KR20180061731A - 방진 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 설치공간이 감소되는 동시에 장치가 간소화되고 장치의 원가절감들 도모하는 동시에 외부로부터의 자기장 영향을 차단하여 설비의 정밀한 진동제어가 가능하게 하는 방진장치를 제공하는 것을 기술적 과제로 한다.
이를 달성하기 위해 본 발명은 테이블에 설치된 설비의 진동을 제어하기 위한 방진장치로서, 베이스와, 상기 베이스에 설치되는 공기 스프링과, 상기 공기 스프링의 내부에 설치되는 댐퍼와, 상기 댐퍼의 상단이 힌지운동가능하게 하측에 설치되며 상측이 상기 테이블에 고정되는 지지대로 이루어지며, 상기 댐퍼는 상기 지지대에 상방으로 경사지게 설치되는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 전술한 구성에 의해 수직 및 수평 진동을 방지하는 방진장치를 설치하는 공간이 대폭적으로 감소되며, 4개의 지지대 및 8개의 댐퍼 구성이 불요하게 되므로 이를 설치하기 위한 공간이 절약되는 효과를 가지게 된다.
또한, 본 발명은 전술한 바와 같은 4개의 지지대 및 8개의 댐퍼 구성이 불요하게 되므로 방진장치의 원가가 절감되는 효과도 동시에 가지게 된다.
더욱이, 본 발명에서는 자기장 차단부가 설치됨으로써 설비나 외부의 주변장치에 의해 발생하는 자장이 자기 유체 댐퍼의 MR 유체에 영향을 주어 정밀한 진동제어가 확보되어 제품의 신뢰성이 향상되는 장점도 가진다.

Description

방진 장치{EQUIPMENT FOR VIBRATION ISOLATION}

본 발명은 방진장치에 대한 것으로서, TFT LCD 나 반도체를 생산하는 생산 설비나 정밀측정설비와 같은 장치에서 정밀한 진동제어를 가능하게 하는 방진장치에 대한 것이다.

방진장치란 스프링 또는 스프링과 댐퍼를 조합하고 부착 구조물을 구비한 것으로서, 방진대상 장비를 바닥에 지지할 수 있도록 구성한 기구를 의미한다.

최근 반도체 공장, LCD 공장 등 자동화된 정밀 생산시설에서는 엄격한 진동 환경에서 운용되는 방진장치들이 많이 사용되고 있다.

이들 방진장치들은 주변에서 전달되는 미세한 진동을 차단하기 위하여 금속코일스프링, 공기 스프링 등과 같이 스프링 상수가 아주 낮은 스프링을 사용하여 제작한 방진마운트를 이용하여 주변으로부터 전달되는 진동을 차단하고 있다.

정밀장비의 방진에 사용되는 스프링으로는 공기 스프링이 많이 사용된다. 공기 스프링은 3Hz 이하의 낮은 고유진동수를 가지는 방진장치를 구성할 수 있어 금속스프링보다도 더 높은 방진효과를 얻을 수 있다.

그러나, 공기 스프링도 금속스프링처럼 내부 감쇠가 거의 없어 과도응답 시간이 길고 공진 영역에서 진동을 아주 크게 증폭시키는 문제점이 있다.

따라서, 공기 스프링을 사용하여 구성한 방진장치는 동적 안정성이 낮아 자체에서 발생하는 진동 또는 주변에서 전달되는 비정상적인 진동 가진력에 의하여 크게 진동하고, 또한 과도진동 응답 시간이 길어 한번 진동이 발생하면 진동의 지속 시간이 길어서 정상적인 장비의 운용에 문제가 발생한다.

이러한 문제점을 해결하기 위해 댐퍼가 사용되며 댐퍼란 여러 가지 의미로 사용되나, 진동제어 분야에서는 진동하는 물체의 운동에너지를 열로 변환시켜 주변으로 소산시킴으로서 진동을 억제하는 기능을 하는 요소를 의미한다.

방진장치에서 스프링과 댐퍼를 함께 사용하면, 스프링만을 사용했을 때에 비하여 과도진동시간이 크게 단축되어 일시적인 진동이 빨리 소멸되고, 공진영역에서 진동의 증폭이 크지 않아 유리하다.

최근에는 댐퍼의 실린더에 충진되는 유체로 자기유변유체(Magneto-Rheological Fluid)를 사용한 자기유체댐퍼(Magneto-Rheological Damper, 통상 "MR댐퍼"로 약칭)가 개발되어 사용되고 있다.

MR댐퍼는 상용품(미국 LOAD사, 모델번호 : RD-1005-3 등)으로 시판되고 있는데, 그 내부 구조는 대략적으로 실린더, 오리피스가 있는 피스톤, 그리고 피스톤에 감긴 코일로 구성되고, 실린더의 내부에는 자기유변유체(Magneto-Rheological Fluid, MR유체, 이하 본 명세서에서도 "MR유체"라 칭한다.)가 충진된다.

MR댐퍼의 내부에 충진되는 자기유변유체는 주변 자기장의 세기에 따라 유체의 점성이 변하는 유체인데, 코일에 전기가 흘러 자기장이 형성되면 유체의 점성이 증가하여 오리피스를 통과할 때 큰 저항력을 유발하여 댐핑계수가 큰 댐퍼가 되고, 전기가 흐르지 않으면 유체의 점성이 낮아 댐핑계수가 작은 댐퍼가 된다.

따라서, MR댐퍼는 코일에 흐르는 전류의 세기에 따라 댐핑계수를 조절할 수 있는 가변댐퍼이다.

자기 유체 댐퍼를 공기 스프링과 함께 이용하여 생산설비의 진동을 제어하는 방진장치가 한국특허공개 제10-2003-66027호에 개시되어 있다.

도 1 및 도 2 에 도시된 바와 같이 테이블(1)의 상부에는 생산설비 등의 설비(2)가 설치되고, 테이블(1)의 하부에는 공기스프링(3) 및 댐퍼(4)의 상단이 병렬로 고정되고 테이블(10)의 하부에 설치된 베이스부(1-1)에는 공기스프링(3) 및 댐퍼(4)의 하단이 고정된다.

평면에서 볼 때 공기스프링(3)과 댐퍼(4)가 병렬로 설치된 부분이 테이블(1)의 4개 각 모서리마다 한 세트씩 설치되어 수직방향의 진동을 흡수하는 작용을 하게 된다.

이러한 장치에 의한 경우 수직방향 진동에 대해서는 흡수하여 제진하는 작용을 하지만 수평방향 진동에 대해서는 제진작용을 하지 못하게 된다.

수평방향의 진동을 제진하기 위해 테이블(1)의 둘레도 각각 지지대(5)를 설치하고 각 지지대(5)에 댐퍼(4)의 일단이 고정되고 타단이 테이블(1)의 측면을 지지하는 구성이 공지되어 있다.

그러나, 이러한 경우 수평방향 진동을 제진하기 위해 적어도 4개의 지지대(5)가 추가로 설치되어야 하고, 각 지지대 별로 2개, 즉 전체적으로 8개의 댐퍼(4)가 추가로 설치되어야 한다.

종래기술에서는 기본적으로 공기 스프링(3) 및 자기 유체 댐퍼(4)가 병렬로 4 개소에 설치되어야 하므로 설치공간이 커지는 문제점이 존재한다. 또한, 수평방향의 제진작용을 위해 4개의 지지대(5) 및 8개의 댐퍼(4)가 추가로 설치되어야 하는 바, 이로 인해 설치공간이 더욱 더 커져야 하며 제조원가도 상승하게 되는 단점을 가지게 된다.

또한, 댐퍼(4)를 자기 유체 댐퍼를 사용하는 경우 설비(2) 또는 주변장치에서 발생하는 전자기력 또는 자기력에 의해 자기 유체 댐퍼(4)의 내부에 포함된 MR 자기유변유체에 영향을 미치게 되어 자기 유체 댐퍼(4)의 댐핑계수가 외부영향을 받아 정밀한 설비의 진동제어에 오작동을 초래하게 되는 문제점을 가지게 된다.

본 발명은 전술한 과제를 해결하기 위한 것으로서, 보다 구체적으로는 설치공간이 감소되는 동시에 장치가 간소화되고 장치의 원가절감들 도모하는 동시에 외부로부터의 자기장 영향을 차단하여 설비의 정밀한 진동제어가 가능하게 하는 방진장치를 제공하는 것을 기술적 과제로 한다.

본 발명은 전술한 과제를 해결하기 위해, 테이블에 설치된 설비의 진동을 제어하기 위한 방진장치로서, 베이스와, 상기 베이스에 설치되는 공기 스프링과, 상기 공기 스프링의 내부에 설치되는 댐퍼와, 상기 댐퍼의 상단이 연결되고 상기 테이블에 고정되는 지지대로 이루어지며, 상기 댐퍼의 하단은 상기 베이스에 힌지운동가능하게 설치되고, 상기 댐퍼의 상단은 상기 지지대에 상방으로 경사지도록 힌지운동가능하게 설치되는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 방진장치에서, 상기 지지대는 상기 댐퍼가 연결되는 슬라이더와,상기 슬라이더를 수용하기 위한 슬라이더 삽입홈이 형성된 하부 지지대와, 상기 슬라이더 삽입홈을 덮도록 상기 하부 지지대가 고정되는 상부 지지대로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 방진장치에서, 상기 슬라이더 삽입홈은 상기 하부지지대의 상면에서 하방으로 깊이를 가지며 평면방향으로 일정한 폭을 가지도록 연장되어 형성되는 슬라이더 홈과, 상기 슬라이더 홈의 폭보다 좁은 폭으로 하방으로 연장되며 상기 하부 지지대의 저면을 관통하여 형성되는 연결부 홈으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 방진장치에서, 상기 슬라이더부는, 상기 슬라이더 홈에 삽입되도록 이에 대응하는 형상을 가지는 슬라이더와, 상기 슬라이더의 하방으로 연장되어 형성되며 상기 댐퍼의 로드부와 연결되는 연결홈을 구비하며 상기 연결부 홈에 삽입될 수 있도록 이에 대응하는 형상을 가지는 연결부로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 방진장치에서, 상기 슬라이더 홈의 상면 및 상기 슬라이더부의 하면의 어느 일방에는 돌출부가 형성되고 타방에는 이에 대응하는 형상을 가지는 수용홈이 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 방진장치에서, 상기 하부 지지대에서 상기 슬라이더 홈의 둘레에는 반원 단면의 실링 홈이 형성되고, 상기 상부 지지대에도 동일한 크기의 반원 단면의 실링 홈이 형성되어, 양 실링 홈 사이에 실링부재가 삽입되는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 방진장치에서, 상기 공기 스프링과 상기 댐퍼를 상기 테이블의 각 모서리마다 형성되는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 방진장치에서, 상기 댐퍼가 상방으로 경사지는 방향은 상기 테이블의 중심을 향하도록 배치되는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 방진장치에서, 상기 댐퍼는 자기 유체 댐퍼인 것을 특징으로 한다.

본 발명의 방진장치에서, 상기 공기 스프링의 외측 또는 내측에는 외부로부터 자기장이 상기 자기 유체 댐퍼에 영향을 미치는 것을 방지하기 위해 상기 자기 유체 댐퍼를 둘러싸도록 자기장 차단부가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명은 전술한 구성에 의해 수직방향 진동은 물론 수평방향 진동도 동시에 방지하는 장치를 적은 설치공간내에 설치가 가능하게 되는 바, 설치공간이 감소하는 효과를 가지게 된다.

특히, 종래기술에서 필요하였던 4개의 지지대 및 8개의 댐퍼 구성이 불요하게 되므로 이를 설치하기 위한 공간이 더욱 대폭적으로 절약되며 이로 인해 제조원가도 대폭적으로 절감되는 효과를 가지게 된다.

또한, 본 발명에서는 자기장 차단부가 설치됨으로써 설비나 외부의 주변장치에 의해 발생하는 자장이 자기 유체 댐퍼의 MR 유체에 영향을 주는 것을 방지하게 됨으로써 설비의 정밀한 진동제어가 확보되어 제품의 신뢰성이 향상되는 장점도 가진다.

도 1 은 종래 기술의 방진 장치의 측면을 도시하는 도면이다.
도 2 는 종래 기술의 방진 장치의 평면을 도시하는 도면이다.
도 3 는 본 발명의 방진장치의 분해 사시도이다.
도 4 은 본 발명의 방진장치를 도시하는 단면도이다.
도 5 는 본 발명의 방진장치의 자기 유체 댐퍼를 도시하는 도면이다.
도 6 는 본 발명의 방진장치의 하부 지지대를 도시하는 단면도이다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 대해 설명한다.

도 3 는 본 발명의 방진장치의 분해 사시도이다. 도 4 은 본 발명의 방진장치를 도시하는 단면도이다.

본 발명의 방진장치는 베이스(100)와, 상기 베이스(100)의 상부에 설치되는 공기 스프링(200)과, 상기 공기 스프링(200)의 내부에 설치되는 댐퍼(300)와, 상기 댐퍼(300)의 상단부가 설치되는 지지대(400)로 이루어진다.

베이스(100)는 평판형상으로 공지된 방진장치의 베이스와 동일하게 형성되며 상부에는 댐퍼(300)의 하단을 힌지운동가능하게 고정하기 위한 고리 형상의 고정부(110)가 형성된다.

베이스(100)의 상부에는 공지된 구성의 공기 스프링(200)이 설치된다. 공기 스프링(200)의 상부 및 하부가 각각 고정부(210)에 베이스(100) 및 의해 고정되며, 공기 스프링(200)의 상부 역시 고정부(210)에 의해 지지대(400)의 하부 지지대(410)에 고정되도록 구성된다.

도 5 는 본 발명의 방진장치의 자기 유체 댐퍼를 도시하는 도면이다.

댐퍼(300)는 하단부(310)와, 상기 하단부(310)에 형성되는 실린더(320)와, 상기 실린더(320)에 설치되는 로드(330)로 형성된다.

댐퍼(300)의 하단부(310)는 고리형상으로 형성되며 공기 스프링(200)의 내부에서 베이스(100)의 상면에 설치된 고정부(110)에 힌지운동가능하게 고정된다.

본 실시예에서 댐퍼(300)로는 자기 유체 댐퍼(MR damper,Magneto-Rheological Damper)가 사용되며 현재 판매중인 상용품으로 미국 LOAD사, 모델번호 : RD-1005-3 등이 사용가능하다.

일반적인 댐퍼 경우 실린더(320)의 내부에 유압용 유체가 충진되나, 자기 유체 댐퍼의 경우에는 내부에 자기 유체가 충진된다.

즉, 자기 유체 댐퍼(300)에서는 실린더(320)와 막(321)의 사이에 자기 유체 (322)가 충진되어 있다.

실린더(320)의 내부에서 자기 유체(322)에는 피스톤으로 작용하는 코어(323)가 설치되며 코어(323)의 외부에는 코일(324)가 감겨져 있고 코어(323)에는 이 코어(323)를 길이방향으로 관통하는 오리피스(323a)가 형성되어 있다.

한편, 코어의 중앙에는 전자석(325)이 설치되며 배선(325a)에 의해 외부로 연결된다.

로드(330)는 코어(323)에 설치되며 실린더(320)의 전방 단부에 형성된 개구(320a)와 로드(330)사이에는 실링부(326)가 형성되어 자기 유체(322)가 외부로 누유되는 것을 방지하는 작용을 한다.

자기 유체 댐퍼의 댐핑계수를 변경시키고자 하는 경우에는 코일(323)에 인가되는 전류량을 변화시키면 코어(323)에서 발생하는 자기장의 크기가 변하게 되고, 이로 인해 오리피스(323a)를 통과하는 자기 유체(322)의 물성이 변화하여 댐핑계수가 변화하는 작용을 하게 된다.

댐퍼(300)로서 본 실시예에서는 자기 유체 댐퍼가 사용되고 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니며 공지된 구성의 다른 댐퍼를 적용하는 것도 가능하다.

댐퍼(300)의 상단부인 로드(330)는 슬라이더부(420)의 연결부(422)에 형성된 연결홈(422a)에 상방으로 경사(θ)지게 힌지운동가능하게 연결된다.

본 실시예에서는 도 4 에 도시된 바와 같이 테이블(T)의 각 모서리마다 방진장치가 형성되는데, 이 때 댐퍼(300)는 방진장치의 측면에서 볼때 상방으로 경사지며 방진장치의 평면에서 볼 때 상부 단부가 테이블(T)의 중심측을 향하도록 배치된다.

도 6 는 본 발명의 방진장치의 하부 지지대를 도시하는 단면도이다.

지지대(400)는 댐퍼(300)의 상단이 연결되는 하부 지지대(410)와, 상기 하부 지지대(410)의 내부에 설치되는 슬라이더부(420)와, 상기 하부지지대(410)가 고정되는 상부 지지대(430)로 이루어진다.

하부 지지대(410)는 대략 평판 형상으로 형성되며 중앙에 길이방향으로 연장되는 슬라이더 삽입홈(411)이 형성되어 있다.

슬라이더 삽입홈(411)은 하부지지대(410)의 상면에서 하방으로 깊이를 가지며 평면방향으로 일정한 폭을 가지면서 연장되어 형성되는 슬라이더 홈(411a)과, 상기 슬라이더 홈(411a)의 폭보다 좁은 폭으로 더 큰 깊이를 가지도록 하방으로 연장되며 하부 지지대(410)의 저면을 관통하여 형성되는 연결부 홈(411b)으로 이루어진다.

슬라이더 홈(411a)의 상방에는 일정간격으로 상방으로 돌출되는 돌출부(412)가 형성되어 있다. 돌출부(412)의 단면은 본 실시예에서는 삼각형 산 형상이나 이에 한정되는 것은 아니며 사각 형상 또는 사다리 형상 등 다른 형태로 형성하는 것도 가능하다.

한편, 하부 지지대(410)의 상면에서 슬라이더 삽입홈(411)의 둘레에는 반원 단면의 실링홈(413)이 마련되어 이에 대응하는 형상을 가지는 실링부재(600)가 삽입될 수 있도록 형성되어 있다.

하부 지지대(410)의 상면에서 상기 실링홈(413)의 둘레에는 체결부재 삽입공(414)이 형성되어 체결부재(700)가 삽입공(414)을 관통하여 상부 지지대(430)에 고정됨으로서 하부 지지대(410)가 체결되는 작용을 하게 된다.

슬라이더부(420)는 대략 평판 형상의 슬라이더(421)와, 상기 슬라이더(421)의 하방으로 연장되어 형성되는 연결부(422)로 이루어진다.

슬라이더(421)의 폭은 상기 슬라이더 홈(411a)에서 길이방향으로 이동가능하도록 슬라이더 홈(411a)의 폭과 동일하거나 약간 작은 폭을 가지도록 형성된다.

또한, 슬라이더(421)의 저면에는 하부 지지대(410)에 형성된 돌출부(412)가 삽입될 수 있도록 이에 대응하는 형상을 가지는 수용홈(421a)이 형성된다.

본 실시예에서는 슬라이더(421)의 저면에 수용홈(421a)이 형성되며 슬라이더 홈(411a)의 저면에 돌출부(412)가 형성되도록 구성되나 이에 한정되는 것은 아니며 슬라이더(421)의 저면에 돌출부를 형성하고 슬라이더 홈(411a)의 내부에 수용홈을 형성하는 것도 가능하다.

연결부(422)는 하방으로 연장되도록 형성되며 하부 지지대(410)의 연결부 홈(411b)에 삽입될 수 있도록 이에 대응하는 폭을 가지며 댐퍼(300)의 로드부(330)와 연결되는 홈(422a)을 구비하도록 형성된다.

상부 지지대(430)는 대략 평판형상으로 형성되며 상기 하부 지지대(410)의 환형홈(413)과 동일한 반원 단면의 실링홈(431)이 하면에 형성되고, 상기 하부 지지대(410)의 환형홈(413)과 상기 상부 지지대(430)의 실링홈(431)의 사이에 O - RING 과 같은 실링부재(600)가 삽입된다.

상부 지지대(430)에는 체결부재(700)에 의해 하부 지지대(410)가 체결되기 위한 제1체결홈(432)와, 상부 지지대(430)를 테이블(T)로 체결부재(700)를 통해 고정하기 위한 제2체결홈(433)이 형성되어 있다.

상부 지지대(430)의 상방으로 테이블(T)이 설치되며 테이블(T)의 상방에 장치나 설비가 설치된다.

한편, 외부로부터 발생한 자기장이 댐퍼(300)에 영향을 미치지 않도록 댐퍼(300)를 둘러싸도록 자기장 차단부(500)를 설치할 수 있다.

자기장 차단부(500)는 투자율이 높은 연철을 소재로 하고 공기 스프링(200)의 내측 또는 외측에 설치가능하며 하부는 베이스(100)에 설치되며 상부는 상부 지지대(430)에 설치된다.

본 실시예에서는 자기장 차단부(500)는 하부가 베이스(100)에 설치되고 상부가 상부 지지대(430)에 설치되나, 이에 한정되는 것은 아니며 자기 유체 댐퍼(300)를 둘러싸서 외부로부터의 자장의 영향을 방지하는 형태라면 다른 어떤 형태로 설치되어도 무방하다.

한편, 본원 발명에서는 수평방향으로 발생하는 진동폭을 고려하여 댐퍼(300)의 경사각(θ)을 필요에 따라 조절하여 설치하는 것이 가능하다.

수평방향 진동폭을 변경하고자 하는 경우 상부 지지대(430)를 탈거한 다음, 슬라이더부(400)를 슬라이더 홈(411a)의 내부에서 변위시킨다.

이때, 슬라이더(400)가 변위되는 위치는 슬라이더(421)의 저면에 형성된 복수의 수용홈(421a)과 하부 지지대(410)의 슬라이더 삽입홈(411)의 저면에 형성되어 상기 수용홈(421a)에 삽입되는 복수의 돌출부(412)와의 상호위치에 의해 결정된다.

슬라이더부(420)의 위치가 결정된 다음에는 상부 지지대(430)의 저면을 하부 지지대(410)의 상면에 체결부재(700)를 통해 체결한다.

이러한 체결로 인하여 상부 지지대(430)의 평평한 하면이 슬라이더(421)의 평평한 상면을 가압하게 되어 이미 위치가 결정된 슬라이더(421)가 하부 지지대(410)의 슬라이더 삽입홈(411)에서 변위되어 위치가 변동되는 것이 방지하는 작용을 하게 된다.

특히, 슬라이더(421)의 저면에 형성된 수용홈(421a)으로 슬라이더 홈(411a)의 돌출부(412)가 삽입되므로 상부 지지재(430)에 의한 체결 후에도 슬라이더(421)의 수평방향 변위가 방지되는 작용을 한다.

게다가, 상부 지지대(430)를 하부 지지대(410)에 체결하는 경우 하부 지지대(410)의 상면에 형성된 반원 형태의 실링홈(413)과 상부 지지대(430)의 하면에 형성된 반원 형태의 실링홈(431)의 사이로 실링부재(600)가 삽입된 상태로 체결된다.

따라서, 공기 스프링(200)의 내부에 설치된 댐퍼(300)의 경사각도(θ)를 변경하는 경우에도 공기 스프링(200)의 실링이 다시 확보되는 작용을 하게 된다.

다음으로 본원 발명의 작용효과에 대해 설명한다.

본원 발명에서 테이블(T)의 상단에 설치된 설비에 의해 작용하는 수직하중은 기본적으로 공기 스프링(200)에 의해 지지되는 작용을 하게 된다.

설비에 의해 작용하는 하중이 수직방향외에 수평방향으로도 작용하는 경우 경사지게 형성된 댐퍼(300)에 의해 수평방향으로의 진동이 방지되는 작용을 하게 된다.

특히, 본 발명에서는 댐퍼(300)의 경사각도(θ)를 조절하는 것이 가능하므로 수평방향 하중의 크기나 진동폭을 고려하여 수평방향 진동방지효과를 조절하는 것이 가능하게 되는 장점을 가진다.

또한, 본 발명에서는 댐퍼(300)가 공기 스프링(200)과 병렬로 나란히 설치되는 것이 아니라 공기 스프링(200)의 내부에 설치되는 바, 종래기술 대비 댐퍼 설치공간이 불요하게 되어 설치공간이 감소하는 작용을 하게 된다.

특히, 종래기술에서와 같은 수평방향 진동을 제어하기 위한 8개의 수평방향 댐퍼(4) 및 이를 지지하기 위한 4개의 지지대(5)가 불요하게 되므로 장치가 간단하여 설치공간이 감소되며 부품점수가 감소되어 제조원가가 절감되는 효과를 가지게 된다.

게다가, 본원 발명에서는 댐퍼(300)의 둘레를 둘러싸도록 자기장 차단부(500)를 형성함으로써 외부로부터의 자기장이 특히 자기 유체 댐퍼(300)인 경우 실린더(320)의 내부 자기 유체(322)에 영향을 미치지 않게 함으로써 외부영향에 의한 수평 및 수직방향에 대한 제진효과의 신뢰성을 확보하는 작용을 하게 된다.

이러한 장점은 특히 설비가 정밀하게 제어하여야 하는 경우 더욱 효과를 발휘하게 된다.

전술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 설명하기 위한 예시적으로 기재한 것인 바, 본 발명의 기술적 범위를 제한하는 것으로 해석되어서는 아니된다.

100:베이스 200:공기 스프링
300:댐퍼 400:지지대
500:자기장 차단부 600:실링부재

Claims (10)

1. 테이블에 설치된 설비의 진동을 제어하기 위한 방진장치로서,
   베이스와,
   상기 베이스에 설치되는 공기 스프링과,
   상기 공기 스프링의 내부에 설치되는 댐퍼와,
   상기 댐퍼의 상부가 연결되고 상기 테이블에 고정되는 지지대를 포함하여 이루어지며,
   상기 댐퍼의 하부는 상기 베이스에 힌지운동가능하게 설치되고,
   상기 댐퍼의 상부는 상기 지지대에 상방으로 경사지도록 힌지운동가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 방진장치.
2. 청구항 1 에 있어서,
   상기 지지대는,
   상기 댐퍼가 연결되는 슬라이더와,
   상기 슬라이더를 수용하기 위한 슬라이더 삽입홈이 형성된 하부 지지대와,
   상기 슬라이더 삽입홈을 덮도록 상기 하부 지지대가 고정되는 상부 지지대로 이루어지는 것을 특징으로 하는 방진장치.
3. 청구항 2 에 있어서,
   상기 슬라이더 삽입홈은,
   상기 하부 지지대의 상면에서 하방으로 깊이를 가지며 평면방향으로 일정한 폭을 가지도록 연장되어 형성되는 슬라이더 홈과,
   상기 슬라이더 홈의 폭보다 좁은 폭으로 하방으로 연장되며 상기 하부 지지대의 저면을 관통하여 형성되는 연결부 홈으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 방진장치
4. 청구항 3 에 있어서,
   상기 슬라이더부는,
   상기 슬라이더 홈에 삽입되도록 이에 대응하는 형상을 가지는 슬라이더와,
   상기 슬라이더의 하방으로 연장되어 형성되며 상기 댐퍼의 로드부와 연결되는 연결홈을 구비하는 연결부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 방진장치.
5. 청구항 4 에 있어서,
   상기 슬라이더 홈의 상면 및 상기 슬라이더부의 하면의 어느 일방에는 돌출부가 형성되고 타방에는 이에 대응하는 형상을 가지는 수용홈이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 방진장치.
6. 청구항 5 에 있어서,
   상기 하부 지지대의 상면에는 상기 슬라이더 홈의 둘레에는 반원 단면의 실링 홈이 형성되고,
   상기 상부 지지대의 하면에도 상기 실링홈과 동일한 크기 및 형상의 반원 단면의 실링 홈이 형성되며,
   상기 양 실링 홈 사이에 실링부재가 삽입되는 것을 특징으로 하는 방진장치.
7. 청구항 1 또는 청구항 2 에 있어서,
   상기 공기 스프링과 상기 댐퍼를 상기 테이블의 각 모서리마다 형성되는 것을 특징으로 하는 방진장치.
8. 청구항 7 에 있어서,
   상기 댐퍼가 상방으로 경사지는 방향은 상기 테이블의 중심을 향하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 방진장치.
9. 청구항 1 또는 청구항 2 에 있어서,
   상기 댐퍼는 자기 유체 댐퍼인 것을 특징으로 하는 방진장치.
10. 청구항 9 에 있어서,
    상기 공기 스프링의 외측 또는 내측에는 외부로부터 자기장이 상기 자기 유체 댐퍼에 영향을 미치는 것을 방지하기 위해 상기 자기 유체 댐퍼를 둘러싸도록 자기장 차단부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 방진장치.

Images