KR20180039309A - 표면 프로파일 측정 장치를 이용한 표면 프로파일 측정 방법 - Google Patents

표면 프로파일 측정 장치를 이용한 표면 프로파일 측정 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 표면 프로파일을 측정하는 것으로서, 측정 대상물에 접하여 변형하는 변형부재와 상기 변형부재에 부착되는 스트레인 게이지를 구비하여 종래보다 저렴한 가격으로도 정밀한 표면 프로파일을 측정할 수 있는 스트레인 게이지를 이용한 표면 프로파일 측정 장치 및 방법이다.

Description

스트레인 게이지를 이용한 표면 프로파일 측정 장치{APPARATUS FOR SURFACE PROFILE MEASURING BY STRAIN GAUGE}
본 발명은 표면 프로파일을 측정하는 장치로서, 측정 대상물에 접하여 변형하는 변형부재와 상기 변형부재에 부착되는 스트레인 게이지를 구비하여 간단한 구조와 작동으로 표면 프로파일을 정밀하게 측정할 수 있는 스트레인 게이지를 이용한 표면 프로파일 측정 장치에 관한 것이다.
일반적으로 측정 대상물의 표면 높낮이 등과 같은 표면 프로파일을 측정하기 위해 3차원 측정기를 이용한다.
상기 3차원 측정기는 접촉식 측정기와 비 접촉식 측정기가 있다. 접촉식 측정기는 프로브를 3축 방향으로 이동하면서 로드 셀 등에서 발생하는 신호를 분석하여 표면 프로파일을 측정한다.
비 접촉식 측정기는 널리 알려진 레이저 등을 이용하여 측정하게 된다.
상기 접촉식 측정기의 경우 고도로 정밀한 프로브 등이 필요하여 가격이 고가인 문제점이 있었고, 비 접촉식 측정기의 경우도 고 배율의 렌즈 등이 필요하여 가격이 고가인 문제점이 있었다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 측정 대상물에 접할 때 변형하는 변형부재와 상기 변형부재에 부착되는 스트레인 게이지를 구비하여 종래보다 간단한 구조로 표면 프로파일을 정밀하게 측정할 수 있는 스트레인 게이지를 이용한 표면 프로파일 측정 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
그러나 본 발명의 목적은 상기에 언급된 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않았으나 아래 수단들 또는 실시예상의 구체적인 구성에 따른 다른 목적 들은 그 기재로부터 이 기술분야의 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 수직 방향으로 배치되는 한 쌍의 지지부와, 측정 대상물에 접촉하여 상기 측정 대상물의 표면 프로파일을 측정하는 측정부와, 상기 측정부를 이송하는 이송부로 이루어지고, 상기 측정부는 상기 이송부에 의해 이송되는 지지 블록과 상기 지지 블록에 구비되고 탄성 변형되는 변형부재와 상기 변형부재에 구비되는 스트레인 게이지로 이루어지는 스트레인 게이지를 이용한 표면 프로파일 측정 장치를 제공한다.
상기에서, 상기 측정부는 상기 변형부재와 지지 블록 사이에 설치되는 와이어를 더 구비하고, 상기 스트레인 게이지는 변형부재의 일 측면에 구비되고, 상기 와이어는 상기 변형부재의 반대측면에 구비된다.
상기에서, 상기 변형부재의 하단부에 롤러가 회전 가능하게 구비되어 상기 측정 대상물(S)의 표면에 접한다.
상기에서, 상기 이송부는 상기 지지 블록(310)을 좌우 방향으로 이송하는 제1이송부와 상기 지지 블록을 전후 방향으로 이송하는 제2이송부로 이루어지고, 상기 제1이송부는 상기 지지부 사이에 전후 방향으로 이격되어 배치되는 한 쌍의 무빙 블록과, 상기 지지부 사이에 좌우 방향으로 연장되며 상기 무빙 블록을 각각 관통하는 한 쌍의 제1가이드 바아와, 상기 제1가이드 바아와 평행하게 배치되며 무빙 블록 중 하나를 관통하는 제1스크류와, 상기 지지부에 구비되어 상기 제1스크류를 회전하는 제1구동 액츄에이터로 이루어지며, 상기 제2이송부는 상기 한 쌍의 무빙 블록 사이에 전후 방향으로 연장되며 상기 지지 블록을 관통하는 제2가이드 바아와 상기 제2가이드 바아와 평행하게 배치되며 상기 지지 블록을 관통하는 제2스크류와 상기 무빙 블록에 구비되며 상기 제2스크류를 회전하는 제2액츄에이터로 이루어진다.
상기에서, 상기 지지부 사이에 상하로 이동 가능하게 구비되고 측정 대상물을 하측에서 지지하는 조절판과 상기 조절판 하부에 하향 이격되고 지지부가 양 측에 결합되는 베이스가 더 구비되고, 상기 이송부는 상기 조절판과 베이스 사이에 구비되어 상기 조절판을 상하로 이송하는 제3이송부를 더 구비하며, 상기 제3이송부는 상기 조절판과 나사 결합하는 제3스크류와, 상기 베이스에 구비되어 제3스크류를 회전하는 구동 액츄에이터로 이루어진다.
상기에서, 상기 측정부와 이송부에 각각 연결되는 제어부와, 상기 제어부에 연결되어 이송부를 작동하는 작동부와, 상기 제어부에 연결되는 데이터 저장부를 더 구비한다.
본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로 더욱 명백해질 것이다.
이에 앞서 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이고 사전적인 의미로 해석되어서는 아니 되며, 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 본 명세서에 사용되는 기술적 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위하여 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아님을 유의하여야 한다.
또한, 본 명세서에서 사용되는 기술적 용어는 본 명세서에서 특별히 다른 의미로 정의되지 않는 한 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 일반적으로 이해되는 의미로 해석되어야 하며, 과도하게 포괄적인 의미로 해석되거나, 과도하게 축소된 의미로 해석되지 않아야 한다.
또한, 본 명세서에서 사용되는 단수의 표현은 문맥상 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "구성된다." 또는 "포함한다." 등의 용어는 명세서 상에 기재된 여러 구성요소들, 또는 여러 단계들을 반드시 모두 포함하는 것으로 해석되지 않아야 하며, 그 중 일부 구성 요소들 또는 일부 단계들은 포함되지 않을 수도 있고, 또는 추가적인 구성 요소 또는 단계들을 더 포함할 수 있는 것으로 해석되어야 하고 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.
본 발명에 의하면 간단한 구조이면서도 표면 프로파일을 정밀하게 측정할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 측정 장치를 나타내는 사시도이고,
도 2 및 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 측정장치의 측정부와 측정 대상물을 나타내는 개념도와 사시도이며,
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 측정장치가 제어부와 연결되는 것을 나타내는 개념도이며,
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 측정 방법을 나타내는 순서도이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하기로 한다. 이 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다.
또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 하여 내려져야 할 것이다.
아울러, 아래의 실시예는 본 발명의 권리범위를 한정하는 것이 아니라 본 발명의 청구범위에 제시된 구성요소의 예시적인 사항에 불과하며, 본 발명의 명세서 전반에 걸친 기술사상에 포함되고 청구범위의 구성요소에서 균등물로서 치환 가능한 구성요소를 포함하는 실시예는 본 발명의 권리범위에 포함될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 표면 프로파일 측정 장치(10)는 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이 수직 방향으로 배치되는 한 쌍의 지지부(100)와, 측정 대상물(S)에 접촉하여 측정 대상물(S)의 표면 프로파일을 측정하는 측정부(300)와, 상기 지지부(100)에 구비되어 상기 측정부(300)를 이송하는 이송부(200)로 이루어진다.
상기 측정부(300)는 상기 이송부(200)에 의해 이송되는 지지 블록(310)과 상기 지지 블록(310)에 구비되고 탄성 변형되는 변형부재(320)와 상기 변형부재(320)에 구비되는 스트레인 게이지(SG)로 이루어진다. 상기 변형부재(320)는 두께가 얇은 막대 형상의 금속 판으로 이루어진다.
상기 변형부재(320)는 측정 대상물(S)의 표면에 접하면서 변형된다. 즉, 측정 대상물(S)의 표면 높이가 높은 경우 상기 변형부재(320)는 많이 휘어지게 되고 측정 대상물(S)의 표면 높이가 낮은 경우 상기 변형부재(320)는 상대적으로 작게 휘어지게 된다. 이러한 변형부재(320)의 변형량이 스트레인 게이지(SG)에 의해 측정되어 측정 대상물(S)의 표면 프로파일이 측정된다.
상기 변형부재(320)는 일정한 방향으로만 변형되는 것이 바람직하다. 그 이유는 변형부재(320)의 변형 방향이 반대가 되면 스트레인 게이지(SG)에서 반대 방향의 신호가 나오기 때문이다.
상기 변형부재(320)가 일정한 방향으로만 변형되도록 상기 변형부재(320)와 지지 블록(310) 사이에 와이어(330)가 구비된다. 상기 와이어(330)의 일 단은 지지블록(310)에 연결되고 타 단은 변형부재(300)에 연결된다. 상기 와이어(330)는 장력이 작용하도록 설치된다. 따라서, 변형부재(320)는 와이어(330)가 구비된 쪽으로 휘어지는 형태로 구비된다.
이때, 상기 스트레인 게이지(SG)는 변형부재(320)의 일 측면에 구비되고, 상기 와이어(330)는 상기 변형부재(320)의 반대 측면에 구비된다. 도시된 바와 같이 상기 와이어(330)가 변형부재(320)의 도면상 우측에 구비되고, 스트레인 게이지(SG)는 반대 측면인 변형부재(320)의 도면상 좌측에 구비된다. 이러한 구성에 의해 측정 중 변형부재(320)는 와이어(330)가 구비된 방향 즉, 도면상 우측 방향으로 변형되고, 반대 방향으로는 변형되지 않는다.
상기 변형부재(320)의 하단부에는 롤러(340)가 회전 가능하게 구비되어 상기 측정 대상물(S)의 표면에 접하여 표면 프로파일이 측정되도록 하는 것도 가능하다. 상기 롤러(340)가 회전하면서 측정 대상물(S)에 접하여 보다 용이하게 표면 프로파일이 측정될 수 있다.
상기 변형부재(320)는 도시된 바와 같이 두께가 얇은 금속판을 이용할 수 있다. 상기 변형부재(320)는 지지 블록(310)의 하측면에 구비된 한 쌍의 브라켓(340) 사이에 나사에 의하여 고정될 수 있다. 이를 위해 상기 변형부재(320)의 상부에 관통공이 형성되고 브라켓(340)에도 관통공이 형성되어 상기 각 관통공에 나사가 체결되어 변형부재(320)가 브라켓(340) 사이에 설치될 수 있다.
상기 이송부(200)는 상기 지지 블록(310)을 이동시켜 측정 대상물(S)의 표면을 측정하기 위한 것이다. 이러한 이송부(200)는 지지 블록(310)을 좌우 방향으로 이송하는 제1이송부(210)와 상기 지지 블록(310)을 전후 방향으로 이송하는 제2이송부(220)로 이루어진다.
상기 제1이송부(210)는 상기 지지부(100) 사이에 전후 방향(방향1)으로 배치되는 한 쌍의 무빙 블록(213)과, 상기 지지부(110) 사이에 좌우 방향(방향2)으로 연장되며 상기 무빙 블록(213)을 각각 관통하는 한 쌍의 제1가이드 바아(214)와, 상기 가이드 바아(214)와 평행하게 배치되며 무빙 블록(213) 중 하나를 관통하는 제1스크류(212)로 이루어진다. 상기 제1스크류(212)는 지지부(100)에 구비되는 제1액츄에이터(211;예, 모터)에 의해 회전된다.
상기 무빙 블록(213)과 제1가이드 바아(213)는 양측 지지부(100) 사이에서 도시된 바와 같이 좌우 방향(방향2)으로 연장되도록 구비된다. 제1스크류(212)는 무빙 블록(213) 중 어느 하나의 무빙 블록(213)에 구비된 볼나사(도시되지 않음)를 관통한다. 상기 제1스크류(212)는 무빙 블록(213)에 구비된 볼나사에 결합하고, 상기 제1스크류(212)의 회전에 의해 무빙 블록(213)이 양측 지지부(100) 사이에서 좌우 방향(방향2)로 이동한다.
상기 제2이송부(220)는 상기 한 쌍의 무빙 블록(212) 사이에 전후 방향(방향1)으로 배치되며 상기 지지 블록(310)을 관통하는 제2가이드 바아(224)와 상기 제2가이드 바아(224)와 평행하게 배치되며 상기 지지 블록(310)에 구비된 볼나사와 결합되는 제2스크류(222)로 이루어진다. 상기 제2스크류(222)는 무빙 블록(213)에 구비되는 제2액츄에이터(221;예, 모터)에 의해 회전된다. 상기 제2스크류(222)는 일 측은 무빙 블록(213) 중 어느 하나에 회전 가능하게 연결되고 타 측은 나머지 무빙 블록(213)에 회전 가능하게 관통하여 돌출된 단부가 제2액츄에이터(221)에 결합되어 구비된다. 상기 제2스크류(222)와 가이드 바아(224)는 전후 방향(방향1)으로 연장되어 제2스크류(222)에 의해 지지 블록(310)은 전후 방향(방향1)으로 이동한다. 상기 제2가이드바(224)의 양단은 서로 이격된 무빙 블록(213)에 결합된다.
즉, 상기 제1이송부(210)와 제2이송부(220)에 의해 측정부(300)가 좌우 및 전후 방향으로 이동하면서 측정 대상물(S)의 표면이 측정된다.
상기 지지부(100) 사이에는 판상의 조절판(400)이 상하로 이동 가능하게 구비된다. 상기 지지부(100)의 하부에는 상하방향 연장된 가이드바(도시되지 않음) 또는 가이드돌기(도시되지 않음)가 구비되고, 상기 조절판(400)의 양 측에는 상기 가이드바 또는 가이드돌기가 슬라이딩 가능하게 삽입되는 가이드홀(도시되지 않음) 또는 가이드홈(도시되지 않음)이 형성되어 상기 조절판(400)의 상하운동이 가이드된다.
상기 조절판(400)의 하부에는 조절판(400)으로부터 하향 이격된 베이스(B)가 구비된다. 상기 베이스(B)는 양 측이 지지부(100)에 결합되어 구비된다.
상기 조절판(400)과 베이스(B)에는 조절판(400)을 상하 이동시키는 제3이송부(230)가 구비된다. 상기 제3이송부(230)는 제3스크류(232)와, 상기 베이스(B)에 구비되어 제3스크류(232)를 회전시키는 구동 액츄에이터(231;예, 모터)로 이루어진다.
상기 제3스크류(232)는 상향 연장되어 조절판(400)에 구비된 볼나사와 결합한다. 상기 구동액츄에이터(213)가 작동하면 조절판(400)이 상하 이동한다. 상기 조절판(400)) 상에 측정하려는 측정 대상물(S)이 적치된다.
도 4에 도시된 바와 같이 상기 측정부(300)의 스트레인 게이지(SG)에서 나오는 신호를 분석하고 상기 이송부(200)를 제어하기 위해 제어부(CON)를 구비한다. 상기 제어부(CON)에는 작동부(SW)가 연결되어 상기 이송부(200)의 액츄에이터(211,221,231)에서 발생되는 회전수가 제어부(CON)로 전송된다. 상기 제어부(CON)는 저장부(DB)가 연결되어 상기 측정부(300)를 통해 산출된 표면 프로파일의 데이터를 저장한다. 상기 표면 프로파일 데이터는 제1액츄에이터(211)와 제2액츄에이터(221)에서 전송된 회전수와 함께 저장된다. 제1액츄에이터(211)와 제2액츄에이터(221)에서 전송된 회전수에 의하여 가로, 세로 좌표가 산출된다.
이하 앞서 살펴본 도 1 내지 도 4와 도 5를 참조하여 본 발명의 표면 측정 장치(10)를 이용하여 측정 대상물의 표면 프로파일을 측정하는 방법에 대해 설명한다.
상술된 바와 같이 상기 측정부(300)의 변형부재(320) 일측에는 스트레인 게이지(SG)가 구비되고 반대측에는 지지 블록(310)에 연결되는 와이어(330)가 구비되어 상기 변형부재(320)가 일 방향으로만 변형되게 한다.
상기 변형부재(320)이 상기 측정 대상물(S)의 표면과 접하여 변형되는 양을 스트레인 게이지(SG)에 의해 산출한다. 즉, 상기 스트레인 게이지(SG)에서 나오는 신호를 제어부(CON)가 분석하여 측정 대상물(S) 표면의 높이가 산출된다. 그리고 제1액츄에이터(211)와 제2액츄에이터(221)의 회전수에 의하여 가로 세로 좌표 위치가 산출되어 측정 대상물(S)의 프로파일이 측정된다.
스트레인 게이지(SG)가 변형되면 전기 저항이 변동한다. 상기 변동하는 전기 저항을 전기저항 측정기를 통해 측정하고, 측정된 전기 저항을 기 설정된 관계식을 통해 변형량을 측정하며 이는 널리 알려진 기술인 관계로 자세한 설명은 생략한다.
상기 변형부재(320)가 변형되기 위해서는 변형부재(320)에 구비되는 롤러(340)가 측정 대상물(S)의 표면에 접해야 하므로 이를 위해 상기 측정부(300)가 상기 측정 대상물(S)에 접하도록 상기 측정 대상물(S)을 특정 높이로 배치한다. 이를 위해 상술된 제3이송부(230)에 의해 측정 대상물(S)을 승하강한다.
이후, 상기 측정부(300)를 전후 또는 좌우 방향으로 이동하며 측정 대상물(S)의 표면 프로파일을 측정한다. 도 4에 도시된 바와 같이 상기 측정부(300)를 측정 대상물(S)의 전후 방향 일 측단(지점1)에 배치한다. 이후, 좌우 방향(방향2)로 측정부(300)를 이동하면서 지점1에 대한 좌우 방향 프로파일을 측정한다. 지점1에 대한 좌우 방향 프로파일을 측정한 후 측정부(300)를 전후 방향(방향1)으로 이동하여 지점2에 배치하고 좌우 방향 프로파일을 측정한다. 이러한 단계를 반복하여 측정 대상물(S)의 모든 표면 프로파일을 측정한다.
상기 측정부(300)를 이동하면서 측정 대상물(S)을 측정하는데, 상기 측정 대상물(S)의 깊이가 깊어 측정부(300)의 롤러(340)가 접하지 않을 수 있다. 이러한 경우 측정된 표면 프로파일이 정확하지 않을 수 있으므로 측정부(300)의 정확한 원점을 잡는 것이 바람직하다.
이에 대해 도 4를 참조하여 상세히 설명한다.
본 발명의 표면 프로파일 측정 방법(S10)은 측정부(300)가 측정 대상물(S)의 모든 표면에 접촉하는지 여부를 확인하는 원점 설정 단계(S100)와, 상기 측정 대상물(S)의 표면 프로파일을 측정하는 측정 단계(S200)로 이루어진다.
상기 원점 설정 단계(S100)는 우선 측정부(300)에서 기 설정된 변형량에 해당하는 신호가 나올때까지 측정 대상물(S)의 높이를 상승하는 단계(S110, 이하 제110단계라 함)를 수행한다.
이후, 측정부(300)를 수평 일 방향으로 이동하면서 표면 프로파일을 측정하고 상기 측정부(300)에서 스트레인 게이지(SG)의 변형에 해당하는 신호가 발생하는지 여부를 판단하는 단계(S120, 이하 제120단계라 함)를 수행한다. 상기 제120단계(S120)에서 상기 신호가 발생하는 경우 동일 방향으로 계속 이동하면서 표면 프로파일을 측정하는 단계(S130, 이하 제130단계라 한다)를 수행한다.
만일 상기 제120단계(S120)에서 상기 신호가 발생하지 않는 경우 측정부(300)가 측정 대상물(S)과 접촉하지 않는 것으로 판단하여 상기 신호가 발생할때 까지 상기 측정 대상물(S)을 상승시키는 단계(S140, 이하 제140단계라 한다)를 수행한다.
이러한 제130단계(S130)와 제140단계(S140)를 반복 수행하여 측정 대상물(S)의 모든 표면에서 신호가 발생하는 경우의 측정 대상물(S)의 최저점에 해당하는 높이를 원점으로 설정하는 단계(S150, 이하 제150단계라 한다)를 수행한다. 상기 제150단계(S150)를 통해 측정 대상물(S)을 원점에 배치한 후 상기 측정 대상물(S)의 표면 프로파일을 측정하는 측정 단계(S200)를 수행한다.
상기 측정 단계(S200)는 상기 측정 대상물(S)의 표면에서 나오는 신호에 해당하는 변형량과 상기 원점에서 나오는 신호에 해당하는 변형량의 차이를 실제 표면 프로파일의 높이로 산출한다.
즉, 원점 설정 단계(S100)에 의해 측정부(300)는 모든 측정 대상물(S) 표면에 접촉하고 있으므로 상기 변형부재(320)는 일정 정도 변형되어 있는 상태이다. 이러한 상태에서 측정대상물(S)의 표면에 의해 추가적으로 변형되면 실제 발생하는 스트레인 게이지(SG)의 신호는 접촉하고 있는 측정 대상물(S)의 높이에 해당하는 신호에 원점 설정에 따른 변형에 의한 신호가 더해진다.
따라서, 상기 측정 대상물(S)의 표면에서 나오는 신호에 해당하는 변형량과 상기 원점에서 나오는 신호에 해당하는 변형량의 차이를 측정 대상물(S) 표면의 실제 높이로 산출한다.
이상 본 발명을 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.
그러므로 이상에서 기술한 실시예는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 하고, 상기 상세한 설명에서 기술된 본 발명의 범위는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
100 : 지지부 200 : 이송부
210 : 제1이송부 211 : 구동 액츄에이터
212 : 제1스크류 213 : 무빙 블록
214 : 제1가이드 바아 220 : 제2이송부
221 : 구동 액츄에이터 222 : 제2스크류
224 : 제2가이드 바아 230 : 제3이송부
231 : 구동 액츄에이터 232 : 작동 로드
300 : 측정부 310 : 지지 블록
320 : 변형부재 330 : 와이어
340 : 롤러 400 : 조절판

Claims (6)

  1. 수직 방향으로 배치되는 한 쌍의 지지부와, 측정 대상물에 접촉하여 상기 측정 대상물의 표면 프로파일을 측정하는 측정부와, 상기 측정부를 이송하는 이송부로 이루어지고,
    상기 측정부는 상기 이송부에 의해 이송되는 지지 블록과 상기 지지 블록에 구비되고 탄성 변형되는 변형부재와 상기 변형부재에 구비되는 스트레인 게이지로 이루어지는 스트레인 게이지를 이용한 표면 프로파일 측정 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 측정부는 상기 변형부재와 지지 블록 사이에 설치되는 와이어를 더 구비하고,
    상기 스트레인 게이지는 변형부재의 일 측면에 구비되고, 상기 와이어는 상기 변형부재의 반대측면에 구비되는 스트레인 게이지를 이용한 표면 프로파일 측정 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 변형부재의 하단부에 롤러가 회전 가능하게 구비되어 상기 측정 대상물(S)의 표면에 접하는 스트레인 게이지를 이용한 표면 프로파일 측정 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 이송부는 상기 지지 블록(310)을 좌우 방향으로 이송하는 제1이송부와 상기 지지 블록을 전후 방향으로 이송하는 제2이송부로 이루어지고,
    상기 제1이송부는 상기 지지부 사이에 전후 방향으로 이격되어 배치되는 한 쌍의 무빙 블록과, 상기 지지부 사이에 좌우 방향으로 연장되며 상기 무빙 블록을 각각 관통하는 한 쌍의 제1가이드 바아와, 상기 제1가이드 바아와 평행하게 배치되며 무빙 블록 중 하나를 관통하는 제1스크류와, 상기 지지부에 구비되어 상기 제1스크류를 회전하는 제1구동 액츄에이터로 이루어지며,
    상기 제2이송부는 상기 한 쌍의 무빙 블록 사이에 전후 방향으로 연장되며 상기 지지 블록을 관통하는 제2가이드 바아와 상기 제2가이드 바아와 평행하게 배치되며 상기 지지 블록을 관통하는 제2스크류와 상기 무빙 블록에 구비되며 상기 제2스크류를 회전하는 제2액츄에이터로 이루어지는 스트레인 게이지를 이용한 표면 프로파일 측정 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 지지부 사이에 상하로 이동 가능하게 구비되고 측정 대상물을 하측에서 지지하는 조절판과 상기 조절판 하부에 하향 이격되고 지지부가 양 측에 결합되는 베이스가 더 구비되고,
    상기 이송부는 상기 조절판과 베이스 사이에 구비되어 상기 조절판을 상하로 이송하는 제3이송부를 더 구비하며,
    상기 제3이송부는 상기 조절판과 나사 결합하는 제3스크류와, 상기 베이스에 구비되어 제3스크류를 회전하는 구동 액츄에이터로 이루어지는 스트레인 게이지를 이용한 표면 프로파일 측정 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 측정부와 이송부에 각각 연결되는 제어부와,
    상기 제어부에 연결되어 이송부를 작동하는 작동부와,
    상기 제어부에 연결되는 데이터 저장부를 더 구비하는 스트레인 게이지를 이용한 표면 프로파일 측정 장치.
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