KR20180067484A - Inspection apparatus using ultraviolet ray - Google Patents

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Abstract

An inspection apparatus according to one embodiment of the present invention comprises: a light source selectively irradiating an ultraviolet ray having a wavelength within a predetermined wavelength range; a condensing portion for condensing the ultraviolet ray irradiated from the light source; a beam splitter transferring the ultraviolet ray transferred from the condensing portion to an object or transmitting the ultraviolet ray reflected from the object or light fluorescent from the object; a transmission filter selectively transmitting the ultraviolet ray or fluorescent light passing through the beam splitter; and a light receiving portion for receiving the ultraviolet ray or fluorescent light passing through the transmission filter.

Description

자외선 검사 장치{INSPECTION APPARATUS USING ULTRAVIOLET RAY}[0001] INSPECTION APPARATUS USING ULTRAVIOLET RAY [0002]

본 발명은 자외선 검사 장치에 관한 것으로, 보다 자세히 자외선을 이용하여 화학소재 표면의 열화 또는 오염 상태를 검사하는 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ultraviolet ray inspection apparatus, and more particularly, to an apparatus for inspecting deterioration or contamination state of a chemical material surface using ultraviolet rays.

화학소재는 장기적으로 열, 빛, 산소, 습기 등의 외부자극에 노출되어 표면 열화 및 오염이 진행되며, 소재의 탈변색, 첨가제의 변색 및 형광 변화, 충진재의 표면 유출 등이 발생할 수 있다. Chemical materials are exposed to external stimuli such as heat, light, oxygen, and moisture in the long term, leading to deterioration and contamination of the surface, discoloration of the material, discoloration of the additive, change of fluorescence, and leakage of the filler material may occur.

이러한 표면 열화 및 오염의 정도는 육안으로 관찰되는 경우도 있지만, 일반적으로 열화의 진행 속도는 사용 중에 인식하기 어려울 정도로 완만하게 진행되는 경우 육안으로 용이하게 관찰할 수 없다. Although the degree of surface deterioration and contamination may be observed with the naked eye, generally, the rate of progress of deterioration can not be easily observed with the naked eye if it progresses gently enough to be hard to recognize during use.

이와 같이, 육안으로 열화 및 오염 정도를 관찰하기 어려운, 환경적 열화 인자에 의한 미세한 물리 화학적 특성의 변화는, 적외선 및 X-ray를 이용한 분광법, 현미경 또는 전자현미경을 이용한 형상 관찰, 기계적 물성 측정 등의 방법으로 확인 가능하다. Changes in the fine physical and chemical properties due to environmental deterioration factors, which are difficult to observe deterioration and degree of contamination visually, can be observed by spectroscopy using infrared rays and X-rays, observation of shapes using a microscope or an electron microscope, As shown in Fig.

다만, 이러한 측정 방법은 측정하는데 시간이 많이 걸리고, 비용 또한 높은 문제점이 있다. However, such a measurement method is time-consuming and costly.

본 발명은 화학소재 표면의 열화 및 오염 상태를 신속하고 저비용으로 측정할 수 있는 자외선 검사 장치를 제공하고자 한다. An object of the present invention is to provide an ultraviolet inspection apparatus capable of quickly and cost-effectively measuring deterioration and contamination of chemical material surfaces.

본 발명의 일 실시예에 따른 자외선 검사 장치, 미리 정해진 파장 범위 내의 파장을 갖는 자외선을 선택적으로 조사하는 광원, 상기 광원에서 조사된 상기 자외선을 집광하는 집광부, 상기 집광부로부터 전달된 상기 자외선을 대상물로 전달하거나, 상기 대상물로부터 반사된 자외선 또는 상기 대상물에서 형광된 빛을 투과시키는 빔 스플리터, 상기 빔 스플리터를 통과한 자외선 또는 형광된 빛을 선택적으로 투과시키는 투과 필터 및 상기 투과 필터를 통과한 상기 자외선 또는 형광된 빛을 수광하는 수광부를 포함할 수 있다. A light source for selectively irradiating an ultraviolet ray having a wavelength within a predetermined wavelength range, a light collecting part for collecting the ultraviolet light irradiated from the light source, an ultraviolet ray inspection device for collecting the ultraviolet ray transmitted from the light collecting part, A beam splitter for transmitting the ultraviolet light reflected from the object or the fluorescent light emitted from the object, a transmission filter for selectively transmitting the ultraviolet light or the fluorescent light passing through the beam splitter, And may include a light-receiving portion that receives ultraviolet light or fluorescent light.

상기 파장 범위는 250 nm 내지 400 nm일 수 있다. The wavelength range may be from 250 nm to 400 nm.

상기 광원은 복수의 자외선 램프를 포함할 수 있다. The light source may include a plurality of ultraviolet lamps.

상기 복수의 자외선 램프 중 적어도 일부는 서로 다른 파장을 가질 수 있다. At least some of the plurality of ultraviolet lamps may have different wavelengths.

상기 복수의 자외선 램프는 일 방향을 따라 서로 나란하게 배열될 수 있다. The plurality of ultraviolet lamps may be arranged side by side along one direction.

상기 광원은 복수의 자외선 LED를 포함할 수 있다. The light source may include a plurality of ultraviolet LEDs.

상기 복수의 자외선 LED 중 적어도 일부는 서로 다른 파장을 가질 수 있다. At least some of the plurality of ultraviolet LEDs may have different wavelengths.

상기 복수의 자외선 LED 중 동일한 파장을 갖는 자외선 LED는 서로 인접하여 배치될 수 있다. The ultraviolet LEDs having the same wavelength among the plurality of ultraviolet LEDs may be disposed adjacent to each other.

상기 광원은 상기 자외선의 조도를 조절할 수 있다.The light source may control the illuminance of the ultraviolet ray.

상기 투과 필터는, 상기 대상물에서 반사된 자외선을 투과시킬 수 있다. The transmissive filter may transmit ultraviolet light reflected from the object.

상기 수광부는, 상기 투과 필터를 투과한 상기 자외선을 수광할 수 있다. The light receiving unit can receive the ultraviolet ray transmitted through the transmission filter.

상기 수광부는 자외선 CCD를 포함할 수 있다. The light receiving unit may include an ultraviolet CCD.

상기 투과 필터는, 상기 대상물에서 형광된 빛을 투과시킬 수 있다. The transmission filter can transmit the fluorescent light in the object.

상기 수광부는, 상기 투과 필터를 투과한 상기 형광된 빛을 수광할 수 있다. The light receiving unit may receive the fluorescent light transmitted through the transmission filter.

상기 수광부는 가시광 CCD를 포함할 수 있다. The light receiving unit may include a visible light CCD.

상기한 바와 같은 자외선 검사 장치에 의하면, 화학소재 표면의 열화 및 오염 상태를 신속하고 낮은 비용으로 측정할 수 있다. According to the ultraviolet inspection apparatus as described above, the deterioration and contamination state of the surface of a chemical material can be measured quickly and at low cost.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 자외선 검사 장치의 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1의 광원부를 구체적으로 도시한 도면이다.
도 3은 도 2의 광원부의 제1 변형예를 도시한 도면이다.
도 4는 도 2의 광원부의 제2 변형예를 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 자외선 검사 장치의 개략적인 구성도이다. 1 is a schematic configuration diagram of an ultraviolet ray inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a diagram specifically showing the light source unit of FIG. 1. FIG.
FIG. 3 is a view showing a first modification of the light source unit of FIG. 2. FIG.
4 is a view showing a second modification of the light source unit of FIG.
5 is a schematic configuration diagram of an ultraviolet ray inspection apparatus according to another embodiment of the present invention.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙였다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, which will be readily apparent to those skilled in the art to which the present invention pertains. The present invention may be embodied in many different forms and is not limited to the embodiments described herein. In order to clearly illustrate the present invention, parts not related to the description are omitted, and the same or similar components are denoted by the same reference numerals throughout the specification.

또한, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.In addition, since the sizes and thicknesses of the respective components shown in the drawings are arbitrarily shown for convenience of explanation, the present invention is not necessarily limited to those shown in the drawings.

도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 그리고 도면에서, 설명의 편의를 위해, 일부 층 및 영역의 두께를 과장되게 나타내었다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 또는 "상에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다.In the drawings, the thicknesses are enlarged to clearly indicate layers and regions. In the drawings, for the convenience of explanation, the thicknesses of some layers and regions are exaggerated. Whenever a portion such as a layer, film, region, plate, or the like is referred to as being "on" or "on" another portion, it includes not only the case where it is "directly on" another portion but also the case where there is another portion in between.

또한, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 또한, 명세서 전체에서, "~상에"라 함은 대상 부분의 위 또는 아래에 위치함을 의미하는 것이며, 반드시 중력 방향을 기준으로 상 측에 위치하는 것을 의미하는 것은 아니다.Also, throughout the specification, when an element is referred to as "including" an element, it is understood that the element may include other elements as well, without departing from the other elements unless specifically stated otherwise. Also, throughout the specification, the term "on " means to be located above or below a target portion, and does not necessarily mean that the target portion is located on the image side with respect to the gravitational direction.

이하, 도 1 내지 도 4를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 자외선 검사 장치에 대해 설명한다. Hereinafter, an ultraviolet inspection apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 4. FIG.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 자외선 검사 장치의 개략적인 구성도이며, 도 2는 도 1의 광원부를 구체적으로 도시한 도면이다. 도 3은 도 2의 광원부의 제1 변형예를 도시한 도면이며, 도 4는 도 2의 광원부의 제2 변형예를 도시한 도면이다. FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an ultraviolet ray inspection apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a diagram specifically showing the light source unit of FIG. Fig. 3 is a view showing a first modification of the light source unit of Fig. 2, and Fig. 4 is a view showing a second modification of the light source unit of Fig.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 실시예의 자외선 검사 장치는, 광원(100), 집광부(150), 빔 스플리터(200), 투과 필터(300) 및 수광부(500)를 포함할 수 있다. 본 실시예의 자외선 검사 장치에서는, 대상물(P)에 자외선을 조사하는 광원(100)이 미리 정해진 범위 내에서 선택된 파장을 갖는 자외선을 조사할 수 있다. 즉, 본 실시예의 자외선 감사 장치의 광원(100)은 다양한 파장을 갖는 자외선을 대상물(P)에 선택적으로 조사할 수 있다. 1 to 4, the ultraviolet inspection apparatus of this embodiment may include a light source 100, a light condensing unit 150, a beam splitter 200, a transmission filter 300, and a light receiving unit 500. In the ultraviolet inspection apparatus of this embodiment, the light source 100 for irradiating the object P with ultraviolet rays can emit ultraviolet rays having a selected wavelength within a predetermined range. That is, the light source 100 of the ultraviolet ray inspection apparatus of this embodiment can selectively irradiate the object P with ultraviolet rays having various wavelengths.

광원(100)은 대상물(P)에 전달될 자외선을 조사할 수 있다. 본 실시예에서는, 광원(100)은 미리 정해진 파장 범위을 갖는 자외선을 조사할 수 있다. 이때, 파장 범위는 250 nm 내지 400 nm일 수 있다. 즉, 광원(100)은 250 nm 내지 400 nm 내의 파장을 갖는 자외선을 조사할 수 있다. 예를 들어, 광원(100)은 300 nm의 파장을 갖는 자외선을 조사하거나, 350 nm의 파장을 갖는 자외선을 조사하거나, 또는 400 nm의 파장을 갖는 자외선을 조사할 수도 있다. 결국, 본 실시예의 광원(100)은 다양한 파장의 자외선을 선택적으로 조사할 수 있다. The light source 100 may irradiate the ultraviolet ray to be transmitted to the object P. In this embodiment, the light source 100 can irradiate ultraviolet rays having a predetermined wavelength range. At this time, the wavelength range may be 250 nm to 400 nm. That is, the light source 100 can emit ultraviolet rays having a wavelength within the range of 250 nm to 400 nm. For example, the light source 100 may irradiate an ultraviolet ray having a wavelength of 300 nm, an ultraviolet ray having a wavelength of 350 nm, or an ultraviolet ray having a wavelength of 400 nm. As a result, the light source 100 of this embodiment can selectively irradiate ultraviolet rays of various wavelengths.

이와 같이, 광원(100)의 다양한 파장의 자외선을 선택적으로 조사하면, 다양한 대상물(P)의 열화 및 오염 상태를 측정할 수 있다. 즉, 대상물(P)의 종류에 따라 적절한 파장의 자외선을 조사함으로써, 신속하게 대상물(P)을 검사할 수 있다. As described above, by selectively irradiating ultraviolet rays of various wavelengths of the light source 100, deterioration and contamination of various objects P can be measured. That is, the object P can be inspected quickly by irradiating ultraviolet light having an appropriate wavelength according to the kind of the object P.

또한, 광원(100)은 자외선의 조도를 조절할 수 있다. 광원(100)은 자외선의 조도를 조절하여, 검출되는 신호의 명암비를 높일 수 있다. 즉, 수광부(500)에서 검출되는 이미지를 선명하게 얻을 수 있다. Also, the light source 100 can control the intensity of ultraviolet light. The light source 100 can increase the contrast ratio of the detected signal by adjusting the illuminance of the ultraviolet rays. That is, the image detected by the light receiving unit 500 can be obtained clearly.

한편, 본 실시예에서는, 광원 제어부(110)가 광원(100)에 결합되어, 광원(100)이 특정 파장을 갖는 자외선을 선택적으로 조사하도록 제어할 수 있다. Meanwhile, in this embodiment, the light source control unit 110 is coupled to the light source 100, so that the light source 100 can control to selectively irradiate ultraviolet rays having a specific wavelength.

도 2를 참조하면, 광원(100)은 복수의 자외선 램프를 포함할 수 있다. 본 실시예에서는, 광원(100)은 3개의 자외선 램프(131(a), 131(b), 131(c))를 포함할 수 있다. 그러나, 광원(100)을 구성하는 자외선 램프의 개수는 이에 한정되지 않고, 2개 또는, 4개 이상으로 구성될 수도 있다. 한편, 자외선 램프는 특정 파장의 자외선을 조사하는 공지의 자외선 램프가 적용될 수 있다. Referring to FIG. 2, the light source 100 may include a plurality of ultraviolet lamps. In this embodiment, the light source 100 may include three ultraviolet lamps 131 (a), 131 (b), and 131 (c). However, the number of ultraviolet lamps constituting the light source 100 is not limited to this, and may be two or four or more. On the other hand, a known ultraviolet lamp that emits ultraviolet rays of a specific wavelength can be applied to the ultraviolet lamp.

이때, 자외선 램프(131(a), 131(b), 131(c))는 서로 다른 파장을 가질 수 있다. 예를 들어, 자외선 램프(131(a))는 300 nm의 파장을 갖는 자외선을 조사할 수 있고, 자외선 램프(131(b))는 350 nm의 파장을 갖는 자외선을 조사할 수도 있고, 자외선 램프(131(c))는 400 nm의 파장을 갖는 자외선을 조사할 수도 있다. At this time, the ultraviolet lamps 131 (a), 131 (b), and 131 (c) may have different wavelengths. For example, the ultraviolet lamp 131 (a) may emit ultraviolet light having a wavelength of 300 nm, the ultraviolet lamp 131 (b) may emit ultraviolet light having a wavelength of 350 nm, (131 (c)) may be irradiated with an ultraviolet ray having a wavelength of 400 nm.

그러나, 도 2에서는 자외선 램프(131(a), 131(b), 131(c)) 모두 서로 다른 파장을 갖는 것으로 설명되나, 이에 한정되지 않고 적어도 일부는 파장이 동일할 수 있다. 예를 들어, 자외선 램프(131(a), 131(b))는 300 nm의 파장을 갖는 자외선을 조사하고, 자외선 램프(131(c))는 400 nm의 파장을 갖는 자외선을 조사할 수 있다. However, in FIG. 2, the ultraviolet lamps 131 (a), 131 (b), and 131 (c) all have different wavelengths. However, the present invention is not limited thereto. For example, the ultraviolet lamps 131 (a) and 131 (b) may emit ultraviolet light having a wavelength of 300 nm and the ultraviolet lamp 131 (c) may emit ultraviolet light having a wavelength of 400 nm .

복수의 자외선 램프(131(a), 131(b), 131(c))는 바(bar) 형상을 가지며, 일 방향을 따라 서로 나란하게 배열될 수 있다. 이때, 자외선 램프(131(a), 131(b), 131(c))는 서로 동일한 간격으로 이격되어 배열될 수 있다. 자외선 램프(131(a))와 자외선 램프(131(b))의 간격은, 자외선 램프(131(b))와 자외선 램프(131(c))의 간격과 동일할 수 있다. The plurality of ultraviolet lamps 131 (a), 131 (b), and 131 (c) have a bar shape and may be arranged in parallel to each other along one direction. At this time, the ultraviolet lamps 131 (a), 131 (b), and 131 (c) may be arranged at equal intervals. The interval between the ultraviolet lamp 131 (a) and the ultraviolet lamp 131 (b) may be the same as the interval between the ultraviolet lamp 131 (b) and the ultraviolet lamp 131 (c).

광원(100)은 자외선 램프 대신에 복수의 자외선 LED를 포함할 수 있다. 도 3에 도시된 바와 같이, 복수의 자외선 LED는 파장별로 인접하게 배치될 수 있다. 보다 구체적으로, 광원(100)은 제1 자외선 LED 그룹(133(a)), 제2 자외선 LED 그룹(133(b)) 및 제3 자외선 LED 그룹(133(c))을 포함할 수 있다. 이때, 제1 자외선 LED 그룹(133(a)), 제2 자외선 LED 그룹(133(b)) 및 제3 자외선 LED 그룹(133(c))은 서로 다른 파장을 갖는 자외선을 조사할 수 있다. The light source 100 may include a plurality of ultraviolet LEDs instead of an ultraviolet lamp. As shown in FIG. 3, a plurality of ultraviolet LEDs may be disposed adjacent to each other by wavelengths. More specifically, the light source 100 may include a first ultraviolet LED group 133 (a), a second ultraviolet LED group 133 (b), and a third ultraviolet LED group 133 (c). At this time, the first ultraviolet LED group 133 (a), the second ultraviolet LED group 133 (b), and the third ultraviolet LED group 133 (c) may emit ultraviolet rays having different wavelengths.

제1 자외선 LED 그룹(133(a)), 제2 자외선 LED 그룹(133(b)) 및 제3 자외선 LED 그룹(133(c)) 각각은 복수의 자외선 LED로 구성될 수 있다. 예를 들어, 제1 자외선 LED 그룹(133(a))은 300 nm의 파장을 갖는 자외선을 조사하는 복수의 자외선 LED가 배치될 수 있다. 제2 자외선 LED 그룹(133(b))은 350 nm의 파장을 갖는 자외선을 조사하는 복수의 자외선 LED가 배치될 수 있다. 또한, 제3 자외선 LED 그룹(133(c))은 400 nm의 파장을 갖는 자외선을 조사하는 복수의 자외선 LED가 배치될 수 있다. Each of the first ultraviolet LED group 133 (a), the second ultraviolet LED group 133 (b), and the third ultraviolet LED group 133 (c) may be composed of a plurality of ultraviolet LEDs. For example, the first ultraviolet LED group 133 (a) may be arranged with a plurality of ultraviolet LEDs which emit ultraviolet rays having a wavelength of 300 nm. And the second ultraviolet LED group 133 (b) may be arranged with a plurality of ultraviolet LEDs emitting ultraviolet rays having a wavelength of 350 nm. Further, the third ultraviolet LED group 133 (c) may be provided with a plurality of ultraviolet LEDs for emitting ultraviolet rays having a wavelength of 400 nm.

이때, 제1 자외선 LED 그룹(133(a)), 제2 자외선 LED 그룹(133(b)) 및 제3 자외선 LED 그룹(133(c))은 서로 동일한 면적을 이루며, 원판 상에 배열될 수 있다. At this time, the first ultraviolet LED group 133 (a), the second ultraviolet LED group 133 (b) and the third ultraviolet LED group 133 (c) have the same area, have.

한편, 도 4를 참조하면, 동일한 파장을 갖는 복수의 자외선 LED는 대각선 방향으로 나란하게 배열될 수 있다. 예를 들어, 300 nm의 파장을 갖는 자외선을 조사하는 자외선 LED(135(a))가 대각선 방향으로 배열될 수 있다. 다만, 도 4에서는 자외선 LED(135(a))가 하나로 배치되어, 대각선 방향으로 배열되는 것으로 나타나지 않을 수 있다. 한편, 350 nm의 파장을 갖는 자외선을 조사하는 자외선 LED(135(b))가 대각선 방향으로 배열될 수 있다. 또한, 400 nm의 파장을 갖는 자외선을 조사하는 자외선 LED(135(c))가 대각선 방향으로 배열될 수 있다. Referring to FIG. 4, a plurality of ultraviolet LEDs having the same wavelength may be arranged in a diagonal direction. For example, ultraviolet LEDs 135 (a) for irradiating ultraviolet rays having a wavelength of 300 nm may be arranged diagonally. However, in FIG. 4, the ultraviolet LEDs 135 (a) may not be arranged to be arranged in a diagonal direction. On the other hand, ultraviolet LEDs 135 (b) for irradiating ultraviolet rays having a wavelength of 350 nm can be arranged diagonally. Further, ultraviolet LEDs 135 (c) for irradiating ultraviolet rays having a wavelength of 400 nm may be arranged diagonally.

다시 도 1을 참조하면, 집광부(150)는 광원(100)에서 조사된 자외선을 집광하여 빔 스플리터(200)로 전달할 수 있다. 집광부(150)는 광원(100)에서 나온 자외선을 반사시켜 빔 스플리터(200) 측으로 자외선을 조사할 수 있다. Referring again to FIG. 1, the light collecting unit 150 may collect the ultraviolet light emitted from the light source 100 and transmit the condensed light to the beam splitter 200. The light condensing unit 150 may reflect ultraviolet rays emitted from the light source 100 and emit ultraviolet rays toward the beam splitter 200.

집광부(150)는 산란되는 자외선을 모두 집광시켜 한 곳으로 자외선을 집중시킬 수 있다. 즉, 집광부(150)에 의해 광원(100)에서 나온 자외선이 빔 스플리터(200) 측으로 집중될 수 있다. 이때, 집광부(150)는 반사판으로 이루어질 수 있다. 따라서, 광원(100)에서 조사된 자외선이 집광부(150)의 반사판에 반사되어 빔 스플리터(200) 측으로 집중될 수 있다. The light collecting unit 150 may collect ultraviolet light to concentrate all of the scattered ultraviolet light. That is, the ultraviolet light emitted from the light source 100 can be focused on the beam splitter 200 side by the condensing unit 150. At this time, the light collecting part 150 may be formed of a reflecting plate. Therefore, the ultraviolet light emitted from the light source 100 can be reflected on the reflector of the light collecting part 150 and concentrated on the beam splitter 200 side.

한편, 빔 스플리터(200)는 집광부(150)에 의해 집광된 자외선을 대상물(P)로 반사시킬 수 있다. 빔 스플리터(200)는 광을 반사하거나 일정한 파장의 광을 투과시킬 수 있다. On the other hand, the beam splitter 200 can reflect the ultraviolet light condensed by the condensing unit 150 to the object P. The beam splitter 200 can reflect light or transmit light having a constant wavelength.

이때, 빔 스플리터(200)에 의해 반사된 자외선은, 대상물(P) 표면에 조사될 수 있다. 이러한 자외선은 대상물(P) 표면에서 반사되어 빔 스플리터(200)로 이동할 수 있다. 또는, 자외선이 대상물(P) 표면에 조사되면, 대상물(P)은 자외선에 의해 고유의 형광 빛을 낼 수 있다. 이때, 자외선에 의해 발광되는 형광 빛은 가시 광선일 수 있다. At this time, the ultraviolet light reflected by the beam splitter 200 can be irradiated to the surface of the object P. These ultraviolet rays can be reflected from the surface of the object P and can move to the beam splitter 200. Alternatively, when ultraviolet rays are irradiated on the surface of the object P, the object P can emit fluorescent light of its own by ultraviolet rays. At this time, the fluorescent light emitted by ultraviolet light may be visible light.

이와 같이, 대상물(P) 표면에 조사된 자외선 또는 형광 빛은 빔 스플리터(200)를 투과할 수 있다. 빔 스플리터(200)를 투과한 상기 자외선 또는 형광 빛은 투과 필터(300)를 투과하게 된다. As described above, ultraviolet light or fluorescent light irradiated on the surface of the object P can pass through the beam splitter 200. The ultraviolet light or fluorescent light transmitted through the beam splitter 200 is transmitted through the transmission filter 300.

이때, 투과 필터(300)는 자외선 또는 형광 빛을 선택적으로 투과시킬 수 있다. 예를 들어, 투과 필터(300)는 대상물(P)에서 반사된 자외선을 투과시키고, 자외선을 제외한 나머지 형광 빛 등을 차단할 수 있다. 반면에, 투과 필터(300)는 대상물(P)에 발광된 형광 빛을 투과시키고, 형광 빛을 제외한 나머지 자외선 등을 차단할 수 있다. 본 실시예에서는, 투과 필터 제어부(310)가 자외선만 투과시키거나, 형광 빛 만을 투과시키는 것을 제어할 수 있다. 즉, 투과 필터 제어부(310)는 검출하고자 하는 신호의 형태에 따라 자외선만 투과시키거나, 형광 빛만 투과시킬 수 있다. At this time, the transmission filter 300 can selectively transmit ultraviolet light or fluorescent light. For example, the transmission filter 300 may transmit ultraviolet rays reflected by the object P and block fluorescent lights other than ultraviolet rays. On the other hand, the transmission filter 300 transmits fluorescence light emitted to the object P and blocks ultraviolet rays other than the fluorescent light. In this embodiment, it is possible to control the transmission filter control unit 310 to transmit only ultraviolet rays or transmit only fluorescence light. That is, the transmission filter control unit 310 can transmit only ultraviolet rays or transmit only fluorescent light depending on the type of the signal to be detected.

한편, 투과 필터(300)를 투과한 자외선 또는 형광 빛은 수광부(500)에 수광될 수 있다. 수광부(500)는 투과 필터(300)를 통과한 빛을 검출할 수 있다. 예를 들어, 수광부(500)는 대상물(P) 표면에서 반사된 자외선 반사 이미지를 검출할 수 있다. 또는, 수광부(500)는 대상물(P)에서 발광된 형광 빛 이미지를 검출할 수 있다. On the other hand, ultraviolet light or fluorescent light transmitted through the transmission filter 300 can be received by the light receiving unit 500. The light receiving unit 500 can detect light passing through the transmission filter 300. For example, the light receiving unit 500 can detect an ultraviolet reflection image reflected from the surface of the object P. [ Alternatively, the light-receiving unit 500 can detect a fluorescent light image emitted from the object P.

이때, 수광부(500)가 자외선 반사 이미지를 검출하는 경우, 수광부(500)는 자외선 CCD(Charge Coupled Device)일 수 있다. 즉, 자외선 CCD는 대상물(P) 표면에서 반사된 자외선을 검출할 수 있다. In this case, when the light receiving unit 500 detects an ultraviolet reflection image, the light receiving unit 500 may be an ultraviolet CCD (Charge Coupled Device). That is, the ultraviolet CCD can detect the ultraviolet ray reflected from the surface of the object P.

반면에, 수광부(500)가 형광 빛 이미지를 검출하는 경우, 수광부(500)는 가시광 CCD일 수 있다. 즉, 가시광 CCD는 대상물(P)에서 발광된 형광 빛을 검출할 수 있다. On the other hand, when the light receiving unit 500 detects a fluorescent light image, the light receiving unit 500 may be a visible light CCD. That is, the visible light CCD can detect fluorescent light emitted from the object P.

본 실시예에서는, 수광 제어부(510)가 수광부(500)에 결합되고, 수광 제어부(510)가 자외선 CCD 또는 가시광 CCD를 선택적으로 이용할 수 있다. In this embodiment, the light-receiving control unit 510 is coupled to the light-receiving unit 500, and the light-receiving control unit 510 can selectively use an ultraviolet CCD or a visible light CCD.

한편, 본 실시예의 광원(100), 집광부(150), 빔 스플리터(200), 투과 필터(300) 및 수광부(500)는 외부의 빛을 차단하는 광 차단 케이스(400) 내부에 배치될 수 있다. 광 차단 케이스(400)는 외부의 빛이 투입되는 것을 차단하여, 외부 빛에 의한 간섭 현상을 억제할 수 있다. The light source 100, the light condensing unit 150, the beam splitter 200, the transmission filter 300, and the light receiving unit 500 of the present embodiment may be disposed inside the light shielding case 400 that shields external light. have. The light shielding case 400 blocks external light from being input, thereby suppressing an interference phenomenon due to external light.

이때, 중앙 제어부(700)는 광원 제어부(110), 투과 필터 제어부(310), 수광 제어부(510) 등에 결합되어, 광원 제어부(110), 투과 필터 제어부(310), 수광 제어부(510)를 제어할 수 있다. At this time, the central control unit 700 controls the light source control unit 110, the transmission filter control unit 310, and the light reception control unit 510 by controlling the light source control unit 110, the transmission filter control unit 310 and the light reception control unit 510, can do.

또한, 도 5에 도시된 바와 같이, 투과 필터(300)와 수광부(500) 사이에는 렌즈(600)가 배치될 수 있다. 렌즈(600)는 투과 필터(300)를 투과한 자외선 또는 형광 빛이 수광부(500)에 정확히 모이도록 광 경로를 조절할 수 있다. 5, the lens 600 may be disposed between the transmission filter 300 and the light receiving unit 500. In addition, The lens 600 can adjust the optical path so that the ultraviolet light or the fluorescent light transmitted through the transmission filter 300 can be accurately collected on the light receiving unit 500.

이상과 같이, 본 발명은 한정된 실시예와 도면을 통하여 설명되었으나, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술 사상과 아래에 기재된 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능하다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments. Various modifications and variations are possible within the scope of the appended claims.

100 광원
150 집광부
200 빔 스플리터
300 투과 필터
310 투과 필터 제어부
500 수광부
510 수광 제어부
400 광 차단 케이스
600 렌즈
700 중앙 제어부100 light source
150 collector
200 beam splitter
300 transmission filter
310 transmission filter control section
500 light receiving portion
510 Light-
400 light blocking case
600 lens
700 central control unit

Claims (15)

미리 정해진 파장 범위 내의 파장을 갖는 자외선을 선택적으로 조사하는 광원;
상기 광원에서 조사된 상기 자외선을 집광하는 집광부;
상기 집광부로부터 전달된 상기 자외선을 대상물로 전달하거나, 상기 대상물로부터 반사된 자외선 또는 상기 대상물에서 형광된 빛을 투과시키는 빔 스플리터;
상기 빔 스플리터를 통과한 자외선 또는 형광된 빛을 선택적으로 투과시키는 투과 필터; 및
상기 투과 필터를 통과한 상기 자외선 또는 형광된 빛을 수광하는 수광부를 포함하는, 자외선 검사 장치.A light source for selectively irradiating an ultraviolet ray having a wavelength within a predetermined wavelength range;
A light condensing unit for condensing the ultraviolet light emitted from the light source;
A beam splitter for transmitting the ultraviolet ray transmitted from the light collecting unit to an object, transmitting the ultraviolet light reflected from the object or the fluorescent light from the object;
A transmission filter for selectively transmitting ultraviolet light or fluoresced light passing through the beam splitter; And
And a light-receiving unit that receives the ultraviolet light or the fluorescent light that has passed through the transmission filter. 제 1 항에 있어서,
상기 파장 범위는 250 nm 내지 400 nm인, 자외선 검사 장치.The method according to claim 1,
Wherein the wavelength range is from 250 nm to 400 nm. 제 1 항에 있어서,
상기 광원은 복수의 자외선 램프를 포함하는, 자외선 검사 장치.The method according to claim 1,
Wherein the light source includes a plurality of ultraviolet lamps. 제 3 항에 있어서,
상기 복수의 자외선 램프 중 적어도 일부는 서로 다른 파장을 갖는, 자외선 검사 장치.The method of claim 3,
Wherein at least some of the plurality of ultraviolet lamps have different wavelengths. 제 4 항에 있어서,
상기 복수의 자외선 램프는 일 방향을 따라 서로 나란하게 배열되는, 자외선 검사 장치. 5. The method of claim 4,
Wherein the plurality of ultraviolet lamps are arranged side by side along one direction. 제 1 항에 있어서,
상기 광원은 복수의 자외선 LED를 포함하는, 자외선 검사 장치.The method according to claim 1,
Wherein the light source includes a plurality of ultraviolet LEDs. 제 6 항에 있어서,
상기 복수의 자외선 LED 중 적어도 일부는 서로 다른 파장을 갖는, 자외선 검사 장치. The method according to claim 6,
Wherein at least some of the plurality of ultraviolet LEDs have different wavelengths. 제 7 항에 있어서,
상기 복수의 자외선 LED 중 동일한 파장을 갖는 자외선 LED는 서로 인접하여 배치되는, 자외선 검사 장치.8. The method of claim 7,
Wherein the ultraviolet LEDs having the same wavelength among the plurality of ultraviolet LEDs are disposed adjacent to each other. 제 1 항에 있어서,
상기 광원은 상기 자외선의 조도를 조절할 수 있는, 자외선 검사 장치. The method according to claim 1,
Wherein the light source is capable of controlling the intensity of the ultraviolet light. 제 1 항에 있어서,
상기 투과 필터는, 상기 대상물에서 반사된 자외선을 투과시키는, 자외선 검사 장치. The method according to claim 1,
Wherein the transmission filter transmits ultraviolet light reflected from the object. 제 10 항에 있어서,
상기 수광부는, 상기 투과 필터를 투과한 상기 자외선을 수광하는, 자외선 검사 장치. 11. The method of claim 10,
And the light receiving unit receives the ultraviolet light transmitted through the transmission filter. 제 11 항에 있어서,
상기 수광부는 자외선 CCD를 포함하는, 자외선 검사 장치. 12. The method of claim 11,
Wherein the light receiving unit includes an ultraviolet CCD. 제 1 항에 있어서,
상기 투과 필터는, 상기 대상물에서 형광된 빛을 투과시키는, 자외선 검사 장치. The method according to claim 1,
Wherein the transmission filter transmits the fluorescent light in the object. 제 13 항에 있어서,
상기 수광부는, 상기 투과 필터를 투과한 상기 형광된 빛을 수광하는, 자외선 검사 장치. 14. The method of claim 13,
And the light receiving unit receives the fluorescent light transmitted through the transmission filter. 제 14 항에 있어서,
상기 수광부는 가시광 CCD를 포함하는, 자외선 검사 장치. 15. The method of claim 14,
Wherein the light receiving unit includes a visible light CCD.
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