JP7445439B2 - air leak test equipment - Google Patents

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JP7445439B2 JP2020010509A JP2020010509A JP7445439B2 JP 7445439 B2 JP7445439 B2 JP 7445439B2 JP 2020010509 A JP2020010509 A JP 2020010509A JP 2020010509 A JP2020010509 A JP 2020010509A JP 7445439 B2 JP7445439 B2 JP 7445439B2
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特許法第30条第2項適用 (1)株式会社フクダのウエブサイトhttp://www.fukuda-jp.com/new/ 平成31年 2月12日 (2)株式会社日刊工業新聞社発行の日刊工業新聞 平成31年 2月14日 (3)日報ビジネス株式会社発行の包装タイムス 平成31年 2月18日 (4)株式会社日本経済新聞社発行の日経産業新聞 平成31年 2月20日 (5)第5回インターフェックス大阪での展示 平成31年 2月20日 (6)第21回インターフェックスジャパンでの展示 令和 1年 7月 3日 (7)JAPAN PACK 2019 日本包装産業展での展示 令和 1年10月29日 (8)ニプロ株式会社への販売 平成31年 2月26日 (9)大日本住友製薬株式会社への販売 平成31年 3月12日 (10)持田製薬株式会社への販売 平成31年 4月16日 (11)興和株式会社への販売 令和 1年 8月 1日 (12)高田製薬株式会社への販売 令和 1年 9月11日Application of Article 30, Paragraph 2 of the Patent Act (1) Fukuda Co., Ltd. website http://www. fukuda-jp. com/new/ February 12, 2019 (2) Nikkan Kogyo Shimbun published by Nikkan Kogyo Shimbun Co., Ltd. February 14, 2019 (3) Packaging Times published by Nippo Business Co., Ltd. February 18, 2019 (4) Nikkei Sangyo Shimbun published by Nihon Keizai Shimbun Co., Ltd. February 20, 2019 (5) Exhibition at the 5th Interphex Osaka February 20, 2019 (6) At the 21st Interphex Japan Exhibition July 3, 2019 (7) Exhibition at JAPAN PACK 2019 Japan Packaging Industry Exhibition October 29, 2020 (8) Sales to Nipro Co., Ltd. February 26, 2019 (9) Sale to Sumitomo Dainippon Pharma Co., Ltd. March 12, 2019 (10) Sale to Mochida Pharmaceutical Co., Ltd. April 16, 2019 (11) Sale to Kowa Co., Ltd. August 1, 2021 (12) Sales to Takada Pharmaceutical Co., Ltd. September 11, 2020

本発明は、検査対象(以下、ワークという)の欠陥の有無を検査するエアリークテスト装置に関し、特に2つの方式でエアリークテストを実行できる装置に関する。 The present invention relates to an air leak test device for inspecting an object to be inspected (hereinafter referred to as a work) for the presence or absence of defects, and particularly to a device capable of performing an air leak test using two methods.

例えば包装された医薬品において包装に欠陥があると、医薬品の劣化を招く。そのため、包装に欠陥があるか否かを検出するためにエアリークテスト装置が用いられている。包装の欠陥には、ピンホール等の小さな欠陥や、シール不良や破れ等の大きな欠陥がある。そのため、エアリークテスト装置は、小さな欠陥を検出するための小漏れ検出工程と、大きな欠陥を検出する大漏れ検出工程を実行することが求められる。 For example, if there is a defect in the packaging of a packaged drug, it will cause the drug to deteriorate. Therefore, air leak test devices are used to detect whether there are defects in the packaging. Packaging defects include small defects such as pinholes and large defects such as poor seals and tears. Therefore, the air leak test device is required to perform a small leak detection process for detecting small defects and a large leak detection process for detecting large defects.

特許文献1は、第1方式(いわゆるタンク加圧方式)により小漏れと大漏れを検出するエアリークテスト装置を開示している。この装置は、圧力源とワークカプセルとを繋ぐ主回路を備えている。圧力源と主回路との間には第1供給弁が介在されている。主回路には第2供給弁が設けられ、この第2供給弁により主回路が圧力源側の上流側回路部とワークカプセル側の下流側回路部に分けられている。主回路の上流側回路部にはタンクが接続されている。主回路の下流側回路部には、検圧回路の両端が接続されている。検圧回路には差圧センサと検圧弁が設けられている。 Patent Document 1 discloses an air leak test device that detects small leaks and large leaks using a first method (so-called tank pressurization method). The device includes a main circuit connecting the pressure source and the work capsule. A first supply valve is interposed between the pressure source and the main circuit. A second supply valve is provided in the main circuit, and the second supply valve divides the main circuit into an upstream circuit section on the pressure source side and a downstream circuit section on the work capsule side. A tank is connected to the upstream circuit section of the main circuit. Both ends of the pressure detection circuit are connected to the downstream circuit section of the main circuit. The pressure detection circuit is provided with a differential pressure sensor and a pressure detection valve.

最初に、第1供給弁が開き第2供給弁が閉じた状態で、タンクには圧力源からの設定圧が付与される。
次に、第1供給弁を閉じ、第2供給弁を開くことにより、上記設定圧のタンクと、大気圧状態で封鎖されている主回路の下流側回路部が、連通状態になる。その結果、ワークカプセル内には、上記設定圧と大気圧の中間のテスト圧力が付与されることになる。この時に検出されるタンク圧に基づき、大漏れの有無が判断する。
次に、検圧回路の検圧弁を閉じ、差圧センサからの検出差圧に基づき小漏れの有無を判断する。
Initially, with the first supply valve open and the second supply valve closed, a set pressure is applied to the tank from the pressure source.
Next, by closing the first supply valve and opening the second supply valve, the tank at the set pressure and the downstream circuit section of the main circuit, which is closed at atmospheric pressure, are brought into communication. As a result, a test pressure intermediate between the set pressure and atmospheric pressure is applied inside the work capsule. Based on the tank pressure detected at this time, it is determined whether there is a major leak.
Next, the pressure detection valve of the pressure detection circuit is closed, and the presence or absence of a small leak is determined based on the differential pressure detected by the differential pressure sensor.

特許文献2は、第2方式(いわゆるタンク分圧方式)のエアリークテスト装置を開示している。この方式では、上記第1方式(タンク加圧方式)とは逆に、小漏れ検出の後に大漏れ検出を実行する。この装置は、圧力源と、主回路と、これら圧力源と主回路との間に介在された供給弁とを備えている。主回路は2つの分岐路、すなわち末端にマスタ容器が接続されたマスタ側分岐路と、末端にワークカプセルが接続されたワーク側分岐路とに、分岐されている。マスタ側分岐路とワーク側分岐路にはそれぞれ検圧弁が設けられている。これら検圧弁の下流側においてマスタ側分岐路とワーク側分岐路間には、差圧センサが接続されている。さらに検圧弁の下流側においてマスタ側分岐路とワーク側分岐路には、それぞれタンク弁を介してタンクが接続されている。 Patent Document 2 discloses a second type (so-called tank partial pressure type) air leak test device. In this method, contrary to the first method (tank pressurization method), large leak detection is performed after small leak detection. The device includes a pressure source, a main circuit, and a supply valve interposed between the pressure source and the main circuit. The main circuit is branched into two branch paths: a master side branch path to which the master container is connected at the end, and a work side branch path to which the work capsule is connected to the end. A pressure detection valve is provided in each of the master side branch path and the work side branch path. A differential pressure sensor is connected between the master side branch path and the work side branch path on the downstream side of these pressure detection valves. Further, on the downstream side of the pressure detection valve, tanks are connected to the master side branch path and the work side branch path through tank valves, respectively.

上記特許文献2の装置では、最初に圧力源からテスト圧としての設定圧が、マスタ側分岐路とワーク側分岐路に供給される。次に、検圧弁を閉じた状態で、差圧センサによりマスタ側分岐路とワーク側分岐路の差圧を検出し、この検出差圧に基づき小漏れの有無を判断する。次に、タンク弁を開き、設定圧のマスタ側分岐路とワーク側分岐路を、大気圧のタンクと連通させる。その結果、ワークカプセル内には、上記設定圧と大気圧の中間の圧が付与されることになる。この時の差圧センサで検出される検出差圧に基づき、大漏れの有無を判断する。 In the apparatus of Patent Document 2, a set pressure as a test pressure is first supplied from the pressure source to the master side branch path and the work side branch path. Next, with the pressure detection valve closed, the differential pressure between the master side branch path and the work side branch path is detected by the differential pressure sensor, and the presence or absence of a small leak is determined based on this detected differential pressure. Next, the tank valve is opened, and the master side branch path and the work side branch path at the set pressure are communicated with the tank at atmospheric pressure. As a result, a pressure intermediate between the set pressure and atmospheric pressure is applied inside the work capsule. Based on the differential pressure detected by the differential pressure sensor at this time, it is determined whether there is a large leak.

特開2017-129477号公報(図1)JP 2017-129477 (Figure 1) WO2017/208543号公報(図1)WO2017/208543 publication (Figure 1)

後述するように、第1方式と第2方式にはそれぞれ長所と短所がある。検査すべきワークは多種多様であり、上記第1方式が適するワークと、第2方式が適するワークがある。そのため、第1方式と第2方式にそれぞれ適したワークのエアリークテストを行う場合、第1方式のエアリークテスト装置と第2方式のエアリークテスト装置の2種類を用意する必要があり、設備コストの増大を招く。 As will be described later, the first method and the second method each have advantages and disadvantages. There are a wide variety of workpieces to be inspected, and there are workpieces for which the first method is suitable and workpieces for which the second method is suitable. Therefore, when performing an air leak test on a workpiece that is suitable for the first method and the second method, it is necessary to prepare two types of air leak test equipment, one for the first method and the other for the second method, which increases equipment costs. invite.

本発明は上記課題を解決するためになされたものであり、エアリークテスト装置であって、ア)大気圧または大気圧に近い基準圧と設定圧を含む圧を供給可能な圧力源と、イ)検査対象のワークを収容するワークカプセルと、ウ)上記圧力源と上記ワークカプセルとを繋ぐ主回路と、エ)上記圧力源と上記主回路との間に介在された第1供給弁と、オ)上記主回路に設けられ、上記主回路を圧力源側の上流側回路部とワークカプセル側の下流側回路部とに分ける第2供給弁と、カ)上記主回路の上記上流側回路部に分岐回路を介して接続されるタンクと、キ)上記分岐回路に設けられ上記タンクを上記主回路に対して連通、遮断するタンク弁と、ク)上記主回路の上記上流側回路部に接続される圧力センサと、ケ)両端が上記主回路の下流側回路部に接続される検圧回路と、コ)上記検圧回路に設けられた検圧弁と、サ)上記検圧回路に設けられ、上記主回路の上記下流側回路部を介して上記ワークカプセルに連なるワーク側ポートと、上記検圧弁に連なる基準側ポートとを有する差圧センサと、シ)上記主回路に接続された大気開放弁と、ス)上記圧力源の供給圧の制御、上記第1供給弁、上記第2供給弁、上記タンク弁、上記検圧弁、上記大気開放弁のシーケンス制御、および前記圧力センサからの検出圧に基づく上記ワークの大漏れの有無の判断、上記差圧センサからの検出差圧に基づく上記ワークの小漏れの有無の判断を実行する制御・判断手段と、を備えたことを特徴とする。 The present invention has been made to solve the above problems, and is an air leak test device comprising: (a) a pressure source capable of supplying atmospheric pressure or a pressure including a reference pressure close to atmospheric pressure and a set pressure; and (b) a work capsule containing a work to be inspected; c) a main circuit connecting the pressure source and the work capsule; d) a first supply valve interposed between the pressure source and the main circuit; ) a second supply valve provided in the main circuit and dividing the main circuit into an upstream circuit section on the pressure source side and a downstream circuit section on the work capsule side; f) a second supply valve in the upstream circuit section of the main circuit; a tank connected via a branch circuit; g) a tank valve provided in the branch circuit to communicate and cut off the tank from the main circuit; and h) a tank valve connected to the upstream circuit section of the main circuit. (k) a pressure detection circuit whose both ends are connected to a downstream circuit section of the main circuit; (c) a pressure detection valve provided in the pressure detection circuit; and (c) a pressure detection circuit provided in the pressure detection circuit; a differential pressure sensor having a work side port connected to the work capsule via the downstream circuit section of the main circuit and a reference side port connected to the pressure detection valve; and c) an atmospheric release valve connected to the main circuit. and s) control of the supply pressure of the pressure source, sequence control of the first supply valve, the second supply valve, the tank valve, the pressure detection valve, and the atmosphere release valve, and the detection pressure from the pressure sensor. The present invention is characterized by comprising a control/judgment means for determining whether or not there is a large leak in the work based on the pressure difference detected by the differential pressure sensor, and determining whether or not there is a small leak in the work based on the differential pressure detected by the differential pressure sensor.

上記構成によれば、圧力源からタンクへの圧供給と、圧力源から主回路への圧供給を独立して行うことができるので、ワークに応じてエアリークテストの方式を選択することが可能となる。 According to the above configuration, pressure can be supplied from the pressure source to the tank and from the pressure source to the main circuit independently, so it is possible to select the air leak test method depending on the workpiece. Become.

好ましくは、上記圧力センサが絶対圧センサである。これにより、外部の大気圧の変動に影響されずに高精度のエアリークテストを行うことができる。 Preferably, the pressure sensor is an absolute pressure sensor. This allows a highly accurate air leak test to be performed without being affected by changes in external atmospheric pressure.

好ましくは、さらに、上記主回路の上記上流側回路部と上記下流側回路部の間に接続された基準漏れ回路と、上記基準漏れ回路に設けられた2つの基準漏れ弁と、上記基準漏れ回路において上記2つの基準漏れ弁間に設けられるとともにオリフィスを有する基準漏れ器と、を備えている。
上記構成によれば、装置の校正等のために、基準漏れ器でワークの小漏れに擬制した基準漏れを発生させることができる。しかも、主回路の上流側回路部を絶対圧で定義される基準圧とすることができるので、基準漏れ時に差圧センサにより高精度に差圧を検出することができる。
Preferably, the main circuit further includes a reference leakage circuit connected between the upstream circuit section and the downstream circuit section, two reference leakage valves provided in the reference leakage circuit, and the reference leakage circuit. and a reference leaker provided between the two reference leak valves and having an orifice.
According to the above configuration, it is possible to generate a reference leak simulated as a small leak in the workpiece using the reference leakage device for the purpose of calibrating the apparatus or the like. Moreover, since the upstream circuit section of the main circuit can be set to the reference pressure defined by absolute pressure, the differential pressure can be detected with high precision by the differential pressure sensor in the event of a reference leak.

具体的態様として、第1方式のエアリークテストと、第2方式のエアリークテストを選択的に実行可能であり、
a.上記第1方式において上記制御・判断手段は、
上記第1供給弁と上記タンク弁を開き、上記第2供給弁を閉じた状態にして、上記圧力源から上記タンクに第1設定圧を供給する工程と、
上記タンク弁を閉じて上記タンク内を第1設定圧に維持したまま、上記第1供給弁と上記第2供給弁と上記検圧弁を開いた状態にして、上記圧力源から上記主回路と上記検出回路に上記基準圧を供給する工程と、
上記第1供給弁を閉じ、上記第2供給弁と上記検圧弁と上記タンク弁を開いた状態にして、上記タンクを上記主回路と上記検圧回路に連通させることにより、上記主回路と上記検圧回路を上記基準圧と上記第1設定圧の中間のテスト圧にし、この時の上記圧力センサからの検出圧に基づき、上記ワークの大漏れの有無を判断する大漏れ検出工程と、
上記検圧弁を閉じ、上記差圧センサからの検出差圧に基づき、上記ワークの小漏れの有無を判断する小漏れ検出工程と、
を上記順に実行し、
b.上記第2方式において上記制御・判断手段は、
上記第1供給弁と上記タンク弁を開き、上記第2供給弁を閉じた状態にして、上記圧力源から上記タンクに上記基準圧を供給する工程と、
上記タンク弁を閉じて上記タンク内を上記基準圧に維持したまま、上記第1供給弁と上記第2供給弁と上記検圧弁を開いた状態にして、上記圧力源から上記主回路と上記検圧回路にテスト圧としての第2設定圧を供給する工程と、
上記第1供給弁を閉じ上記検圧弁を閉じた状態にして、上記差圧センサからの検出差圧に基づき、上記ワークの小漏れの有無を判断する小漏れ検出工程と、
上記タンク弁を開き、上記タンクと上記主回路を連通させた状態にして、上記圧力センサからの検出圧に基づき、上記ワークの大漏れの有無を判断する大漏れ検出工程と、
を上記順に実行する。
As a specific aspect, it is possible to selectively perform the first method air leak test and the second method air leak test,
a. In the first method, the control/judgment means:
opening the first supply valve and the tank valve, closing the second supply valve, and supplying a first set pressure from the pressure source to the tank;
While the tank valve is closed and the pressure inside the tank is maintained at the first set pressure, the first supply valve, the second supply valve, and the pressure detection valve are opened, and the pressure source is connected to the main circuit and the pressure source. supplying the reference pressure to the detection circuit;
The first supply valve is closed, the second supply valve, the pressure detection valve, and the tank valve are opened, and the tank is communicated with the main circuit and the pressure detection circuit, thereby connecting the main circuit and the pressure detection circuit. a large leak detection step of setting the pressure detection circuit to a test pressure intermediate between the reference pressure and the first set pressure, and determining whether there is a large leak in the workpiece based on the detected pressure from the pressure sensor at this time;
a small leak detection step of closing the pressure detection valve and determining whether there is a small leak in the workpiece based on the differential pressure detected from the differential pressure sensor;
Execute in the above order,
b. In the second method, the control/judgment means:
opening the first supply valve and the tank valve and closing the second supply valve to supply the reference pressure from the pressure source to the tank;
While the tank valve is closed and the inside of the tank is maintained at the reference pressure, the first supply valve, the second supply valve, and the pressure detection valve are opened, and the pressure source is connected to the main circuit and the detection valve. a step of supplying a second set pressure as a test pressure to the pressure circuit;
a small leak detection step of closing the first supply valve and keeping the pressure detection valve closed, and determining whether there is a small leak in the workpiece based on the differential pressure detected from the differential pressure sensor;
a large leak detection step of opening the tank valve to bring the tank and the main circuit into communication, and determining whether or not there is a large leak in the workpiece based on the detected pressure from the pressure sensor;
Execute in the above order.

上記構成によれば、製品種別等に応じて、第1、第2方式を選択して実施することができる。
好ましくは、上記第1方式での第1設定圧は、正圧と負圧を選択でき、上記第2方式での第2設定圧も正圧と負圧を選択できるようにする。
According to the above configuration, it is possible to select and implement the first and second methods depending on the product type and the like.
Preferably, the first set pressure in the first method can be selected between positive pressure and negative pressure, and the second set pressure in the second method can also be selected between positive pressure and negative pressure.

好ましくは、負圧の上記第1設定圧を用いて第1方式のエアリークテストを実行する場合、または負圧の第2設定圧を用いて第2方式のエアリークテストを実行する場合に、上記制御・判断手段は、上記大漏れ検出工程と上記小漏れ検出工程の終了後に、上記圧力源からの正圧の供給を伴って上記開放弁を開くことにより、上記主回路を大気に開放する。
上記構成によれば、負圧によるワークカプセルの構成部材間の食い付きを確実に解消することができ、ワークカプセルを円滑に開放することができる。
Preferably, when performing a first type of air leak test using the first set pressure of negative pressure, or when performing a second type of air leak test using the second set pressure of negative pressure, the above control is preferably performed. - After the large leak detection step and the small leak detection step are completed, the determining means opens the release valve with supply of positive pressure from the pressure source to open the main circuit to the atmosphere.
According to the above configuration, it is possible to reliably eliminate sticking between the structural members of the work capsule due to negative pressure, and the work capsule can be opened smoothly.

好ましくは、上記制御・判断手段は、ワークの製品種別、テスト圧を含む情報を入力する情報入力部を有し、入力された製品の種別、テスト圧に応じて上記第1、第2方式のいずれかを選択する。
上記構成によれば、テスト方式を選択するユーザの負担を軽減することができる。
Preferably, the control/judgment means has an information input section for inputting information including the product type and test pressure of the workpiece, and selects the first and second methods according to the input product type and test pressure. Choose one.
According to the above configuration, it is possible to reduce the burden on the user who selects a test method.

本発明によれば、複数方式のエアリークテストを実行可能な装置を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide an apparatus that can perform multiple types of air leak tests.

本発明の一実施形態をなすエアリークテスト装置の回路構成を示す概略図である。1 is a schematic diagram showing a circuit configuration of an air leak test device according to an embodiment of the present invention. 図1の装置で実行される正圧を用いたタンク加圧方式のエアリークテストのタイムチャートである。2 is a time chart of an air leak test of a tank pressurization method using positive pressure, which is performed in the apparatus of FIG. 1. FIG. 同装置で実行される負圧を用いたタンク加圧方式のエアリークテストのタイムチャートである。This is a time chart of an air leak test using the tank pressurization method using negative pressure, which is performed with the same device. 同装置で実行される正圧を用いたタンク分圧方式のエアリークテストのタイムチャートである。This is a time chart of a tank partial pressure type air leak test using positive pressure performed by the same device. 同装置で実行される負圧を用いたタンク分圧方式のエアリークテストのタイムチャートである。This is a time chart of a tank partial pressure type air leak test using negative pressure performed by the same device. 図1の装置にさらに構成要素を追加した回路構成図である。FIG. 2 is a circuit configuration diagram in which further components are added to the device of FIG. 1; 同装置で実行される方式選択のためのフローチャートである。It is a flowchart for method selection executed by the same device.

以下、本発明の一実施形態について、図1~図5を参照しながら説明する。図1に概略的に示すエアリークテスト装置は、圧力源1と、ワークカプセル2と、圧力源1とワークカプセル2を繋ぐ主回路3を備えている。なお、本願明細書では、供給される圧力の正負に拘わらず、圧力源1側を上流側、ワークカプセル2側を下流側と定義する。 An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 to 5. The air leak test device schematically shown in FIG. 1 includes a pressure source 1, a work capsule 2, and a main circuit 3 connecting the pressure source 1 and the work capsule 2. In this specification, the pressure source 1 side is defined as the upstream side, and the work capsule 2 side is defined as the downstream side, regardless of whether the supplied pressure is positive or negative.

圧力源1は、それぞれ絶対圧で定義される正圧と、負圧と、大気圧より若干高い基準圧を、選択的に供給することができる。すなわち、圧力源1は、レギュレータを備えており、後述する絶対圧センサ6(圧力センサ)からの検出圧のフィードバックを受けて設定された圧を供給することができる。 The pressure source 1 can selectively supply a positive pressure, a negative pressure, and a reference pressure slightly higher than atmospheric pressure, each defined as an absolute pressure. That is, the pressure source 1 includes a regulator and can supply a set pressure in response to feedback of detected pressure from an absolute pressure sensor 6 (pressure sensor), which will be described later.

ワークカプセル2は、検出すべきワークWを収容するカプセル本体2aと、このカプセル本体2aの上端開口を塞ぐ天板2b(蓋;閉塞部材)とを有している。カプセル本体2aは、天板2bから離れたワーク搬入・搬出位置(想像線で示す)と、天板2bの真下の検出位置(実線で示す)との間で、スライド可能である。カプセル本体2aと天板2bは、カプセル本体2aが検出位置にある時にクランプ機構によりクランプされ、これによりワークカプセル2の内部空間を密封状態にすることができる。 The work capsule 2 has a capsule main body 2a that accommodates a work W to be detected, and a top plate 2b (lid; closing member) that closes the upper end opening of the capsule main body 2a. The capsule main body 2a is slidable between a workpiece loading/unloading position (indicated by an imaginary line) away from the top plate 2b and a detection position (indicated by a solid line) directly below the top plate 2b. The capsule body 2a and the top plate 2b are clamped by a clamp mechanism when the capsule body 2a is at the detection position, thereby making it possible to seal the interior space of the work capsule 2.

圧力源1と主回路3との間には常開の第1供給弁SV1が配置されている。主回路には常閉の第2供給弁SV2が設けられている。主回路3は第2供給弁SV2により、上流側回路部3aと下流側回路部3bに分けられている。 A normally open first supply valve SV1 is arranged between the pressure source 1 and the main circuit 3. The main circuit 2 is provided with a normally closed second supply valve SV2. The main circuit 3 is divided into an upstream circuit section 3a and a downstream circuit section 3b by the second supply valve SV2.

主回路3の上流側回路部3aには、分岐回路4が接続されている。この分岐回路4には常開のタンク弁SV3が設けられ、さらにその末端にはタンク5が接続されている。上流側回路部3aには、タンク5から独立した絶対圧センサ6も接続されている。 A branch circuit 4 is connected to the upstream circuit section 3a of the main circuit 3. This branch circuit 4 is provided with a normally open tank valve SV3, and a tank 5 is further connected to the terminal end of the tank valve SV3. An absolute pressure sensor 6 independent from the tank 5 is also connected to the upstream circuit section 3a.

主回路3の下流側回路部3bには、検圧回路7の両端が接続されており、この検圧回路7には、差圧センサ8と常開の検圧弁SV4が設けられている。差圧センサ8の一方のポート8a(ワーク側ポート)は、主回路3の下流側回路部3bを介してワークカプセル2に連なっている。他方のポート8b(基準側ポート)は、検圧弁SV4に連なっている。主回路3の下流側回路部3bには、大気に連なる開放回路9が接続されている。開放回路9には常開の開放弁SV5が設けられている。
なお、上述した弁SV1~SV5は空気作動型の弁である。
Both ends of a pressure detection circuit 7 are connected to the downstream circuit section 3b of the main circuit 3, and the pressure detection circuit 7 is provided with a differential pressure sensor 8 and a normally open pressure detection valve SV4. One port 8a (work side port) of the differential pressure sensor 8 is connected to the work capsule 2 via the downstream circuit section 3b of the main circuit 3. The other port 8b (reference side port) is connected to the pressure detection valve SV4. An open circuit 9 connected to the atmosphere is connected to the downstream circuit section 3b of the main circuit 3. The open circuit 9 is provided with a normally open open valve SV5.
Note that the valves SV1 to SV5 mentioned above are air-operated valves.

エアリークテスト装置はさらに、コントローラ10(制御・演算手段)を備えている。コントローラ10は、圧力源1のレギュレータに接続されて供給圧を制御し、ワークカプセル2のためのスライド機構、クランプ機構を制御し、弁SV1~SV5をシーケンス制御し、絶対圧センサ6からの検出圧に基づきワークの大漏れの有無を判断し、差圧センサ8からの検出差圧に基づきワークの小漏れの有無を判断する。 The air leak test device further includes a controller 10 (control/calculation means). The controller 10 is connected to the regulator of the pressure source 1 to control the supply pressure, the slide mechanism and clamp mechanism for the work capsule 2, sequence control of the valves SV1 to SV5, and the detection from the absolute pressure sensor 6. Based on the pressure, it is determined whether there is a large leak in the workpiece, and based on the differential pressure detected by the differential pressure sensor 8, it is determined whether there is a small leakage in the workpiece.

上記構成をなすエアリークテスト装置は、コントローラ10により、2つの方式でエアリークテストを行なうことができる。2つの方式は、ワークWの大漏れと小漏れのいずれを先に行うかで識別される。
第1の方式は、大漏れを先に行う方式であり、後述のようにタンク5に蓄えられた圧を基準圧の主回路3に向けて供給するためタンク加圧方式と称す。
第2の方式は、小漏れを先に行う方式であり、後述のように主回路3の圧を基準圧のタンク5に分けるため、タンク分圧方式と称す。
The air leak test device having the above configuration can perform an air leak test using two methods using the controller 10. The two methods are distinguished depending on whether large leakage or small leakage of the workpiece W is to be performed first.
The first method is a method in which large leaks are detected first, and is referred to as a tank pressurization method because the pressure stored in the tank 5 is supplied toward the main circuit 3 of the reference pressure as described later.
The second method is a method in which a small leak is detected first, and is called a tank partial pressure method because the pressure of the main circuit 3 is divided into the tanks 5 having a reference pressure as described later.

以下、タンク加圧方式、タンク分圧方式のエアリークテストを、それぞれ正圧を用いる場合と負圧を用いる場合について、図2~図5のタイムチャートを参考にしながら説明する。これらタイムチャートにおいて、各工程のハッチングは、各弁SV1~SV5が開いている状態を示し、ハッチングなしは閉じている状態を示す。 Hereinafter, the air leak test of the tank pressurization method and the tank partial pressure method will be described with reference to the time charts of FIGS. 2 to 5 for cases in which positive pressure and negative pressure are used, respectively. In these time charts, hatching at each step indicates that each valve SV1 to SV5 is open, and no hatching indicates a closed state.

タンク加圧方式(正圧)
最初に、正圧を用いたタンク加圧方式エアリークテストについて図2を参照しながら説明する。
(初期工程)
弁SV1~SV5は図1の状態にある。第1供給弁SV1が開き、第2供給弁V2が閉じているので、圧力源1から正圧の第1設定圧Pxが主回路3の上流側回路部3aに付与されている。この第1設定圧Pxは、圧力源1のレギュレータが絶対圧センサ6からのフィードバックを受けて制御されるので、一定に維持されている。また、タンク弁SV3が開いているので、タンク5にも上記第1設定圧Pxが供給されている。
他方、検圧弁SV4と開放弁SV5が開いているので、主回路3の下流側回路部3bおよび検圧回路7は大気開放されている。
Tank pressurization method (positive pressure)
First, a tank pressurization type air leak test using positive pressure will be explained with reference to FIG.
(Initial process)
Valves SV1 to SV5 are in the state shown in FIG. Since the first supply valve SV1 is open and the second supply valve V2 is closed, a positive first set pressure Px is applied from the pressure source 1 to the upstream circuit section 3a of the main circuit 3. This first set pressure Px is maintained constant because the regulator of the pressure source 1 is controlled in response to feedback from the absolute pressure sensor 6. Furthermore, since the tank valve SV3 is open, the first set pressure Px is also supplied to the tank 5.
On the other hand, since the pressure detection valve SV4 and the release valve SV5 are open, the downstream circuit section 3b of the main circuit 3 and the pressure detection circuit 7 are open to the atmosphere.

(スライド工程)
次に、弁SV1~SV5を前工程のまま維持した状態で、ワークWを収容したカプセル本体2aを搬入・搬出位置から天板2bの下側の検出位置までスライドさせる。
(slide process)
Next, while maintaining the valves SV1 to SV5 as they were in the previous step, the capsule body 2a containing the workpiece W is slid from the loading/unloading position to the detection position below the top plate 2b.

(タンク遮断・クランプ工程)
次に、カプセル本体2aと天板2bをクランプして、ワークカプセル2の内部空間を密封する。このクランプ工程で、タンク弁SV3をオンして閉じ状態にし、タンク5を主回路3の上流側回路部3aから遮断する。これにより、タンク5は第1設定圧Pxに維持される。
(Tank shutoff/clamping process)
Next, the capsule body 2a and the top plate 2b are clamped to seal the internal space of the work capsule 2. In this clamping step, the tank valve SV3 is turned on and closed, thereby cutting off the tank 5 from the upstream circuit section 3a of the main circuit 3. Thereby, the tank 5 is maintained at the first set pressure Px.

(基準圧供給工程)
次に、弁SV1,SV3、SV4を前工程と同じ状態にしたままで、開放弁SV5をオンして閉じ状態にし、主回路3を外部から遮断する。これと略同時または直後に、第2供給弁SV2をオンして開き状態にするとともに、圧力源1から大気圧に近い基準圧Prを供給する。これにより、主回路3、検圧回路7およびワークカプセル2が基準圧Prとなる。タンク5は第1設定圧Pxに維持されたままである。
(Standard pressure supply process)
Next, while leaving the valves SV1, SV3, and SV4 in the same state as in the previous step, the open valve SV5 is turned on to close it, and the main circuit 3 is cut off from the outside. At approximately the same time or immediately after this, the second supply valve SV2 is turned on and opened, and a reference pressure Pr close to atmospheric pressure is supplied from the pressure source 1. As a result, the main circuit 3, pressure detection circuit 7, and work capsule 2 become at the reference pressure Pr. The tank 5 remains maintained at the first set pressure Px.

(タンク連通・テスト圧供給工程)
次に、第1供給弁SV1をオンして閉じ状態にした後、タンク弁SV3をオフにして開き状態にすることにより、タンク5を主回路3と連通させる。他の弁は前工程と同じ状態に維持されている。これにより、タンク5からの第1設定圧Pxの空気が主回路3へと流れる。その結果、主回路3、検圧回路7およびワークカプセル2を含む閉鎖回路全体の圧が正圧のテスト圧Ptとなる。このテスト圧Ptは、基準圧Prと第1設定圧Pxの中間の値であり、下記の式により表される。
Pt=(Px・Vt+Pr・Vc)/(Vt+Vc)・・・(1)
ただし、Vtはタンク体積であり、Vcは主回路3、検圧回路7、ワークカプセル2を含むタンク5を除く閉鎖回路の容積(ただし、ワークカプセル2の容積については、ワークカプセル2の内面により画成された容積からワークWの容積を減じる)である。これら体積Vt、Vcは既知である。
(Tank communication/test pressure supply process)
Next, after turning on the first supply valve SV1 to bring it into a closed state, the tank valve SV3 is turned off and brought into an open state, thereby communicating the tank 5 with the main circuit 3. The other valves are kept the same as in the previous step. As a result, air at the first set pressure Px from the tank 5 flows into the main circuit 3. As a result, the pressure of the entire closed circuit including the main circuit 3, pressure detection circuit 7, and work capsule 2 becomes the positive test pressure Pt1 . This test pressure Pt1 is an intermediate value between the reference pressure Pr and the first set pressure Px, and is expressed by the following equation.
Pt 1 = (Px・Vt+Pr・Vc)/(Vt+Vc)...(1)
However, Vt is the tank volume, and Vc is the volume of the main circuit 3, pressure detection circuit 7, and closed circuit excluding the tank 5, which includes the work capsule 2 (however, the volume of the work capsule 2 depends on the inner surface of the work capsule 2). subtract the volume of the workpiece W from the defined volume). These volumes Vt and Vc are known.

(大漏れ検出工程)
次に、弁SV1~SV5を前工程のまま維持した状態で、絶対圧センサ6で検出される上記閉鎖回路の絶対圧に基づき大漏れの有無を判断する。ワークWに包装のシール不良や破れ等の大きな欠陥が無い場合には、絶対圧センサ6で検出される圧力は、上記式(1)で見込まれるテスト圧Ptに維持されるが、大きな欠陥がある場合には、ワークカプセル2内のテスト圧Ptの空気が一瞬のうちにワークW内に入り込み(大漏れ)、その分だけ絶対圧センサ6で検出される圧が、テスト圧Ptから低下する。
コントローラ10では、この絶対圧センサ6での検出圧とテスト圧Ptとの差が閾値内であればワークWに大漏れが無いと判断し、この差が閾値を超えた場合には大漏れ有り、すなわちワークWに大きな欠陥有りと判断する。
(Large leak detection process)
Next, with the valves SV1 to SV5 maintained as they were in the previous process, it is determined whether there is a large leak based on the absolute pressure of the closed circuit detected by the absolute pressure sensor 6. If the workpiece W has no major defects such as poor sealing or tears in the packaging, the pressure detected by the absolute pressure sensor 6 will be maintained at the test pressure Pt 1 estimated by the above formula (1), but if there is a major defect If there is, the air at the test pressure Pt 1 in the work capsule 2 instantly enters the work W (large leak), and the pressure detected by the absolute pressure sensor 6 increases by that much, the test pressure Pt 1 decreases from
The controller 10 determines that there is no major leak in the workpiece W if the difference between the pressure detected by the absolute pressure sensor 6 and the test pressure Pt1 is within the threshold, and if this difference exceeds the threshold, there is a major leak. Yes, that is, it is determined that the workpiece W has a large defect.

(圧力安定化工程)
次に、弁SV1,SV3,SV5を前工程のまま維持した状態で、第2供給弁SV2をオフして閉じ状態にすることにより、主回路3の上流側回路部3aと下流側回路部3bの間を遮断するとともに、検圧弁SV4をオンして閉じ状態にすることにより、検圧回路7を2つに分けて遮断する。この状態を所定時間維持して主回路3の下流側回路部3bと検圧回路7の圧を安定化させる。
(Pressure stabilization process)
Next, while maintaining the valves SV1, SV3, and SV5 as they were in the previous process, the second supply valve SV2 is turned off and closed, thereby opening the upstream circuit section 3a and the downstream circuit section 3b of the main circuit 3. By turning on the pressure detection valve SV4 and closing it, the pressure detection circuit 7 is divided into two parts and cut off. This state is maintained for a predetermined period of time to stabilize the pressures in the downstream circuit section 3b of the main circuit 3 and the pressure detection circuit 7.

(小漏れ検出工程)
次に、弁SV1~SV5を前工程のまま維持した状態で、差圧センサ8で検出される差圧に基づき小漏れの有無を判断する。この状態で、差圧センサ8の2つのポート8a,8bは、互いに遮断されている。すなわち、ワーク側ポート8aは、主回路3の下流側回路部3bを介してワークカプセル2に連なっている。基準側ポート8bは、検圧回路7において、差圧センサ8と検圧弁SV4との間の部分に連なっている。基準側ポート8bでの圧力は、テスト圧Ptに維持されている。
(Small leak detection process)
Next, the presence or absence of a small leak is determined based on the differential pressure detected by the differential pressure sensor 8 while maintaining the valves SV1 to SV5 as they were in the previous process. In this state, the two ports 8a and 8b of the differential pressure sensor 8 are blocked from each other. That is, the work side port 8a is connected to the work capsule 2 via the downstream circuit section 3b of the main circuit 3. The reference side port 8b is connected to a portion of the pressure detection circuit 7 between the differential pressure sensor 8 and the pressure detection valve SV4. The pressure at the reference side port 8b is maintained at test pressure Pt1 .

ワークWの包装にピンホール等の小さな欠陥が無い場合には、ワーク側ポート8a側の圧力もテスト圧Ptに維持されている。コントローラ10は、差圧センサ8の検出差圧が閾値内にある場合には、小漏れ無し、すなわちワークWに小さな欠陥が無いと判断する。
ワークWの包装にピンホール等の小さな欠陥が有る場合には、テスト圧Ptの空気が少しずつワークW内に入り込む。これにより、主回路3の下流側回路部3bとワークカプセル2の圧が徐々に減じられ、ワーク側ポート8aの圧が基準側ポート8bの圧(テスト圧Pt)より低くなる。コントローラ10は、差圧センサ8の検出差圧が閾値を超えた時には、小漏れ有り、すなわち小さな欠陥が有ると判断する。
If there is no small defect such as a pinhole in the packaging of the workpiece W, the pressure on the workpiece side port 8a side is also maintained at the test pressure Pt1 . If the differential pressure detected by the differential pressure sensor 8 is within the threshold, the controller 10 determines that there is no small leak, that is, that there is no small defect in the workpiece W.
If the packaging of the workpiece W has a small defect such as a pinhole, air at the test pressure Pt1 gradually enters the workpiece W. As a result, the pressure in the downstream circuit section 3b of the main circuit 3 and the work capsule 2 is gradually reduced, and the pressure in the work port 8a becomes lower than the pressure in the reference port 8b (test pressure Pt 1 ). When the differential pressure detected by the differential pressure sensor 8 exceeds a threshold value, the controller 10 determines that there is a small leak, that is, there is a small defect.

(大気開放工程)
次に、弁SV1,SV3を前工程のまま維持した状態で、第2供給弁SV2をオンして開き,検圧弁SV4をオフして開き、開放弁SV5をオフして開く。これにより、圧力供源1から遮断された状態で、主回路3および検圧回路7を含む回路と、タンク5と、ワークカプセル2が大気に開放される(排気される)。
(Atmospheric release process)
Next, while maintaining the valves SV1 and SV3 as they were in the previous step, the second supply valve SV2 is turned on and opened, the pressure detection valve SV4 is turned off and opened, and the release valve SV5 is turned off and opened. As a result, the circuit including the main circuit 3 and the pressure detection circuit 7, the tank 5, and the work capsule 2 are opened to the atmosphere (exhausted) while being cut off from the pressure supply source 1.

(クランプ解除工程)
次に、弁SV1~SV5を前工程のまま維持した状態で、ワークカプセル2のクランプを解除する。
(スライド工程)
最後に、検査済みのワークWを収容したカプセル本体2aをスライドさせることにより、天板2bに対応する検出位置から搬入・搬出位置へと戻し、ワークWをカプセル本体2aから取り出す。この工程で、第1供給弁SV1をオフにして開き、第2供給弁SV2をオフにして閉じることにより、全ての弁SV1~SV5を初期工程と同じ状態に戻す。
(Clamp release process)
Next, the clamp on the work capsule 2 is released while maintaining the valves SV1 to SV5 as they were in the previous process.
(Sliding process)
Finally, by sliding the capsule body 2a containing the inspected workpiece W, it is returned from the detection position corresponding to the top plate 2b to the loading/unloading position, and the workpiece W is taken out from the capsule body 2a. In this step, the first supply valve SV1 is turned off and opened, and the second supply valve SV2 is turned off and closed, thereby returning all the valves SV1 to SV5 to the same state as in the initial step.

上記タンク加圧方式では、圧力源1の供給圧は、基準圧供給工程でのみ基準圧Prまで低下するが、他の工程では正圧の第1設定圧Pxを維持される。 In the tank pressurization method, the supply pressure of the pressure source 1 is reduced to the reference pressure Pr only in the reference pressure supply process, but is maintained at the positive first set pressure Px in other processes.

タンク加圧方式(負圧)
(初期工程から小漏れ検出工程まで)
次に、負圧を用いたタンク加圧方式のエアリークテストについて図3を参照しながら説明する。初期工程、スライド工程、タンク遮断・クランプ工程、基準圧供給工程、タンク連通・テスト圧供給工程、大漏れ検出工程、圧力安定化工程、小漏れ検出工程までの弁SV1~SV5の動作は、上記正圧のタンク加圧方式エアリークテスト方法と同じである。圧力源1は、初期工程からタンク遮断・クランプ工程まで、負圧の第1設定圧Px’を供給し、基準圧供給工程で基準圧Prを供給する。
Tank pressurization method (negative pressure)
(From initial process to small leak detection process)
Next, an air leak test using a tank pressurization method using negative pressure will be described with reference to FIG. The operations of valves SV1 to SV5 during the initial process, slide process, tank shutoff/clamp process, standard pressure supply process, tank communication/test pressure supply process, large leak detection process, pressure stabilization process, and small leak detection process are as described above. This is the same as the positive tank pressurization air leak test method. The pressure source 1 supplies a negative first set pressure Px' from the initial process to the tank shutoff/clamp process, and supplies the reference pressure Pr in the reference pressure supply process.

タンク連通・テスト圧供給工程では、負圧の第1設定圧Px’のタンク5と、基準圧Prの閉鎖回路(主回路3、検圧回路7、ワークカプセル2を含む)が連通し、タンク5の負圧の第1設定圧Px’が基準圧Prの閉鎖回路に供給される。換言すれば、負圧のタンク5に閉鎖回路内の基準圧Prの空気が流れ込む。その結果、閉鎖回路およびタンク5の圧が負圧のテスト圧Pt’となる。このテスト圧Pt’は、基準圧Prと負圧の第1設定圧Px’の中間の値であり、上記式(1)において正圧の第1設定圧Pxを負圧の第1設定圧Px’に置き換えることにより得られる。 In the tank communication/test pressure supply process, the tank 5 with the negative first set pressure Px' and the closed circuit (including the main circuit 3, pressure detection circuit 7, and work capsule 2) with the reference pressure Pr communicate with each other, and the tank A first set pressure Px' with a negative pressure of 5 is supplied to the closed circuit of the reference pressure Pr. In other words, air at the reference pressure Pr in the closed circuit flows into the negative pressure tank 5. As a result, the pressure in the closed circuit and the tank 5 becomes the negative test pressure Pt 1 ′. This test pressure Pt1 ' is an intermediate value between the reference pressure Pr and the first set pressure Px' of negative pressure, and in the above equation (1), the first set pressure Px of positive pressure is set to the first set pressure Px of negative pressure. It can be obtained by replacing it with Px'.

ワークWの包装に大きな欠陥が有る場合には、上記タンク連通・テスト圧供給工程において、ワークWの空気が負圧のテスト圧Pt’のワークカプセル2へと一瞬のうちに漏れ出(大漏れ)、その分だけ絶対圧センサ6で検出される圧は、テスト圧Pt’より高くなる。大漏れ検出工程では、上記正圧の場合と同様に、絶対圧センサ6で検出される圧とテスト圧Pt’との差に基づいてワークWに大漏れが有るか無いかを判断する。 If there is a major defect in the packaging of the workpiece W, the air in the workpiece W may instantly leak ( largely (leakage), the pressure detected by the absolute pressure sensor 6 becomes higher than the test pressure Pt1 ' by that amount. In the large leak detection step, as in the case of positive pressure, it is determined whether there is a large leak in the workpiece W based on the difference between the pressure detected by the absolute pressure sensor 6 and the test pressure Pt1 '.

小漏れ検出工程では、ワークWの包装にピンホール等の小さな欠陥が有る場合に、ワークW内の空気が負圧のテスト圧Pt’のワークカプセル2へと少しずつ漏れ出る。これにより、主回路3の下流側回路部3bとワークカプセル2の圧力が徐々に上昇し、差圧センサ8のワーク側ポート8aの圧が基準側ポート8bの圧(テスト圧Pt’)より高くなる。コントローラ10は、正圧の場合と同様に、差圧センサ8の検出差圧に基づいて小漏れの有無を判断する。 In the small leakage detection step, if the packaging of the workpiece W has a small defect such as a pinhole, the air inside the workpiece W leaks little by little into the workpiece capsule 2 at a negative test pressure Pt1 '. As a result, the pressure in the downstream circuit section 3b of the main circuit 3 and the work capsule 2 gradually increases, and the pressure at the work side port 8a of the differential pressure sensor 8 becomes lower than the pressure at the reference side port 8b (test pressure Pt1 '). It gets expensive. The controller 10 determines whether there is a small leak based on the differential pressure detected by the differential pressure sensor 8, as in the case of positive pressure.

なお、本実施形態では、圧力源1の供給圧は、基準圧供給工程の後、テスト圧供給工程から小漏れ検出工程に至るまで、負圧の第1設定圧Px’に戻している。 In this embodiment, the supply pressure of the pressure source 1 is returned to the negative first set pressure Px' after the reference pressure supply process and from the test pressure supply process to the small leak detection process.

(大気開放工程からスライド工程まで)
大気開放工程とクランプ解除工程では、正圧のタンク加圧方式エアリークテストと弁の動作が異なる。詳述すると、大気開放工程では、すべての弁SV1~SV5が開くとともに、圧力源1の供給圧が負圧のPx’から正圧に切り替わる。なお、この大気開放工程で供給される正圧は、上述した正圧の第1設定圧Pxより低くてもよく、基準圧Prまたは基準圧Prより若干高い程度でもよい。
(From the atmosphere opening process to the sliding process)
In the atmosphere release process and the clamp release process, the positive pressure tank pressurization air leak test and valve operation are different. Specifically, in the atmosphere opening process, all the valves SV1 to SV5 are opened, and the supply pressure of the pressure source 1 is switched from negative pressure Px' to positive pressure. Note that the positive pressure supplied in this atmosphere opening step may be lower than the first set pressure Px of the positive pressure described above, or may be the reference pressure Pr or slightly higher than the reference pressure Pr.

上記大気開放工程では、大気が大気開放弁SV5からワークカプセル2へ流れ込むとともに、圧力源1からの正圧の空気が、ワークカプセル2に流れ込む。前工程までワークカプセル2は負圧状態にあり、カプセル本体2aが天板2bに食い付いている可能性があるが、上記正圧の空気が入り込むことにより、食い付きを確実に解除することができる。その結果、スライド工程において、円滑にカプセル本体2aを天板2bの下側の検出位置から搬入・搬出位置へとスライドさせることができる。
スライド工程では第2供給弁SV2がオフして閉じ状態となり、圧力源1の供給圧が所定負圧Pyに戻り、初期工程と同じ状態になる。
In the atmosphere opening step, the atmosphere flows into the work capsule 2 from the atmosphere opening valve SV5, and positive pressure air from the pressure source 1 flows into the work capsule 2. The work capsule 2 is under negative pressure until the previous process, and there is a possibility that the capsule body 2a is stuck to the top plate 2b, but by introducing the positive pressure air, the sticking can be reliably released. can. As a result, in the sliding process, the capsule main body 2a can be smoothly slid from the detection position below the top plate 2b to the loading/unloading position.
In the slide process, the second supply valve SV2 is turned off and closed, and the supply pressure of the pressure source 1 returns to the predetermined negative pressure Py, resulting in the same state as in the initial process.

タンク分圧方式(正圧)
次に、正圧を用いたタンク分圧方式エアリークテスト方法について図4を参照しながら説明する。
(初期工程)
圧力源1は、基準圧Prを供給している。弁SV1~SV5は図1の状態にあり、第1供給弁SV1が開き、第2供給弁V2が閉じているので、圧力源1からの基準圧Prが主回路3の上流側回路部3aに付与されている。タンク弁SV3が開いているので、タンク5にも上記基準圧Prが供給されている。主回路3の下流側回路部3bは大気開放されている。
Tank partial pressure method (positive pressure)
Next, a tank partial pressure air leak test method using positive pressure will be described with reference to FIG.
(Initial process)
A pressure source 1 supplies a reference pressure Pr. Since the valves SV1 to SV5 are in the state shown in FIG. 1, and the first supply valve SV1 is open and the second supply valve V2 is closed, the reference pressure Pr from the pressure source 1 is applied to the upstream circuit section 3a of the main circuit 3. Granted. Since the tank valve SV3 is open, the reference pressure Pr is also supplied to the tank 5. The downstream circuit section 3b of the main circuit 3 is open to the atmosphere.

(スライド工程)
次に、弁SV1~SV5を前工程のまま維持した状態で、ワークWを収容したカプセル本体2aを天板2bに対応した検出位置までスライドさせる。
(タンク遮断・クランプ工程)
次に、カプセル本体2aと天板2bをクランプして、ワークカプセル2の内部空間を密封する。この工程では、タンク弁SV3をオンして閉じ状態にし、タンク5を主回路3の上流側回路部3aから遮断する。これにより、タンク5は基準圧Prに維持される。なお本実施形態では、タンク弁SV3が閉じた直後に第2供給弁SV2がオンして開き、圧力源1からの基準圧Prの空気が、主回路3を通り開放弁SV5から大気へ排出される。
(Sliding process)
Next, while maintaining the valves SV1 to SV5 as they were in the previous step, the capsule body 2a containing the workpiece W is slid to the detection position corresponding to the top plate 2b.
(Tank shutoff/clamping process)
Next, the capsule body 2a and the top plate 2b are clamped to seal the internal space of the work capsule 2. In this step, the tank valve SV3 is turned on and closed, thereby cutting off the tank 5 from the upstream circuit section 3a of the main circuit 3. Thereby, the tank 5 is maintained at the reference pressure Pr. In this embodiment, the second supply valve SV2 is turned on and opened immediately after the tank valve SV3 is closed, and the air at the reference pressure Pr from the pressure source 1 is discharged to the atmosphere from the open valve SV5 through the main circuit 3. Ru.

(テスト圧供給工程)
次に、弁SV1、SV2,SV3、SV4を前工程のまま維持した状態で、開放弁SV5をオンして閉じることにより主回路3、検圧回路7、ワークカプセル2を含む回路を閉鎖し、圧力源1の供給圧を基準圧Prから正圧の第2設定圧Pyに切り替える。その結果、主回路3、検圧回路7およびワークカプセル2を含む閉鎖回路に正圧の第2設定圧Pyが供給される。この正圧の第2設定圧Pyは、小漏れ検出用のテスト圧Ptとして提供される。差圧センサ8の2つのポート8a,8bは、等しいテスト圧Ptを受けている。
(Test pressure supply process)
Next, the circuit including the main circuit 3, pressure detection circuit 7, and work capsule 2 is closed by turning on and closing the release valve SV5 while maintaining the valves SV1, SV2, SV3, and SV4 as they were in the previous process. The supply pressure of the pressure source 1 is switched from the reference pressure Pr to the second set pressure Py, which is a positive pressure. As a result, the positive second set pressure Py is supplied to the closed circuit including the main circuit 3, the pressure detection circuit 7, and the work capsule 2. This positive second set pressure Py is provided as a test pressure Pt2 for detecting a small leak. The two ports 8a, 8b of the differential pressure sensor 8 are subjected to an equal test pressure Pt2 .

(圧力安定化工程)
次に、弁SV2、SV3、SV5を前工程のまま維持した状態で、第1供給弁SV1をオンして閉じることにより、主回路3を圧力源1から遮断するとともに、検圧弁SV4をオンして検圧回路7を遮断する。この状態を所定時間維持して圧力を安定化させる。
(Pressure stabilization process)
Next, while maintaining the valves SV2, SV3, and SV5 as they were in the previous process, the first supply valve SV1 is turned on and closed to cut off the main circuit 3 from the pressure source 1, and the pressure detection valve SV4 is turned on. Pressure detection circuit 7 is shut off. This state is maintained for a predetermined period of time to stabilize the pressure.

(小漏れ検出工程)
次に、弁SV1~SV5を前工程のまま維持した状態で、差圧センサ8で検出される差圧に基づき小漏れの有無を判断する。この状態で、差圧センサ8の2つのポート8a,8bは、互いに遮断されている。すなわち、ワーク側ポート8aは、主回路3の下流回路部3bを介してワークカプセル2に連なっている。基準側ポート8bは、検圧回路7において、差圧センサ8と検圧弁SV4との間の部分に連なっている。ポート8bでの圧力は、テスト圧Ptに維持されている。
(Small leak detection process)
Next, the presence or absence of a small leak is determined based on the differential pressure detected by the differential pressure sensor 8 while maintaining the valves SV1 to SV5 as they were in the previous process. In this state, the two ports 8a and 8b of the differential pressure sensor 8 are blocked from each other. That is, the work side port 8a is connected to the work capsule 2 via the downstream circuit section 3b of the main circuit 3. The reference side port 8b is connected to a portion of the pressure detection circuit 7 between the differential pressure sensor 8 and the pressure detection valve SV4. The pressure at port 8b is maintained at test pressure Pt2 .

ワークWの包装にピンホール等の小さな欠陥が無い場合には、ワーク側ポート8a側の圧力もテスト圧Ptに維持される。その結果、差圧センサ8の検出差圧は、閾値内に維持され、コントローラ10は小漏れ無しと判断する。
ワークWの包装にピンホール等の小さな欠陥が有る場合には、テスト圧Ptの空気が徐々にワークW内に入り込む。これにより、ワークカプセル2の圧力が徐々に減じられ、ワーク側ポート8a側の圧力が基準側ポート8b側の圧(テスト圧Pt)より低くなり、差圧センサ8の検出差圧が閾値を超えるため、コントローラ10は小漏れ有りと判断する。
If there is no small defect such as a pinhole in the packaging of the workpiece W, the pressure on the workpiece side port 8a side is also maintained at the test pressure Pt2 . As a result, the differential pressure detected by the differential pressure sensor 8 is maintained within the threshold value, and the controller 10 determines that there is no small leak.
If the packaging of the workpiece W has a small defect such as a pinhole, air at the test pressure Pt2 gradually enters the workpiece W. As a result, the pressure in the work capsule 2 is gradually reduced, the pressure on the work side port 8a side becomes lower than the pressure on the reference side port 8b side (test pressure Pt 2 ), and the differential pressure detected by the differential pressure sensor 8 exceeds the threshold value. Therefore, the controller 10 determines that there is a small leak.

上述したように小漏れ検出に用いられるテスト圧Ptは、圧力源1から供給される第2設定圧Pyをそのまま用いることができるので、高く設定することができる。 As described above, the test pressure Pt2 used for detecting a small leak can be set high because the second set pressure Py supplied from the pressure source 1 can be used as is.

(大漏れ検出工程)
次に、弁SV1、SV2、SV5を前工程のまま維持した状態で、タンク弁SV3をオフして開き、検圧弁SV4をオフして開く。これにより、主回路3内における正圧のテスト圧Pt(正圧の第2設定圧Px)の空気が、これより低い基準圧Prのタンク5へと流れ込み、主回路3の圧力が大漏れ用のテスト圧Ptまで減じられる。このテスト圧Ptは、上記式(1)において、第1設定圧Pxを第2設定圧Pyに置き換えることにより、求められる。
(Large leak detection process)
Next, while maintaining the valves SV1, SV2, and SV5 as they were in the previous step, the tank valve SV3 is turned off and opened, and the pressure detection valve SV4 is turned off and opened. As a result, the air at the positive test pressure Pt 2 (the second set positive pressure Px) in the main circuit 3 flows into the tank 5 at a lower reference pressure Pr, causing a large pressure leak in the main circuit 3. The test pressure Pt is reduced to 3 . This test pressure Pt3 is obtained by replacing the first set pressure Px with the second set pressure Py in the above equation (1).

ワークWの包装に大きな欠陥が無い場合には、絶対圧センサ6で検出される圧は、テスト圧Ptと等しい。しかし、大きな欠陥がある場合には、ワークW内が既にテスト圧Ptになっており、このテスト圧Ptの空気が放出される分だけ、ワークカプセル2および主回路3の圧がテスト圧Ptより高くなる。コントローラ10では、絶対圧センサ6で検出される主回路3内の圧と上記テスト圧Ptとの差が閾値内にある場合には、大漏れ無しと判断し、閾値を超える場合には大漏れ有りと判断する。 If there is no major defect in the packaging of the workpiece W, the pressure detected by the absolute pressure sensor 6 is equal to the test pressure Pt3 . However, if there is a large defect, the inside of the workpiece W has already reached the test pressure Pt2 , and the pressure in the workpiece capsule 2 and main circuit 3 is reduced to the test pressure by the amount of air released at this test pressure Pt2. Higher than Pt 3 . The controller 10 determines that there is no major leak if the difference between the pressure in the main circuit 3 detected by the absolute pressure sensor 6 and the test pressure Pt 3 is within the threshold, and determines that there is no major leak if it exceeds the threshold. It is determined that there is a leak.

(大気開放工程)
次に、弁SV1~SV4を前工程のまま維持した状態で、開放弁SV5をオフして開き、これにより、主回路3、検圧回路7、タンク5、ワークカプセル2が大気に開放される(排気される)。
(クランプ解除工程)
次に、弁SV1~SV5を前工程のまま維持した状態で、ワークカプセル2のクランプを解除する。
(スライド工程)
最後に、検査済みのワークWを収容したカプセル本体2aをスライドさせて、天板2bの下側の検出位置から搬入・搬出位置へ戻すとともに、第1供給弁SV1をオフにして開き、第2供給弁SV2をオフにして閉じることにより、全ての弁SV1~SV5を初期工程と同じ状態に戻す。
(Atmospheric release process)
Next, while maintaining the valves SV1 to SV4 as they were in the previous process, the release valve SV5 is turned off and opened, thereby opening the main circuit 3, pressure detection circuit 7, tank 5, and work capsule 2 to the atmosphere. (exhausted).
(Clamp release process)
Next, the clamp on the work capsule 2 is released while maintaining the valves SV1 to SV5 as they were in the previous process.
(Sliding process)
Finally, the capsule main body 2a containing the inspected workpiece W is slid and returned from the detection position below the top plate 2b to the loading/unloading position, and the first supply valve SV1 is turned off and opened, and the second By turning off and closing the supply valve SV2, all valves SV1 to SV5 are returned to the same state as in the initial step.

上記方式では、圧力源1は、上記タンク遮断・クランプ工程までは基準圧Prを供給し、テスト圧供給工程からスライド工程までは正圧の第2設定圧Pyを維持し、初期状態で基準圧Prに戻す。 In the above method, the pressure source 1 supplies the reference pressure Pr until the tank cutoff/clamping process, maintains the second set pressure Py of positive pressure from the test pressure supply process to the slide process, and maintains the reference pressure in the initial state. Return to Pr.

タンク分圧方式(負圧)
(初期工程からタンク連通・大漏れ検出工程まで)
次に、負圧を用いたタンク分圧方式エアリークテスト方法について図5を参照しながら説明する。初期工程、スライド工程、タンク遮断・クランプ工程、テスト圧供給工程、圧力安定化工程、小漏れ検出工程、タンク連通・大漏れ検出工程までの弁SV1~SV5の動作は、上記正圧のタンク分圧方式エアリークテスト方法と同じである。圧力源1は、初期工程からタンク遮断・クランプ工程まで基準圧Prを供給し、テスト圧供給工程からタンク連通・大漏れ検出工程まで負圧の第2設定圧Py’を、負圧のテスト圧Pt’として供給する。
Tank partial pressure method (negative pressure)
(From initial process to tank communication/large leak detection process)
Next, a tank partial pressure air leak test method using negative pressure will be described with reference to FIG. The operations of valves SV1 to SV5 during the initial process, sliding process, tank shutoff/clamping process, test pressure supply process, pressure stabilization process, small leak detection process, and tank communication/large leak detection process are for the positive pressure tank described above. This is the same as the pressure method air leak test method. The pressure source 1 supplies a reference pressure Pr from the initial process to the tank shutoff/clamping process, and supplies a negative second set pressure Py' to the negative test pressure from the test pressure supply process to the tank communication/large leak detection process. Supplied as Pt2 '.

小漏れ検出工程では、ワークWの包装にピンホール等の小さな欠陥が有る場合に、ワークW内の空気が負圧のテスト圧Pt’のワークカプセル2へと少しずつ漏れ出る。これにより、主回路3の下流側回路部3bとワークカプセル2の圧力が徐々に上昇し、差圧センサ8のワーク側ポート8aの圧力が基準側ポート8bの圧(テスト圧Pt’)より高くなる。コントローラ10は、正圧の場合と同様に、差圧センサ8の検出差圧に基づいて小漏れの有無を判断する。 In the small leakage detection step, if there is a small defect such as a pinhole in the packaging of the workpiece W, the air inside the workpiece W leaks little by little into the workpiece capsule 2 at a negative test pressure Pt 2 ′. As a result, the pressure in the downstream circuit section 3b of the main circuit 3 and the work capsule 2 gradually increases, and the pressure at the work side port 8a of the differential pressure sensor 8 becomes lower than the pressure at the reference side port 8b (test pressure Pt2 '). It gets expensive. The controller 10 determines whether there is a small leak based on the differential pressure detected by the differential pressure sensor 8, as in the case of positive pressure.

タンク連通・大漏れ検出工程では、ワークWに大漏れが無い場合、基準圧Prのタンク5の空気がテスト圧Pt’(負圧の第2設定圧Py’)の主回路3内へと流れ込み、主回路3の圧がテスト圧Pt’まで上昇する。このテスト圧Pt’は、上記式(1)において第1設定圧Pxを負圧の第2設定圧Py’に置き換えることにより得られる。 In the tank communication/large leak detection process, if there is no large leak in the workpiece W, the air in the tank 5 at the reference pressure Pr flows into the main circuit 3 at the test pressure Pt2 ' (second set pressure Py' of negative pressure). The pressure in the main circuit 3 rises to the test pressure Pt3 '. This test pressure Pt 3 ′ is obtained by replacing the first set pressure Px with the second set pressure Py′, which is a negative pressure, in the above equation (1).

上記タンク連通・大漏れ検出工程において、ワークWに大漏れが有る場合、ワークW内は、タンク連通・大漏れ工程の前に既にテスト圧Pt’(負圧の第2設定圧Py’)になっており、タンク5内の空気が流入しても、テスト圧Pt’まで上昇しない。その結果、コントローラ10は、絶対圧センサ6で検出される圧力とテスト圧Pt’との差に基づいてワークWに大漏れが有るか無いかを判断することができる。 In the tank communication/large leak detection process, if there is a large leak in the workpiece W, the test pressure Pt 2 ' (negative pressure second set pressure Py') has already been established in the workpiece W before the tank communication/large leakage process. Even if the air in the tank 5 flows in, the test pressure does not rise to Pt3 '. As a result, the controller 10 can determine whether there is a large leak in the work W based on the difference between the pressure detected by the absolute pressure sensor 6 and the test pressure Pt3 '.

なお、本実施形態では、圧力源1の供給圧は、タンク遮断・クランプ工程の後、テスト圧供給工程からタンク連通・大漏れ検出工程に至るまで、負圧の第2設定圧Py’に戻している。 In this embodiment, the supply pressure of the pressure source 1 is returned to the negative second set pressure Py' after the tank shutoff/clamping process and from the test pressure supply process to the tank communication/large leak detection process. ing.

(大気開放工程からスライド工程まで)
正圧を用いるタンク分圧方式エアリークテスト方法と弁の動作が異なるのは、大気開放工程とクランプ解除工程である。大気開放工程では、開放弁SV5がオフして開き、第1供給弁SV1がオフして開く(すなわち全ての弁SV1~SV5が開く)とともに、圧力源1の供給圧が負圧の第2設定圧Py’から正圧に切り替わる。なお、この大気開放工程で供給される正圧は、上述した正圧の第2設定圧Pyより低くてもよく、基準圧Prまたは基準圧Prより若干高い程度でもよい。これにより、大気が大気開放弁SV5からワークカプセル2へ流れ込むとともに、圧力源1からの正圧の空気が、ワークカプセル2に流れ込む。その結果、カプセル本体2aの天板2bへの食い付きが確実に解除され、クランプ解除後に円滑にカプセル本体2aを検出位置から搬入・搬出位置へとスライドさせることができる。
スライド工程では第2供給弁SV2がオフして閉じ状態となり、圧力源1の供給圧が負圧の第2設定圧Py’に戻り、初期工程と同じ状態になる。
(From the atmosphere opening process to the sliding process)
The valve operation differs from the tank partial pressure air leak test method using positive pressure in the atmospheric release process and the clamp release process. In the atmosphere release step, the release valve SV5 is turned off and opened, the first supply valve SV1 is turned off and opened (that is, all valves SV1 to SV5 are opened), and the supply pressure of the pressure source 1 is set to the second negative pressure setting. Pressure Py' switches to positive pressure. Note that the positive pressure supplied in this atmosphere opening step may be lower than the second set pressure Py of the positive pressure described above, or may be the reference pressure Pr or slightly higher than the reference pressure Pr. As a result, the atmosphere flows into the work capsule 2 from the atmosphere release valve SV5, and the positive pressure air from the pressure source 1 flows into the work capsule 2. As a result, the grip of the capsule body 2a on the top plate 2b is reliably released, and after the clamp is released, the capsule body 2a can be smoothly slid from the detection position to the loading/unloading position.
In the slide process, the second supply valve SV2 is turned off and closed, and the supply pressure of the pressure source 1 returns to the negative second set pressure Py', resulting in the same state as in the initial process.

上記の正圧または負圧を用いたタンク分圧方式のエアリークテスト方法では、圧力安定化工程および小漏れ検出工程において第2供給弁SV2を閉じてもよい。また、初期工程とスライド工程の間において、第2加圧弁SV2を一時的に開いてもよい。 In the above tank partial pressure air leak test method using positive pressure or negative pressure, the second supply valve SV2 may be closed in the pressure stabilization step and the small leak detection step. Further, the second pressurizing valve SV2 may be temporarily opened between the initial step and the slide step.

絶対圧センサ6の役割
本実施形態では、天候等により変化する大気圧を用いず、絶対圧センサ6で管理された基準圧を用いるため、タンク加圧方式の大漏れ検出工程および小漏れ検出工程でのテスト圧を高精度に設定することができ、またタンク分圧方式での大漏れ検出工程でのテスト圧を高精度に設定することができる。その結果、エアリークテストの精度を高めることができる。
Role of the absolute pressure sensor 6 In this embodiment, the standard pressure controlled by the absolute pressure sensor 6 is used instead of the atmospheric pressure that changes due to weather, etc. Therefore, the large leak detection process and the small leak detection process of the tank pressurization method are performed. The test pressure in the tank partial pressure method can be set with high precision, and the test pressure in the large leak detection process using the tank partial pressure method can be set with high precision. As a result, the accuracy of the air leak test can be improved.

タンク加圧方式とタンク分圧方式の比較
タンク加圧方式では、事前に既知の容積のタンク5を第1設定圧にし、このタンク5の第1設定圧を基準圧の閉鎖回路に供給するので、タンクを含む閉鎖回路に存在する空気の絶対量を正確に把握することができる。そのため、大漏れ検査を正確に行うことができる。
ただし、タンク加圧方式では、小漏れ検査工程でのテスト圧が圧力源1からの第1設定圧と大気圧に近い基準圧との中間の値となるため、高くできない。
Comparison of tank pressurization method and tank partial pressure method In the tank pressurization method, a tank 5 with a known volume is set to the first set pressure in advance, and the first set pressure of the tank 5 is set to the reference pressure in a closed circuit. The absolute amount of air present in the closed circuit including the tank can be accurately determined. Therefore, a large leak test can be performed accurately.
However, in the tank pressurization method, the test pressure in the small leakage inspection step is an intermediate value between the first set pressure from the pressure source 1 and a reference pressure close to atmospheric pressure, so it cannot be increased.

タンク分圧方式では、小漏れ検査工程でのテスト圧として圧力源1からの第2設定圧をそのまま用いるので、小漏れ検出工程でのテスト圧を正圧の場合には高く負圧の場合には低くすることができ、過酷な環境での漏れ検査を必要とする場合には好適である。また、小漏れ検査の精度を高めることができる。
ただし、タンク5に基準圧を供給して閉じた後に、圧力源1からの第2設定圧がワークカプセル2に供給され、小漏れ検査工程の期間も供給され続けるので、ワークの包装に欠陥があった場合に、ワーク内への空気の侵入量(正圧の場合)またはワークからの空気の放出量(負圧の場合)を正確に把握できない。そのため、ワークの態様によっては大漏れ検査の精度が減じられる可能性がある。
In the tank partial pressure method, the second set pressure from pressure source 1 is directly used as the test pressure in the small leak detection process, so the test pressure in the small leak detection process is higher in the case of positive pressure and higher in the case of negative pressure. can be made low, making it suitable when leak testing is required in harsh environments. Moreover, the accuracy of small leakage inspection can be improved.
However, after supplying the standard pressure to the tank 5 and closing it, the second set pressure from the pressure source 1 is supplied to the workpiece capsule 2, and continues to be supplied during the small leakage inspection process, so there is no possibility of defects in the packaging of the workpiece. If this occurs, the amount of air entering the workpiece (in the case of positive pressure) or the amount of air released from the workpiece (in the case of negative pressure) cannot be accurately determined. Therefore, the accuracy of large leakage inspection may be reduced depending on the aspect of the workpiece.

上述したように、タンク加圧方式、タンク分圧方式には長短があるので、製品種別、小漏れ時に要求されるテスト圧を勘案して、方式を選択する必要がある。この点については後述する。 As mentioned above, the tank pressurization method and the tank partial pressure method have advantages and disadvantages, so it is necessary to select a method by taking into consideration the product type and the test pressure required in the event of a small leak. This point will be discussed later.

他の実施形態
図6は図1のエアリークテスト装置に他の構成要素を付加した実施形態を示す。詳述すると、主回路3の下流側回路部3bには差圧センサ8より下流側において常開の遮断弁SV6が設けられている。この遮断弁SV6は、上述したエアリークテストを実行している時には開き状態を維持しており、回路を構成するマニホルドの気密検査する際には閉じられる。
Other Embodiments FIG. 6 shows an embodiment in which other components are added to the air leak test apparatus of FIG. More specifically, the downstream circuit section 3b of the main circuit 3 is provided with a normally open shutoff valve SV6 downstream of the differential pressure sensor 8. This shutoff valve SV6 remains open when the above-described air leak test is being performed, and is closed when the airtightness of the manifold constituting the circuit is tested.

図6に示すように、主回路3の上流側回路部3aと下流側回路部3bの間には、基準漏れ回路15が接続されている。基準漏れ回路15には、基準漏れ器16が設けられるとともに、その両側に常閉の基準漏れ弁SV7,SV8が設けられている。基準漏れ器16は、両端が基準漏れ回路15に連なる筒状の本体と、この本体内に収容された筒状のオリフィス部材とを有している。オリフィス部材の一端は拡径されて本体内周に接合され、他端は縮径されてオリフィスとなっている。 As shown in FIG. 6, a reference leakage circuit 15 is connected between the upstream circuit section 3a and the downstream circuit section 3b of the main circuit 3. The reference leakage circuit 15 is provided with a reference leakage device 16, and normally closed reference leakage valves SV7 and SV8 are provided on both sides thereof. The reference leak device 16 has a cylindrical body whose both ends are connected to the reference leak circuit 15, and a cylindrical orifice member housed within the body. One end of the orifice member is enlarged in diameter and joined to the inner periphery of the main body, and the other end is reduced in diameter to form an orifice.

基準漏れ弁SV7,SV8は上述した通常のタンク加圧方式、タンク分圧方式のエアリークテストの時には閉じ状態を維持されている。
エアリークテスト装置の校正や閾値設定等を行なう際には、下流側回路部3bにテスト圧を付与し、上流側回路部3aに基準圧を付与し、第1供給弁SV1、第2供給弁SV2、検圧弁SV4、開放弁SV5を閉じた状態で基準漏れ弁SV7,SV8を開く。これにより、疑似漏れ器16のオリフィスを介してワークの小漏れに相当する基準漏れが発生する。この時の差圧センサ8の検出差圧に基づき、校正等を行う。
上記基準漏れ発生時に、基準漏れ器16の他端が絶対圧センサ6で管理された基準圧となっているため、外部環境の大気圧の変化に影響されずに一定の基準漏れ量を発生させることができる。
The reference leakage valves SV7 and SV8 are kept closed during the above-mentioned normal tank pressurization type and tank partial pressure type air leak tests.
When calibrating the air leak test device, setting a threshold value, etc., a test pressure is applied to the downstream circuit section 3b, a reference pressure is applied to the upstream circuit section 3a, and the first supply valve SV1 and the second supply valve SV2 are , the reference leakage valves SV7 and SV8 are opened with the pressure detection valve SV4 and the release valve SV5 closed. As a result, a reference leak corresponding to a small leak of the workpiece occurs through the orifice of the pseudo leak device 16. Calibration and the like are performed based on the differential pressure detected by the differential pressure sensor 8 at this time.
When the reference leak occurs, the other end of the reference leak device 16 is at the reference pressure controlled by the absolute pressure sensor 6, so a constant reference leakage amount is generated without being affected by changes in the atmospheric pressure of the external environment. be able to.

テスト方式の自動選択
本実施形態では、コントローラ10はタッチパネル(図示しない)を装備しており、ユーザがタッチパネルに製品種別と所望するテスト圧の情報を入力することにより、自動的にテスト方式を選択できるようになっている。
Automatic selection of test method In this embodiment, the controller 10 is equipped with a touch panel (not shown), and the user automatically selects the test method by inputting information on the product type and desired test pressure into the touch panel. It is now possible to do so.

ワークが包装された医薬品の場合、製品種別として、PTP包装,ピロー包装、バイアル、その他が想定される。
PTP包装は、錠剤を、接合されたアルミシートと樹脂シート間に収容するようになっており、テスト圧は+10~+40kPaに制限される。
ピロー包装は、袋状の包装であり、負圧でエアリークテストを行う必要がある。
バイアルはガラス製またはプラスチック製の小瓶であり、薬剤を収容し、ゴム栓と金属キャップで密閉してある。このバイアルは、正圧でエアリークテストを行う必要がある。
If the workpiece is a packaged pharmaceutical product, the product type is assumed to be PTP packaging, pillow packaging, vial, etc.
PTP packaging accommodates the tablet between a bonded aluminum sheet and resin sheet, and the test pressure is limited to +10 to +40 kPa.
Pillow packaging is a bag-like packaging and requires an air leak test under negative pressure.
A vial is a small glass or plastic bottle that contains a drug and is sealed with a rubber stopper and metal cap. This vial must be air leak tested at positive pressure.

以下、図7を参照しながら、コントローラ10で実行されるテスト方式の自動選択について詳述する。
ステップ100でユーザが上記製品種別を入力し、ステップ101で所望する小漏れ検査のためのテスト圧を例えば10kPa単位で入力する。なお、ユーザがPTP包装を選択しながら、テスト圧として上記範囲を超える圧を指定した場合には、訂正を促す。また、ユーザがピロー包装を入力しながら正圧のテスト圧を指定した場合や、バイアルを入力しながら負圧のテスト圧を指定した場合も、同様に訂正を促す。
The automatic selection of the test method executed by the controller 10 will be described in detail below with reference to FIG.
In step 100, the user inputs the product type, and in step 101, inputs a desired test pressure for small leakage inspection, for example, in units of 10 kPa. Note that if the user specifies a pressure exceeding the above range as the test pressure while selecting PTP packaging, correction is prompted. Further, if the user specifies a positive test pressure while inputting pillow packaging, or if a negative test pressure is specified while inputting a vial, correction is similarly prompted.

次のステップ102では、指定された小漏れ検査時のテスト圧Ptが-40≦Pt≦+40kPaの範囲にあるか否かを判断する。肯定判断した時にはステップ103に進みタンク加圧方式を選択する。否定判断した時にはステップ104に進みタンク分圧方式を選択する。 In the next step 102, it is determined whether the specified test pressure Pt at the time of small leakage inspection is in the range of -40≦Pt≦+40 kPa. When an affirmative determination is made, the process proceeds to step 103 and the tank pressurization method is selected. If the determination is negative, the process proceeds to step 104 and the tank partial pressure method is selected.

ステップ103でタンク加圧方式を選択した場合には、ステップ105に進み、ここで上述したテスト圧を得るためのタンク6の圧(すなわち圧力源1からの第1供給圧Px)が本エアリークテスト装置で実現可能か否かを判断する。ここで実現可能でないと判断した場合には、ステップ106でテスト圧を変更して再度ステップ105の判断を行う。テスト圧の変更は、テスト圧が正圧の場合には10kPaずつ低くし、テスト圧が負圧の場合には10kPaずつ高くする。なお、ステップ106に先立ちステップ107では、テスト圧が+10kPaに達しているか否か(正圧の場合)、またはー10kPaに達しているか否か(負圧の場合)を判断する。ここで肯定判断した時には、ステップ104に進み、テスト方式をタンク加圧方式からタンク分圧方式に変更する。 If the tank pressurization method is selected in step 103, the process proceeds to step 105, where the pressure in the tank 6 for obtaining the test pressure described above (i.e., the first supply pressure Px from the pressure source 1) is determined in the main air leak test. Determine whether it is possible with the device. If it is determined that this is not possible, the test pressure is changed in step 106 and the determination in step 105 is made again. The test pressure is changed by decreasing it by 10 kPa when the test pressure is positive pressure, and by increasing it by 10 kPa when the test pressure is negative pressure. Note that, prior to step 106, in step 107, it is determined whether the test pressure has reached +10 kPa (in the case of positive pressure) or -10 kPa (in the case of negative pressure). If an affirmative determination is made here, the process proceeds to step 104 and the test method is changed from the tank pressurization method to the tank partial pressure method.

ステップ105で肯定判断した場合、すなわち指定されたテスト圧または変更したテスト圧でタンク加圧方式を実行可能であると判断した場合には、ステップ108に進む。同様にステップ104でタンク分圧方式を選択した場合にも、ステップ108に進む。このステップ108では、テスト方式およびテスト圧に基づき、測定条件すなわち各工程の所要時間、弁等の動作タイミング、圧力源1から供給される設定圧等を設定する。なお、予めメモリにはテスト方式およびテスト圧に対応する測定条件が記憶されており、テスト方式とテスト圧を指定すれば、測定条件をメモリから読み出すことができるようになっている。 If an affirmative determination is made in step 105, that is, if it is determined that the tank pressurization method can be executed at the specified test pressure or the changed test pressure, the process proceeds to step 108. Similarly, when the tank partial pressure method is selected in step 104, the process also proceeds to step 108. In this step 108, measurement conditions, that is, the time required for each step, the operation timing of valves, etc., the set pressure supplied from the pressure source 1, etc. are set based on the test method and test pressure. Note that measurement conditions corresponding to the test method and test pressure are stored in advance in the memory, and by specifying the test method and test pressure, the measurement conditions can be read from the memory.

次のステップ109では、ワークとしての良品を複数(例えば3つ)用意し、これら良品について、設定されたテスト方式、テスト圧および測定条件で、上述のエアリークテストの工程を実行し、絶対圧センサ6の検出圧と、差圧センサ8の検出差圧を、記憶する。
次のステップ110では、大漏れを生じるような欠陥を有する不良品を例えば3つ用意し、これら不良品について、設定されたテスト方式、テスト圧および測定条件で、上述のエアリークテストの工程を実行し、絶対圧センサ6の検出圧と、差圧センサ8の検出差圧を、記憶する。
In the next step 109, a plurality of non-defective products (for example, three) are prepared as workpieces, and the above-mentioned air leak test process is performed on these non-defective products using the set test method, test pressure, and measurement conditions, and the absolute pressure sensor is 6 and the differential pressure detected by the differential pressure sensor 8 are stored.
In the next step 110, for example, three defective products with defects that may cause large leaks are prepared, and the above-mentioned air leak test process is performed on these defective products using the set test method, test pressure, and measurement conditions. Then, the pressure detected by the absolute pressure sensor 6 and the differential pressure detected by the differential pressure sensor 8 are stored.

次のステップ111では、ステップ109,110の測定結果に基づき、その平均値とばらつきに基づき大漏れ検査および小漏れ検査で用いられる閾値を設定する。
次に、ステップ112では、良品をワークカプセル2にセットして上述した基準漏れ測定工程を実行し、ステップ113で測定感度等を確認してこのプログラムを終了する。
In the next step 111, based on the measurement results in steps 109 and 110, a threshold value used in the large leak test and the small leak test is set based on the average value and variation thereof.
Next, in step 112, a non-defective product is set in the work capsule 2 and the above-mentioned reference leakage measurement process is executed, and in step 113, the measurement sensitivity and the like are checked, and this program is ended.

本発明は、前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲内で種々の改変をなすことができる。
基準圧は、大気圧と同程度であってもよく、若干低くても良い。
The present invention is not limited to the embodiments described above, and various modifications can be made without departing from the spirit thereof.
The reference pressure may be approximately the same as atmospheric pressure or may be slightly lower.

本発明は、医薬品包装等の欠陥を検査するエアリークテスト装置に適用できる。 INDUSTRIAL APPLICATION This invention is applicable to the air leak test apparatus which inspects defects, such as pharmaceutical packaging.

1 圧力源
2 ワークカプセル
3 主回路
3a 上流側回路部
3b 下流側回路部
4 分岐回路
5 タンク
6 絶対圧センサ(圧力センサ)
7 検圧回路
8 差圧センサ
8a ワーク側ポート
8b 基準側ポート
10 コントローラ(制御・判断手段)
15 基準漏れ回路
16 基準漏れ器
SV1 第1供給弁
SV2 第2供給弁
SV3 タンク弁
SV4 検圧弁
SV5 開放弁
SV7,SV8 基準漏れ弁
W ワーク
1 Pressure source 2 Work capsule 3 Main circuit 3a Upstream circuit section 3b Downstream circuit section 4 Branch circuit 5 Tank 6 Absolute pressure sensor (pressure sensor)
7 Pressure detection circuit 8 Differential pressure sensor 8a Work side port 8b Reference side port 10 Controller (control/judgment means)
15 Standard leakage circuit 16 Standard leakage device SV1 First supply valve SV2 Second supply valve SV3 Tank valve SV4 Pressure detection valve SV5 Release valve SV7, SV8 Standard leakage valve W Work

Claims (6)

ア)大気圧または大気圧に近い基準圧と設定圧を含む圧を供給可能な圧力源と、
イ)検査対象のワークを収容するワークカプセルと、
ウ)上記圧力源と上記ワークカプセルとを繋ぐ主回路と、
エ)上記圧力源と上記主回路との間に介在された第1供給弁と、
オ)上記主回路に設けられ、上記主回路を圧力源側の上流側回路部とワークカプセル側の下流側回路部とに分ける第2供給弁と、
カ)上記主回路の上記上流側回路部に分岐回路を介して接続されるタンクと、
キ)上記分岐回路に設けられ上記タンクを上記主回路に対して連通、遮断するタンク弁と、
ク)上記主回路の上記上流側回路部に接続される圧力センサと、
ケ)両端が上記主回路の下流側回路部に接続される検圧回路と、
コ)上記検圧回路に設けられた検圧弁と、
サ)上記検圧回路に設けられ、上記主回路の上記下流側回路部を介して上記ワークカプセルに連なるワーク側ポートと、上記検圧弁に連なる基準側ポートとを有する差圧センサと、
シ)上記主回路に接続された大気開放弁と、
ス)上記圧力源の供給圧の制御、上記第1供給弁、上記第2供給弁、上記タンク弁、上記検圧弁、上記大気開放弁のシーケンス制御、および前記圧力センサからの検出圧に基づく上記ワークの大漏れの有無の判断、上記差圧センサからの検出差圧に基づく上記ワークの小漏れの有無の判断を実行する制御・判断手段と、
を備え、
上記圧力センサが絶対圧センサであり、
上記制御・判断手段は、上記圧力センサからのフィードバックに基づいて上記圧力源を制御し、1回のエアリークテストにおいて上記基準圧と上記設定圧を上記主回路に供給し、
上記制御・判断手段は、上記タンク弁を開くことにより上記タンクに上記主回路から上記基準圧と上記設定圧の一方を予め導入して上記タンク弁を閉じ、上記ワークの大漏れの有無を判断する際に、上記タンク弁を開くことにより上記基準圧と上記設定圧の他方の圧力状態にある主回路と上記タンクとを連通させることを特徴とするエアリークテスト装置。
a) A pressure source capable of supplying atmospheric pressure or pressure including a reference pressure close to atmospheric pressure and a set pressure;
b) A work capsule that accommodates the work to be inspected;
c) a main circuit connecting the pressure source and the work capsule;
d) a first supply valve interposed between the pressure source and the main circuit;
e) a second supply valve provided in the main circuit and dividing the main circuit into an upstream circuit section on the pressure source side and a downstream circuit section on the work capsule side;
F) A tank connected to the upstream circuit section of the main circuit via a branch circuit;
g) a tank valve provided in the branch circuit that connects and disconnects the tank from the main circuit;
h) a pressure sensor connected to the upstream circuit section of the main circuit;
i) A pressure detection circuit whose both ends are connected to the downstream circuit section of the main circuit;
g) A pressure detection valve provided in the pressure detection circuit,
(S) A differential pressure sensor that is provided in the pressure detection circuit and has a work side port that is connected to the work capsule via the downstream circuit section of the main circuit, and a reference side port that is connected to the pressure detection valve;
c) An atmosphere release valve connected to the above main circuit,
B) Control of the supply pressure of the pressure source, sequence control of the first supply valve, the second supply valve, the tank valve, the pressure detection valve, and the atmosphere release valve, and the control of the supply pressure based on the detected pressure from the pressure sensor. a control/judgment means for determining whether there is a large leak in the work and determining whether there is a small leak in the work based on the differential pressure detected by the differential pressure sensor;
Equipped with
The above pressure sensor is an absolute pressure sensor,
The control/judgment means controls the pressure source based on feedback from the pressure sensor, and supplies the reference pressure and the set pressure to the main circuit in one air leak test;
The control/judgment means opens the tank valve to introduce either the reference pressure or the set pressure into the tank from the main circuit in advance, closes the tank valve, and determines whether or not there is a large leak in the workpiece. The air leak test device is characterized in that when the tank valve is opened, the tank is brought into communication with the main circuit which is in the other pressure state between the reference pressure and the set pressure .
ア)大気圧または大気圧に近い基準圧と設定圧を含む圧を供給可能な圧力源と、
イ)検査対象のワークを収容するワークカプセルと、
ウ)上記圧力源と上記ワークカプセルとを繋ぐ主回路と、
エ)上記圧力源と上記主回路との間に介在された第1供給弁と、
オ)上記主回路に設けられ、上記主回路を圧力源側の上流側回路部とワークカプセル側の下流側回路部とに分ける第2供給弁と、
カ)上記主回路の上記上流側回路部に分岐回路を介して接続されるタンクと、
キ)上記分岐回路に設けられ上記タンクを上記主回路に対して連通、遮断するタンク弁と、
ク)上記主回路の上記上流側回路部に接続される圧力センサと、
ケ)両端が上記主回路の下流側回路部に接続される検圧回路と、
コ)上記検圧回路に設けられた検圧弁と、
サ)上記検圧回路に設けられ、上記主回路の上記下流側回路部を介して上記ワークカプセルに連なるワーク側ポートと、上記検圧弁に連なる基準側ポートとを有する差圧センサと、
シ)上記主回路に接続された大気開放弁と、
ス)上記圧力源の供給圧の制御、上記第1供給弁、上記第2供給弁、上記タンク弁、上記検圧弁、上記大気開放弁のシーケンス制御、および前記圧力センサからの検出圧に基づく上記ワークの大漏れの有無の判断、上記差圧センサからの検出差圧に基づく上記ワークの小漏れの有無の判断を実行する制御・判断手段と、
を備え、
上記圧力センサが絶対圧センサであり、
さらに、上記主回路の上記上流側回路部と上記下流側回路部の間に接続された基準漏れ回路と、上記基準漏れ回路に設けられた2つの基準漏れ弁と、上記基準漏れ回路において上記2つの基準漏れ弁間に設けられるとともにオリフィスを有する基準漏れ器と、を備えていることを特徴とするエアリークテスト装置。
a) A pressure source capable of supplying atmospheric pressure or pressure including a reference pressure close to atmospheric pressure and a set pressure;
b) A work capsule that accommodates the work to be inspected;
c) a main circuit connecting the pressure source and the work capsule;
d) a first supply valve interposed between the pressure source and the main circuit;
e) a second supply valve provided in the main circuit and dividing the main circuit into an upstream circuit section on the pressure source side and a downstream circuit section on the work capsule side;
F) A tank connected to the upstream circuit section of the main circuit via a branch circuit;
g) a tank valve provided in the branch circuit that connects and disconnects the tank from the main circuit;
h) a pressure sensor connected to the upstream circuit section of the main circuit;
i) A pressure detection circuit whose both ends are connected to the downstream circuit section of the main circuit;
g) A pressure detection valve provided in the pressure detection circuit,
(S) A differential pressure sensor that is provided in the pressure detection circuit and has a work side port that is connected to the work capsule via the downstream circuit section of the main circuit, and a reference side port that is connected to the pressure detection valve;
c) An atmosphere release valve connected to the above main circuit,
B) Control of the supply pressure of the pressure source, sequence control of the first supply valve, the second supply valve, the tank valve, the pressure detection valve, and the atmosphere release valve, and the control of the supply pressure based on the detected pressure from the pressure sensor. a control/judgment means for determining whether there is a large leak in the work and determining whether there is a small leak in the work based on the differential pressure detected by the differential pressure sensor;
Equipped with
The above pressure sensor is an absolute pressure sensor,
Further, a reference leakage circuit connected between the upstream side circuit section and the downstream side circuit section of the main circuit, two reference leakage valves provided in the reference leakage circuit, and the two reference leakage valves provided in the reference leakage circuit. An air leak test device comprising: a reference leakage device provided between two reference leakage valves and having an orifice.
ア)大気圧または大気圧に近い基準圧と設定圧を含む圧を供給可能な圧力源と、
イ)検査対象のワークを収容するワークカプセルと、
ウ)上記圧力源と上記ワークカプセルとを繋ぐ主回路と、
エ)上記圧力源と上記主回路との間に介在された第1供給弁と、
オ)上記主回路に設けられ、上記主回路を圧力源側の上流側回路部とワークカプセル側の下流側回路部とに分ける第2供給弁と、
カ)上記主回路の上記上流側回路部に分岐回路を介して接続されるタンクと、
キ)上記分岐回路に設けられ上記タンクを上記主回路に対して連通、遮断するタンク弁と、
ク)上記主回路の上記上流側回路部に接続される圧力センサと、
ケ)両端が上記主回路の下流側回路部に接続される検圧回路と、
コ)上記検圧回路に設けられた検圧弁と、
サ)上記検圧回路に設けられ、上記主回路の上記下流側回路部を介して上記ワークカプセルに連なるワーク側ポートと、上記検圧弁に連なる基準側ポートとを有する差圧センサと、
シ)上記主回路に接続された大気開放弁と、
ス)上記圧力源の供給圧の制御、上記第1供給弁、上記第2供給弁、上記タンク弁、上記検圧弁、上記大気開放弁のシーケンス制御、および前記圧力センサからの検出圧に基づく上記ワークの大漏れの有無の判断、上記差圧センサからの検出差圧に基づく上記ワークの小漏れの有無の判断を実行する制御・判断手段と、
を備え、
第1方式のエアリークテストと、第2方式のエアリークテストを選択的に実行可能であり、
a.上記第1方式において上記制御・判断手段は、
上記第1供給弁と上記タンク弁を開き、上記第2供給弁を閉じた状態にして、上記圧力源から上記タンクに第1設定圧を供給する工程と、
上記タンク弁を閉じて上記タンク内を第1設定圧に維持したまま、上記第1供給弁と上記第2供給弁と上記検圧弁を開いた状態にして、上記圧力源から上記主回路と上記検圧回路に上記基準圧を供給する工程と、
上記第1供給弁を閉じ、上記第2供給弁と上記検圧弁と上記タンク弁を開いた状態にして、上記タンクを上記主回路と上記検圧回路に連通させることにより、上記主回路と上記検圧回路を上記基準圧と上記第1設定圧の中間のテスト圧にし、この時の上記圧力センサからの検出圧に基づき、上記ワークの大漏れの有無を判断する大漏れ検出工程と、
上記検圧弁を閉じ、上記差圧センサからの検出差圧に基づき、上記ワークの小漏れの有無を判断する小漏れ検出工程と、
を上記順に実行し、
b.上記第2方式において上記制御・判断手段は、
上記第1供給弁と上記タンク弁を開き、上記第2供給弁を閉じた状態にして、上記圧力源から上記タンクに上記基準圧を供給する工程と、
上記タンク弁を閉じて上記タンク内を上記基準圧に維持したまま、上記第1供給弁と上記第2供給弁と上記検圧弁を開いた状態にして、上記圧力源から上記主回路と上記検圧回路にテスト圧としての第2設定圧を供給する工程と、
上記第1供給弁を閉じ上記検圧弁を閉じた状態にして、上記差圧センサからの検出差圧に基づき、上記ワークの小漏れの有無を判断する小漏れ検出工程と、
上記タンク弁を開き、上記タンクと上記主回路を連通させた状態にして、上記圧力センサからの検出圧に基づき、上記ワークの大漏れの有無を判断する大漏れ検出工程と、
を上記順に実行すること、
特徴とするエアリークテスト装置。
a) A pressure source capable of supplying atmospheric pressure or pressure including a reference pressure close to atmospheric pressure and a set pressure;
b) A work capsule that accommodates the work to be inspected;
c) a main circuit connecting the pressure source and the work capsule;
d) a first supply valve interposed between the pressure source and the main circuit;
e) a second supply valve provided in the main circuit and dividing the main circuit into an upstream circuit section on the pressure source side and a downstream circuit section on the work capsule side;
F) A tank connected to the upstream circuit section of the main circuit via a branch circuit;
g) a tank valve provided in the branch circuit that connects and disconnects the tank from the main circuit;
h) a pressure sensor connected to the upstream circuit section of the main circuit;
i) A pressure detection circuit whose both ends are connected to the downstream circuit section of the main circuit;
g) A pressure detection valve provided in the pressure detection circuit,
(S) A differential pressure sensor that is provided in the pressure detection circuit and has a work side port that is connected to the work capsule via the downstream circuit section of the main circuit, and a reference side port that is connected to the pressure detection valve;
c) An atmosphere release valve connected to the above main circuit,
B) Control of the supply pressure of the pressure source, sequence control of the first supply valve, the second supply valve, the tank valve, the pressure detection valve, and the atmosphere release valve, and the control of the supply pressure based on the detected pressure from the pressure sensor. a control/judgment means for determining whether there is a large leak in the work and determining whether there is a small leak in the work based on the differential pressure detected by the differential pressure sensor;
Equipped with
It is possible to selectively perform the first method air leak test and the second method air leak test,
a. In the first method, the control/judgment means:
opening the first supply valve and the tank valve, closing the second supply valve, and supplying a first set pressure from the pressure source to the tank;
While the tank valve is closed and the pressure inside the tank is maintained at the first set pressure, the first supply valve, the second supply valve, and the pressure detection valve are opened, and the pressure source is connected to the main circuit and the pressure source. a step of supplying the reference pressure to the pressure detection circuit ;
The first supply valve is closed, the second supply valve, the pressure detection valve, and the tank valve are opened, and the tank is communicated with the main circuit and the pressure detection circuit, thereby connecting the main circuit and the pressure detection circuit. a large leak detection step of setting the pressure detection circuit to a test pressure intermediate between the reference pressure and the first set pressure, and determining whether there is a large leak in the workpiece based on the detected pressure from the pressure sensor at this time;
a small leak detection step of closing the pressure detection valve and determining whether there is a small leak in the workpiece based on the differential pressure detected from the differential pressure sensor;
Execute in the above order,
b. In the second method, the control/judgment means:
opening the first supply valve and the tank valve and closing the second supply valve to supply the reference pressure from the pressure source to the tank;
While the tank valve is closed and the inside of the tank is maintained at the reference pressure, the first supply valve, the second supply valve, and the pressure detection valve are opened, and the pressure source is connected to the main circuit and the detection valve. a step of supplying a second set pressure as a test pressure to the pressure circuit;
a small leak detection step of closing the first supply valve and keeping the pressure detection valve closed, and determining whether there is a small leak in the workpiece based on the differential pressure detected from the differential pressure sensor;
a large leak detection step of opening the tank valve and communicating the tank with the main circuit, and determining whether or not there is a large leak in the workpiece based on the detected pressure from the pressure sensor;
in the above order,
An air leak test device featuring :
上記第1方式での第1設定圧は、正圧と負圧を選択でき、上記第2方式での第2設定圧も正圧と負圧を選択できることを特徴とする請求項に記載のエアリークテスト装置。 4. The first set pressure in the first method can be selected between positive pressure and negative pressure, and the second set pressure in the second method can also be selected between positive pressure and negative pressure . Air leak test equipment. 負圧の上記第1設定圧を用いて第1方式のエアリークテストを実行する場合、または負圧の第2設定圧を用いて第2方式のエアリークテストを実行する場合に、上記制御・判断手段は、上記大漏れ検出工程と上記小漏れ検出工程の終了後に、上記圧力源からの正圧の供給を伴って上記開放弁を開くことにより、上記主回路を大気に開放することを特徴とする請求項に記載のエアリークテスト装置。 When performing a first method air leak test using the first set pressure of negative pressure or when performing a second method air leak test using the second set pressure of negative pressure, the control/determination means is characterized in that after the large leak detection step and the small leak detection step are completed, the main circuit is opened to the atmosphere by opening the release valve with the supply of positive pressure from the pressure source. The air leak test device according to claim 4 . 上記制御・判断手段は、ワークの製品種別、テスト圧を含む情報を入力する情報入力部を有し、入力された製品の種別、テスト圧に応じて上記第1、第2方式のいずれかを選択することを特徴とする請求項3~5のいずれかに記載のエアリークテスト装置。 The control/judgment means has an information input section for inputting information including the product type and test pressure of the workpiece, and selects either the first or second method according to the input product type and test pressure. The air leak test device according to any one of claims 3 to 5, characterized in that:
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