1 금속박(F1, F1')을 제거한 후 커버필름(CF)을 제거함으로써 제1 일반단위기판(100)이 제조된다. 제1 금속박(F1, F1')은 화학적 에칭으로 제거될 수 있으나 이에 제한되는 것은 아니다.13, the first carrier C1 is separated from the first metal foils F1 and F1 ', the first metal foils F1 and F1' are removed, and then the cover film CF is removed. 1 general unit substrate 100 is manufactured. The first metal foils F1 and F1 'may be removed by chemical etching, but are not limited thereto.

한편, 도 8 내지 도 13에는 제1 캐리어(C1)의 양면에 각각 제1 일반단위기판(100)이 형성됨을 도시하고 있으나, 제1 캐리어(C1)의 일면에만 제1 일반단위기판(100)이 형성될 수 있다. 또한, 제1 캐리어(C1)의 일면에는 제1 일반단위기판(100)이 형성되고 제1 캐리어(C1)의 타면에는 제2 일반단위기판(200) 등 다른 일반단위기판이 형성될 수 있다.8-13 illustrate that the first common unit substrate 100 is formed on both sides of the first carrier C1 but only the first common unit substrate 100 is formed on only one side of the first carrier C1. Can be formed. In addition, the first common unit substrate 100 may be formed on one surface of the first carrier C1 and other general unit substrates such as the second general unit substrate 200 may be formed on the other surface of the first carrier C1.

또한, 상술한 예에서는 제1 일반단위기판(100)만을 기준으로 설명하였으나, 제2 일반단위기판(200), 제3 일반단위기판(300) 및 제4 일반단위기판(400)도 제1 일반단위기판(100)의 제조방법에 따라 제조될 수 있다.Although the second general unit substrate 200, the third general unit substrate 300 and the fourth general unit substrate 400 are also described in the first general unit substrate 100, And may be manufactured according to a manufacturing method of the unit substrate 100.

(보호단위기판의 제조방법)(Manufacturing method of protective unit substrate)

도 14 내지 도 16는 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로기판의 제조방법에 적용되는 보호단위기판의 제조공정을 순차적으로 나타내는 도면이다.FIGS. 14 to 16 are views sequentially illustrating steps of manufacturing a protective unit substrate, which is applied to a method of manufacturing a printed circuit board according to an embodiment of the present invention.

우선, 도 14를 참고하면 제2 캐리어(C2)의 양면에 제2 금속박(F2, F2')을 각각 형성한다. 제2 캐리어(C2)는 요구되는 강성을 가지는 금속재, 무기재 또는 유기재 중 어느 하나로 형성될 수 있다. 제2 금속박(F2, F2')은 구리박일 수 있으나, 다른 전도성 금속을 포함할 수도 있다. 제2 금속박(F2, F2')은 필름형태로 제2 캐리어(C2)의 양면에 적층 형성될 수도 있고, 도금공정을 통해 제2 캐리어(C2)의 양면에 형성될 수도 있다.First, referring to FIG. 14, second metal foils F2 and F2 'are formed on both surfaces of a second carrier C2. The second carrier C2 may be formed of any one of metal materials, inorganic materials, and organic materials having required rigidity. The second metal foils F2 and F2 'may be copper foils, but may also include other conductive metals. The second metal foils F2 and F2 'may be laminated on both sides of the second carrier C2 in a film form or may be formed on both sides of the second carrier C2 through a plating process.

다음으로, 도 15를 참고하면 제2 금속박(F2, F2') 상에 솔더레지스트층(620)을 형성한다. 솔더레지스트층(620)에는 제2 금속박(F2, F2') 중 일부를 선택적으로 외부로 노출시키는 개구부가 형성된다. 개구부는 포토리쏘그래피 공법으로 형성될 수 있다. 즉, 제2 금속박(F2, F2')의 전면에 감광성 절연물질인 솔더레지스트를 형성한 후 솔더레지스트를 선택적 노광 및 현상함으로써 개구부가 형성될 수 있다. 또한, 개구부는 레이저드릴링으로 형성될 수도 있다. 솔더레지스트층(620)은 진공 라미네이터를 이용하여 제2 금속박(F2, F2')에 DFR필름을 적층하여 형성될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.Next, referring to FIG. 15, a solder resist layer 620 is formed on the second metal foils F2 and F2 '. The solder resist layer 620 is formed with openings selectively exposing a part of the second metal foils F2 and F2 'to the outside. The opening may be formed by a photolithography method. That is, an opening may be formed by forming a solder resist, which is a photosensitive insulating material, on the entire surfaces of the second metal foils F2 and F2 ', and then selectively exposing and developing the solder resist. Further, the opening may be formed by laser drilling. The solder resist layer 620 may be formed by laminating a DFR film on the second metal foils F2 and F2 'using a vacuum laminator, but is not limited thereto.

다음으로, 도 16을 참고하면, 제2 금속박(F2, F2')으로부터 제2 캐리어(C2)를 제거함으로써 보호단위기판(600)이 제조된다. 이 때, 도시하지는 않았으나, 제2 캐리어(C2)를 용이하게 제거하고 보호단위기판(600)을 일괄적층 시까지 지지 및 보호하도록 보호단위기판(600)에 커버필름(CF)이 적층될 수 있다. 이러한 커버필름(CF)에 대해서는 상술하였으므로 설명을 생략한다.16, the protection unit substrate 600 is manufactured by removing the second carrier C2 from the second metal foils F2 and F2 '. At this time, although not shown, the cover film CF may be laminated on the protection unit substrate 600 so as to easily remove the second carrier C2 and to support and protect the protection unit substrate 600 until lamination . Since the cover film CF has been described above, the description is omitted.

(단위기판을 일괄적층하는 단계)(Step of collectively laminating unit substrates)

도 17 및 도 18은 도 3, 도 4, 도 6 및 도 8 내지 도 16를 통해 제조된 메탈단위기판, 일반단위기판 및 보호단위기판을 일괄적으로 적층하는 것을 나타내는 도면이다.FIGS. 17 and 18 are views showing the lamination of the metal unit substrate, the general unit substrate, and the protective unit substrate manufactured through FIGS. 3, 4, 6 and 8 to 16 collectively.

도 17을 참조하면, 복수의 단위기판(100, 200, 300, 400, 500, 600)을 상하로 배치하여 이들을 일괄적으로 적층한다. 이 때, 복수의 단위기판(100, 200, 300, 400, 500, 600) 각각에 형성된 정렬 마크를 통해 복수의 단위기판(100, 200, 300, 400, 500, 600)을 정렬하고, V-press 적층기 등을 이용하여 고온압착하여 모든 층을 일괄적으로 접합한다.Referring to FIG. 17, a plurality of unit substrates 100, 200, 300, 400, 500, and 600 are vertically stacked and stacked. At this time, a plurality of unit substrates 100, 200, 300, 400, 500, 600 are aligned through alignment marks formed on each of the plurality of unit substrates 100, 200, 300, 400, press laminator to bond all the layers together at high temperature.

일괄적층 시, 온도는 180~200℃도로 설정되고, 프레스 압력은 30~50kg/cm2로 설정될 수 있으나, 이러한 수치로 한정되는 것은 아니며, 일괄적층 온도와 압력은 제1 내지 제4 절연층(120, 220, 320, 420)의 성분 또는 저융점금속층(20)의 성분 등에 의해서 다르게 설정될 수 있다. 특히, 일괄적층 시의 온도는 저융점금속층(20)의 용융점 이상일 수 있다. In the batch lamination, the temperature may be set to 180 to 200 DEG C and the press pressure may be set to 30 to 50 kg / cm < 2 > 120, 220, 320, 420 or the component of the low-melting-point metal layer 20, and the like. In particular, the temperature at the time of laminating may be more than the melting point of the low melting point metal layer 20. [

일괄적층 시에 저융점금속층(20)은 용융되면서 이웃하는 도체패턴층(110, 210, 310, 410)을 접합시킬 수 있다. 이 경우, 일괄적층 후에 저융점금속층(20)의 퍼짐에 의하여, 저융점금속층(20)의 상부 단면적과 저융점금속층(20)의 하부 단면적은 서로 다른 크기로 형성될 수 있다.The low melting point metal layer 20 is melted and bonded to neighboring conductor pattern layers 110, 210, 310, and 410 at the time of laminating. In this case, the upper cross-sectional area of the low-melting-point metal layer 20 and the lower cross-sectional area of the low-melting-point metal layer 20 may be formed to have different sizes by spreading the low melting point metal layer 20 after the batch lamination.

또한, 반경화 상태에 있던 제1 내지 제4 절연층(120, 220, 320, 420)은 일괄적층 시의 온도 및 압력에 의해 완전 경화된다.In addition, the first to fourth insulating layers 120, 220, 320, and 420 in the semi-cured state are completely cured by the temperature and pressure at the time of lamination.

다음으로, 도 18을 참고하면 보호단위기판(600) 각각에 남아있는 제2 금속박(F2, F2')을 제거하여 솔더레지스트층(620)을 외부로 노출시킨다. 제2 금속박(F2, F2')은 화학적 에칭을 통해 솔더레지스트층(620)으로부터 제거되거나 물리적 박리를 통해 제거될 수 있다.Next, referring to FIG. 18, the second metal foils F2 and F2 'remaining on each of the protection unit substrates 600 are removed to expose the solder resist layer 620 to the outside. The second metal foils F2 and F2 'may be removed from the solder resist layer 620 through chemical etching or removed by physical exfoliation.

한편, 도 17 및 도 18에는 솔더레지스트층(620)이 제1 도체패턴층(110)과 제4 도체패턴층(410) 상에 각각 형성됨을 도시하고 있으나, 이와 달리 보호단위기판(600)을 제1 일반단위기판(100) 또는 제4 일반단위기판(400) 중 어느 하나에 배치함으로써, 제1 도체패턴층(110) 또는 제4 도체패턴층(410) 중 어느 하나에만 솔더레지스트층(620)이 형성될 수 있다.17 and 18 illustrate that the solder resist layer 620 is formed on the first conductor pattern layer 110 and the fourth conductor pattern layer 410 respectively, The solder resist layer 620 is formed only on either the first conductor pattern layer 110 or the fourth conductor pattern layer 410 by disposing the solder resist layer 620 on any one of the first general unit substrate 100 or the fourth general unit substrate 400. [ May be formed.

이상, 본 발명의 일 실시예에 대하여 설명하였으나, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서, 구성 요소의 부가, 변경 또는 삭제 등에 의해 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이며, 이 또한 본 발명의 권리범위 내에 포함된다고 할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention as defined in the appended claims. It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.

C1, C2: 캐리어
CF: 커버필름
F1, F1', F2, F2': 금속박
H: 관통홀
H': 관통공
MP: 메탈원판
V1: 관통비아
V2: 층간비아
10: 고융점금속층
20: 저융점금속층
30: 도체필라
100, 200, 300, 400: 일반단위기판
110, 210, 310, 410: 도체패턴층
120, 220, 320, 420: 절연층
500: 메탈단위기판
510: 메탈층
511: 내층
512, 513: 외층
511': 내층판
512', 513': 외층판
600: 보호단위기판
620: 솔더레지스트층
1000, 2000, 3000: 인쇄회로기판
C1, C2: Carrier
CF: Cover film
F1, F1 ', F2, F2': Metal foil
H: Through hole
H ': Through hole
MP: metal disc
V1: Via through
V2: Interlayer vias
10: High melting point metal layer
20: Low melting point metal layer
30: conductor pillar
100, 200, 300, 400: general unit substrate
110, 210, 310, 410: conductor pattern layer
120, 220, 320, 420: insulating layer
500: metal unit substrate
510: metal layer
511: inner layer
512, 513: outer layer
511 ': My laminate
512 ', 513': outer layer plate
600: Protection unit substrate
620: solder resist layer
1000, 2000, 3000: printed circuit board

Claims (9)

관통홀이 형성된 메탈층;
상기 메탈층 상에 각각 형성되는 상부도체패턴층 및 하부도체패턴층;
상기 메탈층과 상기 상부도체패턴층 사이에 형성되는 상부절연층;
상기 메탈층과 상기 하부도체패턴층 사이에 형성되는 하부절연층; 및
저융점금속층 및 상기 저융점금속층의 용융점보다 높은 용융점을 가지는 고융점금속층을 포함하고, 상기 상부도체패턴층과 상기 하부도체패턴층을 서로 연결하도록 상기 상부절연층, 상기 하부절연층 및 상기 관통홀에 형성되는 관통비아;
를 포함하는, 인쇄회로기판.
A metal layer having a through hole formed therein;
An upper conductor pattern layer and a lower conductor pattern layer respectively formed on the metal layer;
An upper insulating layer formed between the metal layer and the upper conductive pattern layer;
A lower insulating layer formed between the metal layer and the lower conductor pattern layer; And
Melting metal layer and a refractory metal layer having a melting point higher than a melting point of the low melting point metal layer, wherein the upper insulating layer, the lower insulating layer, and the through hole Through vias formed in the substrate;
And a printed circuit board.
제1항에 있어서,
상기 상부절연층 및/또는 상기 하부절연층은
상기 관통홀의 내벽과 상기 관통비아 사이를 충전하는, 인쇄회로기판.
The method according to claim 1,
The upper insulating layer and / or the lower insulating layer
And filling the space between the inner wall of the through hole and the through via.
제1항에 있어서,
상기 관통홀의 내벽과 상기 관통비아 사이에 형성된 절연막을 더 포함하는, 인쇄회로기판.
The method according to claim 1,
And an insulating film formed between the inner wall of the through hole and the through via.
제1항에 있어서,
상기 메탈층은 인바(Invar)를 포함하는, 인쇄회로기판.
The method according to claim 1,
Wherein the metal layer comprises Invar.
제1항에 있어서,
상기 저융점금속층은 주석(Sn)을 포함하는, 인쇄회로기판.
The method according to claim 1,
Wherein the low melting point metal layer comprises tin (Sn).
제1항에 있어서,
상기 상부절연층 및/또는 상기 하부절연층은 광경화성 수지를 포함하는, 인쇄회로기판.
The method according to claim 1,
Wherein the upper insulating layer and / or the lower insulating layer comprises a photocurable resin.
제1항에 있어서,
상기 상부도체패턴층 및/또는 상기 하부도체패턴층은 복수로 형성되는, 인쇄회로기판.
The method according to claim 1,
Wherein the upper conductor pattern layer and / or the lower conductor pattern layer are formed in a plurality of.
제7항에 있어서,
상기 상부도체패턴층의 수와 상기 하부도체패턴층의 수가 서로 다른, 인쇄회로기판.
8. The method of claim 7,
Wherein the number of the upper conductor pattern layers and the number of the lower conductor pattern layers are different from each other.
제7항에 있어서,
서로 인접한 상기 상부도체패턴층을 서로 연결하거나 서로 인접한 상기 하부도체패턴층을 서로 연결하는 층간비아를 더 포함하고,
상기 층간비아는,
상기 저융점금속층 및 상기 고융점금속층을 포함하는, 인쇄회로기판.
8. The method of claim 7,
Further comprising interlayer vias connecting the upper conductor pattern layers adjacent to each other or connecting the lower conductor pattern layers adjacent to each other,
The interlaminar vias may include,
The low melting point metal layer and the high melting point metal layer.
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