JP6695153B2

JP6695153B2 - Leak inspection device and method

Info

Publication number: JP6695153B2
Application number: JP2016009485A
Authority: JP
Inventors: 龍司屋宜
Original assignee: Fukuda Co Ltd
Current assignee: Fukuda Co Ltd
Priority date: 2016-01-21
Filing date: 2016-01-21
Publication date: 2020-05-20
Anticipated expiration: 2036-01-21
Also published as: JP2017129477A

Description

本発明は、検査対象からの圧力漏れを検知する漏れ検査装置及び方法に関し、特に、小さい検査対象における比較的大きな漏れを検査するのに適した漏れ検査装置及び方法に関する。 BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a leak inspection device and method for detecting a pressure leak from an inspection target, and particularly to a leak inspection device and method suitable for inspecting a relatively large leak in a small inspection target.

漏れ検査（リークテスト）は、密閉空間を有する検査対象からの圧力漏れを検知することで、密閉状態の良否を判定する技術として知られている。漏れのレベルには、比較的大きな欠陥によるものと、小さな欠陥によるものとがある。検査の精度を確保するために、漏れのレベルに応じた検査が別工程で行われる（特許文献１、２等参照）。特許文献１等に開示されているように、比較的大きな漏れを検査する工程では、例えば、エアコンプレッサや真空ポンプからなる正又は負の圧力源をタンクに接続して、タンクに正又は負のエア圧を溜めておく。タンクと圧力源との間には、圧力制御弁（レギュレータ）を設けることで、タンクの圧力（テスト圧）を所定に維持する。次に、圧力源とタンクを遮断し、かつタンクと検査対象を含む検査空間とを連通させる。そして、タンクないしは検査空間の圧力（直圧）を測定する。検査対象に大きな欠陥がある場合、その欠陥からの大漏れのために、タンクないしは検査空間の圧力が閾値を超える。これによって、大漏れの有無を検知できる。 The leak test (leak test) is known as a technique for determining the quality of a sealed state by detecting a pressure leak from an inspection target having a sealed space. Leakage levels may be due to relatively large defects or small defects. In order to ensure the accuracy of the inspection, the inspection according to the level of leakage is performed in another process (see Patent Documents 1 and 2). As disclosed in Patent Document 1 and the like, in the step of inspecting a relatively large leak, for example, a positive or negative pressure source composed of an air compressor or a vacuum pump is connected to the tank, and a positive or negative pressure is applied to the tank. Store air pressure. A pressure control valve (regulator) is provided between the tank and the pressure source to maintain the tank pressure (test pressure) at a predetermined level. Next, the pressure source and the tank are shut off, and the tank and the inspection space including the inspection object are made to communicate with each other. Then, the pressure (direct pressure) in the tank or the inspection space is measured. If the inspection object has a large defect, the pressure in the tank or the inspection space exceeds a threshold value due to a large leak from the defect. This makes it possible to detect the presence or absence of a major leak.

特開２０１３−００２８１２号公報（［００３１］〜［００３２］、図１）JP, 2013-002812, A ([0031]-[0032], Drawing 1). 特開２００７−２７８９１４号公報JP, 2007-278914, A

検査空間との連通前のタンクの圧力（テスト圧）を設定圧から全く変動しないように保持するのは、圧力制御弁の性能上、困難である。厳密には、テスト圧は、設定圧を中心とする或る圧力範囲内で変動する。一般的な圧力制御弁の場合、制御圧力の変動範囲は、設定圧の０．５％（フルスケール）程度である。つまり、設定圧が例えば−１００ｋＰａ（ゲージ圧）とすると、テスト圧の変動幅はフルスケールで５００Ｐａ程度である。 Due to the performance of the pressure control valve, it is difficult to maintain the pressure (test pressure) of the tank before the communication with the inspection space without changing from the set pressure. Strictly speaking, the test pressure fluctuates within a certain pressure range around the set pressure. In the case of a general pressure control valve, the fluctuation range of the control pressure is about 0.5% (full scale) of the set pressure. That is, when the set pressure is, for example, −100 kPa (gauge pressure), the fluctuation range of the test pressure is about 500 Pa at full scale.

検査対象が比較的大きい場合、大漏れが有ると、上記変動幅（例えば５００Ｐａ）よりも十分に大きな圧力漏れ（例えば数ｋＰａ〜数十ｋＰａ程度）が生じるから、特に支障はない。
一方、検査対象が小さいと、大漏れ品における圧力漏れの度合が上記変動幅以下（例えば１００Ｐａ程度）になる。このため、測定圧力が閾値を越えていても、それが圧力漏れに因るものであるのか、テスト圧の不可避的な変動に因るものであるのか不明であり、正確に漏れ判定できないという問題があった。圧力変動を小さく抑えられる高精度の圧力制御弁を用いることも考えられるが、そうすると、漏れ検査装置の製品コストが高くなってしまう。 When the inspection target is relatively large, if there is a large leak, a pressure leak (for example, several kPa to several tens of kPa) sufficiently larger than the fluctuation range (for example, 500 Pa) will occur, so there is no particular problem.
On the other hand, if the inspection target is small, the degree of pressure leakage in the large-leakage product becomes less than the fluctuation range (for example, about 100 Pa). Therefore, even if the measured pressure exceeds the threshold value, it is unclear whether it is due to a pressure leak or due to an unavoidable fluctuation of the test pressure, and the leak cannot be accurately determined. was there. It is conceivable to use a highly accurate pressure control valve that can suppress pressure fluctuations to a small extent, but this would increase the product cost of the leak inspection device.

前記問題点を解決するために、本発明装置は、検査空間を画成する検査対象を漏れ検査する装置であって、
圧力源と接続されるタンクと、
前記タンクと前記圧力源との間に介在されて、前記タンクの圧力を調節する圧力制御手段と、
前記タンクの圧力を測定する圧力測定手段と、
前記タンクと前記圧力源とを遮断した後、前記タンクと前記検査空間とを連通する開閉手段と、
前記連通前における前記圧力測定手段による第１測定圧力と、前記連通後における前記圧力測定手段による第２測定圧力との比較値に基づいて前記検査空間からの漏れを判定する判定手段と
を備えたことを特徴とする。
前記比較値を求めることによって、前記連通前のタンクの圧力（テスト圧）の変動を補償することができる。したがって、検査対象が小型であっても、大漏れを確実に検出でき、漏れ検査の信頼性を高めることができる。 In order to solve the above-mentioned problems, the device of the present invention is a device for leak-checking an inspection object that defines an inspection space,
A tank connected to a pressure source,
Pressure control means interposed between the tank and the pressure source to adjust the pressure of the tank;
Pressure measuring means for measuring the pressure of the tank,
After shutting off the tank and the pressure source, an opening / closing means for communicating the tank with the inspection space,
A determination unit that determines a leak from the inspection space based on a comparison value between the first measured pressure by the pressure measuring unit before the communication and the second measured pressure by the pressure measuring unit after the communication. It is characterized by
By obtaining the comparison value, it is possible to compensate for the variation in the pressure (test pressure) of the tank before the communication. Therefore, even if the inspection target is small, a large leak can be reliably detected, and the reliability of the leak inspection can be improved.

本発明方法は、検査空間を画成する検査対象を漏れ検査する方法であって、
圧力源と接続されたタンクの圧力を、前記タンクと前記圧力源との間に介在された圧力制御手段によって調節する圧力調節工程と、
前記タンクの圧力を測定する測定工程と、
前記タンクと前記圧力源とを遮断する遮断工程と、
前記遮断工程の後、前記タンクと前記検査空間とを連通する連通工程と、
前記連通前における前記測定工程による第１測定圧力と、前記連通後における前記測定工程による第２測定圧力との比較値に基づいて前記検査空間からの漏れを判定する判定工程と
を備えたことを特徴とする。 The method of the present invention is a method for leak-checking an inspection object that defines an inspection space,
A pressure adjusting step of adjusting the pressure of the tank connected to the pressure source by the pressure control means interposed between the tank and the pressure source;
A measurement step of measuring the pressure of the tank,
A shut-off step of shutting off the tank and the pressure source,
A communication step of communicating the tank and the inspection space after the blocking step,
A determination step of determining leakage from the inspection space based on a comparison value between the first measured pressure of the measuring step before the communication and the second measured pressure of the measuring step after the communication. Characterize.

前記圧力測定手段が、前記タンクに接続されて前記第１測定圧力を得る第１圧力計と、前記検査空間に接続されて前記第２測定圧力を得る第２圧力計とを含むことが好ましい。これによって、各圧力計の測定レンジを狭くでき、測定感度を高めることができる。 It is preferable that the pressure measuring unit includes a first pressure gauge connected to the tank to obtain the first measured pressure and a second pressure gauge connected to the inspection space to obtain the second measured pressure. As a result, the measurement range of each pressure gauge can be narrowed and the measurement sensitivity can be increased.

前記比較値に基準圧を乗じた補正後第２測定圧力に基づいて前記判定を行なうことが好ましい。これによって、前記比較値を圧力換算でき、漏れの程度を把握しやすくできる。前記基準圧は、前記圧力制御手段の設定圧であってもよく、大漏れ無しの場合の補正後第２測定圧力が第２測定圧力の変動範囲の平均値付近となるような値であってもよい。 It is preferable to make the determination based on the corrected second measured pressure obtained by multiplying the comparison value by a reference pressure. As a result, the comparison value can be converted into pressure and the degree of leakage can be easily grasped. The reference pressure may be a set pressure of the pressure control means, and is a value such that the corrected second measured pressure in the case of no large leak is near the average value of the fluctuation range of the second measured pressure. Good.

前記第１、第２測定圧力は、ゲージ圧でもよい。前記圧力測定手段は、ゲージ圧力計でもよい。その場合、前記第１測定圧力と前記第２測定圧力の比（比較値）を取ることによって、前記連通前のタンクの圧力（テスト圧）の変動を補償することができる。 The first and second measurement pressures may be gauge pressures. The pressure measuring means may be a gauge pressure gauge. In that case, by taking the ratio (comparative value) of the first measured pressure and the second measured pressure, it is possible to compensate for fluctuations in the tank pressure (test pressure) before the communication.

前記圧力測定手段の周辺の大気圧は、検査室の開け閉め、人の出入り、風の有無等で変動することがある。通常、この変動は微小であるが、検査対象が小さいと、判定に影響を及ぼすおそれがある。そこで、大気圧変動をも考慮する場合は、大気圧を測定する大気圧測定工程を更に含むことが好ましい。前記圧力測定手段は、絶対圧力を測定する絶対圧力計であることが好ましい。
前記第１測定圧力及び前記第２測定圧力がそれぞれ絶対圧力であり、
前記第１測定圧力を前記大気圧の測定値によってゲージ圧に換算した第１測定ゲージ圧力と、前記第２測定圧力を前記大気圧の測定値によってゲージ圧に換算した第２測定ゲージ圧力との比に基づいて、前記漏れ判定を行なうことが好ましい。
これによって、検査室の開け閉め、人の出入り、風の有無等で周辺の大気圧が変動しても、正確に漏れ検査できる。前記第１測定ゲージ圧力と第２測定ゲージ圧力との比（比較値）を取ることによって、前記連通前のタンクの圧力（テスト圧）の変動を補償することができる。
前記タンクを大気解放し、かつ前記タンク用の前記圧力測定手段（絶対圧力計）を用いて、前記タンクの大気解放された内圧を測定することによって、前記大気圧測定値を求めてもよい。これによって、圧力計の数を減らすことができ、設備コストを削減できる。
前記タンク用の圧力測定手段とは別の絶対圧測定手段によって、前記大気圧測定値を求めてもよい。 The atmospheric pressure around the pressure measuring means may fluctuate depending on whether the examination room is opened or closed, people enter or leave, the presence or absence of wind, and the like. Usually, this variation is minute, but if the inspection target is small, it may affect the determination. Therefore, when the atmospheric pressure fluctuation is also taken into consideration, it is preferable to further include an atmospheric pressure measuring step of measuring the atmospheric pressure. The pressure measuring means is preferably an absolute pressure gauge for measuring absolute pressure.
The first measured pressure and the second measured pressure are absolute pressures,
A first measurement gauge pressure obtained by converting the first measurement pressure into a gauge pressure based on the atmospheric pressure measurement value, and a second measurement gauge pressure obtained by converting the second measurement pressure into a gauge pressure based on the atmospheric pressure measurement value. It is preferable to perform the leak determination based on the ratio.
As a result, even if the atmospheric pressure in the surroundings fluctuates due to the opening and closing of the inspection room, the entry and exit of people, the presence or absence of wind, leak inspection can be performed accurately. By taking the ratio (comparative value) of the first measurement gauge pressure and the second measurement gauge pressure, it is possible to compensate for the fluctuation in the tank pressure (test pressure) before the communication.
The atmospheric pressure measurement value may be obtained by exposing the tank to the atmosphere and measuring the internal pressure of the tank released to the atmosphere using the pressure measuring means (absolute pressure gauge) for the tank. As a result, the number of pressure gauges can be reduced and the equipment cost can be reduced.
The atmospheric pressure measurement value may be obtained by an absolute pressure measuring means other than the tank pressure measuring means.

本発明によれば、タンクの圧力の変動に拘わらず、検査対象が小型であっても、大漏れを確実に検出でき、漏れ検査の信頼性を高めることができる。 According to the present invention, a large leak can be reliably detected even if the inspection target is small, regardless of fluctuations in the tank pressure, and the reliability of the leak inspection can be improved.

図１は、本発明の第１実施形態に係る漏れ検査装置の回路図である。FIG. 1 is a circuit diagram of a leak inspection device according to a first embodiment of the present invention. 図２は、前記漏れ検査装置による漏れ検査の手順を示すタイムチャートである。FIG. 2 is a time chart showing the procedure of the leak inspection by the leak inspection apparatus. 図３は、本発明の第２実施形態に係る漏れ検査装置の回路図である。FIG. 3 is a circuit diagram of a leak inspection device according to a second embodiment of the present invention. 図４は、本発明の第３実施形態に係る漏れ検査装置の回路図である。FIG. 4 is a circuit diagram of a leakage inspection device according to the third embodiment of the present invention. 図５は、前記第３実施形態における漏れ検査の手順を示すタイムチャートである。FIG. 5 is a time chart showing the procedure of the leak inspection in the third embodiment. 図６は、本発明の実施例１の測定結果を示すグラフである。FIG. 6 is a graph showing the measurement results of Example 1 of the present invention.

以下、本発明の実施形態を図面にしたがって説明する。
＜第１実施形態＞
図１及び図２は、本発明の第１実施形態を示したものである。
図１に示すように、漏れ検査装置１は、検査回路１０と、カプセル２０（検査対象収容器）を備えている。カプセル２０に検査対象９が収容されている。検査対象９の内部に密閉空間９ａが形成されている。密閉空間９ａの内容積は、例えば数ｃｃ以下程度である。検査対象９としては、例えば錠剤用のＳＰ包装(strip package)やＰＴＰ包装(press through package)が挙げられるが、これに限定されるものではない。
カプセル２０の内壁と検査対象９との間に検査空間２９が画成されている。言い換えると、検査対象９が、カプセル２０と協働して検査空間２９を画成している。検査空間２９の内容積は、例えば数十ｃｃ程度である。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
<First Embodiment>
1 and 2 show a first embodiment of the present invention.
As shown in FIG. 1, the leak inspection apparatus 1 includes an inspection circuit 10 and a capsule 20 (container for inspection). The inspection target 9 is housed in the capsule 20. A closed space 9a is formed inside the inspection target 9. The internal volume of the closed space 9a is, for example, about several cc or less. Examples of the inspection target 9 include, but are not limited to, SP packaging (strip package) and PTP packaging (press through package) for tablets.
An inspection space 29 is defined between the inner wall of the capsule 20 and the inspection object 9. In other words, the examination subject 9 cooperates with the capsule 20 to define the examination space 29. The internal volume of the inspection space 29 is, for example, about several tens of cc.

検査回路１０は、タンク圧調整路１１と、測定路１２と、小漏れ測定路１３を含む。
タンク圧調整路１１の端部に真空ポンプ２（圧力源）が接続されている。タンク圧調整路１１には、真空ポンプ２側から順に、真空レギュレータ３と、タンク弁Ｖ１と、タンク４（圧力槽）が配置されている。言い換えると、タンク４が、タンク圧調整路１１を介して真空ポンプ２と接続されている。真空ポンプ２の真空排気によってタンク４内が、ゲージ圧で例えば−数十ｋＰａ〜−１００ｋＰａ程度の真空圧（負の圧力）になる。タンク４の内容積は、好ましくは検査空間２９の内容積（正確には、検査空間２９に加えて、これに連なる測定路１２、小漏れ測定路１３ａ，１３ｃ、及び後記弁Ｖ４より上流側の後記残圧解放路１４、並びに後記被検室３１の合計容積）よりも小さい。 The inspection circuit 10 includes a tank pressure adjusting path 11, a measuring path 12, and a small leak measuring path 13.
The vacuum pump 2 (pressure source) is connected to the end of the tank pressure adjusting path 11. In the tank pressure adjusting path 11, a vacuum regulator 3, a tank valve V1, and a tank 4 (pressure tank) are arranged in this order from the vacuum pump 2 side. In other words, the tank 4 is connected to the vacuum pump 2 via the tank pressure adjusting passage 11. Due to the vacuum exhaust of the vacuum pump 2, the inside of the tank 4 becomes a vacuum pressure (negative pressure) of about tens of kPa to -100 kPa in gauge pressure. The internal volume of the tank 4 is preferably the internal volume of the inspection space 29 (to be precise, in addition to the inspection space 29, the measurement path 12, the small leak measurement paths 13a and 13c, and the upstream side of the valve V4 described later). It is smaller than the residual pressure release passage 14 described later and the total volume of the test chamber 31 described later).

タンク４と真空ポンプ２の間に真空レギュレータ３（圧力制御手段）が介在されている。真空レギュレータ３は、調圧ばね３ａと、二次圧戻し路３ｂを含む。真空レギュレータ３によって、タンク４の内圧（テスト圧）が所定の負圧に略維持される。真空レギュレータ３とタンク４との間には、タンク弁Ｖ１が介在されている。タンク弁Ｖ１は、常開の空気作動開閉弁によって構成されている。タンク弁Ｖ１によって、タンク４と真空レギュレータ３とが連通・遮断され、ひいてはタンク４と真空ポンプ２とが連通・遮断される。 A vacuum regulator 3 (pressure control means) is interposed between the tank 4 and the vacuum pump 2. The vacuum regulator 3 includes a pressure adjusting spring 3a and a secondary pressure return passage 3b. The internal pressure (test pressure) of the tank 4 is substantially maintained at a predetermined negative pressure by the vacuum regulator 3. A tank valve V1 is interposed between the vacuum regulator 3 and the tank 4. The tank valve V1 is composed of a normally open air operated on-off valve. The tank valve V1 connects and disconnects the tank 4 and the vacuum regulator 3, and thus connects and disconnects the tank 4 and the vacuum pump 2.

タンク４にゲージ圧力計４０（圧力測定手段）が接続されている。圧力計４０によって、タンク４内の圧力（ゲージ圧）が測定される。圧力計４０の分解能は、好ましくは数Ｐａ〜数十Ｐａである。 A gauge pressure gauge 40 (pressure measuring means) is connected to the tank 4. The pressure (gauge pressure) in the tank 4 is measured by the pressure gauge 40. The resolution of the pressure gauge 40 is preferably several Pa to several tens Pa.

タンク圧調整路１１は、タンク４よりもタンク弁Ｖ１側とは反対側へ延び、測定弁Ｖ２を介して測定路１２と接続されている。測定路１２は、カプセル２０へ延び、検査空間２９に連なっている。測定弁Ｖ２は、常閉の空気作動開閉弁によって構成されている。測定弁Ｖ２によって、タンク圧調整路１１と測定路１２とが連通・遮断される。ひいては、タンク４と検査空間２９とが連通・遮断される。 The tank pressure adjusting path 11 extends to the side opposite to the tank valve V1 side with respect to the tank 4, and is connected to the measuring path 12 via the measuring valve V2. The measuring path 12 extends to the capsule 20 and connects to the examination space 29. The measurement valve V2 is composed of a normally closed air-operated on-off valve. The tank pressure adjusting path 11 and the measuring path 12 are connected and disconnected by the measuring valve V2. As a result, the tank 4 and the inspection space 29 are communicated / blocked.

測定路１２の中間部に小漏れ測定路１３の被検室路１３ａ及び被検側連通路１３ｃ及びが連なっている。小漏れ測定路１３には、差圧センサ３０（小漏れ測定手段）が設けられている。差圧センサ３０は、被検室３１と、基準室３２を含む。被検室３１が、被検室路１３ａを介して、測定路１２及び被検側連通路１３ｃと連なっている。基準室３２が、基準室路１３ｂを介して基準側連通路１３ｄと連なっている。被検側連通路１３ｃと基準側連通路１３ｄとの間に、小漏れ測定弁Ｖ３が介在されている。小漏れ測定弁Ｖ３は、常開の空気作動開閉弁によって構成されている。小漏れ測定弁Ｖ３によって、被検側連通路１３ｃと基準側連通路１３ｄとが連通・遮断される。 The test chamber path 13a and the test-side communication path 13c of the small leak measurement path 13 are connected to an intermediate portion of the measurement path 12. The small leak measuring path 13 is provided with a differential pressure sensor 30 (small leak measuring means). The differential pressure sensor 30 includes a test chamber 31 and a reference chamber 32. The test chamber 31 is connected to the measurement path 12 and the test-side communication passage 13c via the test chamber passage 13a. The reference chamber 32 is connected to the reference-side communication passage 13d via the reference chamber passage 13b. A small leak measuring valve V3 is interposed between the test-side communication passage 13c and the reference-side communication passage 13d. The small leak measuring valve V3 is composed of a normally open air operated on-off valve. The small leak measurement valve V3 connects and disconnects the test-side communication passage 13c and the reference-side communication passage 13d.

被検側連通路１３ｃから残圧解放路１４が延びている。残圧解放路１４には、残圧解放弁Ｖ４が設けられている。残圧解放弁Ｖ４は、常開の空気作動開閉弁によって構成されている。残圧解放路１４の端部は、大気解放されている。 The residual pressure release passage 14 extends from the test-side communication passage 13c. The residual pressure release passage 14 is provided with a residual pressure release valve V4. The residual pressure release valve V4 is composed of a normally open air operated on-off valve. The end of the residual pressure release passage 14 is open to the atmosphere.

基準室路１３ｂと基準側連通路１３ｄとの接続部に急速破壊路１５が連なっている。急速破壊路１５上に急速破壊弁Ｖ５が設けられている。急速破壊弁Ｖ５は、常閉の空気作動開閉弁によって構成されている。急速破壊路１５の端部には、コンプレッサ５が接続されている。 The rapid destruction path 15 is connected to the connection portion between the reference chamber path 13b and the reference side communication path 13d. A quick break valve V5 is provided on the quick break path 15. The quick break valve V5 is composed of a normally closed air-operated on-off valve. The compressor 5 is connected to the end of the rapid destruction path 15.

図示は省略するが、漏れ検査装置１には、コントローラ（制御手段）が更に備えられている。コントローラによって、弁Ｖ１〜Ｖ５の駆動や、圧力計４０及び差圧センサ３０の測定値の読み込み、演算処理等が実行される。 Although illustration is omitted, the leak inspection apparatus 1 further includes a controller (control means). The controller performs driving of the valves V1 to V5, reading of measured values of the pressure gauge 40 and the differential pressure sensor 30, calculation processing, and the like.

漏れ検査装置１によって、検査対象９を漏れ検査する方法を、図２のタイムチャートにしたがって説明する。
＜検査対象９の設置工程＞
カプセル２０を開けて、検査すべき検査対象９をカプセル２０内に収容した後、カプセル２０を密閉する。この段階の検査空間２９は、大気圧になっている。
漏れ検査装置１は、カプセル２０内の検査対象９に対して、先ず大漏れの有無の検査を行ない、続いて小漏れの有無の検査を行なう。 A method of leak checking the inspection target 9 by the leak checking apparatus 1 will be described with reference to the time chart of FIG.
<Installation process of inspection target 9>
After the capsule 20 is opened and the inspection object 9 to be inspected is accommodated in the capsule 20, the capsule 20 is sealed. The inspection space 29 at this stage is at atmospheric pressure.
The leak inspection device 1 first inspects the inspection target 9 in the capsule 20 for the presence of a large leak, and then for the presence of a small leak.

＜大漏れ検査＞
図１に示すように漏れ検査開始時には、タンク弁Ｖ１は開状態、測定弁Ｖ２は閉状態、小漏れ測定弁Ｖ３は開状態、残圧解放弁Ｖ４は開状態、急速破壊弁Ｖ５は閉状態になっている。 <Large leak inspection>
As shown in FIG. 1, at the start of the leak inspection, the tank valve V1 is open, the measurement valve V2 is closed, the small leak measurement valve V3 is open, the residual pressure release valve V4 is open, and the quick release valve V5 is closed. It has become.

＜圧力調節工程＞
真空ポンプ２の駆動によって、タンク４内を真空圧にする。
さらに、真空レギュレータ３によって、タンク４の内圧（テスト圧）を設定圧になるように調節する。設定圧は、例えば−８０ｋＰａ〜−１００ｋＰａ（ゲージ圧）の範囲内で設定する。ここで、真空レギュレータ３の感度ないしは性能には限界があるために、タンク４の内圧（テスト圧）は、上記の設定圧と完全に一致する大きさに継続的に維持されるのではなく、厳密には、設定値の例えば０．５％程度の範囲で変動する。つまり、設定値を中心にして、フルスケールで４００Ｐａ〜５００Ｐａ程度の変動幅がある。 <Pressure control process>
By driving the vacuum pump 2, the inside of the tank 4 is brought to a vacuum pressure.
Further, the vacuum regulator 3 adjusts the internal pressure (test pressure) of the tank 4 to a set pressure. The set pressure is set within a range of, for example, −80 kPa to −100 kPa (gauge pressure). Here, since the sensitivity or performance of the vacuum regulator 3 is limited, the internal pressure (test pressure) of the tank 4 is not continuously maintained at a level that completely matches the set pressure described above. Strictly speaking, it fluctuates within a range of, for example, about 0.5% of the set value. That is, there is a fluctuation range of about 400 Pa to 500 Pa on a full scale centered on the set value.

＜遮断工程＞
次に、タンク弁Ｖ１及び残圧解放弁Ｖ４を閉じる。タンク弁Ｖ１の閉止によって、タンク４が真空ポンプ２から遮断される。タンク４の内圧は、遮断時の値に維持される。
＜第１測定工程＞
このタンク４の内圧（ゲージ圧）を圧力計４０によって測定する。測定結果すなわち前記遮断後かつ後記連通前の第１測定圧力Ｐ_１（第１測定ゲージ圧力）をコントローラのメモリに記憶しておく。なお、Ｐ_１として記憶するデータは、圧力計４０の出力（電圧値又は電流値）を圧力値に換算したものである必要はなく、圧力計４０の出力値（電圧値又は電流値）そのものであってもよい。 <Blocking process>
Next, the tank valve V1 and the residual pressure release valve V4 are closed. The tank 4 is shut off from the vacuum pump 2 by closing the tank valve V1. The internal pressure of the tank 4 is maintained at the value at the time of shutoff.
<First measurement step>
The internal pressure (gauge pressure) of the tank 4 is measured by the pressure gauge 40. The measurement result, that is, the first measurement pressure P ₁ (first measurement gauge pressure) after the interruption and before the communication described later is stored in the memory of the controller. The data stored as P ₁ does not need to be the output (voltage value or current value) of the pressure gauge 40 converted into a pressure value, but the output value (voltage value or current value) of the pressure gauge 40 itself. It may be.

＜連通工程＞
第１測定工程の後（ひいては遮断工程の後）、測定弁Ｖ２を開く。これによって、タンク４と検査空間２９とが連通され、互いに等圧になる。漏れが無い場合、連通後のタンク４及び検査空間２９の圧力は、前記遮断後かつ連通前におけるタンク４の圧力と検査空間２９の圧力（大気圧）との間の値になる。具体的には例えば、−２０ｋＰａ〜−３０ｋＰａ（ゲージ圧）程度になる。この値は、前記遮断後かつ連通前のタンク４の圧力（Ｐ_１）及び検査空間２９の圧力（大気圧）の他、タンク４の容積及び検査空間２９の容積等に応じて決まる。ここで、検査空間２９の圧力（大気圧）は略一定であり、かつタンク４の容積及び検査空間２９の容積は不変である。したがって、連通後のタンク４及び検査空間２９の圧力は、前記遮断後かつ連通前のタンク４の圧力すなわち第１測定圧力Ｐ_１と比例ないしは相関すると言える。 <Communication process>
After the first measurement step (and thus after the shutoff step), the measurement valve V2 is opened. As a result, the tank 4 and the inspection space 29 are communicated with each other, and the pressures of the tanks 4 and 29 are equal to each other. When there is no leakage, the pressure of the tank 4 and the inspection space 29 after the communication becomes a value between the pressure of the tank 4 and the pressure (atmospheric pressure) of the inspection space 29 after the shutoff and before the communication. Specifically, for example, it is about −20 kPa to −30 kPa (gauge pressure). This value is determined according to the pressure of the tank 4 (P ₁ ) and the pressure of the inspection space 29 (atmospheric pressure) after the shutoff and before the communication, as well as the volume of the tank 4 and the volume of the inspection space 29. Here, the pressure (atmospheric pressure) in the inspection space 29 is substantially constant, and the volume of the tank 4 and the volume of the inspection space 29 are unchanged. Therefore, it can be said that the pressures of the tank 4 and the inspection space 29 after the communication are proportional or correlated with the pressure of the tank 4 after the cutoff and before the communication, that is, the first measured pressure P ₁ .

検査空間２９には、タンク４からの真空圧が導入される。したがって、検査対象９の密封状態に欠陥があるときは、その欠陥部を通して密閉空間９ａ内のガスが検査空間２９へ漏れ出る。上記欠陥が比較的大きなものであるときは、漏れの流量が大きく、短時間で圧力漏れが起きる。そのため、前記連通後のタンク４及び検査空間２９の圧力が、密閉空間９ａの容積分だけ、大漏れの無い（良品又は小漏れ品の）検査対象９よりも大気圧に近い値になる。小型の検査対象９においては、密閉空間９ａの容積が小さいから、大漏れの有る場合と無い場合との圧力差が小さい。 A vacuum pressure from the tank 4 is introduced into the inspection space 29. Therefore, when there is a defect in the sealed state of the inspection object 9, the gas in the sealed space 9a leaks to the inspection space 29 through the defective portion. When the defect is relatively large, the flow rate of leakage is large, and pressure leakage occurs in a short time. Therefore, the pressures of the tank 4 and the inspection space 29 after the communication are closer to the atmospheric pressure than the inspection target 9 having no large leak (good product or small leak product) by the volume of the closed space 9a. In the small inspection object 9, since the volume of the closed space 9a is small, the pressure difference between when there is a large leak and when there is no large leak is small.

具体的には、この実施形態においては、大漏れ有りの場合の前記連通後のタンク４及び検査空間２９の圧力は、大漏れ無しの場合よりも例えば１００Ｐａ程度、大気圧に近い値になる。この圧力差（１００Ｐａ程度）は、上記圧力調節工程におけるタンク４の内圧の変動幅（４００Ｐａ〜５００Ｐａ程度）よりも小さい。 Specifically, in this embodiment, the pressure of the tank 4 and the inspection space 29 after the communication when there is a large leak is a value close to the atmospheric pressure, for example, about 100 Pa as compared with the case where there is no large leak. This pressure difference (about 100 Pa) is smaller than the fluctuation range (about 400 Pa to 500 Pa) of the internal pressure of the tank 4 in the pressure adjusting step.

＜第２測定工程＞
次いで、圧力計４０によって、前記連通後のタンク４（ひいては検査空間２９）の圧力（ゲージ圧）を測定する。測定結果すなわち第２測定圧力Ｐ_２（第２測定ゲージ圧力）をコントローラのメモリに記憶する。なお、Ｐ_２として記憶するデータは、圧力計４０の出力（電圧値又は電流値）を圧力値に換算したものである必要はなく、圧力計４０の出力値（電圧値又は電流値）そのものであってもよい。 <Second measurement step>
Next, the pressure gauge 40 measures the pressure (gauge pressure) of the tank 4 (and thus the inspection space 29) after the communication. The measurement result, that is, the second measurement pressure P ₂ (second measurement gauge pressure) is stored in the memory of the controller. The data stored as P ₂ does not have to be the output (voltage value or current value) of the pressure gauge 40 converted into a pressure value, but is the output value (voltage value or current value) of the pressure gauge 40 itself. It may be.

＜判定工程＞
その後、コントローラにおいて、第１測定圧力Ｐ_１と第２測定圧力Ｐ_２との比（比較値）に基づいて、検査空間２９からの大漏れの有無を判定する。詳しくは、下式（１）の演算を行なう。

ここで、Ｐ'_２は、検査空間２９の補正後第２測定圧力である。
Ｐ_Kは、基準圧力（Ｐａ）であり、具体的には、真空レギュレータ３によるタンク４の設定圧（テスト圧）付近の値であってもよく、大漏れ無しの場合の補正後第２測定圧力Ｐ'_２が第２測定圧力Ｐ_２の変動範囲の平均値付近となるような値であってもよい。 <Judgment process>
Then, in the controller, the presence or absence of a major leak from the inspection space 29 is determined based on the ratio (comparison value) between the first measured pressure P ₁ and the second measured pressure P ₂ . Specifically, the calculation of the following formula (1) is performed.

Here, P ′ ₂ is the corrected second measured pressure of the inspection space 29.
P _K is a reference pressure (Pa), and may be a value near the set pressure (test pressure) of the tank 4 by the vacuum regulator 3, specifically, the corrected second measurement when there is no large leak. The value may be such that the pressure P ′ ₂ is near the average value of the fluctuation range of the second measured pressure P ₂ .

上述したように、圧力漏れが無ければ、第２測定圧力Ｐ_２は第１測定圧力Ｐ_１と略比例するから、第１測定圧力Ｐ_１の変動に拘わらず、比（Ｐ_２／Ｐ_１）は略一定である。したがって、補正後第２測定圧力Ｐ'_２も、略一定である。少なくとも、Ｐ'_２の変動幅は、大漏れに因る圧力漏れ（例えば１００Ｐａ程度）よりも十分に小さく、例えば数十Ｐａ程度になる。 As described above, if there is no pressure leakage, from the second measured pressure _{P 2} substantially proportional to a first measured pressure _{P 1,} regardless of the first variation of the measured pressure _{P 1,} the ratio _(P 2 _{/ P} 1) Is approximately constant. Therefore, the corrected second measured pressure P ′ ₂ is also substantially constant. At least, the fluctuation range of P ′ ₂ is sufficiently smaller than the pressure leak (for example, about 100 Pa) due to the large leak, and is about several tens Pa, for example.

上記式（１）の演算後、補正後第２測定圧力Ｐ'_２が、閾値以内であるか否かを判定する。閾値は、例えば、大漏れ無しの場合の第２測定圧力Ｐ_２の平均値や変動幅、並びに大漏れに因る圧力漏れの度合（例えば１００Ｐａ程度）の他、基準圧Ｐ_ｋに応じて設定しておく。
そして、補正後第２測定圧力Ｐ'_２が閾値以内であれば、検査対象９を「大漏れ無し」と判定する。
補正後第２測定圧力Ｐ'_２が閾値を越えていた（閾値よりも大気圧に近い値であった）ときは、検査対象９を「大漏れ有り（ＮＧ品）」と判定する。 After the calculation of the above formula (1), it is determined whether or not the corrected second measured pressure P ′ ₂ is within the threshold value. The threshold value is set according to, for example, the average value and fluctuation range of the second measured pressure P ₂ when there is no large leak, the degree of pressure leakage due to the large leak (for example, about 100 Pa), and the reference pressure P _k. I'll do it.
If the corrected second measured pressure P ′ ₂ is within the threshold value, the inspection target 9 is determined to be “no major leak”.
When the second measured pressure P ′ ₂ after correction exceeds the threshold value (has a value closer to the atmospheric pressure than the threshold value), the inspection target 9 is determined to be “large leakage (NG product)”.

この漏れ判定によれば、式（１）の補正演算を行なうことによって、圧力調節工程においてタンク４の圧力が時間的に変動したとしても、その変動を補償することができる。これによって、検査対象９が小型であっても、大漏れを確実に検出でき、漏れ検査の信頼性を高めることができる。
真空レギュレータ３を超高感度ないしは超高性能にする必要がなく、漏れ検査装置１の製品コストを抑えることができる。
「大漏れ有り」と判定された検査対象９については、この時点で漏れ検査を終了してもよい。 According to this leak determination, by performing the correction calculation of the equation (1), even if the pressure of the tank 4 temporally fluctuates in the pressure adjusting step, the fluctuation can be compensated. As a result, even if the inspection target 9 is small, a large leak can be reliably detected, and the reliability of the leak inspection can be improved.
The vacuum regulator 3 does not need to have ultra-high sensitivity or ultra-high performance, and the product cost of the leak inspection device 1 can be suppressed.
For the inspection target 9 that is determined to have “large leakage”, the leakage inspection may be terminated at this point.

＜小漏れ検査＞
「大漏れ無し」と判定された検査対象９については、引き続いて、小漏れの検査を行なう。
詳しくは、測定弁Ｖ２を閉じるとともに、小漏れ測定弁Ｖ３を閉じることで、被検室３１と基準室３２とを遮断する。そして、平衡工程が経過した後、差圧センサ３０によって被検室３１と基準室３２との間の差圧を測定する。この測定差圧が小漏れの閾値以内であれば、「ＯＫ品」と判定し、閾値を越えていれば「小漏れ有り（ＮＧ品）」と判定する。 <Small leak inspection>
For the inspection target 9 determined as “no major leak”, a small leak is subsequently inspected.
Specifically, by closing the measurement valve V2 and closing the small leak measurement valve V3, the test chamber 31 and the reference chamber 32 are shut off from each other. After the equilibrium step has passed, the differential pressure sensor 30 measures the differential pressure between the test chamber 31 and the reference chamber 32. If the measured differential pressure is within the small leak threshold, it is determined to be "OK product", and if it exceeds the threshold value, "small leak is present (NG product)" is determined.

＜真空破壊工程＞
その後、タンク弁Ｖ１を開く。
また、小漏れ測定弁Ｖ３及び残圧解放弁Ｖ４を開けるとともに、急速破壊弁Ｖ５を開ける。そして、コンプレッサ５からエアを、急速破壊路１５、基準側連通路１３ｄ、被検側連通路１３ｃ、及び測定路１２を順次経て、検査空間２９へ強制導入する。これによって、検査空間２９を短時間で大気圧に戻すことができる。 <Vacuum breaking process>
Then, the tank valve V1 is opened.
Further, the small leak measurement valve V3 and the residual pressure release valve V4 are opened, and the rapid release valve V5 is opened. Then, air is forcibly introduced into the inspection space 29 from the compressor 5 through the rapid destruction path 15, the reference side communication path 13d, the test side communication path 13c, and the measurement path 12 in order. As a result, the inspection space 29 can be returned to atmospheric pressure in a short time.

＜交換工程＞
その後、カプセル２０を開けて、検査対象９を交換する。
そして、次の検査対象９の漏れ検査を同様の手順で行う。 <Exchange process>
Then, the capsule 20 is opened and the inspection target 9 is exchanged.
Then, the leakage inspection of the next inspection target 9 is performed in the same procedure.

次に、本発明の他の実施形態（変形例を含む）を説明する。以下の実施形態において、既述の形態と重複する構成に関しては、図面に同一符号を付して説明を省略する。
＜第２実施形態＞
図３は、本発明の第２実施形態を示したものである。第２実施形態の漏れ検査装置１Ｂでは、タンク４に第１圧力計４１が接続されている。第１圧力計４１の測定レンジは、第１測定圧力Ｐ_１を測定可能な範囲に設定されている。
測定路１２には第２圧力計４２が設けられている。第２圧力計４２の測定レンジは、第２測定圧力Ｐ_２を測定可能な範囲に設定されている。 Next, other embodiments (including modifications) of the present invention will be described. In the following embodiments, the same reference numerals will be given to the drawings for the configurations that are the same as the above-described configurations, and the description thereof will be omitted.
<Second Embodiment>
FIG. 3 shows a second embodiment of the present invention. In the leak inspection device 1B of the second embodiment, the first pressure gauge 41 is connected to the tank 4. The measurement range of the first pressure gauge 41 is set to a range in which the first measurement pressure P ₁ can be measured.
The measurement path 12 is provided with a second pressure gauge 42. The measurement range of the second pressure gauge 42 is set to a range in which the second measurement pressure P ₂ can be measured.

第１測定工程では、第１圧力計４１によってタンク４の圧力（第１測定圧力Ｐ_１）を測定する。
一方、第２測定工程では、第２圧力計４２によって検査空間２９の圧力ひいてはタンク４の圧力（第２測定圧力Ｐ_２）を測定する。
したがって、第１圧力計４１の測定レンジは、第１測定圧力Ｐ_１だけに対応していればよい。また、第２圧力計４２の測定レンジは、第２測定圧力Ｐ_２だけに対応していればよい。よって、各圧力計４１，４２の測定レンジを狭くでき、測定感度を高めることができる。 In the first measurement step, the pressure of the tank 4 (first measurement pressure P ₁ ) is measured by the first pressure gauge 41.
On the other hand, in the second measurement step, the pressure of the inspection space 29 and thus the pressure of the tank 4 (second measurement pressure P ₂ ) is measured by the second pressure gauge 42.
Therefore, the measurement range of the first pressure gauge 41 only needs to correspond to the first measurement pressure P ₁ . Moreover, the measurement range of the second pressure gauge 42 only needs to correspond to the second measurement pressure P ₂ . Therefore, the measurement range of each pressure gauge 41, 42 can be narrowed, and the measurement sensitivity can be increased.

＜第３実施形態＞
図４に示すように、第３実施形態では、圧力測定手段としてゲージ圧力計４０に代えて、絶対圧力計４３（絶対圧力測定手段）が用いられている。タンク４に絶対圧力計４３が接続されている。 <Third Embodiment>
As shown in FIG. 4, in the third embodiment, an absolute pressure gauge 43 (absolute pressure measurement means) is used as the pressure measurement means instead of the gauge pressure gauge 40. An absolute pressure gauge 43 is connected to the tank 4.

＜大気圧測定工程＞
図５のフローチャートに示すように、第３実施形態では、タンク４にテスト圧を導入するのに先立ち、次のような大気圧測定工程を実行する。すなわち、タンク弁Ｖ１を閉じ、かつ、測定弁Ｖ２を閉き、残圧解放弁Ｖ４を開く。また、急速破壊弁Ｖ５を閉じる。これによって、タンク４が、測定弁Ｖ２及び残圧解放弁Ｖ４を介して大気開放される。この状態で、絶対圧力計４３でタンク４の内圧（絶対圧）を測定する。つまりは、漏れ検査装置１の周辺の大気圧Ｐ_０を測定する。測定した大気圧値Ｐ_０をコントローラのメモリに記憶しておく。 <Atmospheric pressure measurement process>
As shown in the flowchart of FIG. 5, in the third embodiment, the following atmospheric pressure measuring step is executed before introducing the test pressure into the tank 4. That is, the tank valve V1 is closed, the measurement valve V2 is closed, and the residual pressure release valve V4 is opened. In addition, the rapid destruction valve V5 is closed. As a result, the tank 4 is opened to the atmosphere via the measurement valve V2 and the residual pressure release valve V4. In this state, the absolute pressure gauge 43 measures the internal pressure (absolute pressure) of the tank 4. That is, the atmospheric pressure P ₀ around the leak inspection device 1 is measured. The measured atmospheric pressure value P ₀ is stored in the memory of the controller.

続いて、測定弁Ｖ２を閉じ、かつタンク弁Ｖ１を開くことで、タンク４にテスト圧を導入する（圧力調節工程）。
次に、タンク弁Ｖ１及び残圧解放弁Ｖ４を閉じる（遮断工程）。
次に、タンク４の内圧（絶対圧）を絶対圧力計４３によって測定する（第１測定工程）。測定結果すなわち第１測定圧力Ｐ_１Ａ（絶対圧）をコントローラのメモリに記憶しておく。
或いは、前記大気圧測定値Ｐ_０と第１測定圧力Ｐ_１Ａとから第１測定ゲージ圧力（Ｐ_１Ａ−Ｐ_０）を求め、この第１測定ゲージ圧力（Ｐ_１Ａ−Ｐ_０）をコントローラのメモリに記憶することにしてもよい。 Subsequently, the measurement valve V2 is closed and the tank valve V1 is opened to introduce the test pressure into the tank 4 (pressure adjusting step).
Next, the tank valve V1 and the residual pressure release valve V4 are closed (shutoff process).
Next, the internal pressure (absolute pressure) of the tank 4 is measured by the absolute pressure gauge 43 (first measuring step). The measurement result, that is, the first measurement pressure P _1A (absolute pressure) is stored in the memory of the controller.
Alternatively, the search of first measurement gauge pressure from the atmospheric pressure measurement value _{P 0} and the first measured pressure _{_{_{P 1A (P 1A -P 0)}}} , of the first measurement gauge pressure _(P 1A -P ₀₎ controller memory It may be stored in.

次に、測定弁Ｖ２を開くことで、タンク４と検査空間２９とを連通させる（連通工程）。
次に、絶対圧力計４３によって、前記連通後のタンク４ひいては検査空間２９の圧力（絶対圧）を測定する（第２測定工程）。測定結果すなわち第２測定圧力Ｐ_２Ａ（絶対圧）をコントローラのメモリに記憶する。
或いは、前記大気圧測定値Ｐ_０と第２測定圧力Ｐ_２Ａとから第２測定ゲージ圧力（Ｐ_２Ａ−Ｐ_０）を求め、この第２測定ゲージ圧力（Ｐ_２Ａ−Ｐ_０）をコントローラのメモリに記憶することにしてもよい。 Next, the tank 4 and the inspection space 29 are made to communicate with each other by opening the measurement valve V2 (communication step).
Next, the absolute pressure gauge 43 measures the pressure (absolute pressure) of the tank 4 and thus the inspection space 29 after the communication (second measuring step). The measurement result, that is, the second measurement pressure P _2A (absolute pressure) is stored in the memory of the controller.
Alternatively, the search of the atmospheric pressure measurement value _{P 0} and the second measuring gauge pressure and a second measured pressure _{_{_{P 2A (P 2A -P 0)}}} , of the second measurement gauge pressure _(P 2A -P ₀₎ controller memory It may be stored in.

その後、コントローラにおいて、第１測定圧力Ｐ_１Ａと第２測定圧力Ｐ_２Ａとの比較値に基づいて、検査空間２９からの漏れを判定する（判定手段）。詳しくは、下式（２）の演算を行なうことで、補正後第２測定圧力Ｐ'_２を算出する。

この補正後第２測定圧力Ｐ'_２に基づいて、検査空間２９からの大漏れの有無を判定する。要するに、第１測定圧力Ｐ_１Ａを大気圧測定値Ｐ_０によってゲージ圧換算した第１測定ゲージ圧力（Ｐ_１Ａ−Ｐ_０）と、第２測定圧力Ｐ_２Ａを大気圧測定値Ｐ_０によってゲージ圧換算した第２測定ゲージ圧力（Ｐ_２Ａ−Ｐ_０）との比に基づいて、漏れ判定を行なう。
これによって、試験室の開け閉め、人の出入り、風の有無等で漏れ検査装置１の周辺の大気圧が変動しても、正確に漏れ検査できる。第１測定ゲージ圧力（Ｐ_１Ａ−Ｐ_０）と第２測定ゲージ圧力（Ｐ_２Ａ−Ｐ_０）との比（比較値）を取ることによって、連通前のタンク４の圧力（テスト圧）の変動を補償することができる。
タンク４用の圧力計４３を用いて、タンク４の大気解放時の内圧を測定し、これを大気圧測定値Ｐ_０とすることで、別途、大気圧測定手段を設ける必要がない。したがって、設備コストの上昇を抑えることができる。 Then, the controller determines the leak from the inspection space 29 based on the comparison value between the first measured pressure P _1A and the second measured pressure P _2A (determination means). Specifically, the corrected second measured pressure P ′ ₂ is calculated by performing the calculation of the following formula (2).

The presence or absence of a large leak from the inspection space 29 is determined based on the corrected second measured pressure P ′ ₂ . In short, the first measurement gauge pressure (P _1A −P ₀ ) obtained by converting the first measurement pressure P _1A into the gauge pressure with the atmospheric pressure measurement value P ₀ and the second measurement pressure P _2A with the atmospheric pressure measurement value P ₀ are used. based on the ratio between-converted second measurement gauge pressure _(P 2A -P _0), performs the leakage determination.
As a result, even if the atmospheric pressure around the leak inspection device 1 fluctuates due to the opening and closing of the test chamber, the entry and exit of people, the presence or absence of wind, etc., a leak inspection can be accurately performed. By taking the ratio (comparative value) between the first measurement gauge pressure (P _1A −P ₀ ) and the second measurement gauge pressure (P _2A −P ₀ ), the fluctuation of the pressure (test pressure) of the tank 4 before the communication. Can be compensated.
By using the pressure gauge 43 for the tank 4 to measure the internal pressure of the tank 4 at the time of opening to the atmosphere and setting this as the atmospheric pressure measurement value P ₀ , it is not necessary to separately provide atmospheric pressure measuring means. Therefore, an increase in equipment cost can be suppressed.

本発明は、前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲内で種々の改変をなすことができる。
例えば、テスト圧が正圧であってもよい。圧力源として、真空ポンプ２に代えてコンプレッサ等の圧縮エア供給手段を用いてもよい。圧力制御手段として、真空レギュレータ３に代えて正圧レギュレータを用いてもよい。この場合、急速破壊路１５の端部は大気解放されていてもよい。
式（１）に代えて、第１測定圧力Ｐ_１と第２測定圧力Ｐ_２との比（Ｐ_２／Ｐ_１）そのもので（基準圧力Ｐ_ｋを乗じることなく）、漏れ判定を行なってもよい。つまり、比（Ｐ_２／Ｐ_１）の閾値を設定しておき、判定工程では、比（Ｐ_２／Ｐ_１）の値が上記閾値を越えているか否かを判定してもよい。逆数比（Ｐ_１／Ｐ_２）で判定してもよい。
第１測定圧力Ｐ_１は、必ずしもタンク４を圧力源２から遮断した後に限られず、圧力変動が僅少である範囲内において、遮断前（好ましくは遮断直前）における圧力計４０，４１による測定圧力であってもよい。
第２実施形態において、第２圧力計４２をカプセル２０に設けてもよい。
検査対象９の密閉空間９ａ自体が、検査空間２９であってもよい。測定路１２を密閉空間９ａに接続してもよい。 The present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.
For example, the test pressure may be a positive pressure. As the pressure source, compressed air supply means such as a compressor may be used instead of the vacuum pump 2. As the pressure control means, a positive pressure regulator may be used instead of the vacuum regulator 3. In this case, the end of the rapid destruction path 15 may be open to the atmosphere.
Instead of the formula (1), even if the leak determination is performed by the ratio (P ₂ / P ₁ ) of the first measured pressure P ₁ and the second measured pressure P ₂ itself (without multiplying by the reference pressure P _k ). Good. That is, may be set a threshold value of the ratio (P 2 _{/ P} _1), the determination process, the value of the ratio (P 2 _{/ P} ₁₎ may determine whether it exceeds the threshold. It may be determined by the reciprocal ratio (P ₁ / P ₂ ).
The first measured pressure P ₁ is not necessarily limited to after the tank 4 is shut off from the pressure source 2, and is a pressure measured by the pressure gauges 40 and 41 before shutoff (preferably just before shutoff) within a range where the pressure fluctuation is small. It may be.
In the second embodiment, the second pressure gauge 42 may be provided on the capsule 20.
The closed space 9a itself of the inspection object 9 may be the inspection space 29. The measurement path 12 may be connected to the closed space 9a.

第３実施形態において、漏れ検査装置１の周辺の大気圧（絶対圧）を測定する圧力測定手段を、タンク４用の圧力計４３とは別に設けてもよい。
複数の実施形態を組み合わせてもよい。例えば、第３実施形態（図４〜図５）においても、第２実施形態（図３）と同様に、タンク４に接続されて第１測定圧力Ｐ_１Ａ（絶対圧）を得る第１絶対圧力計と、検査空間２９に接続されて第２測定圧力Ｐ_２Ａ（絶対圧）を得る第２絶対圧力計とを別々に設けてもよい。更に、漏れ検査装置１の周辺の大気圧（絶対圧）を測定する絶対圧力計を、第１、第２絶対圧力計とは別に設けてもよい。
本実施形態に記載した圧力値等の数値は、あくまでも例示であって、本発明が当該数値に限定されるものではない。 In the third embodiment, pressure measuring means for measuring the atmospheric pressure (absolute pressure) around the leak inspection device 1 may be provided separately from the pressure gauge 43 for the tank 4.
You may combine several embodiment. For example, also in the third embodiment (FIGS. 4 to 5), as in the second embodiment (FIG. 3), the first absolute pressure that is connected to the tank 4 to obtain the first measured pressure P _1A (absolute pressure). A gauge and a second absolute pressure gauge connected to the inspection space 29 to obtain the second measured pressure P _2A (absolute pressure) may be separately provided. Further, an absolute pressure gauge for measuring the atmospheric pressure (absolute pressure) around the leak inspection device 1 may be provided separately from the first and second absolute pressure gauges.
Numerical values such as pressure values described in the present embodiment are merely examples, and the present invention is not limited to the numerical values.

実施例を説明する。なお、本発明は、当該実施例に限定されるものではない。
図１の漏れ検査装置１と同様の回路を有する装置を用いた。
真空レギュレータ３としては、株式会社フクダ製電空レギュレータＡＰＵを用いた。なお、この電空レギュレータ（ＡＰＵ）の圧力変動幅は、設定圧の０．１％程度であり、一般的なレギュレータ（０．５％程度）よりも小さい。
タンク４の容積は、２０ｃｃであった。
検査空間２９の容積（正確には、検査空間２９に加えて、これに連なる測定路１２、小漏れ測定路１３ａ，１３ｃ、及び弁Ｖ４より上流側の後記残圧解放路１４、並びに被検室３１の合計容積）は、５０ｃｃであった。
カプセル２０には、漏れの無い検査対象９を入れた。
タンク弁Ｖ１を開け、かつ測定弁Ｖ２を閉じた状態で、図６に示すように、電空レギュレータ（ＡＰＵ）の設定圧を変更することで、タンク４の内圧（テスト圧）の圧力変動を疑似的に作り出した。図６に示すように、テスト圧（第１測定圧力Ｐ_１）の変動幅は、約１ｋＰａ程度とした。これは、一般的なレギュレータで設定圧を−１００ｋＰａ程度としたときの変動幅（５００Ｐａ（＝−１００ｋＰａ×０．５％））の約２倍である。 An example will be described. The present invention is not limited to the embodiment.
An apparatus having the same circuit as the leak inspection apparatus 1 of FIG. 1 was used.
As the vacuum regulator 3, Fukuda Co., Ltd. electropneumatic regulator APU was used. The pressure fluctuation range of this electropneumatic regulator (APU) is about 0.1% of the set pressure, which is smaller than that of a general regulator (about 0.5%).
The volume of the tank 4 was 20 cc.
Volume of the inspection space 29 (to be precise, in addition to the inspection space 29, a measurement path 12 connected to the inspection space 29, small leak measurement paths 13a and 13c, a residual pressure release path 14 described later on the upstream side of the valve V4, and a test chamber The total volume of 31) was 50 cc.
The capsule 20 was filled with a leak-free inspection object 9.
By changing the set pressure of the electro-pneumatic regulator (APU) with the tank valve V1 opened and the measurement valve V2 closed, the pressure fluctuation of the internal pressure (test pressure) of the tank 4 is changed. I made it pseudo. As shown in FIG. 6, the fluctuation range of the test pressure (first measurement pressure P ₁ ) was set to about 1 kPa. This is about twice the fluctuation range (500 Pa (= -100 kPa x 0.5%)) when the set pressure is about -100 kPa in a general regulator.

各設定圧において、遮断工程（タンク弁Ｖ１の閉止）、第１測定工程（第１測定圧力Ｐ_１の取得）、連通工程（測定弁Ｖ２の開通）、第２測定工程（第２測定圧力Ｐ_２の取得）を順次行った。
図６に示すように、タンク４の内圧（テスト圧）すなわち第１測定圧力Ｐ_１が大きくなるほど、第２測定圧力Ｐ_２も大きくなった。
次に、各設定圧において、式（１）の演算を行い、補正後第２測定圧力Ｐ'_２を求めた。基準圧力Ｐ_Kは、Ｐ_K＝７０．０ｋＰａとした。
図６から明らかな通り、補正後第２測定圧力Ｐ'_２は、テスト圧の変動に拘わらず、概略一定の値を保った。 In each set pressure, interrupting step (closing the tank valve V1), the first measuring step (the first acquisition of the measured pressure P _1), (the opening of the measuring valve V2) communicating step, the second measuring step (second measured pressure P ₂ ) were sequentially performed.
As shown in FIG. 6, as the internal pressure (test pressure) of the tank 4, that is, the first measurement pressure P ₁ increases, the second measurement pressure P ₂ also increases.
Next, at each set pressure, the equation (1) was calculated to obtain the corrected second measured pressure P ′ ₂ . The reference pressure P _K was set to P _K = 70.0 kPa.
As is clear from FIG. 6, the corrected second measured pressure P ′ ₂ maintained a substantially constant value regardless of the fluctuation of the test pressure.

実施例１における取得データＰ_２、Ｐ'_２、（Ｐ_２／Ｐ_１）の平均値、最大値、最小値等を下表に示す。

The average value, maximum value, minimum value, etc. of the acquired data P ₂ , P ′ ₂ , (P ₂ / P ₁ ) in Example 1 are shown in the table below.

上述したように、表１のデータは、一般的なレギュレータで設定圧を−１００ｋＰａ程度としたときの約２倍の圧力変動を起こさせて取得したものであり、同表の通り、補正後第２測定圧力Ｐ'_２の変動幅は１３３Ｐａであった。したがって、実際に一般的なレギュレータを用いて設定圧を−７０ｋＰａ程度として、本発明の漏れ検査を実施すれば、補正後第２測定圧力Ｐ'_２の変動幅を数十Ｐａ程度に抑えることができることが確認された。 As described above, the data in Table 1 is obtained by causing a pressure fluctuation about twice as large as when the set pressure is set to about −100 kPa with a general regulator. 2 The fluctuation range of the measured pressure P ′ ₂ was 133 Pa. Therefore, if the leak inspection of the present invention is performed with the set pressure set to about −70 kPa using a general regulator, the fluctuation range of the corrected second measured pressure P ′ ₂ can be suppressed to about several tens Pa. It was confirmed that it was possible.

本発明は、例えば錠剤のＳＰ包装(strip package)やＰＴＰ包装(press through package)等の密封性試験に適用できる。 INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be applied to, for example, a sealability test of SP packaging (strip package) and PTP (press through package) of tablets.

１漏れ検査装置
２真空ポンプ（圧力源）
３真空レギュレータ（圧力制御手段）
３ａ調圧ばね
３ｂ二次圧路
４タンク
５コンプレッサ
９検査対象
９ａ密閉空間
１０検査回路
１１タンク圧調整路
１２測定路
１３小漏れ測定路
１３ａ被検室路
１３ｂ基準室路
１３ｃ被検側連通路
１３ｄ基準側連通路
１４残圧解放路
１５急速破壊路
２０カプセル
２９検査空間
３０差圧センサ（小漏れ測定手段）
３１被検室
３２基準室
４０ゲージ圧力計（圧力測定手段）
４１第１圧力計
４２第２圧力計
４３絶対圧力計（圧力測定手段）
Ｖ１タンク弁
Ｖ２測定弁
Ｖ３小漏れ測定弁
Ｖ４残圧解放弁
Ｖ５急速破壊弁 1 Leakage inspection device 2 Vacuum pump (pressure source)
3 Vacuum regulator (pressure control means)
3a Pressure adjusting spring 3b Secondary pressure path 4 Tank 5 Compressor 9 Inspection target 9a Sealed space 10 Inspection circuit 11 Tank pressure adjustment path 12 Measurement path 13 Small leak measurement path 13a Test chamber path 13b Reference chamber path 13c Test side communication path 13d Reference side communication passage 14 Residual pressure release passage 15 Rapid breakage passage 20 Capsule 29 Inspection space 30 Differential pressure sensor (small leak measuring means)
31 test chamber 32 reference chamber 40 gauge pressure gauge (pressure measuring means)
41 first pressure gauge 42 second pressure gauge 43 absolute pressure gauge (pressure measuring means)
V1 Tank valve V2 Measuring valve V3 Small leak measuring valve V4 Residual pressure release valve V5 Rapid release valve

Claims

A device for leak-checking an inspection object that defines an inspection space,
A tank connected to a pressure source,
Pressure control means interposed between the tank and the pressure source to adjust the pressure of the tank;
Pressure measuring means for measuring the pressure of the tank,
After shutting off the tank and the pressure source, an opening / closing means for communicating the tank with the inspection space,
A determination unit that determines a leak from the inspection space based on a comparison value between a first measured pressure by the pressure measuring unit before the communication and a second measured pressure by the pressure measuring unit after the communication ; The pressure measuring means includes a first pressure gauge connected to the tank to obtain the first measured pressure, and a second pressure gauge connected to the inspection space to obtain the second measured pressure. Leak inspection device.

A method of inspecting an inspection object that defines an inspection space for leakage,
A pressure adjusting step of adjusting the pressure of the tank connected to the pressure source by the pressure control means interposed between the tank and the pressure source;
A measurement step of measuring the pressure of the tank,
A shut-off step of shutting off the tank and the pressure source,
A communication step of communicating the tank and the inspection space after the blocking step,
Wherein comprising a first measured pressure by the measurement step before communicating, and a determination step of determining leakage from the examination space based on a comparison value between the second measured pressure by the measuring step after the communication, the comparison A leak inspection method, characterized in that the determination is performed based on a corrected second measured pressure obtained by multiplying a value by a reference pressure .

The method further includes an atmospheric pressure measuring step of measuring atmospheric pressure,
The first measured pressure and the second measured pressure are absolute pressures,
A first measurement gauge pressure obtained by converting the first measurement pressure into a gauge pressure based on the atmospheric pressure measurement value, and a second measurement gauge pressure obtained by converting the second measurement pressure into a gauge pressure based on the atmospheric pressure measurement value. The leak inspection method according to claim 2 , wherein the leak determination is performed based on a ratio.