KR20180074237A - Multi-layered printed circuit board - Google Patents
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- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 134
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 134
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 97
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims abstract description 56
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims abstract description 56
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 288
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 79
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 48
- 239000003870 refractory metal Substances 0.000 claims description 12
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 claims description 8
- 239000011135 tin Substances 0.000 claims description 8
- 229910001374 Invar Inorganic materials 0.000 claims description 6
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 3
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 33
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 31
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 20
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 20
- 239000010408 film Substances 0.000 description 17
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 14
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 13
- 239000000463 material Substances 0.000 description 13
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 9
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000013039 cover film Substances 0.000 description 7
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 7
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 7
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 6
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Substances [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 6
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 6
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 5
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 5
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 5
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 5
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 4
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 4
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 4
- 239000011256 inorganic filler Substances 0.000 description 4
- 229910003475 inorganic filler Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910000765 intermetallic Inorganic materials 0.000 description 4
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 4
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 4
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 description 3
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 3
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 3
- VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L Calcium carbonate Chemical compound [Ca+2].[O-]C([O-])=O VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 2
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 2
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 2
- DJOYTAUERRJRAT-UHFFFAOYSA-N 2-(n-methyl-4-nitroanilino)acetonitrile Chemical compound N#CCN(C)C1=CC=C([N+]([O-])=O)C=C1 DJOYTAUERRJRAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WNROFYMDJYEPJX-UHFFFAOYSA-K aluminium hydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[OH-].[Al+3] WNROFYMDJYEPJX-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OJMOMXZKOWKUTA-UHFFFAOYSA-N aluminum;borate Chemical compound [Al+3].[O-]B([O-])[O-] OJMOMXZKOWKUTA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TZCXTZWJZNENPQ-UHFFFAOYSA-L barium sulfate Chemical compound [Ba+2].[O-]S([O-])(=O)=O TZCXTZWJZNENPQ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000019 calcium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004927 clay Substances 0.000 description 1
- 229910052570 clay Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 239000012777 electrically insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000004299 exfoliation Methods 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- ZLNQQNXFFQJAID-UHFFFAOYSA-L magnesium carbonate Chemical compound [Mg+2].[O-]C([O-])=O ZLNQQNXFFQJAID-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- VTHJTEIRLNZDEV-UHFFFAOYSA-L magnesium dihydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[Mg+2] VTHJTEIRLNZDEV-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000000347 magnesium hydroxide Substances 0.000 description 1
- 229910001862 magnesium hydroxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 1
- 239000010445 mica Substances 0.000 description 1
- 229910052618 mica group Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000011417 postcuring Methods 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 1
- 239000000454 talc Substances 0.000 description 1
- 229910052623 talc Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
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- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
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- H05K3/46—Manufacturing multilayer circuits
- H05K3/4644—Manufacturing multilayer circuits by building the multilayer layer by layer, i.e. build-up multilayer circuits
- H05K3/4647—Manufacturing multilayer circuits by building the multilayer layer by layer, i.e. build-up multilayer circuits by applying an insulating layer around previously made via studs
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- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
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- H05K1/11—Printed elements for providing electric connections to or between printed circuits
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- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
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Abstract
Description
본 발명은 인쇄회로기판에 관한 것이다.The present invention relates to a printed circuit board.
통상적으로 인쇄회로기판은 코어 기판 상에 복수의 빌드업층을 순차적으로 적층하여 생산된다. 이렇게 순차적으로 빌드업층을 적층하여 인쇄회로기판을 생산하는 것을 순차적층공법이라고 칭할 수 있다.Typically, a printed circuit board is produced by sequentially laminating a plurality of buildup layers on a core substrate. The production of the printed circuit board by sequentially stacking the build-up layers can be referred to as a sequential layer construction method.
순차적층공법에 의해 인쇄회로기판을 제조할 경우, 인쇄회로기판의 층 수가 늘어나면 적층공정 수도 증가한다. 이러한 적층공정은 기존에 이미 적층되어 있는 부분에도 열을 가하기 때문에, 불필요하고 예측 불가능한 변형을 일으킬 수 있다. 이러한 변형이 많을수록 층간 정합이 어렵게 된다.When a printed circuit board is manufactured by a sequential lamination method, the number of lamination steps increases as the number of printed circuit boards increases. Such a lamination process may cause unnecessary and unpredictable deformation because heat is applied to a portion already existing in the lamination process. The more such deformation, the more difficult the interlayer matching becomes.
이에 따라, 각각의 빌드업층을 단위기판으로 분리 생산한 후 복수의 단위기판을 일괄적으로 동시에 적층하여 인쇄회로기판을 생산하는 일괄적층공법이 개발되었다.Accordingly, a batch lamination method has been developed in which a plurality of unit substrates are collectively laminated at the same time after the respective buildup layers are separated and produced as a unit substrate to produce a printed circuit board.
본 발명의 실시예에 따르면, 휨(warpage)을 방지할 수 있는 인쇄회로기판이 제공될 수 있다.According to the embodiment of the present invention, a printed circuit board capable of preventing warpage can be provided.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 인쇄회로기판을 나타내는 도면.
도 2는 본 발명의 제2 실시예에 따른 인쇄회로기판을 나타내는 도면.
도 3은 본 발명의 제3 실시예에 따른 인쇄회로기판을 나타내는 도면.
도 4, 도 5 및 도 8 내지 도 18은 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로기판의 제조방법을 순차적으로 나타내는 도면으로,
도 4 및 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로기판의 제조방법에 적용되는 메탈단위기판의 제조공정을 순차적으로 나타내는 도면이고,
도 8 내지 도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로기판의 제조방법에 적용되는 일반단위기판의 제조공정을 순차적으로 나타내는 도면이고,
도 14 내지 도 16는 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로기판의 제조방법에 적용되는 보호단위기판의 제조공정을 순차적으로 나타내는 도면이고,
도 17 및 도 18은 도 3, 도 4, 도 6 및 도 8 내지 도 16를 통해 제조된 메탈단위기판, 일반단위기판 및 보호단위기판을 일괄적으로 적층하는 것을 나타내는 도면.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로기판의 제조방법에 적용되는 메탈단위기판의 제1 변형예를 나타내는 도면.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로기판의 제조방법에 적용되는 메탈단위기판의 제2 변형예를 나타내는 도면.1 shows a printed circuit board according to a first embodiment of the present invention.
2 shows a printed circuit board according to a second embodiment of the present invention.
3 shows a printed circuit board according to a third embodiment of the present invention.
4, 5, and 8 to 18 are views sequentially illustrating a method of manufacturing a printed circuit board according to an embodiment of the present invention,
FIGS. 4 and 5 are views sequentially illustrating a process of manufacturing a metal unit substrate, which is applied to a method of manufacturing a printed circuit board according to an embodiment of the present invention,
8 to 13 are views sequentially illustrating a manufacturing process of a general unit substrate, which is applied to a method of manufacturing a printed circuit board according to an embodiment of the present invention,
14 to 16 are views sequentially illustrating the steps of manufacturing a protective unit substrate to be applied to a method of manufacturing a printed circuit board according to an embodiment of the present invention,
FIGS. 17 and 18 are views showing the lamination of the metal unit substrate, the general unit substrate, and the protective unit substrate manufactured through FIGS. 3, 4, 6 and 8 to 16 collectively.
6 is a view showing a first modification of a metal unit substrate applied to a method of manufacturing a printed circuit board according to an embodiment of the present invention.
7 is a view showing a second modification of a metal unit substrate applied to a method of manufacturing a printed circuit board according to an embodiment of the present invention.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. 그리고, 명세서 전체에서, "상에"라 함은 대상 부분의 위 또는 아래에 위치함을 의미하는 것이며, 반드시 중력 방향을 기준으로 상 측에 위치하는 것을 의미하는 것이 아니다.The terminology used in this application is used only to describe a specific embodiment and is not intended to limit the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, the terms "comprises" or "having" and the like are used to specify that there is a feature, a number, a step, an operation, an element, a component or a combination thereof described in the specification, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, components, or combinations thereof. In the specification, "on" means to be located above or below the object portion, and does not necessarily mean that the object is located on the upper side with respect to the gravitational direction.
또한, 결합이라 함은, 각 구성 요소 간의 접촉 관계에 있어, 각 구성 요소 간에 물리적으로 직접 접촉되는 경우만을 뜻하는 것이 아니라, 다른 구성이 각 구성 요소 사이에 개재되어, 그 다른 구성에 구성 요소가 각각 접촉되어 있는 경우까지 포괄하는 개념으로 사용하도록 한다.In addition, the term " coupled " is used not only in the case of direct physical contact between the respective constituent elements in the contact relation between the constituent elements, but also means that other constituent elements are interposed between the constituent elements, Use them as a concept to cover each contact.
도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.The sizes and thicknesses of the respective components shown in the drawings are arbitrarily shown for convenience of explanation, and thus the present invention is not necessarily limited to those shown in the drawings.
이하, 본 발명에 따른 인쇄회로기판의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of a printed circuit board according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, wherein like reference numerals refer to the same or corresponding components, A description thereof will be omitted.
인쇄회로기판Printed circuit board
(제1 (First 실시예Example ))
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 인쇄회로기판을 나타내는 도면이다.1 is a view showing a printed circuit board according to a first embodiment of the present invention.
도 1을 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 인쇄회로기판(1000)은 메탈층(510), 상부도체패턴층(110), 하부도체패턴층(210), 상부절연층(120), 하부절연층(220) 및 관통비아(V1)를 포함하고, 솔더레지스트층(620)을 더 포함할 수 있다.1, a printed
메탈층(510)은 후술할 상부 및 하부도체패턴층(110, 210)을 구성하는 물질보다 상대적으로 강성이 우수한 물질을 포함한다. 예로써, 메탈층(510)은 통상의 인쇄회로기판의 도체패턴을 형성하는데 사용되는 구리(Cu)보다 강성이 우수한 인바(Invar)를 포함할 수 있다.The
메탈층(510)은 인바(Invar)를 포함하는 3층 구조로 형성될 수 있다. 예로써, 메탈층(510)은, 인바(Invar)를 포함하는 내층(511)의 양면에 구리(Cu)를 포함하는 외층(512, 513)이 각각 형성된 구조일 수 있다. 또는, 메탈층(510)은, 구리를 포함하는 내층(511)의 양면에 인바(Invar)를 포함하는 외층(512, 513)이 각각 형성된 구조일 수 있다.The
관통홀(H)은 메탈층(510)을 관통한다. 관통홀(H)에는 후술할 관통비아(V1)가 형성된다.The through hole (H) penetrates the metal layer (510). In the through hole H, a through via V1 to be described later is formed.
상부 및 하부도체패턴층(110, 210)은 메탈층(510) 상에 각각 형성된다. 즉, 상부도체패턴층(110)은 메탈층(510)의 상부에 형성되고, 하부도체패턴층(210)은 메탈층(510)의 하부에 형성된다. 상부 및 하부도체패턴층(110, 210) 각각은 통상의 인쇄회로기판의 신호패턴, 파워패턴, 그라운드패턴 및 외부연결단자 중 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다.The upper and lower
상부도체패턴층(110)과 하부도체패턴층(210)은 상호 간의 형성위치만 상이할 뿐이다. 따라서, 이하의 본 실시예에 따른 인쇄회로기판(1000)의 설명에서는, 상부도체패턴층(110)과 하부도체패턴층(210) 간의 구별이 필요한 경우를 제외하고 도체패턴층으로 통칭하기로 한다. 또한, 도 1을 기준으로 상부도체패턴층(110)을 제1 도체패턴층으로 하부도체패턴층(210)을 제2 도체패턴층으로 칭하기로 한다.The upper
도체패턴층(110, 210)은 전기적 특성이 우수한 구리(Cu), 은(Ag), 팔라듐(Pd), 알루미늄(Al), 니켈(Ni), 티타늄(Ti), 금(Au), 백금(Pt) 등으로 형성될 수 있다. 제1 도체패턴층(110)과 제2 도체패턴층(210)의 패턴 형상은 서로 동일할 수도 있지만, 설계 상의 필요에 따라 서로 다르게 형성될 수도 있다.The
상부절연층(120)은 메탈층(510)과 제1 도체패턴층(110) 사이에 형성되고, 하부절연층(220)은 메탈층(510)과 제2 도체패턴층(210) 사이에 형성된다.The upper
상부절연층(120)과 하부절연층(220)은 상호 간의 형성위치만 상이할 뿐이다. 따라서, 이하의 본 실시예에 따른 인쇄회로기판(1000)의 설명에서는, 상부절연층(120)과 하부절연층(220) 간의 구별이 필요한 경우를 제외하고 절연층으로 통칭하기로 한다. 또한, 도 1을 기준으로 상부절연층(120)을 제1 절연층으로, 하부절연층(120)을 제2 절연층으로 칭한다. 이하의 설명에서는 설명의 편의를 위해 제1 절연층(120)에 대해서만 설명하기로 한다. The upper
절연층(120)은 광경화성 수지를 포함하여 광에 반응하는 물질로 이루어진 감광성 절연층일 수 있다. 또는 절연층(120)은 통상의 층간 절연물질인 프리프레그(prepreg) 또는 ABF(Ajinomoto Build-up Film)와 같은 비감광성 절연물질로 형성될 수 있다.The
감광성 절연층(120)은 빛에 의하여 경화도가 조절될 수 있다. 다만, 감광성 절연층(220)은 열경화성이기도 하며, 열에 의해서 경화도가 조절될 수 있다.The degree of curing of the
감광성 절연층(120)은 포토리소그래피(photolithography) 공정이 가능하므로, 프리프레그(prepreg)와 같은 비감광성 절연층에 홀을 가공하는 경우보다 미세홀 구현에 유리하고, 한 번의 포토리소그래피 공정만으로 복수의 홀을 동시에 형성할 수 있으므로 홀 형성 공정을 단순화할 수 있다. 또한, 감광성 절연층(120)은 포토리소그래피 공정으로 인해 홀 형상을 보다 용이하게 다양한 형상으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 홀의 종단면 형상은 역사다리꼴, 정사다리꼴, 직사각형 등이 될 수 있다.Since the
감광성 절연층(120)은 포지티브 타입(positive type) 또는 네거티브 타입(negative type)일 수 있다. 포지티브 타입(positive type)의 감광성 절연층(120)의 경우, 노광된 부분의 광중합체 폴리머 결합이 끊어진다. 이후, 현상 공정을 수행하면, 빛을 받아 광중합체 폴리머 결합이 끊어진 부분이 제거된다. 네거티브 타입(negative type)의 감광성 절연층(220)의 경우, 노광된 부분이 광중합 반응을 일으켜 단일구조에서 사슬구조의 3차원 망상 구조가 되며, 현상 공정을 수행하면, 빛을 받지 않은 부분이 제거된다.The
감광성 절연층(120)은 광경화성 수지에 무기필러가 함유된 것일 수 있다. 무기필러는 감광성 절연층(120)의 강성을 향상시키고 열팽창계수를 감소시킨다. 무기필러로는 실리카(SiO2), 알루미나(Al2O3), 탄화규소(SiC), 황산바륨(BaSO4), 탈크, 진흙, 운모가루, 수산화알루미늄(AlOH3), 수산화마그네슘(Mg(OH)2), 탄산칼슘(CaCO3), 탄산마그네슘(MgCO3), 산화마그네슘(MgO), 질화붕소(BN), 붕산알루미늄(AlBO3), 티탄산바륨(BaTiO3) 및 지르콘산칼슘(CaZrO3)으로 구성된 군에서 선택된 적어도 하나 이상이 사용될 수 있다.The
제1 절연층(120) 및 제2 절연층(220) 각각은 제1 도체패턴층(110) 및 제2 도체패턴층(120)과 함께 후술할 제1 및 제2 일반단위기판(100, 200)에 포함된다. 즉, 제1 절연층(120)은 제1 도체패턴층(110)과 함께 후술할 제1 일반단위기판(100)에 포함된다. 제1 절연층(120) 및 제2 절연층(220)은, 순차적층공법과 달리 서로 분리되어 별개로 형성된 후 일괄적으로 동시에 적층된다.Each of the first insulating
관통비아(V1)는 제1 도체패턴층(110)과 제2 도체패턴층(120)을 서로 연결하도록 제1 절연층(120), 제2 절연층(220) 및 관통홀(H)에 형성된다. 관통비아(V1)의 양단은 각각 제1 도체패턴층(110)과 제2 도체패턴층(210)에 접촉되어 제1 도체패턴층(110)과 제2 도체패턴층(210)을 전기적으로 서로 연결한다.The through vias V1 are formed in the first insulating
관통비아(V1)는 저융점금속층(20) 및 저융점금속층(20)의 용융점보다 높은 용융점을 가지는 고융점금속층(10)을 포함한다. 도 1을 참고하면, 본 실시예에 적용되는 관통비아(V1)는, 제1 도체패턴층(110)과 제2 도체패턴층(210)에 각각 형성된 고융점금속층(10) 및 고융점금속층(10) 사이에 개재되고 관통홀(H)에 형성되는 저융점금속층(20)을 포함한다.The through vias (V1) include a refractory metal layer (10) having a melting point higher than the melting point of the low melting point metal layer (20) and the low melting point metal layer (20). 1, the through vias V1 used in the present embodiment are formed of a high melting
고융점금속층(10)은 전기적 특성이 우수하고 저융점금속층(20)의 용융점보다 높은 용융점을 가지는 구리(Cu), 은(Ag), 팔라듐(Pd), 알루미늄(Al), 니켈(Ni), 티타늄(Ti), 금(Au), 백금(Pt) 등으로 형성될 수 있다. 일 예로, 고융점금속층(10)과 도체패턴층(110, 210)은 모두 구리로 형성될 수 있는데, 이 경우 양자는 동종물질로 형성되므로 상호 간의 결합력이 향상된다. 또한, 양자를 서로 다른 물질로 형성하는 경우에 비하여, 공정을 단순화할 수 있고 생산비를 절감할 수 있다. 하지만, 상술한 예는 예시적인 것으로 본 발명의 범위가 이에 제한되는 것은 아니다.The
저융점금속층(20)은 고융점금속층(10)의 용융점보다 용융점이 낮다. 저융점금속층(20)은 솔더 재질로 이루어질 수 있다. 여기서 '솔더'란 땜납에 사용될 수 있는 금속재료를 의미하며, 납(Pb)을 포함하는 합금일 수도 있지만, 납을 포함하지 않을 수 있다. 예를 들어, 솔더는, 주석(Sn), 은(Ag), 구리(Cu) 또는 이 중에서 선택된 금속들의 합금일 수 있다. 구체적으로 본 발명의 실시예에서 사용되는 솔더는 솔더 전체에 대한 주석(Sn)의 함량이 90% 이상인 주석, 은 및 구리를 성분으로 포함하는 합금일 수 있다.The melting point of the low melting point metal layer (20) is lower than the melting point of the high melting point metal layer (10). The low melting
저융점금속층(20)은 후술할 단위기판(100, 200, 500, 600)을 일괄적층할 때 적어도 일부가 용융되어 단위기판(100, 200, 500, 600)들 간의 압력 불균일을 완화할 수 있다.The low-melting-
저융점금속층(20)은 일괄적층 시의 온도 및 압력으로 인해 적어도 일부가 용융되므로, 저융점금속층(20)은 고융점금속층(10) 또는 도체패턴층(110, 210)을 구성하는 물질과 용이하게 반응할 수 있다. 따라서, 저융점금속층(20)과 고융점금속층(10) 또는 도체패턴층(110, 210) 사이에는 금속간화합물층(Inter-Metallic Compound, IMC)이 형성될 수 있다. 금속간화합물층으로 인해 도체패턴층(110, 210) 간의 물리적 결합력이 향상된다.The low-melting-
절연층(120, 220)은 관통홀(H)의 내벽과 관통비아(V1) 사이를 충전한다. 후술할 바와 같이, 절연층(120, 220)은 일괄적층 전까지 반경화상태(B-stage)를 유지한다. 또한, 본 실시예의 경우 관통홀(H)의 직경은 관통비아(V1)의 직경보다 크게 형성된다. 따라서, 일괄적층 시 절연층(120, 220)의 유동성으로 인해 절연층(120, 220)은 관통홀(H)의 내벽과 관통비아(V1) 사이의 공간을 충전한다.The insulating
솔더레지스트층(620)은 도체패턴층(110, 210) 상에 형성된다. 솔더레지스트층(620)은 도체패턴층(110, 210)을 외부로부터 보호하고 단락(short)을 방지하도록 전기절연성물질을 포함한다. 또한, 솔더레지스트층(620)은 감광성 물질을 포함할 수 있고, 강성 또는 열팽창계수의 조절 필요성에 따라 무기필러를 포함할 수 있다.A solder resist
솔더레지스트층(620)은 도체패턴층(110, 210) 중 외부연결단자를 외부로 개방하는 개구가 형성될 수 있다.The solder resist
(제2 (Second 실시예Example ))
도 2는 본 발명의 제2 실시예에 따른 인쇄회로기판을 나타내는 도면이다.2 is a view showing a printed circuit board according to a second embodiment of the present invention.
도 2를 참조하면, 본 실시예에 따른 인쇄회로기판(2000)은, 메탈층(510), 상부도체패턴층(110), 하부도체패턴층(210), 상부절연층(120), 하부절연층(220), 관통비아(V1) 및 절연막(520)을 포함하고, 솔더레지스트층(620)을 더 포함할 수 있다.2, the printed
본 실시예에 따른 인쇄회로기판(2000)은 본 발명의 제1 실시예에 따른 인쇄회로기판(1000)과 비교할 때 절연막(520)과 관통비아(V1)가 상이하므로, 본 실시예를 설명함에 있어서는 본 실시예에 적용되는 절연막(520) 및 관통비아(V1)를 중심으로 설명한다.Since the printed
절연막(520)은 관통홀(H)의 내벽과 관통비아(V1) 사이에 형성된다. 보다 구체적으로, 절연막(520)은 관통홀(H)의 내벽을 포함하는 메탈층(510)의 표면에 형성된다. 절연막(520)은 전기전도성 물질로 구성되는 메탈층(510)의 표면에 형성됨으로써 메탈층(510)과 도체패턴층(110, 210) 간의 단락(short)을 방지한다.The insulating
절연막(520)은 페럴린과 같은 절연물질을 메탈층(510)에 증착하여 형성될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.The insulating
절연막(520)은, 관통홀(H) 내에 후술할 도체필라(30)가 형성되도록 매우 얇은 두께로 형성된다. 관통홀(H) 내벽에 절연막(520)이 형성되므로 관통홀(H) 내에는 절연막(520)에 의해 정의되는 관통공(H')이 형성된다.The insulating
본 실시예에 적용되는 관통비아(V1)는, 고융점금속층(10), 저융점금속층(20) 및 도체필라(30)를 포함한다.The through vias V1 applied to the present embodiment include a high melting
도체필라(30)는 관통공(H')에 형성된다. 도체필라(30)는 도금을 통해 형성되거나 도체페이스트로 형성될 수 있다. 도체필라(30)은 전기적 특성이 우수한 구리(Cu), 은(Ag), 팔라듐(Pd), 알루미늄(Al), 니켈(Ni), 티타늄(Ti), 금(Au), 백금(Pt) 등으로 형성될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.The
도체필라(30)는 상술한 저융점금속층(20)과 동일한 재질 및 동일한 방법으로 형성될 수 있다. 또는, 도체필라(30)는 저융점금속층(20)과 상이한 재질로 형성될 수 있다. 도체필라(30)와 저융점금속층(20)의 재질이 서로 상이한 경우는, 도체필라(30)와 저융점금속층(20) 사이에 금속간화합물층이 형성될 수 있다.The
(제3 (Third 실시예Example ))
도 3은 본 발명의 제3 실시예에 따른 인쇄회로기판을 나타내는 도면이다.3 is a view illustrating a printed circuit board according to a third embodiment of the present invention.
도 3을 참조하면, 본 실시예에 따른 인쇄회로기판(3000)은, 메탈층(510), 상부도체패턴층(110), 하부도체패턴층(210), 상부절연층(120), 하부절연층(220), 관통비아(V1), 절연막(520) 및 층간비아(V2)를 포함하고, 솔더레지스트층(620)을 더 포함할 수 있다.3, the printed
본 실시예에 따른 인쇄회로기판(3000)은, 본 발명의 제2 실시예에 따른 인쇄회로기판(2000)과 비교할 때, 층간비아(V2)를 더 포함하고, 상부도체패턴층(110) 및/또는 하부도체패턴층(210)의 수가 상이한 바 본 실시예를 설명함에 있어서는 상기의 차이점을 중심으로 설명한다.The printed
본 실시예에 적용되는 상부도체패턴층(110) 및/또는 하부도체패턴층(210, 310, 410)은 각각 복수로 형성된다. 이 때, 상부도체패턴층(110)의 수와 하부도체패턴층(210, 310, 410)의 수는 서로 상이할 수 있다.The upper
통상의 인쇄회로기판의 경우, 도체패턴의 밀도 차이 및 절연재의 밀도 차이 등에 따라 기판의 상부와 하부에서 강성 및 열팽창계수가 서로 상이할 수 있다. 이로 인해 기판의 상부 또는 하부에서 휨이 발생할 수 있다. 따라서, 본 실시예의 경우에는 메탈층(510)을 기판의 휨이 발생하는 영역에 배치함으로써 기판의 휨을 방지한다.In the case of a general printed circuit board, the rigidity and the thermal expansion coefficient may be different from each other in the upper and lower portions of the substrate depending on the density difference of the conductor pattern and the density difference of the insulating material. As a result, warpage may occur at the top or bottom of the substrate. Therefore, in the case of the present embodiment, the
도 3은, 기판의 휨이 상부 측에서 발생하는 경우 메탈층(510)이 기판의 상부측에 형성되는 것을 예시적으로 도시한 것이다. 도 3은, 상부도체패턴층(110)이 단수로 형성되고 하부도체패턴층(210, 310, 410)이 복수로 형성되는 것을 도시하고 있으나 이는 예시적인 것에 불과하다. 따라서, 상부도체패턴층(110) 및 하부도체패턴층(210, 310, 410)의 수는 다양하게 변경될 수 있다.Fig. 3 exemplarily shows that the
한편, 제3 도체패턴층(310) 및 제4 도체패턴층(410)에는 본 발명의 제1 실시예에 따른 인쇄회로기판에서 설명한 도체패턴층(110, 210)에 대한 설명이 그대로 적용될 수 있다.The description of the conductor pattern layers 110 and 210 described in the printed circuit board according to the first embodiment of the present invention can be directly applied to the third
층간비아(V2)는, 인접하는 상부도체패턴층(110)을 서로 연결하거나 인접하는 하부도체패턴층(210, 310, 410)을 서로 연결한다. 도 3에는 층간비아(V2)가 인접하는 하부도체패턴층(210, 310, 410)을 서로 연결하도록 하부절연층(220, 320, 420)에 형성되는 것으로 도시하고 있으나, 상부도체패턴층(110)이 복수로 형성된다면 층간비아(V2)는 인접한 상부도체패턴층(110)을 연결하도록 상부절연층(120)에 형성될 수도 있다.The interlayer vias V2 connect adjacent upper conductor pattern layers 110 or connect adjacent lower conductor pattern layers 210, 310 and 410 to each other. 3, the interlayer vias V2 are formed on the lower insulating
인쇄회로기판의 제조 방법Manufacturing method of printed circuit board
도 4, 도 5 및 도 8 내지 도 18은 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로기판의 제조방법을 순차적으로 나타내는 도면이다. 구체적으로, 도 4, 도 5 및 도 8 내지 도 18은 상술한 본 발명의 제3 실시예에 따른 인쇄회로기판(3000)을 제조하기 위한 예시적인 제조방법에 해당한다.4, 5, and 8 to 18 are views sequentially illustrating a method of manufacturing a printed circuit board according to an embodiment of the present invention. 4, 5 and 8 to 18 correspond to an exemplary manufacturing method for manufacturing the printed
보다 상세하게, 도 4 및 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로기판의 제조방법에 적용되는 메탈단위기판의 제조공정을 순차적으로 나타내는 도면이고, 도 8 내지 도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로기판의 제조방법에 적용되는 일반단위기판의 제조공정을 순차적으로 나타내는 도면이고, 도 14 내지 도 16는 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로기판의 제조방법에 적용되는 보호단위기판의 제조공정을 순차적으로 나타내는 도면이고, 도 17 및 도 18은 도 3, 도 4, 도 6 및 도 8 내지 도 16를 통해 제조된 메탈단위기판, 일반단위기판 및 보호단위기판을 일괄적으로 적층하는 것을 나타내는 도면이다. 도 6 및 도 7은 각각 메탈단위기판의 변형예를 나타내는 도면이다.4 and 5 are views sequentially illustrating a process of manufacturing a metal unit substrate according to an embodiment of the present invention. FIGS. 8 to 13 are views FIGS. 14 to 16 are views showing a process of manufacturing a printed circuit board according to an embodiment of the present invention. FIG. 14 to FIG. FIGS. 17 and 18 show the steps of manufacturing the unit substrate, the unit substrate and the protection unit substrate manufactured through FIGS. 3, 4, 6 and 8 to 16 in a batch As shown in Fig. 6 and 7 are views showing a modification of the metal unit substrate, respectively.
이하에서는, 메탈단위기판의 제조공정, 일반단위기판의 제조공정 및 보호단위기판의 제조공정을 순차적으로 설명한 후 복수의 단위기판을 적층하는 공정을 설명한다. 또한, 메탈단위기판, 일반단위기판 및 보호단위기판의 구별의 필요가 없는 한 단위기판으로 통칭하기로 한다.Hereinafter, a process for manufacturing a metal unit substrate, a process for manufacturing a general unit substrate, and a process for manufacturing a protective unit substrate will be described in order and a process for laminating a plurality of unit substrates will be described. Unless otherwise required to distinguish the metal unit substrate, the general unit substrate, and the protection unit substrate, they are collectively referred to as a unit substrate.
(메탈단위기판의 제조방법)(Manufacturing Method of Metal Unit Substrate)
도 4 및 도 5 는 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로기판의 제조방법에 적용되는 메탈단위기판의 제조공정을 순차적으로 나타내는 도면이다.FIGS. 4 and 5 are views sequentially illustrating a process of manufacturing a metal unit substrate, which is applied to a method of manufacturing a printed circuit board according to an embodiment of the present invention.
우선, 도 4을 참고하면 내층판(511')의 양면에 외층판(512', 513')이 형성된 메탈원판(MP)을 준비한다.4, a metal plate MP having outer layer plates 512 'and 513' formed on both sides of the inner layer plate 511 'is prepared.
내층판(511'), 외층판(512', 513') 및 메탈원판(MP)는 각각 후속 공정을 통해 본 발명의 제1 내지 제3 실시예에 따른 인쇄회로기판(1000, 2000, 3000)에서 설명한 내층(511), 외층(512) 및 메탈층(510)이 되는 구성이다.The inner layer board 511 ', the outer layer boards 512' and 513 'and the metal disk MP are connected to the printed
내층판(511')은 인바(Invar)를 포함할 수 있고, 외층판(512', 513')은 구리(Cu)를 포함할 수 있다. 외층판(512', 513')은 내층판(511')의 양면에 각각 필름형태로 적층되거나 전해도금을 통해 형성될 수 있다.The inner lamina 511 'may comprise Invar and the outer lamina 512', 513 'may comprise copper Cu. The outer layer plates 512 'and 513' may be laminated on both sides of the inner layer board 511 'in a film form or may be formed by electrolytic plating.
다음으로, 도 5를 참고하면 메탈원판(MP)에 관통홀(H)을 가공한 후 절연막(520)을 형성한다.Next, referring to FIG. 5, a through hole H is formed in the metal disk MP, and then an insulating
메탈층(510)은 메탈원판(MP)을 선택적으로 제거하여 관통홀(H)을 형성함으로써 제조될 수 있다. 메탈원판(MP)의 일부를 선택적으로 제거하는 것으로는 화학적 에칭법, 레이저 드릴링법, 또는 기계적 드릴링법 중 적어도 어느 하나에 의할 수 있다.The
절연막(520)은 관통홀(H)의 내벽을 포함하는 메탈층(510)의 표면을 따라 형성된다. 이 때, 절연막(520)의 두께는 관통홀(H) 직경의 절반보다 작은 값으로 형성되므로, 관통홀(H) 내에 관통공(H')이 형성된다. 즉, 관통공(H')은 관통홀(H) 내에 형성되고 절연막(520)에 의해 정의된다.The insulating
절연막(520)은 메탈층(110)에 패럴린과 같은 절연물질을 증착함으로써 형성될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 다른 예로 메탈층(510)의 표면을 모두 커버하는 절연재를 메탈층(510)에 형성한 후 관통홀(H) 내에 관통공(H')이 형성되도록 절연재의 일부를 제거함으로써 절연막(520)을 형성할 수도 있다.The insulating
도 6 및 도 7은 본 실시예에 적용되는 메탈단위기판의 변형예를 나타내는 도면이다. 도 6 및 도 7은 본 발명의 제1 실시예 및 제2 실시예에 따른 인쇄회로기판(1000, 2000) 각각에 적용되는 메탈단위기판(500', 500'')이다.6 and 7 are views showing a modification of the metal unit substrate according to the present embodiment. 6 and 7 are metal unit substrates 500 'and 500' 'applied to the printed
제1 실시예에 따른 인쇄회로기판(1000)에 적용되는 메탈단위기판(500')은, 관통홀(H)의 내벽과 관통비아(V1) 사이의 공간을 절연층(120, 220)이 충전한다. 따라서, 도 4 및 도 5에서 설명한 메탈단위기판(500)과 달리 절연막(520)이 형성되지 않는다.The metal unit substrate 500 'applied to the printed
제2 실시예에 따른 인쇄회로기판(2000)에 적용되는 메탈단위기판(500'')은, 도 4 및 도 5에서 설명한 메탈단위기판(500)과 유사하나, 관통공(H') 내를 도체필라(30)가 충전한다.The metal unit substrate 500 '' applied to the printed
(일반단위기판의 제조방법)(Manufacturing method of general unit substrate)
도 8 내지 도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로기판의 제조방법에 적용되는 일반단위기판의 제조공정을 순차적으로 나타내는 도면이다.FIGS. 8 to 13 are views sequentially illustrating a process of manufacturing a general unit substrate, which is applied to a method of manufacturing a printed circuit board according to an embodiment of the present invention.
우선, 도 8을 참고하면 제1 캐리어(C1)의 양면에 제1 금속박(F1, F1')을 각각 형성한다. 제1 캐리어(C1)는 요구되는 강성을 가지는 금속재, 무기재 또는 유기재 중 어느 하나로 형성될 수 있다. 제1 금속박(F1, F1')은 구리박일 수 있으나, 다른 전도성 금속을 포함할 수도 있다. 제1 금속박(F1, F1')은 필름형태로 제1 캐리어(C1)의 양면에 적층 형성될 수도 있고, 도금공정을 통해 제1 캐리어(C1)의 양면에 형성될 수도 있다.First, referring to FIG. 8, first metal foils F1 and F1 'are formed on both surfaces of the first carrier C1. The first carrier C1 may be formed of any one of metal materials, inorganic materials, and organic materials having required rigidity. The first metal foils F1 and F1 'may be copper foils, but may include other conductive metals. The first metal foils F1 and F1 'may be laminated on both sides of the first carrier C1 in a film form or may be formed on both sides of the first carrier C1 through a plating process.
다음으로, 도 9를 참고하면 제1 금속박(F1, F1')에 선택적으로 제1 도체패턴층(110)을 형성한다. 제1 도체패턴층(110)은 제1 금속박(F1, F1')을 시드층으로 하는 MSAP(Modified Semi-Additive Process)법으로 형성될 수 있다. 제1 도체패턴층(110)은 제1 금속박(F1, F1')상에는 제1 도체패턴층(110)과 역패턴을 가지는 도금레지스트를 형성하고 전해도금을 수행하고, 전해도금 완료 후 도금레지스트를 제거함으로써 형성될 수 있다. 한편, 상술한 예에서는 통상의 회로패턴 형성공법 중 MSAP 법에 국한하여 설명하였으나, 주지의 Substractive 법, Full-Additive 법 또는 Semi-Additive 법 중 어느 하나를 이용하여 제1 도체패턴층(110)을 형성할 수도 있다.Next, referring to FIG. 9, the first
다음으로, 도 10을 참고하면 제1 도체패턴층(110)) 상에 제1 절연층(120)을 형성한다. 제1 절연층(120)에는 제1 도체패턴층(110) 중 일부를 선택적으로 외부로 노출시키는 개구부가 형성된다. 개구부는 포토리쏘그래피 공법으로 형성될 수 있다. 즉, 제1 도체패턴층(110)의 전면에 감광성 절연물질인 제1 절연층(120)을 형성한 후 선택적 노광 및 현상을 통해 개구부가 형성될 수 있다. 또한, 개구부는 레이저드릴링으로 형성될 수도 있다.Next, referring to FIG. 10, a first insulating
제1 절연층(120)은 진공 라미네이터를 이용하여 제1 도체패턴(110)에 라미네이트 될 수 있다. 다만, 라미네이트되어 선택적 노광 공정을 거친 제1 절연층(120)은 일괄적층 시까지 후경화 공정을 거치지 않기 때문에 반경화 상태(B-stage)로 있게 된다. 예로써, 선택적 노광 공정을 거친 제1 절연층(120)은 완전경화 상태(C-stage) 대비 10~20% 경화도를 가질 수 있다. 한편, 필요에 따라, 제1 절연층(120)이 별도의 공정을 통하여 완전경화 상태(C-stage) 대비 50% 경화도를 가지도록 반경화시킬 수 있다. 별도의 반경화 공정은 개구를 형성하기 위한 포토리소그래피 공정에 사용되는 UV광을 이용하여 이루어질 수 있다. 그러나 이 경우에도, 제1 절연층(120)은 일괄적층 전까지 완전경화되지 않는다.The first insulating
다음으로, 도 11을 참고하면 제1 절연층(120)의 개구부에 고융점금속층(10)과 저융점금속층(20)을 순차적으로 형성한다. 제1 일반단위기판(100)의 고융점금속층(10)및 저융점금속층(20)은 제2 일반단위기판(도 17의 200)의 고융점금속층(10) 및 저융점금속층(20)과 함께 일괄적층 후 관통비아(V1)를 형성한다.Next, referring to FIG. 11, a
고융점금속층(10)은 전해도금을 통해 형성된다. 전해도금의 경우 이방성 또는 등방성 도금을 모두 포함한다. 고융점금속층(10)은 구리전해도금을 통해 형성되어 구리(Cu)를 포함할 수 있다. 고융점금속층(10)을 전해도금으로 형성함에 있어 시드층은 제1 도체패턴층(110)일 수 있다. 또는 시드층은 제1 도체패턴층(110)이 아닌 별도의 공정을 통해 형성된 것일 수 있다. The
저융점금속층(20)은 i) 저융점금속, 예를 들어 솔더와 같은 저융점금속을 선택적으로 도금하거나 ii) 솔더 페이스트와 같은 저융점금속 페이스트를 선택적으로 도포한 후에 저융점금속 페이스트를 건조함으로써 형성될 수 있다. 솔더 또는 솔더 페이스트는 주석, 은, 구리 또는 여기서 선택된 금속들의 합금을 주성분으로 할 수 있다. 또한, 본 발명에서 사용되는 솔더 페이스트에는 플럭스(flux)가 포함되지 않을 수 있다. 솔더 페이스트는 상대적으로 높은 온도(ex. 800℃)에서 굳는 소결형과 상대적으로 낮은 온도(ex. 200℃)에서 굳는 경화형이 있다. 본 실시예에 사용되는 솔더 페이스트는 솔더 페이스트의 경화 시 제1 절연층(220)의 완전경화를 방지하도록 상대적으로 낮은 온도에서 굳는 경화형일 수 있다.The low melting
저융점금속 페이스트는 비교적 높은 점성을 가지는 것일 수 있으며, 고융점금속층(10) 상에 형성된 후 그 형상을 유지할 수 있다. 또한, 저융점금속 페이스트는 저융점금속 입자를 가지며, 이러한 입자에 의하여 저융점금속 페이스트가 굳어서 형성된 저융점금속층(20)의 표면은 울퉁불퉁할 수 있다.The low melting point metal paste may have a relatively high viscosity and may maintain its shape after being formed on the high melting
다음으로, 도 12를 참고하면, 저융점금속층(20) 및 제1 절연층(120)을 커버하는 커버필름(CF)을 형성한다. 커버필름(CF)은 일반단위기판(100, 200, 300, 400)을 외부로부터 보호한다. 구체적으로, 커버필름(CF)은 일반단위기판(100, 200, 300, 400)에 결합되어 일괄적층 공정 직전 각각의 일반단위기판(100, 200, 300, 400)으로부터 분리된다.Next, referring to FIG. 12, a cover film CF covering the low melting
다음으로, 도 13을 참고하면, 제1 금속박(F1, F1')으로부터 제1 캐리어(C1)를 분리하고, 제1 금속박(F1, F1')을 제거한 후 커버필름(CF)을 제거함으로써 제1 일반단위기판(100)이 제조된다. 제1 금속박(F1, F1')은 화학적 에칭으로 제거될 수 있으나 이에 제한되는 것은 아니다.13, the first carrier C1 is separated from the first metal foils F1 and F1 ', the first metal foils F1 and F1' are removed, and then the cover film CF is removed. 1
한편, 도 8 내지 도 13에는 제1 캐리어(C1)의 양면에 각각 제1 일반단위기판(100)이 형성됨을 도시하고 있으나, 제1 캐리어(C1)의 일면에만 제1 일반단위기판(100)이 형성될 수 있다. 또한, 제1 캐리어(C1)의 일면에는 제1 일반단위기판(100)이 형성되고 제1 캐리어(C1)의 타면에는 제2 일반단위기판(200) 등 다른 일반단위기판이 형성될 수 있다.8-13 illustrate that the first
또한, 상술한 예에서는 제1 일반단위기판(100)만을 기준으로 설명하였으나, 제2 일반단위기판(200), 제3 일반단위기판(300) 및 제4 일반단위기판(400)도 제1 일반단위기판(100)의 제조방법에 따라 제조될 수 있다.Although the second
(보호단위기판의 제조방법)(Manufacturing method of protective unit substrate)
도 14 내지 도 16는 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로기판의 제조방법에 적용되는 보호단위기판의 제조공정을 순차적으로 나타내는 도면이다.FIGS. 14 to 16 are views sequentially illustrating steps of manufacturing a protective unit substrate, which is applied to a method of manufacturing a printed circuit board according to an embodiment of the present invention.
우선, 도 14를 참고하면 제2 캐리어(C2)의 양면에 제2 금속박(F2, F2')을 각각 형성한다. 제2 캐리어(C2)는 요구되는 강성을 가지는 금속재, 무기재 또는 유기재 중 어느 하나로 형성될 수 있다. 제2 금속박(F2, F2')은 구리박일 수 있으나, 다른 전도성 금속을 포함할 수도 있다. 제2 금속박(F2, F2')은 필름형태로 제2 캐리어(C2)의 양면에 적층 형성될 수도 있고, 도금공정을 통해 제2 캐리어(C2)의 양면에 형성될 수도 있다.First, referring to FIG. 14, second metal foils F2 and F2 'are formed on both surfaces of a second carrier C2. The second carrier C2 may be formed of any one of metal materials, inorganic materials, and organic materials having required rigidity. The second metal foils F2 and F2 'may be copper foils, but may also include other conductive metals. The second metal foils F2 and F2 'may be laminated on both sides of the second carrier C2 in a film form or may be formed on both sides of the second carrier C2 through a plating process.
다음으로, 도 15를 참고하면 제2 금속박(F2, F2') 상에 솔더레지스트층(620)을 형성한다. 솔더레지스트층(620)에는 제2 금속박(F2, F2') 중 일부를 선택적으로 외부로 노출시키는 개구부가 형성된다. 개구부는 포토리쏘그래피 공법으로 형성될 수 있다. 즉, 제2 금속박(F2, F2')의 전면에 감광성 절연물질인 솔더레지스트를 형성한 후 솔더레지스트를 선택적 노광 및 현상함으로써 개구부가 형성될 수 있다. 또한, 개구부는 레이저드릴링으로 형성될 수도 있다. 솔더레지스트층(620)은 진공 라미네이터를 이용하여 제2 금속박(F2, F2')에 DFR필름을 적층하여 형성될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.Next, referring to FIG. 15, a solder resist
다음으로, 도 16을 참고하면, 제2 금속박(F2, F2')으로부터 제2 캐리어(C2)를 제거함으로써 보호단위기판(600)이 제조된다. 이 때, 도시하지는 않았으나, 제2 캐리어(C2)를 용이하게 제거하고 보호단위기판(600)을 일괄적층 시까지 지지 및 보호하도록 보호단위기판(600)에 커버필름(CF)이 적층될 수 있다. 이러한 커버필름(CF)에 대해서는 상술하였으므로 설명을 생략한다.16, the
(단위기판을 일괄적층하는 단계)(Step of collectively laminating unit substrates)
도 17 및 도 18은 도 3, 도 4, 도 6 및 도 8 내지 도 16를 통해 제조된 메탈단위기판, 일반단위기판 및 보호단위기판을 일괄적으로 적층하는 것을 나타내는 도면이다.FIGS. 17 and 18 are views showing the lamination of the metal unit substrate, the general unit substrate, and the protective unit substrate manufactured through FIGS. 3, 4, 6 and 8 to 16 collectively.
도 17을 참조하면, 복수의 단위기판(100, 200, 300, 400, 500, 600)을 상하로 배치하여 이들을 일괄적으로 적층한다. 이 때, 복수의 단위기판(100, 200, 300, 400, 500, 600) 각각에 형성된 정렬 마크를 통해 복수의 단위기판(100, 200, 300, 400, 500, 600)을 정렬하고, V-press 적층기 등을 이용하여 고온압착하여 모든 층을 일괄적으로 접합한다.Referring to FIG. 17, a plurality of
일괄적층 시, 온도는 180~200℃도로 설정되고, 프레스 압력은 30~50kg/cm2로 설정될 수 있으나, 이러한 수치로 한정되는 것은 아니며, 일괄적층 온도와 압력은 제1 내지 제4 절연층(120, 220, 320, 420)의 성분 또는 저융점금속층(20)의 성분 등에 의해서 다르게 설정될 수 있다. 특히, 일괄적층 시의 온도는 저융점금속층(20)의 용융점 이상일 수 있다. In the batch lamination, the temperature may be set to 180 to 200 DEG C and the press pressure may be set to 30 to 50 kg / cm < 2 > 120, 220, 320, 420 or the component of the low-melting-
일괄적층 시에 저융점금속층(20)은 용융되면서 이웃하는 도체패턴층(110, 210, 310, 410)을 접합시킬 수 있다. 이 경우, 일괄적층 후에 저융점금속층(20)의 퍼짐에 의하여, 저융점금속층(20)의 상부 단면적과 저융점금속층(20)의 하부 단면적은 서로 다른 크기로 형성될 수 있다.The low melting
또한, 반경화 상태에 있던 제1 내지 제4 절연층(120, 220, 320, 420)은 일괄적층 시의 온도 및 압력에 의해 완전 경화된다.In addition, the first to fourth insulating
다음으로, 도 18을 참고하면 보호단위기판(600) 각각에 남아있는 제2 금속박(F2, F2')을 제거하여 솔더레지스트층(620)을 외부로 노출시킨다. 제2 금속박(F2, F2')은 화학적 에칭을 통해 솔더레지스트층(620)으로부터 제거되거나 물리적 박리를 통해 제거될 수 있다.Next, referring to FIG. 18, the second metal foils F2 and F2 'remaining on each of the
한편, 도 17 및 도 18에는 솔더레지스트층(620)이 제1 도체패턴층(110)과 제4 도체패턴층(410) 상에 각각 형성됨을 도시하고 있으나, 이와 달리 보호단위기판(600)을 제1 일반단위기판(100) 또는 제4 일반단위기판(400) 중 어느 하나에 배치함으로써, 제1 도체패턴층(110) 또는 제4 도체패턴층(410) 중 어느 하나에만 솔더레지스트층(620)이 형성될 수 있다.17 and 18 illustrate that the solder resist
이상, 본 발명의 일 실시예에 대하여 설명하였으나, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서, 구성 요소의 부가, 변경 또는 삭제 등에 의해 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이며, 이 또한 본 발명의 권리범위 내에 포함된다고 할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention as defined in the appended claims. It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.
C1, C2: 캐리어
CF: 커버필름
F1, F1', F2, F2': 금속박
H: 관통홀
H': 관통공
MP: 메탈원판
V1: 관통비아
V2: 층간비아
10: 고융점금속층
20: 저융점금속층
30: 도체필라
100, 200, 300, 400: 일반단위기판
110, 210, 310, 410: 도체패턴층
120, 220, 320, 420: 절연층
500: 메탈단위기판
510: 메탈층
511: 내층
512, 513: 외층
511': 내층판
512', 513': 외층판
600: 보호단위기판
620: 솔더레지스트층
1000, 2000, 3000: 인쇄회로기판C1, C2: Carrier
CF: Cover film
F1, F1 ', F2, F2': Metal foil
H: Through hole
H ': Through hole
MP: metal disc
V1: Via through
V2: Interlayer vias
10: High melting point metal layer
20: Low melting point metal layer
30: conductor pillar
100, 200, 300, 400: general unit substrate
110, 210, 310, 410: conductor pattern layer
120, 220, 320, 420: insulating layer
500: metal unit substrate
510: metal layer
511: inner layer
512, 513: outer layer
511 ': My laminate
512 ', 513': outer layer plate
600: Protection unit substrate
620: solder resist layer
1000, 2000, 3000: printed circuit board
Claims (9)
상기 메탈층 상에 각각 형성되는 상부도체패턴층 및 하부도체패턴층;
상기 메탈층과 상기 상부도체패턴층 사이에 형성되는 상부절연층;
상기 메탈층과 상기 하부도체패턴층 사이에 형성되는 하부절연층; 및
저융점금속층 및 상기 저융점금속층의 용융점보다 높은 용융점을 가지는 고융점금속층을 포함하고, 상기 상부도체패턴층과 상기 하부도체패턴층을 서로 연결하도록 상기 상부절연층, 상기 하부절연층 및 상기 관통홀에 형성되는 관통비아;
를 포함하는, 인쇄회로기판.
A metal layer having a through hole formed therein;
An upper conductor pattern layer and a lower conductor pattern layer respectively formed on the metal layer;
An upper insulating layer formed between the metal layer and the upper conductive pattern layer;
A lower insulating layer formed between the metal layer and the lower conductor pattern layer; And
Melting metal layer and a refractory metal layer having a melting point higher than a melting point of the low melting point metal layer, wherein the upper insulating layer, the lower insulating layer, and the through hole Through vias formed in the substrate;
And a printed circuit board.
상기 상부절연층 및/또는 상기 하부절연층은
상기 관통홀의 내벽과 상기 관통비아 사이를 충전하는, 인쇄회로기판.
The method according to claim 1,
The upper insulating layer and / or the lower insulating layer
And filling the space between the inner wall of the through hole and the through via.
상기 관통홀의 내벽과 상기 관통비아 사이에 형성된 절연막을 더 포함하는, 인쇄회로기판.
The method according to claim 1,
And an insulating film formed between the inner wall of the through hole and the through via.
상기 메탈층은 인바(Invar)를 포함하는, 인쇄회로기판.
The method according to claim 1,
Wherein the metal layer comprises Invar.
상기 저융점금속층은 주석(Sn)을 포함하는, 인쇄회로기판.
The method according to claim 1,
Wherein the low melting point metal layer comprises tin (Sn).
상기 상부절연층 및/또는 상기 하부절연층은 광경화성 수지를 포함하는, 인쇄회로기판.
The method according to claim 1,
Wherein the upper insulating layer and / or the lower insulating layer comprises a photocurable resin.
상기 상부도체패턴층 및/또는 상기 하부도체패턴층은 복수로 형성되는, 인쇄회로기판.
The method according to claim 1,
Wherein the upper conductor pattern layer and / or the lower conductor pattern layer are formed in a plurality of.
상기 상부도체패턴층의 수와 상기 하부도체패턴층의 수가 서로 다른, 인쇄회로기판.
8. The method of claim 7,
Wherein the number of the upper conductor pattern layers and the number of the lower conductor pattern layers are different from each other.
서로 인접한 상기 상부도체패턴층을 서로 연결하거나 서로 인접한 상기 하부도체패턴층을 서로 연결하는 층간비아를 더 포함하고,
상기 층간비아는,
상기 저융점금속층 및 상기 고융점금속층을 포함하는, 인쇄회로기판.8. The method of claim 7,
Further comprising interlayer vias connecting the upper conductor pattern layers adjacent to each other or connecting the lower conductor pattern layers adjacent to each other,
The interlaminar vias may include,
The low melting point metal layer and the high melting point metal layer.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020160178121A KR20180074237A (en) | 2016-12-23 | 2016-12-23 | Multi-layered printed circuit board |
JP2017215994A JP7087236B2 (en) | 2016-12-23 | 2017-11-08 | Printed circuit board |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020160178121A KR20180074237A (en) | 2016-12-23 | 2016-12-23 | Multi-layered printed circuit board |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20180074237A true KR20180074237A (en) | 2018-07-03 |
Family
ID=62784700
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020160178121A KR20180074237A (en) | 2016-12-23 | 2016-12-23 | Multi-layered printed circuit board |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7087236B2 (en) |
KR (1) | KR20180074237A (en) |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002185142A (en) * | 2000-12-19 | 2002-06-28 | Ibiden Co Ltd | Multilayer printed wiring board and its manufacturing method |
JP2013187255A (en) * | 2012-03-06 | 2013-09-19 | Ngk Spark Plug Co Ltd | Wiring board manufacturing method |
-
2016
- 2016-12-23 KR KR1020160178121A patent/KR20180074237A/en active IP Right Grant
-
2017
- 2017-11-08 JP JP2017215994A patent/JP7087236B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7087236B2 (en) | 2022-06-21 |
JP2018107430A (en) | 2018-07-05 |
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