KR20180071454A - Equipment of required quantity flow for fabricating display device - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 디스플레이 제조용 정량 토출장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 용액 특성의 균일함을 유지하기 위한 수단을 구비하는 디스플레이 제조용 정량 토출장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a constant-volume dispensing apparatus for making a display, and more particularly, to a dispensing apparatus for producing a display having a means for maintaining uniformity of solution characteristics.
디스플레이 장치의 제조에 있어서, 봉지(sealing) 공정 또는 패터닝(patterning) 공정은 인쇄장치를 이용하여 수행할 수 있다.In manufacturing the display device, a sealing process or a patterning process can be performed using a printing apparatus.
디스펜서(dispenser)를 이용한 인쇄장치는 용액을 저장 공급하는 실린지 및 카트리지와 같은 용액 공급부를 구비한다. 상기 용액 공급부에서 제공되는 용액의 양, 디스펜서로부터 토출되어 도포되는 시간, 도포 시 용액의 온도, 및 주변 온도의 변화에 따라 용액의 점도(viscosity)는 달라진다. 상기 용액의 점도가 큰 경우 퍼짐성이 낮으며, 점도가 낮은 경우 퍼짐성이 높아지므로, 용액의 점도는 도포되는 패턴의 두께와 선폭의 정밀도에 밀접한 영향을 주게 된다. A printing apparatus using a dispenser has a solution supply portion such as a syringe and a cartridge for storing and supplying a solution. The viscosity of the solution varies depending on the amount of the solution supplied from the solution supply part, the time of being discharged and dispensed from the dispenser, the temperature of the solution upon application, and the ambient temperature. When the viscosity of the solution is high, the spreadability is low, and when the viscosity is low, the spreadability is high. Therefore, the viscosity of the solution has a close relationship with the thickness of the applied pattern and the accuracy of the line width.
디스플레이 화소 기술의 발달로 인해 정밀한 패터닝이 요구됨에 따라 도포되는 용액의 양은 점점 최소화되고 있으며, 도포 편차 또한 최소화되도록 하는 기술이 요구되고 있다. 따라서 용액이 공급되기 전이나 공급 중의 용액 특성 유지가 중요한 기술적 요소라 볼 수 있다. Due to the development of display pixel technology, precise patterning is required, so that the amount of the solution to be applied is minimized, and there is a demand for a technique for minimizing the coating deviation. Therefore, it is an important technical factor to maintain the characteristics of the solution before and during the supply of the solution.
일반적으로 실린지 또는 카트리지와 같은 용액 공급부의 내부의 용액에 기체 가압을 일정하게 공급함으로써 정량의 잉크 토출이 가능하게 되는데, 상기 용액의 점도 조절을 위해 디스펜서 내부에 가열수단을 구비하여 용액의 온도를 조절함으로써 일정 점도를 유지하는 방법을 사용할 수 있다.Generally, a constant amount of gas is supplied to the solution in the solution supply portion such as a syringe or a cartridge, so that a fixed amount of ink can be discharged. In order to adjust the viscosity of the solution, a heating means is provided inside the dispenser, A method of maintaining a constant viscosity can be used.
그러나 상기 디스펜서 내부의 가열부의 경우 가열부 자체의 온도를 확인하고 조절하기 때문에 실제 용액의 온도 확인이 불가능할 수 있으며, 그에 대한 피드백이 늦어 원하는 온도로 유지하기 힘들 수 있다. 따라서 인쇄 품질이 저하되는 문제가 발생할 수 있으며, 상기와 같은 불량의 발생은 설비의 가동율 및 수율에 영향을 줄 수 있고, 이는 제품의 원가상승의 요인이 된다고 볼 수 있다.However, in the case of the heating unit inside the dispenser, since the temperature of the heating unit itself is checked and adjusted, it may not be possible to check the temperature of the actual solution, and feedback on the solution may be delayed to maintain the desired temperature. Therefore, there may occur a problem that the print quality is deteriorated, and the occurrence of such defects may affect the operation rate and yield of the equipment, which is considered to be a factor of cost increase of the product.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 디스펜서로 유입되는 액체의 특성을 균일하게 유지하고 상기 디스펜서가 액체를 정밀하게 정량 공급할 수 있는 디스플레이 제조용 정량 토출장치를 제공하는 것에 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a constant-volume dispensing apparatus for producing a display in which the dispenser can precisely supply and dispense the liquid while uniformly maintaining the characteristics of the liquid flowing into the dispenser.
본 발명의 목적은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.It is to be understood that the objects of the present invention are not limited to the above-mentioned objects, and other objects not mentioned may be clearly understood by those skilled in the art from the following description.
상기 기술적 과제를 이루기 위하여 본 발명은 기판 상에 패턴을 형성하는 액체가 저장, 공급되는 용액 공급부; 상기 용액 공급부 내의 압력을 조절하여 상기 용액 공급부의 액체 배출량을 조절하는 가압조절부; 기판 상에 패턴을 형성하도록 상기 배출된 액체를 일정량 토출하는 디스펜서; 상기 용액 공급부와 상기 디스펜서 사이에 위치하여 액체상태를 조절하는 가열수단 및 진동수단을 구비한 중간 저장부; 상기 중간 저장부에 위치하여 액체의 상태를 감지하는 센서부; 및 상기 토출되는 상기 액체의 특성을 조절하는 제어기를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 제조용 정량 토출장치를 제공한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a liquid ejecting apparatus including: a liquid supply unit configured to store and supply a liquid for forming a pattern on a substrate; A pressure regulating unit for regulating a pressure in the solution supply unit to adjust a liquid discharge amount of the solution supply unit; A dispenser for discharging a predetermined amount of the discharged liquid to form a pattern on the substrate; An intermediate storage unit positioned between the solution supply unit and the dispenser and having heating means and vibration means for adjusting the liquid state; A sensor unit positioned in the intermediate storage unit for sensing a state of the liquid; And a controller for controlling the characteristics of the discharged liquid.
상기 센서부는 유체압력센서 및 온도센서를 포함할 수 있다.The sensor unit may include a fluid pressure sensor and a temperature sensor.
상기 중간 저장부는 액체가 주입되고 배출되는 배관부를 포함하고 상기 배관부에 가열수단 및 진동수단을 구비하되 상기 제어기와 연결된 것일 수 있다.The intermediate storage unit may include a piping unit through which liquid is injected and discharged, and the piping unit may include heating means and vibration means, and may be connected to the controller.
상기 디스펜서 내부에 가열부가 위치할 수 있다.The heating part may be located inside the dispenser.
상기 진동수단은 초음파 진동수단 또는 공기 진동수단(air vibrator)일 수 있다.The vibrating means may be an ultrasonic vibration means or an air vibrator.
상기 액체는 UV 경화성 점착제일 수 있다.The liquid may be a UV curable pressure sensitive adhesive.
상기 디스펜서는 ±10% 이내의 오차 범위를 가진 두께로 패턴이 형성되도록 토출량을 유지하는 것일 수 있다.The dispenser may be to maintain the discharge amount such that the pattern is formed to a thickness having an error range of within +/- 10%.
본 발명에 따른 디스플레이 제조용 정량 토출장치는 가열수단과 진동수단을 포함한 중간 저장부를 구비함으로써 디스펜서로 유입되는 용액의 점도를 일정하게 조절하여 토출 시 용액의 특성을 유지함으로써 패터닝에 최적화된 용액을 정량 공급할 수 있는 장점이 있다.The present invention provides a constant-volume dispensing apparatus for manufacturing a display, which includes an intermediate storage unit including a heating unit and a vibration unit, so that the viscosity of the solution introduced into the dispenser can be controlled to maintain the characteristics of the solution during dispensing, There are advantages to be able to.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 제조용 정량 토출장치를 나타낸 개념도이다.1 is a conceptual diagram showing a constant-volume dispensing apparatus for manufacturing a display according to an embodiment of the present invention.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명한다. 다음에 소개되는 실시예들은 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 예로서 제공되어지는 것이다. 따라서, 본 발명은 이하 설명되어지는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 그리고, 도면들에 있어서, 층 및 영역의 길이, 두께 등은 편의를 위하여 과장되어 표현될 수도 있다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The following embodiments are provided by way of example so that those skilled in the art can fully understand the spirit of the present invention. Therefore, the present invention is not limited to the embodiments described below, but may be embodied in other forms. In the drawings, the length and thickness of layers and regions may be exaggerated for convenience. Like reference numerals designate like elements throughout the specification.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 제조용 정량 토출장치를 나타낸 개념도이다.1 is a conceptual diagram showing a constant-volume dispensing apparatus for manufacturing a display according to an embodiment of the present invention.
도 1을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 제조용 정량 토출장치는 기판(700) 상에 패턴을 형성하는 액체(10)가 저장, 공급되는 용액 공급부(200); 상기 용액 공급부(200) 내의 압력을 조절하여 상기 용액 공급부의 액체(10) 배출량을 조절하는 가압조절부(100); 상기 기판(700) 상에 패턴을 형성하도록 상기 배출된 액체(10)를 일정량 토출하는 디스펜서(600); 상기 용액 공급부(200)와 상기 디스펜서(600) 사이에 위치하여 액체 상태를 조절하는 가열수단(800) 및 진동수단(900)을 구비한 중간 저장부(500); 상기 중간 저장부(500)에 위치하여 액체(10)의 상태를 감지하는 센서부(300); 및 상기 토출되는 상기 액체의 특성을 조절하는 제어기(400)를 포함한다.Referring to FIG. 1, a fixed dose dispensing apparatus for manufacturing a display according to an embodiment of the present invention includes a
상기 가압조절부(100)는 전공레귤레이터를 사용할 수 있다. 상기 가압조절부(100)는 상기 제어부(400)로부터 피드백되는 신호에 따라 상기 용액 공급부(200)내 액체(10)의 가압 정도를 조절한다. 상기 가압의 조절은 불활성 기체를 가스 공급관을 통해 흘려주는 유량을 조절함으로써 수행할 수 있다.The
상기 가압 조절부(100)로 인해 상기 용액 공급부(200)에서 배출된 상기 액체(10)는 상기 디스펜서(600)로 유입이 된다. 상기 액체(10)는 UV 경화성 점착제일 수 있다.The
상기 용액 공급부(200)와 상기 디스펜서(600) 사이에는 상기 액체(10)의 상태 조절 또는 유지를 위한 가열수단(800) 및 진동수단(900)를 구비한 중간 저장부(500)가 위치한다. 상기 가열수단(800) 및 진동수단(900)는 상기 중간 저장부(500)의 어느 위치이든 구비 가능할 수 있다.An
상기 진동수단은 초음파 진동수단 또는 공기 진동수단(air vibrator)일 수 있다. 나아가서, 상기 중간 저장부(500)는 상기 액체(10)의 주입과 배출 영역에 배관부(510, 530)를 포함하고 상기 배관부(510, 530)에 가열수단 및 진동수단을 구비하되 상기 제어기(400)와 연결된 것일 수 있다. The vibrating means may be an ultrasonic vibration means or an air vibrator. Further, the
상기 센서부(300)는 상기 중간 저장부(500)에 위치하여 상기 액체의 상태를 감지하여, 상기 제어기(400)로 피드백 할 수 있다. The
즉, 상기 센서부(300)가 상기 중간 저장부(500) 내에 위치하는 액체의 특성, 예를 들어 압력과 온도를 센싱하고, 상기 제어기(400)로 센싱된 정보를 전송한다. 상기 전송된 상기 액체의 특성에 따라 상기 제어기(400)는 상기 가열수단(800) 및 상기 진동수단(900)에 작동 신호를 보내게 되어, 적정 온도를 유지시키고, 상기 진동수단(900)를 통해 상기 액체(10) 내에 존재할 수 있는 기포들을 제거하고, 상기 가열수단(800) 및 상기 진동수단(900)를 통해 상기 액체의 점도를 일정하게 조절 또는 유지시킬 수 있다. 상기의 과정 이후 상태 변화 결과를 다시 상기 센서부(300)가 측정하고 다시 상기 제어부(400)로 정보를 전송하면 피드백이 지속되어, 상기 액체(10)의 상태는 일정하게 유지시킬 수 있다. 상기 센서부(300)는 유체압력센서 및 온도센서를 포함할 수 있다.That is, the
상기 액체(10)의 상태에 따라 피드백이 즉각적으로 제공되어 실제 액체의 온도 확인이 가능할 수 있다. 또한 상기 진동수단(900)를 통해 상기 액체 내의 기포들을 제거함으로써 상기 액체의 토출 시 액체의 균일도를 더욱 향상시킬 수 있다.Depending on the state of the
상기 액체(10)는 1 내지 10000cp의 점도 범위를 가질 수 있으며, 상기 센서부(300)는 상기 점도 범위에 따라 센싱 결과를 상기 제어기(400)로 전송하고, 전송된 정보에 따라 상기 제어기(400)는 상기 가압조절부(100), 상기 가열수단(800) 및 상기 진동수단(900)를 제어하여 상기 디스펜서(600)의 일정한 토출을 유도할 수 있다. The
따라서 상기 디스펜서(600)로 유입되기 전 액체의 특성을 조절하여 상기 디스펜서(600)로 토출 시 액체의 특성이 일정 수준 유지됨으로써 패터닝 또는 도포에 알맞은 액체를 정량 공급할 수 있는 효과가 있다. Accordingly, the characteristics of the liquid before the liquid is introduced into the
상기 액체(10)는 상기 디스펜서(600)로 유입되고 상기 기판(700) 상에 일정 선폭과 두께의 패턴을 형성하도록 상기 디스펜서(600)는 상기 액체(10)를 일정량 토출한다. 상기 기판(700)은 디스플레이 소자들, 예를 들어 액정표시소자 또는 유기전계발광표시소자 등이 형성된 기판일 수 있으며, 상기 액체(10)는 UV 경화성 점착제일 수 있다. 상기 UV 경화성 점착제는 상기 기판의 봉지제일 수 있다.The
상기 디스펜서(600) 내부에는 가열부가 위치할 수 있으며, 상기 가열부 또한 상기 제어부(400)와 연결되어 상기 액체(10)의 가열 여부를 피드백할 수 있다. 상기 디스펜서는 ±10% 이내의 오차 범위를 가진 두께로 패턴이 형성되도록 토출량을 유지하는 것일 수 있다.The heating unit may be positioned inside the
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the present invention as defined by the following claims It can be understood that
100; 가압 조절부, 200; 용액 공급부,
300; 센서부, 400; 제어부,
500; 중간 저장부, 600; 디스펜서,
800; 진동수단, 900; 가열부100; A
300; A sensor unit, 400; The control unit,
500; Intermediate storage, 600; dispenser,
800; Vibrating means, 900; Heating section
Claims (7)
상기 용액 공급부 내의 압력을 조절하여 상기 용액 공급부의 액체 배출량을 조절하는 가압조절부;
기판 상에 패턴을 형성하도록 상기 배출된 액체를 일정량 토출하는 디스펜서;
상기 용액 공급부와 상기 디스펜서 사이에 위치하여 액체상태를 조절하는 가열수단 및 진동수단을 구비한 중간 저장부;
상기 중간 저장부에 위치하여 액체의 상태를 감지하는 센서부; 및
상기 토출되는 상기 액체의 특성을 조절하는 제어기를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 제조용 정량 토출장치.A solution supply part in which a liquid for forming a pattern is stored and supplied on a substrate;
A pressure regulating unit for regulating a pressure in the solution supply unit to adjust a liquid discharge amount of the solution supply unit;
A dispenser for discharging a predetermined amount of the discharged liquid to form a pattern on the substrate;
An intermediate storage unit positioned between the solution supply unit and the dispenser and having heating means and vibration means for adjusting the liquid state;
A sensor unit positioned in the intermediate storage unit for sensing a state of the liquid; And
And a controller for controlling the characteristics of the discharged liquid.
상기 센서부는 유체압력센서 및 온도센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 제조용 정량 토출장치.The method according to claim 1,
Wherein the sensor unit comprises a fluid pressure sensor and a temperature sensor.
상기 중간 저장부는 액체가 주입되고 배출되는 배관부를 포함하고 상기 배관부에 가열수단 및 진동수단을 구비하되 상기 제어기와 연결된 것을 특징으로 하는 디스플레이 제조용 정량 토출장치.The method according to claim 1,
Wherein the intermediate storage portion includes a piping portion through which liquid is injected and discharged, and the piping portion is provided with a heating means and a vibration means, and is connected to the controller.
상기 디스펜서 내부에 가열부가 위치하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 제조용 정량 토출장치.The method according to claim 1,
Wherein the heating unit is positioned inside the dispenser.
상기 진동수단은 초음파 진동수단 또는 공기 진동수단(air vibrator)인 것을 특징으로 하는 디스플레이 제조용 정량 토출장치.The method according to claim 1,
Wherein the vibrating means is an ultrasonic vibration means or an air vibrator.
상기 액체는 UV 경화성 점착제인 것을 특징으로 하는 디스플레이 제조용 정량 토출장치.The method according to claim 1,
Wherein the liquid is a UV curable pressure-sensitive adhesive.
상기 디스펜서는 ±10% 이내의 오차 범위를 가진 두께로 패턴이 형성되도록 토출량을 유지하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 제조용 정량 토출장치.
The method according to claim 1,
Wherein the dispenser maintains a discharge amount such that a pattern is formed with a thickness within an error range of within +/- 10%.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020160173576A KR101874403B1 (en) | 2016-12-19 | 2016-12-19 | Equipment of required quantity flow for fabricating display device |
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---|---|---|---|
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20180071454A true KR20180071454A (en) | 2018-06-28 |
KR101874403B1 KR101874403B1 (en) | 2018-07-05 |
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ID=62780402
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020160173576A KR101874403B1 (en) | 2016-12-19 | 2016-12-19 | Equipment of required quantity flow for fabricating display device |
Country Status (1)
Country | Link |
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KR (1) | KR101874403B1 (en) |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant |