KR20180033579A - Helium leak detector - Google Patents

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KR20180033579A
KR20180033579A KR1020187005772A KR20187005772A KR20180033579A KR 20180033579 A KR20180033579 A KR 20180033579A KR 1020187005772 A KR1020187005772 A KR 1020187005772A KR 20187005772 A KR20187005772 A KR 20187005772A KR 20180033579 A KR20180033579 A KR 20180033579A
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아키오 이가와
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시마쯔에미트 가부시키가이샤
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
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Abstract

[과제]
이론적인 백그라운드를 이용한 측정값의 보정을 할 수 있다.
[해결 수단]
헬륨 리크 디텍터는, 지그를 통해 시험체에 접속된다. 이 헬륨 리크 디텍터는, 지그가 노출된 헬륨 분압에 관한 정보, 및 지그가 헬륨에 노출된 시간에 관한 정보가 입력되는 입력란을 구비하는 인터페이스부와, 헬륨을 검출하는 헬륨 검출부와, 인터페이스부에서 입력되는 분압에 관한 정보, 인터페이스부에서 입력되는 시간에 관한 정보, 및 미리 입력된 지그의 기준 투과 포화량에 근거해, 헬륨 검출부가 검출한 검출 결과를 보정하는 보정부,를 구비한다.[assignment]
It is possible to correct the measured value using the theoretical background.
[Solution]
The helium leak detector is connected to the specimen through a jig. The helium leak detector includes an interface section having an input section for inputting information on the helium partial pressure exposed by the jig and information on the time when the jig is exposed to helium, a helium detection section for detecting helium, And a correcting unit for correcting the detection result detected by the helium detecting unit based on the information on the partial pressure to be inputted, the information about the time inputted in the interface unit, and the reference permeation saturation amount of the jig input in advance.

Description

헬륨 리크 디텍터 Helium leak detector

본 발명은, 헬륨 리크 디텍터에 관한 것이다.The present invention relates to a helium leak detector.

헬륨 리크 디텍터에 의한 검사를 실시하면, 검사에 사용되는 헬륨에 의해 백그라운드(background)가 상승하는 문제가 알려져 있다. 백그라운드의 상승에 대해서 아무런 대책을 실시하지 않는 경우는, 상승한 백그라운드를 리크로 오검출하여, 검사가 불가능하게 된다. 따라서, 측정값의 영점(zero point)을 상승한 백그라운드값으로 보정하는 대책이 실시된다. 특허문헌 1에는, 가스 누출 표시의 영점을 보정하는 조작 스위치를 구비하는 가스 리크 디텍터가 개시되어 있다.When the inspection is performed by the helium leak detector, there is known a problem that the background is raised by the helium used for the inspection. If no countermeasures are taken against the rise of the background, the ascended background is leaked and the inspection is disabled. Therefore, a countermeasure is taken to correct the zero point of the measurement value to the background value that has risen. Patent Document 1 discloses a gas leak detector including an operation switch for correcting a zero point of gas leakage display.

특허문헌 1: 일본 특개 2013-83573호 공보Patent Document 1: JP-A-2013-83573

특허문헌 1에 기재되어 있는 발명에서는, 이론적인 백그라운드를 이용한 측정값의 보정을 할 수 없다.In the invention described in Patent Document 1, the measurement value can not be corrected using the theoretical background.

(1) 본 발명의 바람직한 실시형태에 의한 헬륨 리크 디텍터는, 지그(jig)를 통해 시험체(specimen)에 접속된다. 이 헬륨 리크 디텍터(helium leak detector)에는, 지그가 노출된 헬륨 분압에 관한 정보, 및 지그가 헬륨에 노출된 시간에 관한 정보가 입력되는 입력란을 구비하는 인터페이스부와, 헬륨을 검출하는 헬륨 검출부와, 인터페이스부에서 입력되는 분압에 관한 정보, 인터페이스부에서 입력되는 시간에 관한 정보, 및 미리 입력된 지그의 기준 투과 포화량(reference permeation saturation amount)에 근거해, 헬륨 검출부가 검출한 검출 결과를 보정하는 보정부,를 구비한다.(1) A helium leak detector according to a preferred embodiment of the present invention is connected to a specimen through a jig. The helium leak detector includes an interface section having an input section for inputting information about the exposed helium partial pressure and information about the time when the jig is exposed to helium, A detection result detected by the helium detection unit is corrected based on information about the partial pressure inputted from the interface unit, information about time inputted from the interface unit, and a reference permeation saturation amount of the jig input in advance, And a correcting unit for correcting errors.

(2) 한층 더 바람직한 실시형태에서는, 헬륨 리크 디텍터의 인터페이스부에 입력되는 분압에 관한 정보란, 대기압에 있어서의 헬륨 농도이다.(2) In a still more preferred embodiment, the information on the partial pressure inputted to the interface portion of the helium leak detector is the helium concentration at the atmospheric pressure.

(3) 한층 더 바람직한 실시형태에서는, 헬륨 리크 디텍터의 인터페이스부에 입력되는 시간에 관한 정보란, 지그가 헬륨에 노출되는 시간에 근거해 결정된 지그의 기준 투과 포화량에 대한 누적 비율이다.(3) In a further preferred embodiment, the information on the time input to the interface portion of the helium leak detector is a cumulative ratio of the jig to the reference permeation saturation amount determined based on the time when the jig is exposed to helium.

(4) 한층 더 바람직한 실시형태에서는, 헬륨 리크 디텍터의 인터페이스부에 입력되는 시간에 관한 정보란, 지그가 헬륨에 노출된 시간이며, 헬륨 리크 디텍터는, 지그가 헬륨에 노출된 시간과 지그의 기준 투과 포화량에 대한 누적 비율의 대응관계를 나타내는 포화율 정보를 기억하는 기억부를 더 구비하고, 보정부는, 인터페이스부에 입력된 시간에 관한 정보와, 기억부에 기억된 포화율 정보에 근거해, 지그의 기준 투과 포화량에 대한 누적 비율을 산출한다.(4) In a still more preferred embodiment, the information about the time input to the interface of the helium leak detector is the time when the jig is exposed to helium. The helium leak detector calculates the time when the jig is exposed to helium, And a storage unit for storing saturation rate information indicating a correspondence relationship of cumulative ratios with respect to the saturation saturation amount, wherein the correcting unit corrects, based on the information about the time input to the interface unit and the saturation rate information stored in the storage unit, The cumulative ratio of the jig to the reference permeation saturation amount is calculated.

(5) 한층 더 바람직한 실시형태에서는, 헬륨 리크 디텍터의 인터페이스부는, 지그의 기준 투과 포화량이 입력되는 입력란을 더 구비한다.(5) In an even more preferred embodiment, the interface part of the helium leak detector further comprises a field for inputting the reference permeation saturation amount of the jig.

본 발명에 따르면, 이론적인 백그라운드를 이용한 측정값의 보정을 할 수 있다.According to the present invention, measurement values can be corrected using the theoretical background.

도 1은 헬륨 리크 디텍터(10)의 구성을 도시한 블록도이다.
도 2는 기체 처리부(19)의 구성 및 동작을 설명하는 도이다.
도 3(a)는, 헬륨 리크 디텍터(10)의 외관을 도시한 개략도, 도 3(b)는, 설정 화면을 도시한 도이다.
도 4는 리크 테스트를 실시하는 상황을 도시한 도이다.
도 5는 노출 시간(exposure time)과 헬륨 투과량의 관계의 일례를 도시한 도이다.
도 6은 노출 시간과 헬륨 투과량의 관계, 및 헬륨 투과량의 기준값을 얻기 위한 예비 시험의 순서를 도시한 플로차트이다.
도 7은 변형예 1에 있어서의 설정 화면을 도시한 도이다.
도 8은 본 발명을 적용하지 않는 경우에 있어서의, 진공 배기 시간의 경과에 대한 헬륨 농도의 변화를 도시한 도이다.
도 9는 제2 실시형태에 있어서의 헬륨 리크 디텍터(10a)의 구성을 도시한 블록도이다.
도 10은 제2 실시형태에 있어서의 설정 화면을 도시한 도이다.
도 11은 단면 형상마다의 포화율 특성(C)를 도시한 도이다.
도 12는 제2 실시형태의 변형예에 있어서의 설정 화면을 도시한 도이다.1 is a block diagram showing the configuration of a helium leak detector 10.
Fig. 2 is a view for explaining the configuration and operation of the gas processing unit 19. Fig.
3 (a) is a schematic view showing the appearance of the helium leak detector 10, and Fig. 3 (b) is a view showing a setting screen.
4 is a diagram showing a situation in which a leak test is performed.
5 is a view showing an example of the relationship between the exposure time and the helium transmission amount.
6 is a flowchart showing the relationship between the exposure time and the helium permeation amount and the sequence of the preliminary test for obtaining the reference value of the helium permeation amount.
7 is a diagram showing a setting screen in Modification 1;
Fig. 8 is a diagram showing a change in helium concentration with respect to the passage of time of vacuum evacuation when the present invention is not applied. Fig.
Fig. 9 is a block diagram showing the configuration of the helium leak detector 10a according to the second embodiment.
10 is a diagram showing a setting screen according to the second embodiment.
11 is a graph showing saturation rate characteristics (C) for each cross-sectional shape.
12 is a diagram showing a setting screen in a modified example of the second embodiment.

본 발명은, 백그라운드를 이론적으로 산출하고, 측정값으로부터 줄임으로써, 이른바 제로 리셋을 하지 않고 고정밀도 측정을 가능하게 하는 것이다. 이하, 실시형태에 근거해 상세하게 설명한다.In the present invention, the background is calculated theoretically and is reduced from the measured value, thereby enabling high-precision measurement without a so-called zero reset. Hereinafter, a detailed description will be given based on the embodiments.

(제1 실시형태)(First Embodiment)

이하, 도 1~도 6을 참조하여, 본 발명에 의한 헬륨 리크 디텍터의 제1 실시형태를 설명한다. 도 1은, 헬륨 리크 디텍터(10)의 구성을 도시한 블록도이다. 헬륨 리크 디텍터(10)는, 제어부(11)와, 오퍼레이터의 정보 입출력을 실시하는 인터페이스부(13)와, 기억부(14)와, 펌프나 밸브, 분석관(21)을 포함한 기체 처리부(19)를 구비한다.Hereinafter, a first embodiment of the helium leak detector according to the present invention will be described with reference to Figs. 1 to 6. Fig. 1 is a block diagram showing a configuration of a helium leak detector 10. The helium leak detector 10 includes a control section 11, an interface section 13 for inputting and outputting information of an operator, a storage section 14, a gas processing section 19 including a pump, a valve, Respectively.

제어부(11)는, CPU, ROM 및 RAM를 구비하고, ROM에 보존된 프로그램을 RAM에 전개해 실행함으로써 후술하는 처리를 실시한다. ROM에는, 후술하는 기준 투과 포화량(reference permeation saturation amount)(Qs)도 미리 기록된다. 이 ROM은, 특별한 조작에 의해 전기적으로 기록 내용의 소거 및 기입이 가능한 EEPROM(Electrically Erasable Programmable Read-Only Memory)이다. 제어부(11)는, 인터페이스부(13)와, 기억부(14)와 신호선으로 접속되며, 정보의 입출력이나 동작 지령을 송신한다. 기체 처리부(19) 중 몇 개의 구성요소와도 접속되지만, 자세한 것은 나중에 설명한다. 제어부(11)는, 후술하는 처리에 의해 측정 시의 백그라운드를 이론적으로 산출하고, 기체 처리부(19)의 분석관(21)이 검출한 리크량을 보정해 인터페이스부(13)에 출력한다.The control unit 11 includes a CPU, a ROM, and a RAM, and executes a program stored in the ROM in a RAM to execute processing to be described later. In the ROM, a reference permeation saturation amount (Qs) described later is also recorded in advance. This ROM is an EEPROM (Electrically Erasable Programmable Read-Only Memory) capable of electrically erasing and writing recorded contents by a special operation. The control unit 11 is connected to the interface unit 13 and the storage unit 14 through a signal line and transmits information input and output and an operation command. And is connected to several components of the gas processing unit 19, details of which will be described later. The control unit 11 calculates the background of the measurement theoretically by processing to be described later and corrects the leak amount detected by the analysis tube 21 of the gas processing unit 19 and outputs it to the interface unit 13. [

인터페이스부(13)는, 입력 버튼(13a) 및 표시 화면(13b)을 구비한다. 입력 버튼(13a)은, 복수의 버튼을 포함해, 오퍼레이터의 버튼 조작 입력에 의해 각종 커맨드가 제어부(11)에 입력된다. 표시 화면(13b)은, 예를 들면 액정 패널이며, 제어부(11)로부터 출력된 정보를 표시한다. 기억부(14)는, 예를 들면 플래시 메모리이다. 기억부(14)에는, 인터페이스부(13)를 경유하고, 오퍼레이터가 입력한 후술하는 노출 시간 포화율(RT), 및 압력 비율(RP)이 보존된다.The interface unit 13 includes an input button 13a and a display screen 13b. The input button 13a includes a plurality of buttons, and various commands are input to the control unit 11 by a button operation input of the operator. The display screen 13b is, for example, a liquid crystal panel, and displays information output from the control unit 11. [ The storage unit 14 is, for example, a flash memory. The storage section 14 stores the exposure time saturation rate RT and the pressure ratio RP which are input by the operator via the interface section 13.

(기체 처리부)(Gas processing unit)

도 2를 참조하여, 기체 처리부(19)의 구성 및 동작을 설명한다. 도 2는, 기체 처리부(19), 즉 헬륨 리크 디텍터(10)의 기체의 입구로부터 분석관(21)까지의 관로를 도시한 도이다. 기체 처리부(19)는, 분석관(21)과, 터보 분자 펌프(22)와, 드래그 펌프(drag pump)(23)와, 오일 로터리 펌프(oil rotary pump)(24)와, 관로 내의 진공도를 검출하는 진공계(PM1, PM2)를 구비한다. 진공계(PM1)나 PM2의 검출값에 근거해 각 펌프의 기동, 정지, 혹은 후술하는 밸브의 개폐가 제어된다. 기체 처리부(19)는, 배기 경로 및 헬륨 도입 경로인 헬륨 유통 통로를 개폐하는 액츄에이터 부착 통로 절환부(switching unit)인 밸브(FV, BV, TV, LV)와, 포트(EXP)를 구비한다.The configuration and operation of the gas processing unit 19 will be described with reference to Fig. 2 is a view showing a channel from the gas inlet of the gas treatment unit 19, i.e., the helium leak detector 10, to the analysis tube 21. Fig. The gas processing unit 19 includes an analyzing tube 21, a turbo molecular pump 22, a drag pump 23, an oil rotary pump 24, And vacuum gages PM1 and PM2. Based on the detection values of the vacuum system PM1 and PM2, the starting and stopping of each pump or the opening and closing of the valve to be described later is controlled. The gas processing unit 19 includes valves FV, BV, TV, and LV, which are switching units with an actuator for opening and closing the helium communication passage which is an exhaust path and a helium introduction path, and a port EXP.

제어부(11)는, 분석관(21)과, 터보 분자 펌프(22)와, 드래그 펌프(23)와, 오일 로터리 펌프(24)와, 진공계(PM1, PM2)와, 모든 밸브와 신호선에 접속되지만, 여기에서는 신호선을 생략한다. 분석관(21)은 터보 분자 펌프(22), 드래그 펌프(23), 밸브(FV)를 통해 오일 로터리 펌프(24)에 배관 접속된다. 접속 포트(EXP)에는 후술하는 지그(80)를 통해 시험체(90)가 접속된다.The control unit 11 is connected to the analysis tube 21, the turbo molecular pump 22, the drag pump 23, the oil rotary pump 24, the vacuum gages PM1 and PM2 and all the valves and signal lines , The signal line is omitted here. The analysis tube 21 is piped to the oil rotary pump 24 through the turbo molecular pump 22, the drag pump 23 and the valve FV. A test body 90 is connected to the connection port EXP through a jig 80 to be described later.

밸브(LV)는 벤트 밸브(vent valve)이며, 밸브(LV)를 해제하면 관로 내가 대기압이 되어, 포트(EXP)에 접속한 시험체를 교환할 수 있다. 밸브(TV)는, 터보 분자 펌프(22)의 배기구에 배관 접속된다. 밸브(FV)는, 드래그 펌프(23)와 오일 로터리 펌프(24) 사이에 설치된다. 밸브(BV)는, 접속 포트(EXP)와, 오일 로터리 펌프(24) 사이에 설치된다. 분석관(21)에 의한 헬륨의 검출은, 예를 들면 이하의 순서에 따라 실시된다. 오퍼레이터에 의해 후술하는 측정 개시 버튼이 눌리면, 제어부(11)는 이하의 제어를 실시한다.The valve LV is a vent valve. When the valve LV is released, the pipe becomes the atmospheric pressure, and the test body connected to the port EXP can be exchanged. The valve TV is connected to the exhaust port of the turbo molecular pump 22 by piping. The valve FV is installed between the drag pump 23 and the oil rotary pump 24. The valve BV is provided between the connection port EXP and the oil rotary pump 24. Detection of helium by the analysis tube 21 is carried out, for example, in the following order. When the measurement start button described later is pressed by the operator, the control unit 11 performs the following control.

우선, 밸브(FV)를 열어 그것 이외의 밸브는 모두 닫고, 터보 분자 펌프(22), 드래그 펌프(23), 및 오일 로터리 펌프(24)를 운전하여, 분석관(21)을 진공 배기한다. 헬륨 리크 디텍터(10)의 포트(EXP) 관로 내의 러프 진공(roughing vacuum)을 하기 위해서, 밸브(FV)를 닫고 나서, 밸브(BV)를 열고, 오일 로터리 펌프(24)에 의해 진공 배기한다. 진공계(PM1)가 검출한 진공도가 소정의 진공도 이하가 되면, 그로스 테스트(gross test)를 실시하는 구성으로 하기 위해서 밸브(FV)를 연다. 진공계(PM1)가 검출한 진공도가 또 다른 소정의 진공도 이하가 되면, 파인 테스트(fine test)를 실시하는 구성으로 위해서 밸브(TV)를 열고 밸브(BV)를 닫아, 분석관(21)에 의한 헬륨의 검출이 개시된다.First, the valve FV is opened to close all other valves, and the turbo molecular pump 22, the drag pump 23, and the oil rotary pump 24 are operated to evacuate the analysis tube 21 by vacuum. After the valve FV is closed, the valve BV is opened and vacuum exhausted by the oil rotary pump 24 in order to perform a roughing vacuum in the port EXP of the helium leak detector 10. When the degree of vacuum detected by the vacuum system PM1 becomes equal to or lower than a predetermined degree of vacuum, the valve FV is opened to perform a gross test. The valve TV is opened and the valve BV is closed so as to perform a fine test when the degree of vacuum detected by the vacuum system PM1 becomes equal to or less than the predetermined degree of vacuum, Is started.

(인터페이스)(interface)

도 3을 참조하여 인터페이스부(13)의 구성을 설명한다. 도 3(a)는, 헬륨 리크 디텍터(10)의 외관을 도시한 개략도, 도 3(b)는, 설정 화면을 도시한 도이다. 도 3(a)에 도시한 바와 같이, 헬륨 리크 디텍터(10)의 정면에는, 입력 버튼(13a) 및 표시 화면(13b)이 설치된다. 입력 버튼(13a)은, 예를 들면, 조건 설정 버튼, 0~9까지의 숫자 버튼, 확정 버튼, 계측 개시 버튼, 정지 버튼 등을 포함한다.The configuration of the interface unit 13 will be described with reference to Fig. 3 (a) is a schematic view showing the appearance of the helium leak detector 10, and Fig. 3 (b) is a view showing a setting screen. As shown in Fig. 3 (a), the input button 13a and the display screen 13b are provided on the front surface of the helium leak detector 10. The input button 13a includes, for example, a condition setting button, numeric buttons 0 to 9, a determination button, a measurement start button, a stop button, and the like.

표시 화면(13b)에는, 제어부(11)가 헬륨 리크 디텍터(10)의 상황에 따라 출력하는 정보가 출력된다. 예를 들면, 도 3(a)는, 오퍼레이터에 의해 계측 개시 버튼이 눌려 계측이 개시되는 상태(계측 상태)에 있어서의 표시예를 나타낸다. 계측 상태에서는, 기체 처리부(19)의 분석관(21)이 헬륨 농도를 검출하고, 그 검출 결과가 제어부(11)에 출력된다. 제어부(11)는, 수신한 검출 결과로부터 헬륨 농도를 계산하고, 그 정보를 표시 화면(13b)에 보낸다. 이것에 의해 표시 화면(13b)에 헬륨 농도가 표시된다. 본 발명에 의한 리크 디텍터(10)에서는, 표시되는 헬륨 농도가 이하에 설명하는 바와 같이 이론값으로 보정되므로, 고정밀도 검사를 실시할 수 있다.On the display screen 13b, information that the control unit 11 outputs in accordance with the status of the helium leak detector 10 is output. For example, Fig. 3 (a) shows a display example in a state (measurement state) in which the measurement start button is pressed by the operator to start measurement. In the measurement state, the analysis tube 21 of the gas processing unit 19 detects the helium concentration, and the detection result is output to the control unit 11. [ The control unit 11 calculates the helium concentration from the received detection result, and sends the information to the display screen 13b. As a result, the helium concentration is displayed on the display screen 13b. In the leak detector 10 according to the present invention, since the displayed helium concentration is corrected to the theoretical value as described below, high-precision inspection can be performed.

오퍼레이터에 의해 조건 설정 버튼이 눌리면, 제어부(11)는 표시 화면(13b)에 설정 화면을 표시시킨다. 설정 화면이란, 예를 들면 도 3(b)에 도시한 것으로, 노출 시간 포화율(exposure time saturation ratio)(RT)을 입력하는 입력란과, 압력 비율(pressure ratio)(RP)을 입력하는 입력란을 구비한다. 이러한 입력값에 대해서는 다음에 상술한다. 오퍼레이터는, 표시 화면(13b)을 보면서 입력 버튼(13a)을 조작하여, 각각의 입력란에의 수치 입력이나 결정을 실시한다. 제어부(11)는, 오퍼레이터가 노출 시간 포화율(RT) 및 압력 비율(RP)을 입력하면, 그것들을 기억부(14)에 기억시킨다.When the condition setting button is pressed by the operator, the control unit 11 causes the setting screen to be displayed on the display screen 13b. The setting screen is, for example, shown in FIG. 3B. The setting screen includes a field for inputting an exposure time saturation ratio (RT), a field for inputting a pressure ratio (RP) Respectively. Such input values will be described in detail later. The operator operates the input button 13a while viewing the display screen 13b to input or determine the numerical values in the respective input boxes. The control unit 11 stores the exposure time saturation rate RT and the pressure ratio RP in the storage unit 14 when the operator inputs them.

(상정 사용 상황(assumed usage situation))(Assumed usage situation)

본 발명에 따른 헬륨 리크 디텍터(10)가 사용되는 상황을 설명한다. 본 실시형태에서는, 헬륨 리크 디텍터(10)가 검사 라인에 설치되어, 동일 형상의 시험체를 차례로 검사하는 상황을 상정한다. 헬륨 리크 디텍터(10)를 이용한 시험체의 검사 방법은 여러 가지 있지만, 여기에서는, 진공 분사법(vacuum blowing method)을 이용한다. 도 4는, 헬륨 리크 디텍터(10)를 이용한 리크 테스트가 실시되는 상황을 도시한 도이다. 다만, 헬륨 리크 디텍터(10)의 구성은 생략하여 기재한다. 도 4에서는, 시험체(90)가 지그(80)를 통해 접속 포트(EXP)에 접속된다. 또한, 헬륨 실린더(helium cylinder)(60)로부터 시험체(90)를 향해 헬륨이 분사된다.The situation in which the helium leak detector 10 according to the present invention is used will be described. In the present embodiment, it is assumed that the helium leak detector 10 is provided on the inspection line and the specimens of the same shape are inspected in order. There are various inspection methods of the test specimen using the helium leak detector 10, but here, a vacuum blowing method is used. 4 is a diagram showing a situation where a leak test using the helium leak detector 10 is performed. However, the structure of the helium leak detector 10 is omitted. In Fig. 4, the test body 90 is connected to the connection port EXP via the jig 80. Fig. In addition, helium is injected from the helium cylinder (60) toward the test body (90).

지그(80)는, 지그본체(81), 지그본체(81)와 시험체(specimen)(90) 사이에 개재되는 밀봉재(sealing material)(82), 및 시험체(90)를 지그본체(81)에 누르는 도시하지 않은 클램프 기구로 구성된다. 시험체(90)는, 도시하지 않은 클램프 기구에 의해서 지그본체(81)에 눌려 밀봉재(82)에 밀착하고, 그 내부 공간이 바깥 공기로부터 봉지된다. 헬륨 실린더(60)에는, 농도 100%의 고압의 헬륨 가스가 격납된다. 헬륨 실린더(60)의 선단에는, 압력 조정기 부착 스프레이 건(61)이 설치된다. 압력 조정기 부착 스프레이 건(61)의 분사 압력은, 대기압보다 약간 높은 압력, 예를 들면 절대압으로 274㎪로 설정된다. 다만, 분사 압력은 임의로 설정 가능하다.The jig 80 includes a sealing material 82 interposed between the jig main body 81 and the jig main body 81 and a specimen 90 and a sealing material 82 interposed between the jig main body 81 and the specimen 90, And a clamping mechanism which is not shown. The test body 90 is pressed against the jig main body 81 by a clamping mechanism (not shown) to closely contact the sealing material 82, and the inner space thereof is sealed from the outside air. A high-pressure helium gas having a concentration of 100% is stored in the helium cylinder (60). At the front end of the helium cylinder (60), a spray gun (61) with a pressure regulator is provided. The injection pressure of the spray gun 61 with the pressure regulator is set to 274 kPa at a pressure slightly higher than the atmospheric pressure, for example, absolute pressure. However, the injection pressure can be set arbitrarily.

오퍼레이터는, 도시하지 않은 클램프를 이용해 시험체(90)를 지그(80)에 접속하고, 헬륨 리크 디텍터(10)를 동작시킨 상태로 스프레이 건(61)의 선단으로부터 시험체(90)에 헬륨을 분사하여 검사를 실시한다. 검사가 완료하면, 오퍼레이터는 시험체(90)를 지그(80)로부터 떼어내고, 다음 시험체(90)를 지그(80)에 접속하여, 검사를 반복한다. 이 때, 지그(80)는 교환하지 않고 동일한 것을 계속 사용한다.The operator connects the test body 90 to the jig 80 by using a clamp not shown and helium is sprayed from the tip of the spray gun 61 to the test body 90 in a state in which the helium leak detector 10 is operated Conduct inspection. When the inspection is completed, the operator removes the test object 90 from the jig 80, connects the next test object 90 to the jig 80, and repeats the inspection. At this time, the jig 80 continues to use the same one without replacing it.

(헬륨의 투과)(Transmission of helium)

시험체(90)의 검사에서는, 시험체(90)를 지그(80)에 접속하고, 터보 분자 펌프(22) 등에서 시험체(90)의 내부를 진공 배기하면서 시험체(90)에 헬륨 가스를 분사, 분석관(21)에 의해 헬륨의 검출량을 측정하고, 이 검출값에 근거해 헬륨의 리크량을 산출하여 시험체(90) 크랙의 유무 등을 판단한다. 이 때 지그(80)의 밀봉재(82)에 주목하면, 밀봉재(82)의 내주측은 진공 배기되는 공간에 접하고, 외주측은 헬륨 가스가 분사된다. 1개의 시험체(90)의 리크 테스트에 필요로 하는 시간은 짧지만, 헬륨 리크 디텍터(10)는 다수의 시험체를 검사하므로, 지그(80)는 누적하면 장시간에 걸쳐서 헬륨에 노출된다. 장시간의 헬륨 환경에서의 노출에 의해, 헬륨이 외주측으로부터 밀봉재(82)에 투과하여, 밀봉재(82)에 헬륨이 축적된다. 따라서, 밀봉재(82)를 투과하여 시험체(90)의 내측에 투과하는 헬륨을 무시할 수 없게 된다. 또한, 밀봉재(82)는, 주위 환경이 일정하면, 밀봉재(82)의 헬륨 축적량은 포화한다.In the inspection of the test body 90, the test body 90 is connected to the jig 80, helium gas is injected into the test body 90 while evacuating the inside of the test body 90 by the turbo molecular pump 22 or the like, 21, and the amount of leaking of helium is calculated on the basis of the detected value to determine whether or not the specimen 90 has cracked. At this time, paying attention to the sealing material 82 of the jig 80, the inner circumferential side of the sealing material 82 is in contact with the space to be vacuum evacuated, and the helium gas is injected on the outer circumferential side. Although the time required for the leak test of one test piece 90 is short, since the helium leak detector 10 inspects a large number of test pieces, the jig 80 is exposed to helium over a long period of time. By the exposure in the helium environment for a long time, helium permeates the sealing material 82 from the outer circumferential side, and helium is accumulated in the sealing material 82. Therefore, the helium permeating the sealing material 82 and permeating the inside of the test body 90 can not be ignored. Further, when the surrounding environment is constant, the amount of helium accumulation in the sealing material 82 becomes saturated.

밀봉재(82)를 투과 하는 헬륨 투과량은, 밀봉재(82)가 헬륨에 노출되는 시간(이하, 「노출 시간(暴露時間)」이라고 부른다) 및 노출되는 헬륨 분압의 영향을 받는다. 헬륨 분압의 절대압과 헬륨 투과량은 비례 관계에 있다. 노출 시간과 헬륨 투과량의 관계는, 나중에 설명하는 대로이다. 다만 노출 시간이란, 상술한 분압의 헬륨을 분사하는 누계 시간이다.The amount of helium permeated through the sealing material 82 is affected by the time for which the sealing material 82 is exposed to helium (hereinafter referred to as " exposure time (exposure time) ") and the exposed helium partial pressure. The absolute pressure of the helium partial pressure is proportional to the helium permeability. The relationship between the exposure time and the helium permeation amount is as described later. The exposure time is a cumulative time for injecting helium of the above-described partial pressure.

(포화율(saturation ratio) 특성)(Saturation ratio characteristic)

도 5는, 노출 시간과 헬륨 투과량의 관계의 일례를 도시한 도이다. 도 5의 가로축은 노출 시간을, 세로축은 헬륨 투과량의 기준값인 기준 투과 포화량(Qs)에 대한 비율(이하, 「노출 시간 포화율(exposure time saturation ratio)(RT)」이라고 부른다)을 도시한다. 이하에서는, 노출 시간에 대한 노출 시간 포화율(RT)의 관계를, 「포화율 특성(C)」이라고 부른다. 이 포화율 특성(C)과 기준 투과 포화량(Qs)은, 예비 시험에 의해 얻을 수 있는 것이다. 노출 시간 포화율(RT)은, 노출 시간이 제로이면 0%이며, 시간의 경과와 함께 증가하여 어느 일정 시간 이상이 경과하면 포화해 100% 일정하게 된다. 도 5에 도시한 예에서는, 노출 시간과 노출 시간 포화율(RT)의 관계는 이하대로이다. 즉, 10분에 10%, 30분에 50%에 이르며, 60분에 100%에 포화한다.5 is a diagram showing an example of the relationship between the exposure time and the helium transmission amount. 5, the horizontal axis represents the exposure time, and the vertical axis represents the ratio (hereinafter referred to as " exposure time saturation ratio (RT) ") to the reference permeation saturation amount Qs which is the reference value of the helium transmission amount . Hereinafter, the relationship of the exposure time saturation rate (RT) to the exposure time is referred to as " saturation rate characteristic (C) ". The saturation rate characteristic (C) and the reference permeation saturation amount (Qs) can be obtained by a preliminary test. The exposure time saturation rate (RT) is 0% if the exposure time is zero, and increases with the passage of time. When the exposure time exceeds a predetermined time, it becomes saturated and becomes 100% constant. In the example shown in Fig. 5, the relationship between the exposure time and the exposure time saturation rate (RT) is as follows. That is, it reaches 10% at 10 minutes and 50% at 30 minutes and saturates to 100% at 60 minutes.

또한, 밀봉재(82)가 헬륨에 노출되지 않은 상태에서는, 밀봉재(82)의 내부에 축적한 헬륨의 양은 시간의 경과와 함께 감소하지만, 그 변화는 매우 완만하다. 거기서 본 실시형태에서는, 밀봉재(82)에 축적된 헬륨은 감소하지 않는 것으로 취급한다.Further, in a state in which the sealing material 82 is not exposed to helium, the amount of helium accumulated in the sealing material 82 decreases with the lapse of time, but the change is very gentle. Therefore, in the present embodiment, helium accumulated in the sealing material 82 is treated as not decreasing.

(예비 시험의 순서)(Order of preliminary test)

도 5에 예시한 포화율 특성(C), 및 기준 투과 포화량(Qs)은, 예를 들면 이하에 나타낸 순서에 의해 예비 시험을 실시함으로써 얻을 수 있다. 도 6은, 노출 시간과 헬륨 투과량의 관계, 및 헬륨 투과량의 기준값을 얻기 위한 예비 시험의 순서를 나타내는 플로차트의 일례이다. 이하에 나타내는 각 스텝의 실행 주체는, 시험 설비의 관리자(이하, 「관리자」)이다.The saturation rate characteristic (C) and the reference permeation saturation amount (Qs) shown in Fig. 5 can be obtained by conducting a preliminary test, for example, in the following procedure. Fig. 6 is an example of a flowchart showing the relationship between the exposure time and the helium permeation amount and the sequence of the preliminary test for obtaining the reference value of the helium permeation amount. The execution subject of each step shown below is the manager of the test facility (hereinafter referred to as " manager ").

스텝(S301)에 있어서, 관리자는, 시험체(90)를 지그(80)에 접속해 스텝(S302)으로 나아간다. 또한, 여기서 이용하는 지그(80)는, 검사에 이용하는 지그(80)와, 소재, 형상, 및 치수를 동일하게 한다. 스텝(S302)에 있어서, 관리자는, 터보 분자 펌프(22) 등에서 시험체(90)의 내부를 진공 배기하면서, 기준으로 하는 헬륨 분압에서 헬륨을 시험체(90)에 5분간 분사한다. 이어서 스텝(S303)으로 나아간다. 다만, 1회의 분사 시간은 5분간으로 한정되지 않고, 지그(80)의 특성에 맞추어 적절하게 변경할 수도 있다.In step S301, the manager connects the test body 90 to the jig 80 and proceeds to step S302. The jig 80 used herein has the same material, shape, and dimensions as the jig 80 used for inspection. In step S302, the manager injects helium to the test body 90 for 5 minutes at a reference helium partial pressure while evacuating the inside of the test body 90 in the turbo molecular pump 22 or the like. Subsequently, the flow advances to step S303. However, the injection time per one injection is not limited to 5 minutes, and may be appropriately changed in accordance with the characteristics of the jig 80. [

스텝(S303)에 있어서, 관리자는, 헬륨의 시험체(90)로의 분사를 정지한 상태에 있어서, 분석관(21)이 검출하는 헬륨 리크량, 즉 투과량을 노출 시간과 함께 기록한다. 예를 들면, 스텝(S302)을 3회 실행한 후에 실행되는 스텝(S303)에서는, 노출 시간은 5분간×3=15분간이 된다. 스텝(S304)에 있어서, 관리자는, 이전 스텝(S303)에서 기록한 투과량과, 이번 스텝(S303)에서 기록한 투과량을 비교하여, 투과량이 증가했는지를 판단한다. 증가했다고 판단하는 경우는, 투과량이 포화하고 있지 않기 때문에 예비 시험을 계속하기 위해서 스텝(S302)으로 돌아오고, 증가하고 있지 않다고 판단하는 경우는 예비 시험을 종료하기 위해서 스텝(S305)으로 나아간다. 다만, 스텝(S304)이 첫 회에 실행되는 경우는 이 판단을 실시하지 않고 스텝(S302)으로 돌아온다.In step S303, the manager records the amount of helium leak, i.e., the amount of permeation, detected by the analysis tube 21 together with the exposure time, in a state in which the injection of helium into the test body 90 is stopped. For example, in step S303 executed after three times of execution of step S302, the exposure time is 5 minutes x 3 = 15 minutes. In step S304, the manager compares the transmission amount recorded in the previous step S303 with the transmission amount recorded in this step S303, and determines whether the transmission amount has increased. If it is determined that the preliminary test has not been saturated, the flow returns to step S302 to continue the preliminary test. If it is determined that the preliminary test is not increased, the flow advances to step S305 to end the preliminary test. However, if step S304 is executed for the first time, this determination is not made and the process returns to step S302.

스텝(S305)에 있어서, 관리자는, 직전에 스텝(S303)에서 기록한 투과량, 즉 헬륨 리크량을 기준 투과 포화량(Qs)으로서 제어부(11)의 ROM에 기록하고, 스텝(S306)으로 나아간다. 스텝(S306)에 있어서, 스텝(S303)에서 반복 기록한 투과량을, 기준 투과 포화량(Qs)을 100%로 한 100분율로 변환하여, 노출 시간에 대한 노출 시간 포화율(RT)의 관계를 나타내는 특성인 포화율 특성(C)을 작성한다. 이상에 의해 예비 시험을 종료한다. 또한, 관리자가 작성한 포화율 특성(C)은, 도 5에 도시한 바와 같이 그래프로서 나타낼 수도 있고, 룩업 테이블로서 나타낼 수도 있고, 함수로서 나타낼 수도 있다. 작성한 포화율 특성(C)은, 관리자로부터 오퍼레이터에게 건네져, 오퍼레이터가 노출 시간 포화율(RT)을 입력할 때에 참조된다. 더욱이, 이 포화율 특성(C)의 작성에 사용한 헬륨 분압의 정보도 아울러 오퍼레이터에게 건네진다. 또한, 포화율 특성(C)이나 헬륨 분압의 정보는 기록 매체에 보존해 전하거나, 메모로서 전할 수도 있다.In step S305, the manager records the amount of permeation recorded in step S303, that is, the amount of helium leak, as the reference permeation saturation amount Qs in the ROM of the control section 11, and advances to step S306 . In step S306, the amount of permeation repeatedly recorded in step S303 is converted into 100 parts by 100% by taking the standard permeation saturation amount Qs as 100%, and the relationship of the exposure time saturation ratio (RT) to the exposure time is shown And a saturation rate characteristic (C) as a characteristic is created. This completes the preliminary test. The saturation rate characteristic C created by the manager can be represented as a graph as shown in Fig. 5, as a look-up table, or as a function. The created saturation rate characteristic C is referred to when the operator inputs an exposure time saturation rate (RT), which is passed from the manager to the operator. Further, the information of the helium partial pressure used for preparing the saturation rate characteristic C is also handed to the operator. Further, the information on the saturation rate characteristic C and the helium partial pressure may be stored in a recording medium or transmitted as a memo.

(본 시험에 있어서의 백그라운드의 산출)(Calculation of the background in this test)

제어부(11)는, 본 시험, 즉 검사에 있어서, 이하와 같이 이론적으로 백그라운드를 산출하여, 기체 처리부(19)의 분석관(21)이 검출한 리크량을 보정해 인터페이스부(13)에 출력한다. 제어부(11)는, 백그라운드(background)를, 기준 투과 포화량(Qs)과, 노출 시간 포화율(RT)과, 압력 비율(RP)의 곱으로서 산출한다. 기준 투과 포화량(Qs)은, 상술한 바와 같이 미리 예비 시험에 의해 구한 값이며, 기억부(14)에 보존되는 값이다. 노출 시간 포화율(RT) 및 압력 비율(RP)은, 오퍼레이터에 의해 인터페이스부(13)로부터 이하와 같이 입력되어, 기억부(14)에 기록된다.The control unit 11 calculates the background theoretically as described below in this test, that is, the inspection, corrects the leak amount detected by the analysis tube 21 of the gas processing unit 19, and outputs it to the interface unit 13 . The control unit 11 calculates the background as a product of the reference permeation saturation amount Qs, the exposure time saturation rate RT and the pressure ratio RP. The reference permeation saturation Qs is a value obtained by a preliminary test in advance as described above and is a value stored in the storage unit 14. [ The exposure time saturation rate RT and the pressure ratio RP are input by the operator from the interface section 13 as follows and recorded in the storage section 14.

오퍼레이터는, 관리자로부터 수령한 포화율 특성(C)을 이용하여, 지그(80)가 지금까지 사용된 누적 시간으로부터 노출 시간 포화율(RT)(0%~100%)을 판독하여, 이것을 입력한다. 다만, 포화율 특성(C)의 작성 시의 헬륨 분압과, 지금까지 지그(80)가 노출된 헬륨 분압이 다른 경우는, 분압의 비율에 의해 노출 시간을 환산한다. 예를 들면, 지금까지 지그(80)가 분압 800㎪의 헬륨에 30분 노출되고, 포화율 특성(C)의 작성 시의 헬륨 분압이 400㎪인 경우에는, 2배의 60분 노출되었다고 해서 노출 시간 포화율(RT)을 판독한다. 예를 들면, 도 5에 도시한 예에서는 60분에 대응하는 「100%」가, 노출 시간 포화율(RT)로서 판독된다.The operator reads the exposure time saturation rate (RT) (0% to 100%) from the cumulative time of use of the jig 80 so far and inputs this by using the saturation rate characteristic C received from the manager . However, when the helium partial pressure at the time of forming the saturation rate characteristic C is different from the helium partial pressure at which the jig 80 has been exposed so far, the exposure time is converted by the ratio of the partial pressures. For example, if the jig 80 is exposed to helium at a partial pressure of 800 psi for 30 minutes and the partial pressure of helium at the time of forming the saturation rate characteristic C is 400 psi, The time saturation rate (RT) is read. For example, in the example shown in Fig. 5, "100%" corresponding to 60 minutes is read as the exposure time saturation rate (RT).

오퍼레이터는, 관리자로부터 수령한, 포화율 특성(C)의 작성에 사용한 헬륨 분압과, 지금부터 실시하는 검사에서 사용하는 헬륨 분압의 비율을 입력한다. 예를 들면, 포화율 특성(C)의 작성에 사용한 헬륨 분압이 400㎪, 지금부터 실시하는 검사에서 사용하는 헬륨 분압이 800㎪인 경우는, 분압이 2배가 되므로 「200%」를 입력한다. 즉, 기준 투과 포화량(Qs)이 1.0×10-10Pa·m3/s인 경우는, 그 100%의 200%이므로, 백그라운드는 2.0×10-10Pa·m3/s로 산출된다. 이 경우, 제어부(11)는, 분석관(21)에 의해 검출된 리크량으로부터 백그라운드인 2.0×10-10Pa·m3/s를 줄이고, 이 값을 헬륨 리크량으로서 표시 화면(13b)에 출력한다.The operator inputs the ratio of the partial pressure of helium used for creating the saturation rate characteristic (C) and the partial pressure of helium used in the inspection to be carried out, received from the manager. For example, when the partial pressure of helium used in the preparation of the saturation rate characteristic C is 400 kPa and the partial pressure of helium used in the tests to be carried out is 800 kPa, the partial pressure is doubled, so " 200% " That is, when the reference permeation saturation Qs is 1.0 × 10 -10 Pa · m 3 / s, the background is calculated as 2.0 × 10 -10 Pa · m 3 / s since it is 200% of 100% of the reference permeation saturation Qs. In this case, the control unit 11 reduces the background amount of 2.0 × 10 -10 Pa · m 3 / s from the amount of leakage detected by the analysis tube 21 and outputs this value as the helium leak amount on the display screen 13b do.

상술한 제1 실시형태에 따르면, 다음의 작용 효과를 얻을 수 있다.According to the first embodiment described above, the following operational effects can be obtained.

(1) 헬륨 리크 디텍터(10)는, 지그(80)를 통해 시험체(90)에 접속된다. 헬륨 리크 디텍터(10)는, 지그(80)가 노출된 헬륨 분압에 관한 정보, 즉 압력 비율(RP), 및 지그(80)가 헬륨에 노출된 시간에 관한 정보, 즉 노출 시간 포화율(RT)이 입력되는 입력란을 구비하는 인터페이스부(13)와, 헬륨을 검출하는 헬륨 검출부, 즉 분석관(21)과, 인터페이스부(13)로부터 입력되는 분압에 관한 정보, 인터페이스부(13)로부터 입력되는 시간에 관한 정보, 및 미리 입력된 지그(80)의 기준 투과 포화량(Qs)에 근거해, 헬륨 검출부가 검출한 검출 결과를 보정하는 보정부, 즉 제어부(11)를 구비한다. 따라서, 기준 투과 포화량(Qs), 노출 시간 포화율(RT), 및 압력 비율(RP)로부터 산출되는 이론적인 백그라운드를 이용하여, 분석관(21)이 검출하는 측정값을 보정할 수 있다. 또한, 오퍼레이터는 정해진 순서에 따라 압력 비율(RP) 및 노출 시간 포화율(RT)을 입력하기 하면, 백그라운드의 적정성을 스스로 판단할 필요가 없다.(1) The helium leak detector 10 is connected to the test body 90 through the jig 80. The helium leak detector 10 detects information about the helium partial pressure at which the jig 80 is exposed, that is, the pressure ratio RP, and information about the time when the jig 80 is exposed to helium, that is, the exposure time saturation rate RT A helium detection section for detecting helium, that is, an analyzer 21, and information about the partial pressures inputted from the interface section 13 and the information about the partial pressures inputted from the interface section 13 And a control unit 11 for correcting the detection result detected by the helium detecting unit based on the information about the time and the reference permeation saturation Qs of the jig 80 inputted in advance. Therefore, the measured value detected by the analyzer 21 can be corrected using the theoretical background calculated from the reference permeation saturation Qs, the exposure time saturation rate RT, and the pressure ratio RP. Further, if the operator inputs the pressure ratio RP and the exposure time saturation rate RT in a predetermined order, it is not necessary to judge the adequacy of the background by himself.

종래부터, 측정값의 영점을 보정하는 것은 알려져 있다. 예를 들면, 시험 시 백그라운드값으로 영점을 보정하는, 이른바 제로 리셋 기능을 구비하는 헬륨 리크 디텍터가 알려져 있지만, 이 제로 리셋 기능으로는 이하의 문제가 생길 수 있다. 즉, 헬륨의 사용에 의해 검사 분위기의 헬륨 농도가 증가한 상태나, 밀봉재가 이물질을 넣은 채로 시험체가 지그에 접속된 상태에서 제로 리셋 기능을 사용하면, 측정값의 영점이 높은 레벨로 설정되어 측정 정밀도가 저하된다. 이어, 검사에 있어서 시험체에 작은 크랙 등이 있어도 리크를 검출할 수 없다. 그러나, 본 실시형태에 따른 헬륨 리크 디텍터(10)는, 이론적인 백그라운드를 산출하므로, 이른바 제로 리셋에 의한 상기와 같은 문제가 생기지 않고, 높은 측정 정밀도를 유지할 수 있다.Conventionally, it is known to correct the zero point of a measured value. For example, a helium leak detector having a so-called zero reset function for correcting a zero point as a background value at the time of testing is known, but the following problems may occur with this zero reset function. That is, when the zero reset function is used in a state in which the helium concentration in the test atmosphere is increased by the use of helium or in a state where the test object is connected to the jig while the sealing material is kept in a foreign substance, the zero point of the measured value is set to a high level, . Next, leakage can not be detected even if there is a small crack or the like in the test body in the inspection. However, since the helium leak detector 10 according to the present embodiment calculates the theoretical background, the above-mentioned problems due to the so-called zero reset do not occur and high measurement accuracy can be maintained.

더욱이, 헬륨 리크 디텍터(10)에는 기준 투과 포화량(Qs)이 미리 입력되어 있기 때문에, 오퍼레이터에 의한 기준 투과 포화량(Qs)의 입력을 생략할 수 있다. 또한 오퍼레이터는, 노출 시간 포화율(RT)이나 압력 비율(RP)과 달리, 기준 투과 포화량(Qs)을 인터페이스부(13)에서 입력할 필요가 없다. 환언하면, 본 실시형태의 헬륨 리크 디텍터(10)에서는, 오퍼레이터는 기준 투과 포화량(Qs)을 입력으로 할 수 없다. 따라서, 오퍼레이터가 잘못 기준 투과 포화량(Qs)을 입력하여, 부적절한 백그라운드가 산출되어, 측정 정도가 저하되는 것을 미연에 방지할 수 있다.Furthermore, since the reference permeation saturation Qs is previously inputted to the helium leak detector 10, the operator can omit the input of the reference permeation saturation Qs. The operator does not need to input the reference permeation saturation Qs at the interface unit 13, unlike the exposure time saturation rate RT or the pressure ratio RP. In other words, in the helium leak detector 10 of the present embodiment, the operator can not input the reference permeation saturation Qs. Therefore, it is possible to prevent the operator from incorrectly inputting the reference transmission saturation amount Qs and calculating an inappropriate background, thereby reducing the measurement accuracy in advance.

(2) 인터페이스부(13)에 입력되는 시간에 관한 정보, 즉 노출 시간 포화율(RT)이란, 지그(80)가 헬륨에 노출되는 시간에 근거해 결정되는, 지그의 기준 투과 포화량(Qs)에 대한 누적 비율이다. 즉, 오퍼레이터가 포화율 특성(C)을 참조하여, 지그(80)가 헬륨에 노출된 누적 시간에 대응하는 노출 시간 포화율(RT)을 판독하고, 이것을 인터페이스부(13)에서 입력한다. 따라서, 헬륨 리크 디텍터(10)는 포화율 특성(C)을 기억할 필요가 없고, 간소한 구성으로 할 수 있다. 또한, 밀봉재(82)의 변경에 의해 포화율 특성(C)이 변화한 경우에도, 오퍼레이터가 가지고 있는 포화율 특성(C)을 교환, 또는 대체하여 읽기만 하면 되고, 헬륨 리크 디텍터(10)의 구성을 변경할 필요가 없다.(2) The information on the time input to the interface unit 13, that is, the exposure time saturation rate (RT) is a value obtained by subtracting the reference permeation saturation amount Qs (Qs) of the jig, which is determined based on the time when the jig 80 is exposed to helium ). That is, the operator refers to the saturation rate characteristic C, reads the exposure time saturation rate RT corresponding to the cumulative time at which the jig 80 is exposed to helium, and inputs it at the interface section 13. Therefore, the helium leak detector 10 does not need to store the saturation rate characteristic C, and can have a simple structure. Even when the saturation rate characteristic C changes due to the change of the sealing material 82, the saturation rate characteristic C possessed by the operator can be exchanged or replaced only by reading, and the configuration of the helium leak detector 10 There is no need to change.

(변형예 1)(Modified Example 1)

상술한 제1 실시형태에서는, 기준 투과 포화량(Qs)이 미리 제어부(11)의 ROM에 보존되었지만, 기준 투과 포화량(Qs)이 인터페이스부(13)로부터 입력 가능하게 구성될 수도 있다. 이 경우는, 기준 투과 포화량(Qs)은 제어부(11)의 ROM이 아닌 기억부(14)에 기준 투과 포화량(Qs)이나 노출 시간 포화율(RT)과 함께 보존된다. 그리고 제어부(11)는, 입력 버튼(13a)을 구성하는 조건 설정 버튼이 눌리면, 도 7에 도시한 화면을 표시 화면(13b)에 표시시킨다. 도 7은, 변형예 1에 있어서의 설정 화면을 도시한 도이다. 제1 실시형태에 있어서의 설정 화면의 표시 내용뿐만 아니라, 기준 투과 포화량(Qs)을 입력하는 입력란이 설치된다.Although the reference permeation saturation amount Qs is previously stored in the ROM of the control section 11 in the first embodiment described above, the reference permeation saturation amount Qs may be configured to be input from the interface section 13. [ In this case, the reference permeation saturation Qs is stored in the storage unit 14 instead of the ROM of the controller 11 together with the reference permeation saturation Qs and the exposure time saturation RT. When the condition setting button constituting the input button 13a is pressed, the control unit 11 displays the screen shown in Fig. 7 on the display screen 13b. 7 is a diagram showing a setting screen in Modification 1; Not only the display content of the setting screen in the first embodiment but also a field for inputting the reference permeation saturation Qs.

이 변형예 1에 따르면, 다음의 작용 효과를 얻을 수 있다.According to Modification 1, the following actions and effects can be obtained.

(1) 헬륨 리크 디텍터(10)의 인터페이스부(13)는, 지그(80)의 기준 투과 포화량(Qs)이 입력되는 입력란을 구비한다.(1) The interface section 13 of the helium leak detector 10 has an input column into which the reference permeation saturation Qs of the jig 80 is input.

따라서, 시험체 형상의 변경 등에 의해 지그(80)를 변경했을 때에, 기준 투과 포화량(Qs)을 용이하게 변경할 수 있다.Therefore, when the jig 80 is changed by changing the shape of the test piece, the reference permeation saturation Qs can be easily changed.

(변형예 2)(Modified example 2)

상술한 제1 실시형태에서는, 인터페이스부(13)로부터 압력 비율(RP), 즉 헬륨 투과량의 기준값을 얻기 위한 예비 시험에 이용한 헬륨 분압과, 검사에 이용하는 헬륨 분압의 비율이 입력되었다. 그러나, 헬륨 투과량의 기준값을 얻기 위한 예비 시험에 이용한 헬륨 분압을 미리 정한 값을 이용하는 것을 전제로, 검사에 이용하는 헬륨 분압만을 입력할 수도 있다. 더욱이 이 경우에 있어서, 검사에 이용하는 헬륨 분압을, 전체 압력(total pressure)이 대기압인 것을 전제로 하여 헬륨의 농도로서 입력할 수도 있다. 인터페이스부(13)가, 대기압에 있어서의 헬륨 농도가 입력되는 입력란을 구비하는 경우는, 제어부(11)는 인터페이스부(13)에 입력된 헬륨 농도를 대기압에 있어서의 헬륨 농도로서 분압을 산출한다.In the first embodiment described above, the ratio of the partial pressure of helium used in the preliminary test for obtaining the pressure ratio RP, that is, the reference value of the helium permeation amount, and the partial pressure of helium used for the inspection is input from the interface section 13. However, it is also possible to input only the helium partial pressure used for the inspection on the premise that the predetermined value of the helium partial pressure used in the preliminary test for obtaining the standard value of the helium permeation amount is used. Furthermore, in this case, the partial pressure of helium used for the inspection may be input as the concentration of helium on the premise that the total pressure is the atmospheric pressure. When the interface section 13 has a field for inputting the helium concentration at the atmospheric pressure, the control section 11 calculates the partial pressure as the helium concentration at the atmospheric pressure as the helium concentration input to the interface section 13 .

이 변형예 2에 따르면, 다음의 작용 효과를 얻을 수 있다.According to the second modification, the following operational effects can be obtained.

(1) 인터페이스부(13)에 입력되는 분압에 관한 정보란, 대기압에 있어서의 헬륨 농도이다.(1) Information on the partial pressure input to the interface section 13 is the helium concentration at atmospheric pressure.

따라서, 오퍼레이터는 분압으로 환산할 필요가 없기 때문에, 입력이 용이하다.Therefore, since the operator does not need to convert to the partial pressure, the input is easy.

(변형예 3)(Modification 3)

상술한 제1 실시형태에 있어서 설명한 측정값의 보정을, 과도 상태, 즉 진공 배기를 실시하여, 헬륨 분사법에 의한 검사를 개시하기 전 상태에 적용할 수도 있다. 시험체를 교환한 후에 헬륨의 검출을 개시한 직후는, 헬륨 리크 디텍터(10)의 내부에 검사 분위기의 헬륨이 잔류하고 있으므로, 진공 분사법에 있어서의 헬륨의 분사를 실시하지 않음에도 불구하고, 일시적으로 높은 헬륨 농도가 검출된다. 따라서, 헬륨 리크 디텍터(10)의 내부로부터 검사 분위기의 헬륨이 제거된 것을 확인한 후에 헬륨 분사법에 의한 검사를 개시한다.The correction of the measured value described in the first embodiment may be applied to a state before the start of the inspection by the helium injection method by applying a transient state, that is, vacuum evacuation. Immediately after the start of the detection of helium after exchanging the test specimen, helium remains in the test atmosphere inside the helium leak detector 10, so that even though helium is not injected in the vacuum spraying method, A high helium concentration is detected. Therefore, after confirming that the helium in the test atmosphere is removed from the inside of the helium leak detector 10, the inspection by the helium spraying method is started.

도 8은, 본 발명을 적용하지 않는 경우에 있어서의, 진공 배기의 시간 경과에 대한 헬륨 농도의 변화를 도시한다. 도시 실선은, 지그(80)의 밀봉재(82)에 헬륨이 투과하지 않는 경우, 도시 파선은, 지그(80)의 밀봉재(82)에 헬륨이 투과하는 경우를 도시한다. 밀봉재(82)에 헬륨이 투과하지 않는 경우는, 시간의 경과와 함께 헬륨 농도가 제로에 수렴하므로, 진공 분사법에 의한 검사를 개시하는 헬륨 농도의 기준을 마련할 수 있다. 반면에, 밀봉재(82)에 헬륨이 투과하는 경우는, 투과하는 헬륨의 영향에 의해 헬륨 농도는 제로에 수렴하지 않는다. 따라서, 본 발명을 적용하지 않는 경우에는, 헬륨 리크 디텍터(10)의 내부로부터 검사 분위기의 헬륨이 제거된 것의 확인이 어렵고, 검사를 개시하기 전의 진공 배기의 시간이 길어지는 것을 피할 수 없다.Fig. 8 shows a change in helium concentration over time of vacuum evacuation in the case where the present invention is not applied. The dashed line indicates the case where helium permeates the sealing material 82 of the jig 80 when helium does not permeate into the sealing material 82 of the jig 80. [ When helium does not permeate through the sealing material 82, the helium concentration converges to zero with the elapse of time, so that the helium concentration standard for starting the inspection by the vacuum spraying method can be provided. On the other hand, when helium permeates the sealing material 82, the helium concentration does not converge to zero due to the influence of helium permeated. Therefore, in the case where the present invention is not applied, it is difficult to confirm that helium is removed from the inside of the helium leak detector 10, and it is inevitable that the time of vacuum evacuation before starting inspection is prolonged.

본 발명을 적용하면, 지그(80)의 밀봉재(82)에 헬륨이 투과하는 경우여도, 밀봉재(82)로부터의 헬륨의 투과에 의한, 분석관(21)에서 검출되는 헬륨 농도에의 영향을 산출하여, 헬륨 농도를 보정할 수 있다. 즉, 지그(80)의 밀봉재(82)에 헬륨이 투과하는 경우여도, 도시 실선과 같은 보정된 헬륨 농도를 얻을 수 있다. 따라서, 본 변형예 3에 따르면, 검사를 개시하기 전의 진공 배기 시간을 단축할 수 있다.The influence of the penetration of helium from the sealing material 82 on the helium concentration detected by the analyzing tube 21 is calculated even if helium permeates the sealing material 82 of the jig 80 , The helium concentration can be corrected. That is, even when helium permeates the sealing material 82 of the jig 80, a corrected helium concentration as shown by the solid line can be obtained. Therefore, according to the third modification, the vacuum evacuation time before the inspection is started can be shortened.

(변형예 4)(Variation 4)

상술한 제1 실시형태에서는, 헬륨 투과량의 기준값을 얻기 위한 예비 시험에 이용한 지그(80)는, 검사에 이용하는 지그(80)와, 소재, 형상, 및 치수를 동일하게 했지만, 양자는 달라도 괜찮다. 이 경우, 인터페이스부(13)는, 예비 시험에 이용한 지그(80)와 검사에 이용하는 지그(80)의 차이 정보를 입력하는 입력란을 구비하고, 입력된 차이 정보에 근거해 기준 투과 포화량(Qs)을 보정할 수도 있다. 밀봉재(82)에 있어서의 헬륨의 투과량은, 밀봉재의 헬륨 투과율, 밀봉재(82)의 두께, 밀봉재(82)의 표면적 등의 영향을 받는다. 따라서, 어느 밀봉재(82)에 대해 예비 시험에 의해 노출 시간과 헬륨 투과량의 관계를 미리 구해 두고, 예비 시험에 이용하여 미리 기준 투과 포화량(Qs)을 산출한 밀봉재(82)와, 본 시험, 즉 검사에 이용하는 밀봉재(82)의 차이에 근거해 기준 투과 포화량(Qs)을 보정한다.In the first embodiment described above, the jig 80 used for the preliminary test for obtaining the reference value of the helium permeation amount is the same as the material, shape, and dimensions of the jig 80 used for the inspection, but they may be different. In this case, the interface section 13 has input boxes for inputting difference information between the jig 80 used for the preliminary test and the jig 80 used for the inspection, and based on the inputted difference information, the reference permeation saturation amount Qs May be corrected. The helium permeation amount in the sealing material 82 is influenced by the helium permeability of the sealing material, the thickness of the sealing material 82, the surface area of the sealing material 82, and the like. Therefore, the sealing material 82 in which the relationship between the exposure time and the helium transmission amount is obtained in advance by a preliminary test for the sealing material 82, the standard permeation saturation amount Qs is calculated in advance in the preliminary test, That is, the difference in the sealing material 82 used for the inspection, the reference permeation saturation Qs is corrected.

밀봉재(82)의 변경에 의한 헬륨 투과량에의 영향은 이하 대로이다. 즉, 헬륨 투과량은, 밀봉재(82)의 헬륨 투과율에 비례하고, 밀봉재(82)의 두께에 반비례하고, 밀봉재(82)의 표면적에 비례한다. 변형예 4에 따르면, 미리 입력된 기준 투과 포화량(Qs)을, 밀봉재(82)의 차이에 근거해 보정할 수 있다.The influence on the helium permeation amount due to the change of the sealing material 82 is as follows. That is, the helium permeation amount is proportional to the helium permeability of the sealing material 82, inversely proportional to the thickness of the sealing material 82, and proportional to the surface area of the sealing material 82. According to the modified example 4, the previously inputted reference permeation saturation Qs can be corrected based on the difference of the sealing material 82. [

(변형예 5)(Modified Example 5)

상술한 제1 실시형태에서는, 진공 분사법에 의해 시험체의 검사를 실시하는 것으로 했다. 그러나, 다른 검사 방법, 예를 들면 진공 후드법(vacuum hood method)을 이용할 수도 있다. 시험체, 및 지그를 비닐 봉투 등으로 덮고, 그 비닐 봉투 내에 헬륨을 주입하는 진공 후드법에 본 발명을 적용하는 경우는, 제1 실시형태에서 이하의 점을 변경한다. 즉, 인터페이스부(13)로부터 입력하는 압력 비율(RP)의 결정에는, 시험체에 분사하는 헬륨 분압을 대신하여, 비닐 봉투 내의 헬륨 분압을 이용한다. 또한, 인터페이스부(13)에서 입력하는 노출 시간 포화율(RT)의 결정에는, 헬륨이 분사될 수 있는 누계 시간을 대신하여, 비닐 봉투 내에서 헬륨에 노출되는 누계 시간을 이용한다.In the first embodiment described above, the test of the test sample is performed by the vacuum spraying method. However, another inspection method, for example, a vacuum hood method may be used. When the present invention is applied to a vacuum hood method in which a test body and a jig are covered with a plastic bag or the like and helium is injected into the plastic bag, the following points are changed in the first embodiment. That is, in order to determine the pressure ratio RP inputted from the interface unit 13, the helium partial pressure in the plastic bag is used instead of the helium partial pressure injected to the test body. The cumulative time of exposure of the helium in the plastic bag is used in place of the cumulative time at which the helium can be injected to determine the exposure time saturation rate (RT) input by the interface unit 13. [

(변형예 6)(Modified Example 6)

상술한 제1 실시형태에서는, 인터페이스부(13)의 표시 화면(13b)에 노출 시간 포화율(RT), 및 압력 비율(RP)을 입력하는 입력란이 설치되었다. 그러나, 노출 시간 포화율(RT), 및 압력 비율(RP)의 입력 형태는 이것으로 한정되지 않는다. 예를 들면, 표시 화면(13b)에 대화 형식의 메뉴가 표시되고, 노출 시간 포화율(RT), 및 압력 비율(RP)을 차례로 입력하는 입력 형태여도 괜찮다. 더욱이, 헬륨 리크 디텍터(10)에 접속되는 휴대 단말이 입력 인터페이스를 구비하고, 휴대 단말의 입력 인터페이스로부터 노출 시간 포화율(RT), 및 압력 비율(RP)이 입력될 수도 있다.In the first embodiment described above, a field for inputting the exposure time saturation rate RT and the pressure ratio RP is provided on the display screen 13b of the interface unit 13. [ However, the input form of the exposure time saturation rate (RT) and the pressure ratio (RP) is not limited to this. For example, it may be an input form in which a dialog-type menu is displayed on the display screen 13b, and the exposure time saturation rate RT and the pressure ratio RP are input in order. Furthermore, the portable terminal connected to the helium leak detector 10 may have an input interface, and the exposure time saturation rate (RT) and the pressure ratio (RP) may be input from the input interface of the portable terminal.

(제2 실시형태)(Second Embodiment)

도 9~도 10을 참조하여, 본 발명에 의한 헬륨 리크 디텍터의 제2 실시형태를 설명한다. 이하의 설명에서는, 제1 실시형태와 동일한 구성요소에는 동일한 부호를 교부하고 차이점을 주로 설명한다. 특별히 설명하지 않는 점에 대해서는, 제1 실시형태와 동일하다. 본 실시형태에서는, 주로, 헬륨 리크 디텍터(10a)가 포화율 특성(C)을 구비하는 점에서, 제1 실시형태와 다르다.A second embodiment of the helium leak detector according to the present invention will be described with reference to Figs. 9 to 10. Fig. In the following description, the same reference numerals are given to the same components as those of the first embodiment, and the differences are mainly described. The points that are not specifically described are the same as those of the first embodiment. This embodiment is different from the first embodiment mainly in that the helium leak detector 10a has the saturation rate characteristic C.

(구성)(Configuration)

도 9는, 제2 실시형태에 있어서의 헬륨 리크 디텍터(10a)의 구성을 도시한 블록도이다. 제1 실시형태와의 차이는, 기억부(14)에 포화율 특성(C)이 보존되는 점이다. 오퍼레이터에 의해 조건 설정 버튼이 눌리면, 제어부(11)는 표시 화면(13b)에 설정 화면을 표시시킨다.Fig. 9 is a block diagram showing a configuration of the helium leak detector 10a according to the second embodiment. The difference from the first embodiment is that the saturation rate characteristic C is stored in the storage unit 14. [ When the condition setting button is pressed by the operator, the control unit 11 causes the setting screen to be displayed on the display screen 13b.

도 10은, 제2 실시형태에 있어서의 설정 화면을 도시한 도이다. 이 설정 화면은, 노출 시간을 입력하는 입력란과, 헬륨 분압에 관한 정보, 즉 압력 비율(RP)을 입력하는 입력란을 구비한다. 제어부(11)는, 오퍼레이터에 의해 인터페이스부(13)로부터 노출 시간이 입력되면, 기억부(14)에 보존된 포화율 특성(C)을 참조하여, 입력된 노출 시간에 대응하는 노출 시간 포화율(RT)을 산출한다. 그리고, 제1 실시형태와 동일하게 분석관(21)이 검출한 리크량을 보정하여, 인터페이스부(13)에 출력한다.10 is a diagram showing a setting screen according to the second embodiment. This setting screen has a field for inputting the exposure time and an input column for inputting information on the helium partial pressure, that is, the pressure ratio RP. When the operator inputs the exposure time from the interface section 13, the control section 11 refers to the saturation rate characteristic (C) stored in the storage section 14 and calculates the exposure time saturation rate (RT). Then, the amount of leakage detected by the analyzer 21 is corrected in the same manner as in the first embodiment, and is output to the interface unit 13.

상술한 제2 실시형태에 따르면, 다음의 작용 효과를 얻을 수 있다.According to the second embodiment described above, the following operational effects can be obtained.

(1) 인터페이스부(13)에 입력되는 시간에 관한 정보란, 지그(80)가 헬륨에 노출되는 시간이다. 헬륨 리크 디텍터(10a)는, 지그(80)가 헬륨에 노출되는 시간과 지그(80)의 기준 투과 포화량(Qs)에 대한 누적 비율의 대응관계(correspondence)를 나타내는 포화율 정보, 즉 포화율 특성(C)을 기억하는 기억부(14)를 구비한다. 보정부, 즉 제어부(11)는, 인터페이스부(13)에 입력된 시간에 관한 정보, 즉 노출 시간 포화율(RT)과 기억부(14)에 기억된 포화율 특성(C)에 근거해, 지그(80)의 기준 투과 포화량(Qs)에 대한 누적 비율을 산출한다. 따라서, 오퍼레이터는 포화율 특성(C)을 참조하여 노출 시간에 대응하는 노출 시간 포화율(RT)을 판독할 필요가 없고, 헬륨 리크 디텍터(10a)의 사용이 간편하다.(1) The information about the time input to the interface unit 13 is the time when the jig 80 is exposed to helium. The helium leak detector 10a calculates saturation rate information indicating the correspondence between the time when the jig 80 is exposed to helium and the cumulative ratio of the jig 80 to the reference permeation saturation Qs, And a storage unit (14) for storing the characteristic (C). Based on the information about the time input to the interface unit 13, that is, the exposure time saturation rate RT and the saturation rate characteristic C stored in the storage unit 14, the correction unit, that is, the control unit 11, The cumulative ratio of the jig 80 to the reference permeation saturation Qs is calculated. Therefore, the operator does not need to read the exposure time saturation rate (RT) corresponding to the exposure time with reference to the saturation rate characteristic C, and the use of the helium leak detector 10a is simple.

(제2 실시형태의 변형예)(Modification of Second Embodiment)

상술한 제2 실시형태에서는, 헬륨 리크 디텍터(10a)는 1개의 포화율 특성(C)만을 구비했다. 그러나, 헬륨 리크 디텍터(10a)는 2개 이상의 포화율 특성(C)을 구비할 수도 있다.In the second embodiment described above, the helium leak detector 10a has only one saturation rate characteristic C. However, the helium leak detector 10a may have two or more saturation rate characteristics (C).

도 11은, 단면 형상마다의 포화율 특성(C)을 도시한 도이다. 도 11의 가로축은 노출 시간을, 세로축은 노출 시간 포화율(RT)을 도시한다. 도시 실선은, 도 5에 도시한 단면 형상이 원형 밀봉재(82)의 포화율 특성(C1)을 나타내며, 도시 파선은, 단면 형상이 사각형 밀봉재(82)의 포화율 특성(C2)을 나타낸다. 도 11에 도시한 바와 같이, 밀봉재(82)의 단면 형상에 의해, 노출 시간 포화율(RT)이 증가를 시작하는 노출 시간, 노출 시간 포화율(RT)이 포화하는 노출 시간, 및 노출 시간 포화율(RT)의 노출 시간의 증가에 대한 증가율 등이 다르다.11 is a graph showing the saturation rate characteristic C for each cross-sectional shape. The horizontal axis of FIG. 11 shows the exposure time and the vertical axis shows the exposure time saturation rate (RT). 5 represents the saturation rate characteristic C1 of the circular sealing material 82 and the broken line represents the saturation rate characteristic C2 of the rectangular sealing material 82 in the sectional shape shown in Fig. As shown in Fig. 11, the cross-sectional shape of the sealing material 82 allows the exposure time at which the exposure time saturation rate (RT) starts to increase, the exposure time at which the exposure time saturation rate (RT) saturates, Rate of increase in exposure time of RT (RT).

따라서 헬륨 리크 디텍터(10a)는, 밀봉재(82)의 단면 형상에 각각 대응하는 복수의 포화율 특성을 기억부(14)에 보존하고, 오퍼레이터가 입력하는 밀봉재의 단면 형상, 및 노출 시간에 근거해 노출 시간 포화율(RT)을 한다. 도 12는, 본 변형예에 있어서의 설정 화면을 도시한 도이다. 도 12에서는, 제2 실시형태에 비해, 밀봉재(82)의 단면 형상을 선택하는 라디오 버튼이 추가된다. 오퍼레이터는, 입력 버튼(13a)의 화살표 버튼 및 결정 버튼을 이용하여, 원형 및 사각형 중 어느 쪽을 선택할 수 있다. 또한, 본 실시예에 있어서, 오퍼레이터가 더욱 기준 투과 포화량(Qs)을 입력 가능하게 구성할 수도 있다.Therefore, the helium leak detector 10a stores a plurality of saturation rate characteristics corresponding to the cross-sectional shapes of the sealing material 82 in the storage unit 14, and based on the cross-sectional shape of the sealing material input by the operator and the exposure time Exposure time Saturation rate (RT). 12 is a diagram showing a setting screen in the present modification. 12, a radio button for selecting the cross-sectional shape of the sealing material 82 is added, as compared with the second embodiment. The operator can select either a circle or a rectangle by using the arrow button and the decision button of the input button 13a. In this embodiment, the operator may further configure the reference permeation saturation Qs to be input.

상술한 각 실시형태 및 변형예는, 각각 조합할 수도 있다. 상기에서는, 여러 가지 실시형태 및 변형예를 설명했지만, 본 발명은 이들 내용으로 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 생각할 수 있는 그 외의 모양도 본 발명의 범위 내에 포함된다.Each of the above-described embodiments and modifications may be combined with each other. In the above, various embodiments and modifications have been described, but the present invention is not limited to these embodiments. And other shapes which can be conceived within the scope of the technical idea of the present invention are also included in the scope of the present invention.

10: 헬륨 리크 디텍터
11: 제어부
13: 인터페이스부
13a: 입력 버튼
13b: 표시 화면
14: 기억부
19: 기체 처리부(gas processing unit)
21: 분석관(analysis tube)
80: 지그(jig)
90: 시험체(sepcimen)
C: 포화율 특성
Qs: 기준 투과 포화량
RP: 압력 비율
RT: 노출 시간 포화율(exposure time saturation ratio)10: Helium leak detector
11:
13:
13a: Input Button
13b: Display screen
14:
19: gas processing unit
21: Analysis tube
80: jig
90: sepcimen
C: Saturation rate characteristic
Qs: Reference permeation saturation amount
RP: Pressure ratio
RT: exposure time saturation ratio

Claims (5)

지그(jig)를 통해 시험체(specimen)에 접속되는 헬륨 리크 디텍터(helium leak detector)에 있어서,
상기 지그가 노출된 헬륨 분압에 관한 정보, 및 상기 지그가 헬륨에 노출된 시간에 관한 정보가 입력되는 입력란을 구비하는 인터페이스부와,
헬륨을 검출하는 헬륨 검출부와,
상기 인터페이스부에서 입력되는 상기 분압에 관한 정보, 상기 인터페이스부에서 입력되는 상기 시간에 관한 정보, 및 미리 입력된 상기 지그의 기준 투과 포화량(reference permeation saturation amount)에 근거해, 상기 헬륨 검출부가 검출한 검출 결과를 보정하는 보정부,를 구비하는 헬륨 리크 디텍터.
In a helium leak detector connected to a specimen through a jig,
An input unit for inputting information on the helium partial pressure exposed by the jig and information on the time when the jig is exposed to helium;
A helium detecting section for detecting helium;
Based on information about the partial pressure input from the interface unit, information about the time input from the interface unit, and a reference permeation saturation amount of the jig input in advance, the helium detection unit detects And a correction unit that corrects a detection result.
청구항 1에 있어서,
상기 인터페이스부에 입력되는 상기 분압에 관한 정보란, 대기압에 있어서의 헬륨 농도인 헬륨 리크 디텍터.
The method according to claim 1,
The information on the partial pressure input to the interface unit is a helium leak concentration at an atmospheric pressure.
청구항 1에 있어서,
상기 인터페이스부에 입력되는 상기 시간에 관한 정보란, 상기 지그가 헬륨에 노출되는 시간에 근거해 결정된 상기 지그의 기준 투과 포화량에 대한 누적 비율인 헬륨 리크 디텍터.
The method according to claim 1,
Wherein the information on the time input to the interface section is a cumulative ratio of the jig to a reference permeation saturation amount determined based on a time when the jig is exposed to helium.
청구항 1에 있어서,
상기 인터페이스부에 입력되는 상기 시간에 관한 정보란, 상기 지그가 헬륨에 노출된 시간이며, 상기 지그가 헬륨에 노출된 시간과 상기 지그의 기준 투과 포화량에 대한 누적 비율의 대응관계(correspondence)를 나타내는 포화율 정보를 기억하는 기억부를 더 구비하고,
상기 보정부는, 상기 인터페이스부에 입력된 상기 시간에 관한 정보와, 상기 기억부에 기억된 상기 포화율 정보에 근거해, 상기 지그의 기준 투과 포화량에 대한 누적 비율을 산출하는 헬륨 리크 디텍터.
The method according to claim 1,
The time information input to the interface unit refers to a time when the jig is exposed to helium and a correspondence between the time when the jig is exposed to helium and the cumulative ratio of the jig to the reference permeation saturation amount And a storage unit for storing saturation rate information indicating the saturation rate,
Wherein the correction unit calculates the cumulative ratio of the jig to the reference permeation saturation amount based on the information about the time input to the interface unit and the saturation rate information stored in the storage unit.
청구항 1에 있어서,
상기 인터페이스부는, 상기 지그의 기준 투과 포화량이 입력되는 입력란을 더 구비하는 헬륨 리크 디텍터.
The method according to claim 1,
Wherein the interface unit further comprises a field for inputting a reference permeation saturation amount of the jig.
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