KR20180066427A - Crucible for evaporation source - Google Patents

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KR20180066427A
KR20180066427A KR1020160167221A KR20160167221A KR20180066427A KR 20180066427 A KR20180066427 A KR 20180066427A KR 1020160167221 A KR1020160167221 A KR 1020160167221A KR 20160167221 A KR20160167221 A KR 20160167221A KR 20180066427 A KR20180066427 A KR 20180066427A
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crucible
evaporation
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injection
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박현식
김명수
김수연
이상원
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주식회사 선익시스템
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Abstract

According to one aspect of the present invention, provided is a crucible for an evaporation source, which comprises: a crucible main body having an evaporation space with an opened upper portion and having an evaporating material filled in the evaporation space; and a nozzle cover coupled to an upper end of the crucible main body to cover the evaporation space and having a spray hole for spraying upwards the evaporating material, evaporated from inside the crucible main body. Moreover, the nozzle cover can be coupled to be selectively attached to and detached from the crucible main body.

Description

증발원용 도가니{Crucible for evaporation source}Crucible for evaporation source < RTI ID = 0.0 >

본 발명은 증발원용 도가니에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 도가니에서 증착물질이 분사되는 분사홀의 각도를 간단하게 변경시킬 수 있는 증발원용 도가니에 관한 것이다.The present invention relates to a crucible for an evaporation source. More particularly, the present invention relates to an evaporation source crucible capable of simply changing an angle of a spray hole through which a deposition material is injected in a crucible.

유기 전계 발광소자(Organic Luminescence Emitting Device: OLED)는 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계 발광현상을 이용하는 스스로 빛을 내는 자발광소자로서, 비발광소자에 빛을 가하기 위한 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량이고 박형의 평판표시장치를 제조할 수 있다.Organic Luminescence Emitting Device (OLED) is a self-luminous self-luminous device that uses an electroluminescent phenomenon that emits light when a current flows through a fluorescent organic compound, and does not require a backlight for applying light to a non- Therefore, a lightweight thin flat panel display device can be manufactured.

이러한 유기 전계 발광소자를 이용한 평판표시장치는 응답속도가 빠르며, 시야각이 넓어 차세대 표시장치로서 대두 되고 있다.A flat panel display device using such an organic electroluminescent device has a fast response speed and a wide viewing angle, and is emerging as a next generation display device.

유기 전계 발광 소자는, 애노드 및 캐소드 전극을 제외한 나머지 구성층인 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층 및 전자주입층 등이 유기 박막으로 되어 있고, 이러한 유기 박막은 진공열증착방법으로 기판 상에 증착하게 된다.The organic electroluminescent device comprises an organic thin film such as a hole injecting layer, a hole transporting layer, a light emitting layer, an electron transporting layer, and an electron injecting layer which are the remaining constituent layers except for the anode and the cathode. .

진공열증착법은 진공의 챔버 내에 기판을 배치하고, 일정 패턴이 형성된 쉐도우 마스크(shadow mask)를 기판에 정렬시킨 후, 증발원의 도가니를 가열하여 도가니에서 증발되는 유기물을 기판 상에 증착하는 방식으로 이루어진다. 최근에는 기판이 대면적화됨에 따라 대면적 기판에 유기 박막을 균일하게 증착하기 위해 선형 증발원이 사용되고 있다.In the vacuum thermal evaporation method, a substrate is disposed in a vacuum chamber, a shadow mask having a predetermined pattern is aligned on a substrate, and a crucible of an evaporation source is heated to deposit organic substances evaporated in the crucible on the substrate . In recent years, a linear evaporation source has been used to uniformly deposit an organic thin film on a large-sized substrate as the substrate becomes large-sized.

이와 같이 기판에 증착물질을 증착시킴에 있어서, 새도우현상이나 증착균일도 확보는 제품품질이나 생산효율에 지대한 영향을 미치는 중요한 문제이므로 이에 관련하여 대한민국 공개특허 제10-2016-0087985호(발명의 명칭: 증착장치)등과 같은 선행기술과 같이 새도우현상이나 증착균일도 확보를 위해 많은 연구개발이 이루어지고 있다. As described above, in the deposition of the evaporation material on the substrate, since the shadow phenomenon and the uniformity of evaporation are important matters that greatly affect the product quality and the production efficiency, Korean Patent Publication No. 10-2016-0087985 (entitled " Deposition apparatus) and the like, a lot of research and development has been carried out in order to secure the shadow phenomenon or deposition uniformity.

그러나 이러한 선행기술 등에 따르면 다음과 같은 문제점이 있었다.However, the prior art has the following problems.

도 1는 종래의 기술에 따른 증발원을 개략적으로 나타낸 사시도이다. 도 1에서 참조되는 바와 같이 증발원(10)에는 증착물질을 기판을 향하여 분출시키기 위한 분사노즐(15)이 구비되며, 분사노즐(15)에는 도가니(15) 내부에서 증발되는 증착물질을 기판을 향하여 분출시키기 위해 분사홀(13)이 형성된다. 증착챔버 내에서 증착균일도와 새도우현상 억제를 위한 최적의 각도로 분사홀(13)이 일정각도 기울어지게 형성되어 있다. 1 is a perspective view schematically showing an evaporation source according to a conventional technique. 1, the evaporation source 10 is provided with a spray nozzle 15 for spraying the evaporation material toward the substrate, and evaporation material evaporated in the crucible 15 is injected into the injection nozzle 15 toward the substrate An ejection hole 13 is formed for ejecting. The injection hole 13 is formed to be inclined at a certain angle with an optimum angle for deposition uniformity and suppression of the shadow development in the deposition chamber.

증착챔버를 설계 및 제조구성을 할 때 증착물질의 종류, 기판의 종류와 크기 등에 따라 조건이 많이 다르므로 새도우현상 억제 및 증착균일도 확보를 위하여 분사홀(13)이 기울어진 각도의 최적의 값을 찾기 위하여 수많은 테스트실험이 이루어진다. 이러한 과정에서 분사홀(13)의 각도를 달리하면서 테스트를 하여야 하는데 분사노즐(14)에 형성된 분사홀(13)의 각도를 변경하기 위하여 증발원(10) 자체나 분사노즐(14)를 교체할 수 밖에 없었다. Since the conditions for designing and manufacturing the deposition chamber are different depending on the type of the deposition material, the type and size of the substrate, and the like, the optimal value of the inclination angle of the injection hole 13 for suppressing the shadow development and ensuring the uniformity of deposition Numerous test experiments are done to find out. The evaporation source 10 itself or the spray nozzle 14 can be replaced to change the angle of the spray hole 13 formed in the spray nozzle 14. In order to change the angle of the spray hole 13 formed in the spray nozzle 14, There was nothing.

수많은 증착테스트를 실시함에 있어서 최적의 분사홀(13)의 각도를 찾기 위하여 이와 같이 분사노즐(14)를 매번 교체하다보니 분사노즐(14)를 분사홀의 각도나 크기 등에 따라 많이 제작하여야 하므로 비용이 크게 증대될 수 밖에 없었으며, 분사노즐(14)를 교체하여 장착하여야 하므로 수많은 증착테스트를 함에 있어서 테스트 시간이 길어질 수 밖에 없는 요인이 되는 등 문제점이 있었다.Since the injection nozzle 14 is changed every time in order to find the angle of the optimum injection hole 13 in performing a lot of deposition tests, the injection nozzle 14 must be manufactured according to the angle and size of the injection hole, There is a problem that the test time becomes long in many deposition tests because the spray nozzle 14 must be replaced and installed.

본 발명의 목적은 상기한 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 도가니의 분사홀의 경사각도를 용이하게 변경할 수 있는 증발원용 도가니를 제공함에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a crucible for an evaporation source capable of easily changing an inclination angle of a spray hole of a crucible.

본 발명의 일 측면에 따르면, 상부가 개구되는 증발공간이 형성되며, 상기 증발공간에 증착물질이 충전되는 도가니 본체와; 상기 도가니 본체의 상단에 결합되어 상기 증발공간을 커버하며, 상기 도가니 본체의 내측에서 증발되는 상기 증착물질이 상측으로 분사될 수 있도록 분사홀이 형성되는 노즐커버를 포함하며, 상기 노즐커버는 상기 도가니 본체에 선택적으로 탈착가능하도록 결합되는 증발원용 도가니가 제공된다.According to an aspect of the present invention, there is provided a crucible comprising: a crucible body formed with an evaporation space in which an upper portion is opened, the evaporation space being filled with an evaporation material; And a nozzle cover coupled to an upper end of the crucible body to cover the evaporation space and having an injection hole formed therein for spraying the evaporation material evaporated from the inside of the crucible body, There is provided an evaporation source crucible which is selectively detachably coupled to a main body.

상기 노즐커버에 형성된 상기 분사홀의 중심축과 상기 노즐커버의 상측면 사이의 각도가 예각을 이루도록 상기 분사홀이 기울어지게 형성될 수 있다.The injection hole may be inclined such that the angle between the center axis of the injection hole formed in the nozzle cover and the upper surface of the nozzle cover is an acute angle.

상기 분사홀은 원형의 홀이고, 상기 분사홀의 중심축과 상기 노즐커버의 상측면 사이의 예각은 다음의 관계식을 만족시킬 수 있다.Wherein the ejection hole is a circular hole, and an acute angle between a center axis of the ejection hole and an upper surface of the nozzle cover can satisfy the following relational expression.

Figure pat00001
Figure pat00001

(

Figure pat00002
, d : 분사홀의 높이, r : 분사홀 반지름)(
Figure pat00002
, d: height of injection hole, r: injection hole radius)

상기 노즐커버에는 상기 분사홀이 다수 형성될 수 있다.The nozzle cover may be formed with a plurality of injection holes.

상기 다수의 분사홀은 상기 노즐커버의 상측에서 규칙적으로 배열될 수 있다.The plurality of ejection holes may be regularly arranged on the upper side of the nozzle cover.

상기 다수의 분사홀은 일렬로 배열되고, 각각의 상기 분사홀의 중심축이 상기 노즐커버의 상측면과 이루는 각각의 예각이 동일한 각도를 갖도록 형성될 수 있다.The plurality of injection holes may be arranged in a line and each acute angle formed by the center axis of each injection hole with the upper surface of the nozzle cover may be formed to have the same angle.

상기 다수의 분사홀은, 상기 노즐커버의 일측단과 타측단 사이의 가운데 중심을 기준으로 대칭으로 형성될 수 있다.The plurality of injection holes may be formed symmetrically with respect to the center of the center between one end and the other end of the nozzle cover.

상기 증발공간은, 상부가 개구되는 직육면체 형상을 이루도록 형성될 수 있다.The evaporation space may be formed to have a rectangular parallelepiped shape in which an upper portion is opened.

본 발명의 실시예에 따르면, 분사홀의 경사각도에 따라 다수의 도가니를 각각 제조할 필요없이 노즐커버만 분사홀의 각도에 따라 다수 제조하면 되므로 제조비용이 절감되며, 노즐커버만 교체하면 도가니를 교체한 것과 동등하게 되므로 관리의 효율성 또한 증대되는 효과가 있다. According to the embodiment of the present invention, since it is not necessary to manufacture a plurality of crucibles according to the inclination angle of the injection holes, only a plurality of nozzle covers can be manufactured according to the angle of the injection holes, thereby reducing manufacturing cost. And the efficiency of management is also increased.

도 1은 종래 기술에 따른 증발원용 도가니를 개략적으로 나타낸 사시도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원용 도가니를 개략적으로 나타낸 사시도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원용 도가니를 개략적으로 나타낸 분해사시도.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원용 도가니의 측단면을 개략적으로 나타낸 측단면도.1 is a perspective view schematically showing a crucible for an evaporation source according to the prior art;
2 is a perspective view schematically showing a crucible for an evaporation source according to an embodiment of the present invention;
3 is an exploded perspective view schematically showing a crucible for an evaporation source according to an embodiment of the present invention.
4 is a side sectional view schematically showing a side cross-section of a crucible for an evaporation source according to an embodiment of the present invention.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The present invention is capable of various modifications and various embodiments, and specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the detailed description. It is to be understood, however, that the invention is not to be limited to the specific embodiments, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

이하, 본 발명에 따른 증발원용 도가니의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT Hereinafter, an embodiment of a crucible for an evaporation source according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the following description with reference to the accompanying drawings, the same or corresponding components are denoted by the same reference numerals, A description thereof will be omitted.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원용 도가니를 개략적으로 나타낸 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원용 도가니를 개략적으로 나타낸 분해사시도이며, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원용 도가니의 측단면을 개략적으로 나타낸 측단면도이다.FIG. 2 is a perspective view schematically showing a crucible for an evaporation source according to an embodiment of the present invention, FIG. 3 is an exploded perspective view schematically illustrating a crucible for an evaporation source according to an embodiment of the present invention, Sectional view schematically showing a side cross-section of a crucible for an evaporation source according to an embodiment.

도 2 내지 도 4에는, 도가니(100), 도가니 본체(110), 노즐커버(120), 분사홀(130)이 도시되어 있다.2 to 4 show a crucible 100, a crucible main body 110, a nozzle cover 120, and a spray hole 130. In Fig.

본 실시예에 따른 증발원용 도가니(100)는, 상부가 개구되는 증발공간이 형성되며, 상기 증발공간에 증착물질이 충전되는 도가니 본체(110)와; 상기 도가니 본체(110)의 상단에 결합되어 상기 증발공간을 커버하며, 상기 도가니 본체(110)의 내측에서 증발되는 상기 증착물질이 상측으로 분사될 수 있도록 분사홀(130)이 형성되는 노즐커버(120)를 포함한다. 이때 상기 노즐커버(120)는 상기 도가니 본체(110)에 선택적으로 탈착가능하도록 결합될 수 있다.The crucible 100 for an evaporation source according to the present embodiment includes a crucible body 110 in which an evaporation space in which an upper portion is opened is formed and the evaporation material is filled in the evaporation space; A nozzle cover 130 coupled to an upper end of the crucible main body 110 to cover the evaporation space and having an injection hole 130 for spraying the evaporation material evaporated from the inside of the crucible main body 110, 120). At this time, the nozzle cover 120 may be selectively detachably coupled to the crucible main body 110.

도가니 본체(110)에는, 상부가 개구되는 증발공간이 형성되며, 증발공간에 증착물질이 충전된다. 증착물질은 도가니 본체(110)의 증발공간에 충전되어 있으며, 도가니(100)의 외주에 있는 가열원(미도시)에 의해 도가니가 가열되면, 증착물질이 증발되면서 형성되는 증발입자가 도가니(100)의 상단으로 분출된다.In the crucible main body 110, an evaporation space in which an upper portion is opened is formed, and evaporation material is filled in the evaporation space. The evaporation material is filled in the evaporation space of the crucible main body 110. When the crucible is heated by a heating source (not shown) on the outer circumference of the crucible 100, evaporation particles formed as the evaporation material evaporates, As shown in FIG.

본 실시예에 따른 도가니 본체(110) 내부에는, 일변에 비해 인접한 변이 긴 직육면체 형상의 증발공간이 형성된다. 증발공간를 직육면체 형상으로 구현함으로써 보다 많은 증착물질이 수용될 수 있고, 분사홀이 형성된 노즐커버을 결합하여 선형의 증발원으로 구성할 수 있다.In the crucible main body 110 according to the present embodiment, an evaporation space in the form of a rectangular parallelepiped having a long side adjacent to the one side is formed. By embodying the evaporation space in a rectangular parallelepiped shape, more evaporation material can be accommodated, and a nozzle cover with a spray hole can be combined to constitute a linear evaporation source.

도가니 본체(110)는 기판(미도시)에 증착시킬 증착물질을 수용하고 증발시키기 위한 증발공간을 내측에 형성한다. 이를 위해 도가니 본체(110)의 증발공간은 도 3에 도시된 바와 같이 상측으로 개방되도록 형성되어 있다. The crucible main body 110 forms an evaporation space on the inner side for receiving and evaporating the evaporation material to be deposited on a substrate (not shown). For this, the evaporation space of the crucible main body 110 is formed to open upward as shown in FIG.

그리고, 노즐커버(120)는 도가니 본체(110)의 상측에 결합되어 증발공간을 커버하며 증발공간 내에 위치하는 증착물질을 외부로부터 격리시켜준다. 그리고 도가니 본체(110)의 내측의 증발공간에서 증발되는 증착물질이 상측으로 분사될 수 있도록 분사홀(130)이 형성되어 있다.The nozzle cover 120 is coupled to the upper side of the crucible main body 110 to cover the evaporation space and isolate the evaporation material located in the evaporation space from the outside. An injection hole 130 is formed in the evaporation space inside the crucible main body 110 so that the evaporation material evaporated upward can be injected upward.

그리고 이러한 노즐커버(120)는 도 3에서 참조되는 바와 같이 도가니 본체(110)에 선택적으로 장착 또는 탈거될 수 있도록 결합된다. The nozzle cover 120 is coupled to the crucible body 110 to be selectively mounted or detached as shown in FIG.

여기서 좀 더 바람직하게는 도 3 및 도 4에서 참조되는 바와 같이 노즐커버(120)의 테두리 부분과 도가니 본체(110)의 상측 테두리 부분이 서로 대응되도록 단차지게 형성된 것이 바람직하다. 3 and 4, the rim of the nozzle cover 120 and the upper rim of the crucible main body 110 may be stepped so as to correspond to each other.

이와 같이 노즐커버(120)의 테두리 부분과 도가니 본체(110)의 상측 테두리 부분이 서로 대응되도록 단차지게 형성되면, 노즐커버(120)가 도가니 본체(110)의 상측에 결합될 때 테두리 부분이 정합되면서 보다 안정적으로 결합되어 자리잡을 수 있게 된다. When the nozzle cover 120 is coupled to the upper side of the crucible main body 110, the rim of the nozzle cover 120 is aligned with the upper rim of the crucible main body 110, So that it can be more reliably combined and positioned.

그리고, 분사홀(130)의 중심축과 노즐커버(120)의 상측면 사이의 각도가 예각을 이루도록 도 4에서 참조되는 바와 같이 분사홀(130)이 노즐커버(120)의 상측에서 기울어지게 형성된다. 여기서, 노즐커버(120)의 상측면은 기판면과 평행한 수평면을 의미한다. 4, the injection hole 130 is formed to be inclined from the upper side of the nozzle cover 120 so that the angle between the central axis of the injection hole 130 and the upper side surface of the nozzle cover 120 becomes an acute angle do. Here, the upper surface of the nozzle cover 120 means a horizontal surface parallel to the substrate surface.

이러한 분사홀(130)은 노즐커버(120)의 상측에 다수 형성되어 있는 것이 바람직하다. 좀 더 바람직하게는 다수의 분사홀(130)들이 노즐커버(120)의 상측에서 규칙적으로 배열되도록 형성되는 것이 좀 더 바람직하다. It is preferable that a plurality of the injection holes 130 are formed on the upper side of the nozzle cover 120. More preferably, the plurality of ejection holes 130 are formed to be regularly arranged on the upper side of the nozzle cover 120.

이처럼 노즐커버(120)의 상측에 형성된 분사홀(130)은 그 형태가 원형의 홀인 것이 바람직하며, 분사홀(130)의 중심축과 노즐커버(120)의 상측면 사이의 예각은 다음과 같은 관계식을 만족시킬 수 있는 것이 바람직하다. The acute angle between the central axis of the injection hole 130 and the upper surface of the nozzle cover 120 is preferably as follows: It is desirable to be able to satisfy the relational expression.

Figure pat00003
Figure pat00003

여기서,

Figure pat00004
는 예각을 의미하며, d 는 분사홀의 높이로서 노즐커버(120)의 두께 라고도 할 수 있다. 그리고 r은 분사홀(130)의 반지름을 뜻한다.here,
Figure pat00004
And d is the height of the jet hole, which may be referred to as the thickness of the nozzle cover 120. [ And r is the radius of the injection hole 130. [

그리고, 다수의 분사홀(130)은 일렬로 배열되고, 각각의 분사홀(130)의 중심축이 노즐커버(120)의 상측면과 이루는 각각의 예각이 동일한 각도를 가지도록 형성되는 것이 더 바람직하다. It is further preferable that the plurality of ejection holes 130 are arranged in a line and each acute angle formed by the central axis of each of the ejection holes 130 with the upper surface of the nozzle cover 120 has the same angle Do.

그리고 노즐커버(120)의 일측단과 타측단 사이의 가운데 중심을 기준으로 대칭적인 형태가 되도록 다수의 분사홀(130)이 형성된 것이 증착균일도를 향상시킬 수 있다는 점에서 좀 더 바람직하다. It is more preferable that a plurality of injection holes 130 are formed symmetrically with respect to the center of the center between one end and the other end of the nozzle cover 120 in order to improve the deposition uniformity.

이와 같이, 하나의 노즐커버(120)에 대하여 다수의 분사홀(130)이 동일한 예각으로 형성되고, 이러한 노즐커버(120)가 분사홀(130)의 경사각도에 따라 다수 마련되면 필요한 분사홀(130)의 경사각도에 따라 노즐커버(120)만 교체하여 도가니 본체(110) 상측에 결합시킴으로써 간단하게 도가니가 교체된 것과 같아지므로 도가니 자체를 다수 제조할 필요가 없게 된다. 따라서 비용이 절감되며, 필요한 분사홀(130)의 예각에 맞게 노즐커버(120)만 교체하여 도가니 본체(110)에 결합시키면 되므로 관리의 효율성이 증대된다.When a plurality of injection holes 130 are formed at the same acute angle with respect to one nozzle cover 120 and a plurality of such nozzle covers 120 are provided according to the inclination angle of the injection holes 130, Since the crucible is simply replaced by replacing only the nozzle cover 120 according to the inclination angle of the crucible main body 110 and the crucible main body 110, it is not necessary to manufacture the crucible itself. Therefore, the cost can be reduced, and the nozzle cover 120 can be replaced only with the acute angle of the required injection hole 130 to be coupled to the crucible main body 110, thereby increasing the efficiency of maintenance.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 증발원용 도가니는 분사홀(130)의 경사각도에 따라 다수의 도가니를 각각 제조할 필요 없이 노즐커버(120) 부분만 분사홀(130)의 각도에 따라 다수 제조하면 되므로 제조비용이 절감되며, 노즐커버120) 부분만 교체하면 도가니를 교체한 것과 동등하게 되므로 관리의 효율성 또한 증대되는 장점이 있다. As described above, according to the crucible for an evaporation source according to the present invention, a plurality of crucibles are not necessarily manufactured according to the inclination angle of the injection hole 130, but only a part of the nozzle cover 120 is manufactured according to the angle of the injection hole 130 The manufacturing cost is reduced, and if the nozzle cover 120 is partially replaced, the efficiency of the management is increased because the crucible is equivalent to the replacement of the crucible.

이상에서 설명된 바와 같이, 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시 예들에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시 예들은 본 발명의 바람직한 실시 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시 예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 등가개념으로 이해되어져야 할 것이다. While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, It is to be understood that the scope of the present invention is to be construed as being limited only by the embodiments, and the scope of the present invention should be understood as the following claims and their equivalents.

100: 도가니 110: 도가니 본체
120: 노즐커버 130: 분사홀100: crucible 110: crucible body
120: nozzle cover 130: injection hole

Claims (8)

상부가 개구되는 증발공간이 형성되며, 상기 증발공간에 증착물질이 충전되는 도가니 본체와;
상기 도가니 본체의 상단에 결합되어 상기 증발공간을 커버하며, 상기 도가니 본체의 내측에서 증발되는 상기 증착물질이 상측으로 분사될 수 있도록 분사홀이 형성되는 노즐커버를 포함하며,
상기 노즐커버는 상기 도가니 본체에 선택적으로 탈착가능하도록 결합되는 것을 특징으로 하는 증발원용 도가니.
A crucible body formed with an evaporation space in which an upper portion is opened, the evaporation space being filled with an evaporation material;
And a nozzle cover coupled to an upper end of the crucible body to cover the evaporation space and having an injection hole for injecting the evaporation material evaporated from the inside of the crucible body upward,
Wherein the nozzle cover is selectively detachably coupled to the crucible body.
제1항에 있어서,
상기 노즐커버에 형성된 상기 분사홀의 중심축과 상기 노즐커버의 상측면 사이의 각도가 예각을 이루도록 상기 분사홀이 기울어지게 형성된 것을 특징으로 하는 증발원용 도가니.
The method according to claim 1,
Wherein the injection hole is inclined so that an angle between an axis of the injection hole formed in the nozzle cover and an upper surface of the nozzle cover becomes an acute angle.
제2항에 있어서,
상기 분사홀은 원형의 홀이고,
상기 분사홀의 중심축과 상기 노즐커버의 상측면 사이의 예각은 다음의 관계식을 만족시키는 것을 특징으로 하는 증발원용 도가니.
Figure pat00005

(
Figure pat00006
, d : 분사홀의 높이, r : 분사홀 반지름)
3. The method of claim 2,
The injection hole is a circular hole,
Wherein an acute angle between a center axis of the injection hole and an upper surface of the nozzle cover satisfies the following relational expression.
Figure pat00005

(
Figure pat00006
, d: height of injection hole, r: injection hole radius)
제1항에 있어서,
상기 노즐커버에는 상기 분사홀이 다수 형성된 것을 특징으로 하는 증발원용 도가니.
The method according to claim 1,
Wherein a plurality of the injection holes are formed in the nozzle cover.
제4항에 있어서,
상기 다수의 분사홀은 상기 노즐커버의 상측에서 규칙적으로 배열된 것을 특징으로 하는 증발원용 도가니.
5. The method of claim 4,
Wherein the plurality of injection holes are regularly arranged on the upper side of the nozzle cover.
제5항에 있어서,
상기 다수의 분사홀은 일렬로 배열되고,
각각의 상기 분사홀의 중심축이 상기 노즐커버의 상측면과 이루는 각각의 예각이 동일한 각도를 갖도록 형성된 것을 특징으로 하는 증발원용 도가니.
6. The method of claim 5,
Wherein the plurality of injection holes are arranged in a line,
Wherein a center axis of each of the spray holes is formed so as to have the same angle as each acute angle formed with an upper surface of the nozzle cover.
제6항에 있어서,
상기 다수의 분사홀은,
상기 노즐커버의 일측단과 타측단 사이의 가운데 중심을 기준으로 대칭으로 형성된 것을 특징으로 하는 증발원용 도가니.
The method according to claim 6,
The plurality of injection holes
Wherein the nozzle cover is formed symmetrically with respect to a center of a center between one end and the other end of the nozzle cover.
제1항에 있어서,
상기 증발공간은, 상부가 개구되는 직육면체 형상을 이루는 것을 특징으로 하는 증발원용 도가니.
The method according to claim 1,
Wherein the evaporation space has a rectangular parallelepiped shape in which an upper portion is opened.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111850478A (en) * 2019-04-30 2020-10-30 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 Point evaporation source and evaporation equipment

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