JP4173255B2 - Air leak test device - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、エアリークテスト装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
平衡型と称される一般的な差圧式エアリークテスト装置を簡単に説明すると、テスト圧源から延びる共通エア通路にマスタ側、ワーク側の分岐エア通路が接続されている。マスタ側分岐エア通路にマスタ容器が接続され、ワーク側分岐エア通路にワークが接続される。マスタ容器はワークと同一の形状,容積,材質のものであり、漏れが確認されていないものである。
上記テスト圧源から2つの分岐エア通路にテスト圧を付与した後、これら分岐エア通路を遮断して互いに独立した閉鎖系にする。この後、閉鎖された2つの分岐エア通路間の差圧を監視して、ワークの漏れを検出する。
【0003】
ところで、上記テスト圧の付与を開始してから分岐エア通路を閉鎖するまで、所定時間待っている。これはワークがテスト圧に達するのを待ち、さらに初期の大きな圧力変動を回避するためである。すなわち、分岐エア通路にテスト圧を付与すると、圧縮により一旦温度が高くなり、この後、放熱により周囲温度に落ち着く。この放熱量はテスト圧付与の初期段階で最も大きく、この段階で分岐エア通路を閉鎖すると、放熱に伴う圧力低下が大き過ぎ、マスタ容器とワークとの間に僅かな放熱特性の相違があっても、差圧が生じてしまうからである。
【0004】
上記のように所定の待ち時間経過した時点で、分岐エア通路を閉鎖した後も、上記放熱が続き、閉鎖状態にある2つの分岐エア通路の圧力が低下する。この放熱による2つの分岐エア通路の圧力低下は、マスタ容器がワークの放熱特性が同じでしかも容積も同じため、互いに等しい。それ故、上記差圧は放熱による圧力低下の影響を受けず、ワークの漏れに相当する圧力低下分を確実に検出することができる。
【0005】
しかし、上記のようにマスタ容器をワークと同一の形状,材質,容積にすると、多品種少量の生産ラインでは、多種類のマスタ容器が必要となり、設備コストや管理コストを上げる原因となっていた。
そこで、最近では、ワークが異なってもマスタ容器を変えずに所定の形状,容積,材質のマスタ容器を用いるようにした非平衡型の装置も開発されている。この装置でも、上記平衡型の装置と同様に、2つの分岐エア通路にテスト圧を付与し、所定の待ち時間経過した時点で、分岐エア通路を閉鎖し、その差圧を検出している。マスタ容器は、ワークと放熱特性が異なっており、それ故、たとえワークに漏れが無くてもこの放熱特性の相違に起因した差圧が検出される。
そのため、上記ワークの種類毎に放熱補償値のデータを記憶しておき、上記検出差圧からこの放熱補償値を差し引くことにより、ワーク漏れに対応する差圧を得ている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
上記のようなマスタ容器とワークとの間の放熱特性が異なる非平衡型の装置では、気温等の環境の変化に応じて放熱特性が変化するため、上記放熱補償が不正確になる欠点があった。
上記装置では、分岐エア通路の閉鎖後比較的長い時間を待てば放熱がなくなり、漏れに相当して差圧がリニアに変化する。そのため、上記放熱補償を行わずにこのリニアに変化する差圧に基づき漏れを検出することも考えられる。しかし、その場合、ワーク毎のテスト時間が長くなり、生産性が低下してしまう。
そこで、テスト時間を長くせずに、正確な放熱補償を行うことが、要求されていた。
【0007】
上記の議論は、差圧式でない簡易型のエアリークテスト装置にも適用できる。この装置では、エア通路の上流端にテスト圧源が接続され、下流端にワークが接続されている。テスト圧付与後にエア通路を閉鎖し、閉鎖されたエア通路の圧力の変化に基づき、ワークの漏れを検出する。この装置でも、放熱による圧力変動の影響を排除するため、上記テスト圧付与から放熱が落ち着くまで待ってエア通路を閉鎖したり、エア通路閉鎖後、圧力がリニアに変化するまで待って圧力に基づく漏れを検出するので、テスト時間が長かった。また、テスト時間を短くしようとすると、上記と同様に放熱補償データを用いることになり、環境変化に対応できなくなってしまう。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明の第1の態様は、エアリークテスト装置において、テスト圧源と、このテスト圧源に接続された共通のエア通路と、この共通エア通路から分岐されたマスタ側分岐エア通路およびワーク側分岐エア通路と、これら分岐エア通路を互いに連通させた状態で閉鎖する第1閉鎖手段と、これら分岐エア通路を互いに独立した状態で閉鎖する第2閉鎖手段と、上記連通状態で閉鎖された分岐エア通路の圧力を検出する圧力センサと、上記独立状態で閉鎖された分岐エア通路の差圧を検出する差圧センサと、制御手段とを備え、
この制御手段は、上記テスト圧源からのテスト圧を、共通エア通路を介してマスタ側,ワーク側の分岐エア通路に付与してから、第1閉鎖手段を駆動させて分岐エア通路を連通状態で閉鎖し、この閉鎖直後に上記圧力センサでの検出圧力の変化に基づき放熱補償値を演算し、次に第2閉鎖手段を駆動させて分岐エア通路を独立状態で閉鎖し、この閉鎖直後に上記差圧センサで検出される差圧から上記放熱補償値を差し引いた値に基づき、ワークの漏れを検出することを特徴とする。
【0009】
本発明の第2の態様は、エアリークテスト装置において、テスト圧源と、このテスト圧源に接続された共通のエア通路と、この共通エア通路から分岐されたマスタ側分岐エア通路およびワーク側分岐エア通路と、これら分岐エア通路を互いに独立した状態で閉鎖する閉鎖手段と、上記独立状態で閉鎖されたワーク側分岐エア通路の圧力を検出する圧力センサと、独立状態で閉鎖された2つの分岐エア通路の差圧を検出する差圧センサと、制御手段とを備え、
この制御手段は、上記テスト圧源からのテスト圧を、共通エア通路を介してマスタ側,ワーク側の分岐エア通路に付与してから、閉鎖手段を駆動させて2つの分岐エア通路を独立状態で閉鎖し、この閉鎖直後に上記圧力センサでの検出圧力の変化に基づき放熱補償値を演算し、その後、上記閉鎖状態で上記差圧センサにより分岐エア通路間の差圧を検出し、この検出差圧から上記放熱補償値を差し引いた値に基づき、ワークの漏れを検出することを特徴とする。
【0011】
好ましくは、上記制御手段は、上記放熱補償値の演算後に一旦閉鎖手段を開いて2つの分岐エア通路を連通させてから再び閉鎖手段を閉じ、それから上記検出差圧と放熱補償値に基づく漏れ検出を行うことを特徴とする。
好ましくは、上記制御手段は、漏れのないワークをワーク側分岐エア通路に接続した状態で上記所定時間において上記圧力センサで検出される検出圧力の時間変化曲線を、マスターデータとして得、その後、検査対象のワークをワーク側分岐エア通路に接続した状態で上記所定時間において得られた上記圧力センサでの検出圧力の時間変化曲線を、上記マスターデータと比較し、上記マスターデータの曲線を時間軸に沿って移動させることにより上記検出圧力の変化曲線と重ならせて、圧力変化曲線を特定し、この特定された圧力変化曲線に基づいて、放熱補償値を演算する。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の第1の実施形態について、図1〜図4を参照しながら説明する。図1に示すエアリークテスト装置は、圧縮エア源1と、この圧縮エア源1に上流端が接続された共通エア通路2と、この共通エア通路2から分岐したマスタ側分岐エア通路3およびワーク側分岐エア通路4とを備えている。
【0014】
上記共通エア通路2には、圧力調節手段5と電磁駆動式の常閉の二方弁6(以下、加圧弁と称す)が上流側から順に設けられている。圧力調節手段5は、圧力調節弁5aとその下流に設けられた圧力センサ5bとを有している。この圧力センサ5bが所定のテスト圧になるように、圧力調節弁5aが制御される。したがって、この圧縮エア源1と圧力調節手段5とで、テスト圧源を構成している。なお、この圧力調節手段5は、減圧弁(レギュレータ)であってもよい。上記加圧弁6は、特許請求の範囲における第1の閉鎖手段を構成している。
【0015】
マスタ側分岐エア通路3には、空圧駆動式の常開の二方弁7(以下、遮断弁と称す)が設けられるとともに、その下流端にはマスタ容器8が接続されている。この遮断弁7は、上記加圧弁6と協働して、特許請求の範囲における第2の閉鎖手段を構成している。このマスタ容器8は、所定の形状,容積,材質からなり、後述するワークWとは異なる。なお、マスタ容器8は、容積を小さくし、放熱フィンを付ける等により圧縮後の放熱が短時間で完了するように工夫されている。なお、マスタ容器自体を省略して、マスタ側分岐エア通路3の下流端を塞いでもよい。
【0016】
ワーク側分岐エア通路4には、空圧駆動式の常開の二方弁9(以下、排気弁と称す)が設けられている。また、この分岐エア通路4の下流端には被検査対象となるワークWが接続されるようになっている。
【0017】
本実施形態のエアリークテスト装置は、さらに圧力センサ11と差圧センサ12と制御手段10とを備えている。圧力センサ11はマスタ側分岐エア通路3において、遮断弁7の上流側に接続されている。また差圧センサ12の2つの入力ポート12a,12bは、マスタ側分岐エア通路3において、遮断弁7の上流側と下流側にそれぞれ接続されている。
なお、圧力センサ11および差圧センサ12の一方の入力ポート12aは、ワーク側分岐エア通路4に接続してもよい。
【0018】
上記制御手段10は、上記加圧弁6,遮断弁7,排気弁9を制御する。さらに、制御手段は、圧力センサ11,差圧センサ12からの検出信号を受けて、表示器13、合格ランプ14、不合格ランプ15を制御する。
【0019】
上記構成をなす装置の作用を、制御手段10の作用を中心に、図2のタイムチャートを参照しながら説明する。まず、排気弁9をオンにして閉じ、その後で、加圧弁6をオンしてこれを開くことにより、圧力調節手段5からのテスト圧を分岐エア通路3,4に付与する。なお、本実施形態では、排気弁9の閉じと同時期に、ワーク側分岐エア通路4へのワークWの接続工程が開始されるため、加圧弁6の閉じ動作を数秒遅らせているが、予めワークWの接続工程が完了している場合には、排気弁9の閉じ動作から加圧弁6の開き動作までの時間は僅かで済む。
【0020】
上記加圧弁6の開き時間は、ワークWがテスト圧のエアで満たされるのに必要最低限の時間に相当し、ワークWの容積に応じて変わるが、ここでは数秒とする。この開き時間は、従来装置でのテスト圧付与開始から分岐エア通路の閉鎖までの待ち時間より短い。後述するように放熱による比較的大きな圧力変動のデータを得るためである。
【0021】
上記加圧弁6が開くと、これより下流側、すなわちマスタ容器8、ワークW,分岐エア通路3,4内の空気は大気圧からテスト圧となるため、その圧縮熱により温度が上昇する。
この加圧弁6の閉じ時点(またはそれから短時間経過時点)から所定時間を第1計測時間ΔTaとする。この第1計測時間ΔTaにおいて、圧力センサ11からの検出圧力に基づいて、放熱補償のためのデータを得る。以下、詳述する。
【0022】
上記加圧弁6が閉じると、その下流側は閉鎖系となる。この閉鎖系では分岐エア通路3,4は連通状態にある。この閉鎖系の圧力は、図3に示すように、内部温度が放熱により低下するのに伴ってエクスポーネンシャルの曲線Hを描いて低下する。ワークWに漏れがない場合には、この曲線Hが圧力センサ11で検出される圧力の変化と一致する。ワークWに傷があって漏れが生じている場合には、この漏れに応じたリニアな圧力低下が生じる(直線M参照)。そのため、検出圧力は、放熱による圧力低下分と漏れによる圧力低下分を含んで図3の曲線Dを描いて低下する。
【0023】
図3の直線Hから明らかなように放熱に起因した圧力低下は、加圧弁6を閉じた直後が最も大きく、時間の経過とともに落ち着く。上記第1計測時間Taでは、放熱に起因した圧力低下が、漏れに起因した圧力低下より遥かに大きい(例えば100:1)。そのため、検出圧力はほぼ放熱に起因した圧力低下を表している。その結果、検出圧力の変化から放熱特性を知ることができる。制御手段10は、この検出出力の変化のデータ(曲線Dのデータ)と、記憶しているマスターデータに基づき、放熱補償データを演算する。
【0024】
上記マスターデータは次のようにして得る。予め漏れのないワークを分岐エア通路4に接続して、上記と同様の動作により、第1計測時間ΔTaでの検出圧力の時間変化データを得、これをマスターデータとする。この検出圧力の変化の仕方(換言すれば検出圧力を縦軸とし時間を横軸とした時の検出圧力の変化曲線の形状)は、ワークの材質、表面積,形状等に依存するワークの放熱特性によって、一義的に決定されるものであり、それ故、この変化データをマスターデータとするのである。周囲温度が異なってもワークWを変えない限り、上記マスターデータの圧力変化曲線は変わらず、この圧力変化曲線を時間軸方向に移動させるだけで、異なる周囲温度での放熱による圧力変化曲線と一致するはずである。
実際のリークテストでは、検出圧力の変化データと上記マスターデータとを比較し、マスターデータの曲線を時間軸に沿って移動させて検出圧力の変化曲線と重なり合う範囲を、テスト時の周囲温度によって変動する、放熱に起因した圧力変化の曲線として特定する。この特定された圧力変化曲線(圧力変化データ)に基づいて、後述の第2計測時間ΔTbで予想される放熱による圧力変化を演算し、そのデータを放熱補償データとして記憶する。
上記放熱補償データを得るための第1計測時間ΔTaは、従来装置では漏れ検出前の待ち時間に相当する時間であり、この第1計測時間ΔTaの設定によって時間が長くなることがない。
【0025】
上記制御手段10は、加圧弁6を閉じてから所定時間(上記第1計測時間ΔTaより長いがこれと同じでもよい)経過した時点で、遮断弁7をオンしてこれを閉じる。これによりマスタ側分岐通路3の下流側と上流側が遮断される。マスタ側分岐通路3の上流側はワーク側分岐通路4と連通状態にあるので、マスタ側分岐通路3の下流側の閉鎖系とワーク側分岐通路4を含む閉鎖系が互いに独立した閉鎖系となる。
【0026】
遮断弁7の閉じ動作により、独立した2つの閉鎖系が得られた後も放熱が続いており、この放熱に伴う圧力低下がワーク側分岐エア通路4で続いている。なお、本実施形態では、マスタ側分岐エア通路3での放熱は、既に遮断弁7の閉じ動作の前に実質的に終了して安定した状態にあるので、この放熱の影響は差圧には現れない。
【0027】
上記遮断弁7の閉じ時点では、上記放熱による圧力変動(低下)の程度は、漏れによる圧力変動(低下)とほぼ同レベルになっている。この閉じ時点から所定時間を第2計測時間ΔTbとし、差圧センサ7の検出差圧を監視する。図4に示すように、この検出差圧D’は、ワークWの漏れによって生じる差圧M’とワークWの放熱によって生じる差圧H’を加えたものである。そこで、この検出差圧D’から、放熱による差圧H’を差し引くことにより、漏れによる差圧M’を得ることができる。ここで差圧H’のデータとして、第1計測時間ΔTaで得た放熱補償値のデータを用いる。この放熱補償値は、テスト時における周囲温度等の環境の影響を加味した放熱特性を現しているので、正確な漏れによる差圧を検出することができる。
【0028】
本実施形態では、放熱補償データは、第2計測時間ΔTbにおける所定サンプリング周期毎の放熱補償値の集合からなり、上記検出圧力をこのサンプリング周期で読み込んでこの放熱補償値を差し引くことにより、経過時間に対応した漏れによる差圧の変化を演算することができる。この差圧変化データからリニアな線を演算して、正確な漏れに対応する差圧を演算することができる。この差圧データから、単位時間または所定時間における大気圧換算漏れ量を演算し、表示器13に表示する。また、この大気圧換算漏れ量を閾値と比較し、閾値より低い場合には合格ランプ14を点灯させ、閾値以上の場合には不合格ランプ15を点灯させる。
上記漏れによる差圧検出が終了した時点で、遮断弁7を開くとともに、排気弁9を開いてテストを終了する。
【0029】
なお、遮断弁7の閉じ時点から所定時間経過した時の差圧を1回だけ検出し、放熱補償値を差し引いて、漏れによる差圧を検出してもよい。この場合には、放熱補償データは、単一の放熱補償値を含むだけである。
【0030】
上記放熱補償データの演算は、リークテスト毎に行う必要はなく、複数回のテスト毎に1回行ってもよい。また、予め放熱補償のマスターデータを記憶せず、第1計測時間での検出圧力変化に基づいて、直接放熱補償データを演算してもよい。
【0031】
次に、本発明の第2の実施形態を、図5を参照して説明する。この実施形態ではワーク側分岐エア通路4に空圧駆動式の常開の二方弁17(遮断弁)を追加して装備した点にある。この場合には、遮断弁17の閉じ状態で、その下流側はマスタ側分岐エア通路3の上流側と遮断されている。差圧センサ12の入力ポート12aは、この遮断弁17の下流側に接続される。この実施形態では、加圧弁6が第1の閉鎖手段を構成し、遮断弁7,17が第2の閉鎖手段を構成する。上記遮断弁17は、マスタ側の遮断弁7と同期して駆動する。他の作用は第1実施形態と全く同じであるので説明を省略する。
【0032】
次に,本発明の第3の実施形態について説明する。この第3実施形態では、圧力センサ11が図5において想像線で示すように、遮断弁17の上流側ではなく下流側の分岐エア通路4に接続されている点を除いて第2実施形態と構成上は同じである。この場合、図6のタイムチャートで示すように、遮断弁7,17の閉じ時点又は若干遅れて第1計測時間ΔTaが開始され、その後に第2計測時間ΔTbが設定される。なお、加圧弁6の閉じタイミングは、遮断弁7,17の閉じ時点と同じでもよいし、これより遅れてもよい。
【0033】
次に、本発明の第4の実施形態について説明する。この第4実施形態では、図5において圧力センサ11が省かれている点を除いて、第2実施形態と構成上は同じである。また、弁6,7,9,17の制御に関しては、第3実施形態と同じである(図6参照)。ただし、この第4実施形態では、圧力センサ11の代わりに、差圧センサ12で放熱によるワーク側分岐エア通路4の圧力低下を検出し、その差圧データから放熱補償データを演算する。
【0034】
第3,第4実施形態では、加圧弁6と排気弁9の代わりに、2位置3方弁を用いてもよい。この場合、連通位置で分岐エア通路3,4にテスト圧付与が付与され、開放位置で分岐エア通路3,4を大気に開放する。
【0035】
上記第3,第4実施形態では、図7に示すように、遮断弁7,17を第1計測時間ΔTaと第2計測時間ΔTbの間で一旦開き、分岐エア回路3,4を同圧にしてもよい。これにより、第2計測時間ΔTbでの差圧センサ12による差圧検出をより正確に行うことができる。
【0036】
次に、本発明の第5実施形態について、図8を参照しながら説明する。この実施形態は、差圧式ではなく簡易型のエアリークテスト装置に係わるものである。この装置では、エア通路2Aの上流端に、圧縮空気源1と圧力調整手段5からなるテスト圧源が接続され、下流端にワークWが接続されるようになっている。このエア通路2Aには、上流側から順に加圧弁6(閉鎖手段)、圧力センサ11(圧力検出手段)、排気弁9が接続されている。
【0037】
上記装置では、加圧弁6を必要最小限の時間だけ開くことにより、テスト圧を加圧弁6の下流側のエア通路2AおよびワークWに付与した後、この加圧弁6を閉じ、その直後の第1計測時間で圧力センサ11の検出圧力の変化を読み込む。そして、この圧力変化データから、またはこの圧力変化データとマスターデータとから放熱補償データを演算する。そして、その後の第2計測時間での圧力センサ11の検出圧力の変化から上記放熱補償データを差し引くことにより、ワークWの漏れによる圧力低下を演算し、この演算値から漏れを検出する。
【0038】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の第1の態様によれば、検出差圧値から放熱補償値を差し引くことにより、ワークの漏れを短時間で検出できる。また、閉鎖直後の放熱による比較的大きな圧力変動に基づいて上記放熱補償値を演算することにより、正確な放熱補償値を得ることができ、ひいてはワークの漏れを正確に検出することができる。また、放熱による圧力変動をマスタ側、ワーク側の2つの分岐エア通路が連通して閉鎖された状態で検出するので、その後の差圧センサが実質的に差圧ゼロから差圧変化を検出することができ、より高精度の漏れ検出が可能である。
本発明の第2態様によれば、差圧検出を差圧ゼロから開始することを除いて、第1態様と同等の効果を奏することができる。
本発明の第3態様によれば、差圧検出前に2つの分岐エア通路を一旦連通させてから再び互いに独立させるので、差圧センサにより差圧検出を差圧ゼロから開始することができ、高精度の漏れ検出が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態をなすエアリークテスト装置の回路図である。
【図2】同装置で実行される弁制御のタイムチャートである。
【図3】加圧弁閉じ後の、検出圧力の低下、放熱による圧力低下、漏れによる圧力低下の様子を示す図である。
【図4】遮断弁閉じに伴う検出差圧の変化、放熱による差圧の変化、漏れによる差圧変化の様子を示す図である。
【図5】本発明の第2実施形態をなすエアリークテスト装置の回路図である。
【図6】本発明の第3実施形態をなすエアリークテスト装置で実行される弁制御のタイムチャートである。
【図7】本発明の第3,第4実施形態を若干変更した場合に実行される弁制御のタイムチャートである。
【図8】本発明の第5実施形態をなすエアリークテスト装置の回路図である。
【符号の説明】
2 共通エア通路
2A エア通路
3 マスタ側分岐エア通路
4 ワーク側分岐エア通路
6 加圧弁(閉鎖手段、第1の閉鎖手段)
7 遮断弁(第2の閉鎖手段)
10 制御手段
11 圧力センサ(圧力検出手段)
12 差圧センサ(圧力検出手段)
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an air leak test apparatus.
[0002]
[Prior art]
A general differential pressure type air leak test apparatus called a balanced type will be briefly described. A master side and a work side branch air passage are connected to a common air passage extending from a test pressure source. A master container is connected to the master side branch air passage, and a work is connected to the work side branch air passage. The master container has the same shape, volume and material as the workpiece, and no leakage has been confirmed.
After applying a test pressure from the test pressure source to the two branch air passages, the branch air passages are shut off to form an independent closed system. Thereafter, the differential pressure between the two closed branch air passages is monitored to detect a workpiece leak.
[0003]
By the way, a predetermined time is waited until the branch air passage is closed after the application of the test pressure is started. This is to wait for the workpiece to reach the test pressure and to avoid a large initial pressure fluctuation. That is, when a test pressure is applied to the branch air passage, the temperature once rises due to compression, and then settles to the ambient temperature due to heat dissipation. The amount of heat radiation is greatest at the initial stage of applying test pressure.If the branch air passage is closed at this stage, the pressure drop due to heat radiation is too large, and there is a slight difference in heat radiation characteristics between the master container and the workpiece. This is because a differential pressure is generated.
[0004]
When the predetermined waiting time has elapsed as described above, the heat dissipation continues even after the branch air passage is closed, and the pressures of the two branch air passages in the closed state are reduced. The pressure drop in the two branch air passages due to this heat radiation is equal to each other because the master container has the same heat radiation characteristic of the workpiece and the same volume. Therefore, the differential pressure is not affected by the pressure drop due to the heat radiation, and the pressure drop corresponding to the leakage of the workpiece can be reliably detected.
[0005]
However, if the master container has the same shape, material, and volume as the workpiece as described above, many types of master containers are required in the production line for many types and small quantities, which increases equipment costs and management costs. .
Therefore, recently, an unbalanced type apparatus has been developed in which a master container having a predetermined shape, volume and material is used without changing the master container even if the workpieces are different. In this apparatus as well, the test pressure is applied to the two branch air passages, and when the predetermined waiting time elapses, the branch air passage is closed and the differential pressure is detected. The master container has a heat dissipation characteristic different from that of the work. Therefore, even if there is no leakage in the work, a differential pressure due to the difference in the heat dissipation characteristic is detected.
Therefore, the heat dissipation compensation value data is stored for each type of the workpiece, and the differential pressure corresponding to the workpiece leakage is obtained by subtracting the heat dissipation compensation value from the detected differential pressure.
[0006]
[Problems to be solved by the invention]
In the non-equilibrium type device in which the heat dissipation characteristics between the master container and the workpiece are different as described above, the heat dissipation characteristics change according to changes in the environment such as the temperature. It was.
In the above-described apparatus, if a relatively long time is waited after the branch air passage is closed, heat radiation is lost, and the differential pressure changes linearly corresponding to leakage. For this reason, it is conceivable to detect leakage based on the linearly changing differential pressure without performing the heat dissipation compensation. However, in that case, the test time for each workpiece becomes longer, and the productivity is lowered.
Therefore, accurate heat dissipation compensation has been required without increasing the test time.
[0007]
The above discussion can also be applied to a simple air leak test apparatus that is not a differential pressure type. In this apparatus, a test pressure source is connected to the upstream end of the air passage, and a workpiece is connected to the downstream end. After applying the test pressure, the air passage is closed, and leakage of the workpiece is detected based on a change in the pressure of the closed air passage. Even in this device, in order to eliminate the effect of pressure fluctuation due to heat radiation, the air passage is closed after the test pressure is applied until the heat radiation has settled, or after the air passage is closed, the pressure is linearly changed and the pressure is changed. The test time was long because leaks were detected. If the test time is to be shortened, the heat dissipation compensation data is used in the same manner as described above, and it becomes impossible to cope with environmental changes.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
According to a first aspect of the present invention, in an air leak test apparatus, a test pressure source, a common air passage connected to the test pressure source, a master side branch air passage and a work side branch branched from the common air passage An air passage, first closing means for closing the branch air passages in communication with each other, second closing means for closing the branch air passages in an independent state, and branch air closed in the communication state A pressure sensor for detecting the pressure of the passage, a differential pressure sensor for detecting a differential pressure of the branch air passage closed in the independent state, and a control means,
The control means applies the test pressure from the test pressure source to the master side and work side branch air passages via the common air passage, and then drives the first closing means to connect the branch air passage. Immediately after closing, the heat radiation compensation value is calculated based on the change in the pressure detected by the pressure sensor, and then the second closing means is driven to close the branch air passage in an independent state. A workpiece leakage is detected based on a value obtained by subtracting the heat dissipation compensation value from a differential pressure detected by the differential pressure sensor.
[0009]
According to a second aspect of the present invention, in the air leak test apparatus, a test pressure source, a common air passage connected to the test pressure source, a master side branch air passage branched from the common air passage, and a work side branch An air passage, closing means for closing the branch air passages in an independent state, a pressure sensor for detecting the pressure of the work side branch air passage closed in the independent state, and two branches closed in an independent state A differential pressure sensor for detecting the differential pressure in the air passage, and a control means;
The control means applies the test pressure from the test pressure source to the branch air passage on the master side and the work side via the common air passage, and then drives the closing means to make the two branch air passages independent. Immediately after closing, the heat dissipation compensation value is calculated based on the change in the pressure detected by the pressure sensor, and then the differential pressure between the branch air passages is detected by the differential pressure sensor in the closed state. Based on a value obtained by subtracting the heat dissipation compensation value from the differential pressure, workpiece leakage is detected.
[0011]
Preferably, after the calculation of the heat dissipation compensation value, the control means opens the closing means once to connect the two branch air passages and then closes the closing means again, and then detects leakage based on the detected differential pressure and the heat dissipation compensation value. It is characterized by performing.
Preferably, the control means obtains, as master data, a time change curve of the detected pressure detected by the pressure sensor at the predetermined time in a state in which a work having no leakage is connected to the work side branch air passage, and then the inspection is performed. The time change curve of the pressure detected by the pressure sensor obtained at the predetermined time with the target work connected to the work side branch air passage is compared with the master data, and the curve of the master data is used as the time axis. The pressure change curve is specified by overlapping the detected pressure change curve by moving the detected pressure change curve, and the heat radiation compensation value is calculated based on the specified pressure change curve.
[0013]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. The air leak test apparatus shown in FIG. 1 includes a compressed air source 1, a common air passage 2 having an upstream end connected to the compressed air source 1, a master side branch air passage 3 branched from the common air passage 2, and a workpiece side. And a branch air passage 4.
[0014]
In the common air passage 2, a pressure adjusting means 5 and an electromagnetically driven normally closed two-way valve 6 (hereinafter referred to as a pressurizing valve) are provided in order from the upstream side. The pressure adjusting means 5 has a pressure adjusting valve 5a and a pressure sensor 5b provided downstream thereof. The pressure control valve 5a is controlled so that the pressure sensor 5b has a predetermined test pressure. Therefore, the compressed air source 1 and the pressure adjusting means 5 constitute a test pressure source. The pressure adjusting means 5 may be a pressure reducing valve (regulator). The pressurizing valve 6 constitutes a first closing means in the claims.
[0015]
The master side branch air passage 3 is provided with a pneumatically driven two-way valve 7 that is normally open (hereinafter referred to as a shutoff valve), and a master container 8 is connected to the downstream end thereof. This shut-off valve 7 constitutes the second closing means in the claims in cooperation with the pressurizing valve 6. The master container 8 is made of a predetermined shape, volume, and material, and is different from a workpiece W described later. In addition, the master container 8 is devised so that the heat radiation after compression is completed in a short time by reducing the volume and attaching the heat radiation fins. The master container itself may be omitted and the downstream end of the master side branch air passage 3 may be closed.
[0016]
The work side branch air passage 4 is provided with a pneumatically driven normally open two-way valve 9 (hereinafter referred to as an exhaust valve). A work W to be inspected is connected to the downstream end of the branch air passage 4.
[0017]
The air leak test apparatus according to the present embodiment further includes a pressure sensor 11, a differential pressure sensor 12, and a control means 10. The pressure sensor 11 is connected to the upstream side of the shutoff valve 7 in the master side branch air passage 3. Further, the two input ports 12 a and 12 b of the differential pressure sensor 12 are respectively connected to the upstream side and the downstream side of the shutoff valve 7 in the master side branch air passage 3.
One input port 12 a of the pressure sensor 11 and the differential pressure sensor 12 may be connected to the work side branch air passage 4.
[0018]
The control means 10 controls the pressurizing valve 6, the shutoff valve 7, and the exhaust valve 9. Furthermore, the control means receives the detection signals from the pressure sensor 11 and the differential pressure sensor 12, and controls the display 13, the pass lamp 14, and the fail lamp 15.
[0019]
The operation of the apparatus having the above configuration will be described with reference to the time chart of FIG. First, the exhaust valve 9 is turned on and closed, and then the pressurization valve 6 is turned on to open it, thereby applying the test pressure from the pressure adjusting means 5 to the branch air passages 3 and 4. In this embodiment, since the process of connecting the work W to the work side branch air passage 4 is started at the same time as the exhaust valve 9 is closed, the closing operation of the pressurizing valve 6 is delayed for several seconds. When the connection process of the workpiece W is completed, the time from the closing operation of the exhaust valve 9 to the opening operation of the pressurizing valve 6 is short.
[0020]
The opening time of the pressurizing valve 6 corresponds to the minimum time required for the work W to be filled with air of the test pressure, and varies depending on the volume of the work W, but here is several seconds. This opening time is shorter than the waiting time from the start of applying the test pressure in the conventional apparatus to the closing of the branch air passage. This is to obtain data on relatively large pressure fluctuations due to heat dissipation as will be described later.
[0021]
When the pressurizing valve 6 is opened, since the air in the downstream side, that is, the master container 8, the work W, and the branch air passages 3 and 4 changes from the atmospheric pressure to the test pressure, the temperature rises due to the compression heat.
A predetermined time from the time when the pressurizing valve 6 is closed (or when a short time has passed) is defined as a first measurement time ΔTa. In the first measurement time ΔTa, data for heat radiation compensation is obtained based on the detected pressure from the pressure sensor 11. Details will be described below.
[0022]
When the pressurizing valve 6 is closed, the downstream side becomes a closed system. In this closed system, the branch air passages 3 and 4 are in communication. As shown in FIG. 3, the pressure in the closed system decreases along an exponential curve H as the internal temperature decreases due to heat dissipation. When there is no leakage in the workpiece W, this curve H coincides with the change in pressure detected by the pressure sensor 11. When the workpiece W is scratched and leaks, a linear pressure drop corresponding to the leak occurs (see the straight line M). Therefore, the detected pressure decreases by drawing a curve D in FIG. 3 including the pressure drop due to heat radiation and the pressure drop due to leakage.
[0023]
As is clear from the straight line H in FIG. 3, the pressure drop due to heat radiation is greatest immediately after the pressurizing valve 6 is closed, and settles with time. In the first measurement time Ta, the pressure drop caused by heat dissipation is much larger than the pressure drop caused by leakage (for example, 100: 1). For this reason, the detected pressure almost represents a pressure drop caused by heat dissipation. As a result, the heat radiation characteristic can be known from the change in the detected pressure. The control means 10 calculates heat radiation compensation data based on the detection output change data (curve D data) and the stored master data.
[0024]
The master data is obtained as follows. A work without leakage is connected to the branch air passage 4 in advance, and time change data of the detected pressure at the first measurement time ΔTa is obtained by the same operation as described above, and this is used as master data. The method of changing the detected pressure (in other words, the shape of the change curve of the detected pressure when the detected pressure is on the vertical axis and the time is on the horizontal axis) depends on the work material's material, surface area, shape, etc. Therefore, this change data is used as master data. As long as the workpiece W is not changed even if the ambient temperature is different, the pressure change curve of the above master data does not change. By simply moving this pressure change curve in the time axis direction, it matches the pressure change curve due to heat dissipation at different ambient temperatures. Should do.
In the actual leak test, the change data of the detected pressure is compared with the master data, and the master data curve is moved along the time axis, and the overlapping range with the detected pressure change curve varies depending on the ambient temperature during the test. It is specified as a curve of pressure change caused by heat dissipation. Based on the specified pressure change curve (pressure change data), a pressure change due to heat dissipation expected in a second measurement time ΔTb described later is calculated, and the data is stored as heat dissipation compensation data.
The first measurement time ΔTa for obtaining the heat radiation compensation data, in the conventional device is a time corresponding to the prior leak detection latency, never Hence time setting of the first measurement time ΔTa is prolonged.
[0025]
The control means 10 turns on the shut-off valve 7 and closes it when a predetermined time (longer than the first measurement time ΔTa but may be the same) has elapsed since the pressurization valve 6 was closed. Thereby, the downstream side and the upstream side of the master side branch passage 3 are blocked. Since the upstream side of the master side branch passage 3 is in communication with the workpiece side branch passage 4, the closed system downstream of the master side branch passage 3 and the closed system including the workpiece side branch passage 4 become a closed system independent of each other. .
[0026]
The heat release continues even after two independent closed systems are obtained by the closing operation of the shutoff valve 7, and the pressure drop due to the heat release continues in the work side branch air passage 4. In the present embodiment, the heat radiation in the master side branch air passage 3 is already substantially stabilized before the closing operation of the shut-off valve 7 and is in a stable state. It does not appear.
[0027]
When the shut-off valve 7 is closed, the degree of pressure fluctuation (decrease) due to the heat radiation is almost the same level as the pressure fluctuation (decrease) due to leakage. A predetermined time from the closing time is defined as a second measurement time ΔTb, and the detected differential pressure of the differential pressure sensor 7 is monitored. As shown in FIG. 4, the detected differential pressure D ′ is obtained by adding a differential pressure M ′ generated by leakage of the workpiece W and a differential pressure H ′ generated by heat dissipation of the workpiece W. Therefore, the differential pressure M ′ due to leakage can be obtained by subtracting the differential pressure H ′ due to heat radiation from the detected differential pressure D ′. Here, as the data of the differential pressure H ′, the data of the heat radiation compensation value obtained at the first measurement time ΔTa is used. Since this heat dissipation compensation value represents a heat dissipation characteristic that takes into account the influence of the environment such as ambient temperature during the test, an accurate differential pressure due to leakage can be detected.
[0028]
In the present embodiment, the heat radiation compensation data is a set of heat radiation compensation values for each predetermined sampling period in the second measurement time ΔTb, and the elapsed time is obtained by reading the detected pressure in this sampling period and subtracting the heat radiation compensation value. It is possible to calculate a change in the differential pressure due to leakage corresponding to. By calculating a linear line from this differential pressure change data, a differential pressure corresponding to an accurate leak can be calculated. From this differential pressure data, an atmospheric pressure equivalent leakage amount in a unit time or a predetermined time is calculated and displayed on the display 13. Further, this atmospheric pressure equivalent leakage amount is compared with a threshold value, and if it is lower than the threshold value, the pass lamp 14 is turned on, and if it is more than the threshold value, the fail lamp 15 is turned on.
When the detection of the differential pressure due to leakage is completed, the shutoff valve 7 is opened and the exhaust valve 9 is opened to end the test.
[0029]
The differential pressure due to leakage may be detected by detecting the differential pressure when a predetermined time has elapsed from the closing time of the shutoff valve 7 and subtracting the heat dissipation compensation value. In this case, the heat dissipation compensation data only includes a single heat dissipation compensation value.
[0030]
The calculation of the heat dissipation compensation data need not be performed for each leak test, and may be performed once for a plurality of tests. Alternatively, the heat dissipation compensation data may be directly calculated based on the detected pressure change at the first measurement time without storing the heat dissipation compensation master data in advance.
[0031]
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In this embodiment, the work side branch air passage 4 is additionally provided with an air pressure driven normally open two-way valve 17 (shutoff valve). In this case, the shut-off valve 17 is closed and the downstream side is shut off from the upstream side of the master side branch air passage 3. The input port 12 a of the differential pressure sensor 12 is connected to the downstream side of the shutoff valve 17. In this embodiment, the pressurizing valve 6 constitutes a first closing means, and the shutoff valves 7 and 17 constitute a second closing means. The shut-off valve 17 is driven in synchronization with the master-side shut-off valve 7. Since other operations are the same as those in the first embodiment, description thereof is omitted.
[0032]
Next, a third embodiment of the present invention will be described. This third embodiment is the same as the second embodiment except that the pressure sensor 11 is connected not to the upstream side of the shutoff valve 17 but to the branch air passage 4 on the downstream side as indicated by the imaginary line in FIG. The configuration is the same. In this case, as shown in the time chart of FIG. 6, the first measurement time ΔTa is started after the closing time of the shutoff valves 7 and 17 or slightly delayed, and then the second measurement time ΔTb is set. The closing timing of the pressurizing valve 6 may be the same as the closing time of the shutoff valves 7 and 17 or may be delayed.
[0033]
Next, a fourth embodiment of the present invention will be described. The fourth embodiment is the same in configuration as the second embodiment except that the pressure sensor 11 is omitted in FIG. Further, the control of the valves 6, 7, 9, and 17 is the same as that in the third embodiment (see FIG. 6). However, in the fourth embodiment, instead of the pressure sensor 11, the pressure drop in the work side branch air passage 4 due to heat radiation is detected by the differential pressure sensor 12, and the heat radiation compensation data is calculated from the differential pressure data.
[0034]
In the third and fourth embodiments, a two-position three-way valve may be used instead of the pressurizing valve 6 and the exhaust valve 9. In this case, test pressure is applied to the branch air passages 3 and 4 at the communication position, and the branch air passages 3 and 4 are opened to the atmosphere at the open position.
[0035]
In the third and fourth embodiments, as shown in FIG. 7, the shutoff valves 7 and 17 are temporarily opened between the first measurement time ΔTa and the second measurement time ΔTb, and the branch air circuits 3 and 4 are set to the same pressure. May be. Thereby, the differential pressure detection by the differential pressure sensor 12 in the second measurement time ΔTb can be performed more accurately.
[0036]
Next, a fifth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. This embodiment relates to a simple air leak test apparatus rather than a differential pressure type. In this apparatus, a test pressure source including the compressed air source 1 and the pressure adjusting means 5 is connected to the upstream end of the air passage 2A, and a work W is connected to the downstream end. A pressurizing valve 6 (closing means), a pressure sensor 11 (pressure detecting means), and an exhaust valve 9 are connected to the air passage 2A in order from the upstream side.
[0037]
In the above apparatus, by applying the test pressure to the air passage 2A and the workpiece W on the downstream side of the pressurization valve 6 by opening the pressurization valve 6 for a necessary minimum time, the pressurization valve 6 is closed, and the A change in pressure detected by the pressure sensor 11 is read in one measurement time. Then, heat radiation compensation data is calculated from the pressure change data or from the pressure change data and master data. Then, by subtracting the heat dissipation compensation data from the change in pressure detected by the pressure sensor 11 in the subsequent second measurement time, a pressure drop due to leakage of the workpiece W is calculated, and leakage is detected from this calculated value.
[0038]
【The invention's effect】
As described above, according to the first aspect of the present invention, the workpiece leakage can be detected in a short time by subtracting the heat radiation compensation value from the detected differential pressure value. In addition, by calculating the heat dissipation compensation value based on a relatively large pressure fluctuation due to heat dissipation immediately after closing, an accurate heat dissipation compensation value can be obtained, and thus leakage of the workpiece can be accurately detected. Further, since the pressure fluctuation due to heat radiation is detected in a state where the two branch air passages on the master side and the work side are in communication and closed, the subsequent differential pressure sensor detects a differential pressure change from substantially zero differential pressure. And more accurate leak detection is possible.
According to the second aspect of the present invention, the same effect as that of the first aspect can be obtained except that differential pressure detection is started from zero differential pressure.
According to the third aspect of the present invention, since the two branch air passages are once communicated before the differential pressure is detected and then made independent from each other again, the differential pressure detection can be started from the differential pressure zero by the differential pressure sensor, high accuracy of leak detection is Ru possible der.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a circuit diagram of an air leak test apparatus according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a time chart of valve control executed by the apparatus.
FIG. 3 is a diagram illustrating a state of a decrease in detected pressure, a pressure decrease due to heat dissipation, and a pressure decrease due to leakage after the pressurization valve is closed.
FIG. 4 is a diagram showing changes in detected differential pressure due to shut-off valve closing, changes in differential pressure due to heat dissipation, and changes in differential pressure due to leakage.
FIG. 5 is a circuit diagram of an air leak test apparatus according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 6 is a time chart of valve control executed by an air leak test apparatus according to a third embodiment of the present invention.
FIG. 7 is a time chart of valve control executed when the third and fourth embodiments of the present invention are slightly changed.
FIG. 8 is a circuit diagram of an air leak test apparatus according to a fifth embodiment of the present invention.
[Explanation of symbols]
2 Common air passage 2A Air passage 3 Master side branch air passage 4 Work side branch air passage 6 Pressurizing valve (closing means, first closing means)
7 Shut-off valve (second closing means)
10 control means 11 pressure sensor (pressure detection means)
12 Differential pressure sensor (pressure detection means)

Claims (4)

テスト圧源と、このテスト圧源に接続された共通のエア通路と、この共通エア通路から分岐されたマスタ側分岐エア通路およびワーク側分岐エア通路と、これら分岐エア通路を互いに連通させた状態で閉鎖する第1閉鎖手段と、これら分岐エア通路を互いに独立した状態で閉鎖する第2閉鎖手段と、上記独立状態で閉鎖された分岐エア通路の差圧を検出する差圧センサと、この差圧センサと別体をなし上記連通状態で閉鎖された分岐エア通路の圧力を検出する圧力センサと、制御手段とを備え、
この制御手段は、上記テスト圧源からのテスト圧を、共通エア通路を介してマスタ側,ワーク側の分岐エア通路に付与してから、第1閉鎖手段を駆動させて分岐エア通路を連通状態で閉鎖し、この閉鎖直後の所定時間における上記圧力センサでの検出圧力の変化に基づき放熱補償値を演算し、次に第2閉鎖手段を駆動させて分岐エア通路を独立状態で閉鎖し、この閉鎖直後に上記差圧センサで検出される差圧から上記放熱補償値を差し引いた値に基づき、ワークの漏れを検出することを特徴とするエアリークテスト装置。
A test pressure source, a common air passage connected to the test pressure source, a master side branch air passage and a work side branch air passage branched from the common air passage, and the branch air passages in communication with each other in a first closing means for closing the second closing means for closing these branch air passage in a state independent of each other, a differential pressure sensor for detecting the differential pressure of the branch air passage which is closed by the independent state, the difference A pressure sensor that is separate from the pressure sensor and that detects the pressure of the branch air passage that is closed in the communication state, and a control means,
The control means applies the test pressure from the test pressure source to the master side and work side branch air passages via the common air passage, and then drives the first closing means to connect the branch air passage. And the heat dissipation compensation value is calculated based on the change in the pressure detected by the pressure sensor in a predetermined time immediately after the closing, and then the second closing means is driven to close the branch air passage in an independent state. An air leak test apparatus for detecting a leak of a workpiece based on a value obtained by subtracting the heat dissipation compensation value from a differential pressure detected by the differential pressure sensor immediately after closing.
テスト圧源と、このテスト圧源に接続された共通のエア通路と、この共通エア通路から分岐されたマスタ側分岐エア通路およびワーク側分岐エア通路と、これら分岐エア通路を互いに独立した状態で閉鎖する閉鎖手段と、上記独立状態で閉鎖された2つの分岐エア通路の差圧を検出する差圧センサと、この差圧センサとは別体をなし上記独立状態で閉鎖されたワーク側分岐エア通路の圧力を検出する圧力センサと、制御手段とを備え、
この制御手段は、上記テスト圧源からのテスト圧を、共通エア通路を介してマスタ側,ワーク側の分岐エア通路に付与してから、閉鎖手段を駆動させて2つの分岐エア通路を独立状態で閉鎖し、この閉鎖直後の所定時間における上記圧力センサでの検出圧力の変化に基づき放熱補償値を演算し、その後、上記閉鎖状態で上記差圧センサにより分岐エア通路間の差圧を検出し、この検出差圧から上記放熱補償値を差し引いた値に基づき、ワークの漏れを検出することを特徴とするエアリークテスト装置。
A test pressure source, a common air passage connected to the test pressure source, a master side branch air passage and a work side branch air passage branched from the common air passage, and the branch air passages being independent from each other. and closure means for closing, a differential pressure sensor for detecting the differential pressure of two branch air passage which is closed by the independent state, closed working side branch air above independent state without a separate body from the differential pressure sensor A pressure sensor for detecting the pressure in the passage, and a control means;
The control means applies the test pressure from the test pressure source to the branch air passage on the master side and the work side via the common air passage, and then drives the closing means to make the two branch air passages independent. The heat radiation compensation value is calculated based on the change in the pressure detected by the pressure sensor in a predetermined time immediately after the closing, and then the differential pressure between the branch air passages is detected by the differential pressure sensor in the closed state. An air leak test apparatus for detecting a work leakage based on a value obtained by subtracting the heat radiation compensation value from the detected differential pressure.
上記制御手段は、上記放熱補償値の演算後に一旦閉鎖手段を開いて2つの分岐エア通路を連通させてから再び閉鎖手段を閉じ、それから上記検出差圧と放熱補償値に基づく漏れ検出を行うことを特徴とする請求項に記載のエアリークテスト装置。After the calculation of the heat dissipation compensation value, the control means opens the closing means once to connect the two branch air passages, then closes the closing means again, and then performs leak detection based on the detected differential pressure and the heat dissipation compensation value. The air leak test apparatus according to claim 2 . 上記制御手段は、漏れのないワークをワーク側分岐エア通路に接続した状態で上記所定時間において上記圧力センサで検出される検出圧力の時間変化曲線を、マスターデータとして得、その後、検査対象のワークをワーク側分岐エア通路に接続した状態で上記所定時間において得られた上記圧力センサでの検出圧力の時間変化曲線を、上記マスターデータと比較し、上記マスターデータの曲線を時間軸に沿って移動させることにより上記検出圧力の変化曲線と重ならせて、圧力変化曲線を特定し、この特定された圧力変化曲線に基づいて、放熱補償値を演算することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のエアリークテスト装置。The control means obtains, as master data, a time change curve of the detected pressure detected by the pressure sensor at the predetermined time in a state where a leak-free workpiece is connected to the workpiece-side branch air passage, and then the workpiece to be inspected. Is compared to the master data, and the curve of the master data is moved along the time axis. The pressure change curve is specified by overlapping the detected pressure change curve, and a heat radiation compensation value is calculated based on the specified pressure change curve. The air leak test apparatus according to any one of the above.
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